KR102339361B1 - 연자성 편평 분말 및 그 제조 방법 - Google Patents

Abstract

본 발명에 의하면, 평균 입경이 작고 시트 성형성이 우수하고, 또한 높은 투자율을 가지는 연자성 편평 분말 및 그 제조 방법이 제공된다. 본 발명에 의한 연자성 편평 분말은, Fe-Si-Al계 합금으로 이루어지는 편평 분말로서, 평균 입경 D₅₀이 30∼50㎛ 미만, 편평 분말의 길이 방향으로 자장을 인가하여 측정한 보자력 Hc가 176A/m 이하, 진밀도에 대한 탭 밀도의 비가 0.18 이하, 비표면적 BET값이 0.6㎡/g 이상, 함유 산소량이 0.6mass% 이하이며, 또한 연자성 분말의 BET값과 산소값이 식(1)[산소값/BET값≤0 .50(단, 0은 포함하지 않음)]을 만족시키는, 연자성 편평 분말이다.

Description

연자성 편평 분말 및 그 제조 방법{SOFT-MAGNETIC FLAT POWDER AND PROCESS FOR PRODUCING SAME}

본 출원은, 2014년 10월 2일에 출원된 일본국 특허출원 제2014-203642호에 기초한 우선권을 주장하는 것이며, 이들 전체의 개시 내용이 참조에 의해 본 명세서에 포함된다.

본 발명은, 노이즈 억제용 자성 시트에 사용되는 연자성 편평 분말 및 그 제조 방법에 관한 것이다.

종래, 연자성 편평 분말을 함유하는 자성 시트는, 전자파 흡수체, RFID(RadioFrequency Identification)용 안테나로서 사용되어 왔다. 또한, 최근에는, 디지타이저(digitizer)라 불리는 위치 검출 장치에도 사용되게 되고 있다. 이 디지타이저에는, 예를 들면, 일본공개특허 제2011-22661호 공보(특허문헌 1)와 같은 전자(電磁) 유도형의 것이 있고, 펜 형상의 위치 지시기의 끝에 내장되는 코일로부터 발신된 고주파 신호를, 패널형의 위치 검출기에 내장된 루프 코일에 의해 판독함으로써 지시 위치를 검출한다.

여기서, 검출 감도를 높이는 목적으로, 루프 코일의 배면(背面)에는 고주파 신호의 자로로 되는 시트가 배치된다. 이 자로로 되는 시트로서는, 연자성 편평 분말을 수지나 고무 중에 배향시킨 자성 시트나, 연자성 아몰퍼스 합금박을 접합시킨 것 등이 적용된다. 자성 시트를 사용하는 경우에는, 검출 패널 전체를 1매의 시트로할 수 있으므로, 아몰퍼스박과 같은 접합부에서의 검출 불량 등이 없어 우수한 균일성을 얻을 수 있다.

또한, 종래, 자성 시트에는 Fe-Si-Al 합금, Fe-Si 합금, Fe-Ni 합금, Fe-Al 합금, Fe-Cr 합금 등으로 이루어지는 분말을, 어트리션 밀[아트리토(attritor)] 등에 의해 편평화한 것이 첨가되어 왔다. 이것은 높은 투자율(透磁率)의 자성 시트를 얻기 위해, 이른바 「Ollendorff의 식」으로부터 알 수 있는 바와 같이, 투자율이 높은 연자성 분말을 사용하는 것, 반자계를 낮추기 위해 자화 방향으로 높은 아스펙트비를 가지는 편평 분말을 사용하는 것, 자성 시트 내에 연자성 분말을 고충전하는 것이 중요하기 때문이다. 연자성 편평 분말의 장축을 크게 하고, 아스펙트비가 높은 편평 상태의 분말을 제작하는 방법으로서, 예를 들면, 일본특허 제4636113호 공보(특허문헌 2)에는, 탄소수 2∼4의 1가 알코올을 사용하여 편평 가공을 실시하는 방법이 개시되어 있다.

디지타이저 기능은 스마트폰이나 태블릿 단말기 등에 적용되지만, 이와 같은 모바일 전자 디바이스는 소형화의 요구가 엄격하고, 자로 시트로서 사용되는 자성 시트에도 박형화의 요구가 높아, 50㎛ 이하 정도의 얇은 것이 사용되게 되었다. 또한, 태블릿 단말기에는 액정 화면이 10인치로도 되는 것이 있어, 자성 시트에도 대면적이 요구되게 되었다. 이와 같은 얇은 자성 시트를 일반적으로 적용되는 압연이나 프레스에 의한 방법으로 제작한 경우, 종래의 두께의 자성 시트에서는 문제가 되지 않은, 분말의 시트 성형성이 문제로 되게 되었다.

즉, 사용하는 연자성 편평 분말의 장축이 과대할 때, 50㎛ 이하의 얇은 자성 시트를 제작할 때, 방향성이 갖추어지지 않거나, 시트 내의 자성 분말에 조밀이 생기거나 하여, 시트 성형이 잘되지 않는 경우가 많다. 시트 성형 시의 이와 같은 트러블을 없애기 위하여, 시트 제작 시의 분말 충전율을 낮추는 방법이나, 성형 후에 시트를 프레스하는 방법 등이 행해진다. 그러나, 전자의 방법 등에서는 결과적으로 시트의 투자율을 낮추고, 성능을 저하시킨다. 또한, 후자의 방법 등에서는 시트 내의 분말에 과대한 응력이 걸리기 때문에 분말에 변형이 도입된다. 변형의 도입은 분말의 보자력 Hc의 증대를 초래하고, 분말의 투자율이 저하되므로, 결과적으로 성능을 저하시킨다.

특허문헌 1 : 일본공개특허 제2011-22661호 공보 특허문헌 2 : 일본특허 제4636113호 공보

예를 들면, 특허문헌 2에 나타낸 바와 같은, 평균 입경 D₅₀이 큰 연자성 편평 분말을 사용한 경우, 시트 성형은 곤란하다.

이에, 본 발명은, 평균 입경이 작고, 또한 50㎛ 이하의 얇은 자성 시트의 성형성이 우수하고, 또한 높은 투자율을 가지는 연자성 편평 분말 및 그 제조 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.

본 발명의 일 태양(態樣)에 의하면, Fe-Si-Al계 합금으로 이루어지는 편평 분말로서, 평균 입경 D₅₀이 30∼50㎛ 미만, 편평 분말의 길이 방향으로 자장을 인가하여 측정한 보자력 Hc가 176A/m 이하, 진밀도에 대한 탭 밀도(tap density)의 비가 0.18 이하, 비표면적 BET값이 0.6㎡/g 이상, 함유 산소량이 0.6mass% 이하이며, 또한 연자성 분말의 BET값과 산소값이 하기 식(1)을 만족시키는, 연자성 편평 분말이 제공된다.

산소값/BET값 ≤ 0.50(단, 0은 포함하지 않음) …(1)

본 발명의 다른 태양에 의하면, 상기 연자성 편평 분말의 제조 방법으로서, 가스 아토마이즈법 또는 디스크 아토마이즈법에 의해 원료 분말을 제작하는 원료 제작 공정과, 상기 원료 분말을 편평화하는 편평 가공 공정과, 편평 가공된 상기 원료 분말을 진공 또는 아르곤 분위기에서, 700∼900℃로 열처리하는 공정을 포함하는, 연자성 편평 분말의 제조 방법이 제공된다.

상기 조건을 만족시키는 연자성 편평 분말을 사용함으로써, 투자율이 충분히 높은 전자파 흡수체용 자성 시트를 작성할 수 있다. 여기서, 고주파에서의 투자율 μ은 실수부 μ'와 허수부 μ''에 의해 복소(複素) 투자율(μ=μ'―jμ'')로 나타낼 수 있지만, μ의 최대값이 클수록 μ''의 값도 커지는 경향이 있다.

본 발명의 연자성 편평 분말은, 아스펙트비가 20 이상인 것이 바람직하고, 평균 입경이 30∼50㎛ 미만이며, 평균 입경이 40∼50㎛ 미만인 것이 바람직하다. 평균 입경이 30㎛보다 작은 경우는, 높은 아스펙트비를 확보하는 것이 어려워지기 때문에 바람직하지 않다. 또한, 평균 입경이 50㎛ 이상인 경우는, 시트 성형성을 악화시키기 때문에 바람직하지 않다. 상기한 조건으로 연자성 편평 분말을 제조함으로써, 시트 성형성이 양호하고, 투자율이 높은 분말을 제작할 수 있다.

본 발명은, 상기 연자성 편평 분말의 제조 방법으로서, 아토마이즈법에 의해 제작된 연자성 합금 분말을, 편평화하는 편평 가공 공정과, 진공 분위기 하 또는 불활성 가스 중에서 열처리하는 열처리 공정을 포함하는 연자성 편평 분말의 제조 방법을 제공한다.

이하, 본 발명에 대하여 상세하게 설명한다. 본 발명에 의한 연자성 편평 분말은, 원료 분말 제작 공정과, 편평 가공 공정과, 열처리 공정을 포함하는 제조 방법에 의해 제조된다. 이하에 각각의 공정에 대하여 설명한다.

<원료 분말 제작 공정>

본 발명에 의한 연자성 편평 분말은, 연자성 합금 분말을 편평화 처리함으로써 제작할 수 있다. 연자성 합금 분말은 보자력의 값이 낮은 분말인 것이 바람직하고, 포화 자화의 값이 높은 분말인 것이 보다 바람직하다. 일반적으로, 보자력과 포화 자화의 값이 우수한 것은, Fe-Si-Al계 합금이다.

연자성 합금 분말은 가스 아토마이즈법, 물 아토마이즈법이라는 각종 아토마이즈법에 의해 제작된다. 연자성 합금 분말의 함유 산소량은 적은 쪽이 보다 바람직하기 때문에, 가스 아토마이즈법에 의한 제조가 바람직하고, 불활성 가스를 사용한 제조가 보다 더 바람직하다. 디스크 아토마이즈법에 의한 방법으로도 문제없이 제조할 수 있지만, 양산성(量産性)의 관점에서는, 가스 아토마이즈법이 우수하다.

본 발명에 사용되는 연자성 합금 분말의 입도는 특별히 한정되지 않지만, 편평 가공 후의 평균 입경을 조정하는 목적 또는, 함유 산소량이 많은 분말을 제거하는 목적, 그 외에, 제조 상의 목적에 따라 분급되어도 된다.

<편평 가공 공정>

다음에, 상기 연자성 합금 분말을 편평화한다. 편평 가공 방법은 특별히 제한은 없고, 예를 들면, 아트리토, 볼밀(ball mill), 진동 밀 등을 사용하여 행할 수 있다. 그 중에서도, 비교적 편평 가공 능력이 우수한 아트리토를 사용하는 것이 바람직하다. 또한, 건식으로 가공을 행하는 경우에는, 불활성 가스를 사용하는 것이 바람직하다. 습식으로 가공하는 경우에는, 유기 용매를 사용하는 것이 바람직하다. 유기 용매의 종류에 대해서는 특별히 한정되지 않는다.

유기 용매의 첨가량은, 연자성 합금 분말 100 질량부에 대하여, 100 질량부 이상인 것이 바람직하고, 200 질량부 이상인 것이 보다 바람직하다. 유기 용매의 첨가량의 상한은 특별히 한정되지 않고, 요구하는 편평 가루의 크기·형상과, 생산성의 밸런스에 따라 적절히 조정이 가능하다. 산소 함유량을 낮게 하기 위하여, 유기 용매 중의 수분 농도는, 유기 용매 100 질량부에 대하여, 0.002 질량부 이하로 가공하는 것이 바람직하다. 유기 용매와 함께 편평화 조제(助劑)를 사용해도 되지만, 산화를 억제하기 위하여, 연자성 합금 분말 100 질량부에 대하여, 5 질량부 이하인 것이 바람직하다.

<열처리 공정>

다음에, 상기 연자성 편평 분말을 열처리한다. 열처리 장치에 대하여 특별히 제한은 없지만, 열처리 온도는 700℃∼900℃의 조건으로 열처리되는 것이 바람직하다. 해당 온도에서 열처리를 행함으로써, 보자력이 저하되고, 고투자율의 연자성 편평 분말로 된다. 또한, 열처리 시간에 대하여 특별히 제한은 없고, 처리량이나 생산성에 따라 적절히 선택되면 된다. 장시간 열처리의 경우, 생산성이 저하되므로, 5시간 이내가 바람직하다.

본 발명에 사용되는 연자성 편평 분말에 있어서는, 산화를 억제하기 위하여 진공 중 또는 불활성 가스(예를 들면, 아르곤 가스) 중에서 열처리되는 것이 바람직하다. 표면 처리의 관점에서, 질소 가스 중에서 열처리되어도 되지만, 그 경우에는 보자력의 값이 상승하고, 투자율은 진공으로 열처리된 경우와 비교하여 저하되는 경향이 있다.

본 발명에 의한 연자성 편평 분말은, Fe-Si-Al계 합금으로 이루어지고(comprising), 바람직하게는 Fe-Si-Al계 합금으로 실질적으로 이루어지고(consisting essentially of), 보다 바람직하게는 Fe-Si-Al계 합금만으로 이루어지고(consisting of), 또한 하기의 모든 물성을 충족한다.

[평균 입경 D₅₀: 30∼50㎛ 미만]

연자성 편평 분말의 평균 입경 D₅₀은 30∼50㎛ 미만이며, 40∼50㎛ 미만인 것이 바람직하다. 평균 입경이 30㎛ 미만에서는, 아스펙트비가 높은 편평 분말을 얻기 어렵고, 실수부 투자율 μ'가 낮아지는 경향이 있다. 또한, 평균 입경이 지나치게 크면, 시트 성형이 곤란해지므로 바람직하지 않다. 또한, 평균 입경이 50㎛ 이상에서는, 시트 표면의 저항률이 저하되는 경향이 있어, 이것을 방지하기 위해 특별한 처리가 필요해지므로, 성능면, 비용면에서 바람직하지 않다.

[보자력 Hc: 176A/m 이하]

연자성 편평 분말의 길이 방향으로 자장을 인가하여 측정한 보자력 Hc는, 176A/m 이하이며, 120A/m 이하인 것이 바람직하고, 100A/m 이하인 것이 더욱 바람직하다. 본 발명의 청구범위에 있어서, 보자력의 값이 낮을수록, 투자율은 보다 높아지는 경향이 있다. 그러므로, 보자력의 하한은 특별히 한정되지 않지만, 제조 조건상, 40A/m 이하로 하는 것은 곤란하다.

[진밀도에 대한 탭 밀도의 비: 0.18 이하]

연자성 편평 분말의, 진밀도에 대한 탭 밀도의 비는 0.18 이하이며, 0.16 이하인 것이 바람직하다. 탭 밀도의 하한은 특별히 한정되지 않지만, 탭 밀도는 가공이 진행될수록 단조 저하되는 경향이 있고, 장시간의 가공은, 평균 입경의 저하와 보자력의 상승을 초래하므로 바람직하지 않다.

[비표면적 BET값: 0.6㎡/g 이상]

본 발명의 연자성 편평 분말의 비표면적 BET값은, 0.6㎡/g 이상이며, 0.8㎡/g 이상인 것이 바람직하고, 1.0㎡/g 이상인 것이 더욱 바람직하다. 본 발명의 연자성 편평 분말의 비표면적 BET값의 상한값은 특별히 한정되지 않지만, 대략 1.5㎡/g 이하인 것이 바람직하다. 또한, 본 발명의 연자성 편평 분말의 아스펙트비(편평 분말의 장축과 편평 분말의 단축의 비)는, 20 이상인 것이 바람직하다. 아스펙트비가 20 미만에서는, 반자계가 커지고, 겉보기 투자율이 저하된다.

[함유 산소 농도: 0.6% 이하]

본 발명의 연자성 편평 분말의 함유 산소 농도는, 0.6% 이하이며, 0.3% 이하인 것이 바람직하다. 연자성 편평 분말 중의 산소의 존재 형태는, 입계 석출 산화물과 분말 표면 산화물의 2가지 형태가 있다고 생각되지만, 어느쪽이나 보자력의 상승을 초래하는 원인으로 생각되므로 바람직하지 않다. 입계 석출 산화물의 양은 원료 분말의 제작 공정과, 편평 가공 공정에서의 산화를 억제함으로써 낮게 할 수 있다. 또한, 분말 표면 산화물의 양은 편평 가공 공정과 열처리 공정에서의 산화를 억제함으로써 낮게 할 수 있다. 그리고, 본 명세서에서, 「함유 산소 농도」, 「함유 산소량」, 「산소값」등의 용어는, 호칭의 상이에만 기초하여, 서로로부터 구별되는 것은 아니다.

[산소값/BET값 ≤ 0.50]

분말의 함유 산소나 질소의 분석에 있어서는, 표면에 부착되는 가스의 영향에 의하여, 미세하며 비표면적이 큰 분말일수록, 검출값이 높아지는 경향이 있다. 분말의 평균 입경이 작고, 아스펙트비가 큰 분말은 BET(㎡/g)값이 높아진다. 반대로 말하면, 함유 산소량이 동등한 경우, BET(㎡/g) 값이 큰 분말 쪽이, 실질적인 함유 산소량은 작다고 생각된다. 그래서, 본 발명자들은, 평균 입경이 작은 분말에 대하여, 산소값/BET값의 비(이하, 「산소값/BET값」이라고 함)을 평가하였다. 실시예에 나타낸 바와 같이, 본 발명자들이 개발한 산소값/BET값이 낮은 분말은, μ'의 값 도 높게 되었다. 자세한 것은 불분명하지만, 함유 산소량이 적은 것은, 열처리 시의 입자 성장(grain growth)을 저해하는, 산화물의 피닝 효과(pinning effect)가 발생하기 어렵기 때문에, 보자력이 낮아지고, 자기(磁氣) 특성의 면에서 유리해진다고 생각된다. 또한, 함유 산소량의 저감에 대해서는, 전술한 공정에서 일부 예시한 바와 같이, 극력 산화를 억제하는 연구에 의해 달성했다.

본 발명의 연자성 편평 분말에 있어서는, BET값과 산소값이 상기한 조건을 만족시키는 것이며, 산소값/BET값으로 산출되는 값은 0.50 이하이며, 0.40 이하인 것이 바람직하고, 0.30 이하인 것이 더욱 바람직하다. 단, 제조 상, 분말의 함유 산소량을 0mass%로 하는 것은 곤란하므로, 산소값/BET값의 값은 0을 포함하지 않는다(즉, 0을 초과함).

또한, 시트 성형 후의 절연성을 높이는 등의 관점에서는, 표면 처리된 분말이 적합하게 되는 경우가 있고, 본 발명의 편평 가공 방법으로 제조된 분말에 대하여, 열처리 공정 중 또는 열처리 공정의 전후에서, 표면 처리 공정을 필요에 따라 더해도 된다. 예를 들면, 표면 처리를 위하여, 활성 가스를 미량으로 포함하는 분위기 하에서 열처리되어도 된다.

또한, 종래부터 제안되고 있는 시안계 커플링제로 대표되는 표면 처리에 의해, 내식성(耐蝕性)이나 고무에 대한 분산성을 개선하는 것도 가능하다. 또한, 자성 시트의 제조 방법도 종래 제안되고 있는 방법으로 가능하다. 예를 들면, 톨루엔에 염소화 폴리에틸렌 등을 용해한 것에 편평 분말을 혼합하고, 이것을 도포, 건조시킨 것을 각종 프레스나 롤로 압축함으로써 제조할 수 있다.

[실시예]

이하, 발명에 대하여, 실시예에 의해 구체적으로 설명한다.

(편평 분말의 제작)

가스 아토마이즈법 또는 디스크 아토마이즈법에 의해 소정 성분의 분말을 제작하고, 150㎛ 이하로 분급하였다. 가스 아토마이즈는 알루미나제 도가니를 용해에 사용하고, 도가니 아래의 직경 5㎜의 노즐로부터 합금 용탕(溶湯)을 출탕하고, 여기에 고압 아르곤 가스를 분무함으로써 실시하였다. 이것을 원료 분말로 하고, 아트리토에 의해 편평 가공하였다. 아트리토에는 SUJ2제의 직경 4.8㎜의 볼을 사용하고, 원료 분말과 공업 에탄올과 함께 교반 용기에 투입하고, 날개의 회전수를 300rpm으로 하여 가공을 행하였다. 공업 에탄올의 첨가량은, 원료 분말 100 질량부에 대하여 200∼500 질량부로 하였다. 편평화 조제는 첨가하지 않거나, 또는 원료 분말 100 질량부에 대하여 1∼5 질량부로 하였다. 편평 가공 후에 교반 용기로부터 취출한 편평 분말과 공업 에탄올을 스테인레스제의 접시로 옮겨, 80℃에서 24시간 건조시켰다. 이와 같이 하여 얻은 편평 분말을 진공 중 또는 아르곤 가스 중에서, 700∼900℃에서 2시간 열처리하고, 각종 평가에 사용하였다.

(편평 분말의 평가)

얻어진 편평 분말의 평균 입경, 진밀도, 탭 밀도, 산소 함유량, 질소 함유량, 보자력을 평가하였다. 평균 입경은 레이저 회절법, 진밀도는 가스 치환법으로 평가하였다. 탭 밀도는 약 20g의 편평 분말을 용적 100㎤의 실린더에 충전하고, 낙하 높이 10㎜, 탭 횟수 200회 시의 충전 밀도로 평가하였다. 보자력은 직경 6㎜, 높이 8㎜의 수지제 용기에 편평 분말을 충전하고, 이 용기의 높이 방향으로 자화된 경우와, 직경 방향으로 자화한 경우의 값을 측정하였다. 그리고, 편평 분말은 충전된 원기둥의 높이 방향이 두께 방향으로 되어 있으므로, 용기의 높이 방향으로 자화된 경우가 편평 분말의 두께 방향, 용기의 직경 방향으로 자화한 경우가 편평 분말의 길이 방향의 보자력으로 된다. 인가 자장은 144kA/m로 실시하였다.

(자성 시트의 제작 및 평가)

톨루엔에 염소화 폴리에틸렌을 용해하고, 여기에 얻어진 편평 분말을 혼합 분산하였다. 이 분산액을 폴리에스테르 수지에 두께 100㎛ 정도로 도포하고 상온상습에서 건조시켰다. 그 후, 130℃, 15MPa의 압력으로 프레스 가공하여 자성 시트를 얻었다. 자성 시트의 사이즈는 150㎜ 각으로 두께는 50㎛이다. 그리고, 자성 시트 중의 편평 분말의 체적 충전율은 모두 약 50%였다. 다음에, 이 자성 시트를 외경(外徑) 7㎜, 내경(內徑) 3㎜의 도넛형으로 잘라내고, 임피던스 측정기에 의해, 실온에서 1MHz에서의 임피던스 특성을 측정하고, 그 결과로부터 투자율(복소 투자율의 실수부: μ')을 산출하였다. 또한, 얻어진 자성 시트의 단면(斷面)을 수지 매립 연마하고, 그 광학 현미경상으로부터, 길이 방향의 길이와 두께를 랜덤으로 50분말 측정하고, 이 길이 방향의 길이와 두께의 비를 평균하여 아스펙트비로 하였다.

이상, 본 발명을 실시예에 기초하여 설명하였으나, 본 발명은 본 실시예에 특별히 한정되지 않는다. 또한, 비교예는 후술하는 표 1에 나타낸 조건을 적절히 상이하게 하여 제작하였다. 표 1에 평가 결과를 나타낸다.

[표 1]

주 1) 언더라인은 본 발명 조건 외

주 2) GA:가스 아토마이즈법, DA:디스크 아토마이즈법, WA:물 아토마이즈법

표 1에 나타낸 바와 같이, No.1∼22는 본 발명예이며, No.23∼38은 비교예이다.

비교예 No.23, 24는 본 발명예와 비교하여, 진밀도에 대한 탭 밀도의 비가 높고, 편평 가공이 진행되고 있지 않가 때문에 투자율의 값이 향상되지 않는다. 덧붙여, No.23은 산소값/BET값의 값이 높고, 분말 형상에 대한 산소의 값이 높기 때문에 투자율이 향상되지 않는다. 비교예 No.25는 본 발명예와 비교하여, 대기 중에서 열처리되어 있어, 산소값이 높고, 그 때문에 산소값/BET값 및 보자력이 높으므로, 투자율의 값이 향상되지 않는다.

비교예 No.26∼28은 본 발명예와 비교하여 진밀도에 대한 탭 밀도의 비가 높다. 덧붙여, No.26, 27은 BET값이 낮고, 산소값/BET값의 값이 낮다. 이 때문에 투자율의 값이 향상되지 않는다. 비교예 No.29는 본 발명예와 비교하여, 평균 입경이 작다. 또한, 산소값이 높고, 산소값/BET값의 값이 낮고, 보자력이 높기 때문에 투자율의 값이 향상되지 않는다.

비교예 No.30은 본 발명예와 비교하여, 진밀도에 대한 탭 밀도의 비가 높고, BET값이 낮기 때문에 투자율의 값이 향상되지 않는다. 비교예 No.31은 본 발명예와 비교하여, 평균 입경이 크고, 산소값/BET값이 높기 때문에 투자율의 값이 향상되지 않는다. 비교예 No.32는 본 발명예와 비교하여, 열처리 온도가 높고, 산소값이 높고, 산소값/BET값이 높고, 보자력이 높다. 이 때문에 투자율이 향상되지 않는다.

비교예 No.33은 본 발명예와 비교하여, 물 아토마이즈로 조업(操業)되고 있다. 또한, 산소값이 높고, 산소값/BET값이 높고, 보자력이 높다. 이 때문에 투자율이 향상되지 않는다. 비교예 No.34는 본 발명예와 비교하여, 산소값/BET값이 높기 때문에 투자율이 향상되지 않는다. 비교예 No.35는 본 발명예와 비교하여, 산소값이 높고, 산소값/BET값이 높기 때문에 투자율이 향상되지 않는다.

비교예 No.36은 본 발명예와 비교하여, 열처리 온도가 낮고, 보자력이 높기 때문에 투자율이 향상되지 않는다. 비교예 No.37은 본 발명예와 비교하여, 질소 중에서 열처리되어 있어, 보자력이 높아지고, 투자율이 향상되지 않는다. 비교예 No.38은 본 발명예와 비교하여, 열처리 공정이 없고, 보자력이 높기 때문에 투자율이 향상되지 않는다.

이에 대하여, 본 발명 No.1∼22는 모두 본 발명의 조건을 만족시키고 있으므로, 시트 성형성이 우수하고, 또한 높은 투자율을 가지는 연자성 편평 분말을 제조하는 것을 가능하게 하였다.

이상 설명한 바와 같이, 본 발명에 관한 조건을 만족시키는 연자성 편평 분말을 사용함으로써, 투자율이 충분히 높은 전자파 흡수 체용 자성 시트를 제조할 수 있다고 하는 극히 우수한 효과를 얻을 수 있다.

Claims (2)

1. Fe-Si-Al계 합금으로 이루어지는 편평 분말로서,
   평균 입경 D₅₀이 30∼50㎛ 미만,
   편평 분말의 길이 방향으로 자장을 인가하여 측정한 보자력 Hc가 176A/m 이하,
   진밀도에 대한 탭 밀도(tap density)의 비가 0.18 이하,
   비표면적 BET값이 0.6㎡/g 이상,
   함유 산소량이 0.6mass% 이하이며, 또한
   연자성 분말의 BET값과 함유 산소량이 하기 식(1)을 만족시키는, 연자성 편평 분말:
   함유 산소량/BET값 ≤ 0.50(단, 0은 포함하지 않음) …(1).
2. 제1항에 기재된 연자성 편평 분말의 제조 방법으로서,
   가스 아토마이즈법 또는 디스크 아토마이즈법에 의해 원료 분말을 제작하는 원료 분말 제작 공정,
   상기 원료 분말을 편평화하는 편평 가공 공정, 및
   편평 가공된 상기 원료 분말을 진공 또는 아르곤 분위기에서, 700∼900℃로 열처리하는 열처리 공정
   을 포함하는, 연자성 편평 분말의 제조 방법.