KR102263432B1 - 플렉시블 어레이 기판의 제조방법 - Google Patents

플렉시블 어레이 기판의 제조방법 Download PDF

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Abstract

플렉시블 어레이 기판의 제조방법에 있어서, 상기 방법은 우선 플렉시블 기판(3)을 강성 지지 플레이트(1)에 접착하여 배면 구동 회로(4)를 제조하고, 배면 구동 회로(4)에 보호층(5)을 형성한 다음, 플렉시블 기판(3)을 분리하여 뒤집은 후 강성 지지 플레이트(1)에 재차 접착하여, 보호층(5)이 접착층(2)에 접촉하도록 하며, 이어서 플렉시블 기판(3)에 비아(6)를 개설하고, 정면 구동 회로(7) 및 디스플레이 회로를 형성하며, 상기 정면 구동 회로(7)는 상기 디스플레이 회로에 전기적으로 연결되고, 상기 배면 구동 회로(4)는 상기 비아(6)를 통해 상기 디스플레이 회로에 전기적으로 연결되어, 양면 회로 구조를 가지는 플렉시블 어레이 기판을 얻어, 비디스플레이 영역의 회로 구조를 플렉시블 기판(3)의 양면에 분포하는 것을 통해, 비디스플레이 영역의 폭을 줄여, 울트라 내로우 베젤 또는 베젤 리스 디스플레이를 실현할 수 있다.

Description

플렉시블 어레이 기판의 제조방법
본 발명은 디스플레이 기술 분야에 관한 것으로서, 특히 플렉시블 어레이 기판의 제조방법에 관한 것이다.
디스플레이 기술의 발전과 더불어, 액정 디스플레이 장치(Liquid Crystal Display, LCD)와 유기 발광 다이오드 디스플레이 장치(Organic Light Emitting Display, OLED) 등 평면 디스플레이 장치는 고해상도, 절전, 얇은 디바이스 부피 및 광범위한 적용범위 등 장점이 있어, 휴대폰, 텔레비전, 개인 휴대 정보 단말기, 디지털 카메라, 노트북, 데스크톱 컴퓨터 등 다양한 소비성 전자제품에 널리 사용되고 있으며, 디스플레이 장치 분야에서의 주류를 이루고 있다.
도 1을 참조하면, 종래의 액정 디스플레이 장치는 통상적으로 디스플레이 패널(100), 상기 디스플레이 패널(100)의 상측에 전기적으로 연결되는 소스 구동 칩(200), 상기 디스플레이 패널(100)의 좌우 양측에 전기적으로 연결되는 게이트 구동 칩(400), 및 상기 소스 구동 칩(200)과 게이트 구동 칩(400) 모두에 전기적으로 연결되는 구동 회로기판(300)을 포함하고, 상기 디스플레이 패널(100)은 디스플레이 영역(101) 및 상기 디스플레이 영역(101)을 둘러싸는 비디스플레이 영역(102)을 포함하며, 상기 디스플레이 영역(101) 내에는 복수 개의 평행되고 이격되게 배열되는 수평인 게이트 라인 및 복수 개의 평행되고 이격되게 배열되는 수직인 소스 라인이 배치되며, 상기 비디스플레이 영역(102)에는 복수 개의 팬 형태로 배열된 어레이 기판 와이어(Wire On Array, WOA) 배선(500)이 배치되며, 상기 WOA 배선(500)을 통해 상기 복수 개의 게이트 라인을 상기 게이트 구동 칩(400)에 연결하며, 상기 복수 개의 소스 라인을 소스 구동 칩(200)에 연결한다.
디스플레이 장치의 발전에 따라, 울트라 내로우 베젤 또는 베젤 리스가 점차적으로 하나의 추세로 되고 있으며, LCD에서든 OLED에서든, 내로우 베젤 또는 베젤 리스 디스플레이는 더 좋은 외관 체험을 가져다 준다. 그러나 디스플레이 패널의 디스플레이 바깥 테두리에 생략할 수 없는 WOA 배선이 있어, 이로 인해 디스플레이 패널의 디스플레이 영역에서 가장자리까지의 거리가 증가되어, 베젤 리스 또는 울트라 내로우 베젤의 실현이 어려워지고 있다. 특히, 디스플레이 패널의 해상도가 고선명에서 초고선명 또는 더 높게 향상될 경우, WOA 배선을 배치하기 위해 더 많은 영역이 필요하므로, 베젤 영역을 좁게 줄이기 더 어려워진다. 이외에도, 디스플레이 기술의 발전에 따라, 종래의 기술에서, 게이트 드라이버 온 어레이(Gate Driver on Array，GOA) 회로를 채택하여 게이트 구동 칩을 대체할 수 있으며, 이때 GOA 회로는 디스플레이 패널의 비디스플레이 영역에 직접 제조되고 게이트 라인에 직접 연결되지만, 이때에도 WOA 배선은 생략할 수 없고, WOA 배선을 사용하여 상기 구동 회로 기판과 GOA 회로를 전기적으로 연결해야 하며, 이때 게이트 구동 칩을 생략하기는 했으나, GOA 회로도 역시 일정 폭의 비디스플레이 영역을 차지해야 하며, 특히 디스플레이 패널의 해상도가 고선명에서 초고선명 또는 더 높게 향상될 경우, 배치해야 하는 GOA 회로의 스테이지 개수는 더 많아지지만, 디스플레이 패널의 폭은 고정되어 있어, 비디스플레이 영역의 폭을 늘려 더 많은 GOA 회로의 박막 트랜지스터 및 회로 구조를 배치할 수 밖에 없으며, GOA 회로 및 WOA 배선이 차지하는 배선 면적이 지나치게 넓어 울트라 내로우 베젤 또는 베젤 리스 디스플레이의 실현이 굉장히 불리해진다.
본 발명의 목적은 플렉시블 기판에 양면 회로 구조를 제작하여, 비디스플레이 영역의 폭을 줄이고, 울트라 내로우 베젤 또는 베젤 리스 디스플레이가 가능한 플렉시블 어레이 기판의 제조방법을 제공하는데 있다.
상술한 목적을 구현하기 위해, 본 발명은:
강성 지지 플레이트 및 플렉시블 기판을 제공하고, 접착제층을 이용하여 상기 플렉시블 기판을 상기 강성 지지 플레이트에 접착시켜, 상기 플렉시블 기판의 배면이 상기 강성 지지 플레이트와 멀리 하도록 하는 제1 단계;
상기 플렉시블 기판의 배면에 배면 구동 회로를 제조하고, 상기 배면 구동 회로에 보호층을 덮는 제2 단계;
상기 플렉시블 기판을 상기 강성 지지 플레이트로부터 분리시키고, 상기 플렉시블 기판을 뒤집은 다음, 다시 접착제층을 이용하여 상기 플렉시블 기판을 상기 강성 지지 플레이트에 접착시켜, 상기 플렉시블 기판의 정면이 상기 강성 지지 플레이트와 멀리 하도록 하고, 보호층은 상기 접착제층에 접촉되도록 하는 제3 단계;
상기 플렉시블 기판의 정면에 예정된 비디스플레이 영역에 상기 플렉시블 기판을 관통하는 비아를 형성하여, 플렉시블 기판 배면의 배면 구동 회로를 노출시키는 제4 단계;
상기 플렉시블 기판의 정면에 예정된 비디스플레이 영역 및 디스플레이 영역에 정면 구동 회로 및 디스플레이 회로를 각각 형성하고, 상기 정면 구동 회로는 상기 디스플레이 회로에 전기적으로 연결되며, 상기 배면 구동 회로는 상기 비아를 통해 상기 디스플레이 회로에 전기적으로 연결되는 제5 단계;
상기 플렉시블 기판을 상기 강성 지지 플레이트로부터 분리시켜, 플렉시블 어레이 기판을 제조하는 제6 단계;를 포함하는 플렉시블 어레이 기판의 제조방법을 제공한다.
상기 강성 지지 플레이트의 소재는 유리이다.
상기 플렉시블 기판의 소재는 폴리이미드, 폴리에틸렌 테레프탈레이트, 시클로 올레핀 공중합체 또는 폴리에테르 술폰 수지이다.
상기 플렉시블 기판의 두께는 10~300μm이다.
상기 제4 단계에서 상기 비아는 레이저 드릴링 또는 화학적 에칭법에 의해 형성된다.
상기 비아의 지름은 5~100μm이다.
상기 제3 단계 및 제6 단계에서 레이저 박리 방식에의해 상기 플렉시블 기판을 상기 강성 지지 플레이트로부터 분리시킨다.
상기 접착제층은 온도 조절 접착제 소재로 제조되고, 상기 제3 단계 및 제6 단계에서 접착제층의 온도를 변경하는 방식에 의해 상기 플렉시블 기판을 상기 강성 지지 플레이트로부터 분리시킨다.
상기 정면 구동 회로와 배면 구동 회로는 공동으로 상기 플렉시블 어레이 기판의 WOA 배선을 형성한다.
상기 정면 구동 회로와 배면 구동 회로는 공동으로 상기 플렉시블 어레이 기판의 WOA 배선 및 GOA 회로를 형성한다.
본 발명은, 플렉시블 어레이 기판의 제조방법을 더 제공하며, 상기 플렉시블 어레이 기판의 제조방법은:
강성 지지 플레이트 및 플렉시블 기판을 제공하고, 접착제층을 이용하여 상기 플렉시블 기판을 상기 강성 지지 플레이트에 접착시켜, 상기 플렉시블 기판의 배면이 상기 강성 지지 플레이트와 멀리 하도록 하는 제1 단계;
상기 플렉시블 기판의 배면에 배면 구동 회로를 제조하고, 상기 배면 구동 회로에 보호층을 덮는 제2 단계;
상기 플렉시블 기판을 상기 강성 지지 플레이트로부터 분리시키고, 상기 플렉시블 기판을 뒤집은 다음, 다시 접착제층을 이용하여 상기 플렉시블 기판을 상기 강성 지지 플레이트에 접착시켜, 상기 플렉시블 기판의 정면이 상기 강성 지지 플레이트와 멀리 하도록 하고, 보호층은 상기 접착제층에 접촉되도록 하는 제3 단계;
상기 플렉시블 기판의 정면의 예정된 비디스플레이 영역에 상기 플렉시블 기판을 관통하는 비아를 형성하여, 플렉시블 기판 배면의 배면 구동 회로를 노출시키는 제4 단계;
상기 플렉시블 기판의 정면의 예정된 비디스플레이 영역 및 디스플레이 영역에 정면 구동 회로 및 디스플레이 회로를 각각 형성하고, 상기 정면 구동 회로는 상기 디스플레이 회로에 전기적으로 연결되며, 상기 배면 구동 회로는 상기 비아를 통해 상기 디스플레이 회로에 전기적으로 연결되는 제5 단계;
상기 플렉시블 기판을 상기 강성 지지 플레이트로부터 분리시켜, 플렉시블 어레이 기판을 제조하는 제6 단계;를 포함하고,
상기 강성 지지 플레이트의 소재는 유리이고,
상기 플렉시블 기판의 소재는 폴리이미드, 폴리에틸렌 테레프탈레이트, 시클로 올레핀 공중합체 또는 폴리에테르 술폰 수지이며,
상기 플렉시블 기판의 두께는 10~300μm이다.
본 발명은 플렉시블 어레이 기판의 제조방법을 제공하고, 상기 방법은 우선 상기 플렉시블 기판을 강성 지지 플레이트에 접착하여 배면 구동 회로를 제조하고, 배면 구동 회로에 보호층을 형성한 다음, 플렉시블 기판을 분리하여 뒤집은 후 강성 지지 플레이트에 재차 접착하여, 보호층이 접착층에 접촉하도록 하며, 이어서 플렉시블 기판에 비아를 개설하고, 정면 구동 회로 및 디스플레이 회로를 형성하며, 상기 정면 구동 회로는 상기 디스플레이 회로에 전기적으로 연결되고, 상기 배면 구동 회로는 상기 비아를 통해 상기 디스플레이 회로에 전기적으로 연결되어, 양면 회로 구조를 가지는 플렉시블 어레이 기판을 얻어, 비디스플레이 영역의 회로 구조를 플렉시블 기판의 양면에 분포하는 것을 통해, 비디스플레이 영역의 폭을 줄여, 울트라 내로우 베젤 또는 베젤 리스 디스플레이를 실현할 수 있다.
본 발명의 특징과 기술 내용을 더욱 이해할 수 있게 하기 위해, 이하 본 발명과 관련된 상세한 설명과 도면을 참조하기 바란다. 그러나 도면은 참조 및 설명용으로만 제공된 것이며, 본 발명을 제한하는데 사용되는 것은 아니다.
도면에서,
도 1은 종래의 액정 디스플레이 장치의 구조 개략도이다.
도 2는 본 발명의 플렉시블 어레이 기판의 제조방법의 1단계 개략도이다.
도 3은 본 발명의 플렉시블 어레이 기판의 제조방법의 2단계 개략도이다.
도 4 및 도 5는 본 발명의 플렉시블 어레이 기판의 제조방법의 3단계 개략도이다.
도 6은 본 발명의 플렉시블 어레이 기판의 제조방법의 4단계 개략도이다.
도 7은 본 발명의 플렉시블 어레이 기판의 제조방법의 5단계 개략도이다.
도 8은 본 발명의 플렉시블 어레이 기판의 제조방법의 6단계 개략도이다.
도 9는 본 발명의 플렉시블 어레이 기판의 제조방법의 공정도이다.
본 발명이 적용한 기술수단 및 그 효과를 더 서술하기 위해, 이하 본 발명의 바람직한 실시예 및 그 도면을 결합하여 상세하게 설명한다.
도 9를 참조하면, 본 발명은 플렉시블 어레이 기판의 제조방법을 제공하며, 상기 플렉시블 어레이 기판의 제조방법은 다음과 같은 단계를 포함한다.
도 2를 참조하면, 제1 단계는 강성 지지 플레이트(1) 및 플렉시블 기판(3)을 제공하고, 접착제층(2)을 이용하여 상기 플렉시블 기판(3)을 상기 강성 지지 플레이트(1)에 접착시켜, 상기 플렉시블 기판(3)의 배면이 상기 강성 지지 플레이트(1)와 멀리 하도록 한다.
구체적으로, 상기 강성 지지 플레이트(1)의 소재는 유리이고, 상기 플렉시블 기판(3)은 폴리이미드(PI), 폴리에틸렌 테레프탈레이트(PET), 시클로 올레핀 공중합체(COC) 또는 폴리에테르 술폰 수지(PES) 등 재질의 비교적 얇은 기판이며, 후속 펀칭 작업이 편리하도록 두께 범위는 10~300 μm 이다. 상기 접착제층(2)은 압감 접착제 또는 온도 조절 접착제 등 접착제 소재를 선택할 수 있다.
도 3을 참조하면, 제2 단계는 상기 플렉시블 기판(3)의 배면에 배면 구동 회로(4)를 제조하고, 상기 배면 구동 회로(4)에 보호층(5)을 덮는다.
구체적으로, 상기 보호층(5)은 무기산화물을 사용하여 증착을 통해 제조할 수 있고, 안정적인 유기물을 사용하여 도포를 통해 제조할 수도 있다.
제3 단계는 도 4와 같이, 상기 플렉시블 기판(3)을 상기 강성 지지 플레이트(1)로부터 분리시키고, 도 5와 같이, 상기 플렉시블 기판(3)을 뒤집은 다음, 다시 접착제층(2)을 이용하여 상기 플렉시블 기판(3)을 상기 강성 지지 플레이트(1)에 접착시켜, 상기 플렉시블 기판(3)의 정면이 상기 강성 지지 플레이트(1)와 멀리 하도록 하고, 보호층(5)은 상기 접착제층(2)에 접촉되도록 한다.
구체적으로, 상기 제3 단계에서 레이저 박리 방식에 의해 상기 플렉시블 기판(3)을 상기 강성 지지 플레이트(1)로부터 분리시킬 수 있고, 온도 조절 접착제를 사용하여 접착제층(2)을 제조한 다음, 접착제층(2)의 온도에 변화를 주어 이의 접착성을 변화시켜, 상기 플렉시블 기판(3)을 상기 강성 지지 플레이트(1)로부터 분리시킬 수도 있다.
도 6을 참조하면, 제4 단계는 상기 플렉시블 기판(3)의 정면의 예정된 비디스플레이 영역에 상기 플렉시블 기판(3)을 관통하는 비아(6)를 형성하여, 플렉시블 기판(3) 배면의 배면 구동 회로(4)를 노출시킨다.
구체적으로, 상기 제4 단계에서 레이저 드릴링 또는 화학적 에칭법에 의해 상기 비아(6)를 형성할 수 있고, 상기 비아(6)의 지름은 상기 비아(6)를 관통하려는 와이어의 지름과 매칭되어야 하며, 바람직하게, 상기 비아(6)의 지름은 5~100μm이다.
도 7을 참조하면, 제5 단계는 상기 플렉시블 기판(3)의 정면에 예정된 비디스플레이 영역 및 디스플레이 영역에 정면 구동 회로(7) 및 디스플레이 회로를 각각 형성하고, 상기 정면 구동 회로(7)는 상기 디스플레이 회로에 전기적으로 연결되고, 상기 배면 구동 회로(4)는 상기 비아(6)를 통해 상기 디스플레이 회로에 전기적으로 연결된다.
구체적으로, 플렉시블 기판(3)의 두께가 전통적인 유리 기판의 두께에 비해 대폭 줄어들었기 때문에, 제4 단계에서의 비아(6)를 형성하는 단계 및 제5 단계에서의 비아(6) 내에 배면 구동 회로(4)와 디스플레이 회로를 연결하는 와이어를 형성하는 단계의 불량률을 효과적으로 낮추도록 하며, 제조 공정의 순조로운 진행을 보증한다.
구체적으로, 상기 디스플레이 영역은 상기 플렉시블 기판(3)의 중앙에 위치하고, 상기 비디스플레이 영역은 상기 디스플레이 영역을 둘러싸며, 상기 정면 구동 회로(7)와 배면 구동 회로(4)는 공동으로 상기 플렉시블 어레이 기판의 WOA 배선을 형성하고, 상기 디스플레이 회로는 복수 개의 데이터 라인 및 복수 개의 스캔 라인을 포함하며, 상기 복수 개의 데이터 라인과 복수 개의 스캔 라인은 서로 수직 교차되어 복수 개의 픽셀 유닛을 형성하고, 각각의 WOA 배선은 하나의 데이터 라인 또는 하나의 스캔 라인에 각각 대응되게 전기적으로 연결되며, 각각의 WOA 배선은 외부로부터 스캔 신호 또는 데이터 신호를 수신하고 스캔 라인 또는 데이터 라인에 대응되게 전송하여, 화면 디스플레이를 실현한다.
언급해야 할 것은, 본 발명은 GOA 기술을 적용하는 어레이 기판에도 동일하게 적용되며, 이때 상기 정면 구동 회로(7)와 배면 구동 회로(4)는 공동으로 상기 플렉시블 어레이 기판의 WOA 배선 및 GOA 회로를 형성하고, 상기 GOA 회로는 상기 스캔 라인에 일대일로 대응되는 복수 개의 GOA 유닛을 포함하며, 각각의 WOA 배선은 하나의 데이터 라인 또는 하나의 GOA 유닛에 각각 대응되게 전기적으로 연결되고, 상기 각각의 WOA 배선은 외부로부터 수신된 신호를 GOA 유닛에 전송하여 스캔 신호를 생성한 다음 스캔 라인에 전송 하거나 데이터 신호를 수신하여 데이터 라인에 전송하여, 화면 디스플레이를 실현할 수 있으며, GOA 기술을 채용하면 외부에서 연결하는 게이트 구동 칩이 없어도 되므로, 디스플레이 장치의 베젤의 폭을 더 줄일 수 있다.
설명해야 할 것은, 상기 방법을 통해 비디스플레이 영역의 회로 구조(WOA 배선 및 GOA 회로 포함)를 플렉시블 기판의 양면에 분포시키면, 비디스플레이 영역의 회로 구조 전체를 플렉시블 기판의 동일한 면에 분포하는 것에 비해, 비디스플레이 영역의 회로 구조가 차지하는 배선 면적을 대폭 줄이고, 나아가 비디스플레이 영역의 폭을 줄여, 울트라 내로우 베젤 또는 베젤 리스 디스플레이를 실현할 수 있다.
제6 단계는 상기 플렉시블 기판(3)을 상기 강성 지지 플레이트(1)로부터 분리시켜, 플렉시블 어레이 기판을 제조한다.
구체적으로, 상기 제6 단계에서 상기 플렉시블 기판(3)을 상기 강성 지지 플레이트(1)로부터 분리시키는 방식은 레이저 박리 또는 온도 조절 접착제를 사용하여 접착제층(2)을 만들고 접착제층(2)의 온도에 변화를 주어 이를 박리하는 방식 등을 선택할 수 있다.
상술한 바를 종합하면, 본 발명은 플렉시블 어레이 기판의 제조방법을 제공하고, 상기 방법은 우선 플렉시블 기판을 강성 지지 플레이트에 접착하여 배면 구동 회로를 제조하고, 배면 구동 회로에 보호층을 형성한 다음, 플렉시블 기판을 분리하여 뒤집은 후 강성 지지 플레이트에 재차 접착하여, 보호층이 접착층에 접촉하도록 하며, 이어서 플렉시블 기판에 비아를 개설하고, 정면 구동 회로 및 디스플레이 회로를 형성하며, 상기 정면 구동 회로는 상기 디스플레이 회로에 전기적으로 연결되고, 상기 배면 구동 회로는 상기 비아를 통해 상기 디스플레이 회로에 전기적으로 연결되어, 양면 회로 구조를 가지는 플렉시블 어레이 기판을 얻어, 비디스플레이 영역의 회로 구조를 플렉시블 기판의 양면에 분포하는 것을 통해, 비디스플레이 영역의 폭을 줄여, 울트라 내로우 베젤 또는 베젤 리스 디스플레이를 실현할 수 있다.
상술한 바와 같이, 본 기술분야의 통상의 기술자는, 본 발명의 기술방안과 기술구상에 근거하여, 기타 여러 가지 변경 및 변형을 할 수 있으며, 이러한 모든 변경 및 변형은 모두 본 발명 청구범위의 보호범위에 속해야 한다.

Claims (17)

  1. 플렉시블 어레이 기판의 제조방법으로서,
    강성 지지 플레이트 및 플렉시블 기판을 제공하고, 접착제층을 이용하여 상기 플렉시블 기판을 상기 강성 지지 플레이트에 접착시켜, 상기 플렉시블 기판의 배면이 상기 강성 지지 플레이트와 멀리 하도록 하는 제1 단계;
    상기 플렉시블 기판의 배면에 배면 구동 회로를 제조하고, 상기 배면 구동 회로에 보호층을 덮는 제2 단계;
    상기 플렉시블 기판을 상기 강성 지지 플레이트로부터 분리시키고, 상기 플렉시블 기판을 뒤집은 다음, 다시 접착제층을 이용하여 상기 플렉시블 기판을 상기 강성 지지 플레이트에 접착시켜, 상기 플렉시블 기판의 정면이 상기 강성 지지 플레이트와 멀리 하도록 하고, 보호층은 상기 접착제층에 접촉되도록 하는 제3 단계;
    상기 플렉시블 기판의 정면에 예정된 비디스플레이 영역에 상기 플렉시블 기판을 관통하는 비아를 형성하여, 플렉시블 기판 배면의 배면 구동 회로를 노출시키는 제4 단계;
    상기 플렉시블 기판의 정면에 예정된 비디스플레이 영역 및 디스플레이 영역에 정면 구동 회로 및 디스플레이 회로를 각각 형성하고, 상기 정면 구동 회로는 상기 디스플레이 회로에 전기적으로 연결되고, 상기 배면 구동 회로는 상기 비아를 통해 상기 디스플레이 회로에 전기적으로 연결됨으로써, 상기 정면 구동 회로 및 상기 배면 구동 회로를 상기 플렉시블 기판의 양면에 분포시키는 제5 단계; 및
    상기 플렉시블 기판을 상기 강성 지지 플레이트로부터 분리시켜, 플렉시블 어레이 기판을 제조하는 제6 단계;를 포함하는 플렉시블 어레이 기판의 제조방법.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 강성 지지 플레이트의 소재는 유리인 플렉시블 어레이 기판의 제조방법.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 플렉시블 기판의 소재는 폴리이미드, 폴리에틸렌 테레프탈레이트, 시클로 올레핀 공중합체 또는 폴리에테르 술폰 수지인 플렉시블 어레이 기판의 제조방법.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 플렉시블 기판의 두께는 10~300μm인 플렉시블 어레이 기판의 제조방법.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 제4 단계에서 상기 비아는 레이저 드릴링 또는 화학적 에칭법에 의해 형성되는 플렉시블 어레이 기판의 제조방법.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 비아의 지름은 5~100μm인 플렉시블 어레이 기판의 제조방법.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 제3 단계 및 제6 단계에서 레이저 박리 방식에 의해 상기 플렉시블 기판을 상기 강성 지지 플레이트로부터 분리시키는 플렉시블 어레이 기판의 제조방법.
  8. 제1항에 있어서,
    상기 접착제층은 온도 조절 접착제 소재로 제조되고, 상기 제3 단계 및 제6 단계에서 접착제층의 온도를 변경하는 방식에 의해 상기 플렉시블 기판을 상기 강성 지지 플레이트로부터 분리시키는 플렉시블 어레이 기판의 제조방법.
  9. 제1항에 있어서,
    상기 정면 구동 회로와 배면 구동 회로는 공동으로 상기 플렉시블 어레이 기판의 WOA 배선을 형성하는 플렉시블 어레이 기판의 제조방법.
  10. 제1항에 있어서,
    상기 정면 구동 회로와 배면 구동 회로는 공동으로 상기 플렉시블 어레이 기판의 WOA 배선 및 GOA 회로를 형성하는 플렉시블 어레이 기판의 제조방법.
  11. 플렉시블 어레이 기판의 제조방법으로서,
    강성 지지 플레이트 및 플렉시블 기판을 제공하고, 접착제층을 이용하여 상기 플렉시블 기판을 상기 강성 지지 플레이트에 접착시켜, 상기 플렉시블 기판의 배면이 상기 강성 지지 플레이트와 멀리 하도록 하는 제1 단계;
    상기 플렉시블 기판의 배면에 배면 구동 회로를 제조하고, 상기 배면 구동 회로에 보호층을 덮는 제2 단계;
    상기 플렉시블 기판을 상기 강성 지지 플레이트로부터 분리시키고, 상기 플렉시블 기판을 뒤집은 다음, 다시 접착제층을 이용하여 상기 플렉시블 기판을 상기 강성 지지 플레이트에 접착시켜, 상기 플렉시블 기판의 정면이 상기 강성 지지 플레이트와 멀리 하도록 하고, 보호층은 상기 접착제층에 접촉되도록 하는 제3 단계;
    상기 플렉시블 기판의 정면에 예정된 비디스플레이 영역에 상기 플렉시블 기판을 관통하는 비아를 형성하여, 플렉시블 기판 배면의 배면 구동 회로를 노출시키는 제4 단계;
    상기 플렉시블 기판의 정면에 예정된 비디스플레이 영역 및 디스플레이 영역에 정면 구동 회로 및 디스플레이 회로를 각각 형성하고, 상기 정면 구동 회로는 상기 디스플레이 회로에 전기적으로 연결되고, 상기 배면 구동 회로는 상기 비아를 통해 상기 디스플레이 회로에 전기적으로 연결됨으로써, 상기 정면 구동 회로 및 상기 배면 구동 회로를 상기 플렉시블 기판의 양면에 분포시키는 제5 단계;
    상기 플렉시블 기판을 상기 강성 지지 플레이트로부터 분리시켜, 플렉시블 어레이 기판을 제조하는 제6 단계;를 포함하고,
    상기 강성 지지 플레이트의 소재는 유리이고,
    상기 플렉시블 기판의 소재는 폴리이미드, 폴리에틸렌 테레프탈레이트, 시클로 올레핀 공중합체 또는 폴리에테르 술폰 수지이며,
    상기 플렉시블 기판의 두께는 10~300μm인 플렉시블 어레이 기판의 제조방법.
  12. 제11항에 있어서,
    상기 제4 단계에서 상기 비아는 레이저 드릴링 또는 화학적 에칭법에 의해 형성되는 플렉시블 어레이 기판의 제조방법.
  13. 제11항에 있어서,
    상기 비아의 지름은 5~100μm인 플렉시블 어레이 기판의 제조방법.
  14. 제11항에 있어서,
    상기 제3 단계 및 제6 단계에서 레이저 박리 방식에 의해 상기 플렉시블 기판을 상기 강성 지지 플레이트로부터 분리시키는 플렉시블 어레이 기판의 제조방법.
  15. 제11항에 있어서,
    상기 접착제층은 온도 조절 접착제 소재로 제조되고, 상기 제3 단계 및 제6 단계에서 접착제층의 온도를 변경하는 방식에 의해 상기 플렉시블 기판을 상기 강성 지지 플레이트로부터 분리시키는 플렉시블 어레이 기판의 제조방법.
  16. 제11항에 있어서,
    상기 정면 구동 회로와 배면 구동 회로는 공동으로 상기 플렉시블 어레이 기판의 WOA 배선을 형성하는 플렉시블 어레이 기판의 제조방법.
  17. 제11항에 있어서,
    상기 정면 구동 회로와 배면 구동 회로는 공동으로 상기 플렉시블 어레이 기판의 WOA 배선 및 GOA 회로를 형성하는 플렉시블 어레이 기판의 제조방법.
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