JPH11218930A - スクリーン印刷マスク - Google Patents
スクリーン印刷マスクInfo
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- JPH11218930A JPH11218930A JP3032398A JP3032398A JPH11218930A JP H11218930 A JPH11218930 A JP H11218930A JP 3032398 A JP3032398 A JP 3032398A JP 3032398 A JP3032398 A JP 3032398A JP H11218930 A JPH11218930 A JP H11218930A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- screen printing
- mask
- opening
- printing
- printing mask
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- Printing Plates And Materials Therefor (AREA)
- Photosensitive Polymer And Photoresist Processing (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 本発明はインク吐出量を十分に確保でき、精
度よく印刷できるスクリーン印刷マスクを提供するもの
である。 【解決手段】 メッシュ状シートに感光性樹脂をパター
ン状に形成したスクリーン印刷マスクにおいて、被印刷
物と接触する面に所定の開口部（開口長さＬ1）を持つ
樹脂パターン層とその上にＬ1＜Ｌ＜（Ｌ1＋Ｌ2）で与
えられるサイズＬの開口部をもつ樹脂パターン層を積層
して形成することを特徴とするスクリーン印刷マスク。
ここで、Ｌ2は隣接する開口部間の最短距離を示す。
度よく印刷できるスクリーン印刷マスクを提供するもの
である。 【解決手段】 メッシュ状シートに感光性樹脂をパター
ン状に形成したスクリーン印刷マスクにおいて、被印刷
物と接触する面に所定の開口部（開口長さＬ1）を持つ
樹脂パターン層とその上にＬ1＜Ｌ＜（Ｌ1＋Ｌ2）で与
えられるサイズＬの開口部をもつ樹脂パターン層を積層
して形成することを特徴とするスクリーン印刷マスク。
ここで、Ｌ2は隣接する開口部間の最短距離を示す。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、スクリーン印刷に
よって各種インクを精度よくしかもインク吐出量を多く
印刷することができるスクリーン印刷マスクに関する。
よって各種インクを精度よくしかもインク吐出量を多く
印刷することができるスクリーン印刷マスクに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、メッシュ状シートを用いたスクリ
ーン印刷マスクを使用するスクリーン印刷におけるイン
クの吐出量Ｖ1は、スクリーン印刷マスクの開口部面積
Ａo、乳剤厚（樹脂パターン層の厚さ）ｔ1およびこの開
口面積に占めるメッシュシートの体積ＶMから（１）式
で与えられる。 Ｖ1＝Ａoｔ1ーＶM （１） また、金属シート（シート厚ｔ2）のようなシートに所
定の開口部面積Ａ2を有するもの（一般にはメタルマス
クと称する）では、インク吐出量Ｖ2は（２）式で与え
られる。 Ｖ2＝Ａ2ｔ2 （２）
ーン印刷マスクを使用するスクリーン印刷におけるイン
クの吐出量Ｖ1は、スクリーン印刷マスクの開口部面積
Ａo、乳剤厚（樹脂パターン層の厚さ）ｔ1およびこの開
口面積に占めるメッシュシートの体積ＶMから（１）式
で与えられる。 Ｖ1＝Ａoｔ1ーＶM （１） また、金属シート（シート厚ｔ2）のようなシートに所
定の開口部面積Ａ2を有するもの（一般にはメタルマス
クと称する）では、インク吐出量Ｖ2は（２）式で与え
られる。 Ｖ2＝Ａ2ｔ2 （２）
【０００３】従来、スクリーン印刷で所定の開口面積か
ら印刷インクを多量に吐出させるには、スクリーン印刷
マスクの乳剤厚ｔ1またはシート厚ｔ2を大きくする方法
が採用されていた。また、スクリーン印刷を繰返し（多
重印刷）で厚膜化を行うこともあった。また、スクリー
ン印刷以外に、インクの吐出量を増やし塗布量を多くす
ることができる印刷法としてディスペンサー塗布が多用
されてきている。
ら印刷インクを多量に吐出させるには、スクリーン印刷
マスクの乳剤厚ｔ1またはシート厚ｔ2を大きくする方法
が採用されていた。また、スクリーン印刷を繰返し（多
重印刷）で厚膜化を行うこともあった。また、スクリー
ン印刷以外に、インクの吐出量を増やし塗布量を多くす
ることができる印刷法としてディスペンサー塗布が多用
されてきている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】最近、スクリーン印刷
で多量のインクを吐出させる用途、あるいはインクの厚
膜化が必要となる用途に、スクリーン印刷が応用される
ようになってきている。例えば、クリームはんだの印
刷、ビルドアップ工法における穴埋めインクの印刷やＰ
ＤＰにおけるリブ形成用インクの印刷などである。これ
らの用途においては、印刷パターンが精細であることも
共通した特徴であることから、同時に高い印刷精度も要
求される。本発明はインク吐出量が多くしかも精度の高
いスクリーン印刷が可能なスクリーン印刷マスクを提供
することにある。
で多量のインクを吐出させる用途、あるいはインクの厚
膜化が必要となる用途に、スクリーン印刷が応用される
ようになってきている。例えば、クリームはんだの印
刷、ビルドアップ工法における穴埋めインクの印刷やＰ
ＤＰにおけるリブ形成用インクの印刷などである。これ
らの用途においては、印刷パターンが精細であることも
共通した特徴であることから、同時に高い印刷精度も要
求される。本発明はインク吐出量が多くしかも精度の高
いスクリーン印刷が可能なスクリーン印刷マスクを提供
することにある。
【０００５】従来は、スクリーン印刷における厚膜化
は、スクリーン印刷マスクの乳剤厚ｔ1またはシート厚
ｔ2を大きくする方法が採用されていた。しかしなが
ら、この方法では、式（１）または（２）で与えられる
ように吐出量Ｖ1またはＶ2が乳剤厚ｔ1またはシート厚
ｔ2に比例して増加するにすぎない。また、同一のスク
リーン印刷マスクを用い、スクリーン印刷を繰返し（多
重印刷）で厚膜化を行う場合には、重ね合わせ精度が高
くないと精細なパターンが形成できない、という問題が
あった。一方、デイスペンサー塗布では比較的吐出量を
多くすることは容易であるが、一点一点、または線上で
描画するため、生産性が極めて悪いという欠点があっ
た。 本発明は、これらの問題を解決するためになされ
たものであり、一回のスクリーン印刷でインク吐出量を
十分に確保でき、精度よく印刷ができるスクリーン印刷
マスクを提供しようとするものである。
は、スクリーン印刷マスクの乳剤厚ｔ1またはシート厚
ｔ2を大きくする方法が採用されていた。しかしなが
ら、この方法では、式（１）または（２）で与えられる
ように吐出量Ｖ1またはＶ2が乳剤厚ｔ1またはシート厚
ｔ2に比例して増加するにすぎない。また、同一のスク
リーン印刷マスクを用い、スクリーン印刷を繰返し（多
重印刷）で厚膜化を行う場合には、重ね合わせ精度が高
くないと精細なパターンが形成できない、という問題が
あった。一方、デイスペンサー塗布では比較的吐出量を
多くすることは容易であるが、一点一点、または線上で
描画するため、生産性が極めて悪いという欠点があっ
た。 本発明は、これらの問題を解決するためになされ
たものであり、一回のスクリーン印刷でインク吐出量を
十分に確保でき、精度よく印刷ができるスクリーン印刷
マスクを提供しようとするものである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明は、一回のスクリ
ーン印刷でインク吐出量を十分に確保でき、精度よく印
刷ができるスクリーン印刷マスクを提供しようとするも
ので、インク吐出用開口部が垂直方向に少なくとも２段
階に開口面積を変化させた樹脂パターン層あるいはパタ
ーン状シートを積層してスクリーン印刷マスクとするも
のである。
ーン印刷でインク吐出量を十分に確保でき、精度よく印
刷ができるスクリーン印刷マスクを提供しようとするも
ので、インク吐出用開口部が垂直方向に少なくとも２段
階に開口面積を変化させた樹脂パターン層あるいはパタ
ーン状シートを積層してスクリーン印刷マスクとするも
のである。
【０００７】支持体としてメッシュ状シートを用いる場
合、金属または合成樹脂製のメッシュ状シートに感光性
樹脂をパターン状に形成したスクリーン印刷マスクにお
いては、被印刷物と接触する面に所定の開口部（開口長
さＬ1）を持つ樹脂パターン層とその上にＬ1＜Ｌ＜（Ｌ
1 ＋Ｌ2）で与えらるサイズＬの開口部をもつ樹脂パタ
ーン層を積層したものをスクリーン印刷マスクとする。
また、メッシュシートを用いず、金属のシートや電鋳な
どで作られたシート製印刷マスクにおいては、被印刷物
と接触する面に所定の開口部（開口長さＬ1）を有する
シートに、Ｌ1＜Ｌ＜（Ｌ1＋Ｌ2）で与えられるサイズ
Ｌの開口部をもつシートを積層して形成したものをスク
リーン印刷マスクとする。ここで、Ｌ2は隣接する開口
部間の最短距離を示す。
合、金属または合成樹脂製のメッシュ状シートに感光性
樹脂をパターン状に形成したスクリーン印刷マスクにお
いては、被印刷物と接触する面に所定の開口部（開口長
さＬ1）を持つ樹脂パターン層とその上にＬ1＜Ｌ＜（Ｌ
1 ＋Ｌ2）で与えらるサイズＬの開口部をもつ樹脂パタ
ーン層を積層したものをスクリーン印刷マスクとする。
また、メッシュシートを用いず、金属のシートや電鋳な
どで作られたシート製印刷マスクにおいては、被印刷物
と接触する面に所定の開口部（開口長さＬ1）を有する
シートに、Ｌ1＜Ｌ＜（Ｌ1＋Ｌ2）で与えられるサイズ
Ｌの開口部をもつシートを積層して形成したものをスク
リーン印刷マスクとする。ここで、Ｌ2は隣接する開口
部間の最短距離を示す。
【０００８】本発明を図をもって説明する。図１は、本
発明のメッシュ状シートを用いたスクリーン印刷用マス
ク（ａ）、シートを用いたスクリーン印刷用マスク
（ｂ）および従来のメッシュ状シートを用いたスクリー
ン印刷用マスク（ｃ）、シートを用いたスクリーン印刷
用マスク（ｄ）の開口部断面図である。また、図２は、
連続して配列された開口部の配列平面図であり、被印刷
物に接触する側からみた図である。尚、この図はシート
を用いたスクリーン印刷マスクを例に表示してある。図
２において、（ａ）は円状パターン、（ｂ）は矩形パタ
ーンの例を示す。ここで、Ｌはスキージ接触側の開口部
長さ、Ｌ1は被印刷物接触側の開口部長さで、Ｌ2は隣接
する開口部間の最短距離である。
発明のメッシュ状シートを用いたスクリーン印刷用マス
ク（ａ）、シートを用いたスクリーン印刷用マスク
（ｂ）および従来のメッシュ状シートを用いたスクリー
ン印刷用マスク（ｃ）、シートを用いたスクリーン印刷
用マスク（ｄ）の開口部断面図である。また、図２は、
連続して配列された開口部の配列平面図であり、被印刷
物に接触する側からみた図である。尚、この図はシート
を用いたスクリーン印刷マスクを例に表示してある。図
２において、（ａ）は円状パターン、（ｂ）は矩形パタ
ーンの例を示す。ここで、Ｌはスキージ接触側の開口部
長さ、Ｌ1は被印刷物接触側の開口部長さで、Ｌ2は隣接
する開口部間の最短距離である。
【０００９】ここで、当然のことながらＬはＬ1より大
きいことが必要で、通常Ｌ1の１．５〜３倍程度が用い
られるが、Ｌ2との関係から、Ｌ1＜Ｌ＜（Ｌ1＋Ｌ2）の
制限をうける。ここで、ＬとＬ1の中心が合っているこ
とが好ましい。例えば、乳剤厚が２０μｍの従来型のメ
ッシュ状シートを用いたスクリーン印刷マスクにおいて
（計算の簡略化のためメッシュ体積ＶMを無視）インク
吐出量Ｖは、開口部長さＬが直径１００μｍでは、１．
５７×１０-7ｃｍ3となる。これに対し、本発明のスク
リーン印刷マスクを、開口部長さＬが直径１００μｍで
厚さ１０μｍのものと開口部長さＬ1が直径２００μｍ
で厚さ１０μｍのものを積層して作製した場合のインク
吐出量Ｖは３．９２５×１０-7ｃｍ3となり、従来型の
２．５倍の吐出量が得られる。
きいことが必要で、通常Ｌ1の１．５〜３倍程度が用い
られるが、Ｌ2との関係から、Ｌ1＜Ｌ＜（Ｌ1＋Ｌ2）の
制限をうける。ここで、ＬとＬ1の中心が合っているこ
とが好ましい。例えば、乳剤厚が２０μｍの従来型のメ
ッシュ状シートを用いたスクリーン印刷マスクにおいて
（計算の簡略化のためメッシュ体積ＶMを無視）インク
吐出量Ｖは、開口部長さＬが直径１００μｍでは、１．
５７×１０-7ｃｍ3となる。これに対し、本発明のスク
リーン印刷マスクを、開口部長さＬが直径１００μｍで
厚さ１０μｍのものと開口部長さＬ1が直径２００μｍ
で厚さ１０μｍのものを積層して作製した場合のインク
吐出量Ｖは３．９２５×１０-7ｃｍ3となり、従来型の
２．５倍の吐出量が得られる。
【００１０】尚、この計算ではマスク内空間に充填した
インク量をもって吐出量とした。実際には、スキージー
の硬さ、スキージー速度、スキージー圧力、印刷後被印
刷物からマスクを引き離す速度などの多くの因子によっ
て、マスク内空間に充填したインク量と吐出量が一致し
なくなることがある。
インク量をもって吐出量とした。実際には、スキージー
の硬さ、スキージー速度、スキージー圧力、印刷後被印
刷物からマスクを引き離す速度などの多くの因子によっ
て、マスク内空間に充填したインク量と吐出量が一致し
なくなることがある。
【００１１】本発明において、印刷インクの導入部（開
口部長さＬの部分）はインク溜機能を、印刷インクの吐
出部（開口部長さＬ1の部分）は印刷精度を確保する機
能をそれぞれ有する。このような機能を分担して持たせ
ることによって、印刷精度を損なうことなく必要十分な
インク吐出量を確保することができる。これは、インク
溜に充填されているインクがスキージーの押圧によって
強制的にインク吐出部から押し出されることによるもの
で、注射器の原理と同じである。
口部長さＬの部分）はインク溜機能を、印刷インクの吐
出部（開口部長さＬ1の部分）は印刷精度を確保する機
能をそれぞれ有する。このような機能を分担して持たせ
ることによって、印刷精度を損なうことなく必要十分な
インク吐出量を確保することができる。これは、インク
溜に充填されているインクがスキージーの押圧によって
強制的にインク吐出部から押し出されることによるもの
で、注射器の原理と同じである。
【００１２】
【実施例】本発明によるスクリーン印刷マスク作成の実
施例を以下に示した。本発明がこれらの実施例に限定さ
れるものでないことは言うまでもない。 （実施例１）アルミ製の枠に金属メッシュ状シート１
（３２５メッシュ、ＳＵＳ線径２８μｍ）にネガ型感光
性樹脂乳剤を塗布し、乾燥（膜厚１５μｍ）した。これ
に直径４００μｍのドットを有するポジのフォトマスク
を介して露光・現像し、金属メッシュシート表面に直径
４００μｍのドット状パターンを有する樹脂層２１を作
成した。ついで、この表面に同様の乳剤を塗布し、乾燥
（膜厚１５μｍ）した。これに直径２００μｍのドット
を有するポジのフォトマスクを、前記した直径４００μ
ｍの孔の中心に直径２００μｍの孔の中心が合うように
配置して露光・現像して直径２００μｍのドット状パタ
ーンを有する樹脂層２２を重ね合わせて本発明のマスク
を作成した。このマスクを用いて、銅張り積層板に以下
の配合の銅ペースト エポキシ樹脂 ９．５ｇ エポキシ樹脂硬化剤 ０．５ｇ 銅粉 １００．０ｇ 消泡剤 ０．５ｇ 溶剤 ２．０ｇ を印刷し、１５０℃３０分硬化後、粗さ計を用いて底辺
（直径）と高さを粗さ計を用いて測定したところ、直径
２４０μｍ、高さ６０μｍであった。
施例を以下に示した。本発明がこれらの実施例に限定さ
れるものでないことは言うまでもない。 （実施例１）アルミ製の枠に金属メッシュ状シート１
（３２５メッシュ、ＳＵＳ線径２８μｍ）にネガ型感光
性樹脂乳剤を塗布し、乾燥（膜厚１５μｍ）した。これ
に直径４００μｍのドットを有するポジのフォトマスク
を介して露光・現像し、金属メッシュシート表面に直径
４００μｍのドット状パターンを有する樹脂層２１を作
成した。ついで、この表面に同様の乳剤を塗布し、乾燥
（膜厚１５μｍ）した。これに直径２００μｍのドット
を有するポジのフォトマスクを、前記した直径４００μ
ｍの孔の中心に直径２００μｍの孔の中心が合うように
配置して露光・現像して直径２００μｍのドット状パタ
ーンを有する樹脂層２２を重ね合わせて本発明のマスク
を作成した。このマスクを用いて、銅張り積層板に以下
の配合の銅ペースト エポキシ樹脂 ９．５ｇ エポキシ樹脂硬化剤 ０．５ｇ 銅粉 １００．０ｇ 消泡剤 ０．５ｇ 溶剤 ２．０ｇ を印刷し、１５０℃３０分硬化後、粗さ計を用いて底辺
（直径）と高さを粗さ計を用いて測定したところ、直径
２４０μｍ、高さ６０μｍであった。
【００１３】（比較例１、２）比較のため、同一の金属
メッシュ状シート１を用い、直径２００μｍで乳剤厚２
が１５μｍ（比較例１）と３０μｍ（比較例２）のマス
クを作成した。このマスクを用いて実施例１と同様の印
刷実験を行ったところ、硬化物の高さはそれぞれ１２μ
ｍと２４μｍであった。
メッシュ状シート１を用い、直径２００μｍで乳剤厚２
が１５μｍ（比較例１）と３０μｍ（比較例２）のマス
クを作成した。このマスクを用いて実施例１と同様の印
刷実験を行ったところ、硬化物の高さはそれぞれ１２μ
ｍと２４μｍであった。
【００１４】（実施例２、比較例３）スリット幅０．２
ｍｍ、スリット長さ１ｍｍ、ピッチ０．５ｍｍのパター
ンを有するメタルマスク３２（厚さ５０μｍ）をエレク
トロフォーミング（電鋳）法で作成した。また、スリッ
ト幅０．４ｍｍ、スリット長さ１．１ｍｍ、ピッチ０．
５０ｍｍのパターンを有するメタルマスク３１（電鋳圧
５０μｍ）をエレクトロフォーミング法で作成した。ス
リット幅が０．４ｍｍのメタルマスクを上（スキージー
接触面）に、スリット幅０．２ｍｍのメタルマスクを下
（被印刷物接触面）にして張り合わせ、その周辺にテト
ロンメッシュを介してアルミ枠に固定し、コンビネーシ
ョン構造の印刷マスクを製造した。
ｍｍ、スリット長さ１ｍｍ、ピッチ０．５ｍｍのパター
ンを有するメタルマスク３２（厚さ５０μｍ）をエレク
トロフォーミング（電鋳）法で作成した。また、スリッ
ト幅０．４ｍｍ、スリット長さ１．１ｍｍ、ピッチ０．
５０ｍｍのパターンを有するメタルマスク３１（電鋳圧
５０μｍ）をエレクトロフォーミング法で作成した。ス
リット幅が０．４ｍｍのメタルマスクを上（スキージー
接触面）に、スリット幅０．２ｍｍのメタルマスクを下
（被印刷物接触面）にして張り合わせ、その周辺にテト
ロンメッシュを介してアルミ枠に固定し、コンビネーシ
ョン構造の印刷マスクを製造した。
【００１５】このメタルマスクを用いてクリームはんだ
（マルチコア社、）を印刷した。印刷物を８０℃で５時
間乾燥後、走査型電子顕微鏡でクリームはんだの高さを
測定した結果約１２０μｍであった。比較のため、スリ
ット幅０．２ｍｍ、スリット長さ１ｍｍ、ピッチ０．５
０ｍｍのパターンを有するメタルマスク３をエレクトロ
フォーミング法で電鋳厚１００μｍに作成したものを用
いて同様な印刷を行ったところ高さは約８０μｍであっ
た。（比較例３）
（マルチコア社、）を印刷した。印刷物を８０℃で５時
間乾燥後、走査型電子顕微鏡でクリームはんだの高さを
測定した結果約１２０μｍであった。比較のため、スリ
ット幅０．２ｍｍ、スリット長さ１ｍｍ、ピッチ０．５
０ｍｍのパターンを有するメタルマスク３をエレクトロ
フォーミング法で電鋳厚１００μｍに作成したものを用
いて同様な印刷を行ったところ高さは約８０μｍであっ
た。（比較例３）
【００１６】
【発明の効果】本発明によれば、 以上説明してきたよ
うに、スクリーン印刷マスクにおいて、一つの印刷イン
ク通過路に異なった開口径を導入すること、すなわち、
印刷インクの導入部にはインク溜機能を、印刷インクの
吐出部に印刷精度を確保する機能をもつように開口径を
制御することによって、印刷精度を損なうことなく必要
十分なインク吐出量を確保することができる。クリーム
はんだの印刷、ビルドアップ工法における穴埋めインク
の印刷やＰＤＰにおけるリブ形成用インクの印刷など、
スクリーン印刷で多量のインクを吐出させること、ある
いはインクの厚膜化が必要となる用途に適した、多点同
時印刷が可能なスクリーン印刷マスクが提供される。
うに、スクリーン印刷マスクにおいて、一つの印刷イン
ク通過路に異なった開口径を導入すること、すなわち、
印刷インクの導入部にはインク溜機能を、印刷インクの
吐出部に印刷精度を確保する機能をもつように開口径を
制御することによって、印刷精度を損なうことなく必要
十分なインク吐出量を確保することができる。クリーム
はんだの印刷、ビルドアップ工法における穴埋めインク
の印刷やＰＤＰにおけるリブ形成用インクの印刷など、
スクリーン印刷で多量のインクを吐出させること、ある
いはインクの厚膜化が必要となる用途に適した、多点同
時印刷が可能なスクリーン印刷マスクが提供される。
【図１】 （ａ）本発明のメッシュ状シートを用いたス
クリーン印刷用マスクの開口部断面図である。 （ｂ）本発明のシートを用いたスクリーン印刷用マスク
の開口部断面図である。 （ｃ）従来のメッシュ状シー
トを用いたスクリーン印刷用マスクの開口部断面図であ
る。 （ｄ）従来のシートを用いたスクリーン印刷用マスクの
開口部断面図である。
クリーン印刷用マスクの開口部断面図である。 （ｂ）本発明のシートを用いたスクリーン印刷用マスク
の開口部断面図である。 （ｃ）従来のメッシュ状シー
トを用いたスクリーン印刷用マスクの開口部断面図であ
る。 （ｄ）従来のシートを用いたスクリーン印刷用マスクの
開口部断面図である。
【図２】 （ａ）本発明のシートを用いたスクリーン印
刷用マスクの連続して配列された円状パターンの開口部
の平面図である。 （ｂ）本発明のシートを用いたスクリーン印刷用マスク
の連続して配列された矩形パターンの開口部の平面図で
ある。
刷用マスクの連続して配列された円状パターンの開口部
の平面図である。 （ｂ）本発明のシートを用いたスクリーン印刷用マスク
の連続して配列された矩形パターンの開口部の平面図で
ある。
１ 金属メッシュ状シート ２ 樹脂乳剤厚 ２１ 樹脂層 ２２ 樹脂層 ３ メタルマスク ３１ メタルマスク ３２ メタルマスク
Claims (3)
- 【請求項１】 メッシュ状シートに感光性樹脂をパター
ン状に形成したスクリーン印刷マスクにおいて、被印刷
物と接触する面に所定の開口部（開口長さＬ1）を持つ
樹脂パターン層とその上にＬ1＜Ｌ＜（Ｌ1＋Ｌ2）で与
えられるサイズＬの開口部をもつ樹脂パターン層を積層
して形成することを特徴とするスクリーン印刷マスク。
ここで、Ｌ2は隣接する開口部間の最短距離を示す。 - 【請求項２】 シート状印刷マスクにおいて、被印刷物
と接触する面に所定の開口部（開口長さＬ1）を有する
シート上に、Ｌ1＜Ｌ＜（Ｌ1＋Ｌ2）で与えられるサイ
ズＬの開口部をもつシートを積層して形成することを特
徴とするスクリーン印刷マスク。ここで、Ｌ2は隣接す
る開口部間の最短距離を示す。 - 【請求項３】 請求項１および２において、開口部Ｌと
開口部Ｌ1のパターンの中心が合致していることを特徴
とするスクリーン印刷マスク。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3032398A JPH11218930A (ja) | 1998-01-29 | 1998-01-29 | スクリーン印刷マスク |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3032398A JPH11218930A (ja) | 1998-01-29 | 1998-01-29 | スクリーン印刷マスク |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11218930A true JPH11218930A (ja) | 1999-08-10 |
Family
ID=12300608
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3032398A Pending JPH11218930A (ja) | 1998-01-29 | 1998-01-29 | スクリーン印刷マスク |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11218930A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001310543A (ja) * | 2000-04-28 | 2001-11-06 | Yoshino Kogyosho Co Ltd | 厚膜で印刷されたプラスチック製容器及びプラスチック容器への厚膜印刷方法 |
| JP2018144284A (ja) * | 2017-03-02 | 2018-09-20 | ミタニマイクロニクス株式会社 | スクリーンマスク及びスクリーンマスクの製造方法 |
-
1998
- 1998-01-29 JP JP3032398A patent/JPH11218930A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001310543A (ja) * | 2000-04-28 | 2001-11-06 | Yoshino Kogyosho Co Ltd | 厚膜で印刷されたプラスチック製容器及びプラスチック容器への厚膜印刷方法 |
| JP2018144284A (ja) * | 2017-03-02 | 2018-09-20 | ミタニマイクロニクス株式会社 | スクリーンマスク及びスクリーンマスクの製造方法 |
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