KR100889613B1 - Manufacturing method of probe pin and probe pin produced by thereby - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은 프로브 핀을 제작하는 방법 및 그 방법에 의하여 제작된 프로브 핀에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 간단하게 제작할 수 있으며 전기적 특성이 우수한 프로브 핀을 제작하는 방법 및 그 방법에 의하여 제작된 프로브 핀에 관한 것이다.The present invention relates to a method for manufacturing a probe pin and a probe pin manufactured by the method, and more particularly, to a method for manufacturing a probe pin which can be easily manufactured and has excellent electrical characteristics and a probe pin manufactured by the method. It is about.
일반적으로 반도체 소자의 전기적 특성 검사를 위하여 반도체 소자와 테스트 장치 간의 전기적 연결이 원활하게 이루어져 한다. 이러한 반도체 소자와 검사장치와의 연결을 위하여 프로브 핀 등이 사용된다.In general, the electrical connection between the semiconductor device and the test apparatus is smoothly performed to check the electrical characteristics of the semiconductor device. Probe pins and the like are used to connect the semiconductor device and the inspection apparatus.
프로브 핀의 역할은 반도체 소자의 단자와 테스트 장치를 서로 연결시켜 전기적인 신호가 양방향으로 서로 전달될 수 있게 하는 것이다. 이러한 프로브 핀은 내부에 스프링이 장착되어 있어 반도체 소자와 테스터의 연결을 원활하게 하고, 연결시 발생하는 기계적인 충격을 완충시키게 한다.The role of the probe pin is to connect the terminals of the semiconductor device and the test device with each other so that electrical signals can be transferred to each other in both directions. These probe pins are spring-loaded inside to facilitate the connection between the semiconductor device and the tester, and to cushion the mechanical shock generated during the connection.
도 1은 종래기술에 의한 프로브 핀(120)을 사용하여 전기적 검사를 수행하는 모습을 나타내는 도면이다. 도 1을 참조하면, 상하방향으로 연장된 원통형상의 본 체(121)와, 상기 본체(121)의 하부에 설치되며 테스트 장치(110)의 접촉패드(111)와 연결되는 하부 핀(123)과, 상기 본체(121)의 상부에 설치되며 반도체 소자(100)의 단자(101)와 연결될 수 있으며 상단에 다수의 돌출부(122a)가 형성된 상부 핀(122)과, 상기 본체(121) 내에 삽입되어 상기 수축 및 팽창을 하는 스프링(125)으로 이루어진다. 상기 프로브 핀(120)의 하부 핀(123)이 테스트장치(110)의 접촉패드(111)와 접촉한 상태에서 검사가 필요한 반도체 소자(100)의 단자(101)를 하측으로 이동시키면 상기 단자(101)는 프로브 핀(120)의 상부 핀(122)을 하측으로 가압하면서 상기 접촉패드(111)와 단자(101)가 전기적으로 연결된다.1 is a view showing a state of performing an electrical test using the
이러한 종래기술에 따른 프로브 핀은 다음과 같은 문제점을 가진다.Probe pin according to the prior art has the following problems.
첫째, 상기 상부핀에는 상기 반도체 소자와의 접촉효율을 증대시키기 위하여 다수의 산형 돌출부를 마련하고 있는데, 이러한 돌출부는 상부핀을 제작한 후에 별도로 상기 돌출부의 상단에 형성시켜야 하기 때문에 제작 공정이 복잡하여 제작비용이 증대되는 문제점이 있다.First, the upper pin is provided with a plurality of mountain protrusions in order to increase the contact efficiency with the semiconductor device, the manufacturing process is complicated because the protrusions must be formed on the top of the protrusion separately after the upper pin is manufactured There is a problem that the production cost is increased.
둘째, 돌출부가 마련되고 반도체 소자의 단자와 접촉하는 상부핀과 본체는 서로 별개로 이루어져 있어 전기적 연결특성 및 주파수 특성이 우수하지 못하는 문제점이 있다.Second, there is a problem that the upper pin and the main body which are provided with the protruding portion and contact with the terminal of the semiconductor element are separated from each other, so that the electrical connection characteristics and the frequency characteristics are not excellent.
본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위하여 창출된 것으로서, 간편하게 제작할 수 있으며 우수한 주파수 특성을 가지는 프로브 핀을 제작하는 방법 및 그 방 법에 의하여 제작된 프로브 핀을 제공하는 것을 목적으로 한다.The present invention has been made to solve the above problems, and an object of the present invention is to provide a probe pin manufactured by the method and a method for manufacturing a probe pin that can be easily manufactured and has excellent frequency characteristics.
상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 프로브 핀을 제작하는 방법은, 테스트 장치의 접촉패드와 접속이 필요한 단자 사이의 하우징 내에 설치되어 상기 접촉패드와 상기 단자를 전기적 연결시키는 프로브 핀을 제작하는 방법에 있어서,Method for manufacturing a probe pin of the present invention for achieving the above object, a method for manufacturing a probe pin is installed in the housing between the contact pad of the test apparatus and the terminal to be connected to electrically connect the contact pad and the terminal. To
금속소재로 이루어지며, 외부로 돌출되어 상기 하우징에 걸릴 수 있게 하는 끼움부가 형성된 원통형 본체를 마련하는 단계;Providing a cylindrical body formed of a metal material and having a fitting portion protruding outwardly to be caught in the housing;
상기 본체의 상측을 상단으로부터 하측으로 소정길이만큼 절개하여 상기 본체에 절개부를 형성하는 단계;Forming an incision in the main body by cutting the upper side of the main body from an upper end by a predetermined length;
상기 절개부를 본체의 중심축을 향하여 가압하여 오므림에 따라 상기 본체의 상측에 다수개의 돌출부를 형성하는 단계; 및Forming a plurality of protrusions on an upper side of the main body by pressing the incision toward the central axis of the main body; And
상기 본체의 개구된 하측으로부터 스프링을 삽입하여 상기 스프링의 상단을 절개부의 하측에 위치되도록 하는 단계;를 포함한다.And inserting a spring from an open lower side of the main body so that an upper end of the spring is positioned below the incision.
상기 방법에서,In the above method,
상기 절개부는 복수개 형성되며, 각각의 절개부들은 본체의 외주면을 따라 서로 동일거리만큼 이격되어 있는 것이 바람직하다.A plurality of cutouts are formed, and each cutout is preferably spaced apart from each other by the same distance along the outer circumferential surface of the main body.
상기 방법에서, 상기 절개부는 4개인 것이 바람직하다.In the method, it is preferable that the cutout is four.
상기 방법에서, 상기 스프링은 상기 본체 내에 삽입되며, 상기 본체의 내경과 동일한 직경을 가지는 상측부분; 및 In this method, the spring is inserted into the body, the upper portion having a diameter equal to the inner diameter of the body; And
상기 상측부분과 일체로 연결되며, 일부분은 상기 본체 내에 삽입되고 나머 지부분은 본체로부터 벗어나며, 상기 본체의 내경보다 작은 직경을 가지는 하측부분으로 이루어지는 것이 바람직하다.It is preferable that the upper portion is integrally connected with a portion of the lower portion which is inserted into the main body and the remaining portion is separated from the main body and has a diameter smaller than the inner diameter of the main body.
상기 방법에서, In the above method,
상기 스프링을 삽입하는 단계 이후에 마련되는 단계로서,After the step of inserting the spring is provided,
상기 상측부분의 하단과 대응되는 본체의 외주면을 중심축을 향하여 가압하여, 상기 스프링의 상측부분이 하측으로 빠지지 않도록 상기 본체에 걸림부분을 형성하는 단계;를 더 포함하는 것이 바람직하다.Pressing the outer peripheral surface of the main body corresponding to the lower end of the upper portion toward the central axis, to form a catch portion in the main body so that the upper portion of the spring does not fall downward.
상기 방법에서, 상기 스프링은 금도금되어 있는 것이 바람직하다.In the method, the spring is preferably gold plated.
상기 방법에서, In the above method,
상기 끼움부는 상기 원통형 본체의 하단에 외부직경이 커지도록 테이퍼지는 것이 바람직하다.The fitting portion is preferably tapered to increase the outer diameter at the bottom of the cylindrical body.
상기 방법에서,In the above method,
상기 끼움부는 상기 원통형 본체의 중앙부분에 외부로 돌출되도록 형성된 것이 바람직하다.The fitting portion is preferably formed so as to project outward in the central portion of the cylindrical body.
상술한 목적은 달성하기 위한 본 발명의 프로브 핀은 상술한 방법에 의하여 제작된다.The probe pin of the present invention for achieving the above-mentioned object is manufactured by the above-described method.
상술한 구성을 가지는 본 발명의 프로브 핀을 제작하는 방법 및 그 방법에 의하여 제작된 프로브 핀은 제작이 용이하여 제작비용을 줄일 수 있는 장점이 있으며, 돌출부가 본체에 직접 형성되어 있어 주파수 특성이 우수한 장점이 있다.The method of manufacturing the probe pin of the present invention having the above-described configuration and the probe pin manufactured by the method have the advantage of easy manufacturing and reducing the manufacturing cost, and the protruding portion is formed directly on the main body, which has excellent frequency characteristics. There is an advantage.
이하, 본 발명의 일실시예에 따른 본 발명의 프로브 핀을 제작하는 방법을 첨부된 도면을 참조하면서 설명한다.Hereinafter, a method for manufacturing a probe pin of the present invention according to an embodiment of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.
도 2 내지 도 4는 본 실시예에 따른 프로브 핀의 제작공정을 순서대로 나타낸 도면이며, 도 5는 도 4의 Ⅴ-Ⅴ 단면도이며, 도 6 및 도 7은 도 5의 본체에 스프링을 삽입하여 결합하는 모습을 순서대로 나타낸 도면이며, 도 8은 도 7에 의하여 제작된 프로브 핀을 나타내고, 도 9는 프로브 핀에 하우징 내에 설치된 모습을 나타낸 도면이다.2 to 4 are views showing the manufacturing process of the probe pin according to the embodiment in sequence, Figure 5 is a cross-sectional view of the V-V of Figure 4, Figure 6 and Figure 7 by inserting a spring into the body of Figure 5 Figure 8 is a view showing a state in order to combine, Figure 8 shows a probe pin manufactured by Figure 7, Figure 9 is a view showing a state installed in the housing to the probe pin.
본 실시예에 따른 프로브 핀(20)은 테스트 장치의 접촉패드(10)과 접속이 필요한 단자(11)사이의 하우징(12) 내 설치되어 상기 접촉패드(10)과 단자(11)를 전기적으로 연결시키기 위한 것이다. The
이러한 프로브 핀(20)을 제작하기 위하여, 먼저 도 2에 도시한 바와 같은 외부로 돌출되어 하우징에 걸림수 있게 하는 끼움부(30a)가 형성된 원통형상의 본체(30)를 마련한다. 상기 본체(30)는 전기적 연결이 가능한 도전성의 금속소재로 이루어진다. 또한 상기 끼움부(30a)는 하우징 내에 걸릴 수 있게 하는 것으로서, 원통형 본체의 하단에 외부직경이 커지도록 테이퍼진다.In order to fabricate such a
이후, 도 3에 도시한 바와 같이, 본체(30)의 상측을 상단으로부터 하측으로 소정의 길이만큼 절개하여 상기 본체(30)에 절개부(31)를 형성한다. 이러한 절개부(31)는 4개가 형성되는데, 그 수는 한정되지 않고 본체(30)의 크기에 따라 다양한 숫자를 가질 수 있다. 한편, 이러한 절개부(31)는 본체(30)의 외주면을 따라 서 로 동일한 거리 및 각도만큼 이격되어 있는 것이 바람직하다. 예를 들면, 4개의 절개부(31)가 형성되는 경우에는 각각 90도의 각도를 이루면서 방사산으로 본체(30)에 형성되는 것이 바람직하다. 3, the upper side of the
이후, 도 4에 도시한 바와 같이, 상기 절개부(31)를 본체(30)의 중심축(C)을 향하여 가압하여 오므린다. 구체적으로는 4개의 절개부(31)의 단부를 소정의 가압기구를 이용하여 본체(30)의 중심축(C)을 향하여 가압한다. 이와 같이 절개부(31)를 오므림에 따라 본체(30)의 상측에는 불규칙한 다수개의 돌출부(32)가 형성된다. 상기 돌출부(32)는 대략 본체(30)의 중심축과 본체(30)의 외경사이의 중심부근에 생기게 되나, 이에 한정되는 것은 아니라 절개부(31)의 깊이 및 오므림 정도에 따라 다양한 지점에 생길 수 있다. 한편, 각각의 절개부(31)를 오므리는 정도는 특별히 한정되지는 않으나, 바람직하게는 각 절개부(31)의 단부를 중심축과 근접하게 위치될 때까지 오므리는 것이 좋다. 절개부(31)가 충분히 오므려진 경우 위에서 바라봤을 때, 4 잎을 가지는 꽃모양인 된다.Thereafter, as shown in FIG. 4, the
이후, 도 6에 도시한 바와 같이 본체(30)의 하측으로부터 스프링(40)을 삽입하여 상기 스프링(40)의 상단을 절개부(31)의 하측에 위치되도록 한다. 구체적으로는 가압에 의하여 내경이 좁아지는 부분까지 삽입되어 위치고정된다. 이러한 스프링(40)은 본체(30)의 내경과 동일한 직경을 가지는 상측부분(41)과, 상기 상측부분(41) 또는 본체(30)의 내경보다 작은 직경을 가지는 하측부분(42)으로 이루어진다. 상기 상측부분(41)과 하측부분(42)은 서로 일체로 연결되며, 상기 상측부분(41) 전부 및 하측부분(42) 중에서 상측부는 상기 본체(30)에 삽입된다. 또한, 상기 스프링(40)은 도전성이 우수한 소재로 이루어지는 것이 바람직하며, 더욱 바람직하게는 금속소재의 표면에 금도금이 되어 있는 것이 좋다.Thereafter, as shown in FIG. 6, the
이후, 도 7에 도시한 바와 같이 상측부분(41)의 하단과 대응되는 본체(30)의 외주면을 중심축 쪽으로 가압한다. 이에 따라 본체(30)의 내주면에는 중심축을 향하여 돌출된 걸림부분(33)이 형성된다. 이와 같이 걸림부분(33)을 형성시키는 이유는 상기 스프링(40)이 본체(30)에 삽입된 상태에서 하측으로 빠져나가지 않도록 함은 물론, 스프링(40)과 본체(30)를 접촉시켜 전기적으로 연결될 수 있게 하기 위함이다. 물론, 상기 스프링(40)은 상단이 상기 본체(30)의 상측과도 연결되어 있으나, 다수의 접촉부위를 마련함에 따라 전기적인 연결성능을 향상시킬 수 있다.Thereafter, as illustrated in FIG. 7, the outer circumferential surface of the
도 8은 상술한 방법에 의하여 제작된 본 실시예에 따른 프로브 핀을 도시하고 있다. 상기 프로브 핀에는 상단에 복수개의 돌출부(32)가 마련되고, 그 본체(30)의 내부에는 스프링(40)이 삽입되어 있다. 또한, 상기 스프링(40)은 상기 본체(30)의 내부로부터 외부로 돌출되어 있게 된다.8 shows a probe pin according to the present embodiment manufactured by the method described above. The probe pin is provided with a plurality of
도 9는 프로브 핀(20)이 하우징(12) 내에 설치된 모습을 도시한 것으로서, 상기 프로브 핀(20)은 원통형 본체(30)에 마련된 끼움부(30a)가 하우징 내의 단턱(12a)에 걸려서 상측으로 빠지지 않도록 배치된다. 또한, 상기 원통형 본체(30)는 상단이 상기 하우징(12)으로부터 돌출되어 접속이 필요한 단자(10)와 접촉되며, 상기 원통형 본체(12)로부터 하측으로 돌출된 스프링의 하측부분(42)은 테스트 장치의 접촉패드(11)와 접촉된 상태를 유지하게 된다.FIG. 9 illustrates a state in which the
이러한 구성을 가지는 본 실시예에 따른 프로브 핀을 이용하여 다음과 같이 전기적 검사를 실시한다.Using the probe pin according to the present embodiment having such a configuration is performed an electrical test as follows.
우선, 본 실시예에 따른 프로브 핀을 테스트 장치에 설치한다. 이때 상기 프로브 핀의 스프링(40)의 하단이 상기 테스트 장치의 접촉패드(11)와 접촉되어 있게 된다. 이후에, 검사가 필요한 반도체 소자를 하측으로 이동시켜 상기 반도체 소자의 단자(10)가 본체(30)의 돌출부(32)와 접촉하도록 한다. 상기 본체(30)는 반도체 소자에 의하여 하측으로 밀려서 눌리면서 스프링(40)을 테스트 장치의 접촉패드와 긴밀하게 접촉되게 한다. 이후, 소정의 전기적 신호가 접촉패드로부터 나오면, 그 전기적 신호는 스프링(40) 및 본체(30)를 거쳐서 반도체 소자의 단자로 전달되고, 반도체 소자로부터의 전기적 신호는 다시 본체(30) 및 스프링(40)을 거쳐서 접촉패드로 전달되어 전기적 검사가 수행된다. 한편, 검사가 완료되어 반도체 소자의 단자(10)를 돌출부(32)로부터 제거하면, 상기 원통형 본체(30)는 스프링(40)에 의하여 상측으로 이동하면서, 상기 원통형 본체에 형성된 끼움부(30a)는 하우징(12) 내의 단턱(12a)에 걸려 하우징(12)으로부터 빠져나가지 않게 되며, 전기적 검사를 위한 원래의 상태로 세팅된다.First, the probe pin according to the present embodiment is installed in the test apparatus. At this time, the lower end of the
이와 같이, 구성을 가지는 본 발명의 프로브 핀을 제작하는 방법 및 그 방법에 의하여 제작된 프로브 핀은 종래에 비하여 손쉽게 프로브 핀을 제작할 수 있게 된다. 즉, 절개작업과 가압작업만에 의하여 손쉽게 프로브 핀을 제작할 수 있음에 따라 작업시간을 단축시킬 수 있을 뿐만 아니라, 작업에 필요한 별도의 장치가 필요없어 전체적인 제작비용을 감소시킬 수 있다.As described above, the method for manufacturing the probe pin of the present invention having the configuration and the probe pin manufactured by the method can easily produce the probe pin as compared with the conventional method. That is, since the probe pins can be easily manufactured by only cutting and pressing, not only can the work time be shortened, but also a separate device necessary for the work can be reduced, thereby reducing the overall manufacturing cost.
또한, 종래기술에서는 돌출부(124)가 마련된 상부 핀(122)과, 본체(121)가 서로 별개로 이루어져 있어 전기적 연결특성 및 주파수 특성이 우수하지 못하였으나, 본 실시예에서는 돌출부(32)가 마련된 상부 핀과 본체(30)가 서로 일체로 연결되어 있어 우수한 주파수 특성을 가질 수 있는 효과가 있게 된다.In addition, in the prior art, the
상술한 본 발명의 프로브 핀을 제작하는 방법 및 프로브 핀은 다음과 같이 변형되는 것도 가능하다.The probe pin and the method of manufacturing the probe pin of the present invention described above may be modified as follows.
먼저, 상술한 실시예에서는 프로브 핀(20)이 하우징(12)으로부터 빠지지 않도록 하기 위하여, 원통형 본체(30)의 하단에 테이퍼 형상의 끼움부(12a)를 형성시켜 놓았으나, 이외에도 도 10에 도시한 바와 같이 원통형 본체(30)의 중앙부위에 끼움부(12a)를 형성시키는 것도 가능하다. 이외에도 하우징(12)에 프로브 핀(20)이 빠지지 않도록 하는 수단이라면 다양한 형태의 끼움부가 원통형 본체에 형성되는 것이 가능하다.First, in the above-described embodiment, in order to prevent the
또한, 상술한 발명에서는 스프링(40)의 직경이 서로 상측부분과 하측부분이 서로 변화되는 것을 기술하였으나, 이에 한정되지 않고 서로 동일한 직경을 가지는 것을 사용하는 것도 가능하다.In addition, the above-described invention described that the upper portion and the lower portion of the diameter of the
또한, 상술한 실시예에서는 본체(30)의 외주면에 걸림부분(33)을 형성하는 것을 도시하였으나, 이러한 걸림부분(33)이 없는 것도 가능하며 또한 걸림부분(33)이 여러 부분 본체(30)에 형성되는 것도 가능하다. 이외에도 스프링(40)이 간단한 방식에 의하여 본체(30)에 결합시킬 수 있는 것이라면 어떤 방식이나 사용될 수 있다.In addition, in the above-described embodiment, although the engaging
이상에서 설명한 본 발명은 전술한 실시예들 및 첨부된 도면에 의하여 한정되는 것 은 아니고, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 여러가지 치환, 변형 및 변경이 가능하다는 것이 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명백할 것이다.The present invention described above is not limited to the above-described embodiments and the accompanying drawings, and various substitutions, modifications, and changes can be made without departing from the technical spirit of the present invention. It will be apparent to those of ordinary skill in the art.
도 1은 종래기술에 따른 프로브 핀을 사용하여 전기적 검사를 수행하는 모습을 나타내는 도면.1 is a view showing a state of performing an electrical test using a probe pin according to the prior art.
도 2 내지 도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 프로브 핀의 제작공정을 순서대로 나타낸 도면2 to 4 are views showing the manufacturing process of the probe pin in accordance with an embodiment of the present invention in order
도 5는 도 4의 Ⅴ-Ⅴ 단면도5 is a cross-sectional view taken along the line VV of FIG.
도 6 및 도 7은 도 5의 본체에 스프링을 삽입하여 결합하는 모습을 순서대로 나타낸 도면.6 and 7 are views showing the state in which the spring is inserted into the main body of Figure 5 in order to combine.
도 8은 도 7에 의하여 제작된 프로브 핀.8 is a probe pin manufactured by FIG.
도 9는 도 8에 도시된 프로브 핀이 하우징에 설치된 모습을 나타내는 도면.9 is a view showing a state in which the probe pin shown in Figure 8 is installed in the housing.
도 10은 본 발명의 다른 실시예에 따라 제작된 프로브 핀.10 is a probe pin made in accordance with another embodiment of the present invention.
<도면부호의 상세한 설명><Detailed Description of Drawings>
20... 프로브 핀 30... 본체20 ...
31... 절개부 32... 돌출부31 ...
33... 걸림부분 40... 스프링33 ... Hanging
41... 상측부분 42... 하측부분41 ...
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