KR101905315B1 - 표시 장치 - Google Patents

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가부시키가이샤 재팬 디스프레이
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Abstract

기판의 제1 면에 형성되고, 면 형상으로 복수의 화소가 배열되는 화소 영역과, 화소 영역의 기판측의 면과는 반대측의 면을 덮는 밀봉층과, 화소 영역에 대하여 밀봉층이 형성되는 측의 면으로서, 화소 영역의 상측의 층에서 일 방향으로 연장되는 제1 검출 전극과, 화소 영역의 상측의 층이고 제1 검출 전극과는 다른 층에서 일 방향과 교차하는 방향으로 연장되는 제2 검출 전극을 갖고, 밀봉층은 적어도, 유기 수지막과, 유기 수지막의 하층측에 형성된 제1 무기 절연막과, 유기 수지막의 상층측에 형성된 제2 무기 절연막을 포함하고, 제1 검출 전극과, 제2 검출 전극은, 어느 하나의 전극이 유기 수지막의 상측의 층에 설치되고, 다른 전극이 유기 수지막의 하측 층에 설치되어, 양자가 유기 수지막을 사이에 두고 배치되어 있는 표시 장치가 제공된다.

Description

표시 장치 {DISPLAY DEVICE}
본 발명의 일 실시 형태는 입력 기능을 갖는 표시 장치에 관한 것이다. 본 명세서에 의하여 개시되는 발명의 일 실시 형태는 표시 장치에 포함되는 터치 센서의 전극 구조에 관한 것이다.
화면에 표시된 아이콘 등의 화상에 접촉함으로써 조작이 행해지는 전자 기기가 보급되어 있다. 이러한 전자 기기에 사용되는 표시 패널은 터치 패널(또는 터치 스크린)이라고도 칭해진다. 터치 패널에서는 정전 용량식의 터치 센서가 채용되어 있다. 정전 용량식의 터치 센서에는, Tx 전극 및 Rx 전극이라고도 칭해지는 1쌍의 센서 전극 사이의 정전 용량의 변화를 입력 신호로서 검출하고 있는 것이 있다.
종래의 터치 패널은 터치 센서 패널과 표시 패널을 중첩시킨 구조를 갖는다. 그러나 2개의 패널을 중첩시킨 구조는 표시 장치의 두께가 증가하는 것이 문제가 된다. 예를 들어 플렉시블 디스플레이라 칭해지는, 만곡시키거나 절곡하거나 하는 표시 장치에서는, 터치 센서 패널과 표시 패널을 중첩시킨 구조가 유연성을 저해하는 요인으로 된다.
따라서 터치 센서의 기능을 표시 패널 내에 만들어 넣은 구조가 개시되어 있다. 예를 들어 유기 일렉트로루미네센스 소자(이하, 「유기 EL 소자」라고도 함)를 사용한 표시 패널에 있어서, 밀봉막으로서 형성되는 무기 절연막을 사이에 두고 제1 검출 전극과 제2 검출 전극을 배치하고, 터치 센서를 패널 내에 설치한 인셀형이라 칭해지는 표시 장치가 개시되어 있다(일본 특허 공개 제2015-050245호 공보 참조).
표시 장치에 형성되는 밀봉막은 무결함일 것이 요구된다. 밀봉막에 결함이 존재하면, 표시 소자나 회로 소자가 형성된 영역에 수분 등이 침입하여 당해 소자의 특성을 열화시키는 원인으로 된다. 예를 들어 화소에 설치되는 유기 EL 소자는 수분 등으로 열화되기 때문에, 밀봉막의 결함이 표시 불량의 원인으로 된다.
수분의 침입을 차단하는 치밀한 밀봉막은 플라즈마 CVD(Chemical Vapor Deposition)법 등에 의한 박막 프로세스에 의하여 제작된다. 밀봉막의 결함은, 피성막면에 부착되는 이물에 의하여 생성되는 것이 원인의 하나로 되어 있다. 예를 들어 밀봉막의 제작 전에 기판의 피성막면에 파티클 등의 이물이 부착되어 있으면 밀봉막이 균일하게 형성되지 않아, 이물이 부착되어 있는 영역에서 결함이 생성된다. 그 결과, 밀봉막의 결함 부분으로부터 수분 등이 침입하여 유기 EL 소자의 열화가 진행되게 된다.
일본 특허 공개 제2015-050245호 공에 개시되는 표시 장치에서는, 밀봉막의 성막 전에 제1 검출 전극을 형성하는 공정이 포함된다. 제1 검출 전극을 형성하기 위한 도전막은 스퍼터링법 등에 의하여 성막되는 것이 통상이다. 스퍼터링법에 의한 성막 공정은 이물 발생의 요인의 하나로 된다. 이 공정에서 이물이 부착된 채 밀봉막이 형성되면 밀봉막에 결함이 생성된다. 또한 결함 부분을 포함하는 밀봉막을 사이에 두고 제2 검출 전극이 형성되면, 제1 검출 전극과 제2 검출 전극이 단락되는 불량이 발생한다.
본 발명의 일 실시 형태에 의한 표시 장치는, 기판의 제1 면에 형성되고, 면 형상으로 복수의 화소가 배열되는 화소 영역과, 화소 영역의 기판측의 면과는 반대측의 면을 덮는 밀봉층과, 화소 영역에 대하여 밀봉층이 형성되는 측의 면으로서, 화소 영역의 상측의 층에서 일 방향으로 연장되는 제1 검출 전극과, 화소 영역의 상측의 층이고 제1 검출 전극과는 다른 층에서 일 방향과 교차하는 방향으로 연장되는 제2 검출 전극을 갖고, 밀봉층은 적어도, 유기 수지막과, 유기 수지막의 하층측에 형성된 제1 무기 절연막과, 유기 수지막의 상층측에 형성된 제2 무기 절연막을 포함하고, 제1 검출 전극과, 제2 검출 전극은, 어느 하나의 전극이 유기 수지막의 상측의 층에 설치되고, 다른 전극이 유기 수지막의 하측 층에 설치되어, 양자가 유기 수지막을 사이에 두고 배치되어 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시 형태에 따른 표시 장치의 구성을 도시하는 사시도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시 형태에 따른 표시 장치의 화소 영역의 구성을 도시하는 사시도이다.
도 3a는 본 발명의 일 실시 형태에 따른 표시 장치의 구성을 도시하는 도면이다.
도 3b는 본 발명의 일 실시 형태에 따른 표시 장치의 구성을 도시하는 도면이다.
도 3c는 본 발명의 일 실시 형태에 따른 표시 장치의 구성을 도시하는 도면이다.
도 3d는 본 발명의 일 실시 형태에 따른 표시 장치의 구성을 도시하는 도면이다.
도 4는 본 발명의 일 실시 형태에 따른 표시 장치의 구성을 도시하는 평면도이다.
도 5는 본 발명의 일 실시 형태에 따른 표시 장치의 구성을 도시하는 단면도이다.
도 6은 본 발명의 일 실시 형태에 따른 표시 장치의 화소 영역의 구성을 도시하는 단면도이다.
도 7은 본 발명의 일 실시 형태에 따른 표시 장치의 구성을 도시하는 단면도이다.
도 8a는 본 발명의 일 실시 형태에 따른 표시 장치의 단자부의 평면도이다.
도 8b는 본 발명의 일 실시 형태에 따른 표시 장치의 단자 전극에 접속되는 배선의 단면도이다.
도 8c는 본 발명의 일 실시 형태에 따른 표시 장치의 단자 전극의 단면도를 도시하는 도면이다.
도 9는 본 발명의 일 실시 형태에 따른 표시 장치의 구성을 도시하는 단면도이다.
도 10은 본 발명의 일 실시 형태에 따른 표시 장치의 구성을 도시하는 단면도이다.
도 11은 본 발명의 일 실시 형태에 따른 표시 장치의 구성을 도시하는 단면도이다.
이하, 본 발명의 실시 형태를 도면 등을 참조하면서 설명한다. 단, 본 발명은 다수의 상이한 형태로 실시하는 것이 가능하며, 이하에 예시하는 실시 형태의 기재 내용에 한정되어 해석되는 것은 아니다. 도면은 설명을 보다 명확히 하기 위하여, 실제의 형태에 비하여 각 부의 폭, 두께, 형상 등에 대하여 모식적으로 표현되는 경우가 있지만 어디까지나 일례이며, 본 발명의 해석을 한정하는 것은 아니다. 또한 본 명세서와 각 도면에 있어서, 기출 도면에 대하여 상술한 것과 마찬가지의 요소에는 동일한 부호(또는 숫자 뒤에 a, b 등을 붙인 부호)를 붙여, 상세한 설명을 적절히 생략하는 경우가 있다. 또한 각 요소에 대하여 「제1」, 「제2」라고 부기된 문자는 각 요소를 구별하기 위하여 사용되는 편의적인 표지이며, 특별한 설명이 없는 한 그 이상의 의미를 갖지 않는다.
본 명세서에 있어서, 어느 부재 또는 영역이 다른 부재 또는 영역 「위에(또는 아래에)」 있다고 하는 경우, 특별한 한정이 없는 한 이는 다른 부재 또는 영역의 바로 위(또는 바로 아래)에 있는 경우뿐만 아니라 다른 부재 또는 영역의 상방(또는 하방)에 있는 경우를 포함하며, 즉, 다른 부재 또는 영역의 상방(또는 하방)에 있어서 사이에 다른 구성 요소가 포함되어 있는 경우도 포함한다. 또한 이하의 설명에서는, 특별히 언급하지 않는 한 단면에서 보아, 기판에 대하여 제2 기판이 배치되는 측을 「위」로 하고 그 반대를 「아래」로 하여 설명한다.
[표시 장치의 구성]
도 1은, 본 발명의 일 실시 형태에 따른 표시 장치(100)를 사시도로 도시한다. 표시 장치(100)는 화소 영역(104)이 형성되는 기판(102)을 갖는다. 화소 영역(104)에는 복수의 화소(106)가, 예를 들어 행 방향 및 열 방향으로 배열된다. 화소 영역(104)에 중첩되어 터치 센서(108)가 설치된다. 복수의 화소(106)와 터치 센서(108)는 중첩되도록 배치된다.
기판(102)에는, 화소 영역(104)의 외측에 구동 회로(110a)가 설치된다. 또한 기판(102)에는, 구동 회로(110a)에 신호를 입력하는 제1 단자부(112a), 터치 센서(108)의 신호가 출력되는 제2 단자부(112b)가 배치된다. 제1 단자부(112a)는 제1 플렉시블 프린트 배선 기판(114a)과 접속되고, 제2 단자부(112b)는 제2 플렉시블 프린트 배선 기판(114b)과 접속된다. 표시 장치(100)는 제1 단자부(112a)로부터 입력되는 영상 신호 등에 의하여 화상을 표시하고, 제2 단자부(112b)로부터 터치 센서(108)의 신호가 출력된다. 또한 도 1에서는 제1 플렉시블 프린트 배선 기판(114a) 및 제2 플렉시블 프린트 배선 기판(114b)은 개별적으로 설치되어 있지만, 일체로 되어 있어도 된다.
기판(102)은 유리, 플라스틱(폴리카르보네이트, 폴리에틸렌테레프탈레이트, 폴리이미드, 폴리아크릴레이트 등) 등의 부재를 포함한다. 기판(102)의 재질이 플라스틱인 경우, 기판의 박판화에 의하여 표시 장치(100)를 가요성으로 하는 것이 가능해진다. 즉, 기판(102)으로서 플라스틱 기판을 사용함으로써 플렉시블 디스플레이를 실현하는 것이 가능해진다.
화소 영역(104) 및 터치 센서(108) 위에는, 편광자를 포함하는 편광판(116)이 설치된다. 예를 들어 편광판(116)은 원편광성을 나타내는 편광자에 의하여 구성된다. 편광판(116)은 편광자를 포함하는 필름 기재에 의하여 형성된다. 화소 영역(104)에 중첩시켜 편광판(116)을 설치함으로써 표시 화면으로의 투영(경면화)을 방지할 수 있다.
또한 도 1에서는 생략되어 있지만, 화소(106)는 표시 소자 및 회로 소자를 포함하여 구성된다. 터치 센서(108)은 정전 용량식인 것이 바람직하며, 제1 검지 배선 패턴(Tx 배선 패턴)과 제2 검지 배선 패턴(Rx 배선 패턴)에 의하여 구성된다. 화소 영역(104)과 터치 센서(108) 사이에는 절연막이 배치되며, 전기적으로는 서로 단락되지 않도록 배치된다.
도 2는, 화소 영역(104) 위에 배치되는 터치 센서(108)의 구성을 사시도로 도시한다. 도 2에 도시한 바와 같이 표시 장치(100)는, 기판(102) 위에 회로 소자가 설치되는 회로 소자층(122), 표시 소자가 설치되는 표시 소자층(124), 터치 센서용의 검출 전극을 포함하는 밀봉층(126)이 적층된 구조를 갖는다. 밀봉층(126)은, 관찰자측의 주면을 위로 했을 때 화소 영역의 상측의 면을 덮도록 형성된다.
회로 소자층(122)은 트랜지스터, 커패시터 등의 회로 소자 및 회로 소자에 접속되는 배선을 포함한다. 또한 회로 소자층(122)은, 적어도 1층의 무기 절연 재료로 형성되는 절연막, 적어도 1층의 유기 수지 재료로 형성되는 절연성의 평탄화막을 포함한다. 회로 소자층(122)은 화소 영역(104)의 외측에 배치되는 구동 회로(110)를 포함하는 층이다. 구동 회로(110)는 트랜지스터, 커패시터, 저항 등의 소자에 의하여 형성된다.
표시 소자층(124)은, 표시 소자로서, 발광 소자 또는 전압의 인가에 의하여 전기 광학 효과를 발현하는 소자 등이 사용된다. 발광 소자로서는 유기 EL 소자가 사용되는 경우, 표시 소자층(124)은, 애노드 및 캐소드로서 구별되는 전극, 유기 EL 재료를 포함하는 유기층, 유기 EL 소자로 형성되는 화소 사이를 분리하는 절연성의 격벽층을 포함하여 구성된다.
화소 영역(104)은 회로 소자층(122) 및 표시 소자층(124)을 포함하여 구성된다. 예를 들어 화소 영역(104)에 있어서의 각 화소(106)는, 유기 EL 소자와, 유기 EL 소자를 구동하는 트랜지스터를 포함하여 구성된다.
밀봉층(126)은 복수의 막이 적층된 구조를 갖는다. 도 2는, 밀봉층(126)으로서, 제1 무기 절연막(128), 유기 수지막(130) 및 제2 무기 절연막(132)이 적층된 구조를 갖는다. 밀봉층(126)은 상이한 소재를 조합한 적층 구조에 의하여 밀봉 성능을 높이고 있다. 예를 들어 제1 무기 절연막(128)에 결함이 포함되더라도 유기 수지막(130)이 그 결함 부분을 매립하고, 나아가 제2 무기 절연막(132)을 형성함으로써 당해 결함에 의한 밀봉 성능의 열화를 보충할 수 있는 구조를 갖고 있다. 이때 제2 무기 절연막(132)은, 화소 영역(104)의 전체면과, 화소 영역(104)의 외측의 영역의 적어도 일부를 덮도록 형성되어도 되고, 제1 무기 절연막(128)과 제2 무기 절연막(132)은 유기 수지막(130)의 더욱 외측의 영역을 덮도록 형성되어도 된다. 또한 제1 무기 절연막(128)과 제2 무기 절연막(132)의 외주 단부는 반드시 일치하지는 않아도 된다.
밀봉층(126)은, 터치 센서(108)를 구성하는 제1 검출 전극(134) 및 제2 검출 전극(140) 중 적어도 한쪽 또는 양쪽을 내포한다. 제1 검출 전극(134)은 제1 방향으로 연신되도록 배치되고, 제2 검출 전극(140)은 제1 방향과 교차하는 제2 방향으로 연신되도록 배치된다. 제1 방향은 임의의 방향으로 할 수 있는데, 예를 들어 화소의 배열에 대응하여 열 방향을 따른 방향으로 할 수 있다. 이 경우, 제2 방향으로서는 화소의 행 방향의 배열을 따른 방향으로 할 수 있다. 제1 검출 전극(134)과 제2 검출 전극(140)은 각각 복수 개 배치되어, 화소 영역에 제1 검출 전극 패턴 및 제2 검출 전극 패턴을 형성한다. 또한 도 2에서는 제1 검출 전극(134) 및 제2 검출 전극(140)의 일부가 도시되어 있는 데 불과하며, 이들 검출 전극은 화소 영역(104)의 대략 전체에 걸쳐 복수 배열되어 배치된다.
이러한 제1 검출 전극(134)과 제2 검출 전극(140)은, 적어도 밀봉층(126)을 구성하는 유기 수지막(130)을 사이에 두고 배치된다. 제1 검출 전극(134)과 제2 검출 전극(140)은 유기 수지막(130)에 의하여 절연되어 있다. 즉, 유기 수지막(130)의 한쪽 면측에 제1 검출 전극(134)이 배치되고, 한쪽 면에 대향하는 다른 쪽 면측에 제2 검출 전극(140)이 배치된다. 제1 검출 전극(134)과 제2 검출 전극(140)은 유기 수지막(130)을 사이에 두고 배치됨으로써 절연되어, 양 검출 전극의 사이에 정전 용량이 발생한다.
도 3a, 도 3b, 도 3c 및 도 3d는, 기판(102) 위에 회로 소자층(122), 표시 소자층(124), 밀봉층(126)이 적층되는 구조에 있어서, 밀봉층(126)과 제1 검출 전극(134) 및 제2 검출 전극(140)의 형태를 모식적으로 도시한다. 표시 소자층(124)은 화소 전극(170), 유기층(172) 및 대향 전극(174)이 적층된 구조를 갖는다. 밀봉층(126)은 제1 무기 절연막(128), 유기 수지막(130) 및 제2 무기 절연막(132)이 적층된 구조를 가지며, 대향 전극(174)의 상층측에 배치된다.
도 3a는, 밀봉층(126)에 있어서, 제1 무기 절연막(128)과 유기 수지막(130) 사이에 제1 검출 전극(134)이 설치되고, 유기 수지막(130)과 제2 무기 절연막(132) 사이에 제2 검출 전극(140)이 설치된 구성을 도시한다. 도 3b는, 제1 무기 절연막(128)과 유기 수지막(130) 사이에 제1 검출 전극(134)이 설치되고, 제2 무기 절연막(132)의 상층에 제2 검출 전극(140)이 설치된 구성을 도시한다. 도 3c는, 밀봉층(126)에 있어서, 유기 수지막(130)이 적어도 제1 유기 수지막(130a)과 제2 유기 수지막(130b)을 포함하고 있다. 제1 검출 전극(134)은 제1 유기 수지막(130a)과 제2 유기 수지막(130b) 사이에 설치되고, 제2 검출 전극(140)은 제2 유기 수지막(130b)과 제2 무기 절연막(132) 사이에 설치되어 있다. 또한 도 3d는, 제1 검출 전극(134)은 제1 유기 수지막(130a)과 제2 유기 수지막(130b) 사이에 설치되고, 제2 검출 전극(140)은 제2 무기 절연막(132)의 상층에 설치되어 있다.
도 3a, 도 3b, 도 3c 및 도 3d에 도시한 바와 같이, 제1 검출 전극(134)과 제2 검출 전극(140) 사이에는 어느 경우에도 유기 수지막이 개재되는 구조를 갖고 있다. 이러한 구조에 의하여, 예를 들어 제1 검출 전극(134)을 형성하기 위한 도전막의 성막 시에 이물이 부착되어 그 후의 공정까지 잔존하더하도, 유기 수지막에 의하여 당해 이물을 매립할 수 있다. 유기 수지막은 도포법 또는 증착법으로 제작되는데, 기판에 유기 수지 재료(또는 유기 수지 재료의 전구체)가 부착되는 단계에서는 유동성을 갖는다. 그 때문에, 부분적으로 이물이 부착되어 있더라도 유기 수지 재료의 제법에 따른 특성을 이용하여 이물에 의한 돌기를 매립하여, 유기 수지막(130)의 표면을 대략 평탄하게 할 수 있다. 이것에 의하여 제1 검출 전극(134)과 제2 검출 전극(140)의 단락을 방지할 수 있다.
또한 도 3a, 도 3b, 도 3c 및 도 3d에는 도시되어 있지 않지만, 제2 무기 절연막(132) 또는 제2 검출 전극(140) 위에는 편광판이 설치되어 있어도 된다.
도 4는, 표시 장치(100)에 있어서의, 제1 검출 전극(134) 및 제2 검출 전극(140)의 배치를 모식적으로 도시하는 평면도이다. 도 4는, 복수의 제1 검출 전극(134)이 Y 방향으로 연신되어 제1 검출 전극 패턴(138)을 형성하고, 복수의 제2 검출 전극(140)이 X 방향으로 연신되어 제2 검출 전극 패턴(144)을 형성하는 형태를 도시한다. 또한 제1 검출 전극(134) 및 제2 검출 전극(140)의 형상은 임의이다. 제1 검출 전극(134) 및 제2 검출 전극(140)은 직사각형(스트라이프)형이어도 되고, 도시된 바와 같이 마름모(다이아몬드)형의 전극을 연접한 형상을 갖고 있어도 된다. 이러한 직사각형(스트라이프)형 내지 마름모(다이아몬드)형을 연속하여 배치한 형상의 검출 전극을 채용함으로써 터치 센서(108)의 검출 감도의 향상이 도모된다.
제1 검출 전극 패턴(138) 및 제2 검출 전극 패턴(144)은 화소 영역(104)과 중첩되는 영역에 배치된다. 화소 영역(104)으로부터 인출되는 제1 검출 전극(134)의 제1 배선(136)은 제2 단자부(112b)에 접속된다. 또한 제2 검출 전극(140)의 제2 배선(142)도 화소 영역(104)으로부터 기판(102)의 단부로 인출되고 기판(102)의 1변을 따라 배치되어, 제2 단자부(112b)에 접속된다. 제2 배선(142)은, 기판(102)에 있어서, 구동 회로(110b)가 배치되는 영역과 중첩되는 영역에 배치되어도 된다. 제2 배선(142)과 구동 회로(110b)를 중첩시켜 배치함으로써 표시 패널의 프레임 폭 협소화가 도모된다.
또한 기판(102)에는, 화소 영역(104)을 둘러싸는 개구 영역(120)이 형성되어 있다. 개구 영역(120)의 상세는 후술되는 화소 영역(104)의 단면 구조에 의하여 설명된다. 제1 배선(136) 및 제2 배선(142)은 화소 영역(104)으로부터 이 개구 영역(120)을 넘어 기판(102)의 주연부로 인출되어 있다.
제2 단자부(112b)는 제2 플렉시블 프린트 배선 기판(114b)을 개재하여 터치 센서 제어부(109)와 접속된다. 즉, 제1 검출 전극(134) 및 제2 검출 전극(140)에 의하여 얻어지는 검지 신호는 제1 배선(136) 및 제2 배선(142)에 의하여 제2 단자부(112b)에 전달되고, 제2 플렉시블 프린트 배선 기판(114b)을 개재하여 터치 센서 제어부(109)에 출력된다.
이와 같이, 본 발명의 일 실시 형태에 따른 표시 장치(100)는, 터치 센서를 구성하는 제1 검출 전극 패턴(138)과 제2 검출 전극 패턴(144)이 기판(102)에 설치된다. 이와 같은 구성에 의하여 표시 장치(100)의 박형화를 도모할 수 있다. 도 2에 도시한 바와 같이, 제1 검출 전극(134)과 제2 검출 전극(140)은 밀봉층(126)에 매설되도록, 또는 밀봉층(126)에 접하도록 설치된다. 이 구성에 의하여, 제1 검출 전극(134)과 제2 검출 전극(140) 사이에서 정전 용량을 형성하기 위하여 유전체층이 밀봉층(126)의 일부로 대체되기 때문에, 표시 장치(100)는 보다 박형화가 도모된다.
다음으로, 제1 검출 전극(134) 및 제2 검출 전극(140)과, 이들 검출 전극이 설치되는 밀봉층(126)의 상세를 제1 실시 형태 내지 제4 실시 형태에 있어서 설명한다.
[제1 실시 형태]
도 5는, 본 발명의 일 실시 형태에 따른 표시 장치(100)의 단면 구조를 도시한다. 도 5는, 화소 영역(104) 및 화소 영역(104)의 외측에 위치하는 주변 영역(118)의 단면 구조를 모식적으로 도시한다. 이 단면 구조는 도 4에 나타내는 X1-X2 선을 따른 구조에 대응한다. 또한 도 5에 도시하는 밀봉층(126), 그리고 제1 검출 전극(134) 및 제2 검출 전극(140)의 구성은 도 3a에 대응한다.
도 5에 도시한 바와 같이, 기판(102) 위에 화소 영역(104), 주변 영역(118)이 형성된다. 주변 영역(118)은 개구 영역(120) 및 구동 회로(110b)를 포함한다. 화소 영역(104)은, 트랜지스터(146), 유기 EL 소자(150), 제1 용량 소자(152), 제2 용량 소자(154)를 포함한다. 이들 소자의 상세를 도 6에 도시한다.
도 6에 도시한 바와 같이 유기 EL 소자(150)는 트랜지스터(146)와 전기적으로 접속된다. 트랜지스터(146)는, 게이트에 인가되는 영상 신호에 의하여 소스·드레인 사이를 흐르는 전류가 제어되고, 이 전류에 의하여 유기 EL 소자(150)의 발광 휘도가 제어된다. 제1 용량 소자(152)는 트랜지스터(146)의 게이트 전압을 유지하고, 제2 용량 소자(154)는 유기 EL 소자(150)에 흐르는 전류량을 조정하기 위하여 설치된다. 또한 제2 용량 소자(154)는 필수적인 구성은 아니며, 생략 가능하다.
기판(102)의 제1 면에는 하지 절연층(156)이 형성된다. 트랜지스터(146)는하지 절연층(156) 위에 설치된다. 트랜지스터(146)는 반도체층(158), 게이트 절연층(160), 게이트 전극(162)이 적층된 구조를 포함한다. 반도체층(158)은 비정질 혹은 다결정의 실리콘, 또는 산화물 반도체 등으로 형성된다. 소스·드레인 배선(164)은 제1 절연층(166)을 개재하여 게이트 전극(162)의 상층에 설치된다. 소스·드레인 배선(164)의 상층에는 평탄화층으로서의 제2 절연층(168)이 형성된다. 제1 절연층(166)은 산화실리콘, 질화실리콘 등의 무기 절연 재료로 형성되고, 제2 절연층(168)은 폴리이미드, 아크릴 등의 유기 절연 재료로 형성된다.
제2 절연층(168)의 상면에 유기 EL 소자(150)가 설치된다. 유기 EL 소자(150)는, 트랜지스터(146)와 전기적으로 접속되는 화소 전극(170)과, 유기층(172) 및 대향 전극(174)이 적층된 구조를 갖는다. 유기 EL 소자(150)는 2단자 소자이며, 화소 전극(170)과 대향 전극(174) 사이의 전압을 제어함으로써 발광이 제어된다. 제2 절연층(168) 위에는, 화소 전극(170)의 주연부를 덮고 내측 영역을 노출시키도록 격벽층(176)이 형성된다. 대향 전극(174)은 유기층(172)의 상면에 설치된다. 유기층(172)은, 화소 전극(170)과 중첩되는 영역으로부터 격벽층(176)의 상면부에 걸쳐 형성된다. 격벽층(176)은 화소 전극(170)의 주연부를 덮음과 함께, 화소 전극(170)의 단부에서 매끄러운 단차를 형성하기 위하여 유기 수지 재료로 형성된다. 유기 수지 재료로서는 아크릴이나 폴리이미드 등이 사용된다.
유기층(172)은 유기 EL 재료를 포함하는 단층 또는 복수의 층으로 형성된다. 유기층(172)은 저분자계 또는 고분자계의 유기 재료를 사용하여 형성된다. 저분자계의 유기 재료를 사용하는 경우, 유기층(172)은 유기 EL 재료를 포함하는 발광층 외에, 당해 발광층을 사이에 두도록 정공 주입층이나 전자 주입층, 나아가 정공 수송층이나 전자 수송층 등을 포함하여 구성된다. 예를 들어 유기층(172)은, 발광층을 홀 주입층과 전자 주입층 사이에 둔 구조로 할 수 있다. 또한 유기층(172)은 홀 주입층과 전자 주입층 외에, 홀 수송층, 전자 수송층, 홀 블록층, 전자 블록층 등이 적절히 부가되어도 된다.
또한 본 실시 형태에 있어서, 유기 EL 소자(150)는, 유기층(172)에서 발광한 광을 대향 전극(174)측으로 방사하는, 소위 톱 에미션형의 구조를 갖는다. 그 때문에 화소 전극(170)은 광 반사성을 갖는 것이 바람직하다. 화소 전극(170)은 알루미늄(Al), 은(Ag) 등의 광 반사성의 금속 재료에 의하여 형성되는 것 외에, 정공 주입성이 우수한 ITO(Indium Tin Oxide: 산화인듐·주석)나 IZO(Indium Zinc Oxide: 산화인듐·아연)에 의한 투명 도전층과, 광 반사성의 금속층이 적층된 구조를 갖는다.
대향 전극(174)은 유기층(172)에서 발광한 광을 투과시키기 위하여, 투광성을 갖고 또한 도전성을 갖는 ITO나 IZO 등의 투명 도전막으로 형성되어 있다. 대향 전극(174)과 유기층(172)의 계면에는, 캐리어 주입성을 높이기 위하여 리튬 등의 알칼리 금속 또는 마그네슘 등의 알칼리 토금속을 포함하는 층이 형성되어 있어도 된다.
제1 용량 소자(152)는, 게이트 절연층(160)을 유전체막으로서 사용하여, 반도체층(158)과 제1 용량 전극(178)이 중첩되는 영역에 형성된다. 또한 제2 용량 소자(154)는, 화소 전극(170)과 제2 용량 전극(180) 사이에 형성되는 제3 절연층(182)을 유전체막으로서 사용하여, 화소 전극(170)과 화소 전극에 중첩되어 설치되는 제2 용량 전극(180)에 의하여 형성된다. 제3 절연층(182)은 질화실리콘 등의 무기 절연 재료로 형성된다.
유기 EL 소자(150)의 상층에는 밀봉층(126)이 형성된다. 밀봉층(126)은 유기 EL 소자(150)에 수분 등이 침입하는 것을 방지하기 위하여 형성된다. 밀봉층(126)은, 유기 EL 소자(150)의 측으로부터 제1 무기 절연막(128), 유기 수지막(130) 및 제2 무기 절연막(132)이 적층된 구조를 갖는다. 제1 무기 절연막(128) 및 제2 무기 절연막(132)은 질화실리콘, 질산화실리콘, 산화알루미늄 등의 무기 절연 재료에 의하여 형성된다. 제1 무기 절연막(128) 및 제2 무기 절연막(132)은, 이들 무기 절연 재료의 피막이 스퍼터링법, 플라즈마 CVD법 등에 의하여 형성된다. 제1 무기 절연막(128) 및 제2 무기 절연막(132)은 0.1㎛ 내지 10㎛, 바람직하게는 0.5㎛ 내지 5㎛의 두께로 형성된다.
또한 후술되는 도 8a에 도시한 바와 같이, 제2 단자부(112b)의 영역을 노출시키기 위하여, 기판(102)의 전체면에 성막한 후에 포토리소그래피에 의하여 패터닝하거나, 성막 시에 마스크(성막면에 개구부가 형성된 메탈 마스크 등)를 사용하여 적어도 제2 단자부(12b)에 절연막이 성막되지 않도록 하는 것이 바람직하다.
유기 수지막(130)은 아크릴, 폴리이미드, 에폭시 등에 의하여 형성되는 것이 바람직하다. 유기 수지막(130)은 이러한 유기 재료에 의하여 1㎛ 내지 20㎛, 바람직하게는 2㎛ 내지 10㎛의 두께로 형성된다. 유기 수지막(130)은 스핀 코팅 등의 도포법이나 유기 재료 소스를 사용한 증착법에 의하여 성막된다. 그러나 유기 수지막(130)은, 단부가 제1 무기 절연막(128) 및 제2 무기 절연막(132)으로 밀봉되도록, 화소 영역(104)을 포함하는 소정의 영역 내에 형성되는 것이 바람직하다. 예를 들어 유기 수지막(130)의 단부(윤곽부)는 개구 영역(120)과 중첩되는 위치에 형성되는 것이 바람직하다. 이 때문에, 유기 수지막(130)은 도포법에 의하여 기판(102)에 전체면 성막한 후 에칭에 의하여 외주 영역을 제거하거나, 피증착면을 개구하는 마스크를 사용한 증착법(마스크 증착), 잉크젯 인쇄, 플렉소 인쇄, 그라비아 인쇄에 의하여 미리 소정의 패턴으로 형성하는 것이 바람직하다.
또한 도 6에서는 생략되어 있지만, 밀봉층(126)의 상면에는, 도 1에 도시한 바와 같이 편광판(116)이 설치된다. 편광판(116)에는 편광자 외에 컬러 필터층이나 차광층이 적절히 포함되어 있어도 된다.
터치 센서(108)를 형성하는 제1 검출 전극(134)은 제1 무기 절연막(128)과 유기 수지막(130) 사이에 설치된다. 제2 검출 전극(140)은 유기 수지막(130)과 제2 무기 절연막(132) 사이에 설치된다. 제1 검출 전극(134) 및 제2 검출 전극(140)은, 유기 EL 소자(150)로부터 출사되는 광을 투과시키기 위하여 투명 도전막으로 형성되는 것이 바람직하다. 투명 도전막의 1종인 ITO나 IZO의 피막은 스퍼터링법으로 제작된다. 또한 제1 검출 전극(134) 및 제2 검출 전극(140)은 은 나노와이어를 사용하여 인쇄법으로 제작해도 된다.
본 실시 형태에 있어서는, 제1 검출 전극(134)의 상층에 유기 수지막(130)이 형성되므로, 제1 검출 전극(134)을 형성하는 투명 도전막을 성막한 후에 이물이 부착되어 있더라도 당해 이물을 유기 수지막(130)으로 피복할 수 있다. 그것에 의하여, 유기 수지막(130) 위에 형성되는 제2 검출 전극(140)과, 제1 검출 전극(134)이 단락되는 것을 방지할 수 있다. 또한 유기 수지막(130)의 상층(제2 검출 전극(140)의 상층)에는 제2 무기 절연막(132)이 형성되므로, 밀봉층(126)으로서의 기능을 유지할 수 있다.
도 5에 있어서, 화소 영역(104)의 외측에 있는 주변 영역(118)에 포함되는 구동 회로(110b)는, 트랜지스터(148a, 148b)가 설치된다. 예를 들어 트랜지스터(148a)는 n채널형 트랜지스터이고, 트랜지스터(148b)는 p채널형 트랜지스터이다. 이러한 트랜지스터에 의하여 구동 회로가 형성된다.
개구 영역(120)이라 칭해지는 영역은 화소 영역(104)과 구동 회로(110b) 사이에 형성된다. 개구 영역(120)은, 제2 절연층(168)을 관통하는 개구부(184)가 형성된다. 개구부(184)는 화소 영역(104) 중 적어도 1변을 따라 형성된다. 제2 절연층(168)은 개구부(184)에 의하여 화소 영역(104)측과 구동 회로(110b)측으로 분단되어 있다. 또한 격벽층(176)도 개구부(184)에 있어서 분단되어 있다. 제2 절연층(168) 상의 제3 절연층(182)과, 격벽층(176)의 상면에 설치되는 대향 전극(174)은 개구부(184)의 측면 및 저면을 따라 설치된다.
밀봉층(126)을 구성하는 유기 수지막(130)은 개구부(184)에 단부가 배치된다. 제1 무기 절연막(128) 및 제2 무기 절연막(132)은 유기 수지막(130)의 단부 외측까지 연장 설치된다. 이것에 의하여 유기 수지막(130)의 외측 영역에서는, 제1 무기 절연막(128)과 제2 무기 절연막(132)이 접하는 구조가 형성된다. 달리 말하면, 유기 수지막(130)은 제1 무기 절연막(128)과 제2 무기 절연막(132) 사이에 끼워 넣어져 단부가 노출되지 않는 구조를 갖고 있다. 이 구조에 의하여 유기 수지막(130)의 단부로부터 수분 등이 침입하는 것을 방지할 수 있다. 또한 유기 수지막(130)의 단부는 화소 영역(104)의 외측이면 되지만, 당해 단부를 개구부(184)에 중첩시킴으로써, 개구 영역(120)에 있어서, 무기 절연 재료로 형성되는 제1 절연층(166), 제3 절연층(182), 대향 전극(174), 제1 무기 절연막(128), 제2 배선(142), 제2 무기 절연막(132)이 적층된 영역을 형성할 수 있다. 이러한 적층 구조에 의하여 밀봉 성능을 높일 수 있다.
이와 같이, 주변 영역(118)에 있어서, 유기 절연 재료로 형성되는 제2 절연층(168) 및 격벽층(176)을 개구부(184)에 의하여 분단하고, 개구부(184)의 측면 및 저면을 피복하도록 무기 재료로 형성되는 제3 절연층(182) 및 대향 전극(174)이 배치됨으로써, 밀봉 구조가 형성된다. 제3 절연층(182)은, 개구부(184)의 저부에 있어서, 무기 재료로 형성되는 제1 절연층(166)과 밀접하도록 설치된다. 유기 절연 재료로 형성되는 제2 절연층(168) 및 격벽층(176)을 무기 재료의 층 사이에 끼워 넣음으로써 기판(102)의 단부로부터 화소 영역(104)에 수분이 침입하는 것을 방지할 수 있다. 제2 절연층(168) 및 격벽층(176)을 분리하는 개구부(184)가 형성된 영역은 수분 차단 영역으로서 기능시킬 수 있어, 그 구조를 「수분 차단 구조」라 할 수 있다.
제2 검출 전극(140)에 접속되는 제2 배선(142)은 개구 영역(120)을 넘어 구동 회로(110b) 위에 배치된다. 제2 배선(142)은 나아가 기판(102)의 단부측으로 연장 설치된다. 제2 배선(142)은 제1 무기 절연막(128) 및 제2 무기 절연막(132) 사이에 끼워져 배치된다. 즉, 제2 배선(142)은 제1 무기 절연막(128) 및 제2 무기 절연막(132)에 의하여 보호된다.
도 7은, 도 4에 나타내는 Y1-Y2선에 대응하는 단면 구조를 도시한다. 도 7에 있어서도 화소 영역(104) 및 주변 영역(118)이 도시된다. 주변 영역(118)에는 개구 영역(120)이 포함되어 있다. 개구 영역(120)에서는, 개구부(184)에 있어서, 무기 절연 재료로 형성되는 제1 절연층(166), 제3 절연층(182), 대향 전극(174), 제1 무기 절연막(128), 제2 검출 전극(140), 제2 무기 절연막(132)이 적층된 영역을 갖는다. 제1 검출 전극(134)에 접속되는 제1 배선(136)은 제1 무기 절연막(128)의 상면을 따라 배치되어, 개구 영역(120)을 넘어 기판(102)의 단부측으로 연장 설치된다. 제1 배선(136)은 제1 무기 절연막(128) 및 제2 무기 절연막(132) 사이에 끼워져 배치된다. 이것에 의하여 제1 배선(136)은 제1 무기 절연막(128) 및 제2 무기 절연막(132)에 의하여 보호된다.
도 8a, 도 8b 및 도 8c는 제1 배선(136), 제2 배선(142)이 접속되는 제2 단자부(112b)의 구성을 도시한다. 도 8a는 제2 단자부(112b)의 평면도를 도시한다. 제2 단자부(112b)는 복수의 단자 전극이 배열되어 있다. 도 8a는, 제2 단자부(112b)에 단자 전극(113a 내지 113d)을 일례로서 도시한다. 또한 도 8a에 있어서 나타내는 A1-A2 선을 따른 단면 구조를 도 8b에 도시하고, B1-B2선을 따른 단면 구조를 도 8c에 도시한다.
도 8a에 도시하는 예에서는, 단자 전극(113a)이 제1 배선(136a)과 접속되고, 단자 전극(113b)이 제1 배선(136b)과 접속되며, 단자 전극(113c)이 제2 배선(142a)과 접속되고, 단자 전극(113d)이 제2 배선(142b)과 접속되는 형태를 도시한다. 단자 전극(113a 내지 113d)은 기판(102) 위에 설치된다. 제1 배선(136a, 136b) 및 제2 배선(142a, 142b)은 단자 전극(113a 내지 113d)까지 각각 인출되지만, 제1 무기 절연막(128) 및 제2 무기 절연막(132)은 단자 전극(113a 내지 113d)을 덮지 않도록 형성되어 있다. 즉, 제1 무기 절연막(128) 및 제2 무기 절연막(132)의 단부는 기판(102)의 단부보다 내측에 배치되어, 단자 전극(113a 내지 113d)을 노출시키고 있다.
도 8b는, 제1 배선(136a, 136b) 및 제2 배선(142a, 142b)가 배치되는 주변 영역(118)의 단면 구조를 도시한다. 주변 영역(118)에 있어서는, 예를 들어 기판(102) 위에 하지 절연층(156), 게이트 절연층(160), 제1 절연층(166), 제3 절연층(182)이 적층되어 있다. 제1 무기 절연막(128) 및 제2 무기 절연막(132)은 제3 절연층(182) 위에 형성되어 있다. 제1 배선(136a, 136b) 및 제2 배선(142a, 142b) 하층측에 제1 무기 절연막(128)이 형성되고, 상층측에 제2 무기 절연막(132)이 형성되어 있다. 제1 무기 절연막(128) 및 제2 무기 절연막(132)은 질화실리콘, 질산화실리콘, 산화알루미늄 등의, 수분에 대하여 배리어성이 높은 절연막이다. 제1 배선(136a, 136b) 및 제2 배선(142a, 142b)은 제1 무기 절연막(128) 및 제2 무기 절연막(132) 사이에 끼워짐으로써 주변 영역(118)에 있어서 절연되어, 수분 등의 영향에 의한 부식으로부터 방지된다.
도 8c는, 단자 전극(113a 내지 113d)의 단면 구조를 도시한다. 단자 전극(113a 내지 113d)은, 예를 들어 소스·드레인 배선(164)을 형성하는 도전층과 동일한 층에 의하여 형성된다. 단자 전극(113a 내지 113d)의 단부 및 단자 전극 사이에는 제2 절연층(168), 제3 절연층(182)이 형성되어 있다. 이것에 의하여 각 단자 전극 사이는 절연되어 있다. 단자 전극(113a 내지 113d)이 설치되는 영역에서는 제1 무기 절연막(128) 및 제2 무기 절연막(132)이 형성되어 있지 않으므로, 제1 배선(136a, 136b)은 각각 단자 전극(113a, 113b)과 전기적으로 접속되고, 제2 배선(142a, 142b)은 각각 단자 전극(113c, 113d)과 전기적으로 접속된다. 또한 제1 배선(136a, 136b) 및 제2 배선(142a, 142b)과 단자 전극(113a 내지 113d)과의 사이에는 산화물 도전막(171)이 형성되어 있어도 된다. 산화물 도전막(171)은, 예를 들어 화소 전극(170)을 형성하는 도전층과 동일한 층에서 형성된다. 산화물 도전막(171)은 필수적인 구성은 아니지만, 단자 전극(113a 내지 113d)의 표면을 보호하고 산화에 의한 접촉 저항의 증가를 방지하기 위하여 형성해 두는 것이 바람직하다.
이와 같이, 본 실시 형태에 의하면, 제1 검출 전극(134)에 접속되는 제1 배선(136) 및 제2 검출 전극(140)에 접속되는 제2 배선(142)을 제1 무기 절연막(128)과 제2 무기 절연막(132)에 의하여 밀봉할 수 있으므로, 터치 센서의 신뢰성을 향상시킬 수 있다.
도 5 및 도 7에 도시한 바와 같이, 제1 검출 전극(134)과 제2 검출 전극(140)은 유기 수지막(130)을 개재하여 설치됨으로써, 이물이 존재하는 경우에도 단락이 방지된다. 또한 제1 검출 전극(134)에 접속되는 제1 배선(136)과, 제2 검출 전극(140)에 접속되는 제2 배선(142)은, 각각이 제1 무기 절연막(128) 및 제2 무기 절연막(132) 사이에 끼워져 설치되며, 기판(102)에 있어서 상이한 방향으로 인출됨으로써 양 배선은 절연된다. 이러한 구조에 의하여, 터치 패널을 구성하는 검출 전극 및 배선의 단락이 확실히 방지된다.
또한 본 실시 형태에 의하면, 제1 검출 전극(134)과 제2 검출 전극(140)이 유기 수지막(130)을 사이에 두고 밀봉층(126)에 내설되므로, 표시 장치(100)의 박형화를 도모할 수 있다. 이러한 구조는, 기판(102)이 유기 수지 재료로 형성되는 시트 형상의 기판에 있어서도 적용 가능하며, 터치 패널이 내장된 플렉시블 디스플레이를 실현할 수 있다.
[제2 실시 형태]
도 9는, 본 발명의 일 실시 형태에 따른 표시 장치의 구성을 도시한다. 도 9는, 도 4에 나타내는 X1-X2선을 따른 단면 구조를 도시한다. 또한 도 9에 도시하는 밀봉층(126), 그리고 제1 검출 전극(134) 및 제2 검출 전극(140)의 구성은 도 3b에 대응한다.
도 9에 도시한 바와 같이, 제2 검출 전극(140) 및 제2 배선(142)은 제2 무기 절연막(132)의 상층측에 설치해도 된다. 제2 검출 전극(140) 및 제2 배선(142)의 하층측에는 유기 수지막(130)이 형성되어 있다. 제2 검출 전극(140) 및 제2 배선(142)의 하지측은 유기 수지막(130)에 의하여 요철이 완화된다. 제1 검출 전극(134)을 형성한 후에 이물이 부착되더라도 유기 수지막(130)에 의하여 매설된다. 또한 유기 수지막(130)에 의하여 제1 검출 전극(134)에 의한 표면의 요철이 완화된다. 또한 유기 수지막(130) 위에 제2 무기 절연막(132)이 형성됨으로써 제1 검출 전극(134)과 확실히 절연된다. 또한 제1 검출 전극(134)의 구성은 제1 실시 형태와 마찬가지이다.
본 실시 형태에 의하면, 제1 실시 형태에 있어서의 표시 장치의 작용 효과 외에, 제1 검출 전극(134)과 제2 검출 전극(140) 사이에 복수의 절연막이 개재됨으로써 양 검출 전극의 단락을 확실히 방지할 수 있다.
[제3 실시 형태]
도 10은, 본 발명의 일 실시 형태에 따른 표시 장치의 구성을 도시한다. 도 10은, 도 4에 나타내는 X1-X2 선을 따른 단면 구조를 도시한다. 또한 도 10에 도시하는 밀봉층(126), 그리고 제1 검출 전극(134) 및 제2 검출 전극(140)의 구성은 도 3c에 대응한다.
도 10에 도시한 바와 같이, 제1 무기 절연막(128)과 제2 무기 절연막(132) 사이에 형성되는 유기 수지막은 제1 유기 수지막(130a)과 제2 유기 수지막(130b)의 2개의 막을 포함하고 있다. 즉, 제1 무기 절연막(128) 위에 제1 유기 수지막(130a)이 형성되고, 제1 유기 수지막(130a) 위에 제2 유기 수지막(130b)이 적층되어 있다. 제2 무기 절연막(132)은 제2 유기 수지막(130b) 위에 형성되어 있다.
제1 검출 전극(134)은 제1 유기 수지막(130a)의 상층에 설치되어 있다. 달리 말하면, 제1 검출 전극(134)은 제1 유기 수지막(130a)과 제2 유기 수지막(130b) 사이에 배치되어 있다. 도 10에는 도시되지 않지만, 제1 검출 전극(134)에 접속하는 제1 배선(136)도 마찬가지이다. 제1 검출 전극(134)의 하층측에 형성되는 제1 유기 수지막(130a)은 하지면의 요철을 매설하여, 표면이 제1 무기 절연막(128)의 표면보다 평탄화된다. 이것에 의하여, 제1 검출 전극(134)이 하지의 요철 표면의 영향을 받아 단선되는 것을 방지하는 것이 가능해진다.
제1 검출 전극(134)의 상층측에는 제2 유기 수지막(130b)이 형성된다. 제1 검출 전극(134)을 형성한 후에 이물이 부착되더라도 제2 유기 수지막(130b)에 의하여 당해 이물이 매설된다. 또한 제2 유기 수지막(130b)에 의하여 제1 검출 전극(134)에 의한 표면의 요철이 완화된다. 이것에 의하여, 제1 검출 전극(134)과 제2 검출 전극(140)이 절연되어, 양 검출 전극이 단락되는 것을 방지할 수 있다. 또한 제1 검출 전극(134)의 구성은 제1 실시 형태와 마찬가지이다.
본 실시 형태에 의하면, 제1 실시 형태에 있어서의 표시 장치의 작용 효과 외에, 제1 검출 전극(134) 및 제2 검출 전극(140)의 하층측에 각각 유기 수지막이 형성됨으로써 하지면이 평탄화되어, 제1 검출 전극(134) 및 제2 검출 전극(140)의 단선을 방지할 수 있다. 또한 제1 검출 전극(134)과 제2 검출 전극(140) 사이에 적어도 제2 유기 수지막(130b)이 개재됨으로써 양 검출 전극의 단락을 방지할 수 있다.
[제4 실시 형태]
도 11은, 본 발명의 일 실시 형태에 따른 표시 장치의 구성을 도시한다. 도 11은, 도 4에 나타내는 X1-X2 선을 따른 단면 구조를 도시한다. 또한 도 11에 도시하는 밀봉층(126), 그리고 제1 검출 전극(134) 및 제2 검출 전극(140)의 구성은 도 3d에 대응한다.
도 11에 도시한 바와 같이, 제1 검출 전극(134)은 제1 유기 수지막(130a)과 제2 유기 수지막(130b) 사이에 설치되고, 제2 검출 전극(140) 및 제2 배선(142)은 제2 무기 절연막(132)의 상층측에 설치된다. 제2 검출 전극(140) 및 제2 배선(142)의 하층측에는 제1 유기 수지막(130a) 및 제2 유기 수지막(130b)이 형성되어 있다. 제2 검출 전극(140) 및 제2 배선(142)의 하지측은 적어도 제2 유기 수지막(130b)에 의하여 요철이 완화된다. 제1 검출 전극(134)을 형성한 후에 이물이 부착되더라도 제2 유기 수지막(130b)에 의하여 매설된다. 또한 제2 유기 수지막(130b)에 의하여 제1 검출 전극(134)에 의한 표면의 요철이 완화된다. 또한 제2 유기 수지막(130b) 위에 제2 무기 절연막(132)이 형성됨으로써 제1 검출 전극(134)과 확실히 절연된다. 또한 제1 검출 전극(134)의 구성은 제1 실시 형태와 마찬가지이다.
본 실시 형태에 의하면, 제1 실시 형태에 있어서의 표시 장치의 작용 효과 외에, 제1 검출 전극(134)과 제2 검출 전극(140) 사이에 복수의 절연막이 개재됨으로써 양 검출 전극의 단락을 확실히 방지할 수 있다.
100: 표시 장치
102: 기판
104: 화소 영역
106: 화소
108: 터치 센서
109: 터치 센서 제어부
110: 구동 회로
112: 단자부
113: 단자 전극
114: 플렉시블 프린트 배선 기판
116: 편광판
118: 주변 영역
120: 개구 영역
122: 회로 소자층
124: 표시 소자층
126: 밀봉층
128: 제1 무기 절연막
130: 유기 수지막
132: 제2 무기 절연막
134: 제1 검출 전극
136: 제1 배선
138: 제1 검출 전극 패턴
140: 제2 검출 전극
142: 제2 배선
144: 제2 검출 전극 패턴
146: 트랜지스터
148: 트랜지스터
150: 유기 EL 소자
152: 제1 용량 소자
154: 제2 용량 소자
156: 하지 절연층
158: 반도체층
160: 게이트 절연층
162: 게이트 전극
164: 소스·드레인 배선
166: 제1 절연층
168: 제2 절연층
170: 화소 전극
171: 산화물 도전막
172: 유기층
174: 대향 전극
176: 격벽층
178: 제1 용량 전극
180: 제2 용량 전극
182: 제3 절연층
184: 개구부

Claims (14)

  1. 제1 면과 상기 제1 면에 대향하는 제2 면을 갖는 기판과,
    상기 기판의 상기 제1 면에 형성되고, 면 형상으로 복수의 화소가 배열되는 화소 영역과,
    상기 화소 영역의 상기 기판측의 면과는 반대측의 면을 덮는 밀봉층과,
    상기 화소 영역에 대하여 상기 밀봉층이 형성되는 측의 면으로서, 상기 화소 영역의 상측의 층에서 일 방향으로 연장되는 제1 검출 전극과,
    상기 화소 영역의 상측의 층이고 상기 제1 검출 전극과는 다른 층에서 상기 일 방향과 교차하는 방향으로 연장되는 제2 검출 전극을 갖고,
    상기 밀봉층은 적어도, 유기 수지막과, 상기 유기 수지막의 하층측에 형성된 제1 무기 절연막과, 상기 유기 수지막의 상층측에 형성된 제2 무기 절연막을 포함하고,
    상기 제1 검출 전극과 상기 제2 검출 전극은, 어느 하나의 전극이 상기 유기 수지막의 상측의 층에 설치되고, 다른 전극이 상기 유기 수지막의 하측 층에 설치되어, 양자가 상기 유기 수지막을 사이에 두고 배치되는 것을 특징으로 하는 표시 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 제1 검출 전극은 상기 제1 무기 절연막과 상기 유기 수지막 사이에 배치되고,
    상기 제2 검출 전극은 상기 유기 수지막과 상기 제2 무기 절연막 사이에 배치되는 표시 장치.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 제1 검출 전극은 상기 제1 무기 절연막과 상기 유기 수지막 사이에 배치되고,
    상기 제2 검출 전극은 상기 제2 무기 절연막의 상층에 배치되는 표시 장치.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 유기 수지막은, 상기 제1 무기 절연막의 상측의 층에 배치되는 제1 유기 수지막과, 상기 제1 유기 수지막의 상측의 층에 배치되는 제2 유기 수지막을 갖고,
    상기 제1 검출 전극은 상기 제1 유기 수지막과 상기 제2 유기 수지막 사이에 배치되고,
    상기 제2 검출 전극은 상기 제2 유기 수지막과 상기 제2 무기 절연막 사이에 배치되는 표시 장치.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 유기 수지막은, 상기 제1 무기 절연막의 상측의 층에 배치되는 제1 유기 수지막과, 상기 제1 유기 수지막의 상측의 층에 배치되는 제2 유기 수지막을 갖고,
    상기 제1 검출 전극은 상기 제1 유기 수지막과 상기 제2 유기 수지막 사이에 배치되고,
    상기 제2 검출 전극은 상기 제2 무기 절연막의 상측의 층에 배치되는 표시 장치.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 밀봉층은, 상기 화소 영역의 외측 영역에 상기 유기 수지막의 단부가 배치되고, 상기 제1 무기 절연막 및 상기 제2 무기 절연막은 상기 유기 수지막의 단부보다 더욱 외측 영역까지 연신되어 배치되는 표시 장치.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 제1 검출 전극에 접속하는 제1 배선과, 상기 제2 검출 전극에 접속하는 제2 배선을 갖고,
    상기 제1 배선과 상기 제2 배선은 상기 제1 무기 절연막과 상기 제2 무기 절연막 사이에 끼워져 있는 표시 장치.
  8. 제1항에 있어서,
    상기 화소 영역의 외측에 주변 영역을 갖고,
    상기 화소 영역 및 상기 주변 영역은, 상기 기판측으로부터 적어도 1층의 무기 절연층과, 상기 적어도 1층의 무기 절연층 상의 적어도 1층의 유기 절연층을 포함하고,
    상기 화소 영역과 상기 주변 영역 사이에, 상기 적어도 1층의 유기 수지층이 제거된 개구부를 갖는 표시 장치.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 유기 수지막의 단부는 상기 개구부와 중첩되고, 상기 제1 무기 절연막 및 상기 제2 무기 절연막의 단부는 상기 개구부의 외측에 배치되어 있는 표시 장치.
  10. 제8항에 있어서,
    상기 제1 검출 전극에 접속하는 제1 배선과, 상기 제2 검출 전극에 접속하는 제2 배선을 갖고,
    상기 제1 배선과 상기 제2 배선은 상기 개구부를 넘어 상기 주변 영역으로 연장되어 있는 표시 장치.
  11. 제7항에 있어서,
    상기 기판 위에, 상기 제1 무기 절연막 및 상기 제2 무기 절연막으로부터 노출되는 복수의 단자 전극을 갖고, 상기 제1 배선과 상기 제2 배선은 각각 상기 복수의 단자 전극 중 하나와 접속되어 있는 표시 장치.
  12. 제1항에 있어서,
    상기 유기 수지막이 아크릴 수지막, 폴리이미드 수지막, 에폭시 수지막 중 어느 1종 또는 복수 종인 표시 장치.
  13. 제1항에 있어서,
    상기 제1 무기 절연막 및 상기 제2 무기 절연막이 질화실리콘막, 질산화실리콘막, 산화알루미늄막 중 어느 1종 또는 복수 종인 표시 장치.
  14. 제1항에 있어서,
    상기 화소에 유기 일렉트로루미네센스 소자가 배치되어 있는 표시 장치.
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