KR101759633B1 - 부품 실장 장치, 부품 실장 방법 - Google Patents

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KR101759633B1
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히로시 사이조우
토모유키 노즈에
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야마하하쓰도키 가부시키가이샤
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Abstract

트레이(T)에 있어서의 부품(E)의 상태의 촬상은 팰릿 수용부(210)로부터 공급 위치(Ls)까지의 도중에 있는 공급 위치(Ls)에서 실행된다. 따라서, 공급 위치(Ls)의 근방에 위치하는 실장 헤드(40)로부터 벗어난 촬상 위치(Li)에서 이러한 부품 촬상을 실행할 수 있다. 그 결과, 공급 위치(Ls)의 근방에 위치하는 실장 헤드(40)가 간섭하는 것을 억제하면서 트레이(T) 있어서의 부품(E)의 상태를 적절하게 촬상하는 것이 가능해지고 있다.

Description

부품 실장 장치, 부품 실장 방법{COMPONENT MOUNTING DEVICE AND COMPONENT MOUNTING METHOD}
본 발명은 트레이 유지부로부터 공급 위치로 인출된 트레이로부터 부품을 들어 올려 기판으로 이동시킴으로써 기판에 부품을 실장하는 부품 실장 장치 및 부품 실장 방법에 관한 것이다.
특허문헌 1에서는 전자부품을 잡기 위한 척을 구비하고, 트레이에 수용된 전자부품을 척에 의해 잡아서 기판에 옮김으로써 전자부품을 기판에 실장하는 부품 실장 장치(자동 장착 장치)가 나타내어져 있다. 이 장치에는 복수의 트레이를 유지하는 랙이 부착되어 있고, 기판에 따른 전자부품을 수용하는 트레이를 랙으로부터 공급 위치로까지 인출한 후에 공급 위치의 트레이에 수용된 전자부품을 척에 의해 기판에 실장한다. 또한, 이 장치는 척에 의해 잡힌 전자부품을 촬영하는 카메라를 구비하고 있고, 카메라로부터 출력되는 화상에 의거하여 전자부품의 좋고 나쁨을 판별한다.
특허문헌 2에서는 복수의 부품을 로봇 핸드로 뿌리고 나서 이들의 부품으로부터 선택된 부품을 로봇 핸드로 잡아 나르는 기술이 개시되어 있다. 이 때 뿌려진 부품을 카메라에 의해 촬영한 화상으로부터 부품의 상태(위치, 자세)를 인식하고, 그 결과에 의거하여 잡은 부품이 선택된다.
일본 특허 공개 평 6-252594호 공보 일본 특허 공개 평 6-127698호 공보
그러나, 부품 실장 장치에 있어서 공급 위치로 인출된 트레이로부터 부품을 들어 올릴 때에는 미리 트레이에 있어서의 부품의 상태를 촬상할 수 있는 것이 바람직하다. 이것에 대하여 특허문헌 1의 부품 실장 장치에서는 척이 트레이로부터 들어 올려진 부품의 상태는 카메라의 화상으로부터 촬상할 수 있지만 트레이에 있어서의 부품의 상태를 촬상하는 구성은 특별히 마련되어 있지 않다. 그래서, 특허문헌 2의 기술을 응용하여 트레이에 있어서의 부품의 상태를 촬상할 수 있도록 부품 실장 장치를 구성하는 것이 고려된다. 그러나, 부품 실장 장치에 있어서는 공급 위치의 트레이로부터 부품을 들어 올리는 헤드(특허문헌 1의 척)가 설치되어 있다. 그 때문에 부품의 들어 올림에 대비하여 공급 위치의 근방에 위치하는 헤드가 트레이에 있어서의 부품의 상태의 촬상에 간섭할 우려가 있었다.
이 발명은 상기 과제를 감안하여 이루어진 것이며, 트레이 유지부로부터 공급 위치로 인출된 트레이로부터 헤드에 의해 부품을 들어 올려 기판으로 이동시키는 부품 실장 장치 및 부품 실장 방법에 있어서 공급 위치의 근방에 위치하는 헤드가 간섭하는 것을 억제하면서 트레이에 있어서의 부품의 상태를 적절하게 촬상하는 것을 가능하게 하는 기술의 제공을 목적으로 한다.
본 발명에 의한 부품 실장 장치는 상기 목적을 달성하기 위해 부품이 수용된 트레이를 유지하는 트레이 유지부로부터 공급 위치까지 상기 트레이를 반송하는 트레이 반송부와, 트레이 반송부가 트레이를 반송하는 반송 경로에 있어서의 트레이 유지부와 공급 위치 사이의 촬상 위치에서 트레이에 있어서의 부품의 상태를 촬상하는 카메라와, 공급 위치까지 반송된 트레이에 수용된 부품을 들어 올려 기판으로 이동시키는 헤드를 구비하고 있다.
본 발명에 의한 부품 실장 방법은 상기 목적을 달성하기 위해 부품이 수용된 트레이를 유지하는 트레이 유지부로부터 트레이를 인출하여 촬상 위치까지 반송하는 공정과, 촬상 위치에서 트레이에 있어서의 부품의 상태를 카메라로 촬상하는 공정과, 촬상 위치로부터 공급 위치까지 트레이를 반송하는 공정과, 공급 위치까지 반송된 트레이에 수용된 부품을 헤드에 의해 들어 올려 기판으로 이동시키는 공정을 구비하고 있다.
이렇게 구성된 본 발명(부품 실장 장치, 부품 실장 방법)에서는 트레이 유지부로부터 공급 위치로 반송된 트레이로부터 헤드가 부품을 들어 올려 기판으로 이동시킨다. 이러한 구성에서는 공급 위치의 근방에 위치하는 헤드가 트레이에 있어서의 부품의 상태의 촬상에 간섭(즉, 불필요한 것이 반사되어 찍히거나 또는 그림자가 되거나)할 우려가 있었다. 이것에 대하여 본 발명에서는 트레이에 있어서의 부품의 상태의 촬상은 트레이 유지부로부터 공급 위치까지의 도중에 있는 촬상 위치에서 실행된다. 따라서, 공급 위치의 근방에 위치하는 헤드로부터 벗어난 촬상 위치에서 이러한 부품 촬상을 실행할 수 있다. 그 결과, 공급 위치의 근방에 위치하는 헤드가 간섭하는 것을 억제하면서 트레이에 있어서의 부품의 상태를 적절하게 촬상하는 것이 가능해지고 있다.
이 때, 카메라는 트레이의 반송방향에 대하여 수직인 방향으로부터 보아 반송 경로와 평행한 방향에 있어서 공급 위치와는 다른 위치에 배치되어 있도록 부품 실장 장치를 구성해도 좋다. 이러한 구성은 공급 위치의 근방에 위치하는 헤드와의 접촉을 회피하면서 카메라를 배치할 수 있어 바람직하다.
또한, 헤드를 따라 이동하는 이동 프레임을 더 구비하고, 카메라는 이동 프레임의 가동 범위의 밖에 배치되어 있도록 부품 실장 장치를 구성해도 좋다. 이러한 구성은 카메라가 이동 프레임에 접촉하는 것을 방지할 수 있어 바람직하다.
이 때, 가동 범위는 반송 경로의 상방으로부터 보아 촬상 위치와 중복되어 있고, 카메라는 트레이의 반송방향에 대하여 평행한 방향으로부터 보아 가동 범위에 대하여 촬상 위치와는 반대측에 배치되어 있도록 부품 실장 장치를 구성해도 좋다. 이러한 구성은 이동 프레임의 가동 범위와 촬상 위치를 반송 경로의 상방으로부터 보아 중복시킴으로써 반송 경로에 평행한 방향에의 장치의 소형화를 가능하게 하고 있다. 또한, 카메라는 트레이의 반송방향에 대하여 평행한 방향으로부터 보아 가동 범위에 대하여 촬상 위치와는 반대측에 배치되어 있기 때문에 카메라와 이동 프레임의 접촉도 방지되어 있다.
또한, 카메라와 촬상 위치 사이로부터 이동 프레임을 벗어난 상태에서 트레이에 있어서의 부품의 상태를 카메라에 촬상시키는 제어부를 구비하도록 부품 실장 장치를 구성해도 좋다. 이러한 구성은 이동 프레임이 간섭하는 것을 억제하면서 트레이에 있어서의 부품의 상태를 적절하게 촬상하는 것이 가능해지고 있다.
또한, 반송 경로는 수평이며, 카메라는 촬상 위치의 상방에 배치되어 있도록 부품 실장 장치를 구성해도 좋다. 이 때, 상술한 바와 같이 가동 범위에 대하여 촬상 위치와는 반대측에 카메라를 배치(즉, 가동 범위의 상측에 카메라를 배치하고, 가동 범위의 하측에 촬상 위치를 배치)함으로써 상방으로부터 하방으로 향한 카메라를 이동 프레임의 가동 범위에 배치했을 경우와 비교하여 카메라와 이동 프레임의 간섭을 피할 수 있다. 또한, 상방으로부터 하방으로 향한 카메라를 헤드에 고정했을 경우와 비교하여 카메라로부터 촬상 위치까지의 거리를 충분하게 확보할 수 있다.
또한, 트레이 반송부는 트레이 유지부로부터 공급 위치까지 반송하는 도중에서 트레이를 촬상 위치에서 일시적으로 정지시키고, 카메라는 촬상 위치에서 정지되어 있는 트레이를 촬상하도록 부품 실장 장치를 구성해도 좋다. 이러한 구성에서는 트레이를 정지시킨 상태에서 트레이에 있어서의 부품의 상태를 촬상할 수 있기 때문에 비교적 높은 정밀도로 부품 촬상을 행할 수 있다.
또한, 카메라는 트레이 반송부에 의해 반송 경로를 따라 반송되고, 촬상 위치를 통과하는 트레이를 촬상하도록 부품 실장 장치를 구성해도 좋다.
또한, 카메라가 촬상한 결과를 표시하는 유저 인터페이스를 더 구비하도록 부품 실장 장치를 구성해도 좋다.
도 1은 본 발명을 적용가능한 부품 실장 장치를 모식적으로 예시하는 평면도이다.
도 2는 도 1의 부품 실장 장치를 모식적으로 예시하는 사시도이다.
도 3은 도 1의 부품 실장 장치가 구비하는 전기적 구성을 모식적으로 예시하는 블럭도이다.
도 4는 트레이로부터 공급되는 부품을 헤드 유닛에 의해 실장할 때에 실행되는 동작을 모식적으로 예시하는 도면이다.
도 5는 트레이로부터 공급되는 부품을 헤드 유닛에 의해 실장할 때에 실행되는 동작을 모식적으로 예시하는 플로우 차트이다.
도 6은 도 5의 플로우 차트에 의해 실행되는 순서의 일부를 모식적으로 예시하는 동작도이다.
도 7은 부품의 상태의 인식에 사용되는 유저 인터페이스의 디스플레이의 내용을 모식적으로 예시하는 도면이다.
도 1은 본 발명을 적용가능한 부품 실장 장치를 모식적으로 예시하는 평면도이다. 도 2는 도 1의 부품 실장 장치를 모식적으로 예시하는 사시도이다. 도 3은 도 1의 부품 실장 장치가 구비하는 전기적 구성을 모식적으로 예시하는 블럭도이다. 도 1에서는 부품 실장 장치(100)의 X 프레임(61)이, 도 2에서는 부품 실장 장치(100)의 하우징(11)이 각각 부분적으로 노치해서 나타내어져 있다. 도 1, 도 2 및 이하에 나타내는 도면에서는 서로 직교하는 X축 및 Y축을 수평방향으로 하고, Z축을 연직방향으로 하는 XYZ 직교 좌표계를 적당히 나타낸다.
부품 실장 장치(100)는 도 3에 나타내는 컨트롤러(8)에 의해 장치 각 부를 제어함으로써 외부로부터 반입한 기판(S)에 부품(전자부품 등)을 실장한 후에 기판(S)을 외부로 반출하는 것이다. 컨트롤러(8)는 CPU(Central Processing Unit)나 메모리로 구성된 주제어부(80)와, 메모리로 구성된 기억부(81)를 갖고, 주제어부(80)가 기억부(81)에 기억된 프로그램(810)에 의거하여 구동 제어부(82) 및 화상 처리부(83)를 제어함으로써 기판 반입·부품 실장·기판 반출 등에 필요한 동작을 장치 각 부에 실행시킨다. 또한, 컨트롤러(8)는 부품 실장 장치(100)에 설치된 유저 인터페이스(9)와 통신을 행하는 인터페이스 제어부(85)를 갖고, 인터페이스 제어부(85)를 통해 유저로부터의 입력을 받아들이거나, 유저에게 표시를 행하거나 한다. 또한, 주제어부(80), 기억부(81), 구동 제어부(82), 화상 처리부(83) 및 인터페이스 제어부(85)는 버스(84)에 의해 서로 접속되어 있고, 버스(84)를 통해 데이터를 송수신한다.
부품 실장 장치(100)는 부품의 실장을 실행하는 각 기능부를 지지하는 기대(1)와, 기대(1) 및 각 기능부를 덮는 하우징(11)을 구비한다. 이 부품 실장 장치(100)는 병렬로 배치된 2개의 기판 반송 레인(2)을 기대(1) 상에 구비하고, 각 기판 반송 레인(2)에 의해 기판 반송방향(X)으로 기판(S)을 반송하는 듀얼 레인 구조를 구비한다. 또한, 부품 실장 장치(100)는 부품을 공급하는 4개의 부품 공급부(3)와, 부품 공급부(3)로부터 공급된 부품을 기판 반송 레인(2)에 의해 반입된 기판(S)으로 이동시키는 2개의 헤드 유닛(4)을 구비한다.
2개의 기판 반송 레인(2)은 대개 공통된 구성을 구비한다. 구체적으로는 기판 반송 레인(2)은 각각 기판 반송방향(X)으로 평행하게 연장되는 2개의 컨베이어(21)를 병렬로 배치한 구성을 구비하고 있고, 부품 실장 장치(100)에서는 4개의 컨베이어(21)가 병렬로 배치되어 있다. 이들 중 한가운데의 2개의 컨베이어(21)는 전후방향(Y)으로 이동가능한 가동 컨베이어(21)이며, 가동 컨베이어(21)를 전후방향(Y)으로 이동시킴으로써 기판(S)의 폭에 따라 각 기판 반송 레인(2)의 폭을 조정할 수 있다. 이러한 기판 반송 레인(2)은 동기해서 작동하는 2개의 컨베이어(21)에 의해 기판(S)을 기판 반송방향(X)의 상류측(X축의 화살표의 반대측)으로부터 하류측(X축의 화살표측)으로 반송한다. 구체적으로는 구동 제어부(82)가 기판 반송 레인(2)을 제어함으로써 기판 반송방향(X)의 상류측으로부터 부품 실장 장치(100) 내의 실장 위치(도 1에 있어서의 기판(S)의 위치)까지 기판(S)을 반입하는 반입 동작 및 실장 위치로부터 기판 반송방향(X)의 하류측으로 기판을 반출하는 반출 동작을 실행할 수 있다.
이러한 2개의 기판 반송 레인(2)의 전후방향(Y)의 양측 각각에서는 2개의 부품 공급부(3)가 기판 반송방향(X)으로 늘어선다. 이들 중 전후방향(Y)의 후측(Y축의 화살표의 반대측)에서 기판 반송방향(X)의 상류측에 배치된 부품 공급부(3)는 비교적 대형의 부품(E)을 트레이(T)로부터 공급하는 부품 공급 장치(200)이다. 이러한 부품 공급 장치(200)로서는 예를 들면 국제 공개 2011/083553호에 기재된 부품 공급 장치를 사용할 수 있다.
구체적으로는 부품 공급 장치(200)는 연직방향(Z)으로 늘어선 복수의 팰릿(201)을 수용하는 팰릿 수용부(210)를 구비한다. 또한, 부품 공급 장치(200)는 팰릿(201)을 전후방향(Y)으로 반송하는 팰릿 반송 기구(220)를 구비한다. 이 팰릿 반송 기구(220)는 전후방향(Y)으로 연장되는 한 쌍의 반송 레일(221)과, 전후방향(Y)으로 이동가능한 클램프 기구(222)를 구비한다. 그리고, 클램프 기구(222)가 팰릿(201)을 클램핑하면서 반송 레일(221)에 평행하게 이동함으로써 기판(S)을 반송 레일(221)에서 지지하면서 전후방향(Y)으로 반송할 수 있다. 따라서, 구동 제어부(82)가 팰릿 반송 기구(220)를 제어함으로써 팰릿 수용부(210)로부터 팰릿(201)을 기판 반송 레인(2)측으로 인출하거나, 인출된 팰릿(201)을 팰릿 수용부(210)로 되돌리거나 할 수 있다. 또한, 부품 공급 장치(200)는 복수의 팰릿(201)을 일체적으로 승강시키는 승강기구(230)를 구비하고 있다. 그리고, 구동 제어부(82)가 승강기구(230)를 제어함으로써 반송 레일(221)과 동일한 높이에 위치 결정된 팰릿(201)이 선택적으로 팰릿 수용부(210)로부터 인출된다.
이러한 팰릿(201) 상에는 복수의 부품(E)을 수용하는 트레이(T)가 재치되어 있다. 이 트레이(T)에는 복수의 부품(E)이 예를 들면 유저에 의해 뿌려진 상태로 재치되어 있다. 그리고, 트레이(T)는 팰릿(201)의 이동에 따라 팰릿 수용부(210) 내의 수용 위치(Lc)와, 팰릿 수용부(210)로부터 기판 반송 레인(2)측의 공급 위치(Ls) 사이를 전후방향(Y)(트레이(T)의 반송방향)으로 이동한다. 또한, 수용 위치(Lc)로부터 공급 위치(Ls)까지의 반송 경로(P)의 도중에는 촬상 위치(Li)가 설치되어 있고, 트레이(T)는 수용 위치(Lc)로부터 촬상 위치(Li)를 경유해서 공급 위치(Ls)에 이른다. 이 촬상 위치(Li)에는 트레이 촬상 카메라(Ct)가 연직방향(Z)의 상방으로부터 대향하고 있고, 후술하는 바와 같이 트레이(T)에 있어서의 부품(E)의 상태가 촬상 위치(Li)에서 트레이 촬상 카메라(Ct)에 의해 촬상된다. 따라서, 화상 처리부(83)는 트레이 촬상 카메라(Ct)의 촬상 결과에 화상 처리를 실시하여 트레이(T)에 있어서의 부품(E)의 위치·자세를 인식할 수 있다.
4개의 부품 공급부(3) 중 부품 공급 장치(200) 이외의 3개의 부품 공급부(3)는 비교적 소형의 부품을 테이프 피더(5)로부터 공급한다. 즉, 3개의 부품 공급부(3) 각각에서는 복수의 테이프 피더(5)가 기판 반송방향(X)으로 늘어서 있고, 각 테이프 피더(5)가 선단의 공급 위치(5a)에 간헐적으로 부품을 송출한다.
이렇게 해서, 각 부품 공급부(3)로부터 공급된 부품은 헤드 유닛(4)에 의해 들어 올려져 기판(S)으로 옮겨진다. 구체적으로는 헤드 유닛(4)은 전후방향(Y)의 전측 및 후측의 각각에 설치되어 있다. 그리고, 전측의 헤드 유닛(4)은 기판 반송 레인(2)의 전측에 배치된 2개의 부품 공급부(3)로부터 부품을 들어 올리는 한편 후측의 헤드 유닛(4)은 기판 반송 레인(2)의 후측에 배치된 2개의 부품 공급부(3)로부터 부품을 들어 올린다. 각 헤드 유닛(4)은 기판 반송방향(X)으로 늘어선 9개의 실장 헤드(40)를 구비하고 있고, 각 실장 헤드(40)의 선단에 부착된 노즐에 의해 부품 공급부(3)로부터 공급된 부품을 흡착한다.
실장 헤드(40)는 Z축 서보모터(Mz)에 접속되어 있고, 구동 제어부(82)는 Z축 서보모터(Mz)를 제어함으로써 실장 헤드(40)를 하강 위치와 상승 위치(하강 위치보다 높다) 사이에서 승강시킨다. 그 결과, 실장 헤드(40)는 예를 들면 부품 공급부(3)로부터의 부품의 들어 올림이나 기판(S)에의 부품의 실장을 행할 때는 하강 위치에 위치하는 한편 부품 공급부(3)와 기판(S) 사이를 이동할 때는 상승 위치에 위치한다. 또한, 실장 헤드(40)는 R축 서보모터(Mr)로부터의 구동력을 받아 회전가능하며, 적당히 회전함으로써 흡착하는 부품의 회전 각도를 조정한다. 보다 상세하게는 기판 반송 레인(2)의 전후방향(Y)의 외측에는 상방을 향하는 헤드 촬상 카메라(Ch)가 배치되어 있고, 실장 헤드(40)는 부품 공급부(3)로부터 부품을 들어 올린 후에 헤드 촬상 카메라(Ch)의 상방을 경유해서 기판(S)으로 향한다. 한편, 헤드 촬상 카메라(Ch)는 그 상방을 통과하는 실장 헤드(40)가 흡착하는 부품을 촬상하고, 화상 처리부(83)가 헤드 촬상 카메라(Ch)의 촬상 결과에 화상 처리를 실시하여 실장 헤드(40)에 흡착된 부품의 회전 위치를 인식한다. 그리고, 구동 제어부(82)는 이 인식 결과에 따라 R축 서보모터(Mr)를 회전시켜 실장 헤드(40)에 흡착된 부품의 회전 각도를 조정한다. 이것에 의해 적절한 각도에서 부품을 기판(S)에 실장할 수 있다.
부품 실장 장치(100)는 헤드 유닛(4)을 X 방향으로 구동하는 X 구동기구(6)를 구비한다. 이 X 구동기구(6)는 전후방향(Y)의 전측 및 후측의 각각에 설치되어 있고, 전측의 X 구동기구(6)는 전측의 헤드 유닛(4)을 지지하는 한편 후측의 X 구동기구(6)는 후측의 헤드 유닛(4)을 지지한다. 또한, 이들 X 구동기구(6)는 대개 공통된 구성을 구비하기 때문에 여기에서는 한쪽의 X 구동기구(6)에 대하여 설명을 행한다. X 구동기구(6)는 기판 반송방향(X)으로 연장되는 X 프레임(61)과, X 프레임(61)에 부착된 나사 축(62)을 갖는다. 이 나사 축(62)은 기판 반송방향(X)에 평행하게 설치되어 있고, 헤드 유닛(4)은 나사 축(62)에 나사 결합한다. 또한, X 프레임(61)에는 나사 축(62)을 회전시키는 X축 서보모터(Mx)가 부착되어 있다. 따라서, X축 서보모터(Mx)를 회전시킴으로써 헤드 유닛(4)을 나사 축(62)을 따라 기판 반송방향(X)으로 이동시킬 수 있다. 또한, 부품 실장 장치(100)는 헤드 유닛(4)을 따라 X 구동기구(6)를 전후방향(Y)으로 구동하는 Y 구동기구(7)를 구비한다. Y 구동기구(7)는 전후방향(Y)으로 연장되는 1쌍의 Y 프레임(71)과, 각 Y 프레임(71)에 부착된 전후방향(Y)으로 연장되는 Y 레일(72)을 갖는다. 그리고, 각 Y 프레임(71)의 Y 레일(72)에 X 구동기구(6)가 가로질러 있다. Y 프레임(71)에 내장된 고정자와 X 구동기구(6)에 내장된 가동자로 Y축 리니어 모터(My)가 구성되어 있고, Y축 리니어 모터(My)에 의해 각 X 구동기구(6)를 전후방향(Y)으로 이동시킬 수 있다. 이러한 구성에서는 구동 제어부(82)가 X축 서보모터(Mx) 및 Y축 리니어 모터(My)를 제어함으로써 헤드 유닛(4)의 실장 헤드(40)를 XY면 내에서 이동시킬 수 있다.
또한, 부품 실장 장치(100)의 하우징(11)에는 상술의 유저 인터페이스(9)가 전후방향(Y)의 양측 각각에 부착되어 있다. 이러한 유저 인터페이스(9)는 디스플레이(91) 및 키보드(92)를 갖는다. 그리고, 컨트롤러(8)는 유저 인터페이스(9)를 통해 디스플레이(91)에 부품 실장 장치(100)의 상태를 표시하거나, 유저가 키보드(92)에 의해 입력한 정보를 받아들이거나 할 수 있다. 또한, 디스플레이(91)는 터치패널 방식 등에 의해 입력 기능을 겸비한 것이어도 좋다. 이렇게 디스플레이(91)가 입력 기능을 겸비한 경우에는 키보드(92)를 생략해도 상관없다.
상술한 바와 같이 부품 실장 장치(100)에서는 헤드 유닛(4)이 부품 공급 장치(200)의 트레이(T)로부터 부품(E)을 들어 올려 기판(S)으로 이재한다. 특히 본 실시형태에서는 트레이(T)에서의 부품(E)의 상태를 촬상한 결과에 의거하여 트레이(T)로부터 부품(E)을 들어 올려 기판(S)에 실장한다. 계속해서는 이러한 동작에 대해서 상세히 서술한다.
도 4는 트레이로부터 공급되는 부품을 헤드 유닛에 의해 실장할 때에 실행되는 동작을 모식적으로 예시하는 도면이다. 도 5는 트레이로부터 공급되는 부품을 헤드 유닛에 의해 실장할 때에 실행되는 동작을 모식적으로 예시하는 플로우 차트이다. 도 6은 도 5의 플로우 차트에 의해 실행되는 순서의 일부를 모식적으로 예시하는 동작도이다. 또한, 도 6에서는 부품 실장 장치(100)의 일부의 구성은 생략되어 있어 도 1에서의 표시와 반드시 동일한 것은 아니다. 도 4에 나타내는 바와 같이 팰릿 수용부(210)에서는 복수의 매거진부(211)가 연직방향(Z)으로 늘어서 있고, 각 매거진부(211)는 트레이(T)를 수용할 수 있다. 그리고, 승강기구(230)에 의해 반송 레일(221)과 동일한 높이의 삽탈(揷脫) 위치(Ha)에 위치 결정된 매거진부(211)에 대하여 팰릿(201)의 삽탈이 가능해진다.
따라서, 스텝 S101에서는 유저는 부품 스토커(ST)로부터 복수의 부품(E)을 잡아서 트레이(T) 상에 뿌리고, 이렇게 해서 부품(E)이 뿌려진 트레이(T)를 매거진부(211)에 수용한다. 이 때, 복수의 매거진부(211) 각각에 대하여 부품(E)이 수용된 트레이(T)를 수용할 수 있다. 스텝 S102에서는 부품 공급 장치(200)의 승강기구(230)가 부품(E)이 수용된 트레이(T)를 삽탈 위치(Ha)에 위치 결정한다. 계속해서, 스텝 S103에서는 팰릿 반송 기구(220)는 클램프 기구(222)(도 1)에 의해 트레이(T)를 수용 위치(Lc)로부터 기판 반송 레인(2)측에 전후방향(Y)으로 인출하고, 촬상 위치(Li)에 정지시킨다. 이렇게 해서 촬상 위치(Li)의 상방에 배치된 트레이 촬상 카메라(Ct)에 의한 부품 촬상의 준비가 갖추어진다.
그런데, 상술한 바와 같이 X 프레임(61)은 Y축 리니어 모터(My)로부터의 구동력을 받아 전후방향(Y)으로 이동한다. 이러한 X 프레임(61)의 가동 범위(R61)는 도 4에 나타내는 바와 같이 반송 경로(P)에 평행한 방향(전후방향(Y))에 있어서 (환언하면, 상방으로부터 보아) 촬상 위치(Li) 및 트레이 촬상 카메라(Ct)와 중복되어 있다. 이 때, 트레이 촬상 카메라(Ct)와 X 프레임(61)의 접촉을 피하기 위해 트레이 촬상 카메라(Ct)는 X 프레임(61)의 가동 범위(R61)이 밖에 배치되어 있다. 보다 상세하게는 트레이 촬상 카메라(Ct)는 트레이(T)의 반송방향(전후방향(Y))에 대하여 평행한 방향으로부터 보아 가동 범위(R61)에 대하여 촬상 위치(Li)와는 반대측에 배치되어 있고, 환언하면 트레이 촬상 카메라(Ct)와 촬상 위치(Li) 사이에 가동 범위(R61)가 존재한다. 또한, 트레이 촬상 카메라(Ct)는 X 프레임(61)의 가동 범위(R61)뿐만 아니라 헤드 유닛(4)(실장 헤드(40)를 포함한다)의 가동 범위로부터도 벗어나 있고, 즉 헤드 유닛(4)의 가동 범위의 밖에 배치되어 있다.
단, 트레이 촬상 카메라(Ct)와 X 프레임(61) 등의 접촉이 방지되어 있어도 X 프레임(61)의 가동 범위(R61)는 트레이 촬상 카메라(Ct)와 촬상 위치(Li) 사이에 중복되어 있기 때문에 X 프레임(61)이 이들 사이에 위치하고 있는 경우도 상정된다. 이러한 경우, X 프레임(61)이 트레이 촬상 카메라(Ct)에 의한 부품(E)의 촬상에 간섭해버린다. 그래서, 주제어부(80)는 트레이 촬상 카메라(Ct)에 의한 촬영에 앞서 X 프레임(61)의 위치를 확인한다. 그리고, X 프레임(61)이 트레이 촬상 카메라(Ct)와 촬상 위치(Li) 사이에 중복되어 있는 경우는 주제어부(80)는 X 프레임(61)을 이들 사이로부터 벗어난다. 이렇게 해서 X 프레임(61)을 트레이 촬상 카메라(Ct)와 촬상 위치(Li) 사이로부터 벗어난 상태에서 촬상 위치(Li)에 정지하는 트레이(T)에서의 부품(E)의 상태가 트레이 촬상 카메라(Ct)에 의해 촬상된다(스텝 S104).
이러한 촬상이 완료되면 주제어부(80)가 화상 처리부(83) 및 인터페이스 제어부(85)를 제어하고, 예를 들면 패턴 매칭 등의 화상 인식 기술을 이용하여 각 부품(E)의 상태(위치 및 자세)를 인식한다(스텝 S105). 도 7은 부품의 상태의 인식에 사용되는 유저 인터페이스의 디스플레이의 내용을 모식적으로 예시하는 도면이다. 주제어부(80)는 인터페이스 제어부(85)를 제어함으로써 디스플레이(91)의 메인 뷰(911)에 트레이 촬상 카메라(Ct)의 촬상 화상을 표시한다. 이것과 병행하여 주제어부(80)는 유저 인터페이스(9)를 통해 유저의 초기 설정을 받아들인다. 이 초기 설정에서는 주로 부품(E)의 각 상태(표면방향, 이면방향 등)에 대응하는 패턴이 유저에 의해 입력된다. 구체예적으로는 유저는 「설정 해제」라고 기재된 아이콘(913)을 클릭함으로써 화상 처리부(83)에의 패턴의 설정 상태를 초기화한다. 계속해서 유저는 메인 뷰(911)에 표시되는 부품(E) 중 패턴 1의 상태(여기의 예에서는 표면방향의 상태)에 있는 부품(E)을 서브 뷰(912)에 표시한다. 또한, 서브 뷰(912)에의 표시는 예를 들면 해당하는 부품(E)을 클릭함으로써 실행된다. 계속해서 「패턴 1로 설정」이라고 기재된 아이콘(914)을 클릭한다. 이것에 의해 표면방향의 상태에 있는 부품(E)의 패턴이 화상 처리부(83)에 설정된다. 마찬가지로 해서 패턴 2의 상태(여기의 예에서는 이면방향의 상태)에 있는 부품(E)에 대해서 패턴의 설정이 실행된다.
이렇게 해서 표면방향의 상태 및 이면방향의 상태에 있는 부품(E)의 패턴 1, 2가 화상 처리부(83)에 설정되면 화상 처리부(83)는 트레이 촬상 카메라(Ct)에 의한 촬상 화상(즉, 메인 뷰(911)에 표시되어 있는 화상)에 대하여 패턴 매칭을 행하고, 부품(E)과 패턴 1, 2 각각의 매칭의 정도를 나타내는 스코어를 구한다. 이것에 의해 패턴 1, 2 각각에 대한 스코어가 각 부품(E)에 대해서 구해진다. 그리고, 패턴 1, 2 중 스코어가 소정 역치보다 높은 쪽의 패턴을 해당 부품(E)의 패턴으로 결정한다. 이 때, 패턴 매칭의 정밀도의 한계 등에 기인하여 패턴 1, 2의 양쪽 스코어가 소정 역치보다 높아지는 경우가 있다. 이 경우는 보다 흡착에 적합하지 않은 패턴 2(즉, 이면방향의 상태)을 해당 부품(E)의 패턴으로 결정한다. 이렇게 해서 각 부품(E)이 패턴 1, 2 중 어느 것에 속하는지, 환언하면 표면방향의 상태 및 이면방향의 상태 중 어느 것에 속하는지가 판단되어 리스트 표시부(916)에 표시된다. 또한, 화상 처리부(83)는 부품(E)의 위치나 회전 각도를 나타내는 마크(MK)를 각 부품(E)에 설정함과 아울러 마크(MK)의 X 좌표(마크 거리 X), Y 좌표(마크 거리 Y) 및 회전 각도를 리스트 표시부(916)에 표시한다.
계속해서, 주제어부(80)는 트레이(T)에서의 부품(E)의 상태를 인식한 결과 에 의거하여 실장 헤드(40)에 의해 들어 올리는 것이 가능한(즉, 흡착가능한) 부품(E)을 트레이(T)의 복수의 부품(E)으로부터 선택한다(스텝 S106). 이렇게 해서 스텝 S106에서는 복수의 부품(E) 중 포개지거나 또는 이면방향으로 하거나 해서 들어 올리는 것에 적합하지 않은 부품(E) 이외의 부품(E)이 선택된다. 또한, 이러한 화상 인식 및 부품 선택과 병행하여 팰릿 반송 기구(220)는 촬상 위치(Li)로부터 기판 반송 레인(2)측에 전후방향(Y)으로 트레이(T)를 반송하고, 기판 반송 레인(2)에 이웃하는 공급 위치(Ls)에 트레이(T)를 정지시킨다(스텝 S107).
트레이(T)가 공급 위치(Ls)에 위치 결정되면 주제어부(80)는 스텝 S106에서의 부품 선택의 결과에 의거하여 실장 헤드(40)에 의해 흡착가능한 부품(E)이 트레이(T) 상에 존재하는지 아닌지를 판단한다(스텝 S108). 그리고, 흡착가능한 부품(E)이 존재하는 경우(스텝 S108에서 「YES」인 경우)에는 주제어부(80)는 흡착가능한 부품(E)을 트레이(T)로부터 들어 올려 기판(S)으로 이동하도록 구동 제어부(82)에 지령을 내린다. 그리고, 구동 제어부(82)는 이 지령에 따라 헤드 유닛(4)을 동작시킨다. 그 결과, 헤드 유닛(4)은 흡착가능한 부품(E)을 실장 헤드(40)에 의해 들어 올린 후에 헤드 촬상 카메라(Ch)의 상방을 경유해서 기판(S)으로 이동한다. 계속해서 헤드 유닛(4)은 헤드 촬상 카메라(Ch)가 부품(E)을 촬상한 결과에 따라 부품(E)의 실장 각도나 실장 위치를 조정하고 나서 부품(E)을 기판(S)에 재치한다. 이렇게 해서 트레이(T)로부터 기판(S)으로 부품(E)이 이재되어 부품 실장이 실행된다(스텝 S109).
스텝 S110에서는 주제어부(80)는 프로그램(810)을 참조하여 해당 부품(E)의 실장을 계속할지 아닐지를 판단한다. 그리고, 주제어부(80)는 부품(E)의 실장을 계속하지 않는 경우(스텝 S110에서 「NO」인 경우)에는 도 5의 플로우를 종료하는 한편 부품(E)의 실장을 계속하는 경우(스텝 S110에서 「YES」인 경우)에는 스텝 S108로 되돌아간다.
스텝 S108에 있어서 흡착가능한 부품(E)이 트레이(T) 상에 존재하는지 아닌지를 판단한 결과 해당 부품(E)이 존재하는 경우는 스텝 S109, S110을 재차 실행한다. 한편, 스텝 S108에 있어서 흡착가능한 부품(E)이 트레이(T) 상에 존재하지 않는다고 판단한 경우(스텝 S108에서 「NO」인 경우)에는 팰릿 반송 기구(220)가 트레이(T)를 공급 위치(Ls)로부터 수용 위치(Lc)로 되돌아간다. 그리고, 스텝 S102에서는 승강기구(230)가 팰릿 수용부(210)를 승강시키고 스텝 S111에서 수용 위치(Lc)로 되돌려진 트레이(T)와는 다른 트레이(T)를 삽탈 위치(Ha)에 위치 결정한다. 이렇게 해서, 삽탈 위치(Ha)에 위치 결정된 트레이(T)에 대하여 스텝 S103 이후의 동작이 실행된다.
이상에 설명한 바와 같이 본 실시형태에서는 트레이 촬상 카메라(Ct)에 의해 트레이(T)에 있어서의 부품(E)의 상태가 촬상되고 있다. 따라서, 헤드 유닛(4)에 의해 들어 올리는데에 적합한 상태의 부품(E)을 촬상 결과에 의거하여 복수의 부품(E) 중으로부터 선택해서 기판(S)으로 이동시킬 수 있다. 특히, 본 실시형태와 같이 트레이(T)에 있어서 복수의 부품(E)이 뿌려져서 수용되어 있는 구성에서는 부품(E)끼리가 포개져 있거나, 부품(E)이 이면방향으로 되어 있거나 하기 때문에 반드시 모든 부품(E)을 들어 올리는데에 적합하다고는 할 수 없다. 그래서, 미리 트레이(T)에서의 부품(E)의 상태를 촬상함으로써 이 촬상 결과에 의거하여 적절한 부품(E)을 선택할 수 있도록 구성되어 있다.
단, 부품 실장 장치(100)에 있어서는 팰릿 수용부(210)로부터 공급 위치(Ls)로 반송된 트레이(T)로부터 헤드 유닛(4)의 실장 헤드(40)가 부품(E)을 들어 올려 기판(S)으로 이동한다. 이러한 구성에서는 촬상 위치(Li)의 근방에 위치하는 실장 헤드(40)가 트레이(T)에 있어서의 부품(E)의 상태의 촬상에 간섭(즉, 불필요한 것이 반사되어 찍히거나 또는 그림자가 되거나)할 우려가 있었다. 이것에 대하여 본 실시형태에서는 트레이(T)에 있어서의 부품(E)의 상태의 촬상은 팰릿 수용부(210)로부터 공급 위치(Ls)까지의 도중에 있는 촬상 위치(Li)에서 실행된다. 따라서, 공급 위치(Ls)의 근방에 위치하는 실장 헤드(40)로부터 벗어난 촬상 위치(Li)에서 이러한 부품 촬상을 실행할 수 있다. 그 결과, 공급 위치(Ls)의 근방에 위치하는 실장 헤드(40)가 간섭하는 것을 억제하면서 트레이(T)에 있어서의 부품(E)의 상태를 적절하게 촬상하는 것이 가능해지고 있다.
또한, 트레이 촬상 카메라(Ct)는 도 4에 나타내는 바와 같이 트레이(T)의 반송방향(전후방향(Y))에 대하여 수직인 방향으로부터 보아 반송 경로(P)와 평행한 방향(전후방향(Y))에 있어서 공급 위치(Ls)와는 다른 위치에 배치되어 있다. 이러한 구성은 공급 위치(Ls)의 근방에 위치하는 실장 헤드(40)와의 접촉을 회피하면서 트레이 촬상 카메라(Ct)를 배치할 수 있어 바람직하다.
또한, 트레이 촬상 카메라(Ct)는 X 프레임(61)의 가동 범위(R61)의 밖에 배치되어 있다. 이러한 구성은 트레이 촬상 카메라(Ct)(카메라)가 X 프레임(61)에 접촉하는 것을 방지할 수 있어 바람직하다.
또한, X 프레임(61)의 가동 범위(R61)는 반송 경로(P)의 상방으로부터 보아 촬상 위치(Li)와 중복되어 있고, 트레이 촬상 카메라(Ct)는 트레이(T)의 반송방향(전후방향(Y))에 대하여 평행한 방향으로부터 보아 가동 범위(R61)에 대하여 촬상 위치(Li)와는 반대측에 배치되어 있다. 이러한 구성은 X 프레임(61)의 가동 범위(R61)와 촬상 위치(Li)를 반송 경로(P)의 상방으로부터 보고 중복시킴으로써 반송 경로(P)에 평행한 방향(전후방향(Y))에의 부품 실장 장치(100)의 소형화를 가능하게 하고 있다. 또한, 트레이 촬상 카메라(Ct)는 트레이(T)의 반송방향(전후방향(Y))에 대하여 평행한 방향으로부터 보아 가동 범위(R61)에 대하여 촬상 위치(Li)와는 반대측에 배치되어 있기 때문에 트레이 촬상 카메라(Ct)와 X 프레임(61)의 접촉도 방지되어 있다.
특히, 본 실시형태에서는 반송 경로(P)가 수평이며, 트레이 촬상 카메라(Ct)가 촬상 위치(Li)의 상방에 배치되어 있다. 이러한 구성에서는 상술한 바와 같이 가동 범위(R61)에 대하여 촬상 위치(Li)와는 반대측에 트레이 촬상 카메라(Ct)를 배치(즉, 가동 범위(R61)의 상측에 트레이 촬상 카메라(Ct)를 배치하고, 가동 범위(R61)의 하측에 촬상 위치(Li)를 배치)함으로써 상방으로부터 하방으로 향한 트레이 촬상 카메라(Ct)를 X 프레임(61)의 가동 범위(R61)에 배치한 경우와 비교해서 트레이 촬상 카메라(Ct)와 X 프레임(61)의 간섭을 피할 수 있다. 또한, 상방으로부터 하방으로 향한 트레이 촬상 카메라(Ct)를 실장 헤드(40)에 고정한 경우와 비교해서 트레이 촬상 카메라(Ct)로부터 촬상 위치(Li)까지의 거리를 충분하게 확보할 수 있다.
또한, 트레이 촬상 카메라(Ct)와 촬상 위치(Li) 사이로부터 X 프레임(61)을 벗어난 상태에서 트레이(T)에 있어서의 부품(E)의 상태를 트레이 촬상 카메라(Ct)에 촬상시키는 컨트롤러(8)가 구비되어 있다. 이러한 구성은 X 프레임(61)이 간섭하는 것을 억제하면서 트레이(T)에 있어서의 부품(E)의 상태를 적절하게 촬상하는 것이 가능해지고 있다.
또한, 팰릿 반송 기구(220)는 팰릿 수용부(210)로부터 공급 위치(Ls)까지 반송하는 도중에서 기판(S)을 촬상 위치(Li)에서 일시적으로 정지시킨다. 그리고, 트레이 촬상 카메라(Ct)는 촬상 위치(Li)에서 정지되어 있는 기판(S)을 촬상한다. 이러한 구성에서는 트레이(T)를 정지시킨 상태에서 트레이(T)에 있어서의 부품(E) 상태를 촬상할 수 있기 때문에 비교적 높은 정밀도로 부품 촬상을 행할 수 있다.
이렇게 본 실시형태에서는 부품 실장 장치(100)가 본 발명의 「부품 실장 장치」의 일례에 상당하고, 부품(E)이 본 발명의 「부품」의 일례에 상당하고, 기판(S)이 본 발명의 「기판」에 상당하고, 트레이(T)가 본 발명의 「트레이」에 상당하고, 팰릿 수용부(210)가 본 발명의 「트레이 유지부」의 일례에 상당하고, 팰릿 반송 기구(220)가 본 발명의 「팰릿 반송 기구」의 일례에 상당하고, 반송 경로(P)가 본 발명의 「반송 경로」의 일례에 상당하고, 수용 위치(Lc)가 본 발명의 「수용 위치」의 일례에 상당하고, 촬상 위치(Li)가 본 발명의 「촬상 위치」의 일례에 상당하고, 공급 위치(Ls)가 본 발명의 「공급 위치」의 일례에 상당하고, 트레이 촬상 카메라(Ct)가 본 발명의 「카메라」의 일례에 상당하고, 실장 헤드(40)가 본 발명의 「헤드」의 일례에 상당하고, X 프레임(61)이 본 발명의 「이동 프레임」의 일례에 상당하고, 가동 범위(R61)가 본 발명의 「가동 범위」의 일례에 상당하고, 컨트롤러(8)가 본 발명의 「제어부」의 일례에 상당하고, 유저 인터페이스(9)가 본 발명의 「유저 인터페이스」의 일례에 상당한다.
또한, 본 발명은 상기 실시형태에 한정되는 것은 아니고, 그 취지를 일탈하지 않는 한에 있어서 상술한 것에 대하여 각종 변경을 추가하는 것이 가능하다. 예를 들면, 상기 실시형태에서는 부품 공급 장치(200)를 구비하는 부품 실장 장치(100)가 예시되어 있었다. 그러나, 부품 공급 장치(200)와 별체로 구성되어 부품 공급 장치(200)가 뒤에 이어지는 부품 실장 장치(100)에 대해서도 본 발명을 적용가능하다.
또한, 상기 실시형태에서는 트레이 촬상 카메라(Ct)의 구체적인 구성에 대해서는 특별히 언급하지 않았다. 그러나, 트레이 촬상 카메라(Ct)로서는 각종 카메라를 사용할 수 있다. 구체예를 들면, 고체 촬상 소자 등으로 구성된 카메라를 사용할 수 있고, 이 때 1차원 이미지 센서(리니어 이미지 센서) 또는 2차원 이미지 센서(에어리어 이미지 센서) 등을 사용할 수 있다.
또한, 상기 실시형태에서는 트레이 촬상 카메라(Ct)는 연직방향(Z)으로부터 촬상 위치(Li)에 대향하고 있었다. 그러나, 연직방향(Z)에 대하여 기운 각도로부터 촬상 위치(Li)에 대향하도록 예를 들면 경사 상방으로부터 촬상 위치(Li)에 대향하도록 트레이 촬상 카메라(Ct)를 배치해도 좋다.
또한, 상기 실시형태에서는 트레이(T)를 촬상 위치(Li)에서 일시적으로 정지시키고 있었다. 그러나, 촬상 위치(Li)에서 정지시키는 일 없이 팰릿 수용부(210)로부터 공급 위치(Ls)로 트레이(T)를 반송하도록 구성해도 좋다. 이 때, 팰릿 반송 기구(220)에 의해 반송 경로(P)를 따라 반송되고, 촬상 위치(Li)를 통과하는 트레이(T)를 트레이 촬상 카메라(Ct)에 의해 촬상하면 좋다.
또한, 상기 실시형태에서는 복수의 부품(E)이 트레이(T)에 뿌려진 상태에서 수용된 경우가 예시되어 있었다. 그러나, 복수의 부품(E)이 트레이(T)에 정렬된 상태에서 수용된 경우에 대해서도 본 발명을 적용해도 상관없다.
또한, X 프레임(61)의 가동 범위(R61)는 반송 경로(P)에 평행한 방향(전후방향(Y))에 있어서 촬상 위치(Li)와 중복되어 있었다. 그러나, 가동 범위(R61)와 촬상 위치(Li)가 반송 경로(P)에 평행한 방향(전후방향(Y))에 있어서 서로 어긋나 있어도 상관없다.
또한, 상기 실시형태에서는 패턴 매칭에 사용하는 패턴 1, 2의 설정 작업을 이것으로부터 부품 실장에 제공하는 부품(E)을 촬상한 화상에 의거하여 실행하고 있었다. 그러나, 과거에 동종의 부품(E)을 촬상한 화상이 이미 있는 경우는 이것을 서브 뷰(912)에 표시하면서 패턴 1, 2의 설정 작업을 행해도 좋다.
100 부품 실장 장치
E 부품
S 기판
T 트레이
200 부품 공급 장치
210 팰릿 수용부(트레이 유지부)
220 팰릿 반송 기구(트레이 반송부)
P 반송 경로
Y 전후방향(트레이(T)의 반송방향)
Lc 수용 위치
Li 촬상 위치
Ls 공급 위치
Ct 트레이 촬상 카메라(카메라)
40 실장 헤드(헤드)
61 X 프레임(이동 프레임)
R61 가동 범위
8 컨트롤러(제어부)
9 유저 인터페이스

Claims (10)

  1. 부품이 수용된 트레이를 유지하는 트레이 유지부로부터 공급 위치까지 상기 트레이를 반송하는 트레이 반송부와,
    상기 트레이 반송부가 상기 트레이를 반송하는 반송 경로에 있어서의 상기 트레이 유지부와 상기 공급 위치 사이의 촬상 위치에서 상기 트레이에 있어서의 상기 부품의 상태를 촬상하는 카메라와,
    기판 반송 레인과,
    상기 공급 위치까지 반송된 상기 트레이에 수용된 상기 부품을 들어 올려 상기 기판 반송 레인에 의해 반입된 기판으로 이동시키는 헤드를 구비하고,
    상기 촬상 위치는 상기 반송 경로의 도중이며, 상기 트레이 유지부 내의 수용 위치와, 상기 트레이 유지부로부터 상기 기판 반송 레인측의 상기 공급 위치 사이에 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 부품 실장 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 카메라는 상기 트레이의 반송방향에 대하여 수직인 방향으로부터 보아 상기 반송 경로와 평행한 방향에 있어서 상기 공급 위치와는 다른 위치에 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 부품 실장 장치.
  3. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 헤드를 따라 이동하는 이동 프레임을 더 구비하고,
    상기 카메라는 상기 이동 프레임의 가동 범위의 밖에 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 부품 실장 장치.
  4. 제 3 항에 있어서,
    상기 가동 범위는 상기 반송 경로의 상방으로부터 보아 상기 촬상 위치와 중복되어 있고,
    상기 카메라는 상기 트레이의 반송방향에 대하여 평행한 방향으로부터 보아 상기 가동 범위에 대하여 상기 촬상 위치와는 반대측에 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 부품 실장 장치.
  5. 제 4 항에 있어서,
    상기 카메라와 상기 촬상 위치 사이로부터 상기 이동 프레임을 벗어난 상태에서 상기 트레이에 있어서의 상기 부품의 상태를 상기 카메라에 촬상시키는 제어부를 더 구비한 것을 특징으로 하는 부품 실장 장치.
  6. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 반송 경로는 수평이며, 상기 카메라는 상기 촬상 위치의 상방에 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 부품 실장 장치.
  7. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 트레이 반송부는 상기 트레이 유지부로부터 공급 위치까지 반송하는 도중에서 상기 트레이를 상기 촬상 위치에서 일시적으로 정지시키고,
    상기 카메라는 상기 촬상 위치에서 정지되어 있는 상기 트레이를 촬상하는 것을 특징으로 하는 부품 실장 장치.
  8. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 카메라는 상기 트레이 반송부에 의해 상기 반송 경로를 따라 반송되고, 상기 촬상 위치를 통과하는 상기 트레이를 촬상하는 것을 특징으로 하는 부품 실장 장치.
  9. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 카메라가 촬상한 결과를 표시하는 유저 인터페이스를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 부품 실장 장치.
  10. 부품이 수용된 트레이를 유지하는 트레이 유지부로부터 상기 트레이를 인출하여 촬상 위치까지 반송하는 공정과,
    상기 촬상 위치에서 상기 트레이에 있어서의 상기 부품의 상태를 카메라로 촬상하는 공정과,
    상기 촬상 위치로부터 공급 위치까지 상기 트레이를 반송하는 공정과,
    상기 공급 위치까지 반송된 상기 트레이에 수용된 상기 부품을 헤드에 의해 들어 올려 기판 반송 레인에 의해 반입된 기판으로 이동시키는 공정을 구비하고,
    상기 촬상 위치는 상기 트레이의 반송 경로의 도중이며, 상기 트레이 유지부 내의 수용 위치와, 상기 트레이 유지부로부터 상기 기판 반송 레인측의 상기 공급 위치 사이에 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 부품 실장 방법.
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