KR102107350B1 - 광학 요소 세정 장치 - Google Patents

광학 요소 세정 장치 Download PDF

Info

Publication number
KR102107350B1
KR102107350B1 KR1020190046179A KR20190046179A KR102107350B1 KR 102107350 B1 KR102107350 B1 KR 102107350B1 KR 1020190046179 A KR1020190046179 A KR 1020190046179A KR 20190046179 A KR20190046179 A KR 20190046179A KR 102107350 B1 KR102107350 B1 KR 102107350B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
optical element
shaft
cleaning
optical elements
shafts
Prior art date
Application number
KR1020190046179A
Other languages
English (en)
Inventor
이대준
Original Assignee
씨티에스(주)
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 씨티에스(주) filed Critical 씨티에스(주)
Priority to KR1020190046179A priority Critical patent/KR102107350B1/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR102107350B1 publication Critical patent/KR102107350B1/ko

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B27/00—Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00
    • G02B27/0006—Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00 with means to keep optical surfaces clean, e.g. by preventing or removing dirt, stains, contamination, condensation

Abstract

일 실시예에 따른 광학 요소 세정 장치는 광학 요소를 지지하도록 구성된 지지부; 상기 광학 요소의 제1방향으로 정렬되고 상기 광학 요소의 제1부분을 세정하도록 구성된 제1세정부; 및 상기 광학 요소의 제2방향으로 정렬되고 상기 광학 요소의 제2부분을 세정하도록 구성된 제2세정부를 포함하고, 상기 지지부는 상기 제1세정부 및 상기 제2세정부가 상기 광학 요소를 세정하는 동안 상기 제1방향 또는 상기 제2방향에 대해 회전하도록 구성된다.

Description

광학 요소 세정 장치{APPARATUS FOR CLEANING OPTICAL ELEMENT}
이하, 실시예들은 광학 요소 세정 장치에 관한 것이다.
박막 트랜지스터 액정 표시 장치(thin film transistor liquid crystal display; TFT-LCD), 유기 발광 다이오드(organic light emitting diodes; OLED), 플라즈마 디스플레이 패널(plasma display panel; PDP), 광학 렌즈, 광학 필름 등 광학 요소를 세정하는 장치가 개발되고 있다. 광학 요소를 세정하는 방식은 크게 건식과 습식이 있다. 건식 세정 방식은 공기 등을 광학 요소를 향해 분사함으로써 광학 요소의 표면에 존재하는 이물질을 제거하는 방식을 말한다. 습식 세정 방식은 물 등의 액체를 광학 요소를 향해 분사함으로써 광학 요소의 표면에 존재하는 이물질을 제거하는 방식을 말한다. 습식 세정 방식은 광학 요소의 표면에 손상을 줄 가능성이 있으므로 건식 세정 방식이 선호되고 있다.
등록특허공보 제10-1951731호 (2019.02.26. 공고)
일 실시예에 따른 목적은 광학 요소를 전체적으로 균일하게 세정하는 광학 요소 세정 장치를 제공하는 것이다.
일 실시예에 따른 광학 요소 세정 장치는 광학 요소를 지지하도록 구성된 지지부; 상기 광학 요소의 제1방향으로 정렬되고 상기 광학 요소의 제1부분을 세정하도록 구성된 제1세정부; 및 상기 광학 요소의 제2방향으로 정렬되고 상기 광학 요소의 제2부분을 세정하도록 구성된 제2세정부를 포함하고, 상기 지지부는 상기 제1세정부 및 상기 제2세정부가 상기 광학 요소를 세정하는 동안 상기 제1방향 또는 상기 제2방향에 대해 회전하도록 구성된다.
상기 지지부는 길쭉한 형상을 갖고 상기 제1방향 또는 상기 제2방향에 대해 회전하도록 구성된 샤프트 및 상기 샤프트에 설치되고 상기 광학 요소가 위치되는 마운트를 포함할 수 있다.
상기 광학 요소 세정 장치는 상기 제1세정부와 대향되게 상기 광학 요소의 제1방향의 반대 방향으로 정렬되고 상기 광학 요소의 제3부분을 세정하도록 구성된 제3세정부를 더 포함할 수 있다.
상기 지지부, 상기 제1세정부, 상기 제2세정부 및 상기 제3세정부는 상기 광학 요소의 상부, 하부 및 측부를 모두 커버하도록 배치될 수 있다.
상기 제1세정부는 상기 광학 요소의 제1방향을 따라 상기 광학 요소의 제1부분에 대해 전진하거나 후퇴하도록 구성되고, 상기 제2세정부는 상기 광학 요소의 제2방향을 따라 상기 광학 요소의 제2부분에 대해 전진하거나 후퇴하도록 구성될 수 있다.
상기 제1세정부 및 상기 제2세정부는 초음파 압축 공기를 분사하도록 구성될 수 있다.
상기 제1방향은 상기 광학 요소의 방사상 방향이고, 상기 제2방향은 상기 광학 요소의 축 방향일 수 있다.
상기 제1부분은 상기 광학 요소의 측부이고, 상기 제2부분은 상기 광학 요소의 상부일 수 있다.
일 실시예에 따른 광학 요소 세정 장치는 광학 요소를 전체적으로 균일하게 세정할 수 있다.
일 실시예에 따른 광학 요소 세정 장치의 효과는 이상에서 언급된 것들에 한정되지 않으며, 언급되지 아니한 다른 효과들은 아래의 기재로부터 통상의 기술자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
도 1은 일 실시예에 따른 광학 요소 처리 시스템의 사시도이다.
도 2는 일 실시예에 따른 광학 요소 세정 장치를 아래에서 바라본 사시도이다.
도 3은 일 실시예에 따른 광학 요소 세정 장치의 정면도이다.
도 4는 일 실시예에 따른 광학 요소 세정 장치의 일부 구조의 단면도이다.
도 5는 일 실시예에 따른 광학 요소 세정 장치의 단면을 정면에서 바라본 단면도이다.
이하, 실시예들을 예시적인 도면을 통해 상세하게 설명한다. 각 도면의 구성요소들에 참조부호를 부가함에 있어서, 동일한 구성요소들에 대해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 한 동일한 부호를 가지도록 하고 있음에 유의해야 한다. 또한, 실시예를 설명함에 있어, 관련된 공지 구성 또는 기능에 대한 구체적인 설명이 실시예에 대한 이해를 방해한다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명은 생략한다.
또한, 실시예의 구성 요소를 설명하는 데 있어서, 제 1, 제 2, A, B, (a), (b) 등의 용어를 사용할 수 있다. 이러한 용어는 그 구성 요소를 다른 구성 요소와 구별하기 위한 것일 뿐, 그 용어에 의해 해당 구성 요소의 본질이나 차례 또는 순서 등이 한정되지 않는다. 어떤 구성 요소가 다른 구성요소에 "연결", "결합" 또는 "접속"된다고 기재된 경우, 그 구성 요소는 그 다른 구성요소에 직접적으로 연결되거나 접속될 수 있지만, 각 구성 요소 사이에 또 다른 구성 요소가 "연결", "결합" 또는 "접속"될 수도 있다고 이해되어야 할 것이다.
어느 하나의 실시예에 포함된 구성요소와, 공통적인 기능을 포함하는 구성요소는, 다른 실시예에서 동일한 명칭을 사용하여 설명하기로 한다. 반대되는 기재가 없는 이상, 어느 하나의 실시예에 기재한 설명은 다른 실시예에도 적용될 수 있으며, 중복되는 범위에서 구체적인 설명은 생략하기로 한다.
도 1 내지 도 5를 참조하면, 일 실시예에 따른 광학 요소 처리 시스템(1)은 광학 요소(OE)를 운반 및 세정할 수 있다. 광학 요소 처리 시스템(1)은 광학 요소 세정 장치(10), 광학 요소 운반 장치(20) 및 장치 로더(30)를 포함할 수 있다. 광학 요소 세정 장치(10)는 광학 요소(OE)을 세정할 수 있다. 광학 요소 운반 장치(20)는 광학 요소(OE)를 광학 요소 세정 장치(10)로 운반하거나 광학 요소 세정 장치(10)로부터 다른 장소로 광학 요소(OE)를 운반할 수 있다. 장치 로더(30)는 광학 요소 운반 장치(20)의 위치 또는 배향을 조절할 수 있다.
광학 요소 세정 장치(10)는 지지부(110), 제1 측부 세정부(120), 제2 측부 세정부(130), 상부 세정부(140) 및 구동부(150)를 포함할 수 있다.
지지부(110)는 광학 요소(OE)를 지지하도록 구성된다.
지지부(110)는 회전축(X)을 구비하고, 회전축(X)에 대해 일 방향(R)으로 회전할 수 있다. 지지부(110)가 회전축(X)에 대해 회전하는 동안, 광학 요소(OE)도 회전축(X)에 대해 함께 회전할 수 있다. 지지부(110)가 회전하는 방향(R)은 회전축(X)에 대해 반시계 방향 또는 시계 방향일 수 있다. 또한, 지지부(110)는 회전축(X)에 대해 시계 방향으로 회전하다가 반시계 방향으로 회전할 수 있고, 그 반대로 반시계 방향으로 회전하다가 시계 방향으로 회전할 수 있다.
지지부(110)는 제1샤프트(111), 제2샤프트(112), 제3샤프트(113), 제1베어링(114), 제2베어링(115), 흡입용 커넥터(116) 및 제1기어(117)를 포함할 수 있다.
제1샤프트(111)는 광학 요소(OE)를 지지하도록 구성된다. 제1샤프트(111)는 길쭉한 원통형 형상을 가질 수 있다. 제1샤프트(111)는 내부에 제1 흡입 도관을 포함할 수 있다. 제1샤프트(111)는 광학 요소(OE)의 적어도 일부를 수용하는 마운트가 형성된 단부를 구비할 수 있다. 제1샤프트(111)의 적어도 일부는 그 연장 방향을 따라 폭이 좁아질 수 있다. 예를 들어, 제1샤프트(111)의 중간부로부터 광학 요소(OE)의 적어도 일부를 수용하는 단부를 향해 제1샤프트(111)의 폭이 좁아질 수 있다. 제1샤프트(111)는 광학 요소(OE)의 적어도 일부를 수용하는 단부의 맞은편에 위치하고 제2샤프트(112)와 결합하는 단부를 구비할 수 있다. 제2샤프트(112)와 결합하는 제1샤프트(111)의 단부의 폭은 제1샤프트(111)의 중간부의 폭보다 작을 수 있다.
제2샤프트(112)는 제1샤프트(111)와 결합하는 단부를 가질 수 있다. 제1샤프트(111)와 결합하는 제2샤프트(112)의 단부는 제1샤프트(111)의 적어도 일부를 둘러싸도록 형성될 수 있다. 제2샤프트(112)는 제1샤프트(111)와 결합하는 단부로부터 연장하는 길쭉한 원통형 형상을 가질 수 있다. 제2샤프트(112)의 길이는 제1샤프트(111)의 길이보다 클 수 있다. 제2샤프트(112)는 내부에 제2 흡입 도관을 포함할 수 있다. 제1샤프트(111) 및 제2샤프트(112)는 제1 흡입 도관 및 제2 흡입 도관이 유체 소통하도록 결합될 수 있다.
제3샤프트(113)는 제2샤프트(112)의 적어도 일부를 둘러싸며 제2샤프트(112)의 외측에 결합될 수 있다. 제3샤프트(113)는 길쭉한 원통형 형상을 가질 수 있다.
제1베어링(114)은 제1샤프트(111) 및 제2샤프트(112)가 결합하는 부분에서 제2샤프트(112)를 제1샤프트(111)에 고정시킬 수 있다. 제2베어링(115)은 제2샤프트(112) 및 제3샤프트(113)가 결합하는 부분 중 제3샤프트(113)의 단부 위에서 제2샤프트(112)에 결합될 수 있다.
흡입용 커넥터(116)는 제1샤프트(111)와 결합하는 제2샤프트(112)의 단부의 맞은편인 제2샤프트(112)의 단부에 결합될 수 있다. 흡입용 커넥터(116)는 내부에 제3 흡입 도관을 포함할 수 있다. 제2샤프트(112) 및 흡입용 커넥터(116)는 제2 흡입 도관 및 제3 흡입 도관이 유체 소통하도록 결합될 수 있다.
제1기어(117)는 제2샤프트(112)에 결합될 수 있다. 제1기어(117)는 후술하는 제2기어(153)와 맞물리도록 구성된다. 제1기어(117)는 제2기어(153)로부터 동력을 전달 받아 제1샤프트(111) 및 제2샤프트(112)에 회전력을 전달하면서, 회전축(X)에 대해 회전할 수 있다.
제1 흡입 도관, 제2 흡입 도관 및 제3 흡입 도관은 서로 유체 소통하도록 연결되고, 흡입 공기가 유동하는 흡입 경로(P)를 규정할 수 있다. 흡입 경로(P)를 따라 흡입력이 인가되면, 광학 요소(OE)가 제1샤프트(111)의 단부에 형성된 마운트에 밀착될 수 있다.
제1샤프트(111) 및 제2샤프트(112)는 회전축(X)에 대해 회전할 수 있다. 이에 따라, 제1샤프트(111)의 단부에 형성된 마운트에 수용된 광학 요소(OE)도 회전축(X)에 대해 함께 회전할 수 있다.
제1 측부 세정부(120)는 광학 요소(OE)의 제1측부를 세정하도록 구성된다. 제1 측부 세정부(120)는 광학 요소(OE)의 제1측방향(T1)으로 정렬될 수 있다. 예를 들어, 제1측방향(T1)은 광학 요소(OE)의 방사상 방향일 수 있다.
제1 측부 세정부(120)는 광학 요소(OE)의 제1측방향(T1)을 따라 광학 요소(OE)의 제1측부에 대해 전진하거나 후퇴하도록 구성될 수 있다. 이에 따라, 제1 측부 세정부(120) 및 광학 요소(OE) 사이의 거리가 조절될 수 있다.
제1 측부 세정부(120)는 복수 개의 제1 측부 분사 노즐(121), 제1 측부 연결부(122) 및 제1브라켓(123)을 포함할 수 있다. 제1 측부 분사 노즐(121)은 초음파 압축 공기를 분사할 수 있다. 제1 측부 분사 노즐(121)은 길쭉한 형상을 가질 수 있다. 제1 측부 분사 노즐(121)의 적어도 일부는 연장 방향을 따라 폭이 좁아지도록 형성될 수 있다. 제1 측부 연결부(122)는 복수 개의 제1 측부 분사 노즐(121)을 연결할 수 있다. 제1 측부 연결부(122)는 제1 측부 분사 노즐(121)이 연장하는 방향에 교차하는 방향으로 연장할 수 있다. 제1브라켓(123)은 제1 측부 연결부(122)와 결합할 수 있다. 제1브라켓(123)은 초음파 압축 공기를 복수 개의 제1 측부 분사 노즐(121)로 안내하는 복수 개의 제1 가이드 구멍을 구비할 수 있다.
제2 측부 세정부(130)는 광학 요소(OE)의 제2측부를 세정하도록 구성된다. 제2 측부 세정부(130)는 광학 요소(OE)의 제2측방향(T2)으로 정렬될 수 있다. 예를 들어, 제2측방향(T2)은 광학 요소(OE)의 방사상 방향일 수 있다. 또한, 제2측방향(T2)은 제1측방향(T1)에 대해 반대 방향일 수 있다.
제2 측부 세정부(130)는 광학 요소(OE)의 제2측방향(T2)을 따라 광학 요소(OE)의 제2측부에 대해 전진하거나 후퇴하도록 구성될 수 있다. 이에 따라, 제2 측부 세정부(130) 및 광학 요소(OE) 사이의 거리가 조절될 수 있다.
제2 측부 세정부(130)는 복수 개의 제2 측부 분사 노즐(131), 제2 측부 연결부(132) 및 제2브라켓(133)을 포함할 수 있다. 제2 측부 분사 노즐(131)은 초음파 압축 공기를 분사할 수 있다. 제2 측부 분사 노즐(131)은 길쭉한 형상을 가질 수 있다. 제2 측부 분사 노즐(131)의 적어도 일부는 연장 방향을 따라 폭이 좁아지도록 형성될 수 있다. 제2 측부 연결부(132)는 복수 개의 제2 측부 분사 노즐(131)을 연결할 수 있다. 제2 측부 연결부(132)는 제2 측부 분사 노즐(131)이 연장하는 방향에 교차하는 방향으로 연장할 수 있다. 제2브라켓(133)은 제2 측부 연결부(132)와 결합할 수 있다. 제2브라켓(133)은 초음파 압축 공기를 복수 개의 제2 측부 분사 노즐(131)로 안내하는 복수 개의 제2 가이드 구멍을 구비할 수 있다.
상부 세정부(140)는 광학 요소(OE)의 상부를 세정하도록 구성된다. 상부 세정부(140)는 광학 요소(OE)의 축 방향(T3)으로 정렬될 수 있다. 광학 요소(OE)의 축 방향(T3)은 광학 요소(OE)의 광축과 일치할 수 있다.
상부 세정부(140)는 광학 요소(OE)의 축 방향(T3)을 따라 광학 요소(OE)의 상부에 대해 전진하거나 후퇴하도록 구성될 수 있다. 이에 따라, 상부 세정부(140) 및 광학 요소(OE) 사이의 거리가 조절될 수 있다.
제1 측부 세정부(120) 및 광학 요소(OE) 사이의 거리, 제2 측부 세정부(130) 및 광학 요소(OE) 사이의 거리 및 상부 세정부(140) 및 광학 요소(OE) 사이의 거리는 서로 독립적으로 조절될 수 있다.
상부 세정부(140)는 복수 개의 상부 분사 노즐(141) 및 상부 연결부(142)를 포함할 수 있다. 상부 분사 노즐(141)은 초음파 압축 공기를 분사할 수 있다. 상부 분사 노즐(141)은 길쭉한 형상을 가질 수 있다. 상부 분사 노즐(141)의 적어도 일부는 연장 방향을 따라 폭이 좁아지도록 형성될 수 있다. 상부 연결부(142)는 복수 개의 상부 분사 노즐(141)을 연결할 수 있다. 상부 연결부(142)는 상부 분사 노즐(141)이 연장하는 방향에 교차하는 방향으로 연장할 수 있다.
지지부(110)는 제1 측부 세정부(120), 제2 측부 세정부(130) 및 상부 세정부(140)가 광학 요소(OE)를 세정하는 동안 회전축(X)에 대해 회전할 수 있다. 예를 들어, 회전축(X)은 상부 세정부(140)의 정렬 방향인 축 방향(T3)과 일치할 수 있지만, 반드시 이에 제한되는 것은 아니고, 광학 요소(OE)에 대한 제1 측부 세정부(120), 제2 측부 세정부(130) 및 상부 세정부(140)의 배향에 따라 지지부(110)가 회전하는 기준이 되는 축(X)은 그에 맞게 변경될 수 있다.
구동부(150)는 지지부(110)를 회전축(X)에 대해 회전시키도록 구성된다. 구동부(150)는 엑추에이터(151), 구동축(152) 및 복수 개의 제2기어(153)를 포함할 수 있다. 엑추에이터(151)는 회전력을 발생시킬 수 있다. 구동축(152)은 엑추에이터(151)에 연결되어 엑추에이터(151)의 회전력에 의해 회전할 수 있다. 복수 개의 제2기어(153)는 구동축(152)의 길이 방향을 따라 제2구동축(152)에 설치될 수 있다. 복수 개의 제2기어(153)는 복수 개의 제1기어(117)와 각각 맞물리도록 구성된다. 예를 들어, 제1기어(117)의 축 및 제2기어(153)의 축은 서로 교차할 수 있지만, 이에 제한되는 것은 아니고, 서로 평행할 수도 있다.
엑추에이터(151)의 회전력은 구동축(152)을 통해 복수 개의 제2기어(153)로 전달되고, 복수 개의 제2기어(153)와 복수 개의 제1기어(117) 사이의 맞물림으로 인해 복수 개의 제1기어(117)가 회전하면서 제1샤프트(111) 및 제2샤프트(112)가 회전할 수 있다.
상기와 같이, 일 실시예에 따른 광학 요소(OE)의 제1측부, 제2측부 및 상부는 제1 측부 세정부(120), 제2 측부 세정부(130) 및 상부 세정부(140)에 의해 세정될 수 있다. 이후, 광학 요소(OE)의 하부에 대한 세정은 (미도시된) 하부 세정부를 포함하는 섹션으로 광학 요소(OE)가 전달된 후에 이루어진다.
대안적인 실시예에서, 광학 요소(OE)의 모든 부분은 하나의 섹션에서 이루어질 수도 있다. 이 실시예에서, 지지부(110) 및 상부 세정부(140)는 광학 요소(OE)에 대해 접근 또는 후퇴하도록 상하 방향으로 이동할 수 있다. 제1 측부 세정부(120), 제2 측부 세정부(130) 및 상부 세정부(140)가 광학 요소(OE)의 제1측부, 제2측부 및 상부를 각각 세정한 후, 상부 세정부(140)의 상부 분사 노즐(141)과 광학 요소(OE) 사이의 거리가 가까워지도록 상부 분사 노즐(141)이 광학 요소(OE)의 상부로 접근할 수 있다. 이 때, 상부 분사 노즐(141)은 광학 요소(OE)의 상부를 흡입할 수 있다. 바람직하게는, 상부 분사 노즐(141)의 흡입력은 지지부(110)의 흡입력보다 클 수 있다. 이에 따라, 광학 요소(OE)의 상부가 상부 분사 노즐(141)에 부착된 상태에서, 초음파 압축 공기가 지지부(110)의 흡입 경로(P)를 따라 제1샤프트(111)의 단부에 형성된 개구를 통해 광학 요소(OE)의 하부를 향해 유동할 수 있다. 결국, 광학 요소(OE)의 하부가 세정될 수 있다.
또 다른 대안적인 실시예에서, 상부 세정부(140)가 광학 요소(OE)를 파지하고 있는 상태에서, 지지부(110), 제1 측부 세정부(120) 및 제2 측부 세정부(130)가 광학 요소(OE)의 하부, 제1측부 및 제2측부를 세정하고 나서, 지지부(110)가 광학 요소(OE)를 향해 접근한 후, 흡입력에 의해 광학 요소(OE)의 하부를 파지할 수 있다. 이후, 상부 세정부(140)가 광학 요소(OE)의 상부를 세정할 수 있다.
이상과 같이 실시예들이 비록 한정된 실시예와 도면에 의해 설명되었으나, 해당 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 상기의 기재로부터 다양한 수정 및 변형이 가능하다. 예를 들어, 설명된 기술들이 설명된 방법과 다른 순서로 수행되거나, 및/또는 설명된 시스템, 구조, 장치, 회로 등의 구성요소들이 설명된 방법과 다른 형태로 결합 또는 조합되거나, 다른 구성요소 또는 균등물에 의하여 대치되거나 치환되더라도 적절한 결과가 달성될 수 있다.

Claims (8)

  1. 광학 요소 세정 장치에 있어서,
    복수 개의 광학 요소의 하부를 흡입하며 상기 복수 개의 광학 요소를 지지하도록 구성된 지지부;
    상기 복수 개의 광학 요소의 방사상 방향인 제1측방향으로 정렬되고 상기 제1측방향을 따라 상기 복수 개의 광학 요소의 제1측부에 대해 전진 또는 후퇴하며 초음파 압축 공기를 이용하여 상기 제1측부를 세정하도록 구성된 복수 개의 제1 측부 세정부;
    상기 복수 개의 광학 요소의 방사상 방향이고 상기 제1측방향과 반대 방향인 제2측방향으로 정렬되고 상기 제2측방향을 따라 상기 복수 개의 광학 요소의 제2측부에 대해 전진 또는 후퇴하며 초음파 압축 공기를 이용하여 상기 제2측부를 세정하도록 구성된 복수 개의 제2 측부 세정부; 및
    상기 복수 개의 광학 요소의 광축과 일치하며 상기 제1측방향 및 상기 제2측방향에 수직한 축 방향으로 정렬되고 상기 복수 개의 광학 요소의 상부에 대해 전진 또는 후퇴하며 초음파 압축 공기를 이용하여 상기 상부를 세정하도록 구성된 복수 개의 상부 세정부;
    를 포함하고,
    상기 지지부는
    상기 축 방향과 일치하는 방향의 회전축을 구비하고, 제1 회전 방향 및 제2 회전 방향 중 선택된 회전 방향으로 회전하도록 구성된 복수 개의 샤프트;
    상기 복수 개의 샤프트에 설치되고 상기 복수 개의 광학 요소가 위치되는 복수 개의 마운트; 및
    상기 복수 개의 샤프트에 결합된 복수 개의 제1기어;
    를 포함하고,
    상기 광학 요소 세정 장치는 구동부를 더 포함하고, 상기 구동부는
    회전력을 발생시키도록 구성된 엑추에이터;
    상기 엑추에이터에 연결되고 회전력을 전달하도록 구성된 구동축; 및
    상기 구동축에 연결되고 상기 복수 개의 제1기어와 각각 맞물려 상기 복수 개의 샤프트로 회전력을 전달하도록 구성된 복수 개의 제2기어;
    를 포함하고,
    상기 복수 개의 제1 측부 세정부, 상기 복수 개의 제2 측부 세정부 및 상기 복수 개의 상부 세정부가 상기 복수 개의 광학 요소를 세정하는 동안 상기 복수 개의 샤프트는 각각의 회전축에 대해 상기 선택된 회전 방향에 대해 회전하도록 구성되고, 상기 복수 개의 샤프트는 상기 선택된 회전 방향으로 회전하다가 상기 선택된 회전 방향에 반대되는 회전 방향으로 회전할 수 있도록 구성되는 광학 요소 세정 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 복수 개의 샤프트는
    상단부에 상기 마운트가 형성되고 내부에 제1 흡입 도관을 포함하고 상기 광학 요소를 지지하도록 구성된 제1샤프트;
    상기 제1샤프트와 결합하고 상기 제1샤프트의 적어도 일부를 둘러싸고 제2 흡입 도관을 포함하는 제2샤프트; 및
    상기 제2샤프트와 결합하고 내부에 제3 흡입 도관을 포함하는 제3샤프트;
    를 각각 포함하고,
    상기 제1샤프트 및 상기 제2샤프트는 상기 회전축에 대해 회전하도록 구성되고,
    상기 제1 흡입 도관, 상기 제2 흡입 도관 및 상기 제3 흡입 도관은 서로 유체 소통하도록 연결되고 흡입 공기가 유동하는 흡입 경로를 형성하는 광학 요소 세정 장치.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 복수 개의 제1 측부 세정부는
    초음파 압축 공기를 분사하도록 구성되고 길쭉한 형상으로 연장하고 연장 방향을 따라 폭이 좁아지도록 형성된 복수 개의 제1 측부 분사 노즐; 및
    상기 복수 개의 제1 측부 분사 노즐을 연결하도록 구성되고 상기 복수 개의 제1 측부 분사 노즐의 연장 방향에 교차하는 방향으로 연장하는 제1 측부 연결부;
    를 각각 포함하고,
    상기 복수 개의 제2 측부 세정부는
    초음파 압축 공기를 분사하도록 구성되고 길쭉한 형상으로 연장하고 연장 방향을 따라 폭이 좁아지도록 형성된 복수 개의 제2 측부 분사 노즐; 및
    상기 복수 개의 제2 측부 분사 노즐을 연결하도록 구성되고 상기 복수 개의 제2 측부 분사 노즐의 연장 방향에 교차하는 방향으로 연장하는 제2 측부 연결부;
    를 각각 포함하는 광학 요소 세정 장치.
  4. 삭제
  5. 삭제
  6. 삭제
  7. 삭제
  8. 삭제
KR1020190046179A 2019-04-19 2019-04-19 광학 요소 세정 장치 KR102107350B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020190046179A KR102107350B1 (ko) 2019-04-19 2019-04-19 광학 요소 세정 장치

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020190046179A KR102107350B1 (ko) 2019-04-19 2019-04-19 광학 요소 세정 장치

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR102107350B1 true KR102107350B1 (ko) 2020-05-13

Family

ID=70729885

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020190046179A KR102107350B1 (ko) 2019-04-19 2019-04-19 광학 요소 세정 장치

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR102107350B1 (ko)

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH05253551A (ja) * 1991-10-01 1993-10-05 Hughes Aircraft Co ジェットスプレイによる正確な洗浄のためのシステムおよび方法
KR19980071408A (ko) * 1997-02-19 1998-10-26 히가시 테쯔로우 세정장치 및 세정방법
JP2003019467A (ja) * 2001-07-09 2003-01-21 Canon Inc 洗浄装置
KR100824137B1 (ko) * 2006-03-06 2008-04-21 이재영 패널의 건식 제진장치
KR101951731B1 (ko) 2018-07-06 2019-02-26 (주)유한엔씨아이 카메라모듈 에어세정장치

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH05253551A (ja) * 1991-10-01 1993-10-05 Hughes Aircraft Co ジェットスプレイによる正確な洗浄のためのシステムおよび方法
KR19980071408A (ko) * 1997-02-19 1998-10-26 히가시 테쯔로우 세정장치 및 세정방법
JP2003019467A (ja) * 2001-07-09 2003-01-21 Canon Inc 洗浄装置
KR100824137B1 (ko) * 2006-03-06 2008-04-21 이재영 패널의 건식 제진장치
KR101951731B1 (ko) 2018-07-06 2019-02-26 (주)유한엔씨아이 카메라모듈 에어세정장치

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US10562058B2 (en) Coating apparatus
JP6862233B2 (ja) 産業用ロボット
JP6649768B2 (ja) 産業用ロボット
US8388800B2 (en) Apparatus for wet processing substrate
KR20110033389A (ko) 파이프 청소 로봇
KR102107350B1 (ko) 광학 요소 세정 장치
US10254196B2 (en) Optical fiber connector inspector with two-dimensional scanning function
JP2009128910A (ja) 基板洗浄装置及び方法
US11755065B2 (en) Display manufacturing device and manufacturing method, and display
CN103658072A (zh) 基板清洁装置
US7134222B2 (en) Transfer apparatus
KR101642573B1 (ko) 산업용 로봇
JP5553254B2 (ja) 非接触保持装置及び移載装置
KR102292660B1 (ko) 세정 유닛, 이를 가지는 기판 처리 장치
KR102339973B1 (ko) 산업용 로봇
JP2006093591A (ja) 基板の処理装置
KR101822816B1 (ko) 스팀 분사 모듈
KR101705986B1 (ko) 오엘이디 셀 코너컷 접착장치
TWI463228B (zh) 感測模組
KR20200068266A (ko) 이물질 제거 기능이 구비된 기판용 보호필름 부착장치
KR100489623B1 (ko) 액정 표시 장치용 기판 처리 장치
KR20080062350A (ko) 기판 세정 장비
KR100809596B1 (ko) 기판 세정 장치
CN213378018U (zh) 清洁装置
KR101186270B1 (ko) 리니어 액츄에이터 및 이를 이용한 기판 검사장치

Legal Events

Date Code Title Description
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant