KR101811905B1 - 연마용 조성물 및 연마 방법 - Google Patents

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가부시키가이샤 후지미인코퍼레이티드
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Abstract

본 발명의 연마용 조성물은, 수용성 중합체, 연마 촉진제 및 산화제를 함유한다. 수용성 중합체는, 150 mgKOH/1 gㆍ고체 이상의 아민가를 갖는 폴리아미드폴리아민 중합체이다.

Description

연마용 조성물 및 연마 방법{POLISHING COMPOSITION AND POLISHING METHOD}
본 발명은, 예를 들면 반도체 디바이스의 배선을 형성하기 위한 연마에서 사용되는 연마용 조성물에 관한 것이다.
반도체 디바이스의 배선을 형성하는 경우에는, 우선 트렌치를 갖는 절연체층 위에 배리어층 및 도체층을 순차적으로 형성한다. 그 후, 화학 기계 연마에 의해 적어도 트렌치 외에 위치하는 도체층의 부분(도체층의 외측부) 및 트렌치 외에 위치하는 배리어층의 부분(배리어층의 외측부)을 제거한다. 이 적어도 도체층의 외측부 및 배리어층의 외측부를 제거하기 위한 연마는, 통상 제1 연마 공정과 제2 연마 공정으로 나누어 행해진다. 제1 연마 공정에서는, 배리어층의 상면을 노출시키기 위해 도체층의 외측부의 일부를 제거한다. 이어지는 제2 연마 공정에서는, 절연체층을 노출시킴과 함께 평탄한 표면을 얻기 위해 적어도 도체층의 외측부의 잔부 및 배리어층의 외측부를 제거한다.
이러한 반도체 디바이스의 배선을 형성하기 위한 연마에서 사용되는 연마용 조성물은, 산 등의 연마 촉진제 및 산화제, 나아가 필요에 따라 연마 지립을 포함하는 것이 일반적이다. 또한, 연마 후의 연마 대상물의 평탄성을 개선하기 위해, 수용성 중합체를 더 첨가한 연마용 조성을 사용하는 것도 제안되어 있다. 예를 들면, 특허문헌 1에는 폴리옥시에틸렌라우릴에테르황산암모늄 등의 음이온 계면활성제, 벤조트리아졸 등의 보호막 형성제, 및 폴리옥시에틸렌알킬에테르 등의 비이온 계면활성제를 함유한 연마용 조성물을 사용한다는 개시가 있다. 특허문헌 2에는, 에피할로히드린 변성 폴리아미드를 함유한 연마용 조성물을 사용한다는 개시가 있다. 또한, 특허문헌 3에는, 카르복실산에 의해 수식된 아미노기를 갖는 화학 수식젤라틴을 함유한 연마용 조성물을 사용한다는 개시가 있다.
그러나, 화학 기계 연마에 의해 반도체 디바이스의 배선을 형성한 경우, 특히 도체층이 구리 또는 구리 합금을 포함할 때에는, 형성된 배선의 옆에 의도하지 않은 부적합한 오목부가 발생하는 경우가 있다. 이 배선 옆의 오목부는, 절연체층과의 경계 부근에 위치하는 도체층의 부분의 표면이 연마 중에 부식되는 것이 주된 원인으로 발생한다고 생각된다. 상기한 바와 같은 종래의 연마용 조성물을 이용하여도, 이 배선 옆의 오목부가 발생하는 것을 방지하는 것은 곤란하다.
일본 특허 공개 제2008-41781호 공보 일본 특허 공개 제2002-110595호 공보 일본 특허 공개 제2008-244316호 공보
따라서, 본 발명의 목적은, 반도체 디바이스의 배선을 형성하기 위한 연마에서 보다 바람직하게 사용할 수 있는 연마용 조성물 및 그것을 이용한 연마 방법을 제공하는 것에 있다.
상기한 목적을 달성하기 위해, 본 발명의 한 양태에서는 수용성 중합체, 연마 촉진제 및 산화제를 함유하는 연마용 조성물을 제공한다. 수용성 중합체는, 150 mgKOH/1 gㆍ고체 이상의 아민가를 갖는 폴리아미드폴리아민 중합체이다.
수용성 중합체는, 하기 화학식 1로 표시되는 화합물을 공단량체로서 포함하는 것이 바람직하다. 화학식 1 중, R1 및 R3은 각각 독립적으로 수소 원자, 또는 탄소수 1 내지 4의 비치환 또는 치환된 직쇄 알킬기를 나타내고, R2는 탄소수 1 내지 4의 비치환 또는 치환의 직쇄 알킬기를 나타낸다.
Figure 112013019114778-pct00001
화학식 1로 표시되는 화합물은, 예를 들면 글루타르산 또는 숙신산이다.
수용성 중합체는, 질소 원자간에서 연속된 탄소 원자의 수가 4 이하인 폴리알킬렌폴리아민을 공단량체로서 포함하는 것이 바람직하다.
연마용 조성물은, 트리아졸 골격을 갖는 화합물을 더 함유하는 것이 바람직하다.
본 발명의 별도의 양태에서는, 상기 양태에 관한 연마용 조성물을 사용하여 구리 또는 구리 합금을 갖는 연마 대상물의 표면을 연마하는 것을 포함하는 연마 방법을 제공한다.
본 발명에 따르면, 반도체 디바이스의 배선을 형성하기 위한 연마에서 보다 바람직하게 사용할 수 있는 연마용 조성물 및 그것을 사용한 연마 방법이 제공된다.
이하, 본 발명의 한 실시 형태를 설명한다.
본 실시 형태의 연마용 조성물은, 특정한 수용성 중합체, 연마 촉진제 및 산화제를 바람직하게는 금속 방식제 및 지립과 함께 물에 혼합하여 제조된다. 따라서, 연마용 조성물은, 특정한 수용성 중합체, 연마 촉진제 및 산화제를 함유하고, 바람직하게는 금속 방식제 및 지립을 더 함유한다.
일반적으로, 반도체 디바이스의 배선을 형성하는 경우에는, 우선 트렌치를 갖는 절연체층 위에 배리어층 및 도체층을 순차적으로 형성하는 것이 행해진다. 그 후, 화학 기계 연마에 의해 적어도 트렌치 외에 위치하는 도체층의 부분(도체층의 외측부) 및 트렌치 외에 위치하는 배리어층의 부분(배리어층의 외측부)을 제거하는 것이 행해진다. 이 적어도 도체층의 외측부 및 배리어층의 외측부를 제거하기 위한 연마는, 통상 제1 연마 공정과 제2 연마 공정으로 나누어 행해진다. 제1 연마 공정에서는, 배리어층의 상면을 노출시키기 위해 도체층의 외측부의 일부가 제거된다. 이어지는 제2 연마 공정에서는, 절연체층을 노출시킴과 동시에 평탄한 표면을 얻기 위해 적어도 도체층의 외측부의 잔부 및 배리어층의 외측부가 제거된다. 본 실시 형태의 연마용 조성물은, 이러한 반도체 디바이스의 배선을 형성하기 위한 연마, 특히 제2 연마 공정의 연마에서 주로 사용된다. 즉, 연마용 조성물은, 도체층을 갖는 연마 대상물의 표면을 연마하여 반도체 디바이스의 배선을 형성하는 용도로 주로 사용된다. 화학 기계 연마에 의해 반도체 디바이스의 배선을 형성한 경우, 특히 도체층이 구리 또는 구리 합금을 포함할 때에는, 형성된 배선의 옆에 의도하지 않은 부적합한 오목부가 발생하는 경우가 있지만, 본 실시 형태의 연마용 조성물은 이 배선 옆의 오목부가 발생하는 것을 억제할 수 있다. 따라서, 이 연마용 조성물은, 도체층이 구리 또는 구리 합금을 포함하는 경우에 특히 유용하다.
(수용성 중합체)
연마용 조성물 중에 포함되는 수용성 중합체는, 연마 대상물의 도체층 표면에 보호막을 형성함으로써, 연마용 조성물을 이용한 연마에 의해 형성되는 배선의 옆에 오목부가 발생하는 것을 억제하는 기능을 한다. 이러한 기능을 하는 수용성 중합체로서, 폴리아미드폴리아민 중합체가 사용된다.
폴리아미드폴리아민 중합체는, 자신의 질소 원자를 흡착 사이트로서 연마 대상물의 도체층 표면에 흡착하여 보호막을 형성한다고 생각되지만, 폴리아미드폴리아민 중합체의 분자 내에는 질소 원자 밀도가 높은 개소가 존재하고 있다. 그 때문에, 폴리아미드폴리아민 중합체는, 양이온화된 폴리비닐알코올, 양이온화된 아크릴계 수지 등의 다른 수용성 중합체에 비해 절연체층과의 경계 부근에 위치하는 도체층의 부분도 포함시켜 연마 대상물의 도체층 표면에 의해 확실하게 보호막을 형성할 수 있다. 이에 따라, 절연체층과의 경계 부근에 위치하는 도체층의 부분의 표면이 연마 중에 부식되기 어려워지는 결과, 배선 옆의 오목부의 발생이 억제된다고 생각된다.
수용성 중합체의 분자 내의 질소 원자 밀도는, 아민가를 지표로서 추정할 수 있다. 본 실시 형태에서는, 150 mgKOH/1 gㆍ고체 이상의 아민가를 갖는 폴리아미드폴리아민 중합체가 사용된다. 아민가가 150 mg KOH/1 gㆍ고체를 하회하는 폴리아미드폴리아민 중합체를 사용한 경우에는, 연마용 조성물을 사용한 연마에 의해 형성되는 배선의 옆에 오목부가 발생하는 것을 충분히 억제하는 것은 어렵다. 배선 옆의 오목부의 발생을 보다 강하게 억제하기 위해서는, 폴리아미드폴리아민 중합체의 아민가는 200 mgKOH/1 gㆍ고체 이상인 것이 바람직하고, 보다 바람직하게는 250 mg KOH/1 gㆍ고체 이상, 더욱 바람직하게는 350 mgKOH/1 gㆍ고체 이상, 가장 바람직하게는 450 mg KOH/1 gㆍ고체 이상이다.
또한, 지립의 분산 안정성의 면에서는, 폴리아미드폴리아민 중합체의 아민가는 3000 mgKOH/1 gㆍ고체 이하인 것이 바람직하고, 보다 바람직하게는 2000 mg KOH/1 gㆍ고체 이하, 가장 바람직하게는 1000 mgKOH/1 gㆍ고체 이하이다.
수용성 중합체의 아민가란, 단위 중량의 수용성 중합체 중에 포함되는 제1급, 제2급 및 제3급 아민을 중화하는 데 필요한 염산과 당량의 수산화칼륨(KOH)의 mg 수이다.
수용성 중합체의 아민가는, 예를 들면 다음과 같이 하여 측정할 수 있다. 우선, 고형분량 1.0 g의 수용성 중합체에 물을 가하여 100 g으로 한다. 이어서, 여기에 0.1 규정(規定)의 수산화나트륨 수용액을 가하여 pH를 11.0으로 조정한 시료를 제작한다. 또한, 이 시료를 0.5 규정의 염산으로 적정하고, pH가 10이 될 때까지 적하한 염산의 양 및 pH가 5가 될 때까지 적하한 염산의 양을 측정한다. 그 후, 이하의 수학식 1로부터 아민가를 구할 수 있다.
<수학식 1>
아민가=((V5-V10)×F×0.5×56.1)/S
단, V 10: pH가 10이 될 때까지 적하한 0.5 규정 염산의 양(cc)
V5: pH가 5가 될 때까지 적하한 0.5 규정 염산의 양(cc)
F: 적정에 사용한 0.5 규정 염산의 역가
S: 수용성 중합체의 고형분량(g)
0.5: 적정에 사용한 염산의 규정도
56.1: 수산화칼륨의 분자량
폴리아미드폴리아민 중합체의 제조 방법은, 예를 들면 일본 특허 제3666442호 공보 및 일본 특허 제4178500호 공보에 개시되어 있다. 구체적으로는, 다염기산 및/또는 그의 저급 알킬에스테르와 폴리알킬렌폴리아민을 반응시켜 얻어지는 폴리아미드폴리아민 중합체를 사용할 수 있다.
폴리아미드폴리아민 중합체의 제조에 있어서 공단량체로서 사용할 수 있는 다염기산의 예로서는, 하기 화학식 1로 표시되는 화합물을 들 수 있다.
<화학식 1>
Figure 112013019114778-pct00002
화학식 1에 있어서, R1 및 R3은 각각 독립적으로 수소 원자, 또는 탄소수 1 내지 4의 비치환 또는 치환된 직쇄 알킬기를 나타내고, R2는 탄소수 1 내지 4의 비치환 또는 치환된 직쇄 알킬기를 나타낸다. R1 및 R3이 치환된 직쇄 알킬기인 경우, 측쇄의 치환기는 메틸기, 에틸기, 히드록실기, 아미노기, 카르복실기, 페닐기, 아세틸기, 히드록시메틸기 및 히드록시에틸기 중 어느 하나일 수도 있다.
화학식 1로 표시되는 다염기산의 구체예로서는, 옥살산, 말론산, 숙신산, 글루타르산, 아디프산, 피멜린산, 수베르산, 아젤라산, 세박산 등의 지방족 포화 이염기산류, 말레산, 푸말산, 이타콘산, 알케닐 숙신산 등의 지방족 불포화 다염기산류, 글리콜산, 락트산, 히드로아크릴산, α-히드록시부티르산, β-히드록시부티르산, α-히드록시이소부티르산, 2-히드록시프로피온산, α-히드록시이소카프로산, β,β,β-트리클로로락트산, 글리세린산, 말산, α-메틸말산, 타르타르산, 시트르산, 타르트론산, 테트라히드록시숙신산, β-히드록시글루타르산, 히드록시말론산, 글루콘산 등의 히드록시 다염기산류, 다이머산, 중합 피마자유 지방산 등의 중합 지방산류, 트리멜리트산 등의 삼염기산류를 들 수 있다. 이들 다염기산 중의 복수 종류를 조합하여 사용할 수도 있다.
그 중에서도 바람직한 다염기산은 지방족 포화 이염기산이고, 특히 옥살산, 말론산, 숙신산, 글루타르산 및 아디프산이 바람직하고, 가장 바람직한 것은 숙신산이다.
다염기산의 저급 알킬에스테르의 예로서는, 화학식 1로 표시되는 다염기산의 메틸에스테르, 에틸에스테르, 프로필에스테르 및 부틸에스테르를 들 수 있다.
폴리아미드폴리아민 중합체의 제조에 있어서 공단량체로서 사용할 수 있는 폴리알킬렌폴리아민의 예로서는, 아미드 결합을 형성 가능한 아미노기를 2개 이상 갖는 화합물을 들 수 있다. 이러한 화합물의 구체예로서는, 디에틸렌트리아민, 트리에틸렌테트라민, 테트라에틸렌펜타민, 이미노비스프로필아민, 디메틸아미노에틸아민, 디메틸아미노프로필아민, 디에틸아미노에틸아민, 디에틸아미노프로필아민, 디부틸아미노프로필아민, 에틸아미노에틸아민, 1,2-디아미노프로판, 1,3-디아미노프로판, 1,4-디아미노부탄, 메틸아미노프로필아민, 디에틸렌트리아민, 트리에틸렌테트라민, 테트라에틸렌펜타민, 펜타에틸렌헥사민, 디프로필렌트리아민, 트리프로필렌테트라민, 2-히드록시아미노프로필아민, 메틸비스-(3-아미노프로필)아민, 디메틸아미노에톡시프로필아민, 1,2-비스-(3-아미노프로폭시)-에탄, 1,3-비스-(3-아미노프로폭시)-2,2-디메틸프로판, α,ω-비스-(3-아미노프로폭시)-폴리에틸렌글리콜에테르, 이미노비스프로필아민, 메틸이미노비스프로필아민, 라우릴아미노프로필아민, 디에탄올아미노프로필아민, N-아미노에틸피페리딘, N-아미노에틸피페콜린, N-아미노에틸모르폴린, N-아미노프로필피페리딘, N-아미노프로필-2-피페콜린, N-아미노프로필-4-피페콜린, N-아미노프로필-4-모르폴린 및 N-아미노프로필모르폴린을 들 수 있다.
폴리알킬렌폴리아민의 분자 내의 질소 원자간에서 연속된 탄소 원자의 수는 4 이하인 것이 바람직하고, 3 이하인 것이 보다 바람직하다. 에틸렌디아민, 디에틸렌트리아민, 트리에틸렌테트라민, 테트라에틸렌펜타민, 펜타에틸렌헥사민 및 메틸비스(3-아미노프로필)아민은 모두 질소 원자간에서 연속된 탄소 원자의 수가 2이기 때문에, 바람직하게 사용할 수 있다.
다염기산 및/또는 그의 저급 알킬에스테르에 대한 폴리알킬렌폴리아민의 반응 몰비는 0.1/1 내지 10/1인 것이 바람직하고, 보다 바람직하게는 0.2/1 내지 8/1, 더욱 바람직하게는 0.5/1 내지 5/1이다. 폴리알킬렌폴리아민의 비율이 높을수록 얻어지는 폴리아미드폴리아민 중합체는 연마 대상물의 도체층 표면에 보호막을 형성하기 쉽고, 연마용 조성물을 이용한 연마에 의해 형성되는 배선의 옆에 오목부가 발생하는 것을 보다 잘 억제할 수 있다. 또한, 다염기산 및/또는 그의 저급 알킬에스테르의 비율이 높을수록 지립의 안정성을 향상시키는 것을 기대할 수 있다.
폴리아미드폴리아민 중합체는, 요소나 에피할로히드린 등으로 변성되어 있을 수도 있다.
연마용 조성물 중의 수용성 중합체의 중량 평균 분자량은, 연마용 조성물 중에 포함되는 연마 촉진제의 양이나 산화제의 양 등에 따라 적절히 설정되는 것이지만, 일반적으로 100 이상인 것이 바람직하고, 보다 바람직하게는 200 이상, 더욱 바람직하게는 300 이상이다. 수용성 중합체의 중량 평균 분자량이 커짐에 따라, 연마용 조성물을 이용한 연마에 의해 형성되는 배선의 옆에 오목부가 발생하는 것을 보다 잘 억제할 수 있다.
연마용 조성물 중의 수용성 중합체의 중량 평균 분자량은 20,000 이하인 것이 바람직하고, 보다 바람직하게는 10,000 이하, 더욱 바람직하게는 5,000 이하이다. 수용성 중합체의 중량 평균 분자량이 작아짐에 따라 연마용 조성물의 재료 비용을 줄일 수 있을 뿐만 아니라, 연마용 조성물을 사용하여 연마한 후의 연마 대상물의 표면에 디싱이 발생하는 것을 억제할 수 있다.
또한, 수용성 중합체의 중량 평균 분자량의 측정은, GPC-MALS법과 같은 일반적인 방법으로 행할 수 있다. 비교적 저분자량의 수용성 중합체의 경우에는, NMR법에 의해 중량 평균 분자량을 측정할 수도 있다.
연마용 조성물 중의 수용성 중합체의 함유량은, 이것도 연마용 조성물 중에 포함되는 연마 촉진제의 양이나 산화제의 양 등에 따라 적절히 설정되는 것이지만, 일반적으로 0.001 g/L 이상인 것이 바람직하고, 보다 바람직하게는 0.01 g/L 이상, 더욱 바람직하게는 0.05 g/L 이상이다. 수용성 중합체의 함유량이 많아짐에 따라, 연마용 조성물을 사용한 연마에 의해 형성되는 배선의 옆에 오목부가 발생하는 것을 보다 잘 억제할 수 있다.
연마용 조성물 중의 수용성 중합체의 함유량은 1 g/L 이하인 것이 바람직하고, 보다 바람직하게는 0.5 g/L 이하, 더욱 바람직하게는 0.3 g/L 이하, 가장 바람직하게는 0.1 g/L 이하이다. 수용성 중합체의 함유량이 적어짐에 따라 연마용 조성물의 재료 비용을 줄일 수 있을 뿐만 아니라, 연마용 조성물을 사용하여 연마한 후의 연마 대상물의 표면에 디싱이 발생하는 것을 억제할 수 있다.
(연마 촉진제)
연마용 조성물 중에 포함되는 연마 촉진제는, 연마 대상물의 표면을 화학적으로 에칭하는 작용을 갖고, 연마용 조성물에 의한 연마 대상물의 연마 속도를 향상시킨다.
사용 가능한 연마 촉진제는, 예를 들면 무기산, 유기산, 아미노산 및 킬레이트제이다.
무기산의 구체예로서는, 황산, 질산, 붕산, 탄산, 차아인산, 아인산 및 인산을 들 수 있다.
유기산의 구체예로서는, 포름산, 아세트산, 프로피온산, 부티르산, 발레르산, 2-메틸부티르산, n-헥산산, 3,3-디메틸부티르산, 2-에틸부티르산, 4-메틸펜탄산, n-헵탄산, 2-메틸헥산산, n-옥탄산, 2-에틸헥산산, 벤조산, 글리콜산, 살리실산, 글리세린산, 옥살산, 말론산, 숙신산, 글루타르산, 아디프산, 피멜린산, 말레산, 프탈산, 말산, 타르타르산, 시트르산 및 락트산을 들 수 있다. 메탄술폰산, 에탄술폰산 및 이세티온산 등의 유기 황산도 사용 가능하다.
무기산 또는 유기산 대신에 또는 무기산 또는 유기산과 조합하여, 무기산 또는 유기산의 암모늄염이나 알칼리 금속염 등의 염을 이용할 수도 있다. 약산과 강염기, 강산과 약염기, 또는 약산과 약염기의 조합의 경우에는, pH의 완충 작용을 기대할 수 있다.
아미노산의 구체예로서는, 글리신, α-알라닌, β-알라닌, N-메틸글리신, N,N-디메틸글리신, 2-아미노부티르산, 노르발린, 발린, 류신, 노르류신, 이소류신, 페닐알라닌, 프롤린, 사르코신, 오르니틴, 리신, 타우린, 세린, 트레오닌, 호모세린, 티로신, 비신, 트리신, 3,5-디요오드-티로신, β-(3,4-디히드록시페닐)-알라닌, 티록신, 4-히드록시-프롤린, 시스테인, 메티오닌, 에티오닌, 라티오닌, 시스타티오닌, 시스틴, 시스테인산, 아스파라긴산, 글루탐산, S-(카르복시메틸)-시스테인, 4-아미노부티르산, 아스파라긴, 글루타민, 아자세린, 아르기닌, 카나바닌, 시토르인, δ-히드록시-리신, 크레아틴, 히스티딘, 1-메틸-히스티딘, 3-메틸-히스티딘 및 트립토판을 들 수 있다. 그 중에서도, 글리신, N-메틸글리신, N,N-디메틸글리신, α-알라닌, β-알라닌, 비신 및 트리신이 바람직하고, 특히 바람직한 것은 글리신이다.
킬레이트제의 구체예로서는, 니트릴로삼아세트산, 디에틸렌트리아민오아세트산, 에틸렌디아민사아세트산, N,N,N-트리메틸렌포스폰산, 에틸렌디아민-N,N,N',N'-테트라메틸렌술폰산, 트랜스시클로헥산디아민사아세트산, 1,2-디아미노프로판사아세트산, 글리콜에테르디아민사아세트산, 에틸렌디아민오르토히드록시페닐아세트산, 에틸렌디아민디숙신산(SS체), N-(2-카르복실레이트에틸)-L-아스파라긴산, β-알라닌디아세트산, 2-포스포노부탄-1,2,4-트리카르복실산, 1-히드록시에틸리덴-1,1-디포스폰산, N,N'-비스(2-히드록시벤질)에틸렌디아민-N,N'-디아세트산 및 1,2-디히드록시벤젠-4,6-디술폰산을 들 수 있다.
연마용 조성물 중의 연마 촉진제의 함유량은 0.01 g/L 이상인 것이 바람직하고, 보다 바람직하게는 0.1 g/L 이상, 더욱 바람직하게는 1 g/L 이상이다. 연마 촉진제의 함유량이 많아짐에 따라, 연마용 조성물에 의한 연마 대상물의 연마 속도는 향상된다.
연마용 조성물 중의 연마 촉진제의 함유량은 50 g/L 이하인 것이 바람직하고, 보다 바람직하게는 30 g/L 이하, 더욱 바람직하게는 15 g/L 이하이다. 연마 촉진제의 함유량이 적어짐에 따라, 연마 촉진제에 의한 연마 대상물 표면의 과잉 에칭이 발생하는 것이 보다 잘 억제된다.
(산화제)
연마용 조성물 중에 포함되는 산화제는 연마 대상물의 표면을 산화하는 작용을 갖고, 연마용 조성물에 의한 연마 대상물의 연마 속도를 향상시킨다.
사용 가능한 산화제는, 예를 들면 과산화물이다. 과산화물의 구체예로서는, 과산화수소, 과아세트산, 과탄산염, 과산화요소 및 과염소산 및 과황산나트륨, 과황산칼륨, 과황산암모늄 등의 과황산염을 들 수 있다. 그 중에서도 과황산염 및 과산화수소가 바람직하고, 특히 바람직한 것은 과산화수소이다.
연마용 조성물중의 산화제의 함유량은 0.1 g/L 이상인 것이 바람직하고, 보다 바람직하게는 1 g/L 이상, 더욱 바람직하게는 3 g/L 이상이다. 산화제의 함유량이 많아짐에 따라, 연마용 조성물에 의한 연마 대상물의 연마 속도는 향상된다.
연마용 조성물 중의 산화제의 함유량은 200 g/L 이하인 것이 바람직하고, 보다 바람직하게는 100 g/L 이하, 더욱 바람직하게는 40 g/L 이하이다. 산화제의 함유량이 적어짐에 따라 연마용 조성물의 재료 비용을 줄일 수 있을 뿐만 아니라, 연마 사용 후의 연마용 조성물의 처리, 즉 폐액 처리의 부하를 경감할 수 있다. 또한, 산화제에 의한 연마 대상물 표면의 과잉 산화가 발생할 우려를 적게 할 수 있다.
(금속 방식제)
연마용 조성물 중에 금속 방식제를 가한 경우에는, 연마용 조성물을 이용한 연마에 의해 형성되는 배선의 옆에 오목부가 발생하는 것을 보다 잘 억제할 수 있다. 또한, 연마용 조성물을 이용하여 연마한 후의 연마 대상물의 표면에 디싱이 발생하는 것을 보다 잘 억제할 수도 있다.
사용 가능한 금속 방식제는 특별히 한정되지 않지만, 바람직하게는 복소환식 화합물 또는 계면활성제이다. 복소환식 화합물 중의 복소환의 원수는 특별히 한정되지 않는다. 또한, 복소환식 화합물은 단환 화합물일 수도 있고, 축합환을 갖는 다환 화합물일 수도 있다.
보호막 형성제로서 사용 가능한 복소환 화합물의 구체예로서는, 피롤, 피라졸, 이미다졸, 트리아졸, 테트라졸, 피리딘, 피라진, 피리다진, 피리딘, 인돌리진, 인돌, 이소인돌, 인다졸, 푸린, 퀴놀리딘, 퀴놀린, 이소퀴놀린, 나프틸리딘, 프탈라진, 퀴녹살린, 퀴나졸린, 신놀린, 부테리진, 티아졸, 이소티아졸, 옥사졸, 이소옥사졸, 푸라잔 등의 질소 함유 복소환 화합물이 포함된다.
피라졸의 예에는, 1H-피라졸, 4-니트로-3-피라졸카르복실산, 3,5-피라졸카르복실산, 3-아미노-5-페닐피라졸, 5-아미노-3-페닐피라졸, 3,4,5-트리브로모피라졸, 3-아미노피라졸, 3,5-디메틸피라졸, 3,5-디메틸-1-히드록시메틸피라졸, 3-메틸피라졸, 1-메틸피라졸, 3-아미노-5-메틸피라졸, 4-아미노-피라졸로[3,4-d]피리미딘, 알로푸리놀, 4-클로로-1H-피라졸로[3,4-D]피리미딘, 3,4-디히드록시-6-메틸피라졸로(3,4-B)-피리딘 및 6-메틸-1H-피라졸로[3,4-b]피리딘-3-아민이 포함된다.
이미다졸의 예에는, 이미다졸, 1-메틸이미다졸, 2-메틸이미다졸, 4-메틸이미다졸, 1,2-디메틸피라졸, 2-에틸-4-메틸이미다졸, 2-이소프로필이미다졸, 벤조이미다졸, 5,6-디메틸벤조이미다졸, 2-아미노벤조이미다졸, 2-클로로벤조이미다졸, 2-메틸벤조이미다졸, 2-(1-히드록시에틸)벤즈이미다졸, 2-히드록시벤즈이미다졸, 2-페닐벤즈이미다졸, 2,5-디메틸벤즈이미다졸, 5-메틸벤조이미다졸, 5-니트로벤즈이미다졸 및 1H-푸린이 포함된다.
트리아졸의 예에는, 1,2,3-트리아졸, 1,2,4-트리아졸, 1-메틸-1,2,4-트리아졸, 메틸-1H-1,2,4-트리아졸-3-카르복실레이트, 1,2,4-트리아졸-3-카르복실산, 1,2,4-트리아졸-3-카르복실산메틸, 1H-1,2,4-트리아졸-3-티올, 3,5-디아미노-1H-1,2,4-트리아졸, 3-아미노-1,2,4-트리아졸-5-티올, 3-아미노-1H-1,2,4-트리아졸, 3-아미노-5-벤질-4H-1,2,4-트리아졸, 3-아미노-5-메틸-4H-1,2,4-트리아졸, 3-니트로-1,2,4-트리아졸, 3-브로모-5-니트로-1,2,4-트리아졸, 4-(1,2,4-트리아졸-1-일)페놀, 4-아미노-1,2,4-트리아졸, 4-아미노-3,5-디프로필-4H-1,2,4-트리아졸, 4-아미노-3,5-디메틸-4H-1,2,4-트리아졸, 4-아미노-3,5-디펩틸-4H-1,2,4-트리아졸, 5-메틸-1,2,4-트리아졸-3,4-디아민, 1H-벤조트리아졸, 1-히드록시벤조트리아졸, 1-아미노벤조트리아졸, 1-카르복시벤조트리아졸, 5-클로로-1H-벤조트리아졸, 5-니트로-1H-벤조트리아졸, 5-카르복시-1H-벤조트리아졸, 5-메틸-1H-벤조트리아졸, 5,6-디메틸-1H-벤조트리아졸, 1-(1',2'-디카르복시에틸)벤조트리아졸, 1-[N,N-비스(히드록시에틸)아미노메틸]벤조트리아졸, 1-[N,N-비스(히드록시에틸)아미노메틸]-5-메틸벤조트리아졸 및 1-[N,N-비스(히드록시에틸)아미노메틸]-4-메틸벤조트리아졸이 포함된다.
테트라졸의 예에는, 1H-테트라졸, 5-메틸테트라졸, 5-아미노테트라졸 및 5-페닐테트라졸이 포함된다.
인다졸의 예에는, 1H-인다졸, 5-아미노-1H-인다졸, 5-니트로-1H-인다졸, 5-히드록시-1H-인다졸, 6-아미노-1H-인다졸, 6-니트로-1H-인다졸, 6-히드록시-1H-인다졸 및 3-카르복시-5-메틸-1H-인다졸이 포함된다.
인돌의 예에는, 1H-인돌, 1-메틸-1H-인돌, 2-메틸-1H-인돌, 3-메틸-1H-인돌, 4-메틸-1H-인돌, 5-메틸-1H-인돌, 6-메틸-1H-인돌, 7-메틸-1H-인돌, 4-아미노-1H-인돌, 5-아미노-1H-인돌, 6-아미노-1H-인돌, 7-아미노-1H-인돌, 4-히드록시-1H-인돌, 5-히드록시-1H-인돌, 6-히드록시-1H-인돌, 7-히드록시-1H-인돌, 4-메톡시-1H-인돌, 5-메톡시-1H-인돌, 6-메톡시-1H-인돌, 7-메톡시-1H-인돌, 4-클로로-1H-인돌, 5-클로로-1H-인돌, 6-클로로-1H-인돌, 7-클로로-1H-인돌, 4-카르복시-1H-인돌, 5-카르복시-1H-인돌, 6-카르복시-1H-인돌, 7-카르복시-1H-인돌, 4-니트로-1H-인돌, 5-니트로-1H-인돌, 6-니트로-1H-인돌, 7-니트로-1H-인돌, 4-니트릴-1H-인돌, 5-니트릴-1H-인돌, 6-니트릴-1H-인돌, 7-니트릴-1H-인돌, 2,5-디메틸-1H-인돌, 1,2-디메틸-1H-인돌, 1,3-디메틸-1H-인돌, 2,3-디메틸-1H-인돌, 5-아미노-2,3-디메틸-1H-인돌, 7-에틸-1H-인돌, 5-(아미노메틸)인돌, 2-메틸-5-아미노-1H-인돌, 3-히드록시메틸-1H-인돌, 6-이소프로필-1H-인돌 및 5-클로로-2-메틸-1H-인돌이 포함된다.
그 중에서도 바람직한 복소환 화합물은 트리아졸 골격을 갖는 화합물이며, 특히 1H-벤조트리아졸, 5-메틸-1H-벤조트리아졸, 5,6-디메틸-1H-벤조트리아졸, 1-[N,N-비스(히드록시에틸)아미노메틸]-5-메틸벤조트리아졸, 1-[N,N-비스(히드록시에틸)아미노메틸]-4-메틸벤조트리아졸, 1,2,3-트리아졸 및 1,2,4-트리아졸은 특히 바람직하다. 이들 복소환 화합물은 연마 대상물 표면으로의 화학적 또는 물리적 흡착력이 높기 때문에, 연마 대상물 표면에 보다 강고한 보호막을 형성한다. 이것은, 연마용 조성물을 사용하여 연마한 후의 연마 대상물의 표면의 평탄성을 향상시킴에 있어서 유리하다.
보호막 형성제로서 사용되는 계면활성제는, 음이온성 계면활성제, 양이온성 계면활성제, 양쪽성 계면활성제 및 비이온성 계면활성제 중 어느 하나일 수도 있다.
음이온성 계면활성제의 예에는, 폴리옥시에틸렌알킬에테르아세트산, 폴리옥시에틸렌알킬황산에스테르, 알킬황산에스테르, 폴리옥시에틸렌알킬황산, 알킬황산, 알킬벤젠술폰산, 알킬인산에스테르, 폴리옥시에틸렌알킬인산에스테르, 폴리옥시에틸렌술포숙신산, 알킬술포숙신산, 알킬나프탈렌술폰산, 알킬디페닐에테르디술폰산, 및 이들의 염이 포함된다.
양이온성 계면활성제의 예에는, 알킬트리메틸암모늄염, 알킬디메틸암모늄염, 알킬벤질디메틸암모늄염 및 알킬아민염이 포함된다.
양쪽성 계면활성제의 예에는, 알킬베타인 및 알킬아민옥시드가 포함된다.
비이온성 계면활성제의 예에는, 폴리옥시에틸렌알킬에테르, 폴리옥시알킬렌알킬에테르, 소르비탄 지방산 에스테르, 글리세린 지방산 에스테르, 폴리옥시에틸렌 지방산 에스테르, 폴리옥시에틸렌알킬아민 및 알킬알칸올아미드가 포함된다.
그 중에서도 바람직한 계면활성제는, 폴리옥시에틸렌알킬에테르아세트산, 폴리옥시에틸렌알킬에테르황산염, 알킬에테르황산염, 알킬벤젠술폰산염 및 폴리옥시에틸렌알킬에테르이다. 이들 계면활성제는 연마 대상물 표면에의 화학적 또는 물리적 흡착력이 높기 때문에, 연마 대상물 표면에 보다 강고한 보호막을 형성한다. 이것은, 연마용 조성물을 이용하여 연마한 후의 연마 대상물의 표면의 평탄성을 향상시킴에 있어서 유리하다.
연마용 조성물 중의 금속 방식제의 함유량은 0.001 g/L 이상인 것이 바람직하고, 보다 바람직하게는 0.005 g/L 이상, 더욱 바람직하게는 0.01 g/L 이상이다. 금속 방식제의 함유량이 많아짐에 따라, 연마용 조성물을 사용하여 연마한 후의 연마 대상물의 표면의 평탄성은 보다 향상된다.
연마용 조성물 중의 금속 방식제의 함유량은 10 g/L 이하인 것이 바람직하고, 보다 바람직하게는 5 g/L 이하, 더욱 바람직하게는 1 g/L 이하이다. 금속 방식제의 함유량이 적어짐에 따라, 연마용 조성물에 의한 연마 대상물의 연마 속도는 보다 향상된다.
(지립)
연마용 조성물 중에 임의적으로 포함되는 지립은, 연마 대상물을 기계적으로 연마하는 작용을 갖고, 연마용 조성물에 의한 연마 대상물의 연마 속도를 향상시킨다.
사용되는 지립은, 무기 입자, 유기 입자 및 유기 무기 복합 입자 중 어느 하나일 수도 있다. 무기 입자의 구체예로서는, 예를 들면 실리카, 알루미나, 세리아, 티타니아 등의 금속 산화물을 포함하는 입자, 및 질화규소 입자, 탄화규소 입자 및 질화붕소 입자를 들 수 있다. 그 중에서도 실리카가 바람직하고, 특히 바람직한 것은 콜로이달 실리카이다. 유기 입자의 구체예로서는, 예를 들면 폴리메타크릴산메틸(PMMA) 입자를 들 수 있다.
사용되는 지립의 평균 일차 입경은 5 nm 이상인 것이 바람직하고, 보다 바람직하게는 7 nm 이상, 더욱 바람직하게는 10 nm 이상이다. 지립의 평균 일차 입경이 커짐에 따라, 연마용 조성물에 의한 연마 대상물의 연마 속도는 향상된다.
사용되는 지립의 평균 일차 입경은 100 nm 이하인 것이 바람직하고, 보다 바람직하게는 60 nm 이하, 더욱 바람직하게는 40 nm 이하이다. 지립의 평균 일차 입경이 작아짐에 따라, 연마용 조성물을 사용하여 연마한 후의 연마 대상물의 표면에 디싱이 발생하는 것을 억제할 수 있다. 또한, 지립의 평균 일차 입경의 값은, 예를 들면 BET법으로 측정되는 지립의 비표면적에 기초하여 산출된다.
연마용 조성물 중의 지립의 함유량은 0.005 질량％ 이상인 것이 바람직하고, 보다 바람직하게는 0.01 질량％ 이상, 더욱 바람직하게는 0.05 질량％ 이상이다. 지립의 함유량이 많아짐에 따라, 연마용 조성물에 의한 연마 대상물의 연마 속도는 향상된다.
연마용 조성물 중의 지립의 함유량은 5 질량％ 이하인 것이 바람직하고, 보다 바람직하게는 1 질량％ 이하, 더욱 바람직하게는 0.5 질량％ 이하이다. 지립의 함유량이 적어짐에 따라 연마용 조성물의 재료 비용을 줄일 수 있을 뿐만 아니라, 연마용 조성물을 사용하여 연마한 후의 연마 대상물의 표면에 디싱이 발생하는 것을 억제할 수 있다.
(연마용 조성물의 pH)
연마용 조성물의 pH는 3 이상인 것이 바람직하고, 보다 바람직하게는 5 이상이다. 연마용 조성물의 pH가 커짐에 따라, 연마용 조성물에 의한 연마 대상물 표면의 과잉 에칭이 발생할 우려를 적게 할 수 있다.
연마용 조성물의 pH는 9 이하인 것이 바람직하고, 보다 바람직하게는 8 이하이다. 연마용 조성물의 pH가 작아짐에 따라, 연마용 조성물을 사용한 연마에 의해 형성되는 배선의 옆에 오목부가 발생하는 것을 보다 잘 억제할 수 있다.
본 실시 형태에 따르면 이하의 이점이 얻어진다.
본 실시 형태의 연마용 조성물은, 150 mg KOH/1 gㆍ고체 이상의 아민가를 갖는 폴리아미드폴리아민 중합체를 함유하고 있다. 따라서, 이 폴리아미드폴리아민 중합체의 동작에 의해, 연마용 조성물을 사용한 연마에 의해 형성되는 배선의 옆에 오목부가 발생하는 것을 억제할 수 있다. 따라서, 본 실시 형태의 연마용 조성물은, 반도체 디바이스의 배선을 형성하기 위한 연마에서 바람직하게 사용할 수 있다.
상기 실시 형태는 다음과 같이 변경될 수도 있다.
ㆍ상기 실시 형태의 연마용 조성물은, 2 종류 이상의 연마 촉진제를 함유할 수도 있다.
ㆍ상기 실시 형태의 연마용 조성물은, 2 종류 이상의 수용성 중합체를 함유할 수도 있다. 이 경우, 일부의 수용성 중합체에 대해서는, 반드시 150 mgKOH/1 gㆍ고체 이상의 아민가를 갖는 폴리아미드폴리아민 중합체일 필요는 없다. 그와 같은 수용성 중합체의 구체예로서는, 알긴산, 펙틴산, 카르복시메틸셀룰로오스, 커들란, 풀루란 등의 다당류, 폴리카르복실산 및 그의 염, 폴리비닐알코올, 폴리비닐피롤리돈, 폴리아크롤레인 등의 비닐계 중합체, 폴리글리세린 및 폴리글리세린에스테르를 들 수 있다. 폴리아미드폴리아민 중합체 이외의 수용성 중합체를 연마용 조성물에 첨가한 경우에는, 해당 수용성 중합체가 지립의 표면 또는 연마 대상물의 표면에 흡착되어 연마용 조성물에 의한 연마 대상물의 연마 속도를 컨트롤하는 것이 가능할 뿐만 아니라, 연마 중에 발생하는 불용성의 성분을 연마용 조성물 내에서 안정화할 수 있다는 점에서 유리하다.
ㆍ상기 실시 형태의 연마용 조성물은, 2 종류 이상의 산화제를 함유할 수도 있다.
ㆍ상기 실시 형태의 연마용 조성물은, 2 종류 이상의 지립을 함유할 수도 있다.
ㆍ상기 실시 형태의 연마용 조성물은, 2 종류 이상의 금속 방식제를 함유할 수도 있다. 이 경우, 예를 들면 2 종류 이상의 복소환식 화합물을 사용할 수도 있고, 2 종류 이상의 계면활성제를 사용할 수도 있다. 또는, 복소환식 화합물과 계면활성제을 조합하여 사용할 수도 있다. 복소환식 화합물과 계면활성제를 조합하여 사용한 경우, 즉 연마용 조성물이 복소환식 화합물 및 계면활성제를 함유하는 경우에는, 연마용 조성물에 의한 연마 대상물의 연마 속도의 향상과 연마용 조성물을 사용하여 연마한 후의 연마 대상물의 표면의 평탄성의 향상의 양립이 용이하다.
ㆍ상기 실시 형태의 연마용 조성물은, 방부제 및 곰팡이 방지제와 같은 공지된 첨가제를 필요에 따라 더 함유할 수도 있다. 방부제 및 곰팡이 방지제의 구체예로서는, 2-메틸-4-이소티아졸린-3-온, 5-클로로-2-메틸-4-이소티아졸린-3-온 등의 이소티아졸린계 방부제, 파라히드록시벤조산에스테르류, 페녹시에탄올 등을 들 수 있다.
ㆍ상기 실시 형태의 연마용 조성물은 일액형일 수도 있고, 이액형을 비롯한 다액형일 수도 있다.
ㆍ상기 실시 형태의 연마용 조성물은, 연마용 조성물의 원액을 물 등의 희석액으로 예를 들면 10배 이상으로 희석함으로써 제조될 수도 있다.
ㆍ상기 실시 형태의 연마용 조성물은, 반도체 디바이스의 배선을 형성하기 위한 연마 이외의 용도로 사용될 수도 있다.
이어서, 본 발명의 실시예 및 비교예를 설명한다.
수용성 중합체, 연마 촉진제, 산화제, 금속 방식제 및 지립을 물에 혼합하여 실시예 1 내지 28 및 비교예 1 내지 12의 연마용 조성물을 제조하였다. 연마 촉진제, 산화제, 금속 방식제 및 지립을 물에 혼합하여 비교예 13의 연마용 조성물을 제조하였다. 각 예의 연마용 조성물 중의 수용성 중합체의 상세를 표 1에 나타낸다. 또한, 표 1에는 나타내지 않았지만, 실시예 1 내지 28 및 비교예 1 내지 13의 연마용 조성물은 모두 연마 촉진제로서 글리신을 10 g/L, 산화제로서 과산화수소를 15 g/L, 지립으로서 평균 일차 입경이 30 nm인 콜로이달 실리카를 0.1 질량％ 함유하고 있다. 또한, 실시예 1 내지 28 및 비교예 1 내지 13의 연마용 조성물은 모두 금속 방식제로서 1-[N,N-비스(히드록시에틸)아미노메틸]-5-메틸벤조트리아졸과 1-[N,N-비스(히드록시에틸)아미노메틸]-5-메틸벤조트리아졸의 혼합물 0.08 g/L와, 라우릴에테르황산암모늄 0.1 g/L와, 폴리옥시에틸렌알킬에테르 0.5 g/L를 함유하고 있으며, 그 중의 몇 개는 추가 금속 방식제도 더 함유하고 있다. 일부의 연마용 조성물 중에 포함되어 있는 추가 금속 방식제의 상세도 표 1에 나타낸다.
Figure 112013019114778-pct00003
Figure 112013019114778-pct00004
Figure 112013019114778-pct00005
<배선 옆의 오목부>
각 예의 연마용 조성물을 사용하여 구리 패턴 웨이퍼(ATDF754 마스크, 연마 전의 구리 막 두께 700 nm, 트렌치 깊이 300 nm)의 표면을 표 2에 기재된 제1 연마 조건으로 구리 막 두께가 250 nm가 될 때까지 연마하였다. 그 후, 연마 후의 구리 패턴 웨이퍼의 표면을 동일한 연마용 조성물을 사용하여 표 3에 기재된 제2 연마 조건으로 배리어막이 노출될 때까지 연마하였다. 이와 같이 하여 2단계의 연마가 행해진 후의 구리 패턴 웨이퍼의 표면을 리뷰 SEM(가부시끼가이샤 히다치 하이테크놀로지 제조의 RS-4000)을 사용하여 관찰하고, 0.18 ㎛ 폭의 배선과 0.18 ㎛ 폭의 절연막이 교대로 배열된 영역 및 100 ㎛ 폭의 배선과 100 ㎛ 폭의 절연막이 교대로 배열된 영역에 있어서, 배선 옆의 오목부의 유무를 확인하였다. 또한, 어떠한 영역에서도 배선 옆의 오목부가 확인되지 않은 경우에는 ○○○(매우 우수), 어느 한쪽 영역에서만 폭 5 nm 미만의 배선 옆의 오목부가 확인된 경우에는 ○○(우수), 양쪽 영역에서 폭 5 nm 미만의 배선 옆의 오목부가 확인된 경우에는 ○(양호), 적어도 어느 한쪽 영역에서 폭 5 nm 이상 50 nm 미만의 배선 옆의 오목부가 확인된 경우에는 ×(약간 불량), 적어도 어느 한쪽 영역에서 50 nm 이상의 폭의 오목부가 확인된 경우를 ××(불량)로 평가하였다. 이 평가의 결과를 표 4의 "배선 옆의 오목부"란에 나타낸다.
<표면 거칠음>
각 예의 연마용 조성물을 사용하여 구리 패턴 웨이퍼(ATDF754 마스크, 연마 전의 구리 막 두께 700 nm, 트렌치 깊이 300 nm)의 표면을 표 2에 기재된 제1 연마 조건으로 구리 막 두께가 250 nm가 될 때까지 연마하였다. 그 후, 연마 후의 구리 패턴 웨이퍼의 표면을 동일한 연마용 조성물을 사용하여 표 3에 기재된 제2 연마 조건으로 배리어막이 노출될 때까지 연마하였다. 이와 같이 하여 2단계의 연마가 행해진 후의 구리 패턴 웨이퍼에서의 100 ㎛ 폭의 고립 배선부의 중앙 부근의 표면 거칠기 Ra를 에스아이아이ㆍ나노테크놀로지 가부시끼가이샤 제조의 주사형 프로브 현미경 "S-이미지"를 사용하여 측정하였다. 이 표면 거칠기 Ra의 측정은 Si 프로브를 이용하여 DFM 모드로 행하고, 1 ㎛ 사방의 영역 내에서 종횡 각 256점, 0.5 Hz의 스캔 속도로 행하였다. 측정된 Ra의 값이 1.0 nm 미만인 경우에는 ○○○(우수), 1.0 nm 이상인 경우에는 ○○(양호), 1.5 nm 이상 2.0 nm 미만인 경우를 ○(가능), 2.0 nm 이상인 경우를 ×(불량)로 평가하였다. 이 평가의 결과를 표 4의 "표면 거칠음"란에 나타낸다.
<연마 속도>
각 예의 연마용 조성물을 사용하여 구리 블랭킷 웨이퍼의 표면을 표 2에 기재된 제1 연마 조건 및 표 3에 기재된 제2 연마 조건으로 60초간 연마했을 때의 제1 조건 및 제2 조건 각각에서의 연마 속도를 표 4의 "연마 속도"란에 나타낸다. 연마 속도의 값은, 가부시끼가이샤 히다치 고쿠사이 덴끼 제조의 시트 저항 측정기 "VR-120SD/8"을 사용하여 측정되는 연마 전후의 구리 블랭킷 웨이퍼의 두께의 차를 연마 시간으로 나눔으로써 구하였다. 연마 속도의 값은 큰 것이 바람직하다는 것은 물론이지만, 제1 연마 조건의 경우에 400 nm/분 이상, 제2 연마 조건의 경우에 200 nm/분 이상이면 실용적인 레벨이다.
<디싱>
각 예의 연마용 조성물을 사용하여 구리 패턴 웨이퍼(ATDF754 마스크, 연마 전의 구리 막 두께 700 nm, 트렌치 깊이 300 nm)의 표면을 표 2에 기재된 제1 연마 조건으로 구리 잔막이 250 nm가 될 때까지 연마하였다. 그 후, 연마 후의 구리 패턴 웨이퍼 표면을 동일한 연마용 조성물을 사용하여 표 3에 기재된 제2 연마 조건으로 배리어막이 노출될 때까지 연마하였다. 이와 같이 하여 2단계의 연마가 행해진 후의 구리 패턴 웨이퍼의 9 ㎛ 폭의 배선과 1 ㎛ 폭의 절연막이 교대로 배열된 제1 영역 및 5 ㎛ 폭의 배선과 1 ㎛ 폭의 절연막이 교대로 배열된 제2 영역에 있어서, 히타치 겐끼 파인텍 가부시끼가이샤 제조의 와이드 영역 AFM "WA-1300"을 사용하여 디싱량(디싱 깊이)을 측정하였다. 이 측정의 결과를 표 5 및 표 6의 "디싱"란에 나타낸다. 측정되는 디싱량의 값이 제1 연마 조건 1의 경우에 200 nm 이하, 제2 연마 조건의 경우에 120 nm 이하이면 실용적인 레벨이다.
Figure 112013019114778-pct00006
Figure 112013019114778-pct00007
Figure 112013019114778-pct00008

Claims (6)

  1. 수용성 중합체, 연마 촉진제, 산화제, 및 물을 함유하는 연마용 조성물이며, 상기 수용성 중합체는 150 mgKOH/1 gㆍ고체 이상의 아민가를 갖는 폴리아미드폴리아민 중합체이고, 상기 폴리아미드폴리아민 중합체가 연마용 조성물 중에 용해하여 존재하는 연마용 조성물.
  2. 제1항에 있어서, 상기 수용성 중합체는 하기 화학식 1로 표시되는 화합물을 공단량체로서 포함하고, 화학식 1 중 R1 및 R3은 각각 독립적으로 수소 원자, 또는 탄소수 1 내지 4의 비치환 또는 치환된 직쇄 알킬기를 나타내고, R2는 탄소수 1 내지 4의 비치환 또는 치환된 직쇄 알킬기를 나타내는 것인 연마용 조성물.
    <화학식 1>
    Figure 112013019114778-pct00009
  3. 제2항에 있어서, 화학식 1로 표시되는 상기 화합물은 글루타르산 또는 숙신산인 연마용 조성물.
  4. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 수용성 중합체는 질소 원자사이에 연속된 탄소 원자의 수가 4 이하인 폴리알킬렌폴리아민을 공단량체로서 포함하는 것인 연마용 조성물.
  5. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서, 트리아졸 골격을 갖는 화합물을 더 함유하는 연마용 조성물.
  6. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 기재된 연마용 조성물을 사용하여 구리 또는 구리 합금을 갖는 연마 대상물의 표면을 연마하는 연마 방법.
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