KR102338109B1

KR102338109B1 - 보틀 공급 시스템 및 보틀 캡 어댑터

Info

Publication number: KR102338109B1
Application number: KR1020150051779A
Authority: KR
Inventors: 트라이켈 올리버; 카르탈 수아입; 메키아스 카더; 폴레이 아론; 조지 그렉
Original assignee: 수스 마이크로텍 리소그라피 게엠바하
Priority date: 2014-04-11
Filing date: 2015-04-13
Publication date: 2021-12-10
Also published as: JP2016172587A; EP2930564A1; CN104973554B; US20150293453A1; TWI701191B; TW201601974A; KR20150118054A; JP6557500B2; EP2930564B1; CN104973554A; US9458002B2

Abstract

본 발명은, 액체, 특히 점성 액체를 공급하기 위한 보틀 캡 어댑터이며, 바디부; 및 제1 개구 및 제2 개구를 포함하는 벤트 튜브로서, 상기 제1 개구는 보틀의 바닥 근방에 있어서 당해 보틀 내부에 배치되도록 구성되는, 벤트 튜브를 포함하고, 상기 바디부는 제1면 및 제2면을 포함하고, 상기 제1면은 상기 벤트 튜브에 대해 수직이고, 상기 제2면은 제1면에 나란하거나, 0° 내지 40°로 상기 제1면에 대해 경사져 있고, 상기 바디부는 상기 제1면으로부터 상기 제2면으로의 채널을 더 포함하고, 상기 채널의 적어도 하나의 부분은, 상기 제2면으로 연장하며 상기 보틀의 커넥터에 상보적인 커넥터를 포함하고, 상기 바디부는 보틀 공급 시스템에 커플링되도록 더 구성되고, 상기 벤트 튜브는 상기 바디부의 상기 채널에 적어도 부분적으로 위치되는, 보틀 캡 어댑터에 관한 것이다.
또한, 본 발명은, 액체, 특히 점성 액체를 공급하기 위한 보틀 공급 시스템으로서, 보틀 캡 어댑터를 수용하도록 구성되는 상부; 상기 보틀 캡 어댑터에 삽입된 보틀로부터 소정량의 액체를 받아들이도록 구성되는 저장조를 포함하고, 또한 상기 보틀 내에 있어서의 유체 레벨을 측정하도록 구성되는 압력 센서를 포함하는 저부; 및 상기 저장조에 접속되는 아웃풋을 포함하는, 보틀 공급 시스템에 관한 것이다.

Description

보틀 공급 시스템 및 보틀 캡 어댑터{BOTTLE SUPPLY SYSTEM AND BOTTLE CAP ADAPTER}

본 발명은 보틀 캡 어댑터, 보틀 공급 시스템, 그리고 보틀 캡 어댑터와 보틀 공급 시스템을 포함하는, 액체를 공급하기 위한 시스템에 관한 것이다. 보틀 공급 시스템과 함께 보틀 캡 어댑터는, 구체적으로는, 예를 들어 포토리소그래피를 위한 포토레지스트 등의 점성 액체에 적용된다.

예를 들어, 포토레지스트 등의 포토케미컬의 비용이 높기 때문에, 모든 재료가 마지막 한 방울까지 프로세스 중에 사용될 필요가 있다. 현재의 시스템은, 예를 들어, 포토케미컬 등의 액체의 보틀로부터 액체를 인출하는데 딥 튜브(dip tube)에 의존하고 있는데, 이에 있어서는, 항상 바닥에 있어서의 해당 액체의 작은 퍼센테이지가 낭비되어 버리고 있다.

게다가, 보틀 밖으로 액체를 인출하기 위해 딥 튜브에 의존하고 있는 현재의 시스템은 보틀의 교환에 문제를 갖고 있다: 튜브의 바닥에서 공기 버블들이 트랩될 수 있고, 이것이 이어서 프로세스 라인들 내에서 이송될 수 있다. 공기 버블들은, 밖으로 퍼지되지 않을 경우, 생산 비용의 증가와 함께 손실로 이어지는 프로세스 결함을 일으킬 것이다. 이러한 결함을 회피하기 위한 통상의 방법은 버블 트랩을 통해 보틀의 각각의 교환 후에 버블을 퍼지하는 것인데, 이것은 그렇지 않았다면 프로세스에 있어서 사용될 수 있는 케미컬의 추가적인 낭비를 초래한다.

용기로부터 거의 99%의 유체를 인출할 수 있는 다른 시스템이 존재한다. 그러나, 이들 용기는 ATMI/NOW에 의해 제공되는 소위 "NOWPACK" 등의 고비용의 패키징 시스템에만 들어맞는다.

피닉스 세미크론 코퍼레이션(Phenix Semicron Corp)이 반전형 보틀 시스템을 제공하고 있다. 그러나, 이 시스템은 꽤 벌키(bulky)하여 전형적인 코터 모듈 및/또는 디벨로퍼 모듈에서 수용가능한 기존의 공구에 있어서 보다 많은 공간을 필요로 할 수 있다. 또한, 피닉스 세미크론 코퍼레이션에 의한 반전형 보틀 시스템은, 낮은 점도의 재료에 대해 특히 적합하며, 변형없이는, 보다 높은 점도의 재료에는 양호하게 기능하지 않을 수도 있다.

또한, 종래의 시스템은, 보틀에 남아있는 유체의 레벨을, 역시 낭비의 가능성과 프로세스 라인 내로의 버블의 침입을 증가시키는 비움(empty) 검출 시스템 또는 레벨의 연속적 표시를 제공하는 스케일을 사용하여 표시한다. 그러나, 종래의 스케일 시스템은, 어느 한 설정으로부터 다른 설정으로의 상이한 배관에 의해 로드가 부여됨에 따라 수개의 문제에 면하기 쉽다.

포토레지스트를 보틀로부터 펌핑하는 것 대신에, 보틀이 반전되어, 즉 보틀을 상하 뒤집는 것이 본 발명의 요지이다. 이 구성에 의해, 펌프를 사용하는 것이 아니라 중력에 의해서 포토레지스트가 공급되어 애당초 펌핑 중의 공기 버블들의 발생이 배제된다. 또한, 예를 들어 포토레지스트 등의 포토케미컬이 최초에 저장조로 공급되므로, 저장조 내의 버퍼 볼륨 덕분에, 보틀 교환 중에 공급의 중단이 없다. 벤트 튜브 덕분에, 특히 보틀 교환 중에, 보틀의 추가적인 벤팅이 필요없다.

액체를 공급하기 위한 보틀 캡 어댑터, 보틀 공급 시스템, 및 보틀 캡 어댑터와 보틀 공급 시스템을 포함하는 액체를 공급하기 위한 시스템을 제공하는 것이 본 발명의 일 목적이다.

본 발명의 이러한 목적은 독립 청구항의 특징에 의해 달성된다. 종속 청구항은 바람직한 실시형태들을 나타낸다.

본 발명은, 액체, 특히 점성 액체를 공급하기 위한 보틀 캡 어댑터이며, 바디부; 및 제1 개구 및 제2 개구를 포함하는 벤트 튜브로서, 상기 제1 개구는 보틀의 바닥 근방에 있어서 당해 보틀 내부에 배치되도록 구성되는, 벤트 튜브를 포함하는 보틀 캡 어댑터에 관한 것이다. 상기 바디부는 제1면 및 제2면을 더 포함한다. 상기 제1면은 상기 벤트 튜브에 대해 수직이고, 상기 제2면은 상기 제1면에 나란하거나, 상기 제1면에 대해 0° 내지 40°로 경사져 있다. 환언하면, 벤트 튜브가 z 방향으로 배향되어 있고 상기 제1면이 x-y 평면에 놓여있는 데카르트 x-y-z 좌표계에서, 상기 제2면은 상기 제1면에 나란하거나, 상기 제1면에 대해 x 방향 또는 y 방향으로 소정 각도로 경사져 있다. 상기 바디부는 상기 제1면으로부터 상기 제2면으로의 채널을 더 포함한다. 상기 채널의 적어도 하나의 부분은 상기 제2면으로 연장하는 커넥터를 포함한다. 이 커넥터는 상기 보틀의 커넥터에 상보적이다. 상기 바디부는 보틀 공급 시스템에 커플링되도록 더 구성된다. 상기 벤트 튜브는 상기 바디부의 상기 채널에 적어도 부분적으로 위치된다.

바람직하게는, 채널에 포함되는 커넥터는, 보틀의 대응하는 스크류-마개의 외부 쓰레드를 받아들이도록 구성되어 있는 내부 쓰레드이다. 대안으로서는, 보틀이 예를 들어 그라운드 글라스 조인트를 구비하면, 커넥터는 대응하는 암(female) 그라운드 조인트일 수 있다.

바람직하게는, 공급되는 액체는, 포토리소그래피 프로세스, 특히 미소구조형성(microstructuring) 분야에서 사용될 수 있는 포토레지스트 또는 임의의 다른 액체일 수 있다. 바람직하게는, 보틀 캡 어댑터는 직립 위치에서 보틀 상에 설치될 수 있고, 또한 플립핑(flipping) 및 설치 조작 중에 누설을 방지하도록 밀봉될 수 있다.

바람직하게는, 채널의 커넥터의 내부단에서 각각의 리세스에 시일이 삽입되어, 보틀의 상보적 커넥터의 헤드는, 바디부의 커넥터에 접속되었을 때 상기 시일에 의해 밀봉된다.

본 발명의 일 실시형태에 따르면, 보틀 캡 어댑터는, 보틀의 장착 중에 벤트 튜브의 제1 개구를 밀봉하도록 구성되고, 또한 보틀로부터 보틀 공급 시스템으로의 액체의 분배 중에 제1 개구를 개봉하도록 구성된 벤트 튜브 헤드를 더 포함한다.

환언하면, 벤트 튜브는, 보틀 캡 어댑터의 설치 중에 폐색될 수 있고, 플립핑 조작이 일어나고 보틀이 사용을 위해 베이스에 놓여질 수 있는 후에만 개방될 수 있다.

바람직하게는, 벤트 튜브는 제1 개구에서 또는 제1 개구의 근방에서 벤트 튜브 헤드에 의한 벤트 튜브의 제1 개구의 밀봉을 지원하도록 시일을 갖는다. 바람직하게는, 벤트 튜브는, 벤트 튜브 헤드의 밀착 끼워맞춤(tight-fit) 시트(seat)를 위해 구성된 확장된 시트 에리어를 갖는다. 바람직하게는, 벤트 튜브 헤드는 예컨대 T자 형상의 대응하는 형상을 갖는다.

본 발명의 일 실시형태에 따르면, 보틀 캡 어댑터는, 보틀의 장착 중에 벤트 튜브의 제2 개구를 밀봉하도록 구성되고, 또한 보틀로부터 보틀 공급 시스템으로의 액체의 분배 중에 제2 개구를 개봉하도록 구성되어 있는 플런저를 더 포함하고, 이 플런저는 또한, 보틀의 장착 중에 바디부에 있어서의 액체 유로를 폐색하도록 구성되고, 또한 보틀로부터 보틀 공급 시스템으로의 액체의 분배 중에 그 액체 유로를 개방하도록 구성된다.

바람직하게는, 액체 유로가 바디부의 채널 내부에 있다. 환언하면, 벤트 튜브가 바디부의 채널에 삽입되면, 채널의 내벽과 벤트 튜브의 외벽 사이에 액체 유로가 형성될 수 있다.

바람직하게는, 바디부의 채널의 제2 개구는 원뿔 형상이다. 바람직하게는, 플런저는, 채널의 제2 개구의 원뿔 형상의 내측 시작부분(beginning)에서 바디부의 제2 채널을 폐색 및 개방하도록 구성된다.

본 발명의 일 실시형태에 따르면, 벤트 튜브는, 제2 개구의 밀봉 및 개봉 그리고 액체 유로의 폐색 및 개방과 각각 동기하여, 벤트 튜브 헤드가 벤트 튜브의 제1 개구를 밀봉 및 개봉하도록 구성되도록, 벤트 튜브 헤드와 플런저를 접속하도록 구성되어 있는 샤프트를 더 포함한다. 환언하면, 벤트 튜브 헤드와 플런저의 양방이 바람직하게는 동일한 방향으로 동시에 이동할 수 있어서, 제1 개구 및 제2 개구의 대응하는 개방 및 폐색이 동기화된다. 바람직하게는, 벤트 튜브 헤드와 플런저의 동기화는 기계적 수단 및/또는 전기적 수단에 의해 수행될 수 있다. 그러나, 당업자라면 이러한 동기화는 임의의 다른 적합한 수단에 의해 수행될 수도 있음을 이해할 수 있다.

본 발명의 일 실시형태에 따르면, 보틀 캡 어댑터의 바디부가 상측부, 중간부 및 하측부를 포함하고, 상측부는 제2면을 포함하고, 하측부는 제1면을 포함하고, 중간부는 상측부와 하측부 사이에 위치된다.

본 발명의 일 실시형태에 따르면, 벤트 튜브가 상측 튜브 및 하측 튜브를 포함하고, 상측 튜브는 제1 개구를 포함하고 하측 튜브는 벤트 튜브의 제2 개구를 포함한다. 바람직하게는, 상측 튜브와 하측 튜브가 접속되고, 보다 바람직하게는 밀봉된 접속 어셈블리(sealed connection assembly)에 의해 접속된다.

본 발명의 일 실시형태에 따르면, 바디부는, 보틀 캡 어댑터를 보틀 공급 시스템과 정렬하기 위한 정렬 핀을 더 포함한다. 이 핀은, 보틀 캡이 보틀 공급 시스템에 장착/도킹될 때 당해 보틀 캡이 적절히 정렬되었는지를 확인하기 위해 보틀 공급 시스템에서의 각각의 정렬 센서에 대한 기준 물체로서 사용될 수 있다. 핀 및 각각의 정렬 센서는 바람직하게는 광학, 자기 및/또는 전기적 수단에 기초할 수 있다.

또한, 본 발명은, 특히 점성 액체인, 액체를 공급하기 위한 보틀 공급 시스템에 관한 것으로, 이 보틀 공급 시스템은, 바람직하게는 본 발명의 실시형태 중 어느 하나에 따른 보틀 캡 어댑터인 보틀 캡 어댑터를 수용하도록 구성된 상부; 보틀 캡 어댑터에 삽입된 보틀로부터 소정량의 액체를 받아들이도록 구성되고, 보틀에 있어서의 유체 레벨을 측정하도록 구성된 압력 센서를 포함하는 저장조를 포함하는 저부; 및 저장조에 접속된 아웃풋(output)을 포함한다.

바람직하게는, 보틀 공급 시스템의 상부 및 저부가 플러그 커넥션에 의해 접속된다. 바람직하게는, 상기 커넥션은 적어도 하나의 시일을 포함한다. 당업자라면, 보틀 공급 시스템의 상부와 하부가 하나의 단일 부품으로서 형성될 수도 있음을 이해할 수 있다.

바람직하게는, 저장조는, 보틀의 교환 중에 어떤 량의 액체가 당해 저장조에 남아있도록 구성된다. 저장조에 있어서의 이 액체의 잔량에 의해, 특히 무엇보다도, 공기 버블들이 프로세스 라인으로 들어오는 것이 회피될 수 있다. 환언하면, 저장조에 잔류하는 액체로 인해서, 교체 보틀의 액체가 저장조에 있어서 이전의 보틀로부터 액체 잔존부로 끊어짐없이 흐른다. 바람직하게는, 저장조는 100ml의 최소 용량을 갖는다. 바람직하게는, 저장조는, 보틀이 완전히 비워져서 교체 보틀에 의해 교체되어야 될 때라도, 예를 들어 100ml의 미리 결정된 량의 액체로 충진된다.

본 발명의 일 실시형태에 따르면, 보틀 공급 시스템은, 저장조에 접속되고 및/또는 액체에서 발생하는 버블을 저장조로부터 퍼지 튜브로 이송하도록 구성된 버블 퍼지 포트를 더 포함한다.

바람직하게는, 퍼지 튜브의 개방단은 보틀 공급 시스템의 외측에 위치되고, 보다 바람직하게는 저장조 상방에 위치된다.

본 발명의 일 실시형태에 따르면, 보틀 공급 시스템은, 당해 보틀 공급 시스템에 삽입되었을 때, 보틀을 고정 및/또는 지지하도록 구성되어 있는 홀더를 더 포함한다.

바람직하게는, 홀더는, 보틀 또는 보틀의 적어도 일 부분이 고정되는 마운팅 및/또는 보틀 또는 보틀의 적어도 일 부분이 놓이는 마운팅이다.

본 발명의 일 실시형태에 따르면, 보틀 공급 시스템은, 바람직하게는 보틀 캡 어댑터의 상기 정렬 핀을 사용하여, 보틀 캡 어댑터가 보틀 공급 시스템과 적절하게 정렬되었는지를 측정하도록 구성된 정렬 센서를 더 포함한다.

본 발명의 일 실시형태에 따르면, 보틀 공급 시스템은, 보틀 캡 어댑터가 보틀 공급 시스템에 접근하고 있는지 및/또는 보틀 캡이 보틀 공급 시스템에 장착되었는지를 측정하도록 구성된 근접 센서를 더 포함한다.

본 발명의 일 실시형태에 따르면, 보틀 공급 시스템이 로킹 센서 및 슬라이드 플레이트를 더 포함하고, 슬라이드 플레이트는 보틀 공급 시스템에 보틀 캡 어댑터를 고정시키도록 구성되고, 로킹 센서는 보틀 공급 시스템에 보틀 캡 어댑터가 적절하게 고정되었는지를 측정하도록 구성된다.

바람직하게는, 슬라이드 플레이트는 U자 형상이다. 바람직하게는, 슬라이드 플레이트는 보틀 공급 시스템 및 보틀 캡 어댑터의 상부의 각각의 리세스에 밀어넣어지도록 구성된다.

본 발명의 일 실시형태에 따르면, 보틀 공급 시스템은 저장조의 중심에 위치된 핀을 더 포함한다. 이 핀은, 벤트 튜브의 개구가 밀봉 또는 개봉되고 또한 보틀 캡 어댑터의 바디부에 있어서의 액체 유로가 개방 또는 폐색되도록 보틀 캡 어댑터의 벤트 튜브의 플런저를 구동하도록 구성된다.

바람직하게는, 상기 핀은, 특히 대응하는 전술한 실시형태 중 하나에 따라, 벤트 튜브 헤드에 접속되어 있는 샤프트에 접속된 벤트 튜브의 플런저를 구동하도록 구성된다. 따라서, 핀은 벤트 튜브의 플런저 및 접속된 벤트 튜브 헤드의 양방을 바람직하게 구동할 수 있다.

본 발명의 일 실시형태에 따르면, 압력 센서는 저장조의 바닥측에 위치된다. 압력 센서는, 저장조와 보틀의 액체 컬럼에 의해 부여되는 압력을 측정함으로써 보틀에서의 유체 레벨을 측정하도록 구성될 수 있다. 환언하면, 바람직하게는 집적(integrated) 압력 센서인 압력 센서에 의해 충진 레벨 표시가 수행될 수 있다.

바람직하게는, 압력 센서는 상방의 액체 컬럼에 의해 부여되는, 즉 저장조와 보틀을 더한 것에 의해 부여되는 압력을 검출할 수 있다. 바람직하게는, 압력 센서는 연속적인 레벨 표시를 가능하게 할 수 있다. 바람직하게는, 압력은 충진 레벨의 함수일 수 있다. 바람직하게는, 압력 센서의 캘리브레이션이 충진 레벨의 선형화 및 정확한 표시를 가능하게 할 수 있다. 바람직하게는, 각 클러스트 제어 시스템의 소프트웨어는, 보다 바람직하게는 오퍼레이터의 요구되는 행동에 관한 정보-텍스트, 또는 심지어는 보틀의 일부 또는 모든 충진 레벨에 대한 알람과 함께, 보틀의 일부 또는 임의의 충진 레벨들에 대해 플래그들을 규정할 수 있다. 환언하면, 상기 소프트웨어는 풀(full) 보틀 또는 부분적으로 풀 보틀, 다가오거나 즉각적인 보틀 교환을 나타내는 충진 레벨들에 대해 플래그들을 규정할 수 있다.

바람직하게는, 안전 회로 또는 이상 인디케이션(failure indication)과 같이 보틀의 정확한 플러깅(plugging)을 검출하도록 구성된 추가적인 센서가 보틀 공급 시스템에 포함될 수 있다.

또한, 본 발명은, 상기 실시형태 중 임의의 하나에 따른 보틀 캡 어댑터와, 상기 실시형태 중 임의의 하나에 따른 보틀 공급 시스템을 포함하는, 액체를 공급하기 위한 시스템에 관한 것이다.

또한, 본 발명은, 이하의 단계들을 사용하여 보틀 공급 시스템의 압력 센서를 캘리브레이션하는 포인트 보간법(point interpolation method)에 관한 것이다.

(a) 보틀 캡 어댑터에 정확한(correct) 보틀을 설치하고, 보틀을 갖는 보틀 캡 어댑터를 보틀 공급 시스템 내로 설치하는 단계;

(b) 시스템을 턴온하는 단계;

(c) 보틀이 비워졌을 때 압력 센서의 센서 출력을 기록하는 단계;

(d) 바람직하게는 20ml인 미리 결정된 량의 액체를 시스템에 추가하고 시스템의 각각의 센서 출력을 기록하는 단계;

(e) 유체가 보틀 넥을 지나 보틀 플레어(flare)에 도달할 때까지 단계(d)를 반복하는 단계;

(f) 바람직하게는 100ml인 미리 결정된 량의 액체를 추가하고 센서 출력을 기록하는 단계;

(g) 유체가 보틀의 가장 넓은 부분에 도달할 때까지 단계(f)를 반복하는 단계;

(h) 바람직하게는 500ml인 미리 결정된 량의 액체를 추가하고 센서 출력을 기록하는 단계; 및

(i) 액체가 보틀의 최대 용량에 도달할 때까지 단계(h)를 반복하는 단계;

본 발명의 일 실시형태에 따르면, 상기 포인트 보간법은, 기록된 센서 출력으로부터 각각의 유체 레벨을 표현하는 함수를 산출하는 단계를 더 포함한다.

일 실시형태에 따르면, 상기 포인트 보간법은, 액체가 보틀의 최대 용량에 도달하였을 때 유체 레벨을 표현하는 함수의 값을 제로 또는 최대로 설정하는 단계를 더 포함한다. 환언하면, 제로 레벨 또는 최대 레벨이 설정되어 액체가 보틀의 최대 용량에 도달하였을 때의 값을 나타낼 수 있다.

일 실시형태에 따르면, 상기 포인트 보간법은, 보틀에 액체가 없을 때 유체 레벨을 표현하는 함수의 값을 제로 또는 최대로 설정하는 단계를 더 포함한다. 환언하면, 제로 레벨 또는 최대 레벨이 설정되어 보틀에 액체가 없을 때의 값을 나타낼 수 있다.

본 발명에 의하면, 포토케미컬이 채워진 보틀은, 그 보틀의 안전한 반전 및 교환을 위해, 밸브를 포함하는 어댑터에 접속될 수 있다. 점성이 높은 레지스트의 경우, 레지스트에서 포함된 버블의 상향 운동을 허용하기 위해서, 삽입 전에 보틀이 상하 뒤집힌 위치로 위치될 수 있다.

기술 분야에서 개시된 바와 같은 플립핑 메커니즘 없이 밀봉된 쓰레드가 형성된 캡 어댑터를 사용함으로써, 시스템의 풋프린트(footprint), 즉 요구되는 유틸리티 공간이, 예를 들어 50% 이상만큼 현저히 감소될 수 있다.

본 발명에 있어서, 보틀과 캡 어댑터는, 캡 어댑터가 장착된 보틀이 그 상하가 뒤집힌/반전된 위치로 정합될 때까지, 베이스 어셈블리 및/또는 액체 라인으로부터 완전히 분리될 수 있다.

본 발명에 있어서, 포토레지스트가 저장조로 유입할 수 있고 이어서 시스템의 나머지에서 펌핑될 수 있다. 이에 의해서, 보틀 내에 아무런 레지스트/케미컬 액체가 잔류하지 않는 것이 보장된다.

반전된 보틀 홀더의 베이스먼트에 저장조가 이미 포함되어질 수 있다. 저장조에 있어서의 버퍼 볼륨에 의해 부여되는, 보틀 교환 중의 인터럽트가 없다. 보틀 교환 중 추가적인 벤팅이 필요없다.

본 발명에 의하면, 보틀 캡 어댑터 및 보틀 공급 시스템에서, 레지스트에 대해 사용되는 모든 표준 보틀들이 사용될 수 있다. 이러한 문맥에서, 보틀 어댑터만이, 예컨대, 쓰레드나 어떤 다른 유형의 마개, 사이즈 등 보틀 개구의 인터페이스에 적응되어야 한다.

본 발명에 의하면, 재료 공급자에 의해 공급된 바와 같은 통상의 글라스 또는 PE 보틀과 같은 저비용의 패키징이 사용될 수 있다.

본 발명에 의하면, 벤트 튜브를 거쳐 대기에 시스템이 개방될 수 있으므로, 최소의 저항으로 액체의 중력 공급이 촉진된다.

본 발명에 있어서, 시스템은, 베이스에 있어서의 보틀의 존재 유무 및 적절한 클램핑을 검출하는 센서들을 구비할 수 있다. 이들 센서는, 적절한 설치 및 클램핑이 없을 경우 작동을 금지시키도록 구성될 수 있다.

*본 발명에 의하면, 특히 무엇보다도, 이하의 이점을 얻을 수 있다: 보틀 하장의 저장조를 채우기 위해 중력 공급을 이용하는 것, 보틀 교환 중에 발생할 수 있는 버블을 퍼지하기 위해 중력을 이용하는 것, 보틀 내 케미컬의 거의 100%를 사용할 수 있는 능력을 갖는 것, 및 압력 변환기(pressure transducer)를 사용하여 보틀 내 충진 레벨을 감지할 수 있는 능력을 갖는 것. 이들 이점에 의하여, 특히 무엇보다도, 시스템이 저비용의 재료 패키징을 사용하고 또한 시스템이 유체를 인출하는 알려진 방법에 반하여 보틀 내부 유체의 거의 100%를 활용할 수 있으므로, 시스템이 비용 효과적이 된다.

도 1은 본 발명의 일 실시형태에 따른 보틀 캡 어댑터의 개략도를 도시한다.
도 2a는 본 발명의 일 실시형태에 따른, 보틀 캡 어댑터가 장착되고 또한 보틀이 삽입된 상태의 액체를 공급하기 위한 시스템의 개략도를 도시한다.
도 2b는 도 2a에 도시된 시스템의 확대된 부분에 대한 개략도를 도시한다.
도 3은 본 발명의 다른 실시형태에 따른, 보틀 캡 어댑터가 장착된 상태의 보틀 공급 시스템의 개략 후면도 및 개략 측면도를 도시한다.
도 4는 본 발명의 또 다른 실시형태에 따른, 보틀 캡 어댑터가 장착된 상태의 보틀 공급 시스템의 개략 후면도 및 개략 측면도를 도시한다.
도 5는 본 발명의 또 다른 실시형태에 따른, 보틀 캡 어댑터가 장착된 상태의 보틀 공급 시스템의 개략 후면도 및 개략 측면도를 도시한다.

도 1은 본 발명의 일 실시형태에 따른 보틀 캡 어댑터(100)의 개략도이다. 보틀 캡 어댑터(100)는, 상측부(113), 중간부(114) 및 하측부(115)의 3개의 서브 파트들로 분리되는 바디부(101)를 포함하고 있다. 상측부(113), 중간부(114) 및 하측부(115) 모두는 통로를 포함하고 있다. 이들 통로는 상호 접속되어 하나의 단일의 채널(C)을 형성한다. 상측부(113)는 중간부(114)와 접속되고, 중간부(114)는 하측부(115)와 접속된다. 각각의 서브 파트들의 접속 사이의 밀봉은, 형성된 채널(C)이 밀봉되는 것을 보장한다.

하측부(115)는 그 하단에서 제1면(110)을 포함하고, 상측부(113)는 그 상단에서 제2면(111)을 포함한다. 제1면(110)은 이하에서 보다 상세하게 논의될 채널(C) 내부에 위치된 벤트 튜브(130)에 대해 수직이다. 상측부의 상단에서, 즉 바디부(101)의 상단에서의 제2면(111)은, 예를 들어 0°보다 크고 40°까지 또는 20°내지 40°사이의 각도로 제1면(110)에 대해 경사져 있다. 환언하면, 벤트 튜브(130)가 z 방향으로 배향되어 있고 면(110)이 x-y 평면에 놓여 있는 테카르트 x-y-z 좌표계에 있어서, 면(111)은 x 방향 또는 y 방향으로 어떤 각도로 경사져 있다. 이러한 경사짐에 의해서, 벤트 튜브 헤드(133)가 공기 버블 내에 있도록, 즉 액체로부터 벗어나서 있도록 보틀의 각각의 코너에서 공기 버블이 형성되고, 벤트 튜브(130)의 벤팅이 확보될 수 있다. 따라서, 경사 각도는 공기 버블이 보틀 형상 및/또는 벤트 튜브 헤드(133)의 형상에 적응되도록 선택될 수 있다. 환언하면, 경사 각도는, 공기 버블이 보틀의 형상 및/또는 벤트 튜브 헤드(133)의 형상에 대해 최적화 및/또는 최대화되도록 선택될 수 있다. 벤트 튜브 헤드(133)에 대해서는 추후 상세하게 설명한다.

그러나, 다른 실시예(도시 하지 않음)에 있어서, 제2면(111)은 제1면에 나란하게 될 수 있다.

상측부(113)의 통로에 의해 형성되는 채널(C)의 일 부분은, 일단에서 제2면(111)으로 연장하는 내부 쓰레드(thread)(112)를 포함한다. 상측부(113)의 개구 내부의 타단에서, O-링(도시하지 않음)의 삽입을 위한 리세스가 형성된다. 내부 쓰레드(112)는 보틀의 외부 쓰레드, 즉 액체가 공급되는 보틀의 스크류-마개의 외부 쓰레드를 수용하도록 구성되어 있다. 환언하면, 채널(C) 내로 보틀이 스크류될 수 있다. 또한, O-링은 보틀과 채널(C) 사이의 밀봉된 접속을 보장한다.

중간부(114)는, 채널(C) 내부에 부분적으로 벤트 튜브(130)를 고정하도록 구성된 적어도 하나의 마운트를 포함한다. 이 적어도 하나의 마운트는, 채널(C)의 내벽과 벤트 튜브의 외벽 사이의 통로가 보장되도록 배열된다. 내부 쓰레드(112) 내로 보틀이 스크류되면, 채널(C)의 중심에 부분적으로 위치된 벤트 튜브(130)의 외벽과 채널(C)의 내벽 사이에 액체 유로가 형성된다.

내부 쓰레드(112)의 축은 제2면(111)에 수직이다.

하측부(115)는, 추후 상세하게 논의되는 대응하는 보틀 공급 시스템(200)(도 2a 참조)에 커플링되도록 구성되게끔 소정의 윤곽을 갖는다.

하측부(115), 중간부(114) 및 상측부(113)에서 바디부(101)의 분리로 인해, 각각의 부분이 다른 하측부, 중간부 및/또는 상측부로 각각 용이하게 교체될 수 있다. 따라서, 보틀 캡 어댑터(100)는, 예를 들어 스크류-마개 대신에 그라운드 글라스 조인트를 갖는 다른 유형의 보틀에 용이하게 적응될 수 있다. 그러므로, 예를 들어 내부 쓰레드(112)는, 그라운드 글라스 조인트의 대응하는 카운터파트를 갖는 커넥터에 의해 용이하게 교체될 수 있다. 또한, 예를 들어 벤트 튜브(130)와 비교하여 상이한 치수를 갖는 다른 벤트 튜브가 용이하게 설치될 수 있다.

벤트 튜브(130)는 원위단에서의 제1 개구(131) 및 근위단에서의 제2 개구를 포함한다. 제1 개구(131)는 보틀의 바닥의 근방에서 보틀 내부에 놓여질 수 있다. 보틀 내에서의 제1 개구(131)의 정확한 위치는, 당해 보틀의 사이즈 및 형상에 의존한다. 제1 개구(131)를 포함하는 벤트 튜브(130)의 원위단은, 보틀이 보틀 캡 어댑터(100)에 약간의 각도 하에서 거꾸로 장착될 때, 보틀의 뒤집혀진 바닥에서의 잔류하는 에어 포켓의 높이가 최적화되도록 보틀 내에 놓여진다. 그러므로, 실질적으로 평탄한 바닥을 갖는 보틀에 있어서(그리고, 경사진 제2면(111)의 경우에), 제1 개구(131)에 대한 최적화된 위치는 보틀의 바닥의 측벽 근방이 될 것이다.

보틀 캡 어댑터(100)는, 보틀의 장착 중에 벤트 튜브(130)의 제1 개구(131)를 밀봉하고, 또한 보틀로부터 보틀 공급 시스템(200)으로의 액체의 분배 중에 제1 개구(131)를 개봉하도록 구성되는 벤트 튜브 헤드(133)를 더 포함한다. 제1 개구 가까이 벤트 튜브(130)는 작은 리세스와 대응하는 O링(140)을 구비한 연장된 시트(seat) 영역을 갖는다. 벤트 튜브 헤드(133)는, 당해 벤트 튜브 헤드가 제1 개구(131)에 대해 타이트하게 피팅되도록 시팅되게끔 T 형상을 갖는다.

보틀 캡 어댑터(100)는 플런저(134)를 더 포함한다. 플런저(134)는 제1단에서 제1 시일, 즉 이 실시형태에서 O-링(141)을 구비하며, 플런저(134)의 이 제1단에서의 외벽이 벤트 튜브(130)의 내벽과 피팅된다. 따라서, 플런저(134)는 벤트 튜브(130)의 제2 개구를 밀봉하도록 구성된다. 보틀로부터의 액체의 분배 중에 벤트 튜브(130)가 벤트되어야 하므로, 플런저(134)는 분배 중에 제2 개구를 개방/개봉한다. 보틀의 장착 동안에, 보틀의 뒤집음 중에 액체가 누설되지 않도록 벤트 튜브(130)가 폐색되어야 할 때, 플런저(134)는 제2 개구를 폐색/밀봉하고 있다. 또한, 플런저(134)는 제2단에서 제2 시일, 즉 이 실시형태에서 O-링(142)을 구비하고, 플런저(134)의 이 제2단에서의 외벽이 면(110)에서의 채널(C)의 하측 개구 부근의 채널(C)의 테이퍼 부분에 피팅된다. 따라서, 플런저(134)는, 액체 유로가 폐색 및 개방 상태이도록 채널(C)의 하측 개구를 각각 밀봉/폐색 및 개방/개봉하도록 구성된다.

보틀 캡 어댑터(100)는 샤프트(132)를 더 포함한다. 샤프트(132)는 벤트 튜브(130) 내부에 위치된다. 샤프트는 벤트 튜브 헤드(133)와 플런저(134)를 접속한다. 이 접속으로 인해서, 벤트 튜브 헤드(133)와 플런저(134)의 개방 및 폐색이 동기하여 행해진다. 따라서, 벤트 튜브 헤드(133)는, 제2 개구의 밀봉 및 개봉과 액체 유로의 폐색 및 개방과 각각 동기하여, 벤트 튜브(130)의 제1 개구(131)를 폐색/밀봉 및 개방/개봉한다.

도 1에 도시된 실시형태에 있어서, 벤트 튜브(130)는 상측 튜브(135) 및 하측 튜브(136)를 포함하고, 상측 튜브(135) 및 하측 튜브(136)는 O 링(143)과의 접속부에서 접속되고 밀봉된다. 상측 튜브(135)는 제1 개구(131)를 포함하고 하측 튜브(136)는 벤트 튜브(130)의 제2 개구를 포함한다. 하측 튜브(135)와 상측 튜브(136)로의 벤트 튜브(130)의 분리에 의해, 상측 튜브(136)는 임의의 다른 상측 튜브로 용이하게 교체될 수 있다. 따라서, 벤트 튜브는, 상이한 치수를 갖는, 예컨대 이전에 사용되던 보틀과는 다른 길이를 갖는 다른 유형의 보틀에 적응될 수 있다.

상측부(113)는, 대응하는 보틀 공급 시스템(200)에 대해 보틀 캡 어댑터(100)를 정렬하기 위한 정렬 핀(116)을 더 포함한다. 이 정렬에 대해서는 추후 상세하게 기재한다.

도 2a 및 도 2b는 액체를 공급하기 위한 시스템의 개략도이다. 상기 시스템은, 본 발명의 일 실시형태에 따른 보틀 캡 어댑터(100)가 도킹/장착되고 보틀(150)이 삽입되어 있는 보틀 공급 시스템(200)을 포함한다. 보틀 캡 어댑터(100)는, 당해 보틀 캡 어댑터(100)의 내부 쓰레드(112)에 보틀이 이미 적절히 스크류된 상태로 보틀 공급 시스템(200)에 장착된다.

보틀 공급 시스템(200)은 상부(210) 및 저부(220)를 포함한다. 상부(210)는 보틀 캡 어댑터(100)를 수용하도록 구성되고, 즉, 상부(210)는, 보틀 캡 어댑터(100)의 하측부(115)의 외부 윤곽에 실질적으로 상응하는 윤곽을 갖는 캐비티를 포함한다. 저부(220)는 보틀 캡 어댑터(100)에 삽입된 보틀(150)로부터 소정량의 액체를 받아들이도록 구성되는 저장조(221)를 포함한다. 이 저장조는, 보틀 캡 어댑터(100)에 장착된 보틀이 완전히 비워지게 되고 충진된 다른 보틀로 교체되어야할 때라도, 대략 100ml의 소량의 액체로 채워져 있다. 보틀 캡 어댑터(100)에 장착된 새로운 보틀(150)이 보틀 공급 시스템(200)에 삽입된 후에, 플런저(134)와 벤트 튜브 헤드(133)가 동시에 개방되고, 바디부(101)의 채널(C)의 하측 개구는 저장조(221)와 유체 소통 상태가 된다. 이어서, 보틀(150)의 액체는, 먼저, 아웃풋(230)과 후속하는 프로세스 튜브를 거쳐 예를 들어 스핀 코터 또는 스프레이 코터 등의 그 목적지로 흘러가기 전에, 일시적인 저장소로서의 역할을 하는 저장조(221)로 흐른다.

저부(220)는, 저장조(221)의 바닥 또는 측벽에 바람직하게 위치되는 압력 센서(222)를 더 포함한다. 압력 센서(222)는, 저장조(221) 및 보틀(150) 양방의 액체 컬럼에 의해 부여되는 압력을 측정함으로써 보틀(150) 내 유체 레벨을 측정하도록 구성된다. 대응하는 컨트롤러가 적합한 알고리즘을 이용하여 압력을 각각의 볼륨으로 변환할 수 있다. 압력 센서(222)에 대한 일 예시적인 캘리브레이션 방법에 대해서는 추후 상세하게 설명한다.

저부(220)는 저장조(221)에 접속된 아웃풋(230)을 더 포함한다. 아웃풋(230)은 프로세스 튜브에 접속되어서, 보틀로부터 그 목적지로 액체가 공급될 수 있다.

보틀 공급 시스템(200)은 저장조(221)의 중심에 위치되는 핀(290)을 더 포함한다. 핀(290)은, 플런저(134)가 각각 개방되고 폐색되도록 보틀 캡 어댑터(100)의 플런저(134)를 상하로 구동한다. 샤프트(132)에 의해 벤트 튜브 헤드(133)에 플런저(134)가 접속되어 있으므로, 핀(290)은, 플런저(134)와 벤트 튜브 헤드(133)의 양방을 위에 기재한 방식으로 동기하여 개방 및 폐색하도록 구성되어 있다. 환언하면, 벤트 튜브(130)는, 보틀로부터의 액체의 분배 중에 벤트되어야 하고, 보틀 교환 중에는 폐색되어야 한다. 또한, 채널(C)은 액체의 분배 중에 개방되어야하고, 보틀 교환 중에는 폐색되어야 한다. 그러므로, 핀(290)은, 액체의 분배 중에는 채널(C)과 벤트 튜브(130)가 개방되도록 액체의 분배를 위해 플런저(134) 및 벤트 튜브 헤드(133)를 구동하도록 구성되며, 또한 보틀 교환 중에는 채널(C)과 벤트 튜브(130)가 폐색되도록 보틀의 교환을 위해 플런저(134) 및 벤트 튜브 헤드(133)를 구동하도록 구성된다.

또한, 보틀 공급 시스템(200)은, 당해 보틀 공급 시스템(200)에 장착되었을 때 보틀을 유지하는 홀더(250)를 포함한다.

위에서 이미 설명한 바와 같이, 보틀 공급 시스템(200)은 정렬 센서(260)도 포함한다. 정렬 센서(260)는, 보틀 공급 시스템(200)에 보틀 캡 어댑터(100)가 장착되었을 때, 보틀 캡 어댑터(100)의 대응하는 정렬 핀(116)이, 예를 들어 정렬 센서(260)에 대항하는, 미리 결정된 위치에 있는지를 판정한다. 정렬 센서(260)는, 보틀 캡 어댑터(100)가 보틀 공급 시스템(200)과 적절히 정렬되어 있는가를 판정한다.

또한, 보틀 공급 시스템(200)은 근접 센서(211)를 더 포함한다. 근접 센서(211)는, 센서 헤드가 보틀 캡 어댑터(100)의 하측부(115)의 장착 위치에 인접하여 위치된 상태에서 상부(210)에 위치된다. 근접 센서(211)는 보틀 캡 어댑터(100)가 장착 위치에 접근하고 있는지를 측정한다. 또한, 근접 센서(211)는 이어서 보틀 캡 어댑터(100)가 보틀 공급 시스템(200)에 장착되었는지를 판정할 수 있다.

보틀 공급 시스템(200)은 슬라이드 플레이트(280)를 더 포함하는데, 이에 대해서는 추후 도 4 및 도 5에서 상세히 설명한다.

도 3은, 본 발명의 또 다른 실시형태에 따른 보틀 캡 어댑터(100)가 장착된 보틀 공급 시스템(200)의 개략 후면도 및 개략 측면도이다. 보틀 공급 시스템(200)은 저장조(221)에 접속되는 버블 퍼지 포트(240)를 더 포함한다. 버블 퍼지 포트(240)는 저장조(221)의 측벽의 상측 위치 그리고 결과적으로 보틀 레벨 아래에 위치된다. 보틀의 액체가 저장조(221) 내로 하방으로 유동함에 따라, 내재하거나 그렇지 않다면 트랩된 양방의, 액체에서 발생하는 모든 가능한 버블들이, 퍼지 포트(240)에 의해 저장조(221)로부터 퍼지 튜브(241)로 자동적으로 이송된다. 예를 들어, 보틀 캡 어댑터(100)에 장착된 새로운 보틀(150)이 보틀 공급 시스템(200)에 삽입되면, 바디부(101)의 채널(C)의 하측 개구에서 공기 버블들이 트랩되는 일이 일어날 수 있다. 이들 버블들은 퍼지 포트(240)에 의해 저장조(221)로부터 퍼지 튜브(241)로 이송될 수 있다. 따라서, 공기 버블들이 프로세스 튜브 내로 들어갈 수 없다.

프로세스 튜브로의 액체의 분배는 일반적으로 간헐적인 프로세스이다. 예를 들어, 하나의 스핀코팅 프로세스에 대해 미리 결정된 량의 액체가 분배되어야 한다. 후에, 다른 스핀코팅 프로세스에 대해서는, 다르거나 또는 동일한 미리 결정된 량의 액체가 분배되어야 한다. 그러므로, 액체 내의 버블은 액체가 아웃풋(230)으로 비교적 느리게 유동함에 따라 저장조의 상부로, 퍼지 포트(240)와 퍼지 튜브(241)를 거쳐 시스템(200) 밖으로 이동할 충분한 시간을 갖는다.

보틀 공급 시스템은, 퍼지 튜브(241)의 중간부에 장착되고 또한 보틀 교환 중에 폐색되도록 구성되는 밸브(54)를 더 포함한다. 일부의 액체가 퍼지 튜브(241) 내로 유입할 수 있으므로, 이 액체가, 여전히 부분적으로 채워져 있는 보틀(150)의 보틀 교환 중에 저장조(221)로 환류할 수 있고 이 액체는 저장조(221)를 오버플로우할 수 있다. 보틀 공급 시스템(200)으로부터 상기 부분적으로 채워져 있는 보틀(150)을 제거하기 전에 밸브(54)를 폐쇄함으로써 그러한 가능한 오버플로우를 방지할 수 있다. 다시 보틀 공급 시스템(200)에 다른 보틀(150)이 삽입되고 액체가 아웃풋(230)을 통해 프로세스 튜브로 흘러야 할 경우, 밸브(54)가 개방되고 퍼지 튜브(241)에 남은 액체는 저장조(221)로 환류한다.

도 4는 본 발명의 또 다른 실시형태에 따른, 보틀 캡 어댑터(100)를 갖는 보틀 공급 시스템(200)의 개략 후면도 및 개략 측면도이다. 이 실시형태에서, 보틀(150)이 장착된 보틀 캡 어댑터(100)는 보틀 공급 시스템(200)에 아직 삽입되어 있지 않다. 따라서, 슬라이드 플레이트(280)가 개방 위치에 있어서, 슬라이드 플레이트(280)에 의해 블로킹되지 않고서 보틀 캡 어댑터(100)가 보틀 공급 시스템(200)에 삽입될 수 있다. 또한, 정렬 핀(116)이 정렬 센서(260)와 정렬되어 있지 않고 정렬 센서(260)는 보틀 캡 어댑터(100)가 보틀 공급 시스템(200)과 정렬되어 있다는 대응 신호를 공급하지 않는다. 로킹 센서(270)는, 슬라이드 플레이트(280)가 개방 위치에 있으며 아직 로킹 위치에 있지 않음을 판정하도록 구성된다. 근접 센서(211)는, 보틀 캡 어댑터(100)가 근접 센서(211)가 미치지 않는 곳에 있으므로, 각각의 컨트롤러(도시하지 않음)에 대응하는 근접의 신호를 공급하지 않는다.

도 5는 본 발명의 또 다른 실시형태에 따른 보틀 캡 어댑터(100)가 장착된 보틀 공급 시스템(200)의 개략 후면도 및 개략 측면도이다. 이 실시형태에서, 보틀(150)이 장착된 보틀 캡 어댑터(100)가 보틀 공급 시스템(200)에 삽입된다. 따라서, 슬라이드 플레이트(280)는, 폐색 위치에 있고 보틀 캡 어댑터(100)를 보틀 공급 시스템(200)에 확고하게 로킹한다. 이에 따라, 로킹 센서는 슬라이드 플레이트(280)가 폐색 위치에 있다고 판정한다. 또한, 정렬 핀(116)이 정렬 센서(260)와 정렬되고, 정렬 센서(260)는 보틀 캡 어댑터(100)가 보틀 공급 시스템(200)과 정렬되었다는 대응 신호를 제공한다. 보틀 캡 어댑터(100)가 보틀 공급 시스템(200)에 장착되었으므로, 근접 센서(211)는, 보틀 캡 어댑터(100)가 그 장착 위치에 있다는 대응 신호를 각각의 컨트롤러에 제공한다.

도 5에 도시된 보틀은, 본 발명의 일 실시형태에 따른, 압력 센서의 캘리브레이션 방법을 위한 상이한 유체 레벨의 표시를 포함한다. 단계(a)에서, 보틀 캡 어댑터(100)에 올바른 보틀(150)이 설치되고, 보틀(150)을 갖는 보틀 캡 어댑터(100)가 보틀 공급 시스템(200) 내로 설치된다. 단계(b)에서, 시스템과 대응하는 하나 이상의 컨트롤러가 턴온된다. 단계(c)에서, 보틀이 비워 졌을 때의 압력 센서(222)의 센서 출력이 기록된다. 단계(d)에서, 바람직하게는 20ml인 미리 결정된 량의 액체가 보틀(150)에 추가되고 압력 센서(222)의 각각의 센서 출력이 기록된다. 단계(e)에서, 유체가 보틀 넥을 지나서 보틀 플레어(도 6에서의 레벨 1)에 도달할 때까지 단계(d)가 반복된다. 단계(f)에서, 바람직하게는 100ml인 미리 결정된 량의 액체가 보틀(150)에 추가되고 압력 센서(222)의 각각의 센서 출력이 기록된다(도 6에서의 레벨 2). 단계(g)에서, 유체가 보틀의 가장 넓은 부분(도 6에서의 레벨 3)에 도달할 때까지 단계(f)가 반복된다. 단계(h)에서, 바람직하게는 500ml인 미리 결정된 량이 추가되고 압력 센서(222)의 대응하는 센서 출력이 기록된다. 단계(i)에서, 액체가 보틀(150)의 최대 용량에 도달할 때까지 단계(h)가 반복된다.

도면 및 전술한 설명에서, 본 발명을 도시하고 상세히 설명하였지만, 이러한 도시와 설명은 도해를 위한 것이거나 예시적이며 비제한적인 것으로서 보아야하고; 따라서 본 발명은 개시된 실시형태들에 한정되지 않는다. 당업자라면, 도면, 개시 내용 및 첨부된 특허청구의 범위로부터, 개시된 실시형태들에 대한 변형을 이해하고 구체화할 수 있으며 청구의 발명을 실시할 수 있다. 청구항에서, "포함한다"는 다른 요소나 단계를 배제하지 않으며, 단수형으로 표현되었더라도 복수형을 배제하지 않으며 "적어도 하나"를 의미할 수 있다.

Claims

액체를 공급하기 위한 보틀 캡 어댑터(100)로서,
바디부(101); 및
제1 개구(131) 및 제2 개구를 포함하는 벤트 튜브(130)로서, 상기 제1 개구(131)는 보틀의 바닥 근방에 있어서 보틀 내부에 배치되도록 구성되는, 벤트 튜브(130)를 포함하고,
상기 바디부(101)는 제1면(110) 및 제2면(111)을 포함하고, 상기 제1면(110)은 상기 벤트 튜브(130)에 대해 수직이고, 상기 제2면(111)은 상기 제1면(110)에 나란하거나 상기 제1면(110)에 대해 경사져 있고,
상기 바디부(101)는 상기 제1면(110)으로부터 상기 제2면(111)으로의 채널(C)을 더 포함하고,
상기 채널(C)의 적어도 하나의 부분은, 상기 제2면(111)으로 연장하며 상기 보틀의 커넥터에 상보적인 커넥터(112)를 포함하고,
상기 바디부(101)는 보틀 공급 시스템(200)에 커플링되도록 더 구성되고,
상기 벤트 튜브(130)는 상기 바디부(101)의 상기 채널(C)에 적어도 부분적으로 위치되고,
보틀 캡 어댑터(100)는, 상기 보틀의 장착 중에 상기 벤트 튜브(130)의 상기 제2 개구를 밀봉하도록 구성되어 있고, 상기 보틀로부터 상기 보틀 공급 시스템(200)으로의 액체의 분배 중에 상기 제2 개구를 개봉하도록 구성되어 있는 플런저(134)를 포함하고, 상기 플런저(134)는 또한, 상기 보틀의 장착 중에 상기 바디부(101)에 있어서의 액체 유로를 폐색하도록 구성되고, 상기 보틀로부터 상기 보틀 공급 시스템(200)으로의 액체의 분배 중에 상기 액체 유로를 개방하도록 구성되는, 보틀 캡 어댑터.
제1항에 있어서,
상기 보틀의 장착 중에 상기 벤트 튜브(130)의 상기 제1 개구(131)를 밀봉하도록 구성되고, 또한 상기 보틀로부터 상기 보틀 공급 시스템(200)으로의 액체의 분배 중에 상기 제1 개구(131)를 개봉하도록 구성되는 벤트 튜브 헤드(133)를 더 포함하는, 보틀 캡 어댑터.
제1항에 있어서,
상기 벤트 튜브 헤드(133)가 상기 제2 개구의 밀봉 및 개봉 그리고 상기 액체 유로의 폐색 및 개방과 각각 동기하여 상기 벤트 튜브(130)의 상기 제1 개구(131)를 밀봉 및 개봉하도록 구성되도록, 상기 벤트 튜브(130)는, 상기 벤트 튜브 헤드(133)와 상기 플런저(134)를 접속하도록 구성되어 있는 샤프트(132)를 더 포함하는, 보틀 캡 어댑터.
제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 바디부(101)는 상측부(113), 중간부(114) 및 하측부(115)를 포함하고, 상기 상측부(113)는 상기 제2면(111)을 포함하고, 상기 하측부(115)는 상기 제1면(110)을 포함하고, 상기 중간부(114)는 상기 상측부(113)와 상기 하측부(115) 사이에 위치되는, 보틀 캡 어댑터.
제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 벤트 튜브(130)는 상측 튜브(135)와 하측 튜브(136)를 포함하고, 상기 상측 튜브(135)는 상기 제1 개구(131)를 포함하고, 상기 하측 튜브(136)는 상기 벤트 튜브(130)의 제2 개구를 포함하는, 보틀 캡 어댑터.
제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 바디부(101)는 상기 보틀 캡 어댑터(100)를 상기 보틀 공급 시스템(200)과 정렬하기 위한 정렬 핀(116)을 더 포함하는, 보틀 캡 어댑터.
제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 제2면(111)은 상기 제1면(110)에 대해 0°보다 크고 40°까지의 각도로 경사져 있는, 보틀 캡 어댑터.
액체를 공급하기 위한 보틀 공급 시스템(200)으로서,
제1항에 따른 보틀 캡 어댑터(100)를 수용하도록 구성되는 상부(210);
상기 보틀 캡 어댑터(100)에 삽입된 보틀로부터 소정량의 액체를 받아들이도록 구성되는 저장조(221)를 포함하고, 상기 보틀 내에 있어서의 유체 레벨을 측정하도록 구성되는 압력 센서(222)를 포함하는 저부(220); 및
상기 저장조(221)에 접속되는 아웃풋(230)을 포함하는, 보틀 공급 시스템.
제8항에 있어서,
상기 저장조(221)에 접속되고, 액체에서 발생하는 공기 버블을 상기 저장조로부터 퍼지 튜브(241)로 이송하도록 구성되는 버블 퍼지 포트(240)를 더 포함하는, 보틀 공급 시스템.
제9항에 있어서,
상기 보틀 공급 시스템(200)에 삽입되었을 때, 상기 보틀을 유지 및 지지하도록 구성되어 있는 홀더(250)를 더 포함하는, 보틀 공급 시스템.
제8항에 있어서,
상기 보틀 캡 어댑터(100)가 상기 보틀 공급 시스템(200)과 적절히 정렬되었는지를 측정하도록 구성되는 정렬 센서(260)를 더 포함하는, 보틀 공급 시스템.
제8항에 있어서,
로킹 센서(270) 및 슬라이드 플레이트(280)를 더 포함하고, 상기 슬라이드 플레이트(280)는 상기 보틀 공급 시스템(200)에 대해 상기 보틀 캡 어댑터(100)를 고정하도록 구성되고, 상기 로킹 센서(270)는 상기 보틀 공급 시스템(200)에 대해 상기 보틀 캡 어댑터(100)가 적절히 고정되었는지를 측정하도록 구성되는, 보틀 공급 시스템.
제8항에 있어서,
상기 저장조(221)의 중심에 위치되고 상기 벤트 튜브(130)의 개방이 밀봉 또는 개봉되고, 상기 보틀 캡 어댑터(100)의 바디부(101)에 있어서 액체 유로가 개방 또는 폐색되도록 상기 보틀 캡 어댑터(100)의 벤트 튜브(130)의 플런저(134)를 구동하도록 구성되어 있는 핀(290)을 더 포함하는, 보틀 공급 시스템.
제8항에 있어서,
상기 압력 센서(222)는 상기 저장조(221)의 바닥 측에 위치되고, 상기 압력 센서(222)는 상기 저장조(221) 및 상기 보틀의 액체 컬럼에 의해 부여되는 압력을 측정함으로써 상기 보틀 내의 유체 레벨을 측정하도록 구성되는, 보틀 공급 시스템.
제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 따른 보틀 캡 어댑터(100)와, 제8항에 따른 보틀 공급 시스템(200)을 포함하는, 액체를 공급하기 위한 시스템.
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