KR101843474B1 - Probe-pin with spring - Google Patents

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KR101843474B1
KR101843474B1 KR1020160112737A KR20160112737A KR101843474B1 KR 101843474 B1 KR101843474 B1 KR 101843474B1 KR 1020160112737 A KR1020160112737 A KR 1020160112737A KR 20160112737 A KR20160112737 A KR 20160112737A KR 101843474 B1 KR101843474 B1 KR 101843474B1
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Abstract

본 발명은 스프링 프로브핀에 대한 것으로, 반도체 및 전자장비 등의 전기적인 특성을 검사할 때 사용되는 것으로, 탑플런저와 바텀플런저를 탄성스프링으로 결합하여 제조 및 유지보수가 용이한 프로브핀을 제공하는 것이다.
이를 위해, 스프링 프로브핀은 검사부위에 접촉되는 탐침부(10)와 상기 탐침부(10)와 지그장착부(30)의 사이에 위치하여 탄성력을 제공하는 결합스프링(20) 및 검사용 지그에 결합되는 지그장착부(30)로 구성되는 스프링 프로브핀을 제공하게 된다.The present invention relates to a spring probe pin, which is used when inspecting electrical characteristics of a semiconductor and electronic equipment, and provides a probe pin which is easily manufactured and maintained by coupling a top plunger and a bottom plunger with an elastic spring will be.
To this end, the spring probe pin includes a probe 10 that is in contact with a region to be inspected, a coupling spring 20 that is positioned between the probe 10 and the jig mounting portion 30 to provide an elastic force, And a jig mounting part (30) for mounting the spring probe pin.

Description

스프링 프로브핀{PROBE-PIN WITH SPRING}Spring probe pin {PROBE-PIN WITH SPRING}

본 발명은 스프링 프로브핀에 대한 것으로, 반도체 및 전자장비 등의 전기적인 특성을 검사할 때 사용되는 것으로, 탑플런저와 바텀플런저를 탄성스프링으로 결합하여 제조 및 유지보수가 용이한 프로브핀을 제공하는 것이다.The present invention relates to a spring probe pin, which is used when inspecting electrical characteristics of a semiconductor and electronic equipment, and provides a probe pin which is easily manufactured and maintained by coupling a top plunger and a bottom plunger with an elastic spring will be.

전자소자 및 이를 실장한 회로기판의 전기적인 특성을 측정하기 위한 검사장치에 적용되어 탐침을 위한 부재로 프로브핀이 제시되고 있으며, 이와 같은 프로브핀은 다양한 형태로 제안되고 있다.A probe pin is proposed as a member for a probe, which is applied to an electronic device and an inspection apparatus for measuring electrical characteristics of a circuit board on which the probe is mounted. Various types of probe pins have been proposed.

이때, 프로브핀의 특성상 정밀하며 미세한 부위를 검침하기 위하여 초소형의 규격을 유지하는 경우가 대부분을 차지하고 있다.At this time, most of the probe pins are kept in a very small size in order to inspect fine and fine portions due to the characteristics of the probe pins.

이에 따라, 제조시 작업의 어려움으로 인하여 생산량이 저하되거나, 미세한 결합을 요구하는 경우가 대부분이기 때문에 작업불량율이 높은 단점이 있었다.As a result, there are disadvantages in that the production rate is lowered due to difficulty in production at the time of production, or the fine bonding is required in most cases.

이러한 문제에 따라 조립이 용이하며 간단한 구조의 프로브핀에 대한 기술이 대한민국 등록실용신안 제20-0414653호(프로브핀, 이하 '선행기술'이라 함)는 소정거리 분리된 외부연결단자사이의 전기신호경로를 제공하도록 핀홀더에 장착되는 프로브핀에 있어서, 도전재질로 제작되고 내측단으로부터 길이방향을 따라 안내홈이 형성되어 있는 봉형상의 고정바디부와 상기 고정바디부의 중간영역 외표면에 둘레방향을 따라 돌출 형성된 고정지지턱을 가지고, 상기 고정지지턱의 외측면이 상기 핀홀더에 접촉 지지되도록 상기 핀홀더에 장착되는 고정접촉부와; 도전재질로 제작되는 봉형상의 이동바디부와 상기 이동바디부의 중간영역 외표면에 둘레방향을 따라 돌출 형성된 이동지지턱을 가지고, 상기 이동지지턱의 외측면이 상기 핀홀더에 접촉 지지되고 상기 이동바디부의 내측단이 상기 안내홈의 바닥면으로부터 이격되며 상기 이동바디부의 내측단부영역이 상기 안내홈의 내벽면에 접촉되도록 상기 핀홀더에 장착되는 이동접촉부와; 상기 고정지지턱과 상기 이동지지턱의 상기 핀홀더에 대한 접촉지지상태가 유지되도록 상기 고정지지턱과 상기 이동지지턱사이에 개재하는 복귀탄성체를 포함하는 것을 특징으로 한다. 이에 의해, 프로브핀 자체의 저항을 감소시킬 수 있고, 제조단가가 낮아지고 조립공정이 간단해지며, 단위면적당 연결할 수 있는 최대외부연결단자수를 증가시킬 수 있는 기술을 개시하고 있다.According to this problem, a probe pin having a simple structure and having a simple structure is disclosed in Korean Utility Model Registration No. 20-0414653 (hereinafter, referred to as "prior art"), A probe pin mounted on a pin holder for providing a path, comprising: a rod-like fixed body part made of a conductive material and having a guide groove formed along the longitudinal direction from an inner end thereof; A fixed contact portion protruding from the fixed holder and mounted on the pin holder such that an outer surface of the fixed holder is contacted with the pin holder; And a movable support jaw protruding along a circumferential direction on an outer surface of an intermediate region of the movable body portion, wherein an outer side surface of the movable support jaw is contactably supported by the pin holder, A moving contact mounted on the pin holder such that an inner end of the portion is spaced from a bottom surface of the guide groove and an inner end region of the moving body portion is in contact with an inner wall surface of the guide groove; And a return elastic member interposed between the fixed support jaw and the movable support jaw such that the fixed support jaw and the movable support jaw are held in contact with the pin holder. Thereby, a technique is disclosed in which the resistance of the probe pin itself can be reduced, the manufacturing cost is reduced, the assembling process is simplified, and the maximum number of external connection terminals that can be connected per unit area can be increased.

그러나, 상기 선행기술은 복귀탄성체가 고정바디와 이동바디에 이격되어 있으며, 복귀탄성력만을 제공하기 때문에 연속된 사용으로 인하여 고정바디와 이동바디가 기계적인 마찰에 의해 결합부위가 파손되어 이격되거나, 복귀탄성체가 고정되어 있지 않기 때문에 고정바디와 이동바디의 외부에 발생하는 표면기전력 등에 의해 전기적인 특성이 고르지 못하게 측정되어 검사대상의 전기적인 특성이 변화하는 문제가 발생하게 된다.However, in the prior art, since the returning elastic body is separated from the fixed body and the moving body and provides only the returning elastic force, the fixed body and the moving body are damaged due to mechanical friction, Since the elastic body is not fixed, the electric characteristics are unevenly measured due to the surface electromotive force generated on the outside of the fixed body and the moving body, and the electric characteristics of the object to be inspected are changed.

상기와 같은 문제점을 극복하기 위해, 탄성부재가 이탈되지 않으며, 탐침부와 결합되어 있어 검사시 전기적인 특성의 변화율이 적어 신뢰성이 높은 검사결과를 제공할 수 있는 스프링 프로브핀을 제공하는 것을 본 발명의 목적으로 한다.In order to overcome the above problems, it is an object of the present invention to provide a spring probe pin that is not detached from an elastic member and is coupled to a probe unit, The purpose of

본 발명의 또다른 목적은, 제조가 용이하여 생산성을 향상시킬 수 있으며, 보수가 용이하여 유지비용을 절감할 수 있는 스프링 프로브핀을 제공하는 것이다.It is still another object of the present invention to provide a spring probe pin that can be easily manufactured and can be improved in productivity, can be easily repaired, and can reduce maintenance costs.

본 발명의 목적을 달성하기 위한 반도체 및 전자장비 등의 전기적인 특성을 검사할 때 사용되는 것으로, 탑플런저와 바텀플런저를 탄성스프링으로 결합하여 제조 및 유지보수가 용이한 스프링 프로브핀에 있어서, 검사부위에 접촉되는 탐침부(10)와 상기 탐침부(10)와 지그장착부(30)의 사이에 위치하여 탄성력을 제공하는 결합스프링(20) 및 검사용 지그에 결합되는 지그장착부(30)로 구성되는 것을 특징으로 하는 스프링 프로브핀을 제공하게 된다.In order to accomplish the object of the present invention, there is provided a spring probe pin which is used when inspecting electrical characteristics of a semiconductor and electronic equipment, such that a top plunger and a bottom plunger are combined with an elastic spring to facilitate manufacture and maintenance, And a jig attaching portion 30 coupled to the inspection jig. The jig mounting portion 30 is disposed between the probing portion 10 and the jig mounting portion 30 to provide an elastic force. The spring probe pin according to claim 1,

이때, 상기 탐침부(10)의 일측에는 지그장착부(30)의 일부가 내삽되는 결합홀(14)이 형성되는 스프링결합돌기(11)가 형성되고, 상기 스프링결합돌기(11)에 연장되어 프렌지링(13)이 형성되며, 상기 프렌지링(13)과 스프링결합돌기(11)의 사이에 결합스프링(20)의 일부분이 내삽되어 걸리도록 하는 걸림홈(12)이 형성되도록 하며, 프렌지링(13)의 일측에는 검사를 위한 대상에 접촉되도록 하여 전기적인 특성을 검사할 수 있도록 하는 탐침핀(15)이 더 형성되며, 상기 스프링결합돌기(11)는 결합홀(14)이 형성된 방향으로 직경이 작아지도록 형성되어 결합스프링(20)의 일측에 내삽되기 용이하도록 형성하되고, 타측으로는 결합홀(14)이 형성된 방향의 경사도 보다 더 급격하게 경사지도록 하여 결합스프링(20)이 걸리도록 형성된다.A spring coupling protrusion 11 is formed at one side of the probe unit 10 to form a coupling hole 14 into which a part of the jig mounting unit 30 is inserted and is inserted into the spring coupling protrusion 11, A ring 13 is formed and an engaging groove 12 is formed between the flange ring 13 and the spring engaging protrusion 11 so that a part of the engaging spring 20 is inserted and caught, A probe pin (15) is provided at one side of the main body (13) so as to make contact with an object to be inspected so that electrical characteristics can be inspected. The spring coupling protrusion (11) The coupling spring 20 is formed so as to be easily inserted into one side of the coupling spring 20 and the other side is inclined more sharply than the inclination in the direction in which the coupling hole 14 is formed do.

또한, 상기 지그장착부(30)는 일측면에 검사를 위한 검사장치의 지그에 결합되도록 크라운형상의 포고핀(31a)이 구비되는 지그결합핀(31)이 형성되고, 상기 지그결합핀(31)과 인접하도록 프렌지링(32)이 형성되며, 상기 프렌지링(32)과 연장되어 스프링걸림링(33)이 형성되도록 하며, 상기 스프링걸림링(33)의 일측에 연장되어 탐침부(10)의 결합홀(14)에 내삽될 수 있도록 하는 결합돌기(34)가 형성되고, 상기 프렌지링(32)과 스프링걸림링(33)의 사이에 스프링의 일부분이 내삽될 수 있도록 하는 걸림홈(35)이 더 형성되도록 하는 것을 특징으로 하는 스프링 프로브핀을 제공함으로써 본 발명의 목적을 보다 잘 달성할 수 있는 것이다.The jig mounting portion 30 has a jig coupling pin 31 having a cog-shaped pogo pin 31a formed on one side thereof to be coupled to a jig of an inspection apparatus for inspection. The jig coupling pin 31, A flange ring 32 is formed adjacent to the flange ring 32 so as to be adjacent to the flange ring 32 so that the flange ring 32 and the spring hook ring 33 are formed. A coupling protrusion 34 is formed to be inserted into the coupling hole 14 and a locking groove 35 is formed between the flange ring 32 and the spring locking ring 33 so that a part of the spring can be inserted. So that the object of the present invention can be achieved more satisfactorily by providing the spring probe pin.

본 발명의 스프링 프로브핀을 제공함으로써, 탄성부재가 이탈되지 않으며, 탐침부와 결합되어 있어 검사시 전기적인 특성의 변화율이 적어 신뢰성이 높은 검사결과를 제공할 수 있으며, 구조적으로 안정화된 심플한 구조를 제공함으로써, 제조가 용이하여 생산성을 향상시킬 수 있으며, 보수가 용이하여 유지비용을 절감할 수 있는 효과가 있다.By providing the spring probe pin of the present invention, it is possible to provide a highly reliable inspection result because the elastic member is not detached and is coupled with the probe unit, so that the rate of change of the electrical characteristics is small, and a simple structurally stabilized structure Thus, the manufacturing can be facilitated and the productivity can be improved. Also, the maintenance is easy and the maintenance cost can be reduced.

도 1은 종래 프로브핀의 예시도이다.
도 2는 본 발명의 사시도이다.
도 3은 본 발명의 전개사시도이다.
도 4는 본 발명의 정면도이다.
도 5는 본 발명의 구조를 도시하기 위한 단면도이다.1 is an exemplary view of a conventional probe pin.
2 is a perspective view of the present invention.
3 is an exploded perspective view of the present invention.
4 is a front view of the present invention.
5 is a cross-sectional view showing the structure of the present invention.

이하에서 본 발명의 스프링 프로브핀을 당업자가 용이하게 실시할 수 있도록 도면을 참조하여 상세하게 설명하도록 한다.Hereinafter, a spring probe pin of the present invention will be described in detail with reference to the drawings so that those skilled in the art can easily carry out the invention.

도 2는 본 발명의 사시도, 도 3은 본 발명의 전개사시도, 도 4는 본 발명의 정면도 및 도 5는 본 발명의 구조를 도시하기 위한 단면도이다.FIG. 2 is a perspective view of the present invention, FIG. 3 is an exploded perspective view of the present invention, FIG. 4 is a front view of the present invention, and FIG. 5 is a sectional view showing the structure of the present invention.

도 2 내지 도 5를 참조하여 상세하게 설명하면, 본 발명의 스프링 프로브핀은 검사부위에 접촉되는 탐침부(10)와 상기 탐침부(10)와 지그장착부(30)의 사이에 위치하여 탄성력을 제공하는 결합스프링(20) 및 검사용 지그에 결합되는 지그장착부(30)로 구성된다.2 to 5, the spring probe pin of the present invention is positioned between the probe 10 contacting the region to be inspected, the probe 10 and the jig mounting portion 30, And a jig mounting portion 30 coupled to the inspection jig.

여기서 상기 탐침부(10)는 통상적인 프로브핀의 바텀역할을 하는 것을 말하며, 지그장착부(30)는 프로브핀의 탑플런저 역할을 하는 것이다.Here, the probe unit 10 serves as a bottom of a conventional probe pin, and the jig mounting unit 30 serves as a top plunger of a probe pin.

상기와 같은 탐침부(10)의 일측에는 지그장착부(30)의 일부가 내삽되는 결합홀(14)이 형성되는 스프링결합돌기(11)가 형성되고, 상기 스프링결합돌기(11)에 연장되어 프렌지링(13)이 형성되며, 상기 프렌지링(13)과 스프링결합돌기(11)의 사이에 결합스프링(20)의 일부분이 내삽되어 걸리도록 하는 걸림홈(12)이 더 형성된다.A spring coupling protrusion 11 is formed at one side of the probe unit 10 to form a coupling hole 14 into which a part of the jig mounting unit 30 is inserted and is inserted into the spring coupling protrusion 11, A ring 13 is formed and an engaging groove 12 is formed between the flange ring 13 and the spring engaging protrusion 11 so that a part of the engaging spring 20 is interposed therebetween.

또한, 프렌지링(13)의 일측에는 탐침핀(15)이 형성되어, 검사를 위한 대상에 접촉되도록 하여 전기적인 특성을 검사할 수 있도록 형성된다.A probe pin 15 is formed on one side of the flange ring 13 so as to contact the object to be inspected and to inspect electrical characteristics.

여기서, 상기 스프링결합돌기(11)는 결합홀(14)이 형성된 방향으로 직경이 작아지도록 형성되어 결합스프링(20)의 일측에 내삽되기 용이하도록 형성하되고, 타측으로는 결합홀(14)이 형성된 방향의 경사도 보다 더 급격하게 경사지도록 하여 결합스프링(20)이 걸리도록 형성된다.The spring coupling protrusion 11 is formed to have a smaller diameter in the direction in which the coupling hole 14 is formed so as to be easily inserted into one side of the coupling spring 20 and a coupling hole 14 is formed at the other side Is formed so as to be engaged with the engagement spring (20) so as to incline more sharply than the inclination of the formed direction.

또한, 상기 프렌지링(13)은 스프링결합돌기(11)와 걸림홈(12)에 의해 결속되는 결합스프링(20)의 일측단부를 지지하도록 하여, 결합스프링(20)의 탄성력을 유지하도록 하는 것이다.The flange ring 13 supports one end portion of the engagement spring 20 engaged by the spring engagement protrusion 11 and the engagement groove 12 to maintain the elastic force of the engagement spring 20 .

또한, 상기 스프링결합돌기(11)의 일측에 형성되는 결합홀(14)은 스프링결합돌기(11)의 내측으로 수용공간을 형성하여, 지그장착부(30)의 일부분이 내삽되어 결합되고, 외부충격에 의해 탐침부(10)와 지그장착부(30)사이의 간격이 좁아질 경우 이에 대응하기 위해, 지그장착부(30)의 일부분이 내삽되는 길이보다 깊게 형성되도록 한다.A coupling hole 14 formed at one side of the spring coupling protrusion 11 forms a receiving space inside the spring coupling protrusion 11 so that a part of the jig mounting portion 30 is inserted and coupled, A portion of the jig attaching portion 30 is formed to be deeper than the length of the jig attaching portion 30 in order to cope with a narrow gap between the probe 10 and the jig attaching portion 30. [

상기와 같은 탐침부(10)에 결합되는 결합스프링(20)은 통상의 코일형 스프링으로 형성된다.The coupling spring 20 coupled to the probe unit 10 is formed of a normal coil spring.

또한, 상기 탐침부(10)에 대응하며 결합되는 지그장착부(30)는 일측면에 검사를 위한 검사장치의 지그에 결합되도록 크라운형상의 포고핀(31a)이 구비되는 지그결합핀(31)이 형성되고, 상기 지그결합핀(31)과 인접하도록 프렌지링(32)이 형성되며, 상기 프렌지링(32)과 연장되어 스프링걸림링(33)이 형성되도록한다.The jig attaching portion 30 corresponding to the probe unit 10 includes a jig engaging pin 31 having a pawl pin 31a of a crown shape to be coupled to a jig of an inspection apparatus for inspection on one side And a flange ring 32 is formed adjacent to the jig coupling pin 31 so that the flange ring 32 and the spring engagement ring 33 are formed.

또한, 상기 스프링걸림링(33)의 일측에 연장되어 탐침부(10)의 결합홀(14)에 내삽될 수 있도록 하는 결합돌기(34)가 형성된다.An engaging projection 34 is formed to extend to one side of the spring retaining ring 33 so as to be inserted into the engaging hole 14 of the probe unit 10.

또한, 상기 프렌지링(32)과 스프링걸림링(33)의 사이에 스프링의 일부분이 내삽될 수 있도록 하는 걸림홈(35)이 더 형성되도록 한다.Further, a locking groove 35 is formed between the flange ring 32 and the spring locking ring 33 so that a part of the spring can be inserted.

상기와 같이 구성된 탐침부(10)의 결합홀(14)에 지그장착부(30)의 결합돌기(34)의 일부분이 내삽되도록 한 후, 상기 탐침부(10)와 지그장착부(30)의 사이에 결합스프링(20)이 위치하도록 하여 결합하게 된다.A portion of the engaging projection 34 of the jig attaching portion 30 is inserted into the engaging hole 14 of the probe 10 configured as described above and then the probe 10 is inserted between the probe 10 and the jig attaching portion 30 So that the coupling spring 20 is positioned.

이때, 상기 탐침부(10)의 스프링결합돌기(11)와 지그장착부(30)의 스프링걸림링(33)에 결합스프링(20)의 일츨이 각각 결합되어 탐침부(10)와 지그장착부(30)가 서로 이탈되는 것을 방지하게 된다.At this time, the springs of the coupling springs 20 are respectively coupled to the spring coupling projections 11 of the probe unit 10 and the spring coupling rings 33 of the jig mounting unit 30, Are prevented from being separated from each other.

이러한 구성은 종래의 프로브핀에 적용된 탑플런저와 바텀플런저의 결합력을 유지하기 위해 탑플런저와 바텀플런저의 결합부의에 이탈방지 돌기와 같은 강제구조를 형성하게 되고, 이로 인해 일개의 부품이 파손되었을 경우 부속품간의 분리가 어려워 부분수리가 어려운 점을 개선하기 위한 것이다.Such a configuration forms a forced structure such as a separation preventing projection at the coupling portion of the top plunger and the bottom plunger in order to maintain the coupling force between the top plunger and the bottom plunger applied to the conventional probe pin, So that it is difficult to repair the parts due to difficulty in separating them.

보다 상세하게 설명하면, 종래의 이탈방지 돌기 등과 같은 강제 구조를 탈피하여, 탄성부재인 스프링으로 양부재를 결속하여 양부재간의 이탈을 방지하는 구조를 제공하게 되는 것이다.More specifically, the present invention provides a structure for breaking off a forced structure such as a conventional detachment preventing protrusion or the like, and preventing both members from being separated by binding the both members with a spring as an elastic member.

상기와 같은 구성에 의해 본 발명의 스프링 프로브핀을 완성할 수 있는 것이다.The spring probe pin of the present invention can be completed by the above-described structure.

10 : 탐침부 11 : 스프링결합돌기
12 : 걸림홈 13 : 프렌지링
14 : 결합홀 15 : 탐침핀
20 : 결합스프링 30 : 지그장착부
31 : 지그결합핀 32 : 프렌지링
33 : 스프링걸림링 34 : 결합돌기
35 : 걸림홈10: probe unit 11: spring coupling projection
12: engaging groove 13: flanging ring
14: coupling hole 15: probe pin
20: coupling spring 30: jig mounting part
31: jig coupling pin 32: flange ring
33: spring locking ring 34: engaging projection
35: Retaining groove

Claims (5)

반도체 및 전자장비 등의 전기적인 특성을 검사할 때 사용되는 것으로, 탑플런저와 바텀플런저를 탄성스프링으로 결합하여 제조 및 유지보수가 용이한 스프링 프로브핀에 있어서,
일측에는 지그장착부(30)의 일부가 내삽되는 결합홀(14)이 형성되는 스프링결합돌기(11)가 형성되고, 상기 스프링결합돌기(11)에 연장되어 프렌지링(13)이 형성되며, 상기 프렌지링(13)과 스프링결합돌기(11)의 사이에 결합스프링(20)의 일부분이 내삽되어 걸리도록 하는 걸림홈(12)이 형성되도록 하며, 프렌지링(13)의 일측에는 검사를 위한 대상에 접촉되도록 하여 전기적인 특성을 검사할 수 있도록 하는 탐침핀(15)이 형성되어 검사부위에 접촉되는 탐침부(10);와
상기 탐침부(10)와 지그장착부(30)의 사이에 위치하여 탄성력을 제공하는 결합스프링(20); 및
일측면에 검사를 위한 검사장치의 지그에 결합되도록 크라운형상의 포고핀(31a)이 구비되는 지그결합핀(31)이 형성되고, 상기 지그결합핀(31)과 인접하도록 프렌지링(32)이 형성되며, 상기 프렌지링(32)과 연장되어 스프링걸림링(33)이 형성되도록 하며, 상기 스프링걸림링(33)의 일측에 연장되어 탐침부(10)의 결합홀(14)에 내삽될 수 있도록 하는 결합돌기(34)가 형성되고, 상기 프렌지링(32)과 스프링걸림링(33)의 사이에 스프링의 일부분이 내삽될 수 있도록 하는 걸림홈(35)이 형성되어 검사용 지그에 결합되는 지그장착부(30)로 구성되되, 상기 스프링결합돌기(11)는 결합홀(14)이 형성된 방향으로 직경이 작아지도록 형성되어 결합스프링(20)의 일측에 내삽되기 용이하도록 형성되고, 타측으로는 결합홀(14)이 형성된 방향의 경사도 보다 더 급격하게 경사지도록 하여 결합스프링(20)이 걸리도록 형성되는 것을 특징으로 하는 스프링 프로브핀.Which is used for inspecting electrical characteristics of semiconductor, electronic equipment, etc., and which is easy to manufacture and maintain by connecting an upper plunger and a lower plunger with an elastic spring,
A spring coupling protrusion 11 is formed at one side of which a coupling hole 14 in which a part of the jig mounting portion 30 is inserted is formed and a flange ring 13 is formed extending from the spring coupling protrusion 11, The engagement groove 12 is formed between the flange ring 13 and the spring engagement protrusion 11 so that a part of the engagement spring 20 is inserted and caught therein. (10) formed with a probe pin (15) for contacting an inspection site so that the probe pin
A coupling spring (20) positioned between the probe (10) and the jig mounting part (30) to provide an elastic force; And
A jig coupling pin 31 having a cog-shaped pogo pin 31a to be coupled to a jig of an inspection apparatus for inspection is formed on one side of the jig coupling pin 31. A fringe ring 32 is disposed adjacent to the jig coupling pin 31 And extends to one side of the spring locking ring 33 to be inserted into the coupling hole 14 of the probe unit 10 so as to be extended with the flange ring 32 to form a spring locking ring 33 And a latching groove 35 is formed between the flange ring 32 and the spring locking ring 33 so that a part of the spring can be inserted thereinto and is coupled to the inspection jig The spring engagement protrusion 11 is formed so as to have a smaller diameter in a direction in which the engagement hole 14 is formed and to be easily inserted into one side of the engagement spring 20, So as to be inclined more sharply than the inclination of the direction in which the engaging hole 14 is formed Female coupling spring 20, the spring probe pin, characterized in that this is formed to take. 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete
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