KR101330198B1 - Probe apparatus for test and fabrication method thereof - Google Patents

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Abstract

본 발명은 검사용 탐침장치 및 검사용 탐침장치의 제조방법에 대한 것으로서, 더욱 상세하게는 피검사 디바이스의 단자와 검사장치의 패드를 서로 전기적으로 연결시키기 위하여 사용되되 하우징 내에 배치되는 검사용 탐침 장치에 있어서, 피검사 디바이스의 단자와 접촉될 수 있는 상부 플런저; 상기 상부 플런저와 결합되고 내부가 빈 원통형상으로 이루어지되 하부에는 바깥방향으로 절곡되어 돌출되는 돌출부가 마련되어 있는 배럴; 일부는 상기 배럴 내에 삽입되며, 나머지 일부는 상기 배럴로부터 하측으로 돌출되는 하부 플런저; 및 상기 배럴 내에 삽입되어 있으며 상기 하부 플런저를 상기 상부 플런저과 멀어지는 방향으로 탄성바이어스시키는 탄성바이어스부재를 포함하는 검사용 탐침장치 및 검사용 탐침장치의 제조방법에 대한 것이다.The present invention relates to a method for manufacturing an inspection probe and an inspection probe device, and more particularly, an inspection probe device used to electrically connect a terminal of a device under test and a pad of an inspection device to each other. An apparatus comprising: an upper plunger that may be in contact with a terminal of a device under test; A barrel coupled to the upper plunger and having an inner cylindrical shape, the lower portion of which has a protrusion that is bent outwardly and protrudes; A lower portion of the plunger inserted into the barrel and a lower portion of the lower portion of the barrel; And an elastic biasing member inserted into the barrel and elastically biasing the lower plunger in a direction away from the upper plunger.

Description

검사용 탐침장치 및 검사용 탐침장치의 제조방법{Probe apparatus for test and fabrication method thereof}Probe apparatus for test and fabrication method

본 발명은 검사용 탐침장치 및 검사용 탐침장치의 제조방법에 대한 것으로서, 더욱 상세하게는 제조가 용이하여 제작비용이 절감될 수 있는 검사용 탐침장치 및 검사용 탐침장치의 제조방법에 대한 것이다.The present invention relates to a method for manufacturing an inspection probe and an inspection probe, and more particularly, to a method for manufacturing an inspection probe and an inspection probe that can be easily manufactured to reduce manufacturing costs.

일반적으로 완성된 반도체 디바이스는 정상동작의 유무 또는 신뢰성을 확인하기 위한 전기적 검사를 수행하게 된다. 이러한 테스트는 반도체 패키지의 모든 입출력 단자를 검사 신호 발생회로와 연결하여 정상적인 동작 및 단선여부를 검사하는 전기적 특성 테스트와, 반도체 패키지의 전원 입력 단자 등 일부 입출력 단자들을 검사신호 발생 회로와 연결하여 스트레스를 인가함으로써 반도체 패키지의 수명 및 결함 발생 여부를 체크하는 번인테스트(Burn-In Test)가 있다. In general, the completed semiconductor device performs an electrical test to confirm the existence or reliability of normal operation. This test connects all the input and output terminals of the semiconductor package with the test signal generation circuit to check the normal operation and disconnection, and connects some input and output terminals such as the power input terminal of the semiconductor package with the test signal generation circuit for stress. There is a burn-in test that checks the life of a semiconductor package and whether a defect occurs by applying the same.

이때, 상기 번인테스트의 경우에는 정상 동작 조건 보다 높은 온도, 전압 및 전류 등으로 스트레스를 인가하게 된다. In this case, in the burn-in test, stress is applied at a temperature, voltage, and current higher than normal operating conditions.

이러한 테스트를 위하여, 별도의 테스트 소켓에 반도체 패키지를 탑재시킨 상태에서 테스트가 진행된다. 그리고, 상기 테스트 소켓은 기본적으로 반도체 패키지의 형태에 따라 그 모양이 결정되고, 반도체 패키지의 외부접속단자와 소켓리드의 기계적인 접촉에 의해 테스트 기판을 연결하는 매개 역할을 한다. For this test, a test is performed while a semiconductor package is mounted in a separate test socket. In addition, the shape of the test socket is basically determined according to the shape of the semiconductor package, and serves as a medium for connecting the test board by mechanical contact between the external connection terminal of the semiconductor package and the socket lead.

즉, 상기 테스트 소켓은 반도체 패키지와 연결됨과 동시에 테스트 기판과 연결되어 이들을 연결함으로써, 테스트 기판의 신호를 반도체 패키지에 전달하여 테스트가 이루어지도록 하는 것이다. That is, the test socket is connected to the semiconductor package and at the same time connected to the test substrate, thereby connecting the test socket, thereby transmitting a signal of the test substrate to the semiconductor package to perform the test.

그리고, 반도체 패키지 중에서 외부접속단자로 솔더볼을 사용하는 볼 그리드 어레이(Ball Grid Array:BGA) 패키지의 경우에는, 플라스틱 소재의 테스트 소켓 몸체 내부에 소켓핀이 내설된 구조를 갖게 된다. 그리고, 이러한 소켓핀으로는 포고핀이라고 불리우는 탐침장치가 사용된다. In the case of a ball grid array (BGA) package using solder balls as an external connection terminal among semiconductor packages, a socket pin is embedded in a test socket body made of plastic. As the socket pin, a probe device called a pogo pin is used.

이러한 탐침장치(100)는, 도 1에 도시된 바와 같이 피검사 디바이스(150)의 단자(151)와 검사장치(160)의 패드(161)를 서로 전기적으로 접속시키는 것으로서, 원통형상으로 이루어진 배럴(110)과, 상기 배럴(110)의 상측에 배치되며 상단에 다수의 요철(121)이 형성되는 상부 플런저(120)와, 상기 배럴(110)의 내부로부터 외부로 출몰되는 하부 플런저(130)와, 상기 배럴(110)의 내부에 배치되어 상기 하부 플런저(130)를 하측방향으로 탄성바이어스시키는 스프링(미도시)을 포함하여 구성된다. 한편, 상기 배럴(110)의 외주면에는 외측으로 돌출된 플랜지(111)가 마련되어 있으며 상기 플랜지(111)는 상기 탐침장치(100)가 상기 하우징(140) 내에 걸려 외부로 이탈되는 것을 방지하도록 한다. As shown in FIG. 1, the probe device 100 electrically connects the terminal 151 of the device under test 150 and the pad 161 of the test device 160 to each other, and has a cylindrical barrel shape. 110, an upper plunger 120 disposed above the barrel 110 and having a plurality of irregularities 121 formed at an upper end thereof, and a lower plunger 130 which is protruded from the inside of the barrel 110 to the outside. And a spring (not shown) disposed inside the barrel 110 to elastically bias the lower plunger 130 downward. On the other hand, the outer peripheral surface of the barrel 110 is provided with a flange 111 protruding outward, the flange 111 to prevent the probe device 100 is caught in the housing 140 to be separated from the outside.

이때, 하우징(140)은 상하방향으로 일정한 내경을 가지면서 연장되는 제1관통공(141a)이 형성되는 상부하우징(141)과, 상기 상부하우징(141)의 하측에 배치되며 상기 제1관통공(141a)보다 큰 직경을 가지되 하단이 내측으로 돌출된 단턱(142b)에 의하여 좁혀진 제2관통공(142a)을 가지는 하부하우징(142)의 내부에 배치되어 전기적인 접속을 가능하게 하는 것이다.At this time, the housing 140 is the upper housing 141 is formed with a first through-hole 141a extending with a constant inner diameter in the vertical direction, and is disposed below the upper housing 141 and the first through-hole It is disposed inside the lower housing 142 having a larger diameter than 141a but having a second through hole 142a narrowed by a step 142b protruding inwardly to enable electrical connection.

이러한 본 발명의 일실시예에 따른 탐침장치는 하부 플런저가 검사장치의 패드에 접촉된 상태에서 검사장치에 탑재되어 배치되고, 그 상부측에는 상부 플런저에 접촉될 수 있는 다수의 단자를 가지는 피검사 디바이스가 배치된다. 한편, 도 2에 도시된 바와 같이, 피검사 디바이스가 하강하면 상기 피검사 디바이스의 단자는 상기 상부 플런저의 요철에 접촉되면서 상기 탐침장치를 전체적으로 하강시킨다. 이때, 상부 플런저와 함께 배럴도 하강하게 되는데, 이때 하부 플런저는 배럴의 내부로 삽입되면서 그 하단에 배치된 패드와 확실하게 접촉되도록 한다. 한편, 배럴의 내부에 배치된 스프링은 탄성반발력에 의하여 상부 플런저와 단자 및 하부 플런저와 패드 간의 접촉을 더욱 확실하게 할 수 있다.The probe device according to one embodiment of the present invention is mounted on the inspection device in a state in which the lower plunger is in contact with the pad of the inspection device, and has a plurality of terminals on the upper side thereof which can contact the upper plunger. Is placed. On the other hand, as shown in Fig. 2, when the device under test is lowered, the terminal of the device under test contacts the unevenness of the upper plunger and lowers the probe as a whole. At this time, the barrel is also lowered along with the upper plunger, where the lower plunger is inserted into the barrel to ensure contact with the pad disposed at the bottom thereof. On the other hand, the spring disposed inside the barrel can more securely make contact between the upper plunger and the terminal and the lower plunger and the pad by the elastic repulsive force.

상기 검사장치로부터 소정의 전기적인 신호가 인가되면 상기 신호는 하부 플런저, 배럴, 상부 플런저를 거쳐 피검사 디바이스의 단자로 전달되고 이에 따라 소정의 전기적인 검사가 수행될 수 있다.When a predetermined electrical signal is applied from the inspection apparatus, the signal is transmitted to a terminal of the device under test through a lower plunger, a barrel, and an upper plunger, whereby a predetermined electrical inspection can be performed.

이러한 탐침장치에서, 배럴의 제조방법은 도 3 내지 도 5에 도시된 바와 같다. In such a probe device, a method of manufacturing a barrel is as shown in Figs.

먼저, 도 3에 도시된 바와 같이 일정두께를 가지는 원통형상의 모재(110')를 준비하고, 상기 모재(110')의 표면을 선반 등에 의하여 절삭하여 표면에 플랜지(111)가 마련될 수 있도록 한다. 즉, 도 4에 도시된 바와 같이 점선으로 표시된 부분을 절삭가공에 의하여 제거하여 제작되어야 할 배럴(110)의 표면에 돌출된 플랜지가 형성될 수 있도록 한다. 이후에는 도 5에 도시된 바와 같이 상기 배럴(110)의 하단을 내측으로 절곡한다. First, as shown in FIG. 3, a cylindrical base material 110 ′ having a predetermined thickness is prepared and the surface of the base material 110 ′ is cut by a shelf or the like so that the flange 111 may be provided on the surface. . That is, as shown in FIG. 4, the portion indicated by the dotted line is removed by cutting so that a protruding flange may be formed on the surface of the barrel 110 to be manufactured. Thereafter, as shown in FIG. 5, the lower end of the barrel 110 is bent inward.

이러한 기존의 공정에서 플랜지는 상술한 바와 같이, 하우징의 내부에 배치되어 상기 배럴이 외부로 이탈되는 것을 방지하는 기능을 수행하게 된다.In this conventional process, the flange is disposed inside the housing as described above, and serves to prevent the barrel from being separated out.

이러한 종래기술에 따른 탐침장치는 다음과 같은 문제점을 가진다.The probe device according to the prior art has the following problems.

먼저, 종래기술에 따른 배럴의 제조방법은 비교적 두꺼운 두께를 가진 모재를 준비한 후에 그 모재를 절삭가공함에 의하여 플랜지가 형성되도록 한다. 그러나, 이러한 제조방법은 절삭가공과정에서 모재에서 제거되어야 하는 부분이 필연적으로 발생하게 되어 재료의 낭비가 유발된다는 단점이 있다.First, the barrel manufacturing method according to the prior art is to prepare a base material having a relatively thick thickness and then to form a flange by cutting the base material. However, this manufacturing method has a disadvantage in that the part that must be removed from the base material inevitably occurs during the cutting process, causing waste of materials.

또한, 최근 미세피치의 단자를 가진 피검사 디바이스가 제작됨에 따라서 탐침장치 간의 간격이 좁아지게 되는데, 이 과정에서 플랜지의 두께도 감소될 수 밖에 없는데, 절삭가공에 의하여 이러한 미세한 플랜지를 형성하는 것은 용이하지 않거나 제작에 많은 비용이 유발된다는 단점이 있다.In addition, as the device to be inspected having the terminal of the fine pitch has recently been manufactured, the gap between the probe devices is narrowed. In this process, the thickness of the flange can be reduced, and it is easy to form such a fine flange by cutting. There is a disadvantage that it does not do or cost a lot of production.

또한, 플랜지는 하우징 내부에 내면과 접촉되게 되는데, 수많은 접촉으로 인하여 상기 플랜지가 마모되거나 훼손될 염려가 있다. 그러나, 일단 훼손된 플랜지는 다시 생성하는 것이 어렵기 때문에 플랜지가 훼손된 배럴은 폐기처분하여야 하고 이에 따라 전체적인 검사비용이 증가된다는 단점이 있다.In addition, the flange is in contact with the inner surface inside the housing, there is a risk that the flange is worn or damaged due to a number of contacts. However, once the flanges are damaged, it is difficult to regenerate, and thus the barrels with the flanges damaged must be disposed of, which increases the overall inspection cost.

대한민국 공개특허 제2009-0067572호Republic of Korea Patent Publication No. 2009-0067572

본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위하여 창출된 것으로서, 더욱 상세하게는 제조가 간편하고 유지보수가 용이하며 전체적인 제작비용을 감소시킬 수 있는 검사용 탐침장치 및 검사용 탐침장치의 제조방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.The present invention has been created to solve the above problems, and more particularly, to provide a test probe and a method for manufacturing a test probe that can be easily manufactured, easy to maintain and reduce the overall manufacturing cost. For the purpose of

상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 검사용 탐침장치 및 검사용 탐침장치의 제조방법은, 피검사 디바이스의 단자와 검사장치의 패드를 서로 전기적으로 연결시키기 위하여 사용되되 하우징 내에 배치되는 검사용 탐침 장치에 있어서,In order to achieve the above object, the inspection probe and the inspection probe manufacturing method of the present invention are used to electrically connect the terminal of the device under test and the pad of the inspection device with each other and are arranged in a housing. In the device,

피검사 디바이스의 단자와 접촉될 수 있는 상부 플런저;An upper plunger that can be in contact with the terminal of the device under test;

상기 상부 플런저와 결합되고 내부가 빈 원통형상으로 이루어지되 하부에는 바깥방향으로 절곡되어 돌출되는 돌출부가 마련되어 있는 배럴;A barrel coupled to the upper plunger and having an inner cylindrical shape, the lower portion of which has a protrusion that is bent outwardly and protrudes;

일부는 상기 배럴 내에 삽입되며, 나머지 일부는 상기 배럴로부터 하측으로 돌출되는 하부 플런저; 및A lower portion of the plunger inserted into the barrel and a lower portion of the lower portion of the barrel; And

상기 배럴 내에 삽입되어 있으며 상기 하부 플런저를 상기 상부 플런저과 멀어지는 방향으로 탄성바이어스시키는 탄성바이어스부재를 포함할 수 있다.It may include an elastic biasing member inserted into the barrel to elastically bias the lower plunger in a direction away from the upper plunger.

상기 검사용 탐침장치에서,In the inspection probe device,

상기 하부 플런저는, 상기 배럴의 내경과 대응되는 내경을 가지는 상측부; 및 상기 상측부와 일체로 연결되며 하측으로 연장되고 상기 상측부보다 작은 외경을 가지는 하측부를 포함할 수 있다.The lower plunger may include an upper portion having an inner diameter corresponding to an inner diameter of the barrel; And a lower portion connected integrally with the upper portion and extending downward and having an outer diameter smaller than the upper portion.

상기 검사용 탐침장치에서,In the inspection probe device,

상기 돌출부의 상측에는 상기 하부 플런저의 일부가 상기 배럴 내에서 벗어나지 못하도록 내측으로 절곡되어 함입된 함입부가 마련될 수 있다.An upper portion of the protrusion may be provided with a recessed part that is bent inwardly so that a part of the lower plunger does not escape from the barrel.

상기 검사용 탐침장치에서,In the inspection probe device,

상기 돌출부는 하단으로부터 상측으로 갈수록 외경이 점차 감소하는 형상을 가질 수 있다.The protrusion may have a shape in which the outer diameter gradually decreases from the lower end to the upper side.

상기 검사용 탐침장치에서,In the inspection probe device,

상기 돌출부는, 배럴의 일부 영역으로부터 국부적으로 절곡되어 돌출된 요철의 형상을 가질 수 있다.The protruding portion may have a shape of irregularities protruding locally bent from a portion of the barrel.

상기 검사용 탐침장치에서,In the inspection probe device,

상기 돌출부는, 배럴의 원주방향을 따라서 서로 이격되어 다수개가 배치될 수 있다.The protrusions may be spaced apart from each other along the circumferential direction of the barrel.

상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 검사용 탐침장치의 제조방법은, 전기적 검사를 위한 검사용 탐침장치의 제조방법으로서,The manufacturing method of the inspection probe device of the present invention for achieving the above object is a manufacturing method of the inspection probe device for electrical inspection,

(a) 상하단이 개구되며 외경이 일정하게 유지되는 원통형상의 모재를 준비하는 단계;(a) preparing a cylindrical base material having upper and lower ends and having a constant outer diameter;

(b) 상기 모재의 하부의 일부 또는 전부를 바깥방향으로 절곡하여 돌출시켜 돌출부를 생성시키는 단계;(b) bending a part or all of the lower part of the base material outwardly to produce a protrusion;

(c) 상기 돌출부의 상측으로서, 모재의 일부 또는 전부를 내측으로 절곡하여 함입시켜 함입부를 생성시키는 단계;(c) forming an indentation by bending a part or all of the base material inwardly as an upper side of the protruding portion;

(d) 상기 모재의 상단을 통하여 하부 플런저를 삽입하여 상기 함입부에 걸리도록 안착시키는 단계;를 포함할 수 있다.(d) inserting a lower plunger through an upper end of the base material and seating the hooked part to be caught in the recess.

상기 제조방법에서,In the above production method,

상기 (d) 단계 이후에 배치되는 단계로서,As a step disposed after the step (d),

(e) 상기 모재 내에 스프링 및 상부 플런저를 순차적으로 삽입하는 단계; 및(e) sequentially inserting a spring and an upper plunger into the base material; And

(f) 상기 상부 플런저가 삽입된 모재의 상부를 절곡하여 함입시켜 함입부를 생성시키는 단계;를 더 포함할 수 있다.(f) bending the upper portion of the base material into which the upper plunger is inserted to generate the depression portion.

상기 제조방법에서,In the above production method,

(b) 단계는, 모재의 직경보다 작은 외경으로부터 상기 모재의 직경보다 큰 외경까지 점차적으로 증가되는 원뿔형상의 금형을 준비하고, 상기 금형 내에 상기 모재의 개구된 하단을 올려놓은 후에 상기 모재를 하측으로 가압하여 상기 모재의 하단이 점차적으로 확장되도록 할 수 있다.Step (b) is to prepare a conical mold which gradually increases from an outer diameter smaller than the diameter of the base material to an outer diameter larger than the diameter of the base material, and after placing the open lower end of the base material in the mold, the base material is lowered. By pressing, the lower end of the base material may be gradually expanded.

상기 제조방법에서,In the above production method,

(c)단계는, 단부가 뾰족한 탐침형상의 정을 모재의 외부로부터 내측방향으로 가압하여 함입부가 형성되도록 할 수 있다.In step (c), the probe having a sharp end may be pressed inward from the outside of the base material to form a recess.

상기 제조방법에서,In the above production method,

상기 함입부는 상기 모재의 원주방향을 따라서 서로 이격되어 다수 배치될 수 있다.The recessed parts may be spaced apart from each other along the circumferential direction of the base material.

상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 검사용 탐침장치는, 전기적 검사를 위한 검사용 탐침장치에 있어서,In the inspection probe device of the present invention for achieving the above object, in the inspection probe device for electrical inspection,

내부가 비어 있고 일정한 내경 및 외경을 가지는 원통형상으로 이루어지되 하단에는 바깥방향으로 절곡되어 돌출되는 돌출부와, 상기 돌출부의 상측에 배치되며 내측방향으로 절곡되어 함입되는 함입부를 가지는 배럴; 및A barrel having a hollow interior and having a cylindrical shape having a constant inner diameter and an outer diameter, the lower end of which has a protrusion which is bent outwardly and protrudes, and a barrel which is arranged on the upper side of the protrusion and bent inwardly; And

일부는 상기 배럴 내에 삽입되고 나머지 일부는 상기 배럴로부터 하측으로 돌출되되 상기 함입부에 걸려 배럴의 외부로 빠지지 않게 구성된 하부 플런저를 포함한다.A portion includes a lower plunger that is inserted into the barrel and the other portion protrudes downward from the barrel but is hooked to the recess so as not to fall out of the barrel.

상기 검사용 탐침장치에서,In the inspection probe device,

상기 돌출부는 배럴의 둘레를 따라 원주방향으로 연장되어 형성되며, 전체적으로 나팔꽃 형상을 가질 수 있다.The protrusion may extend in the circumferential direction along the circumference of the barrel and may have a morning glory shape as a whole.

상기 검사용 탐침장치에서,In the inspection probe device,

상기 돌출부는 V 형상으로 절곡되어 돌출되어 있을 수 있다.The protrusion may be bent to protrude in a V shape.

상기 검사용 탐침장치에서,In the inspection probe device,

상기 함입부는 V 형상으로 내측으로 절곡되어 함입될 수 있다.The depression may be bent inward in a V shape.

본 발명의 검사용 탐침장치는, 하우징에 걸리도록 하는 돌출부가 바깥방향으로 절곡되어 마련됨에 따라서 제조가 간편하고 필요한 소재가 감소될 수 있게 된다.In the inspection probe device of the present invention, as the protrusions to be caught by the housing are bent outwardly, the manufacturing is easy and the required material can be reduced.

또한, 본 발명의 검사용 탐침장치는, 돌출부가 훼손 또는 파손되는 경우에도 절곡에 의하여 손쉽게 재가공이 가능하기 때문에 전체적인 유지비용을 절감할 수 있다는 장점이 있다.In addition, the inspection probe device of the present invention has the advantage that the overall maintenance cost can be reduced because it can be easily reworked by bending even when the protrusion is damaged or broken.

도 1은 종래기술에 따른 검사용 탐침장치를 도시한 도면.
도 2는 도 1의 검사용 탐침장치의 작동모습을 나타내는 도면.
도 3 내지 도 5는 도 1의 검사용 탐침장치의 배럴을 제작하는 모습의 일예를 나타나는 도면.
도 6은 본 발명의 일실시예에 따른 검사용 탐침장치를 도시한 도면.
도 7 내지 도 14는 도 6의 검사용 탐침장치를 제작하는 모습을 나타내는 도면.
도 15는 도 6의 검사용 탐침장치의 배럴에 대한 다양한 단면형상을 나타내는 도면.1 is a view showing the inspection probe device according to the prior art.
2 is a view showing the operation of the inspection probe of Figure 1;
3 to 5 is a view showing an example of a state of manufacturing a barrel of the inspection probe for inspection of FIG.
6 is a view showing a test probe device according to an embodiment of the present invention.
7 to 14 is a view showing a state of manufacturing the inspection probe device of FIG.
15 shows various cross-sectional shapes of the barrel of the inspection probe of FIG. 6.

이하, 본 발명의 일실시예에 따른 검사용 탐침장치를 첨부된 도면을 참조하면서 상세하게 설명한다.Hereinafter, the inspection probe device according to an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

본 발명의 일실시예에 따른 검사용 탐침장치(10)는 피검사 디바이스(80)의 단자(81)와 검사장치(90)의 패드(91)를 서로 전기적으로 연결시키기 위하여 사용되는 것으로서 상단은 피검사 디바이스(80)의 단자(81)와 접촉되고 하단은 검사장치(90)의 패드(91)에 접촉될 수 있다. The inspection probe device 10 according to an embodiment of the present invention is used to electrically connect the terminal 81 of the device under test 80 and the pad 91 of the inspection device 90 to each other. It may be in contact with the terminal 81 of the device under test 80 and the lower end thereof may be in contact with the pad 91 of the test apparatus 90.

이러한 검사용 탐침장치(10)는 하우징(70) 내에 배치된 상태를 가지는 것이다. 상기 하우징(70)은, 상면과 하면을 일정한 직경으로 관통하는 제1관통공(71a)이 마련되는 상부하우징(71)과, 상기 제1관통공(71a)보다 직경이 다소 크며 하단에는 단턱(72b)에 의하여 직경이 감소되는 제2관통공(72a)이 형성되는 하부하우징(72)으로 이루어진다. 이때, 상기 검사용 탐침장치(10)는 제1관통공(71a)과 제2관통공(72a)의 내부에 배치된 상태에 놓이게 된다.This inspection probe device 10 is to have a state arranged in the housing (70). The housing 70 has an upper housing 71 in which a first through hole 71 a penetrates an upper surface and a lower surface with a predetermined diameter, and has a diameter slightly larger than that of the first through hole 71 a, and has a stepped lower end. It consists of a lower housing 72 is formed a second through hole (72a) is reduced in diameter by 72b). At this time, the inspection probe device 10 is placed in a state disposed inside the first through hole (71a) and the second through hole (72a).

상기 검사용 탐침장치(10)는, 상부 플런저(20), 배럴(30), 하부 플런저(40) 및 탄성바이어스부재(50)를 포함하여 구성된다.The inspection probe device 10 includes an upper plunger 20, a barrel 30, a lower plunger 40, and an elastic bias member 50.

상기 상부 플런저(20)는, 피검사 디바이스(80)의 단자(81)와 접촉될 수 있도록 상단에 요철이 형성되는 것이다. 구체적으로는 상측요철부(21), 중간부(22) 및 삽입부(23)로 이루어진다. 상기 상측요철부(21)는 대략 원기둥형상으로 이루어지되 하우징의 외부로 돌출되는 부분이다. 이러한 상측요철부(21)는 그 상단에 원뿔 또는 사각뿔과 같은 형상의 다수의 요철(211)이 형성되어 있다. 이러한 요철(211)은 피검사 디바이스(80)의 단자(81)와 접촉시 단자 표면에 확실하게 접촉하도록 함으로서 전기적 전도성을 높일 수 있는 형상을 가진다. 또한, 상기 요철에는 전도성을 높이기 위한 금과 같은 전도성 우수한 소재로 도금되어 있을 수 있다.The upper plunger 20 is formed with an unevenness at an upper end thereof so as to be in contact with the terminal 81 of the device under test 80. Specifically, the upper uneven portion 21, the middle portion 22 and the insertion portion 23 is composed of. The upper concave-convex portion 21 is formed in a substantially cylindrical shape, but protrudes to the outside of the housing. The upper concave-convex portion 21 has a plurality of concave-convex 211 in the shape of a cone or a square pyramid is formed on the upper end. The unevenness 211 has a shape capable of increasing electrical conductivity by making sure that the terminal surface of the device to be inspected 80 is in contact with the terminal surface. In addition, the unevenness may be plated with an excellent conductivity material such as gold to increase conductivity.

상기 중간부(22)는, 상기 상측요철부(21)로부터 외경이 확장되는 부분으로서 대략 원뿔대형 및 원기둥형이 복합되어 구성된다. The intermediate portion 22 is a portion in which the outer diameter extends from the upper concave-convex portion 21 and is formed by combining a substantially truncated cone and a cylinder.

상기 삽입부(23)는 상기 배럴(30)의 내부에 삽입되는 부분으로서, 대략 중앙에 오목하게 패여진 홈(231)이 원주방향을 따라 형성되고 그 하단에는 하단을 향하여 돌출된 핀이 마련된다. 이러한 삽입부(23)는 홈(231)이 배럴(30)의 함입부(31)에 의하여 위치고정될 수 있도록 구성된다.The inserting portion 23 is a portion inserted into the barrel 30, the groove 231 is concave in the center is formed in the circumferential direction, the lower end is provided with a pin protruding toward the lower end . The insertion part 23 is configured such that the groove 231 can be fixed by the depression 31 of the barrel 30.

상기 배럴(30)은, 상기 상부 플런저(20)와 결합되고 내부가 빈 원통형상으로 이루어지되 하부에는 바깥방향을 절곡되어 돌출되는 돌출부(32)가 마련되는 구성이다. 이러한 배럴(30)은 내부와 외부에 모두 전도성이 우수한 전도성 도금층이 형성될 수 있으며, 이에 한정되는 것은 아니며 내부에만 전도성 도금층이 형성될 수 있다.The barrel 30 is configured to be combined with the upper plunger 20 and have an inner cylindrical shape, but having a protrusion 32 which is bent and protruded outward at a lower portion thereof. The barrel 30 may have a conductive plating layer having excellent conductivity both inside and outside thereof, but is not limited thereto. A conductive plating layer may be formed only inside the barrel 30.

배럴(30)의 상측에 내측으로 절곡되어 함입된 함입부(31)가 마련되어 있으며 상기 함입부(31)가 삽입부(23)의 홈(231)에 끼워걸림으로서 상기 상부 플런저(20)를 배럴(30)에 위치고정한다. A recess 31 is bent and inwardly provided on the upper side of the barrel 30, and the recess 31 is fitted into the groove 231 of the insertion portion 23 so that the upper plunger 20 is barreled. Position it at (30).

배럴(30)의 하측에는 바깥방향으로 절곡되어 돌출되는 돌출부(32)가 마련된다. 이러한 돌출부(32)는 대략 하단으로 갈수록 외경이 증가되는 형상을 가지고 있으며 배럴(30)의 상측 또는 중간부에 비하여 배럴(30) 하단의 외경이 다소 크게 형성된다. 이러한 배럴(30)의 돌출부(32)는 하우징의 내부에 걸려 외부로 빠져나가지 않는 기능을 수행한다.A lower portion of the barrel 30 is provided with a protrusion 32 which is bent and protruded outward. The protrusion 32 has a shape in which the outer diameter increases toward the lower end, and the outer diameter of the bottom of the barrel 30 is slightly larger than the upper or middle portion of the barrel 30. The protrusion 32 of the barrel 30 performs a function of being caught inside the housing and not exiting to the outside.

상기 배럴(30)의 하측으로서 돌출부(32)의 위에는 하부 플런저(40)의 일부가 상기 배럴(30) 내에서 벗어나지 못하도록 내측으로 절곡되어 함입된 함입부(31)가 마련된다. 상기 함입부(31)는 배럴(30) 상측의 함입부(31)와 대략 동일한 형태로 이루어진다. On the protrusion 32 as a lower side of the barrel 30, a recess 31 is bent inward so that a portion of the lower plunger 40 is not bent out of the barrel 30. The depression 31 has a shape substantially the same as the depression 31 above the barrel 30.

상기 하부 플런저(40)는, 일부는 배럴(30) 내에 삽입되며, 나머지 일부는 배럴(30)로부터 하측으로 돌출되는 것으로서, 검사장치(90)의 패드(91)와 접촉되는 부분이다. 이러한 하부 플런저(40)는, 상기 배럴(30)의 내경과 대응되는 내경을 가지는 상측부(41)와, 상기 상측부(41)와 일체로 연결되며 하측으로 연장되는 하측부(42)를 포함하여 구성된다. The lower plunger 40 is partially inserted into the barrel 30 and the other part protrudes downward from the barrel 30 and is in contact with the pad 91 of the inspection apparatus 90. The lower plunger 40 includes an upper portion 41 having an inner diameter corresponding to the inner diameter of the barrel 30, and a lower portion 42 connected integrally with the upper portion 41 and extending downward. It is configured by.

구체적으로 상기 상측부(41)는 대략 원기둥형상으로 이루어지되, 상기 배럴(30)의 내부에서 상측 또는 하강을 하는 부분이다. 이러한 상측부(41)는 그 하단이 상기 배럴(30)의 함입부(31)에 걸려 상기 하부 플런저(40)가 외부로 빠져나가는 것을 방지하는 기능을 수행한다. Specifically, the upper portion 41 is formed in a substantially cylindrical shape, the upper portion or the lower portion in the interior of the barrel 30. The upper portion 41 serves to prevent the lower plunger 40 from escaping to the outside by the lower end is caught by the depression 31 of the barrel 30.

상기 하측부(42)는 상기 상측부(41)로부터 하측으로 연장되는 부분으로서 배럴(30)의 외부로 연장되어 돌출되는 것으로서, 그 하단이 검사장치(90)의 패드(91)와 접촉되는 부분이다. 이러한 하측부(42)는 대략 핀형상으로 이루어진다.The lower part 42 is a part extending downward from the upper part 41 and protrudes outwardly of the barrel 30, and a lower end thereof is in contact with the pad 91 of the inspection device 90. to be. The lower part 42 is formed in a substantially fin shape.

상기 탄성바이어스부재(50)는, 상기 배럴(30) 내에 삽입되어 있으며 상기 하부 플런저(40)를 상기 상부 플런저(20)와 멀어지는 방향으로 탄성바이어스시키는 것이다. 이러한 탄성바이어스부재(50)로는 압축코일 스프링이 사용되는 것이 일반적이다. 다만, 전기적인 흐름을 용이하게 하기 위하여 상기 스프링의 표면에는 전도성이 우수한 전도성 도금층이 형성되는 것도 가능하다.The elastic bias member 50 is inserted into the barrel 30 to elastically bias the lower plunger 40 in a direction away from the upper plunger 20. As the elastic bias member 50, a compression coil spring is generally used. However, in order to facilitate electrical flow, it is also possible to form a conductive plating layer having excellent conductivity on the surface of the spring.

이러한 탄성바이어스부재(50)는 상기 배럴(30) 내에 삽입된 상태에서 그 상단이 상기 상부 플런저(20)에 접촉되고 하단은 상기 하부 플런저(40)에 접촉되어 있어 상시적으로 상기 하부 플런저(40)를 탄성가압하고 있도록 배치되어 있게 된다.The elastic bias member 50 is inserted into the barrel 30, the upper end is in contact with the upper plunger 20 and the lower end is in contact with the lower plunger 40 is always the lower plunger 40 ) To be elastically pressurized.

이러한 본 발명의 일실시예에 따른 검사용 탐침장치(10)는 다음과 같이 제작될 수 있다.Inspection probe device 10 according to an embodiment of the present invention can be manufactured as follows.

먼저, 도 7에 도시된 바와 같이 상하단이 개구되며 외경이 일정하게 유지되는 원통형상의 모재(30')(여기서 '모재(30')'란 배럴(30)을 완성하기 전 단계의 파이프를 의미한다)를 준비한다. 이때 모재(30')는 통상의 금속소재의 파이프를 사용하는 것이 가능하다.First, as shown in FIG. 7, a cylindrical base material 30 ′ having an upper and lower ends and a constant outer diameter maintained therein (here, “base material 30 ′”) refers to a pipe before the barrel 30 is completed. Prepare. At this time, the base material 30 'can use a pipe of a normal metal material.

이후에, 도 8 내지 10에 도시된 바와 같이, 모재(30')의 하부 일부 또는 전부를 바깥방향으로 절곡하여 돌출시켜 돌출부(32)를 생성한다. Subsequently, as shown in FIGS. 8 to 10, a part or all of the lower portion of the base material 30 ′ is bent outwardly to protrude to generate the protrusion 32.

이때, 모재(30')의 하측에는 모재(30')의 직경보다 작은 외경으로부터 모재(30')의 직경보다 큰 외경까지 점차적으로 외경이 증가되는 원뿔형상의 금형(60)을 준비하고, 상기 금형(60) 내에 상기 모재(30')의 개구된 하단을 올려놓은 후에 상기 모재(30')를 하측으로 가압하여 상기 모재(30')의 하단이 점차적으로 확장되도록 하는 것이다. 이때, 모재(30')를 하측에서 바라본 모습을 도 9에 도시된 바와 같다. At this time, the lower side of the base material 30 'to prepare a conical mold 60, the outer diameter of which is gradually increased from the outer diameter smaller than the diameter of the base material 30' to the outer diameter larger than the diameter of the base material 30 ', the mold After placing the open lower end of the base material 30 'in 60, the base material 30' is pressed downward so that the lower end of the base material 30 'is gradually expanded. At this time, the shape of the base material 30 'as viewed from the bottom side is as shown in FIG.

이후에, 도 11에 도시된 바와 같이, 돌출부(32)의 상측으로서 모재(30')의 일부 또는 전부를 내측으로 절곡하여 함입시켜 함입부(31)를 생성시킨다. 구체적으로는, 단부가 뾰족한 탐침형상의 정을 모재(30')의 외부로부터 내측방향으로 가압하여 합임부가 형성되도록 한다. 이때 내측방향이란 모재(30')의 중심축을 향하는 방향을 의미한다. 이와 같이 함입부(31)가 생성된 모재(30')는 도 12에 도시되어 있다.Subsequently, as shown in FIG. 11, a part or the entirety of the base material 30 ′ is bent inward as the upper side of the protruding portion 32 to form the depression 31. Specifically, the probe having a sharp tip is pressed inward from the outside of the base material 30 'so that the mating portion is formed. At this time, the inner direction means a direction toward the central axis of the base material (30 '). The base material 30 ′ in which the depressions 31 are generated is shown in FIG. 12.

이후에는, 도 13에 도시된 바와 같이, 모재(30')의 상단을 통하여 하부 플런저(40)를 삽입하여 상기 함입부(31)에 걸리도록 안착시키고, 이후에는 모재(30') 내에 스프링 및 상부 플런저(20)를 순차적으로 삽입하게 된다. Subsequently, as shown in FIG. 13, the lower plunger 40 is inserted through the upper end of the base material 30 ′ to be seated so as to be caught by the recess 31, and then a spring and The upper plunger 20 is inserted sequentially.

이후에는, 도 14에 도시된 바와 같이, 상부 플런저(20)가 삽입된 모재(30')의 상부를 절곡하여 함입시켜 함입부(31)를 생성시킨다. 구체적으로는 모재(30')의 상부에 함입부(31)를 형성하여 함입부(31)가 상부 플런저(20)의 홈(231)에 끼워질 수 있도록 한다. 이때, 함입부(31)는 모재(30')의 원주방향을 따라서 서로 이격되어 다수 배치될 수 있다. Thereafter, as illustrated in FIG. 14, the upper portion of the base material 30 ′ into which the upper plunger 20 is inserted is bent and recessed to generate the recess 31. Specifically, the depression 31 is formed on the upper portion of the base material 30 ′ so that the depression 31 may be fitted into the groove 231 of the upper plunger 20. At this time, the recess 31 may be spaced apart from each other along the circumferential direction of the base material 30 '.

다만, 이에 한정되는 것은 아니며 단일의 함입부(31)가 상기 모재(30')에 형성되는 것도 가능함은 물론이다. 이때, 함입부(31)는 V 형상의 단면을 가지면서 내측으로 절곡되어 함입되는 것도 가능하며 기타 다양한 형태로 구성될 수 있다.However, the present invention is not limited thereto, and a single recess 31 may be formed in the base material 30 ′. In this case, the recess 31 may be bent inward while having a V-shaped cross section, and may be configured in various other forms.

이러한 본 발명의 검사용 탐침장치(10)는 다음과 같은 작용효과를 가진다.The inspection probe device 10 of the present invention has the following effects.

먼저, 도 6의 검사용 탐침장치(10)에서 피검사 디바이스(80)가 하강하면 그 피검사 디바이스(80)의 단자(81)는 상부 플런저(20)에 접촉하면서 상부 플런저(20)와 배럴(30)을 하강시킨다. 이때, 하부 플런저(40)는 배럴(30) 내로 삽입되면서 탄성바이어스부재(50)에 의하여 탄력지지되어 검사장치(90)의 패드(91)와 확실하게 접촉된다. 이후에, 검사장치(90)의 패드(91)로부터 전기적인 신호가 인가되면 그 신호는 하부 플런저(40), 탄성바이어스부재(50) 및/또는 배럴(30), 상부 플런저(20)를 거쳐 피검사 디바이스(80)의 단자(81)로 전달되어 소정의 전기적인 검사가 이루어지게 된다.First, when the device under test 80 is lowered in the inspection probe device 10 of FIG. 6, the terminal 81 of the device under test 80 contacts the upper plunger 20 while the upper plunger 20 and the barrel are in contact with each other. Lower (30). At this time, the lower plunger 40 is inserted into the barrel 30 and is elastically supported by the elastic bias member 50 so as to reliably contact the pad 91 of the inspection device 90. Subsequently, when an electrical signal is applied from the pad 91 of the inspection device 90, the signal passes through the lower plunger 40, the elastic bias member 50 and / or the barrel 30, and the upper plunger 20. It is delivered to the terminal 81 of the device under test 80 so that a predetermined electrical test is performed.

이러한 본 발명의 검사용 탐침장치는, 기존과 같이 소정두께를 가진 환봉을 기계적으로 절삭가공함이 없이도 파이프 형태의 배럴에 필요한 돌출부를 용이하게 형성할 수 있어 제작편의성이 증대되고, 소재의 낭비가 최소화될 수 있다는 장점이 있다.The inspection probe device of the present invention can easily form a protrusion required for a pipe-type barrel without mechanically cutting a round bar having a predetermined thickness as in the prior art, thereby increasing the convenience of manufacturing and waste of material. The advantage is that it can be minimized.

또한, 본 발명의 검사용 탐침장치는, 돌출부가 빈번한 작동으로 마모 또는 파손되는 경우에도 손쉽게 바깥방향으로 절곡하여 새로운 돌출부를 용이하게 제작할 수 있어 유지관리가 용이하다는 장점이 있다.In addition, the inspection probe device of the present invention has the advantage that it can be easily bent outwards to easily produce a new protrusion even when the protrusion is worn or damaged due to frequent operation, easy maintenance.

또한, 본 발명의 검사용 탐침장치는, 기계적인 절삭가공에 의하여 돌출부를 형성하고 있는 것이 아니기 때문에 미세피치를 가진 피검사 디바이스의 단자에 쉽게 적용할 수 있다는 장점이 있다.In addition, the inspection probe device of the present invention has the advantage that it can be easily applied to the terminal of the device under inspection having a fine pitch since the projection is not formed by mechanical cutting.

본 발명은 상술한 실시예에 국한되는 것이 아니라 다음과 같이 변형되는 것도 가능하다.The present invention is not limited to the above-described embodiment, but may be modified as follows.

먼저, 상술한 실시예에서는 돌출부를 전체적으로 직경이 확장되는 형태로 구성되는 것을 예시하였다. 예컨데, 나팔꽃과 같은 형상으로 이루어지는 것을 예시하였으나, 이에 한정되는 것은 아니다. 예컨데, 도 15의 (a), (b), (c)에 도시된 바와 같이 국부적으로 V 형상의 단면을 가지도록 돌출성형되는 것도 가능하다. 이때 돌출부(32)은 배럴(30)의 일측에만 형성되거나, 양측에 형성되거나, 상하좌우에 각각 형성되는 것도 가능하며 기타 다양한 형태로 변경되어 형성될 수 있다. First, the above-described embodiment has been exemplified that the protruding portion is configured in such a way that the diameter thereof is expanded as a whole. For example, it is illustrated that the morning glory is formed in the same shape, but is not limited thereto. For example, as shown in (a), (b) and (c) of FIG. 15, it is also possible to protrude to have a locally V-shaped cross section. In this case, the protrusions 32 may be formed only on one side of the barrel 30, may be formed on both sides, or may be formed on top, bottom, left and right, respectively, and may be formed in various other forms.

또한, 상술한 실시예에서는 함입부 또는 돌출부를 형성하기 위하여 금형 또는 정 등의 도구를 사용한 것을 예시하였으나, 이에 한정되는 것은 아니며 다양한 예시되지 않은 다양한 도구를 이용하여 배럴의 일부 또는 전부를 절곡하여 형성하는 것이 가능하다.In addition, in the above-described embodiment, a tool such as a mold or a tablet is used to form an indentation or a protrusion, but the present invention is not limited thereto and may be formed by bending part or all of the barrel using various tools not illustrated. It is possible to do

이러한 본 발명에 따른 검사용 탐침장치 및 그 제조방법은 이에 한정되는 것은 아니며 다양한 형태로 변형되는 것도 가능하며 이러한 변형의 범위는 특허청구범위에서 합리적으로 해석되는 범위까지에 이른다. The inspection probe device and the method of manufacturing the same according to the present invention are not limited thereto, and may be modified in various forms, and the range of such modifications ranges from the claims to the reasonable interpretation.

10...검사용 탐침장치 20...상부 플런저
21...상측 요철부 211...요철
22...중간부 23...삽입부
30...배럴 31...함입부
32...돌출부 40...하부 플런저
41...상측부 42...하측부
50...탄성바이어스부재 60...금형
61...정 70...하우징
71...상부하우징 72...하부하우징
80...피검사 디바이스 81...단자
90...검사장치 91...패드10 ... Probe for inspection 20 ... Upper plunger
21.Upper uneven part 211.Uneven
22 ... middle part 23 ... insertion part
30 ... barrel 31 ... indent
32.Protrusion 40 ... Lower Plunger
41 ... top 42 ... bottom
50 ... elastic bias member 60 ... mold
61 tablets 70 housing
71 Upper housing 72 Lower housing
80 ... Device to be tested 81 ... Terminal
90 Inspection device 91 Pad

Claims (15)

피검사 디바이스의 단자와 검사장치의 패드를 서로 전기적으로 연결시키기 위하여 사용되되 하우징 내에 배치되는 검사용 탐침 장치에 있어서,
피검사 디바이스의 단자와 접촉될 수 있는 상부 플런저;
상기 상부 플런저와 결합되고 내부가 빈 원통형상으로 이루어지되 하부에는 바깥방향으로 절곡되어 돌출되는 돌출부가 마련되어 있는 배럴;
일부는 상기 배럴 내에 삽입되며, 나머지 일부는 상기 배럴로부터 하측으로 돌출되는 하부 플런저; 및
상기 배럴 내에 삽입되어 있으며 상기 하부 플런저를 상기 상부 플런저과 멀어지는 방향으로 탄성바이어스시키는 탄성바이어스부재를 포함하되,
상기 돌출부는 하단으로부터 상측으로 갈수록 외경이 점차 감소하는 부분을 가지는 것을 특징으로 하는 검사용 탐침 장치.In the inspection probe device used to electrically connect the terminal of the device under test and the pad of the inspection device to each other, the inspection probe device disposed in the housing,
An upper plunger that can be in contact with the terminal of the device under test;
A barrel coupled to the upper plunger and having an inner cylindrical shape, the lower portion of which has a protrusion that is bent outwardly and protrudes;
A lower portion of the plunger inserted into the barrel and a lower portion of the lower portion of the barrel; And
And an elastic bias member inserted into the barrel to elastically bias the lower plunger in a direction away from the upper plunger,
The protruding portion is a test probe device, characterized in that the outer diameter gradually decreases toward the upper side from the lower end. 제1항에 있어서,
상기 하부 플런저는, 상기 배럴의 내경과 대응되는 내경을 가지는 상측부; 및
상기 상측부와 일체로 연결되며 하측으로 연장되고 상기 상측부보다 작은 외경을 가지는 하측부를 포함하는 것을 특징으로 하는 검사용 탐침장치.The method of claim 1,
The lower plunger may include an upper portion having an inner diameter corresponding to an inner diameter of the barrel; And
An inspection probe device comprising: a lower portion connected integrally with the upper portion and extending downward and having an outer diameter smaller than that of the upper portion. 제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 돌출부의 상측에는 상기 하부 플런저의 일부가 상기 배럴 내에서 벗어나지 못하도록 내측으로 절곡되어 함입된 함입부가 마련되어 있는 것을 특징으로 하는 검사용 탐침장치.3. The method according to claim 1 or 2,
And an indent formed by being bent inward so that a portion of the lower plunger does not escape from the barrel. 삭제delete 제1항에 있어서,
상기 돌출부는, 배럴의 일부 영역으로부터 국부적으로 절곡되어 돌출된 요철의 형상을 가지는 것을 특징으로 하는 검사용 탐침장치.The method of claim 1,
The protruding portion has a shape of irregularities protruding locally bent from a portion of the barrel. 제5항에 있어서,
상기 돌출부는, 배럴의 원주방향을 따라서 서로 이격되어 다수개가 배치되는 것을 특징으로 하는 검사용 탐침장치.The method of claim 5,
The protruding portion, inspection probes, characterized in that a plurality is arranged spaced apart from each other along the circumferential direction of the barrel. 전기적 검사를 위한 검사용 탐침장치의 제조방법으로서,
(a) 상하단이 개구되며 외경이 일정하게 유지되는 원통형상의 모재를 준비하는 단계;
(b) 상기 모재의 하부의 일부 또는 전부를 바깥방향으로 절곡하여 돌출시켜, 하단으로부터 상측으로 갈수록 외경이 점차 감소하는 부분을 가지는 돌출부를 생성시키는 단계;
(c) 상기 돌출부의 상측으로서, 모재의 일부 또는 전부를 내측으로 절곡하여 함입시켜 함입부를 생성시키는 단계;
(d) 상기 모재의 상단을 통하여 하부 플런저를 삽입하여 상기 함입부에 걸리도록 안착시키는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 검사용 탐침장치의 제조방법.As a manufacturing method of the inspection probe device for the electrical inspection,
(a) preparing a cylindrical base material having upper and lower ends and having a constant outer diameter;
(b) bending a part or all of the lower portion of the base material outwardly to protrude, thereby generating a protrusion having a portion whose outer diameter gradually decreases from the lower portion to the upper portion;
(c) forming an indentation by bending a part or all of the base material inwardly as an upper side of the protruding portion;
(d) inserting a lower plunger through an upper end of the base material and seating the hooked part so as to be caught by the recessed part. 제7항에 있어서,
상기 (d) 단계 이후에 배치되는 단계로서,
(e) 상기 모재 내에 스프링 및 상부 플런저를 순차적으로 삽입하는 단계; 및
(f) 상기 상부 플런저가 삽입된 모재의 상부를 절곡하여 함입시켜 함입부를 생성시키는 단계;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 검사용 탐침장치의 제조방법.The method of claim 7, wherein
As a step disposed after the step (d),
(e) sequentially inserting a spring and an upper plunger into the base material; And
(f) bending the upper portion of the base material into which the upper plunger is inserted to generate an indentation portion. 제7항에 있어서,
(b) 단계는, 모재의 직경보다 작은 외경으로부터 상기 모재의 직경보다 큰 외경까지 점차적으로 증가되는 원뿔형상의 금형을 준비하고, 상기 금형 내에 상기 모재의 개구된 하단을 올려놓은 후에 상기 모재를 하측으로 가압하여 상기 모재의 하단이 점차적으로 확장되도록 하는 것을 특징으로 하는 검사용 탐침장치의 제조방법.The method of claim 7, wherein
Step (b) is to prepare a conical mold which gradually increases from an outer diameter smaller than the diameter of the base material to an outer diameter larger than the diameter of the base material, and after placing the open lower end of the base material in the mold, the base material is lowered. Method of manufacturing a probe for inspection, characterized in that the lower end of the base material is gradually expanded by pressing. 제7항에 있어서,
(c)단계는, 단부가 뾰족한 탐침형상의 정을 모재의 외부로부터 내측방향으로 가압하여 함입부가 형성되도록 하는 것을 특징으로 하는 검사용 탐침장치의 제조방법.The method of claim 7, wherein
Step (c) is a method of manufacturing a test probe for the inspection, characterized in that the indentation is formed by pressing the probe of the pointed tip shape inward from the outside of the base material. 제7항에 있어서,
상기 함입부는 상기 모재의 원주방향을 따라서 서로 이격되어 다수 배치되는 것을 특징으로 하는 검사용 탐침장치의 제조방법.The method of claim 7, wherein
The recessed part is a manufacturing method of the inspection probe device characterized in that a plurality of spaced apart from each other along the circumferential direction of the base material. 전기적 검사를 위한 검사용 탐침장치에 있어서,
내부가 비어 있고 일정한 내경 및 외경을 가지는 원통형상으로 이루어지되 하단에는 바깥방향으로 절곡되어 돌출되는 돌출부와, 상기 돌출부의 상측에 배치되며 내측방향으로 절곡되어 함입되는 함입부를 가지는 배럴; 및
일부는 상기 배럴 내에 삽입되고 나머지 일부는 상기 배럴로부터 하측으로 돌출되되 상기 함입부에 걸려 배럴의 외부로 빠지지 않게 구성된 하부 플런저를 포함하되,
상기 돌출부는 하단으로부터 상측으로 갈수록 외경이 점차 감소하는 부분을 가지는 것을 특징으로 하는 검사용 탐침 장치.In the inspection probe for the electrical inspection,
A barrel having a hollow interior and having a cylindrical shape having a constant inner diameter and an outer diameter, the lower end of which has a protrusion which is bent outwardly and protrudes, and a barrel which is arranged on the upper side of the protrusion and bent inwardly; And
A portion of the lower plunger inserted into the barrel and the other portion protruding downwardly from the barrel, the lower plunger being configured to be caught in the recess and not to fall out of the barrel,
The protruding portion is a test probe device, characterized in that the outer diameter gradually decreases toward the upper side from the lower end. 제12항에 있어서,
상기 돌출부는 배럴의 둘레를 따라 원주방향으로 연장되어 형성되며, 전체적으로 나팔꽃 형상을 가지는 것을 특징으로 하는 검사용 탐침 장치.The method of claim 12,
The protruding portion is formed extending in the circumferential direction along the circumference of the barrel, it is characterized in that it has a morning glory shape as a whole. 제12항에 있어서,
상기 돌출부는 V 형상으로 절곡되어 돌출되어 있는 것을 특징으로 하는 검사용 탐침 장치.The method of claim 12,
The protruding portion is bent in a V shape protruding device, characterized in that protruding. 제12항에 있어서,
상기 함입부는 V 형상으로 내측으로 절곡되어 함입된 것을 특징으로 하는 검사용 탐침 장치.The method of claim 12,
The indentation portion is bent inwardly in a V shape, the inspection probe device characterized in that the indentation.
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