JP6956997B2

JP6956997B2 - スクリーンマスク及びスクリーンマスクの製造方法

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Publication number: JP6956997B2
Application number: JP2017039310A
Authority: JP
Inventors: 華奈松本; 晃一旭
Original assignee: MITANI MICRONICS CO., LTD.
Current assignee: MITANI MICRONICS CO., LTD.
Priority date: 2017-03-02
Filing date: 2017-03-02
Publication date: 2021-11-02
Anticipated expiration: 2037-03-02
Also published as: JP2018144284A

Description

本発明の実施形態は、スクリーンマスク及びスクリーンマスクの製造方法に関する。

印刷手法の一つであるスクリーン印刷はサポート材であるメッシュ上に樹脂組成物で形成された所定のパターン開口が形成されたスクリーンマスクを用い、被印刷物に任意の印刷体を形成する方法である。このスクリーン印刷法は、例えば配線、電極、蛍光材料の印刷等、種々の印刷に用いられ、電子部品等を含む様々な分野で利用されている。

近年、電子部品の小型化、高品質化により、スクリーンマスクの高精度化が求められている。

例えば、スクリーンマスクは、塗布材を透過可能な孔を有するメッシュと、メッシュに設けられパターン開口を有するマスク膜と、を備える。マスク膜に形成されるパターン開口は、例えば印刷パターンに対応した形状であり、一般的には、厚さ方向の全長において一定幅を有している。例えばマスク膜を形成する乳剤をメッシュに塗布した後に、フォトマスク重ねた露光処理によってパターン開口を形成している。

特開２０１３−１６９７８３号公報

このようなスクリーンマスクにおいて、高精度で吐出量を確保できる、スクリーンマスク及びスクリーンマスクの製造方法が求められている。

本発明の一態様に係るスクリーンマスクは、塗布材を透過可能な孔を有するサポート材と、前記サポート材に設けられ、膜の厚さ方向の中途部に段差または変曲部を有し印刷面側の開口幅が反対側の開口幅よりも狭いパターン開口を有するマスク膜と、を備え、印刷面側の前記開口幅と反対側の前記開口幅との差が４０μｍ以下であり、Ｔは前記サポート材及び前記マスク膜を含む総厚、ΔＴは前記印刷面からの前記段差の厚み、ΔＷは片側の段差幅、とすると、ΔＷ≦ΔＴ≦２／３Ｔを満たす。

本発明の実施形態によれば、高精度の印刷が可能なスクリーンマスク及びスクリーンマスクの製造方法を提供できる。

第１実施形態にかかるスクリーン印刷装置の説明図。同実施形態にかかるスクリーンマスクの斜視図。同スクリーンマスクの断面図。同スクリーンマスクのパターン開口の構成を示す説明図。同スクリーンマスクの製造方法を示す説明図。同スクリーンマスクと比較例のパターン開口の形状と解像度及び吐出量との関係を示す説明図。同スクリーンマスクの形状と解像度及び平滑性との関係を示す説明図。同スクリーンマスクの変形例の構成を示す説明図。同スクリーンマスクの変形例の構成を示す説明図。他の実施形態にかかるスクリーンマスクの構成を示す説明図。

［第１実施形態］
以下、本発明の第１実施形態にかかるスクリーン印刷装置１０及びスクリーンマスク２０について図１乃至図３を参照して説明する。図１は本実施形態に係るスクリーン印刷装置１０を示す説明図である。図２はスクリーンマスク２０の斜視図であり、図３はその断面図である。なお、各図では説明のため、適宜構成を拡大、縮小、省略して示している。図中矢印Ｘ，Ｙ，Ｚは互いに直交する３方向をそれぞれ示している。

図１に示すように、スクリーン印刷装置１０は、スクリーンマスク２０と、スクリーンマスク２０の印刷面側である表面（一方の面）２０ａに対向して印刷媒体Ｂａを保持する保持部材１２と、スクリーンマスク２０の印刷面側とは反対の裏面（他方の面）２０ｂに当接した状態で移動可能に構成されたスキージ１３と、スキージ１３を移動させる移動部と、スクリーンマスク２０を印刷媒体Ｂａに対向して支持する支持部と、を備える。

スクリーン印刷装置１０は、印刷媒体Ｂａの表面に、各種印刷材料を所定のパターンで形成する。例えば、チップ部品（コンデンサー、チップ抵抗、インダクター、サーミスター等）、タッチパネル、液晶基板（Ｌｉｑｕｉｄｃｒｙｓｔａｌｄｉｓｐｌａｙ，ＬＣＤ）シール、ＬＴＣＣ（ＬｏｗＴｅｍｐｅｒａｔｕｒｅＣｏ−ｆｉｒｅｄｃｅｒａｍｉｃｓ）基板、太陽電池用電極、その他の電子部品等の製造に用いられる。

図１及び図２に示すように、スクリーンマスク２０は、フレーム２１と、フレーム２１に張設されたサポート材であるメッシュ２２と、メッシュ２２に形成されたマスク膜２３と、を備える。スクリーンマスク２０において、印刷を行う際に印刷媒体Ｂａの表面に対向する側を表面２０ａとし、その反対側であって塗布材Ｐｅが供給される側を裏面２０ｂとする。

フレーム２１は、互いに平行な２対の辺を有し、例えば所望のサイズの方形の開口を備える枠状に構成される。フレーム２１はメッシュ２２の外周縁を支持し、開口にメッシュ２２を張設する。本実施形態では一例として、フレーム２１の開口部のＹ方向の寸法Ｆｙ＝２７５ｍｍ、Ｘ方向の寸法Ｆｘ＝２７５ｍｍ、とした。

またフレーム２１は、所定量の塗布材Ｐｅをマスク膜２３の裏面側に保持する枠としても機能する。フレーム２１とメッシュ２２は、例えば合成ゴム系やシアノアクリレート系の接着剤により接合部で接合されている。

メッシュ２２は、経糸２２ａと緯糸２２ｂとが編まれて形成された織物であり、塗布材Ｐｅを透過可能に開口した孔部２２ｃを多数有している。経糸２２ａと緯糸２２ｂは、例えばステンレス等の金属のワイヤ、あるいはポリエステル等の樹脂で構成された繊維である。経糸２２ａと緯糸２２ｂは、それぞれ例えばスキージ１３の移動方向に対して、斜めに延びている。

このメッシュ２２に、所定のパターン開口２３ａを有するマスク膜２３が形成される。すなわち、メッシュ２２によって、フレーム２１の開口部分にマスク膜２３が保持される。

マスク膜２３は、光硬化性の樹脂組成物、例えばＰＶＡ、ＰＶＡｃ、シリコン樹脂、アクリル樹脂、エポキシ樹脂等からなる層である。

マスク膜２３の厚みｔ０は例えば１０μｍ〜１００μｍに構成されている。なお、マスク膜２３のうちメッシュ２２よりも、印刷面側（例えば図３中上側）にある部分、すなわちメッシュ２２の表側に突出する部分の厚みｔｍを、乳厚と呼ぶ。乳厚ｔｍは、好ましくは０μｍ〜５０μｍに設定する。

マスク膜２３は、メッシュ２２に形成され、フレーム２１の開口部分に配されている。マスク膜２３には、露光によって、印刷用の所定のパターン開口２３ａが形成されている。

なお、パターン開口２３ａの最小開口幅、すなわち、パターン開口２３ａの最も狭い部分における開口の幅寸法は、３０μｍ以下である。ここでは、一例として、マスク膜２３の表面、すなわち印刷媒体Ｂａに対向する表面２０ａにおける寸法を基準とした。

パターン開口２３ａは、ライン状のパターン孔である。パターン開口２３ａは、深さ方向の中途部に段差２３ｃを有し、この段差２３ｃによって、パターン開口２３ａの側壁に変曲部が２カ所形成される。言い換えると、パターン開口２３ａは、スキージ側の大幅部Ｒ１と印刷面側の小幅部Ｒ２とを、段差２３ｃによる変曲部を介して連続して有している。大幅部Ｒ１と小幅部Ｒ２は連続しており、印刷パターンに対応するパターン状であってマスク膜２３を深さ方向に貫通するスリットを構成する。ここで、大幅部Ｒ１の深さ寸法ｄ１は小幅部Ｒ２の深さ寸法ｄ２よりも大きく、段差２３ｃは、深さ方向において中間位置よりも印刷面に近い位置に配置されている。パターン開口２３ａは、印刷面側、すなわち表面２０ａにおける小幅部Ｒ２の幅寸法Ｗｂが狭まるように構成されている。小幅部Ｒ２の端部である表面２０ａにおける開口幅Ｗａは段差２３ｃ近傍における大幅部Ｒ１の幅Ｗｂよりも小さく構成されている。段差２３ｃの幅、すなわち一方の側面における絞り幅ΔＷは２０μｍ以下であり、（Ｗｂ−Ｗａ）／２≦２０μｍを満たす。また、パターン開口２３ａの大幅部Ｒ１及び小幅部Ｒ２は、径が略一定の円筒形状であり、大幅部Ｒ１及び小幅部Ｒ２の内周面は概ね平行に構成されている。具体的には、大幅部Ｒ１及び小幅部Ｒ２の内周面はいずれもパターン開口２３ａの軸心方向に対して傾斜角が２０度以内に設定され、好ましくは平行である。すなわち、大幅部Ｒ１及び小幅部Ｒ２はそれぞれ、開口の断面形状及び開口幅が一定である。

また、パターン開口２３ａは、ΔＷ≦ΔＴ≦２／３Ｔの関係式を満たす構成とした。
ここで、ΔＷ＝（Ｗｂ−Ｗａ）／２≦２０μｍ、Ｔ…総厚（メッシュおよび乳剤の厚みを含む厚み）、ΔＴ…Ｐ面からの段差厚み、ΔＷ…線幅からの片側の段差幅である。

マスク膜２３は、パターン開口２３ａにおいて感光性樹脂が存在せず、メッシュ２２の孔部を通過して塗布材Ｐｅが裏面から表面へと透過可能な印刷部を構成する。マスク膜２３のパターン開口２３ａ以外であってメッシュ２２の孔部が感光性樹脂で塞がれた部位は、塗布材Ｐｅとしてのインクを透過しない非印刷部を構成する。

マスク膜２３が形成されたメッシュ２２は、例えばスキージ１３による押圧力によって撓み変形し、押圧力が解除されることで復元するように、弾性変形可能に構成されている。マスク膜２３のパターン開口２３ａに塗布材Ｐｅが保持された状態で、メッシュ２２の弾性変形によりマスク膜２３が印刷媒体Ｂａに接離することで、塗布材Ｐｅがパターン開口２３ａから印刷媒体Ｂａに転写される。

スキージ１３は例えばウレタンゴム・シリコンゴム・合成ゴム・金属・プラスチック等の材料から、例えば薄い板状に構成される。例えば、スキージ１３は先端の厚みが低減するように面取りされている。スキージ１３はフレーム２１に対して往復移動可能に構成されている。例えばスキージ１３は移動方向と直交する方向においてマスク膜２３の領域の全長にわたる長さを有して構成される。スキージ１３の先端部分１３ａがスクリーンマスク２０の裏面２０ｂに当接し、表側に押しつけられた状態で、図１中矢印Ａに沿う移動方向に移動することで、マスク膜２３の全面を押圧し、塗布材Ｐｅが予め充填されたパターン開口２３ａから塗布材Ｐｅを表側に押し出す。

支持部は、印刷媒体Ｂａに対して所定の間隔Ｃ１を開けて平行に、フレーム２１を支持する。移動部は、スキージ１３を所定の速度で所定方向に沿って移動させる。

次に、本実施形態にかかるスクリーンマスク２０の製造方法について図５を参照して説明する。図５は、スクリーンマスク２０の製造方法を示す説明図である。スクリーンマスク２０の製造方法は、乳剤Ｐｍの塗布処理、露光処理、を備える。

乳剤Ｐｍは、光硬化性の樹脂であり、たとえばポリビニルアルコール（ＰＶＡ）、ポリ酢酸ビニル（ＰＶＡｃ）、シリコン樹脂、アクリル樹脂、エポキシ樹脂等を包含する液体である。

まず、フレーム２１の枠内にメッシュ２２を略平面となるように取り付ける。この状態で、乳剤Ｐｍをメッシュ２２上に塗布する塗布処理を行う。塗布処理の際には、メッシュ２２を略鉛直方向となるように設置した状態で、乳剤Ｐｍが収容された供給用のバケットを用いて、メッシュ２２の表面に塗布する（ＳＴ１）。

このとき、所定位置に配置されたバケットを下方から上方に向けて移動させ、バケットの縁で乳剤Ｐｍを平らにならしながら塗布することで、メッシュ２２上に、乳剤Ｐｍが平板状に形成される。このとき、塗布する回数に応じて厚さが変わるため、必要に応じて複数回塗布を繰り返す。また、乾燥後に膜厚を測定し場合によっては追加で塗布することもある。本実施形態では乾燥後に乳厚ｔｍが１０μｍ程度となるように乳剤Ｐｍの厚さを設定する。

次に、ＳＴ２に示すように、フォトマスクを用いないマスクレス露光機にて、マスクレス露光処理を行う。具体的には、所定の露光パターン領域に、乳剤Ｐｍの表面側を紫外線ランプや紫外線ＬＥＤ等の照明２８に向けて配置し、照明２８により光を照射させ、乳剤Ｐｍの表面を照らす露光処理を、異なる条件で２回行う。露光処理によって、露光パターン領域の部位に対応して、乳剤Ｐｍの紫外線が照射された部分が紫外線によって硬化する。

露光処理は、小幅部Ｒ２を形成するための第１の露光処理（ＳＴ２）と、大幅部Ｒ１を形成するための第２の露光処理（ＳＴ３）と、を行う。第１の露光処理及び第２の露光処理は、いずれも印刷面側から光を照射する露光処理である。第１の露光処理は、幅広の領域を対象とするパターンで、露光量２５０ｍＪ／ｃｍ^２の条件で露光することにより、浅い所定範囲Ｈ２を硬化させる。

第２の露光処理は、第１の露光処理と同方向から、第１の露光処理よりも、幅狭の領域を対象とするパターンで、露光量７５０ｍＪ／ｃｍ^２の条件で露光することにより、第１の露光処理よりも深い所定範囲Ｈ１を硬化させる。

その後、エッチング処理として、水や溶剤により、乳剤Ｐｍの表面側を洗い流す。この処理によって、ＳＴ４に示すように、乳剤Ｐｍの未硬化部分が洗い流される。すなわち、乳剤Ｐｍの層において、未硬化領域は全て洗い流され、厚み方向において表面側から裏面側まで貫通するとともに変曲部を構成する段差２３ｃを有するパターン開口２３ａが形成される。以上により乳剤Ｐｍから、所定の形状のパターン開口２３ａを有するマスク膜２３が形成される。

次に、本実実施形態にかかるスクリーン印刷装置１０を用いたスクリーン印刷方法により印刷物を製造する方法について、図１を参照して説明する。まず、スクリーンマスク２０の表面側を保持部材１２で保持された印刷媒体Ｂａの表面に対向させて配置する。

そして、図１に二点鎖線で示すように、高粘度のペースト状の塗布材Ｐｅをスクリーンマスク２０の裏面側、すなわち、印刷媒体Ｂａとは反対側の面から供給し、塗布材Ｐｅをパターン開口２３ａ内に充填させる。

次に、スクリーンマスク２０の裏面２０ｂ、すなわち印刷面側とは反対側の面に、スキージ１３を配置する。このとき、例えばスキージ１３を、印刷媒体Ｂａの表側の面に対して所定の角度で配置する。そして、スキージ１３をメッシュ２２及びマスク膜２３の裏面において、所定の印圧で印刷媒体Ｂａ側に向けて押しつけながら、所定の速度で移動させる。マスク膜２３の裏面全面にわたる領域で、スキージ１３がマスク膜２３を押圧する。スキージ１３の押圧により、マスク膜２３は押圧される部分が表側に変位するように変形し、印刷媒体Ｂａに当接する。スキージ１３が通過した塗布材Ｐｅがパターン開口２３ａから印刷媒体Ｂａ側に押し出される。

スキージ１３が通過した後、マスク膜２３及びメッシュ２２が復元するように変形して印刷媒体Ｂａから離れるとともに、一部の塗布材Ｐｅが印刷媒体Ｂａ上に転写されて残ることで、印刷媒体Ｂａ上にパターン印刷がなされ、印刷物が完成する。このとき、塗布材Ｐｅは裏側の一部がマスク膜２３側に残る。なお塗布材Ｐｅは、例えば金属材や樹脂材などを含む各種材料であり、印刷対象の種類、例えば、電子部品、ディスプレイ、等によって、多様な材料が用いられる。

以上のように構成されたスクリーンマスク２０、スクリーン印刷装置１０、及びスクリーン印刷方法によれば、高吐出量、かつ高精度での印刷が可能となる。すなわち、パターン開口２３ａが段差２３ｃを有し、印刷面側の開口が狭くなる段付き形状としたため、高吐出量及び高解像度が実現できる。

図６は、種々のパターン開口の形状と、印刷の解像度と、吐出量と、露光方法をそれぞれ示す。本実施形態にかかる印刷面側の開口幅が狭くなる段差を有する開口２３ａと、本実施形態の第１の変形例である印刷面側の開口幅が狭くなる変曲部を有する開口１２３ａと、本実施形態の第２の変形例である印刷面側の開口幅が狭くなる変曲部を２段有する開口２２３ａを示す。また、比較対象として、開口幅が一定となるいわゆるストレート型の比較例１と、印刷面側が広くなるように開口幅がテーパ状に変化する比較例２と、深さ方向の中央部の開口幅が狭くなる両側テーパ状の比較例３と、印刷面側が狭くなるように開口幅がテーパ状に変化する比較例４と、を示す。

図６に示されるように、印刷面側の開口が狭くなる段付き形状とした開口２３ａ、１２３ａ、２２３ａ、では、比較例１、比較例２，比較例３、及び比較例４の開口形状に比べて、高吐出量及び高解像度が実現できる。

また、上記実施形態によれば、大幅部Ｒ１及び小幅部Ｒ２は、径が略一定の円筒形状であり、大幅部Ｒ１及び小幅部Ｒ２の内周面は概ね平行に構成されているため、より高精細なパターンを形成しても、乳剤強度が保たれるという効果が得られる。すなわち、内周壁面が軸方向に沿って配される構成としたことにより、例えば大幅部Ｒ１や小幅部Ｒ２を径が変化するテーパ形状とした場合に比べて、高解像度及び高吐出量を実現できるという効果が得られる。

また、パターン開口２３ａは、ΔＷ≦ΔＴ≦２／３Ｔの関係式を満たす構成としたことで、充填量と平滑性を維持できる。すなわち、図７に示す様に、ΔＷ＞ΔＴとした場合には、印刷面側の乳剤の厚さが薄過ぎて変形しやすく、一方ΔＴ＞２／３Ｔとした場合には吐出量が減少するのに対して、ΔＷ≦ΔＴ≦２／３Ｔを満たす構成とすることで印刷面におけるマスク膜の形状を維持できるとともに、吐出量を確保することが可能となる。

また、本実施形態によれば、第１の露光処理及び第２の露光処理は、いずれも印刷面側から光を照射する露光処理であり、露光量，露光時間などの条件を異ならせることで段付き形状のパターン開口を容易に形成することが可能である。

なお、本発明は上記各実施形態そのままに限定されるものではなく、実施段階ではその要旨を逸脱しない範囲で構成要素を変形して具体化できる。

図８には、サイズの異なるパターン開口２３ａを比較して示す説明図である。ここでは、段差２３ｃの幅が３μｍ、５μｍ、７μｍの例をそれぞれ示している。これらの場合にあっても、
例えば上記実施形態においてパターン開口２３ａは、一例として大幅部Ｒ１及び小幅部Ｒ２の径が一定の円筒状である例を示したが、これに限られるものではない。例えば図６に第１の変形例として示すパターン開口１２３ａは、段差１２３ｃや表面のエッジ部が緩やかなカーブ状を描く形状に構成されている。この構造にあっても印刷面側が狭まるように変曲部を有する構成により、上記の段付きのパターン開口２３ａと同等の効果を奏することができ、高解像度及び高吐出量を実現できる。

また、段の数は１段に限られるものではない。例えば図９に第２の変形例として示すパターン開口２２３ａは、段差２２３ｃが２段形成されている。パターン開口２２３ａは、印刷面側の小幅部Ｒ１（小径部）と反対側の大幅部Ｒ２（大径部）との間に中幅部Ｒ３（中径部）を有し、小幅部Ｒ１と中径部Ｒ３と大幅部Ｒ２とが軸方向に連続している。小幅部Ｒ１と中幅部Ｒ３と大幅部Ｒ２の開口幅（開口径）は、Ｒ１＜Ｒ２＜Ｒ３を満たしている。

また、パターン開口２２３ａは、ΔＷ≦ΔＴ≦２／３Ｔ、ΔＷ＝（Ｗｂ−Ｗａ）／２≦２０ｕｍ、ΔＷ_ｎ＜ΔＷ、ΔＷ_ｎ≦ΔＴ_ｎ≦２／３Ｔ、ΔＷ_ｎ＜ΔＷ、を満たす構成とした。ここで、Ｔ…総厚（メッシュおよび乳剤の厚みを含む厚み）、ΔＴ…Ｐ面からの段差厚み、ΔＷ…線幅からの片側の段差幅である。

このパターン開口２２３ａの構造にあっても、印刷面側が狭まるように変曲部を有する段付きの構成としたことで、パターン開口２３ａと同等の効果を奏することができ、高解像度及び高吐出量を実現できる。同様に段差が３段以上であっても、上記パターン開口２３ａと同等の効果を奏することができる。

上記実施形態では、フレーム２１にメッシュ２２を接着剤２４で貼り付け、フレーム２１の開口部全域わたってマスク膜２３を形成した例を示したが、これに限定されるものではない。例えば、メッシュは、いわゆるコンビネーション型を用いてもよく、また、メッシュ２２の中央部分の一部にのみマスク膜２３が形成されていてもよい。

他の実施形態として図１０に示すスクリーンマスク２０Ａは、メッシュ２２が、伸び率の異なる内側のメインメッシュ２６と外側のサポートメッシュ２７とがＵＶ硬化性の接着剤で固定されて接続されたいわゆるコンビネーション型で構成されている。本実施形態にかかるメッシュ２２は、フレーム２１の開口部分にマスク膜２３を保持する。

メインメッシュ２６は、経糸２６ａと緯糸２６ｂとが編まれて形成された織物であり、塗布材Ｐｅを透過可能に開口した孔部２６ｃを多数有している。経糸２６ａと緯糸２６ｂは、例えばステンレス等の金属のワイヤ、あるいはポリエステル等の樹脂で構成された繊維である。経糸２６ａと緯糸２６ｂは、それぞれ例えば矢印Ａに沿うスキージ１３の移動方向に対して、斜めに延びている。

メインメッシュ２６は、Ｙ方向の寸法がＸ方向の寸法よりも大きい長方形状に構成されている。本実施形態においては一例としてＹ方向の寸法Ｍｙ＝２３０ｍｍ、Ｘ方向の寸法Ｍｘ＝２００ｍｍ、とした。

サポートメッシュ２７は、メインメッシュ２６の外周に接着剤２４によって接合されている。サポートメッシュ２７は、経糸２６ａと緯糸２７ｂとが編まれて形成された織物である。サポートメッシュ２７は、メインメッシュ２６よりも伸び率が高く構成されている。

本実施形態にかかるスクリーンマスク２０Ａにおいては、スキージの移動方向である第１方向において、メッシュ部のサイズに対するメインメッシュのサイズ比が、１方向と直交する第２方向におけるサイズ比よりも大きい。また、サポートメッシュの引張弾性係数とメインメッシュの引張弾性係数の比である弾性強度比が１０％以上２５％以下であり、メインメッシュの印刷時における第２方向の伸び量が、第１方向の伸び量の変化範囲内に設定されている。

例えば、メインメッシュの第２方向におけるサイズ比は、第１方向におけるサイズ比の４０％以上９０％以下とする。また、サポートメッシュ２７の引張弾性係数（ヤング率）がメインメッシュ２６の引張弾性係数の１０％〜２５％の範囲内となるように設定し、２好ましくは２０％以下になるように設定した。このような構成によれば、伸び量の異なる素材の寸法比を調整することで、縦横伸び量の差を低減できるため印刷精度が向上できる。

この他、上記実施形態に例示された各構成要素を削除してもよく、各構成要素の形状、構造、材質等を変更してもよい。上記実施形態に開示されている複数の構成要素の適宜な組み合わせにより、種々の発明を形成できる。
素材の寸法比を調整することで、縦横伸び量の差を低減できるため印刷精度が向上できる。以下に、本願出願の当初の特許請求の範囲に記載された発明を付記する。
（１）
塗布材を透過可能な孔を有するサポート材と、
前記サポート材に設けられ、膜の厚さ方向の中途部に段差または変曲部を有し印刷面側の開口幅が反対側の開口幅よりも狭いパターン開口を有するマスク膜と、を備えるスクリーンマスク。
（２）
前記パターン開口は、前記段差または前記変曲部から前記印刷面までの周壁と、前記段差または前記変曲部から前記反対側の開口までの周壁との傾斜角が２０度以内である（１）記載のスクリーンマスク。
（３）
印刷面側の前記開口幅と反対側の前記開口幅との差が４０μｍ以下である、（１）または（２）記載のスクリーンマスク。
（４）
塗布材を透過可能な孔を有するサポート材に成膜されたマスク膜に、一方の表面側から複数回の露光を行うことにより、膜の厚さ方向の中途部に段差または変曲部を有し前記一方の表面側の開口幅が反対側の開口幅よりも狭いパターン開口を形成することと、を備えるスクリーンマスクの製造方法。
（５）
複数回の前記露光はマスクレス露光である（４）記載のスクリーンマスクの製造方法。

１０…スクリーン印刷装置、１２…保持部材、１３…スキージ、２０，２０Ａ…スクリーンマスク、２０ａ…表面、２０ｂ…裏面、２１…フレーム、２２…メッシュ、２２ａ…経糸、２２ｂ…緯糸、２３…マスク膜、２３ａ、１２３ａ…パターン開口、２３ｃ…段差、２６…メインメッシュ、２６ａ…経糸、２６ｂ…緯糸、２６ｃ…孔部、２７…サポートメッシュ、２７ａ…経糸、２７ｂ…緯糸、２８…照明、Ｐｅ…塗布材、Ｃ１…間隔、Ｒ１…大幅部（大径部）、Ｒ２…小幅部（小径部）。

Claims

塗布材を透過可能な孔を有するサポート材と、
前記サポート材に設けられ、膜の厚さ方向の中途部に段差または変曲部を有し印刷面側の開口幅が反対側の開口幅よりも狭いパターン開口を有するマスク膜と、を備え、
印刷面側の前記開口幅と反対側の前記開口幅との差が４０μｍ以下であり、
Ｔは前記サポート材及び前記マスク膜を含む総厚、ΔＴは前記印刷面からの前記段差の厚み、ΔＷは片側の段差幅、とすると、
ΔＷ≦ΔＴ≦２／３Ｔを満たす、スクリーンマスク。
前記パターン開口は、前記段差または前記変曲部から前記印刷面までの周壁と、前記段差または前記変曲部から前記反対側の開口までの周壁との傾斜角が２０度以内である請求項１記載のスクリーンマスク。
前記パターン開口の最も狭い部分における開口の幅寸法は、３０μｍ以下である請求項１または２に記載のスクリーンマスク。
塗布材を透過可能な孔を有するサポート材に成膜されたマスク膜に、一方の表面側から複数回の露光を行うことにより、膜の厚さ方向の中途部に段差または変曲部を有し前記一方の表面側の開口幅が反対側の開口幅よりも狭いパターン開口を形成することと、を備え、
複数回の前記露光はマスクレス露光であるとともに、
印刷面側の前記開口幅と反対側の前記開口幅との差が４０μｍ以下であり、
Ｔは前記サポート材及び前記マスク膜を含む総厚、ΔＴは前記印刷面からの前記段差の厚み、ΔＷは片側の段差幅、とすると、
ΔＷ≦ΔＴ≦２／３Ｔを満たす、スクリーンマスクの製造方法。
複数回の前記露光は、開口幅が狭い小幅部を形成するための第１の露光処理と、前記第１の露光処理の後に行う、前記小幅部よりも開口幅が広い大幅部を形成するための第２の露光処理と、を有し、
前記第２の露光処理は、前記第１の露光処理よりも露光領域が小さく露光量が多い、請求項４に記載のスクリーンマスクの製造方法。
前記マスク膜を構成する乳剤は光硬化性の樹脂であり、
前記露光処理において紫外線光を照射する、請求項４または５に記載のスクリーンマスクの製造方法。