KR102277175B1 - 도포물질 도포완료 대상물의 제조방법 - Google Patents

Abstract

평면부에 더하여 단면부를 소정 두께의 도포물질로 덮을 수 있는 도포물질 도포완료 대상물의 제조방법을 제공한다. 평평한 면인 도포평면이 형성된 평면부(Tf)와, 평면부(Tf)와 연속한 단면부(Te)로서 곡면 및 평면부(Tf)의 도포평면과 평행하지 않은 평면의 적어도 한쪽을 가지는 도포단면이 형성된 단면부(Te)를 가지는 도포 대상물(T)의, 도포평면 및 도포단면에 도포물질(R)이 도포된 도포물질 도포완료 대상물을 제조하는 방법으로서, 도포물질(R)을, 적어도 도포평면을 따라 공급하는 도포물질 공급공정과, 도포단면에 공급된 도포물질(R) 또는 도포평면으로부터 이동해 온 도포물질(R)을, 도포평면으로부터 떨어지는 방향을 향해 소정의 두께로 도포단면을 덮도록 조정하는 단면부 도포물질 조정공정을 구비한다.

Description

도포물질 도포완료 대상물의 제조방법

본 발명은 도포물질 도포완료(塗布濟) 대상물의 제조방법에 관한 것으로서, 특히 평면부에 더하여 단면부(端面部)를 소정 두께의 도포물질로 덮을 수 있는 도포물질 도포완료 대상물의 제조방법에 관한 것이다.

광디스크 등의 기판 상에, 균일한 두께의 수지막을 형성하는 기술로서, 스핀 코팅법(spin coating method)이 있다. 스핀 코팅법은, 수지막의 원료가 되는 수지액을 기판의 표면 중앙에 공급하고, 기판의 표면 중심(中心)을 지나 표면에 수직인 회전축선 둘레로 기판을 회전시킴으로써, 수지액을 표면 전체에 전연(展延)시켜서 수지막을 형성하는 것이다(예를 들면, 특허문헌 1 참조).

일본공개특허공보 특개2009－15923호

수지액 등의 도포물질을 도포하는 대상인 도포 대상물로서, 광디스크 등의 기판 이외의 것(예를 들면 보호 유리 등)이 있고, 그의 형상에는, 평평한 면이 형성된 평면부가 대부분을 차지하고, 평면부의 단(端)이 모따기(面取)되어 곡면 등으로 형성된 것이 있다. 그리고, 이와 같은 도포 대상물에 도포물질을 도포할 때에, 평면부뿐만 아니라 모따기된 단 부분에도 소정의 두께로 도포물질을 도포하도록 요구되는 일이 있다. 그렇지만, 특허문헌 1에 기재된 스핀 코팅법에서는, 모따기된 단 부분에 도포된 도포물질을 소정의 두께로 하는 것이 어려웠다.

본 발명은 상술한 과제를 감안해서, 평면부에 더하여 단면부를 소정 두께의 도포물질로 덮을 수 있는 도포물질 도포완료 대상물의 제조방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.

상기 목적을 달성하기 위해서, 본 발명의 제1의 양태(態樣)에 관계된 도포물질 도포완료 대상물의 제조방법은, 예를 들면 도 1 내지 도 3을 참조해서 나타내면, 평평한 면인 도포평면(Tsp)(도 2b 참조)이 형성된 평면부(Tf)와, 평면부(Tf)와 연속한 단면부(Te)로서 곡면 및 평면부(Tf)의 도포평면(Tsp)과 평행하지 않은 평면의 적어도 한쪽을 가지는 도포단면(Tsc)(도 2b 참조)이 형성된 단면부(Te)를 가지는 도포 대상물(T)의, 도포평면(Tsp) 및 도포단면(Tsc)에 도포물질(R)이 도포된 도포물질 도포완료 대상물을 제조하는 방법으로서； 도포물질(R)을, 적어도 도포평면(Tsp)을 따라 공급하는 도포물질 공급공정(S2)과； 도포단면(Tsc)에 공급된 도포물질(R) 또는 도포평면(Tsp)으로부터 이동해 온 도포물질(R)을 소정의 두께로 도포단면(Tsc)을 덮도록 조정하는 단면부 도포물질 조정공정(S3∼S5)을 구비한다.

이와 같이 구성하면, 평면부에 더하여 단면부를 소정 두께의 도포물질로 덮을 수가 있다.

또, 본 발명의 제2의 양태에 관계된 도포물질 도포완료 대상물의 제조방법은, 예를 들면 도 1b 및 도 3을 참조해서 나타내면, 상기 본 발명의 제1의 양태에 관계된 도포물질 도포완료 대상물의 제조방법에 있어서, 단면부 도포물질 조정공정(S3∼S5)은, 공전축선(25) 둘레로 도포 대상물(T)을 회전시킴으로써 도포물질(R)을 전연시키도록 구성되어 있다.

이와 같이 구성하면, 공전축선 둘레의 회전에 수반하는 원심력에 의해서, 단면부에 대해서 도포물질을 대체로 균일하게 도포하는 것이 가능하게 된다.

또, 본 발명의 제3의 양태에 관계된 도포물질 도포완료 대상물의 제조방법은, 예를 들면 도 1b에 도시하는 바와 같이, 상기 본 발명의 제2의 양태에 관계된 도포물질 도포완료 대상물의 제조방법에 있어서, 공전축선(25)은, 도포물질(R)의 도포단면(Tsc)(예를 들면 도 2 참조)을 따른 도포평면(Tsp)(예를 들면 도 2 참조)으로부터 떨어지는 방향의 이동을 수반하는 원심력을 일으키게 하는 도포 대상물(T)의 회전 축선이다.

이와 같이 구성하면, 도포평면으로부터 도포단면에 걸쳐서 매끄럽게 이어진 도포물질의 막을 형성할 수가 있다.

또, 본 발명의 제4의 양태에 관계된 도포물질 도포완료 대상물의 제조방법은, 예를 들면 도 1, 도 2, 도 5를 참조해서 나타내면, 상기 본 발명의 제3의 양태에 관계된 도포물질 도포완료 대상물의 제조방법에 있어서, 단면부 도포물질 조정공정 전에, 도포평면(Tsp)에 대해서 원심력에 의한 도포물질(R)의 이동 방향의 하류측에서 도포 대상물(T)에 장착되는 지그(19)로서, 도포 대상물(T)에 장착되었을 때에 도포단면(Tsc)과 연속한 면을 형성하는 연접면(連接面)(19f)을 가지는 지그(19)를, 도포 대상물(T)에 장착하는 지그 장착공정을 구비하고； 단면부 도포물질 조정공정은, 공전축선(25) 둘레의 도포 대상물(T)의 회전에 의해서, 도포물질(R)을, 도포단면(Tsc)을 넘어서 연접면(19f)에 도달할 때까지 전연시키도록 구성되어 있다.

이와 같이 구성하면, 단면부 전체를 소정 두께의 도포물질로 덮을 수가 있다.

또, 본 발명의 제5의 양태에 관계된 도포물질 도포완료 대상물의 제조방법은, 예를 들면 도 1 및 도 3을 참조해서 나타내면, 상기 본 발명의 제2의 양태 내지 제4의 양태의 어느것인가 1개의 양태에 관계된 도포물질 도포완료 대상물의 제조방법에 있어서, 도포물질(R)이 소정의 증점(增粘) 처리에 의해 점도가 증가하는 액상의 물질로 구성되고； 단면부 도포물질 조정공정(S3∼S5)은, 소정의 두께로 된 도포물질(R)에 소정의 증점처리를 실시하는 증점공정(S4)을 포함해서 구성되어 있다.

이와 같이 구성하면, 단면부의 도포물질을 소정의 두께로 유지한 채 여분(餘分)의 도포물질의 처리를 행할 수가 있다.

또, 본 발명의 제6의 양태에 관계된 도포물질 도포완료 대상물의 제조방법은, 예를 들면 도 6을 참조해서 나타내면, 상기 본 발명의 제1의 양태에 관계된 도포물질 도포완료 대상물의 제조방법에 있어서, 단면부 도포물질 조정공정은, 도포평면(Tsp) 및 도포단면(Tsc)을 덮는 피복부재(覆合部材)(C)를 도포 대상물(T)에 끼워넣음으로써, 도포 대상물(T)과 피복부재(C) 사이에 충전된 도포물질(R)을 소정의 두께로 조정하도록 구성되어 있다.

이와 같이 구성하면, 도포 대상물과 피복부재를, 소정 두께의 도포물질을 거쳐서 붙여맞출 수가 있다.

본 발명에 의하면, 평면부에 더하여 단면부를 소정 두께의 도포물질로 덮을 수가 있다.

도 1은 본 발명의 실시 형태에 관계된 도포물질 도포완료 대상물의 제조방법을 실행하기 위한 장치의 일례인 도포장치의 개략 구성도이다.
도 2는 본 발명의 실시 형태에 있어서 적용되는 대상물을 도시하는 도면이고, 도 2a는 사시도, 도 2b는 종단면도(縱斷面圖)이다.
도 3은 도포완료 대상물을 제조하는 순서를 도시하는 흐름도이다.
도 4는 도포면에의 도포물질의 도포 상태를 예시하는 도면이고, 도 4a는 도포물질의 액고임(液溜)이 도포단면의 일부에 도달한 상태의 측면도, 도 4b는 도포물질의 액고임이 도포평면 내에 들어가 있는 상태의 측면도이다.
도 5는 본 발명의 실시 형태의 제1의 변형예에 관계된 도포물질 도포완료 대상물의 제조방법의 실행 양태의 일례를 도시하는 측면 개념도이다.
도 6은 본 발명의 실시 형태의 제2의 변형예에 관계된 도포물질 도포완료 대상물의 제조방법의 실행 양태를 예시하는 측면 개념도이다.

이 출원은, 일본에서 2018년 8월 22일에 출원된 일본특허출원 특원2018－155847호에 기초하고 있으며, 그 내용은 본 출원의 내용으로서 그의 일부를 형성한다.

또, 본 발명은 이하의 상세한 설명에 의해 더욱더 완전하게 이해할 수 있을 것이다. 본 발명의 또다른(추가적인) 응용 범위는, 이하의 상세한 설명에 의해 명확해질 것이다. 그렇지만, 상세한 설명 및 특정의 실예(實例)는, 본 발명의 바람직한 실시 형태이고, 설명의 목적을 위해서만 기재되어 있는 것이다. 이 상세한 설명으로부터, 여러 가지 변경, 개변이, 본 발명의 정신과 범위 내에서, 당업자에게 있어 명확하기 때문이다.

출원인은, 기재된 실시 형태의 어느것이나(모두) 공중에 헌상할 의도는 없고, 개시된 개변, 대체안 중, 특허 청구범위 내에 문언상 포함되지 않을지도 모르는 것도, 균등론 하에서의 발명의 일부로 한다.

이하, 도면을 참조해서 본 발명의 실시 형태에 대해서 설명한다. 또한, 각 도면에 있어서 서로 동일 또는 상당하는 부재에는 동일 혹은 유사한 부호를 붙이고, 중복된 설명은 생략한다.

우선 도 1을 참조해서, 본 발명의 실시 형태에 관계된 도포물질 도포완료 대상물의 제조방법을 실시하기 위한 도포장치(1)를 설명한다. 도 1은, 도포장치(1)의 개략 구성도이고, 도 1a는 도포물질(R)의 도포시의 양태를 예시하는 도면, 도 1b는 도포물질(R) 전연시의 양태를 예시하는 도면이다. 도포장치(1)는, 도포물질(R)이 도포되는 도포 대상물(T)(이하, 단지 「대상물(T)」이라고 한다.)의 주된 면을 구성하는 평면부(Tf)와 단(端) 부분을 구성하는 단면부(Te)를 소정 두께의 도포물질(R)로 덮도록 하는데 적합한 장치이고, 도포기(11)와, UV 조사기(15)와, 공전판(21)과, 자전판(31)과, 제어장치(50)를 구비하고 있다. 도포장치(1)의 설명에 앞서서, 본 실시 형태에서 도포물질(R)이 도포되는 대상물(T)에 대해서 설명한다.

도 2a는 대상물(T)의 사시도, 도 2b는 도 2a의 B－B 화살표를 따라 보았을 때(矢視)에 있어서의 대상물(T)의 종단면도이다. 대상물(T)은, 본 실시 형태에서는, 전체적으로, 평면에서 보았을 때(平面視)가 장방형이고, 두께가 있는 판모양으로 형성되어 있다. 여기에서는, 설명의 편의상, 대상물(T)을, 주요 부분인 평면부(Tf)와, 단 부분인 단면부(Te)로 구별하는 것으로 한다. 평면부(Tf)는, 도포물질(R)이 도포되는 표면이 평평한 면으로 형성되어 있고, 이 평평한 면을 도포평면(Tsp)이라고 하는 것으로 한다. 단면부(Te)는, 도포물질(R)이 도포되는 표면인 도포단면(Tsc)이, 도포평면(Tsp)과 연속해 있지만, 도포평면(Tsp)과는 동일 평면 상에는 없다. 도포단면(Tsc)은, 전형적으로는, 곡면이나, 도포평면(Tsp)에 대해서 평행하지 않은 평면이나, 이들의 조합으로 형성되어 있다. 바꾸어 말하면, 대상물(T)은, 도포면(Ts)이, 단면부(Te)에서 모따기되어 있다. 도포면(Ts)은, 도포물질(R)이 도포되는 면이고, 도포평면(Tsp) 및 도포단면(Tsc)을 포함하고 있다. 또한, 도포단면(Tsc)을 형성할 수 있는 곡면은, 곡률이 일정하지 않아도 좋고, 접평면(接平面)(Vt)(곡면에 접하는 가상 평면으로서, 곡면 상에 있는 임의의 곡선에 있어서의 접선이 평면을 만드는 것)이 도포평면(Tsp)과 동일 평면 상에 없으면 좋다. 도포단면(Tsc)을 형성할 수 있는 곡면은, 곡률 반경이 1㎜나 0.5㎜ 정도로 작아지는 경우나, 5㎜나 10㎜ 정도인 경우가 있다. 대상물(T)은, 도포평면(Tsp)의 반대측의 이면(Tr)이, 본 실시 형태에서는 도포평면(Tsp)에 대해서 평행한 평면으로 형성되어 있지만, 도포평면(Tsp)에 대해서 평행하지 않은 평면으로 형성되어 있어도 좋고, 평면이 아니어도 좋다.

도포면(Ts)에 도포되는 도포물질(R)은, 소정의 점도를 가지는 액체상(液體狀) 물질이고, 코팅제나 접착제 등의 용도로 이용할 수가 있다. 도포물질(R)은, 전형적으로는, 웨트 코팅에 적합한 것이다. 소정의 점도는, 도포물질(R)의 용도에 따라 결정되고, 전형적으로는 원심력이 작용했을 때에 퍼지도록 변형하는 점도이다. 또, 도포물질(R)은, 본 실시 형태에서는, 자외선이 조사되면 점도가 증가하는 성질을 가지고 있다. 또, 도포물질(R)은, 점도의 증가에 의해서 유동성을 잃고 겔상으로 되도록 구성되어 있다. 이하의 설명에 있어서 대상물(T)의 구성에 대해 언급하고 있을 때는 적당히 도 2를 참조하는 것으로 한다.

다시 도 1로 되돌아가서 도포장치(1)의 설명을 계속한다. 도포기(11)는, 도포물질(R)을 도포면(Ts)에 공급하는 것이다. 바꾸어 말하면, 도포기(11)는, 도포장치(1)에 있어서의 도포물질 공급부로서 기능한다. 도포기(11)는, 본 실시 형태에서는, 도포물질(R)을 도포평면(Tsp)에 대해서 균일하게 도포할 수 있도록 구성되어 있고, 어플리케이터, 바 코터, 다이 코터, 슬릿 코터 등이 이용된다. 상황에 따라서는, 도포기(11)는, 도포물질(R)을 스프레이하는 것이더라도 좋다. 도포기(11)는, 도포평면(Tsp)을 따라 이동할 수 있도록 구성되어 있고, 본 실시 형태에서는 수평 이동할 수 있도록 구성되어 있다.

UV 조사기(15)는, 자외선을 조사하는 것이고, 도포장치(1)에 있어서의 증점처리부로서 기능한다. UV 조사기(15)는, 본 실시 형태에서는, 주부(主部)(15f)와 단부(端部)(15e)를 가지고 있다. 주부(15f) 및 단부(15e)는, 본 실시 형태에서는, 단면(斷面)이 コ자 모양(コ字狀)이고 일면이 개구된 직방체모양의 상자부재(15c)에 장착되어 있다. 주부(15f)는, 상자부재(15c)의 내측 바닥면(底面)에 장착되어 있다. 단부(15e)는, 상자부재(15c)의 내측 바닥면으로부터 수직으로 연장하는 측면에 장착되어 있다. 주부(15f) 및 단부(15e)는, 대상물(T)을, 도포평면(Tsp)이 주부(15f)와 대향하도록 배치했을 때에, 도포단면(Tsc)과 대향하는 위치에 단부(15e)가 오는 바와 같은 배치에서, 상자부재(15c)에 장착되어 있다. UV 조사기(15)는, 조사하는 자외선의 강도를 조절할 수 있도록 구성되어 있다. 또, UV 조사기(15)는, 대상물(T)과의 거리를 바꿀 수 있도록 이동가능하게 구성되어 있고, 본 실시 형태에서는 수평 이동할 수 있도록 구성되어 있다. UV 조사기(15)가 수평 이동가능하게 구성되어 있는 것에 의해, 도포단면(Tsc)에 조사되는 자외선의 범위를 바꿀 수가 있다. 또한, 도포단면(Tsc)에 조사되는 자외선의 범위를 바꾸는 구성으로서, 이동가능한 상자부재(15c)에 주부(15f) 및 단부(15e)를 장착하는 구성 대신에, UV 조사기(15)에 의한 자외선의 조사 범위를 마스킹으로 한정하는 구성으로 해도 좋고, UV 조사기(15)를 이동가능한 UV 레이저로 구성해서 지정 위치에만 자외선을 조사하는 구성으로 해도 좋고, 미러를 이용해서 UV 라이트를 제어하는 구성으로 해도 좋다.

공전판(21)은, 대상물(T)에 도포물질(R)을 도포할 때에, 대상물(T)의 위치를 정하기 위한 부재이다. 공전판(21)은, 판모양의 부재로 형성되어 있다. 공전판(21)은, 대상물(T)의 이면(Tr)을 포함하는 크기로 형성된 바닥부(底部)(21b)와, 바닥부(21b)의 일단(一端)으로부터 수직으로 일어서는 벽부(21w)를 가지고 있다. 바닥부(21b)의, 자전판(31)을 거쳐서 대상물(T)이 얹어놓이는 측의 면은, 평면으로 형성되어 있다. 벽부(21w)의, 바닥부(21b)에 접속된 단부와는 반대측의 단부에는, 공전축(23)이 장착되어 있다. 공전축(23)은, 막대모양(棒狀)의 부재이고, 전형적으로는, 바닥부(21b)의 면에 대해서 평행하게, 또한, 바닥부(21b)가 존재하는 것과는 반대측으로 연장하도록, 벽부(21w)에 장착되어 있다. 공전축(23)은, 중실(中實) 또는 중공(中空)의 원기둥 또는 단면이 다각형인 각기둥을 이용할 수 있고, 그의 축선인 공전축선(25) 둘레로 회전할 수 있도록 구성되어 있다. 공전축(23)의, 벽부(21w)에 접속된 단부와는 반대측의 단부에는, 공전축(23)을 공전축선(25) 둘레로 회전시키는 공전 모터(도시하지 않음)가 마련되어 있다. 또, 공전판(21)은, 바닥부(21b)의 면이 수평으로 되는 상태와 수직으로 되는 상태 사이에서 이동할 수 있도록 구성되어 있다. 본 실시 형태에서는, 바닥부(21b)의 면이 수평 상태(도 1a 참조)에 있어서, 공전축(23)의 연장선 상에 있는 벽부(21w)의 부분을 관통함과 동시에 공전축선(25)에 직교해서 수평으로 연장하는 가상축선(21a) 둘레로 공전판(21)이 회동할 수 있도록 구성되어 있다. 공전판(21)의 바닥부(21b)의 면이 수직으로 되는 상태(도 1b 참조)로 공전판(21)이 이동했을 때에, 바닥부(21b)와 UV 조사기(15)의 주부(15f)가 대향하는 위치관계로 되도록, UV 조사기(15) 및 공전판(21)이 배치되어 있다.

자전판(31)은, 대상물(T)을, 공전판(21)의 바닥부(21b)의 면을 따라 회전시키기 위한 부재이다. 자전판(31)은, 판모양의 부재가, 대상물(T)의 이면(Tr)을 포함하는 크기로 형성되어 구성되어 있다. 자전판(31)은, 판모양 부재의 표면(31s) 및 이면(31r)이, 모두 평평하게 형성되어 있다. 자전판(31)은, 이면(31r)이 공전판(21)의 바닥부(21b)의 면과 대향하도록 배치되어 있다. 자전판(31)의 표면(31s)에는, 대상물(T)에 도포물질(R)을 도포할 때에, 대상물(T)의 이면(Tr)이 대향하도록 해서 대상물(T)이 얹어놓이도록 되어 있다. 자전판(31)은, 이면(31r)에, 자전축(33)의 일단이 장착되어 있다. 자전축(33)은, 막대모양의 부재이고, 자전판(31)의 이면(31r)에 대해서 수직으로 연장하도록 자전판(31)에 장착되어 있다. 자전축(33)은, 중실 또는 중공의 원기둥 또는 단면이 다각형인 각기둥을 이용할 수 있고, 그의 축선인 자전축선(35) 둘레로 회전할 수 있도록 구성되어 있다. 자전축(33)은, 전형적으로는, 자전축선(35)(이것을 연장한 가상직선을 포함한다)이, 자전판(31)의 무게중심(重心)과 표면(31s) 및 이면(31r) 각각의 도심(圖心)을 지나도록, 자전판(31)에 장착되어 있다. 자전축(33)은, 공전판(21)을 관통해서 연장하고 있으며, 공전판(21)의 관통구멍(貫通孔) 부분에 있어서 베어링(軸受)(도시하지 않음)에 지지된 구성으로 하면, 구조가 안정되어 바람직하다. 자전축(33)의, 자전판(31)에 접속된 단부와는 반대측의 단부에는, 자전축(33)을 자전축선(35) 둘레로 회전시키는 자전 모터(도시하지 않음)가 마련되어 있다.

제어장치(50)는, 도포장치(1)의 동작을 제어하는 기기이다. 제어장치(50)는, 도포기(11)와 유선 또는 무선으로 전기적으로 접속되어 있고, 대상물(T)로 향한 도포물질(R)의 공급유량의 조절(공급을 정지하고 있는 유량 0을 포함한다) 및 도포기(11)의 수평 방향으로의 이동을 제어할 수 있도록 구성되어 있다. 또, 제어장치(50)는, UV 조사기(15)와 유선 또는 무선으로 전기적으로 접속되어 있고, UV 조사기(15)로부터의 자외선 조사의 유무 및 조사하는 자외선의 강도를 조절할 수 있음과 동시에, 상자부재(15c)의 이동을 제어할 수 있도록 구성되어 있다. 또, 제어장치(50)는, 공전판(21)과 유선 또는 무선으로 전기적으로 접속되어 있고, 공전판(21)을 바닥부(21b)의 면이 수평으로 되는 상태(도 1a 참조)와 수직으로 되는 상태(도 1b 참조) 사이에서 이동시킬 수 있도록 구성되어 있다. 또, 제어장치(50)는, 공전 모터(도시하지 않음) 및 자전 모터(도시하지 않음)의 각각과 유선 또는 무선으로 전기적으로 접속되어 있고, 공전축(23)의 공전축선(25) 둘레의 회전 및 자전축(33)의 자전축선(35) 둘레의 회전을 각각 개별적으로 제어할 수 있도록 구성되어 있다.

계속해서 도 3을 참조해서, 본 발명의 실시 형태에 관계된, 도포물질 도포완료 대상물(도포물질(R)을 도포한(도포 마친) 대상물(T)이며, 이하 「도포완료 대상물(TR)」이라고 한다.)의 제조방법을 설명한다. 도 3은, 도포완료 대상물(TR)의 제조과정을 도시하는 흐름도이다. 이하, 지금까지 설명한 도포장치(1)(도 1 참조)를 이용한 도포완료 대상물(TR)의 제조방법을 설명하겠지만, 도포장치(1) 이외의 장치를 이용해서 제조해도 좋다. 이하의 도포장치(1)를 이용한 도포완료 대상물(TR)의 제조방법의 설명은, 도포장치(1)의 작용의 설명을 겸하고 있다. 이하의 설명에 있어서, 도포장치(1) 및/또는 대상물(T)의 구성에 대해 언급하고 있을 때는, 적당히 도 1 및/또는 도 2를 참조하는 것으로 한다. 이하에 설명하는 예에서는, 도포평면(Tsp) 및 도포단면(Tsc)의 전체에 걸쳐서 균일하게 도포물질(R)을 도포하는 것으로 한다.

도포완료 대상물(TR)의 제조를 개시함에 있어서, 제어장치(50)는, 공전판(21)의 바닥부(21b)의 면이 수평 상태로 되도록 한다. 이 상태에서, 수평으로 되어 있는 자전판(31)의 표면(31s)에 대상물(T)을 얹어놓는다(S1). 대상물(T)의 자전판(31)에의 얹어놓음(載置)은, 도포장치(1)에 로봇 팔(도시하지 않음)을 마련해서 그 로봇 팔로 행하는 것으로 해도 좋고, 사람손으로 행하는 것으로 해도 좋다. 어느것으로 해도, 대상물(T)의 도포면(Ts)이 위를 향하도록(이면(Tr)이 자전판(31)의 표면(31s)에 접하도록) 해서 대상물(T)이 자전판(31)의 표면(31s) 상에 얹어놓이고, 이 때, 자전축선(35)(이것을 연장한 가상직선을 포함한다)이 대상물(T)의 무게중심을 관통하는 위치에 대상물(T)을 얹어놓는 것이 바람직하다. 또, 공전축선(25)(이것을 연장한 가상직선을 포함한다)이, 도포평면(Tsp)과 평행하게 되는 것이 바람직하다. 또, 공전축선(25)은, 본 실시 형태에서는, 대상물(T)에 대해서 공전판(21)의 바닥부(21b)의 반대측으로 떨어져서 도포평면(Tsp)과 대향하고 있거나(이 때 공전축선(25)은 도포단면(Tsc)보다 도포평면(Tsp)에 가까운 위치에 있다), 도포평면(Tsp)에 접촉해 있는 상태로 되어 있다.

대상물(T)을 자전판(31)에 얹어놓으면, 제어장치(50)는, 도포기(11)를 제어해서, 도포기(11)로부터 적량의 도포물질(R)을 내보내면서, 도포기(11)를 도포평면(Tsp) 바로 위의 위치에서 도포평면(Tsp)의 일단(一端)으로부터 타단(他端)까지 도포평면(Tsp)을 따라 이동시킴으로써, 도포물질(R)을 도포평면(Tsp)에 도포한다(도포물질 공급공정： S2). 이 양태에서 도포평면(Tsp)에 도포물질(R)을 도포기(11)로 도포함으로써, 도포평면(Tsp) 전체에 일괄해서 대체로 균일하게 도포물질(R)을 도포할 수가 있다. 여기서, 「대체로 균일」이라고 한 것은, 도포평면(Tsp)에의 도포물질(R)의 도포가 완료했을 때에, 도포 처음(始)과 도포 끝(終)의 양단부에 있어서 다른 부분보다도 두께가 늘어나는 액고임(液溜)이 형성되는 것을 고려한 것이다. 이, 도포면(Ts)에의 도포물질(R)의 도포는, 웨트 코팅의 한 형태이다. 도포평면(Tsp)에의 도포가 완료했을 때의 대상물(T) 상의 도포물질(R)은, 전형적으로는 도 4a에 도시하는 바와 같이 도포평면(Tsp)에는 균일하게 도포되어 액고임 부분이 도포단면(Tsc)(단면부(Te))에 존재하게 되지만, 도 4b에 도시하는 바와 같이 액고임을 포함하는 도포된 도포물질(R) 전체가 도포평면(Tsp) 내에 들어가도록(수납되도록) 해도 좋다. 본 실시 형태에서는, 도포기(11)에 의해서 도포평면(Tsp) 및 도포단면(Tsc)의 전체에 걸쳐서 도포물질(R)을 균일하게 도포하는 것이 어려우므로, 도포물질 공급공정(S2)에 계속해서 이하의 조치를 취하는 것으로 하고 있다.

도포평면(Tsp)에의 도포물질(R)의 도포가 완료하면, 제어장치(50)는, 도포기(11)를 공전축(23)과는 반대측으로 퇴피시킨 다음에, 공전판(21)을, 바닥부(21b)의 면이 수직 상태(도 1b 참조)로 되도록 이동시킨다. 이 이동이 완료하면, 도포물질(R)이 도포된 도포평면(Tsp)과 대향하는 위치에 UV 조사기(15)의 주부(15f)가 존재하고 있게 된다. 그 후, 제어장치(50)는, 공전축선(25) 둘레의 공전판(21)의 회전을 개시한다(S3). 공전판(21)이 공전축선(25) 둘레로 회전하면, 도포평면(Tsp)에 도포된 도포물질(R)의 양단부의 액고임 부분이, 공전축선(25) 둘레의 회전에 수반해서 생긴 원심력에 의해서, 도포평면(Tsp)으로부터 떨어지는 방향(자전판(31)에 가까워지는 방향)으로, 도포단면(Tsc) 상을 전연해 간다. 이 때, 공전축선(25)은, 도포단면(Tsc)의 도포물질(R)에 작용하는 원심력을 크게 하는 관점에서는 대상물(T)로부터 떨어져 있으면 좋고, 도포장치(1)의 대형화를 억제하는 관점에서는 대상물(T)에 가까운 편이 좋은 바, 이들을 비교 고려해서 공전축선(25)과 대상물(T)의 거리를 설정하면 좋다. 도포물질(R)이 도포단면(Tsc) 상을 공전축선(25) 둘레의 회전에 수반하는 원심력에 의해서 전연함으로써, 도포단면(Tsc)에도 도포물질(R)을 균일하게 도포할 수가 있다. 또한, 이 때, 도포평면(Tsp)이 수직으로 되어 있으므로(도포평면(Tsp)의 법선이 수평으로 되어 있으므로) 액상의 도포물질(R)은 아래쪽에 모이기 쉽게 되어 위쪽의 도포단면(Tsc)과 아래쪽의 도포단면(Tsc)에서 두께가 다른 경우가 있음과 동시에, 공전축선(25) 둘레의 회전에 수반해서 도포면(Ts) 상에 작용하는 원심력이 공전축선(25)으로부터의 거리에 따라 다른 것에 기인해서 도포물질(R)의 전연 상태가 불균일하게 되는 경우가 있다. 이 문제(不都合)를 회피하기 위해서, 본 실시 형태에서는, 제어장치(50)가, 공전판(21)을 공전축선(25) 둘레로 회전시키고 있는 도중에, 적당히, 자전판(31)을 자전축선(35) 둘레로 회전시켜서, 중력의 영향을 극력 균일화함과 동시에 도포면(Ts) 상에 작용하는 원심력이 극력 균일하게 되도록 하고 있다.

제어장치(50)는, 공전축선(25) 둘레의 공전판(21)의 회전에 의해서 전연한 도포물질(R)에 대해서, 적당한 타이밍에서, UV 조사기(15)로부터 자외선을 조사시켜서, 도포물질(R)의 점도를 증가시킨다(증점공정： S4). 여기서, 적당한 타이밍은, 도포면(Ts)에 도포된 도포물질(R)의 두께가 원하는 두께로 되었을 때(본 실시 형태에서는 도포평면(Tsp)에 균일하게 도포된 도포물질(R)의 두께와 동일 정도로 되었을 때)이다. 도포물질(R)의, 자외선이 조사된 부분은, 자외선의 세기 및 조사 시간에 따라 점도가 증가해 가고, 전형적으로는, 최종적으로 유동성을 잃으면서 탄성을 가지는 겔상으로 된다. 또한, 보는 방식(見方)에 따라서는, 유동성을 잃은 겔은 「점도」라는 개념에 잘 어울리지 않는다고 생각되지만, 점도란 유체의 끈기의 정도인 것, 유체란 전단응력의 크기에 따라 연속적으로 변형하는 물체의 총칭으로서 물체의 세 양태 중 오로지 기체와 액체가 해당하지만 플라즈마나 소성(塑性)을 갖는 고체를 포함시키는 경우가 있는 것, 및 고체와 유체의 구별은 애매하기는 하지만 일단(一應) 점도의 크기로 이들은 나눌 수 있는 것을 감안하여, 본 명세서에서는, 겔은 액체의 점도가 높아진 것의 한 형태라고 해석한다. 또한, 도포완료 대상물(TR)로서 요구되는 조건에 따라서는 점성을 완전히 잃을 때까지 도포물질(R)을 고화시키는 경우도 있는 것으로 인해, 본 실시 형태에서는, 점도를 증가시키는 것에는 점성을 잃을 때까지 고화시키는 것도 포함된다. UV 조사기(15)로부터의 자외선의 조사에 의해서 도포물질(R)의 점도를 증가시키는 정도는, 두께를 바꾸는 바와 같은 유동이 도포물질(R)에 생기지 않을 정도이면 충분하다. 도포된 도포물질(R)에 자외선을 조사해서 도포물질(R)의 점도를 증가시킴으로써, 도포된 도포물질(R)의 두께가 중력이나 원심력 등에 의해서 변화하는 것을 회피할 수 있고, 안정된 두께의 도포물질(R)의 막을 형성할 수가 있다. UV 조사기(15)에 의한 자외선의 조사를 행할 때, 공전판(21)의 공전축선(25) 둘레의 회전에 의해서 도포평면(Tsp)의 단부 부근의 도포물질(R)은 도포평면(Tsp)으로부터 떨어지는 방향으로 도포단면(Tsc) 상을 서서히 전연해 가므로, UV 조사기(15)의 단부(15e)를, 처음에는 도포단면(Tsc)으로부터 벗어난 곳에 위치시켜 두고, 도포물질(R)의 전연에 추종(追隨)하여 이동시키도록 하면 좋다. 본 실시 형태에서는, 도포물질(R)의 특성 및 공전판(21)의 회전속도 등에 입각해서 미리 구해져 있는 도포물질(R)의 전연속도에 기초하여, UV 조사기(15)의 이동 속도를 결정하는 것으로 하고 있다. 또한, 도 3의 흐름도에서는, 설명의 편의상, 공전축선(25) 둘레의 공전판(21)의 회전을 개시(S3)한 후에 UV 조사기(15)에 의한 자외선의 조사(S4)를 행하는 것으로 하고 있지만, 공전판(21)을 회전시키기 전에 도포기(11)의 도포에 의해서 도포평면(Tsp)에는 도포물질(R)이 균일하게 도포되어 있는 경우는, 도포평면(Tsp) 상의 균일하게 도포되어 있는 도포물질(R)에 대해서 공전판(21)의 회전 전에 자외선을 조사해서 점도를 증가시켜도 좋다. 또, UV 조사기(15)로 자외선을 조사해서 도포물질(R)의 점도를 증가시킬 때, 도포물질(R)의 재질이나 UV 조사기(15)와 대상물(T)의 거리 등에 따라 자외선의 강도나 조사 시간 등을 적절히 조절하면 좋다.

UV 조사기(15)로 자외선을 조사하고 있을 때에, 제어장치(50)는, 도포물질(R)의 전연이 완료되었는지의 여부를 판단한다(S5). 본 실시 형태에서는, 대상물(T)의 도포평면(Tsp) 전체가 균일한 두께의 도포물질(R)로 덮여서 자외선의 조사에 의한 증점(增粘)이 종료된 것을 갖고서 전연이 완료되었다고 판단하는 것으로 하고 있다. 도포물질(R)의 전연이 완료되었는지의 여부를 판단하는 공정(S5)에 있어서, 전연이 완료되어 있지 않은 경우는 다시 도포물질(R)의 전연이 완료되었는지의 여부를 판단하는 공정(S5)으로 되돌아간다. 한편, 전연이 완료되어 있는 경우는, 제어장치(50)는, 공전축선(25) 둘레의 공전판(21)의 회전속도를 상승시키고(S6), 도포단면(Tsc)에 작용하는 원심력을 세게 한다. 도포단면(Tsc)에 작용하는 원심력을 세게 하는 것에 의해, 여분의 도포물질(R)을 불어날려버려서 제거할 수가 있다. 또한, 회전속도를 상승시키는 것 대신에, 또는 회전속도를 상승시킴과 동시에, 공전 반경(공전축선(25)과 도포단면(Tsc)의 거리)을 넓힘으로써 원심력을 세게 하는 것으로 해도 좋다. 도포단면(Tsc)에 작용하는 원심력을 세게 해서 여분의 도포물질(R)을 제거하면, 제어장치(50)는, 공전축선(25) 둘레의 공전판(21)의 회전을 정지한다(S7). 이상의 공정으로, 도포완료 대상물(TR)의 제조가 완료된다. 본 실시 형태에서는, 도 3에 도시하는 흐름도에 있어서, 공전축선(25) 둘레의 공전판(21)의 회전을 개시(S3)부터, 도포물질(R)의 전연이 완료되었는지의 여부를 판단하는 공정(S5)에 있어서 전연이 완료되었다고 판단할 때까지가, 단면부 도포물질 조정공정에 상당한다.

이상으로 설명한 바와 같이, 본 실시 형태에 관계된 도포완료 대상물(TR)의 제조방법에 의하면, 주요한 평면부(Tf)와 모따기된 단면부(Te)를 가지는 대상물(T)에 대해서, 도포평면(Tsp)에는 도포기(11)에 의해서 도포물질(R)을 균일한 두께로 신속하게 도포하고, 도포단면(Tsc)에는 공전축선(25) 둘레의 공전판(21)의 회전에 의해서 도포물질(R)을 전연시켜서 균일한 두께로 도포하므로, 비교적 짧은 시간에 도포면(Ts) 전체에 도포물질(R)을 균일하게 도포할 수 있음과 동시에, 여분으로 되는 도포물질(R)의 양을 억제할 수 있어 도포물질(R)의 폐기량을 억제할 수가 있다. 또, 도포물질(R)이 균일하게 도포된 부분의 점도를 순차 증가시켜 가므로, 균일해진 도포물질(R)의 두께가 공전판(21)의 회전에 수반하는 원심력에 의해서 바뀌어 버리는 것을 억제할 수가 있다.

다음에 도 5를 참조해서, 제1의 변형예에 관계된 도포완료 대상물(TR)의 제법(製法)을 설명한다. 이 제1의 변형예에서는, 자전판(31)과 대상물(T) 사이에 지그(19)를 마련하고 있다. 지그(19)는, 대상물(T)의 이면(Tr)과 동일 형상의 상면(19a)과, 상면(19a)에 대해서 교차하는 연접면(19f)을 가짐과 동시에, 소정의 두께를 가지고 있다. 연접면(19f)은, 지그(19)의 상면(19a)을 대상물(T)의 이면(Tr)에 맞추어 지그(19)를 대상물(T)에 장착했을 때에, 대상물(T)의 도포단면(Tsc)과 연속하도록 되어 있다. 바꾸어 말하면, 상면(19a)과 이면(Tr)을 맞추어 지그(19)를 대상물(T)에 장착하면, 지그(19)와 대상물(T)이 전체적으로 매끄러운 윤곽으로 된다. 대상물(T)을 장착한 지그(19)를 자전판(31)의 표면(31s)에 설치했을 때의, 자전축선(35)이 연장하는 방향에 있어서의 연접면(19f)의 길이가, 지그(19)의 소정의 두께에 상당한다. 지그(19)의 소정의 두께는, 공전판(21)을 공전축선(25) 둘레로 회전시켜서 도포물질(R)을 전연시켰을 때의 도포물질(R)의 선단의 액고임의 길이보다도 큰 것이 바람직하고, 당해(當該) 액고임의 길이의 1.5배∼2배 정도인 것이 보다 바람직하고, 당해 액고임의 길이의 2배보다도 커도 좋다. 이와 같이 구성된 지그(19)는, 본 변형예에서는, 도 3에 도시하는 흐름도에 있어서의 자전판(31)의 표면(31s)에 대상물(T)을 얹어놓는 공정(S1)시에, 대상물(T)에 장착된 다음에(지그 장착공정), 대상물(T)이 장착된 지그(19)를 자전판(31)의 표면(31s)에 얹어놓는 것으로 하고 있다. 이와 같이, 지그 장착공정은, 도 3에 도시하는 흐름도의 공전축선(25) 둘레의 공전판(21)의 회전을 개시하는 공정(S3) 전에 행해지고 있고, 본 변형예에서는 또 도포물질 공급공정(S2) 전에 행해지고 있다. 본 변형예와 같이, 대상물(T)에 지그(19)를 상술한 요령으로 장착한 다음에 공전판(21)을 공전축선(25) 둘레로 회전시켜서 도포물질(R)을 전연시키는 것에 의해, 원심력에 의해서 도포면(Ts)을 이동하는 도포물질(R)의 액고임이, 도포단면(Tsc)으로부터 지그(19)의 연접면(19f)으로 옮아가기 때문에, 보다 확실하게 도포단면(Tsc) 전체에 도포물질(R)을 균일한 두께로 도포하는 것이 가능해진다. 또한, 도포물질(R)의 점도를 증가시키지 않아도 도포물질(R)을 원하는 두께로 도포할 수 있는 경우는, 증점공정을 생략해도 좋다.

다음에 도 6을 참조해서 제2의 변형예에 관계된 도포물질 도포완료 대상물의 제법을 설명한다. 이 제2의 변형예에서는, 제조되는 것이, 대상물(T)에 대해서 도포물질(R)을 거쳐서 커버(C)가 끼워넣어진 첩부(貼付) 부재로 되어 있다. 이 첩부부재는, 도포면(Ts)에 도포물질(R)이 도포된 대상물(T)을 커버(C)로 덮음으로써, 커버(C)와 도포면(Ts) 사이에 소정 두께의 도포물질(R)의 층이 형성되게 된다. 커버(C)는, 대상물(T)의 도포면(Ts)을 덮는 부재이고, 피복부재(覆合部材)에 상당한다. 커버(C)는, 본 변형예에서는, 도포면(Ts) 전체를 덮을 수 있도록, 그의 내면이 도포면(Ts)보다도 크게 형성되어 있다. 커버(C)는, 고정밀도로 가공되어 있는 경우는 그의 내면의 윤곽이 대체로 대상물(T)의 도포면(Ts)의 윤곽과 상사(相似)로 되지만, 가공 정밀도가 낮은 경우는 그의 내면의 윤곽이 대상물(T)의 도포면(Ts)의 윤곽에 대해서 상사로 되지 않는 경우가 있다(특히 단면부(Te)에 대응하는 부분의 곡률 등). 본 변형예에서는, 대상물(T)과 커버(C) 사이를 도포물질(R)로 충전하는 것에 의해, 커버(C)의 가공오차를 메우는(보충하는) 것이 가능해진다.

도 6에 도시하는, 제2의 변형예에 관계된 첩부부재의 제법에서는, 우선, 도 6a에 도시하는 바와 같이, 대상물(T)의 도포면(Ts)에 도포물질(R)을 공급한다(도포물질 공급공정). 이 때, 본 변형예에서는, 대상물(T)을 공전 및/또는 자전시킬 예정이 없기 때문에, 공전판(21)(도 1 참조)이나 자전판(31)(도 1 참조)에 얹어놓지 않아도 좋다. 도포물질 공급공정에서는, 전형적으로는 도포기(11)에 의해서 도포물질(R)이 도포면(Ts)에 도포되게 되고, 도포평면(Tsp)에는 도포물질(R)이 균일하게 도포되는 것이 바람직하고, 도포단면(Tsc)의 일부 또는 전부에는 도포물질(R)의 도포(공급)가 불균일해도 좋다. 여기서, 도포평면(Tsp)에 도포물질(R)이 균일하게 도포된다는 것은, 최종적으로 첩부부재로 되었을 때에 품질에 지장이 없을 정도로 균일하게 도포되어 있으면 충분하다. 도포면(Ts)에 도포물질(R)을 도포하면, 도 6b에 도시하는 바와 같이, 균일하게 되어 있는 도포평면(Tsp)에 도포된 도포물질(R)에, UV 조사기(15)로 자외선을 조사해서, 도포평면(Tsp)에 도포된 도포물질(R)의 점도를 증가시킨다(증점공정). 이 때, 마스크(15m)를 사용하는 등의 조치에 의해, 원하는 두께로 되어 있지 않은 도포단면(Tsc)에 공급된 도포물질(R)에 자외선이 쐬지(조사되지) 않도록 하면 좋다. 이것에 의해, 균일하게 도포된 도포평면(Tsp) 부분의 도포물질(R)의 두께가 변화하는 것을 회피할 수 있고, 안정된 두께의 도포물질(R)의 막을 형성할 수가 있다. 다음에 도 6c에 도시하는 바와 같이, 도포면(Ts)에 도포물질(R)이 공급된 대상물(T) 및 커버(C)를 진공챔버(41)의 내부에 넣고, 진공 하에서, 도포면(Ts)에 도포물질(R)이 공급된 대상물(T)에 대해서 커버(C)를 끼워넣는다. 진공챔버(41) 내의 진공도는, 대상물(T)에 커버(C)가 끼워넣어졌을 때에, 대상물(T)과 커버(C) 사이에, 악영향을 일으키게 하는 기포가 생기지 않도록 할 수 있을 정도로 좋다. 도포면(Ts)에 도포물질(R)이 공급된 대상물(T)에 대해서 커버(C)를 끼워넣으면, 도포면(Ts)과 커버(C) 사이의 틈(隙間)에 도포물질(R)이 충전되고, 단면부(Te)에 존재하는 도포물질(R) 중의 과잉 분은 커버(C)가 끼워넣어지는 방향(도포평면(Tsp)으로부터 떨어지는 방향)으로 이동해서 이면(Tr)측으로부터 유출한다. 대상물(T)에 커버(C)를 끼워넣는 것에 의해, 평면부(Tf)에 존재하는 도포물질(R)은 증점시켰을 때의 균일한 두께가 고정되고, 단면부(Te)에 존재하는 도포물질(R)은 도포단면(Tsc)과 대상물(T)의 틈에 상당하는 소정의 두께로 조정된다. 본 변형예에서는, 대상물(T)을 커버(C)로 덮어서 단면부(Te)의 도포물질(R)을 소정의 두께로 조정하는 것이, 단면부 도포물질 조정공정에 상당한다. 소정의 두께는, 의도한 두께이면 좋고, 일정한 두께가 아니어도 좋다. 바꾸어 말하면, 소정의 두께는, 부위(평면부(Tf)인지 단면부(Te)인지)에 따라서 두께가 달라도 좋다. 본 변형예에 의하면, 커버(C)의 가공 정밀도가 높지 않은 경우이더라도, 원하는 두께의 도포물질(R)의 층을 가지는 첩부부재를 제조할 수가 있다. 또한, 도포물질(R)이 도포된 대상물(T)에 커버(C)를 끼워넣는 것을 진공환경 하 이외의 장소(전형적으로는 대기압 하)에서 행해도 지장없는 경우는, 진공 하에서 행하지 않아도 좋고, 그 경우는 진공챔버(41)를 이용할 것까지는 없다.

이상의 설명에서는, 대상물(T)이, 평면에서 보았을 때(평면 형상)가 장방형이라고 했지만, 정방형이나 삼각형이나 오각형 등의 다각형이더라도 좋고, 원형이나 타원형이더라도 좋다.

이상의 설명에서는, 도포물질(R)이 자외선의 조사에 의해서 점도가 증가하는 특성을 가지고 있고, 소정의 증점처리가 UV 조사기(15)에 의한 도포물질(R)에의 자외선 조사라고 했지만, 도포물질(R)이 열경화성 수지(열응답성 수지)인 경우는, 소정의 증점처리로서 도포물질(R)을 (히터 등으로) 가열하면 좋다. 혹은, 도포물질(R)이, 가열하면 점도가 작아지는 특성을 가지고 있는 경우는, 도 3에 도시하는 흐름의 공전축선(25) 둘레의 공전판(21)의 회전속도를 상승시키는 공정(S6)에 있어서 자외선을 조사하고 있지 않은 부분의 도포물질(R)을 가열하면, 여분의 도포물질(R)을 불어날려버리기 쉬워져서 호적(好適)하다.

이상의 설명에서는, 도포완료 대상물(TR)의 제조과정 및 첩부부재(도 6 참조)의 제조과정에 있어서, 대상물(T)에 도포한 도포물질(R)의 두께가 변화하는 것을 회피하기 위해서 자외선 조사 등의 소정의 증점처리를 행하는 것으로 했지만, 소정의 증점처리를 행하지 않아도 완성품(도포물질 도포완료 대상물)에 지장이 없는 경우는, 소정의 증점처리(도 3의 흐름에 있어서는 공정 S4)를 생략할 수가 있다.

이상의 설명(도 6에 도시하는 양태를 제외한다)에서는, 자전판(31)을 구비하고 있는 것으로 했지만, 자전축선(35) 둘레로 자전판(31)을 회전시키지 않아도 도포면(Ts)에 공급된 도포물질(R)의 치우침(편향)이 생기지 않는 경우는, 자전판(31)을 생략해도 좋다.

이상의 설명(도 6에 도시하는 양태를 제외한다)에서는, 도포단면(Tsc) 상에 있어서의 도포물질(R)의 전연이 완료했을 때에, 도포물질(R)을 불어날려버려 제거하기 위해서 공전축선(25) 둘레의 공전판(21)의 회전속도를 상승시키는(S6) 것으로 했지만, 도포물질(R)을 불어날려버리지 않아도 지장없는 경우는, 공전축선(25) 둘레의 공전판(21)의 회전속도를 상승시키는 공정(S6)을 생략해도 좋다.

이상의 설명에서는, 대상물(T)이, 이면(Tr)에 대해서 도포평면(Tsp)이 가장 높은 위치에 존재하는 전체적으로 볼록모양이라고 했지만, 도포평면(Tsp)이 움푹 패인 위치에 형성되고, 도포평면(Tsp)으로부터 한단(一段) 높은 위치(이면(Tr)으로부터 멀어지는 위치)를 향해 도포평면(Tsp)을 둘러싸도록 일어서는 내측벽에 도포단면(Tsc)이 형성된 오목모양이더라도 좋다. 이 때, 공전축선(25)은, 공전축선(25) 둘레의 대상물(T)의 회전에 의해서 도포물질(R)이 도포단면(Tsc)을 따르는 방향으로 이동하는 원심력을 일으키게 할 수 있는 위치에 마련하면 좋지만, 도포단면(Tsc) 상의 도포물질(R)을 도포평면(Tsp)으로부터 떨어지는 방향으로 이동시키도록 하는 경우는, 도포평면(Tsp)에 대해서 도포단면(Tsc)의 반대측에 위치하는 것으로 하는 것이 바람직하고, 전형적으로는, 도포평면(Tsp)의 근방 위치(도포평면(Tsp)에 접한 위치나 도포평면(Tsp)으로부터 도포단면(Tsc)측으로 조금 떨어진 위치), 도포평면(Tsp)과 이면(Tr) 사이 위치, 이면(Tr)에 접한 위치, 이면(Tr)보다도 대상물(T)로부터 떨어진 위치의 어느 하나로 설정된다. 또한, 대상물(T)이 오목모양인 경우에, 공전축선(25) 둘레의 대상물(T)의 회전에 의해서 도포단면(Tsc)을 따라 이동하는 도포물질(R)이 도포평면(Tsp)에 가까워지는 방향으로 이동하도록, 공전축선(25)의 위치를 설정해도 좋다.

이상의 설명에서는, 본 발명의 실시 형태에 관계된 도포물질 도포완료 대상물의 제조방법을, 일례로 해서 각 도면을 이용하여 설명했지만, 당해 제조방법이나 대상물 등의 각 부의 구성, 구조, 수, 배치, 형상, 재질 등에 관해서는, 상기 구체예에 한정되지 않고, 당업자가 적당히 선택적으로 채용한 것도, 본 발명의 요지를 포함하는 한, 본 발명의 범위에 포함된다.

본 명세서중에서 인용하는 간행물, 특허 출원 및 특허를 포함하는 모든 문헌을, 각 문헌을 개개로 구체적으로 나타내고, 참조해서 삽입하는(포함시키는) 것과, 또, 그 내용 모두를 여기서 기술하는 것과 동일 한도에서, 여기서 삽입한다.

본 발명의 설명에 관련해서 (특히 이하의 청구항에 관련해서) 이용되는 명사 및 마찬가지 지시어의 사용은, 본 명세서중에서 특별히 지적하거나, 명확하게 문맥과 모순되거나 하지 않는 한, 단수 및 복수의 양쪽에 이르는 것이라고 해석된다. 어구(語句) 「구비한다」, 「가진다」 및 「포함한다」는, 특별히 단정(특정적인 기재)가 없는 한, 오픈엔드 텀(즉 「∼를 포함하지만 한정되지 않는다」는 의미)으로서 해석된다. 본 명세서중의 수치 범위의 자세한 진술(具陳)은, 본 명세서중에서 특별히 지적하지 않는 한, 단지 그 범위 내에 해당하는 각 값을 개개로 언급하기 위한 약기법(略記法)으로서의 역할을 완수하는 것만을 의도하고 있고, 각 값은, 본 명세서중에서 개개로 열거된 바와 같이, 명세서에 삽입된다(포함시켜진다). 본 명세서중에서 설명되는 모든 방법은, 본 명세서중에서 특별히 지적하거나, 명확하게 문맥과 모순되거나 하지 않는 한, 모든 적절한 순번으로 행할 수가 있다. 본 명세서중에서 사용하는 모든 예 또는 예시적인 표현(예를 들면 「등」)은, 특별히 주장하지 않는 한, 단지 본 발명을 보다 잘 설명하는 것만을 의도하고, 본 발명의 범위에 대한 제한을 마련하는 것은 아니다. 명세서중의 어떠한 표현도, 청구항에 기재되어 있지 않은 요소를, 본 발명의 실시에 불가결한 것으로서 나타내는 것이라고는 해석되지 않는 것으로 한다.

본 명세서중에서는, 본 발명을 실시하기 위해 본 발명자가 알고 있는 최량의 형태를 포함시켜, 본 발명의 바람직한 실시 형태에 대해서 설명하고 있다. 당업자에게 있어서는, 상기 설명을 읽으면, 이들의 바람직한 실시 형태의 변형이 명확해질 것이다. 본 발명자는, 숙련자가 적당히 이와 같은 변형을 적용하는 것을 기대하고 있고, 본 명세서중에서 구체적으로 설명되는 이외의 방법으로 본 발명이 실시되는 것을 예정하고 있다. 따라서 본 발명은, 준거법에서 허용되고 있는 바와 같이, 본 명세서에 첨부된 청구항에 기재된 내용의 수정 및 균등물을 모두 포함한다. 또, 본 명세서중에서 특별히 지적하거나, 명확하게 문맥과 모순되거나 하지 않는 한, 모든 변형에 있어서의 상기 요소의 어떠한 조합도 본 발명에 포함된다.

1: 도포장치
11: 도포기
15: UV 조사기
19: 지그
19f: 연접면
21: 공전판
25: 공전축선
31: 자전판
35: 자전축선
41: 진공챔버
50: 제어장치
C: 피복부재
R: 도포물질
T: 도포 대상물
Tf: 평면부
Te: 단면부
Tsc: 도포단면
Tsp: 도포평면

Claims (7)

1. 평평한 면인 도포평면(Tsp)이 형성된 평면부(Tf)와, 상기 평면부와 연속한 단면부(端面部)(Te)로서 곡면 및 상기 평면부의 상기 도포평면과 평행하지 않은 평면의 적어도 한쪽을 가지는 도포단면(Tsc)이 형성된 단면부를 가지는 도포 대상물(T)의, 상기 도포평면 및 상기 도포단면에 도포물질(R)이 도포된 도포물질 도포완료(塗布濟) 대상물을 제조하는 방법으로서；
   상기 도포물질을, 적어도 상기 도포평면을 따라 공급하는 도포물질 공급공정과；
   상기 도포단면에 공급된 상기 도포물질 또는 상기 도포평면으로부터 이동해 온 상기 도포물질을 소정의 두께로 상기 도포단면을 덮도록 조정하는 단면부 도포물질 조정공정을 구비하고；
   상기 단면부 도포물질 조정공정은, 공전축선 둘레로 상기 도포 대상물을 회전시킴으로써 상기 도포물질을 전연(展延)시키도록 구성되고；
   상기 단면부 도포물질 조정공정은, 상기 공전축선(25) 둘레로 상기 도포 대상물을 회전시킴으로써 생긴 원심력에 의해 상기 도포물질이 상기 도포단면 상을 상기 도포평면으로부터 떨어지는 방향으로 이동하는 공정을 구비하고;
   상기 단면부 도포물질 조정공정 전에, 상기 도포평면에 대해서 상기 원심력에 의한 상기 도포물질의 이동 방향의 하류측에서 상기 도포 대상물에 장착되는 지그로서, 상기 도포 대상물에 장착되었을 때에 상기 도포단면과 연속한 면을 형성하는 연접면(連接面)을 가지는 지그(19)를, 상기 도포 대상물에 장착하는 지그 장착공정을 구비하고；
   상기 단면부 도포물질 조정공정은, 상기 공전축선 둘레의 상기 도포 대상물의 회전에 의해서, 상기 도포물질을, 상기 도포단면을 넘어서 상기 연접면에 도달할 때까지 전연시키도록 구성된；
   도포물질 도포완료 대상물의 제조방법.
2. 제 1 항에 있어서,
   상기 도포물질이 소정의 증점(增粘)처리에 의해 점도가 증가하는 액상의 물질로 구성되고；
   상기 단면부 도포물질 조정공정은, 상기 소정의 두께로 된 상기 도포물질에 상기 소정의 증점처리를 실시하는 증점공정을 포함해서 구성된；
   도포물질 도포완료 대상물의 제조방법.
3. 평평한 면인 도포평면(Tsp)이 형성된 평면부(Tf)와, 상기 평면부와 연속한 단면부(Te)로서 곡면 및 상기 평면부의 상기 도포평면과 평행하지 않은 평면의 적어도 한쪽을 가지는 도포단면(Tsc)이 형성된 단면부를 가지는 도포 대상물(T)의, 상기 도포평면 및 상기 도포단면에 도포물질(R)이 도포된 도포물질 도포완료 대상물을 제조하는 방법으로서；
   상기 도포물질을, 적어도 상기 도포평면을 따라 공급하는 도포물질 공급공정과；
   상기 도포단면에 공급된 상기 도포물질 또는 상기 도포평면으로부터 이동해 온 상기 도포물질을 소정의 두께로 상기 도포단면을 덮도록 조정하는 단면부 도포물질 조정공정을 구비하고；
   상기 단면부 도포물질 조정공정은, 상기 도포평면 및 상기 도포단면을 덮는 피복부재(覆合部材)(C)를 상기 도포 대상물에 끼워넣음으로써, 상기 도포 대상물과 상기 피복부재 사이에 충전된 상기 도포물질을 소정의 두께로 조정하도록 구성된；
   도포물질 도포완료 대상물의 제조방법.
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