JP7153533B2 - 表示装置 - Google Patents

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Description

本発明は、表示装置に関する。
液晶表示装置は、画像を表示する為に偏光板が設けられる。また、有機EL表示装置は、視認性を向上するために偏光板が設けられる。偏光板の劣化は、表示装置の品質を低下させる。そこで、例えば、下記特許文献1は、偏光板に含まれる偏光子の耐久性を向上させた偏光板を開示している。
また、薄型表示装置は、内部に水分等の不純物が侵入することにより、劣化するおそれがある。そこで、薄型表示装置の表面に封止膜が配置される構成が知られている。例えば、下記特許文献2は、表面に6層の積層により形成される多層膜が設けられる表示装置を開示している。当該多層膜は、下層から順に、第1無機絶縁膜、第1有機絶縁膜、第2無機絶縁膜、第2有機絶縁膜、第3無機絶縁膜及び第4無機絶縁膜が積層されている。また、AlO等で形成される第4無機絶縁膜の端部は、SiN等で形成される第3無機絶縁膜の端部よりも表示装置の端側に位置する点が開示されている。
特開2004-341503号公報 米国特許出願公開第2016/254479号明細書
ところで、薄型表示装置は、内部に窒素を含む材料で形成された層や樹脂で形成された層を有する。当該樹脂には水分が混入することがあるため、水分と窒素を含む材料が化学反応を起こし、表示装置の内部でNH3+イオンが発生する場合がある。NH3+イオンは、偏光板に含まれるヨウ素錯体にダメージを与えるため、偏光板が劣化する原因となる。
本発明は、上記課題に鑑みてなされたものであって、その目的は、偏光板の劣化を防止した表示装置を提供することにある。
本発明の一態様は、表示装置であって、画像を表示する表示領域を覆う封止膜と、前記封止膜の上に配置された第1電極層と、該第1電極層の上に窒素を含む材料で形成された第1絶縁層と、前記第1絶縁層の上側に配置された第2電極層と、を有し、前記表示領域のタッチされた位置を検出するタッチセンサ層と、前記タッチセンサ層を覆うオーバーコートと、前記オーバーコートの上に配置された偏光板と、を有し、前記タッチセンサ層は、さらに、前記第1絶縁層と前記オーバーコートとの間に窒素を含まない材料で形成され、前記第1絶縁層に含まれる窒素と前記オーバーコートに含まれる水分との反応を阻害する第2絶縁層を有する、ことを特徴とする。
本発明の実施形態に係る表示装置を概略的に示す図である。 第1電極及び第2電極について説明するための図である。 画素回路及び周辺回路の概略を示す模式図である。 湾曲した表示装置を説明するための図である。 表示装置のV-V断面について説明するための図である。 表示装置のVI-VI断面について説明するための図である。 NH3+イオンの検出量について説明するための図である。 変形例について説明するための図である。 他の変形例について説明するための図である。
以下に、本発明の各実施の形態について、図面を参照しつつ説明する。なお、開示はあくまで一例にすぎず、当業者において、発明の主旨を保っての適宜変更について容易に想到し得るものについては、当然に本発明の範囲に含有されるものである。また、図面は説明をより明確にするため、実施の形態に比べ、各部の幅、厚さ、形状等について模式的に表される場合があるが、あくまで一例であって、本発明の解釈を限定するものではない。また、本明細書と各図において、既出の図に関して前述したものと同様の要素には、同一の符号を付して、詳細な説明を適宜省略することがある。
さらに、本発明の実施形態の詳細な説明において、ある構成物と他の構成物の位置関係を規定する際、「上に」「下に」とは、ある構成物の直上あるいは直下に位置する場合のみでなく、特に断りの無い限りは、間にさらに他の構成物を介在する場合を含むものとする。
図1は、実施形態に係る表示装置100の例を示す平面図である。表示装置100の例として、有機EL表示装置を挙げる。
表示装置100は、表示領域102と、額縁領域104とを有する。表示装置100は、表示領域102にマトリクス状に配置され、それぞれ発光領域202(図2参照)から光を発する複数の画素を有する。具体的には、表示領域102には、例えば図2(b)に示すように、赤(R)、緑(G)及び青(B)からなる複数色の副画素を組み合わせて構成される画素がマトリクス状に配置される。画素によって、フルカラーの画像が表示される。
額縁領域104は、表示領域102の外側に配置される。具体的には、額縁領域104は、表示領域102のX方向及びY方向の両側に配置される。額縁領域104には、後述するように、湾曲される湾曲領域122が設けられる。また、額縁領域104には、表示装置100と外部装置を接続する端子部116が設けられる。端子部116では、後述するサードメタル506が露出する。サードメタル506とFPC118の端子が接続することで、表示装置100は外部装置から電源や信号が供給される。なお。X方向は、図面上左右方向であって、Y方向は、図面上上下方向である。
また、表示装置100は、ダム部106と、タッチセンサと、端子部116と、FPC(Flexible Printed Circuit)118と、駆動IC120と、を有する。ダム部106は、額縁領域104に配置される。具体的には、ダム部106は、表示領域102を囲うように額縁領域104に配置される。
タッチセンサは、複数の電極108と、引き回し配線と、を含み、タッチされた位置を検出する。具体的には、複数の電極108は、駆動電極と検出電極の複数のペアを含む。駆動電極及び検出電極の複数のペアは、X方向及びY方向に離間して配置され、相互に主静電容量を形成する。例えば、駆動電極は、X方向及びY方向に並べて配置された複数の菱形状の電極である。また、図1及び図2(a)に示すように、X方向に並べて配置された複数の駆動電極は、各菱形状の部分を接続する配線110によって、それぞれ電気的に接続される。一方、Y方向に並べて配置された複数の駆動電極は、電気的に接続されない。なお、図2(a)は、隣接する4個の電極を拡大した平面図である。
検出電極は、X方向及びY方向に並べて配置された複数の菱形状の電極である。また、Y方向に並べて配置された複数の検出電極は、各菱形状の部分を接続する配線110によって、電気的に接続される。一方、X方向に並べて配置された複数の検出電極は、それぞれ電気的に接続されない。なお、駆動電極及び検出電極の形状はいずれも菱形以外の形状であってもよい。
X方向に並べて配置された複数の駆動電極を接続する配線110と、Y方向に並べて配置された複数の検出電極を接続する配線110と、は異なる層に形成される。また、Y方向に並べて配置された複数の検出電極を接続する配線110と、電極108と、は異なる層に形成される。そして、電極108と異なる層に配置された接続する配線110は、コンタクトホール201を介して、検出電極と電気的に接続される。これにより、駆動電極と検出電極とは電気的に接続しないように形成される。また、駆動電極と検出電極のペアは、それぞれがコンデンサの電極となって静電容量を形成するように、表示パネルの表面に近接して配置される。
電極108は、菱形の形状かつメッシュ状に形成される。具体的には、図1、図2(a)及び図2(b)に示すように、駆動電極と検出電極は、メッシュ状に形成される。ここで、図2(b)は、1個の電極の一部をさらに拡大した平面図である。また、電極108は、メッシュの孔部と発光領域202が重畳するように配置される。具体的には、図2(b)に示すように、メッシュの孔部は、赤(R)、緑(G)及び青(B)の副画素の各発光領域202と重なる位置に配置される。これにより、各副画素から出射される光が電極108によって遮られることがないため、表示装置100の輝度を向上することができる。なお、図2(b)は、図2(a)の一部を拡大した図である。また、電極108の形状は、菱形以外の形状であってもよい。
引き回し配線は、電極108と電気的に接続され、額縁領域104に配置される。具体的には、引き回し配線は、電気的に接続された駆動電極及び検出電極毎に1本配置される。各引き回し配線は、額縁領域104及び湾曲領域122を経由して、端子部116と電極108とを電気的に接続する。なお、図1のように、引き回し配線は、第1の層に配置された第1引き回し配線112と第2の層に配置された第2引き回し配線114で形成され、第1引き回し配線112と第2引き回し配線114が額縁領域104で接続される構成としてもよい。
タッチセンサは、駆動電極に入力された信号によって、変動した検出電極の電圧によってタッチされた位置を検出する。具体的には、駆動電極は、駆動信号が入力される。駆動信号によって、検出電極の電圧は、静電容量を介して変化する。タッチセンサは、検出電極の電圧変化によって、タッチされた位置を検出する。
FPC118は、端子部116と接続される。FPC118は、樹脂で形成され、可撓
性を有する。FPC118は、駆動IC120が配置され、タッチセンサや表示領域102に形成された回路に対して、電源や信号を供給する。
駆動IC120は、FPC118に配置され、タッチセンサや表示領域102に形成された回路に対して、電源や信号を供給する。具体的には、例えば、駆動IC120は、例えば、1画素を構成する複数の副画素のそれぞれに対応して配置された画素トランジスタの走査信号線に対してソース・ドレイン間を導通させるための電位を印加すると共に、各画素トランジスタデータ信号線に対して副画素の階調値に対応する電流を流す。当該駆動IC120によって、表示装置100は、画像を表示領域102に表示する。また、駆動IC120は、駆動電極に入力する信号を生成し、検出電極の電圧に基づいてタッチされた位置を検出する。
図3は、表示装置100に含まれる画素回路及び周辺回路の概略を示す模式図である。表示装置100は、画像を表示する画素アレイ部4と、当該画素アレイ部4を駆動する駆動部とを備える。
画素アレイ部4には画素に対応して有機発光ダイオード6及び画素回路8がマトリクス状に配置される。画素回路8は、点灯TFT(thin film transistor)10、駆動TFT12、及びキャパシタ14などを含む。
一方、駆動部は、走査線駆動回路20、映像線駆動回路22、駆動電源回路24及び制御装置26を含み、画素回路8を駆動し、有機発光ダイオード6の発光を制御する。
走査線駆動回路20は画素の水平方向の並び(画素行)ごとに設けられた走査信号線28に接続されている。走査線駆動回路20は制御装置26から入力されるタイミング信号に応じて走査信号線28を順番に選択し、選択した走査信号線28に、点灯TFT10をオンする電圧を印加する。
映像線駆動回路22は画素の垂直方向の並び(画素列)ごとに設けられた映像信号線30に接続されている。映像線駆動回路22は制御装置26から映像信号を入力され、走査線駆動回路20による走査信号線28の選択に合わせて、選択された画素行の映像信号に応じた電圧を各映像信号線30に出力する。当該電圧は、選択された画素行にて点灯TFT10を介してキャパシタ14に書き込まれる。駆動TFT12は書き込まれた電圧に応じた電流を有機発光ダイオード6に供給し、これにより、選択された走査信号線28に対応する画素の有機発光ダイオード6が発光する。
駆動電源回路24は画素列ごとに設けられた駆動電源線32に接続され、駆動電源線32及び選択された画素行の駆動TFT12を介して有機発光ダイオード6に電流を供給する。
ここで、有機発光ダイオード6の下部電極は駆動TFT12に接続される。一方、各有機発光ダイオード6の上部電極520(図5参照)は、全画素の有機発光ダイオード6に共通の電極で構成される。下部電極512(図5参照)を陽極(アノード)として構成する場合は、高電位が入力され、上部電極520は陰極(カソード)となって低電位が入力される。下部電極512を陰極(カソード)として構成する場合は、低電位が入力され、上部電極520は陽極(アノード)となって高電位が入力される。
続いて、湾曲された状態の表示装置100について説明する。図4は、湾曲領域122の近傍における表示装置100の模式的な断面を示す図である。図4に示すように、表示装置100は、基板402と、保護フィルム404と、偏光板406と、補強フィルム408と、熱拡散シート410と、スペーサ412と、FPC118と、駆動IC120と、補強樹脂414と、を含む。
基板402は、湾曲領域122において湾曲される。なお、基板402の上には、回路層502や封止膜522等の各層が配置されるが、図4では記載を省略している。
保護フィルム404は、基板402の上に配置される。保護フィルム404は、基板402上に配置された各層を保護するフィルムである。
偏光板406は、表示装置100に入射した外光の反射を低減する。これにより、表示装置100の視認性が向上する。
補強フィルム408は、表示装置100を補強するフィルムである。補強フィルム408は、湾曲された状態の表示装置100の表面及び裏面の平坦な領域に配置される。
熱拡散シート410は、表示装置100の熱を拡散するシートである。具体的には、熱拡散シート410は、表示装置100の周囲に配置された駆動回路で生じた熱を、表示装置100全体に拡散する。これにより、表示装置100の一部だけ高温になる状態を防止する。
スペーサ412は、折り曲げられた表示装置100の表面側の部分と裏面側の部分との間に配置される。スペーサ412は、表面側の部分と裏面側の部分との間隔を一定以上に保つ。これにより、表示装置100に厚み方向の圧力が加わっても湾曲領域122の曲率が許容範囲に保たれる。
また、スペーサ412の端部は、湾曲領域122の背面に応じた曲率の曲面となるように形成される。スペーサ412の端部を湾曲領域122の背面に当接させることで、湾曲領域122の表面に圧力が加わっても湾曲領域122の形状を一定に保つことができる。スペーサ412によって、湾曲領域122に配置された配線にかかる応力を小さくし、配線の断線を起こりにくくすることができる。
FPC118は、基板402の端子部116と接続される。FPC118は、画素の点灯を制御する駆動IC120が配置される。
補強樹脂414は、表示装置100を補強する樹脂である。補強樹脂414は、湾曲された状態の表示装置100の湾曲領域122に配置される。
なお、湾曲領域122には補強樹脂414を貼り付けない構成としてもよい。当該構成によれば、湾曲領域122の柔軟性を増し、より小さい曲率半径で表示装置100を湾曲させることができる。湾曲領域122の曲率半径が小さくなるほど、折り曲げられた表示装置100の平面視でのサイズも小さくなり、また折り曲げられた表示装置100の厚さも小さくなる。
続いて、表示装置100の断面について説明する。図5は、図1及び図2(b)のV-V断面を示す図である。図6は、図1及び図2(b)のVI-VI断面を示す図である。
図5及び図6に示すように、表示装置100は、基板402と、回路層502と、サードメタル506と、透明電極508と、平坦化膜510と、層間膜512と、下部電極514と、リブ516と、EL層518と、上部電極520と、封止膜522と、タッチセンサ層524と、オーバーコート526と、偏光板528と、中立面保持用有機膜529と、を含んで構成される。
基板402は、例えば、ガラスやポリイミド等の可撓性がある材料で形成される。可撓性のある材料が用いられることにより、表示装置100を屈曲することが出来る。
回路層502は、基板402の上層に、絶縁層、ソース電極、ドレイン電極、ゲート電極、半導体層、パッシベーション層504等を含んで構成される。ソース電極、ドレイン電極、ゲート電極及び半導体層によって、トランジスタ503が構成される。トランジスタ503は、例えば、画素に形成されたEL層518に流す電流を制御する。また、トランジスタ503は、図3における駆動TFT12に相当する。
サードメタル506は、パッシベーション層504の上に配置される。具体的には、サードメタル506は、表示領域102及び額縁領域104において、パッシベーション層504の上に配置される。表示領域102に配置されたサードメタル506は、画素回路の一部を構成する。額縁領域104に配置されたサードメタル506は、端子部116に設けられた配線である。
透明電極508は、額縁領域104に配置されたサードメタル506の上に配置される。透明電極508は、下部電極514とサードメタル506とを電気的に接続する。
平坦化膜510は、表示領域102及び額縁領域104に配置される。具体的には、平坦化膜510は、表示領域102において、それぞれ回路層502及びサードメタル506の上に配置される。表示領域102に配置された平坦化膜510は、下部電極514と回路層502に含まれる電極とのショートを防止するとともに、回路層502に配置された配線やトランジスタ503による段差を平坦化する。額縁領域104に配置された平坦化膜510は、ダム部106を構成する。また、端子部116に配置された平坦化膜510は、サードメタル506で形成される複数の端子を電気的に接続しないように分離する。
層間膜512は、平坦化膜510の上に配置される。材料はシリコンナイトライド等の無機絶縁膜であり、層間膜512は、額縁領域104においてコンタクトホールが設けられ、当該コンタクトホールを介して、サードメタル506と下部電極514は電気的に接続される。
下部電極514は、層間膜512の上に配置される。具体的には、下部電極514は、表示領域102において、層間膜512及び平坦化膜510に形成されたコンタクトホールを介して、回路層502に形成されたトランジスタ503のソース又はドレイン電極と電気的に接続されるように形成される。
リブ516は、平坦化膜510の上に配置される。具体的には、表示領域102において、リブ516は、EL層518の発光する領域を囲うように形成される。
EL層518は、下部電極514の上に形成される。具体的には、EL層518は、表示領域102において、下部電極514及びリブ516の端部の上に形成される。また、EL層518は、ホール注入層、ホール輸送層、発光層、電子輸送層、及び、電子注入層が積層されることによって形成される。発光層は、例えば、下部電極514から注入されたホールと、上部電極520から注入された電子とが再結合することにより発光する。ホール注入層、ホール輸送層、電子輸送層、及び、電子注入層については従来技術と同様である為説明を省略する。なお、本実施形態では、発光層は、赤色、緑色、及び、青色の光を発光する材料を用いて形成される。
上部電極520は、EL層518の上に形成され、下部電極514との間に電流を流すことでEL層518に含まれる発光層を発光させる。上部電極520は、例えば、ITOやIZO等の金属を含んで構成される透明導電膜やAgMgから成る光透過性を有する金属薄膜で形成される。下部電極514と、EL層518と、上部電極520との接触部は、有機発光素子521を構成する。有機発光素子521は、図3における有機発光ダイオード6に相当する。
封止膜522は、画像を表示する表示領域102を覆うように配置される。具体的には、封止膜522は、表示領域102の全ての領域と、額縁領域104の一部を覆うように配置される。
また、封止膜522は、下層バリア膜530と、封止平坦化膜532と、上層バリア膜534と、を含んで構成される。具体的には、下層バリア膜530は、表示領域102において上部電極520を覆うように形成される。封止平坦化膜532は、ダム部106の内側に下層バリア膜530を覆うように配置される。封止平坦化膜532は、下層バリア膜530の凹凸を平坦化する。上層バリア膜534は、下層バリア膜530と封止平坦化膜532を覆うように形成される。下層バリア膜530及び上層バリア膜534は、例えばSiN等の、水分を透過しない無機材料で形成される。封止平坦化膜532は、例えばアクリルやエポキシで形成される。封止膜522により、EL層518に水分が侵入することによって、EL層518が劣化することを防止できる。
タッチセンサ層524は、第1電極層536と、第1絶縁層538と、第2絶縁層540と、第2電極層542と、を有する。第1電極層536は、封止膜522の上に配置される。具体的には、図5に示すように、第1電極層536は、封止膜522に含まれる上層バリア膜534の上に配置される。第1電極層536は、X方向またはY方向のいずれか一方に並べて配置された複数の電極108を電気的に接続する配線110である。第1電極層536は、第2電極層542を介して、駆動信号の入力または検出信号の出力がなされる。第1電極層536は、センサ間絶縁層に設けられたコンタクトホールを介して第2電極層542と電気的に接続される。なお、第1電極層536と接続される第2電極層542は、引き回し配線の一部である。図6に示す領域では、第1電極層536は、配置されない。
第1絶縁層538は、第1電極層536の上に窒素を含む材料で形成される。具体的には、平面視で、第1電極層536と、第1絶縁層538と、第2電極層542と、が重なる領域には、寄生キャパシタが形成される。当該寄生キャパシタは、タッチセンサの検出精度を低下させる。その為、第1絶縁層538は、寄生キャパシタの容量が小さくなる材料であるシリコンナイトライドで形成される。
また、図5に示すように、第1絶縁層538は、第1電極層536と第2電極層542を電気的に接続するためのコンタクトホールが設けられる。当該コンタクトホールは、駆動電極または検出電極として形成された電極108と、端子部116とを電気的に接続する。コンタクトホールが設けられた領域以外の領域において、第1絶縁層538は、第1電極層536を覆うように形成される。これにより、駆動電極と検出電極とが短絡することを防止する。
第2絶縁層540は、第1絶縁層538とオーバーコート526との間に窒素を含まない材料で形成される。具体的には、第2絶縁層540は、第1絶縁層538と第2電極層542の間に配置され、第1絶縁層538を覆うように配置される。第2絶縁層540は、シリコンオキサイドで形成される。また、第2絶縁層540は、アルミナで形成されてもよい。
第2絶縁層540は、第1絶縁層538に含まれる窒素とオーバーコート526に含まれる水分との反応を阻害する。具体的には、第2電極層542は、メッシュ状に形成される。第2絶縁層540が設けられない場合、第2電極層542のメッシュの孔部において、オーバーコート526と第1絶縁層538は接して配置される。オーバーコート526は有機材料で形成されるため、表示装置100の製造過程においてオーバーコート526の内部に水分が侵入する場合がある。この場合、オーバーコート526内部の水分と、第1絶縁層538に含まれる窒素が反応し、NH3+イオンが生じる。第2絶縁層540は、第1絶縁層538とオーバーコート526との間に配置されることにより、第1絶縁層538に含まれる窒素とオーバーコート526に含まれる水分との反応を阻害する。これにより、オーバーコート526の上に配置される偏光板528の劣化を防止できる。
なお、第1絶縁層538及び第2絶縁層540により、第1電極層536と、駆動電極または検出電極として形成される第2電極層542は、絶縁される。
第2電極層542は、第1絶縁層538の上側に配置される。具体的には、第2電極は、第1絶縁層538の上に配置された第2絶縁層540の上に配置される。第2電極層542は、駆動電極及び検出電極として形成され、平面視で菱形形状かつメッシュ状に配置される。第2電極層542が配置されない隙間は、メッシュの孔部に相当する。すなわち、図6に示すように、第2電極層542は、一定間隔でセンサ間絶縁層の上に配置される。また、図5に示す領域では、第2電極層542は切れ目なく形成される。
オーバーコート526は、タッチセンサ層524を覆うように形成される。具体的には、オーバーコート526は、タッチセンサ層524に含まれる第2絶縁層540及び第2電極層542を覆うように配置される。上記のように、オーバーコート526は、第1絶縁層538と直接接しないように配置される。また、オーバーコート526は、樹脂材料で形成される。
偏光板528は、オーバーコート526の上に配置される。具体的には、偏光板528は、ヨウ素錯体等で形成される偏光素子を含む材料で形成される。偏光板528は、外光による表示装置100の視認性の低下を防止する。
中立面保持用有機膜529は、湾曲領域122の周辺において、タッチセンサ層524及び平坦化膜510の上に配置される。具体的には、中立面保持用有機膜529は、湾曲領域122が湾曲された状態で表示装置100の形状を固定する有機膜である。中立面保持用有機膜529によって、湾曲によって生じる中立面が保持される。なお、中立面保持用有機膜529は、補強樹脂と一体であってもよいし、補強樹脂とは別に、補強樹脂の下側に配置されてもよい。中立面保持用有機膜529は図4の補強樹脂414である。
以上のように、本発明によれば、窒素を含む第1絶縁層538と水分を含むオーバーコート526は、第2絶縁層540により、直接接しないように配置される。これにより、第1絶縁層538に含まれる窒素と、オーバーコート526に含まれる水と、の反応によりNH3+イオンが発生し、偏光板528が劣化することを防止できる。
具体的には、図7を用いて本発明の効果について説明する。図7は、NH3+イオンの検出量について説明するための図であり、イオンクロマト法により各試料から検出されたNH3+イオンの量の実験結果を示す図である。図7において、三角の印は、シリコンナイトライドをCVD法で形成する際に、製造装置内に導入したNH3ガスの流量(グラフの右縦軸)を表す。また、棒グラフの高さは、検出されたNH3+イオンの量(グラフ左縦軸)を表す。
測定試料は、窒素が含まれていない比較試料(図中「Siウェハ」)と、従来技術で作成した試料(図中「SiN膜1」及び「SIN膜2」)と、本発明により作成した試料(図中「SiNを含む構成1」、「SiNを含む構成2」及び「SiNを含む構成3」である。
なお、「SiN膜1」は、第1絶縁層538であるシリコンナイトライドをCVD法で形成する際に、NH3ガスを用いて形成した試料である。「SiN膜2」は、第1絶縁層538であるシリコンナイトライドをCVD法で形成する際に、NH3ガスを用いずに形成した試料である。
また、「SiNを含む構成1」は、第1絶縁層538であるシリコンナイトライドをNH3ガスを用いて形成した上で、シリコンオキサイドである第2絶縁層540を30nmの厚さで形成した試料である。「SiNを含む構成2」は、第1絶縁層538であるシリコンナイトライドをNH3ガスを用いて形成した上で、シリコンオキサイドである第2絶縁層540を60nmの厚さで形成した試料である。
「SiNを含む構成3」は、第1絶縁層538であるシリコンナイトライドをNH3ガスを用いて形成した上で、アルミナである第2絶縁層540を30nmの厚さで形成した試料である。
図7に示すように、比較試料である「SiN膜1」において、検出されたNH3+イオン量は、0.00μg/cmである。当該値は、検出装置の検出下限以下の値である。従って、イオンクロマト法による実験が、高精度に行われていることを確認できる。
「SiN膜1」及び「SIN膜2」について、検出されたNH3+イオン量は、それぞれ0.64μg/cm及び0.24μg/cmである。従って、シリコンナイトライドを形成する際に、製造装置内にNH3ガスを導入しないことによって、発生するNH3+イオンの量を低減できる。しかしながら、当該方法により作成されたタッチセンサは、第1絶縁層538の透過率が低下するため、表示装置100の輝度が低下する。
一方、「SiNを含む構成1」、「SiNを含む構成2」及び「SiNを含む構成3」について、検出されたNH3+イオン量は、それぞれ0.05μg/cm、0.03μg/cm及び0.03μg/cmである。従来技術よりも本発明によって作成した試料について検出されたNH3+イオンの量は低い。
以上のように、本発明によれば、従来技術と比較して、発生するNH3+イオンを低減できることが確認された。また、第1絶縁層538であるシリコンナイトライドをNH3ガスを用いて形成するため、表示装置100の輝度の低下を防止できる。
上記実施形態の変形例として、図8に示すように、湾曲領域122の内側で、リブ516に設けられたコンタクトホールを介して、第2電極層542とサードメタル506とが接続されてもよい。具体的には、湾曲領域122の内側かつ第1絶縁層538及び第2絶縁層540の外側において、リブ516にコンタクトホールが形成される。当該コンタクトホールを介して、第2電極層542とサードメタル506とは電気的に接続される。また、湾曲領域122において、リブ516の上に第2電極層542は配置されない。当該構成によれば、湾曲領域122に配置される無機膜を削減することができる。これにより、中立面の制御が容易になるため、湾曲領域122に配置される各層の材料選定や膜厚に関する設計の自由度を高めることができる。
また、上記実施形態の他の変形例として、第2絶縁層540は、第2電極層542の上に表示領域102を覆うように配置されてもよい。具体的には、図9に示すように、第2絶縁層540は、第2電極層542とオーバーコート526の間に配置されてもよい。また、第2絶縁層540が表示領域102を覆うように配置されることにより、第2電極層542のメッシュの孔部により露出する第1絶縁層538は、第2絶縁層540に覆われる。当該構成により、第1絶縁層538とオーバーコート526が直接接しないように配置される。従って、当該構成であっても、従来技術と比較して、発生するNH3+イオンを低減できる。
本発明の思想の範疇において、当業者であれば、各種の変更例及び修正例に想到し得るものであり、それら変更例及び修正例についても本発明の範囲に属するものと了解される。例えば、前述の各実施形態に対して、当業者が適宜、構成要素の追加、削除若しくは設計変更を行ったもの、又は、工程の追加、省略若しくは条件変更を行ったものも、本発明の要旨を備えている限り、本発明の範囲に含まれる。
100 表示装置、102 表示領域、104 額縁領域、106 ダム部、108 電極、110 電極を接続する配線、112 第1引き回し配線、114 第2引き回し配線、116 端子部、118 FPC、120 駆動IC、122 湾曲領域、201 コンタクトホール、202 発光領域、4 画素アレイ部、6 有機発光ダイオード、8 画素回路、10 点灯TFT、12 駆動TFT、14 キャパシタ、20 走査線駆動回路、22 映像線駆動回路、24 駆動電源回路、26 制御装置、28 走査信号線、30 映像信号線、32 駆動電源線、402 基板、404 保護フィルム、406 偏光板、408 補強フィルム、410 熱拡散シート、412 スペーサ、414 補強樹脂、502 回路層、503 トランジスタ、504 パッシベーション層、506 サードメタル、508 透明電極、510 平坦化膜、512 層間膜、514 下部電極、516 リブ、518 EL層、520 上部電極、521 有機発光素子、522 封止膜、524 タッチセンサ層、526 オーバーコート、528 偏光板、529 中立面保持用有機膜、530 下層バリア膜、532 封止平坦化膜、334 上層バリア膜、536 第1電極層、538 第1絶縁層、540 第2絶縁層、542 第2電極層。

Claims (3)

  1. 画像を表示する表示領域を覆う封止膜と、
    前記封止膜の上に配置された第1電極層と、該第1電極層の上に窒素を含む材料で形成された第1絶縁層と、前記第1絶縁層の上側に配置された第2電極層と、を有し、前記表示領域のタッチされた位置を検出するタッチセンサ層と、
    前記タッチセンサ層を覆うオーバーコートと、
    前記オーバーコートの上に配置された偏光板と、
    を有し、
    前記タッチセンサ層は、さらに、前記第1絶縁層と前記オーバーコートとの間に窒素を含まない材料で形成され、前記第1絶縁層に含まれる窒素と前記オーバーコートに含まれる水分との反応を阻害する第2絶縁層を有し、
    前記第2絶縁層は、前記第1絶縁層と前記第2電極層の間に配置され、前記第1絶縁層を覆う、
    ことを特徴とする表示装置。
  2. 前記第1絶縁層は、シリコンナイトライドであって、
    前記第2絶縁層は、シリコンオキサイドまたはアルミナである、
    ことを特徴とする請求項に記載の表示装置。
  3. 前記表示装置は、さらに、表示領域にマトリクス状に配置され、それぞれ発光領域から光を発する複数の画素を有し、
    前記第1電極層及び前記第2電極層は、メッシュ状であり、メッシュの孔と前記発光領域が重畳するように配置される、
    ことを特徴とする請求項1または2に記載の表示装置。
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