KR101979359B1

KR101979359B1 - 도포장치 세트

Info

Publication number: KR101979359B1
Application number: KR1020180152853A
Authority: KR
Inventors: 안상훈
Original assignee: 안상훈
Priority date: 2018-11-30
Filing date: 2018-11-30
Publication date: 2019-05-16

Abstract

본 발명은 도포대상물의 표면을 도포하는 도포기와 도포기에 사용되는 지그를 포함하는 도포장치 세트에 관한 것으로서,
구체적으로는 건조를 위해 에어(Air)를 공급하는 구성과, 건조 전 도포대상물의 표면을 세정하는 구성과, 도포대상물을 이송하는 이송 구성을 개선한 도포기와, 상기 도포기의 도포액 분사 기능을 수행하는 슬릿노즐(slit nozzle) 분해 및 조립시 슬릿노즐을 고정하기 위한 지그를 포함하는 도포장치 세트에 관한 것이다.

Description

도포장치 세트{COATER DEVICE SET}

본 발명은 도포대상물의 표면을 도포하는 도포기와 도포기에 사용되는 지그를 포함하는 도포장치 세트에 관한 것으로서,

구체적으로는 건조를 위해 에어(Air)를 공급하는 구성과, 건조 전 도포대상물의 표면을 세정하는 구성과, 도포대상물을 이송하는 이송 구성을 개선한 도포기와, 상기 도포기의 도포액 분사 기능을 수행하는 슬릿노즐(slit nozzle) 분해 및 조립시 슬릿노즐을 고정하기 위한 지그를 포함하는 도포장치 세트에 관한 것이다.

본 발명에 따른 도포기(코터장치)의 일예로서, 등록특허공보 제10-1061055호에 명확히 기재하고 있다.

설명에 앞서, 종래에는 피처리 기판의 중앙부에 약액을 도포하면서 피처리 기판을 회전시키는 것에 의하여 피처리 기판의 표면에 약액을 도포하는 스핀 코팅 방법이 사용되었지만,

근래에 피처리 기판의 크기가 대형화됨에 따라 스핀 코팅 방식은 거의 사용되지 않으며, 피처리 기판의 폭에 대응하는 폭을 갖는 슬릿 형태의 슬릿 노즐과 피처리 기판을 상대 이동시키면서 슬릿 노즐로부터 약액을 피처리 기판의 표면에 도포하는 방식의 코팅 방법이 사용되고 있다.

도 8은 종래의 기판 코터 장치를 개략적으로 도시한 도면이다.

도 8에 도시된 바와 같이, 종래의 기판 코터 장치는 피처리 기판(G)을 기판척(10) 상에 거치시킨 상태에서, 피처리 기판(G)의 폭에 대응하는 토출구를 구비한 노즐(30)을 30d로 표시된 방향으로 이동시키면서 약액을 피처리 기판(G)의 표면에 도포한다.

또한, 기판척(10) 상측에는 기판척(10)의 길이 방향(30d)으로 이동 가능한 노즐(30)이 예비 토출부(20) 및 기판척(10)의 상부를 수평 이동하면서 피처리 기판(G)에 포토레지스트 등의 약액을 도포한다.

상기와 같이 구성된 기판 코터 장치는 도 9에 도시된 바와 같이 노즐(30)을 수평 이동을 하여 예비 토출부(20)의 상부로 이동하여 정지된 상태에서, 노즐(30)의 토출구가 프라이밍 롤러(22)에 근접하도록 하방(30y)이동시켜 회전하는 프라이밍 롤러(22) 상에 약액(55)을 약간 토출하는 것에 의하여 예비 토출 공정을 행한다.

프라이밍 롤러(22)의 외주면에 묻은 약액(55)은 도 10에 도시된 바와 같이 롤러(22)의 회전에 의해 세정조(24) 내의 세정액(w)에 침지된다.

그리고 세정조(24)에 침지된 프라이밍 롤러(22)는 그 표면에 묻은 약액(55)을 세정액(w)으로 세정시킨 후, 건조기(26)의 건조 에어(26a)에 의해 건조되어 그 다음 예비 토출 공정을 행할 수 있는 준비가 완료된다.

일반적으로, 세정조(24) 내에는 세정액(w) 이외에, 세정액 적하 유닛, 블레이드, 세정액 분사기, 압축건조에어(Compressed Dry Air; CDA) 건조기(26) 등 여러 세정 유닛이 설치된다.

이러한 코터장치에 있어서, 본 출원인은 건조를 위해 에어(Air)를 공급하는 구성과, 건조 전 도포대상물의 표면을 세정하는 구성과, 도포대상물을 이송하는 이송 구성을 개선한 코터장치(이하, '도포기'로 지칭)를 제안하고자 한다.

등록특허공보 제10-1061055호(2011.09.02. 공고)

본 발명의 목적은, 도포대상물의 표면을 도포하는 도포기와 도포기에 사용되는 지그를 포함하는 도포장치 세트를 제공하되,

건조를 위해 에어(Air)를 공급하는 구성과, 건조 전 도포대상물의 표면을 세정하는 구성과, 도포대상물을 이송하는 이송 구성을 개선한 도포기와, 상기 도포기의 도포액 분사 기능을 수행하는 슬릿노즐(slit nozzle) 분해 및 조립시 슬릿노즐을 고정하기 위한 지그를 포함하는 도포장치 세트를 제공하는데 있다.

상기와 같은 목적을 달성하기 위하여 안출된 것으로 본 발명에 따른 도포장치 세트는, 도포대상물의 표면을 도포하는 도포기와 도포기에 사용되는 지그를 포함하는 도포장치 세트에 있어서,

상기 도포기는 상기 도포대상물을 건조하는 에어나이프(10)를 포함하는 건조부; 상기 건조부에 인접한 위치에 도포대상물을 세정하도록 구성된 세정동작부; 및 상기 도포대상물을 이송하는 이송부;를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.

이때, 상기 세정동작부는,

도포기의 일측에 세척을 수행하는 작업부 및 세정액을 수용하고 있는 세정액 탱크를 포함하여 구성되되,

상기 세정액 탱크에는 플랜지(21)를 통해 연결된 덕트(22)가 2개로 구성되어, 세정액 탱크가 구동됨에 따라 발생되는 증기 또는 연기를 배출할 수 있도록 구성되고,

1개의 덕트는 다수 굴곡짐으로써 작업부의 일측에 연결되어 배기되도록 구성되고, 다른 1개의 덕트는 마찬가지로 작업부에 연결되되, 다수 굴곡지며, 덕트(22)의 일측이 볼부시를 통해 연결되며,

상기 볼부시로 연결된 덕트(22)의 단부에 sus304 재질의 서스부(23)가 구성되고,

상기 덕트(22)는 우레탄재질로 이루어진 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 이송부는 이동체(31), 고정체(32) 및 유격블럭(33)을 포함하되,

상기 고정체(32)는 작업부의 일측에 결합되고, 작업부와 고정체(32) 사이에 유격블럭(33)이 2개 위치되되, 상기 고정체(32)를 관통한 볼트가 유격블럭(33)을 관통하면서 작업부에 체결되며,

상기 유격블럭(33)에 볼트가 관통하는 홀(h2)은 하부방향으로 개방된 형태를 갖도록 구성됨으로써, 고정체(32)의 상/하 방향으로의 움직임이 가능하도록 하여, 볼스크류 구동에 따른 진동이 발생되어도 상기 고정체(32)의 유동적인 고정이 가능하도록 함에 따라, 고정체(32)와 작업부 사이에 유격공간의 벌어짐을 방지하고, 유지보수 작업없이 고정체(32)를 장기간 사용할 수 있도록 하며, 유격블록(33)에 의해 볼스크류 구동에 따른 진동과 소음을 저감할 수 있도록 하고,

상기 고정체(32)는 유격블럭(33)이 결합되는 수평몸체에 더불어, 'ㄴ'자로 절곡되어 볼스크류가 관통되는 홀이 구비된 수직몸체를 포함하되, 상기 수직몸체의 일측으로 이동체(31)가 인접하게 구성되는 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 지그는,

작업부의 일측에 지지부(40a)를 통해 연결되는 제1 부재(41)와,

상기 제1 부재(41)의 양단에 형성된 2개의 제1 레일(42)과,

상기 제1 레일(42)을 따라 이동하는 2개의 제1 가이드(43)와,

상기 제1 가이드(43) 사이를 연결하는 제1 고정부(44)와,

상기 제1 가이드(43)의 다른 단부에서 사이를 연결하는 제2 부재(45)와,

상기 제1 부재(41)의 일측에 연장된 제2 레일(46)과,

상기 제1 레일(42)의 사이를 연결하는 제2 고정부(47)를 포함하여 구성되되,

상기 제2 부재(45)의 일측에는 상기 제2 레일(46)을 따라 이동될 수 있는 가이드가 연장되도록 구성되는 것을 특징으로 한다.

본 발명에 따른 도포장치 세트에 의하면,

건조를 위해 에어(Air)를 공급하는 구성과, 건조 전 도포대상물의 표면을 세정하는 구성과, 도포대상물을 이송하는 이송 구성을 개선한 도포기를 제공할 수 있고,

아울러, 상기 도포기의 도포액 분사 기능을 수행하는 슬릿노즐(slit nozzle) 분해 및 조립시 슬릿노즐을 고정하기 위한 지그를 추가로 제공할 수 있다.

도 1은 본 발명에 따른 도포장치 세트를 이루는 도포기의 일부 구성인 에어나이프의 구성을 나타낸 것이다.
도 2는 본 발명에 따른 도포장치 세트를 이루는 도포기의 일부 구성인 에어나이프의 단면구성을 나타낸 것이다.
도 3은 본 발명에 따른 도포장치 세트를 이루는 도포기의 일부 구성인 세정동작부의 구성을 개략적으로 나타낸 것이다.
도 4는 도 3의 A에 해당되는 실제구성을 나타낸 것이다.
도 5는 본 발명에 따른 도포장치 세트를 이루는 도포기의 일부 구성인 볼스크류가 체결되는 이송부를 나타낸 것이다.
도 6 및 도 7은 본 발명에 따른 도포장치 세트를 이루는 지그의 구성을 나타낸 것이다.

본 명세서 및 청구범위에 사용된 용어나 단어는 통상적이거나 사전적인 의미로 한정해서 해석되어서는 안되며, 발명자는 그 자신의 발명을 가장 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념을 적절하게 정의할 수 있다는 원칙에 입각하여 본 발명의 기술적 사상에 부합하는 의미와 개념으로 해석되어야만 한다.

따라서 본 명세서에 기재된 실시 예와 도면에 도시된 구성은 본 발명의 가장 바람직한 실시 예에 불과할 뿐이고 본 발명의 기술적 사상을 모두 대변하는 것은 아니므로, 본 출원시점에 있어서 이들을 대체할 수 있는 다양한 균등물과 변형 예들이 있을 수 있음을 이해하여야 한다.

이하, 도면을 참조하여 설명하기에 앞서, 본 발명의 요지를 드러내기 위해서 필요하지 않은 사항 즉 통상의 지식을 가진 당업자가 자명하게 부가할 수 있는 공지 구성에 대해서는 도시하지 않거나, 구체적으로 기술하지 않았음을 밝혀둔다.

이하, 본 발명에 따른 도포장치 세트를 설명하기에 앞서, 본 명세서는 본 발명의 주요 특징점을 위주로 서술됨을 다시 한번 강조하며, 도포기의 일반적인 구성에 대해서는 등록특허공보 제10-1567952호, 제10-1061055호 등의 공지된 기술들을 통해 당업자에 의해 예측 가능한 구성이므로, 구체적인 설명은 생략한다.

본 발명에 따른 도포장치 세트에 있어서, 도포기는 에어나이프를 포함하는 건조부와, 세정동작부 및 이송부를 포함한다.

건조부에 구비된 에어나이프는 첨부된 도면의 도 1을 참조할 수 있다.

도 1은 본 발명에 따른 도포장치 세트를 이루는 도포기의 일부 구성인 에어나이프의 구성을 나타낸 것이다.

첨부된 도면의 도 1에 따르면, 에어나이프는 통상의 것과 동일하게 구성되며, 에어의 유입 및 배출을 통해 에어를 배출구에서 배출하여 대상물을 에어를 통해 건조시키는 기능을 한다.

이러한 에어나이프의 고정구성을 종래 도포기에 구비된 에어나이프 구성을 참조할 수 있다.

한편, 에어나이프는 첨부된 도면의 도 2와 같이 구성될 수 있다.

도 2는 본 발명에 따른 도포장치 세트를 이루는 도포기의 일부 구성인 에어나이프의 단면구성을 나타낸 것이다.

첨부된 도면의 도 2에 따른 에어나이프(10)는,

그 하부가 상광하협의 구조를 갖도록 경사진 배출구(10a)를 포함하며,

상기 에어나이프(10)의 일측으로 에어를 공급받는 공급관(11)과,

상기 공급관(11)에 연결되도록 구성되되, 에어나이프(10)의 내측으로 구성되는 에어덕트(12)와,

상기 에어덕트(12)에 연결되도록 구성되되, 상기 배출구(10a)의 내측에서 배출구(10a)의 개방된 일측을 향하도록 구성된 에어배출노즐(13)과,

상기 에어배출노즐(13)이 회전할 수 있는 축이 되고, 상기 배출구(10a)의 내벽에 연결되는 회전축(14)과,

상기 에어배출노즐(13)의 일측에서부터 상기 배출구(10a)의 내벽까지 연결된 2개의 스프링(S)을 포함하여 구성된다.

이때, 상기 2개의 스프링(S) 중 1개는 에어배출노즐(13)을 기준으로 상측에 구성되고, 다른 1개는 하측에 구성되어, 상기 에어배출노즐(13)의 회전에 탄력을 부여하도록 한다.

또한, 회전축(14)의 일측으로는 모터가 구성되어, 모터와 회전축(14) 간에 기어(gear)의 조합을 통하 회전축(14)이 모터의 회전력을 인가받아 회전할 수 있도록 하고, 회전축(14)의 회전에 의해 상기 에어배출노즐(13)이 회전하도록 한다.

이때, 모터의 제어를 위한 제어수단이 도포기 또는 에어나이프(10) 일측에 별도로 구성될 수 있음이 당연하다.

이러한 구성에 의하면, 건조를 위한 에어를 배출할 때, 상기 에어배출노즐(13)이 좌, 우 방향으로 회전가능함과 더불어, 회전시 상측과 하측에서 당겨주는 탄성력에 의하여, 양방향으로 에어를 공급할 수 있게 됨에 따라, 도포대상물의 건조를 효율적으로 수행할 수 있게 되는 효과를 갖는다.

이러한 건조부는, 세척된 도포대상물의 표면을 건조하는 것으로서, 상기 건조부의 선단으로는 세정동작부가 포함될 수 있다.

이러한 세정동작부는 첨부된 도면의 도 3을 참조하여 설명한다.

도 3은 본 발명에 따른 도포장치 세트를 이루는 도포기의 일부 구성인 세정동작부의 구성을 개략적으로 나타낸 것이다.

첨부된 도면의 도 3에 따르면, 도포기의 일측으로는 세척을 수행하는 작업부 및 세정액을 수용하고 있는 세정액 탱크를 포함할 수 있다.

상기 세정액 탱크에는 플랜지(21)를 통해 연결된 덕트(22)가 구성되어, 세정액 탱크가 구동됨에 따라 발생되는 증기 또는 연기를 배출할 수 있도록 구성되는데, 이러한 덕트(22)는 첨부된 도면과 같이 2개로 나뉘어져 배기가 가능하도록 한다.

이때, 1개의 덕트는 다수 굴곡짐으로써 작업부의 일측에 연결되어 배기되도록 구성되고, 다른 1개의 덕트는 마찬가지로 작업부에 연결되되, 다수 굴곡지며, 덕트(22)의 일측이 볼부시를 통해 연결될 수 있다(도 3의 A 영역 참조).

이러한 볼부시로 연결된 덕트(22)의 단부에 sus304 재질의 서스부(23)가 구성될 수 있다. 또한, 상기 덕트(22)는 공통적으로 우레탄 재질로 이루어져 파손율을 개선하도록 한다.

상기와 같이 덕트(22)의 일측을 볼부시로 연결하는 것은 첨부된 도면의 도 4에서 나타내고 있는데, 첨부된 도면의 도 4와 같이 덕트(22)의 일측으로는 세정액 탱크로부터 연결되어 대상물에 세정액을 공급하는 공급관이 덕트(22)와 별도의 고정수단(예를 들어, 케이블타이)으로 고정되도록 구성된다.

도 4는 도 3의 A에 해당되는 실제구성을 나타낸 것이다.

이에 따라, 세정액 분출을 위하여 덕트 및 공급관이 움직이더라도 볼부시에 의하여 덕트가 협착되거나 상호 간섭되는 것을 방지할 수 있는 효과를 갖는다.

또한, 플랜지(21)에 있어서, 덕트(22)와 일체형으로 구성하도록 한다. 이에 따라 배기율을 향상시킬 수 있다.

또한, 세정액 탱크 내부에 데프론 가스켓을 홀체결형으로 구성함으로써, 추후 maint시 불필요한 테프론 소모율을 개선할 수 있다.

이와 같이 구성됨에 따라, 세정동작부, 건조부 등으로 도포대상물을 이송시키기 위해서는 도포기에 이송부가 필요한데, 이때, 이송부는 볼스크류를 이용하여 이송력을 확보하여 도포대상물을 이송시킬 수 있도록 구성된다.

예컨대, 작업부 일측에 첨부된 도면의 도 5에 따른 구성과, 볼스크류를 포함하고, 상기 볼스크류에 이송판을 구성함으로써, 볼스크류의 이송을 기반으로 이송판이 이송되면서 이송판에 놓여진 도포대상물을 이송할 수 있도록 하는 것이 그 예이다.

도 5는 본 발명에 따른 도포장치 세트를 이루는 도포기의 일부 구성인 볼스크류가 체결되는 이송부를 나타낸 것이다.

첨부된 도면의 도 5에 따른 이송부는, 이동체(31), 고정체(32) 및 유격블럭(33)을 포함하도록 구성된다.

이때, 포함한다의 의미는 이들 구성만으로 이송부가 이루어지는 것이 아니라, 구성 중 일부를 포함하는 의미임을 이해할 수 있어야 한다.

고정체(32)는 작업부의 일측에 결합되는 것으로서, 작업부와 고정체(32) 사이에 유격블럭(33)이 2개 위치되도록 한다. 이때, 고정체(32)의 결합은 볼팅 결합을 통해 이루어지는데, 이때, 고정체(32)를 관통한 볼트가 유격블럭(33)을 관통하면서 작업부에 체결되도록 한다.

이때, 유격블럭(33)에 볼트가 관통하는 홀(h2)은 하부방향으로 개방된 형태를 갖도록 구성됨으로써, 고정체(32)의 상/하 방향으로의 움직임이 가능하도록 한다. 이에 따라, 볼스크류 구동에 따른 진동이 발생되어도 상기 고정체(32)의 유동적인 고정이 가능하도록 함에 따라, 고정체(32)와 작업부 사이에 유격공간의 벌어짐을 방지하고, 최종적으로 유지보수 작업없이 고정체(32)를 장기간 사용할 수 있도록 하는 효과를 갖는다. 또한, 유격블록(33)에 의해 볼스크류 구동에 따른 진동과 소음을 저감할 수 있는 효과도 갖을 수 있다.

이러한 고정체(32)는 유격블럭(33)이 결합되는 수평몸체에 더불어, 'ㄴ'자로 절곡되어 볼스크류가 관통되는 홀이 구비된 수직몸체를 포함하는데, 이러한 수직몸체의 일측으로 이동체(31)가 인접하게 구성될 수 있다.

이때, 이동체(31)에도 볼스크류가 관통될 수 있는 홀이 구비된다.

즉, 볼스크류의 회전에 의해 이동체(31)가 고정체(32)로부터 이격되거나 인접하도록 되며, 이러한 이동체(31)에 상술된 이송판 등의 구성이 결합되어 도포대상물의 이송이 가능하도록 할 수 있다.

한편, 상술된 도포기는 도포액을 분사하는 노즐의 내부 굳음 또는 오염 등으로 인해 상기 노즐을 유지 보수하게 되며, 이를 위하여 상기 노즐을 분해 또는 조립하는 일이 많다. 이때, 관리 미흡으로 인해 노즐이 협착되는 등의 문제로 인해 노즐이 파손되는 경우가 많은데, 본 발명에서는 도포장치 세트로서 도포기 외에도 노즐의 분해 또는 조립시 노즐을 고정할 수 있는 지그를 더 포함하도록 한다.

이는 첨부된 도면의 도 6 및 도 7을 통해 설명한다.

도 6 및 도 7은 본 발명에 따른 도포장치 세트를 이루는 지그의 구성을 나타낸 것이다.

첨부된 도면에 따르면, 지그는 작업부의 일측에 지지부(40a)를 통해 연결되는 제1 부재(41)와, 상기 제1 부재(41)의 양단에 형성된 2개의 제1 레일(42)과, 상기 제1 레일(42)을 따라 이동하는 2개의 제1 가이드(43)와, 상기 제1 가이드(43) 사이를 연결하는 제1 고정부(44)와, 상기 제1 가이드(43)의 다른 단부에서 사이를 연결하는 제2 부재(45)와, 상기 제1 부재(41)의 일측에 연장된 제2 레일(46)과, 상기 제1 레일(42)의 사이를 연결하는 제2 고정부(47)를 포함하여 구성된다.

이때, 상기 제2 부재(45)의 일측에는 상기 제2 레일(46)을 따라 이동될 수 있는 가이드가 연장되도록 구성될 수 있다.

이러한 구조를 통해, 제1 고정부(44)가 제2 고정부(47) 사이 간격이 멀어지거나 인접하게 됨으로써, 노즐을 고정할 수 있는 지그의 역할을 하게 될 수 있다.

상기에서 첨부된 도면을 이용하여 서술한 것은, 본 발명의 주요 사항만을 서술한 것으로, 그 기술적 범위 내에서 다양한 설계가 가능한 만큼, 본 발명의 첨부된 도면의 구성에 한정되는 것이 아님은 자명하다.

10 : 에어나이프
20 : 세정동작부
30 : 이송부
40(41 ~ 47) : 지그부

Claims

도포대상물의 표면을 도포하는 도포기와 도포기에 사용되는 지그를 포함하는 도포장치 세트에 있어서,
상기 도포기는,
상기 도포대상물을 건조하는 에어나이프(10)를 포함하는 건조부;
상기 건조부에 인접한 위치에 도포대상물을 세정하도록 구성된 세정동작부; 및
상기 도포대상물을 이송하는 이송부;를 포함하여 구성되고,
상기 이송부는 이동체(31), 고정체(32) 및 유격블럭(33)을 포함하되,
상기 고정체(32)는 작업부의 일측에 결합되고, 작업부와 고정체(32) 사이에 유격블럭(33)이 2개 위치되되, 상기 고정체(32)를 관통한 볼트가 유격블럭(33)을 관통하면서 작업부에 체결되며,
상기 유격블럭(33)에 볼트가 관통하는 홀(h2)은 하부방향으로 개방된 형태를 갖도록 구성됨으로써, 고정체(32)의 상/하 방향으로의 움직임이 가능하도록 하여, 볼스크류 구동에 따른 진동이 발생되어도 상기 고정체(32)의 유동적인 고정이 가능하도록 함에 따라, 고정체(32)와 작업부 사이에 유격공간의 벌어짐을 방지하고, 유지보수 작업없이 고정체(32)를 장기간 사용할 수 있도록 하며, 유격블록(33)에 의해 볼스크류 구동에 따른 진동과 소음을 저감할 수 있도록 하고,
상기 고정체(32)는 유격블럭(33)이 결합되는 수평몸체에 더불어, 'ㄴ'자로 절곡되어 볼스크류가 관통되는 홀이 구비된 수직몸체를 포함하되, 상기 수직몸체의 일측으로 이동체(31)가 인접하게 구성되는 것을 특징으로 하는, 도포장치 세트.
청구항 1에 있어서,
상기 세정동작부는,
도포기의 일측에 세척을 수행하는 작업부 및 세정액을 수용하고 있는 세정액 탱크를 포함하여 구성되되,
상기 세정액 탱크에는 플랜지(21)를 통해 연결된 덕트(22)가 2개로 구성되어, 세정액 탱크가 구동됨에 따라 발생되는 증기 또는 연기를 배출할 수 있도록 구성되고,
1개의 덕트는 다수 굴곡짐으로써 작업부의 일측에 연결되어 배기되도록 구성되고, 다른 1개의 덕트는 마찬가지로 작업부에 연결되되, 다수 굴곡지며, 덕트(22)의 일측이 볼부시를 통해 연결되며,
상기 볼부시로 연결된 덕트(22)의 단부에 sus304 재질의 서스부(23)가 구성되고,
상기 덕트(22)는 우레탄재질로 이루어진 것을 특징으로 하는, 도포장치 세트.
삭제
청구항 1에 있어서,
상기 지그는,
작업부의 일측에 지지부(40a)를 통해 연결되는 제1 부재(41)와,
상기 제1 부재(41)의 양단에 형성된 2개의 제1 레일(42)과,
상기 제1 레일(42)을 따라 이동하는 2개의 제1 가이드(43)와,
상기 제1 가이드(43) 사이를 연결하는 제1 고정부(44)와,
상기 제1 가이드(43)의 다른 단부에서 사이를 연결하는 제2 부재(45)와,
상기 제1 부재(41)의 일측에 연장된 제2 레일(46)과,
상기 제1 레일(42)의 사이를 연결하는 제2 고정부(47)를 포함하여 구성되되,
상기 제2 부재(45)의 일측에는 상기 제2 레일(46)을 따라 이동될 수 있는 가이드가 연장되도록 구성되는 것을 특징으로 하는, 도포장치 세트.