KR101891389B1

KR101891389B1 - 스크린 마스크, 스크린 인쇄 장치, 및 스크린 인쇄 방법 및 인쇄물의 제조 방법

Info

Publication number: KR101891389B1
Application number: KR1020160003887A
Authority: KR
Inventors: 마레히토 아오키; 도모타카 와타나베; 고이치 아사히
Original assignee: 미타니 마이크로닉스 가부시키가이샤
Priority date: 2015-01-13
Filing date: 2016-01-12
Publication date: 2018-08-23
Also published as: KR20160087355A; JP2016129954A; JP6494289B2

Abstract

본 발명의 과제는 단순한 구성으로 고정밀도의 인쇄가 가능한 스크린 마스크, 스크린 인쇄 장치, 스크린 인쇄 방법 및 인쇄물의 제조 방법을 제공하는 것이다. 해결 수단으로서, 일 형태에 따른 스크린 마스크(20)는, 도포재를 투과 가능한 구멍을 갖는 메시(22)와, 상기 메시(22)에 마련되고, 폭 치수가 가장 작은 위치에 있어서 30㎛ 이하인 개구 패턴(23a)을 갖는 동시에, 상기 메시(22)의 인쇄면측에 있어서의 두께인 유후가 12㎛ 이상인 마스크 막(23)을 구비한다.

Description

스크린 마스크, 스크린 인쇄 장치, 및 스크린 인쇄 방법 및 인쇄물의 제조 방법{SCREEN MASK, SCREEN PRINTING APPARATUS, AND SCREEN PRINTING METHOD AND METHOD OF MANUFACTURING A PRINTED MATTER}

본 발명의 실시형태는 스크린 마스크, 스크린 인쇄 장치, 및 스크린 인쇄 방법 및 인쇄물의 제조 방법에 관한 것이다.

인쇄 수법의 하나인 스크린 인쇄법은 메시(mesh) 상에 수지 조성물로 형성된 소정의 개구 패턴이 형성된 스크린 마스크(screen mask)를 이용하여, 피인쇄물에 임의의 인쇄체를 형성하는 방법이다. 이러한 스크린 인쇄법은, 예를 들어 배선, 전극, 형광 재료의 인쇄 등, 각종의 인쇄에 이용되고, 전자 부품 등을 포함하는 다양한 분야에서 이용되고 있다(예를 들면, 일본 공개 특허 제 2013-169783 호 공보).

최근, 전자 부품의 소형화, 고품질화에 의해, 스크린 마스크의 고정밀도화가 요구되고 있다. 예를 들어 선폭이 30㎛ 이하의 미세한 패턴(pattern)을 형성할 경우, 메시 상의 마스크의 두께인 유후(乳厚)를 얇게 하는 것이 일반적으로 행해지고 있으며, 예를 들어 선폭이 30㎛ 정도인 경우, 유후는 5㎛ 내지 10㎛ 정도로 하고 있다.

그렇지만, 패턴의 선폭이 미세하고 유후가 얇은 경우, 메시의 경사(經絲)나 위사(緯絲)가 근접하게 위치하는 부위에서는, 도포재의 전사량이 감소할 경우가 있어, 인쇄의 형상이 불균일하게 되어, 인쇄 정밀도가 저하하는 원인이 된다.

본 발명의 일 태양에 따른 스크린 마스크는, 도포 재료를 투과 가능한 구멍을 갖는 메시와, 상기 메시에 마련되고, 폭 치수가 가장 작은 위치에 있어서 30㎛ 이하인 개구 패턴을 갖는 동시에, 상기 메시의 인쇄면측에 있어서의 두께인 유후가 12㎛ 이상인 마스크 막을 구비한다.

본 발명의 일 태양에 따른 스크린 인쇄 장치는, 상기 스크린 마스크와, 상기 스크린 마스크의 상기 인쇄면측과는 반대측의 면에 접촉하여 이동 가능하게 구성된 스퀴즈(squeeze)를 구비한다.

본 발명의 일 태양에 따른 스크린 인쇄 방법은, 도포 재료를 투과 가능한 구멍을 갖는 메시와, 상기 메시에 마련되고, 폭 치수가 가장 작은 위치에 있어서 30㎛ 이하인 개구 패턴을 갖는 동시에, 상기 메시의 인쇄면측에 있어서의 두께인 유후가 12㎛ 이상인 마스크 막을 구비하는 스크린 마스크의 상기 마스크 막에, 점도가 100 내지 500Pa·s이고, 또한 틱소트로피(Thixotropie)성이 3 내지 10인 특성을 갖는 도포재를 공급하고, 상기 마스크 막의 상기 개구 패턴으로부터, 상기 마스크 막의 상기 인쇄면측에 대향 배치된 인쇄 매체에 상기 도포재를 도포하는 것을 특징으로 한다.

본 발명의 일 태양에 따른 인쇄물의 제조 방법은, 도포 재료를 투과 가능한 구멍을 갖는 메시와, 상기 메시에 마련되고, 폭 치수가 가장 작은 위치에 있어서 30㎛ 이하인 개구 패턴을 갖는 동시에, 상기 메시의 인쇄면측에 있어서의 두께인 유후가 12㎛ 이상인 마스크 막을 구비하는 스크린 마스크의 상기 마스크 막에, 점도가 100 내지 500Pa·s이고, 또한 틱소트로피성이 3 내지 10인 특성을 갖는 도포재를 공급하고, 상기 마스크 막의 상기 개구 패턴으로부터, 상기 마스크 막의 상기 인쇄면측에 대향 배치된 인쇄 매체에 상기 도포재를 도포하는 것을 특징으로 한다.

본 발명의 실시형태에 따르면, 단순한 구성으로 고정밀도의 인쇄가 가능한 스크린 마스크, 스크린 인쇄 장치, 스크린 인쇄 방법 및 인쇄물의 제조 방법을 제공할 수 있다.

도 1은 제 1 실시형태에 따른 스크린 인쇄 장치의 설명도,
도 2는 동 실시형태에 따른 스크린 마스크의 사시도,
도 3은 동 스크린 마스크의 단면도,
도 4는 동 스크린 마스크의 제조 공정을 도시하는 설명도,
도 5는 동 스크린 마스크의 유후와 인쇄 형상을 도시하는 설명도,
도 6은 동 스크린 마스크의 도포재의 특성과 인쇄 형상을 도시하는 설명도.

[제 1 실시형태]

이하, 본 발명의 제 1 실시형태에 따른 스크린 인쇄 장치(10) 및 스크린 마스크(20)에 대해서 도 1 내지 도 6을 참조하여 설명한다. 도 1은 본 실시형태에 따른 스크린 인쇄 장치(10)를 도시하는 설명도이다. 도 2는 스크린 마스크(20)의 사시도, 도 3은 스크린 마스크(20)의 단면도이다. 또한, 각 도면에서는 설명을 위해, 적절하게 구성을 확대, 축소, 생략하여 도시하고 있다. 도면 중 화살표 X, Y, Z는 서로 직교하는 3 방향을 각각 도시하고 있다.

도 1에 도시하는 바와 같이, 스크린 인쇄 장치(10)는, 스크린 마스크(20)와, 스크린 마스크(20)의 인쇄면측인 한쪽 면(표면)에 대향하여 인쇄 매체(Ba)를 보지하는 보지 부재(12)와, 스크린 마스크(20)의 인쇄면측과는 반대인 다른쪽 면(이면)에 접촉한 상태로 이동 가능하게 구성된 스퀴즈(13)와, 스퀴즈(13)를 이동시키는 이동 수단과, 스크린 마스크(20)를 인쇄 매체(Ba)에 대향하여 지지하는 지지 수단을 구비한다.

스크린 인쇄 장치(10)는 인쇄 매체(Ba)의 표면에, 각종 인쇄 재료를 소정의 패턴으로 형성한다. 예를 들면, 칩(chip) 부품[콘덴서(condenser), 칩 저항, 인덕터(inductor), 서미스터(thermistor) 등], 터치 패널(touch panel), 액정 기판(Liquid crystal display, LCD) 시일, LTCC(Low Temperature Co-fired ceramics) 기판, 태양 전지용 전극, 그 밖의 전자 부품 등의 제조에 이용된다.

도 1 내지 도 3에 도시하는 바와 같이, 스크린 마스크(20)는, 프레임(frame)(21)과, 프레임(21)에 장설(張設)된 메시(22)와, 메시(22)에 형성된 마스크 막(23)을 구비한다. 스크린 마스크(20)에 있어서, 인쇄를 실행할 때에 인쇄 매체(Ba)의 표면에 대향하는 측을 표면으로 하고, 그 반대측에 있어서 도포재(Pe)가 공급되는 측을 이면으로 한다.

프레임(21)은, 서로 평행한 2쌍의 변을 갖고, 예를 들어 소망의 사이즈의 사각형의 개구를 구비하는 테두리 형상으로 구성된다. 프레임(21)은 메시(22)의 외주연을 지지하고, 개구에 메시(22)를 장설한다. 또한, 프레임(21)은 소정량의 도포재(Pe)를 마스크 막(23)의 이면측에 보지하는 테두리로서도 기능한다. 프레임(21)과 메시(22)는, 예를 들어 합성 고무계나 시아노아크릴레이트계의 접착제(24)에 의해 접합되어 있다.

메시(22)는, 경사(22a)와 위사(22b)가 짜여져 형성된 직물이며, 도포재(Pe)를 투과 가능하게 개구한 구멍부를 다수 갖고 있다. 경사(22a) 및 위사(22b)는, 예를 들어 스테인리스 등의 금속의 와이어, 혹은 폴리에스테르(polyester) 등의 수지로 구성된 섬유이다. 경사(22a) 및 위사(22b)는, 각각 예를 들어 화살표(A)를 따르는 스퀴즈(squeeze)(13)의 이동 방향에 대하여, 비스듬하게 연장되어 있다. 이러한 메시(22)에, 소정의 개구 패턴(23a)을 갖는 마스크 막(23)이 형성된다. 즉, 메시(22)에 의해, 프레임(21)의 개구 부분에 마스크 막(23)이 보지된다.

마스크 막(23)은, 광경화성의 수지 조성물, 예를 들어 PVA, PVAc, 실리콘 수지, 아크릴 수지, 에폭시 수지 등으로 이루어지는 층이다. 마스크 막(23)은 메시(22)에 형성되고, 프레임(21)의 개구 부분에 배치되어 있다. 마스크 막(23)에는, 포토마스크(photomask)(25)를 이용한 노광에 의해, 인쇄용의 소정의 개구 패턴(23a)이 형성되어 있다. 개구 패턴(23a)은 라인 형상의 패턴이다. 개구 패턴(23a)의 최소 개구 폭(W1), 즉 개구 패턴(23a)의 가장 좁은 부분에 있어서의 개구의 폭 치수는 30㎛ 이하이다. 여기에서는, 일례로서, 마스크 막(23)의 표면, 즉 인쇄 매체(Ba)에 대향하는 면에 있어서의 치수를 기준으로 했다.

마스크 막(23)은, 개구 패턴(23a)에 있어서 감광성 수지가 존재하지 않고, 메시(22)의 구멍부를 통과하여 도포재(Pe)가 이면으로부터 표면으로 투과 가능한 인쇄부를 구성한다. 마스크 막(23)의 개구 패턴(23a) 이외에 있어서 메시(22)의 구멍부가 감광성 수지로 폐색된 부위는 도포재(Pe)로서의 잉크를 투과시키지 않는 비인쇄부를 구성한다.

마스크 막(23)의 두께(t0)는 예를 들어 30㎛ 내지 70㎛로 구성되어 있다. 또한, 마스크 막(23) 중 메시(22)보다, 인쇄면측(예를 들면, 도 3 중 상측)에 있는 부분, 즉 메시(22)의 표면측으로 돌출하는 부분의 두께(tm)를 유후라고 칭한다. 유후(tm)는 바람직하게는 12㎛ 내지 40㎛로 설정한다. 또한, 보다 바람직한 범위로서는, 유후(tm)는 15㎛ 이상이다.

마스크 막(23)이 형성된 메시(22)는, 예를 들어 스퀴즈(13)에 의한 가압력에 의해 휨 변형하고, 가압력이 해제됨으로써 복원하도록, 탄성 변형 가능하게 구성되어 있다. 마스크 막(23)의 개구 패턴(23a)에 도포재(Pe)가 보지된 상태에서, 메시(22)의 탄성 변형에 의해 마스크 막(23)이 인쇄 매체(Ba)에 접리(接離)함으로써, 도포재(Pe)가 개구 패턴(23a)으로부터 인쇄 매체(Ba)로 전사된다.

스퀴즈(13)는 예를 들어 우레탄 고무, 실리콘 고무, 합성 고무, 금속, 플라스틱 등의 재료로, 예를 들어 얇은 판형상으로 구성된다. 예를 들면, 스퀴즈(13)는 선단의 두께가 저감하도록 면취(面取)되어 있다. 스퀴즈(13)는 프레임(21)에 대하여 왕복 이동 가능하게 구성되어 있다. 예를 들면, 스퀴즈(13)는 이동 방향과 직교하는 방향에 있어서 마스크 막(23)의 영역의 전장에 걸치는 길이를 갖고서 구성된다. 스퀴즈(13)의 선단 부분(13a)이 스크린 마스크(20)의 이면에 접촉하고, 표면측에 가압된 상태로, 도 1 중 화살표(A)를 따르는 이동 방향으로 이동함으로써, 마스크 막(23)의 전체면을 가압하여, 도포재(Pe)가 사전 충전된 개구 패턴(23a)으로부터 도포재(Pe)를 압출한다.

지지 수단은, 인쇄 매체(Ba)에 대하여 소정의 간격(C1)을 개방하여 평행하게, 프레임(21)을 지지한다. 이동 수단은 스퀴즈(13)를 소정의 속도로 소정 방향을 따라 이동시킨다.

다음에, 본 실시형태에 따른 스크린 마스크(20)의 제조 방법에 대해서 도 4를 참조하여 설명한다. 도 4는 스크린 마스크(20)의 제조 방법을 도시하는 설명도이다. 스크린 마스크(20)의 제조 방법은 유제(Pm)의 도포 처리, 노광 처리를 구비한다.

유제(Pm)는 광경화성의 수지이며, 예를 들어 폴리비닐알코올(PVA), 폴리 초산 비닐(PVAc), 실리콘 수지, 아크릴 수지, 에폭시 수지 등을 포함하는 액체이다.

우선, 프레임(21)의 테두리 내에 스크린 메시(22)를 대략 평면이 되도록 장착한다. 이러한 상태에서, 유제(Pm)를 메시(22) 상에 도포하는 도포 처리를 실행한다. 도포 처리시에는, 스크린 메시(22)를 대략 연직 방향이 되도록 설치한 상태에서, 유제(Pm)가 수용된 공급용의 버킷(27)을 이용하여, 메시(22)의 표면에 도포한다(ST1).

이때, 소정 위치에 배치된 버킷(27)을 하방으로부터 상방을 향해서 이동시키고, 버킷(27)의 가장자리에서 유제(Pm)를 평평하게 고르게 하면서 도포함으로써(ST2), 스크린 메시(22) 상에 유제(Pm)가 평판 형상으로 형성된다. 이때, 도포하는 횟수에 따라서 두께가 변하기 때문에, 필요에 따라서 복수회 도포를 반복한다. 또한, 건조 후에 막 두께를 측정하고 경우에 따라서는 추가로 도포하는 일도 있다. 본 실시형태에서는 건조 후에 유후(tm)가 15㎛ 정도가 되도록 유제(Pm)의 두께를 설정한다.

다음에, ST3에 도시하는 바와 같이, 포토마스크(25)를 이용하여 노광 처리를 실행한다. 포토마스크(25)는, 유리, PET 필름 등의 광을 투과하는 부재와, 광을 투과하지 않는 재질로 형성된 스크린 인쇄용 패턴(25a)을 구비하여 구성되어 있다. 이러한 포토마스크(25)를, 유제(Pm)의 표면측에 배치하고, 유제(Pm)의 표면측을 자외선 램프나 자외선 LED 등의 조명(28)을 향해서 배치한다. 조명(28)과 유제(Pm) 사이에 포토마스크(25)를 개재시킨 상태에서 조명(28)에 의해 광을 조사시켜, 유제(Pm)의 표면을 조명하는 노광 처리를 실행한다. 이때, 포토마스크(25)의 인쇄용 패턴(25a)을 제외한 부분에 대응하여, 유제(Pm)의 자외선이 조사된 부분이 자외선에 의해 경화한다.

그 후, 물이나 용제에 의해, 유제(Pm)의 표면측을 씻어 낸다. 이러한 처리에 의해, ST4에 도시하는 바와 같이, 유제(Pm)의 미경화 부분이 씻겨진다. 즉, 유제(Pm)의 층에 있어서, 포토마스크(25)의 스크린 인쇄용 패턴(25a)에 대응하여 형성되는 미경화 영역은 모두 씻겨져, 두께 방향에 있어서 표면측으로부터 이면측까지 관통하는 개구 패턴(23a)이 형성된다. 이상에 의해 유제(Pm)로부터, 소정의 형상의 개구 패턴(23a)을 갖는 마스크 막(23)이 형성된다.

다음에, 본 실시형태에 따른 스크린 인쇄 장치(10)를 이용한 스크린 인쇄 방법에 의해 인쇄물을 제조하는 방법에 대해서 설명한다. 우선, 스크린 마스크(20)의 표면측을 보지 부재(12)에 의해 보지된 인쇄 매체(Ba)의 표면에 대향시켜서 배치한다.

그리고, 도 1에 이점쇄선으로 도시하는 바와 같이, 고점도의 페이스트 형상의 도포재(Pe)를 스크린 마스크(20)의 이면측, 즉 인쇄 매체(Ba)와는 반대측의 면으로부터 공급하고, 도포재(Pe)를 개구 패턴(23a) 내에 충전시킨다. 사용하는 도포재(Pe)의 점도는 100 내지 500Pa·s이고 틱소트로피성은 3 내지 10으로 한다. 여기에서는 일례로서, 점도는, 브룩필드(Brookfield)제의 HADV1/SC4-14에 의해 회전수 10rpm, 전단 속도 4sec^-1에서 측정하고, 틱소트로피성은 회전수 1rpm의 점도를 회전수 10rpm의 점도로 나눈 수치를 이용했다. 예를 들어 도포재(Pe)의 점도가 500Pa·s보다 높을 경우에는, 개구 패턴(23a)에 잉크가 충분히 충전되지 않아, 전사할 때에 인쇄물의 부족이 발생하는 일이 있다. 또한, 점도가 100Pa·s보다 낮을 경우에는, 전사 후에 잉크가 보지되지 않고 번져버리기 때문에 인쇄물의 폭이 불균일해진다. 틱소트로피성이 10보다 높을 경우에는, 상기 점도 범위에 들어 있어도, 인쇄물의 두께가 불균일해진다. 틱소트로피성이 3보다 낮을 경우에는, 상기 점도 범위에 들어 있어도, 인쇄부의 형상 보지력이 낮아 형상이 무너져버려, 폭이 불균일해진다. 따라서, 도포재(Pe)의 점도는 100 내지 500Pa·s가 바람직하고, 틱소트로피성은 3 내지 10이 바람직하다.

다음에, 스크린 마스크(20)의 이면, 즉 인쇄면측과는 반대측의 면에 스퀴즈(13)를 배치한다. 이때, 예를 들면 스퀴즈(13)를, 인쇄 매체(Ba)의 표면측의 면에 대하여 소정의 각도(θ)로 배치한다. 그리고, 스퀴즈(13)를 메시(22) 및 마스크 막(23)의 이면에 있어서, 소정의 인쇄압(P0)으로 인쇄 매체(Ba)측을 향해서 가압하면서, 소정의 속도(v)로 이동시킨다. 마스크 막(23)의 이면 전체면에 걸치는 영역에서, 스퀴즈(13)가 마스크 막(23)을 가압한다. 스퀴즈(13)의 가압에 의해, 마스크 막(23)은 가압되는 부분이 표면측으로 변위하도록 변형하여, 인쇄 매체(Ba)에 접촉한다. 스퀴즈(13)가 통과한 도포재(Pe)가 개구 패턴(23a)으로부터 인쇄 매체(Ba)측으로 압출된다.

스퀴즈(13)가 통과한 후, 마스크 막(23) 및 메시(22)가 복원되도록 변형하여 인쇄 매체(Ba)로부터 떨어지는 동시에, 일부의 도포재(Pe)가 인쇄 매체(Ba) 상에 전사되어 잔류함으로써, 인쇄 매체(Ba) 상에 패턴 인쇄가 이루어져, 인쇄물이 완성된다. 이때, 도포재(Pe)는 이면측의 일부가 마스크 막(23)측에 잔류한다. 또한, 도포재(Pe)는, 예를 들어 금속재나 수지재 등을 포함하는 각종 재료이며, 인쇄 대상의 종류, 예를 들어 전자 부품, 디스플레이 등에 따라서 다양한 재료가 이용된다.

본 실시형태에 따른 스크린 마스크(20)는, 유후(tm)가 12㎛ 이상이고, 메시(22)와 마스크 막(23)의 표면의 거리가 떨어져 있다. 이 때문에, 전사되는 도포재(Pe)와 마스크 막(23)측에 잔류하는 도포재(Pe)의 분리 부분에 있어서 인쇄 매체(Ba)의 전사되는 도포재(Pe)의 표면을 구성하는 부분에, 메시(22)가 미치는 영향이 적다. 따라서, 개구 패턴(23a)에 있어서, 메시(22)에 의한 도포재(Pe)의 감소가 억제되어, 도포재(Pe)의 전사량에 차이가 발생하기 어렵다. 그 결과, 인쇄한 패턴 형상이 균일한 형상이 된다. 따라서, 세선(細線) 패턴에 있어서, 고정밀도의 인쇄 형상을 실현할 수 있다.

도 5는 본 실시형태에 따른 스크린 마스크(20)를 이용하여 형성한 인쇄 형상을 도시한다. 여기에서는, 유후(tm)를 각각 7㎛, 12㎛, 15㎛, 18㎛, 23㎛로 했을 경우의 스크린 마스크(20)를 이용한 인쇄에 의한, 인쇄 형상의 외관과, 두께 편차 및 선폭 편차를 각각 나타낸다. 여기에서, 패턴 개구(23a)의 최소화 이후 폭(W1)은 15㎛로 했다. 도 5에 도시하는 바와 같이, 유후(tm)를 일정한 범위로 함으로써 인쇄 형상이 개선된다는 것을 알 수 있다.

또한, 도 5는 각 유후에 있어서 측정기로 측정한 두께 편차와 선폭 편차의 비율의 대응을 나타낸다. 또한, 두께 편차는 형성된 인쇄체 패턴의 두께의 가장 높은 곳과 가장 낮은 곳의 차이를 나타내고 있으며, 선폭 편차는 형성된 인쇄체 패턴의 가장 좁은 곳과 가장 넓은 곳의 차이이며, 유후 23㎛시의 편차를 1로 했을 경우의, 각 유후에 있어서의 편차의 비율을 수치로 나타내고 있다.

도 5에 도시되는 바와 같이, 유후(tm)가 12㎛ 이상에서 두께 편차나 선폭 편차가 낮게 억제된다. 또한, 유후(tm)가 12㎛, 15㎛, 18㎛, 23㎛인 경우에는, 예를 들어 7㎛의 경우와 비교하여, 인쇄 형상이 양호하고, 인쇄 직선성과 인쇄 두께 균일성이 양호하다는 것을 알 수 있다.

도 6에, 도포재(Pe)의 특성과 인쇄물의 형상의 대응을 도시한다. 도 6에서는, 패턴 개구(23a)의 최소화 이후 폭(W1)은 15㎛, 유후(tm)는 18㎛로 했을 경우의, 점도가 520Pa·s이고 틱소트로피성이 4.0인 도포재, 점도가 208Pa·s이고 틱소트로피성이 7.0인 도포재, 점도가 136Pa·s이고 틱소트로피성이 5.4인 도포재, 점도가 90Pa·s이고 틱소트로피성이 5.0인 도포재를 각각 사용했을 경우의 인쇄 형상의 외관을 나타낸다.

도 6에 도시하는 바와 같이, 도포재(Pe)의 특성으로서, 점도가 100 내지 500Pa·s이고 틱소트로피성이 3 내지 10인 범위에서, 인쇄 직선성과 인쇄 두께 균일성이 양호하고, 인쇄 정밀도가 높다는 것을 알 수 있다.

이상과 같이 구성된 스크린 마스크(20), 스크린 인쇄 장치(10) 및 스크린 인쇄 방법에 따르면, 단순한 구성으로 고정밀도의 인쇄가 가능해진다. 즉, 최소 개구 폭이 30㎛ 이하인 개구 패턴(23a)을 갖은 스크린 마스크(20)에 있어서, 마스크 막(23)의 유후를 15㎛ 이상으로 하고, 마스크 막(23)의 표면의 위치와 메시(22)의 위치를 이격시킴으로써, 인쇄시에 스크린 마스크(20)의 개구 패턴(23a) 내의 도포재(Pe)가 인쇄 매체(Ba)에 전사될 때, 전사되는 도포재(Pe)와 마스크 막(23)에 잔류하는 도포재(Pe)가 나누어지는 부분에 있어서 인쇄 매체(Ba)측으로 전사된 도포재의 표면을 구성하는 부분에, 메시(22)가 미치는 영향을 저감하거나 혹은 없앨 수 있어, 메시(22)에 의해 전사량이 감소하는 것이 억제된다. 이 때문에, 잉크의 전사량에 차이가 발생하기 어렵고, 그 결과 인쇄한 세선 패턴 형상이 균일한 형상이 된다.

더욱이, 도포재(Pe)의 특성을 점도가 100 내지 500Pa·s이고, 또한 틱소트로피성이 3 내지 10으로 함으로써, 고정밀도의 인쇄가 가능해진다.

또한, 본 발명은 상기 각 실시형태 그대로 한정되는 것이 아니라, 실시 단계에서는 그 요지를 일탈하지 않는 범위에서 구성요소를 변형하여 구체화할 수 있다.

예를 들면, 상기 실시형태에 예시한 유후 15㎛에 한정하는 것이 아니라, 12㎛ 이상 40㎛ 이하의 유후로 함으로써, 상기 실시형태와 동일한 효과를 얻을 수 있다.

또한, 상기 실시형태에서는, 프레임(21)에 메시(22)를 접착제(24)로 붙이고, 프레임(21)의 개구부 전역에 걸쳐서 마스크 막(23)을 형성한 예를 나타냈지만, 이것에 한정되는 것은 아니다. 예를 들면, 메시는, 신율이 상이한 내측의 메인 메시와 외측의 서포트(support) 메시를 UV 경화성의 접착제로 고정한 소위 콤비네이션(combination)형을 이용해도 좋고, 또한 메시(22)의 중앙 부분의 일부에만 마스크 막(23)이 형성되어 있어도 좋다.

기타, 상기 실시형태에 예시된 각 구성요소를 삭제해도 좋고, 각 구성요소의 형상, 구조, 재질 등을 변경해도 좋다. 상기 실시형태에 개시되어 있는 복수의 구성요소의 적절한 조합에 의해 각종의 발명을 형성할 수 있다.

10 : 스크린 인쇄 장치 13 : 스퀴지
20 : 스크린 마스크 22 : 메시
23 : 마스크 막 23a : 개구 패턴
Ba : 인쇄 매체 Pe : 도포재

Claims

도포 재료를 투과 가능한 구멍을 갖는 메시와,
상기 메시에 마련되고, 폭 치수가 가장 작은 위치에 있어서 30㎛ 이하인 개구 패턴을 갖는 동시에, 상기 메시의 인쇄면측에 있어서의 두께인 유후가, 폭 치수가 30㎛ 이하인 개구의 둘레에서 12㎛ 이상인 마스크 막을 구비하는 것을 특징으로 하는
스크린 마스크.
제 1 항에 있어서,
인쇄 매체에 대향하여 상기 메시를 지지하는 프레임을 구비하며,
상기 마스크 막을 보지하는 상기 메시는 탄성 변형 가능하고, 상기 마스크 막의 상기 개구 패턴에 도포재가 보지된 상태에서, 상기 마스크 막이 인쇄 매체에 접리하는 것에 의해, 상기 도포재가 상기 개구 패턴으로부터 상기 인쇄 매체로 전사되는 것을 특징으로 하는
스크린 마스크.
제 1 항 또는 제 2 항에 기재된 스크린 마스크와,
상기 스크린 마스크의 상기 인쇄면측과는 반대측의 면에 접촉하여 이동 가능하게 구성된 스퀴즈를 구비하는 것을 특징으로 하는
스크린 인쇄 장치.
도포 재료를 투과 가능한 구멍을 갖는 메시와,
상기 메시에 마련되고, 폭 치수가 가장 작은 위치에 있어서 30㎛ 이하인 개구 패턴을 갖는 동시에, 상기 메시의 인쇄면측에 있어서의 두께인 유후가, 폭 치수가 30㎛ 이하인 개구의 둘레에서 12㎛ 이상인 마스크 막을 구비하는 스크린 마스크의 상기 마스크 막에, 점도가 100 내지 500Pa·s이고, 또한 틱소트로피성이 3 내지 10인 특성을 갖는 도포재를 공급하고,
상기 마스크 막의 상기 개구 패턴으로부터, 상기 마스크 막의 상기 인쇄면측에 대향 배치된 인쇄 매체에 상기 도포재를 도포하는 것을 특징으로 하는
스크린 인쇄 방법.
도포 재료를 투과 가능한 구멍을 갖는 메시와,
상기 메시에 마련되고, 폭 치수가 가장 작은 위치에 있어서 30㎛ 이하인 개구 패턴을 갖는 동시에, 상기 메시의 인쇄면측에 있어서의 두께인 유후가, 폭 치수가 30㎛ 이하인 개구의 둘레에서 12㎛ 이상인 마스크 막을 구비하는 스크린 마스크의 상기 마스크 막에, 도포재를 보지시키고, 상기 마스크 막의 상기 개구 패턴으로부터, 상기 마스크 막의 상기 인쇄면측에 대향 배치된 인쇄 매체에 상기 도포재를 도포하는 것을 특징으로 하는
인쇄물의 제조 방법.