KR102001298B1 - 표시 장치 - Google Patents

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유꼬 마쯔모또
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가부시키가이샤 재팬 디스프레이
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Abstract

큰 터치 검출 속도를 갖는 터치 센서 탑재 표시 장치를 제공한다.
제1층과, 제1층 상의 제2층을 갖는 표시 장치가 제공된다. 제1층은 표시 영역을 갖고, 표시 영역은, 복수의 제1 부화소, 복수의 제2 부화소, 복수의 제3 부화소, 인접하는 2개의 부화소 사이에 끼워진 격벽, 및 이들 위의 밀봉막을 갖는다. 제2층은, 격벽과 겹치고, 격벽을 따르는 제1 터치 전극, 및 격벽과 겹치고, 격벽을 따르고, 제1 터치 전극과 교차하는 제2 터치 전극을 갖는다. 제1 부화소, 제2 부화소, 제3 부화소는 서로 발광색이 상이하다. 제1 터치 전극은 제2 터치 전극과 동일한 층 내에 존재한다. 제1 터치 전극과 제2 터치 전극은 복수의 개구를 갖고, 개구 중 하나와 겹치는 영역에 있어서, 제1 부화소의 수, 제2 부화소의 수 및 제3 부화소의 수 중 하나는 다른 2개와 상이하다.

Description

표시 장치 {DISPLAY DEVICE}
본 발명의 실시 형태의 하나는, 터치 센서가 탑재된 표시 장치에 관한 것이다. 예를 들어, 터치 센서가 탑재된 유기 EL(Electroluminescence) 표시 장치에 관한 것이다.
유저가 표시 장치에 대하여 정보를 입력하기 위한 인터페이스로서, 터치 센서가 알려져 있다. 터치 센서를 표시 장치의 화면과 겹치도록 설치함으로써, 화면 상에 표시되는 입력 버튼이나 아이콘 등을 유저가 조작할 수 있고, 표시 장치에 용이하게 정보를 입력할 수 있다. 예를 들어 일본 특허 공개 제2015-50245호 공보나 일본 특허 공개 제2011-23558호 공보에서는, 유기 EL 표시 장치에 터치 센서가 탑재된 전자 기기가 개시되어 있다. 여기서는, 유기 EL 소자(이하, 발광 소자라고 기재함) 상에 밀봉막을 형성하고, 그 위에 터치 센서용 터치 전극이 형성되어 있다.
본 발명의 실시 형태의 하나는, 제1층과, 제1층 상의 제2층을 갖는 표시 장치이다. 제1층은 표시 영역을 갖고, 표시 영역은, 제1 광을 발하도록 구성된 복수의 제1 부화소, 제2 광을 발하도록 구성된 복수의 제2 부화소, 제3 광을 발하도록 구성된 복수의 제3 부화소, 제1 부화소, 제2 부화소, 제3 부화소 중 인접하는 2개의 부화소 사이에 끼워진 격벽, 및 제1 부화소, 제2 부화소, 제3 부화소 및 격벽 상의 밀봉막을 갖는다. 제2층은, 격벽과 겹치고, 격벽을 따르는 제1 터치 전극, 및 격벽과 겹치고, 격벽을 따르고, 제1 터치 전극과 교차하는 제2 터치 전극을 갖는다. 제1 광, 제2 광, 제3 광은 서로 색이 상이하다. 제1 터치 전극은 제2 터치 전극과 동일한 층 내에 존재한다. 제1 터치 전극과 제2 터치 전극은, 각각 복수의 개구를 갖고, 개구 중 하나와 겹치는 영역에 있어서, 제1 부화소의 수, 제2 부화소의 수 및 제3 부화소의 수 중 하나는 다른 2개와 상이하다.
본 발명의 실시 형태의 하나는, 제1층과, 제1층 상의 제2층을 갖는 표시 장치이다. 제1층은 표시 영역을 갖고, 표시 영역은, 제1 광을 발하도록 구성된 복수의 제1 부화소, 제2 광을 발하도록 구성된 복수의 제2 부화소, 제3 광을 발하도록 구성된 복수의 제3 부화소, 제1 부화소, 제2 부화소, 제3 부화소 중 인접하는 2개의 부화소 사이에 끼워진 격벽, 및 제1 부화소, 제2 부화소, 제3 부화소 및 격벽 상의 밀봉막을 갖는다. 제2층은, 격벽과 겹치고, 격벽을 따르는 제1 터치 전극, 제1 터치 전극 상의 층간 절연막, 및 층간 절연막 상에 위치하고, 격벽과 겹치고, 격벽을 따르고, 제1 터치 전극과 교차하는 제2 터치 전극을 갖는다. 제1 광, 제2 광, 제3 광은 서로 색이 상이하다. 제1 터치 전극과 제2 터치 전극은, 각각 복수의 개구를 갖고, 개구 중 하나와 겹치는 영역에 있어서, 제1 부화소의 수, 제2 부화소의 수 및 제3 부화소의 수 중 하나는 다른 2개와 상이하다.
도 1a, 도 1b는, 본 발명의 실시 형태의 표시 장치의 상면 모식도이다.
도 2는, 본 발명의 실시 형태의 표시 장치의 구성을 도시하는 모식도이다.
도 3a 내지 도 3c는, 본 발명의 실시 형태의 표시 장치의 화소의 모식도이다.
도 4a, 도 4b는, 본 발명의 실시 형태의 표시 장치의 터치 전극의 상면 모식도이다.
도 5a, 도 5b는, 본 발명의 실시 형태의 표시 장치의 터치 전극의 단면 모식도이다.
도 6은, 본 발명의 실시 형태의 표시 장치의 터치 전극의 상면 모식도이다.
도 7a 내지 도 7c는, 본 발명의 실시 형태의 표시 장치의 터치 전극의 단면과 상면의 모식도이다.
도 8은, 본 발명의 실시 형태의 표시 장치의 단면 모식도이다.
도 9는, 본 발명의 실시 형태의 표시 장치의 터치 전극과 화소의 레이아웃도이다.
도 10은, 본 발명의 실시 형태의 표시 장치의 단면 모식도이다.
도 11은, 본 발명의 실시 형태의 표시 장치의 터치 전극과 화소의 레이아웃도이다.
도 12는, 본 발명의 실시 형태의 표시 장치의 터치 전극과 화소의 레이아웃도이다.
도 13은, 본 발명의 실시 형태의 표시 장치의 터치 전극과 화소의 레이아웃도이다.
도 14는, 본 발명의 실시 형태의 표시 장치의 터치 전극과 화소의 레이아웃도이다.
도 15a, 도 15b는, 본 발명의 실시 형태의 표시 장치의 제작 방법을 설명하는 단면 모식도이다.
도 16a, 도 16b는, 본 발명의 실시 형태의 표시 장치의 제작 방법을 설명하는 단면 모식도이다.
도 17a, 도 17b는, 본 발명의 실시 형태의 표시 장치의 제작 방법을 설명하는 단면 모식도이다.
도 18a, 도 18b는, 본 발명의 실시 형태의 표시 장치의 제작 방법을 설명하는 단면 모식도이다.
도 19a, 도 19b는, 본 발명의 실시 형태의 표시 장치의 제작 방법을 설명하는 단면 모식도이다.
도 20a, 도 20b는, 본 발명의 실시 형태의 표시 장치의 제작 방법을 설명하는 단면 모식도이다.
도 21은, 본 발명의 실시 형태의 표시 장치의 제작 방법을 설명하는 단면 모식도이다.
도 22는, 본 발명의 실시 형태의 표시 장치의 제작 방법을 설명하는 단면 모식도이다.
도 23은, 본 발명의 실시 형태의 표시 장치의 터치 전극의 상면 모식도이다.
이하, 본 발명의 각 실시 형태에 대하여, 도면 등을 참조하면서 설명한다. 단, 본 발명은, 그 요지를 일탈하지 않는 범위에 있어서 여러 가지 형태로 실시할 수 있으며, 이하에 예시하는 실시 형태의 기재 내용에 한정하여 해석되는 것은 아니다.
도면은, 설명을 보다 명확하게 하기 위해, 실제의 형태에 비하여, 각 부의 폭, 두께, 형상 등에 대하여 모식적으로 표시되는 경우가 있지만, 어디까지나 일례이며, 본 발명의 해석을 한정하는 것은 아니다. 본 명세서와 각 도면에 있어서, 기출된 도면에 관하여 설명한 것과 마찬가지의 기능을 구비한 요소에는, 동일한 부호를 붙여, 중복되는 설명을 생략하는 경우가 있다.
본 발명에 있어서, 어떠한 하나의 막을 가공하여 복수의 막을 형성한 경우, 이들 복수의 막은 상이한 기능, 역할을 갖는 경우가 있다. 그러나, 이들 복수의 막은 동일한 공정에서 동일층으로서 형성된 막으로부터 유래하고, 동일한 층 구조, 동일한 재료를 갖는다. 따라서, 이들 복수의 막은 동일층에 존재하고 있는 것으로 정의한다.
본 명세서 및 특허청구의 범위에 있어서, 어떠한 구조체 상에 다른 구조체를 배치하는 형태를 표현하는 데 있어서, 간단히 「상에」라고 표기하는 경우, 특별히 언급이 없는 한, 어떠한 구조체에 접하도록, 바로 위에 다른 구조체를 배치하는 경우와, 어떠한 구조체의 상방에, 추가로 별도의 구조체를 개재시켜 다른 구조체를 배치하는 경우의 양쪽을 포함하는 것으로 한다.
(제1 실시 형태)
[1. 전체 구성]
도 1a는, 본 발명의 제1 실시 형태의 터치 센서 탑재의 표시 장치(이하, 간단히 표시 장치라고 기재함)(100)의 모식적인 상면도이다. 표시 장치(100)는, 영상을 표시하기 위한 표시 영역(102)을 갖고 있다. 표시 영역(102) 상에 겹치도록, 행 방향으로 스트라이프상으로 배열되는 복수의 제1 터치 전극(202)과, 열 방향으로 스트라이프상으로 배열되고, 제1 터치 전극(202)과 교차하는 복수의 제2 터치 전극(204)이 설치된다. 복수의 제1 터치 전극(202)과 복수의 제2 터치 전극(204)에 의해 터치 센서(200)가 형성된다. 제1 터치 전극(202)과 제2 터치 전극(204)의 한쪽은 송신 전극(Tx), 다른 쪽은 수신 전극(Rx)이라고도 불린다. 각 제1 터치 전극(202)과 각 제2 터치 전극(204)은 서로 이격되어 있고, 이들 사이에서 용량이 형성된다. 사람의 손가락 등이 제1 터치 전극(202)과 제2 터치 전극(204)을 통하여 표시 영역(102)에 닿음(이하, 터치라고 기재함)으로써 용량이 변화하고, 이 변화를 판독함으로써 터치의 위치가 결정된다. 이와 같이, 제1 터치 전극(202)과 제2 터치 전극(204)에 의해, 소위 투영형 정전 용량 방식의 터치 센서(200)가 형성된다.
제1 터치 전극(202)은, 표시 영역(102) 밖으로부터 연장되는 제1 배선(206)과 전기적으로 접속된다. 제1 배선(206)은 표시 영역(102)의 밖을 연신하고, 콘택트 홀(208)에 있어서 제1 단자 배선(210)과 전기적으로 접속된다. 제1 단자 배선(210)은 표시 장치(100)의 단부 부근에서 노출되어 제1 단자(212)를 형성한다. 제1 단자(212)는 플렉시블 인쇄 회로(FPC) 기판 등의 커넥터(214)와 접속되고, 외부 회로(도시하지 않음)로부터 터치 센서용 신호가 제1 단자(212)를 경유하여 제1 터치 전극(202)에 제공된다.
마찬가지로, 제2 터치 전극(204)은, 표시 영역(102) 밖으로부터 연장되는 제2 배선(216)과 전기적으로 접속된다. 제2 배선(216)은 표시 영역(102)의 밖을 연신하고, 콘택트 홀(218)에 있어서 제2 단자 배선(220)과 전기적으로 접속된다. 제2 단자 배선(220)은 표시 장치(100)의 단부 부근에서 노출되어 제2 단자(222)를 형성한다. 제2 단자(222)는 커넥터(214)와 접속되고, 외부 회로로부터 터치 센서용 신호가 제2 단자(222)를 경유하여 제2 터치 전극(204)에 제공된다.
도 1a에는, 또한, 표시 영역(102) 내의 화소(120)에 신호를 공급하기 위한 제3 단자(122)나, 화소(120)의 구동을 제어하기 위한 IC 칩(124)이 도시되어 있다. 도 1a에 도시하는 바와 같이, 제1 단자(212), 제2 단자(222), 제3 단자(122)는, 표시 장치(100)의 하나의 변에 배열되도록 형성할 수 있고, 이 때문에, 단일의 커넥터(214)를 사용하여 표시 영역(102)과 터치 센서(200)에 신호를 공급할 수 있다.
도 2에, 표시 장치(100)의 모식적인 사시도를 도시한다. 여기서는 이해의 촉진을 위해, 기판(104), 표시 영역(102)을 포함하는 제1층(110), 터치 센서(200)를 포함하는 제2층(112)을 서로 분리하여 도시하고 있다.
제1층(110)은 기판(104) 상에 형성된다. 제1층(110)은 상술한 표시 영역(102)을 갖고 있으며, 표시 영역(102) 내에는 복수의 화소(120)가 구비된다. 표시 영역(102)의 외측에는, 화소(120)의 구동을 제어하기 위한 주사선 구동 회로(126)가 설치된다. 주사선 구동 회로(126)는 기판(104) 상에 직접 형성될 필요는 없고, 기판(104)과는 상이한 기판(반도체 기판 등) 상에 형성된 구동 회로를 기판(104)이나 커넥터(214) 상에 설치하고, 이들 구동 회로에 의해 각 화소(120)를 제어해도 된다. 여기서는 도시하지 않았지만, 제1층(110)에는 화소(120) 내에 설치되는 발광 소자를 제어하기 위한 각종 반도체 소자가 형성된다.
상술한 바와 같이, 터치 센서(200)는 복수의 제1 터치 전극(202)과 복수의 제2 터치 전극(204)에 의해 형성된다. 터치 센서(200)는 표시 영역(102)과 거의 동일한 크기, 형상을 가질 수 있다.
[2. 화소]
본 실시 형태에서는, 화소(120)는 복수의 부화소를 갖고, 부화소는 예를 들어 도 3a에 도시하는 바와 같이, 3개의 부화소(130, 132, 134)로 하나의 화소(120)가 형성되도록 배치된다. 각 부화소에는 발광 소자나 액정 소자 등의 표시 소자가 하나 구비된다. 부화소가 제공하는 색은 발광 소자, 혹은 부화소 상에 설치되는 컬러 필터의 특성에 따라 결정된다. 본 명세서 및 청구항에서는, 화소(120)란, 각각 하나의 표시 소자를 갖고, 또한 적어도 하나는 상이한 색을 제공하는 부화소를 복수 구비하고, 표시 영역(102)에서 재현되는 영상의 일부를 구성하는 최소 단위이다. 표시 영역(102) 내의 부화소는 어느 화소(120)에 포함된다.
도 3a에 예시하는 배열에서는, 3개의 부화소(130, 132, 134)가 서로 다른 색을 제공하도록 구성할 수 있고, 예를 들어 부화소(130, 132, 134)에 각각 적색, 녹색, 청색의 3원색을 발하는 발광 소자를 구비할 수 있다. 이에 의해, 각 화소(120)에서 임의의 색을 만들어 내는 것이 가능하게 된다.
도 3b에 도시한 배열에서는, 제공하는 색이 상이한 2개의 부화소가 하나의 화소(120)에 포함되어 있다. 예를 들어 하나의 화소(120)는 적색과 녹색을 제공하는 부화소(130, 132)를 구비하고, 그것에 인접하는 화소(120)에는 청색과 녹색을 제공하는 부화소(134와 132)를 형성할 수 있다. 이 경우, 재현되는 색 영역이 인접하는 화소(120) 사이에서 상이하게 된다.
각 화소(120) 내의 부화소의 면적은 동일할 필요는 없다. 예를 들어 도 3c에 도시하는 바와 같이, 하나의 부화소가 다른 2개의 부화소보다 상이한 면적을 가져도 된다. 이 경우, 예를 들어 청색을 제공하는 부화소(134)를 가장 큰 면적으로 형성하고, 녹색과 적색을 제공하는 부화소(132와 130)는 동일한 면적을 갖도록 형성해도 된다.
화소(120)는, 도 3a 내지 도 3c에 도시하는 바와 같이, 거의 사각형의 형상을 갖고, 서로 접하도록 매트릭스상으로 배열할 수 있다. 본 명세서와 청구항에서는, 표시 영역(102)의 가장 외측에 위치하는 화소(120)를 제외하고, 사각형의 형상을 갖는 화소(120)의 4변이 인접하는 화소(120)와 서로 접하도록 화소(120)를 배열한 경우, 각 화소(120)에 있어서 서로 대향하는 변끼리의 간격을 화소(120)의 한 변의 길이 Lp라고 정의한다.
[3. 터치 전극]
도 1a의 일부의 영역을 확대한 형태를 도 1b에 도시한다. 도 1b에 도시하는 바와 같이, 제1 터치 전극(202), 제2 터치 전극(204)은 각각 거의 사각형의 형상을 갖는 복수의 사각형 영역(다이아몬드 전극)(240)과, 복수의 접속 영역(242)을 갖고 있으며, 이들은 서로 교호한다. 제1 터치 전극(202), 제2 터치 전극(204)은 서로 이격되어 있고, 전기적으로 독립되어 있다.
도 4a에, 제1 터치 전극(202), 제2 터치 전극(204)의 상면 확대도를 모식적으로 도시한다. 제1 터치 전극(202), 제2 터치 전극(204)은 모두 메쉬상의 형상을 갖는다. 즉, 이들은 메쉬상의 배선이며, 복수의 개구(250)를 갖고 있고, 개구(250)가 매트릭스상으로 배열된다. 배선의 폭은 1㎛ 내지 10㎛ 혹은 2㎛ 내지 8㎛, 전형적으로는 5㎛이다.
도 5a, 도 5b에, 도 4a의 쇄선 A-A', B-B'를 따른 단면을 각각 도시한다. 도 5a, 도 5b에 도시하는 바와 같이, 제1 터치 전극(202)과 제2 터치 전극(204)은, 다이아몬드 전극(240), 접속 영역(242) 모두 유기 절연막(190)(후술함) 상에 마련된다. 제1 터치 전극(202)과 제2 터치 전극(204)은 유기 절연막(190)과 접해도 된다. 여기서, 제1 터치 전극(202)과 제2 터치 전극(204)은 동일층 내에 존재할 수 있다. 보다 구체적으로는, 제1 터치 전극(202)과 제2 터치 전극(204)의 다이아몬드 전극(240)은 서로 동일층 내에 존재할 수 있다. 제1 터치 전극(202)과 제2 터치 전극(204)을 동일층 내에 설치함으로써, 양자의 반사 특성 등의 광학 특성이 거의 동일하게 된다. 그 결과, 제1 터치 전극(202)과 제2 터치 전극(204)을 시인하기 어렵게 되는, 즉 눈에 띄지 않게 할 수 있다.
제1 터치 전극(202) 상에 층간 절연막(246)이 설치되고, 층간 절연막(246) 상에 브리지 배선(248)이 형성된다. 브리지 배선(248)은 층간 절연막(246) 내에 형성되는 개구(244)에 있어서 제2 터치 전극(204)의 인접하는 2개의 다이아몬드 전극(240)과 전기적으로 접속된다. 따라서, 브리지 배선(248)은 제2 터치 전극(204)의 접속 영역(242)으로 인식하는 것도 가능하다. 층간 절연막(246)은 제1 터치 전극(202)과 제2 터치 전극(204)을 전기적으로 절연하고, 또한 제1 터치 전극(202)과 제2 터치 전극(204)의 사이에서 용량을 형성하기 위한 유전체로서도 기능한다.
도 4a, 도 5a, 도 5b에서는, 브리지 배선(248)이 제1 터치 전극(202) 상에 형성되고, 제2 터치 전극(204)의 다이아몬드 전극(240)을 전기적으로 접속하는 예가 도시되어 있지만, 브리지 배선(248)이 제2 터치 전극(204) 상에 형성되고, 제1 터치 전극(202)의 다이아몬드 전극(240)을 전기적으로 접속하도록 구성해도 된다. 또한, 도 4a에 도시한 예에서는, 제1 터치 전극(202)의 인접하는 다이아몬드 전극(240) 사이의 접속 영역(242)은 하나의 배선이지만, 이 접속 영역(242)은 복수의 배선을 포함해도 된다(도 4b).
제1 터치 전극(202)과 제2 터치 전극(204) 각각의 다이아몬드 전극(240)의 단부에는, 도 6에 도시하는 바와 같이, 돌기부(254)를 가져도 된다. 이 돌기부(254)는, 다이아몬드 전극(240)의 개구(250)에는 포함되지 않고, 개구(250)의 형성에 기여하지 않는 배선이다. 돌기부(254)를 형성함으로써, 제1 터치 전극(202)과 제2 터치 전극(204)의 사이의, 메쉬상 배선이 형성되지 않는 영역을 작게 할 수 있다. 이에 의해, 표시 영역(102) 상에서 제1 터치 전극(202) 및 제2 터치 전극(204)이 유저에게 시인되기 어렵게 된다고 하는 효과가 얻어진다.
또한, 제1 터치 전극(202)과 제2 터치 전극(204)의 간극부에, 점선 원(301)으로 나타나는 바와 같은, 제1 터치 전극(202), 제2 터치 전극(204)의 어느 것과도 접속되지 않는 더미 전극(203)을 배치해도 된다(도 23 참조). 이들 더미 전극(203)은, 어느 노드에도 접속되지 않는, 즉 전기적으로는 플로팅 상태인 패턴이며, 제1 터치 전극(202)은 제2 터치 전극(204)과 동일층에서, 동시에 패터닝하여 형성할 수 있다. 이러한 더미 전극(203)을 형성함으로써, 제1 터치 전극(202)과 제2 터치 전극(204) 사이의 용량 커플링을 적절하게 감소시킬 수 있고, 터치에 의한 용량 변화를 크게 할 수 있다. 그 결과, 터치 센서(200)의 구동 시에 있어서의 S/N비를 향상시킬 수 있다.
또한, 도 7a, 및 도 7a의 쇄선 C-C', D-D'를 따른 단면 모식도인 도 7b, 도 7c에서 도시되는 바와 같이, 제1 터치 전극(202)과 제2 터치 전극(204)은 서로 다른 층 내에 존재해도 된다. 보다 구체적으로는, 제1 터치 전극(202)과 제2 터치 전극(204)의 다이아몬드 전극(240)과 접속 영역(242)은, 서로 다른 층 내에 존재해도 된다. 이 경우, 제1 터치 전극(202)과 제2 터치 전극(204)의 사이에 층간 절연막(246)이 배치된다. 이러한 구조를 채용한 경우, 개구(244)를 형성할 필요가 없기 때문에, 공정이 간결하게 되고, 수율의 향상에 기여할 수 있다.
제2 실시 형태에서도 설명하겠지만, 제1 터치 전극(202)과 제2 터치 전극(204)은 가시광을 투과 가능한 산화물을 포함해도 되고, 혹은 가시광을 투과하지 않는 금속(0가 금속)을 포함해도 된다. 전자의 예로서는 인듐-주석 산화물(ITO)이나 인듐-아연 산화물(IZO)을 들 수 있다. 후자의 예로서는 몰리브덴이나 티타늄, 크롬, 탄탈륨, 구리, 알루미늄, 텅스텐 등을 들 수 있다. 0가의 금속을 주성분으로서 포함하도록 제1 터치 전극(202)과 제2 터치 전극(204)을 형성함으로써, 이들의 전기 저항을 대폭 저감할 수 있고, 응답의 시상수를 작게 할 수 있다. 그 결과, 센서로서의 응답 속도를 향상시킬 수 있다.
[4. 단면 구조]
도 8에 표시 장치(100)의 단면 모식도를 도시한다. 도 8은, 도 1a에 있어서의 쇄선 E-E'를 따른 단면이며, 표시 영역(102)에서부터 제1 배선(206), 제1 단자 배선(210), 제1 단자(212)에 이르는 단면을 모식적으로 도시한다.
표시 장치(100)는 기판(104) 상에 제1층(110), 제2층(112)을 갖고 있다. 기판(104)이 가소성을 갖는 경우, 기판(104)은 기재, 베이스 필름, 혹은 시트 기재라고 불리는 경우가 있다. 후술하는 바와 같이, 제1층(110)에는 각 부화소(130, 132, 134)를 제어하기 위한 트랜지스터나 발광 소자가 설치되고, 영상의 재현에 기여한다. 한편 제2층(112)에는 터치 센서(200)가 설치되고, 터치의 검출에 기여한다.
<1. 제1층>
기판(104) 상에는, 임의의 구성인 하지막(106)을 개재시켜 트랜지스터(140)가 설치된다. 트랜지스터(140)는 반도체막(142), 게이트 절연막(144), 게이트 전극(146), 소스/드레인 전극(148) 등을 포함한다. 게이트 전극(146)은 게이트 절연막(144)을 개재시켜 반도체막(142)과 겹쳐 있고, 게이트 전극(146)과 겹치는 영역이 반도체막(142)의 채널 영역(142a)이다. 반도체막(142)은 채널 영역(142a)을 사이에 두도록 소스/드레인 영역(142b)을 가져도 된다. 게이트 전극(146) 상에는 층간막(108)을 설치할 수 있고, 층간막(108)과 게이트 절연막(144)에 형성되는 개구에 있어서, 소스/드레인 전극(148)은 소스/드레인 영역(142b)과 접속된다.
층간막(108) 상에는, 제1 단자 배선(210)이 설치된다. 도 8에 도시하는 바와 같이, 제1 단자 배선(210)은 소스/드레인 전극(148)과 동일한 층 내에 존재할 수 있다. 도시하지 않았지만, 제1 단자 배선(210)은 게이트 전극(146)과 동일한 층 내에 존재하도록 구성해도 된다.
도 8에서는, 트랜지스터(140)는 톱 게이트형의 트랜지스터로서 도시되어 있지만, 트랜지스터(140)의 구조에 한정은 없으며, 보텀 게이트형 트랜지스터, 게이트 전극(146)을 복수 갖는 멀티 게이트형 트랜지스터, 반도체막(142)의 상하를 2개의 게이트 전극(146) 사이에 협지하는 구조를 갖는 듀얼 게이트형 트랜지스터여도 된다. 또한, 도 8에서는, 각 부화소(130, 132, 134) 각각에 하나의 트랜지스터(140)가 설치되는 예가 도시되어 있지만, 각 부화소(130, 132, 134)는 복수의 트랜지스터나 용량 소자 등을 더 가져도 된다.
트랜지스터(140) 상에는 평탄화막(114)이 구비된다. 평탄화막(114)은 트랜지스터(140)나 그 밖의 반도체 소자에 기인하는 요철을 흡수하여 평탄한 표면을 제공하는 기능을 갖는다.
평탄화막(114) 상에는 무기 절연막(150)을 형성해도 된다. 무기 절연막(150)은 트랜지스터(140) 등의 반도체 소자를 보호하는 기능을 가짐과 함께, 후술하는 발광 소자(160)의 제1 전극(162)과, 무기 절연막(150)의 하층에, 제1 전극(162)으로 무기 절연막(150)을 사이에 끼우도록 형성되는 전극(도시하지 않음)과의 사이에서 용량을 형성한다.
평탄화막(114) 및 무기 절연막(150)에는 복수의 개구가 형성된다. 그 중 하나는 콘택트 홀(152)이며, 후술하는 발광 소자(160)의 제1 전극(162)과 소스/드레인 전극(148)의 전기적 접속에 사용된다. 개구 중 하나는 콘택트 홀(208)이며, 제1 배선(206)과 제1 단자 배선(210)의 전기적 접속에 사용된다. 다른 하나는 개구(154)이며, 제1 단자 배선(210)의 일부를 노출시키도록 형성된다. 개구(154)에서 노출된 제1 단자 배선(210)은, 예를 들어 이방성 도전막(252) 등에 의해 커넥터(214)와 접속된다.
평탄화막(114) 및 무기 절연막(150) 상에 발광 소자(160)가 형성된다. 발광 소자(160)는, 제1 전극(화소 전극)(162), 기능층(164), 제2 전극(대향 전극)(166)에 의해 구성된다. 보다 구체적으로는, 제1 전극(162)은, 콘택트 홀(152)을 덮고, 소스/드레인 전극(148)과 전기적으로 접속되도록 설치된다. 이에 의해, 트랜지스터(140)를 통하여 전류가 발광 소자(160)에 공급된다. 제1 전극(162)의 단부를 덮도록 격벽(168)이 설치된다. 격벽(168)은 제1 전극(162)의 단부를 덮음으로써, 그 위에 형성되는 기능층(164)이나 제2 전극(166)의 단선을 방지할 수 있다. 기능층(164)은 제1 전극(162)과 격벽(168)을 덮도록 형성되고, 그 위에 제2 전극(166)이 형성된다. 제1 전극(162)과 제2 전극(166)으로부터 캐리어가 기능층(164)으로 주입되고, 캐리어의 재결합이 기능층(164) 내에서 발생한다. 이에 의해, 기능층(164) 내의 발광성 분자가 여기 상태로 되고, 이것이 기저 상태로 완화되는 프로세스를 거쳐 발광이 얻어진다. 따라서, 제1 전극(162)과 기능층(164)이 접하는 영역이 각 부화소(130, 132, 134)에 있어서의 발광 영역으로 된다.
기능층(164)의 구성은 적절히 선택할 수 있으며, 예를 들어 캐리어 주입층, 캐리어 수송층, 발광층, 캐리어 저지층, 여기자 저지층 등을 조합하여 구성할 수 있다. 도 8에서는, 기능층(164)이 3개의 층(170, 172, 174)을 갖는 예가 도시되어 있다. 이 경우, 예를 들어 층(170)은 캐리어 (홀) 주입/수송층, 층(172)은 발광층, 층(174)은 캐리어 (전자) 주입/수송층으로 할 수 있다. 발광층인 층(172)은, 도 8에 도시하는 바와 같이, 부화소(130, 132, 134)에서 상이한 재료를 포함하도록 구성할 수 있다. 이 경우, 다른 층(170이나 174)은 부화소(130, 132, 134)에서 공유되도록, 부화소(130, 132, 134) 및 격벽(168) 상에 걸쳐 형성하면 된다. 층(172)에서 사용하는 재료를 적절히 선택함으로써, 부화소(130, 132, 134)에서 상이한 발광색을 얻을 수 있다. 혹은, 층(174)의 구조를 부화소(130, 132, 134) 사이에서 동일하게 해도 된다. 이 경우, 층(174)도 부화소(130, 132, 134)에서 공유되도록, 부화소(130, 132, 134) 및 격벽(168) 상에 걸쳐 형성하면 된다. 이러한 구성에서는 각 부화소(130, 132, 134)의 층(172)으로부터 동일한 발광색이 출력되기 때문에, 예를 들어 층(172)을 백색 발광 가능한 구성으로 하고, 컬러 필터를 사용하여 여러 가지 색(예를 들어, 적색, 녹색, 청색)을 각각 부화소(130, 132, 134)로부터 취출해도 된다.
또한, 표시 장치(100)는, 또한 콘택트 홀(208)과 개구(154)를 덮고, 제1 단자 배선(210)과 접하는 접속 전극(234, 236)을 가져도 된다. 이들 접속 전극(234, 236)은, 제1 전극(162)과 동일층 내에 존재할 수 있다. 접속 전극(234, 236)을 형성함으로써, 표시 장치(100)의 제조 프로세스에 있어서의 제1 단자 배선(210)에 대한 손상을 저감하는 것이 가능하게 되고, 콘택트 저항이 낮은 전기적 접속을 실현할 수 있다.
발광 소자(160) 상에는 밀봉막(패시베이션막)(180)이 설치된다. 밀봉막(180)은, 외부로부터 발광 소자(160)나 트랜지스터(140)로 불순물(물, 산소 등)이 침입하는 것을 방지하는 기능을 갖는다. 도 8에 도시하는 바와 같이, 밀봉막(180)은 3개의 층(182, 184, 186)을 포함할 수 있다. 층(제1 무기막)(182)과 층(제2 무기막)(186)에서는, 무기 화합물을 포함하는 무기막을 사용할 수 있다. 한편, 제1 무기막(182)과 제2 무기막(186)의 사이의 층(184)에서는, 유기 화합물을 포함하는 막(유기막)(184)을 사용할 수 있다. 유기막(184)은, 발광 소자(160)나 격벽(168)에 기인하는 요철을 흡수하여 평탄한 면을 제공하도록 형성할 수 있다. 이 때문에, 유기막(184)의 두께를 비교적 크게 할 수 있다. 그 결과, 터치 센서(200)의 제1 터치 전극(202)과 제2 터치 전극(204)과, 후술하는 발광 소자(160)의 한쪽 전극(제2 전극(166))의 사이의 거리를 크게 할 수 있다. 그 결과, 터치 센서(200)와 제2 전극(166) 사이에서 발생하는 기생 용량을 대폭 작게 할 수 있다.
또한, 제1 무기막(182)과 제2 무기막(186)은 표시 영역(102) 내에 머물도록 형성하는 것이 바람직하다. 환언하면, 제1 무기막(182)과 제2 무기막(186)은 콘택트 홀(208)이나 개구(154)와 겹치지 않도록 설치한다. 이에 의해, 제1 단자 배선(210)과 커넥터(214)나 제1 배선(206)의 사이에서 콘택트 저항이 낮은 전기적 접속이 가능하게 된다. 또한, 표시 영역(102)의 단부에서, 제1 무기막(182)과 제2 무기막(186)이 직접 접하는 것이 바람직하다(도 8에 있어서 원(188)으로 둘러싼 영역 참조). 이에 의해, 제1 무기막(182)이나 제2 무기막(186)과 비교하여 친수성이 높은 유기막(184)을 제1 무기막(182)과 제2 무기막(186)에 의해 밀봉할 수 있기 때문에, 외부로부터의 불순물의 침입, 그리고 표시 영역(102) 내에서의 불순물의 확산을 보다 효과적으로 방지할 수 있다.
표시 장치(100)는, 또한 밀봉막(180) 상에 유기 절연막(190)을 갖는다. 유기 절연막(190)은 밀봉막(180)의 제2 무기막(186)과 접하도록 설치할 수 있다.
상술한 여러 가지 소자나 막에 의해, 제1층(110)이 구성된다.
<2. 제2층>
제2층(112)은 제1 터치 전극(202)이나 제2 터치 전극(204), 층간 절연막(246), 브리지 배선(248), 제1 배선(206), 제2 배선(216) 등을 포함한다.
제1 터치 전극(202)은 개구(250)를 갖는 메쉬상의 배선이다. 이 배선은 격벽(168)과 겹치도록, 격벽(168)을 따르도록(후술함), 밀봉막(180) 및 유기 절연막(190) 상에 형성된다. 제1 터치 전극(202) 혹은 제2 터치 전극(204)과 유기 절연막(190)은 직접 접해도 된다.
층간 절연막(246)은 제1 터치 전극(202)과 접하고, 제1 터치 전극(202)을 덮도록 형성된다. 층간 절연막(246) 내에는 개구가 형성되고, 이 개구를 덮도록 제1 배선(206)이 설치된다. 제1 배선(206)은 표시 영역(102) 밖을 경유하여, 콘택트 홀(208)로 연장된다(도 1a 참조). 제1 배선(206)은, 또한, 콘택트 홀(208)에 있어서 접속 전극(234)을 통하여, 트랜지스터(140)의 소스/드레인 전극(148)(혹은 게이트 전극(146))과 동일층에 존재하는 제1 단자 배선(210)과 전기적으로 접속된다. 이에 의해, 제1 터치 전극(202)과 제1 단자 배선(210)이 전기적으로 접속된다.
제1 터치 전극(202)과 제2 터치 전극(204)을 동일층 내에 형성한 경우, 어느 한쪽의 터치 전극에 있어서 다이아몬드 전극(240)을 브리지 배선(248)으로 접속할 수 있다(도 4a, 도 5a, 도 5b 참조). 이 경우, 제1 배선(206)은 브리지 배선(248)과 동일층 내에 존재할 수 있다. 따라서, 제1 배선(206)과 브리지 배선(248)을 동시에 형성할 수 있다.
이에 비해, 제1 터치 전극(202)과 제2 터치 전극(204)을 서로 다른 층 내에 존재하도록 구성하는 경우(도 7a 내지 도 7c 참조), 제1 배선(206)은, 제1 터치 전극(202)과 제2 터치 전극(204) 중 상측에 위치하는 쪽과 동일층 내에 존재할 수 있고, 동시에 형성된다.
<3. 다른 구성>
표시 장치(100)는, 또한, 임의의 구성으로서, 표시 영역(102)과 겹치는 원편광판(260)을 가져도 된다. 원편광판(260)은, 예를 들어 1/4λ판(262)과 그 위에 배치되는 직선 편광판(264)의 적층 구조를 가질 수 있다. 표시 장치(100)의 밖으로부터 입사되는 광이 직선 편광판(264)을 투과하여 직선 편광으로 된 후 1/4λ판(262)을 통과하면, 우회전의 원편광으로 된다. 이 원편광이 제1 전극(162), 혹은 제1 터치 전극(202), 제2 터치 전극(204)에서 반사되면 좌회전의 원편광으로 되고, 이것이 다시 1/4λ판(262)을 투과함으로써, 직선 편광으로 된다. 이때의 직선 편광의 편광면은, 반사 전의 직선 편광과 직교한다. 따라서, 직선 편광판(264)을 투과할 수 없다. 그 결과, 원편광판(260)을 설치함으로써 외광의 반사가 억제되고, 콘트라스트가 높은 영상을 제공하는 것이 가능하게 된다.
원편광판(260)과 제2층(112)의 사이에는, 보호막으로서 유기 보호막(266)을 설치해도 된다. 이 유기 보호막(266)은 표시 장치(100)를 물리적으로 보호함과 동시에, 원편광판(260)과 제2층(112)을 접착하는 기능을 갖는다. 또한, 임의의 구성으로서, 표시 장치(100)에 커버 필름(268)을 설치해도 된다. 커버 필름(268)은 원편광판(260)을 물리적으로 보호하는 기능을 갖는다.
[5. 터치 전극과 화소의 레이아웃]
상술한 바와 같이, 본 실시 형태의 제1 터치 전극(202), 제2 터치 전극(204)의 각각은, 격자상의 형상을 갖는 메쉬 배선이다. 환언하면, 각각 매트릭스상으로 배치되는 개구(250)를 갖는다. 그리고, 도 8의 단면도로 도시한 바와 같이, 제1 터치 전극(202), 제2 터치 전극(204)의 배선은 격벽(168)과 겹친다. 또한, 도 9에 도시하는 바와 같이, 이 배선은 인접하는 부화소의 사이, 즉 격벽(168)을 따르도록 형성된다. 따라서, 예를 들어 부화소(130, 132, 134)가 스트라이프 배열된 경우, 도 9에 도시하는 바와 같이, 각 부화소(130, 132, 134)는 개구(250)와 겹친다. 환언하면, 각 부화소(130, 132, 134)는 제1 터치 전극(202), 제2 터치 전극(204)의 개구(250)와 겹치는 영역에 배치되고, 제1 터치 전극(202), 제2 터치 전극(204)의 메쉬 배선과는 겹치지 않는다.
여기서, 부화소(130, 132, 134)를 각각 제1 부화소, 제2 부화소, 제3 부화소로 하고, 각각이 제공하는 색을 제1 색, 제2 색, 제3 색으로 하고, 제1 색, 제2 색 및 제3 색은 서로 다른 것으로 한다. 표시 장치(100)에서는, 하나의 개구(250)와 겹치는 제1 부화소(130)의 수, 제2 부화소(132)의 수, 제3 부화소(134)의 수 중 어느 하나는, 다른 2개와 상이하다. 예를 들어, 도 9에서 도시한 구성에서는, 하나의 개구(250)에는, 제1 부화소(130)가 3개, 제2 부화소(132)가 6개, 제3 부화소(134)가 6개 배치되어 있고, 제1 부화소(130)의 수는, 제2 부화소(132)의 수나 제3 부화소(134)의 수와 상이하다.
혹은, 개구(250)를 형성하는 한 변의 길이 Lo는, 화소(120)의 한 변의 길이 Lp의 (n+k/m)배로 되도록, 개구(250)를 형성할 수 있다. 여기서, 길이 Lo의 벡터와 길이 Lp의 벡터는 평행이며, n은 임의의 자연수, m은 하나의 화소(120)에 포함되는 부화소가, 길이 Lp의 벡터에 수직인 방향으로 연신되는 열의 수, k는 m보다 작은 자연수이다. 도 9에서 도시한 스트라이프 배열에서는, m은 3이고, Lo는 Lp의 (1+2/3)배로 되어 있다. 또한, 길이 Lo의 벡터와 길이 Lp의 벡터는, 예를 들어 주사선 구동 회로(126)로부터 연신되고, 표시 영역(102)을 횡단하는 주사 신호선과 평행이어도 된다.
이러한 레이아웃에서는, 개구(250)의, 길이 Lo의 벡터에 수직인 한 쌍의 변(이하, 제1 변(256)과 제2 변(258))에 착안하면, 제1 변(256)에 가장 가깝고, 제1 변(256)을 협지하는 2개의 부화소가 제공하는 색의 조합은, 제2 변(258)에 가장 가깝고, 제2 변(258)을 협지하는 2개의 부화소가 제공하는 색의 조합이 상이하다. 혹은, 색의 조합이 동일해도, 이들 부화소의 위치 관계가 상이하다. 도 9의 예에서는, 개구(250)의 제1 변(256)에 가장 가깝고, 이것을 협지하는 2개의 부화소는, 제1 색을 제공하는 제1 부화소(130)와 제2 색을 제공하는 제2 부화소(132)로 된다. 이에 비해, 개구(250)의 제2 변(258)에 가장 가깝고, 이것을 협지하는 2개의 부화소는, 제3 색을 제공하는 제3 부화소(134)와 제1 색을 제공하는 제1 부화소(130)로 된다.
또한, 이러한 레이아웃에서는, 개구(250)의 적어도 한 변은, 화소(120)를 횡단한다. 도 9의 예에서는, 화소(120_2)를 개구(250)의 제1 변(256)이 횡단한다.
상술한 바와 같이, 제1 터치 전극(202)과 제2 터치 전극(204)은 메쉬 배선이며, 이 배선은 격벽(168)을 따르도록 배치된다. 발광 소자(160)의 발광을 제2 전극(166)을 통하여 취출하는 경우, 도 10에 도시하는 바와 같이, 발광의 일부가 제1 터치 전극(202) 혹은 제2 터치 전극(204)에 의해 차단된다. 즉, 발광 소자(160)의 발광 영역의 단부와 개구(250)의 단부를 연결하는 직선의 제1 전극(162)의 표면에 대한 각도 θ1이 어느 일정한 각도(임계각) 이하인 광은 외부로 취출할 수 없다. 이 임계각은, 예를 들어 발광 소자(160)의 발광 영역의 단부와 개구(250)의 단부의 수평 거리를 5㎛, 수직 거리를 14㎛로 한 경우, 약 70°로 된다. 임계각이 70°인 경우, 이 각도로 출사한 광은, 도 10에 도시하는 바와 같이, 커버 필름(268)과 외부(공기)의 계면에서 굴절된다. 커버 필름(268)의 굴절률을 1.5로 하면, 커버 필름(268)의 표면으로부터 취출되는 광의 출사 각도 θ2는, 커버 필름(268)의 법선으로부터 30.9°로 된다. 따라서, 이 출사 각도 θ2보다 큰 시야각으로 표시 장치(100)를 본 경우에는, 발광의 일부가 차단되기 때문에, 휘도의 저하와 함께 화상의 색도가 변화한다. 그 결과, 예를 들어 개구(250)를 형성하는 변이 항상 제1 부화소(130)와 제2 부화소(132)에 협지되어 있는 경우, 이들 부화소(130, 132)가 제공하는 색도의 시야각 의존성이 커지는 것에 비해, 제3 부화소(134)에 대해서는 색도의 시야각 의존성이 작다.
이에 대해, 상술한 바와 같은 레이아웃을 채용함으로써, 제공하는 색이 상이한 부화소가 동일한 확률로 메쉬상의 배선에 인접하므로, 각 부화소가 제공하는, 색도에 대한 시야각 의존성이 균등하게 된다. 그 결과, 화상 전체에 대하여 제공하는 색의 시야각 의존성을 해소하는 것이 가능하게 된다.
화소(120)나 그것에 포함되는 부화소, 및 제1 터치 전극(202), 제2 터치 전극(204)의 개구(250)의 레이아웃은, 도 9에 도시한 레이아웃에 한정되지 않고, 예를 들어 도 11 내지 도 14에 도시하는 레이아웃을 채용할 수도 있다. 도 9에서는, 하나의 개구(250)가 복수의 행에 형성되는 화소(120)와 겹치는 예가 도시되어 있지만, 하나의 개구(250)와 겹치는 화소(120)의 행은 하나여도 된다. 구체적으로는 도 11에 도시하는 바와 같이, 화소(120)의 행마다 개구(250)의 변이 존재해도 된다. 도 12에서 도시한 레이아웃은, 도 11에서 도시한 레이아웃과 비교하여, 개구(250)의 한 변의 길이 Lo가, 화소(120)의 한 변의 길이 Lp의 (2+1/3)배라는 점에서 상이하다. 도 13에서 도시한 레이아웃에서는, 하나의 화소(120)에 2개의 부화소가 형성된다는 점에서, 다른 레이아웃과 상이하다. 여기서는, 개구(250)의 한 변의 길이 Lo가, 화소(120)의 한 변의 길이 Lp의 (1+1/3)배이다.
도 14에 도시한 레이아웃에서는, 하나의 화소(120) 내에 형성되는 부화소의 수는 3개이지만, 하나의 부화소의 면적이 다른 것과 상이하다. 이 레이아웃에서는, 각 화소(120)에 있어서 부화소는, 길이 Lp에 수직인 방향을 따라 2열로 배치되어 있다. 따라서 m은 2이다. 이 때문에, 개구(250)의 한 변의 길이 Lo가, 화소(120)의 한 변의 길이 Lp의 (2+1/2)배로 되어 있다.
상기 어느 레이아웃에 있어서든, 하나의 개구(250)와 겹치는 제1 부화소(130)의 수, 제2 부화소(132)의 수, 제3 부화소(134)의 수 중 어느 하나는, 다른 2개와 상이하다. 또한, 개구(250)의 한 변의 길이 Lo는, 화소(120)의 한 변의 길이 Lp의 (n+k/m)배이다. 또한, 하나의 개구(250)에 주목하면, 제1 변(256)에 가장 가깝고, 제1 변을 협지하는 2개의 부화소가 제공하는 색의 조합은, 제2 변(258)에 가장 가깝고, 제2 변(258)을 협지하는 2개의 부화소가 제공하는 색의 조합과 상이하다. 도 14의 경우, 제1 변(256)에 가장 가깝고, 제1 변(256)을 협지하는 2개의 부화소에서는, 좌측에 제3 부화소(134), 우측에 제1 부화소(130)를 갖고 있다. 이에 비해, 제2 변(258)에 가장 가깝고, 제2 변(258)을 협지하는 2개의 부화소에서는, 좌측에 제1 부화소(130), 우측에 제3 부화소(134)를 갖고 있다. 동시에, 개구(250)의 적어도 한 변은, 화소(120)를 횡단한다. 따라서, 각 부화소가 제공하는, 색도에 대한 시야각 의존성이 균등하게 되고, 화상 전체에 대하여 제공하는, 색도의 시야각 의존성을 해소하는 것이 가능하게 된다.
본 실시 형태의 표시 장치(100)가 탑재하는 터치 센서(200)에서는, 제1 터치 전극(202)과 제2 터치 전극(204)은, 0가의 금속을 주성분으로서 갖는 메쉬상의 금속 배선으로서 형성할 수 있다. 이 때문에, 제1 터치 전극(202)과 제2 터치 전극(204)의 전기 저항이 작고, 응답의 시상수를 작게 할 수 있다. 그 결과, 센서로서의 응답 속도를 향상시킬 수 있다. 또한, 상세는 후술하겠지만, 제1 터치 전극(202)과 제2 터치 전극(204)은 포토리소그래피를 사용하여 형성할 수 있다. 이 때문에, 종래의 방법, 즉 터치 패널을 별도로 형성하여 표시 장치 상에 탑재한다고 하는 방법에 비하여, 고정밀도로 제1 터치 전극(202)과 제2 터치 전극(204)을 배치하는 것이 가능하다.
또한, 표시 장치(100)에는 원편광판(260)을 설치할 수 있다. 따라서, 제1 터치 전극(202)이나 제2 터치 전극(204)에 의해 반사된 외광이 표시 장치(100) 밖으로 출사되는 일이 없고, 콘트라스트가 높은, 고품질의 영상을 제공할 수 있다.
상술한 바와 같이, 제1 터치 전극(202)과 제2 터치 전극(204)은 개구(250)를 갖고 있으며, 개구(250)를 형성하는 배선은, 발광 소자(160) 사이의 격벽(168)을 따르도록 설치된다. 따라서, 각 부화소는 개구(250) 내에 위치한다. 종래, 터치 센서용 전극은, ITO 등의 투광성 도전막을 사용하여, 부화소와 겹치도록 설치되어 있었기 때문에, 투광성 도전막의 광 흡수에 기인하여, 각 화소(120)의 휘도가 저하된다. 이에 비해 본 실시 형태의 표시 장치(100)에서는, 시야각이 임계각보다 커지지 않는 한, 화소(120)로부터의 발광이 터치 센서에 의해 흡수, 차폐되는 일이 없다. 따라서, 발광 소자(160)로부터의 발광을 효과적으로 이용할 수 있고, 소비 전력의 저감에 기여할 수 있다.
표시 장치(100)에서는, 제1 터치 전극(202)과 제2 터치 전극(204)에 제공하는 신호는, 표시 영역(102)을 제어하는 트랜지스터(140)의 소스/드레인 전극(148), 또는 게이트 전극(146)과 동일한 층에 존재하는 제1 단자 배선(210), 제2 단자 배선(220)을 통하여 입력된다. 이 때문에, 터치 센서(200)로의 신호 입력과, 표시 영역(102)으로의 신호 입력을 위한 단자(제1 단자(212), 제2 단자(222), 제3 단자(122))를 동일한 기판 상에 설치할 수 있고, 커넥터(214)의 수를 저감시킬 수 있다.
(제2 실시 형태)
본 실시 형태에서는, 제1 실시 형태에서 설명한 표시 장치(100)의 제작 방법을, 도 8 및 도 15a 내지 도 22를 사용하여 설명한다. 도 15a 내지 도 22는, 도 8에 도시한 단면에 대응한다. 제1 실시 형태에서 설명한 내용과 동일한 내용의 설명은 생략하는 경우가 있다.
[1. 제1층]
도 15a에 도시하는 바와 같이, 우선 기판(104) 상에 하지막(106)을 형성한다. 기판(104)은, 트랜지스터(140) 등, 표시 영역(102)에 포함되는 반도체 소자나 터치 센서(200) 등을 지지하는 기능을 갖는다. 따라서, 기판(104)에는, 이 위에 형성되는 각종 소자의 프로세스의 온도에 대한 내열성과 프로세스에서 사용되는 약품에 대한 화학적 안정성을 갖는 재료를 사용하면 된다. 구체적으로는, 기판(104)은 유리나 석영, 플라스틱, 금속, 세라믹 등을 포함할 수 있다.
표시 장치(100)에 가요성을 부여하는 경우, 기판(104) 상에 기재를 형성하면 된다. 이 경우, 기판(104)은 지지 기판이라고도 불린다. 기재는 가요성을 갖는 절연막이며, 예를 들어 폴리이미드, 폴리아미드, 폴리에스테르, 폴리카보나토로 예시되는 고분자 재료로부터 선택되는 재료를 포함할 수 있다. 기재는, 예를 들어 인쇄법이나 잉크젯법, 스핀 코팅법, 딥 코팅법 등의 습식 성막법, 혹은 라미네이트법 등을 적용하여 형성할 수 있다.
하지막(106)은 기판(104)(및 기재)으로부터 알칼리 금속 등의 불순물이 트랜지스터(140) 등으로 확산되는 것을 방지하는 기능을 갖는 막이며, 질화규소나 산화규소, 질화산화규소, 산화질화규소 등의 무기 절연체를 포함할 수 있다. 하지막(106)은 화학 기상 성장법(CVD법)이나 스퍼터링법 등을 적용하여 단층, 혹은 적층 구조를 갖도록 형성할 수 있다. 기판(104) 중의 불순물 농도가 작은 경우, 하지막(106)은 설치하지 않거나, 혹은 기판(104)의 일부만을 덮도록 형성해도 된다.
이어서 반도체막(142)을 형성한다(도 15a). 반도체막(142)은 예를 들어 규소 등의 14족 원소를 포함할 수 있다. 혹은 반도체막(142)은 산화물 반도체를 포함해도 된다. 산화물 반도체로서는, 인듐이나 갈륨 등의 제13족 원소가 예시되며, 예를 들어 인듐과 갈륨의 혼합 산화물(IGO)을 들 수 있다. 산화물 반도체를 사용하는 경우, 반도체막(142)은 12족 원소를 더 포함해도 되며, 일례로서 인듐, 갈륨 및 아연을 포함하는 혼합 산화물(IGZO)을 들 수 있다. 반도체막(142)의 결정성에 한정은 없으며, 반도체막(142)은 단결정, 다결정, 미결정, 혹은 아몰퍼스의 어느 상태를 포함해도 된다.
반도체막(142)이 규소를 포함하는 경우, 반도체막(142)은, 실란 가스 등을 원료로서 사용하여, CVD법에 의해 형성하면 된다. 얻어지는 아몰퍼스 실리콘에 대하여 가열 처리, 혹은 레이저 등의 광을 조사함으로써 결정화를 행해도 된다. 반도체막(142)이 산화물 반도체를 포함하는 경우, 스퍼터링법 등을 이용하여 형성할 수 있다.
이어서 반도체막(142)을 덮도록 게이트 절연막(144)을 형성한다(도 15a). 게이트 절연막(144)은 단층 구조, 적층 구조의 어느 구조를 가져도 되며, 하지막(106)과 마찬가지의 방법으로 형성할 수 있다.
계속해서, 게이트 절연막(144) 상에 게이트 전극(146)을 스퍼터링법이나 CVD법을 사용하여 형성한다(도 15b). 게이트 전극(146)은 티타늄이나 알루미늄, 구리, 몰리브덴, 텅스텐, 탄탈륨 등의 금속이나 그의 합금 등을 사용하여, 단층, 혹은 적층 구조를 갖도록 형성할 수 있다. 예를 들어 티타늄이나 텅스텐, 몰리브덴 등의 비교적 높은 융점을 갖는 금속으로 알루미늄이나 구리 등의 도전성이 높은 금속을 협지하는 구조를 채용할 수 있다.
이어서 게이트 전극(146) 상에 층간막(108)을 형성한다(도 16a). 층간막(108)은 단층 구조, 적층 구조의 어느 구조를 가져도 되며, 하지막(106)과 마찬가지의 방법으로 형성할 수 있다. 적층 구조를 갖는 경우, 예를 들어 유기 화합물을 포함하는 층을 형성한 후, 무기 화합물을 포함하는 층을 적층해도 된다.
이어서, 층간막(108)과 게이트 절연막(144)에 대하여 에칭을 행하여, 반도체막(142)에 달하는 개구를 형성한다. 개구는, 예를 들어 불소 함유 탄화수소를 포함하는 가스 중에서 플라즈마 에칭을 행함으로써 형성할 수 있다.
이어서 개구를 덮도록 금속막을 형성하고, 에칭을 행하여 성형함으로써, 소스/드레인 전극(148)을 형성한다. 본 실시 형태에서는, 소스/드레인 전극(148)의 형성과 동시에 제1 단자 배선(210)을 형성한다(도 16b). 따라서, 소스/드레인 전극(148)과 제1 단자 배선(210)은 동일한 층 내에 존재할 수 있다. 금속막은 게이트 전극(146)과 마찬가지의 구조를 가질 수 있고, 게이트 전극(146)의 형성과 마찬가지의 방법을 사용하여 형성할 수 있다.
이어서 평탄화막(114)을, 소스/드레인 전극(148)이나 제1 단자 배선(210)을 덮도록 형성한다(도 17a). 평탄화막(114)은, 트랜지스터(140)나 제1 단자 배선(210) 등에 기인하는 요철이나 경사를 흡수하고, 평탄한 면을 제공하는 기능을 갖는다. 평탄화막(114)은 유기 절연체로 형성할 수 있다. 유기 절연체로서 에폭시 수지, 아크릴 수지, 폴리이미드, 폴리아미드, 폴리에스테르, 폴리카보나토, 폴리실록산 등의 고분자 재료를 들 수 있고, 평탄화막(114)은 상술한 습식 성막법 등에 의해 형성할 수 있다.
계속해서, 평탄화막(114) 상에는 무기 절연막(150)이 형성된다(도 17a). 상술한 바와 같이, 무기 절연막(150)은 트랜지스터(140)에 대한 보호막으로서 기능할 뿐만 아니라, 나중에 형성되는 발광 소자(160)의 제1 전극(162)과 함께 용량을 형성한다. 따라서, 유전율이 비교적 높은 재료를 사용하는 것이 바람직하다. 예를 들어 질화규소나 질화산화규소, 산화질화규소 등을 사용하여, CVD법이나 스퍼터링법을 적용하여 무기 절연막(150)을 형성할 수 있다.
이어서 도 17b에 도시하는 바와 같이, 소스/드레인 전극(148)과 제1 단자 배선(210)을 에칭 스토퍼로서 사용하여, 무기 절연막(150)과 평탄화막(114)에 대하여 에칭을 행하여, 개구(154), 콘택트 홀(152, 208)을 형성한다. 그 후 이들 개구 혹은 콘택트 홀을 덮도록 제1 전극(162) 및 접속 전극(234, 236)을 형성한다(도 18a).
여기서, 접속 전극(236)이 형성된 영역, 즉 개구(154)는, 나중에 이방성 도전막 등을 통하여 FPC 등의 커넥터(214)가 접속되는 영역으로 되기 때문에, 접속 전극(234)이 형성된 영역, 즉 콘택트 홀(208)보다 훨씬 면적이 크다. 전자는 커넥터(214)의 단자 피치 등에 의해 좌우되는데, 예를 들어 폭 10㎛ 내지 50㎛, 길이 1mm 내지 2mm 등과 같은 사이즈인 것에 비해, 후자는 수㎛□ 내지 십수 ㎛□ 정도이면 충분하다. 개구(154)에 대해서는, 커넥터(214)의 실장 공정상, 미세화에는 제한이 있지만, 콘택트 홀(208)은, 여기서 접속되는 도전층끼리(여기서는, 제1 단자 배선(210), 접속 전극(234) 및 제1 배선(206)) 충분히 낮은 콘택트 저항으로 접속되는 정도이면 최소한이어도 된다.
발광 소자(160)로부터의 발광을 제2 전극(166)으로부터 취출하는 경우, 제1 전극(162)은 가시광을 반사하도록 구성된다. 이 경우, 제1 전극(162)에는, 은이나 알루미늄 등의 반사율이 높은 금속이나 그의 합금을 사용한다. 혹은 이들 금속이나 합금을 포함하는 막 위에, 투광성을 갖는 도전성 산화물의 막을 형성한다. 도전 산화물로서는 ITO나 IZO 등을 들 수 있다. 발광 소자(160)로부터의 발광을 제1 전극(162)으로부터 취출하는 경우에는, ITO나 IZO를 사용하여 제1 전극(162)을 형성하면 된다.
본 실시 형태에서는, 제1 전극(162) 및 접속 전극(234, 236)이 무기 절연막(150) 상에 형성된다. 따라서, 예를 들어 개구(154), 콘택트 홀(152, 208)을 덮도록 상기 금속의 막을 형성하고, 그 후 가시광을 투과하는 도전 산화물을 포함하는 막을 형성하고, 에칭에 의한 가공을 행하여 제1 전극(162) 및 접속 전극(234, 236)을 형성할 수 있다. 혹은, 도전 산화물의 막, 상기 금속의 막, 도전 산화물의 막을 개구(154), 콘택트 홀(152, 208)을 덮도록 순차적으로 적층하고, 그 후 에칭 가공을 행해도 된다. 혹은, 도전성 산화물을 개구(154), 콘택트 홀(152, 208)을 덮도록 형성하고, 그 후, 콘택트 홀(152)을 선택적으로 덮도록 도전 산화물의 막/상기 금속의 막/도전 산화물의 막의 적층막을 형성해도 된다.
이어서, 제1 전극(162)의 단부를 덮도록 격벽(168)을 형성한다(도 18b). 격벽(168)에 의해, 제1 전극(162) 등에 기인하는 단차를 흡수하고, 또한 인접하는 부화소의 제1 전극(162)을 서로 전기적으로 절연할 수 있다. 격벽(168)은 에폭시 수지나 아크릴 수지 등, 평탄화막(114)에서 사용 가능한 재료를 사용하여, 습식 성막법으로 형성할 수 있다.
이어서 발광 소자(160)의 기능층(164) 및 제2 전극(166)을, 제1 전극(162)과 격벽(168)을 덮도록 형성한다(도 18b). 기능층(164)은 주로 유기 화합물을 포함하며, 잉크젯법이나 스핀 코팅법 등의 습식 성막법, 혹은 증착 등의 건식 성막법을 적용하여 형성할 수 있다.
발광 소자(160)로부터의 발광을 제1 전극(162)으로부터 취출하는 경우에는, 제2 전극(166)으로서, 알루미늄이나 마그네슘, 은 등의 금속이나 이들의 합금을 사용하면 된다. 반대로 발광 소자(160)로부터의 발광을 제2 전극(166)으로부터 취출하는 경우에는, 제2 전극(166)으로서, ITO 등의 투광성을 갖는 도전성 산화물 등을 사용하면 된다. 혹은, 상술한 금속을 포함하는 막을 가시광이 투과할 정도의 두께로 형성할 수 있다. 이 경우, 투광성을 갖는 도전성 산화물을 더 적층해도 된다.
이어서 밀봉막(180)을 형성한다. 도 19a에 도시하는 바와 같이, 우선 제1 무기막(182)을 발광 소자(160)나 접속 전극(234, 236)을 덮도록 형성한다. 제1 무기막(182)은, 예를 들어 질화규소나 산화규소, 질화산화규소, 산화질화규소 등의 무기 재료를 포함할 수 있고, 하지막(106)과 마찬가지의 방법으로 형성할 수 있다.
계속해서 유기막(184)을 형성한다(도 19a). 유기막(184)은, 아크릴 수지나 폴리실록산, 폴리이미드, 폴리에스테르 등을 포함하는 유기 수지를 함유할 수 있다. 또한, 도 19a에 도시하는 바와 같이, 격벽(168)에 기인하는 요철을 흡수하도록, 또한 평탄한 면을 제공하는 두께로 형성해도 된다. 유기막(184)은, 표시 영역(102) 내에 선택적으로 형성하는 것이 바람직하다. 즉 유기막(184)은, 접속 전극(234, 236)과 겹치지 않도록 형성하는 것이 바람직하다. 유기막(184)은, 잉크젯법 등의 습식 성막법에 의해 형성할 수 있다. 혹은, 상기 고분자 재료의 원료로 되는 올리고머를 감압 하에서 안개상 혹은 가스상으로 하여, 이것을 제1 무기막(182)에 분사하고, 그 후 올리고머를 중합함으로써 유기막(184)을 형성해도 된다.
그 후, 제2 무기막(186)을 형성한다(도 19a). 제2 무기막(186)은, 제1 무기막(182)과 마찬가지의 구조를 갖고, 마찬가지의 방법으로 형성할 수 있다. 제2 무기막(186)도, 유기막(184) 상 뿐만 아니라, 접속 전극(234, 236)을 덮도록 형성할 수 있다. 이에 의해, 유기막(184)을 제1 무기막(182)과 제2 무기막(186)으로 밀봉할 수 있다.
계속해서, 유기 절연막(190)을 형성한다(도 19b). 유기 절연막(190)은, 밀봉막(180)의 유기막(184)과 마찬가지의 재료를 포함할 수 있고, 이것과 마찬가지의 방법으로 형성할 수 있다. 유기 절연막(190)은, 도 19b에 도시하는 바와 같이, 표시 영역(102) 내에 선택적으로, 제1 무기막(182)과 제2 무기막(186)이 서로 접하는 영역을 덮고, 또한 접속 전극(234, 236)과 겹치지 않도록 형성하는 것이 바람직하다. 계속해서 유기 절연막(190)을 마스크로서 사용하여, 유기 절연막(190)으로부터 노출된 제1 무기막(182)과 제2 무기막(186)을 에칭에 의해 제거한다(도 20a). 이에 의해, 표시 영역(102) 밖에 배치되는 콘택트 홀(208) 및 개구(154)에 있어서, 각각 접속 전극(234, 236)이 노출된다. 이때, 무기 절연막(150)도 일부 에칭되어, 두께가 작아지는 경우가 있다.
이상의 프로세스에 의해, 제1층(110)이 형성된다.
[2. 제2층]
이후, 터치 센서(200)를 포함하는 제2층(112)을 형성한다. 구체적으로는, 유기 절연막(190) 상에 제1 터치 전극(202)을 형성한다(도 20b). 제1 터치 전극(202)은 금속(0가 금속)을 주성분으로서 포함할 수 있고, 금속으로서는 티타늄이나 알루미늄, 몰리브덴, 텅스텐, 탄탈륨, 크롬, 구리 및 이들의 합금 등을 들 수 있다. 이들 금속 혹은 합금을 포함하는 막을, CVD법이나 스퍼터링법을 사용하여 기판(104)의 거의 전체면에 형성한 후, 레지스트를 형성하고, 에칭(즉, 포토리소그래피 프로세스)함으로써, 정밀한 패턴을 갖는 제1 터치 전극(202)을 메쉬상의 배선으로서 형성할 수 있다.
또한, 제1 터치 전극(202)과 제2 터치 전극(204)이 동일한 층 내에 존재하는 경우, 제1 터치 전극(202)과 제2 터치 전극(204)을 동시에 형성하면 된다. 또한, 제1 터치 전극(202)과 제2 터치 전극(204)은, 투광성을 갖는 도전성 산화물을 사용하여 형성해도 된다.
계속해서, 제1 터치 전극(202) 상에 층간 절연막(246)을 형성한다(도 20b). 층간 절연막(246)은, 유기막(184)과 동등한 재료 및 방법으로 형성할 수 있다. 평탄화막(114) 등과 상이한 점은, 예를 들어 베이크 처리 등을 행하는 경우에, 고온을 사용하지 않는다는 점이다. 이 시점에서 이미 유기 화합물을 포함하는 기능층(164)이 형성되어 있기 때문에, 유기 화합물이 분해되지 않을 정도의 온도 하에서 처리를 행할 것이 요망된다. 제1 터치 전극(202)과 제2 터치 전극(204)이 동일한 층 내에 존재하는 경우, 제1 터치 전극(202)과 제2 터치 전극(204) 상에, 이들을 덮도록 층간 절연막(246)을 형성한다.
이후, 층간 절연막(246)에 개구를 형성하고, 개구를 덮도록 제2 터치 전극(204)을 형성함과 동시에 제1 배선(206)을 형성한다. 개구는, 층간 절연막(246)을 예를 들어 감광성 수지 등을 사용하여 형성할 때 형성할 수 있다. 제1 배선(206)은, 콘택트 홀(208)을 덮도록 형성되며, 이에 의해, 제1 터치 전극(202)과 제1 단자 배선(210)이 전기적으로 접속된다(도 21). 제1 배선(206)과 제2 터치 전극(204)은, 제1 터치 전극(202)과 마찬가지의 방법, 재료를 사용하여 형성할 수 있다.
제1 터치 전극(202)과 제2 터치 전극(204)이 동일한 층 내에 존재하는 경우, 제1 배선(206)과 제1 터치 전극(202), 혹은 제1 배선(206)과 제2 터치 전극(204)의 접속을 위한 개구뿐만 아니라, 다이아몬드 전극(240)끼리의 접속를 위한 개구(244)를 층간 절연막(246)에 형성한다. 그 후, 브리지 배선(248)과 제1 배선(206)을 동시에 형성한다. 이 때에도 마찬가지로, 제1 배선(206)은 티타늄이나 알루미늄, 몰리브덴, 텅스텐, 탄탈륨, 크롬, 구리 및 이들의 합금 등을 사용하며, CVD법이나 스퍼터링법을 적용하여 형성할 수 있다.
이상의 프로세스에 의해, 제2층(112)이 형성된다.
[3. 그 밖의 층]
그 후, 유기 보호막(266), 원편광판(260) 및 커버 필름(268)을 형성한다. 계속해서 커넥터(214)를 개구(154)에 있어서 이방성 도전막(252) 등을 사용하여 접속함으로써, 도 8에 도시하는 표시 장치(100)를 형성할 수 있다. 유기 보호막(266)은 폴리에스테르, 에폭시 수지, 아크릴 수지 등의 고분자 재료를 포함할 수 있고, 인쇄법이나 라미네이트법 등을 적용하여 형성할 수 있다. 커버 필름(268)도 유기 보호막(266)과 마찬가지로 고분자 재료를 포함할 수 있고, 상술한 고분자 재료에 추가하여, 폴리올레핀, 폴리이미드 등의 고분자 재료를 적용하는 것도 가능하다.
도시하지 않았지만, 표시 장치(100)에 가요성을 부여하는 경우, 예를 들어 커넥터(214)를 형성한 후, 원편광판(260)을 형성한 후, 혹은 유기 보호막(266)을 형성한 후에, 레이저 등의 광을 기판(104)측으로부터 조사하여 기판(104)과 기재 간의 접착력을 저하시키고, 그 후 물리적인 힘을 이용하여 이들의 계면에서 기판(104)을 박리하면 된다.
본 실시 형태에서 설명한 바와 같이, 터치 센서(200)는 복수의 제1 터치 전극(202)과 복수의 제2 터치 전극(204)을 포함한다. 복수의 제1 터치 전극(202)과 복수의 제2 터치 전극(204)의 각각은 메쉬상의 금속 배선이며, 금속 배선은 포토리소그래피 프로세스에 의해 형성할 수 있다. 따라서, 정밀한 레이아웃을 갖는 제1 터치 전극(202), 제2 터치 전극(204)을 형성할 수 있다.
본 발명의 실시 형태로서 상술한 각 실시 형태는, 서로 모순되지 않는 한, 적절히 조합하여 실시할 수 있다. 또한, 각 실시 형태의 표시 장치를 기초로 하여, 당업자가 적절히 구성 요소의 추가, 삭제 혹은 설계 변경을 행한 것, 또는 공정의 추가, 생략 혹은 조건 변경을 행한 것도, 본 발명의 요지를 구비하고 있는 한, 본 발명의 범위에 포함된다.
본 명세서에 있어서는, 개시예로서 주로 EL 표시 장치의 경우를 예시하였지만, 다른 적용예로서, 그 밖의 자발광형 표시 장치, 액정 표시 장치, 혹은 전기 영동 소자 등을 갖는 전자 페이퍼형 표시 장치 등, 모든 플랫 패널형의 표시 장치를 들 수 있다. 또한, 중소형부터 대형까지, 특별히 한정되지 않고 적용이 가능하다.
상술한 각 실시 형태의 형태에 의해 초래되는 작용 효과와는 상이한 다른 작용 효과라도, 본 명세서의 기재로부터 명확한 것, 또는 당업자에 있어서 용이하게 예측할 수 있는 것에 대해서는, 당연히 본 발명에 의해 초래되는 것이라고 해석된다.
100: 표시 장치
102: 표시 영역
104: 기판
106: 하지막
108: 층간막
110: 제1층
112: 제2층
114: 평탄화막
120: 화소
122: 제3 단자
124: IC 칩
126: 주사선 구동 회로
130: 제1 부화소
132: 제2 부화소
134: 제3 부화소
140: 트랜지스터
142: 반도체막
142a: 채널 영역
142b: 소스/드레인 영역
144: 게이트 절연막
146: 게이트 전극
148: 소스/드레인 전극
150: 무기 절연막
152: 콘택트 홀
154: 개구
160: 발광 소자
162: 제1 전극
164: 기능층
166: 제2 전극
168: 격벽
170: 층
172: 층
174: 층
180: 밀봉막
182: 제1 무기막
184: 유기막
186: 제2 무기막
188: 원
190: 유기 절연막
200: 터치 센서
203: 더미 전극
202: 제1 터치 전극
204: 제2 터치 전극
206: 제1 배선
208: 콘택트 홀
210: 제1 단자 배선
212: 제1 단자
214: 커넥터
216: 제2 배선
218: 콘택트 홀
220: 제2 단자 배선
222: 제2 단자
234: 접속 전극
236: 접속 전극
240: 다이아몬드 전극
242: 접속 영역
244: 개구
246: 층간 절연막
248: 브리지 배선
250: 개구
252: 이방성 도전막
254: 돌기부
256: 제1 변
258: 제2 변
260: 원편광판
262: 1/4λ판
264: 직선 편광판
266: 유기 보호막
268: 커버 필름

Claims (17)

  1. 제1 광을 발하도록 구성된 복수의 제1 부화소, 제2 광을 발하도록 구성된 복수의 제2 부화소, 및 제3 광을 발하도록 구성된 복수의 제3 부화소를 포함하는 표시 영역과,
    상기 제1 부화소, 상기 제2 부화소, 상기 제3 부화소 중 인접하는 2개의 부화소 사이에 끼워진 격벽과,
    상기 제1 부화소, 상기 제2 부화소, 상기 제3 부화소 및 상기 격벽 상의 밀봉막과,
    상기 격벽과 겹치고, 상기 격벽을 따르는 제1 터치 전극, 및
    상기 격벽과 겹치고, 상기 격벽을 따르고, 상기 제1 터치 전극과 교차하는 제2 터치 전극
    을 갖고,
    상기 제1 광, 상기 제2 광, 상기 제3 광은 서로 색이 상이하고,
    상기 제1 터치 전극은 상기 제2 터치 전극과 동일한 층에서 형성되는 부분을 포함하고,
    상기 제1 터치 전극과 상기 제2 터치 전극은, 각각 복수의 개구를 갖고,
    상기 복수의 개구 중 하나와, 다른 하나에 각각 겹치는 영역에 있어서, 상기 제1 부화소, 상기 제2 부화소, 및 상기 제3 부화소 중 적어도 2개가 포함되고,
    상기 복수의 개구 중 하나와, 다른 하나에 각각 겹치는 영역에 포함되는 상기 제1 부화소, 상기 제2 부화소, 및 상기 제3 부화소의 총 수는 동등하고,
    상기 개구 중 하나와 겹치는 영역에 있어서, 상기 제1 부화소의 수, 상기 제2 부화소의 수 및 상기 제3 부화소의 수 중 하나는 다른 2개와 상이한, 표시 장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 제1 터치 전극 및 상기 제2 터치 전극 상에 원편광판을 더 갖는, 표시 장치.
  3. 제1항에 있어서, 상기 밀봉막은 무기막과 유기막의 적층을 갖고,
    상기 밀봉막 상에, 상기 밀봉막과 접하는 제2 유기막을 더 갖는, 표시 장치.
  4. 제1항에 있어서, 브리지 배선과,
    상기 브리지 배선과, 상기 제1 터치 전극과 상기 제2 터치 전극 상의 층간 절연막을 갖고,
    상기 제2 터치 전극은 복수의 전극을 갖고,
    상기 제1 터치 전극과 상기 제2 터치 전극이 교차하는 영역에 있어서, 인접하는 상기 전극은 상기 브리지 배선을 통하여 접속되는, 표시 장치.
  5. 제4항에 있어서, 상기 제1 터치 전극과 상기 제2 터치 전극은, 각각 제1 배선과 제2 배선에 전기적으로 접속되고,
    상기 제1 배선과 상기 제2 배선은, 상기 브리지 배선과 동일층 내에 존재하는, 표시 장치.
  6. 제5항에 있어서, 상기 복수의 제1 부화소, 상기 복수의 제2 부화소, 상기 복수의 제3 부화소 중 적어도 하나와 전기적으로 접속되고, 게이트 전극과 소스/드레인 전극을 갖는 트랜지스터를 더 갖고,
    상기 표시 영역 밖에 있어서, 상기 제1 배선과 상기 제2 배선은, 각각 제1 단자 배선과 제2 단자 배선에 전기적으로 접속되고,
    상기 제1 단자 배선과 상기 제2 단자 배선은, 상기 게이트 전극과 상기 소스/드레인 전극 중 어느 한쪽과 동일층 내에 존재하는, 표시 장치.
  7. 제6항에 있어서, 상기 제1 단자 배선의 일부와 상기 제2 단자 배선의 일부는 노출되어 커넥터와 전기적으로 접속되는, 표시 장치.
  8. 제1항에 있어서, 상기 제1 터치 전극과 상기 제2 터치 전극은, 서로 교호하는 복수의 사각형 영역과 복수의 접속 영역을 갖고,
    상기 복수의 사각형 영역의 각각의 단부는, 상기 개구를 형성하지 않는 부분을 갖는, 표시 장치.
  9. 제1항에 있어서, 상기 제1 부화소의 하나, 상기 제2 부화소의 하나, 상기 제3 부화소의 하나 중 적어도 2개로 화소가 형성되고,
    상기 개구의 하나의 변의 길이 Lo는, 상기 화소의 하나의 변의 길이 Lp의 (n+k/m)배이고,
    상기 길이 Lo의 벡터와 상기 길이 Lp의 벡터는 평행이고,
    n은 임의의 자연수이고,
    m은, 상기 화소에 포함되는 상기 부화소가, 상기 길이 Lp의 상기 벡터에 수직인 방향으로 형성되는 열의 수이고,
    k는 m보다 작은 자연수인, 표시 장치.
  10. 제1 광을 발하도록 구성된 복수의 제1 부화소, 제2 광을 발하도록 구성된 복수의 제2 부화소, 및 제3 광을 발하도록 구성된 복수의 제3 부화소를 포함하는 표시 영역과,
    상기 제1 부화소, 상기 제2 부화소, 상기 제3 부화소 중 인접하는 2개의 부화소 사이에 끼워진 격벽과,
    상기 제1 부화소, 상기 제2 부화소, 상기 제3 부화소 및 상기 격벽 상의 밀봉막과,
    상기 격벽과 겹치고, 상기 격벽을 따르는 제1 터치 전극과,
    상기 제1 터치 전극 상의 층간 절연막, 및
    상기 층간 절연막 상에 위치하고, 상기 격벽과 겹치고, 상기 격벽을 따르고, 상기 제1 터치 전극과 교차하는 제2 터치 전극
    을 갖고,
    상기 제1 광, 상기 제2 광, 상기 제3 광은 서로 색이 상이하고,
    상기 제1 터치 전극과 상기 제2 터치 전극은, 각각 복수의 개구를 갖고,
    상기 복수의 개구 중 하나와, 다른 하나에 각각 겹치는 영역에 있어서, 상기 제1 부화소, 상기 제2 부화소, 및 상기 제3 부화소 중 적어도 2개가 포함되고,
    상기 복수의 개구 중 하나와, 다른 하나에 각각 겹치는 영역에 포함되는 상기 제1 부화소, 상기 제2 부화소, 및 상기 제3 부화소의 총 수는 동등하고,
    상기 개구 중 하나와 겹치는 영역에 있어서, 상기 제1 부화소의 수, 상기 제2 부화소의 수 및 상기 제3 부화소의 수 중 하나는 다른 2개와 상이한, 표시 장치.
  11. 제10항에 있어서, 상기 제2 터치 전극 상에 원편광판을 더 갖는, 표시 장치.
  12. 제10항에 있어서, 상기 밀봉막은 무기막과 유기막의 적층을 갖고,
    상기 밀봉막 상에, 상기 밀봉막과 접하는 제2 유기막을 더 갖는, 표시 장치.
  13. 제10항에 있어서, 상기 제1 터치 전극과 상기 제2 터치 전극은, 각각 제1 배선과 제2 배선에 전기적으로 접속되고,
    상기 제1 배선과 상기 제2 배선은, 상기 제2 터치 전극과 동일층 내에 존재하는, 표시 장치.
  14. 제13항에 있어서, 상기 복수의 제1 부화소, 상기 복수의 제2 부화소, 상기 복수의 제3 부화소 중 적어도 하나와 전기적으로 접속되고, 게이트 전극과 소스/드레인 전극을 갖는 트랜지스터를 갖고,
    상기 표시 영역 밖에 있어서, 상기 제1 배선과 상기 제2 배선은, 각각 제1 단자 배선과 제2 단자 배선에 전기적으로 접속되고,
    상기 제1 단자 배선과 상기 제2 단자 배선은, 상기 게이트 전극과 상기 소스/드레인 전극 중 어느 한쪽과 동일층 내에 존재하는, 표시 장치.
  15. 제14항에 있어서, 상기 제1 단자 배선의 일부와 상기 제2 단자 배선의 일부는 노출되어 커넥터와 전기적으로 접속되는, 표시 장치.
  16. 제10항에 있어서, 상기 제1 터치 전극과 상기 제2 터치 전극은, 서로 교호하는 복수의 사각형 영역과 복수의 접속 영역을 갖고,
    상기 복수의 사각형 영역의 각각의 단부는, 상기 개구를 형성하지 않는 부분을 갖는, 표시 장치.
  17. 제10항에 있어서, 상기 제1 부화소의 하나, 상기 제2 부화소의 하나, 상기 제3 부화소의 하나 중 적어도 2개로 화소가 형성되고,
    상기 개구의 하나의 변의 길이 Lo는, 상기 화소의 하나의 변의 길이 Lp의 (n+k/m)배이고,
    상기 길이 Lo의 벡터와 상기 길이 Lp의 벡터는 평행이고,
    n은 임의의 자연수이고,
    m은, 상기 화소에 포함되는 상기 부화소가, 상기 길이 Lp의 상기 벡터에 수직인 방향으로 형성되는 열의 수이고,
    k는 m보다 작은 자연수인, 표시 장치.
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