KR101832495B1 - 양면 연마 장치 - Google Patents

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쇼고 코야마
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후지코시 기카이 고교 가부시키가이샤
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Abstract

양면 연마 장치에서, 슬러리 공급 구멍의 일단부는, 연마 플레이트의 연마면을 향해 그 내경이 점차 증가하는 암 테이퍼면을 구비한다. 상기 슬러리 공급 구멍에 대응하는 패드 구멍은 상기 슬러리 공급 구멍을 덮는 연마 패드에 형성된다. 상기 연마 패드의 에지는 상기 슬러리 공급 구멍 내에 위치된다. 상기 암 테이퍼면과 대면하는 플랜지부가 일단부에 형성된 고정 파이프는 상기 슬러리 공급 구멍에 고정된다. 상기 패드 구멍의 에지는 상기 슬러리 공급 구멍의 암 테이퍼면과 상기 고정 파이프의 플랜지부 사이에 끼여 지지된다.

Description

양면 연마 장치{DOUBLE-SIDE POLISHING APPARATUS}
본 발명은, 워크의 양면을 정밀도 좋게 연마할 수 있는 양면 연마 장치에 관한 것이다.
워크(예를 들면 웨이퍼)의 양면을 연마하는 종래의 양면 연마 장치는: 연마 패가 부착된 상부 연마면을 구비하는 하부 연마 플레이트와; 상기 하부 연마 플레이트 위에 위치되고 상하로 이동 가능하며, 연마 패드가 부착된 하부 연마면을 구비하는 상부 연마 플레이트와; 상기 하부 연마 플레이트와 상부 연마 플레이트 사이에 마련되고, 상기 워크를 지지하기 위한 스루홀을 구비하는 캐리어와; 상기 하부 연마 플레이트와 상부 연마 플레이트를 그들 축에 대해 회전시키기 위한 플레이트 구동 유닛과; 상기 캐리어를 회전시키기 위한 캐리어 구동 유닛과; 상기 연마 플레이트의 적어도 하나에 형성된 슬러리 공급 구멍; 및 상기 슬러리 공급 구멍과 연결되고, 슬러리 공급원으로부터 보내진 슬러리를 상기 슬러리 공급 구멍을 통해 상기 연마 패드로 공급하는 슬러리 공급 파이프를 포함한다. 하부 연마 플레이트, 상부 연마 플레이트, 및 캐리어는 상기 연마 패드에 슬러리를 공급하면서 회전되어, 연마 플레이트 사이에 끼인 워크의 양면을 연마한다.
상기 연마 플레이트의 슬러리 공급 구멍을 덮는 상기 연마 패드의 부위에는, 구멍을 마련하거나, 십자 형상의 컷트 라인을 마련하여, 슬러리를 연마 패드상에 유입시킨다.
그런데, 연마 패드가, 폴리우레탄 등으로 이루어지는 비교적 부드러운 재료인 부직포 등의 경우에는, 연마 패드에 구멍 또는 컷트 라인이 존재하여도, 워크를 손상시킬 우려는 적었다.
그러나, 요즘, 경도가 높은 SiC 기판 등을 연마하는 경우에는, 섬유층(직포를 포함)과 수지층을 갖는 적층 연마 패드가 사용되는 경우가 있다. 이 적층 연마 패드의 경우에는, 구멍 또는 컷트 라인을 넣으면, 섬유층의 단면(end face)(예를 들면, 외주면, 구멍의 내면, 컷트 라인의 절단면)이 너덜너덜하게 되어, 연마에 지장을 초래하는 경우가 있다. 캐리어가 너덜너덜해진 연마 패드에 의해 걸리면, 캐리어는 손상될 것이다.
그래서, 일본 특개 제2009-226578호에 나타나는 바와 같이, 이와 같은 적층 패드에 있어서, 섬유층 단면을 용융 처리하여, 섬유층의 풀림을 방지하도록 하는 것이 생각된다.
상기 일본 특허문헌에 개시된 바와 같이 섬유층의 단면을 용융 처리하는 경우, 연마 패드의 외주면을 용융 처리하는 것은 비교적 용이하지만, 다수의, 슬러리 공급용의 공급 구멍에 대응하는, 좁은 에어리어에 마련한 구멍 또는 컷트 라인의 단면을 용융 처리하는 것은 극히 번거롭고, 또한 컷트 라인의 경우에는, 컷트 라인이 재차 막혀 버리는 것도 생각된다.
또한, 용융 처리하였다고 하여도, 슬러리 공급용의 공급 구멍은, 연마면내에 존재하기 때문에, 용융 처리한 섬유층의 단면이 연마면 내에 존재하고, 섬유층이 예를 들면 풀리지 않아도, 딱딱한, 용융 처리한 단면에 의해 워크가 상처받을 우려가 있다.
본 발명은, 상기 과제를 해결하기 위해 이루어진 것이고, 그 목적으로 하는 바는, 연마 패드가 섬유층을 포함하더라도, 워크를 정밀도 좋게 연마할 수 있는 양면 연마 장치를 제공하는데 있다.
상기한 목적을 달성하기 위해, 본 발명은 다음의 구성을 구비한다.
즉, 연마 패드가 부착된 상부 연마면을 구비하는 하부 연마 플레이트와;
상기 하부 연마 플레이트 위에 위치되고 상하로 이동가능하며 연마 패드가 부착된 하부 연마면을 구비하는 상부 연마 패드와;
상기 하부 연마 플레이트와 상부 연마 플레이트 사이에 마련되며, 워크를 지지하기 위한 스루홀을 구비하는 캐리어와;
상기 하부 연마 플레이트와 상기 상부 연마 플레이트를 그들 축에 대해 회전시키기 위한 플레이트 구동 유닛과;
상기 캐리어를 회전시키기 위한 캐리어 구동 유닛과;
상기 연마 플레이트의 적어도 하나에 형성되는 슬러리 공급 구멍; 및
상기 슬러리 공급 구멍과 연결되고, 슬러리 공급원으로부터 보내진 슬러리를 상기 슬러리 공급 구멍을 통해 상기 연마 패드로 공급하는 슬러리 공급 파이프를 포함하고,
상기 슬러리를 상기 연마 패드에 공급하면서, 상기 하부 연마 플레이트, 상기 상부 연마 플레이트 및 상기 캐리어를 회전시켜, 상기 연마 플레이트 사이에 끼인 상기 워크의 양면을 연마하는 양면 연마 장치는:
상기 연마 플레이트의 적어도 하나의 연마면에 개구된 상기 슬러리 공급 구멍의 일단부는, 상기 연마면을 향해 내경이 점차적으로 증가하는 암 테이퍼면을 포함하고,
상기 슬러리 공급 구멍에 대응하는 패드 구멍이 상기 슬러리 공급 구멍을 덮는 상기 연마 패드에 형성되고,
상기 패드 구멍의 에지는 상기 슬러리 공급 구멍에 위치되고,
상기 암 테이퍼면과 대면하는 플랜지부가 일단부에 형성된 고정 파이프가 상기 슬러리 공급 구멍에 고정되고,
상기 패드 구멍의 에지는 상기 슬러리 공급 구멍의 상기 암 테이퍼면과 상기 고정 파이프의 플랜지부 사이에 끼여 지지되는 것을 특징으로 하는 양면 연마 장치.
상기 고정 파이프의 타단부는 돌출부로서 상기 연마 플레이트로부터 바깥쪽으로 돌출되고, 상기 돌출부에 수나사부가 형성되고, 상기 고정 파이프를 상기 연마 플레이트에 고정하도록 너트가 상기 수나사부와 체결되는 것이 바람직하다.
상기 수나사부의 외측에 위치된 상기 돌출부의 일부는, 상기 슬러리 공급 파이프에 연결된 조인트부로서 형성되는 것이 바람직하다.
상기 패드 구멍의 에지는 복수의 설형부로 분할되고, 상기 설형부는 상기 슬러리 공급 구멍의 암 테이퍼면과 상기 고정 파이프의 플랜지부 사이에 끼여 지지되는 것이 바람직하다.
상기 슬러리 공급 구멍의 내면에 형성된 오목부와 계지할 수 있는 계지부가 상기 고정 파이프의 타단부에 형성되는 것이 바람직하다. 이 경우, 상기 슬러리 공급 파이프에 연결된 조인트는 상기 슬러리 공급 구멍의 타단부에 부착될 수 있다.
상기 구조에서, 상기 고정 파이프의 일단은, 상기 연마 패드를 향해 돌출하지 않고, 상기 암 테이퍼면이 형성된 상기 슬러리 공급 구멍의 일단부에 위치되는 것이 바람직하다.
본 발명에 의하면, 슬러리 공급 구멍의 부위의 연마 패드를 간이한 구조로 고정할 수 있고, 정밀도 좋게 워크의 연마를 행할 수 있는 양면 연마 장치를 제공할 수 있다.
본 발명의 실시의 형태를 첨부된 도면과 연계한 실시예를 통해 설명한다.
도 1은 양면 연마 장치의 설명도.
도 2는 캐리어의 설명도.
도 3은 상부 연마 플레이트에 마련한 공급 구멍 배열을 도시하는 설명도.
도 4는 연마 패드의 고정 구조를 도시하는 설명도.
도 5는 연마 패드의 고정 구조의 다른 실시의 형태를 도시하는 설명도.
이하 본 발명의 알맞는 실시의 형태를 부착 도면에 의거하여 상세히 설명한다.
도 1은 양면 연마 장치(30)의 정면 설명도이다. 양면 연마 장치(30)의 기본적인 구조는 공지의 것을 채용할 수 있기 때문에, 이하 간단히 설명한다.
양면 연마 장치(30)는: 상면이 연마면이 되는 하부 연마 플레이트(32)와; 하부 연마 플레이트(32)의 상방에 상하이동 자유롭게 지지되고, 하면이 연마면이 되는 상부 연마 플레이트(36)를 구비한다.
하부 연마 플레이트(32)의 윗면 및 상부 연마 플레이트(36)의 하면에는 연마 패드(34)가 부착되어 있다(도 4 참조). 연마 패드(34)는, 부직포로 이루어지는 것, 섬유층과 수지층과의 적층 구조의 것 등, 특히 한정되지 않는다.
상하 연마 플레이트(32, 36)는 축선을 중심으로 하여 서로 반대 방향으로 회전된다. 즉, 상부 연마 플레이트(36)는, 지지 프레임(38)에 배설된 구동 유닛(40)에 의해, 축선을 중심으로 회전 자유롭고, 또한 상하이동 자유롭게 마련되어 있다. 구동 유닛(40)은, 상하이동 기구로서 예를 들면 실린더 장치(도시 생략)를 가지며, 또한 회전기구로서 모터(도시 생략)를 갖고 있다.
부호 42는 하부 연마 플레이트(32)를 회전 구동하는 모터이다.
하부 연마 플레이트(32)와 상부 연마 플레이트(36)의 사이에, 워크를 지지하는 스루홀을 갖는 캐리어(44)가 배치된다. 캐리어(44)는, 하부 연마 플레이트(32)의 중심구멍에 배치된 선 기어(sun gear)(내측 핀 기어)(46)와 인터널 기어(외측 핀 기어)(48)에 의해, 자전, 또한 공전하도록 회전 구동된다(도 2). 선 기어(46), 인터널 기어(48)도 공지의 기구에 의해 회전된다. 또한, 선 기어(46)와 인터널 기어(48)는, 핀 기어로 한정되지 않는다. 다른 공지의 기어 기구라도 좋다.
상부 연마 플레이트(36) 상에는, 복수 개의 지지 로드(50)를 통하여 상부 연마 플레이트(36)에 부착되고, 상부 연마 플레이트(36)와 함께 회전하는 회전 원판(52)이 마련되어 있다.
회전 원판(52) 상에는, 복수(도시의 경우 2개)의 링형상 통(54, 56)이 동심형상(同心狀)으로 고정되어 있다.
링형상 통(54, 56)의 저면에는, 슬러리 구멍(60)이 마련되어 있다.
링형상 통(54, 56)에는, 배관(62)을 통하여 슬러리 공급원(64)으로부터 슬러리가 공급된다. 배관(62) 중에는 유량 조정 밸브(66)가 마련되어 있다.
배관(62)으로부터, 우선, 암(arm; 68) 상에 세워진 슬러리 수용 파이프(slurry receiving pipes; 70) 내에 슬러리가 공급된다. 이 슬러리 수용 파이프(70)로부터는 도시하지 않은 분배 튜브를 통하여, 슬러리가 각각 링형상 통(54, 56)에 분배된다.
암(68)은, 도시하지 않은 지지 부재를 통하여 지지 프레임(38)에 지지되어 있다.
도 3에 도시하는 바와 같이, 상부 연마 플레이트(36)에는, 방사형상으로 슬러리의 슬러리 공급 구멍(76)이 형성되고, 이 상부 연마 플레이트(36)의 슬러리 공급 구멍(76)과, 링형상 통(54, 56)에 마련된 슬러리 구멍(60)이 공급 파이프(78)에 의해 연통되어 있다. 이 공급 파이프(78)를 통하여, 하부 연마 플레이트(32)의 연마면 상에 슬러리가 공급된다.
그리고, 동심형상의 링형상 통 중, 내측의 링형상 통(54)로부터는, 상부 연마 플레이트(36)에 마련한 슬러리 공급 구멍(76) 중 내주측의 3개의 슬러리 공급 구멍(76)에 슬러리를 공급하도록 하여, 하부 연마 플레이트(32)의 연마 패드(34)의 내주측의 존에 슬러리를 공급하도록 한다.
외측의 링형상 통(56)으로부터는, 상부 연마 플레이트(36)에 마련한 슬러리 공급 구멍(76) 중 외주측의 3개의 슬러리 공급 구멍(76)에 슬러리를 공급하도록 하여, 하부 연마 플레이트(32)의 연마 패드(34)의 외주측의 존에 슬러리를 공급하도록 한다.
하부 연마 플레이트(32)로부터 아래로 흐른 슬러리는 회수 통(80), 귀환 파이프(82)에 의해 슬러리 공급원(64)에 되돌아와, 순환하여 사용된다.
따라서 슬러리를 공급 파이프(78)를 통하여 하부 연마 플레이트(32) 상에 공급하면서, 상하 연마 플레이트(32, 36)을 회전시키고, 또한 캐리어(44)를 회전시킴에 의해, 상하 연마 플레이트(32, 36) 사이에 끼여진 워크의 양면을 연마할 수 있다.
또한, 상기 실시의 형태에서는, 2개의 링형상 통을 마련하였지만, 링형상 통은 1개라도, 또는 3개 이상의 복수라도 좋다.
도 4는, 연마 패드의 슬러리 공급 구멍(76)에 대응하는 위치에서 연마 패드(34)가 상부 연마 플레이트(36)에 고정된 연마 패드의 고정 구조를 도시하는 설명도이다.
도 4에서, 슬러리 공급 구멍(76)의 한쪽 단부(하단부)는, 연마 패드(34)가 상부에 부착된 상부 연마 플레이트(36)의 하부 연마면에 개구되고, 내경이 하부 연마면을 향해 점차 증가하는 암 테이퍼면(female-tapered face; 76a)을 포함한다.
그리고, 슬러리 공급 구멍(76)을 덮는 연마 패드(34)의 부분에 십자 형상으로 컷트 라인(도시 생략)을 넣어서, 패드 구멍를 형성한다. 패드 구멍의 개구연(opening edge)은 복수의 설형부(tongue-shaped parts), 예를 들면 4개의 설형부(34a)로 분할된다.
고정 파이프(84)는, 상기 암 테이퍼면(76a)과 대면하는 수 테이퍼면(male-tapered face)을 구비하는 플랜지부(84a)가 형성된 일단부(하단부)와, 상기 슬러리 공급 구멍(76)의 내면에 형성된 오목부(76b)와 계지할 수 있는 계지부(84b)가 형성된 타단부를 구비한다. 계지부(84b)는 복수의 설형부 또는 플랜지 형상부라도 좋다.
이 고정 파이프(84)에 의해, 연마 패드(34)의 설형부(34a)가 상부 연마 패드(36)에 고정된다.
즉, 4개의 설형부(34a)를 굽혀 슬러리 공급 구멍(76)의 하단부(암 테이퍼부)에 위치시킨다. 그 다음, 고정 파이프(84)가 타단부로부터 슬러리 공급 구멍(76)에 삽입되고, 계지부(84b)가 오목부(76b)와 탄성적으로 계지되어, 고정 파이프(84)가 상부 연마 플레이트(36)에 고정된다. 이러한 구조에 의해, 설형부(34a)는 슬러리 공급 구멍(76)의 암 테이퍼면(76a)과 고정 파이프(84)의 플랜지부(84a)의 수 테이퍼면 사이에 꽉 끼여 유지된다. 또한, 고정 파이프(84)의 탈거(detaching)가 방지될 수 있다.
설형부(34a)의 길이가 길면, 암 테이퍼부를 넘어 연장하여 그 선단부가 슬러리 공급 구멍(76)에 들어간다. 이 경우, 설형부(34a)의 선단부는 슬러리 공급 구멍(76)의 내면과 고정 파이프(84)의 외면 사이에 끼여 유지될 것이다.
공지의 파이프 조인트(86)가 슬러리 공급 구멍(76)의 타단부에 부착된다. 이 구조에 의해, 각 슬러리 공급 파이프(78)는 슬러리 공급 구멍(76)에 연결될 수 있다.
슬러리 공급 구멍(76)을 향해 설형부(34a)를 굽히고 슬러리 공급 구멍(76)의 암 테이퍼면(76a)과 플랜지부(84a)의 수 테이퍼면 사이에 설형부(34a)를 고정하는 것에 의해, 설형부(34a)의 단면은 워크와 절대 접촉하지 않는다. 연마 패드(34)가 섬유층을 포함하더라도, 설형부(34a)의 단면은 너덜너덜해지지 않고, 연마 동작이 악영향을 받지 않고 워크가 공정밀도로 연마될 수 있다. 또한, 너덜너덜해진 연마 패드(34)에 의해 걸리는 것에 의해 야기되는 캐리어(44)의 손상이 방지될 수 있기 때문에, 워크의 양면이 안정적으로 연마될 수 있다.
설형부(34a)가 슬러리 공급 구멍(76)을 향해 절곡 될 때, 설형부(34a)는 직각으로 급격하게 절곡되지 않고 암 테이퍼면(76a)을 따라 절곡되어, 설형부(34a)의 절곡된 코너가 워크에 손상을 끼치지 않는다. 설형부(34a)가 완만한 각도로 절곡(折曲)되도록, 테이퍼면(76a)의 연마 플레이트면에 이루는 각도는, 30° 내지 45° 정도가 되도록 하면 좋다.
또한, 설형부(34a)의 수는 특히 한정되는 것이 아니고, 예를 들면 연마 패드(34)에 3개의 교차한 컷트 라인을 넣음에 의해, 6편의 설형부로 형성하여도 좋다. 설형부(34a)의 수가 많은 쪽이, 각 설형부(34a)이 절곡 폭을 작게 할 수 있고, 절곡한 때의 코너부의 볼록해짐을 작게 할 수 있고, 그만큼, 워크에의 부담을 작게 할 수 있다.
또한, 상기 실시의 형태에서는, 패드 구멍 각각이, 슬러리 공급 구멍(76)의 각각에 대응하는 위치에 십자 형상의 컷트 라인을 형성하는 것에 의해, 연마 패드(34)에 형성된다. 또한, 패드 구멍은 슬러리 공급 구멍(76)의 암 테이퍼부의 직경보다 작은 직경을 가지며 슬러리 공급 구멍(76)에 대응하는 위치에 형성되는 작은 구멍(도시되지 않음)이라도 좋다. 이 경우에도, 작은 구멍(패드 구멍) 각각의 개구연은 슬러리 공급 구멍(76)의 암 테이퍼부를 향해 절곡되고, 그 후, 절곡된 에지가 슬러리 공급 구멍(76)의 암 테이퍼면(76a)과 고정 파이프(84)의 플랜지부(*84a)의 수 테이퍼면 사이에 끼여 유지된다. 여기서, 만약 패드 구멍의 개구연을 슬러리 공급 구멍(76)의 암 테이퍼부를 향해 절곡하기 어려우면, 적절한 지그(도시되지 않음)를 사용하는 것에 의해 개구연을 암 테이퍼부 속으로 쉽게 절곡하여 밀어 넣을 수 있다. 또한, 설형부(도시되지 않음)를 형성하도록, 작은 구멍 각각의 개구연에 노치를 형성할 수도 있다. 설형부는 암 테이퍼부를 향해 절곡될 것이다.
플랜지부(84a)는 수 테이퍼면을 구비할 필요는 없다. 플랜지부(84a)에 수 테이퍼면이 형성되지 않더라도, 연마 패드(34)의 패드 구멍의 개구연은 암 테이퍼면(76a)과 플랜지부(84a) 사이에 끼여 유지될 수 있다.
도 5는 연마 패드(34)의 고정 구조의 다른 예를 도시한다. 여기서, 상기에서 설명된 구성 소자에는 동일한 도면 부호를 병기하고, 그 설명은 생략한다.
고정 파이프의 타단부(상단부)는, 돌출부(84c)로서, 상부 연마 플레이트(36)로부터 위쪽으로 돌출된다. 돌출부(84c)의 외주면에 수나사부(84d)가 형성되고, 너트(88)가 수나사부(84d)와 체결되어 상부 연마 플레이트(36)에 고정 파이프(84)를 고정시킨다. 고정 파이프(84)를 고정시키는 것에 의해, 연마 패드(34)의 설형부(34a)가 테이퍼면 사이에 끼여 지지될 수 있다.
수나사부(84d)의 외측(상측)에 위치된 고정부(84)의 돌출부(84c)의 일부가 슬러리 공급 파이프(78)를 연결하는 조인트부(84e)로서 형성된다. 이러한 구조에 의해, 고정 파이프(84)는 설형부(34a)를 고정할 뿐만 아니라 슬러리 공급 파이프(78)를 연결하는 조인트로서도 기능할 수 있다. 따라서, 양면 연마 장치의 구조는 단순화될 수 있다. 조인트부(84e)는 슬러리 공급 파이프(78)에 꽉 끼일 수 있는(fit into) 단순한 원통부일 수도 있다. 또한, 조인트부(84e)는 적절한 클램프 수단(도시되지 않음)을 구비할 수도 있다.
이 예에서도, 패드 구멍은, 십자 형상의 컷트 라인 또는 암 테이퍼부의 직경보다 작은 직경의 작은 구멍을 연마 패드(34)에 형성하는 것에 의해 형성될 수도 있다.
상술한 실시의 형태에서, 고정 파이프(84) 각각의 일단(하단)은, 연마 패드(34)를 향해 돌출하지 않고, 슬러리 공급 구멍(76) 각각의 암 테이퍼부에 위치된다.
상술한 실시의 형태에서, 슬러리 공급 구멍(76)은, 상부 연마 플레이트(36)로부터 아래쪽으로 슬러리를 흘리고 하부 연마 플레이트(32)의 연마 패드(34)에 슬러리를 공급하도록, 상부 연마 플레이트(36)에 형성된다. 몇 몇 실시의 형태에서, 슬러리 공급 구멍(도시되지 않음)은 하부 연마 플레이트(32)에 형성될 수도 있고, 슬러리는 하부 연마 플레이트(32)를 통해 양 연마 플레이트(32 및 36)의 연마 패드(34)로 가압되어 공급될 수도 있다. 이 경우에도, 연마 패드(34)를 상기 설명한 실시의 형태에서와 마찬가지로 처리하여, 설형부(34a) 등의 단면이 너덜너덜해지는 것을 방지할 수 있다.
연마 패드(34)의 재료는 상술한 실시의 형태의 것에 한정되는 것은 아니다. 예를 들면, 너덜너덜해질 위험이 없는 종래의 부직포가 연마 패드(34)의 재료로서 사용될 수 있다. 이 경우에도, 상술한 실시의 형태에서와 마찬가지로, 패드 구멍 각각의 개구연은 슬러리 공급 구멍 각각의 암 테이퍼부를 향해 절곡되고, 그 후 개구연은 고정 파이프를 고정하는 것에 의해 유지된다.
본원에서 언급된 모든 예와 조건적 용어는 종래 기술을 향상시키기 위한 본 발명가에 의해 의도된 개념과 본 발명의 이해를 돕기 위해 교수적인 목적으로 사용된 것으로, 이러한 특정하게 언급된 예와 조건에 제한되는 것이 아니며, 또한 본원 명세서의 이러한 예의 구성이 본 발명의 우수성이나 열등성을 개시하는 것도 아니다. 본 발명의 실시의 형태가 상세히 설명되었지만, 본 발명의 취지와 범위 내에서 여러가지 변경예, 대체예, 및 수정예가 이루어질 수 있을 것이다.
30 : 양면 연마 장치 32 : 하부 연마 플레이트
34 : 연마 패드 34a : 설형부
36 : 상부 연마 플레이트 38 : 지지 프레임
40 : 구동 유닛 42 : 모터
44 : 캐리어 46 : 선 기어
48 : 인터널 기어 52 : 회전 원판
54 : 링형상 통 56 : 링형상 통
60 : 슬러리 구멍 62 : 배관
64 : 슬러리 공급원 66 : 유량 조정 밸브
76 : 공급 구멍 76a : 테이퍼면
76b : 오목부 78 : 공급 파이프
80 : 회수 통 82 : 귀환 파이프
84 : 고정 파이프 84a : 플랜지부
84b : 계지부 84c : 돌출부
84d : 수나사부 84e : 조인트부
86 : 파이프 조인트 88 : 너트

Claims (9)

  1. 연마 패드가 부착된 상부 연마면을 구비하는 하부 연마 플레이트와;
    상기 하부 연마 플레이트 위에 위치되고 상하로 이동가능하며 연마 패드가 부착된 하부 연마면을 구비하는 상부 연마 패드와;
    상기 하부 연마 플레이트와 상부 연마 플레이트 사이에 마련되며, 워크를 지지하기 위한 스루홀을 구비하는 캐리어와;
    상기 하부 연마 플레이트와 상기 상부 연마 플레이트를 그들 축에 대해 회전시키기 위한 플레이트 구동 유닛과;
    상기 캐리어를 회전시키기 위한 캐리어 구동 유닛과;
    상기 연마 플레이트의 적어도 하나에 형성되는 슬러리 공급 구멍; 및
    상기 슬러리 공급 구멍과 연결되고, 슬러리 공급원으로부터 보내진 슬러리를 상기 슬러리 공급 구멍을 통해 상기 연마 패드로 공급하는 슬러리 공급 파이프를 포함하고,
    상기 슬러리를 상기 연마 패드에 공급하면서, 상기 하부 연마 플레이트, 상기 상부 연마 플레이트 및 상기 캐리어를 회전시켜, 상기 연마 플레이트 사이에 끼인 상기 워크의 양면을 연마하는 양면 연마 장치에 있어서,
    상기 연마 플레이트의 적어도 하나의 연마면에 개구된 상기 슬러리 공급 구멍의 일단부는, 상기 연마면을 향해 내경이 점차적으로 증가하는 암 테이퍼면을 포함하고,
    상기 슬러리 공급 구멍에 대응하는 패드 구멍이 상기 슬러리 공급 구멍을 덮는 상기 연마 패드에 형성되고,
    상기 패드 구멍의 에지는 상기 슬러리 공급 구멍에 위치되고,
    상기 암 테이퍼면과 대면하는 플랜지부가 일단부에 형성된 고정 파이프가 상기 슬러리 공급 구멍에 고정되고,
    상기 패드 구멍의 에지는 상기 슬러리 공급 구멍의 상기 암 테이퍼면과 상기 고정 파이프의 플랜지부 사이에 끼여 지지되는 것을 특징으로 하는 양면 연마 장치.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 고정 파이프의 타단부는 돌출부로서 상기 연마 플레이트로부터 바깥쪽으로 돌출되고,
    상기 돌출부에 수나사부가 형성되고,
    상기 고정 파이프를 상기 연마 플레이트에 고정하도록 너트가 상기 수나사부와 체결되는 것을 특징으로 하는 양면 연마 장치.
  3. 제 2항에 있어서,
    상기 수나사부의 외측에 위치된 상기 돌출부의 일부는, 상기 슬러리 공급 파이프에 연결된 조인트부로서 형성되는 것을 특징으로 하는 양면 연마 장치.
  4. 제 1항 내지 제 3항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 패드 구멍의 에지는 복수의 설형부로 분할되고,
    상기 설형부는 상기 슬러리 공급 구멍의 암 테이퍼면과 상기 고정 파이프의 플랜지부 사이에 끼여 지지되는 것을 특징으로 하는 양면 연마 장치.
  5. 제 1항에 있어서,
    상기 슬러리 공급 구멍의 내면에 형성된 오목부와 계지할 수 있는 계지부가 상기 고정 파이프의 타단부에 형성되는 것을 특징으로 하는 양면 연마 장치.
  6. 제 1항 또는 제 5항에 있어서,
    상기 슬러리 공급 파이프에 연결된 조인트는 상기 슬러리 공급 구멍의 타단부에 부착되는 것을 특징으로 하는 양면 연마 장치.
  7. 제 1항 내지 제 3항, 제 5항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 고정 파이프의 일단은, 상기 연마 패드를 향해 돌출하지 않고, 상기 암 테이퍼면이 형성된 상기 슬러리 공급 구멍의 일단부에 위치되는 것을 특징으로 하는 양면 연마 장치.
  8. 제 4항에 있어서,
    상기 고정 파이프의 일단은, 상기 연마 패드를 향해 돌출하지 않고, 상기 암 테이퍼면이 형성된 상기 슬러리 공급 구멍의 일단부에 위치되는 것을 특징으로 하는 양면 연마 장치.
  9. 제 6항에 있어서,
    상기 고정 파이프의 일단은, 상기 연마 패드를 향해 돌출하지 않고, 상기 암 테이퍼면이 형성된 상기 슬러리 공급 구멍의 일단부에 위치되는 것을 특징으로 하는 양면 연마 장치.
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