KR102005808B1 - Ｍｅｍｓ 장치용으로 병합된 레그 및 반가요성 고정장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 일반적으로 앵커 영역에 함께 결합된 복수의 캔틸레버 및/또는 상기 캔틸레버의 중앙 영역에 결합된 레그를 가지는 MEMS 장치에 관한 것이다. 상기 레그는 각각의 캔틸레버가 동일한 전압에서 RF 전극 위로부터 이동/릴리스할 수 있도록 보장한다. 상기 앵커 영역 결합은 모든 캔틸레버가 함께 이동하도록 캔틸레버의 모든 섹션에서 기계적 강성도와 일치시킨다.

Description

ＭＥＭＳ 장치용으로 병합된 레그 및 반가요성 고정장치{MERGED LEGS AND SEMI-FLEXIBLE ANCHORING FOR MEMS DEVICE}

본 발명의 구현예는 일반적으로 MEMS 장치를 고정시키고 스위칭 소자들이 함께 스위칭되는 것을 보장하는 MEMS 장치 및 구조에 관한 것이다.

함께 스위칭(switch, 전환)시켜야하는 MEMS 장치의 어레이를 제조할 때, 상기 장치를 가공할 때 변동이 있게 되면 상이한 스위치에 대해 상이한 역치 전압이 산출된다. 가공상의 변동은 에칭 공정의 리소그래피에서의 변동으로 인해 측면 치수를 변화시킬 수 있다. 적층(deposition; 증착, 침착)에서 변동이 있게되면 재료의 두께가 달라지게 되고, 착상 영역(landing regiouns)의 적층에서 변동이 있게되면 상이한 스위치하에서 조도값(roughness value)이 달라지고, 따라서 접착(adhesion) 또는 부착(stiction) 되는 양이 달라진다. 디지털 가변 커패시터를 제조할 때는, 대형 정전용량 변화를 얻기 위해 대형 영역의 장치를 스위칭하고자 할 수 있다. 대형 영역하에서 에칭하기는 어려우며, 대형 영역의 장치를 매우 두껍게 만들지 않으면서 지지하기란 어려워서 다수의 소형 커패시터 MEMS 스위치를 만들고 이들을 함께 스위칭시키는 것이 유리하다. 이것이 갖는 문제점은 전술한 변동이 상이한 장치에 대해 상이한 스위칭 전압을 초래한다는 것이다.

또한, MEMS 가변 커패시터는 두 평판들(즉, 전극들) 중의 하나 이상이 이동성인 두 평판들(멤브레인(membrane)으로도 불림)을 사용하여 제조될 수 있다. 두 전극들이 서로 가까워짐에 따라, 정전용량이 증가한다. 이동성 전극은 순응성 기계 지지체로 고정시킨다. 정전기력을 사용하여 상기 지지체의 기계적 강성도를 극복하고 멤브레인을 이동시켜 정전용량을 변화시킬 수 있다.

상기 기계 지지체의 강성도는 기계적 응력에 매우 민감하며, 그러므로, 통상의 기계 지지체에 대한 작동성 전기 조건은 대형 변동, 전압 분포의 확대 및 신뢰도의 감소를 겪을 수 있다. 이것은 제조 중에 응력을 제어함으로써 부분적으로 수정될 수 있다. 그러나, 응력을 조절하는 것이 항상 쉽지는 않다.

그러므로, 전술한 응력 문제를 검토하고 스위치 어레이가 함께 스위칭될 것을 보장하는 MEMS 장치에 대한 수요가 당해 분야에 존재한다.

본 발명은 일반적으로 앵커 영역에 함께 결합된 복수의 캔틸레버 (cantilever) 및/또는 상기 캔틸레버의 중앙 영역에 결합된 레그(leg)를 가지는 MEMS 장치에 관한 것이다. 상기 레그는 각각의 캔틸레버가 동일한 전압에서 RF 전극 위로부터 이동/릴리스할 수 있도록 보장한다. 상기 앵커 영역 결합은 모든 캔틸레버가 함께 이동하도록 캔틸레버의 모든 섹션에서 기계적 강성도와 일치시킨다.

일 구현예로, MEMS 장치는 제1 캔틸레버; 제2 캔틸레버; 및 상기 제1 캔틸레버 및 상기 제2 캔틸레버 둘다에 결합된 하나 이상의 레그를 포함하며, 상기 하나 이상의 레그는 또한 상기 제1 캔틸레버 및 상기 제2 캔틸레버 둘다로부터 이격된 앵커 영역에 결합된다.

본 발명의 특징들을 상세히 이해할 수 있도록, 상기에 간략히 요약한 본 발명의 보다 구체적인 내용이 구현예를 통해 설명되어 있는데, 그 일부가 첨부 도면에 예시되어 있다. 그러나, 첨부 도면은 본 발명의 대표적인 구현예를 예시할 뿐이므로, 본 발명이 다른 동등하게 유효한 구현예에 대해 인정될 수 있는 범위를 제한하는 것으로 간주되어서는 안된다.
도 1a 및 도 1b는 4개의 MEMS 캔틸레버 장치를 도시한 것이다.
도 2는 4개의 캔틸레버가 병합된 레그를 이용하여 어떻게 서로 이동하고 보조할 수 있는지를 도시한 것이다.
도 3a는 스터브가 없는 구조에 대한 편향의 시뮬레이션이다.
도 3b는 스터브가 있는 구조에 대한 편향의 시뮬레이션이다.
도 4는 평행 슬롯이 있는 반가요성 앵커의 실시예 1을 도시한 것이다.
도 5는 흐린 패치로 표시한 실시예 1에 대한 강성화 엔드-스터브의 가능한 위치를 도시한 것이다.
도 6은 후속 레벨의 평면성을 증가시키기 위한 모형 충전재(dummy fill)를 포함하는, 연장된 평행 슬롯이 있는 반가요성 앵커의 실시예 2를 도시한 것이다.
도 7은 실시예 2의 경우 엔드-섹션 스터브에 대해 있을 수 있는 다른 형태를 도시한 것이다.
도 8은 직교 및 평행 슬롯이 있는 반가요성 앵커의 실시예 3을 도시한 것이다.
도 9는 실시예 3의 경우 강성화 엔드-스터브에 대하여 있을 수 있는 위치를 도시한 것이다.
도 10은 모형(dummy) 금속을 제거하고 또 다른 슬롯을 추가한 실시예 2에 기초한 반가요성 앵커의 실시예 4를 도시한 것이다.
도 11은 패치가 표시된 실시예 4의 경우 강성화 엔드-스터브의 있을 수 있는 위치를 도시한 것이다.
이해를 돕기 위해, 도면들에서 동일한 소자들을 지칭하는 경우에는 가능한 동일한 도면 부호를 사용하였다. 일 구현예에서 개시된 소자들이 구체적인 인용 없이 다른 구현예에 유용하게 이용될 수 있다.

본 발명은 일반적으로 앵커 영역에 함께 결합된 복수의 캔틸레버 및/또는 상기 캔틸레버의 중앙 영역에 결합된 레그를 가지는 MEMS 장치에 관한 것이다. 상기 레그는 각각의 캔틸레버가 동일한 전압에서 RF 전극 위로부터 이동/릴리스할 수 있도록 보장한다. 상기 앵커 영역 결합은 모든 캔틸레버가 함께 이동하도록 캔틸레버의 모든 섹션에서 기계적 강성도와 일치시킨다.

스위칭 소자의 어레이가 함께 스위칭되지 않는 문제를 해결하기 위해, 이동시 그 부근에 힘이 있어서 그것 역시 이동하게 되도록 소형 MEMS 캔틸레버 정전용량 스위치의 열(row)을 기계적으로 함께 묶을 수 있다. 상기 장치의 전체 라인은 이런 방식으로 연결될 수 있다.

캔틸레버의 어레이는 동일한 캐비티에 소장될 수 있다. 캔틸레버를 함께 연결함으로서, 어레이들 중의 하나가 접착과 관련한 문제로 인해 스위칭되지 못할 확률이 감소된다. 그것은 또한 어레이의 모든 멤버들이 접착력의 차이 또는 가공 또는 각 스위칭에서의 변동에 의해 야기된 변동을 감소시키면서 유사한 전압에서 스위칭될 것을 보증한다.

스위치의 어레이가 모두 함께 스위칭되도록 보장하면 여러 가지 장점이 있다. 한 가지 장점은 어레이에 대한 스위칭 전압에 감소된 변동이 있다는 것이다. 또 다른 장점은 어레이로부터 어레이까지 더 균일한 스위칭이 있다는 것이다. 또한, 어레이가 수행될 수 있는 것과 동일한 면적의 하나의 큰 면적의 MEMS 장치와 비교하여 어레이 아래에 더 빠른 희생적 에칭이 있다. 장치들이 함께 연결되지 않으면, 일부 장치들은 그 부근보다 스위칭되기에 더 큰 전압을 필요로 할 것이며; 상기 장치들은 정전 전압을 제공하기 위해 위아래에 동일한 금속 패드를 공유하기 때문에, 초기 스위칭을 가진 장치들은 과전압의 영향을 받을 것이다. 과전압은 그 특별한 초기 스위칭 장치에 대해 감소된 수명을 초래할 수 있다. 따라서, 상기 장치 연결은 장치 수명을 증가시킬 것이다.

도 1a 및 도 1b는 4개의 MEMS 캔틸레버 장치를 도시한 것이다. 영역(1)은 상부 캔틸레버의 상부 우측 및 좌측을 지지하는 두 레그를 표시한다. 상기 MEMS 캔틸레버(2)는 아래에 풀 다운 전극을 가지며, 위에 풀 업 전극을 가질 수 있다. 영역(3)은 캔틸레버(2) 및 캔틸레버(4)가 결합되는 병합 레그 영역을 표시한다. 상기 캔틸레버(2, 4)는 둘다 우측에 레그(5)를 공유한다. 이것은 다른 레그가 있는 다른 쪽에 반영된다. 레그들은 6으로 표시된 영역에 고정된다.

도 1b에서, 점선은 MEMS 장치의 어레이하의 패드들의 가장자리를 표시한다. 이 실시예에서 전극(7)은 RF 가변 커패시터에 대한 절연체로 코팅될 수 있는 RF 전극이다. 상기 MEMS 장치들이 접지될 때 상기 RF 전극과 접지된 MEMS 장치 사이의 정전용량은 전압을 전극(8)상에 놓아서 변화시킬 수 있다. 전극(8)은 캔틸레버(2, 4)의 어레이를 견인(pull)함으로써 상기 캔틸레버(2, 4)가 상기 RF 전극(7)에 더 가깝게 되고, 따라서 상기 RF 전극(7)으로부터 접지로의 정전용량이 증가하게 한다. 상기 어레이상의 풀 업 전극을 사용하여 캔틸레버(2, 4)를 캐비티 루프(도시하지 않음)로 견인한다. 이것은 상기 RF 전극(7)에 최소 정전용량을 제공한다. 도 2는 4개의 캔틸레버가 병합 레그를 이용하여 어떻게 서로 이동하고 보조할 수 있는지를 도시한다.

반가요성 앵커링 구조와 관련하여, 본원에 제시된 반가요성 앵커링 구조는 작동 전압을 기계적 응력(잔류, 온도 등)에 덜 민감하게 만들고 동시에 작동 전압을 감소시키는 방법을 제공하는 특수한 방식으로 배열된 기계적 분리 루프를 사용한다. 본원에 제시된 두 개의 추가된 디자인 특징은 멤브레인을 따라 균일한 편향을 얻을 가능성을 추가하고, 그러므로 상기 MEMS 장치의 신뢰성을 증가시키면서 이동하는 멤브레인의 동등하게 분배된 충격력을 달성한다. 이들 특징들은 멤브레인을 따라 상이한 위치에 배치될 수 있는 기계적 링크, 및 멤브레인의 모든 섹션에서 기계적 강성도와 일치되는 엔드-섹션 스터브(stub)이다.

본원에 제시된 반가요성 앵커링 구조를 사용함으로써, 기계적 고정 설비의 강성도를 감소시킴으로써 더 낮은 작동 전압을 달성하며; 응력(잔류, 온도에 의해 유도된 것 등)의 효과를 감소시켜, 더 단단한 풀-인 및 릴리스 분포와 더욱 균일한 작동을 얻을 수 있고, 따라서 최대 정전용량에 도달하는데 더 적은 과전압이 필요하며, 그 결과 장치의 신뢰성을 개선시킬 수 있다.

멤브레인을 따라 연결체와 엔드-스터브를 추가하면, 다음과 같은 특징을 얻을 수 있다: 멤브레인의 본체를 따라 기계적 강성도를 일치시켜서, 엔드-스터브에 대하여 균일한 구성으로서 조화를 이루면서 움직일 수 있게 되고; 링크를 통해서, 스위치는 멤브레인을 따라가는 연결에 대하여 하나의 균일한 구성으로서 이동하게 한다. 또한, 균일한 변위는 국부화된 손상점을 충격 위치에서 감소시킴으로써 장치의 신뢰성을 개선하고, RF 효율은 전류의 재분포로 인해 개선된다.

본원에는 4개 유형의 반가요성 앵커링 구조가 논의되는데, 상이한 형태를 가지고 상이한 강성도를 제공한다. 반가요성 앵커의 상이한 섹션의 길이 및 폭을 조정함으로써 상기 강성도를 변화시킬 수 있다. 링크가 길고 좁을수록 멤브레인의 강도는 더 낮아지며, 그러므로, 작동 전압을 감소시킨다.

반가요성 앵커는 또한 응력 릴리스 메커니즘으로서 작동한다. 인장 또는 압축 응력이 기계적 구조에 영향을 끼칠 때, 상기 반가요성 앵커는 멤브레인의 본체의 모양에 영향을 끼치지 않으면서 응력 릴리스 루프를 제공하고, 그러므로 멤브레인의 균일한 작동을 가능하게 한다.

도 4, 도 6, 도 8 및 도 10에 도시된 4개의 실시예는, 있을 수 있는 MEMS 가변 커패시터의 평면도를 설명하며, 이 커패시터는 두 개의 "풀-인 전극"(제어 전극으로도 불림)과, 상기 "풀-인 전극"에 평행하는 하나의 "RF" 전극, 및 "반가요성 앵커"와 멤브레인을 하부의 금속층에 기계적으로 부착하는 "앵커"를 포함하는 멤브레인을 포함한다.

엔드 - 스터브

도 3a 및 도 3b는 일정하고 균일한 압력이 가해질 때 멤브레인의 편향에 대한 시뮬레이션 결과를 도시한 것이다(도 3a 및 도 3b는 단지 멤브레인의 중앙을 따라 대칭-경계 조건을 사용하여 시뮬레이션을 한 절반 모델(half model)을 도시함). 도 3a에는 강성화 스터브가 없으며, 멤브레인의 엔드-섹션은 중앙 섹션보다 더 많이 편향된다. 도 3b에서는 스터브들이 추가되고, 그 치수들은 시뮬레이션 실험에 의해 최적화되어 고른 편향을 얻었다. 스터브들의 위치 및 치수를 다르게 함으로써, 상이한 반가요성 앵커 구조를 사용할 수 있다. 아래에서 설명하는 각각의 실시예에서, 선택된 내용을 볼 수 있다.

실시예 1 - 앵커상의 평행 슬롯

도 4에 도시된 실시예에서는 앵커에 평행한 슬롯을 사용하여 반가요성 앵커를 생성시켰다. 강성도는 슬롯의 사용에 의해 감소되고(전체 폭 앵커와 비교하여), 그것은 슬롯/빔/링크의 수 및 치수를 변화시켜서 조정할 수 있다. 도 4는 또한 RF 전극의 상부에 배치된 멤브레인 연결체의 실시예를 도시한다. 연결 링크가 넓을수록 장치는 더 균일하게 작동하여 응력 문제가 없게 된다.

이러한 구조는 전체 RF 섹션을 단일 구조로서 견인(pull)하는 장점을 가지고, 따라서 최대 정전용량에 대하여 분포를 더욱 개선할 수 있다. 이는 또한 모든 섹션이 서로 도울 수 있기 때문에, 더 양호한 핫-스위치(hot-switch)(제어 전압이 제거되면, 최대 정전용량 상태로부터 멤브레인이 릴리스하는 RF 전압)를 제공할 수 있다.

상기 멤브레인의 엔드 섹션상의 강성화 스터브와 관련하여, 도 4는 점선으로 표시된 원내의 특별한 구조에 대해 최적화된 스터브를 도시한다. 도 5에는 스터브에 대하여 있을 수 있는 다른 위치들이 도시되어 있다. 임의의 조합을 사용할 수도 있다. 엔드-섹션상의 강성화 스터브의 주요 목표는 상기 엔드-섹션의 빔들의 강성도를 증가시키는 것이다. 이것이 필요한 이유는, 상기 엔드-섹션이 대칭 경계 조건(symmetry boundary condition)을 링크의 중앙선 아래로 떨어뜨리는 인접 섹션을 갖지 않기 때문이다. 표준 링크(standard links)상의 대칭 경계 조건은 가요성 앵커의 강성도를 더 크게 만든다. 마지막 섹션의 강성도를 증가시킴으로써, 그 가요성 앵커의 강성도는 내부 섹션의 가요성 앵커의 강성도와 일치된다.

실시예 2 - 앵커상의 연장된 평행 슬롯

이것은 도 4에 도시한 실시예와 유사하나, 더 긴 연결 막대(이중원 내부에 도시됨)를 통해서 강성도와 작동 전압을 낮출 수 있다. 링크를 연장함으로써 생성된 갭들을 모형 부품(dummy piece)들로 충전하여, 후속하는 희생 적층에 있어서 평면성을 개선하였다. 이 경우에, 멤브레인의 연결은 RF의 상부 이외의 위치에서 일어난다. 이 경우에, 인접 섹션들이 여전히 서로 기계적으로 도움을 주기 때문에 핫-스위치 전압은 더욱 개선되며, RF 전극과 접촉하고 있는 면적이 감소하기 때문에 RF-전극상의 전압으로 인해 각 섹션상에서 아래로 당기는 정전기력은 감소한다. 멤브레인의 장방향으로 발생할 수 있는 응력 문제를 고려하여 최선의 기계적 성능을 얻도록, 상기 멤브레인 링크의 위치 및 치수를 변화시킬 수 있다. 상기 멤브레인의 단부에서의 기계적 링크상의 강성화 스터브는 도 6에도 도시되어 있는데, 이것은 마지막 링크를 나머지 링크들(두 개만이 점선으로 표시된 원으로 도시됨)보다 더 넓게(더 큰 강성으로) 만든다. 엔드-섹션 스터브에 대하여 있을 수 있는 다른 구조는 도 7에 도시되어 있다. 이들 스터브는 개별적으로 또는 조합하여 사용될 수 있다.

실시예 3 - 앵커상의 평행 및 직교 슬롯

훨씬 더 낮은 강성도를 가진 반가요성 앵커링 구조에 대한 다른 실시예가 도 8에 도시되어 있다. 이 구조는 도 4에 도시된 것을 기초로 하고 있는데, 순응성 섹션이 가요성 앵커 구조(이중 원으로 도시됨)에 추가되어 있다. 이 추가된 링크는 멤브레인이 편향될 때 구부러짐으로써, 기계적 강성도를 감소시킨다. 이러한 구조는 실시예 1 및 2에서 볼 수 있는 것들보다, 응력 문제에 더욱 민감하다. 도 8에 도시한 실시예에는, 그처럼 추가된 멤브레인을 연결시키는 구성이 없고, 멤브레인 섹션들 사이에서의 링크는 추가된 "레그"에 의해 이루어지고, 추가된 레그는 레그의 각각의 측면에서 섹션들의 멤브레인에 연결된다. 상기 멤브레인의 단부에서 기계적 링크상의 강성화 스터브는 도 8에도 도시되어 있고(점선으로 표시된 원); 엔드-섹션 스터브에 대하여 있을 수 있는 다른 구조가 도 9에 도시되어 있다. 이러한 스터브는 개별적으로 또는 조합하여 사용될 수 있다.

실시예 4 - 앵커상의 이중 연장된 팽행 슬롯

도 10에 도시된 실시예는 실시예 2를 변형한 것이며, 모형 금속 충전재가 또 다른 슬롯에 의해 대체되어 있다. 이로써 작동 전압을 낮출 수 있다. 도 11은 패치로 표시된 실시예 4에 대한 강성화 엔드-스터브와 관련하여 있을 수 있는 위치를 도시한다.

멤브레인의 연결과 관련하여, 3개의 상이한 멤브레인 연결이 도 4(RF 상에서), 도 6(RF 이외의 위치) 및 도 8(가요성 앵커가 상기 멤브레인에 부착하는 곳 이외에는 연결이 없음)에 도시되어 있다. 설계와 관련하여 더 변경할 수 있는 사항은 다음과 같다: 모든 X개의 멤브레인 섹션이 연결됨; 모든 X개의 멤브레인 섹션이 "지그-재그" 형식으로 구성됨; 및 모든 X개의 멤브레인 섹션이 다른 위치에 있음.

상술한 내용은 본 발명의 구현예에 대한 것이지만, 본 발명의 다른 구현예 및 추가의 구현예가 본 발명의 기본 범위로부터 벗어나지 않고 고안될 수 있고, 그 범위는 후술하는 특허청구의 범위에 의해 결정된다.

Claims (20)

1. 제1 캔틸레버;
   제2 캔틸레버; 및
   상기 제1 캔틸레버 및 상기 제2 캔틸레버 둘다에 결합된 하나 이상의 레그를 포함하며, 상기 하나 이상의 레그는 또한 상기 제1 캔틸레버 및 상기 제2 캔틸레버 둘다로부터 이격된 앵커 영역에 결합되고,
   상기 제1 캔틸레버 및 제2 캔틸레버는 둘다, RF 전극 및 하나 이상의 제2 전극 상에 배치되고,
   상기 하나 이상의 레그는 상기 RF 전극에 대하여 수직으로 뻗어나가고,
   상기 하나 이상의 레그는 상기 제1 캔틸레버와 상기 제2 캔틸레버 사이에서 뻗어나가는 제1 레그 및 상기 제1 레그로부터 상기 앵커 영역까지 뻗어나가는 제2 레그를 포함하며, 상기 제1 레그는 상기 RF 전극에 평행하고, 상기 제2 레그는 상기 RF 전극에 대하여 수직인 것을 특징으로 하는 MEMS 장치.
2. 제1항에 있어서,
   상기 앵커 영역은 앵커 영역을 통해 뻗어나가는 복수의 슬롯을 가진 것을 특징으로 하는 MEMS 장치.
3. 제2항에 있어서,
   상기 앵커 영역은 대응하는 슬롯에 인접한 하나 이상의 링크를 포함하는 것을 특징으로 하는 MEMS 장치.
4. 제3항에 있어서,
   상기 앵커 영역은 하나 이상의 엔드 강성화 스터브를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 MEMS 장치.
5. 제4항에 있어서,
   상기 엔드 강성화 스터브는 상기 제1 레그에 평행하게 뻗어나가고, 상기 엔드 강성화 스터브의 길이는 상기 링크들의 길이 보다 더 긴 것을 특징으로 하는 MEMS 장치.
6. 제5항에 있어서,
   상기 링크는 상기 제2 레그에 평행한 방향으로 뻗어나가는 제1 길이를 가지며, 상기 앵커 영역은 상기 제2 레그에 평행한 방향으로 뻗어나가고 상기 제1 길이보다 더 긴 제2 길이를 가진 하나 이상의 연장된 링크를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 MEMS 장치.
7. 제6항에 있어서,
   인접한 엔드 강성화 스터브들 사이에 슬롯이 존재하는 것을 특징으로 하는 MEMS 장치.
8. 제7항에 있어서,
   상기 제1 레그는 상기 RF 전극 상에 배치된 것을 특징으로 하는 MEMS 장치.
9. 제7항에 있어서,
   상기 제1 레그는 상기 하나 이상의 제2 전극 상에 배치된 것을 특징으로 하는 MEMS 장치.
10. 제1 캔틸레버;
    제2 캔틸레버; 및
    상기 제1 캔틸레버 및 상기 제2 캔틸레버 둘다에 결합된 하나 이상의 레그를 포함하며, 상기 하나 이상의 레그는 또한 상기 제1 캔틸레버 및 상기 제2 캔틸레버 둘다로부터 이격된 앵커 영역에 결합되고,
    상기 하나 이상의 레그는 상기 제1 캔틸레버와 상기 제2 캔틸레버 사이에서 뻗어나가는 제1 레그, 및 상기 제1 레그로부터 상기 앵커 영역까지 뻗어나가는 제2 레그를 포함하고,
    상기 앵커 영역은 앵커 영역을 통해 뻗어나가는 복수의 슬롯을 가지고,
    상기 앵커 영역은 대응하는 슬롯에 인접한 하나 이상의 링크를 포함하고,
    상기 앵커 영역은 하나 이상의 엔드 강성화 스터브를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 MEMS 장치.
11. 제10항에 있어서,
    상기 엔드 강성화 스터브는 상기 제1 레그에 평행하게 뻗어나가고, 상기 엔드 강성화 스터브의 길이는 상기 링크들의 길이 보다 더 긴 것을 특징으로 하는 MEMS 장치.
12. 제11항에 있어서,
    상기 링크는 상기 제2 레그에 평행한 방향으로 뻗어나가는 제1 길이를 가지며, 상기 앵커 영역은 상기 제2 레그에 평행한 방향으로 뻗어나가고 상기 제1 길이보다 더 긴 제2 길이를 가진 하나 이상의 연장된 링크를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 MEMS 장치.
13. 제12항에 있어서,
    인접한 엔드 강성화 스터브들 사이에 슬롯이 존재하는 것을 특징으로 하는 MEMS 장치.
14. 제1 캔틸레버;
    제2 캔틸레버; 및
    상기 제1 캔틸레버 및 상기 제2 캔틸레버 둘다에 결합된 하나 이상의 레그를 포함하며, 상기 하나 이상의 레그는 또한 상기 제1 캔틸레버 및 상기 제2 캔틸레버 둘다로부터 이격된 앵커 영역에 결합되고,
    상기 앵커 영역은 제1 길이를 가진 복수의 링크 및 제1 길이보다 더 긴 제2 길이를 가진 복수의 엔드 강성화 스터브를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 MEMS 장치.
    
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