KR101834128B1 - 가공용 클린룸 시스템 - Google Patents

Abstract

본 발명은, 가공용 클린룸 시스템에 있어서, 벽체에 통로가 형성되며, 상기 통로의 일측에서 전방으로 연장되는 호 형상의 외부 벽체와, 상기 통로의 타측에서 후방으로 연장되는 호 형상의 내부 벽체를 갖는 클린룸; 상기 통로에 회전 가능하게 제공되며, 회전축을 중심으로 복수의 도어판들이 방사상으로 배치되는 회전 도어; 및 상기 클린룸 상에 구비되며 복수 개의 다리로 운반물을 싣는 부분이 지지되고, 상기 다리 단부에 바퀴가 결합된 운반장치를 포함하며, 상기 운반장치의 상기 다리는 상부 다리와 하부 다리로 이루어지고, 상기 상부 다리와 하부 다리의 대응 단부들이 실린더로 연결되며, 상기 실린더의 일단 내벽과 상기 상부 다리의 단부는 결합을 위한 나사가 형성되며, 상기 상부 실린더의 다른 일단부에는 상기 하부 다리의 단부가 수직 유동가능하게 삽입되는 가공용 클린룸 시스템을 제공한다.
따라서, 외부 공기의 유입이 차단되므로 염분, 습기, 그리고 먼지 등으로부터 내부 장치가 보호할 수 있는 효과가 있다.

Description

가공용 클린룸 시스템 {CLEAN ROOM SYSTEM}

본 발명은 가공용 클린룸 시스템에 관한 것으로, 보다 상세하게는 외부 공기의 유입을 차단할 수 있는 가공용 클린룸 시스템에 관한 것이다.

반도체 공정 라인, 병원 수술실 등은 미세 먼지, 습도, 온도 등에 민감하므로, 클린룸 내에 설치된다. 일반적으로 클린룸은 외부 공간과의 격리를 위해 중간 공간을 가진다. 중간 공간에는 에어 샤워(Air Shower) 및 공조기 등이 제공되어 클린룸으로 외부 공기가 유입되는 것을 차단한다. 에어 샤워는 일 방향으로 길게 제공된 통로와 통로 양측의 도어를 갖는다. 이러한 에어 샤워는 설비가 차지하는 면적을 크게 한다. 특히, 장치의 유지 보수를 위해 작업자의 출입이 잦은 공간에서는 외부 환경의 영향이 크므로, 제염 및 제습을 위한 시스템이 요구된다. 이러한 시스템은 해양의 특성상 공간적인 한계가 크므로, 좁은 공간에 제공될 것이 요구된다.

한국등록특허 제10-0392188호

본 발명은, 외부 공기의 유입을 차단할 수 있는 가공용 클린룸 시스템을 제공하는 것을 목적으로 한다.

본 발명은, 벽체에 통로가 형성되며, 상기 통로의 일측에서 전방으로 연장되는 호 형상의 외부 벽체와, 상기 통로의 타측에서 후방으로 연장되는 호 형상의 내부 벽체를 갖는 클린룸; 상기 통로에 회전 가능하게 제공되며, 회전축을 중심으로 복수의 도어판들이 방사상으로 배치되는 회전 도어; 및 상기 외부 벽체와 상기 도어판들에 둘러싸인 제1공간으로 클린 공기를 공급하는 클린 공기 공급부를 포함하는, 가공용 클린룸 시스템을 제공한다.

본 발명에 따른 클리룸 시스템은 다음과 같은 효과를 가진다.

첫째, 외부 공기의 유입이 차단되므로 염분, 습기, 그리고 먼지 등으로부터 내부 장치가 보호된다.

둘째, 회전 도어의 제공으로 외부 공기의 유입을 차단할 수 있는 장치가 차지하는 면적이 작으므로 공간 활용이 효율적이다.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 가공용 클린룸 시스템을 나타내는 사시도이다.
도 2는 도 1의 가공용 클린룸 시스템을 나타내는 평면도이다.
도 3은 도 1의 A-A'에 따른 단면도이다.
도 4는 도 1의 B-B'에 따른 단면도이다.
도 5 내지 도 6은 사용자가 클린룸 내부로 진입하는 과정을 순차적으로 나타내는 도면이다.
도 7 내지 도 9는 도 1에 따른 운반장치의 구성들을 개략적으로 도시한 도면들이다.
도 10은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판커팅 유닛의 흡착클램프를 도시한 사시도이다.
도 11는 도 10의 기판커팅 유닛의 흡착부를 도시한 사시도이다.
도 12은 도 11의 기판커팅 유닛의 흡착부의 구동방식을 설명하기 위한 도면이다.
도 13은 기판커팅 유닛의 사시도이다.
도 14는 도 13의 기판 커팅 유닛의 평면도이다.
도 15은 도 13의 기판 커팅 유닛의 측면도이다.
도 16은 도 13의 기판 커팅 유닛의 스크라이빙부 및 흡입부를 발췌하여 도시한 사시도이다.
도 17은 도 16의 가변스테이지의 구동방식을 설명하기 위한 도면이다.
도 18 및 도 19는 도 10의 흡착클램프의 동작을 설명하기 위한 도면이다.
도 19 내지 도 22는 본 발명의 다른 실시예에 따른 기판 커팅 유닛의 구성들 중 일부를 도시한 도면이다.
도 23 내지 도 24는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 기판 커팅 유닛의 구성들 중 일부를 도시한 도면이다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명하기로 한다.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 가공용 클린룸 시스템을 나타내는 사시도이고, 도 2는 도 1의 가공용 클린룸 시스템을 나타내는 평면도이다.

도 1 및 도 2를 참조하면, 가공용 클린룸 시스템(10)은 외부 공기의 유입을 차단하여 클린룸(100) 내부를 청정 환경으로 조성한다. 가공용 클린룸 시스템(10)은 클린룸(100), 회전 도어(200), 클린 공기 공급부(300), 클린 공기 보조 공급부(400), 그리고 회전 도어 제어부(도 4의 500)를 포함한다. 클린룸(100)은 벽체(110)로 에워싸여 내부에 공간을 형성한다. 클린룸(100)의 내부 공간에는 전기 장치, 화학약품 또는 식품을 다루는 장치 등이 제공될 수 있다. 이러한 장치는 미세 먼지, 습도, 온도, 염도 등에 민감하여 클린룸(100) 내부는 청정상태로 유지될 것이 요구된다. 클린룸(100)은 다양한 형상 및 면적으로 제공될 수 있다. 실시예에 의하면, 클린룸(100)은 사각 형상의 공간으로 제공될 수 있다. 클린룸(100)의 벽체(110)에는 통로(1111)가 형성된다. 통로(1111)는 작업자가 클린룸(100)을 드나들 수 있는 출입구로 제공된다.

클린룸(100)의 벽체(110)는 외부 벽체(120)와 내부 벽체(130)를 갖는다. 외부 벽체(130)는 통로(1111)의 일측으로부터 클린룸(100)의 외부로 연장되며, 통로(1111)의 전방에 위치한다. 외부 벽체(120)는 호 형상을 가진다. 외부 벽체(120)는 회전 도어(200)의 회전 반경에 상응하는 곡률반경을 갖는다.

내부 벽체(130)는 통로(1111)의 타측으로부터 클린룸(100)의 내부로 연장되며, 통로(1111)의 후방에 위치한다. 내부 벽체(130)는 호 형상을 갖는다. 내부 벽체(130)는 회전 도어(200)의 회전 반경에 상응하는 곡률반경을 갖는다. 내부 벽체(130)는 회전 도어(200)의 회전축을 가로질러 외부 벽체(120)와 마주하며, 외부 벽체(120)에 상응하는 호 크기를 갖는다.

도 3은 도 1의 A-A'에 따른 단면도이고, 도 4는 도 1의 B-B'에 따른 단면도이다. 도 1 내지 도 4를 참조하면, 회전 도어(200)는 통로(1111)에 회전가능하게 제공된다. 회전 도어(200)는 도어판(210)과 패킹부(220)를 포함한다. 도어판(210)은 복수 개 제공되며, 회전 도어(200)의 회전축(201)을 중심으로 방사상으로 배치된다. 도어판(210)들은 회전 도어(200)의 회전 방향을 따라 등 간격으로 배치된다. 도어판(210)의 개수는 다양하게 제공될 수 있다. 실시예에 의하면, 4개의 도어판(210)이 제공되며, 도어판(210)들은 인접한 도어판과 90°를 이룬다. 인접한 도어판(210)들이 이루는 호의 크기는 외부 벽체(120)와 내부 벽체(130)의 호 크기에 상응한다.

회전 도어(200)는 외부 벽체(120) 및 내부 벽체(130)와 조합하여 밀폐된 공간을 형성한다. 실시예에 의하면, 90°로 배치되는 두 개의 도어판(210)은 외부 벽체(120)와 조합하여 부채꼴 형상의 제1공간(214)을 형성한다. 그리고, 나머지 두 개의 도어판(210)은 내부 벽체(130)와 조합하여 부채꼴 형상의 제2공간(215)을 형성한다. 제1공간(214)와 제2공간(215)은 회전 도어(200)의 회전축(211)을 기준으로 대칭된다. 실시예에 의하면, 회전 도어(200)는 상부에서 바라볼 때 반시계 방향으로 회전하며, 사용자는 제1공간(214)을 거쳐 클린룸(100) 내부로 진입하고, 제2공간(215)을 거쳐 클린룸(200) 외부로 빠져나온다. 사용자가 출입하는 과정에서 제1공간(214)에는 외부공기가 유입되고, 제2공간(215)에는 클린 공기가 유입된다.

도어판(210)들의 테두리에는 패킹부(220)가 부착된다. 패킹부(220)는 탄성 재질로, 도어판(210)의 테두리를 따라 제공된다. 패킹부(220)는 도어판(210)과 외부 벽체(120)의 사이 틈, 그리고 도어판(210)과 내부 벽체(130)의 사이 틈을 차단한다. 패킹부(220)는 도어판(210)과 벽체(120, 130)의 사이 틈으로 외부 공기가 유입되는 것을 차단한다. 클린 공기 공급부(300)는 제1공간(214)으로 클린 공기를 공급한다. 클린 공기는 먼지, 습기, 염분 등의 제거 처리가 이루어진 공기를 가리킨다. 클린 공기 공급부(300)는 클린 공기 생성기(310), 송풍관(320), 그리고 제1팬(330)을 포함한다.

클린 공기 생성기(310)는 공기 중에 포함된 먼지, 습기, 그리고 염분을 제거하여 클린 공기를 생성한다. 클린공기 생성기(310)는 클린룸(100) 내부에 위치할 수 있다. 클린룸(100) 내부에는 청정한 공기가 머무르므로, 클린 공기 생성기(310)는 신속하게 클린 공기를 생성할 수 있다. 송풍관(320)은 클린 공기 생성기(310)에서 생성된 클린 공기를 제1공간(214)으로 송풍한다. 송풍관(320)은 일단이 클린 공기 생성기(310)와 연결되고, 타단이 외부 벽체(120)에 형성된 송풍 유로(121)와 연결된다. 송풍 유로(121)는 제1공간(214)과 연통된다.

송풍 유로(121)의 토출단에는 제1팬(330)이 제공된다. 제1팬(330)은 제1공간 (213)측으로 공기를 송풍한다. 제1팬(330)의 구동으로 클린 공기는 제1공간(214)으로 공급된다. 외부 벽체(120)에는 개구(123)가 형성된다. 개구(123)는 송풍 유로(121)보다 낮은 높이에 형성될 수 있다. 개구(123)는 제1공간(214)과 외부 공간을 연결하는 통로로 제공된다. 개구(123)에는 제2팬(340)과 플랩(350)이 제공된다. 제2팬(340)은 제1공간(214)에 머무르는 공기를 외부로 송풍한다. 플랩(350)은 개구(123)를 개폐한다.

플랩(350)이 개구(123)를 개방하고, 제2팬(340)이 구동하여 제1공간(214)에 머무르는 공기를 외부로 배출한다. 제1공간(214)의 공기가 외부로 배출되면, 제1팬(330)이 구동되어 제1공간(214)으로 클린 공기를 공급한다. 클린 공기는 제1공간(214)의 공기가 외부로 배출되는 동안 제1공간(214)으로 공급될 수 있다. 이 과정에서 제1공간(214)에 머무르는 공기는 클린 공기로 교체되고, 제1공간(214)은 클린 공기로 채워진다. 제1공간(214)이 클린 공기로 채워지면, 플랩(350)이 개구(123)를 차단시켜 외부 공기가 제1공간(214)으로 유입되는 것을 차단하다.

클린 공기 보조 공급부(400)는 제1공간(214)으로 클린 공기를 추가 공급한다. 클린 공기 보조 공급부(400)는 연결관(410)과 팬(420)을 포함한다. 연결관(410)은 제1공간(214)과 제2공간(215)을 연결한다. 연결관(410)은 일단이 제1공간(214)의 상부벽과 연결되고, 타단이 제2공간(215)의 상부벽과 연결된다.

팬(420)은 연결관(410)에 제공되어 일 방향으로 공기를 송풍한다. 실시예에 의하면, 팬(420)은 제2공간(215)에서 제1공간(214)으로 공기를 송풍한다. 연결관(410)과 팬(420)은 제2공간(215)에 머무르는 클린 공기를 제1공간(214)으로 추가 공급하므로, 제1공간(214)은 신속하게 클린 공기로 채워질 수 있다.

이와 달리, 팬(420)는 제1공간(214)의 공기를 제2공간(215)으로 송풍시킬 수 있다. 제1공간(214)으로 유입된 외부 공기는 팬(420)의 구동으로 연결관(410)을 통해 제2공간(215)으로 송풍된다. 제2공간(215)을 채우는 공기는 회전 도어(200)의 반시계 방향 회전으로 외부로 배출된다. 이처럼, 제1공간(214)으로 유입된 외부 공기는 클린룸(100) 내부로 유입되지 않고 제2공간(215)으로 이동하여 외부로 배출될 수 있다.

또 다른 실시예에 의하면, 클린 공기 보조 공급부(400)는 제1공간(214)과 제2공간(215)을 연결하는 연결관(410)이 분리되어 두 개 제공될 수 있다. 연결관(410)들 각각에는 팬(420)이 제공되며, 하나의 연결관(410)을 통해 제2공간(215)을 채우는 클린 공기가 제1공간(214)으로 송풍되고, 다른 하나의 연결관(410)을 통해 제1공간(214)을 채우는 외부 공기가 제2공간(215)으로 송풍된다. 제2공간(215)을 채우는 클린 공기가 제1공간(214)으로 추가 공급되어 제1공간(214)은 신속하게 클린 공기로 채워지고, 제1공간(214)을 채우는 외부 공기는 제2공간(215)을 통해 외부로 배출된다.

회전 도어 제어부(500)는 회전 도어(200)의 회전을 제어한다. 회전 도어 제어부(500)는 센서부(510), 시그널 출력부(520), 그리고 도어 구동부(530)를 포함한다. 센서부(510)는 제1공간(214) 내에 제공되며, 제1공간(214)에 머무르는 공기의 성분을 감지한다. 센서부(510)는 먼지의 농도, 공기의 습도 및 염도 등을 측정한다. 측정된 공기의 성분이 기준 범위에 해당하는 경우, 센서부(510)는 신호를 시그널 출력부(520)와 도어 구동부(530)에 인가한다.

시그널 출력부(520)는 센서부(510)의 신호를 외부에 출력한다. 시그널 출력부(520)는 소리 또는 라이트 형태로 사용자에게 알람 신호를 출력할 수 있다. 도어 구동부(530)는 회전 도어(200)를 회전시키는 구동력을 발생시키고, 회전 도어(200)의 회전을 제동하는 제동력을 발생시킨다. 도어 구동부(530)는 제1공간(214) 내에 클린 공기가 기준 범위로 채워지는 동안, 제동력을 발생시켜 회전 도어(200)의 회전을 제한한다. 그리고, 제1공간(214) 내에 클린 공기가 기준 범위로 채워진 후제동력 전달을 해제하고 구동력을 발생시켜 회전 도어(200)를 회전시킨다.

이하, 상술한 가공용 클린룸 시스템을 이용하여 사용자가 클린룸 내부로 진입하는 과정을 설명한다. 도 5 및 도 6은 사용자가 클린룸 내부로 진입하는 과정을 순차적으로 나타내는 도면이다. 도 5를 참조하면, 사용자(P)는 클린룸(100)의 외부에서 회전 도어(200)를 약 90°회전시켜 제1공간(214)으로 진입한다. 사용자(P)가 진입하는 과정에서 제1공간(214)은 외부 공기로 채워진다. 도어 구동부(530)는 회전 도어(200)가 90°회전된 후, 제동력을 발생시켜 회전 도어(200)의 회전을 제한한다.

플랩(350)이 개구(123)를 개방하고, 제2팬(340)이 구동하여 제1공간(214)을 채우는 외부 공기를 클린룸(100) 외부로 배출시킨다. 클린 공기 공급부(300)와 클린 공기 보조 공급부(400)는 제1공간(214)으로 클린 공기를 공급한다. 클린 공기 생성기(310)에서 생성된 클린 공기(W1)는 제1팬(330)의 구동으로 송풍관(320)과 송풍 유로(121)를 통해 제1공간(214)으로 공급된다. 그리고, 제2공간(215)을 채우는 클린 공기는 팬(420)의 구동으로 연결관(410)을 통해 제1공간(214)으로 공급된다. 이에 의해 제1공간(214)은 클린 공기로 신속하게 채워진다.

센서부(510)는 제1공간(214)에 머무르는 공기의 성분을 감지하고, 공기의 성분이 기준 범위에 해당하는지 여부를 측정한다. 클린 공기의 교체로 제1공간(214) 내의 공기 성분이 기준 범위에 해당하는 경우, 시그널 출력부(520)와 도어 구동부(530)에 신호를 인가한다. 시그널 출력부(520)는 센서부(510)의 신호를 알람 또는 라이트형태로 사용자에게 출력한다. 도어 구동부(530)는 구동력을 발생시켜 회전 도어(200)를 도 6과 같이 회전시킨다. 사용자(P)는 회전 도어(200)의 회전으로 클린룸(100) 내부로 진입한다. 제1공간(214)이 클린 공기로 채워진 상태에서 사용자(P)가 클린룸(100) 내부로 진입하므로, 클린룸(100) 내부로 먼지, 염분, 습기 등이 유입이 방지된다. 이로 인해 클린룸(100) 내부는 청정 상태로 유지될 수 있다.

상술한 실시예에서는 제1공간(214)에 클린 공기가 채워진 정도를 센서부(510)가 측정하는 것으로 설명하였으나, 본 발명은 이에 한정되지 않는다. 회전 도어 제어부(500)는 타이머를 포함할 수 있다. 타이머는 제1공간(214)에 클린 공기가 공급되는 시간을 측정한다. 클린 공기가 기 설정된 시간 동안 제1공간(214)으로 공급되면, 제1공간(214)에는 클린 공기가 충분히 채워진 것으로 판단한다. 타이머는 기 설정된 시간이 경과하면, 시그널 출력부(520)와 도어 구동부(530)에 신호를 인가한다. 상술한 가공용 클린룸 시스템(10)은 다양한 장치에 적용될 수 있다. 일 실시예에 의하면, 가공용 클린룸 시스템(10)은 풍력 발전 장치에 적용될 수 있다. 해상 풍력 발전 장치의 경우, 염분, 습기, 먼지 등에 쉽게 노출되어 내부 장치들의 수명이 단축될 수 있다. 가공용 클린룸 시스템(10)은 염도 및 습도가 높고 먼지를 포함한 외부 공기가 풍력 발전 장치 내부로 유입되는 것을 차단할 수 있다.

가공용 클린룸 시스템(10)은 사용자의 출입이 빈번한 영역에 설치될 수 있다. 가공용 클린룸 시스템(10)은 풍력 발전 장치의 타워 또는 나셀에 설치될 수 있다. 다른 실시예에 의하면, 가공용 클린룸 시스템(10)은 선박과 같은 해양 구조물에 적용될 수 있다. 가공용 클린룸 시스템(10)은 주거 공간과 작업 공간 등과 같이 쾌적한 상태를 유지시켜야 하는 장소에 설치되어 외부 공기의 유입을 차단할 수 있다. 또 다른 실시예에 의하면, 가공용 클린룸 시스템(10)은 반도체 생산 라인에 설치될 수 있다. 반도체 생산 공정은 미세먼지 등이 공정 처리에 큰 영향을 미치므로, 생산 공간을 청정 상태로 유지시키는 것이 필수적이다. 상술한 가공용 클린룸 시스템(10)은 생산 공간을 청정 상태로 유지할 수 있다. 또 다른 실시예에 의하면, 가공용 클린룸 시스템(10)은 의료 기관과 실험실 등에 설치될 수 있다. 가공용 클린룸 시스템(10)은 외부 공기의 유입을 차단하여 공간을 청정상태로 유지할 수 있다.

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이하에서는 전술한 클린룸 상에 구비되는 운반장치에 대해서 설명한다. 클린룸 상에는 복수 개의 다리로 운반물을 싣는 부분이 지지되고, 다리 단부에 바퀴가 결합된 운반장치가 구비된다.

도 7을 참조하면, 운반 장치는 장방형 평판의 타공판(2010)의 네 모서리에는 다리가 구성되어 있으며, 다리는 상부 다리(2012)와 하부 다리(2014)가 완충부(2016)에 의하여 연결되어 있고, 하부 다리(2014)의 단부에는 바퀴(2017)가 설치되어 있다. 전술한 바와 같이 구성된 운반 장치의 타공판(2010) 상부에 웨이퍼를 실은 캐리어나 기타 장비에 필요한 부품과 같은 운반물이 적재되고, 작업자는 운반 장치를 밀어서 원하는 소정 목적지로 이동한다. 그리고, 상부 다리(2012)와 하부 다리(2014)의 사이의 완충부(2016)는 하부로부터 전달되는 진동이 상부로 전달되는 것을 차단하고 그에 따른 소음 효과가 기대된다. 그리고, 완충부(2016)는 도 8와 같은 스프링을 이용한 완충 구조 또는 도 9과 같은 완충패드를 이용한 완충 구조로 적용될 수 있으며, 본 발명에서는 이에 국한되지 않고 본 명세서를 이해한 자에 의하여 다양한 변형이 가능하다. 도 8를 참조하면, 완충부(2016)는 상부 다리(2012a)의 하단면 중심부에 소정 깊이를 갖는 요(20凹)형 홈(2018)이 형성되어 있고, 하부 다리(2014a)의 상단면 중심부에는 요형 홈(2018)과 유사 크기 및 형상을 가지면서 삽입되는 돌출부(2020)가 형성되어 있다. 그리고, 하부 다리(2014a)의 돌출부(2020)는 상부 다리(2012a)의 요형 홈(2018) 내부에 소정 길이 단부가 삽입되어 있고, 삽입된 상태에서 돌출부(2020)의 상부에는 소정 수직 유동을 위한 간극이 요형 홈(2018) 내부에 형성된다. 그리고, 돌출부(2020)에는 소정 탄성력을 갖는 스프링(2022)이 끼워져서 상부 다리(2012a)와 하부 다리(2014a)의 서로 대응되는면을 상하로 지지하고 있으며, 스피링(2022)의 외면은 주름 커버(2024)로 싸여져 있다.

전술한 바와 같이 구성됨으로써 운반 장치가 이동될 때 바퀴(2017)가 바닥 상에서 롤링되어 진동이 발생되면 진동은 하부다리(2014a)를 통하여 완충부(2016)로 전달되고, 완충부(2016) 내부의 스프링(2022)은 진동을 흡수하며, 이 과정에서 요형 홈(2018)에 소정 길이 단부가 삽입된 돌출부(2020)는 수직으로 유동된다. 그러므로, 진동이 완충부(2016)에 의하여 흡수되면서 그에 비례하여 소음도 억제된다. 그리고, 완충부(2016) 내부의 스프링이나 상부 다리(2012a) 및 하부 다리(2014a)의 결합 부분에서 발생될 수 있는 파티클이나 소음이 주름 커버(2024)에 의하여 외부로 확산됨이 방지된다. 한편, 완충부(2016)는 도 9과 같이 구성될 수 있다. 구체적으로, 상부 다리(2012b)의 하단 변부에는 나사가 형성되어 있고, 하부 다리(2014b)의 상단 변부는 하부의 직경보다 적은 직경을 소정 길이 갖도록 형성되어 있다. 그리고, 상부 다리(2012b)와 하부 다리(2014b)는 실린더(2026)에 의하여 결합되며, 실린더(2026)의 내부 즉 상부 다리(2012b)와 하부 다리(2014b) 사이에는 완충 패드(2030)가 삽입되어 있다.

여기에서 실린더(2026)는 일단부의 내벽에 상부 다리(2012b)의 하단 변부에 형성된 나사와 결합되기 위한 나사가 소정 길이형성되어 있으며, 실린더(2026)는 내경을 상부 다리(2012b)의 하단부와 하부 다리(2014b)의 상단부를 삽입하고 하부 다리(2014b)가 삽입되어 수직 유동 자재한 정도로 갖는다. 그리고, 완충 패드(2030)는 소정의 탄성력을 갖는 고무와 같은 재질로 제작된 것이 이용될 수 있으며, 완충 패드(2030)에 대용하여 공기나 유체를 내포한 팩(Pack)이나 백(20Bag)이 구성될 수 있다. 도 9과 같이 구성되는 완충부의 경우도 도 8의 경우와 동일하게 하부 다리에서 발생되는 진동이 완충패드(2030)에 의하여 완충되며, 그에 따른 소음의 효과가 발생된다. 그리고, 완충패드(2030)의 완충력에 의하여 하부 다리(2014b)의 단부는 실린더(2026)의 내부에서 수직으로 유동된다.

이하에서는 기판커팅 유닛에 대해서 설명한다. 전술한 클린룸 상에는 기판 가공을 위한 기판커팅 유닛이 구비된다. 도 10 내지 도 19를 참조하면, 상기 기판커팅 유닛에서 글라스기판 흡착클램프(3300)는 지면을 기준으로 지면상에 놓이는 테이블(3100)에서 상부로 연장된 프레임(3130)에 고정되는 한 쌍의 프레임가이드(3310)와 프레임가이드(3310)를 따라 움직이는 슬라이더(3320)와 상기 슬라이더(3320)에 대하여 승강가능하게 설치되는 클램프테이블(3330)과 클램프테이블(3330)의 양측에 고정되는 한 쌍의 클램프가이드(3340, 3340‘)와; 클램프가이드(3340, 3340’)를 따라 움직이는 것으로서, 글라스 기판(G) 또는 작은 단위의 패널(3P)을 흡착하기 위한 흡착부(3350a)와 분출부(3370)가 설치된 다수의 흡착부(3350, 3350', 3350")와 흡착부(3350, 3350', 3350") 각각에 설치된 것으로서 흡착부(3350a)에 흡착된 글라스 기판(G)을 작은 단위의 패널(3P)로 절단하기 위하여 형성된 스크라이브라인 외측을 타격하기 위한 타격부(3360, 360', 360")를 포함한다. 클램프테이블(3330)은 프레임가이드(3310)를 따라 전후 왕복이송되는 슬라이더(3320)에 승강가능하게 결합된다. 이때 클램프테이블(3330)이 슬라이더(3320)에 대하여 회전가능하며, 이를 위하여 클램프테이블(3330)에는 슬라이더(3320)와 연결되는 회전부가 설치될 수 있다. 이에 따라 후술할 흡착부(3350, 3350‘, 3350“)에 흡착되는 글라스원판이나 패널은 90도 방향으로 방향이 가변될 수 있다. 흡착부(3350, 3350‘, 3350“) 하단의 흡착부(3350a)에는 도 10에서 도시된 바와 같이 다수의 흡착공(3350a')이 형성되어 있다. 흡착공(3350a')은 음압을 형성함으로써 흡착부(3350a)에 글라스기판 또는 작은 패널을 흡착된 상태로 위치 고정한다. 상기 흡착부(3350a) 주변에 구비되는 분출부(3370)는 도 10과 같이 형성될 수 있고, 상기 분출부(3370)를 통해 빠른 속도로 공기를 내뿜도록 하여, 스크라이브 및 절단시 발생할 수 있는 파편들이나 분진 등 잔여물을 흡입부(3110)가 있는 하부측으로 내보낼 수 있게된다. 상기와 같은 방식의 공기 분출은 스크라이브 공정을 수행하는 동시에 수행될 수도 있고, 스크라이브 공정 이후 및 절단 공정 이후와 같이 각각의 공정 이후에 수행될 수 있다. 또한 공기를 분사하는 속력은 각 상황에 따라 적당히 조절 할 수 있다.

상기와 같이 스크라이브 공정과 동시에 공기를 분사하는 경우 스크라이브시 발생하는 잔여물을 발생과 동시에 바로 바로 제거할 수 있어 잔여물로 인한 결함 발생을 방지할 수 있다. 또한, 스크라이브 및 타격 공정시 발생하는 분진의 발생도 바로바로 제거할 수 있다. 상기 분출부(3370)를 통해 공기를 분사 할 수 있는 장치는 본 특허 출원시에 존재하는 모든 공기를 분사하는 장치 및 관련 방법을 이용할 수 있다. 한편, 상기 분출부(3370)는 공기 외에도 물과 같은 액체가 분사될 수 있는데, 상기 분출부(3370)를 통해 배출되는 액체도 상기에서 설명된 바와 같이, 스크라이브 공정 및 타격 공정시 발생되는 파편, 분진 등과 같은 잔여물을 쓸어 모으는 역할을 할 수 있다. 상기 분출부(3370)에서 액체가 분사되는 경우에도 배출속도를 조절 할 수 있는데, 액체의 경우 공기가 배출되는 경우와는 달리 낮은 속력으로 조금씩 배출되는 것이 좋을 수 있다. 상기 분출부(3370)가 액체를 이용하는 경우, 액체를 일정량만큼 담을 수 있는 액체통(미도시)을 슬라이더(3320)에 더 부가할 수 있다. 또는 액체를 지속적으로 공급할 수 있도록 본 발명 기판 커팅 유닛과 별도로 액체가 담겨진 통과 연결되는 노즐을 이용하여 작동할 수 있다.

상기와 같이 노즐을 이용하는 경우 일 실시예로서 노즐은 스테인레스(stainless)와 같은 재질이고, 크고 유연한 움직임을 가질 수 있는 스테인레스 호스(hose)와 같은 구조 및 형태가 될 수 있다. 그리고 도 13 및 도 16의 일 실시예와 같이, 하부 테이블(3100) 내에 구비되는 흡입부(3110)는 진공청소기와 유사한 방식으로 외부의 공기를 빨아 당길 수 있는 장치로 구성된다. 상기 흡입부(3110)의 구체적인 원리와 방법은 진공청소기와 유사하게 기압차를 형성하여 외부의 공기가 내부로 빨려 들어오도록 하는 것이다. 상기 기압차를 형성하기 위한 장치구성은 이미 알려진 진공청소기에서 사용되는 방법과 유사할 수 있다. 상기 흡입부(3110)는 일 실시예로서 도 16과 같이, 글라스 원판 및 패널이 놓이는 스테이지바(3220a) 하부에 위치할 수 있고, 공기를 빨아 당기는 속도는 경우에 따라 조절할 수 있다. 상기 흡입부(3110)는 상기 분출부(3370)와 동시에 같이 작동할 수 있다. 상기 흡입부(3110)와 상기 분출부(3370)가 동시에 같이 작동하게 되면 상기 분출부(3370)에 의해서 내보내지는 잔여물을 흡입부(3110)에서 동시에 빨아 당김으로써 더욱 효과적으로 잔여물들을 제거할 수 있다.

상기 흡입부(3110)의 이와 같은 작동은 상기 분출부(3370)에서 액체가 배출되는 경우에도 동일하게 작동할 수 있다. 다만, 경우에 따라 상기 분출부(3370)에서 액체가 배출되는 경우 상기 흡입부(3110)의 흡입력은 상기 분출부(3370)에서 공기를 이용하는 경우보다 훨씬 약하게 하거나 작동하지 않게 할 수 있다. 상기 흡입부(3110)는 포집한 잔여물을 일정량만큼 모아 놓을 수 있는 폐기물통(3120)을 일 실시예로서 도 15과 같이 구비할 수 있다. 상기 폐기물통(3120)은 상기 흡입부(3110)의 일 구성이 되는 것으로서, 폐기물통(3120)에 일정량만큼 폐기물이 쌓이면 모아서 밖으로 배출 할 수 있다. 흡착부(3350, 3350‘, 3350“)는 클램프가이드(3340, 3340‘)를 따라 움직일 수 있게 제어됨으로써 그들 사이의 간격이 가변적일 수 있다. 본 도1 및 기타 도면과 같은 실시예에서는 10개를 채용하는 것으로 예시하고 있으며, 용이한 설명을 위하여 3개의 참조부호인 350, 3350‘, 3350“만을 예시하여 설명한다. 흡착부(3350, 3350‘, 3350“)는 상기한 흡착부(3350a)의 양측에 형성된 것으로서, 도 12과 같이, 한쌍의 클램프가이드(3340, 3340‘)에 슬라이딩 가능하게 결합되는 레그슬라이더(3221)와 레그슬라이더(3221) 내부에 설치되는 마그네트(3222)와 클램프가이드(3340, 3340‘) 내측을 따라 길게 설치되어 상기 마그네트(3222)에 이송력을 제공하는 코일(3223)을 포함한다. 이러한 구성에 의하여 코일(3223)에 주파수를 달리하는 전원을 인가하면 상기 마그네트(3222)가 내장된 레그슬라이더(3221)는 코일(3223)이 내장된 클램프가이드(3340, 3340‘)를 따라 이송될 수 있다.

이러한 흡착부(3350, 3350‘, 3350“) 각각을 독립적으로 제어하여 그들 사이의 간격을 가변시킬 수 있다. 이에 따라 다양한 크기를 가지는 다수의 작은 패널 또는 LCD 패널을 흡착부(3350, 3350‘, 3350“)에 흡착시킬 수 있다. 여기서 코일(3223)은 클램프가이드(3340, 3340‘) 내측에 설치되기 때문에 그 코일(3223)로 전원 및 신호를 인가하기 위한 케이블을 흡착클램프(3300) 내에 내장할 수 있다. 따라서 10개의 가변스테이지(3220, 3220‘, 3220“) 각각을 작동시키기 위한 케이블이 흡착클램프(3300) 외측으로 노출되지 않게 된다. 상기와 같이 마그네트(3222)가 레그슬라이더(3221)에 내장되고, 코일(3223)이 클램프가이드(3340, 3340‘)에 내장되는 것은 기술적으로 의미를 가지며 이를 상세히 설명하면 다음과 같다. 즉, 본 발명과는 달리, 마그네트(3222)가 클램프가이드(3340, 3340‘)에 내장되고 코일(3223)이 클램프가이드(3340, 3340‘)에 설치되는 구성일 경우, 흡착부(3350, 3350‘, 3350“)의 이송제어를 위한 코일(3223)에 전원 및 신호를 인가하기 위한 케이블은 반드시 외부로 노출되어야 한다. 이러한 케이블은 흡착가변스테이지의 개수에 비례하기 때문에 10개의 흡착부(3350, 3350‘, 3350“)를 채용할 경우 최소한 10개 이상의 케이블 다발을 이루며 외부로 노출되어야 한다. 이러한 케이블 다발은 흡착클램프(3300)의 공간을 차지함과 동시에 반복적인 스크라이브 작업시 발생되는 분진이나 파편들에 오염될 수 있고, 노출로 인한 방해 및 사고의 우려가 높아져 생산성을 떨어뜨릴 수 있다.

타격부(3360, 3360‘, 3360“)는 후술할 도 18 및 도 19에 도시된 바와 같이, 각각의 흡착부의 양측에 한쌍씩 설치된 것으로서, 스크라이브라인을 갖는 흡착부(3350a)에 흡착된 글라스기판 측으로 순간적으로 움직임으로써 그 글라스 기판에 타격을 가한다. 이러한 타격부(3360, 3360‘, 3360“)는 흡착클램프(3300) 내부에 기어나 스프링 등을 조합하거나 공압실린더를 이용한 구동상식에 의해 글라스기판을 타격할 수 있고, 이에 따라 스크라이브라인을 기준으로 글라스기판이 절단되어 단수 혹은 다수의 작은 단위의 패널이 완성된다. 상기한 구조에 의하여, 슬라이더(3320)가 프레임가이드를 따라 왕복이송되고, 다수의 흡착부(3350, 3350‘, 3350“)를 가지는 클램프테이블(3330)이 슬라이더(3320)에 대하여 승강 및 회전됨으로써, 결과적으로 흡착부(3350, 3350‘, 3350“)에 흡착된 글라스기판 또는 단위 패널을 테이블을 기준으로 전후방 왕복이송시킴과 동시에 승강 및 회전동작이 가능하다. 이에 따라 후술할 스크라이브부(3200)에서 스크라이브라인이 형성된 글라스기판을 흡착이송할 수 있는 것이다. 또한 흡착부(3350, 3350‘, 3350“)는 도 11 및 도 12과 같이, 클램프가이드(3340, 3340‘)를 따라 이송됨으로써 그들 사이의 간격을 가변할 수 있으므로, 다양한 크기로 절단되는 다수의 단위 패널을 흡착이송할 수 있다. 또한 타격부(3360, 3360‘, 3360“)는 글라스기판이 흡착부(3350, 3350‘, 3350“)에 흡착된 상태에서 글라스기판의 일부분을 스크라이브라인으로 구획된 단수 혹은 다수의 단위 패널로 정밀하게 절단할 수 있다.

도 13에서 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 기판 커팅 유닛은 바닥 지면을 기준으로 지면상에 놓이는 테이블(3100)에 설치되는 것으로서, 이송된 글라스기판의 하부면이 닿는 다수의 스테이지바(3220a)의 상호 간격을 가변할 수 있다. 상기 글라스기판의 상부면 및 하부면에 다수의 스크라이브라인을 형성하는 스크라이브부(3200)와; 상기 스크라이브부(3200) 하부에 위치하는 것으로서 공정 중 발생하는 잔여물을 회수하기 위한 공기를 빨아 당기는 흡입부(3110)와; 상기 테이블(3100)에서 연장된 프레임(3130)에 지지되는 것으로서, 상기 스크라이브라인이 형성된 상기 글라스기판을 흡착 및 이송하는 흡착클램프(3300)와; 흡착클램프(3300)에 의하여 이송된 단위 패널을 외부로 배출하기 위한 배출컨베이어;를 포함한다. 본 발명에서 사용되는 글라스기판은 대향의 글라스 2장 사이에 액정 및 TFT 어레이가 내장된 구조를 가지며, 여러 장으로 절단함으로써 다수의 단위 LCD 패널이 된다. 상기 테이블(3100)은 본 발명 기판 커팅 유닛의 기본 프레임이 되는 것으로서, 상기 스크라이브부(3200)가 상기 테이블(3100) 상단에 위치하고, 내부에 상기 흡입부(3110)와 흡입부(3110)를 통해 모여진 폐기물을 담는 폐기물통(3120) 구비하며, 상기 폐기물통(3120)은 흡입부(3110)에 착탈식으로 장착될 수 있다. 또한 상기 테이블(3100)의 가장자리에 설치된 것으로서 흡착클램프(3300)를 지지하기 위한 프레임(3130);을 포함한다. 도시된 바와 같이, 스크라이브부(3200)는 흡입부(3110)의 양측에서 테이블(3100)에 고정되는 한 쌍의 제1스테이지가이드(3210, 3210')와; 제1스테이지가이드(3210, 3210')를 따라 이송 제어되는 것으로서, 글리스기판의 하부면이 놓이는 스테이지바(3220a)가 설치된다. 본 실시예에서는 10개의 가변스테이지(3220, 3220‘, 3220“)와; 제1스테이지가이드(3210, 3210')에 대하여 수직방향으로 설치된 것으로서, 상기 흡입부(3110)의 양측에서 테이블(3100)에 고정되는 한쌍의 제2스테이지가이드(3230, 3230')와; 상기 제2스테이지가이드(3230, 3230')를 따라 이송 제어되는 것으로서, 상기 스테이지바(3220a)에 안착된 상기 글라스기판의 하부측에 위치하는 하부이송가이드(3240)와; 상기 하부이송가이드(3240)에 설치되는 것으로서 상기 글라스기판의 하부측에 스크라이브라인을 형성하기 위한 다수, 본 실시예에서는 4개의 하부스크라이버(3250)와; 제2스테이지가이드(3230, 3230') 외측의 상기 테이블(3100)에 고정되는 제3스테이지가이드(3260, 260')와; 상기 제3스테이지가이드(3260, 260')를 따라 이송 제어되는 것으로서, 상기 스테이지바(3220a)에 안착된 상기 글라스기판의 상부측에 위치하는 상부이송가이드(3270)와; 상기 상부이송가이드(3270)에 설치되는 것으로서 상기 글라스기판의 상부측에 스크라이브라인을 형성하기 위한 다수, 본 실시예에서는 4개의 상부스크라이버(3280);를 포함한다.

상기 제1스테이지가이드(3210, 3210'), 제2스테이지가이드(3230, 3230'), 및 제3스테이지가이드(3260, 260')는 테이블(3100)에 각각 고정된다. 가변스테이지(3220, 3220‘, 3220“)는 제1스테이지가이드(3210, 3210')를 따라 이송가능하게 제어됨으로써 그들 사이의 간격이 가변될 수 있으며, 안착되는 글라스기판을 정렬시킨다. 가변스테이지(3220, 3220‘, 3220“)는 본 실시예에서 10개를 채용하는 것으로 예시하고 있으며, 용이한 설명을 위해 3개의 참조부호인 220, 3220‘, 3220“만을 예시하여 설명한다. 가변스테이지(3220, 3220‘, 3220“)는 상기한 스테이지바(3220a)의 양측에 형성되는 것으로서, 도 17에 도시된 바와 같이 한쌍의 제1스테이지가이드(3210, 3210')에 슬라이딩 가능하게 결합되는 레그슬라이더(3221)와, 레그슬라이더(3221) 내부에 설치되는 마그네트(3222)와 제1스테이지가이드(3210, 3210') 내측을 따라 길게 설치되는 상기 마그네트(3222)에 리니어 이송력을 제공하는 코일(3223)을 포함한다. 이러한 구성에 의하여, 코일(3223)에 주파수를 달리하는 전원을 인가하면, 상기 마그네트(3222)가 내장된 레그슬라이더(3221)는 코일(3223)이 내장된 제1스테이지가이드(3210, 3210')를 따라 이송될 수 있고, 이러한 가변스테이지(3220, 3220‘, 3220“) 각각을 독립적으로 제어하여 그들 사이의 간격을 가변시킬 수 있다. 이에 따라 가변스테이지(3220, 3220‘, 3220“)에 안착되는 글라스기판에 다양한 간격의 스크라이브라인을 형성하기 위하여 후술할 하부 및 상부 스크라이버(3250)(3280)의 이송공간을 제공할 수 있다.

여기서 코일(3223)은 제1스테이지가이드(3210, 3210') 내측에 설치되기 때문에 그 코일(3223)로 전원 및 신호를 인가하기 위한 케이블을 테이블(3100) 내에 내장할 수 있다. 따라서 10개의 가변스테이지(3220, 3220‘, 3220“) 각각을 작동시키기 위한 케이블이 스크라이브부(3200)의 외측으로 노출되지 않게된다. 상기와 같이 마그네트(3222)가 레그슬라이더(3221)에 내장되고, 코일(3223)이 제1스테이지가이드(3210, 3210')에 내장되는 것은 기술적 의미를 가진다. 즉, 본 발명과는 달리, 마그네트(3222)가 제1스테이지가이드(3210, 3210')에 내장되고 코일(3223)이 레그슬라이더(3221)에 설치되는 구성일 경우, 가변스테이지(3220, 3220‘, 3220“)의 이송제어를 위한 코일(3223)에 전원 및 신호를 인가하기 위한 케이블은 반드시 외부로 노출되어야 한다.

이러한 케이블 다발은 가변스테이지(3220, 3220‘, 3220“)의 이송 동작시 관성 저항을 정밀한 이송제어를 방해하고, 또한 스크라이브부(3200)의 공간을 차지함과 동시에 반복적인 스크라이브 작업시 발생되는 분진이나 파편들에 의해 오염되며, 이후 다음 절단 작업이 진행될 때 글라스기판을 재오염시키는 원인이 되어 결과적으로 생산수율을 떨어뜨리게 된다. 가변스테이지(3220, 3220‘, 3220“) 상단의 스테이지바(3220a)에는 도 16와 같이 외부의 음압형성장치(미도시)와 연결되는 다수의 흡착공(3220a')이 형성되어 있다. 이러한 흡착공(3220a')은 음압을 형성함으로써 글라스기판이 스테이지바(3220a)에 흡착된 상태가 되게 한다. 이에 따라 글라스기판은 스테이지바(3220a)에 위치고정되어 후술할 하부 및 상부 스크라이버가 이송되면서 글라스기판의 하부면 및 상부면에 스크라이브라인을 형성 할 때 움직이지 않게 하여 정확한 간격의 스크라이브라인을 형성할 수 있는 것이다.

하부이송가이드(3240)는 제2스테이지가이드(3230, 3230')를 따라 이송 제어된다. 하부스크라이버(3250)는 하부이송가이드(3240)에 설치되어 글라스기판의 하부면에 스크라이브라인을 형성하는데, 이 때 글라스기판에 형성되는 스크라이브라인의 간격을 가변하기 위하여, 하부스크라이버(3250)는 하붕송가이드에 대하여 이송제어 가능하게 결합된다. 이를 위하여 예를 들면 하부스크라이버(3250) 내부에 전술한 가동마그네트(미도시)가 설치되고, 하부이송가이드(3240) 내부에 전술한 코일(3223)이 설치되는 리니어구동방식을 채용할 수 있다. 상기한 하부이송가이드(3240) 및 하부스크라이버(3250)를 채용함으로써, 하부스크라이버(3250)는 글라스기판의 하부측에서 X-Y축으로 이송제어가 가능하고, 글라스기판에 다양한 간격의 스크라이브라인을 형성할 수 있는 것이다. 상부이송가이드(3270)는 제3스테이지가이드(3260, 260')를 따라 이송제어 된다. 상부스크라이버(3280)는 상부이송가이드(3270)에 설치되어 글라스기판의 상부면에 스크라이브라인을 형성하는데, 이 때 글라스기판에 형성되는 스크라이브라인의 간격을 가변하기 위하여 상부스크라이버(3280)는 상부이송가이드(3270)에 대하여 이송제어 가능하게 결합된다. 이를 위해, 예를 들면 상부스크라이버(3280) 내부에 전술한 가동마그네트가 설치디고, 하부이송가이드(3240) 내부에 전술한 코일(3223)이 설치되는 리니어구동방식을 채용할 수 있다. 상기한 상부이송가이드(3270) 및 상부스크라이버(3280)를 채용함으로써 상부스크라이버(3280)는 글라스기판의 상부측에서 X-Y축으로 이송제어가 가능하고, 글라스기판에 다양한 간격의 스크라이브라인을 형성할 수 있는 것이다. 각각의 상부스크라이버(3280)에는 글라스기판의 자세를 읽기 위한 카메라(미도시)가 설치될 수 있다. 이러한 카메라는 글라스기판에 형성되는 스크라이브라인을 촬영함으로써 현재 스크라이브라인이 형성되고 있는 것을 실시간으로 확인할 수 있다. 하부 및 상부스크라이버(3250, 280)는 도10에 도시된 바와 같이 단부에 스크라이브라인을 형성하기 위하여 글라스기판의 표면을 밀착 가압하는 휠(3251)(3281)과, 휠(3251)(3281)을 승강시키는 휠승강부(3252)(3282)를 포함할 수 있다. 이러한 하부 및 상부스크라이버(3250, 280)는 독립적으로 이송제어되는 하부이송가이드(3240)와 상부이송가이드(3270)에 지지되므로, 하부스크라이버(3250)와 상부스크라이버(3280)에 의하여 형성되는 스크라이브라인을 비대칭되게 형성할 수 있고, 이에 따라 제조되는 단위 패널에 전극을 연결하는 태브(Tab)를 형성할 수 있다.

이와 같이 제1스테이지가이드(3210, 3210')에 슬라이딩되는 다수의 가변스테이지(3220, 3220‘, 3220“)를 채용함으로써 글라스기판의 하부면 및 상부면에 스크라이브라인을 형성하는 하부 및 상부 스크라이버의 이송공간을 확보할 수 있다. 이에 따라 다야안 크기의 단위 패널을 제조하기 위한 다양한 간격의 스크라이브라인을 형성할 수 있다. 또한 하부스크라이버(3250) 및 상부스크라이버(3280)는 글라스기판의 하부면 및 상부면 각각에 독립적인 스크라이브라인을 동시에 형성할 수 있고, 또한 하부 및 상부 스크라이버의 개수를 증감시킴으로써 글라스기판을 뒤집지 않고도 빠른 시간내에 멀티 스크라이브라인을 형성할 수 있다. 흡착클램프(3300)는 앞서 도 10 내지 도 12에서 설명한 것으로 대체한다.

배출컨베이어(3400)는 스크라이브부(3200)의 후방측 테이블(3100)에 설치되는 한쌍의 컨베이어가이드와(3410, 3410‘); 상기 컨베이어가이드(3410, 3410‘)를 따라 이송되는 가변컨베이어(3420)를 포함한다. 이 때 가변컨베이어(3420)는 무한궤도운동을 하는 벨트를 포함하거나 회전되는 롤러를 포함하는 방식 등 다양한 방식으로 구현될 수 있다. 이러한 배출컨베이어(3400)에 의하여 흡착클램프(3300)에 의하여 이송된 다수의 단위 패널의 크기가 다양하더라도 가변컨베이어(3420)의 간격을 조절함으로써 안전하게 외부로 이송시킬 수 있다. 상기 가변컨베이어(3420)는 상기 가변스테이지(3220, 3220‘, 3220“)나 흡착부(3350, 3350‘, 3350“)와 실질적으로 유사한 구성이기에 그에 관한 설명으로 대체한다. 상기한 기판 커팅 유닛에 따르면 글라스기판의 양측면에 스크라이브라인을 동시에 형성하고, 글라스기판에 충격을 주어 다수의 혹은 단수의 단위 패널로 절다나며, 글라스기판 커팅과정에서 발생되는 글라스기판 잔여물을 즉각 회수하고, 완성된 단위 패널을 외부로 배출시키는 모든 과정을 종전보다 짧은 길이 또는 크기의 절단장치에서 수행될 수 있도록 한다.

또한 글라스기판의 양면에서 스크라이브라인을 동시에 형성하게 됨으로써 종래 기술과 달리 스크라이브라인을 형성하기 위하여 글라스기판을 뒤집을 필요가 없고, 이에 따라 글라스기판을 뒤집기 위한 장치가 요구되지 않음과 동시에 글라스기판을 뒤집은 후 재배치시킬 때 발생될 수 있는 위치틀어짐을 근본적으로 방지할 수 있다. 따라서 글라스기판의 양면에 정확한 스크라이브라인을 빠른 시간내에 형성함과 동시에 불량률을 낮출 수 있다. 스크라이브라인은 제1스테이지가이드(3210, 3210') 가변스테이지(3220, 3220‘, 3220“)의 상단의 스테이지바(3220a)에 안착된 상태에서 진행되고, 그와 동시에 상기 분출부(3370)에서 분사되는 공기로 스크라이브 공정시 발생되는 잔여물을 즉각적으로 제거함으로써 잔여물로 인한 스크라이브라인 형성시 오차의 발생을 방지할 수 있어 정확한 스크라이브라인을 형성할 수 있다.

도 20 내지 도 22은 본 발명의 다른 실시예에 따른 기판 커팅 유닛의 구성들 중 일부를 도시한 도면이다. 이하에서 기술적 특징이 있는 부분을 중심으로 설명하기로 한다.

도 20 내지 도 22을 참조하면, 하부스크라이버(미도시) 및 상기 상부스크라이버(미도시) 각각에는, 상호 대향하는 한 쌍의 지지구(4530)와, 상기 지지구(4530) 사이에서 상호 대향하도록 구비되는 복수의 외곽측 맨드릴(4510)과, 복수의 상기 외곽측 맨드릴(4510) 사이에 구비되며 토오크에 기반하여 상기 지지구(4530)를 회전시키는 중심측 맨드릴(4520)과, 상기 외곽측 맨드릴(4510)과 상기 중심측 맨드릴(4520)과 상에는 상기 스크라이브라인을 형성하기 위한 스크라이브 수단(4540)이 구비되는 제1파츠(4501)를 포함하는 스크라이브 모듈(4500)이 구비된다. 상기 스크라이브 수단(4540)은 중공형으로 형성되어 상기 중심측 맨드릴(4520)에 외삽되는 제1 바디부(45412)와, 상기 제1 바디부(45412)로부터 상기 외곽측 맨드릴(4510)을 향하여 연장되는 복수의 제1 브릿지(45411)가 형성되는 제1 연동부(4541)와, 상기 각 외곽측 맨드릴(4510)에 구비되는 제2 바디부(45422)와, 상기 제2 바디부(45422)로부터 상기 중심측 맨드릴(4520)을 향하여 연장되는 제2 브릿지(45421)가 형성되는 제2 연동부(4542)를 포함한다. 상기 제2 바디부(45422)는 상기 글라스기판을 직접적으로 가공하기 위한 제1 휠(45422a)이 구비된다.

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상기 제2 바디부(45422) 상에는 상기 제1 휠(45422a)이 회전 가능하도록 위치되는 회전축(45422a1)과, 상기 회전축(45422a1)으로부터 상방으로 연장되어 상기 제2 브릿지(45421)와 접하는 연장부(45422a2)로 구비되며, 상기 외곽측 맨드릴(4510)은 상기 제1 휠(45422a)의 회전축(45422a1)의 양측에 각각 결속된다. 상기 스크라이브 수단(4540)은 일측으로 상기 제1 바디부(45412)가 장착되며, 타측으로는 상기 제2 바디부(45422)가 장착되어 상기 제1 연동부(4541)와 상기 제2 연동부(4542)를 결속시키는 결속모듈(4543)을 더 포함한다. 상기 결속모듈(4543)은 무선 송수신 기능을 갖춘 것춘 것으로서 상기 제2 바디부(45422)를 통해 상기 외곽측 맨드릴(4510)로부터 가해지는 가압힘을 측정한다. 측정된 상기 가압힘을 기 설정된 기준값과 비교하여 상기 가압힘이 상기 기준값 대비 설정된 오차 범위를 벗어나는 경우 소정의 제어동작을 수행하는 제어모듈을 더 포함한다. 상기 지지구(4530) 상에는 시각정보를 출력하는 시각정보 출력수단(4550) 및 청각정보를 출력하는 청각정보 출력수단(4560)이 구비되며, 상기 제어모듈은 상기 가압힘이 상기 오차 범위를 벗어나는 경우, 상기 시각 정보 및 상기 청각정보가 출력되도록 제어한다.

상기 연동모듈은 상기 중심측 맨드릴(4520)과 상기 외곽측 맨드릴(4510)을 복수로 구획하며, 상기 제1 바디부(45412)는 상기 외곽측 맨드릴(4510)의 길이방향 상의 제1 수평도 값을 측정하기 위한 제1 감지부가 구비되며, 상기 제어모듈은 측정된 상기 제1 수평도 값이 기 설정된 오차범위를 벗어나는 경우, 상기 시각정보 및 상기 청각정보가 출력되도록 제어한다. 상기 외곽측 맨드릴(4510)의 양측 단부 상에는 상기 제1 연동부(4541)의 길이방향 상의 제2 수평도 값을 측정하기 위한 제2 감지부가 구비되며, 상기 제어모듈은 측정된 상기 제2 수평도 값이 기 설정된 오차범위를 벗어나는 경우, 상기 시각정보 및 상기 청각정보가 출력되도록 제어한다.

상기 외곽측 맨드릴(4510)은 상기 제2 연동부(4542)에 의하여 구획되는 복수의 서브 맨드릴(4510a, 4510b, 4510c, 4510d)과, 상기 제2 연동부(4542)와 상기 각 서브 맨드릴(4510a, 4510b, 4510c, 4510d)에 내삽되어 상기 지지구(4530) 상에 결속 되는 지지봉(B)을 포함하며,

상기 시각정보 출력수단(4550) 및 상기 청각정보 출력수단(4560) 중 적어도 어느 하나는, 상기 지지구(4530) 상에서 복수의 상기 외곽측 맨드릴(4510)과 각각 대응하도록 구비된다. 상기 제어모듈은 상기 시각정보 추력수단(4550) 및 상기 청각정보 출력수단(4560) 중 상기 하부롤을 가압하는 외곽측 맨드릴(4510)과 대응되는 위치에 구비되는 상기 시각정보 출력수단(4550) 및 상기 청각정보 출력수단(4560)을 제어하여, 상기 청각정보 또는 상기 시각정보가 출력되도록 한다. 상기 결속모듈(4543)은 상기 제1 바디부(45412)와 상기 제2 바디부(45422)의 장착 여부를 감지하되, 상기 제1 브릿지(45411)와 상기 제2 브릿지(45421)의 삽입 깊이 값을 감지하여 상기 제1 바디부(45412)와 상기 제2 바디부(45422) 상호간의 결속여부를 감지한다. 상기 제어모듈은 상기 삽입 깊이 값을 기 설정된 기준값과 대비하여 상기 삽입 깊이 값이 상기 삽입 깊이 값이 오차 범위를 벗어나는 경우 소정의 제어동작을 수행한다.

상기 외곽측 맨드릴(4510)의 양측 단부 상에는 상기 제1 연동부(4541)의 길이방향 상의 제2 수평도 값을 측정하기 위한 제2 감지부가 구비되며, 상기 제어모듈은 측정된 상기 제2 수평도 값이 기 설정된 오차범위를 벗어나는 경우, 상기 시각정보 및 상기 청각정보가 출력되도록 제어하며,

상기 외곽측 맨드릴(4510)은 상기 제2 연동부(4542)에 의하여 구획되는 복수의 서브 맨드릴과, 상기 제2 연동부(4542)와 상기 각 서브 맨드릴에 내삽되어 상기 지지구(4530) 상에 결속되는 지지봉(B)을 포함하며, 상기 시각정보 출력수단(4550) 및 상기 청각정보 추력수단 중 적어도 어느 하나는,상기 지지구(4530) 상에서 복수의 상기 외곽측 맨들릴과 각각 대응하도록 구비된다. 상기 제어모듈은 상기 시각정보 출력수단(4550) 및 상기 청각정보 출력수단(4560) 중 상기 스크라이이빙라인을 형성하는 외곽측 맨드릴(4510)과 대응되는 위치에 구비되는 상기 시각정보 출력수단(4550) 및 상기 청각정보 출력수단(4560)을 제어하여, 상기 청각정보 또는 상기 시각정보가 출력되도록 한다.

상기 결속모듈(4543)은 상기 제1 바디부(45412)와 상기 제2 바디부(45422)의 장착 여부를 감지하되, 상기 제1 브릿지(45411)와 상기 제2 브릿지(45421)의 삽입 깊이 값을 감지하여 상기 제1 바디부(45412)와 상기 제2 바디부(45422) 상호간의 결속여부를 감지하며, 상기 제어모듈은 상기 삽입 깊이 값을 기 설정된 기준값과 대비하여 상기 삽입 깊이 값이 상기 삽입 깊이 값이 오차 범위를 벗어나는 경우 소정의 제어동작을 수행한다. 상기 제2 바디부(45422)는 상기 중심측 맨드릴(4520)의 길이방향 상의 제3 수평도 값을 측정하기 위한 제3 감지부가 구비되며, 상기 제어모듈은 측정된 상기 제3 수평도 값이 기 설정된 오차범위를 벗어나는 경우, 상기 시각정보 및 상기 청각정보가 출력되도록 제어하며, 상기 중심측 맨드릴(4520)의 양측 단부 상에는 상기 제2 연동부(4542)의 길이방향 상의 제4 수평도 값을 측정하기 위한 제3 감지부가 구비된다.

상기 제어모듈은 측정된 상기 제4 수평도 값이 기 설정된 오차범위를 벗어나 는 경우, 상기 시각정보 및 상기 청각정보가 출력되도록 제어한다. 상기 제3 감지부는 상기 제4 감지부를 중심으로 상호 대향하도록 위치되며, 상기 제4 감지부는 상기 제3 감지부와의 이격거리 값을 측정하고, 상기 제어모듈은 측정된 상기 이격거리 값이 기 설정된 오차범위를 벗어나는 경우, 상기 시각정보 및 상기 청각정보가 출력되도록 제어한다.

도 23 내지 도 24는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 기판 커팅 유닛의 구성들 중 일부를 도시한 도면이다. 이하에서 기술적 특징이 있는 부분을 중심으로 설명하기로 한다.

도 23 내지 도 24를 참조하면, 기판 커팅 유닛은 상기 메인 지지구(4560)의 중심축이 되며 모터의 구동에 기반하여 상기 메인 지지구(4530)를 회전시키기 위한 중심부 샤프트(4505)를 더 포함한다. 상기 제1파츠(4501)는 상기 중심부 샤프트(4505)를 중심으로 상기 메인 지지구(4560) 상에서 상호 대향하도록 위치되며, 각각 상기 메인 지지구(4560) 사이에 개별적으로 회전 가능하도록 복수로 구비된다. 상기 제어모듈은 상기 제1 수평도 값, 상기 제2 수평도 값, 상기 제3 수평도 값, 상기 제4 수평도 값, 상기 삽입 깊이 값, 상기 이격거리 값 중 상기 기 설정된 기준 값을 초과하는 항목의 수가 특정 개수 이상을 초과하는 경우, 상기 모터 구동에 기반하여 상기 메인 지지구(4560)를 회전 시킨다. 상기 제1파츠(4501)는 제어부의 제어하에 상기 메인 지지구(4560) 상에서 상기 중심부 샤프트(4505)를 기준으로 설정 범위내에서 진퇴 가능하도록 유동된다. 상기 메인 지지구(4560)는 전술한 상기 제1 휠(45422a)와 마찬가지로 상기 글라스기판을 직접적으로 가공하는 것이 가능하다.

본 발명은 도면에 도시된 실시예를 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 본 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 다른 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의하여 정해져야 할 것이다.

10: 클린룸 시스템
100: 클린룸
110: 벽체
111: 통로
120: 외부 벽체
130: 내부 벽체

Claims (6)

1. 가공용 클린룸 시스템에 있어서,
   벽체에 통로가 형성되며, 상기 통로의 일측에서 전방으로 연장되는 호 형상의 외부 벽체와, 상기 통로의 타측에서 후방으로 연장되는 호 형상의 내부 벽체를 갖는 클린룸; 상기 통로에 회전 가능하게 제공되며, 회전축을 중심으로 복수의 도어판들이 방사상으로 배치되는 회전 도어; 및 상기 클린룸 상에 구비되는 기판가공수단을 포함하되,
   상기 기판가공수단은,
   테이블에 고정되는 한쌍의 제1스테이지가이드; 상기 제1스테이지가이드를 따라 이송 제어되는 것으로서, 글라스기판의 하부면을 지지하는 스테이지바가 설치되는 다수의 가변스테이지; 상기 테이블 상에 상기 제1스테이지가이드에 대하여 수직방향으로 고정되는 한쌍의 제2스테이지가이드; 상기 글라스기판의 하부측에 위치되는 하부이송가이드; 상기 글라스기판의 하부측에 스크라이브라인을 형성하기 위한 하부스크라이버; 상기 글라스기판의 상부측에 스크라이브라인을 형성하기 위한 상부스크라이버;를 포함하며, 상기 하부스크라이버 및 상기 상부스크라이버 각각에는, 상호 대향하는 한 쌍의 지지구와, 상기 지지구 사이에서 상호 대향하도록 구비되는 복수의 외곽측 맨드릴과, 복수의 상기 외곽측 맨드릴 사이에 구비되며 토오크에 기반하여 상기 지지구를 회전시키는 중심측 맨드릴과, 상기 외곽측 맨드릴과 상기 중심측 맨드릴과 상에는 상기 스크라이브라인을 형성하기 위한 스크라이브 수단이 구비되는 제1 파츠를 포함하는 스크라이브 모듈이 구비되는 기판커팅 유닛을 포함하는 가공용 클린룸 시스템.
2. 청구항 1에 있어서,
   상기 스크라이브 수단은,
   중공형으로 형성되어 상기 중심측 맨드릴에 외삽되는 제1 바디부와, 상기 제1 바디부로부터 상기 외곽측 맨드릴을 향하여 연장되는 복수의 제1 브릿지가 형성되는 제1 연동부와, 상기 각 외곽측 맨드릴에 구비되는 제2 바디부와, 상기 제2 바디부로부터 상기 중심측 맨드릴을 향하여 연장되는 제2 브릿지가 형성되는 제2 연동부를 포함하며, 상기 제2 바디부는 상기 글라스기판을 직접적으로 가공하기 위한 제1 휠이 구비되되,
   상기 제2 바디부 상에는 상기 제1 휠이 회전 가능하도록 위치되는 회전축과, 상기 회전축으로부터 상방으로 연장되어 상기 제2 브릿지와 접하는 연장부로 구비되며, 상기 외곽측 맨드릴은 상기 제1 휠의 회전축의 양측에 각각 결속되는 가공용 클린룸 시스템.
3. 청구항 2에 있어서,
   상기 스크라이브 수단은,
   일측으로 상기 제1 바디부가 장착되며, 타측으로는 상기 제2 바디부가 장착되어 상기 제1 연동부와 상기 제2 연동부를 결속시키는 결속모듈을 더 포함하며,
   상기 결속모듈은 상기 제2 바디부를 통해 상기 외곽측 맨드릴로부터 가해지는 가압힘을 측정하며,
   측정된 상기 가압힘을 기 설정된 기준값과 비교하여 상기 가압힘이 상기 기준값 대비 설정된 오차 범위를 벗어나는 경우 소정의 제어동작을 수행하는 제어모듈을 더 포함하며,
   상기 지지구 상에는 시각정보를 출력하는 시각정보 출력수단 및 청각정보를 출력하는 청각정보 출력수단이 구비되며, 상기 제어모듈은 상기 가압힘이 상기 오차 범위를 벗어나는 경우, 상기 시각 정보 및 상기 청각정보가 출력되도록 제어하는 가공용 클린룸 시스템.
4. 청구항 3에 있어서,
   상기 제1 연동부 및 상기 제2 연동부는,
   상기 중심측 맨드릴과 상기 외곽측 맨드릴을 복수로 구획하며,
   상기 제1 바디부는 상기 외곽측 맨드릴의 길이방향 상의 제1 수평도 값을 측정하기 위한 제1 감지부가 구비되며,
   상기 제어모듈은 측정된 상기 제1 수평도 값이 기 설정된 오차범위를 벗어나는 경우, 상기 시각정보 및 상기 청각정보가 출력되도록 제어하는 가공용 클린룸 시스템.
5. 청구항 4에 있어서,
   상기 외곽측 맨드릴의 양측 단부 상에는 상기 제1 연동부의 길이방향 상의 제2 수평도 값을 측정하기 위한 제2 감지부가 구비되며, 상기 제어모듈은 측정된 상기 제2 수평도 값이 기 설정된 오차범위를 벗어나는 경우, 상기 시각정보 및 상기 청각정보가 출력되도록 제어하며,
   상기 외곽측 맨드릴은,
   상기 제2 연동부에 의하여 구획되는 복수의 서브 맨드릴과, 상기 제2 연동부와 상기 각 서브 맨드릴에 내삽되어 상기 지지구 상에 결속 되는 지지봉을 포함하며,
   상기 시각정보 출력수단 및 상기 청각정보 출력수단 중 적어도 어느 하나는, 상기 지지구 상에서 복수의 상기 외곽측 맨드릴과 각각 대응하도록 구비되며,
   상기 제어모듈은 상기 시각정보 출력수단 및 상기 청각정보 출력수단 중 가압하는 상기 외곽측 맨드릴과 대응되는 위치에 구비되는 상기 시각정보 출력수단 및 상기 청각정보 출력수단을 제어하여, 상기 청각정보 또는 상기 시각정보가 출력되도록 하며,
   상기 결속모듈은 상기 제1 바디부와 상기 제2 바디부의 장착 여부를 감지하되, 상기 제1 브릿지와 상기 제2 브릿지의 삽입 깊이 값을 감지하여 상기 제1 바디부와 상기 제2 바디부 상호간의 결속여부를 감지하며,
   상기 제어모듈은 상기 삽입 깊이 값을 기 설정된 기준값과 대비하여 상기 삽입 깊이 값이 상기 삽입 깊이 값이 오차 범위를 벗어나는 경우 소정의 제어동작을 수행하는 가공용 클린룸 시스템.
6. 청구항 5에 있어서,
   상기 외곽측 맨드릴의 양측 단부 상에는 상기 제1 연동부의 길이방향 상의 제2 수평도 값을 측정하기 위한 제2 감지부가 구비되며, 상기 제어모듈은 측정된 상기 제2 수평도 값이 기 설정된 오차범위를 벗어나는 경우, 상기 시각정보 및 상기 청각정보가 출력되도록 제어하며,
   상기 외곽측 맨드릴은,
   상기 제2 연동부에 의하여 구획되는 복수의 서브 맨드릴과, 상기 제2 연동부와 상기 각 서브 맨드릴에 내삽되어 상기 지지구 상에 결속되는 지지봉을 포함하며, 상기 시각정보 출력수단 및 상기 청각정보 출력수단 중 적어도 어느 하나는,상기 지지구 상에서 복수의 상기 외곽측 맨드릴과 각각 대응하도록 구비되며,
   상기 제어모듈은,
   상기 시각정보 출력수단 및 상기 청각정보 출력수단 중 상기 스크라이브라인을 형성하는 외곽측 맨드릴과 대응되는 위치에 구비되는 상기 시각정보 출력수단 및 상기 청각정보 출력수단을 제어하여, 상기 청각정보 또는 상기 시각정보가 출력되도록하며,
   상기 결속모듈은 상기 제1 바디부와 상기 제2 바디부의 장착 여부를 감지하되, 상기 제1 브릿지와 상기 제2 브릿지의 삽입 깊이 값을 감지하여 상기 제1 바디부와 상기 제2 바디부 상호간의 결속여부를 감지하며,
   상기 제어모듈은 상기 삽입 깊이 값을 기 설정된 기준값과 대비하여 상기 삽입 깊이 값이 상기 삽입 깊이 값이 오차 범위를 벗어나는 경우 소정의 제어동작을 수행하며,
   상기 제2 바디부는 상기 중심측 맨드릴의 길이방향 상의 제3 수평도 값을 측정하기 위한 제3 감지부가 구비되며,
   상기 제어모듈은 측정된 상기 제3 수평도 값이 기 설정된 오차범위를 벗어나는 경우, 상기 시각정보 및 상기 청각정보가 출력되도록 제어하며,
   상기 중심측 맨드릴의 양측 단부 상에는 상기 제2 연동부의 길이방향 상의 제4 수평도 값을 측정하기 위한 제3 감지부가 구비되며,
   상기 제어모듈은 측정된 상기 제4 수평도 값이 기 설정된 오차범위를 벗어나 는 경우, 상기 시각정보 및 상기 청각정보가 출력되도록 제어하는 가공용 클린룸 시스템.

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