KR101411484B1 - 클린룸 시스템 - Google Patents

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KR101411484B1
KR101411484B1 KR1020130049835A KR20130049835A KR101411484B1 KR 101411484 B1 KR101411484 B1 KR 101411484B1 KR 1020130049835 A KR1020130049835 A KR 1020130049835A KR 20130049835 A KR20130049835 A KR 20130049835A KR 101411484 B1 KR101411484 B1 KR 101411484B1
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임석현
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삼성중공업 주식회사
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    • F24F3/12—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling
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Abstract

클린룸 시스템이 개시된다. 본 발명의 일 실시예에 따른 클린룸 시스템은 벽체에 통로가 형성되며, 통로의 일측에서 전방으로 연장되는 호 형상의 외부 벽체와, 통로의 타측에서 후방으로 연장되는 호 형상의 내부 벽체를 갖는 클린룸; 통로에 회전 가능하게 제공되며, 회전축을 중심으로 복수의 도어판들이 방사상으로 배치되는 회전 도어; 및 외부 벽체와 도어판들에 둘러싸인 제1공간으로 클린 공기를 공급하는 클린 공기 공급부를 포함한다.

Description

클린룸 시스템{CLEAN ROOM SYSTEM}
본 발명은 클린룸 시스템에 관한 것으로, 보다 상세하게는 외부 공기의 유입을 차단할 수 있는 클린룸 시스템에 관한 것이다.
반도체 공정 라인, 병원 수술실 등은 미세 먼지, 습도, 온도 등에 민감하므로, 클린룸 내에 설치된다. 일반적으로 클린룸은 외부 공간과의 격리를 위해 중간 공간을 가진다. 중간 공간에는 에어 샤워(Air Shower) 및 공조기 등이 제공되어 클린룸으로 외부 공기가 유입되는 것을 차단한다.
한국 공개 특허 제2004-0052358호에는 에어 샤워의 일 예가 개시된다. 에어 샤워는 일 방향으로 길게 제공된 통로와 통로 양측의 도어를 갖는다. 이러한 에어 샤워는 설비가 차지하는 면적을 크게 한다.
해상에 설치되는 장치, 예컨대 해상 풍력 발전 장치의 경우 해상의 습기, 염분, 먼지 등으로 인해 내부의 전기 장치들이 손상된다. 특히, 장치의 유지 보수를 위해 작업자의 출입이 잦은 공간에서는 외부 환경의 영향이 크므로, 제염 및 제습을 위한 시스템이 요구된다. 이러한 시스템은 해양의 특성상 공간적인 한계가 크므로, 좁은 공간에 제공될 것이 요구된다.
한국 공개 특허 제2004-0052358호
본 발명은 외부 공기의 유입을 차단할 수 있는 클린룸 시스템을 제공한다.
또한, 본 발명은 공간 활용이 효율적인 클린룸 시스템을 제공한다.
본 발명의 일 측면에 따르면, 벽체에 통로가 형성되며, 상기 통로의 일측에서 전방으로 연장되는 호 형상의 외부 벽체와, 상기 통로의 타측에서 후방으로 연장되는 호 형상의 내부 벽체를 갖는 클린룸; 상기 통로에 회전 가능하게 제공되며, 회전축을 중심으로 복수의 도어판들이 방사상으로 배치되는 회전 도어; 및 상기 외부 벽체와 상기 도어판들에 둘러싸인 제1공간으로 클린 공기를 공급하는 클린 공기 공급부를 포함하는, 클린룸 시스템이 제공될 수 있다.
상기 클린 공기 공급부는 클린 공기를 생성하는 클린 공기 생성기; 및 상기 제1공간과 상기 클린 공기 생성기를 연결하며, 상기 제 1 공간으로 클린 공기를 송풍하는 송풍관을 포함할 수 있다.
상기 클린룸 시스템은 상기 외부 벽체에 형성된 개구에 제공되며, 상기 제1공간에 머무르는 공기를 외부로 송풍시키는 팬; 및 상기 개구를 개폐하는 플랩을 포함할 수 있다.
상기 클린룸 시스템은 상기 제1공간과 상기 내부 벽체와 상기 도어판들에 둘러싸인 제2공간을 연결하는 연결관; 및 상기 연결관에 설치되는 팬을 더 포함할 수 있다.
상기 팬은 상기 제2공간의 클린 공기를 상기 제1공간으로 송풍시키거나 상기 제1공간의 외부 공기를 상기 제2공간으로 송풍시킬 수 있다.
상기 연결관 및 상기 팬은 각각 한 쌍으로 제공되고, 상기 팬들 중 하나는 상기 제2공간의 클린 공기를 상기 제1공간으로 송풍시키도록 상기 연결관들 중 하나에 제공되고, 상기 팬들 중 나머지 하나는 상기 제1공간의 외부 공기를 상기 제2공간으로 송풍시키도록 상기 연결관들 중 나머지 하나에 제공될 수 있다.
상기 연결관은 상기 제1공간의 천장부와 상기 제2공간의 천장부를 연결할 수 있다.
상기 클린룸 시스템은 상기 제1공간의 공기가 클린 공기로 교환이 이루어졌는지 여부를 측정하는 센서부; 상기 센서부에서 인가된 신호에 따라 시그널을 외부로 출력하는 시그널 출력부; 및 상기 시그널이 출력되지 않는 동안 상기 회전 도어의 회전을 제동하고, 상기 시그널이 출력되는 동안 상기 회전 도어의 제동을 해제하는 도어 구동부를 더 포함할 수 있다.
상기 클린룸 시스템은 상기 제1공간으로 클린 공기가 공급되는 시간을 측정하는 타이머; 상기 제1공간으로 설정시간 동안 클린 공기가 공급되면 시그널을 외부로 출력하는 시그널 출력부; 및 상기 시그널이 출력되지 않는 동안 상기 회전 도어의 회전을 제동하고, 상기 시그널이 출력되는 동안 상기 회전 도어의 제동을 해제하는 도어 구동부를 더 포함할 수 있다.
상기 클린룸 시스템은 상기 도어판들의 테두리에 제공되며, 상기 도어판과 상기 외부 벽체 및 상기 내부 벽체의 사이 공간을 차단하는 패킹부를 더 포함할 수 있다.
본 발명에 의하면, 외부 공기의 유입이 차단되므로 염분, 습기, 그리고 먼지 등으로부터 내부 장치가 보호될 수 있다.
또한, 본 발명에 의하면, 회전 도어의 제공으로 외부 공기의 유입을 차단할 수 있는 장치가 차지하는 면적이 작으므로 공간 활용이 효율적이다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 클린룸 시스템을 나타내는 사시도이다.
도 2는 도 1의 클린룸 시스템을 나타내는 평면도이다.
도 3은 도 1의 A-A'에 따른 단면도이다.
도 4는 도 1의 B-B'에 따른 단면도이다.
도 5 및 도 6은 사용자가 클린룸 내부로 진입하는 과정을 순차적으로 나타내는 도면이다.
본 발명은 다양한 변환을 가할 수 있고 여러 가지 실시예를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 상세한 설명에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 실시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변환, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 본 발명을 설명함에 있어서 관련된 공지 기술에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명을 생략한다.
이하, 본 발명의 실시예를 첨부도면을 참조하여 상세히 설명하기로 하며, 첨부 도면을 참조하여 설명함에 있어, 동일하거나 대응하는 구성 요소는 동일한 도면번호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 클린룸 시스템을 나타내는 사시도이고, 도 2는 도 1의 클린룸 시스템을 나타내는 평면도이다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 클린룸 시스템(10)은 외부 공기의 유입을 차단하여 클린룸(100) 내부를 청정 환경으로 조성한다. 클린룸 시스템(10)은 클린룸(100), 회전 도어(200), 클린 공기 공급부(300), 클린 공기 보조 공급부(400), 그리고 회전 도어 제어부(도 4의 500)를 포함한다.
클린룸(100)은 벽체(110)로 에워싸여 내부에 공간을 형성한다. 클린룸(100)의 내부 공간에는 전기 장치, 화학약품 또는 식품을 다루는 장치 등이 제공될 수 있다. 이러한 장치는 미세 먼지, 습도, 온도, 염도 등에 민감하여 클린룸(100) 내부는 청정상태로 유지될 것이 요구된다. 클린룸(100)은 다양한 형상 및 면적으로 제공될 수 있다. 실시예에 의하면, 클린룸(100)은 사각 형상의 공간으로 제공될 수 있다. 클린룸(100)의 벽체(110)에는 통로(111)가 형성된다. 통로(111)는 작업자가 클린룸(100)을 드나들 수 있는 출입구로 제공된다.
클린룸(100)의 벽체(110)는 외부 벽체(120)와 내부 벽체(130)를 갖는다. 외부 벽체(130)는 통로(111)의 일측으로부터 클린룸(100)의 외부로 연장되며, 통로(111)의 전방에 위치한다. 외부 벽체(120)는 호 형상을 가진다. 외부 벽체(120)는 회전 도어(200)의 회전 반경에 상응하는 곡률반경을 갖는다.
내부 벽체(130)는 통로(111)의 타측으로부터 클린룸(100)의 내부로 연장되며, 통로(111)의 후방에 위치한다. 내부 벽체(130)는 호 형상을 갖는다. 내부 벽체(130)는 회전 도어(200)의 회전 반경에 상응하는 곡률반경을 갖는다. 내부 벽체(130)는 회전 도어(200)의 회전축을 가로질러 외부 벽체(120)와 마주하며, 외부 벽체(120)에 상응하는 호 크기를 갖는다.
도 3은 도 1의 A-A'에 따른 단면도이고, 도 4는 도 1의 B-B'에 따른 단면도이다.
도 1 내지 도 4를 참조하면, 회전 도어(200)는 통로(111)에 회전가능하게 제공된다. 회전 도어(200)는 도어판(210)과 패킹부(220)를 포함한다.
도어판(210)은 복수 개 제공되며, 회전 도어(200)의 회전축(201)을 중심으로 방사상으로 배치된다. 도어판(210)들은 회전 도어(200)의 회전 방향을 따라 등 간격으로 배치된다. 도어판(210)의 개수는 다양하게 제공될 수 있다. 실시예에 의하면, 4개의 도어판(210)이 제공되며, 도어판(210)들은 인접한 도어판과 90°를 이룬다. 인접한 도어판(210)들이 이루는 호의 크기는 외부 벽체(120)와 내부 벽체(130)의 호 크기에 상응한다.
회전 도어(200)는 외부 벽체(120) 및 내부 벽체(130)와 조합하여 밀폐된 공간을 형성한다. 실시예에 의하면, 90°로 배치되는 두 개의 도어판(210)은 외부 벽체(120)와 조합하여 부채꼴 형상의 제1공간(214)을 형성한다. 그리고, 나머지 두 개의 도어판(210)은 내부 벽체(130)와 조합하여 부채꼴 형상의 제2공간(215)을 형성한다. 제1공간(214)와 제2공간(215)은 회전 도어(200)의 회전축(211)을 기준으로 대칭된다. 실시예에 의하면, 회전 도어(200)는 상부에서 바라볼 때 반시계 방향으로 회전하며, 사용자는 제1공간(214)을 거쳐 클린룸(100) 내부로 진입하고, 제2공간(215)을 거쳐 클린룸(200) 외부로 빠져나온다. 사용자가 출입하는 과정에서 제1공간(214)에는 외부공기가 유입되고, 제2공간(215)에는 클린 공기가 유입된다.
도어판(210)들의 테두리에는 패킹부(220)가 부착된다. 패킹부(220)는 탄성 재질로, 도어판(210)의 테두리를 따라 제공된다. 패킹부(220)는 도어판(210)과 외부 벽체(120)의 사이 틈, 그리고 도어판(210)과 내부 벽체(130)의 사이 틈을 차단한다. 패킹부(220)는 도어판(210)과 벽체(120, 130)의 사이 틈으로 외부 공기가 유입되는 것을 차단한다.
클린 공기 공급부(300)는 제1공간(214)으로 클린 공기를 공급한다. 클린 공기는 먼지, 습기, 염분 등의 제거 처리가 이루어진 공기를 가리킨다. 클린 공기 공급부(300)는 클린 공기 생성기(310), 송풍관(320), 그리고 제1팬(330)을 포함한다.
클린 공기 생성기(310)는 공기 중에 포함된 먼지, 습기, 그리고 염분을 제거하여 클린 공기를 생성한다. 클린 공기 생성기(310)는 클린룸(100) 내부에 위치할 수 있다. 클린룸(100) 내부에는 청정한 공기가 머무르므로, 클린 공기 생성기(310)는 신속하게 클린 공기를 생성할 수 있다.
송풍관(320)은 클린 공기 생성기(310)에서 생성된 클린 공기를 제1공간(214)으로 송풍한다. 송풍관(320)은 일단이 클린 공기 생성기(310)와 연결되고, 타단이 외부 벽체(120)에 형성된 송풍 유로(121)와 연결된다. 송풍 유로(121)는 제1공간(214)과 연통된다.
송풍 유로(121)의 토출단에는 제1팬(330)이 제공된다. 제1팬(330)은 제1공간 (213)측으로 공기를 송풍한다. 제1팬(330)의 구동으로 클린 공기는 제1공간(214)으로 공급된다.
외부 벽체(120)에는 개구(123)가 형성된다. 개구(123)는 송풍 유로(121)보다 낮은 높이에 형성될 수 있다. 개구(123)는 제1공간(214)과 외부 공간을 연결하는 통로로 제공된다.
개구(123)에는 제2팬(340)과 플랩(350)이 제공된다. 제2팬(340)은 제1공간(214)에 머무르는 공기를 외부로 송풍한다. 플랩(350)은 개구(123)를 개폐한다. 플랩(350)이 개구(123)를 개방하고, 제2팬(340)이 구동하여 제1공간(214)에 머무르는 공기를 외부로 배출한다. 제1공간(214)의 공기가 외부로 배출되면, 제1팬(330)이 구동되어 제1공간(214)으로 클린 공기를 공급한다. 클린 공기는 제1공간(214)의 공기가 외부로 배출되는 동안 제1공간(214)으로 공급될 수 있다. 이 과정에서 제1공간(214)에 머무르는 공기는 클린 공기로 교체되고, 제1공간(214)은 클린 공기로 채워진다. 제1공간(214)이 클린 공기로 채워지면, 플랩(350)이 개구(123)를 차단시켜 외부 공기가 제1공간(214)으로 유입되는 것을 차단하다.
클린 공기 보조 공급부(400)는 제1공간(214)으로 클린 공기를 추가 공급한다. 클린 공기 보조 공급부(400)는 연결관(410)과 팬(420)을 포함한다.
연결관(410)은 제1공간(214)과 제2공간(215)을 연결한다. 연결관(410)은 일단이 제1공간(214)의 상부벽과 연결되고, 타단이 제2공간(215)의 상부벽과 연결된다.
팬(420)은 연결관(410)에 제공되어 일 방향으로 공기를 송풍한다. 실시예에 의하면, 팬(420)은 제2공간(215)에서 제1공간(214)으로 공기를 송풍한다.
연결관(410)과 팬(420)은 제2공간(215)에 머무르는 클린 공기를 제1공간(214)으로 추가 공급하므로, 제1공간(214)은 신속하게 클린 공기로 채워질 수 있다.
이와 달리, 팬(420)는 제1공간(214)의 공기를 제2공간(215)으로 송풍시킬 수 있다. 제1공간(214)으로 유입된 외부 공기는 팬(420)의 구동으로 연결관(410)을 통해 제2공간(215)으로 송풍된다. 제2공간(215)을 채우는 공기는 회전 도어(200)의 반시계 방향 회전으로 외부로 배출된다. 이처럼, 제1공간(214)으로 유입된 외부 공기는 클린룸(100) 내부로 유입되지 않고 제2공간(215)으로 이동하여 외부로 배출될 수 있다.
또 다른 실시예에 의하면, 클린 공기 보조 공급부(400)는 제1공간(214)과 제2공간(215)을 연결하는 연결관(410)이 분리되어 두 개 제공될 수 있다. 연결관(410)들 각각에는 팬(420)이 제공되며, 하나의 연결관(410)을 통해 제2공간(215)을 채우는 클린 공기가 제1공간(214)으로 송풍되고, 다른 하나의 연결관(410)을 통해 제1공간(214)을 채우는 외부 공기가 제2공간(215)으로 송풍된다. 제2공간(215)을 채우는 클린 공기가 제1공간(214)으로 추가 공급되어 제1공간(214)은 신속하게 클린 공기로 채워지고, 제1공간(214)을 채우는 외부 공기는 제2공간(215)을 통해 외부로 배출된다
회전 도어 제어부(500)는 회전 도어(200)의 회전을 제어한다. 회전 도어 제어부(500)는 센서부(510), 시그널 출력부(520), 그리고 도어 구동부(530)를 포함한다.
센서부(510)는 제1공간(214) 내에 제공되며, 제1공간(214)에 머무르는 공기의 성분을 감지한다. 센서부(510)는 먼지의 농도, 공기의 습도 및 염도 등을 측정한다. 측정된 공기의 성분이 기준 범위에 해당하는 경우, 센서부(510)는 신호를 시그널 출력부(520)와 도어 구동부(530)에 인가한다.
시그널 출력부(520)는 센서부(510)의 신호를 외부에 출력한다. 시그널 출력부(520)는 소리 또는 라이트 형태로 사용자에게 알람 신호를 출력할 수 있다.
도어 구동부(530)는 회전 도어(200)를 회전시키는 구동력을 발생시키고, 회전 도어(200)의 회전을 제동하는 제동력을 발생시킨다. 도어 구동부(530)는 제1공간(214) 내에 클린 공기가 기준 범위로 채워지는 동안, 제동력을 발생시켜 회전 도어(200)의 회전을 제한한다. 그리고, 제1공간(214) 내에 클린 공기가 기준 범위로 채워진 후 제동력 전달을 해제하고 구동력을 발생시켜 회전 도어(200)를 회전시킨다.
이하, 상술한 클린룸 시스템을 이용하여 사용자가 클린룸 내부로 진입하는 과정을 설명한다.
도 5 및 도 6은 사용자가 클린룸 내부로 진입하는 과정을 순차적으로 나타내는 도면이다.
도 5를 참조하면, 사용자(P)는 클린룸(100)의 외부에서 회전 도어(200)를 약 90°회전시켜 제1공간(214)으로 진입한다. 사용자(P)가 진입하는 과정에서 제1공간(214)은 외부 공기로 채워진다. 도어 구동부(530)는 회전 도어(200)가 90°회전된 후, 제동력을 발생시켜 회전 도어(200)의 회전을 제한한다.
플랩(350)이 개구(123)를 개방하고, 제2팬(340)이 구동하여 제1공간(214)을 채우는 외부 공기를 클린룸(100) 외부로 배출시킨다.
클린 공기 공급부(300)와 클린 공기 보조 공급부(400)는 제1공간(214)으로 클린 공기를 공급한다. 클린 공기 생성기(310)에서 생성된 클린 공기(W1)는 제1팬(330)의 구동으로 송풍관(320)과 송풍 유로(121)를 통해 제1공간(214)으로 공급된다. 그리고, 제2공간(215)을 채우는 클린 공기는 팬(420)의 구동으로 연결관(410)을 통해 제1공간(214)으로 공급된다. 이에 의해 제1공간(214)은 클린 공기로 신속하게 채워진다.
센서부(510)는 제1공간(214)에 머무르는 공기의 성분을 감지하고, 공기의 성분이 기준 범위에 해당하는지 여부를 측정한다. 클린 공기의 교체로 제1공간(214) 내의 공기 성분이 기준 범위에 해당하는 경우, 시그널 출력부(520)와 도어 구동부(530)에 신호를 인가한다. 시그널 출력부(520)는 센서부(510)의 신호를 알람 또는 라이트 형태로 사용자에게 출력한다. 도어 구동부(530)는 구동력을 발생시켜 회전 도어(200)를 도 6과 같이 회전시킨다. 사용자(P)는 회전 도어(200)의 회전으로 클린룸(100) 내부로 진입한다. 제1공간(214)이 클린 공기로 채워진 상태에서 사용자(P)가 클린룸(100) 내부로 진입하므로, 클린룸(100) 내부로 먼지, 염분, 습기 등이 유입이 방지된다. 이로 인해 클린룸(100) 내부는 청정 상태로 유지될 수 있다.
상술한 실시예에서는 제1공간(214)에 클린 공기가 채워진 정도를 센서부(510)가 측정하는 것으로 설명하였으나, 본 발명은 이에 한정되지 않는다. 회전 도어 제어부(500)는 타이머를 포함할 수 있다. 타이머는 제1공간(214)에 클린 공기가 공급되는 시간을 측정한다. 클린 공기가 기 설정된 시간 동안 제1공간(214)으로 공급되면, 제1공간(214)에는 클린 공기가 충분히 채워진 것으로 판단한다. 타이머는 기 설정된 시간이 경과하면, 시그널 출력부(520)와 도어 구동부(530)에 신호를 인가한다.
상술한 클린룸 시스템(10)은 다양한 장치에 적용될 수 있다.
일 실시예에 의하면, 클린룸 시스템(10)은 풍력 발전 장치에 적용될 수 있다. 해상 풍력 발전 장치의 경우, 염분, 습기, 먼지 등에 쉽게 노출되어 내부 장치들의 수명이 단축될 수 있다. 클린룸 시스템(10)은 염도 및 습도가 높고 먼지를 포함한 외부 공기가 풍력 발전 장치 내부로 유입되는 것을 차단할 수 있다. 클린룸 시스템(10)은 사용자의 출입이 빈번한 영역에 설치될 수 있다. 클린룸 시스템(10)은 풍력 발전 장치의 타워 또는 나셀에 설치될 수 있다.
다른 실시예에 의하면, 클린룸 시스템(10)은 선박과 같은 해양 구조물에 적용될 수 있다. 클린룸 시스템(10)은 주거 공간과 작업 공간 등과 같이 쾌적한 상태를 유지시켜야 하는 장소에 설치되어 외부 공기의 유입을 차단할 수 있다.
또 다른 실시예에 의하면, 클린룸 시스템(10)은 반도체 생산 라인에 설치될 수 있다. 반도체 생산 공정은 미세 먼지 등이 공정 처리에 큰 영향을 미치므로, 생산 공간을 청정 상태로 유지시키는 것이 필수적이다. 상술한 클린룸 시스템(10)은 생산 공간을 청정 상태로 유지할 수 있다.
또 다른 실시예에 의하면, 클린룸 시스템(10)은 의료 기관과 실험실 등에 설치될 수 있다. 클린룸 시스템(10)은 외부 공기의 유입을 차단하여 공간을 청정상태로 유지할 수 있다.
이상, 본 발명의 실시예들에 대하여 설명하였으나, 해당 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서, 구성 요소의 부가, 변경, 삭제 또는 추가 등에 의해 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있을 것이며, 이 또한 본 발명의 권리범위 내에 포함된다고 할 것이다.
10: 클린룸 시스템 100: 클린룸
110: 벽체 111: 통로
120: 외부 벽체 130: 내부 벽체
200: 회전 도어 210: 도어판
220: 패킹부 300: 클린 공기 공급부
310: 클린 공기 생성기 320: 송풍기
330: 팬 400: 클린 공기 보조 공급부
410: 연결관 420: 팬
500: 회전 도어 제어부 510: 센서부
520: 시그널 출력부 530: 도어 구동부

Claims (10)

  1. 벽체에 통로가 형성되며, 상기 통로의 일측에서 전방으로 연장되는 호 형상의 외부 벽체와, 상기 통로의 타측에서 후방으로 연장되는 호 형상의 내부 벽체를 갖는 클린룸;
    상기 통로에 회전 가능하게 제공되며, 회전축을 중심으로 복수의 도어판들이 방사상으로 배치되는 회전 도어; 및
    상기 외부 벽체와 상기 도어판들에 둘러싸인 제1공간으로 클린 공기를 공급하는 클린 공기 공급부를 포함하는, 클린룸 시스템.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 클린 공기 공급부는
    클린 공기를 생성하는 클린 공기 생성기; 및
    상기 제1공간과 상기 클린 공기 생성기를 연결하며, 상기 제 1 공간으로 클린 공기를 송풍하는 송풍관을 포함하는 클린룸 시스템.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 외부 벽체에 형성된 개구에 제공되며, 상기 제1공간에 머무르는 공기를 외부로 송풍시키는 팬; 및
    상기 개구를 개폐하는 플랩을 포함하는 클린룸 시스템.
  4. 제 2 항에 있어서,
    상기 제1공간과 상기 내부 벽체와 상기 도어판들에 둘러싸인 제2공간을 연결하는 연결관; 및
    상기 연결관에 설치되는 팬을 더 포함하는 클린룸 시스템.
  5. 제 4 항에 있어서,
    상기 팬은 상기 제2공간의 클린 공기를 상기 제1공간으로 송풍시키거나 상기 제1공간의 외부 공기를 상기 제2공간으로 송풍시키는 클린룸 시스템.
  6. 제 4 항에 있어서,
    상기 연결관 및 상기 팬은 각각 한 쌍으로 제공되고,
    상기 팬들 중 하나는 상기 제2공간의 클린 공기를 상기 제1공간으로 송풍시키도록 상기 연결관들 중 하나에 제공되고, 상기 팬들 중 나머지 하나는 상기 제1공간의 외부 공기를 상기 제2공간으로 송풍시키도록 상기 연결관들 중 나머지 하나에 제공되는 클린룸 시스템.
  7. 제 4 항에 있어서,
    상기 연결관은 상기 제1공간의 천장부와 상기 제2공간의 천장부를 연결하는 클린룸 시스템.
  8. 제 2 항에 있어서,
    상기 제1공간의 공기가 클린 공기로 교환이 이루어졌는지 여부를 측정하는 센서부;
    상기 센서부에서 인가된 신호에 따라 시그널을 외부로 출력하는 시그널 출력부; 및
    상기 시그널이 출력되지 않는 동안 상기 회전 도어의 회전을 제동하고, 상기 시그널이 출력되는 동안 상기 회전 도어의 제동을 해제하는 도어 구동부를 더 포함하는 클린룸 시스템.
  9. 제 2 항에 있어서,
    상기 제1공간으로 클린 공기가 공급되는 시간을 측정하는 타이머;
    상기 제1공간으로 설정시간 동안 클린 공기가 공급되면 시그널을 외부로 출력하는 시그널 출력부; 및
    상기 시그널이 출력되지 않는 동안 상기 회전 도어의 회전을 제동하고, 상기 시그널이 출력되는 동안 상기 회전 도어의 제동을 해제하는 도어 구동부를 더 포함하는 클린룸 시스템.
  10. 제 2 항에 있어서,
    상기 도어판들의 테두리에 제공되며, 상기 도어판과 상기 외부 벽체 및 상기 내부 벽체의 사이 공간을 차단하는 패킹부를 더 포함하는 클린룸 시스템.
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