KR101874403B1 - 디스플레이 제조용 정량 토출장치 - Google Patents

디스플레이 제조용 정량 토출장치 Download PDF

Info

Publication number
KR101874403B1
KR101874403B1 KR1020160173576A KR20160173576A KR101874403B1 KR 101874403 B1 KR101874403 B1 KR 101874403B1 KR 1020160173576 A KR1020160173576 A KR 1020160173576A KR 20160173576 A KR20160173576 A KR 20160173576A KR 101874403 B1 KR101874403 B1 KR 101874403B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
liquid
unit
dispenser
solution supply
intermediate storage
Prior art date
Application number
KR1020160173576A
Other languages
English (en)
Other versions
KR20180071454A (ko
Inventor
이승희
김동균
남경륜
Original Assignee
주식회사 지엔테크
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 주식회사 지엔테크 filed Critical 주식회사 지엔테크
Priority to KR1020160173576A priority Critical patent/KR101874403B1/ko
Publication of KR20180071454A publication Critical patent/KR20180071454A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR101874403B1 publication Critical patent/KR101874403B1/ko

Links

Images

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05C—APPARATUS FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05C5/00—Apparatus in which liquid or other fluent material is projected, poured or allowed to flow on to the surface of the work
    • B05C5/02—Apparatus in which liquid or other fluent material is projected, poured or allowed to flow on to the surface of the work the liquid or other fluent material being discharged through an outlet orifice by pressure, e.g. from an outlet device in contact or almost in contact, with the work
    • B05C5/0225—Apparatus in which liquid or other fluent material is projected, poured or allowed to flow on to the surface of the work the liquid or other fluent material being discharged through an outlet orifice by pressure, e.g. from an outlet device in contact or almost in contact, with the work characterised by flow controlling means, e.g. valves, located proximate the outlet
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05C—APPARATUS FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05C11/00—Component parts, details or accessories not specifically provided for in groups B05C1/00 - B05C9/00
    • B05C11/10—Storage, supply or control of liquid or other fluent material; Recovery of excess liquid or other fluent material
    • B05C11/1002—Means for controlling supply, i.e. flow or pressure, of liquid or other fluent material to the applying apparatus, e.g. valves
    • B05C11/1007—Means for controlling supply, i.e. flow or pressure, of liquid or other fluent material to the applying apparatus, e.g. valves responsive to condition of liquid or other fluent material
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05C—APPARATUS FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05C21/00—Accessories or implements for use in connection with applying liquids or other fluent materials to surfaces, not provided for in groups B05C1/00 - B05C19/00
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05C—APPARATUS FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05C9/00—Apparatus or plant for applying liquid or other fluent material to surfaces by means not covered by any preceding group, or in which the means of applying the liquid or other fluent material is not important
    • B05C9/08—Apparatus or plant for applying liquid or other fluent material to surfaces by means not covered by any preceding group, or in which the means of applying the liquid or other fluent material is not important for applying liquid or other fluent material and performing an auxiliary operation
    • B05C9/14—Apparatus or plant for applying liquid or other fluent material to surfaces by means not covered by any preceding group, or in which the means of applying the liquid or other fluent material is not important for applying liquid or other fluent material and performing an auxiliary operation the auxiliary operation involving heating or cooling

Abstract

기판 상에 패턴을 형성하는 액체가 저장, 공급되는 용액 공급부; 상기 용액 공급부 내의 압력을 조절하여 상기 용액 공급부의 액체 배출량을 조절하는 가압조절부; 기판 상에 패턴을 형성하도록 상기 배출된 액체를 일정량 토출하는 디스펜서; 상기 용액 공급부와 상기 디스펜서 사이에 위치하여 액체상태를 조절하는 가열수단 및 진동수단을 구비한 중간 저장부; 상기 중간 저장부에 위치하여 액체의 상태를 감지하는 센서부; 및 상기 토출되는 상기 액체의 특성을 조절하는 제어부를 포함하는 것을 특징으로 하는 디스플레이 제조용 정량 토출장치를 제공한다.

Description

디스플레이 제조용 정량 토출장치{Equipment of required quantity flow for fabricating display device}
본 발명은 디스플레이 제조용 정량 토출장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 용액 특성의 균일함을 유지하기 위한 수단을 구비하는 디스플레이 제조용 정량 토출장치에 관한 것이다.
디스플레이 장치의 제조에 있어서, 봉지(sealing) 공정 또는 패터닝(patterning) 공정은 인쇄장치를 이용하여 수행할 수 있다.
디스펜서(dispenser)를 이용한 인쇄장치는 용액을 저장 공급하는 실린지 및 카트리지와 같은 용액 공급부를 구비한다. 상기 용액 공급부에서 제공되는 용액의 양, 디스펜서로부터 토출되어 도포되는 시간, 도포 시 용액의 온도, 및 주변 온도의 변화에 따라 용액의 점도(viscosity)는 달라진다. 상기 용액의 점도가 큰 경우 퍼짐성이 낮으며, 점도가 낮은 경우 퍼짐성이 높아지므로, 용액의 점도는 도포되는 패턴의 두께와 선폭의 정밀도에 밀접한 영향을 주게 된다.
디스플레이 화소 기술의 발달로 인해 정밀한 패터닝이 요구됨에 따라 도포되는 용액의 양은 점점 최소화되고 있으며, 도포 편차 또한 최소화되도록 하는 기술이 요구되고 있다. 따라서 용액이 공급되기 전이나 공급 중의 용액 특성 유지가 중요한 기술적 요소라 볼 수 있다.
일반적으로 실린지 또는 카트리지와 같은 용액 공급부의 내부의 용액에 기체 가압을 일정하게 공급함으로써 정량의 잉크 토출이 가능하게 되는데, 상기 용액의 점도 조절을 위해 디스펜서 내부에 가열수단을 구비하여 용액의 온도를 조절함으로써 일정 점도를 유지하는 방법을 사용할 수 있다.
그러나 상기 디스펜서 내부의 가열부의 경우 가열부 자체의 온도를 확인하고 조절하기 때문에 실제 용액의 온도 확인이 불가능할 수 있으며, 그에 대한 피드백이 늦어 원하는 온도로 유지하기 힘들 수 있다. 따라서 인쇄 품질이 저하되는 문제가 발생할 수 있으며, 상기와 같은 불량의 발생은 설비의 가동율 및 수율에 영향을 줄 수 있고, 이는 제품의 원가상승의 요인이 된다고 볼 수 있다.
한국특허등록 제 10-0525720호(등록일; 2005.10.26.)
본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는, 디스펜서로 유입되는 액체의 특성을 균일하게 유지하고 상기 디스펜서가 액체를 정밀하게 정량 공급할 수 있는 디스플레이 제조용 정량 토출장치를 제공하는 것에 목적이 있다.
본 발명의 목적은 이상에서 언급한 목적으로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 목적들은 아래의 기재로부터 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
상기 기술적 과제를 이루기 위하여 본 발명은 기판 상에 패턴을 형성하는 액체가 저장, 공급되는 용액 공급부; 상기 용액 공급부 내의 압력을 조절하여 상기 용액 공급부의 액체 배출량을 조절하는 가압조절부; 기판 상에 패턴을 형성하도록 상기 배출된 액체를 일정량 토출하는 디스펜서; 상기 용액 공급부와 상기 디스펜서 사이에 위치하여 액체상태를 조절하는 가열수단 및 진동수단을 구비한 중간 저장부; 상기 중간 저장부에 위치하여 액체의 상태를 감지하는 센서부; 및 상기 토출되는 상기 액체의 특성을 조절하는 제어부를 포함하는 것을 특징으로 하는 디스플레이 제조용 정량 토출장치를 제공한다.
상기 센서부는 유체압력센서 및 온도센서를 포함할 수 있다.
상기 중간 저장부는 액체가 주입되고 배출되는 배관부를 포함하고 상기 배관부에 가열수단 및 진동수단을 구비하되 상기 제어부와 연결된 것일 수 있다.
상기 디스펜서 내부에 가열부가 위치할 수 있다.
상기 진동수단은 초음파 진동수단 또는 공기 진동수단(air vibrator)일 수 있다.
상기 액체는 UV 경화성 점착제일 수 있다.
상기 디스펜서는 ±10% 이내의 오차 범위를 가진 두께로 패턴이 형성되도록 토출량을 유지하는 것일 수 있다.
본 발명에 따른 디스플레이 제조용 정량 토출장치는 가열수단과 진동수단을 포함한 중간 저장부를 구비함으로써 디스펜서로 유입되는 용액의 점도를 일정하게 조절하여 토출 시 용액의 특성을 유지함으로써 패터닝에 최적화된 용액을 정량 공급할 수 있는 장점이 있다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 디스플레이 제조용 정량 토출장치를 나타낸 개념도이다.
이하, 첨부한 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예들을 상세히 설명한다. 다음에 소개되는 실시예들은 당업자에게 본 발명의 사상이 충분히 전달될 수 있도록 하기 위해 예로서 제공되어지는 것이다. 따라서, 본 발명은 이하 설명되어지는 실시예들에 한정되지 않고 다른 형태로 구체화될 수도 있다. 그리고, 도면들에 있어서, 층 및 영역의 길이, 두께 등은 편의를 위하여 과장되어 표현될 수도 있다. 명세서 전체에 걸쳐서 동일한 참조번호들은 동일한 구성요소들을 나타낸다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 디스플레이 제조용 정량 토출장치를 나타낸 개념도이다.
도 1을 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 디스플레이 제조용 정량 토출장치는 기판(700) 상에 패턴을 형성하는 액체(10)가 저장, 공급되는 용액 공급부(200); 상기 용액 공급부(200) 내의 압력을 조절하여 상기 용액 공급부의 액체(10) 배출량을 조절하는 가압조절부(100); 상기 기판(700) 상에 패턴을 형성하도록 상기 배출된 액체(10)를 일정량 토출하는 디스펜서(600); 상기 용액 공급부(200)와 상기 디스펜서(600) 사이에 위치하여 액체 상태를 조절하는 가열수단(800) 및 진동수단(900)을 구비한 중간 저장부(500); 상기 중간 저장부(500)에 위치하여 액체(10)의 상태를 감지하는 센서부(300); 및 상기 토출되는 상기 액체의 특성을 조절하는 제어부(400)를 포함한다.
상기 가압조절부(100)는 전공레귤레이터를 사용할 수 있다. 상기 가압조절부(100)는 상기 제어부(400)로부터 피드백되는 신호에 따라 상기 용액 공급부(200)내 액체(10)의 가압 정도를 조절한다. 상기 가압의 조절은 불활성 기체를 가스 공급관을 통해 흘려주는 유량을 조절함으로써 수행할 수 있다.
상기 가압 조절부(100)로 인해 상기 용액 공급부(200)에서 배출된 상기 액체(10)는 상기 디스펜서(600)로 유입이 된다. 상기 액체(10)는 UV 경화성 점착제일 수 있다.
상기 용액 공급부(200)와 상기 디스펜서(600) 사이에는 상기 액체(10)의 상태 조절 또는 유지를 위한 가열수단(800) 및 진동수단(900)를 구비한 중간 저장부(500)가 위치한다. 상기 가열수단(800) 및 진동수단(900)는 상기 중간 저장부(500)의 어느 위치이든 구비 가능할 수 있다.
상기 진동수단은 초음파 진동수단 또는 공기 진동수단(air vibrator)일 수 있다. 나아가서, 상기 중간 저장부(500)는 상기 액체(10)의 주입과 배출 영역에 배관부(510, 530)를 포함하고 상기 배관부(510, 530)에 가열수단 및 진동수단을 구비하되 상기 제어부(400)와 연결된 것일 수 있다.
상기 센서부(300)는 상기 중간 저장부(500)에 위치하여 상기 액체의 상태를 감지하여, 상기 제어부(400)로 피드백 할 수 있다.
즉, 상기 센서부(300)가 상기 중간 저장부(500) 내에 위치하는 액체의 특성, 예를 들어 압력과 온도를 센싱하고, 상기 제어부(400)로 센싱된 정보를 전송한다. 상기 전송된 상기 액체의 특성에 따라 상기 제어부(400)는 상기 가열수단(800) 및 상기 진동수단(900)에 작동 신호를 보내게 되어, 적정 온도를 유지시키고, 상기 진동수단(900)를 통해 상기 액체(10) 내에 존재할 수 있는 기포들을 제거하고, 상기 가열수단(800) 및 상기 진동수단(900)를 통해 상기 액체의 점도를 일정하게 조절 또는 유지시킬 수 있다. 상기의 과정 이후 상태 변화 결과를 다시 상기 센서부(300)가 측정하고 다시 상기 제어부(400)로 정보를 전송하면 피드백이 지속되어, 상기 액체(10)의 상태는 일정하게 유지시킬 수 있다. 상기 센서부(300)는 유체압력센서 및 온도센서를 포함할 수 있다.
상기 액체(10)의 상태에 따라 피드백이 즉각적으로 제공되어 실제 액체의 온도 확인이 가능할 수 있다. 또한 상기 진동수단(900)를 통해 상기 액체 내의 기포들을 제거함으로써 상기 액체의 토출 시 액체의 균일도를 더욱 향상시킬 수 있다.
상기 액체(10)는 1 내지 10000cp의 점도 범위를 가질 수 있으며, 상기 센서부(300)는 상기 점도 범위에 따라 센싱 결과를 상기 제어부(400)로 전송하고, 전송된 정보에 따라 상기 제어부(400)는 상기 가압조절부(100), 상기 가열수단(800) 및 상기 진동수단(900)를 제어하여 상기 디스펜서(600)의 일정한 토출을 유도할 수 있다.
따라서 상기 디스펜서(600)로 유입되기 전 액체의 특성을 조절하여 상기 디스펜서(600)로 토출 시 액체의 특성이 일정 수준 유지됨으로써 패터닝 또는 도포에 알맞은 액체를 정량 공급할 수 있는 효과가 있다.
상기 액체(10)는 상기 디스펜서(600)로 유입되고 상기 기판(700) 상에 일정 선폭과 두께의 패턴을 형성하도록 상기 디스펜서(600)는 상기 액체(10)를 일정량 토출한다. 상기 기판(700)은 디스플레이 소자들, 예를 들어 액정표시소자 또는 유기전계발광표시소자 등이 형성된 기판일 수 있으며, 상기 액체(10)는 UV 경화성 점착제일 수 있다. 상기 UV 경화성 점착제는 상기 기판의 봉지제일 수 있다.
상기 디스펜서(600) 내부에는 가열부가 위치할 수 있으며, 상기 가열부 또한 상기 제어부(400)와 연결되어 상기 액체(10)의 가열 여부를 피드백할 수 있다. 상기 디스펜서는 ±10% 이내의 오차 범위를 가진 두께로 패턴이 형성되도록 토출량을 유지하는 것일 수 있다.
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구의 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
100; 가압 조절부, 200; 용액 공급부,
300; 센서부, 400; 제어부,
500; 중간 저장부, 600; 디스펜서,
800; 진동수단, 900; 가열부

Claims (7)

  1. 기판 상에 패턴을 형성하는 액체가 저장, 공급되는 용액 공급부;
    상기 용액 공급부 내의 압력을 조절하여 상기 용액 공급부의 액체 배출량을 조절하는 가압조절부;
    기판 상에 패턴을 형성하도록 상기 배출된 액체를 일정량 토출하는 디스펜서;
    상기 용액 공급부와 상기 디스펜서 사이에 위치하여 액체상태를 조절하는 가열수단 및 진동수단을 구비한 중간 저장부;
    상기 중간 저장부에 위치하여 액체의 상태를 감지하는 센서부; 및
    상기 토출되는 상기 액체의 특성을 조절하는 제어부를 포함하며,
    상기 가압조절부는 전공레귤레이터를 구비하고,
    상기 중간 저장부는 액체가 주입되고 배출되는 영역에 배관부를 구비하며, 상기 배관부에 가열수단 및 진동수단을 구비하되 상기 제어부와 연결되는 것을 특징으로 하는 디스플레이 제조용 정량 토출장치.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 센서부는 유체압력센서 및 온도센서를 포함하는 것을 특징으로 하는 디스플레이 제조용 정량 토출장치.
  3. 삭제
  4. 제 1항에 있어서,
    상기 디스펜서 내부에 가열부가 위치하는 것을 특징으로 하는 디스플레이 제조용 정량 토출장치.
  5. 제 1항에 있어서,
    상기 진동수단은 초음파 진동수단 또는 공기 진동수단(air vibrator)인 것을 특징으로 하는 디스플레이 제조용 정량 토출장치.
  6. 제 1항에 있어서,
    상기 액체는 UV 경화성 점착제인 것을 특징으로 하는 디스플레이 제조용 정량 토출장치.
  7. 제 1항에 있어서,
    상기 디스펜서는 ±10% 이내의 오차 범위를 가진 두께로 패턴이 형성되도록 토출량을 유지하는 것을 특징으로 하는 디스플레이 제조용 정량 토출장치.


KR1020160173576A 2016-12-19 2016-12-19 디스플레이 제조용 정량 토출장치 KR101874403B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020160173576A KR101874403B1 (ko) 2016-12-19 2016-12-19 디스플레이 제조용 정량 토출장치

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020160173576A KR101874403B1 (ko) 2016-12-19 2016-12-19 디스플레이 제조용 정량 토출장치

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20180071454A KR20180071454A (ko) 2018-06-28
KR101874403B1 true KR101874403B1 (ko) 2018-07-05

Family

ID=62780402

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020160173576A KR101874403B1 (ko) 2016-12-19 2016-12-19 디스플레이 제조용 정량 토출장치

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR101874403B1 (ko)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102133250B1 (ko) * 2019-02-07 2020-07-13 주식회사 지오테크놀로지 회전식 메뉴 선택기능을 갖는 디스펜서
KR20200097142A (ko) * 2019-02-07 2020-08-18 주식회사 지오테크놀로지 회전식 메뉴 선택기능을 갖는 디스펜서

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102019215778A1 (de) * 2019-10-14 2021-04-15 Robert Bosch Gmbh Verfahren zur Herstellung einer Schutzabdeckung von auf einem Trägersubstrat angeordneten elektronischen Bauelementen und Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2011012010A (ja) * 2009-07-01 2011-01-20 Dainippon Screen Mfg Co Ltd 貼付剤の製造方法および貼付剤製造装置
JP2013237042A (ja) * 2012-05-15 2013-11-28 Tokyo Ohka Kogyo Co Ltd 塗布装置及び塗布方法

Family Cites Families (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN100381213C (zh) 1998-12-28 2008-04-16 武藏工业株式会社 液体定量排出方法及设备

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2011012010A (ja) * 2009-07-01 2011-01-20 Dainippon Screen Mfg Co Ltd 貼付剤の製造方法および貼付剤製造装置
JP2013237042A (ja) * 2012-05-15 2013-11-28 Tokyo Ohka Kogyo Co Ltd 塗布装置及び塗布方法

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102133250B1 (ko) * 2019-02-07 2020-07-13 주식회사 지오테크놀로지 회전식 메뉴 선택기능을 갖는 디스펜서
KR20200097142A (ko) * 2019-02-07 2020-08-18 주식회사 지오테크놀로지 회전식 메뉴 선택기능을 갖는 디스펜서
KR102149095B1 (ko) * 2019-02-07 2020-08-27 주식회사 지오테크놀로지 회전식 메뉴 선택기능을 갖는 디스펜서

Also Published As

Publication number Publication date
KR20180071454A (ko) 2018-06-28

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4643021B2 (ja) フィードバック制御を含む粘性材料分配システム及び方法
KR101874403B1 (ko) 디스플레이 제조용 정량 토출장치
EP1795270B1 (en) Device for discharging fixed quantity of liquid
US7172096B2 (en) Liquid dispensing system
US20160038957A1 (en) Remote bulk feed system for a dispensing system and method of supplying viscous material to a dispensing system
US20130105004A1 (en) Hot melt dispensing system with heated accumulator
CA2923620C (en) Fluid pressure regulation system for fluid-dispensing systems
KR101091606B1 (ko) 기판 코터 장비의 약액 공급 장치 및 그 제어 방법
US8882238B2 (en) Coating device
KR102068004B1 (ko) 액정 공급 장치 및 이를 포함한 액정 디스펜서
KR102191837B1 (ko) 잉크젯 프린터의 압력 조절 장치 및 그 제어방법
KR102292200B1 (ko) 유체 도포 장치 및 이를 이용한 유체 도포 방법
JP6901616B2 (ja) 塗布装置及び塗布方法
JPH0852406A (ja) 塗膜の塗布装置
JP2003010761A (ja) 塗工液の塗布方法及び装置
JP7214403B2 (ja) 静電容量センサ、及び、印刷装置
WO2016084582A1 (ja) インクジェット記録装置
JP7166018B2 (ja) 塗布装置
KR20180062556A (ko) 토출 헤드의 변위 모니터링이 가능한 도포장치 및 그의 제어방법
JPH0536741A (ja) 半導体チツプの樹脂封止装置
KR20220022568A (ko) 기판 처리 장치
JP2007203274A (ja) 塗布方法及び塗布装置
JPH06175730A (ja) 流体吐出量制御装置
JP2016155099A (ja) オーバーフロー型フローコーター、及びオーバーフロー型フローコーターシステム
JP2009195774A (ja) 塗布装置、塗布方法、および光学フィルムの製造方法

Legal Events

Date Code Title Description
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant