KR20100057265A - 약액 예비토출장치 - Google Patents

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KR20100057265A
KR20100057265A KR1020080116227A KR20080116227A KR20100057265A KR 20100057265 A KR20100057265 A KR 20100057265A KR 1020080116227 A KR1020080116227 A KR 1020080116227A KR 20080116227 A KR20080116227 A KR 20080116227A KR 20100057265 A KR20100057265 A KR 20100057265A
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deflection
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KR1020080116227A
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이상수
오상택
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주식회사 디엠에스
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Abstract

슬릿코터(slit coater)의 슬릿노즐(slit nozzle)로부터 잔류 약액을 예비토출 받아서 간편하게 처리할 수 있는 약액 예비토출장치를 개시한다.
이러한 약액 예비토출장치는, 슬릿노즐로부터 약액이 예비토출되는 프라이밍 롤러와, 일정량의 세정액이 담겨지며 이 세정액 중에 상기 프라이밍 롤러의 외부면 일부가 잠기도록 배치되는 세정조와, 상기 프라이밍 롤러의 외부면을 세정하는 세정모듈과, 상기 세정조 상에서 유체 분사 압력으로 상기 프라이밍 롤러의 처짐을 억제하는 처짐방지수단을 포함한다.
Figure P1020080116227
슬릿노즐, 약액의 예비토출 작업, 프라이밍 롤러의 처짐 방지, 유체분사방식.

Description

약액 예비토출장치{chemical solution pre-discharging apparatus}
본 발명은 슬릿노즐의 잔류 약액을 예비토출하는 작업에 사용되며, 특히 프라이밍 롤러의 처짐 현상을 간편하게 방지(보정)할 수 있는 약액 예비토출장치에 관한 것이다.
평판표시소자용 기판 제조를 위한 포토리소그라피(photolithography) 공정은 기판 측에 약액(예: 포토레지스트)을 도포하는 작업을 포함하며, 이러한 도포 작업에는 슬릿노즐을 구비한 슬릿코터가 널리 사용된다.
상기 슬릿코터는, 스테이지 위에 놓여진 기판의 일측에서 타측을 향하여 슬릿노즐이 이동하면서 슬릿코팅(slit coating) 방식으로 도포 작업을 진행할 수 있도록 구성된다.
그리고, 상기 슬릿코터의 작업면 상에는 상기 슬릿노즐과 대응하는 약액 예비토출장치가 구비된다.
상기 약액 예비토출장치는, 상기 슬릿노즐의 토출 단부 측에 불균일하게 분포된 잔류 약액을 예비토출 받아서 처리하기 위한 것으로서, 프라이밍 롤러를 포함하여 이루어진다.
즉, 상기 약액 예비토출장치는, 슬릿노즐로부터 잔류 약액을 예비토출 받은 상태로 상기 프라이밍 롤러가 회전될 때 세정모듈과 세정조로 롤러의 외부면을 세정하는 방식으로 상기 슬릿노즐의 잔류 약액을 간편하게 처리(제거)할 수 있는 구조를 갖는다.
이처럼, 잔류 약액의 예비토출 작업을 진행할 때 특히, 슬릿노즐의 토출 단부와 대응하여 항상 평행한 상태의 갭(gap)을 유지할 수 있는 구조(처짐 방지 구조)로 상기 프라이밍 롤러를 설치하는 것이 중요하다.
하지만, 상기한 종래의 약액 예비토출장치는, 프라이밍 롤러의 양단이 고정된 상태에서 롤러의 처짐을 방지하기 위한 수단을 일체 구비하고 있지 않으므로 약액의 예비토출 작업시 다음과 같은 문제가 발생할 수 있다.
즉, 슬릿노즐로부터 잔류 약액을 토출 받을 때 슬릿노즐의 토출 단부와 프라이밍 롤러의 외부면 사이에 갭 편차 발생하여 약액의 예비토출이 비정상으로 진행될 수 있다.
이처럼, 슬릿노즐의 잔류 약액이 비정상으로 예비 토출되면, 슬릿노즐의 토출 단부에 약액이 불균일하게 분포되면서 도포 품질을 저하시키는 한 요인이 될 수 있다.
예를 들어, 슬릿노즐의 토출 단부에 약액이 불균일하게 분포된 상태로 기판 측에 약액을 도포하면, 약액층이 비정상(예; 줄무늬, 물결무늬, 끊김 현상)으로 도포될 수 있다.
그리고, 상기와 같이 기판 측에 약액이 비정상으로 도포되면, 식각(蝕刻) 작 업을 진행할 때 패턴의 불량이 과다하게 발생할 수 있다.
특히, 상기 프라이밍 롤러는 예를 들어, 대면적 기판의 도포 작업에 사용하는 대형의 슬릿코터에 적용하려면 대형의 슬릿노즐 길이와 대응하도록 전체 길이를 더 길게 형성해야 하므로 상기와 같은 처짐 현상이 더욱 심각하게 발생할 수 있다.
그러므로, 상기한 종래의 약액 예비토출장치로는 만족할 만한 작업 호환성을 확보하기 어렵다.
이러한 프라이밍 롤러의 처짐 현상을 개선하기 위한 방법으로 롤러의 직경을 크게 형성하는 방법이 제시되고 있지만, 프라이밍 롤러의 외형과 무게가 과다하게 증가하여 장치 전체를 소형 및 경량화하기 어렵다.
또한, 대형의 프라이밍 롤러의 제작에 과다한 비용이 소요될 뿐만 아닐, 롤러의 무게에 의해 구동성이 현저하게 저하되는 또 다른 문제를 야기할 수 있다.
본 발명은 상기한 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서,
본 발명의 목적은, 특히 프라이밍 롤러의 처짐을 방지(보정)하여 한층 향상된 작업 품질과 작업성을 확보할 수 있는 약액 예비토출장치를 제공하는데 있다.
상기한 바와 같은 목적을 달성하기 위하여,
슬릿노즐로부터 약액이 예비토출되는 프라이밍 롤러;
일정량의 세정액이 담겨지며 이 세정액 중에 상기 프라이밍 롤러의 외부면 일부가 잠기도록 배치되는 세정조;
상기 프라이밍 롤러의 외부면을 세정하는 세정모듈;
상기 세정조 상에서 유체 분사 압력으로 상기 프라이밍 롤러의 처짐을 억제하는 처짐방지수단;
을 포함하는 약액 예비토출장치를 제공한다.
이와 같은 본 발명은, 프라이밍 롤러의 처짐(자중에 의한 처짐)을 억제할 수 있는 처짐방지수단을 구비하고 있으므로 예를 들어, 슬릿노즐의 잔류 약액을 예비토출하는 작업을 진행할 때 프라이밍 롤러의 처짐 현상에 의해 발생할 수 있는 문제점들을 효과적으로 개선할 수 있다.
특히, 상기 처짐방지수단은, 프라이밍 롤러 외부면을 향하여 일정 압력으로 유체(예: 세정조의 세정액)를 분사하는 방식으로 롤러의 처짐을 간편하게 방지 및 보정할 수 있다.
이하, 첨부된 도면에 의거하여 본 발명의 바람직한 실시 예를 설명한다.
본 발명의 실시 예들은 당 업계에서 평균적인 지식을 가진 자들이 본 발명의 실시가 가능한 범위 내에서 설명된다.
따라서, 본 발명의 실시 예들은 여러 가지 다른 형태로 변형될 수 있는 것이므로 본 발명의 특허청구범위는 아래에서 설명하는 실시 예들로 인하여 한정되는 것은 아니다.
도 1은 본 발명의 일실시 예에 따른 약액 예비토출장치의 바람직한 설치 상태를 개략적으로 나타낸 도면으로서, 도면 부호 2는 프라이밍 롤러(Priming Roller)를 지칭한다.
상기 프라이밍 롤러(2)는 도 1에서와 같은 슬릿코터(C) 상에서 슬릿노즐(C1)과 대응하도록 설치된다.
상기 슬릿코터(C)는 상기 슬릿노즐(C1)을 이용하여 슬릿 코팅(Slit Coating) 방식으로 기판(G)에 약액(R, 예:포토레지스트)을 도포할 수 있는 통상의 구조를 갖는다.
예를 들어, 상기 슬릿노즐(C1)은 기판(G)을 로딩하는 스테이지(C2)를 구비한 작업대(C3) 상에서 겐트리장치(C4)를 따라 상기 스테이지(C2) 일측에서 타측을 향하여 이동 가능하게 셋팅될 수 있다.
그리고, 상기 슬릿노즐(C1)은 상기 겐트리장치(C4) 상에서 예를 들어, 실린더(C5)의 피스톤 로드에 의해 업/다운 동작이 가능하게 설치될 수 있다.
이와 같은 슬릿코터(C)의 구조에 의하면, 상기 슬릿노즐(C1)의 이동 중에 슬릿 코팅 방식으로 기판(G) 측에 약액(R)을 간편하게 도포할 수 있다.
즉, 상기 프라이밍 롤러(2)는 상기 슬릿노즐(C1)로 약액(R)을 도포하기 전에 약액(R)의 예비토출 작업을 진행할 수 있도록 상기 스테이지(C2)와 떨어져서 상기 슬릿노즐(C1)의 토출구(N)와 대응하도록 상기 작업대(C3) 상에 위치될 수 있다.(도 1참조)
상기 프라이밍 롤러(2)는 상기 슬릿노즐(C1)로부터 약액(R)의 예비토출이 이루어지는 외부면(F)을 갖는다.
상기 프라이밍 롤러(2)는 상기 슬릿노즐(C1)의 토출구(N) 길이와 대응하는 길이로 연장 형성되며, 재질은 금속이나 합성수지 중에서 특히, 내구성 및 내마모성 등이 우수한 것으로 알려진 SUS를 사용하면 좋다.
상기 프라이밍 롤러(2)는 상기 작업대(C3) 상에서 양단이 각각 회전 가능하게 고정되어 축선을 중심으로 회전 가능한 구조로 설치된다.
예를 들어, 도 2에서와 같이 양단이 베어링 블록(C6)에 각각 끼워지고, 일단이 구동장치(C7, 예: 모터와 체인/스프라켓 또는 벨트/풀리)와 연결되어 통상의 방법으로 동력을 전달받아서 회전될 수 있다.
상기 본 발명의 일실시 예에 따른 약액 예비토출장치는, 세정조(4)를 포함한다.
상기 세정조(4)는 도 3에서와 같이 윗면이 개방된 세정 공간(S)을 구비한 박스 형태의 수조로 이루어질 수 있다.
상기 세정 공간(S)에는 상기 프라이밍 롤러(2)를 세정하기 위한 세정액(W)이 일정량 채워진다.
그리고, 상기 세정조(4)는 상기 프라이밍 롤러(2)의 외부면(F) 중에서 하부면이 세정액(W) 중에 항상 일정 부분 잠길 수 있는 상태가 되도록 상기 작업대(C3) 상에 배치된다.
이와 같은 구조에 의하면, 상기 프라이밍 롤러(2)가 회전될 때 상기 세정조(4) 내부에서 상기 프라이밍 롤러(2)의 외부면(F) 하부가 상기 세정액(W) 중에 담겨진 상태로 회전될 수 있다.
그러므로, 상기 세정조(4)는 상기 프라이밍 롤러(2)의 외부면(F)을 이른바, 디핑(dipping) 방식으로 세정할 수 있다.
상기 본 발명의 일실시 예에 따른 약액 예비토출장치는, 세정모듈(6)을 포함한다.
상기 세정모듈(6)은 상기 프라이밍 롤러(2)의 외부면(F)을 향하여 유체를 분사하면서 세정 또는 건조하기 위한 것이다.
상기 세정모듈(6)은 예를 들어, 세정용 유체(W1)를 분사하는 세정용 모듈(M1)과, 건조용 유체(W2)를 분사하는 건조용 모듈(M2)을 포함하여 이루어질 수 있다.
상기 세정용 모듈(M1)은, 상기 프라이밍 롤러(2)의 외부면(F) 일측을 향하여 세정용 유체(W1)를 분사할 수 있는 구조를 갖는 노즐(Nozzle)로 구성될 수 있다.
상기 건조용 모듈(M2)은, 상기 프라이밍 롤러(2)의 외부면(F) 일측을 향하여 건조용 유체(W2)를 분사할 수 있는 구조를 갖는 노즐(Nozzle)로 구성될 수 있다.
상기 세정용 모듈(M1)과 건조용 모듈(M2)은, 도면에는 나타내지 않았지만 예를 들어, 펌프나 블로워장치로부터 세정용 유체(W1) 또는 건조용 유체(W2)를 통상의 방법으로 공급받아서 일정 압력으로 분사할 수 있도록 셋팅된다.
이러한 유체 공급 및 분사 구조는 해당 분야에서 평균적인 지식을 가진 자라면 용이하게 실시할 수 있는 것이므로 더욱 상세한 설명은 생략한다.
상기 세정용 유체(W1)는 신너(Thinner)를 사용하고, 상기 건조용 유체(W2)는 CDA(Clean Dry Air)를 사용할 수 있다.
상기 세정용 모듈(M1)과 건조용 모듈(M2)은, 상기 작업대(C3) 상에서 도 3에서와 같이 위치하는 프라이밍 롤러(2)와 세정조(4)를 사이에 두고 좌/우로 배치될 수 있다.
이와 같은 구조에 의하면, 도 3을 기준으로 할 때 상기 프라이밍 롤러(2) 우측에서는 세정용 유체(W1)를 분사하여 외부면(F)을 세정하고, 좌측에서는 건조용 유체(W2)를 분사하여 외부면(F)을 건조할 수 있다.
상기 세정모듈(6)은, 도 3에서와 같이 스퀴즈(M3, squeeze)를 더 포함하여 이루어질 수 있다.
상기 스퀴즈(M3)는, 상기 프라이밍 롤러(2) 외부면(F)에 달라붙은 각종 유체(약액, 세정액, 세정용 유체)를 긁어내는 방식으로 분리 제거하기 위한 것이다.
상기 스퀴즈(M3)는 연질의 고무나 실리콘 재질로 이루어지고, 상기 프라이밍 롤러(2)의 외부면(F) 길이와 대응하는 크기를 갖는 판상의 형태로 이루어질 수 있다.
상기 스퀴즈(M3)는 예를 들어, 도 3에서와 같이 세정용 모듈(M1) 및 건조용 모듈(M2)과 약간 떨어진 지점에서 상기 프라이밍 롤러(2)의 외부면(F) 일측과 일단이 접촉 가능한 상태로 설치될 수 있다.
이와 같은 구조에 의하면, 상기 세정조(4)에서 세정 작업을 진행하기 전/후로 상기 프라이밍 롤러(2)의 외부면(F)에 묻어있는 약액(R)이나 세정액(W), 세정용 유체(W1)들을 스크래핑(scraping) 방식으로 한 번 더 간편하게 제거할 수 있다.
그리고, 상기 세정모듈(6)은, 흡입용 모듈(M4)을 더 포함하여 이루어질 수 있다.
상기 흡입용 모듈(M4)은, 상기 세정용 모듈(M1)과 건조용 모듈(M2)에서 분사한 세정용 유체(W1) 또는 건조용 유체(W2)를 흡입력으로 제거(수거)하기 위한 것이다.
즉, 상기 흡입용 모듈(M4)은 흡입력으로 세정용 유체(W1) 또는 건조용 유체(W2)를 빨아들일 수 있는 노즐(Nozzle)로 구성될 수 있다.
상기 흡입용 모듈(M4)은 예를 들어, 도 3에서와 같이 흡입구동기(M5, 예: 에어 펌프)와 연결되어 이 흡입구동기(M5)의 작동시 흡입력을 발생하도록 통상의 방법으로 셋팅될 수 있다.
그리고, 상기 흡입용 모듈(M4)은, 상기 세정용 모듈(M1) 및 건조용 모듈(M2) 과 일체형의 구조를 갖도록 설치하면 좋다.
예를 들어, 도 3에서와 같이 상기 세정용 모듈(M1) 및 건조용 모듈(M2)의 저면 측에 부착되어 세정용 유체(W1) 또는 건조용 유체(W2)가 분사되는 분사구와 인접하여 흡입구가 위치하도록 셋팅할 수 있다.
이와 같은 구조에 의하면, 상기 세정용 모듈(M1) 및 건조용 모듈(M2)에서 상기 프라이밍 롤러(2)의 외부면(F)을 향하여 분사된 세정용 유체(W1) 또는 건조용 유체(W2)를 상기 흡입용 모듈(M4)로 신속하게 제거(수거)할 수 있다.
특히, 이와 같은 흡입 작용은, 상기 프라이밍 롤러(2)의 외부면(F)에서 분리된 이물질(약액)이 상기 세정용 유체(W1) 또는 건조용 유체(W2) 중에 포함된 상태로 상기 세정조(4) 내부로 낙하하거나 외측을 향하여 불규칙하게 튀는 현상을 방지할 수 있다.
한편, 상기 본 발명의 일실시 예에 따른 약액 예비토출장치는, 처짐방지수단(8)을 포함한다.
상기 처짐방지수단(8)은, 유체 분사 압력으로 상기 프라이밍 롤러(2)의 외부면(F) 처짐 현상을 방지 및 보정하기 위한 것이다.
상기 처짐방지수단(8)은, 유체분사기(J1)와, 이 유체분사기(J1) 측으로 처짐방지용 유체(W3)를 공급하는 유체공급기(J2)를 포함하여 이루어진다.
상기 유체분사기(J1)는, 도 2 및 도 3에서와 같이 몸체(H)와, 이 몸체(H) 내부에 제공되는 분사유로(H1)와, 이 분사유로(H1) 일단과 연결되는 분사구(H2)로 구성될 수 있다.
상기 유체분사기(J1)는, 상기 세정조(4) 내부에서 상기 프라이밍 롤러(2)의 자중(自重)에 의한 처짐을 방지할 수 있는 상태로 처짐방지용 유체(W3)의 분사가 가능하게 셋팅된다.
예를 들어, 상기 유체분사기(J1)는, 상기 프라이밍 롤러(2)의 외부면(F) 중에서 하부면을 향하여 처짐방지용 유체(W3)를 분사할 수 있도록 상기 세정조(4) 내부에서 세정액(W) 중에 잠긴 상태로 배치될 수 있다.(도 3참조)
상기 분사구(H2)의 단부는 도면에는 나타내지 않았지만 상기 몸체(H) 상에서 원형 또는 다각형(슬릿형) 타입으로 제공될 수 있다.
그리고, 상기 유체분사기(J1)는 예를 들어, 도 4에서와 같이 상기 프라이밍 롤러(2)의 양단 사이에서 가운데 지점의 하부면과 대응하도록 설치하면 좋다.
특히, 상기 프라이밍 롤러(2)의 자중에 의한 처짐 현상은 대부분 롤러의 전체 길이 내에서 가운데 부분에서 주로 발생하는 것으로 알려져 있으므로 상기와 같이 유체분사기(J1)를 배치하면 롤러의 처짐 현상을 더욱 효과적으로 방지(보정)할 수 있다.
이외에도 도면에는 나타내지 않았지만 상기 유체분사기(J1)는 상기 프라이밍 롤러(2)의 전체 길이 방향 내에서 한 군데 이상의 지점에 설치할 수도 있다.
그리고, 상기 유체공급기(J2)는 유체 펌프를 사용할 수 있으며, 상기 세정조(4)에 담겨진 세정액(W)을 순환 공급하면서 처짐방지용 유체(W3)로 사용이 가능하게 셋팅될 수 있다.
예를 들어, 도 3에서와 같이 상기 유체공급기(J1) 즉, 유체 펌프의 흡입포 트(P1)와 상기 세정조(4)의 하부 사이를 관체(L)로 연결하고, 배출포트(P2)와 상기 유체분사기(J1)의 분사유로(H1) 일단을 관체(L)로 연결할 수 있다.
그러면, 상기 세정조(4)에 담겨진 세정액(W, 신너)이 상기 유체공급기(J2)의 펌핑에 의해 관체(L)를 통해 일정 압력으로 상기 유체분사기(J1) 측에 공급되면서 처짐방지용 유체(W3)로 사용될 수 있다.
이와 같은 처짐방지수단(8)의 구조에 의하면, 상기 유체분사기(J1)가 상기 세정조(4)의 세정액(W)을 공급받아서 도 3 및 도 4에서와 같이 상기 프라이밍 롤러(2)의 하부면을 향하여 처짐방지용 유체(W3)를 일정 압력으로 분사할 수 있다.
그러므로, 상기 유체분사기(J1)에서 분사되는 처짐방지용 유체(W3, 세정액)의 분사 압력에 의해 상기 프라이밍 롤러(2)의 처짐 현상을 억제하고, 항상 수평한 상태가 되도록 처짐량을 보정할 수 있다.(도 4참조)
또한, 상기와 같이 처짐방지용 유체(W3)를 분사하는 방식은, 유체의 분사 압력에 의해 상기 프라이밍 롤러(2)의 외부면(F)을 세정하는 효과도 얻을 수 있다.
그리고, 상기 세정조(4)에 담겨진 세정액(W)을 순환 공급하면서 처짐방지용 유체(W3)로 사용하면, 별도의 유체 및 저장탱크를 사용하지 않아도 되므로 구조가 간단할 뿐만 아니라, 유지 비용을 대폭 절감할 수 있다.
특히, 상기와 같이 유체분사기(J1)가 상기 세정조(4)의 세정액(W) 중에 잠긴 상태로 처짐방지용 유체(W3)를 분사하는 구조는, 분사된 유체가 프라이밍 롤러(2)의 외부면(F)과 접촉된 후 불규칙하게 튀는 현상을 방지할 수 있을 뿐만 아니라, 세정액(W) 중에 버블을 발생하여 상기 프라이밍 롤러(2)의 세정력을 더욱 높일 수 있다.
상기에서는 유체분사기(J1)가 세정액(W) 중에 잠긴 상태로 설치된 것을 일예로 설명 및 도면에 나타내고 있지만 본 발명이 상기한 구조에 한정되는 것은 아니다.
예를 들어, 도 5에서와 같이 상기 세정조(4)의 세정액(W) 수면 위로 상기 유체분사기(J1)를 노출시킨 상태로 설치할 수도 있다.
이때, 상기 유체분사기(J1)는 도 5를 기준으로 할 때 상기 프라이밍 롤러(2)를 사이에 두고 좌/우로 배치하고, 상기 프라이밍 롤러(2)의 외부면(F)을 향하여 처짐을 방지할 수 있는 분사 방향으로 처짐방지용 유체(W3)를 분사할 수 있도록 셋팅하면 좋다.
이와 같은 구조에 의하면, 상기 세정조(4)의 세정액(W) 수면 위로 노출된 두 개의 유체분사기(J1)로 처짐방지용 유체(W3)를 분사하면서 상기 프라이밍 롤러(2)의 처짐 현상을 방지할 수 있다.
그리고, 상기에서는 세정조(4)에 담겨진 세정액(W)을 처짐방지용 유체(W3)로 사용하는 것을 일예로 설명 및 도면에 나타내고 있지만 본 발명이 상기한 구조에 한정되는 것은 아니다.
예를 들어, 도 6에서와 같이 상기 유체공급기(J2)를 별도의 저장탱크(T)와 관체(L)로 연결하여 저장탱크(T)에 담겨진 별도의 처짐방지용 유체(W3, 예: 신너)를 공급받아서 분사하는 구조로 이루어질 수도 있다.
이때, 상기 세정조(4)에는 오버플로우(overflow) 기능을 갖는 관체(L1)와, 회수용 탱크(T1)를 연결 설치하면 좋다. 그러면, 상기 저장탱크(T)로부터 처짐방지용 유체(W3)를 공급받아서 분사하더라도 상기 세정조(4)의 수위(水位)가 항상 일정하게 유지될 수 있다.
따라서, 상기한 본 발명의 일실시 예에 따른 약액 예비토출장치는, 상기와 같은 구조 및 작용을 갖는 처짐방지수단(8)을 구비하여 상기 프라이밍 롤러(2)의 처짐 현상을 유체의 분사 압력으로 간편하게 방지(보정)할 수 있다.
그러므로, 슬릿노즐(C1)로부터 약액(R)을 예비토출받아서 처리하는 일련의 작업을 진행할 때 상기 프라이밍 롤러(2)의 처짐에 의해 발생할 수 있는 문제들을 개선하여 한층 향상된 작업 품질과 작업성을 확보할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일실시 예에 따른 약액 예비토출장치의 바람직한 설치 상태를 개략적으로 나타낸 도면이다.
도 2는 도 1의 장치를 일측면에서 바라 본 도면이다.
도 3은 본 발명의 일실시 예에 따른 약액 예비토출장치의 주요 구성부를 확대하여 나타낸 도면이다
도 4는 도 3의 유체분사기의 바람직한 설치 위치를 설명하기 위한 도면이다.
도 5 및 도 6은 본 발명의 일실시 예에 따른 약액 예비토출장치의 처짐방지수단의 다른 구조를 설명하기 위한 도면이다.
[도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명]
2: 프라이밍 롤러 4: 세정조 6: 세정모듈
8: 처짐방지수단 C: 슬릿코터 C1: 슬릿노즐
R: 약액 W: 세정액 W3: 처짐방지용 유체

Claims (7)

  1. 슬릿노즐로부터 약액이 예비토출되는 프라이밍 롤러;
    일정량의 세정액이 담겨지며 이 세정액 중에 상기 프라이밍 롤러의 외부면 일부가 잠기도록 배치되는 세정조;
    상기 프라이밍 롤러의 외부면을 세정하는 세정모듈;
    상기 세정조 상에서 유체 분사 압력으로 상기 프라이밍 롤러의 처짐을 억제하는 처짐방지수단;
    을 포함하는 약액 예비토출장치.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 세정모듈은,
    상기 프라이밍 롤러의 외부면을 향하여 세정용 유체를 분사하는 세정용 모듈;
    상기 세정용 모듈과 이격 배치되며 건조용 유체를 분사하는 건조용 모듈;
    상기 프라이밍 롤러를 향해 분사된 세정용 유체와 건조용 유체를 흡입 제거하는 흡입용 모듈;
    을 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 약액 예비토출장치.
  3. 청구항 1에 있어서,
    상기 처짐방지수단은,
    상기 프라이밍 롤러의 처짐 부분을 향하여 처짐방지용 유체를 분사할 수 있도록 제공되는 유체분사기;
    상기 유체분사기와 연결되어 이 유체분사기 측으로 처짐방지용 유체를 공급할 수 있도록 제공되는 유체공급기;
    를 포함하는 약액 예비토출장치.
  4. 청구항 3에 있어서,
    상기 유체분사기는,
    몸체;
    상기 몸체 내부에 제공되어 상기 유체공급기로부터 처짐방지용 유체를 공급받는 분사유로;
    상기 분사유로와 연결되어 처짐방지용 유체를 분사하는 분사구;
    를 포함하며,
    상기 분사구는, 원형 또는 다각형(슬릿형)의 분사 통로를 갖도록 형성되는 약액 예비토출장치.
  5. 청구항 3에 있어서,
    상기 유체분사기는,
    상기 세정조의 세정액 중에 감기거나 노출된 상태로 설치되는 것을 특징으로 하는 약액 예비토출장치.
  6. 청구항 3에 있어서,
    상기 유체분사기는,
    상기 프라이밍 롤러의 길이 방향 내에서 한 군데 또는 복수 개의 지점에 설치되는 약액 예비토출장치.
  7. 청구항 1에 있어서,
    상기 유체공급기는,
    유체 펌프로 구성되며,
    상기 세정조에 담겨진 세정액을 상기 유체분사기 쪽으로 순환 공급하면서 상기 세정액을 처짐방지용 유체로 사용할 수 있도록 셋팅되는 것을 특징으로 하는 약액 예비토출장치.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101250928B1 (ko) * 2010-11-29 2013-04-04 주식회사 나래나노텍 개선된 프라이밍 롤러, 및 이를 구비한 프라이밍 처리 장치

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