JP4965084B2 - 気泡除去装置 - Google Patents
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Description
10a 主管
10b 枝管
10c 泥溜
12 薬液供給口
14 脱気口
16 薬液排出口
18 脱泡細管
20 薬液供給管
22 フートバルブ
24 薬液タンク
26 脱気管
28 脱気ポンプ
30 吸引口
32 逆止弁
34 排出口
36 戻し管
38 薬液排出管
40 薬液ポンプ
Claims (8)
- 密閉容器からなる装置本体と、該装置本体内に薬液を供給する薬液供給管と、該装置本体内の気体を抜き取る脱気ポンプと、該装置本体内に設けられた脱泡細管とを備え、該装置本体は、該薬液供給管が連結している薬液供給口と、該脱気ポンプが連結している脱気口と、該装置本体内の薬液を排出させる薬液排出口とを備え、該脱泡細管は内径がφ2mm〜φ4mmで、該脱泡細管の一方の端部は該薬液供給口において該薬液供給管と連通し、該脱泡細管の他方の端部は該装置本体内に開放状態で設けられ、該薬液排出口には該装置本体内の薬液を抜き取る薬液ポンプが接続され、該薬液ポンプは該脱泡細管内において薬液に含まれていたガスの泡を該脱泡細管の他方の端部で破裂させるとともに、該脱泡細管の他方の端部から薬液を吐出させて該脱泡細管に沿って流下させる陰圧を発生させる能力を備えていることを特徴とする気泡除去装置。
- 前記装置本体の脱気口及び前記脱泡細管の他方の端部は、該装置本体が設置された状態で、前記薬液排出口より上に位置していることを特徴とする請求項1に記載の気泡除去装置。
- 前記装置本体が設置された状態で、該装置本体の、前記脱泡細管の他方の端部の下方位置に泥溜が設けられていることを特徴とする請求項1又は2に記載の気泡除去装置。
- 前記脱気ポンプの吐出口から薬液供給源に薬液を戻す薬液戻管が設けられていることを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の気泡除去装置。
- 前記脱気口と前記脱気ポンプの間に逆止弁が設けられていることを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載の気泡除去装置。
- 前記装置本体が、主管と、該主管の側部に設けられた枝管とからなり、該主管の一方の端部に前記薬液供給口が設けられ、該主管の他方の端部に前記脱気口が設けられ、該枝管の端部に前記薬液排出口が設けられ、該主管の内部に前記脱泡細管が設けられていることを特徴とする請求項1〜5のいずれかに記載の気泡除去装置。
- 薬液中の気泡を検知して気泡検知信号を発する気泡センサーと、気泡センサーの気泡検知信号によって脱気ポンプを駆動させる脱気ポンプ制御装置とを備え、該気泡センサーは前記薬液排出口と前記薬液ポンプの間に設けられていることを特徴とする請求項1〜6のいずれかに記載の気泡除去装置。
- 前記薬液が次亜塩素酸ナトリウム水溶液又は希塩酸であることを特徴とする請求項1〜7のいずれかに記載の気泡除去装置。
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