KR102177060B1 - 기판을 프로세싱하기 위한 장치, 기판을 프로세싱하기 위한 시스템, 및 이를 위한 방법들 - Google Patents

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Abstract

진공 챔버(101)에서 기판(10)을 프로세싱하기 위한 장치(100)가 설명된다. 장치는 제1 캐리어(11)를 제1 운송 경로를 따라 제1 방향(X)으로 운송하기 위한 제1 캐리어 운송 시스템(31), 및 제2 캐리어(12)를 제2 운송 경로를 따라 제1 방향(X)으로 운송하기 위한 제2 캐리어 운송 시스템(32)을 포함한다. 추가로, 장치는 제1 캐리어(11)와 제2 캐리어(12) 사이의 거리를 측정하기 위한 측정 시스템(130)을 포함한다. 거리는 제1 방향(X)에 수직이다.

Description

기판을 프로세싱하기 위한 장치, 기판을 프로세싱하기 위한 시스템, 및 이를 위한 방법들
[0001] 본 개시내용의 실시예들은 2개 이상의 캐리어들, 특히 기판 캐리어 및 마스크 캐리어를 이용하는 진공 챔버에서 기판을 프로세싱하기 위한 장치들 및 시스템들에 관한 것이다. 추가로, 본 개시내용의 실시예들은 마스크 캐리어에 대하여 기판 캐리어의 거리를 측정하는 방법들 뿐만 아니라 마스크 캐리어에 대하여 기판 캐리어를 정렬하는 방법들에 관한 것이다. 본 개시내용의 실시예들은 구체적으로, 기판 상의 코팅 재료의 증착에 관한 것이고, 여기서, 기판은 증착 전에 마스크에 대하여 정렬된다. 본원에서 설명되는 방법들 및 장치들은 유기 발광 다이오드(OLED) 디바이스들의 제조에서 사용될 수 있다.
[0002] 기판 상의 층 증착을 위한 기법들은, 예컨대, 열 증발, 물리 기상 증착(PVD), 및 화학 기상 증착(CVD)을 포함한다. 코팅된 기판들은 여러 애플리케이션들에서 그리고 여러 기술 분야들에서 사용될 수 있다. 예컨대, 코팅된 기판들은 유기 발광 다이오드(OLED) 디바이스들의 분야에서 사용될 수 있다. OLED들은 정보를 디스플레이하기 위한 텔레비전 스크린들, 컴퓨터 모니터들, 모바일 폰들, 다른 핸드-헬드 디바이스들 등의 제조를 위해 사용될 수 있다. OLED 디바이스, 이를테면 OLED 디스플레이는 2개의 전극들 사이에 위치된 유기 재료의 하나 이상의 층들을 포함할 수 있으며, 이들 모두는 기판 상에 증착된다.
[0003] 기판 상의 코팅 재료의 증착 동안, 기판은 기판 캐리어에 의해 홀딩될 수 있고, 마스크는 기판의 전방에서 마스크 캐리어에 의해 홀딩될 수 있다. 재료 패턴, 예컨대 마스크의 개구 패턴에 대응하는 복수의 픽셀들이 기판 상에 증착될 수 있다.
[0004] OLED 디바이스의 기능성은 전형적으로, 유기 재료의 코팅 두께에 따라 좌우되는데, 그 코팅 두께는 미리 결정된 범위 내에 있어야만 한다. 고-해상도 OLED 디바이스들을 획득하기 위해, 증발된 재료들의 증착에 대한 기술적 난제들이 극복될 필요가 있다. 특히, 진공 시스템을 통해 기판 캐리어들 및 마스크 캐리어들을 정확하게 그리고 매끄럽게 운송하는 것이 난제이다. 추가로, 예컨대 고-해상도 OLED 디바이스들을 생산하기 위한 고 품질 증착 결과들을 달성하는 데 있어서 마스크에 대한 기판의 정밀한 정렬이 중요하다. 더 추가로, 코팅 재료의 효율적인 활용이 유익하고, 시스템의 유휴 시간들이 가능한 짧게 유지되어야 한다.
[0005] 상기된 바를 고려하여, 진공 챔버에서 기판들 및 마스크들을 정확하게 그리고 신뢰가능하게 포지셔닝 및/또는 정렬하기 위한 개선된 장치들, 시스템들, 및 방법들을 제공하는 것에 대한 지속적인 요구가 있다.
[0006] 상기된 바를 고려하여, 진공 챔버에서 기판을 프로세싱하기 위한 장치, 진공 챔버에서 기판을 프로세싱하기 위한 시스템, 제1 캐리어와 제2 캐리어 사이의 거리를 측정하는 방법, 및 제1 캐리어와 제2 캐리어를 정렬하는 방법이 제공된다. 본 개시내용의 추가적인 양상들, 이익들, 및 특징들은 청구항들, 상세한 설명, 및 첨부 도면들로부터 명백하다.
[0007] 본 개시내용의 양상에 따르면, 진공 챔버에서 기판을 프로세싱하기 위한 장치가 제공된다. 장치는 제1 캐리어를 제1 운송 경로를 따라 제1 방향으로 운송하기 위한 제1 캐리어 운송 시스템, 및 제2 캐리어를 제2 운송 경로를 따라 제1 방향으로 운송하기 위한 제2 캐리어 운송 시스템을 포함한다. 추가로, 장치는 제1 캐리어와 제2 캐리어 사이의 거리를 측정하기 위한 측정 시스템을 포함한다. 거리는 제1 방향에 수직이다.
[0008] 본 개시내용의 다른 양상에 따르면, 진공 챔버에서 기판을 프로세싱하기 위한 장치가 제공된다. 장치는 제1 캐리어를 제1 운송 경로를 따라 제1 방향으로 운송하기 위한 제1 캐리어 운송 시스템, 및 제2 캐리어를 제2 운송 경로를 따라 제1 방향으로 운송하기 위한 제2 캐리어 운송 시스템을 포함한다. 추가로, 장치는 제1 캐리어에 의해 운반되는 기판과 제2 캐리어에 의해 운반되는 마스크 사이의 거리를 측정하기 위한 측정 시스템을 포함한다. 거리는 제1 방향에 수직이다. 측정 시스템은, 제1 포지션에서, 제1 캐리어에 의해 운반되는 기판과 제2 캐리어에 의해 운반되는 마스크 사이의 제1 거리를 측정하기 위한 제1 측정 디바이스를 포함한다. 제1 측정 디바이스는 제1 공초점 센서이다. 부가적으로, 측정 시스템은, 제1 포지션과 상이한 제2 포지션에서, 제1 캐리어에 의해 운반되는 기판과 제2 캐리어에 의해 운반되는 마스크 사이의 제2 거리를 측정하기 위한 제2 측정 디바이스를 포함한다. 제2 측정 디바이스는 제2 공초점 센서이다. 추가로, 측정 시스템은, 제1 포지션 및 제2 포지션과 상이한 제3 포지션에서, 제1 캐리어에 의해 운반되는 기판과 제2 캐리어에 의해 운반되는 마스크 사이의 제3 거리를 측정하기 위한 제3 측정 디바이스를 포함한다. 제3 측정 디바이스는 제3 공초점 센서이다. 제1 측정 디바이스, 제2 측정 디바이스, 및 제3 측정 디바이스는 선형 액추에이터에 커플링되며, 그 선형 액추에이터는 제1 방향에 수직인 이동을 제공한다.
[0009] 본 개시내용의 다른 양상에 따르면, 기판을 프로세싱하기 위한 시스템이 제공된다. 시스템은, 제1 캐리어 및 제2 캐리어를 포함하여, 본원에서 설명되는 실시예들 중 임의의 실시예에 따른, 진공 챔버에서 기판을 프로세싱하기 위한 장치를 포함하며, 제1 캐리어는 기판 캐리어이고, 제2 캐리어는 마스크 캐리어이다. 제1 캐리어는 측정 시스템의 개별 측정 디바이스들을 수용하기 위한 스루 홀(through hole)들을 포함한다.
[0010] 본 개시내용의 추가적인 양상에 따르면, 제1 캐리어와 제2 캐리어 사이의 거리를 측정하는 방법이 제공된다. 방법은 진공 챔버에서 제1 포지션에 제1 캐리어를 제공하는 단계; 제1 캐리어와 제2 캐리어가 실질적으로 평행하게 되도록, 진공 챔버에서 제2 포지션에 제2 캐리어를 제공하는 단계를 포함한다. 부가적으로, 방법은 제1 캐리어의 개별 스루 홀들 내로 측정 시스템의 측정 디바이스들을 도입하는 단계를 포함한다. 추가로, 방법은 제1 캐리어에 대하여 측정 디바이스들의 포지션을 고정시키는 단계, 및 측정 디바이스들을 이용하여 제1 캐리어와 제2 캐리어 사이의 거리를 측정하는 단계를 포함한다.
[0011] 본 개시내용의 또 다른 양상에 따르면, 제1 캐리어와 제2 캐리어를 정렬하는 방법이 제공된다. 방법은 적어도 3개의 상이한 포지션들에서 제1 캐리어와 제2 캐리어 사이의 적어도 3개의 거리들을 측정하는 단계를 포함한다. 부가적으로, 방법은 적어도 3개의 측정된 거리들 사이의 차이들을 결정하는 단계를 포함한다. 추가로, 방법은 적어도 3개의 측정된 거리들 사이의 차이들이 제거되도록, 제2 캐리어에 대하여 제1 캐리어를 이동시키는 단계를 포함한다.
[0012] 실시예들은 또한, 개시되는 방법들을 수행하기 위한 장치들에 관한 것이고, 그리고 각각의 설명되는 방법 양상을 수행하기 위한 장치 부분들을 포함한다. 이들 방법 양상들은 하드웨어 컴포넌트들에 의해, 적절한 소프트웨어에 의해 프로그래밍된 컴퓨터에 의해, 이들 둘의 임의의 조합에 의해, 또는 임의의 다른 방식으로 수행될 수 있다. 게다가, 본 개시내용에 따른 실시예들은 또한, 설명되는 장치를 동작시키기 위한 방법들에 관한 것이다. 설명되는 장치를 동작시키기 위한 방법들은 장치의 모든 각각의 기능을 수행하기 위한 방법 양상들을 포함한다.
[0013] 본 개시내용의 상기 열거된 특징들이 상세히 이해될 수 있는 방식으로, 앞서 간략히 요약된 본 개시내용의 보다 구체적인 설명이 실시예들을 참조로 하여 이루어질 수 있다. 첨부 도면들은 본 개시내용의 실시예들에 관한 것이고, 아래에서 설명된다.
도 1은 본원에서 설명되는 실시예들에 따른, 기판을 프로세싱하기 위한 장치의 개략도를 도시한다.
도 2a는 측정 시스템이 제1 포지션에 있는, 본원에서 설명되는 실시예들에 따른, 기판을 프로세싱하기 위한 장치의 개략도를 도시한다.
도 2b는 측정 시스템이 제2 포지션에 있는, 본원에서 설명되는 실시예들에 따른, 기판을 프로세싱하기 위한 장치의 개략도를 도시한다.
도 3은 도 4에서 표시된 라인 A-A를 따르는, 본원에서 설명되는 추가적인 실시예들에 따른, 기판을 프로세싱하기 위한 장치의 개략적인 단면도를 도시한다.
도 4는 본원에서 설명되는 추가적인 실시예들에 따른, 기판을 프로세싱하기 위한 장치의 개략적인 정면도를 도시하며, 여기서, 라인 A-A를 따르는 단면도(도 3 참조) 및 라인 B-B를 따르는 단면도(도 5 참조)가 표시된다.
도 5는 도 4에서 표시된 라인 B-B를 따르는, 본원에서 설명되는 추가적인 실시예들에 따른, 기판을 프로세싱하기 위한 장치의 개략적인 단면도를 도시한다.
도 6은 본원에서 설명되는 실시예들에 따른, 제1 캐리어와 제2 캐리어 사이의 거리를 측정하는 방법을 예시하는 흐름도이다.
도 7은 본원에서 설명되는 실시예들에 따른, 제1 캐리어와 제2 캐리어를 정렬하는 방법을 예시하는 흐름도이다.
[0014] 이제, 본 개시내용의 다양한 실시예들이 상세히 참조될 것이고, 그 다양한 실시예들의 하나 이상의 예들이 도면들에 예시된다. 도면들의 아래의 설명 내에서, 동일한 참조 번호들은 동일한 컴포넌트들을 지칭한다. 개별 실시예들에 대한 차이들만이 설명된다. 각각의 예는 본 개시내용의 설명으로서 제공되고, 본 개시내용의 제한으로서 의도되지 않는다. 추가로, 일 실시예의 부분으로서 예시 또는 설명되는 특징들은 더 추가적인 실시예를 생성하기 위해 다른 실시예들과 함께 또는 다른 실시예들에 대해 사용될 수 있다. 본 설명이 그러한 변형들 및 변화들을 포함하는 것으로 의도된다.
[0015] 도 1을 예시적으로 참조하면, 본 개시내용에 따른, 진공 챔버(101)에서 기판(10)을 프로세싱하기 위한 장치(100)가 설명된다. 본원에서 설명되는 임의의 다른 실시예들과 조합될 수 있는 실시예들에 따르면, 장치(100)는 제1 운송 경로를 따라 제1 방향(X)으로 제1 캐리어(11)를 운송하기 위한 제1 캐리어 운송 시스템(31), 및 제2 운송 경로를 따라 제1 방향(X)으로 제2 캐리어(12)를 운송하기 위한 제2 캐리어 운송 시스템(32)을 포함한다. 제1 캐리어(11)는 기판(10)을 운반하기 위한 기판 캐리어일 수 있다. 제2 캐리어(12)는 마스크(20)를 운반하기 위한 마스크 캐리어일 수 있다. 추가로, 장치는 제1 캐리어(11)와 제2 캐리어(12) 사이의 거리(D)를 측정하기 위한 측정 시스템(130)을 포함한다. 특히, 도 1에 예시적으로 도시된 바와 같이, 제1 캐리어(11)와 제2 캐리어(12) 사이의 거리(D)는 제1 방향(X)에 수직이다. 도 1에서, 제1 방향은 도면 평면에 수직이다. 예컨대, 도 1에 예시적으로 도시된 바와 같이, 제1 캐리어(11)와 제2 캐리어(12) 사이의 거리(D)는 z-방향으로 연장될 수 있다. 더 구체적으로, 거리(D)는 제1 캐리어와 제2 캐리어 사이에 제공되는 갭일 수 있다. 갭은 제1 캐리어와 제2 캐리어의 대향 표면들 사이에 제공되는 공간으로서 이해될 수 있다. 따라서, 측정 시스템(130)은 제1 캐리어와 제2 캐리어 사이의 갭 폭을 측정하도록 구성될 수 있다.
[0016] 따라서, 본원에서 설명되는 바와 같은 장치의 실시예들은 종래의 장치들과 비교하여 개선된다. 특히, 캐리어들의 절대적인 포지션들이 결정되고 제어되는 종래의 장치들과 대조적으로, 본원에서 설명되는 바와 같은 실시예들은 유익하게, 제2 캐리어, 특히 제2 캐리어에 의해 운반되는 마스크에 대하여, 제1 캐리어, 특히 제1 캐리어에 의해 운반되는 기판의 상대적인 포지션을 측정하는 것을 제공한다. 다시 말하면, 본원에서 설명되는 바와 같은 실시예들은 제1 캐리어와 제2 캐리어 사이의 갭, 특히 제1 캐리어에 의해 운반되는 기판과 제2 캐리어에 의해 운반되는 마스크 사이의 갭을 측정하도록 구성되고, 그에 따라, 유리하게, 제1 캐리어와 제2 캐리어의 접촉, 특히 기판과 마스크의 접촉이 방지될 수 있다. 추가로, 제1 캐리어와 제2 캐리어 사이의 거리, 특히 제1 캐리어에 의해 운반되는 기판과 제2 캐리어에 의해 운반되는 마스크 사이의 거리를 측정하는 것은, 제1 캐리어와 제2 캐리어의 정렬, 특히 제1 캐리어에 의해 운반되는 기판과 제2 캐리어에 의해 운반되는 마스크의 정렬의 수행을 개선하는 데 유익할 수 있다. 예컨대, 제1 캐리어와 제2 캐리어 사이의 거리, 특히 제1 캐리어에 의해 운반되는 기판과 제2 캐리어에 의해 운반되는 마스크 사이의 거리, 즉, 제1 캐리어와 제2 캐리어 사이의 갭, 특히 제1 캐리어에 의해 운반되는 기판과 제2 캐리어에 의해 운반되는 마스크 사이의 갭에 관한 정보를 획득할 수 있는 장치를 제공함으로써, 유익하게, 제1 캐리어, 특히 제1 캐리어에 의해 운반되는 기판과 제2 캐리어, 특히 제2 캐리어에 의해 운반되는 마스크가 서로 평행한지 또는 서로 평행하지 않은지를 결정하는 것이 가능하다. 따라서, 본 개시내용의 실시예들은 유익하게, 제1 캐리어와 제2 캐리어의 평행성(parallelism), 특히 제1 캐리어에 의해 운반되는 기판과 제2 캐리어에 의해 운반되는 마스크의 평행성을 측정하는 것을 제공하고, 그에 따라, 평행성으로부터의 편차가 검출되는 경우, 제1 캐리어와 제2 캐리어의 상대적인 포지션, 특히 기판과 마스크의 상대적인 포지션이 조정되어 평행성이 설정될 수 있다.
[0017] 본 개시내용의 다양한 추가적인 실시예들이 더 상세히 설명되기 전에, 본원에서 사용되는 일부 용어들에 대한 일부 양상들이 설명된다.
[0018] 본 개시내용에서, "진공 챔버에서 기판을 프로세싱하기 위한 장치"는 진공 조건들 하에서 본원에서 설명되는 바와 같은 기판을 프로세싱하도록, 특히 코팅하도록 구성된 장치로서 이해될 수 있다. 특히, 본원에서 설명되는 실시예들은, 예컨대 OLED 디스플레이 제조의 경우, 예컨대 기상 증착 프로세스에 의해 대면적 기판들 상에 하나 이상의 재료들을 증착하기 위해 활용될 수 있다. 따라서, 본원에서 설명되는 바와 같은 장치의 실시예들은 OLED 디바이스들의 제조를 위한 재료 증발, 예컨대 유기 재료 증발을 위해 구성될 수 있다. 예로서, 증착 소스는 증발 소스, 특히, OLED 디바이스의 층을 형성하기 위해 기판 상에 하나 이상의 유기 재료들을 증착하기 위한 증발 소스일 수 있다.
[0019] 본 개시내용에 따른 "기판"은, 예컨대 0.5 m2 이상, 특히 1 m2 이상의 표면적을 갖는 대면적 기판일 수 있다. 예컨대, 대면적 기판은, 약 0.67 m2(0.73 x 0.92 m)의 표면적에 대응하는 GEN 4.5, 약 1.4 m2(1.1 m x 1.3 m)의 표면적에 대응하는 GEN 5, 약 4.29 m2(1.95 m x 2.2 m)의 표면적에 대응하는 GEN 7.5, 약 5.7 m2(2.2 m x 2.5 m)의 표면적에 대응하는 GEN 8.5, 또는 심지어, 약 8.7 m2(2.85 m x 3.05 m)의 표면적에 대응하는 GEN 10일 수 있다. GEN 11 및 GEN 12와 같은 한층 더 큰 세대들 및 대응하는 표면적들이 유사하게 구현될 수 있다. GEN 세대들의 절반 사이즈들이 또한, OLED 디스플레이 제조에 제공될 수 있다.
[0020] 따라서, 본원에서 설명되는 바와 같은 기판은 재료 증착에 적합한 임의의 재료로 제조될 수 있다. 특히, 기판은 투명할 수 있다. 예컨대, 기판은, 유리(예컨대, 소다-석회 유리, 붕규산염 유리 등), 금속, 폴리머, 세라믹, 화합물 재료들, 탄소 섬유 재료들, 또는 증착 프로세스에 의해 코팅될 수 있는 임의의 다른 재료 또는 재료들의 조합으로 구성된 그룹으로부터 선택되는 재료로 제조될 수 있다.
[0021] 본원에서 설명되는 다른 실시예들과 조합될 수 있는 일부 실시예들에 따르면, 기판 두께는 0.1 mm 내지 1.8 mm일 수 있다. 기판 두께는 약 0.9 mm 이하, 이를테면 0.5 mm일 수 있다. 본원에서 사용되는 바와 같은 "기판"이라는 용어는 특히, 실질적인 비가요성 기판들, 예컨대 웨이퍼, 사파이어 등과 같은 투명 결정의 슬라이스들, 또는 유리 플레이트를 포함할 수 있다. 그러나, 본 개시내용은 이에 제한되지 않고, "기판"이라는 용어는 또한, 웹 또는 포일과 같은 가요성 기판들을 포함할 수 있다. "실질적인 비가요성"이라는 용어는 "가요성"에 대해 구별하기 위한 것으로 이해된다. 구체적으로, 실질적인 비가요성 기판, 예컨대 0.9 mm 이하, 이를테면 0.5 mm 이하의 두께를 갖는 유리 플레이트는 어느 정도의 가요성을 가질 수 있는데, 여기서, 실질적인 비가요성 기판의 가요성은 가요성 기판들과 비교하여 작다.
[0022] 본 개시내용에서, "진공 챔버"는 진공 증착을 위해 구성된 챔버로서 이해될 수 있다. 본원에서 사용되는 바와 같이, "진공"이라는 용어는, 예컨대 10 mbar 미만의 진공 압력을 갖는 기술적 진공의 의미로 이해될 수 있다. 전형적으로, 본원에서 설명되는 바와 같은 진공 챔버 내의 압력은 10-5 mbar 내지 약 10-8 mbar, 더 전형적으로는 10-5 mbar 내지 10-7 mbar, 그리고 한층 더 전형적으로는 약 10-6 mbar 내지 약 10-7 mbar일 수 있다. 일부 실시예들에 따르면, 진공 챔버 내의 압력은 진공 챔버 내의 증발된 재료의 부분 압력, 또는 총 압력(이는 증발된 재료만이 진공 챔버에서 증착될 컴포넌트로서 존재하는 경우에 대략 동일할 수 있음)인 것으로 고려될 수 있다. 일부 실시예들에서, 진공 챔버 내의 총 압력은, 특히, 증발된 재료 이외의 제2 컴포넌트(이를테면, 가스 등)가 진공 챔버에 존재하는 경우에, 약 10-4 mbar 내지 약 10-7 mbar의 범위에 있을 수 있다.
[0023] 본 개시내용에서, 도 1에 개략적으로 도시된 바와 같이, "제1 캐리어"는 기판(10)을 홀딩하도록 구성된 캐리어로서 이해될 수 있다. 따라서, 제1 캐리어는 기판 캐리어일 수 있다. 특히, 기판 캐리어는, 예컨대, 진공 챔버에서 기판 운송 경로를 따라 기판을 운반하도록 구성된 캐리어 디바이스로서 이해될 수 있다. 예컨대, 기판 캐리어는 기판 상의 코팅 재료의 증착 동안 기판을 홀딩할 수 있다. 따라서, 본원에서 설명되는 바와 같은 "제1 캐리어"는 기판을 포함하는 제1 캐리어로서 이해될 수 있다. 다시 말하면, "제1 캐리어"라는 용어는 기판을 운반하는 제1 캐리어를 지칭할 수 있다.
[0024] 예컨대, 기판은 진공 챔버를 통하는 운송 동안, 진공 챔버에서 기판을 예컨대 마스크에 대하여 포지셔닝하는 동안, 및/또는 기판 상의 코팅 재료의 증착 동안, 제1 캐리어의 홀딩 표면에 홀딩될 수 있다. 특히, 기판은 척킹 디바이스, 예컨대 정전 척 또는 자기 척에 의해 제1 캐리어에 의해 홀딩될 수 있다. 척킹 디바이스는 제1 캐리어에 통합될 수 있다. 일부 실시예들에서, 기판은, 예컨대 운송 및/또는 증착 동안, 비-수평 배향, 특히 본질적인 수직 배향으로 기판 캐리어에 의해 홀딩될 수 있다.
[0025] 본원에서 사용되는 바와 같은 "본질적인 수직 배향"은 수직 배향, 즉 중력 벡터로부터의 10° 이하, 구체적으로는 5° 이하의 편차를 갖는 배향으로서 이해될 수 있다. 예컨대, 기판(또는 마스크)의 주 표면과 중력 벡터 사이의 각도는 +10° 내지 -10°, 구체적으로는 0° 내지 -5°일 수 있다. 일부 실시예들에서, 기판(또는 마스크)의 배향은 운송 동안 및/또는 증착 동안 정확하게 수직이 아니라, 예컨대 0° 내지 -5°, 구체적으로는 -1° 내지 -5°의 경사각으로, 수직 축에 대하여 약간 경사질 수 있다. 음의 각도는 기판(또는 마스크)이 하방으로 경사진 기판(또는 마스크)의 배향을 지칭한다. 증착 동안의 중력 벡터로부터의 기판 배향의 편차는 유익할 수 있고, 더 안정적인 증착 프로세스를 발생시킬 수 있거나, 또는 하방을 향하는 배향은 증착 동안 기판 상의 입자들을 감소시키는 데 적합할 수 있다. 그러나, 운송 동안 및/또는 증착 동안 정확한 수직 배향(+/-1°)이 또한 가능하다. 다른 실시예들에서, 기판들 및 마스크들은 비-수직 배향으로 운송될 수 있고, 그리고/또는 기판들은 비-수직 배향, 예컨대 본질적인 수평 배향으로 코팅될 수 있다.
[0026] 도 1에 개략적으로 도시된 바와 같이, 본원에서 설명되는 바와 같은 "제2 캐리어"는 마스크(20)를 홀딩하도록 구성된 캐리어로서 이해될 수 있다. 따라서, 제2 캐리어는 마스크 캐리어일 수 있다. 특히, "마스크 캐리어"는 진공 챔버에서 마스크 운송 경로를 따라 마스크를 운송하기 위해 마스크를 운반하도록 구성된 캐리어 디바이스로서 이해될 수 있다. 예컨대, 마스크 캐리어는 운송 동안, 기판에 대한 정렬 동안, 및/또는 기판 상의 증착 동안 마스크를 운반할 수 있다. 따라서, 본원에서 설명되는 바와 같은 "제2 캐리어"는 마스크를 포함하는 제2 캐리어로서 이해될 수 있다. 다시 말하면, "제2 캐리어"라는 용어는 마스크를 운반하는 제2 캐리어를 지칭할 수 있다.
[0027] 일부 실시예들에서, 마스크는 운송 및/또는 증착 동안, 비-수평 배향, 특히 본질적인 수직 배향으로 마스크 캐리어에 의해 홀딩될 수 있다. 특히, 마스크는 척킹 디바이스, 예컨대 기계 척, 이를테면 클램프, 정전 척, 또는 자기 척에 의해 마스크 캐리어에 홀딩될 수 있다. 마스크 캐리어에 연결될 수 있거나 또는 마스크 캐리어에 통합될 수 있는 다른 타입의 척킹 디바이스들이 사용될 수 있다.
[0028] 예컨대, 본원에서 설명되는 바와 같은 마스크는 에지 배제 마스크 또는 섀도우 마스크일 수 있다. 에지 배제 마스크는 기판의 코팅 동안 하나 이상의 에지 구역들 상에 재료가 증착되지 않도록, 기판의 하나 이상의 에지 구역들을 마스킹하도록 구성된 마스크이다. 섀도우 마스크는 기판 상에 증착될 복수의 피처들을 마스킹하도록 구성된 마스크이다. 예컨대, 섀도우 마스크는 복수의 작은 개구들, 예컨대 작은 개구들의 격자를 포함할 수 있다.
[0029] 본 개시내용에서, "캐리어 운송 시스템"은 운송 경로를 따라 캐리어를 운송하도록 구성된 시스템으로서 이해될 수 있다. 운송 경로는 운송 동안 캐리어가 따라 이동하는 경로 또는 궤도로서 이해될 수 있다. 예컨대, 도 1을 예시적으로 참조하면, 제1 캐리어 운송 시스템(31)이 제1 운송 경로를 따라 제1 방향(X)으로 제1 캐리어(11)를 운송하도록 구성되고, 제2 캐리어 운송 시스템(32)이 제2 운송 경로를 따라 제1 방향(X)으로 제2 캐리어(12)를 운송하도록 구성된다는 것이 이해될 것이다. 도 1에서, 제1 방향(X)은 도면 평면에 본질적으로 수직이다.
[0030] 본원에서 설명되는 다른 실시예들과 조합될 수 있는 일부 실시예들에 따르면, 제1 캐리어 운송 시스템(31)은 진공 챔버(101)에서 제1 캐리어(11)를 비접촉식으로 운송하도록 구성될 수 있다. 예컨대, 제1 캐리어 운송 시스템(31)은 자기력들에 의해 제1 캐리어(11)를 홀딩 및 운송할 수 있다. 특히, 제1 캐리어 운송 시스템(31)은 자기 부상 시스템을 포함할 수 있다. 유사하게, 제2 캐리어 운송 시스템(32)은 진공 챔버(101)에서, 제2 캐리어(12)를 비접촉식으로 운송하도록 구성될 수 있다. 예컨대, 제2 캐리어 운송 시스템(32)은 자기력들에 의해 제2 캐리어(12)를 홀딩 및 운송할 수 있다. 특히, 제2 캐리어 운송 시스템(32)은 자기 부상 시스템을 포함할 수 있다.
[0031] 본 개시내용에서, "측정 시스템"은, 측정을 실시하도록, 특히, 거리, 예컨대 본원에서 설명되는 바와 같은, 제1 캐리어와 제2 캐리어 사이의 거리를 측정하도록 구성된 시스템으로서 이해될 수 있다. 특히, 측정 시스템은, 광학 측정 기법을 이용하여, 2개의 물체들, 예컨대 제1 캐리어와 제2 캐리어 사이의 거리를 측정하도록 구성된 시스템일 수 있다. 예컨대, 측정 시스템은 거리 측정을 실시하기 위한 1개, 2개, 또는 그 초과의 측정 디바이스들, 예컨대 공초점 센서들을 포함할 수 있다. 도 1에서 점선 화살표들(5)로 예시적으로 표시된 바와 같이, 전형적으로, 측정 디바이스들, 특히 공초점 센서들은 방사선, 특히 광을 방출하도록 구성된다.
[0032] 본원에서 설명되는 바와 같이, "제1 캐리어"는 "기판을 포함하는 제1 캐리어"로서 이해될 수 있으며, "제2 캐리어"는 "마스크를 포함하는 제2 캐리어"로서 이해될 수 있다. 다시 말하면, "제1 캐리어"는 기판을 운반하는 제1 캐리어를 지칭할 수 있으며, "제2 캐리어"는 마스크를 운반하는 제2 캐리어를 지칭할 수 있다.
[0033] 따라서, "제1 캐리어와 제2 캐리어 사이의 거리"라는 표현은 제1 캐리어에 의해 운반되는 기판과 제2 캐리어에 의해 운반되는 마스크 사이의 거리를 지칭할 수 있다는 것이 이해될 것이다. 대안적으로, "제1 캐리어와 제2 캐리어 사이의 거리"라는 표현은 제1 캐리어에 의해 운반되는 기판과 제2 캐리어의 바디, 예컨대 제2 캐리어의 프레임 사이의 거리를 지칭할 수 있다. 다른 대안에 따르면, "제1 캐리어와 제2 캐리어 사이의 거리"라는 표현은 제1 캐리어의 바디, 예컨대 제1 캐리어의 프레임과 제2 캐리어의 바디, 예컨대 제2 캐리어의 프레임 사이의 거리를 지칭할 수 있다. "제1 캐리어와 제2 캐리어 사이의 거리"라는 표현의 위에서 주어진 이해는 또한, 본원에서 설명되는 바와 같은, 제1 거리(D1), 제2 거리(D2), 제3 거리(D3), 및 제4 거리(D4)에 적용될 수 있다.
[0034] 도 1을 예시적으로 참조하여, 본원에서 설명되는 다른 실시예들과 조합될 수 있는 일부 실시예들에 따르면, 측정 시스템(130)은 제1 측정 디바이스(131A) 및 제2 측정 디바이스(131B)를 포함한다. 특히, 제1 측정 디바이스(131A)와 제2 측정 디바이스(131B)는 이격된다. 더 구체적으로, 제1 측정 디바이스(131A)는 갭(G)의 제1 측(S1)에서 제1 캐리어(11)와 제2 캐리어(12) 사이의 거리를 측정하도록 배열 및 구성될 수 있다.
[0035] 제2 측정 디바이스(131B)는 갭(G)의 제2 측(S2)에서 제1 캐리어와 제2 캐리어 사이의 거리를 측정하도록 배열 및 구성될 수 있다. 갭(G)의 제2 측(S2)은 갭(G1)의 제1 측(S1)과 대향한다. 따라서, 유익하게, 상이한 위치들에서의 거리 측정들이 수행될 수 있으며, 이는 제1 캐리어와 제2 캐리어가 서로 평행한지 또는 서로 평행하지 않은지를 결정할 수 있게 한다.
[0036] 다시 말하면, 도 3에 예시적으로 도시된 바와 같이, 본원에서 설명되는 다른 실시예들과 조합될 수 있는 실시예들에 따르면, 측정 시스템(130)은 제1 포지션(P1)에서 제1 캐리어(11)와 제2 캐리어(12) 사이의 제1 거리(D1)를 측정하기 위한 제1 측정 디바이스(131A)를 포함한다. 부가적으로, 측정 시스템(130)은 제1 포지션(P1)과 상이한 제2 포지션(P2)에서 제1 캐리어(11)와 제2 캐리어(12) 사이의 제2 거리(D2)를 측정하기 위한 제2 측정 디바이스(131B)를 포함한다. 따라서, 제1 거리(D1)가 제2 거리(D2)와 동일한 경우, 제1 캐리어와 제2 캐리어는 제1 포지션(P1)과 제2 포지션(P2)을 연결하는 라인을 따라 서로 평행하다는 것이 이해될 것이다.
[0037] 본원에서 설명되는 다른 실시예들과 조합될 수 있는 일부 실시예들에 따르면, 제1 측정 디바이스(131A)는 제1 광학 측정 디바이스, 특히 제1 공초점 센서이다. 따라서, 제2 측정 디바이스(131B)는 제2 광학 측정 디바이스, 특히 제2 공초점 센서일 수 있다. "광학 측정 디바이스"는 광학 측정 기법을 이용하여 거리를 측정하도록 구성된 디바이스로서 이해될 수 있다. "공초점 센서"는 광을 이용하여 변위를 측정하도록 구성된 센서로서 이해될 수 있다. 예컨대, 전형적으로, 공초점 센서는, 방출된 광을 상이한 컬러들로 분리한 후 검출기를 사용하여, 반사된 컬러 신호를 식별하는 측정 원리에 기초한다. 따라서, 유익하게, 제1 캐리어와 제2 캐리어 사이의 거리가 비접촉 방식으로 측정될 수 있다. 추가로, 공초점 센서들을 이용하는 것은, 변위 측정들이 매우 높은 정확도로, 예컨대, 마이크로 미터 범위 또는 심지어 마이크로 미터 미만 범위에서 수행될 수 있다는 이점을 갖는다.
[0038] 도 1을 예시적으로 참조하여, 본원에서 설명되는 다른 실시예들과 조합될 수 있는 일부 실시예들에 따르면, 제1 측정 디바이스(131A) 및 제2 측정 디바이스(131B)는 홀딩 어레인지먼트(132)에 의해 견고하게 연결된다. "홀딩 어레인지먼트"는 본원에서 설명되는 바와 같은, 제1 측정 디바이스 및 제2 측정 디바이스를 홀딩하도록 구성된 기계적 구조물로서 이해될 수 있다. 따라서, 유익하게, 제1 측정 디바이스의 포지션 및 제2 측정 디바이스의 포지션은 서로에 대하여 고정될 수 있으며, 이는 제1 캐리어와 제2 캐리어의 평행성을 결정하는 데 유리할 수 있다.
[0039] 도 1에 예시적으로 도시된 바와 같이, 본원에서 설명되는 다른 실시예들과 조합될 수 있는 일부 실시예들에 따르면, 측정 시스템(130)은 제1 측정 디바이스(131A) 및 제2 측정 디바이스(131B)를 제1 방향(X)에 수직으로, 예컨대 도 1에 도시된 z-방향으로 이동시키기 위한 선형 액추에이터(135)를 포함한다. "선형 액추에이터"는 병진 이동을 수행하도록 구성된 액추에이터로서 이해될 수 있다.
[0040] 도 2a는 측정 시스템(130)이 제1 포지션에 있는 장치(100)의 개략도를 도시하며, 도 2b는 측정 시스템이 제2 포지션에 있는 장치를 도시한다. 따라서, 도 2a 및 도 2b로부터 이해될 수 있는 바와 같이, 선형 액추에이터(135)는 측정 디바이스들을 제1 포지션으로부터 제2 포지션으로 그리고 그 반대로 이동시키기 위해 이용될 수 있다. 예컨대, 제1 포지션은 이송 포지션일 수 있으며, 제2 포지션은 측정 포지션일 수 있다. 이송 포지션(도 2a)은 제1 캐리어를 측정 디바이스들 및 제2 캐리어에 대하여 제1 방향(X)으로 이동시킬 수 있게 하는 포지션으로서 이해될 수 있다. 측정 포지션(도 2b)은, 제1 캐리어와 제2 캐리어 사이의 거리를 측정하기 위한 변위 측정이 수행되는, 측정 디바이스들의 포지션으로서 이해될 수 있다. 특히, 도 1 및 도 2b에 예시적으로 도시된 바와 같이, 측정 포지션에서, 제1 측정 디바이스 및 제2 측정 디바이스는 제1 캐리어의 각각의 수용부들, 특히 스루 홀들 내로 도입된다. 도 2a에 예시적으로 도시된 바와 같이, 수용부들(8)은 각각의 측정 디바이스들을 위한 기계적 정지부를 제공하도록 구성될 수 있다.
[0041] 도 3을 예시적으로 참조하여, 본원에서 설명되는 다른 실시예들과 조합될 수 있는 일부 실시예들에 따르면, 측정 시스템(130)은 제1 방향(X)에 수직으로 제1 측정 디바이스(131A) 및 제2 측정 디바이스(131B)의 이동을 가이딩하기 위한 가이딩 어레인지먼트(136)를 포함한다. 특히, 도 3에 예시적으로 도시된 바와 같이, 가이딩 어레인지먼트(136)는 진공 챔버(101) 외부에 배열될 수 있다. 특히, 가이딩 어레인지먼트는 가이딩 엘리먼트(137) 및 슬라이딩 엘리먼트(138)를 포함할 수 있다. 슬라이딩 엘리먼트(138)는 가이딩 엘리먼트(137)에 의해 가이딩되도록 구성될 수 있다. 전형적으로, 슬라이딩 엘리먼트(138)는, 예컨대 선형 액추에이터를 이용하여, 가이딩 엘리먼트에 대하여 이동가능하다. 따라서, 도 3에 예시적으로 도시된 바와 같이, 슬라이딩 엘리먼트(138)는 선형 액추에이터(135)에 커플링될 수 있다.
[0042] 본원에서 설명되는 다른 실시예들과 조합될 수 있는 일부 실시예들에 따르면, 슬라이딩 엘리먼트(138)는 진공 챔버(101)의 벽(102)을 통해 연장될 수 있다. 특히, 도 3에 예시적으로 도시된 바와 같이, 슬라이딩 엘리먼트의 하나의 부분은 진공 챔버 외부에 부분적으로 배열될 수 있으며, 슬라이딩 엘리먼트의 다른 부분은 진공 챔버 내부에 배열될 수 있다. 추가로, 도 3에 도시된 바와 같이, 슬라이딩 엘리먼트(138)는 홀딩 어레인지먼트(132)에 커플링될 수 있다. 홀딩 어레인지먼트(132)는 진공 챔버(101) 내부에 배열될 수 있다. 예시적인 구현에 따르면, 멤브레인 벨로즈(139)가 진공 밀봉을 위해 제공될 수 있다. 추가로 도 3에 예시적으로 도시된 바와 같이, 진공 하우징들(140)이 제공될 수 있다. 특히, 진공 하우징들은 진공 챔버(101)의 외부 벽, 예컨대 도 3에 도시된 벽(102)에 부착될 수 있다. 진공 하우징은 웰컴(welcome) 조건들이 제공 및 유지될 수 있는 격실로서 이해될 수 있다. 진공 하우징들(140)은 전형적으로, 각각의 측정 디바이스에 연결된 케이블을 수용하도록 구성된다.
[0043] 도 3에 예시적으로 도시된 바와 같이, 본원에서 설명되는 다른 실시예들과 조합될 수 있는 일부 실시예들에 따르면, 증착 소스(125)가 진공 챔버(101)에 제공된다. 증착 소스(125)는 제1 캐리어(11)에 의해 홀딩된 기판(10) 상에 코팅 재료를 증착하도록 구성된다.
[0044] 도 4는 장치(100)의 개략적인 정면도를 도시한다. 특히, 도 4는 진공 챔버(101)의 실질적인 수직 외측 벽을 도시한다. 도 4로부터 볼 수 있는 바와 같이, 2개 초과의 진공 하우징들(140), 예컨대 3개, 4개, 또는 그 초과의 진공 하우징들이 진공 챔버의 벽(102)에 부착될 수 있다. 따라서, 본원에서 설명되는 바와 같은 장치가 3개, 4개, 또는 그 초과의 측정 디바이스들을 포함할 수 있다는 것이 이해될 것이다.
[0045] 특히, 도 5에 예시적으로 도시된 바와 같이, 본원에서 설명되는 다른 실시예들과 조합될 수 있는 일부 실시예들에 따르면, 측정 시스템(130)은 제1 포지션(P1) 및 제2 포지션(P2)과 상이한 제3 포지션(P3)에서 제1 캐리어(11)와 제2 캐리어(12) 사이의 제3 거리(D3)를 측정하기 위한 제3 측정 디바이스(131C)를 포함한다. 도 5는 도 4에 도시된 라인 B-B를 따르는 단면도를 도시하며, 도 3은 도 4에 도시된 라인 A-A를 따르는 단면도를 도시한다. 따라서, 유익하게, 제1 캐리어와 제2 캐리어 사이의 3개의 거리들 또는 변위들이 측정될 수 있으며, 이는 제1 캐리어와 제2 캐리어의 평면 평행성이 결정될 수 있다는 이점을 갖는다.
[0046] 추가로, 도 5를 예시적으로 참조하여, 본원에서 설명되는 다른 실시예들과 조합될 수 있는 일부 실시예들에 따르면, 측정 시스템(130)은 제1 포지션(P1), 제2 포지션(P2), 및 제3 포지션(P3)과 상이한 제4 포지션(P4)에서 제1 캐리어(11)와 제2 캐리어(12) 사이의 제4 거리(D4)를 측정하기 위한 제4 측정 디바이스(131D)를 포함한다. 따라서, 유익하게, 3개 이하의 측정 디바이스가 사용되는 구성과 비교하여 증가된 정확도로 제1 캐리어와 제2 캐리어의 평면 평행성이 측정될 수 있다.
[0047] 제3 측정 디바이스(131C)는 제3 광학 측정 디바이스, 특히 제3 공초점 센서일 수 있다. 따라서, 제4 측정 디바이스(131D)는 제4 광학 측정 디바이스, 특히 제4 공초점 센서일 수 있다.
[0048] 본원에서 설명되는 다른 실시예들과 조합될 수 있는 일부 실시예들에 따르면, 제3 측정 디바이스(131C) 및 제4 측정 디바이스(131D)는 추가적인 홀딩 어레인지먼트(142)에 의해 견고하게 연결된다. 특히, 추가적인 홀딩 어레인지먼트(142)는 제1 방향(X)에 수직인 이동을 제공하기 위한 추가적인 선형 액추에이터(145)에 연결될 수 있다. 도 5에 도시된 바와 같이, 슬라이딩 엘리먼트(138), 가이딩 엘리먼트(137), 및 멤브레인 벨로즈(139)가 도 3을 참조하여 예시적으로 설명된 방식과 유사한 방식으로 제공될 수 있다.
[0049] 본원에서 설명되는 다른 실시예들과 조합될 수 있는 일부 실시예들에 따르면, 도 4에 개략적으로 도시된 바와 같이, 측정 시스템(150)은 진공 챔버의 벽에 측정 시스템을 연결하기 위한 탑재 조립체를 포함한다.
[0050] 본원에서 설명되는 다른 실시예들과 조합될 수 있는 특정 예에 따르면, 진공 챔버(101)에서 기판을 프로세싱하기 위한 장치(100)는 제1 캐리어(11)를 제1 운송 경로를 따라 제1 방향(X)으로 운송하도록 구성된 제1 캐리어 운송 시스템(31), 및 제2 캐리어(12)를 제2 운송 경로를 따라 제1 방향(X)으로 운송하도록 구성된 제2 캐리어 운송 시스템(32)을 포함한다. 부가적으로, 장치는 제1 캐리어(11)와 제2 캐리어(12) 사이의 거리(D)를 측정하도록 구성된 측정 시스템(130)을 포함하며, 거리(D)는 제1 방향(X)에 수직이다. 측정 시스템(130)은 제1 포지션(P1)에서 제1 캐리어(11)와 제2 캐리어(12) 사이의 제1 거리(D1)를 측정하기 위한 제1 측정 디바이스(131A)를 포함한다. 제1 측정 디바이스(131A)는 전형적으로, 제1 공초점 센서이다. 부가적으로, 측정 시스템(130)은 제1 포지션(P1)과 상이한 제2 포지션(P2)에서 제1 캐리어(11)와 제2 캐리어(12) 사이의 제2 거리(D2)를 측정하기 위한 제2 측정 디바이스(131B)를 포함한다. 제2 측정 디바이스(131B)는 전형적으로, 제2 공초점 센서이다. 추가로, 측정 시스템(130)은 제1 포지션(P1) 및 제2 포지션(P2)과 상이한 제3 포지션(P3)에서 제1 캐리어(11)와 제2 캐리어(12) 사이의 제3 거리(D3)를 측정하기 위한 제3 측정 디바이스(131C)를 포함한다. 제3 측정 디바이스는 전형적으로, 제3 공초점 센서이다. 제1 측정 디바이스(131A), 제2 측정 디바이스(131B), 및 제3 측정 디바이스(131C)는 선형 액추에이터에 커플링된다. 선형 액추에이터는 제1 방향(X)에 수직인 이동을 제공하도록 구성된다.
[0051] 본 개시내용의 양상에 따르면, 기판을 프로세싱하기 위한 시스템이 아래에서 설명된다. 기판을 프로세싱하기 위한 시스템은 본원에서 설명되는 실시예들 중 임의의 실시예에 따른, 기판을 프로세싱하기 위한 장치를 포함한다. 추가로, 시스템은 제1 캐리어(11) 및 제2 캐리어(12)를 포함한다. 전형적으로, 제1 캐리어(11)는 기판 캐리어이며, 제2 캐리어는 마스크 캐리어이다. 특히, 제1 캐리어는 측정 시스템(130)의 개별 측정 디바이스들을 수용하기 위한 스루 홀들을 포함한다. 예컨대, 스루 홀들은 도 2a를 참조하여 예시적으로 설명된 바와 같은 수용부들(8)로서 구성될 수 있다. 수용부들은, 측정 시스템이 측정 포지션에 있는 경우, 수용부들 내로 도입되는 각각의 측정 디바이스들을 위한 기계적 정지부를 포함할 수 있다. 측정 시스템이 본원에서 설명되는 임의의 실시예들에 따라 구현될 수 있다는 것이 이해될 것이다.
[0052] 도 6에 도시된 흐름도를 예시적으로 참조하면, 본 개시내용에 따른, 제1 캐리어(11)와 제2 캐리어(12) 사이의 거리를 측정하는 방법(200)의 실시예들이 설명된다. 본원에서 설명되는 다른 실시예들과 조합될 수 있는 일부 실시예들에 따르면, 방법은 진공 챔버에서 제1 포지션에 제1 캐리어를 제공하는 단계(블록(210)), 및 진공 챔버에서 제2 포지션에 제2 캐리어를 제공하는 단계(블록(220))를 포함한다. 전형적으로, 제1 캐리어 및 제2 캐리어는 서로 실질적으로 평행하게 되도록 제공된다. 부가적으로, 방법은 제1 캐리어의 개별 스루 홀들, 예컨대 본원에서 설명되는 바와 같은 수용부들(8) 내로 측정 시스템의 측정 디바이스들을 도입하는 단계(블록(230))를 포함한다. 추가로, 방법은 제1 캐리어에 대하여 측정 디바이스들의 포지션을 고정시키는 단계(블록(240))를 포함한다. 예컨대, 측정 디바이스들의 포지션은 도 2a를 참조하여 설명된 바와 같은 수용부들의 정지부들을 이용하여 고정될 수 있다. 부가적으로, 방법은 측정 디바이스들을 이용하여, 제1 캐리어(11)와 제2 캐리어(12) 사이의 거리를 측정하는 단계(블록(250))를 포함한다.
[0053] 본원에서 설명되는 다른 실시예들과 조합될 수 있는 일부 실시예들에 따르면, 제1 캐리어와 제2 캐리어 사이의 거리를 측정하는 단계는, 적어도 3개의 상이한 포지션들, 특히 제1 캐리어의 적어도 3개의 코너들에서 거리를 측정하는 단계를 포함한다. 예컨대, 본원에서 설명되는 바와 같이, 적어도 3개의 상이한 포지션들은, 제1 포지션(P1), 제2 포지션(P2), 제3 포지션(P3), 및 제4 포지션(P4)으로 구성된 그룹으로부터 선택되는 3개의 포지션들일 수 있다.
[0054] 도 7에 도시된 흐름도를 예시적으로 참조하면, 본 개시내용에 따른, 제1 캐리어와 제2 캐리어를 정렬하는 방법(300)의 실시예들이 설명된다. 방법은 적어도 3개의 상이한 포지션들에서 제1 캐리어와 제2 캐리어 사이의 적어도 3개의 거리들을 측정하는 단계(블록(310))를 포함한다. 부가적으로, 방법은 적어도 3개의 측정된 거리들 사이의 차이들을 결정하는 단계(블록(320))를 포함한다. 추가로, 방법은 적어도 3개의 측정된 거리들 사이의 차이들이 제거되도록, 제2 캐리어에 대하여 제1 캐리어를 이동시키는 단계(블록(330))를 포함한다.
[0055] 예컨대, 제2 캐리어에 대하여 제1 캐리어를 이동시키는 단계는, 제2 캐리어에 대하여 제1 캐리어(11)를 정확하게 포지셔닝하도록 구성된 정렬 시스템을 이용하는 단계를 포함할 수 있다. 따라서, 본원에서 설명되는 바와 같은 장치는 진공 챔버에 제공된 정렬 시스템을 포함할 수 있다. 추가로, 본원에서 설명되는 바와 같은 측정 시스템이, 예컨대 제어기에 의해, 정렬 시스템과 연결될 수 있다는 것이 이해될 것이다. 따라서, 측정 시스템에 의해 획득된 측정 데이터는 제어기에 전송될 수 있으며, 그 제어기는, 제2 캐리어에 대한 제1 캐리어의 포지션이 미리-정의된 포지션에 있지 않음을 측정 데이터가 나타내는 경우, 정렬 시스템에 제어 신호를 전송하도록 구성될 수 있다. 따라서, 유익하게, 예컨대, 제1 캐리어가 제2 캐리어와 평행한 것을 보장하기 위해, 제1 캐리어와 제2 캐리어 사이의 거리가 모니터링 및 제어될 수 있다.
[0056] 본원에서 설명되는 실시예들에 따르면, 제1 캐리어와 제2 캐리어 사이의 거리를 측정하는 방법 뿐만 아니라 제1 캐리어와 제2 캐리어를 정렬하는 방법은, 컴퓨터 프로그램들, 소프트웨어, 컴퓨터 소프트웨어 제품들, 및 상관형 제어기들을 사용하여 실시될 수 있는데, 그 상관형 제어기들은 CPU, 메모리, 사용자 인터페이스, 및 장치의 대응하는 컴포넌트들과 통신하는 입력 및 출력 디바이스들을 가질 수 있다.
[0057] 본원에서 설명되는 실시예들을 고려하여, 기판 증발기를 프로세싱하기 위한 장치, 기판을 프로세싱하기 위한 시스템, 및 이를 위한 방법들의 실시예들이 종래 기술에 대하여 개선된다는 것이 이해될 것이다. 특히, 본 개시내용의 실시예들은, 캐리어들의 절대적인 포지션들이 결정되고 제어되는 종래 기술과 대조적으로, 본원에서 설명되는 바와 같은 실시예들이 유익하게, 제2 캐리어, 특히 제2 캐리어에 의해 운반되는 마스크에 대하여, 제1 캐리어, 특히 제1 캐리어에 의해 운반되는 기판의 상대적인 포지션을 측정하는 것을 제공한다는 이점을 갖는다. 다시 말하면, 본원에서 설명되는 바와 같은 실시예들은 제1 캐리어와 제2 캐리어 사이의 갭, 특히 제1 캐리어에 의해 운반되는 기판과 제2 캐리어에 의해 운반되는 마스크 사이의 갭을 측정하도록 구성되고, 그에 따라, 유리하게, 제1 캐리어와 제2 캐리어의 접촉, 특히 기판과 마스크의 접촉이 방지될 수 있다. 추가로, 본 개시내용의 실시예들은 제1 캐리어와 제2 캐리어의 정렬, 특히 제1 캐리어에 의해 운반되는 기판과 제2 캐리어에 의해 운반되는 마스크의 정렬의 수행을 개선하는 것을 제공하는데, 이는, 제1 캐리어와 제2 캐리어 사이의 거리 또는 갭, 특히 제1 캐리어에 의해 운반되는 기판과 제2 캐리어에 의해 운반되는 마스크 사이의 거리 또는 갭이 지속적으로 모니터링 및 제어될 수 있기 때문이다. 따라서, 본 개시내용의 실시예들은 유익하게, 제1 캐리어와 제2 캐리어의 평행성, 특히 제1 캐리어에 의해 운반되는 기판과 제2 캐리어에 의해 운반되는 마스크의 평행성을 제어하는 것을 제공하고, 그에 따라, 평행성으로부터의 편차가 검출되는 경우, 제1 캐리어와 제2 캐리어의 상대적인 포지션, 특히 기판과 마스크의 상대적인 포지션이, 예컨대 정렬 시스템을 사용하여, 조정되어 평행성이 설정될 수 있다. 예컨대, 정렬 시스템은 제1 캐리어에 의해 운반되는 기판과 제2 캐리어, 특히 제2 캐리어에 의해 운반되는 마스크의 정렬을 수행하도록 배열 및 구성된 액추에이터들, 특히 선형 액추에이터들을 포함할 수 있다. 예컨대, 액추에이터들은 압전 액추에이터들일 수 있다.
[0058] 전술한 바가 본 개시내용의 실시예들에 관한 것이지만, 본 개시내용의 다른 및 추가적인 실시예들이 본 개시내용의 기본적인 범위로부터 벗어나지 않으면서 고안될 수 있고, 본 개시내용의 범위는 다음의 청구항들에 의해 결정된다.

Claims (15)

  1. 진공 챔버(101)에서 기판(10)을 프로세싱하기 위한 장치(100)로서,
    제1 캐리어(11)를 제1 운송 경로를 따라 제1 방향(X)으로 운송하기 위한 제1 캐리어 운송 시스템(31);
    제2 캐리어(12)를 제2 운송 경로를 따라 제1 방향(X)으로 운송하기 위한 제2 캐리어 운송 시스템(32); 및
    상기 제1 캐리어(11)와 상기 제2 캐리어(12) 사이의 거리를 측정하기 위한 측정 시스템(130)
    을 포함하며,
    상기 거리는 상기 제1 방향(X)에 수직이고,
    상기 제1 캐리어는 상기 측정 시스템(130)의 개별 측정 디바이스들을 수용하기 위한 스루 홀들을 포함하는,
    진공 챔버에서 기판을 프로세싱하기 위한 장치.
  2. 제1 항에 있어서,
    상기 측정 시스템(130)은 제1 포지션(P1)에서 상기 제1 캐리어(11)와 상기 제2 캐리어(12) 사이의 제1 거리(D1)를 측정하기 위한 제1 측정 디바이스(131A), 및 상기 제1 포지션(P1)과 상이한 제2 포지션(P2)에서 상기 제1 캐리어(11)와 상기 제2 캐리어(12) 사이의 제2 거리(D2)를 측정하기 위한 제2 측정 디바이스(131B)를 포함하는,
    진공 챔버에서 기판을 프로세싱하기 위한 장치.
  3. 제2 항에 있어서,
    상기 제1 측정 디바이스(131A)는 제1 광학 측정 디바이스이며, 상기 제2 측정 디바이스(131B)는 제2 광학 측정 디바이스인,
    진공 챔버에서 기판을 프로세싱하기 위한 장치.
  4. 제2 항에 있어서,
    상기 제1 측정 디바이스(131A) 및 상기 제2 측정 디바이스(131B)는 홀딩 어레인지먼트(holding arrangement)(132)에 의해 견고하게 연결되는,
    진공 챔버에서 기판을 프로세싱하기 위한 장치.
  5. 제2 항에 있어서,
    상기 측정 시스템(130)은 상기 제1 측정 디바이스(131A) 및 상기 제2 측정 디바이스(131B)를 상기 제1 방향(X)에 수직으로 이동시키기 위한 선형 액추에이터(135)를 포함하는,
    진공 챔버에서 기판을 프로세싱하기 위한 장치.
  6. 제2 항에 있어서,
    상기 측정 시스템(130)은 상기 제1 방향(X)에 수직으로 상기 제1 측정 디바이스(131A) 및 상기 제2 측정 디바이스(131B)의 이동을 가이딩(guiding)하기 위한 가이딩 어레인지먼트를 포함하는,
    진공 챔버에서 기판을 프로세싱하기 위한 장치.
  7. 제2 항에 있어서,
    상기 측정 시스템(130)은, 상기 제1 포지션(P1) 및 상기 제2 포지션(P2)과 상이한 제3 포지션(P3)에서 상기 제1 캐리어(11)와 상기 제2 캐리어(12) 사이의 제3 거리(D3)를 측정하기 위한 제3 측정 디바이스(131C)를 포함하는,
    진공 챔버에서 기판을 프로세싱하기 위한 장치.
  8. 제2 항에 있어서,
    상기 측정 시스템(130)은, 상기 제1 포지션(P1), 상기 제2 포지션(P2), 및 제3 포지션(P3)과 상이한 제4 포지션(P4)에서 상기 제1 캐리어(11)와 상기 제2 캐리어(12) 사이의 제4 거리(D4)를 측정하기 위한 제4 측정 디바이스(131D)를 포함하는,
    진공 챔버에서 기판을 프로세싱하기 위한 장치.
  9. 제2 항에 있어서,
    상기 측정 시스템(130)은, 상기 제1 포지션(P1) 및 상기 제2 포지션(P2)과 상이한 제3 포지션(P3)에서 상기 제1 캐리어(11)와 상기 제2 캐리어(12) 사이의 제3 거리(D3)를 측정하기 위한 제3 측정 디바이스(131C)를 포함하고,
    상기 측정 시스템(130)은, 상기 제1 포지션(P1), 상기 제2 포지션(P2), 및 상기 제3 포지션(P3)과 상이한 제4 포지션(P4)에서 상기 제1 캐리어(11)와 상기 제2 캐리어(12) 사이의 제4 거리(D4)를 측정하기 위한 제4 측정 디바이스(131D)를 포함하며,
    상기 제3 측정 디바이스(131C) 및 상기 제4 측정 디바이스(131D)는 추가적인 홀딩 어레인지먼트에 의해 견고하게 연결되고, 상기 추가적인 홀딩 어레인지먼트(142)는 상기 제1 방향(X)에 수직인 이동을 제공하기 위한 추가적인 선형 액추에이터(145)에 연결되는,
    진공 챔버에서 기판을 프로세싱하기 위한 장치.
  10. 제1 항에 있어서,
    상기 측정 시스템(130)은 상기 진공 챔버의 벽에 상기 측정 시스템을 연결하기 위한 탑재 조립체를 포함하는,
    진공 챔버에서 기판을 프로세싱하기 위한 장치.
  11. 진공 챔버(101)에서 기판(10)을 프로세싱하기 위한 장치(100)로서,
    제1 캐리어(11)를 제1 운송 경로를 따라 제1 방향(X)으로 운송하기 위한 제1 캐리어 운송 시스템(31);
    제2 캐리어(12)를 제2 운송 경로를 따라 제1 방향(X)으로 운송하기 위한 제2 캐리어 운송 시스템(32); 및
    상기 제1 캐리어(11)에 의해 운반되는 상기 기판(10)과 상기 제2 캐리어(12)에 의해 운반되는 마스크(20) 사이의 거리를 측정하기 위한 측정 시스템(130) ― 상기 거리는 상기 제1 방향(X)에 수직임 ―
    을 포함하며,
    상기 측정 시스템(130)은,
    제1 포지션(P1)에서, 상기 제1 캐리어(11)에 의해 운반되는 상기 기판(10)과 상기 제2 캐리어(12)에 의해 운반되는 상기 마스크(20) 사이의 제1 거리(D1)를 측정하기 위한 제1 측정 디바이스(131A) ― 상기 제1 측정 디바이스(131A)는 제1 공초점 센서임 ―;
    상기 제1 포지션(P1)과 상이한 제2 포지션(P2)에서, 상기 제1 캐리어(11)에 의해 운반되는 상기 기판(10)과 상기 제2 캐리어(12)에 의해 운반되는 상기 마스크(20) 사이의 제2 거리(D2)를 측정하기 위한 제2 측정 디바이스(131B) ― 상기 제2 측정 디바이스(131B)는 제2 공초점 센서임 ―; 및
    상기 제1 포지션(P1) 및 상기 제2 포지션(P2)과 상이한 제3 포지션(P3)에서, 상기 제1 캐리어(11)에 의해 운반되는 상기 기판(10)과 상기 제2 캐리어(12)에 의해 운반되는 상기 마스크(20) 사이의 제3 거리(D3)를 측정하기 위한 제3 측정 디바이스(131C) ― 상기 제3 측정 디바이스(131C)는 제3 공초점 센서임 ―;
    를 포함하고,
    상기 제1 측정 디바이스(131A), 상기 제2 측정 디바이스(131B), 및 상기 제3 측정 디바이스(131C)는 선형 액추에이터에 커플링되고, 상기 선형 액추에이터는 상기 제1 방향(X)에 수직인 이동을 제공하도록 구성되고,
    상기 제1 캐리어는 상기 측정 시스템(130)의 개별 측정 디바이스들을 수용하기 위한 스루 홀들을 포함하는,
    진공 챔버에서 기판을 프로세싱하기 위한 장치.
  12. 기판을 프로세싱하기 위한 시스템으로서,
    제1 항 내지 제11 항 중 어느 한 항에 기재된 장치(100)를 포함하고,
    제1 캐리어(11) 및 제2 캐리어(12)를 포함하며,
    상기 제1 캐리어(11)는 기판 캐리어이고, 상기 제2 캐리어(12)는 마스크 캐리어인,
    기판을 프로세싱하기 위한 시스템.
  13. 제1 캐리어(11)와 제2 캐리어(12) 사이의 거리를 측정하는 방법으로서,
    진공 챔버에서 제1 포지션에 상기 제1 캐리어를 제공하는 단계;
    상기 제1 캐리어와 제2 캐리어가 실질적으로 평행하게 되도록, 상기 진공 챔버에서 제2 포지션에 상기 제2 캐리어를 제공하는 단계;
    상기 제1 캐리어의 개별 스루 홀들 내로 측정 시스템의 측정 디바이스들을 도입하는 단계;
    상기 제1 캐리어에 대하여 상기 측정 디바이스들의 포지션을 고정시키는 단계; 및
    상기 측정 디바이스들을 이용하여 상기 제1 캐리어와 상기 제2 캐리어 사이의 거리를 측정하는 단계
    를 포함하는,
    제1 캐리어와 제2 캐리어 사이의 거리를 측정하는 방법.
  14. 제13 항에 있어서,
    상기 제1 캐리어(11)와 상기 제2 캐리어(12) 사이의 거리를 측정하는 단계는, 적어도 3개의 상이한 포지션들에서 상기 거리를 측정하는 단계를 포함하는,
    제1 캐리어와 제2 캐리어 사이의 거리를 측정하는 방법.
  15. 제1 캐리어(11)와 제2 캐리어(12)를 정렬하는 방법으로서,
    상기 제1 캐리어 내의 스루 홀들 내의 개별 측정 디바이스들에 의해 적어도 3개의 상이한 포지션들에서 상기 제1 캐리어와 상기 제2 캐리어 사이의 적어도 3개의 거리들을 측정하는 단계;
    상기 측정된 적어도 3개의 거리들 사이의 차이들을 결정하는 단계; 및
    상기 측정된 적어도 3개의 거리들 사이의 차이들이 제거되도록, 상기 제2 캐리어에 대하여 상기 제1 캐리어를 이동시키는 단계
    를 포함하는,
    제1 캐리어와 제2 캐리어를 정렬하는 방법.
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