KR102218357B1 - 기판 처리 장치 - Google Patents

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KR102218357B1
KR102218357B1 KR1020190081834A KR20190081834A KR102218357B1 KR 102218357 B1 KR102218357 B1 KR 102218357B1 KR 1020190081834 A KR1020190081834 A KR 1020190081834A KR 20190081834 A KR20190081834 A KR 20190081834A KR 102218357 B1 KR102218357 B1 KR 102218357B1
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Abstract

기판 처리 장치이 제공된다. 기판 처리 장치는 에어 홀을 구비하여 기판을 부상시키는 부상 스테이지와, 상기 부상 스테이지의 양측 가장자리에 인접하여 배치되고, 상기 부상 스테이지에 안착된 기판을 진공 흡착 방식으로 파지하여 이동시키는 이동부와, 상기 부상 스테이지에 구비된 에어 홀 중 상기 양측 가장자리에 인접한 에어 홀로 에어를 공급하는 사이드 공급부, 및 상기 부상 스테이지에 구비된 에어 홀 중 상기 양측 가장자리에 인접한 에어 홀에서 에어를 흡입하는 사이드 흡입부를 포함한다.

Description

기판 처리 장치{Apparatus for treating substrate}
본 발명은 기판 처리 장치에 관한 것이다.
기판에 대한 코팅, 프린팅 또는 패턴 형성 등의 작업을 위하여 스테이지상에서 기판이 수평 방향으로 이동할 수 있다. 이 때, 기판의 안정적인 이동을 위하여 기판은 스테이지의 상부에서 일정 거리만큼 이격된 상태로 이동할 수 있다.
기판을 부상시키기 위하여 스테이지는 에어 홀 및 진공 홀을 구비할 수 있다. 에어 홀은 에어를 분사하고, 진공 홀은 에어를 흡입할 수 있다. 에어 홀 및 진공 홀에 의한 압력으로 기판은 스테이지에 대한 균일한 거리를 유지할 수 있게 된다.
본 발명이 해결하고자 하는 과제는 기판 처리 장치을 제공하는 것이다.
본 발명의 과제들은 이상에서 언급한 과제로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
상기 과제를 달성하기 위한 본 발명의 기판 처리 장치의 일 면(aspect)은, 에어 홀을 구비하여 기판을 부상시키는 부상 스테이지와, 상기 부상 스테이지의 양측 가장자리에 인접하여 배치되고, 상기 부상 스테이지에 안착된 기판을 진공 흡착 방식으로 파지하여 이동시키는 이동부와, 상기 부상 스테이지에 구비된 에어 홀 중 상기 양측 가장자리에 인접한 에어 홀로 에어를 공급하는 사이드 공급부, 및 상기 부상 스테이지에 구비된 에어 홀 중 상기 양측 가장자리에 인접한 에어 홀에서 에어를 흡입하는 사이드 흡입부를 포함한다.
상기 기판 처리 장치는 상기 부상 스테이지에 구비된 에어 홀 중 상기 양측 가장자리에 인접하지 않은 에어 홀에 에어를 공급하는 메인 공급부를 더 포함한다.
상기 이동부에 구비된 에어 홀에서 에어를 흡입하는 진공 흡입부를 더 포함하되, 상기 이동부에 구비된 에어 홀과 상기 부상 스테이지의 양측 가장자리에 인접한 에어 홀은 상기 기판의 일면을 향하여 개구가 형성된다.
상기 사이드 공급부 및 상기 사이드 흡입부는 교대로 동작한다.
상기 기판이 상기 부상 스테이지에 진입하는 도중 상기 사이드 공급부가 상기 부상 스테이지의 양측 가장자리에 인접한 에어 홀로 에어를 공급한다.
상기 기판이 상기 부상 스테이지에 진입이 완료된 경우 상기 사이드 흡입부가 상기 부상 스테이지의 양측 가장자리에 인접한 에어 홀에서 에어를 흡입한다.
상기 사이드 흡입부는 상기 부상 스테이지에 진입한 기판의 뒤틀림 정도가 일정 크기 이상인 경우 상기 부상 스테이지의 양측 가장자리에 인접한 에어 홀에서 에어를 흡입한다.
상기 기판이 상기 부상 스테이지에 진입이 완료된 이후에 상기 이동부가 상기 기판을 흡착하지 못하는 경우 상기 사이드 흡입부는 상기 부상 스테이지의 양측 가장자리에 인접한 에어 홀에서 에어를 흡입한다.
기타 실시예들의 구체적인 사항들은 상세한 설명 및 도면들에 포함되어 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 처리 장치를 나타낸 도면이다.
도 2는 도 1에 도시된 부상 스테이지의 에어 홀을 나타낸 도면이다.
도 3는 도 1에 도시된 부상 스테이지 및 이동부에 구비된 에어 홀과 이에 연결된 에어 공급부 및 에어 흡입부를 나타낸 도면이다.
도 4 및 도 5는 도 1에 도시된 이동부가 부상 스테이지의 가장자리를 따라 이동하는 것을 나타낸 도면이다.
도 6은 도 1에 도시된 부상 스테이지로 기판이 진입하는 것을 나타낸 도면이다.
도 7은 도 1에 도시된 부상 스테이지로 기판이 진입할 때 사이드 공급부가 에어를 공급하는 것을 나타낸 도면이다.
도 8은 도 1에 도시된 부상 스테이지로 기판의 진입이 완료되었을 때 진공 흡입부가 에어를 흡입하는 것을 나타낸 도면이다.
도 9는 도 1에 도시된 부상 스테이지로 뒤틀림이 있는 기판이 진입한 것을 나타낸 도면이다.
도 10은 도 1에 도시된 부상 스테이지로 뒤틀림이 있는 기판이 진입한 경우 사이드 흡입부가 에어를 흡입하는 것을 나타내 도면이다.
도 11 및 도 12는 도 1에 도시된 부상 스테이지로 기판이 진입하는 과정 중에 사이드 공급부 및 사이드 흡입부가 동작하는 것을 나타낸 도면이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명한다. 본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시 예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 게시되는 실시 예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 수 있으며, 단지 본 실시 예들은 본 발명의 게시가 완전하도록 하고, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다.
소자(elements) 또는 층이 다른 소자 또는 층의 "위(on)" 또는 "상(on)"으로 지칭되는 것은 다른 소자 또는 층의 바로 위뿐만 아니라 중간에 다른 층 또는 다른 소자를 개재한 경우를 모두 포함한다. 반면, 소자가 "직접 위(directly on)" 또는 "바로 위"로 지칭되는 것은 중간에 다른 소자 또는 층을 개재하지 않은 것을 나타낸다.
공간적으로 상대적인 용어인 "아래(below)", "아래(beneath)", "하부(lower)", "위(above)", "상부(upper)" 등은 도면에 도시되어 있는 바와 같이 하나의 소자 또는 구성 요소들과 다른 소자 또는 구성 요소들과의 상관관계를 용이하게 기술하기 위해 사용될 수 있다. 공간적으로 상대적인 용어는 도면에 도시되어 있는 방향에 더하여 사용시 또는 동작시 소자의 서로 다른 방향을 포함하는 용어로 이해되어야 한다. 예를 들면, 도면에 도시되어 있는 소자를 뒤집을 경우, 다른 소자의 "아래(below)" 또는 "아래(beneath)"로 기술된 소자는 다른 소자의 "위(above)"에 놓여질 수 있다. 따라서, 예시적인 용어인 "아래"는 아래와 위의 방향을 모두 포함할 수 있다. 소자는 다른 방향으로도 배향될 수 있고, 이에 따라 공간적으로 상대적인 용어들은 배향에 따라 해석될 수 있다.
비록 제1, 제2 등이 다양한 소자, 구성요소 및/또는 섹션들을 서술하기 위해서 사용되나, 이들 소자, 구성요소 및/또는 섹션들은 이들 용어에 의해 제한되지 않음은 물론이다. 이들 용어들은 단지 하나의 소자, 구성요소 또는 섹션들을 다른 소자, 구성요소 또는 섹션들과 구별하기 위하여 사용하는 것이다. 따라서, 이하에서 언급되는 제1 소자, 제1 구성요소 또는 제1 섹션은 본 발명의 기술적 사상 내에서 제2 소자, 제2 구성요소 또는 제2 섹션일 수도 있음은 물론이다.
본 명세서에서 사용된 용어는 실시예들을 설명하기 위한 것이며 본 발명을 제한하고자 하는 것은 아니다. 본 명세서에서, 단수형은 문구에서 특별히 언급하지 않는 한 복수형도 포함한다. 명세서에서 사용되는 "포함한다(comprises)" 및/또는 "포함하는(comprising)"은 언급된 구성요소, 단계, 동작 및/또는 소자는 하나 이상의 다른 구성요소, 단계, 동작 및/또는 소자의 존재 또는 추가를 배제하지 않는다.
다른 정의가 없다면, 본 명세서에서 사용되는 모든 용어(기술 및 과학적 용어를 포함)는 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 공통적으로 이해될 수 있는 의미로 사용될 수 있을 것이다. 또 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 용어들은 명백하게 특별히 정의되어 있지 않는 한 이상적으로 또는 과도하게 해석되지 않는다.
이하, 첨부한 도면들을 참조하여 본 발명의 실시예들을 상세히 설명하기로 하며, 첨부 도면을 참조하여 설명함에 있어 도면 부호에 상관없이 동일하거나 대응하는 구성 요소는 동일한 참조번호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 처리 장치를 나타낸 도면이고, 도 2는 도 1에 도시된 부상 스테이지의 에어 홀을 나타낸 도면이며, 도 3는 도 1에 도시된 부상 스테이지 및 이동부에 구비된 에어 홀과 이에 연결된 에어 공급부 및 에어 흡입부를 나타낸 도면이다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 기판 처리 장치(10)는 부상 스테이지(100), 이동부(200), 메인 공급부(300), 사이드 공급부(400), 사이드 흡입부(500), 진공 흡입부(600), 제1 감지부(710) 및 제2 감지부(720)를 포함하여 구성된다.
부상 스테이지(100)는 기판을 부상시키는 역할을 수행한다. 이를 위하여, 부상 스테이지(100)는 에어 홀(110, 120)을 구비할 수 있다. 에어 홀(110, 120)은 기판을 향하는 부상 스테이지(100)의 일면의 전체 영역에 걸쳐 배치될 수 있다. 이하, 기판을 향하는 부상 스테이지(100)의 일면에 기판이 일정 거리만큼 이격된 상태로 안착될 수 있는 것으로서, 이하 해당 면을 안착면이라 한다.
부상 스테이지(100)의 안착면에는 에어 홀(110, 120)의 개구가 형성될 수 있다. 해당 개구를 통하여 에어가 분사되거나 흡입될 수 있다. 에어 홀(110, 120)에서 에어가 분사되는 경우 에어의 압력으로 기판이 부상할 수 있게 된다.
본 발명에서 기판은 플랫 패널 디스플레이(Flat Panel Display)와 같은 반도체 패널일 수 있으나, 이에 한정되지는 않는다.
이동부(200)는 부상 스테이지(100)에 안착된 기판을 진공 흡착 방식으로 파지하여 이동시킬 수 있다. 이동부(200)는 부상 스테이지(100)의 양측 가장자리에 인접하여 배치될 수 있다. 즉, 2개의 이동부(200)가 부상 스테이지(100)의 양측 가장자리에 배치될 수 있는 것으로서, 일측 이동부(200), 부상 스테이지(100) 및 타측 이동부(200)가 순차적으로 배치될 수 있다.
각 이동부(200)는 자신에 인접한 부상 스테이지(100)의 가장자리의 길이 방향으로 기판을 이동시킬 수 있다. 이동부(200)는 부상 스테이지(100)의 가장자리의 길이 방향으로 평행한 긴 형상을 가질 수 있다. 이하, 이동부(200)의 길이에 평행한 방향을 제1 방향(X)이라 하고, 이동부(200) 및 부상 스테이지(100)의 배치 방향을 제2 방향(Y)이라 하며, 제1 방향(X) 및 제2 방향(Y)에 수직한 방향을 제3 방향(Z)이라 한다. 여기서, 제3 방향(Z)은 안착면에 수직한 방향일 수 있다.
도시되어 있지는 않으나, 이동부(200)를 이동시키기 위한 구동력을 발생시키는 구동부(미도시)가 구비될 수 있다. 구동부는 기계적인 힘, 전기력, 자기력 또는 이들의 조합으로 구동력을 발생시켜 이동부(200)를 이동시킬 수 있다.
진공 흡착 방식으로 기판을 파지하기 위하여 이동부(200)에는 에어 홀(210)(도 3 참조)이 구비될 수 있다. 에어 홀(210)은 기판을 향하는 이동부(200)의 일면에 배치될 수 있다. 기판을 향하는 이동부(200)의 일면에 기판이 밀착하여 고정될 수 있는 것으로서, 이하 해당 면을 진공 흡입면이라 한다. 또한, 이동부(200)에 구비된 에어 홀(210)을 진공 에어 홀이라 한다.
이동부(200)의 진공 흡입면에는 진공 에어 홀(210)의 개구가 형성될 수 있다. 해당 개구를 통하여 흡입될 수 있다. 진공 에어 홀(210)로 에어가 흡입되는 경우 에어의 압력으로 기판이 이동부(200)에 고정될 수 있게 된다.
도 2를 참조하면, 부상 스테이지(100)의 안착면에는 복수의 에어 홀(110, 120)이 배치될 수 있다.
부상 스테이지(100)의 안착면은 메인 영역(MA) 및 사이드 영역(SA)을 포함할 수 있다. 사이드 영역(SA)은 이동부(200)에 인접한 가장자리의 영역을 나타낸다. 메인 영역(Ma)은 부상 스테이지(100)의 안착면 중 사이드 영역(SA)이 차지하지 않는 영역을 나타낸다. 메인 영역(MA) 및 사이드 영역(SA) 각각에 에어 홀(110, 120)이 포함될 수 있다. 이하, 메인 영역(MA)에 포함된 에어 홀(110)을 메인 에어 홀이라 하고, 사이드 영역(SA)에 포함된 에어 홀(120)을 사이드 에어 홀이라 한다.
메인 에어 홀(110)은 부상 스테이지(100)에 구비된 에어 홀 중 이동부(200)가 인접한 양측 가장자리에 인접하지 않은 에어 홀을 나타낸다. 사이드 에어 홀(120)은 부상 스테이지(100)에 구비된 에어 홀 중 이동부(200)가 인접한 양측 가장자리에 인접한 에어 홀을 나타낸다. 메인 에어 홀(110)은 에어를 분사하는 것만이 가능하고, 사이드 에어 홀(120)은 에어를 분사하거나 에어를 흡입할 수 있다.
도 1 및 도 3을 참조하면, 메인 공급부(300)는 메인 에어 홀(110)로 에어를 공급하는 역할을 수행한다. 메인 공급부(300)와 메인 에어 홀(110)은 메인 배관(310)으로 연결될 수 있다. 메인 에어 홀(110)은 메인 공급부(300)를 통하여 공급된 에어를 분사할 수 있다. 메인 에어 홀(110)에서 분사된 에어의 압력으로 기판이 부상할 수 있다.
사이드 공급부(400)는 사이드 에어 홀(120)로 에어를 공급하는 역할을 수행한다. 사이드 공급부(400)와 사이드 에어 홀(120)은 사이드 배관(450)으로 연결될 수 있다. 사이드 공급부(400)는 사이드 배관(450)에서 분기된 사이드 공급 배관(410)에 연결될 수 있다. 사이드 에어 홀(120)은 사이드 공급부(400)를 통하여 공급된 에어를 분사할 수 있다. 사이드 에어 홀(120)에서 분사된 에어의 압력으로 기판이 부상할 수 있다.
사이드 흡입부(500)는 사이드 에어 홀(120)에서 에어를 흡입하는 역할을 수행한다. 사이드 흡입부(500)와 사이드 에어 홀(120)은 사이드 배관(450)으로 연결될 수 있다. 사이드 흡입부(500)는 사이드 배관(450)에서 분기된 사이드 흡입 배관(510)에 연결될 수 있다. 사이드 에어 홀(120)은 사이드 흡입부(500)에 의해 안착면의 에어를 흡입할 수 있다. 사이드 에어 홀(120)로 흡입된 에어의 압력에 의해 기판에는 안착면으로 향하는 힘이 작용하게 된다. 구체적으로, 사이드 흡입부(500)의 압력으로 인해 이동부(200)에 인접한 기판의 해당 부분에 안착면으로 향하는 힘이 작용할 수 있다.
본 발명에서 사이드 공급부(400) 및 사이드 흡입부(500)는 교대로 동작할 수 있다. 사이드 공급부(400)가 동작하는 도중에 사이드 흡입부(500)의 동작이 중단되고, 사이드 흡입부(500)가 동작하는 도중에 사이드 공급부(400)의 동작이 중단되는 것이다. 사이드 배관(450)을 통해서는 사이드 공급부(400) 또는 사이드 흡입부(500)에 의한 에어가 이송될 수 있다.
진공 흡입부(600)는 진공 에어 홀(210)에서 에어를 흡입하는 역할을 수행한다. 진공 흡입부(600)와 진공 에어 홀(210)은 진공 흡입 배관(610)으로 연결될 수 있다. 진공 에어 홀(210)은 진공 흡입부(600)에 의해 진공 흡입면의 에어를 흡입할 수 있다. 진공 에어 홀(210)로 흡입된 에어의 압력에 의해 기판에는 진공 흡입면으로 향하는 힘이 작용하게 된다. 구체적으로, 진공 흡입부(600)의 압력으로 인해 진공 흡입면의 상부에 존재하는 기판의 해당 부분에 안착면으로 향하는 힘이 작용하고, 기판이 진공 흡입면에 밀착할 수 있다.
메인 에어 홀(110), 사이드 에어 홀(120) 및 진공 에어 홀(210)은 기판의 일면을 향하여 개구가 형성될 수 있다. 즉, 모든 에어 홀이 기판의 일면을 향하여 에어를 분사하거나 에어를 흡입할 수 있는 것으로서, 에어의 힘이 직접적으로 기판에 작용할 수 있게 된다.
제1 감지부(710)는 기판의 진입 여부를 감지하는 역할을 수행한다. 이전 단계에서 공정이 완료된 기판은 기판 처리 장치(10)로 이송될 수 있다. 이송된 기판은 부상 스테이지(100)에 안착되고, 안착된 기판은 이동부(200)에 의하여 다음 단계의 설비(미도시)로 이송될 수 있다.
기판은 부상 스테이지(100)의 안착면에 평행한 방향으로 이송되어 안착면에 안착될 수 있는데, 제1 감지부(710)는 기판이 부상 스테이지(100)로 진입하고 있는 과정을 감지하고, 진입이 완료되어 안착면에 안착되었는지를 감지할 수 있다. 예를 들어, 제1 감지부(710)는 부상 스테이지(100)의 상측에 배치되어 이동하는 기판을 촬영함으로써 기판의 진입 완료를 감지하거나 레이더 또는 초음파 등을 이용하여 기판의 진입 완료를 감지할 수도 있다.
제2 감지부(720)는 기판이 이동부(200)의 진공 흡입면에 밀착하였는지 여부를 감지하는 역할을 수행한다. 제2 감지부(720)는 2개가 구비되어 각 제2 감지부(720)는 2개의 이동부(200) 중 대응하는 이동부(200)의 진공 흡입면에 기판이 밀착하였는지 여부를 감지할 수 있다. 예를 들어, 제2 감지부(720)는 촬영된 영상을 참조하여 기판이 이동부(200)의 진공 흡입면에 밀착하였는지 여부를 감지할 수 있다.
후술하는 바와 같이, 제2 감지부(720)의 감지 결과에 따라 사이드 흡입부(500)의 동작 여부가 결정될 수 있다.
도 4 및 도 5는 도 1에 도시된 이동부가 부상 스테이지의 가장자리를 따라 이동하는 것을 나타낸 도면이다.
도 4 및 도 5를 참조하면, 이동부(200)는 부상 스테이지(100)의 가장자리를 따라 이동할 수 있다. 예를 들어, 이동부(200)는 제1 방향(X)으로 이동할 수 있다.
부상 스테이지(100)의 양측에 배치된 이동부(200)가 동시에 이동할 수 있다. 이동부(200)에는 기판(S)이 밀착하여 고정될 수 있다. 이동부(200)에 의해 기판(S)이 다음 단계의 설비로 이송될 수 있다.
이동부(200)를 통하여 기판(S)이 이송되는 도중에 부상 스테이지(100)는 기판(S)을 부상시키기 위한 에어를 분사할 수 있다. 기판(S)은 부상 스테이지(100)에서 일정 거리만큼 이격된 상태로 이송될 수 있다. 즉, 이동부(200)에 접촉하지 않은 기판(S)의 다른 부분이 함몰되지 않은 상태로 기판(S)이 이송될 수 있는 것이다. 부상 스테이지(100)에 접촉하지 않은 상태로 기판(S)이 이송됨에 따라 기판(S)과 부상 스테이지(100) 간의 마찰이 방지되고, 마찰로 인한 파티클의 발생이 방지될 수 있다.
도 6은 도 1에 도시된 부상 스테이지로 기판이 진입하는 것을 나타낸 도면이고, 도 7은 도 1에 도시된 부상 스테이지로 기판이 진입할 때 사이드 공급부가 에어를 공급하는 것을 나타낸 도면이며, 도 8은 도 1에 도시된 부상 스테이지로 기판의 진입이 완료되었을 때 진공 흡입부가 에어를 흡입하는 것을 나타낸 도면이다.
도 6을 참조하면, 부상 스테이지(100)로 기판(S)이 진입할 수 있다. 이전 단계에서 공정이 완료된 기판(S)은 별도의 이송 수단(미도시)에 의해 부상 스테이지(100)로 이송될 수 있다. 기판(S)은 안착면에 평행한 방향으로 이동할 수 있다. 예를 들어, 기판(S)은 제1 방향으로 이동할 수 있다.
기판(S)이 이동하면서 기판(S)의 가장자리와 이동부(200)가 충돌할 수 있다. 도 7을 참조하면, 기판(S)과 이동부(200) 간의 충돌을 방지하기 위하여 기판(S)이 부상 스테이지(100)에 진입하는 도중 사이드 공급부(400)는 사이드 에어 홀(120)로 에어를 공급할 수 있다.
사이드 공급부(400)에서 공급된 에어는 사이드 공급 배관(410) 및 사이드 배관(450)을 통해 이동하여 사이드 에어 홀(120)에서 분사될 수 있다. 사이드 에어 홀(120)에서 에어가 분사됨에 따라 이동부(200)에 인접한 기판(S)의 가장자리에 힘이 작용하고, 기판(S)과 이동부(200) 간의 충돌이 방지될 수 있다.
도 8을 참조하면, 기판(S)이 부상 스테이지(100)에 진입이 완료된 경우 진공 흡입부(600)는 진공 에어 홀(210)에서 에어를 흡입할 수 있다.
진공 흡입부(600)의 압력에 의해 진공 에어 홀(210)로 에어가 흡입되고, 흡입된 에어는 진공 흡입 배관(610)으로 통해 이동할 수 있다. 진공 에어 홀(210)로 에어가 흡입됨에 따라 기판(S)이 이동부(200)에 밀착하여 고정될 수 있게 된다.
기판(S)이 이동부(200)에 고정된 상태에서 이동부(200)는 이동할 수 있다. 이 때, 메인 공급부(300) 및 사이드 공급부(400)는 각각 메인 에어 홀(110) 및 사이드 에어 홀(120)로 에어를 공급할 수 있다. 메인 공급부(300)에서 공급된 에어는 메인 공급 배관을 통해 이동하여 메인 에어 홀(110)에서 분사될 수 있다. 또한, 사이드 공급부(400)에서 공급된 에어는 사이드 공급 배관(410) 및 사이드 배관(450)을 통해 이동하여 사이드 에어 홀(120)에서 분사될 수 있다.
메인 에어 홀(110) 및 사이드 에어 홀(120)에서 분사된 에어에 의해 기판(S)의 내측 부분이 함몰되지 않은 상태로 기판(S)이 이송될 수 있다.
도 9는 도 1에 도시된 부상 스테이지로 뒤틀림이 있는 기판이 진입한 것을 나타낸 도면이고, 도 10은 도 1에 도시된 부상 스테이지로 뒤틀림이 있는 기판이 진입한 경우 사이드 흡입부가 에어를 흡입하는 것을 나타내 도면이다.
도 9를 참조하면, 부상 스테이지(100)로 뒤틀림(warpage)이 있는 기판(WS)이 진입할 수 있다.
본 발명에서 뒤틀림이 있는 기판(WS)은 이동부(200)에 밀착하는 가장자리가 내측 부분에 비하여 상측으로 휘어진 기판을 나타낸다.
뒤틀림이 있는 기판(WS)은 이동부(200)에 밀착하는 부분과 이동부(200) 간의 거리가 상대적으로 멀 수 있다. 이로 인해, 이동부(200)의 진공 에어 홀(210)로 에어를 흡입하더라도 흡입력이 기판(WS)에 작용하지 못할 수 있고, 기판(WS)이 이동부(200)에 밀착하여 고정되지 못할 수 있다.
도 10을 참조하면, 부상 스테이지(100)로 뒤틀림이 있는 기판(WS)이 진입한 경우 사이드 흡입부(500)는 에어를 흡입할 수 있다.
사이드 흡입부(500)의 압력에 의해 이동부(200)에 인접한 기판(WS)의 가장자리에 힘이 작용하여 이동부(200)측으로 휘어질 수 있다. 기판(WS)의 가장자리가 이동부(200)측으로 휘어짐에 따라 기판(WS)의 가장자리와 이동부(200) 간의 간격이 좁혀지고, 진공 에어 홀(210)로 흡입되는 에어의 흡입력이 기판(WS)에 작용하여 기판(WS)이 이동부(200)에 밀착할 수 있다.
사이드 흡입부(500)에 의해 뒤틀림이 있는 기판(WS)이 진입한 경우에도 기판(WS)을 이동부(200)에 밀착시키는 것이 가능하게 된다.
도 11 및 도 12는 도 1에 도시된 부상 스테이지로 기판이 진입하는 과정 중에 사이드 공급부 및 사이드 흡입부가 동작하는 것을 나타낸 도면이다.
도 11 및 도 12를 참조하면, 부상 스테이지(100)로 기판(S)이 진입하는 도중에 사이드 공급부(400)가 사이드 에어 홀(120)로 에어를 공급하고, 부상 스테이지(100)로 기판(S)의 진입이 완료된 경우에 사이드 흡입부(500)가 사이드 에어 홀(120)에서 에어를 흡입할 수 있다.
기판(S)의 진입 완료 여부는 제1 감지부(710)에 의해 수행될 수 있다. 사이드 공급부(400) 및 사이드 흡입부(500)는 제1 감지부(710)의 감지 결과에 따라 교대로 동작할 수 있다.
사이드 흡입부(500)는 부상 스테이지(100)에 진입한 기판(S)의 뒤틀림 정도가 일정 크기 이상인 경우 사이드 에어 홀(120)에서 에어를 흡입할 수 있다. 뒤틀림 정도가 크지 않은 경우 이동부(200)가 정상적으로 기판(S)을 흡착할 수 있기 때문에 사이드 흡입부(500)는 사이드 에어 홀(120)에서 에어를 흡입하지 않을 수 있다. 기판(S)의 뒤틀림 정도를 감지하는 별도의 감지 수단(미도시)이 구비될 수 있다. 사이드 흡입부(500)는 감지 수단의 감지 결과에 따라 동작할 수 있다. 기판(S)의 뒤틀림 정도가 크지 않은 경우 사이드 흡입부(500)가 동작하지 않고, 사이드 공급부(400)가 지속적으로 동작할 수 있다.
또는, 사이드 흡입부(500)는 기판(S)이 부상 스테이지(100)에 진입이 완료된 이후에 이동부(200)가 기판(S)을 흡착하지 못하는 경우 사이드 에어 홀(120)에서 에어를 흡입할 수 있다. 이동부(200)에 의한 기판(S)의 흡착 여부는 제2 감지부(720)에 의하여 감지될 수 있다.
기판(S)이 부상 스테이지(100)에 진입이 완료되면 진공 흡입부(600)가 진공 에어 홀(210)에서 에어를 흡입할 수 있다. 이 때, 기판(S)이 이동부(200)에 흡착하거나 흡착되지 못할 수 있다. 기판(S)이 이동부(200)에 흡착된 경우 사이드 흡입부(500)는 동작하지 않고 여전히 사이드 공급부(400)가 동작할 수 있다. 한편, 기판(S)이 이동부(200)에 흡착되지 않은 경우 사이드 공급부(400)의 동작이 중단되고 사이드 흡입부(500)가 동작할 수 있다.
이상과 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 설명하였지만, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다.
10: 기판 처리 장치 100: 부상 스테이지
200: 이동부 300: 메인 공급부
400: 사이드 공급부 500: 사이드 흡입부
600: 진공 흡입부 710: 제1 감지부
720: 제2 감지부

Claims (8)

  1. 에어 홀을 구비하여 기판을 부상시키는 부상 스테이지;
    상기 부상 스테이지의 양측 가장자리에 인접하여 배치되고, 상기 부상 스테이지에 안착된 기판을 진공 흡착 방식으로 파지하여 이동시키는 이동부;
    상기 부상 스테이지에 구비된 에어 홀 중 상기 양측 가장자리에 인접한 사이드 에어 홀로 에어를 공급하는 사이드 공급부; 및
    상기 사이드 에어 홀에서 에어를 흡입하는 사이드 흡입부를 포함하며,
    상기 기판이 뒤틀림이 있는 경우, 상기 사이드 에어 홀에서는 에어를 공급하지 않고, 에어를 흡입하는 기판 처리 장치.
  2. 제1 항에 있어서,
    상기 부상 스테이지에 구비된 에어 홀 중 상기 양측 가장자리에 인접하지 않은 에어 홀에 에어를 공급하는 메인 공급부를 더 포함하는 기판 처리 장치.
  3. 제1 항에 있어서,
    상기 이동부에 구비된 에어 홀에서 에어를 흡입하는 진공 흡입부를 더 포함하되,
    상기 이동부에 구비된 에어 홀과 상기 사이드 에어 홀은 상기 기판의 일면을 향하여 개구가 형성되는 기판 처리 장치.
  4. 제1 항에 있어서,
    상기 사이드 공급부 및 상기 사이드 흡입부는 교대로 동작하는 기판 처리 장치.
  5. 제4 항에 있어서,
    상기 기판이 상기 부상 스테이지에 진입하는 도중 상기 사이드 공급부가 상기 사이드 에어 홀로 에어를 공급하는 기판 처리 장치.
  6. 제4 항에 있어서,
    상기 기판이 상기 부상 스테이지에 진입이 완료된 경우 상기 사이드 흡입부가 상기 사이드 에어 홀에서 에어를 흡입하는 기판 처리 장치.
  7. 제6 항에 있어서,
    상기 사이드 흡입부는 상기 부상 스테이지에 진입한 기판의 뒤틀림 정도가 일정 크기 이상인 경우 상기 사이드 에어 홀에서 에어를 흡입하는 기판 처리 장치.
  8. 제6 항에 있어서,
    상기 기판이 상기 부상 스테이지에 진입이 완료된 이후에 상기 이동부가 상기 기판을 흡착하지 못하는 경우 상기 사이드 흡입부는 상기 사이드 에어 홀에서 에어를 흡입하는 기판 처리 장치.
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