KR102078928B1

KR102078928B1 - 적층 코일 부품, 및 적층 코일 부품의 검사 시스템

Info

Publication number: KR102078928B1
Application number: KR1020180121733A
Authority: KR
Inventors: 가오루 다찌바나; 고우따 나까오
Original assignee: 가부시키가이샤 무라타 세이사쿠쇼
Priority date: 2017-10-16
Filing date: 2018-10-12
Publication date: 2020-02-18
Also published as: JP6683183B2; CN109671558A; KR20190042458A; JP2019075447A; CN109671558B; US10763033B2; US20190115143A1

Abstract

고주파대에서의 노이즈 제거를 효과적으로 행할 수 있는 적층 코일 부품을 효율적으로 얻을 수 있고, 나아가 적층 코일 부품의 양부를 저비용으로 신속하게 식별할 수 있는 적층 코일 부품의 검사 시스템을 실현한다.
적층 코일 부품은, 복수의 자성체층(1a 내지 1h)과 복수의 내부 전극층(2a 내지 2g)이 교대로 적층되고, 내부 전극층(2a 내지 2g)이 전기적으로 접속되어서 나선상의 코일 도체(2)를 형성함과 함께, 그 코일 도체(2)가 복수의 자성체층(1a 내지 1h)을 포함하는 부품 소체(1)에 매설되고, 또한 측면 폴딩부(3a', 3b')를 갖는 외부 전극(3a, 3b)이 부품 소체(1)의 양단부에 형성되어 있다. 그리고, 코일 도체(2)는 내부 전극층(2a 내지 2g)이 부품 소체(1)의 길이 L 방향의 양쪽 외측 테두리에 돌기부(4a, 4b)를 갖고 있다.

Description

적층 코일 부품, 및 적층 코일 부품의 검사 시스템{MULTILAYER COIL COMPONENT AND INSPECTION SYSTEM FOR MULTILAYER COIL COMPONENT}

본 발명은 적층 코일 부품, 및 적층 코일 부품의 검사 시스템에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 고주파대에서 사용되는 통신기기의 노이즈 대책에 적합한 적층 코일 부품, 및 적층 코일 부품의 양부를 식별하는 적층 코일 부품의 검사 시스템에 관한 것이다.

근년, 무선 통신을 이용하여 데이터의 송수신을 행하는 무선 LAN 등이 급속하게 보급되고 있다. 이러한 종류의 무선 LAN 등에서는, 통상, 2.4GHz나 5GHz 등의 GHz대의 고주파대에서 통신이 행해지기 때문에, 이들 고주파대에서의 노이즈 대책이 중요하게 된다.

노이즈 대책품은, 상기 고주파대에서 높은 임피던스를 갖고 직류 저항이 낮을 것이 요구되어, 종래부터 부품 소체에 페라이트 비드를 사용한 적층 코일 부품이 널리 사용되고 있다. 이러한 종류의 적층 코일 부품으로서는, 나선상의 코일 도체를 부품 소체의 길이 방향으로 매설시킨 가로 감기 구조와 상기 코일 도체를 상기 길이 방향에 대하여 수직 방향, 즉 두께 방향으로 매설시킨 세로 감기 구조가 알려져 있다.

가로 감기 구조의 적층 코일 부품은, 코일 도체와 외부 전극 사이에서 발생하는 부유 용량을 낮게 할 수 있기 때문에, 고주파대에서의 높은 임피던스의 확보가 가능하지만, 근년의 대전류에 대응한 저직류 저항 용도에는 부적합하다.

한편, 세로 감기 구조의 적층 코일 부품은, 가로 감기 구조에 비하면 대체로 부유 용량이 크고, 이 때문에 임피던스는 비교적 낮으나, 직류 저항이 작아, 2GHz대 이상의 고주파대에서 임피던스의 공진 주파수를 얻는 것이 가능하다. 따라서, 피크 주파수를 노이즈 대책이 필요한 고주파대에 근접시켜서 공진에 의한 임피던스의 증가를 이용함으로써, 노이즈 제거 효과가 양호한 적층 코일 부품의 실현이 가능하다고 생각된다.

그리고, 특허문헌 1에는, 도 12에 도시하는 바와 같이, 복수의 자성체층이 적층된 길이 l, 폭 w, 두께 t의 부품 소체(101)와, 그 부품 소체(101)의 내부에 형성된 코일 도체(102)와, 상기 부품 소체(101)의 양단부에 형성되어 상기 코일 도체(102)와 전기적으로 접속된 측면 폴딩부(103a', 103b')를 갖는 외부 전극(103a, 103b)을 구비한 적층형 전자 부품이 개시되어 있다. 이 적층 코일 부품은, 부품 소체(101)가 페라이트 및 유리를 포함하고, 유리는 Si 및 B로 이루어지는 군에서 선택된 어느 하나 이상의 산화물과, Li, K 및 Ca로 이루어지는 군에서 선택된 어느 하나 이상의 산화물과, V 및 Mn으로 이루어지는 군에서 선택된 어느 하나 이상의 산화물과, Ti 및 Al로 이루어지는 군에서 선택된 어느 하나 이상의 산화물을 포함하고 있다.

즉, 이 특허문헌 1에 기재된 적층형 전자 부품은, 자성체층이 두께 방향으로 적층되어서 부품 소체(101)를 형성하고, 코일 도체(102)가 두께 방향으로 매설된 세로 감기 구조를 갖고 있다.

그리고, 이 특허문헌 1에서는, 부품 소체(101)가 페라이트와 그 페라이트보다도 유전율이 낮은 유리의 복합 재료로 형성되어 있고, 이에 의해 외부 전극(103a, 103b)과 코일 도체(102) 사이에서 생성되는 부유 용량을 어느 정도 저감할 수 있어, 부유 용량에 기인하는 임피던스 특성의 열화를 억제할 수 있을 것으로 생각된다.

일본 특허 공개 제2015-51908호 공보(청구항 8, 도 3 등)

그러나, 특허문헌 1과 같은 적층형 전자 부품은, 통상, 대판의 적층체 마더 블록으로부터 다수의 개편화된 적층 성형체를 취득하는 소위 다면취 방식으로 제작되는 점에서, 이하와 같은 문제가 있었다.

도 13은, 도 12의 적층형 전자 부품을 상면으로부터 본 투시도(LW면)이다.

즉, 적층체 마더 블록이 다이서 등의 절단 도구로 정상적으로 종횡으로 절단된 경우에는, 도 13의 (a)에 도시하는 바와 같이, 소성 후의 코일 도체(102)가 부품 소체(101)의 대략 중앙부에 위치하도록 대판의 적층체 마더 블록으로부터 적층 성형체를 취득할 수 있다.

따라서, 이 상태에서는, 길이 방향 및 폭 방향의 코일 도체(102)와 부품 소체(101)의 간격 l1, w1을 각각 충분히 확보할 수 있고, 또한 두께 t는 제작 시의 자성체 시트의 시트 두께로 관리할 수 있다. 게다가, 부품 소체(101)는 페라이트 재료와 유리 재료의 복합 재료로 형성되기 때문에, 상술한 바와 같이 부유 용량의 증가를 억제할 수 있을 것으로 생각된다.

그러나, 적층체 마더 블록의 절단 공정에서 그 적층체 마더 블록이 변형되거나 절단 위치에 어긋남이 발생하는 경우가 있다. 이 경우에는, 도 13의 (b)의 a부에 도시하는 바와 같이, 예를 들어 코일 도체(102)가 외부 전극(103b)의 측면 폴딩부(103b')에 접근하면, 폭 방향의 부품 소체(101)와 코일 도체(102)의 간격 w1이 짧아져, 코일 도체(102)와 측면 폴딩부(103b') 사이의 부유 용량이 증가할 우려가 있다. 그리고 그 결과, 특히 고주파대에서의 임피던스 특성의 열화를 초래하여, 원하는 노이즈 제거를 행할 수 없게 된다고 하는 문제가 발생한다.

게다가, 고주파대에서의 임피던스 특성이 열화된 적층형 전자 부품을 저비용 또한 고속으로 자동적으로 선별할 수 있는 검사 시스템이 현 상황에서는 존재하지 않고, 이 때문에 충분한 노이즈 제거를 행할 수 없는 제품이 시장에 유통될 우려가 있다.

본 발명은 이러한 사정을 감안하여 이루어진 것이며, 고주파대에서의 노이즈 제거를 효과적으로 행할 수 있는 적층 코일 부품을 효율적으로 얻을 수 있고, 나아가, 적층 코일 부품의 양부를 저비용으로 신속하게 식별할 수 있는 적층 코일 부품의 검사 시스템을 제공하는 것을 목적으로 한다.

상기 목적을 달성하기 위하여 본 발명에 따른 적층 코일 부품은, 복수의 자성체층과 복수의 내부 전극층이 교대로 적층되고, 상기 복수의 내부 전극층이 전기적으로 접속되어서 나선상의 코일 도체를 형성함과 함께, 그 코일 도체가 상기 복수의 자성체층을 포함하는 부품 소체에 매설되고, 또한 측면 폴딩부를 갖는 외부 전극이 상기 부품 소체의 양단부에 형성된 세로 감기 구조의 적층 코일 부품에 있어서, 상기 코일 도체는, 상기 내부 전극층이 상기 부품 소체의 길이 방향의 양쪽 외측 테두리에 돌기부를 갖고 있는 것을 특징으로 하고 있다.

또한, 본 발명의 적층 코일 부품에서는, 상기 돌기부는, 상기 부품 소체의 폭 방향으로 연장되는 돌기 길이가 5 내지 15㎛인 것이 바람직하다.

이에 의해 제품 수율의 저하를 최대한 억제하면서, 임피던스 특성에 영향을 미치는 부유 용량이 큰 적층 코일 부품을 효율적으로 제거할 수 있다.

또한, 본 발명의 적층 코일 부품에서는, 상기 돌기부의 선단과 상기 부품 소체의 폭 방향 단부 테두리의 간극이, 5㎛ 이상인 것이 바람직하고, 또한 10㎛ 이상인 것이 보다 바람직하다.

이에 의해 돌기부와 외부 전극 사이에 부유 용량이 발생하는 것을 효과적으로 억제할 수 있다.

또한, 본 발명의 적층 코일 부품에서는, 공진 주파수가, 2GHz 이상인 것이 바람직하다.

이에 의해 2GHz 이상의 고주파수 대역에서 자기 공진하기 때문에, 공진에 의한 임피던스의 증가를 이용함으로써, 양호한 노이즈 제거 효과를 갖는 적층 코일 부품을 얻을 수 있다.

또한, 본 발명의 적층 코일 부품에서는, 상기 부품 소체가, 적어도 페라이트 재료와 유리 재료를 함유한 복합 재료, 및 적어도 페라이트 재료와 수지 재료를 함유한 복합 재료 중 어느 것으로 형성되어 있는 것이 바람직하다.

이에 의해 부품 소체는, 복소 투자율이 양호한 페라이트 재료와 저유전율의 유리 재료 또는 수지 재료를 겸비하는 복합 재료로 형성되어 있으므로, 특히 5GHz대 이상의 보다 고주파 대역의 노이즈 제거에 적합한 적층 코일 부품을 얻을 수 있다. 이 경우, 상기 부품 소체는, 세라믹 필러를 함유하고 있는 것이 보다 바람직하다.

또한, 본 발명의 적층 코일 부품은, 상기 돌기부가 상기 내부 전극층의 각각에 형성되고, 상기 자성체층을 개재하여 상기 부품 소체의 두께 방향으로 인접하는 상기 내부 전극층의 상기 돌기부는, 평면에서 보아 서로 중첩되지 않도록 형성되어 있는 것이 바람직하다.

이에 의해 돌기부에 기인하여 코일 도체폭이 증가하더라도 돌기부끼리가 인접하는 상층과 하층에서 중첩될 일도 없어, 자성체층과 내부 전극층의 밀착성을 확보할 수 있어, 층간 박리(디라미네이션) 등의 구조 결함이 발생하는 것을 억제할 수 있다.

또한, 본 발명의 적층 코일 부품에서는, 상기 내부 전극층은, 상기 돌기부가 형성된 제1 및 제2 내부 전극층과, 상기 돌기부가 형성되어 있지 않은 제3 내부 전극층을 갖고, 상기 제1 내부 전극층과 상기 제2 내부 전극층 사이에 적어도 1층 이상의 상기 제3 내부 전극층이 개재되어 있는 것도 바람직하다.

이에 의해 돌기부가 형성된 내부 전극층 사이에는 돌기부가 형성되어 있지 않은 내부 전극층이 개재되게 되고, 이 경우에도 자성체층과 내부 전극층의 밀착성을 확보할 수 있어, 층간 박리(디라미네이션) 등의 구조 결함이 발생하는 것을 억제할 수 있다.

또한, 본 발명의 적층 코일 부품은, 상기 돌기부는 사각형으로 형성되어 있는 것이 바람직하다.

또한, 본 발명의 적층 코일 부품은, 상기 돌기부는 사다리꼴 형상으로 형성되어 있는 것도 바람직하다.

또한, 본 발명의 적층 코일 부품에서는, 상기 코일 도체는, 상기 돌기부의 형성 부위의 내주면이 광폭상으로 형성되어 있는 것도 바람직하다.

이에 의해 코일 도체의 내측 면적을 증가시킬 수 있어, 임피던스를 증가시킬 수 있다.

또한, 본 발명에 따른 적층 코일 부품의 검사 시스템은, 복수의 자성체층과 복수의 내부 전극층이 교대로 적층되고, 상기 복수의 내부 전극층이 전기적으로 접속되어서 나선상의 코일 도체를 형성함과 함께, 그 코일 도체가 상기 복수의 자성체층을 포함하는 부품 소체에 매설된 세로 감기 구조의 적층 코일 부품의 검사 시스템이며, 상기 부품 소체의 길이 방향이며 상기 내부 전극층의 양쪽 외측 테두리에 돌기부를 형성하고, 그 돌기부가 상기 부품 소체의 폭 방향 단부 테두리에 표면 노출되어 있는지 여부를 식별하여, 품질 검사를 행하는 것을 특징으로 하고 있다.

본 발명의 적층 코일 부품에 의하면, 세로 감기 구조의 적층 코일 부품에 있어서, 코일 도체는, 내부 전극층이 부품 소체의 길이 방향의 양쪽 외측 테두리에 돌기부를 갖고 있으므로, 제조 변동에 의해 부품 소체의 폭 방향 단부 테두리와 도전 패턴의 간격이 짧아져, 도전 패턴이 외부 전극에 접근하여 부유 용량이 커진 경우에도, 돌기부가 상기 폭 방향 단부 테두리로부터 표면 노출되는 것으로부터, 이들 돌기부가 표면 노출된 제품을 제거함으로써, 고주파수 대역에서 사용해도 노이즈 제거를 효과적으로 행할 수 있고, 양호한 임피던스 특성을 갖는 적층 코일 부품을 고효율로 얻을 수 있다. 즉, 적층 코일 부품의 품질을 돌기부로 관리하는 것이 가능하게 된다.

또한, 본 발명의 적층 코일 부품의 검사 시스템에 의하면, 세로 감기 구조의 적층 코일 부품이며, 부품 소체의 길이 방향의 코일 도체의 양쪽 외측 테두리로부터 상기 부품 소체의 폭 방향으로 돌기부를 돌출시켜 형성하고, 그 돌기부가 상기 폭 방향 단부 테두리에 표면 노출되어 있는지 여부를 식별하여, 품질 검사를 행하므로, 코일 도체가 외부 전극에 접근하여 부유 용량이 커진 불량품을 외관 검사로 용이하게 선별할 수 있다.

도 1은 본 발명에 따른 적층 코일 부품의 일 실시 형태(제1 실시 형태)를 모식적으로 도시하는 단면도이다.
도 2는 상기 적층 코일 부품을 상면으로부터 본 투시도(LW면)이다.
도 3은 부품 소체의 제조 방법을 도시하는 분해 평면도이다.
도 4는 본 발명에 따른 적층 코일 부품의 제2 실시 형태를 상면으로부터 본 투시도(LW면)이다.
도 5는 제2 실시 형태에 따른 부품 소체의 제조 방법을 도시하는 분해 평면도이다.
도 6은 본 발명에 따른 적층 코일 부품의 제3 실시 형태를 상면으로부터 본 투시도(LW면)이다.
도 7은 제3 실시 형태에 따른 부품 소체의 제조 방법을 도시하는 분해 평면도이다.
도 8은 본 발명에 따른 적층 코일 부품의 제4 실시 형태를 상면으로부터 본 투시도(LW면)이다.
도 9는 본 발명에 따른 적층 코일 부품의 제5 실시 형태를 상면으로부터 본 투시도(LW면)이다.
도 10은 본 발명에 따른 적층 코일 부품의 제6 실시 형태를 상면으로부터 본 투시도(LW면)이다.
도 11은 실시예 1의 W 사이드 갭과 부유 용량의 관계를 도시하는 도면이다.
도 12는 특허문헌 1에 기재된 적층형 전자 부품의 단면도이다.
도 13은 특허문헌 1의 과제를 설명하기 위한 도면이다.

이어서, 본 발명의 실시 형태를 상세하게 설명한다.

도 1은, 본 발명에 따른 적층 코일 부품의 일 실시 형태(제1 실시 형태)를 모식적으로 도시하는 종단면도(LT면)이다.

이 적층 코일 부품은, 복수의 자성체층(1a 내지 1h)과 복수의 내부 전극층(2a 내지 2g)이 교대로 적층되어 있다. 그리고, 상기 복수의 내부 전극층(2a 내지 2g)이 도통 비아(도시하지 않음)를 통하여 전기적으로 접속되어서 나선상의 코일 도체(2)를 형성하고, 그 코일 도체(2)는 상기 복수의 자성체층(1a 내지 1h)을 포함하는 길이 L, 폭 W, 두께 T의 부품 소체(1)에 매설되어 있다. 또한, 부품 소체(1)의 양단부에는, 길이 Sf1, Sf2의 측면 폴딩부(3a', 3b')를 갖는 외부 전극(3a, 3b)이 형성되어 있다. 즉, 본 적층 코일 부품은, 코일 도체(2)가 부품 소체(1)의 길이 L 방향에 대하여 수직 방향, 즉 두께 방향으로 매설된 세로 감기 구조로 되어 있다.

도 2는, 상기 적층 코일 부품을 상면으로부터 본 투시도(LW면)이다. 단, 이 도 2에서는, 코일 도체(2) 중, 외부 전극(3a, 3b)에 접속되는 인출부는 생략되어 있다.

즉, 코일 도체(2)를 구성하는 내부 전극층(2a 내지 2g)은 부품 소체(1)의 길이 L 방향의 양쪽 외측 테두리에 돌기폭 D, 돌기 길이 R의 볼록형의 돌기부(4a, 4b)가 형성되어 있다.

이에 의해 부품 소체(1)의 폭 방향의 단부 테두리(이하, 「W 단부 테두리」라고 한다.)와 코일 도체(2)의 외주와의 간격(이하, 「W 사이드 갭」이라고 한다.) Gw를 돌기부(4a, 4b)의 돌기 길이 R로 관리할 수 있다. 즉, 제조 변동에 의해 코일 도체(2)가 부품 소체(1)의 대략 중앙 위치로부터 편이하여 W 사이드 갭 Gw가 작아졌을 경우, 돌기부(4a, 4b)가 W 단부 테두리로부터 표면 노출되기 때문에, 돌기부(4a, 4b)가 표면 노출된 제품을 외관 검사로 제거함으로써, 부유 용량이 커서 임피던스 특성이 열화된 제품이 시장에 유통되는 것을 최대한 회피하는 것이 가능하게 된다.

여기서, 돌기부(4a, 4b)의 돌기 길이 R은, 부유 용량이 증가한 제품을 효과적으로 제거할 수 있는 길이이기만 하면 특별히 한정되는 것은 아니지만, 통상은 5 내지 15㎛가 바람직하다. 즉, 돌기 길이 R이 5㎛ 미만이 되면 부유 용량이 급격하게 증가하는 경향이 있고, 이러한 관점에서 돌기부(4a, 4b)의 돌기 길이 R은 5㎛ 이상이 바람직하다. 한편, 돌기 길이 R이 15㎛를 초과하면, 불량품으로서 제거되는 제품이 증가하여, 제품 수율의 저하를 초래할 우려가 있다.

또한, 돌기부(4a, 4b)의 선단과 W 단부 테두리의 간격 W1도 특별히 한정되는 것은 아니지만, 간격 W1이 짧아지면 코일 도체(2)가 외부 전극(3a, 3b)의 측면 폴딩부(3a', 3b')에 근접하여 부유 용량의 증가를 초래할 우려가 있기 때문에, 적어도 5㎛ 이상, 바람직하게는 10㎛ 이상인 것이 바람직하다.

또한, 본 발명은 W 사이드 갭 Gw를 돌기부의 돌기 길이 R로 관리하는 것이기 때문에, W 사이드 갭 Gw가 일정 간격 이하인 경우에 효과적이며, 특히 W 사이드 갭 Gw가 50㎛ 이하인 경우에 유효하고, 또한 35㎛ 이하인 경우에 보다 유효하다.

그리고, 본 적층 코일 부품은, 공진 주파수가 2GHz 이상인 것이 바람직하다. 이에 의해 본 적층 코일 부품은, 2GHz 이상의 고주파수대에서 자기 공진하기 때문에, 공진에 의한 임피던스의 증가를 이용할 수 있어, 양호한 노이즈 제거 효과를 갖는 적층 코일 부품을 얻을 수 있다.

또한, 부품 소체(1)를 형성하는 재료로서는 특별히 한정되는 것은 아니며, 페라이트 재료 단독으로 사용할 수도 있지만, 페라이트 재료와 유리 재료 또는 수지 재료와의 복합 재료를 사용하는 것이 보다 바람직하다. 복소 투자율이 양호한 페라이트 재료와 저유전율의 유리 재료 또는 수지 재료를 겸비하는 복합 재료로 부품 소체(1)를 형성함으로써, 특히 6GHz대 이상의 보다 고주파 대역의 노이즈를 효과적으로 제거할 수 있다.

여기서, 상기 페라이트 재료로서는 특별히 한정되는 것은 아니지만, 예를 들어 Fe를 Fe₂O₃로 환산하여 40 내지 49.5mol％, Zn을 ZnO로 환산하여 5 내지 35mol％, Cu를 CuO로 환산하여 6 내지 13mol％, 잔부가 Ni의 Ni-Zn-Cu계 페라이트를 바람직하게 사용할 수 있고, 또한 Bi, Sn, Mn, Co 등의 첨가물을 적량 함유시키는 것도 바람직하고, 특성에 영향을 미치지 않는 범위에서 불가피 불순물의 함유도 허용된다.

부품 소체(1) 중에 유리 재료를 함유시키는 경우, 그 유리 재료는 특별히 한정되는 것은 아니지만, 예를 들어 Si를 SiO₂로 환산하여 70 내지 85wt％, B를 B₂O₃로 환산하여 10 내지 25wt％, K를 K₂O로 환산하여 0.5 내지 5wt％, Al을 Al₂O₃로 환산하여 5wt％ 이하의 붕규산계 유리를 바람직하게 사용할 수 있다.

이 경우, 페라이트 재료와 유리 재료의 혼합 비율은, 체적 비율로 페라이트 재료와 유리 재료의 합계에 대하여 페라이트 재료가 10 내지 50체적％가 바람직하다.

또한, 부품 소체(1) 중에 수지 재료를 함유시키는 경우에도, 수지 재료는 특별히 한정되는 것은 아니며, 예를 들어 에폭시 수지, 실리콘 수지 등을 사용할 수 있다.

이 경우, 페라이트 재료와 수지 재료의 혼합 비율은, 체적 비율로 페라이트 재료와 수지 재료의 합계에 대하여 페라이트 재료가 50 내지 80체적％가 바람직하다.

또한, 부품 소체(1)에는 적량의 쿼츠(석영), 포르스테라이트(Mg₂SiO₄), Al₂O₃ 등의 필러 성분을 함유시키는 것도 바람직하고, 특히 항절 강도를 향상시킨다는 관점에서는, 포르스테라이트를 부품 소체(1) 중에 함유시키는 것이 바람직하다.

또한, 코일 도체(2) 및 외부 전극(3a, 3b)의 형성 재료는, 도전성 재료라면 특별히 한정되는 것은 아니지만, Ag, Cu, Ni나 이들의 합금을 주성분으로 한 재료를 사용할 수 있다. 또한 외부 전극(3a, 3b)에 대해서는 Cu 등으로 하지 전극을 형성하고, 내열성이나 도전성 등의 관점에서 하지 전극 상에 도금 피막을 형성한 다층 구조로 하는 것이 바람직하다.

이어서, 부품 소체(1)를 페라이트 재료와 유리 재료의 복합 재료로 형성한 경우에 대해서, 상기 적층 코일 부품의 제조 방법을 상세하게 설명한다.

먼저, 자성체 원료를 제작한다. 즉, Fe₂O₃, NiO, ZnO, CuO 등의 페라이트 소원료를 준비한다. 이어서, 이 페라이트 소원료를 소정량 칭량한 후, PSZ(부분 안정화 산화지르코늄) 볼 등의 분쇄 매체와 함께 포트 밀에 투입하고, 습식으로 충분히 혼합 분쇄하고, 건조시킨 후, 700℃ 정도의 온도에서 2시간 하소하여, 페라이트 분말을 얻는다.

또한, SiO₂, B₂O₃, K₂O 등의 유리 소원료를 준비한다. 이어서, 이 유리 소원료를 소정량 칭량한 후, 이 칭량물을 백금 도가니에 투입하고, 1500 내지 1600℃ 정도의 온도에서 용융시켜서 유리 융액을 제작하고, 그 후, 이 유리 융액을 급랭한 후, 분쇄하고, 이에 의해 유리 분말을 얻는다.

이어서, 상기 페라이트 분말, 유리 분말, 및 필요에 따라 포르스테라이트 등의 필러 성분을 각각 소정량 칭량하고, 이 칭량물을 폴리비닐부티랄 등의 유기 바인더, 에탄올 및/또는 톨루엔 등의 유기 용제, 및 상기 분쇄 매체와 함께 포트 밀에 투입하여 충분히 혼합 분쇄하고, 이에 의해 슬러리상의 자성체 원료를 제작한다.

도 3은, 적층 코일 부품의 제조 방법을 도시하는 주요부 분해 평면도이다.

즉, 상기 슬러리상의 자성체 원료에 대하여 닥터 블레이드법 등을 사용하여 성형 가공하여, 두께가 25 내지 30㎛인 자성체 시트(5a 내지 5i)를 제작한다.

이어서, 이들 자성체 시트(5a 내지 5i) 중, 자성체 시트(5b 내지 5g)에 대하여 소정 개소에 레이저 조사 등을 행하여 스루홀을 형성한다.

이어서, Ag 등을 주성분으로 하는 도전성 페이스트를 준비하고, 이 도전성 페이스트를 사용하여 자성체 시트(5b 내지 5h)에 스크린 인쇄 등을 실시하고, 스루홀에 도전성 페이스트를 충전하여 비아 도체(6a, 6c, 6e, 6f, 6i, 6k)를 형성함과 함께, 상기 비아 도체(6a, 6c, 6e, 6f, 6i, 6k)를 포함하는 소정 영역에 볼록부(7a 내지 7k)를 갖는 도전 패턴(8a 내지 8g)을 제작한다.

그 후, 도전 패턴(8a 내지 8g)이 비아 도체(6a, 6c, 6e, 6f, 6i, 6k)를 개재하여 나선상으로 되도록 자성체 시트(5a 내지 5i)를 적절히 적층하고, 압착하여 적층체 마더 블록을 제작한다. 이어서, 이 적층체 마더 블록을 다이서 등의 절단 도구로 종횡으로 절단하여 개편화하고, 이에 의해 적층 성형체를 얻는다.

이어서, 적층 성형체를 소성로에 수용하고, 900℃ 정도의 온도에서 2시간 열처리를 행하여 도전 패턴(8a 내지 8g), 비아 도체(6a, 6c, 6e, 6f, 6i, 6k) 및 자성체 시트(5a 내지 5i)를 동시 소성한다. 그리고, 이들 적층 성형체의 표면을 배럴 연마 등으로 연마 처리하고, 코너부를 R 형상으로 가공하고, 이에 의해 나선상의 코일 도체(2)가 두께 방향으로 매설된 부품 소체(1)를 제작한다.

그 후, Cu 등을 주성분으로 하는 도전성 페이스트를 준비하고, 상기 도전성 페이스트를 부품 소체(1)의 양단부에 도포하고 800℃ 정도에서 베이킹 처리를 실시하여 하지 전극을 형성한 후, 도금법 등을 사용하여 하지 전극 상에 Ni이나 Sn의 피막을 형성하고, 이에 의해 측면 폴딩부(3a', 3b')를 갖는 외부 전극(3a, 3b)을 형성하여, 상기 제1 실시 형태의 적층 코일 부품이 제작된다.

도 4는, 본 발명에 따른 적층 코일 부품의 제2 실시 형태를 도시하는 투시도(LW면)이다.

본 제2 실시 형태는, 제1 실시 형태와 대략 마찬가지로, 부품 소체(9)를 형성하는 복수의 자성체층과 코일 도체(10)를 형성하는 복수의 내부 전극층이 교대로 적층되어 있다.

그리고, 본 제2 실시 형태에서는, 돌기부(11a 내지 11d)는 내부 전극층의 각각에 형성되어 있으나, 자성체층을 개재하여 상기 부품 소체의 두께 방향으로 인접하는 내부 전극층의 각 돌기부는, 평면에서 보아 서로 중첩되지 않도록 형성되어 있다.

즉, 상기 제1 실시 형태(도 2 참조)에서는, 돌기부(4a, 4b)는 LW면 상에서 두께 방향으로 서로 중첩되게 형성되어 있기 때문에, 내부 전극층(2a 내지 2g)의 두께가, 돌기부(4a, 4b)의 형성 부위만큼 기타의 부위에 비하여 약간 두꺼워진다. 이 때문에 적층체 마더 블록의 형성 시에 가열·가압하여 압착했을 때에, 자성체층과 내부 전극층 간의 밀착성을 충분히 확보할 수 없어, 층간 박리(디라미네이션) 등의 구조 결함이 발생할 우려가 있다.

이에 반해 본 제2 실시 형태에서는, 자성체층을 통하여 인접하는 내부 전극층의 돌기부(11a 내지 11d)가 평면에서 보아 서로 중첩되지 않도록 형성되어 있으므로, 적층체 마더 블록의 형성 시에 가열·가압하여 압착했을 때에, 자성체층과 내부 전극층 간의 밀착성을 충분히 확보하는 것이 가능하게 되어, 층간 박리(디라미네이션) 등의 구조 결함의 발생을 억제할 수 있다.

이 제2 실시 형태의 적층 코일 부품은, 이하와 같이 하여 용이하게 제작할 수 있다.

도 5는, 제2 실시 형태의 제조 방법을 도시하는 주요부 분해 평면도이다.

먼저, 제1 실시 형태와 동일한 방법·수순으로 자성체 시트(12a 내지 12i)를 제작한다.

이어서, 이들 자성체 시트(12a 내지 12i) 중, 자성체 시트(12b 내지 12g)의 소정 개소에 레이저 조사 등을 행하여 스루홀을 형성한다.

이어서, Ag 등을 주성분으로 하는 도전성 페이스트를 준비하고, 이 도전성 페이스트를 사용하여 자성체 시트(12b 내지 12h)에 스크린 인쇄 등을 실시하고, 스루홀에 도전성 페이스트를 충전하여 비아 도체(13a, 13c, 13e, 13g, 13i, 13k)를 형성함과 함께, 상기 비아 도체(13a, 13c, 13e, 13g, 13i, 13k)를 포함하는 소정 영역에 볼록부(14a 내지 14k)를 갖는 도전 패턴(15a 내지 15g)을 형성한다. 즉, 이 제2 실시 형태에서는, 도전 패턴(15a 내지 15g)이 나선상으로 되도록 자성체 시트(12a 내지 12i)를 적층한 경우, 자성체 시트(12a 내지 12i)를 개재하여 인접하는 도전 패턴(15a 내지 15g)의 볼록부(14a 내지 14k)끼리가 평면에서 보아 중첩되지 않도록, 도전 패턴(15a 내지 15g)을 형성한다.

그리고 그 후에는 제1 실시 형태와 동일한 방법·수순으로 코일 도체(10)가 매설된 부품 소체(9)를 제작하고, 그 후 외부 전극을 형성하고, 이에 의해 제2 실시 형태의 적층 코일 부품이 제작된다.

이어서, 적층 성형체를 소성로에 수용하고, 900℃ 정도의 온도에서 2시간 열처리를 행하여 도전 패턴(15a 내지 15g), 비아 도체(13a, 13c, 13e, 13g, 13i, 13k) 및 자성체 시트(12a 내지 12i)를 동시 소성한다. 그리고, 이들 적층 성형체의 표면을 배럴 연마 등으로 연마 처리를 행하여, 코너부를 R 형상으로 가공하고, 이에 의해 코일 도체(10)가 두께 방향으로 매설된 부품 소체(9)이 제작된다.

그 후에는 제1 실시 형태와 동일한 방법·수순으로 코일 도체(10)가 두께 방향으로 매설된 부품 소체(9)를 형성하고, 이 후 외부 전극(3a, 3b)을 형성하고, 이에 의해 제2 실시 형태의 적층 코일 부품이 제작된다.

도 6은, 본 발명에 따른 적층 코일 부품의 제3 실시 형태를 도시하는 투시도(LW면)이다.

본 제3 실시 형태는, 제1 및 제2 실시 형태와 마찬가지로, 부품 소체(16)를 형성하는 복수의 자성체층과 코일 도체(17)를 형성하는 복수의 내부 전극층이 교대로 적층되어 있다.

구체적으로는, 내부 전극층은, 돌기부(18a, 18b)가 형성된 제1 및 제2 내부 전극층과, 돌기부가 형성되어 있지 않은 제3 내부 전극층을 갖고, 제1 내부 전극층과 제2 내부 전극층 사이에 적어도 1층 이상의 제3 내부 전극층이 개재되어 있다.

본 제3 실시 형태에서는, 돌기부(18a, 18b)를 갖는 제1 내부 전극층과 제2 내부 전극층 사이에 돌기부를 갖지 않은 적어도 1층 이상의 제3 내부 전극층이 개재되기 때문에, 자성체층을 개재하여 인접하는 내부 전극층의 돌기부(18a, 18b)끼리가 평면에서 보아 서로 중첩될 일도 없다. 따라서 제2 실시 형태와 마찬가지로, 적층체 마더 블록의 형성 시에 가열·가압하여 압착했을 때에, 자성체층과 내부 전극층 간의 밀착성을 충분히 확보하는 것이 가능하게 되어, 층간 박리(디라미네이션) 등의 구조 결함의 발생을 억제할 수 있다.

이 제3 실시 형태의 적층 코일 부품은, 이하와 같이 하여 용이하게 제작할 수 있다.

도 7은, 제3 실시 형태의 제조 방법을 도시하는 주요부 분해 평면도이다.

먼저, 제1 실시 형태와 동일한 방법·수순으로 자성체 시트(19a 내지 19i)를 제작한다.

이어서, 이들 자성체 시트(19a 내지 19i) 중, 자성체 시트(19b 내지 19g)의 소정 개소에 레이저 조사 등을 행하여 스루홀을 형성한다.

이어서, Ag 등을 주성분으로 하는 도전성 페이스트를 준비하고, 이 도전성 페이스트를 사용하여 자성체 시트(19b, 19d, 19h)에 스크린 인쇄 등을 실시하고, 스루홀에 도전성 페이스트를 충전하여 비아 도체(20a, 20e)를 형성함과 함께, 이들 비아 도체(20a, 20e)를 포함하는 소정 영역에 볼록부(21a 내지 21f)를 갖는 도전 패턴(22a, 22c, 22g)을 형성한다.

이어서, 상기 도전성 페이스트를 사용하여 자성체 시트(19c, 19e 내지 19g)에 스크린 인쇄 등을 실시하고, 스루홀에 도전성 페이스트를 충전하여 비아 도체(20b, 20c, 20f 내지 20k)를 형성함과 함께, 비아 도체(20c, 20g, 20i, 20k)를 포함하는 소정 영역에 볼록부를 갖지 않은 도전 패턴(22b, 22d 내지 22f)을 형성한다.

그리고 그 후에는 제1 및 제2 실시 형태와 동일한 방법·수순으로 코일 도체(17)가 두께 방향으로 매설된 부품 소체(16)를 형성하고, 이 후 외부 전극(3a, 3b)을 형성하고, 이에 의해 제3 실시 형태의 적층 코일 부품이 제작된다.

도 8은, 본 발명에 따른 적층 코일 부품의 제4 실시 형태를 도시하는 투시도(LW면)이다.

본 제4 실시 형태는, 제1 실시 형태와 마찬가지로, 부품 소체(23)를 형성하는 복수의 자성체층과 코일 도체(24)를 형성하는 복수의 내부 전극층이 교대로 적층되어 있다. 그리고, 각 내부 전극층에는 사다리꼴 형상의 돌기부(25a, 25b)가 형성되어 있다.

제1 실시 형태에서는, 돌기부(4a, 4b)가 사각형으로 형성되어 있지만(도 2 참조), 본 제4 실시 형태에서는, 사다리꼴 형상으로 형성되어 있고, 이에 의해 돌기부를 사각형으로 형성한 경우에 비해, 도전 패턴 형성 시의 인쇄의 번짐을 저감할 수 있고, 또한 인쇄판의 내구성 향상을 도모하는 것이 가능하게 된다.

도 9는, 본 발명에 따른 적층 코일 부품의 제5 실시 형태를 도시하는 투시도(LW면)이다.

본 제5 실시 형태도, 제1 실시 형태와 마찬가지로, 부품 소체(26)를 형성하는 복수의 자성체층과 코일 도체(27)를 형성하는 복수의 내부 전극층이 교대로 적층되어 있다. 그리고, 돌기부(28a, 28b)는, 제1 실시 형태나 제4 실시 형태에 비해, 부품 소체(26)에 길이 방향을 따라서 선 폭이 넓게 형성되어 있다. 그리고 이에 의해 도통 영역이 증가하기 때문에 직류 저항을 저하시킬 수 있어, 보다 대전류용으로 바람직한 적층 코일 부품을 얻는 것이 가능하게 된다.

도 10은, 본 발명에 따른 적층 코일 부품의 제6 실시 형태를 도시하는 투시도(LW면)이다.

본 제6 실시 형태도, 제1 실시 형태와 마찬가지로, 부품 소체(29)를 형성하는 복수의 자성체층과 코일 도체(30)를 형성하는 복수의 내부 전극층이 교대로 적층되어 있다. 그리고, 돌기부(31a, 31b)의 형성 부위의 내주면이 광폭상으로 형성되어 있다. 그리고, 이에 의해 부품 소체(29)가 차지하는 영역이 커지는 점에서, 임피던스 특성을 향상시키는 것이 가능하게 되어, 보다 고주파대에 적합한 고임피던스 특성의 적층 코일 부품을 얻는 것이 가능하게 된다.

그리고, 돌기부가 부품 소체의 W 단부 테두리에 표면 노출되어 있는지 여부의 외관 검사를 행하기만 해도 제품의 양부를 식별할 수 있기 때문에, 저비용으로 신속하게 각종 적층 코일 부품의 품질을 검사할 수 있어, 불량품이 혼입되는 것을 효과적으로 회피할 수 있다.

또한, 본 발명은 상기 실시 형태에 한정되는 것은 아니다. 상기 각 실시 형태에서는 부품 소체를 페라이트 재료와 유리 재료 또는 수지 재료와의 혼합물로 형성하고 있지만, 페라이트 소결체에 형성되는 공공에 유리 재료나 수지 재료를 충전하고, 또한 유리 재료나 수지 재료에도 공공을 형성한 공공 페라이트로 부품 소체를 형성해도 된다.

또한, 돌기부에 대해서도 상기 제1 및 제2 실시 형태에서는 모든 내부 전극층에 형성하고, 제3 실시 형태에서는 돌기부가 형성된 내부 전극층 사이에 돌기부가 형성되어 있지 않은 내부 전극층을 개재시키고 있지만, 본 발명은 부유 용량이 증대하지 않도록 돌기부로 W 사이드 갭 Gw의 길이를 관리하고 있기 때문에, 돌기부는 적어도 1층의 내부 전극층에 형성되어 있으면 된다.

이어서, 본 발명의 실시예를 구체적으로 설명한다.

[실시예 1]

부품 소체에 나선상의 코일 도체를 매설시킨 적층 코일 부품을 소프트 상에서 제작하고, W 사이드 갭의 치수를 2, 8, 12, 22, 32, 42㎛로 상이하게 했을 때의 부유 용량을 시뮬레이션하여 구하였다.

도 11은, W 사이드 갭과 부유 용량의 관계의 시뮬레이션 결과를 도시하고 있다. 횡축이 W 사이드 갭(㎛), 종축이 부유 용량(pF)이다.

이 도 11로부터 명백해진 바와 같이, W 사이드 갭과 부유 용량 사이에는 상관 관계가 있고, W 사이드 갭이 10㎛ 이상이 되면 부유 용량은 비교적 안정되지만, 10㎛ 미만, 특히 5㎛ 미만이 되면 부유 용량이 증대함을 알았다.

[실시예 2]

[실시예 시료의 제작]

먼저, Fe₂O₃, NiO, ZnO, CuO의 페라이트 소원료를 준비하고, Fe₂O₃이 48.5mol％, NiO가 14.0mol％, ZnO가 29.5mol％, CuO가 8.0mol％로 되도록 이들 페라이트 소원료를 칭량하였다. 이어서, 이들의 칭량물을 PSZ(부분 안정화 산화지르코늄) 볼과 함께 포트 밀에 투입하고, 습식으로 충분히 혼합 분쇄하고, 건조시킨 후, 700℃의 온도에서 2시간 하소하고, 이에 의해 페라이트 분말을 제작하였다.

또한, SiO₂, B₂O₃, K₂O의 유리 소원료를 준비하고, SiO₂이 79.0wt％, B₂O₃이 19.0wt％, K₂O가 2.0wt％로 되도록 이들 유리 소원료를 칭량하였다. 이어서, 이들의 칭량물을 백금 도가니에 투입하고, 1500 내지 1600℃의 온도에서 용융시켜서 유리 융액을 제작하고, 그 후, 이 유리 융액을 급랭한 후, 분쇄하고, 이에 의해 유리 분말을 제작하였다.

이어서, 포르스테라이트를 준비하고, 페라이트 분말, 유리 분말, 포르스테라이트의 혼합 비율이 체적 비율로 페라이트 분말:유리 분말:포르스테라이트=40.0:57.5:2.5가 되도록 칭량하였다. 그리고, 이 칭량물을 유기 바인더로서의 폴리비닐부티랄, 유기 용제로서의 에탄올 및 톨루엔의 혼합 용액, 및 PSZ볼과 함께 포트 밀에 투입하여 충분히 혼합 분쇄하고, 이에 의해 자성체 슬러리를 얻었다. 그리고, 이 후, 닥터 블레이드법을 사용하여 자성체 슬러리를 성형 가공하고, 이에 의해 두께가 25㎛인 자성체 시트를 제작하였다.

이어서, 각 자성체 시트의 소정 개소에 레이저 조사 등을 행하여 스루홀을 형성하였다.

이어서, Ag 페이스트를 준비하고, 이 Ag 페이스트를 사용하여 자성체 시트에 스크린 인쇄를 실시하고, 스루홀에 Ag 페이스트를 충전하여 비아 도체를 형성함과 함께, 이들 비아 도체를 포함하는 소정 영역에 볼록부를 갖는 도전 패턴을 형성하였다.

그 후, 도전 패턴이 비아 도체를 통하여 나선상으로 되도록 자성체 시트를 적절히 적층하고, 압착하여 적층체 마더 블록을 제작하였다. 이어서, 이 적층체 마더 블록을 다이서로 종횡으로 절단하여 개편화하고, 이에 의해 적층 성형체를 제작하였다.

이어서, 적층 성형체를 소성로에 수용하고, 900℃의 온도에서 2시간 열처리를 행하여 도전 패턴, 비아 도체 및 자성체 시트를 동시 소성하였다. 그리고, 이들 적층 성형체의 표면을 배럴 연마 등으로 연마 처리를 행하여, 코너부를 R 형상으로 가공하고, 이에 의해 W 사이드 갭 Gw가 35㎛, 폭 D가 40㎛, 돌기 길이 R이 10㎛인 돌기부를 갖는 코일 도체가 매설된 부품 소체를 제작하였다.

그 후, Cu 페이스트를 준비하고, 그 Cu 페이스트를 부품 소체의 양단부에 도포해서 800℃ 정도로 베이킹 처리를 실시하여 하지 전극을 형성한 후, 도금법 등을 사용하여 하지 전극 상에 Ni나 Sn의 피막을 형성하여 측면 폴딩부를 갖는 외부 전극을 제작하고, 이에 의해 실시예 시료를 얻었다. 실시예 시료의 외형 치수는, 길이 L이 0.60mm, 폭 W가 0.30mm, 두께 T가 0.30mm이며, 코일 도체의 감기수는 5.5턴이었다.

[비교예 시료]

도전 패턴에 볼록형의 돌기부를 형성하지 않은 이외에는, 실시예 시료와 동일한 방법·수순으로 비교예 시료를 제작하였다.

[시료의 평가]

실시예 시료의 각 시료에 대하여 W 단부 테두리를 확인하고, W 단부 테두리로부터 돌기부나 코일 도체가 표면 노출되어 있는 시료를 선별하여 불량품을 제거하였다. 마찬가지로, 비교예 시료에 대하여 W 단부 테두리로부터 코일 도체가 표면 노출되어 있는 시료를 선별하여 불량품을 제거하였다. 또한, 불량품의 발생률은 실시예 시료가 0.3％, 비교예 시료가 0.05％였다.

이어서, 불량품을 제외한 실시예 시료 각 100개에 대해서, 임피던스 애널라이저(애질런트·테크놀로지사제, E4991A)를 사용하고, 자기 공진 주파수를 측정하였다. 그 결과, 자기 공진 주파수는 모두 6GHz 이상이었다.

이어서, 실시예 시료 중, 제거된 불량품에 대해서도 마찬가지로 하여 자기 공진 주파수를 측정하였다. 그 결과, 제거된 불량품에는 자기 공진 주파수가 6GHz 미만인 것이 포함되어 있는 것이 확인되었다.

즉, 실시예 시료에서는, 돌기부를 코일 도체에 설치하여 W 사이드 갭 Gw의 치수 관리를 행하고 있으므로, W 사이드 갭 Gw가 작아져서 자기 공진 주파수가 저주파수측으로 시프트한 시료를 용이하게 제거할 수 있고, 그 결과, 자기 공진 주파수가 6GHz 이상인 시료만을 얻을 수 있었던 것이라고 생각된다.

한편, 비교예 시료에서는, 돌기부가 코일 도체에 설치되어 있지 않아, W 사이드 갭 Gw의 치수 관리가 이루어져 있지 않기 때문에, W 사이드 갭 Gw가 작아져서 자기 공진 주파수가 저주파수측으로 시프트한 시료가 양품 중에 혼입되는 것으로 생각된다.

고주파대에서의 노이즈 제거를 효과적으로 행할 수 있는 적층 코일 부품을 효율적으로 얻을 수 있어, 적층 코일 부품의 양부를 저비용으로 신속하게 식별할 수 있도록 한다.

1, 9, 16, 23, 26, 29: 부품 소체
1a∼1h: 자성체층
2, 10, 17, 24, 27, 30: 코일 도체
2a 내지 2g: 내부 전극층
3a, 3b: 외부 전극
4a, 4b, 11a∼11d, 18a, 18b, 25a, 25b, 28a, 28b, 31a, 31b: 돌기부

Claims

복수의 자성체층과 복수의 내부 전극층이 교대로 적층되고, 상기 복수의 내부 전극층이 전기적으로 접속되어서 나선상의 코일 도체를 형성함과 함께, 그 코일 도체가 상기 복수의 자성체층을 포함하는 부품 소체에 매설되고, 또한 측면 폴딩부를 갖는 외부 전극이 상기 부품 소체의 양단부에 형성된 세로 감기 구조의 적층 코일 부품에 있어서,
상기 코일 도체는, 상기 복수의 내부 전극층 중 적어도 하나의 내부 전극층이 상기 부품 소체의 길이 방향의 양쪽 외측 테두리에 돌기부를 갖고,
상기 돌기부와 상기 적어도 하나의 내부 전극층의 비아 도체가 형성되는 영역은 평면에서 보아 중첩되지 않는 것을 특징으로 하는 적층 코일 부품.
제1항에 있어서, 상기 돌기부는, 상기 부품 소체의 폭 방향으로 연장되는 돌기 길이가 5 내지 15㎛인 것을 특징으로 하는 적층 코일 부품.
제1항에 있어서, 상기 돌기부의 선단과 상기 부품 소체의 폭 방향 단부 테두리의 간극은, 5㎛ 이상인 것을 특징으로 하는 적층 코일 부품.
제3항에 있어서, 상기 간극은, 10㎛ 이상인 것을 특징으로 하는 적층 코일 부품.
제1항에 있어서, 공진 주파수가, 2GHz 이상인 것을 특징으로 하는 적층 코일 부품.
제1항에 있어서, 상기 부품 소체가, 적어도 페라이트 재료와 유리 재료를 함유한 복합 재료, 및 적어도 페라이트 재료와 수지 재료를 함유한 복합 재료 중 어느 것으로 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 적층 코일 부품.
제6항에 있어서, 상기 부품 소체는, 세라믹 필러를 함유하고 있는 것을 특징으로 하는 적층 코일 부품.
제1항 내지 제7항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 돌기부는 상기 내부 전극층의 각각에 형성되고,
상기 자성체층을 통하여 상기 부품 소체의 두께 방향으로 인접하는 상기 내부 전극층의 상기 돌기부는, 평면에서 보아 서로 중첩되지 않도록 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 적층 코일 부품.
제1항 내지 제7항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 내부 전극층은, 상기 돌기부가 형성된 제1 및 제2 내부 전극층과, 상기 돌기부가 형성되어 있지 않은 제3 내부 전극층을 갖고, 상기 제1 내부 전극층과 상기 제2 내부 전극층 사이에 적어도 1층 이상의 상기 제3 내부 전극층이 개재되어 있는 것을 특징으로 하는 적층 코일 부품.
제1항 내지 제7항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 돌기부는 사각형으로 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 적층 코일 부품.
제1항 내지 제7항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 돌기부는 사다리꼴 형상으로 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 적층 코일 부품.
제1항 내지 제7항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 코일 도체는, 내측이 상기 돌기부를 향하여 오목해져 있는 것을 특징으로 하는 적층 코일 부품.
복수의 자성체층과 복수의 내부 전극층이 교대로 적층되고, 상기 복수의 내부 전극층이 전기적으로 접속되어서 나선상의 코일 도체를 형성함과 함께, 그 코일 도체가 상기 복수의 자성체층을 포함하는 부품 소체에 매설된 세로 감기 구조의 적층 코일 부품의 검사 시스템이며,
상기 복수의 내부 전극층 중 적어도 하나의 내부 전극층이 상기 부품 소체의 길이 방향이며 양쪽 외측 테두리에 돌기부를 갖도록 형성하고 - 상기 돌기부와 상기 적어도 하나의 내부 전극층의 비아 도체가 형성되는 영역은 평면에서 보아 중첩되지 않음 -,
그 돌기부가 상기 부품 소체의 폭 방향 단부 테두리에 표면 노출되어 있는지 여부를 식별하여, 품질 검사를 행하는 것을 특징으로 하는 적층 코일 부품의 검사 시스템.