KR101865054B1 - 액티브 매트릭스 유기 일렉트로루미네센스 디스플레이의 터치구조 - Google Patents
액티브 매트릭스 유기 일렉트로루미네센스 디스플레이의 터치구조 Download PDFInfo
- Publication number
- KR101865054B1 KR101865054B1 KR1020167018290A KR20167018290A KR101865054B1 KR 101865054 B1 KR101865054 B1 KR 101865054B1 KR 1020167018290 A KR1020167018290 A KR 1020167018290A KR 20167018290 A KR20167018290 A KR 20167018290A KR 101865054 B1 KR101865054 B1 KR 101865054B1
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- thin film
- patterning electrode
- patterning
- cover
- electrode
- Prior art date
Links
- 229920001621 AMOLED Polymers 0.000 title 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims abstract description 68
- 238000000059 patterning Methods 0.000 claims abstract description 66
- 229920005570 flexible polymer Polymers 0.000 claims abstract description 30
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 30
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 28
- 239000011888 foil Substances 0.000 claims abstract description 22
- 238000005401 electroluminescence Methods 0.000 claims abstract description 19
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 claims abstract description 17
- 239000010408 film Substances 0.000 claims abstract description 13
- 239000010410 layer Substances 0.000 claims description 14
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 claims description 9
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 9
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims description 8
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims description 8
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims description 7
- 229920000058 polyacrylate Polymers 0.000 claims description 7
- 239000013039 cover film Substances 0.000 claims description 5
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims description 4
- 238000000623 plasma-assisted chemical vapour deposition Methods 0.000 claims description 4
- 230000000295 complement effect Effects 0.000 claims description 3
- 238000001723 curing Methods 0.000 claims description 3
- 238000007641 inkjet printing Methods 0.000 claims description 3
- 239000002356 single layer Substances 0.000 claims description 2
- 238000003848 UV Light-Curing Methods 0.000 claims 1
- 238000009501 film coating Methods 0.000 claims 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 12
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 6
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 5
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 5
- -1 polyethylene terephthalate Polymers 0.000 description 5
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 description 4
- XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N Zinc monoxide Chemical compound [Zn]=O XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229920000139 polyethylene terephthalate Polymers 0.000 description 4
- 239000005020 polyethylene terephthalate Substances 0.000 description 4
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 4
- AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N indium;oxotin Chemical compound [In].[Sn]=O AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 3
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 3
- 239000004695 Polyether sulfone Substances 0.000 description 2
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 2
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 2
- 238000001755 magnetron sputter deposition Methods 0.000 description 2
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 229920003207 poly(ethylene-2,6-naphthalate) Polymers 0.000 description 2
- 229920000052 poly(p-xylylene) Polymers 0.000 description 2
- 229910021420 polycrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 2
- 229920006393 polyether sulfone Polymers 0.000 description 2
- 239000011112 polyethylene naphthalate Substances 0.000 description 2
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 2
- 229920005591 polysilicon Polymers 0.000 description 2
- 239000011787 zinc oxide Substances 0.000 description 2
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-M Acrylate Chemical compound [O-]C(=O)C=C NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GYHNNYVSQQEPJS-UHFFFAOYSA-N Gallium Chemical compound [Ga] GYHNNYVSQQEPJS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ISWSIDIOOBJBQZ-UHFFFAOYSA-N Phenol Chemical compound OC1=CC=CC=C1 ISWSIDIOOBJBQZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920002396 Polyurea Polymers 0.000 description 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N Titan oxide Chemical compound O=[Ti]=O GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910003481 amorphous carbon Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000000231 atomic layer deposition Methods 0.000 description 1
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 1
- 229910052733 gallium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910021389 graphene Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052738 indium Inorganic materials 0.000 description 1
- APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N indium atom Chemical compound [In] APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000002955 isolation Methods 0.000 description 1
- 238000001459 lithography Methods 0.000 description 1
- 239000000395 magnesium oxide Substances 0.000 description 1
- CPLXHLVBOLITMK-UHFFFAOYSA-N magnesium oxide Inorganic materials [Mg]=O CPLXHLVBOLITMK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- AXZKOIWUVFPNLO-UHFFFAOYSA-N magnesium;oxygen(2-) Chemical compound [O-2].[Mg+2] AXZKOIWUVFPNLO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 1
- RVTZCBVAJQQJTK-UHFFFAOYSA-N oxygen(2-);zirconium(4+) Chemical compound [O-2].[O-2].[Zr+4] RVTZCBVAJQQJTK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920006280 packaging film Polymers 0.000 description 1
- 239000012785 packaging film Substances 0.000 description 1
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 1
- 238000007650 screen-printing Methods 0.000 description 1
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000004528 spin coating Methods 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
- OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N titanium oxide Inorganic materials [Ti]=O OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910001928 zirconium oxide Inorganic materials 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
- G06F—ELECTRIC DIGITAL DATA PROCESSING
- G06F3/00—Input arrangements for transferring data to be processed into a form capable of being handled by the computer; Output arrangements for transferring data from processing unit to output unit, e.g. interface arrangements
- G06F3/01—Input arrangements or combined input and output arrangements for interaction between user and computer
- G06F3/03—Arrangements for converting the position or the displacement of a member into a coded form
- G06F3/041—Digitisers, e.g. for touch screens or touch pads, characterised by the transducing means
- G06F3/044—Digitisers, e.g. for touch screens or touch pads, characterised by the transducing means by capacitive means
- G06F3/0446—Digitisers, e.g. for touch screens or touch pads, characterised by the transducing means by capacitive means using a grid-like structure of electrodes in at least two directions, e.g. using row and column electrodes
-
- G—PHYSICS
- G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
- G06F—ELECTRIC DIGITAL DATA PROCESSING
- G06F3/00—Input arrangements for transferring data to be processed into a form capable of being handled by the computer; Output arrangements for transferring data from processing unit to output unit, e.g. interface arrangements
- G06F3/01—Input arrangements or combined input and output arrangements for interaction between user and computer
- G06F3/03—Arrangements for converting the position or the displacement of a member into a coded form
- G06F3/041—Digitisers, e.g. for touch screens or touch pads, characterised by the transducing means
- G06F3/044—Digitisers, e.g. for touch screens or touch pads, characterised by the transducing means by capacitive means
-
- G—PHYSICS
- G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
- G06F—ELECTRIC DIGITAL DATA PROCESSING
- G06F3/00—Input arrangements for transferring data to be processed into a form capable of being handled by the computer; Output arrangements for transferring data from processing unit to output unit, e.g. interface arrangements
- G06F3/01—Input arrangements or combined input and output arrangements for interaction between user and computer
- G06F3/03—Arrangements for converting the position or the displacement of a member into a coded form
- G06F3/041—Digitisers, e.g. for touch screens or touch pads, characterised by the transducing means
- G06F3/0412—Digitisers structurally integrated in a display
-
- G—PHYSICS
- G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
- G06F—ELECTRIC DIGITAL DATA PROCESSING
- G06F3/00—Input arrangements for transferring data to be processed into a form capable of being handled by the computer; Output arrangements for transferring data from processing unit to output unit, e.g. interface arrangements
- G06F3/01—Input arrangements or combined input and output arrangements for interaction between user and computer
- G06F3/03—Arrangements for converting the position or the displacement of a member into a coded form
- G06F3/041—Digitisers, e.g. for touch screens or touch pads, characterised by the transducing means
- G06F3/044—Digitisers, e.g. for touch screens or touch pads, characterised by the transducing means by capacitive means
- G06F3/0445—Digitisers, e.g. for touch screens or touch pads, characterised by the transducing means by capacitive means using two or more layers of sensing electrodes, e.g. using two layers of electrodes separated by a dielectric layer
-
- H01L27/323—
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K59/00—Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
- H10K59/10—OLED displays
- H10K59/12—Active-matrix OLED [AMOLED] displays
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K59/00—Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
- H10K59/40—OLEDs integrated with touch screens
-
- G—PHYSICS
- G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
- G06F—ELECTRIC DIGITAL DATA PROCESSING
- G06F2203/00—Indexing scheme relating to G06F3/00 - G06F3/048
- G06F2203/041—Indexing scheme relating to G06F3/041 - G06F3/045
- G06F2203/04102—Flexible digitiser, i.e. constructional details for allowing the whole digitising part of a device to be flexed or rolled like a sheet of paper
-
- G—PHYSICS
- G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
- G06F—ELECTRIC DIGITAL DATA PROCESSING
- G06F2203/00—Indexing scheme relating to G06F3/00 - G06F3/048
- G06F2203/041—Indexing scheme relating to G06F3/041 - G06F3/045
- G06F2203/04103—Manufacturing, i.e. details related to manufacturing processes specially suited for touch sensitive devices
-
- G—PHYSICS
- G09—EDUCATION; CRYPTOGRAPHY; DISPLAY; ADVERTISING; SEALS
- G09G—ARRANGEMENTS OR CIRCUITS FOR CONTROL OF INDICATING DEVICES USING STATIC MEANS TO PRESENT VARIABLE INFORMATION
- G09G2300/00—Aspects of the constitution of display devices
- G09G2300/04—Structural and physical details of display devices
- G09G2300/0421—Structural details of the set of electrodes
- G09G2300/0426—Layout of electrodes and connections
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Theoretical Computer Science (AREA)
- Human Computer Interaction (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Electroluminescent Light Sources (AREA)
- Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)
Abstract
본 발명은 액티브 매트릭스 유기 일렉트로루미네센스 디스플레이의 터치 구조를 공개하였다. 이 터치 구조는 디스플레이 기판에 설치되고, 상호 유도되는 발광 구조와 수광 구조를 가지며, 발광 구조는 제1 피복 박막, 제1 패터닝 전극, 및 제2 피복 박막을 더 포함하고, 제1 피복 박막은 디스플레이 기판상에 위치하는 유기 일렉트로루미네센스 장치에 형성되고, 제1 패터닝 전극은 제1 피복박막에 형성되고, 제1 패터닝 전극에는 제2피복박막이 형성되며, 수광 구조는 플렉서블 고분자박(箔)을 더 포함하고, 플렉서블 고분자박에는 제2 패터닝 전극이 성형되고, 제2 피복박막은 플렉서블 고분자박과 접착되며, 제1 패터닝 전극과 제2 패터닝 전극은 대향하여 설치되어, 본 발명은 상호 유도되는 발광 구조와 수광 구조를 설치함으로써 공정수를 훨씬 줄이고, 원가를 낮추며, 플렉스블 터치가 호환가능하게 한다.
Description
본 발명은 디스플레이 패널과 터치 기술분야에 관한 것으로 더욱 상세하게는 하이브리드(hybrid) 터치구조인 액티브 매트릭스 유기 일렉트로루미네센스 디스플레이(AMOLED)의 터치구조에 관한것이다.
터치 구조는 이미 중소형 패널의 필수 구성으로서 시장성이 대단하다. 패놀 제조업체는 상품의 부가가치를 높이기 위해 터치기술을 자신의 손에 넣어두고 인서트형 터치기술을 개발하고 있는데 이는 주로 인셀(in-cell) 과 온셀(on-cell)를 포함하는데 인셀기술은 터치 패널 기능을 액정 화소 중에 인서트시키는 방법이고, 온셀기술은 터치 패널 기능을 컬러 필터 기판과 편광판 사이에 인서트하는 방법이다. 액티브 매트릭스 유기 일렉트로루미네센스 디스플레이(AMOLED)는 박막 패키지가 있음으로 하여 온셀기술을 적용하기가 어려우며, 박막 패키지 위에 통상의 터치 구조를 복수차 포토리소그래핑해야 하므로 박막 패키지하의 OLED 장치에 대한 영향이 아주 현저하다. OLED 장치와 액정 표시 장치는 크게 다르므로, 인셀기술은 OLED 장치에서 실현하기 힘들다. 그러므로, 플렉서블 표시가 호환가능한 액티브 매트릭스 유기 일렉트로루미네센스 디스플레이(AMOLED)의 터치 방식을 제공하여 박막 패키지에 영향 주는 것을 감소시킴이 필요하다.
종래기술의 문제점을 해결하고 다수의 포토리소그래핑의 박막 패키지에 대한 영향을 저감시키고 공정 난이도를 저감시키기 위하여 본 발명은 액티브 매트릭스 유기 일렉트로루미네센스 디스플레이를 제공한다.
구체적인 기술방안은 아래와 같다.
디스플레이 기판(100)에 설치되는 액티브 매트릭스 유기 일렉트로루미네센스 디스플레이의 터치 구조에 있어서,
상기 터치 구조는 상호 유도되는 발광 구조(10)와 수광 구조(20)를 가지며, 상기 발광 구조(10)는 제1 피복 박막(104), 제1 패터닝 전극(105), 및 제2 피복 박막(106)을 더 포함하고, 상기 제1 피복 박막(104)은 디스플레이 기판(101)상에 위치하는 유기 일렉트로루미네센스 장치(103)에 형성되고, 상기 제1 패터닝 전극(105)은 상기 제1 피복박막(104)에 형성되고, 상기 제1 패터닝 전극(105)에는 제2피복박막(106)이 형성되며, 상기 수광 구조(20)는 플렉서블 고분자박(箔)(109)을 더 포함하고, 상기 플렉서블 고분자박(109)에는 제2 패터닝 전극(108)이 성형되고, 상기 제2 피복박막(106)은 상기 플렉서블 고분자박(109)과 접착되며, 상기 제1 패터닝 전극(105)과 상기 제2 패터닝 전극(108)은 대향하여 설치되는 것을 특징으로 한다.
상기 발광구조(1)중의 제1 패터닝 전극(105)과 상기 수광 구조(20)중의 제2패터닝 전극(108)는 모두 띠 형상 패턴이며, 상기 제1 패터닝 전극(105)과 제2 패터닝 전극(108)은 위치가 중첩되는 상보 패턴을 이루는 것을 특징으로 할 수있다.
또한, 상기 제1 패터닝 전극(105) 중의 띠 형상 패턴과 상기 제2 패터닝 전극(108) 중의 띠 형상 패턴은 서로 수직되게 설치된 것을 특징으로 할 수 있다.
상기 제1피복 박막(104)는 다층 박막으로 구성되고, 그중에는 적어도 한 층의 무기 박막을 포함하는 것을 특징으로 할 수 있다.
더욱 바람직하게는, 상기 제1 피복박막(104)는 한층 또는 다층 유기 박막을 더 포함하는 것을 특징으로 할 수 있다.
상기 제1 패터닝 전극(105)와 제2 패터닝 전극(108)의 막 두께는 5~1000nm인 것을 특징으로 할 수 있다.
상기 제1 피복박막과 제2 피복박막의 두께는 50~5000nm인 것을 특징으로 할 수 있다.
상기 디스플레이 기판(101)은 유리 기판 또는 플렉서블 고분자 기판인 것을 특징으로 할 수있다.
본 발명이 가져오는 유익한 효과는 아래와 같다.
(1) 본 발명은 제1 피복 박막과 플렉서블 고분자 박 위에 각각 제1 패터닝 전극과 제2 패터닝 전극을 형성함으로써 원가가 낮은 나노 은 또는 그래핀으로 제조되므로, 원가를 더욱 낮출 수 있고 동시에 플레서블 터치를 호환 가능케 한다.
(2) 본 발명의 수광 구조에 따라 유연한 폴리머 채팅 보에 형성하고, 그 재료는 폴리에틸렌 테레프탈레이트, 폴리에틸렌 나프탈레이트, 폴리 에테르 설폰, 폴리이미드, 폴리 파라자일렌 등이 될 수 있으며 여기에 한하지 않는다. 폴리머 박 위에 용량식 터치 센서의 제2 패터닝 전극을 형성하고, 제2 패터닝 전극의 재료 형성방식 및 선택 범위는 제1 패터닝 전극과 같으며, 제2 패터닝 전극은 직접 플렉서블 폴리머 박 위에 형성되고 장치 위에 형성되는 것이 아니기에 제조 공정 난이도는 크게 떨어진다.
더욱 명확히 본 발명 실시예 중의 기술방안을 설명하기 위해 다음 실시 예 설명 중 필요한 도면에 대해 간단히 소개하기로 한다. 명확히 해야 할 점은, 아래의 설명 중 도면은 단지 본 발명의 여러 실시 예이며, 당업자에게 있어서 창조적 노력을 들이지 않는 전제하에 이들의 도면에 따라 다른 도면을 얻을 수 있다.
도 1은 본 발명 기술의 액티브 매트릭스 유기 일렉트로루미네센스 디스플레이 터치구성 단면도이다;
도 2는 본 발명의 하나의 실시 예에 따른 AMOLED 터치 구성 단면도이다.
도 1은 본 발명 기술의 액티브 매트릭스 유기 일렉트로루미네센스 디스플레이 터치구성 단면도이다;
도 2는 본 발명의 하나의 실시 예에 따른 AMOLED 터치 구성 단면도이다.
본 발명의 목적 청구항과 장점을 더욱 알게 해 다음 그림을 결합하는 것을 본 발명실시 예에 더욱 상세히 묘사한다.
도1에 도시한 바와 같이, 디스플레이 기판(100)에 설치되는 액티브 매트릭스 유기 일렉트로루미네센스 디스플레이의 터치 구조에 있어서, 상기 터치 구조는 상호 유도되는 발광 구조(10)와 수광 구조(20)를 가지며, 상기 발광 구조(10)는 제1 피복 박막(104), 제1 패터닝 전극(105), 및 제2 피복 박막(106)을 더 포함하고, 상기 제1 피복 박막(104)은 디스플레이 기판(101)상에 위치하는 유기 일렉트로루미네센스 장치(103)에 형성되고, 상기 제1 패터닝 전극(105)은 상기 제1 피복박막(104)에 형성되고, 상기 제1 패터닝 전극(105)에는 제2 피복박막(106)이 형성되며, 상기 수광 구조(20)는 플렉서블 고분자박(箔)(109)을 더 포함하고, 상기 플렉서블 고분자박(109)에는 제2 패터닝 전극(108)이 성형되고, 상기 제2 피복박막(106)은 상기 플렉서블 고분자박(109)과 접착제 (107) 접착되며, 상기 제1 패터닝 전극(105)과 상기 제2 패터닝 전극(108)은 대향하여 설치되는 것을 특징으로 하는 액티브 매트릭스 유기 일렉트로루미네센스 디스플레이의 터치구조이다.
구체적으로, 상기 터치 구조체의 제조는 다음 공정을 참조하여 설명한다.
(1) 터치 구조 발광 구조 10을 제조
A. 표시 기판 (101)을 선택하고, 디스플레이 기판 (101)은 종래의 글래스 기판이 될 수 있고, 가요성 중합체일 수도있다.
B. 디스플레이기판 (101)에는 박막 트랜지스터(TFT)를 형성 어레이(102)를 형성하는데 이 기술은 당업자에게 공지된 산업의 기술이다. 이 기술은 저온 폴리 실리콘 기술(LTPS), 인듐 갈륨 및 산화 아연 (IGZO) 또는 유기 박막 트랜지스터(OTFT) 일 수있는데 각 화소를 발광 제어한다.
C. 박막 트랜지스터 (TFT) 어레이 (102)에서 유기 전계 발광 소자 (OLED) (103)을 형성한다. 박막 트랜지스터 (TFT) 어레이 (102) 및 유기 전계 발광 소자 (OLED)(103)는 통상적으로 필드 방법을 사용하는 배향 될 수 있고, 이에 한정되지 않는다
D. 유기 전계 발광 소자(OLED)(103)에, 하나 이상의 제1 피복 박막 (104)을 형성하여 물 중 산소 격리 역할을 하고, 제1 피복 박막 (104)은 적어도 하나의 층 무기 박막을 포함하고 그 재료는, 알루미나, 실리콘 산화물, 실리콘 질화물, 티타늄 산화물, 지르코늄 산화물, 비정질 탄소, 산화 마그네슘 중의 하나 이상의 혼합물일 수 있으나 여기에 제한되지 않으며, 형성 방식은 원자층 증착, 스퍼터링 촬영, 화학 증착법 등이 될 수 있지만, 이에 한정되지 않으며, 상기 제1 피복 박막(104)는 하나 이상의 유기 박막 재료가 있을 수 있으며, 그 재료는 폴리 아크릴레이트, 폴리 우레아, 폴리이미드, 파릴렌 등이 될 수 있으나 여기에 한정되지 않고 형성 방법 유기 화학 기상 증착, 잉크젯 프린팅, 플래시 증발, 유기 기상 증착법, 스핀 코팅을 포함할 수 있되 여기에 한하지 않는다.
E. 밀봉 박막 (104) 상에 용량성 터치 센서의 제1 패터닝 전극(105)를 형성하고, 그 재료는 투명 도전막 재료일 수 있지만, 인듐 주석 산화물, 알루미늄 도핑 된 아연 산화물, 불소가 도핑된 아연, 은 나노 와이어, 탄소 나노 튜브, 그라핀 중의 하나 이상일 수 있으나 여기에 한정되지 않으며, 패터닝 방식은 포토 리소그래피, 잉크젯 인쇄, 메탈 마스크, 스크린 인쇄 등일 수 있으나 이에 한정되지 않으며, 막 두께는 재료에 따라 5-1000nm 사이일 수 있다.
F. 제2 피복 박막 (106)이 제1 전극 패턴 (105)에 형성되며, 그 재료 및 형성 방법은 제1 피복 박막 (104)과 같으며, 제1 피복 박막 제2 피복 박막의 두께는 50-5000nm이며 이에 의해 터치 구조 중의 발광 구조(10)를 제조한다.
(2) 상기 터치 구조 수용 구조를 제조 20
109는 가요 성 중합체 박막이며 그 재료는 폴리에틸렌 테레프탈레이트, 폴리에틸렌 나프탈레이트, 폴리에틸렌 테레프탈레이트, 폴리 에테르 술폰, 폴리이미드, 파릴렌이 될 수 있지만, 이에 한정되지 않으며 가요성 중합체 박막 (109) 위에 용량성 터치 센서의 제2 패터닝 전극(108)를 형성하며, 바람직하게는, 제2 패터닝 전극 (108) 중의 띠 형상 패턴은 제1 전극 (105) 중의 띠 형상 패턴과 서로 수직 설치되며, 그 재료와 형성방식 및 선택범위는 제1 패터닝 전극(105)와 같으며, 플렉서블 고분자 박(109) 위에 직접적으로 형성되고 장치 위에 직접 형성되지 않기 때문에 공정의 어려움을 크게 줄일 수 있다
마지막으로, 접착제(107)로 발광구조(10)중의 제2 피복 박막(106)의 일면과 수광 구조(20) 중의 제2 패터닝 전극 (108)의 일면을 접착시켜 제2 패터닝 전극(108) 및 제1 패터닝 전극(105)의 위치를 중첩시켜 터치 센서인 상보형 패턴이 될 수 있다.
실시예 1
도 2에 도시한 바와 같이, 표시 기판 (101)은 가요성 중합체 기판이고, 상기 재료는 폴리이미드이다. 가요성 중합체 기판 상에 저온 폴리실리콘 박막 트랜지스터 어레이를 형성하는 유기 전계 발광 소자 (103)는 상부 전극에 대응하여 배열이 형성된다. 포장 필름 (104)의 처음 두 쌍의 플라즈마 강화 화학 기상 증착에 의해 실리콘 질화물이 잉크젯 인쇄 폴리아크릴레이트에 의해 수득 상기 실리콘 질화막과 교대로 형성된 아크릴레이트 조성물 프린트 - 자외선 경화 공정이 형성된다. 스트립의 형태의 제1 피복 박막(104) 상에 형성된 터치 센서의 제1 전극 패턴(105)은 금속 마스크를 사용하여 25nm의 두께로 마그네트론 스퍼터링에 의해 제조된 산화 인듐 주석, 인 패턴을 형성한다. 상기 제1 전극(105), 상에 형성된 플라즈마 강화 화학 기상 증착에 의해 실리콘 질화물을 얻기 위해 상기 제2 피복 박막 (106)에 폴리 아크릴레이트의 두 쌍의 다른 조성물에 의해 형성되는 실리콘 질화막을 캡슐화 패터닝 잉크젯 인쇄 - 형성 자외선 경화 방법으로 형성하며. 디스플레이 즉 발광 구조 (10)의 제1 부분 위에 형성한다. 유연한 폴리머 포일의 표시, 즉, 가요성 중합체 박막(109) 및 폴리 (에틸렌 테레 프탈레이트) 인 플렉시블 폴리머 포일 (109)로 이루어지는 제2 패터닝 전극 (108)에 의해 수광 구조(20)를 수광하는 두 번째 부분, 온칩 인듐 주석 산화물을 30㎚의 두께로 리소그래피 용 그래픽 방식으로 이루어지는 제2 패터닝 전극 (108)을 형성하기 위해 마그네트론 스퍼터링 법에 플렉서블 고분자 박(109)에 형성한다. 마지막으로, 접착제(107)로 발광구조(10)중의 제2 피복 박막(106)의 일면과 수광 구조(20) 중의 제1 패터닝 전극 (108)의 일면을 접착시켜 제2 패터닝 전극(108) 및 제1 패터닝 전극(105)의 위치를 대향시켜 접착제(107)로 발광구조(10)과 수광 구조(20)를 붙인다.
본 발명의 위의 실시예의 번호는 설명을 위한 것이지 좋고 나쁨을 가리기 위한 것이 아니다.
위의 내용은 본 발명의 실시예들을 설명하기 위한 것일 뿐 본 발명을 제한하기 위한 것이 아니며 무릇 본 발명의 사상 및 본 발명의 원리 내에서의 수정, 동등한 치환 및 개선은 본 발명의 범위 내에 속하게 된다.
10: 발광구조; 101: 디스플레이 패널 기판; 102: 박막 트랜지스터 어레이; 103: 유기 전계 발광 장치; 104: 제1 구현 필름; 105: 제1 패턴 전극; 106: 제2 피복 박막; 107: 접착제; 108: 제2 패터닝 전극; 109: 고분자 박; 20: 수광 구조
Claims (11)
- 디스플레이 기판(100)에 설치되는 액티브 매트릭스 유기 일렉트로루미네센스 디스플레이의 터치구조에 있어서,
상기 터치 구조는 상호 유도되는 발광 구조(10)와 수광 구조(20)를 가지며, 상기 발광 구조(10)는 제1 피복 박막(104), 제1 패터닝 전극(105), 및 제2 피복 박막(106)을 더 포함하고, 상기 제1 피복 박막(104)은 디스플레이 기판(101)상에 위치하는 유기 일렉트로루미네센스 장치(103)에 형성되고, 상기 제1 패터닝 전극(105)은 상기 제1 피복박막(104)에 형성되고, 상기 제1 패터닝 전극(105)에는 제2 피복박막(106)이 형성되며, 상기 수광 구조(20)는 플렉서블 고분자박(箔)(109)을 더 포함하고, 상기 플렉서블 고분자박(109)에는 제2 패터닝 전극(108)이 성형되고, 상기 제2 패터닝 전극(108)이 형성된 상기 플렉서블 고분자박(109)의 표면을 상기 제2 피복박막(106)에 접착함으로써 상기 수광 구조(20)와 상기 발광 구조(10)가 조립되어 상기 터치구조를 형성하되, 상기 제1 패터닝 전극(105)과 상기 제2 피복박막(106)은 상기 조립된 터치구조 내에서 서로 가로질러 배치되고,
상기 제1 피복박막(104)은 적어도 한 층의 무기 박막을 포함하는 다층 박막을 포함하고, 상기 제2 피복박막(106)은 적어도 한 층의 무기 박막을 포함하는 다층 박막을 포함하는 것을 특징으로 하는 액티브 매트릭스 유기 일렉트로루미네센스 디스플레이의 터치구조. - 제1항에 있어서,
상기 발광구조(10) 중의 제1 패터닝 전극(105)과 상기 수광 구조(20)중의 제2패터닝 전극(108)는 모두 띠 형상 패턴이며, 상기 제1 패터닝 전극(105)과 제2 패터닝 전극(108)은 위치가 중첩되는 상보 패턴을 이루는 것을 특징으로 하는 액티브 매트릭스 유기 일렉트로루미네센스 디스플레이의 터치구조. - 제2항에 있어서,
상기 제1 패터닝 전극(105)중의 띠 형상 패턴과 상기 제2 패터닝 전극(108)중의 띠 형상 패턴은 서로 수직되게 설치된 것을 특징으로 하는 액티브 매트릭스 유기 일렉트로루미네센스 디스플레이의 터치구조. - 삭제
- 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 제1 피복박막(104)는 한층 또는 다층 유기 박막을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 액티브 매트릭스 유기 일렉트로루미네센스 디스플레이의 터치구조. - 제5항에 있어서,
상기 제1 패터닝 전극(105)와 제2 패터닝 전극(108)의 막 두께는 5~1000nm인 것을 특징으로 하는 액티브 매트릭스 유기 일렉트로루미네센스 디스플레이의 터치구조. - 제6항에 있어서,
상기 제1 피복박막(104)과 제2 피복박막(106)의 두께는 50~5000nm인 것을 특징으로 하는 액티브 매트릭스 유기 일렉트로루미네센스 디스플레이의 터치구조. - 제1항에 있어서,
상기 디스플레이 기판(101)은 유리 기판 또는 플렉서블 고분자 기판인 것을 특징으로 하는 액티브 매트릭스 유기 일렉트로루미네센스 디스플레이의 터치구조. - 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 제2 피복박막(106)은 교대로 형성된 두 쌍의 폴리아크릴레이트 층과 실리콘 질화물 층을 포함하되, 상기 실리콘 질화물 층은 플라즈마 강화 화학 기상 증착으로 제조되고 상기 폴리아크릴레이트 층은 잉크젯 인쇄 후 자외선 경화 공정으로 제조되는 것을 특징으로 하는 액티브 매트릭스 유기 일렉트로루미네센스 디스플레이의 터치구조. - 디스플레이 기판(100)에 설치되는 액티브 매트릭스 유기 일렉트로루미네센스 디스플레이의 터치구조를 제조하는 방법에 있어서,
디스플레이 기판(101) 상에 위치하는 유기 일렉트로루미네센스 장치(103)에 제1 피복박막(104)를 형성하는 단계; 상기 제1 피복박막(104)에 제1 패터닝 전극(105)을 형성하는 단계; 및 상기 제1 패터닝 전극(105)에 제2 피복박막(106)를 형성하는 단계를 포함하는, 발광 구조(10)를 제조하는 단계로서, 상기 제1 피복박막(104)은 적어도 한 층의 무기 박막을 포함하는 다층 박막에 의해 형성되고, 상기 제2 피복박막(106)은 적어도 한 층의 무기 박막을 포함하는 다층 박막에 의해 형성되는, 상기 발광 구조를 제조하는 단계;
플렉서블 고분자박(109)에 제2 패터닝 전극(108)를 형성하는 단계를 포함하는, 수광 구조(20)를 제조하는 단계; 및
상기 제2 패터닝 전극(108)이 형성된 상기 플렉서블 고분자박(109)의 표면을 상기 제2 피복박막(106)에 접착하는 단계를 포함하되 상기 제1 패터닝 전극(105)과 상기 제2 피복박막(106)은 상기 조립된 터치구조 내에서 서로 가로질러 배치되는, 상기 터치구조를 형성하도록 수광 구조(20)와 발광 구조(10)를 함께 조립하는 단계
를 포함하는 것을 특징으로 하는, 액티브 매트릭스 유기 일렉트로루미네센스 디스플레이의 터치구조를 제조하는 방법. - 제10항에서,
상기 제2 피복박막(106)은 두 쌍의 폴리아크릴레이트 층과 실리콘 질화물 층을 교대로 형성함으로써 제조되되, 상기 실리콘 질화물 층은 플라즈마 강화 화학 기상 증착으로 제조되고 상기 폴리아크릴레이트 층은 잉크젯 인쇄 후 자외선 경화 공정으로 제조되는 것을 특징으로 하는, 액티브 매트릭스 유기 일렉트로루미네센스 디스플레이의 터치구조를 제조하는 방법.
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201320801754.8U CN203689474U (zh) | 2013-12-09 | 2013-12-09 | 一种有源矩阵有机发光显示屏的触控结构 |
CN201320801754.8 | 2013-12-09 | ||
PCT/CN2014/093359 WO2015085900A1 (zh) | 2013-12-09 | 2014-12-09 | 一种有源矩阵有机电致发光显示屏的触控结构 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR20160096164A KR20160096164A (ko) | 2016-08-12 |
KR101865054B1 true KR101865054B1 (ko) | 2018-06-08 |
Family
ID=51011351
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020167018290A KR101865054B1 (ko) | 2013-12-09 | 2014-12-09 | 액티브 매트릭스 유기 일렉트로루미네센스 디스플레이의 터치구조 |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US10185422B2 (ko) |
EP (1) | EP3104260B1 (ko) |
JP (1) | JP6286049B2 (ko) |
KR (1) | KR101865054B1 (ko) |
CN (1) | CN203689474U (ko) |
WO (1) | WO2015085900A1 (ko) |
Families Citing this family (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN203689474U (zh) | 2013-12-09 | 2014-07-02 | 昆山工研院新型平板显示技术中心有限公司 | 一种有源矩阵有机发光显示屏的触控结构 |
CN104157674A (zh) * | 2014-08-05 | 2014-11-19 | 京东方科技集团股份有限公司 | 具触摸功能的有机发光显示器件及其制作方法、显示装置 |
CN105654858B (zh) * | 2016-03-22 | 2019-01-25 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 双面显示器及其tft阵列基板、阵列基板制作方法 |
KR102604282B1 (ko) * | 2016-05-23 | 2023-11-21 | 삼성디스플레이 주식회사 | 표시장치 |
KR101926526B1 (ko) | 2016-06-30 | 2018-12-10 | 엘지디스플레이 주식회사 | 유기 발광 표시 장치 및 그 제조 방법 |
JP6799955B2 (ja) * | 2016-07-12 | 2020-12-16 | 株式会社ジャパンディスプレイ | 表示装置 |
US10585541B2 (en) * | 2016-10-28 | 2020-03-10 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Display |
CN106450030A (zh) * | 2016-11-07 | 2017-02-22 | 华南理工大学 | 一种柔性半导体薄膜电子器件的封装结构及封装方法 |
CN107092399B (zh) | 2017-05-12 | 2019-09-13 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种oled阵列基板及其制作方法、触控显示装置 |
KR102353699B1 (ko) * | 2017-06-23 | 2022-01-19 | 엘지디스플레이 주식회사 | 터치 스크린 일체형 표시장치 |
JP7458783B2 (ja) | 2017-07-06 | 2024-04-01 | Jsr株式会社 | 発光装置及び有機el装置、並びにこれらの製造方法 |
US10528168B2 (en) * | 2017-12-14 | 2020-01-07 | Wuhan China Star Optoelectronics Semiconductor Display Technology Co., Ltd. | OLED touch display panel and manufacturing method thereof |
KR102546769B1 (ko) * | 2018-06-08 | 2023-06-22 | 삼성디스플레이 주식회사 | 터치 센서 및 표시 장치 |
CN109213372B (zh) * | 2018-08-17 | 2022-02-25 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种触控面板及其制备方法、触控装置 |
KR102625201B1 (ko) * | 2018-09-11 | 2024-01-15 | 주식회사 엘지화학 | 유기 발광 소자용 봉지재 잉크 평가 방법 |
CN110600504A (zh) * | 2019-08-16 | 2019-12-20 | 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 | 触控面板及其制作方法 |
US11976002B2 (en) * | 2021-01-05 | 2024-05-07 | Applied Materials, Inc. | Methods for encapsulating silver mirrors on optical structures |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20100315353A1 (en) * | 2009-06-12 | 2010-12-16 | Au Optronics Corp. | Flexible Touch Display Apparatus |
JP2011023558A (ja) * | 2009-07-16 | 2011-02-03 | Sharp Corp | 有機el表示装置 |
WO2013125191A1 (ja) * | 2012-02-24 | 2013-08-29 | パナソニック株式会社 | 入力装置 |
Family Cites Families (18)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4104489B2 (ja) | 2002-05-17 | 2008-06-18 | 東芝松下ディスプレイテクノロジー株式会社 | 表示装置及びその製造方法 |
JP5103944B2 (ja) | 2007-03-02 | 2012-12-19 | セイコーエプソン株式会社 | 入力機能付有機エレクトロルミネッセンス装置、及び電子機器 |
KR100873080B1 (ko) | 2007-05-10 | 2008-12-09 | 삼성모바일디스플레이주식회사 | 유기 전계 발광표시장치 |
KR101634791B1 (ko) | 2008-11-28 | 2016-06-30 | 삼성디스플레이 주식회사 | 접촉 감지 기능이 있는 유기 발광 표시 장치 |
CN101894856B (zh) | 2009-05-22 | 2013-11-06 | 上海天马微电子有限公司 | 一种有机发光二极管显示屏和触控检测单元 |
US20110012845A1 (en) * | 2009-07-20 | 2011-01-20 | Rothkopf Fletcher R | Touch sensor structures for displays |
JP5509708B2 (ja) | 2009-07-24 | 2014-06-04 | セイコーエプソン株式会社 | 電気光学装置および電子機器 |
JP2011100357A (ja) | 2009-11-06 | 2011-05-19 | Hosiden Corp | タッチパネル及びタッチパネルの製造方法 |
US20110279398A1 (en) * | 2010-05-12 | 2011-11-17 | Harald Philipp | Touch screen electrode enhancements |
KR101295533B1 (ko) * | 2010-11-22 | 2013-08-12 | 엘지디스플레이 주식회사 | 액정표시장치 및 그 제조방법 |
KR101780493B1 (ko) * | 2011-02-28 | 2017-09-22 | 엘지디스플레이 주식회사 | 터치 스크린을 포함하는 액정 표시장치 |
US9678586B2 (en) | 2011-06-20 | 2017-06-13 | Synaptics Incorporated | Touch and display device having an integrated sensor controller |
KR101908501B1 (ko) * | 2011-12-07 | 2018-10-17 | 엘지디스플레이 주식회사 | 터치 스크린 일체형 유기 발광 표시 장치 및 이의 제조 방법 |
KR101971147B1 (ko) | 2012-04-09 | 2019-04-23 | 삼성디스플레이 주식회사 | 터치 센서를 포함하는 표시 장치 |
JP5784088B2 (ja) * | 2012-11-30 | 2015-09-24 | エルジー ディスプレイ カンパニー リミテッド | 有機発光ダイオード表示装置及びその製造方法 |
CN103346267A (zh) | 2013-06-24 | 2013-10-09 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 有源矩阵有机电致发光显示器件 |
KR102108362B1 (ko) * | 2013-10-25 | 2020-05-11 | 삼성디스플레이 주식회사 | 플렉서블 디스플레이 장치 |
CN203689474U (zh) | 2013-12-09 | 2014-07-02 | 昆山工研院新型平板显示技术中心有限公司 | 一种有源矩阵有机发光显示屏的触控结构 |
-
2013
- 2013-12-09 CN CN201320801754.8U patent/CN203689474U/zh not_active Expired - Lifetime
-
2014
- 2014-12-09 EP EP14870106.3A patent/EP3104260B1/en active Active
- 2014-12-09 JP JP2016537433A patent/JP6286049B2/ja active Active
- 2014-12-09 US US15/102,719 patent/US10185422B2/en active Active
- 2014-12-09 KR KR1020167018290A patent/KR101865054B1/ko active IP Right Grant
- 2014-12-09 WO PCT/CN2014/093359 patent/WO2015085900A1/zh active Application Filing
-
2018
- 2018-09-20 US US16/136,259 patent/US10627942B2/en active Active
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20100315353A1 (en) * | 2009-06-12 | 2010-12-16 | Au Optronics Corp. | Flexible Touch Display Apparatus |
JP2011023558A (ja) * | 2009-07-16 | 2011-02-03 | Sharp Corp | 有機el表示装置 |
WO2013125191A1 (ja) * | 2012-02-24 | 2013-08-29 | パナソニック株式会社 | 入力装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP6286049B2 (ja) | 2018-02-28 |
US10627942B2 (en) | 2020-04-21 |
EP3104260A4 (en) | 2017-03-08 |
CN203689474U (zh) | 2014-07-02 |
KR20160096164A (ko) | 2016-08-12 |
US20190018531A1 (en) | 2019-01-17 |
US20160306479A1 (en) | 2016-10-20 |
WO2015085900A1 (zh) | 2015-06-18 |
EP3104260B1 (en) | 2020-01-08 |
US10185422B2 (en) | 2019-01-22 |
EP3104260A1 (en) | 2016-12-14 |
JP2017500647A (ja) | 2017-01-05 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR101865054B1 (ko) | 액티브 매트릭스 유기 일렉트로루미네센스 디스플레이의 터치구조 | |
TWI540487B (zh) | A touch display device and its preparation method | |
TWI771831B (zh) | 資料處理裝置 | |
US9582124B2 (en) | Touch screen panel, flat panel display apparatus integrated with the touch screen panel, and method of manufacturing the same | |
TWI617063B (zh) | 顯示裝置 | |
US20160056224A1 (en) | Light-emitting device and method for fabricating the same | |
TW201526225A (zh) | 一種觸控顯示裝置及其製備方法 | |
JP2016085972A (ja) | 発光装置及び電子機器 | |
KR20160123437A (ko) | 플렉서블 디스플레이 장치 및 이의 제조 방법 | |
US9343519B2 (en) | Method of manufacturing organic light emitting display device | |
KR20130092591A (ko) | 박막 트랜지스터 및 그의 제조 방법, 박막 트랜지스터를 구비하는 화상 표시 장치 | |
JP2013196919A (ja) | 有機el表示装置、有機el表示装置の製造方法およびカラーフィルタ基板 | |
CN106249936B (zh) | 平板显示设备 | |
CN101587939A (zh) | 有机薄膜晶体管与像素结构及其制作方法以及显示面板 | |
KR20160124274A (ko) | 유기발광표시장치 및 그 제조방법 | |
KR20140033724A (ko) | 유기 발광 표시 장치 및 그의 제조 방법 | |
KR20170050848A (ko) | 유기발광 표시장치 | |
JP6736385B2 (ja) | 表示装置 | |
KR102132444B1 (ko) | 유기발광다이오드 표시장치의 제조방법 | |
KR102288349B1 (ko) | 정전 척 시스템과, 이를 이용한 유기 발광 디스플레이 장치의 제조 방법 | |
KR20140091403A (ko) | 전극구조 및 그 제조방법, 전극구조를 구비한 표시소자, 그 제조방법 | |
JP2008130312A (ja) | エレクトロルミネッセンス素子パネルの製造方法及びエレクトロルミネッセンス素子パネル用封止基板 | |
KR100976978B1 (ko) | 평판표시장치 및 그 제조방법 | |
WO2020261326A1 (ja) | 有機el表示装置 | |
KR102109661B1 (ko) | 유기발광다이오드 표시장치의 제조방법 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A201 | Request for examination | ||
E902 | Notification of reason for refusal | ||
AMND | Amendment | ||
AMND | Amendment | ||
X701 | Decision to grant (after re-examination) |