KR102148965B1

KR102148965B1 - 검사 장치

Info

Publication number: KR102148965B1
Application number: KR1020157023911A
Authority: KR
Inventors: 코이치 사사키; 신야 마츠다; 아키히사 카토
Original assignee: 다이이치지쯔교 비스위루 가부시키가이샤
Priority date: 2013-02-20
Filing date: 2013-12-25
Publication date: 2020-08-28
Also published as: CN105008852A; CN105008852B; JP6067407B2; WO2014129082A1; KR20150119884A; JP2014160016A

Abstract

검사 장치(1)는 피반송 물건(W)을 반송하는 반송 기구(2)와, 검사 위치(P)에 있어서 반송 기구(2)에 의해 반송되는 피검사물(W)의 피검사면(Wa)을 조명하는 제1 조명 기구(5)와, 피검사면(Wa)을 촬상하는 촬상 카메라(4)를 구비한다. 제1 조명 기구(5)는 피검사면(Wa)을 조명하는 복수의 발광기(12, 20)와 이러한 발광기(12, 20)를 지지하는 지지체(6, 13)를 구비하고, 지지체(13)는 반송로에 가장 가까운 발광기(20)를 다른 1군의 발광기(12)보다도 검사 위치(P)로부터 떨어진 위치인 피반송물(W)의 반송 방향의 앞쪽 또는 뒤쪽에서 지지한다. 떨어져 있는 발광기(20)와 다른 1군의 발광기(12) 사이에 검사위치(P)와는 반대측의 배면에서 피검사면(Wa)을 관찰할 수 있는 공간(18)이 형성되어 촬상 카메라(4)는 이러한 공간(18)을 통해서 피검사면(Wa)을 촬상한다.

Description

검사 장치{INSPECTION DEVICE}

본 발명은 전자 부품 등의 미소한 피검사 대상물의 단면의 외관 형상을 정밀하게 검사 가능한 검사 장치에 관한 것이다.

전자 부품 등의 외관적인 형상을 검사하는 장치의 하나로서, 종래 일본 특개평5-288527호 공보에 개시되는 바와 같은 검사 장치가 알려져 있다. 이러한 검사 장치는 테이블 상에 탑재된 프린트 기판을 XY 방향으로 이동시키는 수단과, 돔 형상으로 배치된 복수의 LED들을 갖고 상기 프린트 기판상의 피검사부를 조명하는 조명 수단과, 상기 조명 수단의 정상부에 형성된 구멍으로부터 프린트 기판상의 피검사부를 촬상하는 텔레비전 카메라를 구비하고 있다.

이러한 검사 장치에 의하면, 상기 조명 수단에 의해 프린트 기판상의 피검사부가 조명되고, 해당 피검사부의 화상이 상기 텔레비전 카메라에 의해 촬상된다. 이렇게 하여 촬상된 화상 데이터를 해석함으로써 상기 피검사부의 외관적인 형상의 양호나 불량이 판별된다.

또한, 종래의 이러한 검사 장치는 피검사물을 이동시키는 수단, 피검사물을 조명하는 수단 및 피검사물의 화상을 촬상하는 수단을 구비하는 점에서 그 기본적인 구성은 바뀌지 않지만, 검사 대상물인 피검사물의 형상이나 검사 부위에 따라 설계되거나, 변형된 형태가 채용되고 있다.

예를 들면, 도 6에 나타내는 바와 같은 6면체의 전자 부품(예를 들면, 콘덴서 등)(W)의 단면(화살표 D 방향 단면)(Wa)을 검사할 경우, 도 7에 나타내는 바와 같이, 상기 전자 부품(W)을 적절히 반송 기구(100)에 의해 소정의 반송 방향(화살표 E 방향)으로 반송하고, 그 반송 도중의 소정 위치에 설정된 검사 위치(P)에서 전자 부품(W) 전단면(Wa)을 반송 방향 전방에서 조명 기구(102)에 의해 조명하는 동시에, 적절히 촬상 카메라(101)에 의해 비스듬히 전방에서 상기 전자 부품(W) 전단면(Wa)을 촬상하는 형태가 채용된다. 또한, 도 6(a)는 전자 부품(W)의 평면도이며, 도 6(b)는 도 6(a)에서 화살 표시 D 방향의 측면도이다.

이 경우, 조명 기구(102)로서는 상술한 LED가 돔 형상으로 배치되는 조명 수단을 반송 기구(100)의 반송 방향과 직교하는 수직면에서 분할하는 형태가 채용되고, 그 반송 방향 앞쪽 부분에서 전자 부품(W)의 전단면(Wa)을 조명하도록 구성된다.

또한, 조명 기구(102)는 LED(103)가 배치되지 않는 위치에 관통 공(102a)이 천공되어 있고, 촬상 카메라(101)는 이러한 관통 공(102a)을 통하여 상기 전자 부품(W) 전단면(Wa)를 촬상한다.

특허문헌 1 : 일본 특개 평5-288527호 공보

그런데, 전술한 바와 같이 전자 부품(W)의 전단면(Wa)의 외관 형상을 검사할 경우, 이를 고정밀도로 검사하려면, 도 8에 나타내는 바와 같이 반송 방향(화살표 E 방향)과 촬상 카메라(101)의 촬상 광축이 이루는 각도(앙각)가 가능한 한 작아지도록 촬상 카메라(101)를 배치하여, 전자 부품(W)의 전단면(Wa)을 가능한 한 그 정면에서 촬상하는 것이 바람직하다. 전단면(Wa)을 정면에서 촬상함으로써, 얻어지는 화상데이터가 최대의 것이 되고 보다 고정밀도의 해석을 수행할 수 있다.

또한, 상기 조명 기구(102)는 전자 부품(W)의 전단면(Wa)에 대하여, 그 조명 광축이 가능한 한 직각에 가까운 것이 되는 위치, 다시 말하면, 가능한 한 반송기구(100)의 반송로에 가까운 위치에도 LED(103)가 배치되어 있는 것이 바람직하다. 이와 같이, 반송로에 가까운 위치에 LED(103)를 설치함으로써 상술한 바와 같이 촬상 광축의 앙각이 가능한 한 작아지도록 배치된 촬상 카메라(101)에 상기 전단면(Wa)으로부터 보다 많은 반사광을 받아 들일 수 있고, 이로 인해 해당 촬상 카메라(101)에 의해 촬상되는 화상이 보다 선명한 것이 된다. 이렇게 하여, 선명한 화상이 얻어짐으로써, 이러한 화상을 기초로 하는 해석의 정도를 높일 수 있다.

최근에는 상기 전자 부품(W)은 그 미소화가 가속되어, 종전에 단면이 3mm~2mm였던 것이, 0.4mm~0.2mm의 단면으로까지 소형화가 진행되고 있고, 이러한 미소화에 대응하기 위해서도 상술한 바와 같은 촬상 카메라(101)와 LED(102)의 배치가 바람직하다.

그런데, 상기 도 7에 나타낸 구성에 있어서, 촬상 카메라(101)의 촬상 광축의 앙각을 가능한 한 작게 설정하고, LED(103)를 가능한 한 반송 기구(100)의 반송로에 가까운 위치에 배치한 구성을 채용하면, 도 8에 나타내는 바와 같이, 촬상 카메라(101)의 촬상 광축과 LED(103)가 서로 간섭하는 위치 관계가 되어 전자 부품(W)을 촬상하기 위한 관통 공을 조명 기구에 설치할 수 없는, 즉 전자 부품(W)을 촬상할 수 없다고 하는 문제가 있었다.

본 발명은 이상의 실정을 감안하여 이루어진 것으로, 피검사물의 단면의 외관 형상을 보다 고정밀도로 검사할 수 있는 검사 장치의 제공을 그 목적으로 한다.

상술한 과제를 해결하기 위하여, 본 발명은 설정된 반송 방향으로 피검사물을 반송하고, 상기 피검사물의 적어도 상기 반송 방향 전단면 또는 후단면을 피검사면으로 하여 검사하는 검사 장치로서,

상기 반송 방향에 따른 반송로를 갖고 상기 반송로 상의 상기 피검사물을 상기 반송 방향으로 반송하는 반송기구와, 상기 반송로를 경계로 하여 상기 피검사물과 같은 쪽에 배치되고 상기 반송로 상의 미리 설정된 검사 위치에 있어서 상기 반송 기구에 의해 반송되는 상기 피검사물의 상기 피검사면을 조명하는 제1 조명 기구와, 마찬가지로 상기 피검사물과 같은 쪽에 배치되고 상기 검사 위치에 있는 상기 피검사물의 상기 피검사면을 촬상하는 촬상 카메라를 적어도 구비하는 검사 장치에 있어서,

상기 제1 조명 기구는 상기 피검사물의 피검사면을 조명하는 복수의 발광기와 상기 복수의 발광기를 지지하는 지지체를 구비하며,

상기 지지체는 적어도 상기 반송로에 가장 가까운 발광기를 다른 1군의 발광기보다도 상기 검사 위치로부터 떨어진 위치에서 지지하도록 구성되는 동시에, 상기 떨어져 있는 발광기와 다른 1군의 발광기 사이에 상기 검사 위치와 반대측의 배면에서 상기 피검사물의 피검사면을 관찰할 수 있는 공간을 구비하고,

상기 촬상 카메라는 상기 지지체의 상기 배면측에 배치되고, 상기 지지체의 공간을 통해서 상기 피검사물의 피검사면을 촬상하도록 구성되는 검사 장치에 관한 것이다.

상기 검사 장치에 의하면, 피검사물은 반송기구에 의해 그 반송로 상을 반송되고, 해당 반송로 상의 검사 위치에 있어서 제1 조명 기구에 의해 그 피검사면이 조명된 상태에서 상기 촬상 카메라에 의해 해당 피검사면이 촬상된다.

그리고, 상기 제1 조명 기구는 적어도 상기 반송로에 가장 가까운 발광기를 다른 1군의 발광기보다 상기 검사 위치로부터 떨어진 위치에 배치하였으므로 해당 반송로에 가장 가까운 발광기를 가능한 한 상기 반송 기구의 반송로에 가깝게 한 상태에서 이와 상기 다른 1군의 발광기 사이에 적절한 간격을 설정할 수 있고, 이러한 부분에 상기 피검사물의 피검사면을 촬상하기 위한 공간을 마련할 수 있다.

그리고, 전술한 구성으로 함으로써, 상기 촬상 카메라를 그 촬상 광축과 상기 반송로가 이루는 각도(앙각)가 가능한 한 작아지도록, 즉 가능한 한 상기 반송로에 가깝게 한 상태로 배치할 수 있고, 이러한 촬상 카메라에 의해 가능한 한 그 정면에서 상기 피검사물의 피검사면을 촬상할 수 있다. 이로 인하여, 상기 촬상 카메라에 의해 촬상되는 상기 피검사면의 화상을 보다 큰 화상으로서 포착할 수 있고, 그 결과 상기 피검사면의 외관 형상을 고정밀도로 검사할 수 있다.

또한, 상술한 바와 같이, 상기 반송로에 가장 가까운 발광기를 가능한 한 상기 반송로에 가깝게 한 상태로 배치할 수 있으므로, 상기 피검사면으로부터 보다 많은 반사광을 상기 촬상카메라에 받아들일 수 있고, 이로 인해 해당 촬상 카메라에 의해 촬상되는 화상을 보다 선명한 것으로 할 수 있다. 이와 같이 하여, 피검사면의 선명한 화상을 얻음으로써 해당 피검사면의 외관 성상을 고정밀도로 검사할 수 있다.

한편, 상기 발광기로서는 LED를 대표적으로 예시할 수 있지만, 상기 피검사면을 검사에 필요한 충분한 광량으로 조명할 수 있는 것이면 LED로 한정되는 것은 아니다.

이상과 같이, 상술한 구성을 구비하는 본 발명의 검사 장치에 의하면, 피검사물의 외관 형상을 고정밀도로 검사할 수 있다.

또한, 상기 검사 장치에 있어서, 상기 촬상 카메라는 그 촬상 광축이 상기 반송로와 직교하는 면 내에 있고, 또한 상기 반송로와 10°∼35°의 범위의 각도로 교차하도록 배치되는 동시에, 상기 제1 조명 기구의 상기 떨어져 있는 발광기는 그 조명광축이 상기 반송로와 3°∼15°의 범위의 각도로 교차하도록 배치되어 있는 것이 바람직하다.

상기 촬상 카메라의 촬상 광축과 상기 제1 조명 기구의 조명 광축을 각각 상기 범위의 각도로 설정함으로써, 상기 촬상 카메라에 의해 촬상되는 상기 피검사물 화상을 보다 적절한 것으로 할 수 있어, 상기 피검사물의 피검사면을 고정밀도로 검사할 수 있다.

또한, 상기 검사 장치에 있어서, 상기 제1 조명 기구는 상기 떨어져 있는 발광기와 상기 다른 1군의 발광기를 따로 조광할 수 있게 구성되어 있는 것이 바람직하다.

상기 떨어져 있는 발광기와 상기 다른 1군의 발광기의 강도(조도)를 따로 조정 가능하게 함으로써, 상기 촬상 카메라에 의해 촬상되는 상기 피검사물 화상의 휘도를 그 전역에서 균일하게 할 수 있다. 즉, 상기 떨어져 있는 발광기는 상기 다른 1군의 발광기보다도 상기 검사 위치로부터 멀어져 있기 때문에, 이러한 떨어져 있는 발광기에 의해 조명되는 부분의 상기 피검사면의 휘도는, 상기 다른 1군의 발광기에 의해 조명되는 부분의 휘도보다 낮아지지만, 떨어져 있는 발광기의 강도를 높임으로써 피검사면 전역의 휘도를 거의 균일하게 할 수 있다. 또한, 피검사면의 형상에 따라 이에 기인하여 피검사면의 휘도가 불균일해질 수 있는데, 피검사면의 형상에 따라 발광기의 강도를 조절함으로써 피검사면 전역의 휘도를 거의 균일하게 할 수 있다.

또한, 상기 검사 장치는 상기 반송로를 경계로 하여 상기 피검사물과는 반대측에 배치되고, 상기 검사 위치에 있는 상기 피검사물의 피검사면을 조명하는 제2 조명 기구를 추가로 구비하는 것이 바람직하다.

상기 제2 조명 기구에 의해 상기 피검사면을 조명함으로써 해당 피검사면의 보다 선명한 화상을 얻을 수 있어, 보다 고정밀한 검사를 수행할 수 있다.

이상 상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 검사 장치에 의하면, 상기 피검사물의 외관 형상을 고정밀도로 검사할 수 있다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 검사 장치를 나타내는 정면도이다.
도 2는 도 1의 확대도로 제1 및 제2 조명 기구들을 나타내는 확대 단면도이다.
도 3은 도 2에서 화살표 B-B 방향의 측면도이다.
도 4는 도 2에서 화살표 C-C 방향의 측면도이다.
도 5는 본 실시예의 변형예에 따른 검사 장치를 나타내는 정면도이다.
도 6(a)는 피검사물의 평면도이며, 도 6(b)는 그 화살표 D 방향의 측면도이다.
도 7은 종래의 예에 따른 검사 장치를 나타내는 정면도이다.
도 8은 종래의 검사 장치에서의 문제점을 설명하기 위한 설명도이다.

이하, 본 발명의 구체적인 실시예들에 대하여 도면들을 참조하여 설명한다. 또한, 도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 검사 장치를 나타내는 정면도이며, 도 2는 도 1의 확대도이다. 또한, 도 3은 도 2에서 화살표 B-B 방향의 측면도이며, 도 4는 도 2에서 화살표 C-C 방향의 측면도이다.

도 1 및 도 2에 나타내는 바와 같이, 본 예의 검사 장치(1)는 피검사물(W)을 반송 방향인 화살표 A 방향으로 반송하는 반송 기구(2)와, 이러한 반송 기구(2)에 의해 반송되는 피검사물(W) 전단면(반송 방향 앞쪽의 단면)(Wa)을 검사 위치(P)에서 조명하는 제1 조명 기구(5) 및 제2 조명 기구(25)와, 검사 위치(P)에 있는 피검사물(W)의 전단면(Wa)을 촬상하는 촬상 카메라(4)를 구비한다.

또한, 본 예에서는 도 6에 나타낸 6면체 형상의 전자 부품을 피검사물(W)로 하고, 그 전단면(Wa)을 피검사면으로 하고 있다.

반송 기구

상기 반송 기구(2)는 투명 또는 반투명의 유리판으로 구성되는 원판 형상의 회전 테이블(3)과, 이러한 회전 테이블(3)을 화살표 A 방향으로 수평 회전시키는 구동 모터(도시되지 않음)를 구비하고 있고, 전단면(Wa)이 반송 방향으로 향하도록 회전 테이블(3) 상에 공급된 피검사물(W)을 상기 회전 테이블(3)의 회전에 의해 상기 반송 방향으로 반송한다. 또한, 당연히 회전 테이블(3)에 의해 반송되는 피검사물(W)의 반송로는 원호상의 경로가 된다.

촬상 카메라

상기 촬상 카메라(4)는 피검사물(W)의 전단면(Wa)의 2차원 화상을 촬상하는 카메라이며, 상기 검사 위치(P)에 있어서 그 촬상 광축이 상기 반송 경로의 접선을 포함하는 수직면 내에 위치하고, 또한 회전 테이블(3)의 상면, 즉 반송로와 이루는 각도가 10°∼35°의 범위의 각도가 되도록 배치되어 있다.

제1 조명 기구

도 2∼도 4에 나타내는 바와 같이, 상기 제1 조명 기구(5)는 제1 지지체(6)와, 이러한 제1 지지체(6)의 상기 반송 방향 하류측의 단면(9)에 단단하게 설치된 제2 지지체(13)와, 상기 제1 지지체(6)에 지지되는 복수의 LED(12)와, 상기 제2 지지체(13)에 지지되는 마찬가지의 복수의 LED(20)로 구성되고, 상기 검사 위치(P)보다 반송 방향 하류측, 또한 상기 회전 테이블(3)의 위쪽에 배치된다.

상기 제1 지지체(6)는, 그 상기 반송 방향 상류측의 단면(7)으로부터 하면(8)에 걸쳐서 형성된 오목 곡면(10)을 구비하고 있고, 이러한 오목 곡면(10) 상에 상기 복수의 LED(12)가 단단하게 설치되어 있다. 이들 LED(12)는 도 4에 나타내는 바와 같이, 거의 동심원의 3원호열 상에 위치하도록 상기 오목 곡면(10) 상에 배치되고, 본 예에서는 가장 외주부의 원호열에 17개의 LED(12)들이 배치되고, 이보다 중심측의 원호열에 13개의 LED(12)들이 배치되며, 가장 중심측의 원호열에 9개의 LED(12)들이 배치되어 있다.

또한, 제1 지지체(6)의 하면(8)에는 그 상기 단면(9) 및 상기 오목 곡면(10)에 개구되는 오목 홈(11)이 형성되어 있고, 상기 제2 지지체(13)가 단면(9)측의 개구부의 상부측을 남겨서 이를 막도록 해당 단면(9)에 단단하게 설치되어 있다.

한편, 상기 제2 지지체(13)의 상기 반송 방향 상류측의 단면(14)에는 복수(본 예에서는 6개)의 LED(20)가 단단하게 설치되어 있고, 이러한 LED(20)는 상기 LED(12)보다도 상기 회전 테이블(3)의 반송 경로에 가까운 위치에 있고, 더욱이 상기 LED(12)보다도 상기 검사 위치(P)로부터 상기 반송 방향으로 떨어진 위치에 배치되어 있다.

또한, 상기 제2 지지체(13)의 상면에는 상기 반송 방향 상류측의 단면(14) 및 하류측의 단면(16)에 개구되는 오목 홈(17)이 형성되어 있고, 이러한 오목 홈(17)과 상기 제1 지지체(6)의 오목 홈(11)에 의해 상기 촬상 카메라(4)로 상기 피검사물(W)의 전단면(Wa)을 촬상하기 위한 공간이 형성된다. 즉, 촬상 광축의 각도가 상기 각도로 설정된 상기 촬상 카메라(4)에 의해 상기 공간을 통해서 상기 피검사물(W)의 전단면(Wa)을 촬상할 수 있게 되어 있다.

이렇게 하여, 상기 회전 테이블(3)의 반송 경로와 가까운 위치에 배치되는 상기 LED(20)를 다른 1군의 LED(12)보다도 상기 검사 위치(P)에서 상기 반송 방향으로 떨어진 위치에 배치하므로, LED(20)와 LED(12) 사이에 간격을 마련할 수 있고, 상기 제1 지지체에 형성된 오목 홈(11)과 상기 제2 지지체(13)에 형성된 오목홈(17)에 의해 상기 피검사물(W) 전단면(Wa)을 촬상하기 위한 공간을 형성할 수 있게 되었다.

한편, 상기 회전 테이블(3)의 반송로의 바로 위에 맞닿는 상기 제2 지지체의 하면(15)에는 오목 홈(19)이 형성되어 있고, 상기 회전 테이블(3)에 의해 반송되는 피검사물(W)이 이러한 오목 홈(19)을 통과할 수 있게 되어 있다.

또한, 상기 회전 테이블(3)의 반송 경로에 대하여 가장 가까운 위치에 배치되는 상기 LED(20)는 그 조명광축이 상기 반송로와 3°∼15°의 범위의 각도로 교차하도록 배치되어 있다.

또한, 상기 LED(12) 중에서 가장 외주부의 원호열에 배열되는 1군(LED군 G1)과, 다른 원호열에 배치되는 1군(LED군 G2)과 또 다른 LED(20)의 1군(LED군 G3)은 각각 그 발광 강도를 따로 조광할 수 있게 되어 있다.

제2 조명 기구

상기 제2 조명 기구(25)는 지지체(26)와 이러한 지지체(26)에 지지되는 복수의 LED(30, 31)로 구성되고, 상기 회전 테이블(3)을 사이에 두고 상기 제1 조명 기구(6)의 바로 아래에 배치된다.

상기 지지체(26)는 그 상기 반송 방향 상류측의 단면(27)으로부터 상면(28)에 걸쳐서 형성된 오목 곡면(29)을 구비하고 있고, 이러한 오목 곡면(29) 상에 상기 복수의 LED(30, 31)가 단단하게 설치된다. LED(30)는 도 4에 나타내는 바와 같이, 거의 동심원의 3원호열 상에 위치하도록 상기 오목곡면(29) 상에 배치되고, 본 예에서는 가장 외주부의 원호열에 17개의 LED(30)들이 배치되며, 이보다 중심측의 원호열에 13개의 LED(30)들이 배치되고, 가장 중심측의 원호열에 9개의 LED(30)들이 배치되어 있다. 또한, 가장 중심측의 원호열의 LED(30)보다 더욱 중심에 2개의 LED(31)들이 배치되어 있다.

또한, 상기 LED(30) 중에서 가장 외주부의 원호열에 배열되는 1군(LED군 G4)과 다른 원호열에 배치되는 1군 및 LED(31)의 1군(LED군 G5)은 각각 그 발광 강도를 따로 조광할 수 있게 되어 있다.

이상과 같은 구성을 구비하는 본 예의 검사 장치(1)에 의하면, 상기 구동 모터(도시되지 않음)에 의해 구동되어 회전하는 회전 테이블(3) 상에 복수의 피검사물(W)이 그 전단면(Wa)을 반송 방향으로 향한 자세로 차례로 소정의 간격을 두고 공급되고, 공급된 피검사물(W)은 상기 회전 테이블(3)에 의해 상기 검사 위치(P)를 경유하도록 반송된다.

상기 검사 위치(P)에 도달한 피검사물(W)은 피검사면인 그 전단면(Wa)이 상기 제1 조명 기구(5)의 LED(12, 20)로부터 조사되는 광에 의해 조명되는 동시에, 상기 제2 조명 기구(25)의 LED(30, 31)로부터 조사되어, 회전 테이블(3)을 투과한 광에 의해 조명된다. 이와 같이 하여, 이처럼 상하에 배치된 제1 및 제2 조명 기구(5, 25)에 의해 상기 전단면(Wa)을 조명하고 있으므로, 피검사면인 상기 전단면(Wa)은 높은 조도로 균질하게 조명된다.

그리고, 이와 같이 균질하게 조명된 피검사물(W)의 전단면(Wa)이 상기 촬상 카메라(4)에 의해 촬상되며, 촬상된 화상데이터가 도시되지 않은 판별 장치에 의해 해석되고, 해당 전단면(Wa)의 외관 성상의 양호나 불량이 판별된다.

또한, 본 예의 검사 장치(1)에서는 제1 조명 기구(5)의 LED(20)를 그 조명 광축이 상기 반송로와 3°∼15°의 범위의 각도로 교차하도록 배치하므로, 상기 피검사물(W)의 전단면(Wa)을 거의 정면에서 조명할 수 있다.

또한, 제1 조명 기구(5)의 LED(20)를 LED(12)보다도 상기 검사 위치(P)로부터 떨어진 위치에 설치하므로, LED(20)와 LED(12) 사이에 적절한 간격을 설정할 수 있고, 이 부분에 상기 피검사물(W)의 전단면(Wa)을 촬상하기 위한 공간을 형성할 수 있다. 그리고, 이러한 공간을 형성함으로써, 상기 촬상 카메라(4)를 그 촬상 광축과 상기 반송로가 이루는 각도(앙각)가 10°∼35°의 범위의 각도가 되도록 배치할 수 있고, 이를 가능한 한 상기 반송로에 가깝게 한 상태로 배치할 수 있다.

이렇게 하여, 이처럼 배치한 촬상 카메라(4)에 의하면, 상기 피검사물(W)의 전단면(Wa)을 가능한 한 그 정면에서 촬상할 수 있으며, 상기 촬상 카메라(4)에 의해 촬상되는 상기 전단면(Wa)의 화상을 보다 큰 화상으로서 포착할 수 있고, 그 결과, 상기 전단면(Wa)의 외관 형상을 고정밀도로 검사할 수 있다.

또한, 상술한 바와 같이 상기 LED(20)에 의해 상기 피검사물(W)의 전단면(Wa)을 거의 정면에서 조명하도록 하므로, 상기 전단면(Wa)으로부터 보다 많은 반사광을 상기 촬상 카메라(4)에 받아 들일 수 있고, 이로 인해 해당 촬상 카메라(4)에 의해 촬상되는 화상을 보다 선명한 것으로 할 수 있다. 이와 같이 하여, 상기 전단면(Wa)의 선명한 화상을 얻음으로써 해당 전단면(Wa)의 외관 형상을 보다 고정밀도로 검사할 수 있다.

또한, 본 예의 상기 제1 조명 기구(5) 및 제2 조명 기구(25)에서는 상기 LED군 G1, G2, G3, G4 및 G5를 각기 따로 조광할 수 있도록 되어 있으므로, 상기 LED군 G1, G2, G3, G4 및 G5를 적절하게 조광함으로써 해당 전단면(Wa)을 균질하게 조명할 수 있다. 또한, 피검사면인 상기 전단면(Wa)의 형상에 따라서 조광할 수도 있고, 피검사면의 형상에 의해, 이에 기인하여 피검사면의 휘도가 불균일하게 되는 경우에는, 해당 피검사면의 형상에 따라 각 LED군 G1, G2, G3, G4 및 G5의 강도를 조절함으로써 피검사면 전역의 휘도를 거의 균일하게 할 수 있다.

전술한 바와 같이, 본 예의 검사 장치(1)에 의하면 상기 피검사물(W)의 전단면(Wa)의 외관 형상을 고정밀도로 검사할 수 있다.

이상, 본 발명의 구체적인 실시예에 대하여 설명했으나, 본 발명이 채택할 수 있는 구체적인 형태가 이에 한정되는 것은 아니다. 예를 들면, 상술한 예에서는 피검사물(W)의 반송방향 전단면(Wa)을 검사하도록 했으나, 도 5에 나타내는 바와 같이, 피검사물(W)의 후단면을 검사하도록 해도 된다. 이러한 검사 장치(50)는 상기 반송 장치(1)를 그 검사 위치(P)를 중심으로 해서 반송 방향 전후로 반전시킨 것이다. 이로 인하여, 도 5에 있어서, 검사 장치(1)와 동일한 구성 요소에 대해서는 동일한 부호를 붙이고 있으며, 각 구성 요소의 구성 및 작용에 대해서는 검사 장치(1)의 경우와 동일하므로 그 설명은 생략한다.

1 : 검사 장치 2 : 반송 기구
3 : 회전 테이블 4 : 촬상 카메라
5 : 제1 조명 기구 6 : 제1 지지체
9 : LED 12 : 제2 지지체
30 : LED 25 : 제2 조명 기구
26 : 지지체 30 : LED
31 : LED

Claims

설정된 반송 방향으로 피검사물을 반송하고, 상기 피검사물의 적어도 상기 반송 방향 전단면 또는 후단면을 피검사면으로 하여 검사하는 검사 장치로서,
상기 반송 방향에 따른 반송로를 갖고 상기 반송로 상의 상기 피검사물을 상기 반송 방향으로 반송하는 반송 기구와, 상기 반송로를 경계로 하여 상기 피검사물과 같은 쪽에 배치되고, 상기 반송로 상의 미리 설정된 검사 위치에 있어서 상기 반송 기구에 의해 반송되는 상기 피검사물의 상기 피검사면을 조명하는 제1 조명 기구와, 동일하게 상기 피검사물과 같은 쪽에 배치되고, 상기 검사 위치에 있는 상기 피검사물의 상기 피검사면을 상기 반송 방향과 비스듬히 교차하는 방향에서 촬상하는 촬상 카메라를 적어도 구비하는 검사 장치에 있어서,
상기 제1 조명 기구는 상기 피검사물의 피검사면을 조명하는 복수의 발광기와 상기 복수의 발광기를 지지하는 지지체를 구비하며,
상기 지지체는 적어도 상기 반송로에 가장 가까운 발광기를 다른 1군의 발광기보다 상기 촬상 카메라측에 떨어진 위치에서 지지하도록 구성되는 동시에, 상기 떨어져 있는 발광기와 다른 1군의 발광기 사이에 상기 검사 위치와는 반대측의 배면에서 상기 피검사물의 피검사면을 관찰할 수 있는 공간을 구비하고,
상기 촬상 카메라는 상기 지지체의 상기 배면측에 배치되고, 상기 지지체의 공간을 통해서 상기 피검사물의 피검사면을 촬상하도록 구성되는 것을 특징으로 하는 검사 장치.
제 1 항에 있어서, 상기 촬상 카메라는 그 촬상 광축이 상기 반송로와 직교하는 면 내에 있고, 또한 상기 반송로와 10°∼35°의 범위의 각도로 교차하도록 배치되는 동시에, 상기 제1 조명 기구의 상기 떨어져 있는 발광기는 그 조명 광축이 상기 반송로와 3°∼15°의 범위의 각도로 교차하도록 배치되는 것을 특징으로 하는 검사 장치.
제 1 항에 있어서, 상기 제1 조명 기구는 상기 떨어져 있는 발광기와 상기 다른 1군의 발광기를 따로 조광할 수 있게 구성되는 것을 특징으로 하는 검사 장치.
제 2 항에 있어서, 상기 제1 조명 기구는 상기 떨어져 있는 발광기와 상기 다른 1군의 발광기를 따로 조광할 수 있게 구성되는 것을 특징으로 하는 검사 장치.
제 1 항에 있어서, 상기 반송로를 경계로 하여 상기 피검사물과는 반대측에 배치되고, 상기 검사 위치에 있는 상기 피검사물의 피검사면을 조명하는 제2 조명 기구를 추가로 구비하는 것을 특징으로 하는 검사 장치.
제 2 항에 있어서, 상기 반송로를 경계로 하여 상기 피검사물과는 반대측에 배치되고, 상기 검사 위치에 있는 상기 피검사물의 피검사면을 조명하는 제2 조명 기구를 추가로 구비하는 것을 특징으로 하는 검사 장치.
제 3 항에 있어서, 상기 반송로를 경계로 하여 상기 피검사물과는 반대측에 배치되고, 상기 검사 위치에 있는 상기 피검사물의 피검사면을 조명하는 제2 조명 기구를 추가로 구비하는 것을 특징으로 하는 검사 장치.
제 4 항에 있어서, 상기 반송로를 경계로 하여 상기 피검사물과는 반대측에 배치되고, 상기 검사 위치에 있는 상기 피검사물의 피검사면을 조명하는 제2 조명 기구를 추가로 구비하는 것을 특징으로 하는 검사 장치.