KR20100060870A - 약액 예비토출장치 - Google Patents

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KR20100060870A
KR20100060870A KR1020080119649A KR20080119649A KR20100060870A KR 20100060870 A KR20100060870 A KR 20100060870A KR 1020080119649 A KR1020080119649 A KR 1020080119649A KR 20080119649 A KR20080119649 A KR 20080119649A KR 20100060870 A KR20100060870 A KR 20100060870A
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Abstract

슬릿노즐(slit nozzle)의 잔류 약액을 비(非) 롤러(Roller)방식으로 예비토출 받아서 간편하게 처리할 수 있는 약액 예비토출장치를 개시한다.
이러한 약액 예비토출장치는, 슬릿노즐로부터 잔류 약액을 예비토출 받는 평탄한 외부면을 제공하는 프라이밍 플레이트와, 상기 프라이밍 플레이트의 외부면을 유체로 세정하는 세정부 그리고, 약액의 예비토출이나 세정 동작이 가능하도록 상기 프라이밍 플레이트 또는 상기 세정부 위치를 변화시키는 이송부를 포함한다.
Figure P1020080119649
슬릿노즐, 약액의 예비토출 작업, 비(非) 롤러 방식, 프라이밍 플레이트(Priming Plate).

Description

약액 예비토출장치{chemical solution pre-discharging apparatus}
본 발명은 슬릿노즐의 잔류 약액을 비(非) 롤러(프라이밍 롤러) 방식으로 예비토출 받아서 간편하게 처리할 수 있는 약액 예비토출장치에 관한 것이다.
평판표시소자용 기판 제조를 위한 포토리소그라피(photolithography) 공정은 기판 측에 약액(예: 포토레지스트)을 도포하는 작업을 포함한다.
이러한 약액 도포 작업은 대부분 슬릿코터의 슬릿노즐을 이용하여 슬릿 코팅(Slit Coating) 방식으로 진행되며, 상기 슬릿코터는 약액 도포 전에 상기 슬릿노즐의 토출 단부에 불균일하게 묻어있는 잔류 약액을 처리(예비토출)할 수 있는 구조를 갖는다.
즉, 상기 슬릿코터 상에는 상기 슬릿노즐과 대응하여 잔류 약액을 예비토출 받아서 처리할 수 있도록 약액 예비토출장치가 제공된다.
상기한 약액 예비토출장치는 대부분 프라이밍 롤러(Priming Roller)의 회전 동작 중에 약액을 예비토출 받아서 처리하는 롤러 방식의 구조가 널리 알려져 있다.
하지만, 상기한 롤러 방식의 약액 예비토출장치는, 상기 프라이밍 롤러 주변 에 구동부와 세정조, 세정모듈을 각각 설치해야 하므로 구조가 복잡하고, 과다한 공간을 점유하여 설치 호환성이 좋지 못한 단점이 있다.
예를 들어, 플로팅(Floating) 타입의 슬릿코터에 설치하려면, 구동부와 세정조, 세정모듈을 기판의 부상 이송구간 내에 모두 설치해야 하므로 설치 공간을 확보하기 어렵다.
그리고, 상기 프라이밍 롤러는 외부 전체면이 곡면(원통형)으로 이루어지므로 롤러를 제작할 때 작업(가공)이 난이하고, 과다한 비용과 시간이 소요될 수 있다.
또한, 상기 프라이밍 롤러는 슬릿코터 상에서 대부분 양단이 회전 가능하게 고정된 상태로 제공되므로 이와 같은 구조에 의하면, 롤러의 자중에 의한 처짐 현상이 쉽게 발생할 수 있다.
특히, 이러한 프라이밍 롤러의 처짐 현상은 여러 가지의 좋지 못한 문제를 야기할 수 있다.
예를 들어, 슬릿노즐과 프라이밍 롤러 사이에 갭(Gap) 편차를 유발하여 잔류 약액이 비정상으로 예비 토출될 수 있으며, 이로 인하여 약액이 비정상(예; 줄무늬, 물결무늬, 끊김 현상)으로 도포될 수 있다.
본 발명은 상기한 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서,
본 발명의 목적은, 비(非) 롤러(Roller) 방식으로 약액의 예비토출 작업을 간편하게 진행할 수 있는 약액 예비토출장치를 제공하는데 있다.
상기한 바와 같은 목적을 달성하기 위하여,
슬릿노즐로부터 잔류 약액을 예비토출 받는 평탄한 외부면을 제공하는 프라이밍 플레이트;
상기 프라이밍 플레이트의 외부면을 유체로 세정하는 세정부;
약액의 예비토출이나 세정 동작이 가능하도록 상기 프라이밍 플레이트 또는 상기 세정부 위치를 변화시키는 이송부;
를 포함하는 약액 예비토출장치를 제공한다.
이와 같은 본 발명은, 평탄한 외부면을 갖는 프라이밍 플레이트(Priming Plate)를 이용하여 비(非) 롤러(Roller) 방식으로 약액의 예비토출 작업을 간편하게 진행할 수 있다.
특히, 상기와 같이 프라이밍 플레이트를 이용한 플레이트 방식은, 예를 들어, 종래의 예비토출장치와 같이 프라이밍 롤러(Priming Roller)에 의해 발생할 수 있는 여러 가지의 문제들을 근본적으로 방지 및 개선할 수 있는 효과가 있다.
이하, 첨부된 도면에 의거하여 본 발명의 바람직한 실시 예를 설명한다.
본 발명의 실시 예들은 당 업계에서 평균적인 지식을 가진 자들이 본 발명의 실시가 가능한 범위 내에서 설명된다.
따라서, 본 발명의 실시 예들은 여러 가지 다른 형태로 변형될 수 있는 것이므로 본 발명의 특허청구범위는 아래에서 설명하는 실시 예들로 인하여 한정되는 것은 아니다.
도 1은 본 발명의 일실시 예에 따른 약액 예비토출장치의 바람직한 설치 상태를 개략적으로 나타낸 도면으로서, 도면 부호 2는 프라이밍 플레이트(Priming Plate)를 지칭한다.
상기 프라이밍 플레이트(2)는 평탄한 외부면(F)을 가지며 통상의 플로팅(Floating) 타입의 슬릿코터(C) 상에서 슬릿노즐(C1)과 대응하도록 설치될 수 있다.
상기 슬릿코터(C)는 상기 슬릿노즐(C1)을 이용하여 슬릿 코팅(Slit Coating) 방식으로 기판(G)에 약액(R, 예:포토레지스트)을 도포할 수 있는 구조를 갖는다.
예를 들어, 상기 플로팅 타입의 슬릿코터(C)는, 작업대(C2) 상에 부상스테이지(C3)가 제공되며, 상기 슬릿노즐(C1)이 상기 부상스테이지(C3) 위쪽에서 게이트(Gate) 타입의 겐트리(C4)에 고정된 통상의 구조로 이루어질 수 있다.
상기 부상스테이지(C3)로 기판(G)을 부상시킨 상태로 이송하는 구조 및 방법은 이미 널리 알려진 것이므로 더욱 상세한 설명은 생략한다.
그리고, 상기 슬릿노즐(C1)은 예를 들어, 도 2 및 도 3에서와 같이 실린더(C5)와 레일부재(L1, 예: LM 가이드)에 의해 업/다운 동작이 가능하도록 통상의 방법으로 상기 겐트리(C4) 측에 설치될 수 있다.
이와 같은 구조에 의하면, 상기 기판(G)이 상기 부상스테이지(C3)에 의해 상기 작업대(C2) 일측에서 타측으로 이동할 때 상기 슬릿노즐(C1)로 기판(G) 측에 약액(R)을 균일하게 도포할 수 있다.
이때, 상기 슬릿노즐(C1)은 약액(G)을 도포하기 전에 토출부(N)에 불균일하게 묻어 있는 잔류 약액(R)을 매번 예비토출한 상태로 도포 작업을 진행하면 좋다.
그러므로, 상기 프라이밍 플레이트(2)는, 상기 작업대(C2) 상에서 상기 슬릿노즐(C1)로부터 잔류 약액(R)을 예비토출받을 수 있는 지점에 위치된다.
예를 들어, 상기 프라이밍 플레이트(2)는 도 2에서와 같이 상기 외부면(F)이 위쪽을 향하는 상태로 상기 슬릿노즐(C1)과 약간 떨어져서 상기 작업대(C2) 상에 설치될 수 있다.
상기 외부면(F)은 상기 슬릿노즐(C1)에 구비된 장방형의 토출부(N)와 대응하는 면적을 갖는다.
상기 프라이밍 플레이트(2)의 재질은 금속이나 합성수지 중에서 사용할 수 있으며, 특히 내구성 및 내마모성 등이 우수한 것으로 알려진 SUS를 사용하면 좋다.
그리고, 상기 프라이밍 플레이트(2)는 도 3에서와 같이 게이트(Gate) 타입의 플레이트용 지지대(Q1) 측에 저면이 지지되면서 얹혀진 상태로 설치하면 좋다.
이와 같은 구조에 의하면, 상기 작업대(C2) 상에서 상기 외부면(F)이 항상 평탄한 상태를 유지(처짐 방지)하도록 상기 프라이밍 플레이트(2)를 안정적으로 지지할 수 있다.
상기 본 발명의 일실시 예에 따른 약액 예비토출장치는, 세정부(4)를 포함한다.
상기 세정부(4)는 상기 프라이밍 플레이트(2)의 외부면(F)을 향하여 유체를 분사하면서 세정 또는 건조하기 위한 것이다.
즉, 상기 세정부(4)는, 도 2에서와 같이 세정용 유체(W1)를 분사하는 세정용 모듈(M1)과, 건조용 유체(W2)를 분사하는 건조용 모듈(M2)을 포함하여 이루어질 수 있다.
상기 세정용 모듈(M1)과 건조용 모듈(M2)은, 유체를 분사하는 분사구(H1, H2)를 구비하고, 이 분사구(H1, H2)들은 상기 프라이밍 플레이트(2) 길이와 대응하도록 예를 들어, 슬릿형의 노즐(Nozzle) 형태로 이루어질 수 있다.
그리고, 상기 세정용 모듈(M1)과 건조용 모듈(M2)은 도면에는 나타내지 않았지만 예를 들어, 펌프나 블로워장치로부터 세정용 유체(W1) 또는 건조용 유체(W2)를 통상의 방법으로 공급받아서 상기 분사구(H1, H2)를 통해 일정 압력으로 분사할 수 있도록 셋팅된다.
이러한 유체 공급 및 분사 구조는 해당 분야에서 평균적인 지식을 가진 자라면 용이하게 실시할 수 있는 것이므로 더욱 상세한 설명은 생략한다.
상기 세정용 모듈(M1)과 건조용 모듈(M2)은 상기 작업대(2) 상에서 도 4에서 와 같은 게이트(Gate) 타입의 모듈용 지지대(Q2) 측에 고정한 상태로 설치하면 좋다.
이와 같은 구조에 의하면, 상기 세정용 모듈(M1)과 건조용 모듈(M2)에 제공되는 슬릿형의 분사구(H1, H2) 단부가 상기 프라이밍 플레이트(2)의 외부면(F)과 대응하여 항상 평행한 상태를 유지하도록 잡아줄 수 있다.
그리고, 상기 세정용 모듈(M1)과 건조용 모듈(M2)은 상기 모듈용 지지대(Q2) 측에서 업/다운 동작이 가능하게 설치하면 좋다.
예를 들어, 도 2 및 도 4에서와 같이 상기 모듈용 지지대(Q2) 측에서 레일부재(L2, 예: LM 가이드)를 따라 상/하로 이동 가능하게 이송용 플레이트(P)를 설치하고, 이 이송용 플레이트(P) 측에 세정용 모듈(M1)과 건조용 모듈(M2)을 고정한다.
그런 다음, 실린더(P1)의 피스톤 로드로 상기 이송용 플레이트(P)를 밀거나 당기는 방식으로 상기 모듈(M1, M2)들이 업/다운되도록 할 수 있다.
이와 같은 구조에 의하면, 상기 세정부(4)가 상기 프라이밍 플레이트(2)의 외부면(F)과 근접한 상태로 세정 및 건조 작업을 진행할 수 있고, 작업 후에는 상기 외부면(F)에서 일정 간격으로 떨어진 상태로 위치되도록 할 수 있다.
상기 세정용 유체(W1)는 신너(Thinner)를 사용하고, 상기 건조용 유체(W2)는 CDA(Clean Dry Air)를 사용할 수 있다.
상기 세정용 모듈(M1)과 건조용 모듈(M2)은 도 2를 기준으로 할 때, 좌/우로 일정 간격을 두고 상기 이송용 플레이트(P) 측에 배치되며, 상기 프라이밍 플레이 트(2)의 외부면(F) 세정 및 건조가 용이한 자세를 갖도록 고정 설치된다.
예를 들어, 상기 세정용 모듈(M1)과 건조용 모듈(M2)은 세정용 유체(W1) 또는 건조용 유체(W2)가 상기 프라이밍 플레이트(2)의 외부면(F)을 향하여 위쪽에서 아래쪽으로 경사진 상태로 분사가 가능하게 셋팅될 수 있다.
이와 같은 구조에 의하면, 상기 슬릿노즐(C1)로부터 예비토출되어 상기 프라이밍 플레이트(2) 측에 달라붙은 잔류 약액(R)을 상기 외부면(F) 일측에서 타측을 향하여 세정용 유체(W1)와 건조용 유체(W2)로 불어내는 방식으로 분리 제거하면서 간편하게 세정 및 건조할 수 있다.
상기한 세정부(4)는, 도 2에서와 같이 스퀴즈(M3, squeeze)를 더 포함하여 이루어질 수 있다.
상기 스퀴즈(M3)는, 상기 프라이밍 플레이트(2) 외부면(F)에 달라붙은 각종 유체(약액, 세정용 유체)를 긁어내는 방식으로 분리 제거하기 위한 것이다.
상기 스퀴즈(M3)는 연질의 고무나 실리콘 재질로 이루어지며, 도 2에서와 같이 상기 세정용 모듈(M1)과 건조용 모듈(M2) 사이에 위치될 수 있다.
이와 같은 구조에 의하면, 상기 세정용 유체(W1)로 상기 프라이밍 플레이트(2)의 외부면(F)을 세정한 다음, 건조하기 전에 상기 스퀴즈(M3)를 이용하여 약액(R)이나 세정용 유체(W1)들을 상기 외부면(F)으로부터 스크래핑(scraping) 방식으로 제거할 수 있으므로 세정력을 더욱 높일 수 있다.
상기한 세정부(4)는, 흡입용 모듈(M4)을 더 포함하여 이루어질 수 있다.
상기 흡입용 모듈(M4)은, 상기 세정용 모듈(M1)과 건조용 모듈(M2)에서 분사 한 세정용 유체(W1)와 건조용 유체(W2) 그리고, 이 유체(W1, W2)들 중에 포함된 약액(R)을 흡입력으로 직접 제거(수거)하기 위한 것이다.
즉, 상기 흡입용 모듈(M4)은 흡입력으로 세정용 유체(W1) 또는 건조용 유체(W2)를 빨아들일 수 있는 흡입구(H3)를 구비한 노즐(Nozzle) 형태로 이루어질 수 있다.
그리고, 상기 흡입용 모듈(M4)의 흡입구(H3)는 예를 들어, 도 2에서와 같이 흡입구동기(M5, 예: 에어 펌프)와 관체(T1)로 연결되어 흡입력을 발생하도록 통상의 방법으로 셋팅될 수 있다.
상기 흡입용 모듈(M4)은, 상기 프라이밍 플레이트(2) 주변에서 세정용 유체(W1) 및 건조용 유체(W2)를 원활하게 흡입 제거할 수 있는 지점에 위치된다.
예를 들어, 도 2에서와 같이 상기 프라이밍 플레이트(2)를 사이에 두고 상기 세정용 모듈(M1) 및 건조용 모듈(M2)의 반대편에 설치하면 좋다.
이와 같은 구조에 의하면, 상기 세정용 모듈(M1) 및 건조용 모듈(M2) 측에서 상기 프라이밍 플레이트(2)의 외부면(F)을 향하여 분사된 세정용 유체(W1)와 건조용 유체(W2) 그리고, 이들 유체(W1, W2) 중에 포함된 약액(R)을 반대편 측에서 신속하게 제거(수거)할 수 있다.
특히, 이와 같은 흡입 작용은, 상기 프라이밍 플레이트(2)의 외부면(F)에서 분리된 이물질(약액)이 상기 세정용 유체(W1) 또는 건조용 유체(W2) 중에 포함된 상태로 불규칙하게 튀는 현상을 방지할 수 있다.
그리고, 상기 흡입용 모듈(M4)은 세정용 유체(W1) 및 건조용 유체(W2)를 흡 입한 후 한 곳에 수거할 수 있도록 셋팅하면 좋다.
예를 들어, 도 2에서와 같이 별도의 수거용 탱크(T)를 상기 흡입구동기(M5)와 관체(T1)로 연결할 수 있다.
한편, 상기 본 발명의 일실시 예에 따른 약액 예비토출장치는, 이송부(6)를 포함하여 이루어진다.
상기 이송부(6)는, 약액(R)의 예비토출 작업 또는 세정 작업이 가능하도록 상기 프라이밍 플레이트(2) 또는, 상기 세정부(4)를 이송시키기 위한 것으로서, 상기 슬릿코터(C)가 플로팅(Floating) 타입일 때에는 상기 프라이밍 플레이트(2)를 이동시킬 수 있도록 구성된다.
즉, 상기 이송부(6)는, 도 5에서와 같이 가이드 레일(K1)과, 이 가이드 레일(K1)을 따라 상기 프라이밍 플레이트(2)를 이동시키기 위한 동력을 발생 및 전달하는 구동원(K2)을 포함하여 이루어질 수 있다.
상기 가이드 레일(K1)은 통상의 "LM 가이드"를 사용할 수 있으며, 상기 작업대(C2) 상에서 슬릿노즐(C1)과 세정부(4) 사이를 수평하게 연결하는 상태로 설치된다.
그리고, 상기 가이드 레일(K1)은 도 3 및 도 4에서와 같이 두 개가 한 조로 구성되어 상기 플레이트용 지지대(Q1) 양쪽 지점을 상기 작업대(C2) 상에서 이동 가능하게 지지하는 상태로 설치된다.
이와 같은 구조에 의하면, 상기 프라이밍 플레이트(2)가 상기 가이드 레일(K1)의 이송 구간을 따라 이동 가능한 상태로 상기 작업대(C2) 상에 제공된다.
그리고, 상기 구동원(K1)은 예를 들어, 스크류(Screw) 방식으로 동력의 발생 및 전달이 가능하게 구성될 수 있다.
즉, 도 5에서와 같은 이송용 스크류(S1)의 일단을 모터(S2) 축과 연결하고, 타단은 상기 플레이트용 지지대(Q1) 일측을 나사 결합으로 관통하도록 연결할 수 있다.
이와 같은 구조에 의하면, 상기 모터(S2)의 정/역 회전시 상기 이송용 스크류(S1)가 축선을 중심으로 어느 한 방향 또는 그 반대 방향으로 회전하면서 나사 결합력에 의해 상기 플레이트용 지지대(Q1) 측에 동력(밀거나 당기는 힘)을 발생 및 전달할 수 있다.
특히, 상기와 같이 이송용 스크류(S1)를 이용한 구동 방식은 이송 거리 및 이송 동작을 다양하고 신속하게 제어할 수 있는 것으로 알려져 있다.
그러므로, 상기한 이송용 스크류(S1)의 작용에 의해 상기 가이드 레일(K1)을 따라 상기 프라이밍 플레이트(2)를 이동시키면서 약액(R)의 예비토출 작업 또는 세정(건조) 작업을 진행할 수 있다.
예를 들어, 약액(R)의 예비토출 작업을 할 때에는 도 6에서와 같이 상기 슬릿노즐(C1)을 향하여 상기 프라이밍 플레이트(2)를 이동시킨다.
그러면, 상기 슬릿노즐(C1)로부터 예비토출되는 잔류 약액(R)이 상기 프라이밍 플레이트(2)의 이동 중에 상기 외부면(F)에 달라붙으면서 예비토출이 이루어진다.
그리고, 잔류 약액(R)의 예비토출이 완료되면, 상기 프라이밍 플레이트(2)를 도 7에서와 같이 상기 세정부(4)를 향하여 이동시키면서 세정 및 건조 작업을 진행한다.
즉, 상기 프라이밍 플레이트(2)의 이동 중에 상기 세정부(4)의 세정용 모듈(M1)과, 건조용 모듈(M2), 스퀴즈(M3, 흡입용 모듈(M4)로 외부면(F)을 세정 및 건조하면서 예비토출된 잔류 약액(R)을 간편하게 처리(제거)할 수 있다.
상기에서는 구동원(K2)이 스크류 구동 방식으로 이루어진 것을 일 예로 설명 및 도면에 나타내고 있지만 본 발명이 상기한 구조에 한정되는 것은 아니다.
예를 들어, 도면에는 나타내지 않았지만 실린더의 피스톤 로드로 상기 프라이밍 플레이트(2)를 직접 밀거나 당기는 실린더 구동 방식이거나, 이외에도 상기와 같이 프라이밍 플레이트(2)를 적절하게 이동시킬 수 있는 다양한 구동 방식으로 이루어질 수 있다.
그리고, 상기한 이송부(6)는 플로팅(Floating) 타입의 슬릿코터(C)와 부합하는 이송 구조를 일 예로 설명한 것이므로 상기한 구조에 한정되는 것은 아니다.
예를 들어, 도면에는 나타내지 않았지만 겐트리(Gantry)를 따라 노즐이 이송하는 구조를 갖는 코터 구조와 부합하도록 상기 프라이밍 플레이트(2) 또는 상기 세정부(4) 중에서 어느 하나를 적절하게 이동시키면서 상기와 같은 약액(R)의 예비토출 작업 및 세정(건조) 작업이 가능하도록 셋팅할 수도 있다.
따라서, 상기한 본 발명의 일실시 예에 따른 약액 예비토출장치는, 상기 슬릿코터(C) 상에서 상기 프라이밍 플레이트(2) 및 세정부(4), 이송부(6)를 이용하여 일련의 작업(예비토출 작업 및 세정 작업)을 간편하게 진행할 수 있다.
특히, 평탄한 외부면(F)을 구비한 프라이밍 플레이트(2)로 약액(R)의 예비토출 작업을 진행하는 비(非) 롤러 방식(플레이트 방식)은 예를 들어, 종래의 롤러 방식과 비교할 때 프라이밍 롤러에 의해 발생할 수 있는 문제들을 근본적으로 해결하여 한층 향상된 작업성을 제공할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일실시 예에 따른 약액 예비토출장치의 바람직한 설치 상태를 개략적으로 나타낸 도면이다.
도 2는 본 발명의 일실시 예에 따른 약액 예비토출장치의 주요 구성부를 확대하여 나타낸 도면이다.
도 3은 본 발명의 일실시 예에 따른 약액 예비토출장치의 프라이밍 플레이트의 세부 구조를 설명하기 위한 도면이다.
도 4는 본 발명의 일실시 예에 따른 약액 예비토출장치의 세정부의 세부 구조를 설명하기 위한 도면이다.
도 5는 본 발명의 일실시 예에 따른 약액 예비토출장치의 이송부의 세부 구조를 설명하기 위한 도면이다.
도 6 및 도 7은 본 발명의 일실시 예에 따른 약액 예비토출장치의 작용을 설명하기 위한 도면이다.
[도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명]
2: 프라이밍 플레이트 4: 세정부 6: 이송부
C: 슬릿코터 C1: 슬릿노즐 R: 약액
G: 기판

Claims (11)

  1. 슬릿노즐로부터 잔류 약액을 예비토출 받는 평탄한 외부면을 제공하는 프라이밍 플레이트;
    상기 프라이밍 플레이트의 외부면을 유체로 세정하는 세정부;
    약액의 예비토출이나 세정 동작이 가능하도록 상기 프라이밍 플레이트 또는 상기 세정부 위치를 변화시키는 이송부;
    를 포함하는 약액 예비토출장치.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 프라이밍 플레이트는,
    상기 외부면이 상기 슬릿노즐과 대응하도록 장방형으로 연장 형성된 상태로 일면에 제공되는 약액 예비토출장치.
  3. 청구항 1에 있어서,
    상기 프라이밍 플레이트는,
    양쪽 면 중에서 상기 외부면의 반대면이 플레이트용 지지대 위에 얹혀져서 평탄한 상태로 고정 설치되는 것을 특징으로 하는 약액 예비토출장치.
  4. 청구항 1에 있어서,
    상기 세정부는,
    상기 프라이밍 플레이트의 외부면을 향하여 세정용 유체를 분사할 수 있도록 제공되는 세정용 모듈;
    상기 세정용 모듈과 이격 배치되며 건조용 유체를 분사할 수 있도록 제공되는 건조용 모듈;
    을 포함하여 이루어지는 약액 예비토출장치.
  5. 청구항 4에 있어서,
    상기 세정용 모듈 및 건조용 모듈은,
    유체를 분사할 수 있는 분사구를 각각 구비하고, 이 분사구로 상기 프라이밍 플레이트의 외부면을 향하여 경사진 방향으로 세정용 유체 또는 건조용 유체를 분사할 수 있도록 셋팅되는 약액 예비토출장치.
  6. 청구항 4에 있어서,
    상기 세정부는,
    상기 세정용 모듈 및 건조용 모듈과 대응하는 흡입용 모듈을 더 포함하며,
    상기 흡입용 모듈은,
    유체를 흡입할 수 있는 흡입구를 구비하고, 이 흡입구로 세정용 유체와 건조용 유체 그리고 이 유체들 중에 포함된 약액을 흡입력으로 제거할 수 있도록 제공되는 약액 예비토출장치.
  7. 청구항 6에 있어서,
    상기 흡입용 모듈은,
    상기 프라이밍 플레이트의 외부면을 사이에 두고 상기 세정용 모듈 또는 건조용 모듈의 반대편에 위치하는 약액 예비토출장치.
  8. 청구항 4에 있어서,
    상기 세정부는,
    상기 세정용 모듈과 건조용 모듈 사이에 스퀴즈를 더 포함하여 이루어지는 약액 예비토출장치.
  9. 청구항 1에 있어서,
    상기 이송부는,
    이송구간을 제공하는 가이드 레일;
    상기 가이드레일을 따라 상기 프라이밍 플레이트 또는 세정부를 이동시키기 위한 동력을 발생 및 전달하는 구동원;
    을 포함하는 약액 예비토출장치.
  10. 청구항 9에 있어서,
    상기 가이드 레일은,
    LM 가이드를 사용하고, 상기 슬릿노즐과 상기 세정부 사이로 이송구간을 제공할 수 있도록 셋팅되는 약액 예비토출장치.
  11. 청구항 9에 있어서,
    상기 구동원은,
    스크류 구동 방식 또는 실린더 구동 방식으로 상기 프라이밍 플레이트 또는 상기 세정부를 밀거나 당기면서 상기 가이드 레일을 따라 이동시킬 수 있도록 셋팅되는 약액 예비토출장치.
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Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101154184B1 (ko) * 2010-09-17 2012-06-18 주식회사 케이씨텍 기판 코터 장치의 예비 토출 기구 및 이를 이용한 기판 코팅 방법
KR101154865B1 (ko) * 2010-09-17 2012-06-26 주식회사 케이씨텍 박판을 이용한 기판 코터 장치의 예비 토출 기구 및 이에 사용되는 박판의 제조 방법
KR101248384B1 (ko) * 2011-02-28 2013-03-28 주식회사 케이씨텍 슬릿 노즐로 약액을 도포하는 기판 코터 장치의 예비 토출 기구
KR20180031446A (ko) * 2016-09-20 2018-03-28 주식회사 이지에스 시약분사장치
KR101876191B1 (ko) * 2012-02-10 2018-07-09 주식회사 케이씨텍 기판 처리 방법 및 그 장치
KR101979359B1 (ko) * 2018-11-30 2019-05-16 안상훈 도포장치 세트

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6139128A (en) * 1999-09-07 2000-10-31 Hewlett-Packard Company Discrete pen wiping and pen specific print direction to reduce size of inkjet printer
JP3877719B2 (ja) * 2002-11-07 2007-02-07 東京応化工業株式会社 スリットコータの予備吐出装置

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101154184B1 (ko) * 2010-09-17 2012-06-18 주식회사 케이씨텍 기판 코터 장치의 예비 토출 기구 및 이를 이용한 기판 코팅 방법
KR101154865B1 (ko) * 2010-09-17 2012-06-26 주식회사 케이씨텍 박판을 이용한 기판 코터 장치의 예비 토출 기구 및 이에 사용되는 박판의 제조 방법
KR101248384B1 (ko) * 2011-02-28 2013-03-28 주식회사 케이씨텍 슬릿 노즐로 약액을 도포하는 기판 코터 장치의 예비 토출 기구
KR101876191B1 (ko) * 2012-02-10 2018-07-09 주식회사 케이씨텍 기판 처리 방법 및 그 장치
KR20180031446A (ko) * 2016-09-20 2018-03-28 주식회사 이지에스 시약분사장치
KR101979359B1 (ko) * 2018-11-30 2019-05-16 안상훈 도포장치 세트

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