KR101863580B1 - 다중형 스크라이빙 수단이 구비된 기판절단 시스템 - Google Patents

Abstract

본 발명은, 다중형 스크라이빙 수단이 구비된 기판절단 시스템으로서, 테이블(100)에 고정되는 한쌍의 제1스테이지리니어가이드(210)(210'); 상기 제1스테이지리니어가이드(210)(210')를 따라 이송 제어되는 것으로서, 글라스기판(G)의 하부면을 지지하는 스테이지바아(220a)가 설치되는 다수의 가변스테이지(220)(220')(220"); 상기 테이블(100) 상에 상기 제1스테이지리니어가이드(210)(210')에 대하여 수직방향으로 고정되는 한쌍의 제2스테이지리니어가이드(230)(230'); 상기 제2스테이지리니어가이드(230)(230')를 따라 이송 제어되는 것으로서, 상기 스테이지바아(220a)에 안착된 상기 글라스기판(G)의 하부측에 위치되는 하부이송리니어가이드(240); 상기 하부이송리니어가이드(240)에 설치되는 것으로서 상기 글라스기판(G)의 하부측에 스크라이빙라인을 형성하기 위한 하부스크라이버(250); 상기 제2스테이지리니어가이드(230)(230') 외측의 상기 테이블(100)에 고정된 한쌍의 제3스테이지리니어가이드(260)(260'); 상기 제3스테이지리니어가이드(260)(260')를 따라 이송 제어되는 것으로서, 상기 스테이지바아(220a)에 안착된 상기 글라스기판(G)의 상부측에 위치되는 상부이송리니어가이드(270); 및 상기 상부이송리니어가이드(270)에 설치되는 것으로서 상기 글라스기판(G)의 상부측에 스크라이빙라인을 형성하기 위한 상부스크라이버(280);를 포함하며, 상기 하부스크라이버(250) 및 상기 상부스크라이버(280) 각각에는, 상호 대향하는 한 쌍의 지지구(530)와, 상기 지지구(530) 사이에서 상호 대향하도록 구비되는 복수의 외곽측 맨드릴(510)과, 복수의 상기 외곽측 맨드릴(510) 사이에 구비되며 토오크에 기반하여 상기 지지구(530)를 회전시키는 중심측 맨드릴(520)과, 상기 외곽측 맨드릴(510)과 상기 중심측 맨드릴(520)과 상에는 상기 스크라이빙라인을 형성하기 위한 스크라이빙 수단(540)이 구비되는 제1 파츠(501)을 포함하는 스크라이빙 모듈(500)이 구비되며, 상기 스크라이빙 수단(540)은 상기 외곽측 맨드릴(510)과 상기 중심측 맨드릴(520) 상에 복수로 상호 이격되어 구비되는 다중형 스크라이빙 수단이 구비된 기판절단 시스템을 제공한다.
따라서, 글라스 기판의 양측면에 스크라이빙라인을 동시에 형성하고, 글라스 기판에 충격을 주어 다수의 작은 패널로 절단하며, 글라스 기판 절단과정에서 발생하는 파편, 분진 등의 잔여물을 회수하고, 완성된 패널을 외부로 배출시키는 모든 과정을 하나의 장치에서 수행할 수 있도록하는 기판 절단 시스템을 구현할 수 있음으로 하여 설치공간을 줄이고, 설치비용을 절감하는 것이 가능하다.

Description

다중형 스크라이빙 수단이 구비된 기판절단 시스템 {Board cutting system}

본 발명은 다중형 스크라이빙 수단이 구비된 기판 절단 시스템에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 스크라이빙 스테이지 상에 보다 정밀한 복수형의 가공이 가능하며 유지 보수가 용이하여 가공 대상물의 품질 향상 및 생산선 향상이 가능한 다중형 기판 절단 시스템에 관한 것이다.

다수의 LCD 패널의 모재가 되는 글라스기판을 특정사이즈로 절단하여 구현되며, 절단된 LCD 패널은 TV, 모니터 등 해당 제품에 장착되어 영상을 디스플레이하는 용도로 사용되고 있다. 이러한 LCD 패널의 사이즈는 최근 소비자의 취향이 대형 TV를 선호하고 특히 UHD-TV의 시장이 성장함에 따라 점차로 대형화되고 있으며, 따라서 대면적의 LCD 패널을 제조하기 위한 글라스 기판 역시 초대형으로 제조되고 있는 추세이다. 상기한 초대형의 글라스기판을 소정 면적의 LCD 패널 절단하기 위한 절단시스템은 기본적으로 대향의 글라스기판을 이송하기 위한 로더와 로더에서 이송되어 컨베이어에 안착된 글라스기판의 표면에 스크라이빙라인을 형성하기 위한 다수의 스크라이버와 스크라이빙라인이 형성된 글라스기판을 흡착하여 이송하거나 회전시키는 핸드와 핸드로 이송되는 글라스기판에 충격을 인가하여 LCD 패널로 절단하기 위한 충격기와, LCD 패널로 절단한 후 남는 글라스기판 잔여물을 회수 및 파쇄하기 위한 파쇄기 등이 인라인 형태로 배치되어 구현되며, 이러한 인라인 형태의 절단시스템은 거의 20미터 내외의 길이를 가진다. 그런데, 상기한 인라인 형태의 절단 시스템은 20미터 내외의 길이를 가지기 때문에 많은 설치공간은 물론 많은 설치코스트가 발생된다. 또한 글라스기판의 일측면에 스크라이빙라인을 형성하고, 이후 글라스기판을 뒤집어 반대측인 타측면에 스크라이빙라인을 형성하는 방식을 취하였다. 따라서 글라스기판을 뒤집기 위한 장치가 요구되고, 또한 글라스 기판을 뒤집은 후 재배치할 때 위치 틀어짐이 발생하여 정확한 스크라이빙라인을 형성하는데 많은 시간이 소요됨과 동시에 불량이 많아졌다. 그리고 글라스기판 또는 LCD 패널의 이송거리가 길어짐에 따라 절단과정에서 발생되는 파편 부스러기, 분진이나 반복적인 집핑에 의한 가장자리 깨짐 현상이나 각종 스크래치 등의 문제점이 발생되었고, 이는 생산수율의 저하로 연결되었다. 이러한 휠 방식 스크라이버의 단점을 보완하기 위해 레이저 방식 스크라이버가 도입되었지만, 레이저 커팅 장비는 유리 파편과 분진이 상대적으로 적게 발생하는 등의 장점이 있지만, 상대적으로 느린 택트타임(공정속도), 높은 초기 투자비용, 상대적을 고가인 레이저 소스의 교한 등의 문제를 가져 기존 휠 방식보다 더 좋다고 하기 어려운 문제점이 있다. 다만 이러한 문제점들은 지속적인 기술 개발에 따라 그 문제점이 어느 정도 해소되어 왔다. 그러나 정작 기판 절단 상의 정밀성 및 기판을 절단하기 위한 기판 절단 장비 상의 고장 발생과 이를 보수하는데 용이하지 못한 점 등에 대해서는 등한시 되는 문제점등은 등한시되어 아직까지 해결되지 못한 문제점이 있다.

한국공개특허 제10-2012-0091689호

본 발명은, 스크라이빙 스테이지 상에 보다 정밀 가공이 가능하며 유지 보수가 용이하여 가공 대상물의 품질 향상 및 가공 장치의 유지보수가 용이한 다중형 스크라이빙 수단이 구비된 기판절단 시스템을 제공하는 것을 목적으로 한다.

본 발명은, 테이블에 고정되는 한쌍의 제1스테이지리니어가이드; 상기 제1스테이지리니어가이드를 따라 이송 제어되는 것으로서, 글라스기판의 하부면을 지지하는 스테이지바아가 설치되는 다수의 가변스테이지; 상기 테이블 상에 상기 제1스테이지리니어가이드 에 대하여 수직방향으로 고정되는 한쌍의 제2스테이지리니어가이드; 상기 제2스테이지리니어가이드 를 따라 이송 제어되는 것으로서, 상기 스테이지바아 에 안착된 상기 글라스기판의 하부측에 위치되는 하부이송리니어가이드; 상기 하부이송리니어가이드에 설치되는 것으로서 상기 글라스기판의 하부측에 스크라이빙라인을 형성하기 위한 다수의 하부스크라이버; 상기 제2스테이지리니어가이드 외측의 상기 테이블에 고정된 한쌍의 제3스테이지리니어가이드; 상기 제3스테이지리니어가이드를 따라 이송 제어되는 것으로서, 상기 스테이지바아에 안착된 상기 글라스기판의 상부측에 위치되는 상부이송리니어가이드; 및 상기 상부이송리니어가이드 에 설치되는 것으로서 상기 글라스기판의 상부측에 스크라이빙라인을 형성하기 위한 다수의 상부스크라이버;를 포함하며, 상기 하부스크라이버는, 상호 대향하는 한 쌍의 지지구와, 상기 지지구 사이에서 상호 대향하도록 구비되는 복수의 외곽측 맨드릴과, 복수의 상기 외곽측 맨드릴 사이에 구비되며 토오크에 기반하여 상기 지지구를 회전시키는 중심측 맨드릴을 포함하며, 상기 외곽측 맨드릴과 상기 중심측 맨드릴 상에는 상기 스크라이빙라인을 형성하기 위한 다중형 스크라이빙 수단이 구비된 기판절단 시스템을 제공한다.

본 발명에 따른 다중형 스크라이빙 수단이 구비된 기판절단 시스템은 다음과 같은 효과를 가진다.

첫째, 스크라이빙 스테이지 상에 보다 정밀 가공이 가능하며 유지 보수가 용이하여 가공 대상물의 품질 향상 및 가공 장치의 유지보수가 용이하다.

둘째, 글라스 기판의 양측면에 스크라이빙라인을 동시에 형성하고, 글라스 기판에 충격을 주어 다수의 작은 패널로 절단하며, 글라스 기판 절단과정에서 발생하는 파편, 분진 등의 잔여물을 회수하고, 완성된 패널을 외부로 배출시키는 모든 과정을 하나의 장치에서 수행할 수 있다,.

셋째, 기판 절단 가공을 위한 장비 전반의 설치공간을 줄이고, 설치비용을 절감할 수 있다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 흡착클램퍼를 도시한 사시도이다.
도 2는 도 1의 흡착변위부를 도시한 사시도이다.
도 3은 도 2의 흡착변위부의 구동방식을 설명하기 위한 도면이다.
도 4는 기판 절단 시스템의 사시도이다.
도 5는 도 4의 기판 절단 시스템의 평면도이다.
도 6은 도 4의 기판 절단 시스템의 측면도이다.
도 7은 도 4의 기판 절단 시스템의 스크라이빙부 및 흡입부를 발췌하여 도시한 사시도이다.
도 8은 도 7의 가변스테이지의 구동방식을 설명하기 위한 도면이다.
도 9 및 도 10은 도 1의 흡착클램퍼의 동작을 설명하기 위한 도면이다.
도 11 내지 도 13은 본 발명의 다른 실시예에 따른 기판 절단 시스템의 구성들 중 일부를 도시한 도면이다.
도 14 내지 도 15는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 기판 절단 시스템의 구성들 중 일부를 도시한 도면이다.

아래에서는 첨부한 도면을 참조하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 본 발명의 실시예를 상세히 설명한다. 그러나 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다. 그리고 도면에서 본 발명을 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 유사한 부분에 대해서는 유사한 도면 부호를 붙였다. 명세서 전체에서, 어떤 부분이 어떤 구성요소를 "포함"한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 포함할 수 있는 것을 의미한다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명하기로 한다.

본 발명의 일 실시예에 따른 글라스기판 흡착클램퍼(300)는 지면을 기준으로 지면상에 놓이는 테이블(100)에서 상부로 연장된 프레임(130)에 고정되는 한 쌍의 프레임가이드(310)와 프레임가이드(310)를 따라 움직이는 슬라이더(320)와 상기 슬라이더(320)에 대하여 승강가능하게 설치되는 클램퍼테이블(330)과 클램퍼테이블(330)의 양측에 고정되는 한 쌍의 클램퍼가이드(340, 340‘)와; 클램퍼가이드(340, 340’)를 따라 움직이는 것으로서, 글라스 기판(G) 또는 작은 단위의 패널(P)을 흡착하기 위한 흡착부(350a)와 분출부(370)가 설치된 다수의 흡착변위부(350, 350', 350")와 흡착변위부(350, 350', 350") 각각에 설치된 것으로서 흡착부(350a)에 흡착된 글라스 기판(G)을 작은 단위의 패널(P)로 절단하기 위하여 형성된 스크라이빙라인 외측을 타격하기 위한 타격부(360, 360', 360")를 포함한다.

클램퍼테이블(330)은 프레임가이드(310)를 따라 전후 왕복이송되는 슬라이더(320)에 승강가능하게 결합된다. 이때 클램퍼테이블(330)이 슬라이더(320)에 대하여 회전가능하며, 이를 위하여 클램퍼테이블(330)에는 슬라이더(320)와 연결되는 회전부가 설치될 수 있다. 이에 따라 후술할 흡착변위부(350, 350‘, 350“)에 흡착되는 글라스원판이나 패널은 90도 방향으로 방향이 가변될 수 있다. 흡착변위부(350, 350‘, 350“) 하단의 흡착부(350a)에는 도 1에서 도시된 바와 같이 다수의 흡착공(350a')이 형성되어 있다. 흡착공(350a')은 음압을 형성함으로써 흡착부(350a)에 글라스기판 또는 작은 패널을 흡착된 상태로 위치 고정한다. 상기 흡착부(350a) 주변에 구비되는 분출부(370)는 도 1과 같이 형성될 수 있고, 상기 분출부(370)를 통해 빠른 속도로 공기를 내뿜도록 하여, 스크라이빙 및 절단시 발생할 수 있는 파편들이나 분진 등 잔여물을 흡입부(110)가 있는 하부측으로 내보낼 수 있게된다. 상기와 같은 방식의 공기 분출은 스크라이빙 공정을 수행하는 동시에 수행될 수도 있고, 스크라이빙 공정 이후 및 절단 공정 이후와 같이 각각의 공정 이후에 수행될 수 있다. 또한 공기를 분사하는 속력은 각 상황에 따라 적당히 조절 할 수 있다.

상기와 같이 스크라이빙 공정과 동시에 공기를 분사하는 경우 스크라이빙시 발생하는 잔여물을 발생과 동시에 바로 바로 제거할 수 있어 잔여물로 인한 결함 발생을 방지할 수 있다. 또한, 스크라이빙 및 타격 공정시 발생하는 분진의 발생도 바로바로 제거할 수 있다. 상기 분출부(370)를 통해 공기를 분사 할 수 있는 장치는 본 특허 출원시에 존재하는 모든 공기를 분사하는 장치 및 관련 방법을 이용할 수 있다. 한편, 상기 분출부(370)는 공기 외에도 물과 같은 액체가 분사될 수 있는데, 상기 분출부(370)를 통해 배출되는 액체도 상기에서 설명된 바와 같이, 스크라이빙 공정 및 타격 공정시 발생되는 파편, 분진 등과 같은 잔여물을 쓸어 모으는 역할을 할 수 있다. 상기 분출부(370)에서 액체가 분사되는 경우에도 배출속도를 조절 할 수 있는데, 액체의 경우 공기가 배출되는 경우와는 달리 낮은 속력으로 조금씩 배출되는 것이 좋을 수 있다. 상기 분출부(370)가 액체를 이용하는 경우, 액체를 일정량만큼 담을 수 있는 액체통(미도시)을 슬라이더(320)에 더 부가할 수 있다. 또는 액체를 지속적으로 공급할 수 있도록 본 발명 기판 절단 시스템과 별도로 액체가 담겨진 통과 연결되는 노즐을 이용하여 작동할 수 있다.

상기와 같이 노즐을 이용하는 경우 일 실시예로서 노즐은 스테인레스(stainless)와 같은 재질이고, 크고 유연한 움직임을 가질 수 있는 스테인레스 호스(hose)와 같은 구조 및 형태가 될 수 있다. 그리고 도 4 및 도 7의 일 실시예와 같이, 하부 테이블(100) 내에 구비되는 흡입부(110)는 진공청소기와 유사한 방식으로 외부의 공기를 빨아 당길 수 있는 장치로 구성된다. 상기 흡입부(110)의 구체적인 원리와 방법은 진공청소기와 유사하게 기압차를 형성하여 외부의 공기가 내부로 빨려 들어오도록 하는 것이다. 상기 기압차를 형성하기 위한 장치구성은 이미 알려진 진공청소기에서 사용되는 방법과 유사할 수 있다. 상기 흡입부(110)는 일 실시예로서 도 7과 같이, 글라스 원판 및 패널이 놓이는 스테이지바(220a) 하부에 위치할 수 있고, 공기를 빨아 당기는 속도는 경우에 따라 조절할 수 있다. 상기 흡입부(110)는 상기 분출부(370)와 동시에 같이 작동할 수 있다. 상기 흡입부(110)와 상기 분출부(370)가 동시에 같이 작동하게 되면 상기 분출부(370)에 의해서 내보내지는 잔여물을 흡입부(110)에서 동시에 빨아 당김으로써 더욱 효과적으로 잔여물들을 제거할 수 있다.

상기 흡입부(110)의 이와 같은 작동은 상기 분출부(370)에서 액체가 배출되는 경우에도 동일하게 작동할 수 있다. 다만, 경우에 따라 상기 분출부(370)에서 액체가 배출되는 경우 상기 흡입부(110)의 흡입력은 상기 분출부(370)에서 공기를 이용하는 경우보다 훨씬 약하게 하거나 작동하지 않게 할 수 있다. 상기 흡입부(110)는 포집한 잔여물을 일정량만큼 모아 놓을 수 있는 폐기물통(120)을 일 실시예로서 도 6과 같이 구비할 수 있다. 상기 폐기물통(120)은 상기 흡입부(110)의 일 구성이 되는 것으로서, 폐기물통(120)에 일정량만큼 폐기물이 쌓이면 모아서 밖으로 배출 할 수 있다. 흡착변위부(350, 350‘, 350“)는 클램퍼가이드(340, 340‘)를 따라 움직일 수 있게 제어됨으로써 그들 사이의 간격이 가변적일 수 있다. 본 도1 및 기타 도면과 같은 실시예에서는 10개를 채용하는 것으로 예시하고 있으며, 용이한 설명을 위하여 3개의 참조부호인 350, 350‘, 350“만을 예시하여 설명한다. 흡착변위부(350, 350‘, 350“)는 상기한 흡착부(350a)의 양측에 형성된 것으로서, 도 3과 같이, 한쌍의 클램퍼가이드(340, 340‘)에 슬라이딩 가능하게 결합되는 레그슬라이더(221)와 레그슬라이더(221) 내부에 설치되는 마그네트(222)와 클램퍼가이드(340, 340‘) 내측을 따라 길게 설치되어 상기 마그네트(222)에 이송력을 제공하는 코일(223)을 포함한다. 이러한 구성에 의하여 코일(223)에 주파수를 달리하는 전원을 인가하면 상기 마그네트(222)가 내장된 레그슬라이더(221)는 코일(223)이 내장된 클램퍼가이드(340, 340‘)를 따라 이송될 수 있다.

이러한 흡착변위부(350, 350‘, 350“) 각각을 독립적으로 제어하여 그들 사이의 간격을 가변시킬 수 있다. 이에 따라 다양한 크기를 가지는 다수의 작은 패널 또는 LCD 패널을 흡착변위부(350, 350‘, 350“)에 흡착시킬 수 있다. 여기서 코일(223)은 클램퍼가이드(340, 340‘) 내측에 설치되기 때문에 그 코일(223)로 전원 및 신호를 인가하기 위한 케이블을 흡착클램퍼(300) 내에 내장할 수 있다. 따라서 10개의 가변스테이지(220, 220‘, 220“) 각각을 작동시키기 위한 케이블이 흡착클램퍼(300) 외측으로 노출되지 않게 된다. 상기와 같이 마그네트(222)가 레그슬라이더(221)에 내장되고, 코일(223)이 클램퍼가이드(340, 340‘)에 내장되는 것은 기술적으로 의미를 가지며 이를 상세히 설명하면 다음과 같다. 즉, 본 발명과는 달리, 마그네트(222)가 클램퍼가이드(340, 340‘)에 내장되고 코일(223)이 클램퍼가이드(340, 340‘)에 설치되는 구성일 경우, 흡착변위부(350, 350‘, 350“)의 이송제어를 위한 코일(223)에 전원 및 신호를 인가하기 위한 케이블은 반드시 외부로 노출되어야 한다. 이러한 케이블은 흡착가변스테이지의 개수에 비례하기 때문에 10개의 흡착변위부(350, 350‘, 350“)를 채용할 경우 최소한 10개 이상의 케이블 다발을 이루며 외부로 노출되어야 한다. 이러한 케이블 다발은 흡착클램퍼(300)의 공간을 차지함과 동시에 반복적인 스크라이빙 작업시 발생되는 분진이나 파편들에 오염될 수 있고, 노출로 인한 방해 및 사고의 우려가 높아져 생산성을 떨어뜨릴 수 있다.

타격부(360, 360‘, 360“)는 후술할 도 9 및 도 10에 도시된 바와 같이, 각각의 흡착변위부의 양측에 한쌍씩 설치된 것으로서, 스크라이빙라인을 갖는 흡착부(350a)에 흡착된 글라스기판 측으로 순간적으로 움직임으로써 그 글라스 기판에 타격을 가한다. 이러한 타격부(360, 360‘, 360“)는 흡착클램퍼(300) 내부에 기어나 스프링 등을 조합하거나 공압실린더를 이용한 구동상식에 의해 글라스기판을 타격할 수 있고, 이에 따라 스크라이빙라인을 기준으로 글라스기판이 절단되어 단수 혹은 다수의 작은 단위의 패널이 완성된다. 상기한 구조에 의하여, 슬라이더(320)가 프레임가이드를 따라 왕복이송되고, 다수의 흡착변위부(350, 350‘, 350“)를 가지는 클램퍼테이블(330)이 슬라이더(320)에 대하여 승강 및 회전됨으로써, 결과적으로 흡착변위부(350, 350‘, 350“)에 흡착된 글라스기판 또는 단위 패널을 테이블을 기준으로 전후방 왕복이송시킴과 동시에 승강 및 회전동작이 가능하다. 이에 따라 후술할 스크라이빙부(200)에서 스크라이빙라인이 형성된 글라스기판을 흡착이송할 수 있는 것이다. 또한 흡착변위부(350, 350‘, 350“)는 도 2 및 도 3과 같이, 클램퍼가이드(340, 340‘)를 따라 이송됨으로써 그들 사이의 간격을 가변할 수 있으므로, 다양한 크기로 절단되는 다수의 단위 패널을 흡착이송할 수 있다. 또한 타격부(360, 360‘, 360“)는 글라스기판이 흡착변위부(350, 350‘, 350“)에 흡착된 상태에서 글라스기판의 일부분을 스크라이빙라인으로 구획된 단수 혹은 다수의 단위 패널로 정밀하게 절단할 수 있다.

도 4에서 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 기판 절단 시스템은 바닥 지면을 기준으로 지면상에 놓이는 테이블(100)에 설치되는 것으로서, 이송된 글라스기판의 하부면이 닿는 다수의 스테이지바(220a)의 상호 간격을 가변할 수 있다. 상기 글라스기판의 상부면 및 하부면에 다수의 스크라이빙라인을 형성하는 스크라이빙부(200)와; 상기 스크라이빙부(200) 하부에 위치하는 것으로서 공정 중 발생하는 잔여물을 회수하기 위한 공기를 빨아 당기는 흡입부(110)와; 상기 테이블(100)에서 연장된 프레임(130)에 지지되는 것으로서, 상기 스크라이빙라인이 형성된 상기 글라스기판을 흡착 및 이송하는 흡착클램퍼(300)와; 흡착클램퍼(300)에 의하여 이송된 단위 패널을 외부로 배출하기 위한 배출컨베이어;를 포함한다. 본 발명에서 사용되는 글라스기판은 대향의 글라스 2장 사이에 액정 및 TFT 어레이가 내장된 구조를 가지며, 여러 장으로 절단함으로써 다수의 단위 LCD 패널이 된다. 상기 테이블(100)은 본 발명 기판 절단 시스템의 기본 프레임이 되는 것으로서, 상기 스크라이빙부(200)가 상기 테이블(100) 상단에 위치하고, 내부에 상기 흡입부(110)와 흡입부(110)를 통해 모여진 폐기물을 담는 폐기물통(120) 구비하며, 상기 폐기물통(120)은 흡입부(110)에 착탈식으로 장착될 수 있다. 또한 상기 테이블(100)의 가장자리에 설치된 것으로서 흡착클램퍼(300)를 지지하기 위한 프레임(130);을 포함한다. 도시된 바와 같이, 스크라이빙부(200)는 흡입부(110)의 양측에서 테이블(100)에 고정되는 한 쌍의 제1스테이지리니어가이드(210, 210')와; 제1스테이지리니어가이드(210, 210')를 따라 이송 제어되는 것으로서, 글리스기판의 하부면이 놓이는 스테이지바(220a)가 설치된다. 본 실시예에서는 10개의 가변스테이지(220, 220‘, 220“)와; 제1스테이지리니어가이드(210, 210')에 대하여 수직방향으로 설치된 것으로서, 상기 흡입부(110)의 양측에서 테이블(100)에 고정되는 한쌍의 제2스테이지리니어가이드(230, 230')와; 상기 제2스테이지리니어가이드(230, 230')를 따라 이송 제어되는 것으로서, 상기 스테이지바(220a)에 안착된 상기 글라스기판의 하부측에 위치하는 하부이송리니어가이드(240)와; 상기 하부이송리니어가이드(240)에 설치되는 것으로서 상기 글라스기판의 하부측에 스크라이빙라인을 형성하기 위한 다수, 본 실시예에서는 4개의 하부스크라이버(250)와; 제2스테이지리니어가이드(230, 230') 외측의 상기 테이블(100)에 고정되는 제3스테이지리니어가이드(260, 260')와; 상기 제3스테이지리니어가이드(260, 260')를 따라 이송 제어되는 것으로서, 상기 스테이지바(220a)에 안착된 상기 글라스기판의 상부측에 위치하는 상부이송리니어가이드(270)와; 상기 상부이송리니어가이드(270)에 설치되는 것으로서 상기 글라스기판의 상부측에 스크라이빙라인을 형성하기 위한 다수, 본 실시예에서는 4개의 상부스크라이버(280);를 포함한다.

상기 제1스테이지리니어가이드(210, 210'), 제2스테이지리니어가이드(230, 230'), 및 제3스테이지리니어가이드(260, 260')는 테이블(100)에 각각 고정된다. 가변스테이지(220, 220‘, 220“)는 제1스테이지리니어가이드(210, 210')를 따라 이송가능하게 제어됨으로써 그들 사이의 간격이 가변될 수 있으며, 안착되는 글라스기판을 정렬시킨다. 가변스테이지(220, 220‘, 220“)는 본 실시예에서 10개를 채용하는 것으로 예시하고 있으며, 용이한 설명을 위해 3개의 참조부호인 220, 220‘, 220“만을 예시하여 설명한다. 가변스테이지(220, 220‘, 220“)는 상기한 스테이지바(220a)의 양측에 형성되는 것으로서, 도 8에 도시된 바와 같이 한쌍의 제1스테이지리니어가이드(210, 210')에 슬라이딩 가능하게 결합되는 레그슬라이더(221)와, 레그슬라이더(221) 내부에 설치되는 마그네트(222)와 제1스테이지리니어가이드(210, 210') 내측을 따라 길게 설치되는 상기 마그네트(222)에 리니어 이송력을 제공하는 코일(223)을 포함한다. 이러한 구성에 의하여, 코일(223)에 주파수를 달리하는 전원을 인가하면, 상기 마그네트(222)가 내장된 레그슬라이더(221)는 코일(223)이 내장된 제1스테이지리니어가이드(210, 210')를 따라 이송될 수 있고, 이러한 가변스테이지(220, 220‘, 220“) 각각을 독립적으로 제어하여 그들 사이의 간격을 가변시킬 수 있다. 이에 따라 가변스테이지(220, 220‘, 220“)에 안착되는 글라스기판에 다양한 간격의 스크라이빙라인을 형성하기 위하여 후술할 하부 및 상부 스크라이버(250)(280)의 이송공간을 제공할 수 있다.

여기서 코일(223)은 제1스테이지리니어가이드(210, 210') 내측에 설치되기 때문에 그 코일(223)로 전원 및 신호를 인가하기 위한 케이블을 테이블(100) 내에 내장할 수 있다. 따라서 10개의 가변스테이지(220, 220‘, 220“) 각각을 작동시키기 위한 케이블이 스크라이빙부(200)의 외측으로 노출되지 않게된다. 상기와 같이 마그네트(222)가 레그슬라이더(221)에 내장되고, 코일(223)이 제1스테이지리니어가이드(210, 210')에 내장되는 것은 기술적 의미를 가진다. 즉, 본 발명과는 달리, 마그네트(222)가 제1스테이지리니어가이드(210, 210')에 내장되고 코일(223)이 레그슬라이더(221)에 설치되는 구성일 경우, 가변스테이지(220, 220‘, 220“)의 이송제어를 위한 코일(223)에 전원 및 신호를 인가하기 위한 케이블은 반드시 외부로 노출되어야 한다.

이러한 케이블 다발은 가변스테이지(220, 220‘, 220“)의 이송 동작시 관성 저항을 정밀한 이송제어를 방해하고, 또한 스크라이빙부(200)의 공간을 차지함과 동시에 반복적인 스크라이빙 작업시 발생되는 분진이나 파편들에 의해 오염되며, 이후 다음 절단 작업이 진행될 때 글라스기판을 재오염시키는 원인이 되어 결과적으로 생산수율을 떨어뜨리게 된다. 가변스테이지(220, 220‘, 220“) 상단의 스테이지바(220a)에는 도 7와 같이 외부의 음압형성장치(미도시)와 연결되는 다수의 흡착공(220a')이 형성되어 있다. 이러한 흡착공(220a')은 음압을 형성함으로써 글라스기판이 스테이지바(220a)에 흡착된 상태가 되게 한다. 이에 따라 글라스기판은 스테이지바(220a)에 위치고정되어 후술할 하부 및 상부 스크라이버가 이송되면서 글라스기판의 하부면 및 상부면에 스크라이빙라인을 형성 할 때 움직이지 않게 하여 정확한 간격의 스크라이빙라인을 형성할 수 있는 것이다.

하부이송리니어가이드(240)는 제2스테이지리니어가이드(230, 230')를 따라 이송 제어된다. 하부스크라이버(250)는 하부이송리니어가이드(240)에 설치되어 글라스기판의 하부면에 스크라이빙라인을 형성하는데, 이 때 글라스기판에 형성되는 스크라이빙라인의 간격을 가변하기 위하여, 하부스크라이버(250)는 하붕송리니어가이드에 대하여 이송제어 가능하게 결합된다. 이를 위하여 예를 들면 하부스크라이버(250) 내부에 전술한 가동마그네트(미도시)가 설치되고, 하부이송리니어가이드(240) 내부에 전술한 코일(223)이 설치되는 리니어구동방식을 채용할 수 있다. 상기한 하부이송리니어가이드(240) 및 하부스크라이버(250)를 채용함으로써, 하부스크라이버(250)는 글라스기판의 하부측에서 X-Y축으로 이송제어가 가능하고, 글라스기판에 다양한 간격의 스크라이빙라인을 형성할 수 있는 것이다. 상부이송리니어가이드(270)는 제3스테이지리니어가이드(260, 260')를 따라 이송제어 된다. 상부스크라이버(280)는 상부이송리니어가이드(270)에 설치되어 글라스기판의 상부면에 스크라이빙라인을 형성하는데, 이 때 글라스기판에 형성되는 스크라이빙라인의 간격을 가변하기 위하여 상부스크라이버(280)는 상부이송리니어가이드(270)에 대하여 이송제어 가능하게 결합된다. 이를 위해, 예를 들면 상부스크라이버(280) 내부에 전술한 가동마그네트가 설치디고, 하부이송리니어가이드(240) 내부에 전술한 코일(223)이 설치되는 리니어구동방식을 채용할 수 있다. 상기한 상부이송리니어가이드(270) 및 상부스크라이버(280)를 채용함으로써 상부스크라이버(280)는 글라스기판의 상부측에서 X-Y축으로 이송제어가 가능하고, 글라스기판에 다양한 간격의 스크라이빙라인을 형성할 수 있는 것이다. 각각의 상부스크라이버(280)에는 글라스기판의 자세를 읽기 위한 카메라(미도시)가 설치될 수 있다. 이러한 카메라는 글라스기판에 형성되는 스크라이빙라인을 촬영함으로써 현재 스크라이빙라인이 형성되고 있는 것을 실시간으로 확인할 수 있다. 하부 및 상부스크라이버(250, 280)는 도10에 도시된 바와 같이 단부에 스크라이빙라인을 형성하기 위하여 글라스기판의 표면을 밀착 가압하는 휠(251)(281)과, 휠(251)(281)을 승강시키는 휠승강부(252)(282)를 포함할 수 있다. 이러한 하부 및 상부스크라이버(250, 280)는 독립적으로 이송제어되는 하부이송리니어가이드(240)와 상부이송리니어가이드(270)에 지지되므로, 하부스크라이버(250)와 상부스크라이버(280)에 의하여 형성되는 스크라이빙라인을 비대칭되게 형성할 수 있고, 이에 따라 제조되는 단위 패널에 전극을 연결하는 태브(Tab)를 형성할 수 있다.

이와 같이 제1스테이지리니어가이드(210, 210')에 슬라이딩되는 다수의 가변스테이지(220, 220‘, 220“)를 채용함으로써 글라스기판의 하부면 및 상부면에 스크라이빙라인을 형성하는 하부 및 상부 스크라이버의 이송공간을 확보할 수 있다. 이에 따라 다야안 크기의 단위 패널을 제조하기 위한 다양한 간격의 스크라이빙라인을 형성할 수 있다. 또한 하부스크라이버(250) 및 상부스크라이버(280)는 글라스기판의 하부면 및 상부면 각각에 독립적인 스크라이빙라인을 동시에 형성할 수 있고, 또한 하부 및 상부 스크라이버의 개수를 증감시킴으로써 글라스기판을 뒤집지 않고도 빠른 시간내에 멀티 스크라이빙라인을 형성할 수 있다. 흡착클램퍼(300)는 앞서 도 1 내지 도 3에서 설명한 것으로 대체한다.

배출컨베이어(400)는 스크라이빙부(200)의 후방측 테이블(100)에 설치되는 한쌍의 컨베이어리니어가이드와(410, 410‘); 상기 컨베이어리니어가이드(410, 410‘)를 따라 이송되는 가변컨베이어(420)를 포함한다. 이 때 가변컨베이어(420)는 무한궤도운동을 하는 벨트를 포함하거나 회전되는 롤러를 포함하는 방식 등 다양한 방식으로 구현될 수 있다. 이러한 배출컨베이어(400)에 의하여 흡착클램퍼(300)에 의하여 이송된 다수의 단위 패널의 크기가 다양하더라도 가변컨베이어(420)의 간격을 조절함으로써 안전하게 외부로 이송시킬 수 있다. 상기 가변컨베이어(420)는 상기 가변스테이지(220, 220‘, 220“)나 흡착변위부(350, 350‘, 350“)와 실질적으로 유사한 구성이기에 그에 관한 설명으로 대체한다. 상기한 기판 절단 시스템에 따르면 글라스기판의 양측면에 스크라이빙라인을 동시에 형성하고, 글라스기판에 충격을 주어 다수의 혹은 단수의 단위 패널로 절다나며, 글라스기판 절단과정에서 발생되는 글라스기판 잔여물을 즉각 회수하고, 완성된 단위 패널을 외부로 배출시키는 모든 과정을 종전보다 짧은 길이 또는 크기의 절단장치에서 수행될 수 있도록 한다.

또한 글라스기판의 양면에서 스크라이빙라인을 동시에 형성하게 됨으로써 종래 기술과 달리 스크라이빙라인을 형성하기 위하여 글라스기판을 뒤집을 필요가 없고, 이에 따라 글라스기판을 뒤집기 위한 장치가 요구되지 않음과 동시에 글라스기판을 뒤집은 후 재배치시킬 때 발생될 수 있는 위치틀어짐을 근본적으로 방지할 수 있다. 따라서 글라스기판의 양면에 정확한 스크라이빙라인을 빠른 시간내에 형성함과 동시에 불량률을 낮출 수 있다. 스크라이빙라인은 제1스테이지리니어가이드(210, 210') 가변스테이지(220, 220‘, 220“)의 상단의 스테이지바(220a)에 안착된 상태에서 진행되고, 그와 동시에 상기 분출부(370)에서 분사되는 공기로 스크라이빙 공정시 발생되는 잔여물을 즉각적으로 제거함으로써 잔여물로 인한 스크라이빙라인 형성시 오차의 발생을 방지할 수 있어 정확한 스크라이빙라인을 형성할 수 있다.

도 11 내지 도 13은 본 발명의 다른 실시예에 따른 기판 절단 시스템의 구성들 중 일부를 도시한 도면이다. 이하에서 기술적 특징이 있는 부분을 중심으로 설명하기로 한다.

도 11 내지 도 13을 참조하면, 기판절단 시스템은 테이블(100)에 고정되는 한쌍의 제1스테이지리니어가이드(210)(210'); 상기 제1스테이지리니어가이드(210)(210')를 따라 이송 제어되는 것으로서, 글라스기판(G)의 하부면을 지지하는 스테이지바아(220a)가 설치되는 다수의 가변스테이지(220)(220')(220"); 상기 테이블(100) 상에 상기 제1스테이지리니어가이드(210)(210')에 대하여 수직방향으로 고정되는 한쌍의 제2스테이지리니어가이드(230)(230'); 상기 제2스테이지리니어가이드(230)(230')를 따라 이송 제어되는 것으로서, 상기 스테이지바아(220a)에 안착된 상기 글라스기판(G)의 하부측에 위치되는 하부이송리니어가이드(240); 상기 하부이송리니어가이드(240)에 설치되는 것으로서 상기 글라스기판(G)의 하부측에 스크라이빙라인을 형성하기 위한 하부스크라이버(250); 상기 제2스테이지리니어가이드(230)(230') 외측의 상기 테이블(100)에 고정된 한쌍의 제3스테이지리니어가이드(260)(260'); 상기 제3스테이지리니어가이드(260)(260')를 따라 이송 제어되는 것으로서, 상기 스테이지바아(220a)에 안착된 상기 글라스기판(G)의 상부측에 위치되는 상부이송리니어가이드(270); 및 상기 상부이송리니어가이드(270)에 설치되는 것으로서 상기 글라스기판(G)의 상부측에 스크라이빙라인을 형성하기 위한 상부스크라이버(280);를 포함한다.

상기 하부스크라이버(250) 및 상기 상부스크라이버(280) 각각에는, 상호 대향하는 한 쌍의 지지구(530)와, 상기 지지구(530) 사이에서 상호 대향하도록 구비되는 복수의 외곽측 맨드릴(510)과, 복수의 상기 외곽측 맨드릴(510) 사이에 구비되며 토오크에 기반하여 상기 지지구(530)를 회전시키는 중심측 맨드릴(520)과, 상기 외곽측 맨드릴(510)과 상기 중심측 맨드릴(520)과 상에는 상기 스크라이빙라인을 형성하기 위한 스크라이빙 수단(540)이 구비되는 제1파츠(501)를 포함하는 스크라이빙 모듈(500)이 구비된다. 상기 스크라이빙 수단(540)은 중공형으로 형성되어 상기 중심측 맨드릴(520)에 외삽되는 제1 바디부(5412)와, 상기 제1 바디부(5412)로부터 상기 외곽측 맨드릴(510)을 향하여 연장되는 복수의 제1 브릿지(5411)가 형성되는 제1 연동부(541)와, 상기 각 외곽측 맨드릴(510)에 구비되는 제2 바디부(5422)와, 상기 제2 바디부(5422)로부터 상기 중심측 맨드릴(520)을 향하여 연장되는 제2 브릿지(5421)가 형성되는 제2 연동부(542)를 포함한다. 상기 제2 바디부(5422)는 상기 글라스기판을 직접적으로 가공하기 위한 제1 휠(5422a)이 구비된다.

상기 제2 바디부(5422) 상에는 상기 제1 휠(5422a)이 회전 가능하도록 위치되는 회전축(5422a1)과, 상기 회전축(5422a1)으로부터 상방으로 연장되어 상기 제2 브릿지(5421)와 접하는 연장부(5422a2)로 구비되며, 상기 외곽측 맨드릴(510)은 상기 제1 휠(5422a)의 회전축(5422a1)의 양측에 각각 결속된다. 상기 스크라이빙 수단(540)은 일측으로 상기 제1 바디부(5412)가 장착되며, 타측으로는 상기 제2 바디부(5422)가 장착되어 상기 제1 연동부(541)와 상기 제2 연동부(542)를 결속시키는 결속모듈(543)을 더 포함한다. 상기 결속모듈(543)은 무선 송수신 기능을 갖춘 것으로서 상기 제2 바디부(5422)를 통해 상기 외곽측 맨드릴(510)로부터 가해지는 가압힘을 측정한다. 측정된 상기 가압힘을 기 설정된 기준값과 비교하여 상기 가압힘이 상기 기준값 대비 설정된 오차 범위를 벗어나는 경우 소정의 제어동작을 수행하는 제어모듈을 더 포함한다. 상기 지지구(530) 상에는 시각정보를 출력하는 시각정보 출력수단(550) 및 청각정보를 출력하는 청각정보 출력수단(560)이 구비되며, 상기 제어모듈은 상기 가압힘이 상기 오차 범위를 벗어나는 경우, 상기 시각 정보 및 상기 청각정보가 출력되도록 제어한다.

상기 연동모듈은 상기 중심측 맨드릴(520)과 상기 외곽측 맨드릴(510)을 복수로 구획하며, 상기 제1 바디부(5412)는 상기 외곽측 맨드릴(510)의 길이방향 상의 제1 수평도 값을 측정하기 위한 제1 감지부(S1)가 구비되며, 상기 제어모듈은 측정된 상기 제1 수평도 값이 기 설정된 오차범위를 벗어나는 경우, 상기 시각정보 및 상기 청각정보가 출력되도록 제어한다. 상기 외곽측 맨드릴(510)의 양측 단부 상에는 상기 제1 연동부(541)의 길이방향 상의 제2 수평도 값을 측정하기 위한 제2 감지부(S2)가 구비되며, 상기 제어모듈은 측정된 상기 제2 수평도 값이 기 설정된 오차범위를 벗어나는 경우, 상기 시각정보 및 상기 청각정보가 출력되도록 제어한다.

상기 외곽측 맨드릴(510)은 상기 제2 연동부(542)에 의하여 구획되는 복수의 서브 맨드릴(510a, 510b, 510c, 510d)과, 상기 제2 연동부(542)와 상기 각 서브 맨드릴(510a, 510b, 510c, 510d)에 내삽되어 상기 지지구(530) 상에 결속 되는 지지봉(B)을 포함하며,

상기 시각정보 출력수단(550) 및 상기 청각정보 출력수단(560) 중 적어도 어느 하나는, 상기 지지구(530) 상에서 복수의 상기 외곽측 맨드릴(510)과 각각 대응하도록 구비된다. 상기 제어모듈은 상기 시각정보 출력수단(550) 및 상기 청각정보 출력수단(560) 중 상기 하부롤을 가압하는 외곽측 맨드릴(510)과 대응되는 위치에 구비되는 상기 시각정보 출력수단(550) 및 상기 청각정보 출력수단(560)을 제어하여, 상기 청각정보 또는 상기 시각정보가 출력되도록 한다. 상기 결속모듈(543)은 상기 제1 바디부(5412)와 상기 제2 바디부(5422)의 장착 여부를 감지하되, 상기 제1 브릿지(5411)와 상기 제2 브릿지(5421)의 삽입 깊이 값을 감지하여 상기 제1 바디부(5412)와 상기 제2 바디부(5422) 상호간의 결속여부를 감지한다. 상기 제어모듈은 상기 삽입 깊이 값을 기 설정된 기준값과 대비하여 상기 삽입 깊이 값이 오차 범위를 벗어나는 경우 소정의 제어동작을 수행한다.

상기 외곽측 맨드릴(510)의 양측 단부 상에는 상기 제1 연동부(541)의 길이방향 상의 제2 수평도 값을 측정하기 위한 제2 감지부(S2)가 구비되며, 상기 제어모듈은 측정된 상기 제2 수평도 값이 기 설정된 오차범위를 벗어나는 경우, 상기 시각정보 및 상기 청각정보가 출력되도록 제어하며,

상기 외곽측 맨드릴(510)은 상기 제2 연동부(542)에 의하여 구획되는 복수의 서브 맨드릴과, 상기 제2 연동부(542)와 상기 각 서브 맨드릴에 내삽되어 상기 지지구(530) 상에 결속되는 지지봉(B)을 포함하며, 상기 시각정보 출력수단(550) 및 상기 청각정보 출력수단 중 적어도 어느 하나는,상기 지지구(530) 상에서 복수의 상기 외곽측 맨들릴과 각각 대응하도록 구비된다. 상기 제어모듈은 상기 시각정보 출력수단(550) 및 상기 청각정보 출력수단(560) 중 상기 스크라이이빙라인을 형성하는 외곽측 맨드릴(510)과 대응되는 위치에 구비되는 상기 시각정보 출력수단(550) 및 상기 청각정보 출력수단(560)을 제어하여, 상기 청각정보 또는 상기 시각정보가 출력되도록 한다.

상기 결속모듈(543)은 상기 제1 바디부(5412)와 상기 제2 바디부(5422)의 장착 여부를 감지하되, 상기 제1 브릿지(5411)와 상기 제2 브릿지(5421)의 삽입 깊이 값을 감지하여 상기 제1 바디부(5412)와 상기 제2 바디부(5422) 상호간의 결속여부를 감지하며, 상기 제어모듈은 상기 삽입 깊이 값을 기 설정된 기준값과 대비하여 상기 삽입 깊이 값이 오차 범위를 벗어나는 경우 소정의 제어동작을 수행한다. 상기 제2 바디부(5422)는 상기 중심측 맨드릴(520)의 길이방향 상의 제3 수평도 값을 측정하기 위한 제3 감지부(S3)가 구비되며, 상기 제어모듈은 측정된 상기 제3 수평도 값이 기 설정된 오차범위를 벗어나는 경우, 상기 시각정보 및 상기 청각정보가 출력되도록 제어하며, 상기 중심측 맨드릴(520)의 양측 단부 상에는 상기 제2 연동부(542)의 길이방향 상의 제4 수평도 값을 측정하기 위한 제4 감지부(S4)가 구비된다.

상기 제어모듈은 측정된 상기 제4 수평도 값이 기 설정된 오차범위를 벗어나 는 경우, 상기 시각정보 및 상기 청각정보가 출력되도록 제어한다. 상기 제3 감지부(S3)는 상기 제4 감지부(S4)를 중심으로 상호 대향하도록 위치되며, 상기 제4 감지부(S4)는 상기 제3 감지부(S3)와의 이격거리 값을 측정하고, 상기 제어모듈은 측정된 상기 이격거리 값이 기 설정된 오차범위를 벗어나는 경우, 상기 시각정보 및 상기 청각정보가 출력되도록 제어한다.

도 14 내지 도 15는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 기판 절단 시스템의 구성들 중 일부를 도시한 도면이다. 이하에서 기술적 특징이 있는 부분을 중심으로 설명하기로 한다.

도 15 내지 도 16을 참조하면, 기판 절단 시스템은 상기 메인 지지구(560)의 중심축이 되며 모터의 구동에 기반하여 상기 메인 지지구(530)를 회전시키기 위한 중심부 샤프트(505)를 더 포함한다. 상기 제1파츠(501)는 상기 중심부 샤프트(505)를 중심으로 상기 메인 지지구(560) 상에서 상호 대향하도록 위치되며, 각각 상기 메인 지지구(560) 사이에 개별적으로 회전 가능하도록 복수로 구비된다. 상기 제어모듈은 상기 제1 수평도 값, 상기 제2 수평도 값, 상기 제3 수평도 값, 상기 제4 수평도 값, 상기 삽입 깊이 값, 상기 이격거리 값 중 상기 기 설정된 기준 값을 초과하는 항목의 수가 특정 개수 이상을 초과하는 경우, 상기 모터 구동에 기반하여 상기 메인 지지구(560)를 회전 시킨다. 상기 제1파츠(501)는 제어부의 제어하에 상기 메인 지지구(560) 상에서 상기 중심부 샤프트(505)를 기준으로 설정 범위내에서 진퇴 가능하도록 유동된다. 상기 메인 지지구(560)는 전술한 상기 제1 휠(5422a)와 마찬가지로 상기 글라스기판을 직접적으로 가공하는 것이 가능하다.

본 발명은 도면에 도시된 실시예를 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 본 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 다른 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의하여 정해져야 할 것이다.

100 : 테이블
110 : 흡입부
120 : 폐기물통
130 : 프레임
200 : 스크라이빙부
210, 210‘ : 제1스테이지리니어가이드
220, 220‘, 220“ : 가변스테이지
220a : 스테이지바
220a' : 흡착공
221 : 레그슬라이더
222 : 마그네트
223 :코일
230, 230‘ : 제2스테이지리니어가이드
240 : 하부이송리니어가이드
250 : 하부스크라이버
260, 260‘ : 제3스테이지리니어가이드
270 : 상부이송리니어가이드
280 : 상부스크라이버
300 :흡착클램퍼
310 ：프레임가이드
320 ：　슬라이더
330 ：　클램퍼테이블
340, 340‘ ：클램퍼가이드
350, 350‘, 350“ ：흡착변위부
350a ：　흡착부
350a' ：흡착공
360, 360‘, 360“ : 타격부
400 : 배출컨베이어스테이지
410, 410‘ : 컨베이어리니어가이드
420 :가변컨베이어

Claims (10)

1. 다중형 스크라이빙 수단이 구비된 기판절단 시스템으로서,
   테이블(100)에 고정되는 한쌍의 제1스테이지리니어가이드(210)(210');
   상기 제1스테이지리니어가이드(210)(210')를 따라 이송 제어되는 것으로서, 글라스기판(G)의 하부면을 지지하는 스테이지바아(220a)가 설치되는 다수의 가변스테이지(220)(220')(220"); 상기 테이블(100) 상에 상기 제1스테이지리니어가이드(210)(210')에 대하여 수직방향으로 고정되는 한쌍의 제2스테이지리니어가이드(230)(230'); 상기 제2스테이지리니어가이드(230)(230')를 따라 이송 제어되는 것으로서, 상기 스테이지바아(220a)에 안착된 상기 글라스기판(G)의 하부측에 위치되는 하부이송리니어가이드(240); 상기 하부이송리니어가이드(240)에 설치되는 것으로서 상기 글라스기판(G)의 하부측에 스크라이빙라인을 형성하기 위한 하부스크라이버(250); 상기 제2스테이지리니어가이드(230)(230') 외측의 상기 테이블(100)에 고정된 한쌍의 제3스테이지리니어가이드(260)(260'); 상기 제3스테이지리니어가이드(260)(260')를 따라 이송 제어되는 것으로서, 상기 스테이지바아(220a)에 안착된 상기 글라스기판(G)의 상부측에 위치되는 상부이송리니어가이드(270); 및 상기 상부이송리니어가이드(270)에 설치되는 것으로서 상기 글라스기판(G)의 상부측에 스크라이빙라인을 형성하기 위한 상부스크라이버(280);를 포함하며,
   상기 하부스크라이버(250) 및 상기 상부스크라이버(280) 각각에는,
   상호 대향하는 한 쌍의 지지구(530)와,
   상기 지지구(530) 사이에서 상호 대향하도록 구비되는 복수의 외곽측 맨드릴(510)과, 복수의 상기 외곽측 맨드릴(510) 사이에 구비되며 토오크에 기반하여 상기 지지구(530)를 회전시키는 중심측 맨드릴(520)과,
   상기 외곽측 맨드릴(510)과 상기 중심측 맨드릴(520)과 상에는 상기 스크라이빙라인을 형성하기 위한 스크라이빙 수단(540)이 구비되는 제1 파츠(501)을 포함하는 스크라이빙 모듈(500)이 구비되며,
   상기 스크라이빙 수단(540)은 상기 외곽측 맨드릴(510)과 상기 중심측 맨드릴(520) 상에 복수로 상호 이격되어 구비되는 다중형 스크라이빙 수단이 구비된 기판절단 시스템.
2. 청구항 1에 있어서,
   상기 스크라이빙 수단(540)은,
   중공형으로 형성되어 상기 중심측 맨드릴(520)에 외삽되는 제1 바디부(5412)와, 상기 제1 바디부(5412)로부터 상기 외곽측 맨드릴(510)을 향하여 연장되는 복수의 제1 브릿지(5411)가 형성되는 제1 연동부(541)와,
   상기 각 외곽측 맨드릴(510)에 구비되는 제2 바디부(5422)와, 상기 제2 바디부(5422)로부터 상기 중심측 맨드릴(520)을 향하여 연장되는 제2 브릿지(5421)가 형성되는 제2 연동부(542)를 포함하며,
   상기 제2 바디부(5422)는 상기 글라스기판을 직접적으로 가공하기 위한 제1 휠(5422a)이 구비되는 다중형 스크라이빙 수단이 구비된 기판절단 시스템.
3. 청구항 2에 있어서,
   상기 제2 바디부(5422) 상에는 상기 제1 휠(5422a)이 회전 가능하도록 위치되는 회전축(5422a1)과, 상기 회전축(5422a1)으로부터 일방으로 연장되어 상기 제2 브릿지(5421)와 접하는 연장부(5422a2)로 구비되며,
   상기 외곽측 맨드릴(510)은 상기 제1 휠(5422a)의 회전축(5422a1)의 양측에 각각 결속되는 다중형 스크라이빙 수단이 구비된 기판절단 시스템.
4. 청구항 3에 있어서,
   상기 스크라이빙 수단(540)은,
   일측으로 상기 제1 바디부(5412)가 장착되며, 타측으로는 상기 제2 바디부(5422)가 장착되어 상기 제1 연동부(541)와 상기 제2 연동부(542)를 결속시키는 결속모듈(543)을 더 포함하며,
   상기 결속모듈(543)은 상기 제2 바디부(5422)를 통해 상기 외곽측 맨드릴(510)로부터 가해지는 가압힘을 측정하는 다중형 스크라이빙 수단이 구비된 기판절단 시스템.
5. 청구항 4에 있어서,
   측정된 상기 가압힘을 기 설정된 기준값과 비교하여 상기 가압힘이 상기 기준값 대비 설정된 오차 범위를 벗어나는 경우 소정의 제어동작을 수행하는 제어모듈을 더 포함하며,
   상기 지지구(530) 상에는 시각정보를 출력하는 시각정보 출력수단(550) 및 청각정보를 출력하는 청각정보 출력수단(560)이 구비되며,
   상기 제어모듈은 상기 가압힘이 상기 오차 범위를 벗어나는 경우, 상기 시각 정보 및 상기 청각정보가 출력되도록 제어하는 다중형 스크라이빙 수단이 구비된 기판절단 시스템.
6. 청구항 5에 있어서,
   상기 제1 연동부 및 상기 제2 연동부는,
   상기 중심측 맨드릴(520)과 상기 외곽측 맨드릴(510)을 복수로 구획하며,
   상기 제1 바디부(5412)는 상기 외곽측 맨드릴(510)의 길이방향 상의 제1 수평도 값을 측정하기 위한 제1 감지부(S1)가 구비되며,
   상기 제어모듈은 측정된 상기 제1 수평도 값이 기 설정된 오차범위를 벗어나는 경우, 상기 시각정보 및 상기 청각정보가 출력되도록 제어하는 다중형 스크라이빙 수단이 구비된 기판절단 시스템.
7. 청구항 6에 있어서,
   상기 외곽측 맨드릴(510)의 양측 단부 상에는 상기 제1 연동부(541)의 길이방향 상의 제2 수평도 값을 측정하기 위한 제2 감지부(S2)가 구비되며, 상기 제어모듈은 측정된 상기 제2 수평도 값이 기 설정된 오차범위를 벗어나는 경우, 상기 시각정보 및 상기 청각정보가 출력되도록 제어하며,
   상기 외곽측 맨드릴(510)은,
   상기 제2 연동부(542)에 의하여 구획되는 복수의 서브 맨드릴(510a, 510b, 510c, 510d)과,
   상기 제2 연동부(542)와 상기 각 서브 맨드릴(510a, 510b, 510c, 510d)에 내삽되어 상기 지지구(530) 상에 결속
   되는 지지봉(B)을 포함하며,
   상기 시각정보 출력수단(550) 및 상기 청각정보 출력수단(560) 중 적어도 어느 하나는, 상기 지지구(530) 상에서 복수의 상기 외곽측 맨드릴(510)과 각각 대응하도록 구비되며,
   상기 제어모듈은 상기 시각정보 출력수단 및 상기 청각정보 출력수단(560) 중 가압하는 상기 외곽측 맨드릴(510)과 대응되는 위치에 구비되는 상기 시각정보 출력수단(550) 및 상기 청각정보 출력수단(560)을 제어하여, 상기 청각정보 또는 상기 시각정보가 출력되도록 하며,
   상기 결속모듈(543)은 상기 제1 바디부(5412)와 상기 제2 바디부(5422)의 장착 여부를 감지하되, 상기 제1 브릿지(5411)와 상기 제2 브릿지(5421)의 삽입 깊이 값을 감지하여 상기 제1 바디부(5412)와 상기 제2 바디부(5422) 상호간의 결속여부를 감지하며,
   상기 제어모듈은 상기 삽입 깊이 값을 기 설정된 기준값과 대비하여 상기 삽입 깊이 값이 오차 범위를 벗어나는 경우 소정의 제어동작을 수행하는 다중형 스크라이빙 수단이 구비된 기판절단 시스템.
8. 청구항 7에 있어서,
   상기 외곽측 맨드릴(510)의 양측 단부 상에는 상기 제1 연동부(541)의 길이방향 상의 제2 수평도 값을 측정하기 위한 제2 감지부(S2)가 구비되며, 상기 제어모듈은 측정된 상기 제2 수평도 값이 기 설정된 오차범위를 벗어나는 경우, 상기 시각정보 및 상기 청각정보가 출력되도록 제어하며,
   상기 외곽측 맨드릴(510)은,
   상기 제2 연동부(542)에 의하여 구획되는 복수의 서브 맨드릴(510a, 510b, 510c, 510d)과, 상기 제2 연동부(542)와 상기 각 서브 맨드릴(510a, 510b, 510c, 510d)에 내삽되어 상기 지지구(530) 상에 결속되는 지지봉(B)을 포함하며,
   상기 시각정보 출력수단(550) 및 상기 청각정보 출력수단(560) 중 적어도 어느 하나는 상기 지지구(530) 상에서 복수의 상기 외곽측 맨드릴(510)과 각각 대응하도록 구비되며,
   상기 제어모듈은,
   상기 시각정보 출력수단(550) 및 상기 청각정보 출력수단(560) 중 상기 스크라이빙라인을 형성하는 외곽측 맨드릴(510)과 대응되는 위치에 구비되는 상기 시각정보 출력수단(550) 및 상기 청각정보 출력수단(560)을 제어하여, 상기 청각정보 또는 상기 시각정보가 출력되도록 하며,
   상기 결속모듈(543)은 상기 제1 바디부(5412)와 상기 제2 바디부(5422)의 장착 여부를 감지하되, 상기 제1 브릿지(5411)와 상기 제2 브릿지(5421)의 삽입 깊이 값을 감지하여 상기 제1 바디부(5412)와 상기 제2 바디부(5422) 상호간의 결속여부를 감지하며,
   상기 제어모듈은 상기 삽입 깊이 값을 기 설정된 기준값과 대비하여 상기 삽입 깊이 값이 오차 범위를 벗어나는 경우 소정의 제어동작을 수행하는 다중형 스크라이빙 수단이 구비된 기판절단 시스템.
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