JP2019084697A - スクリーンマスク、スクリーンマスクの製造方法、スクリーン印刷装置、印刷物の製造方法、及び露光装置 - Google Patents
スクリーンマスク、スクリーンマスクの製造方法、スクリーン印刷装置、印刷物の製造方法、及び露光装置 Download PDFInfo
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Abstract
Description
一例として、引っ張り試験の条件は:試験ピース:50mm×250mm 、試験ピース引張り条件:試験ピースの長手方向、標点距離:200mm、引張り速度:200mm/minとした。
次に、本実施形態にかかるスクリーンマスク20の製造方法について図4を参照して説明する。図4は、スクリーンマスク20の製造方法を示す説明図である。スクリーンマスク20の製造方法は、乳剤Pmの塗布処理、露光処理、を備える。
これらの同じ設計値に対応する測定点同士のばらつきが少ない方が、線幅精度が高いということになる。本実施形態にかかるスクリーンマスク20の線幅の開口寸法精度は、平均値からのデータの散らばり度合いを示す標準偏差σが、3σ≦1.2を満たす。
Claims (10)
- 塗布材を透過する透過部を有するメッシュ部と、
前記メッシュ部に設けられ、所定のパターンを有する、マスク膜と、を備え、
前記メッシュ部は、金属材料で構成される、スクリーンマスク。 - 前記メッシュ部は、塗布材を透過する孔部を有するメインメッシュと、前記メインメッシュよりも伸び率が低く構成され前記メインメッシュの外周に設けられたサポートメッシュと、を備え、
前記メインメッシュ及び前記サポートメッシュは金属材料で構成される、請求項1記載のスクリーンマスク。 - 前記マスク膜が形成される領域内に規定される有効エリア内に定められた複数の基準点間の実測距離の、設計値に対する誤差が、100ppm以下である、請求項1または請求項2に記載のスクリーンマスク。
- 前記メインメッシュの伸び率は、前記サポートメッシュの伸び率よりも大きく、前記サポートメッシュの伸び率の1倍〜5倍である、請求項2に記載のスクリーンマスク。
- 塗布材を透過する透過部を有するメッシュ部に、マスク材を塗布することと、
マスクレス露光により、前記マスク材を所定の露光パターンでパターニングすることにより開口パターンを有するマスク膜を形成することと、を備え、
スクリーンマスクを用いて印刷を行った印刷物の基準点間距離とその設計値との差に基づいて、前記パターニングの露光パターンを調整する、スクリーンマスクの製造方法。 - 前記スクリーンマスクの前記露光パターンの開口寸法精度が、3σ≦1.2である、請求項5記載のスクリーンマスクの製造方法。
- 請求項1乃至4のいずれか記載のスクリーンマスクと、
印刷媒体に対向して前記メッシュ部を支持するフレームと、
前記スクリーンマスクの前記印刷面側とは反対側の面に当接して移動可能に構成されたスキージと、を備え、
前記メッシュ部は、弾性変形可能であり、前記マスク膜の前記パターンに塗布材が保持された状態で、前記マスク膜が印刷媒体に接離することにより、前記塗布材が前記パターンから前記印刷媒体に転写されることを特徴とするスクリーン印刷装置。 - 請求項7に記載のスクリーン印刷装置の、前記マスク膜に塗布材を保持させ、前記マスク膜の前記パターンから、前記マスク膜の表面に対向配置された印刷媒体に、前記塗布材を塗布する、ことを特徴とする印刷物の製造方法。
- スクリーンマスクのパターンを描画するマスクレス露光機であって、描画パターンの線幅の設計値を調整する制御部を備える、露光装置。
- スクリーンマスクのパターンを描画するマスクレス露光機であって、描画パターンの外形の設計値を調整する制御部を備える、露光装置。
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