KR20140052531A - 화학기계적 연마장치의 레테이너 링 - Google Patents

화학기계적 연마장치의 레테이너 링 Download PDF

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KR20140052531A
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Abstract

화학기계적 연마장치의 리테이너 링은 연마 헤드에 조립 부착되는 링 형상의 상부 리테이닝 부재와, 상기 상부 리테이닝 부재의 하부에 구비되는 링 형상의 하부 리테이닝 부재와, 상기 상부 리테이닝 부재 및 상기 하부 리테이닝 부재를 착탈가능하도록 상기 상부 리테이닝 부재 및 상기 하부 리테이닝 부재의 사이에 설치된 체결 부재를 포함한다.

Description

화학기계적 연마장치의 레테이너 링{retainer ring in chemical mechanical polishing apparatus}
본 발명은 화학기계적 연마장치(chemical mechanical polishing(CMP) apparatus)에 관한 것으로, 보다 상세하게는 화학기계적 연마장치의 리테이너 링(retainer ring)에 관한 것이다.
메모리(memory) 소자와 같은 반도체 소자가 급격히 고집적화되고 패턴 크기가 축소됨에 따라, 웨이퍼(wafer) 상에 크게 유발되는 단차를 완화하기 위해서 화학기계적 연마(chemical mechanical polishing, CMP)장치를 이용한 평탄화 공정을 이용한다. 더욱이, 반도체 소자의 생산성 증대를 위해서 웨이퍼의 구경이 200㎜ 보다 큰 300㎜의 대구경 웨이퍼의 사용이 빈번해지며, CMP 공정 또한 더 많이 이용된다.
화학기계적 연마장치는 웨이퍼가 탑재된 연마 헤드를 구비한다. 연마 헤드에는 연마 패드 상에 접촉된 웨이퍼의 이탈을 방지하고 균일하게 연마 슬러리를 공급하기 위하여 리테이너 링(retainer ring)이 부착 및 조립되어 있다. 화학기계적 연마공정을 진행함에 따라 연마 패드와 접촉하는 리테이너 링의 마모가 진행되어 주기적으로 교체하여야만 한다.
리테이너 링은 웨이퍼의 구경이 커짐에 따라 소모품중에서 비교적 고가이다. 더욱이, 화학기계적 연마장치의 연마 헤드에 리테이너 링을 부착 및 조립하는데 시간 및 노력이 많이 들기 때문에 반도체 소자의 제조 공정 원가를 향상시킨다.
본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 연마 헤드에 부착 및 조립하는데 시간 및 노력이 많이 들지 않고 교체할 수 있는 화학기계적 연마장치의 리테이너 링을 제공하는 데 있다.
상술한 과제를 해결하기 위하여, 본 발명의 일 실시예 의한 화학기계적 연마장치의 리테이너 링은 연마 헤드에 조립 부착되는 링 형상의 상부 리테이닝 부재와, 상기 상부 리테이닝 부재의 하부에 구비되는 링 형상의 하부 리테이닝 부재와, 상기 상부 리테이닝 부재 및 상기 하부 리테이닝 부재를 착탈가능하도록 상기 상부 리테이닝 부재 및 상기 하부 리테이닝 부재의 사이에 설치된 체결 부재를 포함한다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 체결 부재는 상기 상부 리테이닝 부재 또는 하부 리테이닝 부재에 설치된 숫 체결부와, 상기 하부 리테이닝 부재 또는 상부 리테이닝 부재에 상기 숫 체결부와 체결할 수 있는 암 체결부를 포함할 수 있다.
상기 숫 체결부는 상기 상부 리테이닝 부재 또는 하부 리테이닝 부재의 일면으로부터 돌출된 돌기를 포함하고. 상기 암 체결부는 상기 하부 리테이닝 부재 또는 상부 리테이닝 부재의 일면으로부터 내부로 파진 홈을 포함하고, 상기 돌기가 상기 홈에 삽입된 상태에서 상기 하부 리테이닝 부재 및 상기 상부 리테이닝 부재를 트위스트시켜 상기 돌기를 상기 홈에 체결할 수 있다.
상기 돌기는 제1 직경의 제1 돌기와 상기 제1 돌기와 부착되어 상기 제1 직경보다 큰 제2 직경의 제2 돌기를 포함하고, 상기 홈은 상기 제2 돌기가 삽입될 수 있게 상기 제2 직경에 대응하여 형성된 인입홈과, 상기 인입홈에 연결되어 상기 돌기가 트위스트될 때 상기 제2 돌기가 탈착되지 않게 상부 직경이 상기 제1 직경에 대응하되 상기 제2 직경보다는 작은 체결홈을 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 숫 체결부는 상기 상부 리테이닝 부재 에 설치된 숫 나사부를 포함하고. 상기 암 체결부는 상기 하부 리테이닝 부재에 설치된 암 나사부를 포함하고, 상기 숫 나사부 및 상기 암 나사부를 서로 회전시켜 상기 숫 나사부 및 암 나사부를 체결할 수 있다.
본 발명의 일 실시예 의한 화학기계적 연마장치의 리테이너 링은 연마 헤드에 조립 부착되는 링 형상의 상부 리테이닝 부재와, 상기 상부 리테이닝 부재의 하부에 구비되고 상기 상부 리테이닝 부재가 안착하는 바디부, 상기 바디부의 외측에 형성되는 외륜부 및 상기 바디부의 내측에 설치되는 내륜부를 구비하는 링 형상의 하부 리테이닝 부재와, 상기 상부 리테이닝 부재 및 상기 하부 리테이닝 부재를 착탈가능하도록 상기 상부 리테이닝 부재 및 상기 하부 리테이닝 부재의 사이에 설치된 체결 부재를 포함한다.
본 발명의 일 실시예 있어서, 상기 체결 부재는 돌기로 이루어진 숫 체결부와, 홈으로 이루어진 암 체결부를 포함할 수 있다. 상기 체결 부재는 상기 상부 리테이닝 부재의 하면 또는 상기 하부 리테이닝 부재의 바디부에 형성될 수 있다.
본 발명의 일 실시예 있어서, 상기 체결 부재는 숫 나사부 및 암 나사부를 포함할 수 있다. 상기 체결 부재는 상기 상부 리테이닝 부재의 외측벽 및 상기 하부 리테이닝 부재의 외륜의 내측벽에 형성될 수 있다.
본 발명의 화학기계적 연마장치의 리테이너 링은 상부 리테이닝 부재 및 하부 리테이닝 부재를 착탈가능하도록 상부 리테이닝 부재 및 상기 하부 리테이닝 부재의 사이에 설치된 체결 부재가 설치되어 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 체결 부재는 숫 체결부와 암 체결부로 이루어일 수 있다. 숫 체결부는 상부 레테이닝 부재 또는 상부 리테이닝 부재의 일면으로부터 돌출된 돌기를 포함할 수 있다. 암 체결부는 하부 리테이닝 부재 또는 상부 리테이닝 부재의 일면으로부터 내부로 파진 홈을 포함할 수 있다. 돌기가 상기 홈에 삽입된 상태에서 하부 리테이닝 부재 및 상기 상부 리테이닝 부재를 트위스트시켜 돌기를 홈에 체결할 수 있다.
또한, 본 발명의 일 실시예에 따르면, 숫 체결부는 상부 리테이닝 부재에 설치된 숫 나사부를 포함할 수 있다. 암 체결부는 하부 리테이닝 부재에 설치된 암 나사부를 포함할 수 있다. 숫 나사부 및 상기 암 나사부를 서로 회전시켜 숫 나사부 및 암 나사부를 체결할 수 있다.
본 발명의 화학기계적 연마장치의 리테이너 링은 상술한 바와 같은 체결 부재를 구비하여 연마 헤드에 부착 및 조립하는데 시간 및 노력이 많이 들지 않고 주기적으로 교체할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 의한 화학기계적 연마장치의 단면도이고,
도 2는 도 1의 연마 헤드를 설명하기 위한 도면이고,
도 3은 도 1의 평면도이고,
도 4는 본 발명의 일 실시예에 의한 화학기계적 연마장치의 리테이너 링을 도시한 분해 사시도이고,
도 5 및 도 6은 각각 도 4의 상부 리테이닝 부재의 평면도 및 단면도이고,
도 7 내지 도 9는 각각 도 4의 하부 리테이닝 부재의 평면도, 일부 단면도 및 일부 단면 사시도이고,
도 10은 본 발명의 일 실시예에 의한 화학기계적 연마장치의 리테이너 링을 도시한 분해 사시도이고,
도 11은 본 발명의 일 실시예에 의한 화학기계적 연마장치의 리테이너 링을 도시한 분해 사시도이고,
도 12는 본 발명의 일 실시예에 의한 화학기계적 연마장치의 리테이너 링을 도시한 분해 사시도이고,
도 13 및 도 14는 본 발명의 일 실시예에 의한 화학기계적 연마장치의 리테이너 링을 도시한 사시도이다.
이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 대해 상세히 설명한다. 본 발명의 실시예는 당 업계에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 보다 완전하게 설명하기 위하여 제공되는 것이다. 본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조부호를 유사한 구성요소에 대해 사용한다. 첨부된 도면에 있어서, 구조물들의 치수는 본 발명의 명확성을 기하기 위하여 실제보다 확대하거나 축소하여 도시한 것이다.
본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 의한 화학기계적 연마장치의 단면도이고, 도 2는 도 1의 연마 헤드를 설명하기 위한 도면이고, 도 3은 도 1의 평면도이다.
구체적으로, 화학기계적 연마장치는 웨이퍼(w), 예컨대 300㎜ 웨이퍼의 연마에 사용될 연마 패드(110)가 부착되어 회전하는 플레이튼(platen: 100)을 포함하여 구성된다. 플레이튼(100)의 연마 패드(110) 상에는 연마될 웨이퍼(w)를 도입하는 연마 헤드(polishing head: 200)가 위치한다.
연마 헤드(200)는 링부(220, 상부링)와 웨이퍼(W)를 홀딩하는 리테이너 링(210)을 포함할 수 있다. 리테이너 링(210)은 연마 헤드(200)의 링부(220)에 부착 및 조립될 수 있다. 리테이너 링(210)은 연마 패드(110) 상에 접촉된 웨이퍼(W)의 이탈을 방지하고 연마시 균일하게 연마 슬러리를 공급하기 위하여 설치될 수 있다. 리테이너 링(210)에 대하여는 후에 보다 더 자세하게 설명한다.
연마 헤드(200)는 회전할 수 있다. 연마 헤드(200)는 웨이퍼(w)의 균일한 연마를 위해서 연마 패드(110)의 중심부에서 가장자리부 쪽 방향 또는 이의 역 방향으로 미세하게 움직이는 동작을 할 수도 있다. 웨이퍼(w)의 연마를 위해서 슬러리나 탈이온수를 공급하는 노즐(nozzle: 300)이 도입되고, 노즐(300)을 통해 연마를 위한 슬러리나 탈이온수가 제공될 수 있다.
이러한 슬러리, 탈이온수 및 연마 패드(110)에 의한 연마 작용에 의해서 웨이퍼(W)는 화학기계적 연마(CMP)될 수 있다. 즉, 슬러리나 탈이온수가 공급되고 플레튼(100) 및 연마 헤드(200)가 선택적으로 또는 동시에 회전하면서 연마 패드(110) 상에 접촉된 웨이퍼(W)가 리테이너 링(210)에 의해 가두어진 상태로 웨이퍼가 화학기계적 연마가 된다. 화학기계적 연마공정을 진행함에 따라 연마 패드(110)와 접촉하는 리테이너 링(210)의 마모가 진행되어 주기적으로 교체하여야만 한다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 의한 화학기계적 연마장치의 리테이너 링을 도시한 분해 사시도이고, 도 5 및 도 6은 각각 도 4의 상부 리테이닝 부재의 평면도 및 단면도이고, 도 7 내지 도 9는 각각 도 4의 하부 리테이닝 부재의 평면도, 일부 단면도 및 일부 단면 사시도이다.
구체적으로, 리테이너 링(210)은 연마 헤드(도 1의 200)의 링부(도 1의 220)에 조립 부착되는 링 형상의 상부 리테이닝 부재(232)를 포함할 수 있다. 상부 리테이닝 부재(232)는 리테이너 링(210)의 휨을 방지하기 위하여 금속 재질, 예컨대 스테인레스 강, 강철, 알루미늄, 황동 등으로 형성될 수 있다. 상부 레테이닝 부재(232)에는 도 5에 도시된 바와 같이 연마 헤드(도 1의 200)의 링부(도 1의 220)에 조립 부착될 때 이용되는 체결홀(234)이 형성될 수 있다. 상부 레테이닝 부재(232)에는 도 5에 도시된 바와 같이 후에 설명되는 체결 부재(242)의 숫 체결부(242a)가 형성될 수 있다. 도 5에 도시한 바와 같이 체결홀(234) 및 숫 체결부(242a)의 개수 및 배치는 다양하게 할 수 있다.
리테이너 링(210)은 상부 리테이닝 부재(232)의 하부에 구비되는 링 형상의 하부 리테이닝 부재(252)를 포함할 수 있다. 하부 리테이닝 부재(252)는 연마 패드에 접촉되는 것을 고려하여 상부 리테이닝 부재(232)를 구성하는 금속 물질과 다른 물질, 예컨대 수지 재질로 형성될 수 있다. 수지 재질은 폴리페닐설파이드(PPS), 폴리이미드, 폴리벤지미다졸(PBI), 폴리에테르에트레케톤(PEEK), 폴리카보네이트, 아세탈, 폴리에테르이미드(PEI), 폴리부틸렌테레프탈레이트(PBT), 폴리에틸린테레프탈레이트(PET) 등과 같은 물질일 수 있다. 하부 리테이닝 부재(252)를 구성하는 수지 재질은 금속 재질에 비하여 우수한 기계적 성질, 내화학성, 및 높은 내열 온도 특성을 가질 수 있다.
하부 리테이닝 부재(252)는 상부 리테이닝 부재(232)의 하부에 상기 상부 리테이닝 부재(232)가 안착하는 바디부(252a), 바디부(252a)의 외측에 형성되는 외륜부(252b) 및 상기 바디부의 내측에 설치되는 내륜부(252c)를 포함할 수 있다. 하부 리테이닝 부재(252)의 하면에는 웨이퍼 두께에 해당되고 연마 패드 상에서 웨이퍼와 같이 연마되는 복수개의 연마부들(258)과 연마부들(258) 사이에는 슬러리나 탈이온수가 흐를 수 있는 홈(260)이 형성될 수 있다.
리테이너 링(210)은 상부 리테이닝 부재(232) 및 하부 리테이닝 부재(252)를 착탈가능하도록 상부 리테이닝 부재(232) 및 하부 리테이닝 부재(252)의 사이에 설치된 체결 부재(242)를 포함할 수 있다.
체결 부재(242)는 상부 리테이닝 부재(232)에 설치된 숫 체결부(242a)와, 하부 리테이닝 부재(252)에 숫 체결부(242a)와 체결할 수 있는 암 체결부(242b)를 포함할 수 있다. 숫 체결부(242a)는 상부 리테이닝 부재(232)의 일면, 즉 바닥면(246)으로부터 돌출된 돌기(244)를 포함할 수 있다. 돌기(244)는 도 6에 도시한 바와 같이 제1 직경의 제1 돌기(244a)와 제1 돌기(244a)와 부착되어 제1 직경보다 큰 제2 직경의 제2 돌기(244b)를 포함할 수 있다.
암 체결부(242b)는 하부 리테이닝 부재(252)의 일면, 즉 상면(256)으로부터 내부로 파진 홈(254)을 포함할 수 있다. 돌기(244)가 홈(254)에 삽입된 상태에서 하부 리테이닝 부재(252) 및 상부 리테이닝 부재(232)를 트위스트시켜 돌기(244)를 홈(254)에 체결할 수 있다. 홈(254)은 도 8에 도시한 바와 같이 제2 돌기(244b)가 삽입될 수 있게 상기 제2 직경에 대응하여 형성된 인입홈(254a)과, 인입홈(254a)에 연결되어 돌기(244)가 트위스트될 때 제2 돌기(244b)가 탈착되지 않게 상부 직경이 상기 제1 직경에 대응하되 상기 제2 직경보다는 작은 체결홈(254b)을 포함할 수 있다.
도 10은 본 발명의 일 실시예에 의한 화학기계적 연마장치의 리테이너 링을 도시한 분해 사시도이다.
구체적으로, 도 10의 리테이너 링(210-1)은 도 4 내지 도 9의 리테이너 링(210)과 비교하여 체결부재(242-1)가 다른 것을 제외하고는 동일하다. 다시 말해, 도 10의 리테이너 링(210-1)의 체결 부재(242-1)가 도 4 내지 도 9와 다르게 상부 리테이닝 부재(232)에 암 체결부(242b)가 설치되고, 하부 리테이닝 부재(252)에 숫 체결부(242a)가 설치될 수 있다.
상부 리테이닝 부재(232)에 설치되는 암 체결부(242b)는 상부 리테이닝 부재(232)의 일면, 즉 하면(246)으로부터 내부로 파진 홈(254)을 포함할 수 있다. 하부 리테이닝 부재(252)에 설치되는 숫 체결부(242a)는 하부 리테이닝 부재(235)의 일면, 즉 바닥면(256)으로부터 돌출된 돌기(244)를 포함할 수 있다. 돌기(244)는 제1 직경의 제1 돌기(244a)와 제1 돌기(244a)와 부착되어 제1 직경보다 큰 제2 직경의 제2 돌기(244b)를 포함할 수 있다. 홈(254)은 제2 돌기(244b)가 삽입될 수 있게 상기 제2 직경에 대응하여 형성된 인입홈(254a)과, 인입홈(254a)에 연결되어 돌기(244)가 트위스트될 때 제2 돌기(244b)가 탈착되지 않게 상부 직경이 상기 제1 직경에 대응하되 상기 제2 직경보다는 작은 체결홈(254b)을 포함할 수 있다. 돌기(244)가 홈(254)에 삽입된 상태에서 하부 리테이닝 부재(252) 및 상부 리테이닝 부재(232)를 트위스트시켜 돌기(244)를 홈(254)에 체결할 수 있다.
도 11은 본 발명의 일 실시예에 의한 화학기계적 연마장치의 리테이너 링을 도시한 분해 사시도이다.
구체적으로, 도 11의 리테이너 링(210-2)은 도 4 내지 도 9의 리테이너 링(210)과 비교하여 체결부재(242-2)가 다른 것을 제외하고는 동일하다. 즉, 도 11의 리테이너 링(210-2)의 체결 부재(242-2)가 도 4 내지 도 9와 다르게 상부 리테이닝 부재(232)에 암 체결부(242b) 및 숫 체결부(242a)가 모두 설치되고, 이에 대응하여 하부 리테이닝 부재(252)에도 숫 체결부(242a) 및 암 체결부(242b)가 모두 설치될 수 있다.
상부 리테이닝 부재(232)의 암 체결부(242b)는 일면, 즉 하면(246)으로부터 내부로 파진 홈(254)을 포함할 수 있다. 상부 리테이닝 부재(232)의 숫 체결부(242a)는 하면(256)으로부터 돌출된 돌기(244)를 포함할 수 있다. 상부 리테이닝 부재(232)에 설치된 돌기(244)는 제1 직경의 제1 돌기(244a)와 제1 돌기(244a)와 부착되어 제1 직경보다 큰 제2 직경의 제2 돌기(244b)를 포함할 수 있다.
이에 대응하여, 하부 리테이닝 부재(252)의 암 체결부(242b)는 하면(256)으로부터 내부로 파진 홈(254)을 포함할 수 있다. 하부 리테이닝 부재(232)의 숫 체결부(242a)는 하면(256)으로부터 돌출된 돌기(244)를 포함할 수 있다. 하부 리테이닝 부재(232)의 돌기(244)는 제1 직경의 제1 돌기(244a)와 제1 돌기(244a)와 부착되어 제1 직경보다 큰 제2 직경의 제2 돌기(244b)를 포함할 수 있다.
상부 리테이닝 부재(232) 및 하부 리테이닝 부재(252)에 각각 설치된 돌기(244)가 홈(254)에 삽입된 상태에서 하부 리테이닝 부재(252) 및 상부 리테이닝 부재(232)를 트위스트시켜 돌기(244)를 홈(254)에 체결할 수 있다. 상부 리테이닝 부재(232) 및 하부 리테이닝 부재(252)에 각각 설치된 홈(254)은 제2 돌기(244b)가 삽입될 수 있게 상기 제2 직경에 대응하여 형성된 인입홈(254a)과, 인입홈(254a)에 연결되어 돌기(244)가 트위스트될 때 제2 돌기(244b)가 탈착되지 않게 상부 직경이 상기 제1 직경에 대응하되 상기 제2 직경보다는 작은 체결홈(254b)을 포함할 수 있다.
도 12는 본 발명의 일 실시예에 의한 화학기계적 연마장치의 리테이너 링을 도시한 분해 사시도이다.
구체적으로, 도 12는 리테이너 링(210-3)은 도 4 내지 도 11의 리테이너 링(210, 210-1, 210-2)과 비교하여 체결부(242-3)가 다른 것을 제외하고는 동일하다. 리테이너 링(210-3)은 상부 리테이닝 부재(234)에 설치된 숫 나사부(242a-1)를 포함하는 체결부재(242-3)를 구비한다. 숫 나사부(242a-3)는 상부 리테이닝 부재(234)의 외측벽에 설치될 수 있다.
리테이너 링(210-3)은 하부 리테이닝 부재(252)에 설치된 암 나사부(242b-1)를 포함하는 체결부재(242-3)를 포함한다. 암 나사부(242b-1)는 하부 리테이닝 부재(252)의 외륜의 내측벽에 형성될 수 있다. 숫 나사부(242a-1) 및 암 나사부(242b-1)를 서로 회전시켜 숫 나사부(242a-1) 및 암 나사부(242b-1)를 체결함으로써 상부 리테이닝 부재(234) 및 하부 리테이닝 부재(252)를 결합 내지 체결 할 수 있다.
도 13 및 도 14는 본 발명의 일 실시예에 의한 화학기계적 연마장치의 리테이너 링을 도시한 사시도이다.
구체적으로, 도 14 및 도 15의 화학기계적 연마장치의 리테이너 링은 앞서 실시예들에서 설명된 바와 같이 상부 리테이닝 부재(232)와 상부 리테이닝 부재(232)에 조립 및 부착되는 링 형상의 하부 리테이닝 부재(252)를 포함할 수 있다. 상부 레테이닝 부재(232)에는 연마 헤드(도 1의 200)의 링부(도 1의 220)에 조립 부착될 때 이용되는 제1 체결홀(234)이 형성될 수 있다.
상부 리테이닝 부재(232)는 하부 리테이닝 부재(252)의 바디부(도 4의 252a)와 외륜부(도 4의 252b) 및 내륜부(도 4의 252c) 사이에 안착할 수 있다. 앞서 설명한 바와 같이 하부 리테이닝 부재(252)의 하면에는 웨이퍼 두께에 해당되고 연마 패드 상에서 웨이퍼와 같이 연마되는 복수개의 연마부들(258)과 연마부들(258) 사이에는 슬러리나 탈이온수가 흐를 수 있는 홈(260)이 형성될 수 있다. 도 14에서, 참조번호 262는 연마부들(258)을 하부 리테이닝 부재(252)에 부착하기 위한 접착층을 나타낸다.
100: 플레튼, 110: 연마 패드, 200: 연마 헤드, 210, 210-1, 210-2, 210-3: 리테이너 링, 220: 링부, 232: 상부 리테이닝 부재, 234: 체결홀, 242, 242-1, 242-2, 242-3: 체결 부재, 252: 하부 리테이닝 부재, 258: 연마부, 262: 접착층

Claims (10)

  1. 연마 헤드에 조립 부착되는 링 형상의 상부 리테이닝 부재;
    상기 상부 리테이닝 부재의 하부에 구비되는 링 형상의 하부 리테이닝 부재; 및
    상기 상부 리테이닝 부재 및 상기 하부 리테이닝 부재를 착탈가능하도록 상기 상부 리테이닝 부재 및 상기 하부 리테이닝 부재의 사이에 설치된 체결 부재를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 화학기계적 연마장치의 레테이너 링.
  2. 제1항에 있어서, 상기 체결 부재는 상기 상부 리테이닝 부재 또는 하부 리테이닝 부재에 설치된 숫 체결부와, 상기 하부 리테이닝 부재 또는 상부 리테이닝 부재에 상기 숫 체결부와 체결할 수 있는 암 체결부를 포함하는 것을 특징으로 하는 화학기계적 연마장치의 리테이너 링.
  3. 제2항에 있어서, 상기 숫 체결부는 상기 상부 리테이닝 부재 또는 하부 리테이닝 부재의 일면으로부터 돌출된 돌기를 포함하고. 상기 암 체결부는 상기 하부 리테이닝 부재 또는 상부 리테이닝 부재의 일면으로부터 내부로 파진 홈을 포함하고,
    상기 돌기가 상기 홈에 삽입된 상태에서 상기 하부 리테이닝 부재 및 상기 상부 리테이닝 부재를 트위스트시켜 상기 돌기를 상기 홈에 체결하는 것을 특징으로 하는 화학기계적 연마장치의 리테이너 링.
  4. 제3항에 있어서, 상기 돌기는 제1 직경의 제1 돌기와 상기 제1 돌기와 부착되어 상기 제1 직경보다 큰 제2 직경의 제2 돌기를 포함하고,
    상기 홈은 상기 제2 돌기가 삽입될 수 있게 상기 제2 직경에 대응하여 형성된 인입홈과, 상기 인입홈에 연결되어 상기 돌기가 트위스트될 때 상기 제2 돌기가 탈착되지 않게 상부 직경이 상기 제1 직경에 대응하되 상기 제2 직경보다는 작은 체결홈을 포함하는 것을 특징으로 하는 화학기계적 연마장치의 리테이너 링.
  5. 제1항에 있어서, 상기 숫 체결부는 상기 상부 리테이닝 부재에 설치된 숫 나사부를 포함하고. 상기 암 체결부는 상기 하부 리테이닝 부재에 설치된 암 나사부를 포함하고, 상기 숫 나사부 및 상기 암 나사부를 서로 회전시켜 상기 숫 나사부 및 암 나사부를 체결하는 것을 특징으로 하는 화학기계적 연마장치의 리테이너 링.
  6. 연마 헤드에 조립 부착되는 링 형상의 상부 리테이닝 부재;
    상기 상부 리테이닝 부재의 하부에 구비되고 상기 상부 리테이닝 부재가 안착하는 바디부, 상기 바디부의 외측에 형성되는 외륜부 및 상기 바디부의 내측에 설치되는 내륜부를 구비하는 링 형상의 하부 리테이닝 부재; 및
    상기 상부 리테이닝 부재 및 상기 하부 리테이닝 부재를 착탈가능하도록 상기 상부 리테이닝 부재 및 상기 하부 리테이닝 부재의 사이에 설치된 체결 부재를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 화학기계적 연마장치의 레테이너 링.
  7. 제6항에 있어서, 상기 체결 부재는 돌기로 이루어진 숫 체결부와, 홈으로 이루어진 암 체결부를 포함하는 것을 특징으로 하는 화학기계적 연마장치의 리테이너 링.
  8. 제7항에 있어서, 상기 체결 부재는 상기 상부 리테이닝 부재의 하면 또는 상기 하부 리테이닝 부재의 바디부에 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 화학기계적 연마장치의 리테이너 링.
  9. 제6항에 있어서, 상기 체결 부재는 숫 나사부 및 암 나사부를 포함하는 것을 특징으로 하는 화학기계적 연마장치의 리테이너 링.
  10. 제9항에 있어서, 상기 체결 부재는 상기 상부 리테이닝 부재의 외측벽 및 상기 하부 리테이닝 부재의 외륜의 내측벽에 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 화학기계적 연마장치의 리테이너 링.
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