KR101116225B1 - Probe pin for semiconductor testing equipment - Google Patents

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KR101116225B1 KR1020100077688A KR20100077688A KR101116225B1 KR 101116225 B1 KR101116225 B1 KR 101116225B1 KR 1020100077688 A KR1020100077688 A KR 1020100077688A KR 20100077688 A KR20100077688 A KR 20100077688A KR 101116225 B1 KR101116225 B1 KR 101116225B1
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Abstract

본 발명은 몸체의 내, 외측으로 인출입되는 핀로드가 형성된 경계지점의 목부를 보강하여 제품의 사용수명이 연장되도록 하고, 상기 몸체를 구성할 때 중공을 갖는 파이프 형태의 부재 일측을 절곡시켜 그 형태를 유지하도록 하므로써, 중공 내벽의 도금층이 보다 안정적이고 균일한 상태로 형성될 수 있도록 한 반도체 검사장비용 프로브핀에 관한 것이다.
이를 위해 본 발명은, 내부에 중공이 형성되고, 중공의 입구에는 내측으로 방사상 다수의 단속돌기가 형성된 몸체와; 상기 중공의 내측으로 인출입되는 핀로드가 형성되고, 핀로드의 몸체 측 단부에 상기 단속돌기에 의해 중공 내에서 인출입되는 거리가 제한되도록 한 거리제한홈이 형성된 단자핀과; 상기 단자핀과 몸체에 양단이 지지되어 핀로드의 인출입 구동에 탄력을 부여하는 스프링;을 포함하여 구성되고, 상기 몸체는 단자핀의 핀로드가 끼워지는 입구측과 그 반대측이 관통된 중공을 갖도록 형성된다.The present invention is to extend the service life of the product by reinforcing the neck of the boundary where the pin rod is drawn in and out of the body to extend the life of the product, and when bending the one side of the pipe-shaped member having a hollow By maintaining the shape, the present invention relates to a probe pin for semiconductor inspection equipment that allows the plating layer of the hollow inner wall to be formed in a more stable and uniform state.
To this end, the present invention, the hollow is formed therein, the body and the radially formed a plurality of intermittent projections to the inside of the hollow; A terminal pin having a pin rod drawn out into and out of the hollow, and having a distance limiting groove formed at the end of the body of the pin rod to limit the distance drawn in and out of the hollow by the interruption protrusion; Both ends are supported on the terminal pin and the body to provide elasticity to the pull-out drive of the pin rod, the body comprises a hollow through which the inlet side and the opposite side through which the pin rod of the terminal pin is fitted It is formed to have.

Description

반도체 검사장비용 프로브핀{Probe pin for semiconductor testing equipment}Probe pin for semiconductor testing equipment

본 발명은 반도체 검사장비용 프로브핀에 관한 것이다.The present invention relates to a probe pin for semiconductor inspection equipment.

상세하게 본 발명은, 몸체의 내, 외측으로 인출입되는 핀로드가 형성된 경계지점의 목부를 보강하여 제품의 사용수명이 연장되도록 하고, 상기 몸체를 구성할 때 중공을 갖는 파이프 형태의 부재 일측을 절곡시켜 그 형태를 유지하도록 하므로써, 중공 내벽의 도금층이 보다 안정적이고 균일한 상태로 형성될 수 있도록 한 반도체 검사장비용 프로브핀에 관한 것이다.
In detail, the present invention is to reinforce the neck portion of the boundary point where the pin rod is drawn in and out of the body to extend the service life of the product, and when forming the body one side of the pipe-shaped member having a hollow By bending to maintain its shape, the present invention relates to a probe pin for a semiconductor inspection equipment that allows the plating layer of the hollow inner wall to be formed in a more stable and uniform state.

프로브핀은 반도체 소자의 칩을 제작하기 위한 웨이퍼나, 칩을 리드프레임에 안착시키고 와이어 본딩한 후 합성수지 몰딩하여 제작된 반도체 패키지 측으로 전기 신호를 인가하여 웨이퍼 또는 패키지의 불량 여부 등을 검사하기 위한 것이다.The probe pin is a wafer for manufacturing a chip of a semiconductor device, or a chip is placed on a lead frame and wire-bonded, and then an electrical signal is applied to the semiconductor package manufactured by molding a resin and inspecting whether the wafer or the package is defective. .

이와 같은 프로브핀은 크게 단일체로 형성된 부재이거나 몸체의 내측으로 단자핀이 인출입되도록 제작된 구성의 것으로 구분되며, 상기 단자핀이 신축되도록 제작된 구성은 단자핀이 탄력적으로 신축되도록 하기 위한 스프링이 몸체의 내부에 설치되거나 몸체의 외부에 설치된 형태로 구분될 수 있다.Such probe pins are largely divided into members formed of a single body or configured to draw in and out of the terminal pins inside the body, and the terminal pins are constructed so that the terminal pins are elastically stretched to have springs for elasticity. It may be divided into a form installed inside the body or installed outside the body.

여기서, 상기 프로브핀 중 반도체 패키지를 검사하기 위한 테스트 소켓에 적용되는 구성은 단자핀이 신축되도록 한 것이 적용되며, 특히, 상기 단자핀은 몸체의 외면에 스프링이 설치된 구성의 것이 제품의 사용수명 및 전기적 안정성에서 유리하여 주로 적용되고 있는 실정이다.
Here, the configuration that is applied to the test socket for inspecting the semiconductor package of the probe pin is applied so that the terminal pin is stretched, in particular, the terminal pin is a spring installed on the outer surface of the body of the product life and The situation is mainly applied to the advantage of electrical stability.

도 1은 종래 프로브핀 중 외면에 스프링이 장착된 구성의 단면도이다.1 is a cross-sectional view of a configuration in which a spring is mounted on an outer surface of a conventional probe pin.

도면을 참조하면, 상기 브로브핀(1)은 몸체(2)와, 상기 몸체(2)의 내, 외측으로 인출입되는 단자핀(3)과, 상기 몸체(2)의 외면에 끼워져 몸체(2)와 단자핀(3)에 양단이 지지되어 단자핀(3)이 탄력적으로 인출입될 수 있도록 한 스프링(4)으로 이루어진다.Referring to the drawings, the brob pin 1 is fitted to the body 2, the terminal pin 3 to be drawn in and out of the body 2, and the outer surface of the body 2, the body ( 2) and both ends are supported by the terminal pin (3) is made of a spring (4) to allow the terminal pin (3) to draw out elastically.

이러한 구성에서 상기 단자핀(3)이 인출입되도록 하기 위한 구성으로 몸체(2)의 내부에는 몸체(2)의 길이방향으로 인출입홈(5)이 형성되며, 상기 인출입홈(5)으로 단자핀(3)의 핀로드(6)가 끼워져 구성된다. 특히, 상기 인출입홈(5)의 입구, 즉 도면상 몸체(2)의 상단부는 단자핀(3)의 대향지점에 형성된 경사홈부(7)에 접촉되어 내측으로 절곡형성되도록 구성된다.In this configuration, the terminal pins 3 are drawn out in and out of the body 2, and the draw-out grooves 5 are formed in the longitudinal direction of the body 2, and the draw-out grooves 5 are formed in the terminal pins. The pin rod 6 of (3) is inserted and comprised. In particular, the inlet of the draw-out groove 5, that is, the upper end of the body 2 in the drawing is configured to be bent inwardly in contact with the inclined groove 7 formed at the opposite point of the terminal pin 3.

여기서, 상기 몸체(2)의 입구가 내측으로 절곡되는 구성은 단자핀(3)의 핀로드(6)가 몸체(2)에서 이탈되지 못하도록 하기 위한 마감구성으로, 상기와 같이 구성된 프로브핀(1)은 전술한 것과 같이 단자핀(3)을 몸체(2) 측으로 가압하는 과정에 의해 단자핀(3)의 경사홈부(7)가 몸체(2)의 입구를 절곡시키도록 하고 있다.
Here, the configuration in which the inlet of the body 2 is bent inward is a finishing configuration for preventing the pin rod 6 of the terminal pin 3 from being separated from the body 2, and the probe pin 1 configured as described above. As described above, the inclined groove 7 of the terminal pin 3 bends the inlet of the body 2 by pressing the terminal pin 3 toward the body 2 side.

상기와 같이 구성된 종래의 프로브핀은 경사홈부에 의해 몸체의 입구가 절곡되도록 하기 위해 단자핀의 경사홈부가 형성된 지점과 핀로드의 경계지점은 목부가 형성되며, 이 목부는 몸체의 입구가 내측으로 절곡될 공간을 보장하기 위해 상당히 얇은 직경으로 형성된다.In the conventional probe pin configured as described above, in order to allow the inlet of the body to be bent by the inclined groove, the point where the inclined groove of the terminal pin is formed and the boundary of the pin rod are formed in the neck, and the inlet of the body is inward. It is formed with a fairly thin diameter to ensure the space to be bent.

이와 같이 핀로드가 형성된 목부가 얇은 직경으로 형성된 단자핀은 상당한 개수의 패키지를 검사하기 위해 반복되는 인출입 동작에 의해 쉽게 파손되며, 그 결과로 목부가 파손된 프로브핀은 패키지 검사를 수행하기 위한 소켓에서 교체해야 하기 때문에 검사작업 과정에서의 시간적, 경제적 부담을 가중시키게 된다.As such, the pin rod-formed neck with a thin diameter terminal pin is easily broken by repeated draw-out operation to inspect a considerable number of packages. As a result, the probe pin with broken neck is used to perform package inspection. The need for replacement in the socket adds to the time and economic burden of the inspection process.

또한, 상기 프로브핀의 몸체는 주로 봉체형태의 부재 내측에 드릴가공을 수행하여 인출입홈을 형성하게 되며, 이와 같은 작업과정에 의해 상기 인출입홈은 일측이 마감된 형태가 유지된다. 여기서, 상기 몸체는 단자핀과 몸체의 전기전도특성을 향상시키기 위한 도금을 수행하게 된다.In addition, the body of the probe pin is to form a draw-out groove mainly by performing a drilling process on the inside of the member of the rod-shaped, the draw-out groove is maintained in one side is closed form by this operation process. Here, the body is subjected to plating to improve the electrical conductivity of the terminal pin and the body.

상기 몸체의 도금시 특히 중요한 지점은 단자핀과 접촉되는 몸체의 인출입홈 내측 벽면이 되는데, 상기 프로브핀이 2~6mm의 길이와 0.3~0.7mm의 직경을 갖는 대단히 소형의 구성품이기 때문에 몸체의 인출입홈으로 도금액이 투입될 때, 일측이 마감된 인출입홈 내부에서 상당한 압력편차가 발생되어 인출입홈 내측 벽면의 도금층은 대단히 불균일한 두께로 형성되며, 이로인해 단자핀의 인출입 동작이 불균일하거나 전기신호의 전달특성이 불균일해지는 문제점이 노출된다.
A particularly important point in the plating of the body is the inner wall of the lead-out groove of the body which is in contact with the terminal pin. The body of the body is taken out because the probe pin is a very small component having a length of 2-6 mm and a diameter of 0.3-0.7 mm. When the plating liquid is injected into the inlet groove, a considerable pressure deviation occurs in the drawout groove where one side is closed, so that the plating layer on the inner wall of the drawout groove is formed to have a very uneven thickness. The problem of uneven transmission characteristics is exposed.

본 발명은 상기 문제점을 해결하기 위해 발명한 것이다.The present invention has been invented to solve the above problems.

이에 본 발명은, 핀단자의 핀로드가 형성된 경계지점의 목부를 보강하여 제품의 사용수명이 연장되도록 하고, 상기 몸체를 구성할 때 중공을 갖는 파이프 형태의 부재 일측을 절곡시켜 그 형태를 유지시켜 중공이 밀폐되지 않도록 하므로써, 중공 내벽의 도금층이 보다 안정적이고 균일한 상태로 형성될 수 있도록 한 프로브핀을 제공함에 그 목적이 있다.
Accordingly, the present invention, by reinforcing the neck portion of the boundary of the pin rod pin pin is formed to extend the service life of the product, and to maintain the shape by bending one side of the pipe-shaped member having a hollow when configuring the body It is an object of the present invention to provide a probe pin that allows the plating layer of the hollow inner wall to be formed in a more stable and uniform state by preventing the hollow from being sealed.

상기 목적을 달성하기 위해 본 발명은 아래의 구성을 갖는다.In order to achieve the above object, the present invention has the following configuration.

본 발명은, 내부에 중공이 형성되고, 중공의 입구에는 내측으로 방사상 다수의 단속돌기가 형성된 몸체와; 상기 중공의 내측으로 인출입되는 핀로드가 형성되고, 핀로드의 몸체 측 단부에 상기 단속돌기에 의해 중공 내에서 인출입되는 거리가 제한되도록 한 거리제한홈이 형성된 단자핀과; 상기 단자핀과 몸체에 양단이 지지되어 핀로드의 인출입 구동에 탄력을 부여하는 스프링;을 포함하여 구성된다.The present invention, the hollow is formed inside, the inlet of the hollow body is formed with a plurality of radial projections inwardly; A terminal pin having a pin rod drawn out into and out of the hollow, and having a distance limiting groove formed at the end of the body of the pin rod to limit the distance drawn in and out of the hollow by the interruption protrusion; Both ends are supported on the terminal pin and the body to provide elasticity to the draw-out drive of the pin rod.

여기서, 본 발명은 상기 몸체에 방사상 외측으로 확장된 플렌지부가 형성되어 스프링이 몸체의 외측에 끼워져 일단은 플렌지부에 타단은 단자핀에 지지되도록 구성된다. 또는, 본 발명은 상기 스프링이 단자핀의 외측에 끼워져 일단이 몸체의 끝단부에 지지되고, 타단이 몸체의 끝단부와 대향되는 지점에 지지되도록 구성될 수도 있다.Here, the present invention is formed so that the flange portion is extended radially outward in the body so that the spring is fitted to the outside of the body so that one end of the flange portion is supported by the terminal pin. Alternatively, the present invention may be configured such that the spring is inserted to the outside of the terminal pin so that one end is supported at the end of the body, and the other end is supported at the point opposite to the end of the body.

또한, 상기 몸체는 단자핀의 핀로드가 끼워지는 입구측과 그 반대측이 관통된 중공을 갖도록 형성된다. 특히, 상기 몸체는 관통된 중공을 갖도록 형성되기 위해 미리 제작된 파이프 형태의 부재 끝단을 절곡하여 구성된다.
In addition, the body is formed to have a hollow through the inlet side and the opposite side to which the pin rod of the terminal pin is fitted. In particular, the body is configured by bending the end of the member in the form of a pipe in advance to be formed to have a through hollow.

이상에서와 같이 본 발명은, 핀로드가 형성된 목부가 보강되어 프로브핀의 파손율을 감소시키므로써 제품의 사용수명이 연장되며, 이에 따라 프로브핀의 교체시 요구되는 경제적 시간적 부담을 해소하는 효과를 얻게 된다.As described above, the present invention extends the service life of the product by reinforcing the neck formed with the pin rod to reduce the breakage rate of the probe pin, thereby eliminating the economic time burden required when replacing the probe pin. You get

또한, 본 발명은 중공을 갖는 파이프 형태의 부재 일측을 절곡시켜 몸체를 구성하므로써, 중공 내벽의 도금층이 보다 안정적이고 균일한 상태로 형성될 수 있도록 하며, 이에 따라 프로브핀의 핀단자 인출입 구동이 항상 균일하도록 함과 동시에 전기신호의 전달특성이 향상되도록 한 효과가 있다.
In addition, the present invention by forming a body by bending one side of the pipe-shaped member having a hollow, so that the plating layer of the hollow inner wall can be formed in a more stable and uniform state, accordingly, the pin terminal pull-out drive of the probe pin At the same time, there is an effect to improve the transmission characteristics of the electrical signal at the same time.

도 1은 종래 프로브핀 중 외면에 스프링이 장착된 구성의 단면도.
도 2는 본 발명에 의한 프로브핀 단면도.
도 3은 본 발명에 의한 프로브핀 구동상태 예시도.
도 4는 본 발명의 다른 실시예 단면도.1 is a cross-sectional view of a conventional spring mounted configuration on the outer surface of the probe pin.
Figure 2 is a cross-sectional view of the probe pin according to the present invention.
Figure 3 is an exemplary view showing a probe pin driving state according to the present invention.
4 is a cross-sectional view of another embodiment of the present invention.

상기와 같은 본 발명의 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다.Embodiments of the present invention as described above will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 2는 본 발명에 의한 프로브핀 단면도, 도 3은 본 발명에 의한 프로브핀 구동상태 예시도이다.Figure 2 is a cross-sectional view of the probe pin according to the present invention, Figure 3 is an exemplary view showing a probe pin driving state according to the present invention.

도면을 참조하면, 본 발명에 의한 프로브핀(10)은 몸체(20), 단자핀(30), 스프링(40)으로 이루어진다. 본 실시예에서 상기 몸체(20)는 원형의 단면형태를 가지며, 이에따라 단자핀(30)도 원형의 단면형태를 유지하며, 스프링(40)은 몸체(20) 또는 단자핀(30)의 외면에 끼워지는 압축코일스프링으로 제시된다.
Referring to the drawings, the probe pin 10 according to the present invention consists of a body 20, a terminal pin 30, a spring 40. In the present embodiment, the body 20 has a circular cross-sectional shape, and thus the terminal pin 30 also maintains a circular cross-sectional shape, and the spring 40 is formed on the outer surface of the body 20 or the terminal pin 30. It is presented as a fitted compression coil spring.

상기 몸체(20)는 내부에 중공(21)이 형성되고, 중공(21)의 입구에는 내측으로 방사상 다수의 단속돌기(22)가 형성된다.The body 20 has a hollow 21 formed therein, the inlet of the hollow 21 is formed with a plurality of radial intermittent projections 22 inward.

여기서, 상기 중공(21)은 단자핀(30)의 구성 중 후술될 핀로드(31)가 인출입되기 위해 끼워지는 입구와, 그 입구와 반대측 단부가 관통된 형태로 형성된다. 이와 같이 관통된 형태의 중공(21)은 몸체(20)에 도금을 수행할 때 중공(21)의 내측 벽면에 형성되는 도금층이 균일한 두께를 갖도록 하기 위한 구성으로, 중공(21)의 일측이 밀폐된 경우 발생되는 입구와 중공 내측의 압력편차를 해소하여 도금액이 중공(21)의 내측을 통과할 수 있도록 하는 구성이다.Here, the hollow 21 is formed in the form of the inlet through which the pin rod 31, which will be described later, is drawn out of the configuration of the terminal pin 30, and the end opposite to the inlet penetrates. The hollow 21 having a penetrated shape is configured to have a uniform thickness of the plating layer formed on the inner wall surface of the hollow 21 when plating the body 20, and one side of the hollow 21 is formed. It is a configuration that allows the plating liquid to pass through the inside of the hollow 21 by eliminating the pressure deviation between the inlet and the inside of the hollow generated when sealed.

상기와 같이 중공(21)이 관통된 구성을 구현하기 위해 상기 몸체(20)는 미리 제작된 파이프 형태의 부재 끝단을 절곡하여 구성된다. 즉, 상기 파이프 형태의 부재는 종래기술에서 전술한 몸체에 드릴가공을 수행하여 홈을 형성하는 공정을 별도로 두지 않고, 압출 등에 의해 미리 제작될 수 있는 것으로 공정의 단순화를 기할 수 있다.In order to implement the configuration in which the hollow 21 is penetrated as described above, the body 20 is configured by bending the end of the member in the form of a prefabricated pipe. That is, the pipe-shaped member may be pre-fabricated by extrusion or the like, without providing a process of forming a groove by performing drilling on the body described above in the prior art, thereby simplifying the process.

또한, 상기 단속돌기(22)는 가장 편리한 작업과정으로 몸체(20)의 단속돌기(22)가 형성된 지점의 외측에서 내측으로 타정을 수행하여 몸체(20)의 일부가 내측으로 함몰되도록 함에 의해 형성될 수 있다. 이와 같은 단속돌기(22)는 방사상 2 이상의 지점에서 수행하는 것이 바람직하며, 이외에도 몸체(20)의 둘레를 내측으로 함몰시켜 단속돌기(22)를 고리형으로 형성할 수도 있다.
In addition, the intermittent protrusion 22 is formed by tableting inward from the outside of the point where the intermittent protrusion 22 of the body 20 is formed as the most convenient work process so that a portion of the body 20 is recessed inward. Can be. Such intermittent protrusion 22 is preferably performed at two or more radial points, and in addition, the intermittent protrusion 22 may be formed in an annular shape by recessing the circumference of the body 20 inward.

상기 단자핀(30)은 중공(21)의 내측으로 인출입되는 핀로드(31)가 형성되고, 핀로드(31)의 몸체(20) 측 단부에 상기 단속돌기(22)에 의해 중공(21) 내에서 인출입되는 거리가 제한되도록 한 거리제한홈(32)이 형성되어 구성된다.The terminal pin 30 is formed with a pin rod 31 to be drawn in and out of the hollow 21, the hollow 21 by the interruption projection 22 at the end of the body 20 side of the pin rod 31. The distance limiting groove 32 is formed so that the distance drawn in and out is limited.

이때, 상기 단자핀(30)의 핀로드(31)는 전술한 몸체(20)의 단속돌기(22)가 형성됨에 의해 몸체를 내측으로 절곡하는 구성보다 큰 직경으로 형성될 수 있게 된다. 즉, 상기 핀로드(31)는 몸체(20)의 중공(21) 내경과 대응(거의 유사한 직경)하는 직경으로 형성되어 적어도 몸체의 인출입홈 입구를 내측으로 절곡함에 의해 얇게 형성된 목부보다 큰 직경으로 형성되어 높은 물리적 강성을 갖게 된다.
At this time, the pin rod 31 of the terminal pin 30 can be formed with a larger diameter than the configuration to bend the body inward by forming the intermittent projection 22 of the body 20 described above. That is, the pin rod 31 is formed with a diameter corresponding to the inner diameter of the hollow 21 of the body 20 (almost a similar diameter), and at least as large as a diameter larger than the thinly formed neck by bending the inlet / outlet opening of the body inward. Formed to have high physical rigidity.

상기 스프링(40)은 단자핀(30)과 몸체(20)에 양단이 지지되어 핀로드(31)의 인출입 구동에 탄력을 부여하도록 구성된다. 여기서, 스프링(40)은 전술한 것과 같이 압축코일스프링이 적용될 수 있는 것으로, 이 스프링(40)은 몸체(20)의 외면에 끼워져 일단은 몸체(20)에 타단은 단자핀(30)에 지지되어 설치된다.Both ends of the spring 40 are supported by the terminal pin 30 and the body 20 so as to give elasticity to the draw-out driving of the pin rod 31. Here, the spring 40 may be applied to the compression coil spring as described above, the spring 40 is fitted to the outer surface of the body 20, one end is supported by the body 20, the other end is supported by the terminal pin 30 Is installed.

즉, 상기 스프링(40)을 지지하기 위해 상기 몸체(20)와 단자핀(30)의 외면에는 각각 플렌지부(23, 33)가 형성되어 구성된다. 여기서, 상기 단자핀(30)의 플렌지부(33)는 반도체 패키지와 접촉되는 단부 자체를 도 2의 일점쇄선도와 같이 확장형성하여 별도의 플렌지부(33)를 형성하지 않고도 스프링(40)의 일단을 지지하도록 형성될 수 있다.
That is, flanges 23 and 33 are formed on the outer surfaces of the body 20 and the terminal pin 30 to support the spring 40, respectively. Here, the flange portion 33 of the terminal pin 30 extends the end itself in contact with the semiconductor package as shown in the dashed-dotted line diagram of FIG. 2 to form the spring 40 without forming a separate flange portion 33. It can be formed to support one end.

<다른 실시예><Other Embodiments>

도 4는 본 발명의 다른 실시예 단면도이다.4 is a cross-sectional view of another embodiment of the present invention.

도면을 참조하면, 상기 다른 실시예의 프로브핀(10A)은 그 길이가 길게 제작될 경우, 이에 대응하기 위한 구성을 제시한다. 즉, 상기 스프링(40)은 프로브핀(10A)의 길이가 길어질 수록 몸체(20)의 외면에 끼워진 길이가 길어져야 하기 때문에 스프링(40) 제작을 위한 단가가 높아지게 된다.Referring to the drawings, the probe pin 10A of another embodiment of the present invention suggests a configuration corresponding to the long length of the probe pin 10A. In other words, the longer the length of the probe pin 10A, the longer the length of the spring 40 is fitted to the outer surface of the body 20, so that the cost of manufacturing the spring 40 increases.

상기와 같이 높아지는 단가를 해결하기 위해 상기 스프링(40)은 단자핀(30)의 외측에 끼워져 일단이 몸체(20)의 끝단부에 지지되고, 타단이 몸체(20)의 끝단부와 대향되는 지점에 지지되도록 구성된다. 이때, 단자핀(30), 몸체(20)의 나머지 구성은 전술한 원실시예의 구성에서와 같다.In order to solve the higher unit cost as described above, the spring 40 is fitted to the outside of the terminal pin 30 so that one end is supported at the end of the body 20 and the other end is opposite to the end of the body 20. Is configured to be supported. At this time, the remaining configuration of the terminal pin 30, the body 20 is the same as in the configuration of the above-described embodiment.

여기서, 상기 스프링(40)은 단자핀(30)의 핀로드(31)가 몸체(20)의 내측에서 인출입되기 위한 길이에 대응하는 길이로 제작됨은 당연하며, 이로인해 스프링(40) 제작시의 재료소모가 상당량 절약되어 제품의 제작단가를 낮출 수 있게 된다.
Here, it is obvious that the spring 40 is made of a length corresponding to the length for the pin rod 31 of the terminal pin 30 to be drawn out from the inside of the body 20, and thus, when the spring 40 is manufactured The material consumption of the product can be saved considerably, thereby lowering the manufacturing cost of the product.

10, 10A: 프로브핀 20: 몸체
21: 중공 22: 단속돌기
30: 단자핀 31: 핀로드
32: 거리제한홈 40: 스프링10, 10A: probe pin 20: body
21: hollow 22: intermittent protrusion
30: terminal pin 31: pin rod
32: distance limit groove 40: spring

Claims (5)

입구에 내측으로 방사상 다수의 단속돌기(22)가 형성된 몸체(20)와, 상기 몸체(20)의 내측으로 인출입되는 핀로드(31)가 형성된 단자핀(30)이 결합되고, 상기 몸체(20)와 단자핀(30)의 외측에 끼워져 핀로드(31)의 인출입 구동에 탄력을 부여하는 스프링(40)이 형성되며, 상기 단자핀(30)에는 단속돌기(22)에 의해 중공(21) 내에서 인출입되는 거리가 제한되도록 한 거리제한홈(32)이 형성된 통상의 반도체 검사장비용 프로브핀에 있어서,
상기 몸체(20)는 단자핀(30)의 핀로드(31)가 끼워지는 입구측과 그 반대측이 관통된 중공(21)을 갖도록 형성된 중공(21)이 형성되고, 상기 몸체(20)에는 방사상 외측으로 확장된 플렌지부(23)가 형성되어 스프링(40)이 몸체(20)의 외측에 끼워져 일단은 플렌지부(23)에 타단은 단자핀(30)에 지지되도록 구성되며, 상기 몸체(20)는 관통된 중공(21)을 갖도록 형성되기 위해 미리 제작된 파이프 형태의 부재 끝단을 절곡하여 구성된 것을 특징으로 하는 반도체 검사장비용 프로브핀.
A body 20 having a plurality of radially intermittent protrusions 22 formed inwardly at an inlet thereof, and a terminal pin 30 having a pin rod 31 drawn in and out of the body 20 are coupled to the body 20. A spring 40 is formed on the outside of the 20 and the terminal pin 30 to impart elasticity to the draw-out drive of the pin rod 31, and the terminal pin 30 is hollowed by an intermittent protrusion 22. 21) In the probe pin for a conventional semiconductor inspection equipment having a distance limiting groove 32 is formed so that the distance drawn in and out is limited,
The body 20 has a hollow 21 formed to have an inlet side into which the pin rod 31 of the terminal pin 30 is fitted and a hollow 21 through which the opposite side is inserted, and the body 20 has a radial shape. A flange portion 23 extended outward is formed so that the spring 40 is fitted to the outside of the body 20 so that one end thereof is supported by the flange portion 23 and the other end thereof is supported by the terminal pin 30. The body 20 ) Is a probe pin for semiconductor inspection equipment, characterized in that configured to bend the end of the pipe-shaped member made in advance to be formed to have a through-hole 21.
삭제delete 입구에 내측으로 방사상 다수의 단속돌기(22)가 형성된 몸체(20)와, 상기 몸체(20)의 내측으로 인출입되는 핀로드(31)가 형성된 단자핀(30)이 결합되고, 상기 몸체(20)와 단자핀(30)의 외측에 끼워져 핀로드(31)의 인출입 구동에 탄력을 부여하는 스프링(40)이 형성되며, 상기 단자핀(30)에는 단속돌기(22)에 의해 중공(21) 내에서 인출입되는 거리가 제한되도록 한 거리제한홈(32)이 형성된 통상의 반도체 검사장비용 프로브핀에 있어서,
상기 몸체(20)는 단자핀(30)의 핀로드(31)가 끼워지는 입구측과 그 반대측이 관통된 중공(21)을 갖도록 형성된 중공(21)이 형성되고, 상기 스프링(40)은 단자핀(30)의 외측에 끼워져 일단이 몸체(20)의 끝단부에 지지되고, 타단이 몸체(20)의 끝단부와 대향되는 지점에 지지되도록 구성되며, 상기 몸체(20)는 관통된 중공(21)을 갖도록 형성되기 위해 미리 제작된 파이프 형태의 부재 끝단을 절곡하여 구성된 것을 특징으로 하는 반도체 검사장비용 프로브핀.
A body 20 having a plurality of radially intermittent protrusions 22 formed inwardly at an inlet thereof, and a terminal pin 30 having a pin rod 31 drawn in and out of the body 20 are coupled to the body 20. A spring 40 is formed on the outside of the 20 and the terminal pin 30 to impart elasticity to the draw-out drive of the pin rod 31, and the terminal pin 30 is hollowed by an intermittent protrusion 22. 21) In the probe pin for a conventional semiconductor inspection equipment having a distance limiting groove 32 is formed so that the distance drawn in and out is limited,
The body 20 has a hollow 21 formed to have an inlet side into which the pin rod 31 of the terminal pin 30 is fitted and a hollow 21 through which the opposite side is inserted, and the spring 40 has a terminal. It is fitted to the outside of the pin 30 is configured so that one end is supported at the end of the body 20, the other end is supported at the point opposite to the end of the body 20, the body 20 is a hollow through ( 21) A probe pin for semiconductor inspection equipment, characterized in that the end of the pipe is made of pre-fabricated member to be formed to have a).
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