KR102043571B1

KR102043571B1 - 전류 프로브

Info

Publication number: KR102043571B1
Application number: KR1020180154110A
Authority: KR
Inventors: 수 수-창; 수 쿠오-옌; 린 추안-쎄
Original assignee: 크로마 에이티이 인코포레이티드
Priority date: 2017-12-27
Filing date: 2018-12-04
Publication date: 2019-11-11
Also published as: TWI627412B; JP2019120683A; TW201928355A; KR20190117365A; US10712366B2; JP6702399B2; US20190195911A1

Abstract

전류 프로브는 프로브 어셈블리 및 제2 전기적 연결부를 포함한다. 프로브 어셈블리는 프로브 축, 제1 전기적 연결부, 프로브 헤드 및 서브 프로브를 포함한다. 프로브 축은 기판에 이동가능하게 관통설치된다. 제1 전기적 연결부는 프로브 축에 설치되고 전기적으로 연결된다. 프로브 헤드는 프로브 축에서 제1 전기적 연결부에 대응되는 일단에 설치되고 프로브 축에 전기적으로 연결되며 프로브 헤드는 피측정물을 누른다. 서브 프로브는 프로브 헤드를 관통하고 프로브 축에 삽입설치되며, 서브 프로브는 케이블에 전기적으로 연결되고 프로브 축과 전기적으로 절연되며, 서브 프로브는 프로브 축의 제1 전기적 연결부에서 멀리 떨어진 일측에 위치한다. 제2 전기적 연결부는 제1 전기적 연결부에 대응된다. 프로브 헤드가 피측정물을 눌러 프로브 축이 제1 전기적 연결부를 슬라이딩시켜 접촉 위치에 위치시킬 경우, 제1 전기적 연결부는 제2 전기적 연결부에 전기적으로 접촉하고 프로브 헤드는 프로브 축을 통해 제2 전기적 연결부에 전기적으로 연결된다.

Description

전류 프로브{ELECTRICAL PROBE}

본 발명은 전류 프로브에 관한 것이고, 특히 대응되는 제1 전기적 연결부와 제2 전기적 연결부를 구비하는 전류 프로브에 관한 것이다.

현재 업계에는 저항값 또는 전압값 등 전기적 특성을 측정하기 위한 기기가 있고, 특히 고전류(예를 들면 수십 암페어 내지 수백 암페어)를 이용하는 측정 기기가 있다. 제품 판매 전에, 업자들은 측정 기기의 다수의 프로브 그룹을 이용하여 다수의 포인트에 대해 전기적 성능 테스트를 진행하여 제품의 수율 및 신뢰도를 확인한다. 통상적으로, 측정 기기의 프로브 그룹은 플레이트 부재에 고정되고 구동단 및 감지단을 구비하며, 구동단 및 감지단은 각각 전선에 연결된다. 프로브 그룹에 피측정물이 접촉되면, 고전류가 구동단을 거쳐 피측정물에 흘러가고 다시 감지단을 거쳐 돌아와 해당 피측정물의 전압을 지나면서 해당 피측정물의 전기적 특성을 감지하게 된다.

구동단을 연결하는 전선은 고전류 출력 부분이기에 전선이 비교적 두꺼워 다수의 프로브 그룹을 구비하는 측정 장치에서 전선이 한데 모여 고전류가 전선을 흐를때 열이 잘 방출되지 않고 전선 중의 저항값이 높아져 고전류의 흐름을 방해하게 된다. 또한, 프로브 그룹이 피측정물에 접촉되어 슬라이딩 이동 시, 측정장치 내에 위치한 전선이 이에 따라 이동하여 전선이 측정 장치 내부의 기타 소자와 마모되어 손상될 수 있고 나아가 전선이 단로되어 측정 장치가 효력을 잃게 될 수 있다. 이밖에, 측정기기 수리 시, 수리기사는 프로브 그룹에 연결된 전선을 분해하는데 수리가 끝난 후 수리기사는 전선을 원래 양극 단자에 연결하여야 하는데 실수로 음극 단자에 연결하여 측정기기가 효력을 잃게 될 수 있다.

본 발명은 선행기술 중 측정 장치 내의 전선이 한데 모여 열이 잘 방출되지 않고 프로브 헤드의 이동에 따라 전선이 손상되기 쉬우며 전선이 잘못 연결되기 쉬운 문제를 해결하는 전류 프로브를 제공한다.

본 발명의 일 실시예에 따른 전류 프로브는 기판에 조립설치되고 케이블에 전기적으로 연결되어 피측정물의 전기적 특성을 측정한다. 전류 프로브는 프로브 어셈블리 및 제2 전기적 연결부를 포함한다. 프로브 어셈블리는 프로브 축, 제1 전기적 연결부, 프로브 헤드 및 서브 프로브를 포함한다. 프로브 축은 기판에 이동가능하게 관통설치되고, 프로브 축은 케이블이 관통설치되는 케이블 삽입구를 구비한다. 제1 전기적 연결부는 프로브 축에 설치되고 전기적으로 연결된다. 프로브 헤드는 프로브 축에서 제1 전기적 연결부에 대응되는 일단에 설치되고 프로브 축에 전기적으로 연결되며 프로브 헤드는 피측정물을 누른다. 서브 프로브는 프로브 헤드를 관통하고 프로브 축에 삽입설치되며 서브 프로브는 케이블에 전기적으로 연결되고 프로브 축과 전기적으로 절연되며, 서브 프로브는 프로브 축의 제1 전기적 연결부에서 멀리 떨어진 일측에 위치한다. 제2 전기적 연결부는 제1 전기적 연결부에 대응된다. 프로브 헤드가 피측정물을 눌러 제1 전기적 연결부를 분리 위치에서 접촉 위치로 이동시킬 경우, 제1 전기적 연결부와 제2 전기적 연결부는 서로 분리된 상태에서 서로 접촉된 상태로 변화되어 프로브 헤드가 프로브 축과 제1 전기적 연결부를 통해 제2 전기적 연결부에 전기적으로 연결되도록 한다.

상기 실시예의 전류 프로브에 따르면, 프로브 헤드에 전류를 전송하는 전선이, 프로브 축과 함께 이동하는 제1 전기적 연결부에 조립설치되는 것이 아니라 고정하여 움직이지 않는 제2 전기적 연결부에 조립설치되기에, 프로브 헤드와 피측정물이 당첩하여 프로브 축에 대해 슬라이딩할 경우 전선이 프로브 축과 함께 슬라이딩하지 않고 전선이 마모될 가능성도 낮아질 수 있다.

이밖에, 제1 전기적 연결부와 제2 전기적 연결부로 부분적인 전선을 대체하여, 프로브 어셈블리 부근의 공간에 고전류를 전송하기 위한 전선이 설치되지 않기에 측정 장치 내 전선이 한데 모여 방열이 쉽지 않은 문제를 개선할 수 있다.

또한, 전선이 제1 전기적 연결부에 조립설치되는 것이 아니라 제2 전기적 연결부에 조립설치되기에 수리기사가 프로브 어셈블리를 탈착 시 전선을 제거하고 다시 배선할 필요가 없기에 전선이 잘못 연결될 가능성을 낮출 수 있다.

이상 본 발명의 내용에 대한 설명 및 이하 실시양태에 대한 설명은 본 발명의 원리를 예시적으로 해석하기 위한 것이고, 본 발명의 특허청구범위를 더 잘 설명하기 위한 것이다.

도 1은 본 발명 제1 실시예에 따른 전류 프로브가 기판에 조립설치된 사시도이다.
도 2는 도 1의 프로브 어셈블리가 기판에서 분해된 분해도이다.
도 3은 도 1의 부분 단면도이다.
도 4는 도 1의 전기적 연결부가 접촉 위치에 위치한 단면도이다.
도 5는 본 발명 제2 실시예에 따른 전류 프로브의 사시도이다.
도 6은 본 발명 제3 실시예에 따른 전류 프로브의 사시도이다.

도 1 내지 도 3을 참조하면, 도 1은 본 발명 제1 실시예에 따른 전류 프로브가 기판에 조립설치된 사시도이고, 도 2는 도 1의 프로브 어셈블리가 기판에서 분해된 분해도이며, 도 3은 도 1의 부분 단면도이다.

본 실시예의 전류 프로브(10)의 개수는 다수이고 절연 재질로 이루어진 기판(11)에 조립설치된다. 각각의 전류 프로브(10)는 모두 케이블(12)에 전기적으로 연결되고, 케이블(12)을 통해 피측정물(13)이 리턴한 전류를 전송한다. 전류 프로브(10)는 예를 들면 고전류(예를 들면 수십 암페어 내지 수백 암페어)를 통해 피측정물(13)의 예를 들면 저항값 또는 전압값 등의 전기적 특성을 측정한다. 이하의 설명은 그중의 하나의 전류 프로브(10)를 예로 든다.

전류 프로브(10)는 프로브 어셈블리(100) 및 제2 전기적 연결부(200)를 포함한디. 프로브 어셈블리(100)는 프로브 축(110), 외부 탄성 부재(120), 두 개의 고정 부재(130), 두 개의 절연 부재(140), 프로브 슬리브(150), 프로브 헤드(160), 서브 프로브(170), 제1 전기적 연결부(180), 내부 탄성 부재(190) 및 스냅링(195)을 포함한다.

프로브 축(110)은 기판(11)에 이동가능하게 관통설치되고 프로브 축(110)은 축방향으로 연결되는 제1 축부(111) 및 제2 축부(112)를 포함한다. 제1 축부(111)와 제2 축부(112)는 각각 기판(11)의 대응되는 양측에 돌출된다. 제2 축부(112)는 돌출 블록(1121)을 구비한다. 제2 축부(112)는 외부 탄성 부재(120)에 관통설치되고, 돌출 블록(1121)과 기판(11)은 각각 외부 탄성 부재(120)의 대응되는 양측에 접촉된다. 고정 부재(130)는 모두 제1 축부(111)에 조립설치되고, 고정 부재(130)는 기판(11)의 제2 축부(112)에서 멀리 떨어진 일측에 접촉된다.

본 실시예에서, 고정 부재(130)의 개수가 하나인 경우를 예로 들었으나 본 발명을 한정하기 위한 것이 아니다. 기타 실시예에서, 고정 부재의 개수는 다수로 조절할 수 있다.

제1 축부(111)는 케이블(12)이 삽입설치되는 케이블 삽입구(1111)를 구비한다. 제2 축부(112)는 제1 축부(111)에서 멀리 떨어진 일단으로부터 제1 축부(111)를 향해 연장되고 케이블 삽입구(1111)와 연통되는 수용홈(1122)을 더 구비한다. 두 개의 절연 부재(140)와 프로브 슬리브(150)는 모두 수용홈(1122)에 설치되고, 프로브 슬리브(150)는 두 개의 절연 부재(140)에 관통설치되며, 두 개의 절연 부재(140)는 모두 제2 축부(112) 및 프로브 슬리브(150) 사이에 클램핑된다. 프로브 헤드(160)는 제2 축부(112)의 제1 축부(111)에서 멀리 떨어진 일단에 설치되어 프로브 축(110)에 전기적으로 연결되며 프로브 헤드(160)는 피측정물(13)에 접촉된다. 서브 프로브(170)는 프로브 헤드(160)를 관통하여 제2 축부(112)의 수용홈(1122) 내에 위치한 프로브 슬리브(150)에 삽입설치되고 케이블(12)은 프로브 슬리브(150)에 전기적으로 연결되어, 서브 프로브(170)가 프로브 슬리브(150)를 통해 케이블(12)에 전기적으로 연결되도록 하고, 프로브 슬리브(150)는 두 개의 절연 부재(140)를 통해 제2 축부(112)에 전기적으로 절연된다.

제1 전기적 연결부(180)는 실린더부(181) 및 전기전도부(182)를 포함한다. 실린더부(181)는 슬롯(1811), 단면(1812), 홈 저면(1813) 및 다수의 그루브(1814)를 구비한다. 단면(1812)과 슬롯(1811)은 등을 마주하고, 홈 저면(1813)은 슬롯(1811) 내에 위치하여 단면(1812)과 등을 마주한다. 이러한 그루브(1814)는 실린더부(181) 중 단면(1812)에 대응되는 일단으로부터 단면(1812)을 향해 연장되고, 실린더부(181)를 다수의 클램핑부(1815)로 나눈다. 프로브 축(110)의 제1 축부(111)는 실린더부(181)의 슬롯(1811)에 이동가능하게 삽입설치되고, 제1 전기적 연결부(180)는 프로브 축(110)에 전기적으로 연결된다. 내부 탄성 부재(190)가 실린더부(181)의 슬롯(1811) 내에 설치되고 내부 탄성 부재(190)의 대응되는 양단은 각각 홈 저면(1813) 및 제1 축부(111)에 접촉된다. 스냅링(195)은 이러한 클램핑부(1815)를 스냅핑하여 이러한 클램핑부(1815)와 함께 제1 축부(111)를 고정한다. 전기전도부(182)는 단면(1812)에 설치되고 전기전도부(182)는 다수의 테이퍼된 구조체(1821)를 구비하며. 제2 전기적 연결부(200)는 제1 전기적 연결부(180)의 테이퍼된 구조체(1821)와 대응된다.

본 실시예에서, 제2 전기적 연결부(200)는 전류를 제1 전기적 연결부(180)에 전도하여, 전류가 프로브 축(110)를 거쳐 제1 전기적 연결부(180)의 일단에 대응되는 프로브 헤드(160)에 전도되도록 한다. 이밖에, 본 실시예의 제2 전기적 연결부(200)의 재질은 예를 들면 양호한 전기적 전도성을 지닌 금속 구리판일 수 있고, 제1 전기적 연결부(180)의 끝으로 갈수록 점점 가늘어지는 테이퍼된 구조체(1821)와 제2 전기적 연결부(200) 사이에 다수의 포인트의 전기적 접촉이 형셩되어 제1 전기적 연결부(180)와 제2 전기적 연결부(200) 사이의 교차 압력을 저감시킨다

본 실시예에서, 스냅링(195)이 이러한 클램핑부(1815)를 스냅핑하는 것은 제1 축부(111)의 설치에 대한 고정을 보강하기 위한 것이나 이에 한정되는 것은 아니다. 기타 실시예에서, 스냅링을 설치하지 않을 수도 있다. 즉 클램핑부만 이용하여 제1 축부를 클램핑할 수 있다.

본 실시예에서, 프로브 헤드(160)가 피측정물(13)을 눌러 제1 전기적 연결부(180)를 분리 위치에서 접촉 위치로 이동시킬 경우, 제1 전기적 연결부(180)와 제2 전기적 연결부(200)는 서로 분리된 상태에서 서로 접촉된 상태로 변화되어 프로브 헤드(160)가 프로브 축(110)과 제1 전기적 연결부(180)를 통해 제2 전기적 연결부(200)에 전기적으로 연결되도록 한다.

이어서 전류 프로브(10)가 피측정물(13)의 전기적 특성을 측정하는 과정에 대해 설명하기로 한다. 도 3 및 도 4를 참조하면, 도 4는 도 1의 전기적 연결부가 접촉 위치에 위치한 단면도이다.

피측정물(13)의 전기적 특성을 측정하고자 할 경우, 전류 프로브(10)의 프로브 헤드(160) 및 서브 프로브(170)가 피측정물(13)에 접촉되어, 프로브 축(110)가 제2 전기적 연결부(200)의 방향(D1)을 향해 이동하여, 프로브 축(110) 중 프로브 헤드(160)의 타단에 설치된 제1 전기적 연결부(180)의 테이퍼된 구조체(1821)가 제2 전기적 연결부(200)에 전기적으로 접촉되도록 함으로써, 제1 전기적 연결부(180)가 접촉 위치에 위치하도록 한다. 이때, 프로브 헤드(160)는 프로브 축(110) 및 제1 전기적 연결부(180)를 통해 제2 전기적 연결부(200)에 전기적으로 연결되게, 제2 전기적 연결부(200)로부터 입력된 전류가 제1 전기적 연결부(180) 및 프로브 축(110)를 거쳐 프로브 헤드(160)와 접촉된 피측정물(13)에 전송된다. 이어서, 전류가 프로브 헤드(160)를 거쳐 피측정물(13)을 거친 후, 전류는 다시 서브 프로브(170)로부터 서브 프로브(170)에 전기적으로 연결된 케이블(12)에 흘러가고, 전류가 다시 전류 프로브(10)를 구비하는 측정 장치에 흘러가 피측정물(13)의 전기적 특성을 분석해 얻는다.

전술한 프로브 헤드(160)가 피측정물(13)에 접촉될 경우, 프로브 헤드(160)는 피측정물(13)의 누름에 의해 방향(D1)을 따라 이동하게 되고, 제1 전기적 연결부(180)가 제2 전기적 연결부(200)에 접촉되게 한다. 또한 제1 전기적 연결부(180)와 제2 전기적 연결부(200)가 접촉될 경우, 실린더부의 슬롯 내에 설치된 내부 탄성 부재(190)는 제1 전기적 연결부와 제2 전기적 연결부가 접촉되는 충격력을 흡수하여 전류 프로브(10)의 사용 수명을 연장시킨다.

이밖에, 내부 탄성 부재(190)의 탄성 변위량은 프로브 축(110)의 제조 시에 발생한 치수 오차를 흡수할 수 있기에, 프로브 축(110)이 피측정물(13)에 접촉되어 접촉 위치로 슬라이딩 시 제1 전기적 연결부(180)와 제2 전기적 연결부(200)의 전기적 접촉을 보장한다.

전술한 프로브 축(110)의 이동 과정에서, 프로브 축(110)의 제2 축부(112)의 돌출 블록(1121)는 방향(D1)을 향해 외부 탄성 부재(120)를 압축한다. 피측정물(13)의 전기적 특성을 얻은 후, 프로브 헤드(160)가 피측정물(13)를 이탈하여 외부 탄성 부재(120)를 압축했던 탄력을 방출하여 외부 탄성 부재(120)가 프로브 축(110)의 제2 축부(112)의 돌출 블록(1121)을 밀어 프로브 축(110)이 방향(D1)의 반대 방향을 향해 이동하고, 제1 전기적 연결부(180)도 프로브 축(110)의 이동에 의해 제2 전기적 연결부(200)에서 이탈된다. 본 실시예에서, 외부 탄성 부재(120)의 설치는 전류 프로브(10)가 피측정물(13)을 측정한 후 측정 전의 원 위치로 돌아오도록 도와줄 수 있다. 여기서, 프로브 축(110)이 방향(D1)의 반대 방향을 향해 이동하는 과정에서, 제1 전기적 연결부(180)가 제2 전기적 연결부(200)에서 이탈되면 내부 탄성 부재(190)를 압축했던 탄력이 방출되고, 제1 전기적 연결부(180)가 프로브 축(110)의 제1 축부(111)에서 멀어지도록 밀어낸다. 이동하고자 하는 프로브 축(110)가 고정 부재(130)를 기판(11)에 접촉시키면 제1 전기적 연결부(180)가 도 3에 도시된 분리 위치에 위치하게 된다.

본 실시예에서, 전류를 프로브 헤드(160)에 전류를 전송하는 전선이 프로브 축(110)과 함께 이동하는 제1 전기적 연결부(180)에 조립설치되는 것이 아니라 고정하여 움직이지 않는 제2 전기적 연결부(200)에 조립설치되기에, 프로브 헤드(160)와 피측정물(13)이 접촉하여 프로브 축(110)에 대해 슬라이딩할 경우 전선이 프로브 축(110)과 함께 슬라이딩하지 않고 전선이 마모될 가능성도 낮아질 수 있다

이밖에, 제1 전기적 연결부(180)와 제2 전기적 연결부(200)로 부분적인 전선을 대체하여, 프로브 어셈블리(100) 부근의 공간에 고전류를 전송하기 위한 전선이 설치되지 않기에 측정 장치 내 전선이 한데 모여 방열이 쉽지 않은 문제를 개선할 수 있다.

또한, 전선이 제1 전기적 연결부(180)에 조립설치되는 것이 아니라 제2 전기적 연결부(200)에 조립설치되기에 수리기사가 프로브 어셈블리를 탈착 시 전선을 제거하고 다시 배선할 필요가 없기에 전선이 잘못 연결될 가능성을 낮출 수 있다.

본 실시예에서, 서브 프로브(170)는 삽입/인출이 가능하게 프로브 슬리브(150)에 삽입설치되기에 서브 프로브(170)는 전류 프로브(10)를 거쳐 피측정물(13)에 장시간 반복적으로 접촉되어 마모된 후 전류 프로브(10)를 탈착할 필요가 없이 서브 프로브(170)를 교체할 수 있어 서브 프로브(170)의 교체 편의성이 향상된다. 이밖에, 본 실시예의 전류 프로브(10)에서, 스냅링(195)은 분리 가능하게 제1 전기적 연결부(180)의 설치를 스냅핑하기에, 제1 전기적 연결부(180)의 테이퍼된 구조체(1821)가 전류 프로브(10)에서 장시간 사용 후 마모가 발생하는 경우, 스냅링(195)을 탈착하는 방식으로 제1 전기적 연결부(180)를 교체할 수 있어 제1 전기적 연결부(180)의 교체 편의성이 향상된다.

전술한 실시예에서, 제1 전기적 연결부(180)의 테이퍼된 구조체(1821)는 실린더부(181)의 단면(1812)에 설치되는 구조로 설치되었으나 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니다. 도 5 및 도 6을 참조하면, 도 5는 본 발명 제2 실시예에 따른 전류 프로브의 사시도이고, 도 6은 본 발명 제3 실시예에 따른 전류 프로브의 사시도이다.

도 5에 도시된 바와 같이, 본 실시예의 전류 프로브(10’)에서, 제1 축부(111’)의 제2 축부(112’)에서 멀리 떨어진 일단은 제1 전기적 연결부(180’)의 실린더부(181’)의 슬롯(1811’)에 고정되고, 전기전도부(182’)의 개수는 다수이다. 각각의 전기전도부(182’)는 서로 연결된 삽입설치 기둥(1822’), 슬라이딩 기둥(1823’) 및 전기전도 헤드(1824’)를 포함하고, 삽입설치 기둥(1822’)과 전기전도 헤드(1824’)는 각각 슬라이딩 기둥(1823’)의 대응되는 양단에 연결된다.

이러한 삽입설치 기둥(1822’)는 모두 실린더부(181’)의 단면(1812’)에 삽입설치되고, 이러한 슬라이딩 기둥(1823’)은 각각 이러한 삽입설치 기둥(1822’)에 대해 슬라이딩할 수 있으며, 이러한 테이퍼된 구조체(1821’)는 전기전도 헤드(1824’)에 위치한다. 제1 전기적 연결부(180’)가 접촉 위치에 위치할 경우, 이러한 테이퍼된 구조체(1821’)는 제2 전기적 연결부(도 4에 도시된 것과 유사함)에 전기적으로 접촉된다.

도 6에 도시된 바와 같이, 본 실시예의 전류 프로브(10’’)에서, 제1 전기적 연결부(180’’)는 다수의 조립기둥부(183’’)를 더 포함하고, 제1 전기적 연결부(180’’)의 실린더부(181’’)는 서로 연결된 제1 기둥부(1813’’) 및 제2 기둥부(1814’’)를 포함하며, 제1 기둥부(1813’’)의 직경(R1)은 제2 기둥부(1814’’)의 직경(R2)보다 작다. 이러한 조립기둥부(183’’)는 제1 기둥부(1813’’)를 둘러싸고 제2 기둥부(1814’’)에 연결되며, 단면(1812’’)은 제2 기둥부(1814’’)의 제1 기둥부(1813’’)에서 멀리 떨어진 일측에 위치하고 슬롯(1811’’)은 제1 기둥부(1813’’)에 위치한다. 전기전도부(182’’)의 개수는 다수이고, 각각의 전기전도부(182’’)는 삽입설치 기둥(1822’’) 및 전기전도 헤드(1823’’)를 포함하고, 이러한 테이퍼된 구조체(1821’’)는 이러한 전기전도 헤드(1823’’)에 위치하며, 이러한 삽입설치 기둥(1822’’)은 각각 단면(1812’’)을 이동가능하게 관통하여 이러한 조립기둥부(183’’)에 삽입된다. 제1 축부(111’’)의 제2 축부(112’’)에서 멀리 떨어진 일단은 슬롯(1811’’)에 고정된다. 제1 전기적 연결부(180’’)가 접촉 위치에 위치할 경우 이러한 전기전도 헤드(1823’’)는 제2 전기적 연결부(도 4에 도시된 것과 유사함)에 전기적으로 접촉된다.

제1 전기적 연결부 슬롯 내에 설치된 내부 탄성 부재는 프로브 축에 의해 이동하는 제1 전기적 연결부가 제2 전기적 연결부에 접촉하는 힘을 효과적으로 완화시켜, 제1 전기적 연결부의 사용 수명을 효과적으로 연장한다. 이밖에, 내부 탄성 부재의 탄성 변위량은 프로브 축의 제조 시 발생한 사이즈 오차를 흡수할 수 있기에, 프로브 축이 피측정물에 접촉되어 접촉 위치로 슬라이딩 시 제1 전기적 연결부와 제2 전기적 연결부의 전기적 접촉을 보장한다. 또한, 외부 탄성 부재의 설치는 전류 프로브가 피측정물을 측정한 후 측정 전의 원 위치로 돌아오도록 도와줄 수 있다.

비록 전술한 바람직한 실시예에 의해 본 발명을 설명하였으나 이는 본 발명의 한정하기 위한 것이 아니며 당업자는 본 발명의 사상 및 범위를 벗어나지 않는 안에서 다양한 변경 또는 수식을 진행할 수 있으며 본 발명의 특허보호범위는 본 명세서에 첨부된 청구범위에 의해 정의되어야 할 것이다.

10、10', 10'': 전류 프로브 11: 기판
12: 케이블 13: 피측정물 100: 프로브 어셈블리
110: 프로브 축 111、111': 제1 축부 1111: 케이블 삽입구
112、112': 제2 축부 1121: 돌출 블록 1122: 수용홈
120: 외부 탄성 부재 130: 고정 부재 140: 절연 부재
150: 프로브 슬리브 160: 프로브 헤드
170: 서브 프로브 180、180', 180'': 제1 전기적 연결부
181、181', 181'': 실린더부 1811、1811',1811'': 슬롯
1812、1812', 1812'': 단면 1813: 홈 저면
1813'': 제1 기둥부 1814'': 제2 기둥부 1814: 그루브
1815: 클램핑부 182,182',182'': 전기전도부
1821、1821', 1821'': 테이퍼된 구조체 1822', 1822'':삽입설치기둥
1823': 슬라이딩 기둥 1824',1823'': 전기전도 헤드
183'': 조립기둥부 190: 내부 탄성 부재 195: 스냅링
200: 제2 전기적 연결부 R1,R2: 직경 D1: 방향

Claims

기판에 조립설치되고 케이블에 전기적으로 연결되어 피측정물의 전기적 특성을 측정하기 위한 전류 프로브에 있어서,
상기 기판에 이동가능하게 관통설치되고, 상기 케이블이 관통설치되는 케이블 삽입구를 구비하는 프로브 축;
상기 프로브 축에 전기적으로 연결되는 제1 전기적 연결부;
상기 프로브 축에서 상기 제1 전기적 연결부에 대응되는 일단에 설치되고 상기 프로브 축에 전기적으로 연결되어 상기 피측정물을 누르기 위한 프로브 헤드;
상기 프로브 헤드를 관통하고 상기 프로브 축에 삽입설치되며, 상기 케이블에 전기적으로 연결되고 상기 프로브 축과 전기적으로 절연되며, 상기 프로브 축의 상기 제1 전기적 연결부에서 멀리 떨어진 일측에 위치하는 서브 프로브; 및
상기 제1 전기적 연결부에 대응되는 제2 전기적 연결부를 포함하는 프로브 어셈블리를 포함하고,
상기 프로브 헤드가 상기 피측정물을 눌러 상기 제1 전기적 연결부를 분리 위치에서 접촉 위치로 이동시킬 경우, 상기 제1 전기적 연결부와 상기 제2 전기적 연결부는 서로 분리된 상태에서 서로 접촉된 상태로 변화되어 상기 프로브 헤드가 상기 프로브 축과 상기 제1 전기적 연결부를 통해 상기 제2 전기적 연결부에 전기적으로 연결되도록 하는 전류 프로브.
제1항에 있어서, 상기 프로브 어셈블리는 외부 탄성 부재 및 적어도 하나의 고정 부재를 더 포함하고, 상기 프로브 축은 축방향으로 연결되는 제1 축부 및 제2 축부를 포함하며, 상기 제1 축부와 상기 제2 축부는 각각 상기 기판의 대응되는 양측에 돌출되고, 상기 제1 전기적 연결부는 상기 제1 축부에 조립설치되며, 상기 케이블 삽입구는 상기 제1 축부에 위치하고, 상기 프로브 헤드는 상기 제2 축부의 상기 제1 축부에서 멀리 떨어진 일단에 설치되며, 상기 서브 프로브는 상기 제2 축부에 삽입설치되고, 상기 제2 축부는 돌출 블록을 구비하며, 상기 제2 축부는 상기 외부 탄성 부재에 관통설치되어 상기 돌출 블록과 상기 기판이 각각 상기 외부 탄성 부재의 대응되는 양측에 접촉되도록 하고, 상기 적어도 하나의 고정 부재는 상기 제1 축부에 조립설치되고 상기 기판에 분리 가능하게 접촉되며, 상기 제1 전기적 연결부가 상기 분리 위치에 위치할 경우 상기 적어도 하나의 고정 부재가 상기 기판에 접촉되는 전류 프로브.
제2항에 있어서, 상기 제2 축부는, 상기 제1 축부에서 멀리 떨어진 일단으로부터 상기 제1 축부를 향해 연장되고 상기 케이블 삽입구와 연통되는 수용홈을 더 구비하고, 상기 프로브 어셈블리는, 상기 수용홈에 설치되는 프로브 슬리브를 더 포함하며, 상기 서브 프로브는 상기 프로브 슬리브에 삽입설치되어 상기 수용홈 내에 위치하고, 상기 케이블은 상기 프로브 슬리브에 전기적으로 연결되어, 상기 서브 프로브가 상기 프로브 슬리브를 통해 상기 케이블에 전기적으로 연결되도록 하는 전류 프로브.
제3항에 있어서, 상기 프로브 어셈블리는 상기 수용홈 내에 설치되는 적어도 하나의 절연 부재를 더 포함하고, 상기 프로브 슬리브가 상기 적어도 하나의 절연 부재를 관통하여 상기 적어도 하나의 절연 부재가 상기 제2 축부 및 상기 프로브 슬리브 사이에 클램핑되도록 하며, 상기 프로브 슬리브는 상기 적어도 하나의 절연 부재를 통해 상기 제2 축부와 전기적으로 절연되는 전류 프로브.
제2항에 있어서, 상기 제1 전기적 연결부는 실린더부 및 적어도 하나의 전기전도부를 포함하고, 상기 실린더부는 슬롯 및 상기 슬롯과 등을 마주하여(back to back) 설치되고 상기 슬롯에 비해 상기 제1 축부에서 더 멀리 떨어진 단면을 구비하며, 상기 적어도 하나의 전기전도부는 상기 단면에 설치되고, 상기 제1 축부는 상기 슬롯에 삽입설치되며, 상기 제1 전기적 연결부가 상기 접촉위치에 위치할 경우, 상기 적어도 하나의 전기전도부는 상기 제2 전기적 연결부에 전기적으로 접촉되는 전류 프로브.
제5항에 있어서, 상기 프로브 어셈블리는 스냅링을 더 포함하고 상기 실린더부는 다수의 그루브를 더 구비하며, 상기 그루브들은 상기 단면의 대응되는 일단으로부터 상기 단면을 향해 연장되고 상기 실린더부를 다수의 클램핑부로 나누며, 상기 클램핑부들은 상기 제1 축부를 클램핑하고, 상기 스냅링은 상기 클램핑부들을 스냅핑(Snapping)하는 전류 프로브.
제5항에 있어서, 상기 프로브 어셈블리는 내부 탄성 부재를 더 포함하고, 상기 제1 축부는 상기 실린더부의 상기 슬롯에 이동가능하게 삽입설치되며, 상기 실린더부가 상기 단면과 등을 마주한 일측에는 홈 저면이 구비되고, 상기 내부 탄성 부재는 상기 슬롯에 설치되며 상기 내부 탄성 부재의 대응되는 양단은 각각 상기 홈 저면 및 상기 제1 축부에 접촉되고, 상기 제1 전기적 연결부가 상기 접촉 위치에 위치할 경우, 상기 제1 축부는 상기 제2 전기적 연결부를 향해 상기 내부 탄성 부재를 압축하는 전류 프로브.
제5항에 있어서, 상기 제1 축부의 상기 제2 축부에서 멀리 떨어진 일단은 상기 제1 전기적 연결부의 상기 실린더부의 상기 슬롯에 고정되고, 상기 적어도 하나의 전기전도부의 개수는 다수이며, 각각의 상기 전기전도부는 삽입설치 기둥, 슬라이딩 기둥 및 전기전도 헤드를 포함하고, 상기 삽입설치 기둥과 상기 전기전도 헤드는 각각 상기 슬라이딩 기둥의 대응되는 양단에 연결되며, 상기 삽입설치 기둥들은 상기 단면에 삽입설치되고, 상기 전기전도 헤드들은 각각 상기 슬라이딩 기둥들에 대해 슬라이딩될 수 있으며, 상기 제1 전기적 연결부가 상기 접촉 위치에 위치할 경우, 상기 전기전도 헤드들은 상기 제2 전기적 연결부에 전기적으로 접촉되는 전류 프로브.
제5항에 있어서, 상기 제1 전기적 연결부는 다수의 조립기둥부를 더 포함하고, 상기 제1 전기적 연결부의 상기 실린더부는 서로 연결되는 제1 기둥부 및 제2 기둥부를 포함하며, 상기 제1 기둥부의 직경은 상기 제2 기둥부의 직경보다 작고, 상기 조립기둥부들은 상기 제1 기둥부를 둘러싸고 상기 제2 기둥부에 연결되며, 상기 단면은 상기 제2 기둥부의 상기 제1 기둥부에서 멀리 떨어진 일측에 위치하고, 상기 슬롯은 상기 제1 기둥부에 위치하며, 상기 적어도 하나의 전기전도부의 개수는 다수이고, 각각의 상기 전기전도부는 삽입설치 기둥 및 전기전도 헤드를 포함하며, 상기 삽입설치 기둥들은 각각 상기 단면을 이동가능하게 관통하여 상기 조립기둥부들에 삽입되고, 상기 제1 축부의 상기 제2 축부에서 멀리 떨어진 일단은 상기 슬롯에 고정되며, 상기 제1 전기적 연결부가 상기 접촉 위치에 위치할 경우, 상기 전기전도 헤드들은 상기 제2 전기적 연결부에 전기적으로 접촉되는 전류 프로브.
제5항에 있어서, 상기 제1 전기적 연결부의 상기 전기전도부는 다수의 테이퍼된 구조체를 구비하고, 상기 제1 전기적 연결부가 상기 접촉 위치에 위치할 경우, 상기 테이퍼된 구조체들은 상기 제2 전기적 연결부에 전기적으로 접촉되는 전류 프로브.