KR102297045B1 - 플립 유닛 - Google Patents

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KR102297045B1
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rotating
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엄호성
임민돈
김동현
강용구
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노민형
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주식회사 로스코
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Abstract

본 발명은 플립 유닛에 관한 것으로, 일측면에 글라스가 인입 또는 인출되는 제1 개폐홀이 형성된 챔버몸체, 상기 챔버 몸체의 외측에 연결되어 상기 챔버 몸체를 회전하는 회전부, 상기 회전부를 회전시키는 구동부, 상기 챔버몸체 외측면에 설치되어 상기 글라스를 수직 이동시키는 승강부, 상기 글라스를 안착시키는 베이스부, 상기 승강부와 연결되어 상기 글라스를 내측에 안착시키는 파지부, 상기 베이스부 외측면 및 상기 파지부 외측면에 설치되어 상기 글라스를 지지하는 지지부 및 상기 베이스부에 복수개로 설치되어 상기 글라스의 유무 및 상기 글라스의 파손을 검출하는 센서부를 포함한다.

Description

플립 유닛{Flip Unit}
본 발명은 플립 유닛에 관한 것이다.
일반적으로, 유기 발광 소자(OLED,Organic Light Emitting Diode)는 정공 주입(Hole injection)용 애노드 전극, 전자 주입(Electron injection)용 캐소드 전극 및 이들 전극 사이에 개재되어 빛을 방출하는 전하 재결합을 지지하는 유기막을 포함한다. 이러한 전극들 및 유기막은 여러 방법으로 형성될 수 있는데, 그 중 한 방법이 증착공정이다.
한편, 글라스(Glass)는 선행공정에서 글라스의 증착면이 상방을 향하도록 한 상태에서 증착공정이 수행되는 박막 증착 시스템으로 이송된다. 이는 글라스를 통상의 이송로봇을 사용하여 이송하는데, 글라스의 증착면이 하방을 향하도록 한 상태에서 글라스를 이송할 경우 이송로봇에 의해 글라스의 증착면이 손상될 수 있기 때문이다.
따라서 글라스의 증착면에 박막을 증착하기 위해서는 증착면이 상방을 향하도록 한 상태에서 이송되는 글라스를 증착면이 하방을 향하도록 반전시키는 과정을 필요로 한다. 이를 위하여 종래에는 이송로봇을 다관절 로봇으로 사용하였다.
그러나 상기의 다관절 로봇은 매우 고가여서 유기 발광 소자를 제조하는데 있어서 단가 상승의 주요 원인이 되고, 이러한 다관절 로봇을 이용하여 반전시킬 수 있는 글라스의 크기가 제한적이므로 글라스의 대형화 추세에 대응하지 못하는 문제점을 갖는다.
상기와 같은 기술적 배경을 바탕으로 안출된 것으로, 본 발명의 일 실시예는 글라스의 회전을 원활하게 하고, 간단한 구성으로 글라스의 파손을 방지하면서 글라스를 회전시킬 수 있는 플립 유닛을 제공하는 것을 목적으로 한다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위하여 본 발명은 일측면에 글라스가 인입 또는 인출되는 제1 개폐홀이 형성된 챔버몸체, 상기 챔버 몸체의 외측에 연결되어 상기 챔버 몸체를 회전하는 회전부, 상기 회전부를 회전시키는 구동부, 상기 챔버몸체 외측면에 설치되어 상기 글라스를 수직 이동시키는 승강부, 상기 글라스를 안착시키는 베이스부, 상기 승강부와 연결되어 상기 글라스를 내측에 안착시키는 파지부, 상기 베이스부 외측면 및 상기 파지부 외측면에 설치되어 상기 글라스를 지지하는 지지부 및 상기 베이스부에 복수개로 설치되어 상기 글라스의 유무 및 상기 글라스의 파손을 검출하는 센서부를 포함할 수 있다.
또한, 상기 구동부는, 상기 베이스부 상부에 상기 베이스부와 이격되어 설치되는 구동모터, 상기 구동모터와 연결되어 구동력을 제공하는 서브모터 및 상기 구동모터의 외측면에 연결되어 구동력을 상기 승강부에 전달하는 제1 샤프트를 포함할 수 있다.
또한, 상기 대기챔버는, 상기 구동모터를 밀폐하고, 상기 하우징 내부와 차단되며 적어도 하나 이상의 제1 대기챔버, 상기 서브모터 및 상기 제1 샤프트를 밀폐하고, 상기 하우징 내부와 차단되며 적어도 하나 이상의 제2 대기챔버, 상기 승강부를 밀폐하고, 상기 하우징 내부와 차단되며 적어도 하나 이상의 제3 대기챔버 및 상기 제1 대기챔버, 상기 제2 대기챔버 및 제3 대기챔버를 연결하고, 상기 하우징 내부와 차단되는 배관을 포함할 수 있다.
또한, 상기 베이스부는, 중심부에 홀이 형성되고 내부에 복수 개의 수평재 또는 기둥부재가 형성되어 상기 글라스를 안착하는 베이스프레임, 하부에 설치되어 베이스프레임을 지지하는 지지프레임 및 상기 베이스 프레임의 외측면에 설치되어 상기 글라스의 센터링을 보정하는 수평조절부재를 포함하고, 상기 베이스프레임에 나사결합되어 상기 글라스를 고정시키는 핀부재를 포함할 수 있다.
또한, 상기 파지부는, 인입된 상기 글라스의 상부에 설치되고, 내측으로 제1 돌출부재가 형성된 제1 홀더 및 인입된 상기 글라스의 하부에 설치되고, 내측으로 제2 돌출부재가 형성된 제2 홀더를 포함할 수 있다.
또한, 상기 지지부는, 상기 베이스부 외측면으로 결합되고, 상기 글라스의 미끄럼을 방지하며 일측면에 제1 홈이 형성되어 미끄럼방지부재가 삽입되는 제1 지지부재 및 상기 파지부의 내측으로 결합되고, 상기 글라스의 미끄럼을 방지하며 일측면에 제2 홈이 형성되어 상기 미끄럼방지부재가 삽입되는 제2 지지부재를 포함하고, 상기 제1 지지부재 및 상기 제2 지지부재는 교차하여 설치될 수 있다.
또한, 상기 센싱부는, 상기 베이스부의 외측면에 설치되며 상기 글라스의 유무를 감지하는 유무감지센서 및 상기 베이스부의 모서리에 설치되어 상기 글라스의 모서리 파손을 감지하는 파손감지센서를 포함할 수 있다.
또한, 상기 회전부는, 상기 챔버몸체 일측면에 돌출 형성되고 내부에 중공부가 형성된 회전몸체 및 상기 회전몸체 내측면에 결합되고 내부에 중공부가 형성되며 회전모터와 연결되어 상기 챔버몸체를 회전하는 구동력을 전달하는 회전축부재를 포함할 수 있다.
또한, 상기 승강부는, 상기 챔버 몸체 외측면에 복수개로 설치되어 상기 챔버 몸체와 고정되는 가이드부재, 상기 가이드부재와 끼움결합되어 상기 가이드부재의 길이방향을 따라 이동하는 가이드이동부재, 일측면에 고정부재가 연결되고 타측면에 승강부재가 연결되는 연결부 및 상기 연결부의 외측면에 결합되는 결합부를 포함할 수 있다.
또한, 상기 결합부는, 상기 연결부의 외측면에 설치되는 결합몸체, 상기 결합몸체를 관통하며 결합되는 볼트, 상기 볼트 외측면에 결합되어 상기 승강부로 전달되는 충격을 완화하는 탄성부재 및 상기 결합몸체와 수직방향으로 결합되는 볼트고정부재를 포함할 수 있다.
또한, 상기 수평조절부재는, 상기 글라스에 밀착되어 상기 글라스의 수평을 조절하는 수평조절부재 및 상기 수평조절부재와 수직방향으로 돌출형성되는 미세조절부재를 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 플립 유닛은 내부로 인입된 글라스를 상하 반전시키기 위한 구성이 간단하고, 내부로 인입된 글라스가 상하 반전할 때 글라스의 유무 및 모서리 부분의 파손을 감지할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 플립 유닛은 양측에 설치된 구동모터가 동시에 작동하여 복수개로 구성된 승강부에 구동력을 동시에 제공할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 플립 유닛은 구동부 및 승강부를 밀폐하는 대기챔버가 플립 유닛 외측면에 설치됨으로써, 플립 유닛의 주변에 결합되어 있던 장치들이 대기챔버 내부로 결합되어 구성을 간략화할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 플립 유닛은 베이스부가 설치되어 글라스의 지지력을 향상시킬 수 있다. 또한, 베이스부의 외측면에 설치되는 수평조절부재가 조절됨으로써, 글라스의 수평을 조절할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 플립 유닛은 파지부가 복수개의 홀더로 형성되어 글라스의 전체적인 상부 및 하부면을 파지하여 인입된 글라스를 안정적으로 파지할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 플립 유닛은 파지부 및 베이스부의 외측 방향으로 지지부가 돌출 형성되어 글라스를 파지할 수 있고, 글라스를 파지할 때 미끄럼을 방지할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 플립 유닛은, 지지부에 미끄럼방지부재가 결합되어 글라스가 베이스부 및 파지부에서 미끄러져 이탈하는 것을 방지할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 플립 유닛은 챔버몸체 일측면에 돌출되어 외부와 연결되는 회전몸체를 통해 전달되는 회전동력을 전달받아 플립 유닛을 회전시킬 수 있다.
본 발명의 일 일실시예에 따른 플립 유닛은 승강부에 탄성부재가 결합되어 구동부에서 구동력을 전달받아 글라스가 승하강할 때 받는 충격을 완화할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 플립 유닛은 베이스부 외측면에 결합되는 수평조절장치에 설치된 미세조절장치에 의해 글라스의 수평을 미세하게 조절할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 플립 유닛의 사시도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 구동부 및 승강부를 나타낸 플립 유닛의 사시도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 구동부를 나타낸 사시도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 승강부를 나타낸 사시도이다.
도 5은 본 발명의 일 실시예에 따른 베이스부 및 센서부를 나타낸 사시도이다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 베이스부를 나타낸 단면도이다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 수평조절부재를 나타낸 사시도이다.
도 8는 본 발명의 일 실시예에 따른 파지부 및 지지부를 나타낸 사시도이다.
도 9는 본 발명의 일 실시예에 따른 베이스부와 파지부의 배치를 나타낸 사시도이다.
도 10은 본 발명의 일 실시예에 따른 플립 유닛을 이용하여 글라스를 반전시키는 과정을 나타낸 측면도이다.
이하, 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 실시예에 대하여 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다. 도면에서 본 발명을 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 동일 또는 유사한 구성요소에 대해서는 동일한 참조부호를 붙였다.
본 명세서에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
이하, 도 1 내지 도 10을 참조하여 본 발명의 일 실시예에 따른 플릿 유닛에 대하여 설명하도록 한다.
본 발명의 일 실시예에 따른 플립 유닛(100)은 기판 이송로봇(R)에 의해 글라스(G)가 내부에 인입되면 글라스(G)를 회전시킴으로써, 글라스(G)를 상하반전 시킬 수 있다.
한편, 플립 유닛(100)은 하우징(미도시)의 내부에 설치될 수 있고, 하우징은 밀폐되어 내부가 진공 상태를 유지하도록 형성될 수 있다. 또한, 하우징의 일측에는 기판 이송로봇(R)에 의해 글라스(G)가 플립 유닛(100) 내부로 유입 및 유출될 수 있도록 개폐부(미도시)가 형성될 수 있다.
도 1 및 도 2를 참고하면, 본 발명의 일 실시예에서 플립 유닛(100)은 챔버몸체(110), 회전부(120), 대기챔버(130), 승강부(140), 베이스부(150), 지지부(170) 및 센서부(190)를 포함할 수 있다.
챔버몸체(110)는 단면이 다각형의 형상일 수 있고, 전체적으로 육면체 형상과 유사하게 형성될 수 있다. 챔버몸체(110)는 내부에 파지부(160) 및 베이스부(150)가 설치될 수 있도록 중공부(미도시)가 형성될 수 있다. 또한, 챔버몸체(121)는 외부에 회전부(120), 대기챔버(130) 및 승강부(140)가 설치될 수 있다. 이때, 챔버몸체(110)의 내부 및 외부는 진공상태를 유지하여 글라스에 먼지 등의 이물질이 삽입되는 것을 방지할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 챔버몸체(110)는 플립 유닛(100)의 외형을 형성하는 것으로 제1 챔버프레임(111), 제2 챔버프레임(113) 및 제3 챔버프레임(117)을 포함할 수 있다. 이를 통해, 챔버몸체(110)의 주변에 설치되는 장치들을 지지할 수 있고, 챔버몸체(110)가 회전함에 따라 챔버몸체(110)의 내부에 인입된 글라스(G)가 회전할 수 있다.
제1 챔버프레임(111)은 판 형상으로 한 쌍으로 형성될 수 있다. 한 쌍의 제1 챔버프레임(111)은 서로 마주보게 배치될 수 있다. 제1 챔버프레임(111)에는 대기챔버(130) 및 승강부(140)가 결합될 수 있다. 이때, 제1 챔버프레임(111)의 전단부 및 후단부에는 한쌍의 제2 챔버프레임(113)이 설치될 수 있다.
제2 챔버프레임(113)은 판 형상으로 형성될 수 있고, 중심부에는 글라스(G)가 유입 또는 유출될 수 있도록 제1 개폐홀 (115)이 형성될 수 있다. 제1 개폐홀(115)은 하우징에 형성된 개폐부와 평행하게 형성될 수 있다.
한편, 제1 챔버프레임(111)의 상단부 및 하단부에는 제3 챔버프레임(117)이 결합될 수 있다. 제3 챔버프레임(117)은 바 형상으로 적어도 하나 이상이 형성될 수 있다.
본 발명의 일실시예에 따른 회전부(120)는 제1 챔버프레임(111)의 중심부에 돌출 형성될 수 있다. 회전부(120)는 글라스(G)를 회전시키기 위해서 회전몸체(121) 및 회전축부재(123)를 포함할 수 있다. 이때, 회전부(120)는 제1 챔버프레임(111)에 연장 형성될 수 있다.
회전부(120)는 챔버몸체(110)의 외측에 설치되는 회전모터(미도시)와 연결됨으로써, 챔버몸체(110)를 회전시킬 수 있고, 이렇게 챔버몸체(110)를 회전시켜 글라스(G)를 상하 반전시킬 수 있다.
회전몸체(121)는 원통 형상으로 제1 챔버프레임(111) 외측면에 돌출 형성될 수 있다. 회전몸체(121)는 내부에 중공부(미도시)가 형성되고 중공부에 회전축부재(123)가 설치될 수 있다.
회전축부재(123)는 회전몸체(121)의 내측에 회전몸체(121) 보다 직경이 작게 형성되고, 회전몸체(121)의 내측면과 밀착될 수 있다. 이때, 챔버몸체(121)의 외측면에 마련된 회전모터에 의해 회전축부재(123)가 정회전 또는 역회전되어 챔버몸체(110)가 정회전 또는 역회전될 수 있다.
이때 챔버몸체(110)는 대기챔버(130), 베이스부(150), 파지부(160) 및 지지부(170)와 연결될 수 있다. 따라서 챔버몸체(110)가 정회전 또는 역회전될 때 글라스(G)를 지지 및 승하강시키는 대기챔버(130), 베이스부(150), 파지부(160) 및 지지부(170)가 회전될 수 있다.
한편, 제1 챔버프레임(111)의 외측면 및 제3 챔버프레임(117)의 상부면에는 대기챔버(130)가 설치될 수 있다. 이때, 대기챔버(130)는 대기 상태에 설치되는 부품들과 진공상태인 하우징 내부와 교류를 차단하여 하우징 내부를 진공상태로 유지되도록 하기 위해서 제1 대기챔버(131), 제2 대기챔버(133) 및 제3 대기챔버(135)를 포함할 수 있다.
대기챔버(130)는 내부에 구동부(139) 및 승강부(140)가 설치될 수 있다. 이때, 대기챔버(130) 내부는 대기 상태를 유지하여 하우징의 외부에 플립 유닛(100)과 대기환경에 설치되어 플립유닛(100)과 연결되는 장치들에 연결될 수 있다.
제1 대기챔버(131)는 육면체 형상으로 형성될 수 있고, 제3 챔버프레임(117)의 상부에 복수 개로 설치될 수 있다. 또한, 제1 대기챔버(131)는 한 쌍으로 형성될 수 있고, 한 쌍의 제1 대기챔버(131)는 서로 마주보며 설치될 수 있다.
제1 대기챔버(131)는 밀폐되어 하우징의 내부와 차단될 수 있다. 또한, 제1 대기챔버(131)의 내부는 대기 상태를 유지할 수 있다. 제1 대기챔버(131) 내부에는 구동모터(139a)가 설치될 수 있고, 제1 대기챔버(131)의 양측에 홀(미도시)이 형성되어 제1 샤프트(131a)가 관통될 수 있다. 이때, 양측에 형성된 홀은 밀폐부재(미도시)를 통해 밀폐될 수 있어, 하우징 내부를 진공상태로 유지시킬 수 있다.
즉, 제1 대기챔버(131)는 대기 상태에 설치되는 부품들과 진공상태인 하우징 내부와 교류를 차단하여 하우징 내부의 진공상태를 유지할 수 있도록 할 수 있다. 이때, 한 쌍의 제1 대기챔버(131)의 양측면에는 한 쌍의 제2 대기챔버(133)와 결합될 수 있다.
제2 대기챔버(133)는 육면체 형상으로 형성될 수 있고, 제1 챔버프레임(111)의 상부에 복수 개로 설치될 수 있다. 또한, 제2 대기챔버(133)는 한 쌍으로 형성될 수 있고, 한 쌍의 제1 대기챔버(131)가 서로 마주보는 면의 반대 면에 제1 대기챔버(131)와 밀착되어 설치될 수 있다.
제2 대기챔버(133)는 밀폐되어 하우징의 내부와 차단될 수 있다. 또한, 제2 대기챔버(133)의 내부는 대기 상태를 유지할 수 있다. 제2 대기챔버(133)는 내부에 서브모터(139b) 및 제2 샤프트(139c)가 설치될 수 있다. 이때, 제2 대기챔버(133) 양측에 홀(미도시)이 형성될 수 있다.
제2 대기챔버(133)는 내측면에 제1 대기챔버(131)가 연결되고 제2 대기챔버(133)의 하측면에는 제3 대기챔버(135)가 연결될 수 있다. 제2 대기챔버(133)에 내측에는 밀폐부재가 설치되어 밀폐부재를 통해 하우징 내부를 진공상태로 유지시킬 수 있다.
즉, 제2 대기챔버(133)는 대기 상태에 설치되는 부품들과 진공상태인 하우징 내부와 교류를 차단하여 하우징 내부의 진공상태를 유지할 수 있도록 할 수 있다.
제3 대기챔버(135)는 육면체 형상으로 형성될 수 있고, 제1 챔버프레임(111)의 외측면에 복수 개로 설치될 수 있다. 또한, 제3 대기챔버(135)는 제1 챔버프레임(111)에 복수 개로 설치될 수 있다. 예를 들면, 하나의 제1 챔버프레임(111)에 한 쌍의 제3 대기챔버(135)가 설치될 수 있고, 제2 대기챔버(133)의 양단부에 연결될 수 있다.
제3 대기챔버(135)는 밀폐되어 하우징의 내부와 차단될 수 있다. 또한, 제3 대기챔버(135)의 내부는 대기 상태를 유지할 수 있고, 내부에 승강부(140)가 설치될 수 있다. 제3 대기챔버(135) 내측에는 밀폐부재가 설치되어 밀폐부재를 통해 하우징 내부를 진공상태로 유지시킬 수 있다.
즉, 제3 대기챔버(135)는 대기 상태에 설치되는 부품들과 진공상태인 하우징 내부와 교류를 차단하여 하우징 내부의 진공상태를 유지할 수 있도록 할 수 있다. 이때, 제3 대기챔버(135)의 하부에는 홀(미도시)이 형성되어 제어부(미도시)와 연결되어, 제3 대기챔버(135) 내부에 설치되는 승강부(140)를 제어할 수 있다.
배관(137)은 제2 대기챔버(135)의 하부면에 연결될 수 있고, 제2 대기챔버(135)가 플립 유닛(100) 하측 또는 외부에 구비되는 제어부 또는 회전모터 등과 케이블, 샤프트 등으로 연결시킬 수 있다. 이때, 배관(137)의 내부는 대기 상태를 유지할 수 있고, 진공상태인 하우징과 배관(137) 내부에 설치되는 케이블, 샤프트 등을 차단시킬 수 있다.
도 3을 참고하면, 구동부(139)는 대기챔버(130)의 내부에 설치될 수 있다. 또한, 구동부(139)는 챔버몸체(110)의 상, 하측 중 적어도 하나에 설치될 수 있다.
또한, 구동부(139)는 승강부(140)가 승하강할 수 있는 구동력을 제공하여 승강부(140)와 연결된 파지부(160)를 승하강시켜 글라스(G)를 상하로 이동시킬 수 있는 구동력을 제공할 수 있다.
구동부(139)는 승강부(140)와 연결되어 승강부(140)를 승하강 시킬 수 있다. 이때 승강부(140)는 파지부(160)와 연결되고 파지부(160)는 글라스(G)를 파지할 수 있어 결과적으로 구동부(139)는 글라스를 상하로 이동시킬 수 있는 구동력을 제공할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에서 구동부(139)는 구동모터(139a), 서브모터(139b), 제2 샤프트(139c) 및 연결잭(139d)를 포함할 수 있다. 이때 구동모터(139a)는 제1 대기챔버(131) 내부에 설치될 수 있다.
즉, 구동모터(139a)는 복수 개로 설치된 제1 대기챔버(131) 내부에 각각 설치될 수 있다.
한 쌍의 구동모터(139a)는 제1 샤프트(131a)와 연결될 수 있다. 한편, 구동모터(139a)는 서브모터(139b)와 연결될 수 있어 구동모터(139a)와 서브모터(139b) 통해 구동력을 더욱 증가시킬 수 있다.
또한, 서브모터(139b)의 양측으로는 제2 샤프트(139c)가 연결될 수 있다, 또한, 제2 샤프트(139c)의 단부에는 연결잭(139d)이 설치될 수 있다.
연결잭(139d)의 하부에는 전달부재(149)가 연결되어 구동모터(139a) 및 서브모터(139b)에서 발생된 구동력을 전달부재(149)로 전달할 수 있다.
또한, 서브모터(139b)의 좌측 및 우측으로 제2 샤트프트(139c)가 연결되어 구동모터(139a) 및 서브모터(139b)에서 발생되는 구동력을 2개의 전달부재(149)로 동시에 전달할 수 있다.
도 4를 참고하면, 본 발명의 일 실시예에서 승강부(140)는 구동부(139)에서 구동력을 전달받아 파지부(160)를 승하강 시키기 위해서 가이드부재(141), 연결부(142), 고정부재(143), 결합부(145), 승강부재(146), 기둥부재(147) 완충부재(148) 및 전달부재(149)를 포함할 수 있다.
승강부(140)는 복수 개로 형성될 수 있고, 진공상태인 하우징과 차단된 상태로 제3 대기챔버(135)의 내부에 각각 설치될 수 있다. 또한, 승강부(140)는 제2 대기챔버(133)의 내부에 설치된 연결잭(139d)의 하부에 연결될 수 있다.
가이드부재(141)는 H빔 형상일 수 있어 양측에 가이드홈(141a)이 형성될 수 있다. 또한, 가이드부재(141)는 제3 대기챔버(135) 내측의 상단부에서 하단부까지 연장형성되어 파지부(160)의 승하강을 가이드할 수 있다.
이때, 가이드홈(141a)의 양측에는 가이드이동부재(141b)가 끼움결합될 수 있다. 가이드이동부재(141b)는 'ㄷ'형상일 수 있다. 또한, 양측 단부가 돌출되어 가이드홈(141a)에 끼움결합될 수 있다. 가이드이동부재(141b)는 가이드홈(141a)을 따라 상하로 이동이 가능할 수 있다. 또한, 가이드이동부재(141b)에 연결부(142)가 나사 결합될 수 있다.
가이드이동부재(141b)가 가이드부재(141)의 길이방향을 따라 승하강함으로써, 가이드이동부재(141b)에 연결된 연결부(142)가 같이 승하강할 수 있다. 연결부(142)의 양측 단부에 고정부재(143)가 연결될 수 있다. 고정부재(143)에는 파지부(160)가 연결될 수 있다.
즉, 가이드부재(141)의 길이방향을 따라 가이드이동부재(141a)가 이동하면 가이드이동부재(141b)에 연결되는 연결부(142)와 연결부(142)의 양측단부에 연결된 고정부재(143)가 동시에 승하강함으로써, 고정부재(143)에 연결된 파지부(160)가 승하강할 수 있다.
연결부(142)는 제1 연결부재(142a) 및 제2 연결부재(142b)를 포함할 수 있다.
제1 연결부재(142a)는 판 형상으로 복수개로 형성될 수 있다. 가이드부재(141)의 길이방향을 따라 이동하는 가이드이동부재(141b)와 나사 결합되며 가이드부재(141)를 따라 이동할 수 있다.
또한, 제2 연결부재(142b)는 가이드부재(141)의 상단부 및 하단부에 결합되어 가이드부재(141)가 제3 대기챔버(135)와 가이드부재(141)의 결합을 견고하게 할 수 있다.
이때, 제1 연결부재(142a)는 가이드부재141)의 길이방향을 따라 3개 이상으로 설치될 수 있다. 상단부에 위치하는 제1 연결부재(142a)와 하단부에 위치하는 제1 연결부재(142a)에는 챔버몸체(110)를 향하는 방향으로 파지부(160)가 고정될 수 있는 고정부재(143)가 돌출 형성될 수 있다.
고정부재(143)는 판 형상으로 형성될 수 있다. 챔버몸체(110)를 향하는 방향으로 돌출 형성될 수 있다.
즉, 고정부재(143)는 제1 연결부재(142a)와 수직 연결되어 챔버몸체(110)의 내측으로 파지부(160)와 연결될 수 있다.
결합부(145)는 복수 개의 사각 단면이 결합되어 형성될 수 있다. 결합부(145)는 가이드부재(141)와 연결부(142)의 결합력을 향상시키고, 승강부재(146)로부터 전달되는 충격을 완화하기 위해서, 결합몸체(145a), 볼트(145b), 탄성부재(145c) 및 볼트고정부재(145d)를 포함할 수 있다.
결합몸체(145a)는 직육면체 형상으로 형성될 수 있다. 결합몸체(145a)는 연결부(142)의 외측면에 복수개로 결합되어 연결부(142)로 전달되는 충격을 완화할 수 있다.
볼트(145b)는 결합몸체(145a)의 상부 및 하부에서 결합몸체(145a) 내부를 향하여 나사 결합될 수 있고, 볼트(145b)가 결합몸체(145a)에 나사결합 될 때, 볼트(145b)와 결합몸체(145a) 사이에 탄성부재(145c)가 설치될 수 있다.
탄성부재(145c)는 코일 스프링으로 형성될 수 있으나 탄성력을 갖는 재질이라면 이에 한정되지는 않는다. 탄성부재(145c)는 볼트의 외주면과 결합부(145)의 장착공간(미도시) 사이에 장착될 수 있다.
탄성부재(145c)는 구동모터(139a) 및 서브모터(139b)를 통해 전달된 구동력이 승강부재(146)에서 연결부(142)로 전달될 때 승강부(140)가 정지하며 발생하는 충격을 완화시킴으로써, 승강부(140)의 내구성을 강화할 수 있다.
탄성부재(145c)와 볼트(145b)가 결합몸체(145a)에 삽입되어 결합몸체(145a)이 연결부(142)에 결합되는 결합력이 약해지는 것을 방지하기 위해, 결합몸체(145a)의 외측면에 결합몸체(145a)와 수직하게 볼트고정부재(145d)가 설치될 수 있다.
또한, 복수개의 제1 연결부재(142a)에서 중심에 위치하는 제1 연결부재(142a)는 좌측에 승강부재(146)가 연결될 수 있다.
승강부재(146)는 제1 연결부재(142a)의 좌측면에 결합되고, 원형 단면을 갖으며 돌출된 부분이 형성될 수 있다.
이때, 승강부재(146)는 중심홀이 형성된 원형 단면을 갖을 수 있다. 이때, 중심홀에 기둥부재(147)가 삽입될 수 있다.
승강부재(146)가 기둥부재(147)의 외주면을 따라서 슬라이딩 이동하여, 승강부재(146)와 결합되어 있는 연결부(142), 고정부재(143) 및 결합부(145)가 가이드부재(141)의 길이방향으로 승하강할 수 있다.
기둥부재(147)는 원기둥 형상으로 형성될 수 있다. 기둥부재(147)은 하단부가 제3 대기챔버(135)의 하부에 결합될 수 있다. 이때, 기둥부재(147)의 상부에는 완충부재(148)가 위치할 수 있다.
기둥부재(147)는 완충부재(148)의 내부로 기둥부재(147)가 삽입 결합될 수 있다.
완충부재(148)는 스프링 형상으로 형성될 수 있다. 상부에 연결된 구동모터(139a) 및 서브모터(139b)에서 발생되는 구동력에 의해 승강부재(146)로 전달되는 충격을 완화시킬 수 있다. 또한, 완충부재(148)의 상부에는 전달부재(149)가 결합될 수 있다.
전달부재(149)는 원기둥 형상으로 형성될 수 있다. 전달부재(149)는 내부에 홀이 형성되어 기둥부재(147)의 상부가 삽입될 수 있다.
전달부재(149)의 상단부는 제2 대기챔버(133) 양단부에 설치된 연결잭(139d)과 결합되어 구동부(139)로부터 전달되는 구동력을 전달할 수 있다.
도 5 및 도 6을 참고하면, 베이스부(150)는 글라스(G)를 지지하는 지지력을 향상시키고, 글라스(G)의 수평을 조절하기 위해서 베이스프레임(151), 지지프레임(153), 연결프레임(155), 보강프레임(157) 및 수평조절부재(159)를 포함할 수 있다.
베이스프레임(151)은 중심부에 홀이 형성된 판 형상으로 형성될 수 있고, 베이스프레임(151)의 외측면을 따라 베이스프레임(151) 내측방향으로제1 돌출부재(151a)가 복수개로 형성될 수 있다.
이때, 제1 돌출부재(151a)는 서로 이격되어 형성될 수 있고, 복수개의 제1 돌출부재(151a)는 서로 이격되게 형성될 수 있다.
제1 돌출부재(151a)는 후술한 도 8의 제2 돌출부재(161a) 및 제3 돌출부재(163a)와 교차하며 형성됨으로써, 파지부(160)가 베이스부(150)를 교차하면서 지날 수 있다.
지지프레임(153)은 사각 단면 또는 'ㄷ'자 단면을 갖으며 형성될 수 있다. 지지프레임(153)은 베이스프레임(151)보다 좁게 형성될 수 있으며, 베이스프레임(151)의 좌측 단부부터 우측 단부까지 연결되어 설치될 수 있다.
또한, 지지프레임(153)은 베이스프레임(151)의 하부에 설치되어 하우징의 바닥면으로부터 베이스프레임(151)을 지지할 수 있다.
연결프레임(155)은 판 형상으로 형성될 수 있다. 연결프레임(155)은 외측단부는 베이스프레임(151)과 연결될 수 있고 연결프레임의 내측단부는 지지프레임(153)에 연결될 수 있다. 연결프레임(155)은 베이스프레임(151)의 내측방향으로 돌출 형성될 수 있다.
연결프레임(155)은 4개로 형성될 수 있다. 연결프레임(155)은 베이스프레임(151)과 지지프레임(153) 간의 결합력을 강화시키기 위해서 베이스프레임(151)과 지지프레임(153) 사이에 설치될 수 있다.
보강프레임(157)은 바 형상으로 형성될 수 있고, 지지프레임(153)의 상부면에 설치될 수 있다. 보강프레임(157)은 2개의 지지프레임(153) 사이에 설치될 수 있다. 보강프레임(157)은 지지프레임(153)과 수직하게 설치될 수 있다.
또한, 보강프레임(157)은 7개 이상으로 설치될 수 있고, 5개의 보강프레임(157)은 서로 일정한 간격으로 이격되어 설치될 수 있다. 보강프레임(157)은 상부면에 나사홀이 형성되어 보정볼트(157a)가 나사홀에 나사 결합될 수 있다. 이때, 보정볼트(157a)의 상단부는 반원 형상일 수 있다.
또한, 보정볼트(145b)는 하부에 보정너트(157b)가 결합되어 보정볼트(157a)가 보강프레임(157)에 견고하게 고정될 수 있도록 한다.
보정볼트(145b)는 베이스프레임(151)과 파지부(160) 사이에 안착되는 글라스(G)에 돌출된 보정볼트(145b)가 글라스(G)에 밀착되어 글라스(G)가 회전하면서 글라스(G)의 양측 단부가 중력방향을 따라 글라스(G)의 중심부가 휘어지는 것을 방지할 수 있다.
한편, 본 발명의 일 실시예에서 센서부(190)는 챔버몸체(100) 내부에 글라스(G)가 있는지 유무를 확인하고, 글라스(G)가 회전할 때 모서리의 파손여부를 확인하기 위해서 유무감지센서(191) 및 파손감지센서(193)를 포함할 수 있다.
유무감지센서(191)는 베이스프레임(151)에 적어도 하나 이상 설치되어 베이스프레임(151)의 상부면에 글라스(G)의 안착유무를 판단할 수 있다. 유무감지센서(191)는 베이스프레임(151)의 우측면 중심부에 설치될 수 있다.
파손감지센서(193)는 베이스프레임(151)의 각 모서리 부분에 4개가 설치될 수 있다. 또한, 파손감지센서(193)는 베이스프레임(151) 상부면에 글라스(G)가 안착될 수 있다.
글라스(G)가 회전하면 파지된 부분에 압력이 가해져 글라스(G)의 모서리 부분이 파손될 수 있다. 이러한 파손을 방지하기 위해 글라스(G)의 파손이 잦은 베이스프레임(151)의 모서리 부분에 파손감지센서(193)를 설치하여 글라스(G)를 회전할 때 글라스(G)의 모서리의 파손여부를 미리 알 수 있어, 글라스(G)를 파지하는 파지부(160)의 압력을 조절하거나 글라스(G)의 파손을 미리 감지하여 불량인 글라스(G)가 추가 공정되는 것을 미리 방지할 수 있다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 수평조절부재를 나타낸 사시도이다.
도 1 및 도 7을 참고하면, 본 발명의 일 실시예에서 수평조절부재(159)는 글라스(G)가 베이스프레임(151)의 상부면에 안착될 때 글라스(G)의 수평이 틀어지거나 또는 기울어지는 것을 조절하여 베이스프레임(151)에 안착되는 글라스(G)의 수평을 맞추기 위해서 조절베어링(159a), 조절연결부(142), 조절몸체(159c) 및 미세조절부재(159d)를 포함할 수 있다.
수평조절부재(159)는 베이스프레임(150)의 각 모서리 부분에 8개가 설치될 수 있다. 수평조절부재(159)는 플립 유닛(100)의 하측에 설치되는 모터박스(B)의 측면에 연결되어 구동력을 제공받을 수 있다. 수평조절부재(159)는 모터박스(B)의 상부로 돌출되어 설치될 수 있다. 수평조절부재(159)의 상부로 돌출된 부분은 베이스프레임(150)의 각 모서리 부분에 위치할 수 있다.
조절베어링(159a)은 원형 단면으로 형성될 수 있고, 실리콘, 고무 등의 재질로 형성되어 글라스(G)에 충격이 적은 재질로 형성될 수 있다. 조절베어링(159a)은 글라스(G)에 접촉되어 글라스(G)를 미세하게 이동시킬 수 있다.
이때, 조절베어링(159a)의 하부에는 조절연결부재(159b)가 연결될 수 있다. 조절연결부재(159b)는 원기둥 형상으로 형성될 수 있다. 조절연결부재(159b)의 하단부에 조절몸체(159c)가 연결될 수 있다.
조절몸체(159c)는 사각 단면 또는 원형 단면을 갖을 수 있다. 조절몸체(159c)는 모터박스(B)의 좌측면에 연결될 수 있다. 모터박스(B)의 내부에는 수평조절부재(159)에 구동력을 제공할 수 있다.
조절몸체(159c)는 모터박스(B)의 내측 방향으로 'ㄱ' 형상 또는 'ㄴ'형상으로 미세조절부재(159d)가 돌출 형성될 수 있다. 미세조절부재(159d)는 조절몸체(159c)를 관통하며 나사가 결합될 수 있다.
미세조절부재(159d)는 수평조절부재(159)가 글라스(G)의 수평을 조절하는데 미세조절부재(159d)와 수평조절부재(159)를 관통하며 결합된 나사를 조절함으로써 수평조절부재(159)를 조이거나 풀어서 글라스(G)의 수평을 맞출 수 있다.
도 4 및 도 8을 참고하면, 파지부(160)는 글라스(G)의 파지가 용이하기 위해서 제1 홀더(161) 및 제2 홀더(163)를 포함할 수 있다.
제1 홀더(161)는 중심부에 홀이 형성된 사각형의 형상일 수 있다. 또한, 제1 홀더(161)는 테두리가 상부측으로 돌출형성될 수 있다.
또한, 제1 홀더(161)는 글라스(G)의 상측에 위치할 수 있고, 챔버몸체(110)의 내측에 위치할 수 있다. 또한, 제1 홀더(161)는 고정부재(143)와 연결되어 고정될 수 있다.
또한, 제1 홀더(161)의 내측으로 제2 돌출부재(161a)가 돌출 형성될 수 있다. 이때, 제2 돌출부재(161a)는 복수 개로 돌출형성되어 내부에 글라스(G)와 접촉할 수 있는 면적을 증가시켜 글라스(G)의 파지를 용이하도록 할 수 있다.
제2 홀더(163)는 중심부에 홀이 형성된 사각형의 형상일 수 있다. 또한, 제2 홀더(163)는 테두리가 상부측으로 돌출형성될 수 있다. 또한, 제2 홀더(163)는 글라스(G)의 상측에 위치할 수 있고, 챔버몸체(110)의 내측에 위치할 수 있다. 또한, 제2 홀더(163)는 고정부재(143)와 연결되어 고정될 수 있다.
또한, 제2 홀더(163)의 내측으로 제3 돌출부재(163a)가 돌출 형성될 수 있다. 이때, 제3 돌출부재(163a)는 복수 개로 돌출형성되어 내부에 글라스(G)와 접촉할 수 있는 면적을 증가시켜 글라스(G)의 파지를 용이하도록 할 수 있다
제1 홀더(161) 및 제2 홀더(163)는 서로 마주보며 이격되어 형성될 수 있다. 제2 돌출부재(161a)와 제3 돌출부재(163a)는 서로 대응되는 위치 또는 대응되는 위치뿐만 아니라 제2 돌출부재(161a) 또는 제 3 돌출부재(163a) 중 하나가 더 많은 수로 형성될 수 있다.
제2 돌출부재(161a) 및 제3 돌출부재(163a)가 형성됨으로써 글라스(G)를 파지하는 것이 용이하다
또한, 챔버몸체(110)가 회전할 때 챔버몸체(110)의 내측에 위치하는 파지부(160)가 동시에 회전하여, 제1 홀더(161)와 제2 홀더(163)의 위치는 상하로 반전될 수 있다.
도 5 및 도 8을 참고하면, 지지부(170)는 글라스(G)와 밀착력을 증가시켜 글라스(G)의 이탈을 방지하기 위해서 제1 지지부재(171), 제2 지지부재(173) 및 제3 지지부재(175)를 포함할 수 있다.
제1 지지부재(171)는 사각형 형상으로 형성될 수 있다. 제1 지지부재(171)는 베이스프레임(151)에 형성된 제1 돌출부재(151a)의 상부면에 결합할 수 있다.
또한, 제1 지지부재(171)를 베이스프레임(151)에 전진배치하여 글라스(G)와 베이스프레임(151)의 접촉면적을 증가시켜 밀착력을 강화할 수 있다.
제1 지지부재(171)는 베이스프레임(151)의 상부에 안착된 글라스(G)의 미끄러짐을 방지하며 글라스(G)를 지지할 수 있다.
또한, 제1 지지부재(171)의 하부면에 제1 홈(171a)이 형성되어 미끄럼방지부재(177)가 결합될 수 있다.
글라스(G)가 미끄럼 방지 기능을 더욱 강화할 때 제1 지지부재(171)의 제1 홈(171a)이 형성된 면을 상부로 배치하여 제1 홈(171a)에 미끄럼방지부재(177)를 끼움 결합하여 미끄럼 방지를 강화할 수 있다.
제2 지지부재(173)는 사각형 형상으로 형성될 수 있다. 제2 지지부재(173)는 제2 돌출부재(161a)의 상부면에 결합할 수 있다. 또한, 제2 지지부재(173)를 제2 돌출부재(161a)에 전진 배치하여 글라스(G)와 제1 홀더(161a)의 접촉면적을 증가시켜 밀착력을 강화할 수 있다. 또한, 제2 지지부재(173)는 제2 돌출부재(161a)보다 돌출되어 제2 돌출부재(161a)에 결합될 수 있다.
제2 지지부재(173)는 제1 홀더(161)의 하부에 위치하는 베이스부(150)에 안착된 글라스(G)의 상측에서 글라스(G)를 파지할 때 미끄러짐을 방지하며 글라스(G)에 밀착될 수 있다.
또한, 제2 지지부재(173)의 글라스(G)를 향하는 면에 제2 홈(173a)이 형성될 수 있다. 제2 홈(173a)에 미끄럼방지부재(177)를 끼움 결합하여 글라스(G)가 미끄러지는 것을 방지할 수 있다.
제3 지지부재(175)는 사각형 형상으로 형성될 수 있다. 제3 지지부재(175)는 제3 돌출부재(163a)의 하부면에 결합할 수 있다. 또한, 제3 지지부재(175)를 제3 돌출부재(163a)에 전진 배치하여 글라스(G)와 제2 홀더(163)의 접촉면적을 증가시켜 밀착력을 강화할 수 있다.
제3 지지부재(157)는 제3 돌출부재(163a)보다 돌출되어 형성될 수 있다. 제2 홀더(163)의 상부에 위치하는 베이스부(150)에 안착된 글라스(G)의 상측에서 글라스(G)를 파지할 때 미끄러짐을 방지하며 글라스(G)에 밀착될 수 있다.
또한, 제3 지지부재(175)의 글라스(G)를 향하는 면에 제3 홈(175a)이 형성될 수 있고, 제3 홈(175a)에 미끄럼방지부재(177)를 끼움 결합하여 미끄럼 방지를 강화할 수 있다.
도 9를 참고하면, 제1 홀더(161), 제2 홀더(163) 및 베이스프레임(151)가 배치된 상태를 나타낼 수 있다. 제1 홀더(161)와 제2 홀더(163) 사이에 베이스프레임(151)가 위치할 수 있다.
또한, 제1 돌출부재(151a)는 제2 돌출부재(161a) 및 제3 돌출부재(163a)와 서로 교차되며 형성되어 제2 돌출부재(161a) 및 제3 돌출부재(163a)가 승하강시 제1 돌출부재(151a)를 교차하며 지날 수 있다.
도 10은 본 발명의 일 실시예에 따른 플립 유닛을 이용하여 글라스를 반전시키는 과정을 나타낸 측면도이다.
도 10을 참고하면, 평상시에 플립 유닛(100)은 도 1의 도면과 상하 반전된 상태를 유지할 수 있다.
도 10a를 참고하면 베이스프레임(151)의 하부에 제1 홀더(161)이 위치한다. 제1 홀더(161)의 하부에는 제1 홀더(161)와 이격되어 제2 홀더(163)이 위치한다. 베이스프레임(151)은 하우징의 상부면에 연결될 수 있다.
도 10b를 참고하면, 베이스프레임(151)과 제1 홀더(161)와 제2 홀더(163) 사이에 이송로봇(R)에 의해 글라스(G)가 챔버몸체(110) 내부로 인입될 수 있다.
도 10c를 참고하면, 제1 홀더(161) 및 제2 홀더(163)가 상승하여 제2 홀더(163)의 상부면에 글라스(G)를 안착시키면서 베이스프레임(151)의 하부면이 글라스(G)의 상부에 밀착하여 글라스(G)를 고정할 수 있다. 이 후 이송로봇(R)을 외부로 배출할 수 있다.
도 10d를 참고하면, 플립 유닛(100)이 회전되면서 제1 홀더(161)와 제2 홀더(163)의 위치를 상하 반전하면서 글라스(G)를 상하 반전시킬 수 있다.
도 10e를 참고하면, 제1 홀더(161) 및 제2 홀더(163)가 상승하여 제1 홀더(161)의 상부면에 글라스(G)를 안착시키고 베이스프레임(151)의 상부면과 글라스(G)를 이격시킬 수 있다.
도 10f를 참고하면, 이송로봇(R)이 플립 유닛(100) 내부로 인입되어 글라스(G)의 하부를 지지할 수 있다.
도 10g를 참고하면, 제1 홀더(161) 및 제2 홀더(163)를 하강시켜 제1 홀더(161)와 글라스(G)를 이격시킬 수 있다.
도 10h를 참고하면, 이송로봇(R)을 인출하여 글라스(G)를 인출할 수 있다.
도 10i를 참고하면, 플립 유닛(100)을 다시 회전시켜 제1 홀더(161)와 베이스프레임(151)을 상측으로 위치시키고, 제2 홀더(163)를 하부로 위치시킬 수 있다. 즉, 도 10a의 형태로 복귀할 수 있다.
본 발명을 앞서 기재한 바에 따라 바람직한 실시예를 통해 설명하였지만, 본 발명은 이에 한정되지 않으며 다음에 기재하는 특허청구범위의 개념과 범위를 벗어나지 않는 한, 다양한 수정 및 변형이 가능하다는 것을 본 발명이 속하는 기술 분야에 종사하는 자들은 쉽게 이해할 것이다.
100: 플립 유닛 110: 챔버몸체
111: 제1 챔버프레임 113: 제2 챔버프레임
115: 제1 개폐홀 117: 제3 챔버프레임
120: 회전부 121: 회전몸체
123: 회전축부재 130: 대기챔버
131: 제1 대기챔버 131a: 제1 샤프트
133: 제2 대기챔버 135: 제3 대기챔버
137: 배관 139: 구동부
139a: 구동모터 139b: 서브모터
139c: 제2 샤프트 139d: 연결잭
140: 승강부 141: 가이드부재
142: 연결부재 142a: 제1 연결부재
142b: 제2 연결부재 143: 고정부재
145: 결합부 145a: 결합몸체
145b: 볼트 145c: 탄성부재
145d: 볼트고정부재 146: 승강부재
147: 기둥부재 148: 완충부재
149: 전달부재 150: 베이스부
151: 베이스프레임 151a: 제1 돌출부재
153: 지지프레임 155: 연결프레임
157: 보강프레임 157a: 보정볼트
157b: 보정너트 159: 수평조절부재
159a: 조절베어링 159b: 조절연결부재
159c; 조절몸체 159d: 미세조절부재
160: 파지부
161: 제1 홀더 161a: 제2 돌출부재
163: 제2 홀더 163a: 제3 돌출부재
170: 지지부 171: 제1 지지부재
171a: 제1 홈 173: 제2 지지부재
173a: 제2 홈 175: 제3 지지부재
175a: 제3 홈 177: 미끄럼방지부재
190: 센서부 191: 유무감지센서
193: 파손감지센서

Claims (11)

  1. 일측면에 글라스가 인입 또는 인출되는 제1 개폐홀이 형성된 챔버몸체;
    상기 챔버몸체의 외측에 연결되어 상기 챔버몸체를 회전하는 회전부;
    상기 회전부를 회전시키는 구동부;
    상기 챔버몸체 외측면에 설치되어 상기 글라스를 수직 이동시키는 승강부;
    상기 글라스를 안착시키는 베이스부;
    상기 승강부와 연결되어 상기 글라스를 내측에 안착시키는 파지부;
    상기 베이스부 외측면 및 상기 파지부 외측면에 설치되어 상기 글라스를 지지하는 지지부; 및
    상기 베이스부에 복수개로 설치되어 상기 글라스의 유무 및 상기 글라스의 파손을 검출하는 센서부를 포함하고,
    상기 지지부는,
    상기 베이스부 외측면으로 결합되고, 상기 글라스의 미끄럼을 방지하며 일측면에 제1 홈이 형성되어 미끄럼방지부재가 삽입되는 제1 지지부재; 및
    상기 파지부의 내측으로 결합되고, 상기 글라스의 미끄럼을 방지하며 일측면에 제2 홈이 형성되어 상기 미끄럼방지부재가 삽입되는 제2 지지부재를 포함하고,
    상기 제1 지지부재 및 상기 제2 지지부재는 교차하여 설치되는 플립 유닛.
  2. 제1 항에 있어서,
    상기 구동부는,
    상기 베이스부 상부에 상기 베이스부와 이격되어 설치되는 구동모터;
    상기 구동모터와 연결되어 구동력을 제공하는 서브모터 및
    상기 구동모터의 외측면에 연결되어 구동력을 상기 승강부에 전달하는 제1 샤프트를 포함하는 플립 유닛.
  3. 청구항 2에 있어서,
    상기 챔버몸체의 외부에 설치되는 대기챔버를 포함하고,
    상기 대기챔버는,
    상기 구동모터를 밀폐하고 적어도 하나 이상의 제1 대기챔버;
    상기 서브모터 및 상기 제1 샤프트를 밀폐하고 적어도 하나 이상의 제2 대기챔버;
    상기 승강부를 밀폐하고 적어도 하나 이상의 제3 대기챔버; 및
    상기 제1 대기챔버, 상기 제2 대기챔버 및 상기 제3 대기챔버를 연결하는 배관을 포함하는 플립 유닛.
  4. 제1 항에 있어서,
    상기 베이스부는,
    중심부에 홀이 형성되고 내부에 복수 개의 수평재 또는 기둥부재가 형성되어 상기 글라스를 안착하는 베이스프레임;
    하부에 설치되어 베이스프레임을 지지하는 지지프레임; 및
    상기 베이스 프레임의 외측면에 설치되어 상기 글라스의 센터링을 보정하는 수평조절부재를 포함하고,
    상기 베이스프레임에 나사결합되어 상기 글라스를 고정시키는 핀부재를 포함하는 플립 유닛.
  5. 제1 항에 있어서,
    상기 파지부는,
    인입된 상기 글라스의 상부에 설치되고, 내측으로 제1 돌출부재가 형성된 제1 홀더; 및
    인입된 상기 글라스의 하부에 설치되고, 내측으로 제2 돌출부재가 형성된 제2 홀더;를 포함하는 플립 유닛.
  6. 삭제
  7. 제1 항에 있어서,
    상기 센서부는,
    상기 베이스부의 외측면에 설치되며 상기 글라스의 유무를 감지하는 유무감지센서; 및
    상기 베이스부의 모서리에 설치되어 상기 글라스의 모서리 파손을 감지하는 파손감지센서를 포함하는 플립 유닛.
  8. 제1 항에 있어서,
    상기 회전부는,
    상기 챔버몸체 일측면에 돌출 형성되고 내부에 중공부가 형성된 회전몸체; 및
    상기 회전몸체 내측면에 결합되고 내부에 중공부가 형성되며 회전모터와 연결되어 상기 챔버몸체를 회전하는 구동력을 전달하는 회전축부재를 포함하는 플립 유닛.
  9. 제1 항에 있어서,
    상기 승강부는,
    상기 챔버 몸체 외측면에 복수개로 설치되어 상기 챔버 몸체와 고정되는 가이드부재;
    상기 가이드부재와 끼움결합되어 상기 가이드부재의 길이방향을 따라 이동하는 가이드이동부재;
    일측면에 고정부재가 연결되고 타측면에 승강부재가 연결되는 연결부;
    상기 연결부의 외측면에 결합되는 결합부를 포함하는 플립 유닛.
  10. 제9 항에 있어서,
    상기 결합부는,
    상기 연결부의 외측면에 설치되는 결합몸체;
    상기 결합몸체를 관통하며 결합되는 볼트;
    상기 볼트 외측면에 결합되어 상기 승강부로 전달되는 충격을 완화하는 탄성부재; 및
    상기 결합몸체와 수직방향으로 결합되는 볼트고정부재를 포함하는 플립 유닛.
  11. 제4 항에 있어서,
    상기 수평조절부재는,
    상기 글라스에 밀착되어 상기 글라스의 수평을 조절하는 수평조절부재; 및
    상기 수평조절부재와 수직방향으로 돌출형성되는 미세조절부재를 포함하는 플립 유닛.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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KR20070026263A (ko) * 2005-09-05 2007-03-08 동경 엘렉트론 주식회사 반송실, 기판 처리장치 및 기판의 이상 검출방법
KR20140123840A (ko) * 2013-04-15 2014-10-23 주식회사 원익아이피에스 플립챔버 및 이를 구비하는 박막 증착 시스템
KR101657079B1 (ko) * 2015-03-16 2016-09-13 주식회사 테스 기판처리장치의 수평조절장치 및 이를 이용한 수평조절방법

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