KR101753019B1 - 기판 처리 장치, 기판 처리 방법, 및 기판 처리 시스템 - Google Patents

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가부시키가이샤 스크린 홀딩스
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Abstract

제 2 기판 처리 장치의 제 2 제어 장치는, 가상 캐리어를 생성함으로써, 직접 반입구를 통하여 제 2 기판 처리 장치에 반입되는 기판의 위치 정보를 당해 기판이 제 2 기판 처리 장치에 반입되기 전에 기억한다. 그리고, 제 2 제어 장치는, 직접 반입구를 통하여 제 2 기판 처리 장치에 반입되는 기판을 제 2 기판 처리 장치의 외부로부터 제 2 기판 처리 장치의 내부로 반송하는 제 2 계획을, 미리 기억한 제 2 기판 처리 장치 밖에서의 기판의 위치 정보에 기초하여 당해 기판이 제 2 기판 처리 장치에 반입되기 전에 작성한다.

Description

기판 처리 장치, 기판 처리 방법, 및 기판 처리 시스템{BOARD PROCESSING APPARATUS, BOARD PROCESSING METHOD, AND BOARD PROCESSING SYSTEM}
본 발명은, 기판을 처리하는 기판 처리 장치, 기판 처리 방법, 및 기판 처리 시스템에 관한 것이다. 처리 대상이 되는 기판에는, 예를 들어, 반도체 웨이퍼, 액정 표시 장치용 기판, 플라즈마 디스플레이용 기판, FED (Field Emission Display) 용 기판, 광 디스크용 기판, 자기 디스크용 기판, 광 자기 디스크용 기판, 포토마스크용 기판, 세라믹 기판, 태양 전지용 기판 등이 포함된다.
반도체 장치나 액정 표시 장치 등의 제조 공정에서는, 세정 처리, 열 처리, 성막 처리, 에칭 처리, 레지스트 도포 처리, 노광 처리, 및 현상 처리 중 두 가지 이상을 포함하는 다수의 공정이 반도체 웨이퍼나 액정 표시 장치용 유리 기판 등의 기판에 실시된다.
특허문헌 1 에는, 성막 처리를 실시하는 성막 처리 장치와, 성막 처리 장치에 의해 성막 처리된 기판을 세정하는 세정 장치와, 성막 처리 장치와 세정 장치 사이에서 기판의 수수 (授受) 를 실시하는 중간 수수부와, 복수 장의 기판을 수용하는 기판 반송용 카세트를 성막 처리 장치에 반송하는 카세트 반송 장치가 개시되어 있다.
특허문헌 2 에는, 기판 처리 장치에 반송된 기판 수용기 내의 복수 장의 기판을 기판 처리 장치 내에서 반송 및 처리할 계획을 작성하는 컴퓨터를 구비하는 기판 처리 장치가 개시되어 있다.
일본 공개특허공보 평10-321575호 미국 특허 출원 공개 제2013/0073069호 명세서
특허문헌 1 에 기재되어 있는 바와 같이, 기판의 품질을 높이기 위해서, 소정의 기판 처리 장치에서의 기판의 처리 종료로부터 다른 기판 처리 장치에서의 기판의 처리 개시까지의 시간을 단축시키고자 하는 경우가 있다. 그러나, 특허문헌 2 에 기재되어 있는 바와 같이, 기판 처리 장치는, 당해 장치 내에서 기판을 반송할 계획을 작성하고 실행한다. 그 때문에, 특허문헌 1 과 같이 3 개의 장치 (성막 장치, 중간 수수부, 및 세정 장치) 간에서 기판을 직접 반송하는 경우에는, 장치 간에서의 기판의 반송이 원활하게 이루어지지 않아 반송 시간의 로스가 발생할 우려가 있다.
그래서, 본 발명의 목적 중 하나는, 복수의 장치 간에서의 기판의 반송을 원 활하게 실시할 수 있는 시간을 단축시킬 수 있는 기판 처리 장치, 기판 처리 방법, 및 기판 처리 시스템을 제공하는 것이다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일 실시형태는, 호스트 컴퓨터로부터의 잡 (Job) 생성 지시에 대응하여 잡을 작성하고, 당해 잡에 기초하여 소정의 관리 에어리어 내에서 기판의 반송 및/또는 처리를 실행하는 기판 처리 장치로서, 당해 기판 처리 장치보다 전단계에서 기판을 처리하는 다른 기판 처리 장치인 제 1 기판 처리 장치에서 처리된 기판을 상기 제 1 기판 처리 장치의 외부에서 직접 지지한 상태에서 당해 기판을 반송하는 중간 장치에 접속되어 있고, 상기 중간 장치로부터 반입되는 기판을 받아들이는 직접 반입구와, 상기 직접 반입구를 통하여 상기 기판 처리 장치에 반입되는 기판을 반송하고, 상기 관리 에어리어 내에서 기판을 반송하는 반송 유닛과, 상기 반송 유닛에 의해 반입되는 기판을 처리하는 복수의 처리 유닛과, 상기 기판 처리 장치를 제어하는 제어 장치를 포함하는 기판 처리 장치를 제공한다.
상기 제어 장치는, 당해 기판 처리 장치에서 처리할 예정인 기판이, 상기 제 1 기판 처리 장치에 위치하였던 것이 상기 호스트 컴퓨터로부터 보고되면, 당해 기판의 상기 제 1 기판 처리 장치에 있어서의 위치 정보를, 당해 제어 장치에서 인식 가능한 가상 기판 위치 정보와 대응지어 기억하는 제 1 스텝과, 상기 호스트 컴퓨터로부터 상기 기판의 잡 생성 지시가 이루어지면, 상기 가상 기판 위치 정보를 사용하여, 상기 기판을 당해 기판 처리 장치에서 반송 및/또는 처리하기 위한 잡을 생성하는 제 2 스텝을 실행한다.
이 구성에 의하면, 기판 처리 장치의 제어 장치는, 처리 예정인 기판의 제 1 기판 처리 장치에 있어서의 위치 정보를, 당해 제어 장치에서 인식 가능한 가상 기판 위치 정보와 대응지어 기억한다. 호스트 컴퓨터로부터의 잡 생성 지시에 대응한 잡 작성에는 처리 예정인 기판의 위치 정보가 필요한데, 본 발명에서는 처리 예정인 기판이 기판 처리 장치에 도달하기 전단계에서 가상 기판 위치 정보의 형태로 이것을 미리 준비하고 있다. 이 때문에, 기판이 실제로 기판 처리 장치에 도달하기 전단계부터 잡의 작성 작업을 실행할 수 있다. 이로써, 복수의 기판 처리 장치 간에서의 기판의 반송을 원활하게 실시할 수 있게 된다.
상기 제어 장치는, 상기 직접 반입구를 통하여 상기 기판 처리 장치에 반입되는 기판을 상기 기판 처리 장치의 외부로부터 상기 기판 처리 장치의 내부로 상기 반송 유닛에게 반송시키는 반입 공정을 포함하는 제 2 계획을, 상기 제 1 스텝에서 기억된 가상 위치 정보를 사용하여, 당해 기판이 상기 기판 처리 장치에 반입되기 전에 작성하는 제 3 스텝을 추가로 실행해도 된다.
이 구성에 의하면, 제 1 기판 처리 장치에서 처리된 기판이, 기판을 직접 지지한 상태에서 반송하는 중간 장치를 개재하여 기판 처리 장치에 반입된다. 그리고, 기판 처리 장치에 반입된 기판은, 반송 유닛에 의해 반송되고, 필요에 따라 처리 유닛에 의해 처리된다. 제어 장치는, 기판 처리 장치에 반입되기 전의 기판의 위치 정보, 요컨대, 기판 처리 장치 밖에서의 기판의 위치 정보를 기억한다. 그리고, 제어 장치는, 기판이 직접 반입구를 통하여 중간 장치로부터 기판 처리 장치에 반입되기 전에, 직접 반입구를 통하여 기판 처리 장치 밖으로부터 기판 처리 장치 중에 기판을 반송하는 제 2 계획을 미리 기억한 위치 정보에 기초하여 작성한다. 이와 같이, 기판 처리 장치 밖에서의 기판의 반송 공정도 포함하는 제 2 계획이 작성되므로, 기판 처리 장치 밖으로부터 기판 처리 장치 중으로의 기판의 반송이 원활하게 이루어진다. 그 결과, 제 1 기판 처리 장치에 반입된 기판이 중간 장치를 개재하여 기판 처리 장치에 반입될 때까지 발생하는 시간의 로스가 저감된다. 이로써, 제 1 기판 처리 장치로부터 기판 처리 장치까지의 기판의 반송 시간을 단축시킬 수 있다.
상기 제어 장치는, 상기 제 1 기판 처리 장치에서 처리된 기판을 당해 기판이 상기 기판 처리 장치에 반입되기 전에 검사하는 검사 유닛의 검사 결과에 따른 기판 처리 조건을 설정하는 제 4 스텝을 추가로 실행해도 된다. 상기 제 3 스텝은, 상기 반입 공정과, 상기 반입 공정에서 상기 복수의 처리 유닛에 반송된 기판을 상기 기판 처리 조건에서 상기 복수의 처리 유닛에 처리시키는 처리 공정을 포함하는 상기 제 2 계획을, 상기 제 1 스텝에서 기억된 가상 위치 정보를 사용하여 당해 기판이 상기 기판 처리 장치에 반입되기 전에 작성하는 스텝을 포함하고 있어도 된다.
이 구성에 의하면, 제 1 기판 처리 장치에서 처리된 기판의 품질이, 당해 기판이 기판 처리 장치에 반입되기 전에 검사된다. 제어 장치는, 반송 유닛이 직접 반입구로부터 기판 처리 장치의 내부로 기판을 반송할 뿐만 아니라, 처리 유닛이 검사 결과에 따른 기판 처리 조건에서 기판을 처리하도록 제 2 계획을 작성한다. 따라서, 기판의 품질에 따른 처리를 처리 유닛에서 실시할 수 있어, 기판의 품질을 높일 수 있다.
상기 제 4 스텝은, 상기 제 1 기판 처리 장치 및 중간 장치의 일방에 형성된 상기 검사 유닛의 검사 결과에 따라 상기 기판 처리 조건을 설정하는 스텝을 포함하고 있어도 된다.
이 구성에 의하면, 검사 유닛이 제 1 기판 처리 장치 및 중간 장치의 일방에 형성되어 있고, 제 1 기판 처리 장치에서 처리된 기판의 품질이, 제 1 기판 처리 장치 및 중간 장치의 일방에서 검사된다. 검사 유닛이 제 1 기판 처리 장치 및 중간 장치 이외의 장치, 요컨대 기판의 반송 경로 외에 형성되어 있는 경우, 제 1 기판 처리 장치 및 중간 장치 밖까지 기판을 반송하는 것이 필요하고, 그것을 위한 여분의 반송 시간이 발생한다. 따라서, 제 1 기판 처리 장치 및 중간 장치의 일방에 검사 유닛을 형성함으로써, 제 1 기판 처리 장치로부터 기판 처리 장치까지의 기판의 반송 시간을 단축시킬 수 있다.
상기 제 3 스텝은, 상기 직접 반입구를 통하여 상기 기판 처리 장치에 반입되는 기판이, 상기 복수의 처리 유닛을 회피하여 상기 기판 처리 장치의 외부로부터 상기 로드 포트에 상기 반송 유닛에 의해 반송되도록, 상기 제 2 계획을 작성하는 스텝을 포함하고 있어도 된다.
이 구성에 의하면, 반송 유닛이 직접 반입구를 통하여 중간 장치로부터 로드 포트에 기판을 반송하도록 제어 장치가 제 2 계획을 작성한다. 따라서, 직접 반입구를 통하여 기판 처리 장치에 반입된 기판은, 복수의 처리 유닛에서 처리되지 않고, 로드 포트에 반송된다. 예를 들어 제 1 기판 처리 장치에서 처리된 기판이 불량인 경우, 제 2 기판 처리 장치에서의 기판의 처리는 불필요해진다. 따라서, 이와 같은 경우에, 제 2 기판 처리 장치에서의 기판의 처리를 회피함으로써, 제 2 기판 처리 장치의 가동률을 높일 수 있다. 또한, 기판이 처리 유닛을 경유하는 경우보다 반송 경로가 짧아지므로, 제 2 기판 처리 장치 내에서의 기판의 체재 시간이 단축된다. 따라서, 예를 들어 중간 장치로부터 기판 처리 장치에 반입된 기판이 오염되어 있는 경우에는, 기판에 부착되어 있는 이물질에 의해 기판 처리 장치의 내부가 오염되는 것을 억제 또는 방지할 수 있다. 이로써, 다른 기판의 품질을 향상시킬 수 있다.
상기 기판 처리 장치는, 기판을 퇴피시키는 퇴피 유닛을 추가로 포함하고 있어도 된다. 상기 제 3 스텝은, 상기 직접 반입구를 통하여 상기 기판 처리 장치에 반입되는 기판이, 상기 반송 유닛에 의해 상기 기판 처리 장치의 외부로부터 상기 퇴피 유닛에 반송되고, 상기 퇴피 유닛으로부터 상기 복수의 로드 포트에 반송되도록, 상기 제 2 계획을 작성하는 스텝을 포함하고 있어도 된다. 퇴피 유닛은, 복수의 처리 유닛에 반송되는 기판의 반송 경로 (기판 처리 장치 내에서의 반송 경로) 외에 배치되어 있는 것이 바람직하다.
이 구성에 의하면, 반송 유닛이 직접 반입구를 통하여 중간 장치로부터 퇴피 유닛에 기판을 반송하고, 그 후, 퇴피 유닛으로부터 복수의 로드 포트에 당해 기판을 반송하도록 제어 장치가 제 2 계획을 작성한다. 즉, 직접 반입구를 지나 기판 처리 장치에 반입된 기판은, 복수의 처리 유닛 대신에, 기판을 퇴피시키는 퇴피 유닛을 경유하여, 중간 장치로부터 복수의 로드 포트에 반송된다. 전술한 바와 같이, 제 1 기판 처리 장치에서 처리된 기판이 불량인 경우, 제 2 기판 처리 장치에서의 기판의 처리는 불필요해진다. 따라서, 이와 같은 경우에, 제 2 기판 처리 장치에서의 기판의 처리를 회피함으로써, 제 2 기판 처리 장치의 가동률을 높일 수 있다. 또한, 기판은, 처리 유닛 대신에 퇴피 유닛을 경유하므로, 제어 장치는, 퇴피시켜야 할 기판의 계획을 처리 유닛에서 처리되는 기판과 동일하게 작성할 수 있다.
상기 기판 처리 장치는, 복수 장의 기판을 수용 가능한 복수의 캐리어를 각각 유지하는 복수의 로드 포트를 추가로 포함하고 있어도 된다. 상기 제어 장치는, 기판을 상기 복수의 로드 포트로부터 상기 복수의 처리 유닛으로 상기 반송 유닛에게 반송시키는 반입 공정과, 상기 복수의 처리 유닛에 반송된 기판을 상기 복수의 처리 유닛에 처리시키는 처리 공정과, 상기 복수의 처리 유닛에서 처리된 기판을 상기 복수의 처리 유닛으로부터 상기 복수의 로드 포트로 상기 반송 유닛에게 반송시키는 반출 공정을 포함하는 제 1 계획을 작성하는 제 5 스텝을 추가로 실행해도 된다.
이 구성에 의하면, 복수의 캐리어를 각각 유지하는 복수의 로드 포트가 기판 처리 장치에 형성되어 있다. 제어 장치는, 캐리어 내의 기판이 로드 포트로부터 처리 유닛에 반송되고, 처리 유닛에서 처리된 기판이 처리 유닛으로부터 로드 포트에 반송되도록 제 1 계획을 작성한다. 이와 같이, 기판 처리 장치는, 직접 반입구뿐만 아니라, 로드 포트로부터도 기판을 받아들일 수 있으므로, 기판 처리 장치의 가동률을 높일 수 있다.
상기 제어 장치는, 상기 제 1 계획 및 제 2 계획의 일방의 실행을 정지시키고, 상기 제 1 계획 및 제 2 계획의 타방을 상기 기판 처리 장치에 실행시키는 제 6 스텝을 추가로 실행해도 된다.
이 구성에 의하면, 제 1 계획 및 제 2 계획의 일방, 요컨대 우선해야 할 우선 계획과는 상이한 비우선 계획의 실행이 일시 정지 또는 중지된다. 그리고, 제 1 계획 및 제 2 계획의 타방, 요컨대 우선 계획이 기판 처리 장치에 의해 실행된다. 따라서, 우선 계획에 대응하는 기판의 처리 개시를 앞당길 수 있다. 그 때문에, 우선 계획에 대응하는 기판에 관하여, 선행 장치 (제 1 기판 처리 장치) 에서의 기판의 처리 종료로부터 후속 장치 (제 2 기판 처리 장치) 에서의 기판의 처리 개시까지의 시간을 단축시킬 수 있다.
본 발명의 다른 실시형태는, 호스트 컴퓨터로부터의 잡 생성 지시에 대응하여 잡을 작성하고, 당해 잡에 기초하여 소정의 관리 에어리어 내에서 기판의 반송 및/또는 처리를 실행하는 기판 처리 장치로서, 당해 기판 처리 장치보다 전단계에서 기판을 처리하는 다른 기판 처리 장치인 제 1 기판 처리 장치에서 처리된 기판을 상기 제 1 기판 처리 장치의 외부에서 직접 지지한 상태에서 당해 기판을 반송하는 중간 장치에 접속되어 있고, 상기 중간 장치로부터 반입되는 기판을 받아들이는 직접 반입구와, 상기 직접 반입구를 통하여 상기 기판 처리 장치에 반입되는 기판을 반송하고, 상기 관리 에어리어 내에서 기판을 반송하는 반송 유닛과, 상기 반송 유닛에 의해 반입되는 기판을 처리하는 복수의 처리 유닛과, 상기 기판 처리 장치를 제어하는 제어 장치를 포함하는, 상기 기판 처리 장치에 의해 실행되는 기판 처리 방법을 제공한다.
상기 기판 처리 방법은, 당해 기판 처리 장치에서 처리할 예정인 기판이, 상기 제 1 기판 처리 장치에 위치하였던 것이 상기 호스트 컴퓨터로부터 보고되면, 당해 기판의 상기 제 1 기판 처리 장치에 있어서의 위치 정보를, 당해 제어 장치에서 인식 가능한 가상 기판 위치 정보와 대응지어 기억하는 제 1 스텝과, 상기 호스트 컴퓨터로부터 상기 기판의 잡 생성 지시가 이루어지면, 상기 가상 기판 위치 정보를 사용하여, 상기 기판을 당해 기판 처리 장치에서 반송 및/또는 처리하기 위한 잡을 생성하는 제 2 스텝을 포함한다. 이 방법에 의하면, 전술한 효과와 동일한 효과를 발휘할 수 있다.
상기 기판 처리 방법은, 상기 직접 반입구를 통하여 상기 기판 처리 장치에 반입되는 기판을 상기 기판 처리 장치의 외부로부터 상기 기판 처리 장치의 내부로 상기 반송 유닛에게 반송시키는 반입 공정을 포함하는 제 2 계획을, 상기 제 1 스텝에서 기억된 가상 위치 정보를 사용하여, 당해 기판이 상기 기판 처리 장치에 반입되기 전에 작성하는 제 3 스텝을 추가로 포함하고 있어도 된다. 이 방법에 의하면, 전술한 효과와 동일한 효과를 발휘할 수 있다.
상기 기판 처리 방법은, 상기 제 1 기판 처리 장치에서 처리된 기판을 당해 기판이 상기 기판 처리 장치에 반입되기 전에 검사하는 검사 유닛의 검사 결과에 따른 기판 처리 조건을 설정하는 제 4 스텝을 추가로 포함하고 있어도 된다. 상기 제 3 스텝은, 상기 반입 공정과, 상기 반입 공정에서 상기 복수의 처리 유닛에 반송된 기판을 상기 기판 처리 조건에서 상기 복수의 처리 유닛에 처리시키는 처리 공정을 포함하는 상기 제 2 계획을, 상기 제 1 스텝에서 기억된 가상 위치 정보를 사용하여 당해 기판이 상기 기판 처리 장치에 반입되기 전에 작성하는 스텝을 포함하고 있어도 된다. 이 방법에 의하면, 전술한 효과와 동일한 효과를 발휘할 수 있다.
상기 제 4 스텝은, 상기 제 1 기판 처리 장치 및 중간 장치의 일방에 형성된 상기 검사 유닛의 검사 결과에 따라 상기 기판 처리 조건을 설정하는 스텝을 포함하고 있어도 된다. 이 방법에 의하면, 전술한 효과와 동일한 효과를 발휘할 수 있다.
상기 제 3 스텝은, 상기 직접 반입구를 통하여 상기 기판 처리 장치에 반입되는 기판이, 상기 복수의 처리 유닛을 회피하여 상기 기판 처리 장치의 외부로부터 상기 로드 포트에 상기 반송 유닛에 의해 반송되도록, 상기 제 2 계획을 작성하는 스텝을 포함하고 있어도 된다. 이 방법에 의하면, 전술한 효과와 동일한 효과를 발휘할 수 있다.
상기 기판 처리 장치는, 기판을 퇴피시키는 퇴피 유닛을 추가로 포함하고 있어도 된다. 상기 제 3 스텝은, 상기 직접 반입구를 통하여 상기 기판 처리 장치에 반입되는 기판이, 상기 반송 유닛에 의해 상기 기판 처리 장치의 외부로부터 상기 퇴피 유닛에 반송되고, 상기 퇴피 유닛으로부터 상기 복수의 로드 포트에 반송되도록, 상기 제 2 계획을 작성하는 스텝을 포함하고 있어도 된다. 이 방법에 의하면, 전술한 효과와 동일한 효과를 발휘할 수 있다.
상기 기판 처리 장치는, 복수 장의 기판을 수용 가능한 복수의 캐리어를 각각 유지하는 복수의 로드 포트를 추가로 포함하고 있어도 되고 상기 기판 처리 방법은, 기판을 상기 복수의 로드 포트로부터 상기 복수의 처리 유닛으로 상기 반송 유닛에게 반송시키는 반입 공정과, 상기 복수의 처리 유닛에 반송된 기판을 상기 복수의 처리 유닛에 처리시키는 처리 공정과, 상기 복수의 처리 유닛에서 처리된 기판을 상기 복수의 처리 유닛으로부터 상기 복수의 로드 포트로 상기 반송 유닛에게 반송시키는 반출 공정을 포함하는 제 1 계획을 작성하는 제 5 스텝을 추가로 포함하고 있어도 된다. 이 방법에 의하면, 전술한 효과와 동일한 효과를 발휘할 수 있다.
상기 기판 처리 방법은, 상기 제 1 계획 및 제 2 계획의 일방의 실행을 정지시키고, 상기 제 1 계획 및 제 2 계획의 타방을 상기 기판 처리 장치에 실행시키는 제 6 스텝을 추가로 포함하고 있어도 된다. 이 구성에 의하면, 전술한 효과와 동일한 효과를 발휘할 수 있다.
본 발명의 또 다른 실시형태는, 기판을 처리하는 제 1 기판 처리 장치와, 상기 기판 처리 장치와, 상기 제 1 기판 처리 장치에서 처리된 기판을 상기 제 1 기판 처리 장치의 외부에서 직접 지지한 상태에서 상기 제 1 기판 처리 장치와 상기 기판 처리 장치 사이에서 반송하는 중간 장치를 포함하는 기판 처리 시스템을 제공한다. 이 구성에 의하면, 전술한 효과와 동일한 효과를 발휘할 수 있다.
본 발명에 있어서의 전술한, 또는 또 다른 목적, 특징 및 효과는, 첨부 도면을 참조하여 다음에 서술하는 실시형태의 설명에 의해 분명해진다.
도 1 은, 본 발명의 일 실시형태에 관련된 기판 처리 시스템 (1) 의 모식적인 평면도이다.
도 2 는, 본 발명의 일 실시형태에 관련된 제 2 기판 처리 장치 (4) 의 내부의 구성을 나타내는 모식적인 측면도이다.
도 3 은, 본 발명의 일 실시형태에 관련된 중간 장치 (3) 의 내부의 구성을 나타내는 모식적인 정면도이다.
도 4 는, 제 2 기판 처리 장치 (4) 의 전기적 구성을 설명하기 위한 블록도이다.
도 5 는, 기판 (W) 이 제 1 기판 처리 장치 (2) 및 제 2 기판 처리 장치 (4) 에서 처리될 때의 플로 차트이다.
도 6 은, 제 2 기판 처리 장치 (4) 에서 잡이 생성되고 나서 제 2 기판 처리 장치 (4) 에서 기판 (W) 이 처리될 때까지의 플로 차트이다.
도 7 은, 제 1 캐리어 설치 정보의 데이터 구조를 설명하는 도표이다.
도 8 은, 가상 캐리어 생성 지시의 데이터 구조를 설명하는 도표이다.
도 9 는, 제 1 캐리어의 속성 정보와 가상 캐리어의 속성 정보의 대응을 설명하는 도표이다.
도 10 은, 잡의 데이터 구조를 설명하는 도표이다.
도 11 은, 변경 후의 잡의 데이터 구조를 설명하는 도표이다.
도 1 은, 본 발명의 일 실시형태에 관련된 기판 처리 시스템 (1) 의 모식적인 평면도이다. 도 2 는, 본 발명의 일 실시형태에 관련된 제 2 기판 처리 장치 (4) 의 내부의 구성을 나타내는 모식적인 측면도이다. 도 3 은, 본 발명의 일 실시형태에 관련된 중간 장치 (3) 의 내부의 구성을 나타내는 모식적인 정면도이다.
도 1 에 나타내는 바와 같이, 기판 처리 시스템 (1) 은, 기판 (W) 을 1 장씩 처리하는 매엽식의 제 1 기판 처리 장치 (2) 와, 기판 (W) 을 1 장씩 처리하는 매엽식 (枚葉式) 의 제 2 기판 처리 장치 (4) 와, 제 1 기판 처리 장치 (2) 와 제 2 기판 처리 장치 (4) 를 서로 접속하는 중간 장치 (3) 와, 복수 장의 기판 (W) 을 수용 가능한 캐리어 (C) (예를 들어, FUOP) 를 제 1 기판 처리 장치 (2) 와 제 2 기판 처리 장치 (4) 에 반송하는 캐리어 반송 로봇 (5) 을 포함한다. 캐리어 (C) 는, 간격을 두고 상하 방향으로 배치된 복수의 슬롯 (선반) 을 내부에 갖고 있다. 캐리어 (C) 는, 복수 장의 기판 (W) 이 수평한 자세로 간격을 두고 상하로 적층되도록 당해 복수 장의 기판 (W) 을 복수의 슬롯으로 지지 가능하다.
제 1 기판 처리 장치 (2) 는, 세정 장치, 열 처리 장치, 성막 장치, 에칭 장치, 레지스트 도포 장치, 노광 장치, 및 현상 장치 중 어느 것이어도 되고, 기판 (W) 에 대한 그 밖의 처리를 실시하는 장치여도 된다. 제 2 기판 처리 장치 (4) 에 대해서도 동일하다. 또, 제 1 기판 처리 장치 (2) 및 제 2 기판 처리 장치 (4) 는, 동종의 처리를 기판 (W) 에 실시하는 장치여도 되고, 상이한 종류의 처리를 기판 (W) 에 실시하는 장치여도 된다. 이하에서는, 제 1 기판 처리 장치 (2) 가 드라이 에칭 장치이며, 제 2 기판 처리 장치 (4) 가 드라이 에칭 후의 기판 (W) 을 약액이나 린스액 등의 세정액으로 세정하는 웨트 세정 장치인 예에 대해 설명한다.
도 1 에 나타내는 바와 같이, 제 1 기판 처리 장치 (2) 는, 수평한 배열 방향 (D1) 으로 배열된 상태에서 복수의 캐리어 (C) 를 각각 유지하는 복수의 제 1 로드 포트 (LP1) 와, 제 1 로드 포트 (LP1) 에 유지되어 있는 캐리어 (C) 로부터 반출된 기판 (W) 을 처리하는 (드라이 에칭하는) 매엽식의 제 1 처리 모듈 (7) 과, 제 1 로드 포트 (LP1) 와 제 1 처리 모듈 (7) 과 중간 장치 (3) 사이에서 기판 (W) 을 반송하는 제 1 인덱서 모듈 (6) 과, 제 1 기판 처리 장치 (2) 에 구비된 장치의 동작이나 밸브의 개폐를 제어하는 제 1 제어 장치 (8) 를 포함한다. 제 1 기판 처리 장치 (2) 는, 추가로, 제 1 처리 모듈 (7) 에 의해 처리된 기판 (W) 을 검사하는 제 1 검사 유닛 (9) 을 포함한다. 제 1 검사 유닛 (9) 의 일례는, 처리 후의 기판 (W) (드라이 에칭 후의 기판 (W)) 의 표면에 형성된 패턴의 선폭을 측정하는 주사형 전자 현미경을 구비하는 유닛이다.
도 1 에 나타내는 바와 같이, 제 1 인덱서 모듈 (6) 은, 기판 (W) 을 수평한 자세로 반송하는 제 1 반송 로봇으로서의 제 1 인덱서 로봇 (IR1) 과, 제 1 인덱서 로봇 (IR1) 및 제 1 검사 유닛 (9) 을 수용하는 제 1 인덱서 박스 (10) 를 포함한다. 제 1 인덱서 박스 (10) 는 제 1 로드 포트 (LP1), 제 1 처리 모듈 (7), 및 중간 장치 (3) 에 접속되어 있고, 제 1 처리 모듈 (7) 및 중간 장치 (3) 의 내부는 제 1 인덱서 박스 (10) 의 내부에 접속되어 있다. 제 1 인덱서 로봇 (IR1) 은, 캐리어 (C), 제 1 처리 모듈 (7), 제 1 검사 유닛 (9), 및 중간 장치 (3) 에 대해 기판 (W) 의 반입 또는 반출을 실시하고, 캐리어 (C), 제 1 처리 모듈 (7), 제 1 검사 유닛 (9), 및 중간 장치 (3) 사이에서 기판 (W) 을 반송한다.
처리되지 않은 기판 (W) (제 1 기판 처리 장치 (2) 에 의해 처리되기 전의 기판 (W)) 이 수용된 캐리어 (C) 는, 캐리어 반송 로봇 (5) 에 의해 제 1 로드 포트 (LP1) 상에 놓인다. 제 1 로드 포트 (LP1) 상의 캐리어 (C) 내의 기판 (W) 은, 제 1 인덱서 박스 (10) 의 내부를 통하여, 제 1 인덱서 로봇 (IR1) 에 의해 캐리어 (C) 로부터 제 1 처리 모듈 (7) 에 반송된다. 그리고, 제 1 처리 모듈 (7) 에서 처리된 기판 (W) 은, 제 1 인덱서 로봇 (IR1) 에 의해 제 1 처리 모듈 (7) 로부터 제 1 인덱서 박스 (10) 에 반송된다. 처리 완료된 모든 기판 (W) 은, 제 1 인덱서 로봇 (IR1) 에 의해 1 장씩 제 1 검사 유닛 (9) 에 반입되고, 제 1 검사 유닛 (9) 에 의해 1 장씩 검사된다. 그리고, 처리 및 검사 완료된 기판 (W) 은, 제 1 인덱서 로봇 (IR1) 에 의해 제 1 로드 포트 (LP1) 에 유지되어 있는 캐리어 (C) 또는 중간 장치 (3) 에 반송된다. 또, 처리 및 검사 완료된 기판 (W) 이 반입된 캐리어 (C) 는, 캐리어 반송 로봇 (5) 에 의해 제 1 로드 포트 (LP1) 로부터 제 2 기판 처리 장치 (4) 에 반송된다.
도 1 및 도 3 에 나타내는 바와 같이, 중간 장치 (3) 는, 제 1 기판 처리 장치 (2) 로부터 반출된 기판 (W) 을 수평한 자세로 지지 가능한 상류 지지 부재 (11) 와, 제 2 기판 처리 장치 (4) 에 반입되는 복수 장의 기판 (W) 을 수평한 자세로 지지 가능한 하류 지지 부재 (12) 와, 상류 지지 부재 (11) 와 하류 지지 부재 (12) 사이에서 기판 (W) 을 수평한 자세로 반송하는 중간 반송 로봇 (R3) 과, 상류 지지 부재 (11), 하류 지지 부재 (12), 및 중간 반송 로봇 (R3) 을 수용하는 중간 박스 (14) 와, 중간 장치 (3) 에 구비된 장치의 동작이나 밸브의 개폐를 제어하는 중간 제어 장치 (13) 를 포함한다.
도 1 에 나타내는 바와 같이, 상류 지지 부재 (11) 는, 배열 방향 (D1) 과 직교하는 수평한 직교 방향 (D2) 으로 간격을 두고 대향하는 2 장의 지지 플레이트 (11a) 를 갖고 있다. 2 장의 지지 플레이트 (11a) 는, 제 1 인덱서 로봇 (IR1) 측으로 열려 있음과 함께, 중간 반송 로봇 (R3) 측으로 열려 있다. 2 장의 지지 플레이트 (11a) 에는 도시되지 않은 슬롯이 형성되어 있다. 제 1 인덱서 로봇 (IR1) 은 이 슬롯에 제 1 검사 유닛 (9) 으로부터 꺼낸 1 장의 기판 (W) 을 재치 (載置) 할 수 있다.
도 1 에 나타내는 바와 같이, 하류 지지 부재 (12) 는, 직교 방향 (D2) 으로 간격을 두고 대향하는 2 장의 지지 플레이트 (12a) 를 갖고 있다. 2 장의 지지 플레이트 (12a) 는, 중간 반송 로봇 (R3) 측으로 열려 있음과 함께, 제 2 기판 처리 장치 (4) 측으로 열려 있다. 2 장의 지지 플레이트 (12a) 사이에는, 간격을 두고 상하 방향으로 배열된 복수의 슬롯 (선반) 이 예를 들어 10 단분, 배치 형성되어 있고, 2 장의 지지 플레이트 (12a) 사이에 복수 장의 기판 (W) 을 수평한 자세로 간격을 두고 상하로 적층할 수 있다. 또한, 하류 지지 부재 (12) 의 슬롯의 수는 후술하는 제 2 로드 포트 (LP2) 에 놓이는 캐리어 (C) 의 슬롯의 수와 동수인 것이 바람직하다.
중간 반송 로봇 (R3) 은 상류 지지 부재 (11) 로부터 꺼낸 기판 (W) 을 하류 지지 부재 (12) 의 2 장의 지지 플레이트 (12a) 사이에 배치 형성된 복수의 슬롯 증 1 개에 반입한다. 하류 지지 부재 (12) 는 상기 복수의 슬롯에 의해 복수 장의 기판 (W) 을 유지할 수 있으므로, 하류 지지 부재 (12) 는 복수 장의 기판 (W) 을 버퍼 (일차적으로 유지) 할 수 있다.
도 3 에 나타내는 바와 같이, 중간 박스 (14) 는, 제 1 기판 처리 장치 (2) 에 접속된 상류 박스 (15) 와, 제 2 기판 처리 장치 (4) 에 접속된 하류 박스 (17) 와, 상류 박스 (15) 와 하류 박스 (17) 에 접속된 박스 본체 (16) 를 포함한다. 중간 장치 (3) 는, 추가로, 박스 본체 (16) 의 내부와 하류 박스 (17) 의 내부를 연결하는 개구를 밀폐하는 상류 셔터 (18) 와, 상류 셔터 (18) 를 개폐시키는 제 1 개폐 장치 (도시 생략) 와, 제 2 기판 처리 장치 (4) 에 형성된 개구 (직접 반입구 (25a)) 에 접속된 하류 박스 (17) 의 개구를 밀폐하는 하류 셔터 (19) 와, 하류 셔터 (19) 를 개폐시키는 제 2 개폐 장치 (도시 생략) 와, 하류 박스 (17) 내의 기체를 배출하는 배기 덕트 (20) 를 포함한다.
상류 셔터 (18) 는, 박스 본체 (16) 로부터 하류 박스 (17) 로 기판 (W) 이 반송될 때 이외에는 닫혀 있다. 마찬가지로, 하류 셔터 (19) 는, 하류 박스 (17) 로부터 제 2 기판 처리 장치 (4) 로 기판 (W) 이 반송될 때 이외에는 닫혀 있다. 상류 셔터 (18) 및 하류 셔터 (19) 가 닫혀 있는 상태에서는, 하류 박스 (17) 의 내부가, 박스 본체 (16) 의 내부와 제 2 기판 처리 장치 (4) 의 내부로부터 격리된다. 이 상태에서, 하류 박스 (17) 내의 기체가, 배기 덕트 (20) 를 통하여 배출되면, 하류 박스 (17) 의 내부가 감압된다. 상류 셔터 (18) 및 하류 셔터 (19) 가 닫혀 있는 상태에서는, 하류 박스 (17) 내의 기압은, 제 1 기판 처리 장치 (2) 내의 기압 (제 1 인덱서 모듈 (6) 내의 기압) 보다 낮고, 제 2 기판 처리 장치 (4) 내의 기압 (후술하는 제 2 인덱서 박스 (25) 내의 기압) 이상의 값으로 유지된다.
도 1 에 나타내는 바와 같이, 제 1 기판 처리 장치 (2) 내의 기판 (W) 은, 제 1 기판 처리 장치 (2) 의 내부 (제 1 인덱서 박스 (10) 의 내부) 와 상류 박스 (15) 의 내부를 연결하는 개구 (직접 반출구 (10a)) 를 통하여, 제 1 인덱서 로봇 (IR1) 에 의해, 제 1 기판 처리 장치 (2) 의 제 1 검사 유닛 (9) 으로부터 중간 장치 (3) 의 상류 지지 부재 (11) 에 반송되어 지지된다. 상류 지지 부재 (11) 에 지지된 기판 (W) 은, 상류 셔터 (18) 가 열려 있는 상태에서, 중간 반송 로봇 (R3) 에 의해 상류 지지 부재 (11) 로부터 하류 지지 부재 (12) 에 수평한 자세로 반송되어 지지된다. 그 후, 하류 지지 부재 (12) 에 지지된 기판 (W) 은, 하류 셔터 (19) 가 열려 있는 상태에서, 후술하는 제 2 기판 처리 장치 (4) 의 제 2 인덱서 로봇 (IR2) 에 의해, 하류 지지 부재 (12) 로부터 제 2 기판 처리 장치 (4) 에 반송된다. 이로써, 중간 장치 (3) 를 개재하여 제 1 기판 처리 장치 (2) 로부터 제 2 기판 처리 장치 (4) 에 기판 (W) 이 반송된다.
도 1 에 나타내는 바와 같이, 제 2 기판 처리 장치 (4) 는 케이싱 (4a) 과 복수의 제 2 로드 포트 (LP2) 를 구비하고 있다. 케이싱 (4a) 에는 배열 방향 (D1) 으로 배열된 상태에서 복수의 캐리어 (C) 를 각각 유지하는 복수의 제 2 로드 포트 (LP2) 가 접속되어 있다. 또, 케이싱 (4a) 내부의 관리 에어리어 (4b) 에는, 제 2 로드 포트 (LP2) 에 유지되어 있는 캐리어 (C) 로부터 반출된 기판 (W) 을 처리하는 (세정하는) 제 2 처리 모듈 (23) 과, 제 2 로드 포트 (LP2) 에 유지되어 있는 캐리어 (C) 와 제 2 처리 모듈 (23) 과 중간 장치 (3) 사이에서 기판 (W) 을 반송하는 제 2 인덱서 모듈 (22) 이 배치 형성되어 있다. 제 2 기판 처리 장치 (4) 는, 추가로, 제 2 기판 처리 장치 (4) 에 구비된 장치의 동작이나 밸브의 개폐를 제어하는 제 2 제어 장치 (24) 를 갖고 있다.
도 1 에 나타내는 바와 같이, 제 2 인덱서 모듈 (22) 은, 관리 에어리어 (4b) 내에서 기판 (W) 을 수평한 자세로 반송하는 제 2 반송 로봇으로서의 제 2 인덱서 로봇 (IR2) 과, 제 2 인덱서 로봇 (IR2) 을 수용하는 제 2 인덱서 박스 (25) 를 포함한다. 제 2 인덱서 로봇 (IR2) 과, 후술하는 제 2 센터 로봇 (CR2) 및 일시 유지 유닛 (27) 은, 제 2 반송 유닛의 일례이다.
제 2 인덱서 박스 (25) 는 제 2 로드 포트 (LP2), 제 2 처리 모듈 (23), 및 중간 장치 (3) 에 접속되어 있고, 제 2 처리 모듈 (23) 및 중간 장치 (3) 의 내부는 제 2 인덱서 박스 (25) 의 내부에 접속되어 있다. 제 2 인덱서 박스 (25) 의 내부와 중간 박스 (14) 의 내부를 연결하는 직접 반입구 (25a) 는, 하류 셔터 (19) 에 의해 밀폐되어 있고, 하류 셔터 (19) 에 의해 개폐된다. 제 2 인덱서 로봇 (IR2) 은, 캐리어 (C), 제 2 처리 모듈 (23), 및 중간 장치 (3) 에 대해 기판 (W) 의 반입 또는 반출을 실시하고, 캐리어 (C), 제 2 처리 모듈 (23), 및 중간 장치 (3) 사이에서 기판 (W) 을 반송한다.
도 1 및 도 2 에 나타내는 바와 같이, 제 2 인덱서 로봇 (IR2) 은, 상이한 높이에 배치된 2 개의 핸드 (H) 를 구비하고 있다. 도 1 에서는, 2 개의 핸드 (H) 가 평면에서 보아 겹쳐져 있는 상태가 나타내어져 있다. 제 2 인덱서 로봇 (IR2) 은, 관리 에어리어 (4b) 내에서 핸드 (H) 를 수평 방향 및 연직 방향으로 이동시킨다. 또한, 제 2 인덱서 로봇 (IR2) 은, 연직 축선 둘레로 회전 (자전) 함으로써, 핸드 (H) 의 방향을 변경한다. 또한, 제 2 인덱서 로봇 (IR2) 은, 수수 위치 (도 1 에 나타내는 위치) 를 지나는 경로를 따라 배열 방향 (D1) 으로 이동한다. 수수 위치는, 평면에서 보아, 제 2 인덱서 로봇 (IR2) 및 제 2 처리 모듈 (23) (후술하는 일시 유지 유닛 (27)) 이 직교 방향 (D2) 에 대향하는 위치이다.
제 2 인덱서 로봇 (IR2) 은, 배열 방향 (D1) 으로 이동함과 함께, 핸드 (H) 를 수평 방향 및 연직 방향으로 이동시킴으로써, 제 2 로드 포트 (LP2) 상의 임의의 캐리어 (C) 에 핸드 (H) 를 대향시킨다. 마찬가지로, 제 2 인덱서 로봇 (IR2) 은, 핸드 (H) 를 수평 방향 및 연직 방향으로 이동시킴으로써, 제 2 처리 모듈 (23) (후술하는 일시 유지 유닛 (27)) 이나 중간 장치 (3) 의 하류 지지 부재 (12) 에 핸드 (H) 를 대향시킨다. 그리고, 제 2 인덱서 로봇 (IR2) 은, 캐리어 (C), 제 2 처리 모듈 (23), 및 중간 장치 (3) 중 어느 것에 핸드 (H) 가 대향하고 있는 상태에서, 핸드 (H) 를 수평 방향 및 연직 방향으로 이동시킴으로써, 캐리어 (C), 제 2 처리 모듈 (23), 및 중간 장치 (3) 중 어느 것에 대해 기판 (W) 의 반입 또는 반출을 실시한다.
도 1 에 나타내는 바와 같이, 제 2 처리 모듈 (23) 은, 제 2 인덱서 모듈 (22) 에 의해 캐리어 (C) 로부터 반출된 기판 (W) 을 1 장씩 처리하는 (세정하는) 매엽식의 복수의 제 2 처리 유닛 (MPC) 을 구비하고 있다. 도 1 에서는, 12 개의 제 2 처리 유닛 (MPC) 이 제 2 처리 모듈 (23) 에 형성되어 있는 예가 나타내어져 있다. 제 2 처리 모듈 (23) 은, 추가로, 제 2 처리 모듈 (23) 내에서 기판 (W) 을 수평한 자세로 반송하는 제 2 센터 로봇 (CR2) 과, 제 2 로드 포트 (LP2) 에 유지되어 있는 캐리어 (C) 또는 중간 장치 (3) 로부터 반송된 기판 (W) 을 일시적으로 유지하는 일시 유지 유닛 (27) 을 구비하고 있다. 제 2 인덱서 로봇 (IR2), 제 2 센터 로봇 (CR2), 및 일시 유지 유닛 (27) 은, 제 2 반송 유닛의 일례이다.
도 1 에 나타내는 바와 같이, 12 개의 제 2 처리 유닛 (MPC) 은, 평면에서 보아 제 2 센터 로봇 (CR2) 을 둘러싸는 4 개의 위치에 배치되어 있다. 12 개의 제 2 처리 유닛 (MPC) 은, 상하로 적층된 3 개의 제 2 처리 유닛 (MPC) 에 의해 각각이 구성된 4 개의 탑을 형성하고 있다. 4 개의 탑은, 평면에서 보아 직교 방향 (D2) 으로 나열된 2 개의 열을 형성하고 있다. 일방의 열을 구성하는 2 개의 탑은, 각각, 타방의 열을 구성하는 2 개의 탑에 배열 방향 (D1) 으로 간격을 두고 수평하게 대향하고 있다. 제 2 센터 로봇 (CR2) 은, 배열 방향 (D1) 에 있어서의 4 개의 탑 사이에 배치되어 있다. 일시 유지 유닛 (27) 은, 평면에서 보아 제 2 인덱서 로봇 (IR2) 의 수수 위치와 제 2 센터 로봇 (CR2) 사이에 배치되어 있다. 일시 유지 유닛 (27) 및 제 2 센터 로봇 (CR2) 은, 평면에서 보아, 직교 방향 (D2) 으로 대향하고 있다.
도 2 에 나타내는 바와 같이, 일시 유지 유닛 (27) 은, 제 2 인덱서 로봇 (IR2) 과 제 2 센터 로봇 (CR2) 사이에서 기판 (W) 을 중계하는 중계 유닛 (28) 과, 중간 장치 (3) 로부터 반출된 기판 (W) 을 일시적으로 퇴피시키는 퇴피 유닛 (29) 을 포함한다. 중계 유닛 (28) 및 퇴피 유닛 (29) 은, 상하 방향으로 배열되어 있고, 평면에서 보아 겹쳐져 있다. 도 2 에서는, 중계 유닛 (28) 이 퇴피 유닛 (29) 의 하방에 배치되어 있는 예가 나타내어져 있다. 중계 유닛 (28) 은, 퇴피 유닛 (29) 의 상방에 배치되어 있어도 된다.
도 2 에 나타내는 바와 같이, 중계 유닛 (28) 은, 기판 (W) 의 하면 주연부 (周緣部) 에 접촉함으로써 당해 기판 (W) 을 수평한 자세로 지지하는 1 개 이상의 지지 부재 (30) 와, 지지 부재 (30) 에 지지되는 기판 (W) 을 수용하는 중계 박스 (31) 를 포함한다. 중계 박스 (31) 는, 제 2 인덱서 로봇 (IR2) 측으로 열린 개구와, 제 2 센터 로봇 (CR2) 측으로 열린 개구를 포함한다. 제 2 인덱서 로봇 (IR2) 은, 제 2 인덱서 로봇 (IR2) 측으로 열린 개구를 통하여, 중계 박스 (31) 의 내부와 중계 박스 (31) 의 외부 사이에서 기판 (W) 을 반송한다. 마찬가지로, 제 2 센터 로봇 (CR2) 은, 제 2 센터 로봇 (CR2) 측으로 열린 개구를 통하여, 중계 박스 (31) 의 내부와 중계 박스 (31) 의 외부 사이에서 기판 (W) 을 반송한다.
도 2 에 나타내는 바와 같이, 퇴피 유닛 (29) 은, 기판 (W) 의 하면 주연부에 접촉함으로써 당해 기판 (W) 을 수평한 자세로 지지하는 1 개 이상의 지지 부재 (30) 와, 지지 부재 (30) 에 지지되는 기판 (W) 을 수용하는 퇴피 박스 (32) 를 포함한다. 퇴피 박스 (32) 는, 제 2 인덱서 로봇 (IR2) 측으로 열린 개구와, 제 2 센터 로봇 (CR2) 측으로 열린 개구를 포함한다. 제 2 인덱서 로봇 (IR2) 은, 제 2 인덱서 로봇 (IR2) 측으로 열린 개구를 통하여, 퇴피 박스 (32) 의 내부와 퇴피 박스 (32) 의 외부 사이에서 기판 (W) 을 반송한다. 마찬가지로, 제 2 센터 로봇 (CR2) 은, 제 2 센터 로봇 (CR2) 측으로 열린 개구를 통하여, 퇴피 박스 (32) 의 내부와 퇴피 박스 (32) 의 외부 사이에서 기판 (W) 을 반송한다.
도 1 및 도 2 에 나타내는 바와 같이, 제 2 센터 로봇 (CR2) 은, 상이한 높이에 배치된 2 개의 핸드 (H) 를 구비하고 있다. 도 1 에서는, 2 개의 핸드 (H) 가 평면에서 보아 겹쳐져 있는 상태가 나타내어져 있다. 제 2 센터 로봇 (CR2) 은, 핸드 (H) 를 수평 방향 및 연직 방향으로 이동시킨다. 또한, 제 2 센터 로봇 (CR2) 은, 연직 축선 둘레로 회전 (자전) 함으로써, 핸드 (H) 의 방향을 변경한다. 제 2 센터 로봇 (CR2) 의 토대 부분은, 제 2 기판 처리 장치 (4) 에 고정되어 있고, 제 2 기판 처리 장치 (4) 에 대해 이동 불능이다. 제 2 센터 로봇 (CR2) 은, 직교 방향 (D2) 으로 이동 가능해도 된다.
제 2 센터 로봇 (CR2) 은, 핸드 (H) 를 수평 방향 및 연직 방향으로 이동시킴으로써, 임의의 제 2 처리 유닛 (MPC) 에 핸드 (H) 를 대향시킨다. 마찬가지로, 제 2 센터 로봇 (CR2) 은, 핸드 (H) 를 수평 방향 및 연직 방향으로 이동시킴으로써, 중계 유닛 (28) 또는 퇴피 유닛 (29) 에 핸드 (H) 를 대향시킨다. 그리고, 제 2 센터 로봇 (CR2) 은, 제 2 처리 유닛 (MPC), 중계 유닛 (28), 퇴피 유닛 (29) 중 어느 것에 핸드 (H) 가 대향하고 있는 상태에서, 핸드 (H) 를 수평 방향 및 연직 방향으로 이동시킴으로써, 제 2 처리 유닛 (MPC), 중계 유닛 (28), 퇴피 유닛 (29) 중 어느 것에 대해 기판 (W) 의 반입 또는 반출을 실시한다.
처리되지 않은 기판 (W) (제 2 기판 처리 장치 (4) 에 의해 처리되기 전의 기판 (W)) 이 수용된 캐리어 (C) 는, 캐리어 반송 로봇 (5) 에 의해 제 2 로드 포트 (LP2) 상에 놓인다. 제 2 로드 포트 (LP2) 상의 캐리어 (C) 내의 기판 (W) 은, 제 2 인덱서 로봇 (IR2) 에 의해 캐리어 (C) 의 내부로부터 제 2 인덱서 박스 (25) 의 내부로 반송된다. 그리고, 제 2 인덱서 박스 (25) 내로 반송된 기판 (W) 은, 제 2 인덱서 로봇 (IR2) 에 의해, 제 2 인덱서 박스 (25) 의 내부로부터 중계 박스 (31) 의 내부로 반송되고, 중계 유닛 (28) 의 지지 부재 (30) 상에 놓여져 지지된다. 중계 유닛 (28) 에 수평한 자세로 지지되어 있는 기판 (W) 은, 제 2 센터 로봇 (CR2) 에 의해 중계 박스 (31) 의 내부로부터 제 2 처리 유닛 (MPC) 의 내부로 반송되고, 제 2 처리 유닛 (MPC) 에 의해 처리된다 (세정된다). 그리고, 처리 완료된 기판 (W) 은, 제 2 센터 로봇 (CR2) 에 의해 제 2 처리 유닛 (MPC) 으로부터 중계 유닛 (28) 에 반송되고, 제 2 인덱서 로봇 (IR2) 에 의해 중계 유닛 (28) 으로부터 제 2 로드 포트 (LP2) 에 유지되어 있는 캐리어 (C) 에 반송된다.
또, 중간 장치 (3) 의 하류 지지 부재 (12) 에 지지되어 있는 처리되지 않은 기판 (W) (제 2 기판 처리 장치 (4) 에 의해 처리되기 전의 기판 (W)) 은, 하류 셔터 (19) 가 열린 상태에서, 제 2 인덱서 로봇 (IR2) 에 의해 중간 장치 (3) 의 내부로부터 제 2 인덱서 박스 (25) 의 내부로 반송된다. 그리고, 제 2 인덱서 박스 (25) 내로 반송된 기판 (W) 은, 제 2 인덱서 로봇 (IR2) 에 의해, 제 2 인덱서 박스 (25) 의 내부로부터 중계 박스 (31) 또는 퇴피 박스 (32) 의 내부로 반송되고, 중계 박스 (31) 또는 퇴피 박스 (32) 내의 지지 부재 (30) 상에 놓인다. 퇴피 박스 (32) 내로 반송된 기판 (W) 은, 제 2 처리 유닛 (MPC) 을 경유하지 않고, 제 2 인덱서 로봇 (IR2) 에 의해 퇴피 유닛 (29) 으로부터 제 2 로드 포트 (LP2) 에 유지되어 있는 캐리어 (C) 에 반송된다. 또, 중계 박스 (31) 내로 반송된 기판 (W) 은, 제 2 센터 로봇 (CR2) 에 의해 중계 박스 (31) 의 내부로부터 어느 제 2 처리 유닛 (MPC) 의 내부로 반송되고, 그 제 2 처리 유닛 (MPC) 에 의해 처리된다. 그리고, 제 2 처리 유닛 (MPC) 에서 처리된 기판 (W) 은, 제 2 센터 로봇 (CR2) 에 의해 제 2 처리 유닛 (MPC) 으로부터 중계 유닛 (28) 에 반송되고, 제 2 인덱서 로봇 (IR2) 에 의해 중계 유닛 (28) 으로부터 제 2 로드 포트 (LP2) 에 유지되어 있는 캐리어 (C) 에 반송된다.
도 4 는, 제 2 기판 처리 장치 (4) 의 전기적 구성을 설명하기 위한 블록도이다.
도 4 에 나타내는 바와 같이, 제 2 제어 장치 (24) 는, 중간 장치 (3) 등의 제 2 기판 처리 장치 (4) 에 구비된 복수의 장치에 접속되어 있다. 또한, 제 2 제어 장치 (24) 는, 호스트 컴퓨터 (HC) 등의 제 2 기판 처리 장치 (4) 이외의 장치에도 접속되어 있다. 제 2 제어 장치 (24) 는, 컴퓨터 본체 (33) 와, 컴퓨터 본체 (33) 에 접속된 주변 장치 (36) 를 포함한다. 컴퓨터 본체 (33) 는, 프로그램을 실행하는 CPU (34) (중앙 처리 장치) 와, CPU (34) 에 접속된 주기억 장치 (35) 를 포함한다. 주변 장치 (36) 는, 주기억 장치 (35) 에 접속된 보조 기억 장치 (37) 와, 호스트 컴퓨터 (HC) 등과 통신하는 통신 장치 (38) 를 포함한다.
도 4 에 나타내는 바와 같이, 제 2 제어 장치 (24) 는, 호스트 컴퓨터 (HC), 중간 장치 (3), 및 제 2 로드 포트 (LP2) 등의 복수의 장치와 통신하는 온라인 제어부 (39) 와, 온라인 제어부 (39) 에 송신된 지령을 중계하는 장치 관리부 (40) 와, 기판 (W) 을 반송 및/또는 처리할 계획을 장치 관리부 (40) 로부터 보내진 지령에 따라 작성하고, 작성된 계획에 따라 제 2 기판 처리 장치 (4) 의 리소스를 동작시키는 스케줄링부 (41) 를 포함한다. 온라인 제어부 (39), 장치 관리부 (40), 및 스케줄링부 (41) 는, CPU (34) 가 보조 기억 장치 (37) 에 기억되어 있는 프로그램을 실행함으로써 실현되는 기능 블록이다.
도 4 에 나타내는 바와 같이, 스케줄링부 (41) 는, 제 2 기판 처리 장치 (4) 에 반입되는 기판 (W) 에 관련지어진 잡의 식별 정보가 소정의 우선 순위에 따라 등록되는 잡 관리 리스트 (42) 를 관리하는 잡 관리부 (43) 와, 잡 관리 리스트 (42) 에 등록되어 있는 잡에 관련지어진 기판 (W) 의 반송 및/또는 처리를 실시할 계획을 잡의 우선 순위가 높은 것부터 순서대로 작성하는 스케줄링 엔진 (44) 과, 스케줄링 엔진 (44) 에 의해 작성된 계획 (스케줄링 결과) 에 따라 제 2 기판 처리 장치 (4) 의 반송 로봇 (IR2, CR2), 처리 유닛 (MPC), 로드 포트 (LP2) 등의 제어 대상 (리소스) 을 동작시킴으로써 제 2 기판 처리 장치 (4) 의 각 리소스에 기판 (W) 의 반송 및/또는 처리를 실행시키는 처리 실행 지시부 (45) 를 포함한다.
보조 기억 장치 (37) 는, 기판 처리 내용을 정의하는 복수의 기판 처리 정보 (이하, 「레시피」라고 한다) 를 기억하고 있다. 레시피는, 레시피 식별 정보, 기판 처리 조건, 및 기판 처리 순서를 포함한다. 보다 구체적으로는, 레시피는, 병행 처리 유닛 정보, 사용 처리액 정보, 및 처리 시간 정보 등을 포함한다. 병행 처리 유닛 정보란, 사용 가능한 제 2 처리 유닛 (MPC) 을 지정하는 정보이며, 지정된 제 2 처리 유닛 (MPC) 에 의한 병행 처리가 가능한 것을 나타낸다. 바꾸어 말하면, 지정 처리 유닛 중 1 개를 사용할 수 없을 때에는, 그 이외의 지정 처리 유닛에 의한 대체가 가능한 것을 나타낸다. 「사용할 수 없을 때」란, 당해 제 2 처리 유닛 (MPC) 이 다른 기판 (W) 의 처리를 위해서 사용 중일 때, 당해 제 2 처리 유닛 (MPC) 이 고장 중일 때, 오퍼레이터가 당해 제 2 처리 유닛 (MPC) 에서 기판 (W) 의 처리를 시키고 싶지 않다고 생각하고 있을 때 등이다.
후술하는 바와 같이, 레시피의 식별 정보는, 호스트 컴퓨터 (HC) 로부터 제 2 제어 장치 (24) 에 송신된다. 스케줄링부 (41) 는, 보조 기억 장치 (37) 에 기억되어 있는 복수의 레시피 중으로부터 호스트 컴퓨터 (HC) 로부터 송신된 레시피의 식별 정보에 대응하는 레시피를 선택하고, 선택한 레시피를 판독 입력한다. 그리고, 스케줄링부 (41) 는, 판독 입력한 레시피에 포함되는 기판 처리 조건 및 기판 처리 순서에 따라 기판 (W) 을 처리할 계획을 작성하고, 작성된 계획을 제 2 기판 처리 장치 (4) 의 리소스에 실행시킨다. 이로써, 복수의 기판 처리 공정 (예를 들어, 처리액 공급 공정이나 건조 공정) 이, 레시피에서 지정된 기판 처리 조건에서, 또한 레시피에서 지정된 기판 처리 순서로 실행된다.
도 5 는, 기판 (W) 이 제 1 기판 처리 장치 (2) 및 제 2 기판 처리 장치 (4) 에서 처리될 때의 플로 차트이다.
처리되지 않은 기판 (W) (제 1 기판 처리 장치 (2) 에 의해 처리되기 전의 기판 (W)) 이 수용된 캐리어 (C1) 가, 캐리어 반송 로봇 (5) 에 의해 제 1 로드 포트 (LP1) 상에 놓이면 (스텝 S1), 제 1 기판 처리 장치 (2) 의 제 1 제어 장치 (8) 는, 제 1 캐리어 설치 정보를 호스트 컴퓨터 (HC) 에 송신하고 (스텝 S2), 캐리어 (C1) 가 설치된 것을 호스트 컴퓨터 (HC) 에 전한다. 제 1 캐리어 설치 정보에는, 제 1 캐리어 (C1) 의 식별 정보와, 제 1 캐리어 (C1) 가 설치된 제 1 로드 포트 (LP1) 의 식별 정보와, 제 1 슬롯 정보를 포함한다. 제 1 슬롯 정보는 제 1 캐리어 (C1) 의 어느 슬롯에 처리되지 않은 기판 (W) 이 배치되어 있는지를 나타내는 정보로, 각 슬롯의 처리되지 않은 기판 (W) 의 삽입 상태를 나타내는 정보와, 각 슬롯에 삽입되어 있는 처리되지 않은 기판 (W) 의 기판 식별 정보로 구성되어 있다. 따라서, 「어느 제 1 로드 포트 (LP1)」에 놓인 「어느 캐리어」의 「어느 슬롯」에 처리되지 않은 기판 (W) 이 배치되어 있는지, 바꾸어 말하면, 어느 특정 기판 (W) 의 위치 정보가 호스트 컴퓨터 (HC) 에 의해 인식된다.
도 7 은 제 1 캐리어 설치 정보의 내용을 나타내는 도표이다. 제 1 캐리어 (C1) 는 슬롯을 25 단 갖고 있기 때문에, 제 1 캐리어 설치 정보도 25 단분의 각 슬롯에 대한 기판 (W) 의 삽입 상태를 나타낼 수 있도록 되어 있다. 본 실시형태에서는, 25 단 중 20 단의 슬롯에 20 장의 기판 (W1 ∼ W20) 이 삽입되어 있는 것으로 한다.
캐리어 (C1) 의 설치가 제 1 제어 장치 (8) 로부터 전해지면, 호스트 컴퓨터 (HC) 는, 제 1 가상 캐리어 생성 지시를 제 2 제어 장치 (24) 에 송신하고 (스텝 S3), 제 1 로드 포트 (LP1) 에 설치된 제 1 캐리어 (C1) , 즉 제 2 기판 처리 장치 (4) 에 실재하지 않는 캐리어에 대응하는 제 1 가상 캐리어 (VC1) 를 생성하도록 제 2 제어 장치 (24) 에 지시한다. 제 1 가상 캐리어 생성 지시에는, 제 1 캐리어 (C1) 의 식별 정보와, 제 1 캐리어 (C1) 가 설치된 제 1 로드 포트 (LP1) 의 식별 정보와, 제 1 캐리어 (C1) 의 복수의 슬롯 중에서 기판 (W) 이 삽입되어 있는 슬롯의 위치를 나타내는 제 1 슬롯 정보가 포함된다. 요컨대, 제 1 캐리어 설치 정보와 동일한 정보가 제 1 가상 캐리어 생성 지시에 포함되어 있다 (도 8 참조).
제 2 제어 장치 (24) 는, 호스트 컴퓨터 (HC) 로부터의 제 1 가상 캐리어 생성 지시를 받고, 제 1 가상 캐리어 (VC1) 를 제 2 제어 장치 (24) 의 내부에 생성한다 (스텝 S4). 제 1 가상 캐리어 (VC1) 는 제 2 제어 장치 (24) 가 편의적으로 생성하는 가상의 캐리어로, 제 2 기판 처리 장치 (4) 에는 실재하지 않는 것이다. 또, 제 2 제어 장치 (24) 는 가상 캐리어 (VC1) 의 속성 정보를 이하와 같이 생성한다. 즉, 제 1 가상 캐리어 (VC1) 에 대해 적당한 캐리어 식별 정보 (VCR1 ID) 를 부여한다. 또, 제 2 제어 장치 (24) 는, 가상 캐리어 (VC1) 가 재치될 것으로 상정되는 가상 로드 포트 (VLP) (예를 들어 현실에는 존재하지 않는 5 대째의 로드 포트 (LP1)) 를 생성하고, 이에 대하여 적당한 가상 로드 포트 식별 정보를 부여한다.
다음으로, 제 2 제어 장치 (24) 는, 제 1 캐리어 식별 정보와 가상 캐리어 식별 정보를 대응지음과 함께, LP1 식별 정보와 가상 로드 포트 식별 정보를 대응지음으로써, 도 9 에 나타내는 테이블 (T1) 을 생성하고 내부 메모리에 기억시켜 둔다 (스텝 S4-1).
제 2 제어 장치 (24) 가 가상 캐리어 및 가상 캐리어의 속성 정보를 생성하는 이유는 이하와 같다.
기판 처리 장치 내에서의 기판의 반송 및/또는 처리의 내용을 규정하는 정보 (잡) 를 생성하려면, 잡의 대상인 처리되지 않은 기판 (W) 의 출발 위치 및 목적 위치에 관한 정보가 필요하다. 구체적으로는, 처리되지 않은 기판이 수용된 캐리어 (출발 캐리어) 를 특정하기 위한 정보 (출발 캐리어 식별 정보와 출발 로드 포트 식별 정보) 가 필요하게 된다. 마찬가지로, 처리 완료된 기판을 수용해야 하는 캐리어 (목적 캐리어) 를 특정하기 위한 정보 (목적 캐리어 식별 정보와 목적 로드 포트 정보) 도 필요하게 된다.
통상의 처리에서는, 기판 처리 장치의 로드 포트에 출발 캐리어와 목적 캐리어가 재치되고, 호스트 컴퓨터로부터 당해 기판 처리 장치의 제어 장치에 출발 캐리어 식별 정보·출발 로드 포트 식별 정보, 및 목적 캐리어 식별 정보·목적 로드 포트 식별 정보가 송신된 후에, 잡의 생성이 개시된다.
본 실시형태에 관련된 기판 처리 시스템 (1) 은, 제 1 기판 처리 장치 (2) 와 제 2 기판 처리 장치 (4) 를 갖는데, 각 기판 처리 장치 (제 1 기판 처리 장치 (2) 와 제 2 기판 처리 장치 (4)) 의 잡의 생성은 각 장치의 제어부가 각각 독립적으로 실시한다. 제 1 기판 처리 장치 (2) 로부터 제 2 기판 처리 장치 (4) 에 대한 기판의 반송은, 캐리어를 사용한 반송이 아니라, 중간 장치 (3) 를 개재한 온라인으로 실시하는 것도 가능하다. 중간 장치 (3) 를 개재하여 제 2 기판 처리 장치 (4) 에 처리되지 않은 기판을 반입하는 경우에는, 캐리어를 사용하지 않는다. 캐리어를 사용하지 않고 제 2 기판 처리 장치 (4) 에 처리되지 않은 기판을 반입하는 경우에는, 제 2 제어 장치 (24) 는 제 2 기판 처리 장치 (4) 에 있어서의 기판의 출발 위치를, 실재하는 출발 캐리어에 관한 정보에 기초하여 특정할 수 없다.
이 때문에, 제 2 기판 처리 장치 (4) 는, 당해 장치 (4) 에 있어서의 출발 캐리어의 위치를 나타내는 정보를 제 2 제어 장치 (24) 가 인식 가능한 형식으로 생성한다. 즉, 제 2 제어 장치 (24) 는 상기한, 가상 캐리어 식별 정보·가상 로드 포트 식별 정보를 생성한다. 이로써, 캐리어를 사용하지 않고 제 2 기판 처리 장치 (4) 에 처리되지 않은 기판을 반입하는 경우에도, 제 2 기판 처리 장치 (4) 내에서 반송 및/또는 처리하기 위한 잡을 제 2 제어 장치 (24) 가 생성할 수 있게 된다.
이상의 이유로부터, 제 2 제어 장치 (24) 는, 제 1 기판 처리 장치 (2) 의 로드 포트 (LP1) 에 재치되는 캐리어 (C) 에 대응하는, 가상 캐리어 (VCR) 및 가상 캐리어의 속성 정보 (가상 캐리어 식별 정보, 가상 로드 포트 식별 정보) 를 생성하고 있다.
한편, 제 2 기판 처리 장치 (4) 에서 처리된 기판 (W) 을 수용하는 제 2 캐리어 (C2) 가, 캐리어 반송 로봇 (5) 에 의해 제 2 로드 포트 (LP2) 상에 놓이면 (스텝 S5), 제 2 제어 장치 (24) 는, 제 2 로드 포트 (LP2) 상의 제 2 캐리어 (C2) 를 제 2 제어 장치 (24) 의 내부에 생성한다 (스텝 S6). 또한, 제 2 제어 장치 (24) 는, 제 2 캐리어 설치 정보를 호스트 컴퓨터 (HC) 에 송신하고 (스텝 S7), 제 2 캐리어 (C2) 가 설치된 것을 호스트 컴퓨터 (HC) 에 전한다. 제 2 캐리어 설치 정보에는, 제 2 캐리어 (C2) 의 식별 정보와, 제 2 캐리어 (C) 가 설치된 제 2 로드 포트 (LP2) 의 식별 정보와, 제 2 캐리어 (C2) 의 복수의 슬롯 중에서 기판 (W) 이 삽입되어 있지 않은 슬롯의 위치를 나타내는 제 2 슬롯 정보 (슬롯 맵) 가 포함된다.
후술하는 바와 같이, 제 2 제어 장치 (24) 는, 제 1 가상 캐리어 (VC1) 로부터 제 2 캐리어 (C2) 에 기판 (W) 을 반송할 계획을 제 2 제어 장치 (24) 의 내부에서 작성하고, 제 2 기판 처리 장치 (4) 에 이 계획을 실행시킨다. 제 1 캐리어 설치 정보 및 제 2 캐리어 설치 정보가 호스트 컴퓨터 (HC) 에 수신되면, 호스트 컴퓨터 (HC) 는, 제 1 잡 생성 지시를 제 1 제어 장치 (8) 에 송신하고 (스텝 S8), 잡을 생성하도록 제 1 제어 장치 (8) 에 지시한다. 제 1 잡 생성 지시에는, 잡의 식별 정보와, 레시피의 식별 정보와, 처리해야 할 기판 (W) 을 수용하고 있는 캐리어 (여기서는, 제 1 캐리어 (C1)) 의 식별 정보와, 이 캐리어의 어느 슬롯에 기판 (W) 이 삽입되어 있는지를 나타내는 제 1 슬롯 정보와, 처리 완료된 기판 (W) 을 수용하는 캐리어 (여기서는, 제 2 캐리어 (C2)) 의 식별 정보와, 이 캐리어의 어느 슬롯에 기판 (W) 을 수용해야 하는지를 나타내는 제 2 슬롯 정보가 포함된다.
마찬가지로, 제 1 캐리어 설치 정보 및 제 2 캐리어 설치 정보가 호스트 컴퓨터 (HC) 에 수신되면, 호스트 컴퓨터 (HC) 는, 제 2 잡 생성 지시 (JobCreate) 를 제 2 제어 장치 (24) 에 송신하고 (스텝 S9), 잡을 생성하도록 제 2 제어 장치 (24) 에 지시한다. 잡은 출발 캐리어 (C1) 에 격납된 처리되지 않은 기판 (W) 의 단위로 생성된다. 제 2 잡 생성 지시에는, 잡의 식별 정보와, 그 잡이 대상으로 하는 처리되지 않은 기판을 식별하기 위한 기판 식별 정보와, 각 처리되지 않은 기판에 적용해야 할 레시피의 식별 정보가 포함된다.
호스트 컴퓨터 (HC) 로부터 송신된 제 2 잡 생성 지시가 제 2 제어 장치 (24) 에 수신되면, 제 2 제어 장치 (24) 는, 스텝 S4-1 에서 생성한 테이블 (T1) 과 제 2 잡 생성 지시를 이용하여, 도 10 에 나타내는 데이터 구조의 잡 (Job1) 을 제 2 제어 장치 (24) 의 내부에 생성한다 (스텝 S10). 잡 (Job1) 은, 잡 ID 와 복수 장의 처리되지 않은 기판 (W) 에 각각 관련지어진 복수의 PJ (프로세스 잡) 로 이루어진다. 이 잡은 제 1 캐리어 (C1) 에 격납된 20 장의 처리되지 않은 기판 (W1 ∼ W20) 을 처리하기 위한 잡이기 때문에, 잡 (Job1) 에는 합계 20 의 프로세스 잡 (PJ1 ∼ PJ20) 이 포함된다. 각 프로세스 잡 (PJ1 ∼ PJ20) 은, 처리 대상의 처리되지 않은 기판 (W) 을 특정하기 위한 기판 식별 정보와, 처리 대상의 처리되지 않은 기판 (W) 의 레시피를 특정하기 위한 레시피 식별 정보와, 처리 대상의 처리되지 않은 기판의 출발 위치를 특정하기 위한 출발 캐리어 식별 정보 (여기서는 가상 캐리어 식별 정보가 설정되어 있다)·슬롯 식별 정보 (여기서는 가상 슬롯 식별 정보가 설정되어 있다) 와, 처리 후의 기판 (W) 의 목적 위치를 특정하기 위한 목적 캐리어 식별 정보·슬롯 식별 정보로 이루어진다. 가상 캐리어 식별 정보는 테이블 (T1) 을 참조하여 가상 캐리어 생성 지시에 포함되는 제 1 캐리어 식별 정보로부터 생성된다. 테이블 (T1) 에서는 제 1 캐리어 (C1) 에 대해 가상 캐리어 (VCR) 가 대응지어져 있기 때문에, 출발 캐리어 식별 정보로서 제 1 캐리어 (C1) 에 대응하는 가상 캐리어 (VCR) 의 식별 정보 (VCR1 ID) 가 설정된다. 또, 가상 슬롯 식별 정보로서 일률적으로 더미 데이터가 설정된다.
이 시점에서 처리되지 않은 기판 (W1 ∼ W20) 을 격납하고 있는 제 1 캐리어 (C1) 는 제 2 기판 처리 장치 (4) 의 외부에 놓여 있고, 제 2 제어 장치 (24) 에 있어서 제 1 캐리어 (C1) 는 인식할 수 없는 위치이기 때문에 제 1 캐리어 (C1) 의 속성 정보를 처리되지 않은 기판 (W1 ∼ W20) 의 출발 지점으로서 사용할 수 없다. 제 1 캐리어 (C1) 의 속성 정보를 가상 캐리어의 속성 정보로 변환함으로써, 처리되지 않은 기판 (W1 ∼ W20) 이 제 2 기판 처리 장치 (4) 와는 상이한 장치에 위치하는 시점에 있어서 이들 처리되지 않은 기판 (W1 ∼ W20) 에 대해 도 10 에 나타내는 데이터 구조의 잡을 생성할 수 있게 된다.
각 PJ 에는 제 2 잡 생성 지시에 의해 지정되어 있는 레시피의 식별 정보가 포함되어 있다. 레시피의 내용은, 기판 (W) 마다 상이한 경우도 있고, 복수 장의 기판 (W) 에서 공통인 경우도 있다. 제 2 제어 장치 (24) 는, 보조 기억 장치 (37) 에 기억되어 있는 복수의 레시피 중으로부터 잡 (PJ) 에서 지정되어 있는 레시피의 식별 정보에 대응하는 레시피를 선택하고, 선택한 레시피를 주기억 장치 (35) 에 판독 입력한다. 이로써, 복수 장의 기판 (W) 에 대응하는 레시피가 제 2 제어 장치 (24) 에 의해 준비된다 (스텝 S11).
이상과 같이 본 실시형태에 의하면, 제 2 제어 장치 (24) 에 대해서는, 제 1 기판 처리 장치 (2) 에 배치된 제 1 캐리어 (C1) 가 출발 캐리어로서 지정되어 있다. 또, 제 2 기판 처리 장치 (4) 에 배치된 제 2 캐리어 (C2) 가 목적 캐리어로서 지정되어 있다. 따라서, 제 2 기판 처리 장치 (4) 에 대해, 제 2 기판 처리 장치 (4) 와는 상이한 장치인 제 1 기판 처리 장치 (2) 에 배치되어 있는 제 1 캐리어 (C1) 로부터 제 2 기판 처리 장치 (4) 에 배치되어 있는 제 2 캐리어 (C2) 에 기판 (W) 을 반송하도록 지시되어 있게 된다.
제 1 제어 장치 (8) 는, 제 1 인덱서 모듈 (6) 이나 제 1 처리 모듈 (7) 등의 제 1 기판 처리 장치 (2) 에 구비된 리소스에 제 1 로드 포트 (LP1) 에 유지되어 있는 제 1 캐리어 (C) 내의 1 장의 기판 (W) 을 제 1 처리 모듈 (7) 에 반송시키고, 제 1 처리 모듈 (7) 에 기판 (W) 을 처리시킨다 (스텝 S12). 그리고, 제 1 제어 장치 (8) 는, 처리 완료된 기판 (W) 이 제 1 검사 유닛 (9) 에서 검사된 후에, 제 1 기판 처리 장치 (2) 의 리소스에 이 기판 (W) 을 중간 장치 (3) 에 반송시킨다. 복수 장의 기판 (W) 이 제 1 캐리어 (C) 에 수용되어 있는 경우, 제 1 제어 장치 (8) 는, 이들 동작을 제 1 기판 처리 장치 (2) 의 리소스에 반복시킨다. 또, 제 1 제어 장치 (8) 는, 기판 (W) 에 대한 처리 및 검사가 완료되면, 기판 (W) 마다 제 1 처리 결과 정보를 호스트 컴퓨터 (HC) 에 송신하고 (스텝 S13), 그 기판 (W) 의 처리 및 검사가 완료된 것을 호스트 컴퓨터 (HC) 에 전한다. 제 1 처리 결과 정보에는, 제 1 검사 유닛 (9) 에서의 검사 결과를 나타내는 검사 정보가 포함되어 있다.
제 1 처리 결과 정보가 호스트 컴퓨터 (HC) 에 수신되면, 호스트 컴퓨터 (HC) 는, 검사 정보에 대응하는 레시피의 식별 정보를 선택한다. 그리고, 호스트 컴퓨터 (HC) 는, 선택된 레시피의 식별 정보를 포함하는 레시피 교체 지시를 제 2 제어 장치 (24) 에 송신하고 (스텝 S14), 잡 (PJ) 에서 지정되어 있는 현재의 레시피의 식별 정보를 선택된 레시피의 식별 정보로 변경시킨다. 그 때문에, 제 2 제어 장치 (24) 는, 교체된 레시피의 식별 정보에 대응하는 레시피를 보조 기억 장치 (37) 에 기억되어 있는 복수의 레시피 중에서 선택하고, 선택한 레시피를 주기억 장치 (35) 에 판독 입력한다. 이로써, 이미 준비되어 있던 잡에 있어서의 레시피의 내용이 다른 레시피의 내용으로 치환되고, 검사 결과를 반영한 레시피를 포함하는 잡이 제 2 제어 장치 (24) 에 의해 기판 (W) 마다 준비된다 (스텝 S15).
만일, 스텝 S14 의 시점에서 각 처리되지 않은 기판 (W1 ∼ W20) 을 위한 잡이 제 2 제어 장치 (24) 의 내부에서 생성되어 있지 않다고 하면, 제 2 제어 장치 (24) 는 스텝 S14 에서 취득하는 레시피 교체 지시에 기초하는 잡의 수정을 실시할 수 없다. 본 실시형태에서는 스텝 S14 보다 전의 시점에서 처리되지 않은 기판 (W1 ∼ W20) 을 위한 잡을 제 2 제어 장치 (24) 의 내부에서 생성하고 있기 때문에, 제 2 제어 장치 (24) 는 처리되지 않은 기판이 실제로 제 2 기판 처리 장치 (4) 에 도달하기 전의 시점에서 호스트 컴퓨터 (HC) 로부터의 상기 레시피 교체 지시에 대응할 수 있다.
제 1 로드 포트 (LP1) 에 설치된 제 1 캐리어 (C) 에 복수 장의 기판 (W) 이 수용되어 있는 경우, 제 1 제어 장치 (8) 는, 처리 및 검사가 실시된 복수 장의 기판 (W) 을 제 1 인덱서 로봇 (IR1) 에 의해 제 1 기판 처리 장치 (2) 로부터 중간 장치 (3) 의 상류 지지 부재 (11) 에 1 장씩 반송시킨다. 중간 제어 장치 (13) 는, 제 1 인덱서 로봇 (IR1) 에 의해 상류 지지 부재 (11) 상에 놓인 기판 (W) 을 중간 반송 로봇 (R3) 에 의해 하류 지지 부재 (12) 의 어느 슬롯에 반송시킨다 (스텝 S16). 중간 반송 로봇 (R3) 이 하류 지지 부재 (12) 의 어느 슬롯에 기판 (W) 을 삽입하면, 중간 제어 장치 (13) 는, 기판 도착 정보를 호스트 컴퓨터 (HC) 에 송신하고 (스텝 S17), 기판 (W) 이 제 2 기판 처리 장치 (4) 의 근방에 도착한 것을 호스트 컴퓨터 (HC) 에 전한다. 기판 도착 정보에는, 하류 지지 부재 (12) 의 슬롯에 삽입된 기판의 기판 식별 정보와, 하류 지지 부재 (12) 의 식별 정보와, 기판 (W) 이 삽입된 슬롯의 슬롯 식별 정보가 포함된다.
기판 도착 정보가 호스트 컴퓨터 (HC) 에 수신되면, 호스트 컴퓨터 (HC) 는, 기판 도착 정보를 제 2 제어 장치 (24) 에 송신하고 (스텝 S18), 제 2 인덱서 로봇 (IR2) 이 기판 (W) 을 반송 가능한 반송 가능 범위 내에 기판 (W) 이 도착한 것을 제 2 제어 장치 (24) 에 전한다. 전술한 바와 같이, 기판 도착 정보에는, 기판 식별 정보와, 하류 지지 부재 (12) 의 식별 정보와, 기판이 삽입된 슬롯의 슬롯 식별 정보가 포함된다. 기판 도착 정보가 제 2 제어 장치 (24) 에 수신되면, 제 2 제어 장치 (24) 는, 기판 식별 정보에 의해 특정되는 기판의 프로세스 잡 (PJ) 을 도 11 에 나타내는 바와 같이 변경한다 (스텝 S18-1). 구체적으로는, PJ 에 포함되는 가상 캐리어 식별 정보를 하류 지지 부재 (12) 의 식별 정보로 변경함과 함께, 가상 슬롯 식별 정보를 하류 지지 부재 (12) 의 슬롯 식별 정보로 변경한다. 따라서, 호스트 컴퓨터 (HC) 로부터 제 2 제어 장치 (24) 에 송신된 가상 캐리어 생성 지시는, 제 2 기판 처리 장치 (4) 와는 상이한 장치인 중간 장치 (3) 의 하류 지지 부재 (12) 로부터 제 2 로드 포트 (LP2) 에 유지되어 있는 제 2 캐리어 (C) 에 기판 (W) 을 반송하도록 변경된다.
제 2 제어 장치 (24) 는, 원칙으로서, 하류 지지 부재 (12) 에 도달한 것과 동일한 순서로 제 2 인덱서 로봇 (IR2) 에 의해 하류 지지 부재 (12) 로부터 처리되지 않은 기판 (W) 을 꺼내어 제 2 기판 처리 장치 (4) 에서 반송 및/또는 처리를 실시한다.
후술하는 바와 같이, 제 2 제어 장치 (24) 는, 중간 장치 (3) 에 반송된 기판 (W) 을 제 2 처리 모듈 (23) 에 반송하고, 제 2 처리 모듈 (23) 에서 처리된 기판 (W) 을 제 2 로드 포트 (LP2) 에 유지되어 있는 캐리어 (C) 에 반송할 계획을 기판 (W) 마다 작성한다. 그리고, 제 2 제어 장치 (24) 는, 제 2 인덱서 모듈 (22) 이나 제 2 처리 모듈 (23) 등의 제 2 기판 처리 장치 (4) 에 구비된 리소스에 이 계획을 실행시킨다 (스텝 S19). 따라서, 제 1 기판 처리 장치 (2) 에서 처리된 기판 (W) 은, 중간 장치 (3) 를 개재하여 제 1 기판 처리 장치 (2) 로부터 제 2 기판 처리 장치 (4) 에 반송된다. 요컨대, 기판 (W) 은, 캐리어 (C) 에 수용된 상태에서 캐리어 반송 로봇 (5) 에 의해 반송되는 것이 아니라, 제 1 기판 처리 장치 (2), 제 2 기판 처리 장치 (4), 및 중간 장치 (3) 에 의해, 제 1 기판 처리 장치 (2) 로부터 제 2 기판 처리 장치 (4) 에 반송된다. 그리고, 제 2 기판 처리 장치 (4) 에 반송된 기판 (W) 은, 제 2 기판 처리 장치 (4) 에서 처리된 후, 제 2 로드 포트 (LP2) 에 유지되어 있는 제 2 캐리어 (C) 에 수용된다. 그 후, 처리 완료된 기판 (W) 이 수용된 제 2 캐리어 (C) 가, 캐리어 반송 로봇 (5) 에 의해, 다음 공정을 실시하는 기판 처리 장치에 반송된다 (스텝 S20).
도 6 은, 제 2 기판 처리 장치 (4) 에서 잡이 생성되고 나서 제 2 기판 처리 장치 (4) 에서 기판 (W) 이 처리될 때까지의 플로 차트이다.
전술한 바와 같이, 제 2 기판 처리 장치 (4) 는, 처리되지 않은 기판 (W) 이 중간 장치 (3) 로부터 직접 반입구 (25a) 를 통하여 기판 (W) 이 보내져 오는 경우 (이하, 「매엽 반송」이라고 한다) 뿐만 아니라, 처리되지 않은 기판 (W) 을 격납 한 캐리어 (C2) 가 캐리어 반송 로봇 (5) 에 의해 제 2 로드 포트 (LP2) 에 반송되어 오는 경우 (이하, 「캐리어 반송」이라고 한다) 에도 대응할 수 있다. 매엽 반송의 경우도 캐리어 반송의 경우도 동일하게, 출발 캐리어와 목적 캐리어의 위치가 제 2 제어 장치 (24) 에 인식되면, Job 생성 지시가 호스트 컴퓨터 (HC) 로부터 제 2 제어 장치 (24) 에 보내진다 (단, 매엽 반송의 경우에는, 제 1 기판 처리 장치 (2) 의 로드 포트 (LP1) 에 놓인 캐리어 (C1) 에 대응하는 가상 캐리어 (VCR1) 가 제 2 제어 장치 (24) 에 의해 출발 캐리어로서 인식된다). 제 2 제어 장치 (24) 는 Job 생성 지시를 받고, 출발 캐리어의 속성 정보와 목적 캐리어의 속성 정보를 포함하는 잡을 그 내부에 생성한다 (스텝 S31). 이 때 생성되는 잡은, 매엽 반송의 경우도 캐리어 반송의 경우도 동일한 데이터 구조를 취할 수 있다 (도 10 참조). 즉, 제 2 제어 장치 (24) 는, 출발 캐리어가 실재하는 캐리어인지 가상 캐리어인지에 따라 잡의 데이터 구조를 변경할 필요가 없다.
다음으로, 제 2 제어 장치 (24) 는 잡 생성 지시에 의해 지정되어 있는 레시피 식별 정보에 대응하는 레시피를 보조 기억 장치 (37) 로부터 판독 입력하여 준비한다 (스텝 S32).
복수의 PJ 에 각각 대응하는 복수의 잡 등록 지시 (PJExecute) 가 호스트 컴퓨터 (HC) 로부터 제 2 제어 장치 (24) 에 송신되면, 제 2 제어 장치 (24) 는, 복수의 잡 등록 지시에 의해 지정되어 있는 복수의 PJ 를 잡 관리 리스트 (42) 에 등록한다 (스텝 S33).
캐리어 반송의 경우에는 제 2 로드 포트 (LP2) 에 놓인 1 개의 캐리어 (C) 에 수납된 모든 기판 (W) 에 대한 PJ 가 생성된 후에, 이들 기판의 PJ 가 잡 관리 리스트에 등록된다.
한편, 매엽 반송의 경우에는, 기판 (W) 이 하류 지지 부재 (12) 에 도착하여 호스트 컴퓨터 (HC) 로부터 제 2 제어 장치 (24) 에 기판 도착 정보가 보내질 때마다 (S18), 당해 기판 (W) 의 잡 등록 지시가 호스트 컴퓨터 (HC) 로부터 제 2 제어 장치 (24) 에 송신되고, 당해 기판 (W) 의 PJ 가 잡 관리 리스트 (42) 에 등록되게 된다.
단, 매엽 반송의 경우라 하더라도, 기판 (W) 이 하류 지지 부재 (12) 에 도착하는 스텝 S16 보다 전단계 (스텝 S10) 의 시점 (스텝 S6) 에서 당해 기판 (W) 의 PJ 는 이미 생성되어 있기 때문에, 스텝 S6 보다 이후의 임의의 타이밍에 호스트 컴퓨터 (HC) 는 제 2 제어 장치 (24) 에 잡 등록 지시를 송신할 수 있다.
복수의 PJ 에 대응하는 복수의 처리 개시 지시 (PJStart) 가, 중간 장치 (3), 제 2 로드 포트 (LP2), 및 호스트 컴퓨터 (HC) 의 어느 것으로부터 제 2 제어 장치 (24) 에 송신되면, 제 2 제어 장치 (24) 는, 잡 관리 리스트 (42) 에 등록되어 있는 순서에 따라, 기판 (W) 을 제 2 기판 처리 장치 (4) 에서 반송 및/또는 처리할 계획 (스케줄) 을 기판 (W) 마다 작성한다 (스텝 S34). 매엽 반송의 경우에는, 기판 (W) 이 제 2 기판 처리 장치 (4) 에 반입되기 전의 시점에서, 당해 기판 (W) 의 가상 위치 정보에 기초하여 제 2 기판 처리 장치 (4) 내에서의 반송 및/또는 처리할 계획을 작성할 수도 있다.
그리고, 제 2 제어 장치 (24) 는, 제 2 인덱서 모듈 (22) 이나 제 2 처리 모듈 (23) 등의 제 2 기판 처리 장치 (4) 에 구비된 리소스에 이 계획을 실행시킨다 (스텝 S35). 일단 작성된 스케줄은 적절히 변경할 수 있다. 예를 들어, 제 2 기판 처리 장치 (4) 가 제 2 로드 포트 (LP2) 상의 캐리어 (C) 내의 처리되지 않은 기판 (W) 을 위한 스케줄에 따라 가동되고 있는 동안에, 하류 지지 부재 (12) 에 제 1 기판 처리 장치 (2) 에서 처리된 기판 (W) 이 반송되어 오면, 그 기판 (W) 을 캐리어 (C) 로부터 꺼낸 처리되지 않은 기판 (W) 에 우선하여 처리하도록 스케줄을 변경할 수 있다.
제 2 로드 포트 (LP2) 상의 캐리어 (C) 내의 기판 (W) 에 대한 제 1 계획의 일례는, 제 2 로드 포트 (LP2) 에 유지되어 있는 캐리어 (C) 내의 기판 (W) 을 중계 유닛 (28) 을 개재하여 제 2 처리 유닛 (MPC) 에 반송하고, 제 2 처리 유닛 (MPC) 에서 처리된 기판 (W) 을 중계 유닛 (28) 을 개재하여 제 2 로드 포트 (LP2) 에 유지되어 있는 캐리어 (C) 에 반송하는 계획이다. 요컨대, 이 계획에서는, 제 2 기판 처리 장치 (4) 가 있는 위치로부터 제 2 기판 처리 장치 (4) 가 있는 위치 (최초의 위치와 동일한 위치 또는 상이한 위치) 에 기판 (W) 이 반송된다.
또, 직접 반입구 (25a) 를 통하여 중간 장치 (3) 로부터 제 2 기판 처리 장치 (4) 에 반입되는 기판 (W) 에 대한 제 2 계획의 일례 (제 2 계획 1) 는, 중간 장치 (3) 에 유지되어 있는 기판 (W) 을 중계 유닛 (28) 을 개재하여 제 2 처리 유닛 (MPC) 에 반송하고, 제 2 처리 유닛 (MPC) 에서 처리된 기판 (W) 을 중계 유닛 (28) 을 개재하여 제 2 로드 포트 (LP2) 에 유지되어 있는 캐리어 (C) 에 반송하는 계획이다. 요컨대, 이 계획에서는, 제 2 기판 처리 장치 (4) 와는 상이한 장치 (중간 장치 (3)) 가 있는 위치로부터 제 2 기판 처리 장치 (4) 가 있는 위치에 기판 (W) 이 반송된다.
또, 제 2 계획의 다른 예 (제 2 계획 2) 는, 제 2 인덱서 로봇 (IR2) 에 의해 중간 장치 (3) 로부터 제 2 기판 처리 장치 (4) 에 반입된 기판 (W) 을 제 2 인덱서 로봇 (IR2) 이 퇴피 유닛 (29) 에 반송하고, 퇴피 유닛 (29) 내의 기판 (W) 을 제 2 처리 유닛 (MPC) 에서 처리하지 않고 제 2 인덱서 로봇 (IR2) 이 퇴피 유닛 (29) 으로부터 제 2 로드 포트 (LP2) 에 유지되어 있는 캐리어 (C) 에 반송하는 계획이다.
또, 제 2 계획의 다른 예 (제 2 계획 3) 는, 일시 유지 유닛 (27) (중계 유닛 (28) 및 퇴피 유닛 (29)) 및 제 2 처리 유닛 (MPC) 을 회피하여, 직접 반입구 (25a) 를 통하여 제 2 기판 처리 장치 (4) 에 반입되는 기판 (W) 을 제 2 인덱서 로봇 (IR2) 이 중간 장치 (3) 로부터 제 2 로드 포트 (LP2) 에 유지되어 있는 캐리어 (C) 에 반송하는 계획이다. 요컨대, 이 계획에서는, 일시 유지 유닛 (27) 및 제 2 센터 로봇 (CR2) 을 거치지 않고, 기판 (W) 이, 제 2 인덱서 로봇 (IR2) 에 의해 중간 장치 (3) 로부터 제 2 로드 포트 (LP2) 에 직접 반송된다.
제 2 제어 장치 (24) 는, 제 1 계획을 제 2 기판 처리 장치 (4) 의 리소스에 실행시킴으로써, 제 2 로드 포트 (LP2) 상의 캐리어 (C) 내의 기판 (W) (이하, 「 제 1 기판 (W)」이라고 한다) 의 반송 및/또는 처리를 제 2 기판 처리 장치 (4) 에 실행시킨다. 마찬가지로, 제 2 계획을 제 2 기판 처리 장치 (4) 의 리소스에 실행시킴으로써, 직접 반입구 (25a) 를 통하여 중간 장치 (3) 로부터 제 2 기판 처리 장치 (4) 에 반입되는 기판 (이하, 「제 2 기판 (W)」이라고 한다) 의 반송 및/또는 처리를 제 2 기판 처리 장치 (4) 에 실행시킨다.
제 1 계획의 실행 중에 제 2 기판 (W) 의 처리 개시 지시가 있었던 경우, 제 2 제어 장치 (24) 는, 제 1 계획의 실행을 일시 정지 또는 중지시키고, 제 2 계획의 실행을 우선해도 된다. 예를 들어, 제 2 제어 장치 (24) 는, 캐리어 (C) 내로부터의 제 1 기판 (W) 의 반출이나, 제 2 처리 유닛 (MPC) 에 대한 제 1 기판 (W) 의 반입을 일시 정지시키고, 정지시키고 있는 기간 중에 제 2 계획을 제 2 기판 처리 장치 (4) 의 리소스에 실행시켜도 된다. 이것과는 반대로, 제 2 계획의 실행 중에 제 1 기판 (W) 의 처리 개시 지시가 있었던 경우, 제 2 제어 장치 (24) 는, 제 2 계획의 실행을 일시 정지 또는 중지시키고, 제 1 계획의 실행을 우선해도 된다.
이상과 같이 본 실시형태에서는, 제 2 제어 장치 (24) 는, 제 2 기판 처리 장치 (4) 에 실재하지 않는 캐리어에 대응하는 제 1 가상 캐리어를 생성함으로써, 제 2 기판 처리 장치 (4) 에 반입되기 전의 기판 (W) 의 위치 정보, 요컨대, 제 2 기판 처리 장치 (4) 밖에서의 기판 (W) 의 위치 정보를 기억한다. 그리고, 제 2 제어 장치 (24) 는, 기판 (W) 이 직접 반입구 (25a) 를 통하여 중간 장치 (3) 로부터 제 2 기판 처리 장치 (4) 에 반입되기 전에, 직접 반입구 (25a) 를 통하여 제 2 기판 처리 장치 (4) 밖으로부터 제 2 기판 처리 장치 (4) 중에 기판 (W) 을 반송하는 제 2 계획을 미리 기억한 위치 정보에 기초하여 작성한다. 이와 같이, 제 2 기판 처리 장치 (4) 밖에서의 기판 (W) 의 반송 공정도 포함하는 제 2 계획이 작성되므로, 제 2 기판 처리 장치 (4) 밖으로부터 제 2 기판 처리 장치 (4) 중으로의 기판 (W) 의 반송이 원활하게 이루어진다. 그 결과, 제 1 기판 처리 장치 (2) 에 반입된 기판 (W) 이 중간 장치 (3) 를 개재하여 제 2 기판 처리 장치 (4) 에 반입될 때까지 발생하는 시간의 로스가 저감된다. 이로써, 제 1 기판 처리 장치 (2) 로부터 제 2 기판 처리 장치 (4) 까지의 기판 (W) 의 반송 시간을 단축시킬 수 있다.
또 본 실시형태에서는, 제 1 기판 처리 장치 (2) 에서 처리된 기판 (W) 의 품질이, 당해 기판 (W) 이 제 2 기판 처리 장치 (4) 에 반입되기 전에 검사된다. 제 2 제어 장치 (24) 는, 제 2 반송 유닛이 직접 반입구 (25a) 를 통하여 제 2 기판 처리 장치 (4) 의 외부와 제 2 기판 처리 장치 (4) 의 내부 사이에서 기판 (W) 을 반송할 뿐만 아니라, 제 2 처리 유닛 (MPC) 이 검사 결과에 따른 기판 처리 조건에서 기판 (W) 을 처리하도록 제 2 계획을 작성한다. 따라서, 기판 (W) 의 품질에 따른 처리를 제 2 처리 유닛 (MPC) 에서 실시할 수 있어, 기판 (W) 의 품질을 높일 수 있다.
또 본 실시형태에서는, 제 1 검사 유닛 (9) 이 제 1 기판 처리 장치 (2) 에 형성되어 있고, 제 1 기판 처리 장치 (2) 에서 처리된 기판 (W) 의 품질이 제 1 기판 처리 장치 (2) 에서 검사된다. 제 1 검사 유닛 (9) 이 제 1 기판 처리 장치 (2) 및 중간 장치 (3) 이외의 장치, 요컨대 기판 (W) 의 반송 경로 외에 형성되어 있는 경우, 제 1 기판 처리 장치 (2) 및 중간 장치 (3) 밖까지 기판 (W) 을 반송하는 것이 필요하고, 그것을 위한 여분의 반송 시간이 발생한다. 따라서, 제 1 기판 처리 장치 (2) 에 제 1 검사 유닛 (9) 을 형성함으로써, 제 1 기판 처리 장치 (2) 로부터 제 2 기판 처리 장치 (4) 까지의 기판 (W) 의 반송 시간을 단축시킬 수 있다.
또 본 실시형태에서는, 복수의 캐리어 (C) 를 각각 유지하는 복수의 제 2 로드 포트 (LP2) 가, 제 2 기판 처리 장치 (4) 에 형성되어 있다. 제 2 제어 장치 (24) 는, 캐리어 (C) 내의 기판 (W) 이 제 2 로드 포트 (LP2) 로부터 제 2 처리 유닛 (MPC) 에 반송되고, 제 2 처리 유닛 (MPC) 에서 처리된 기판 (W) 이 제 2 처리 유닛 (MPC) 으로부터 제 2 로드 포트 (LP2) 에 반송되도록 제 1 계획을 작성한다. 이와 같이, 제 2 기판 처리 장치 (4) 는, 직접 반입구 (25a) 뿐만 아니라, 제 2 로드 포트 (LP2) 로부터도 기판 (W) 을 받아들일 수 있으므로, 제 2 기판 처리 장치 (4) 의 가동률을 높일 수 있다.
또 본 실시형태에서는, 제 1 계획 및 제 2 계획의 일방, 요컨대 우선해야 할 우선 계획과는 상이한 비우선 계획의 실행이 일시 정지 또는 중지된다. 그리고, 제 1 계획 및 제 2 계획의 타방, 요컨대 우선 계획이 제 2 기판 처리 장치 (4) 에 의해 실행된다. 따라서, 우선 계획에 대응하는 기판 (W) 의 처리 개시를 앞당길 수 있다. 그 때문에, 우선 계획에 대응하는 기판 (W) 에 관하여, 선행 장치 (제 1 기판 처리 장치 (2)) 에서의 기판 (W) 의 처리 종료로부터 후속 장치 (제 2 기판 처리 장치 (4)) 에서의 기판 (W) 의 처리 개시까지의 시간을 단축시킬 수 있다.
또 본 실시형태에서는, 제 2 반송 유닛이 직접 반입구 (25a) 를 통하여 중간 장치 (3) 로부터 제 2 로드 포트 (LP2) 에 기판 (W) 을 반송하도록 제 2 제어 장치 (24) 가 제 2 계획을 작성한다. 따라서, 직접 반입구 (25a) 를 통하여 제 2 기판 처리 장치 (4) 에 반입된 기판 (W) 은, 복수의 제 2 처리 유닛 (MPC) 에서 처리되지 않고, 제 2 로드 포트 (LP2) 에 반송된다. 예를 들어 제 1 기판 처리 장치 (2) 에서 처리된 기판 (W) 이 불량인 경우, 제 2 기판 처리 장치 (4) 에서의 기판 (W) 의 처리는 불필요해진다. 따라서, 이와 같은 경우에, 제 2 기판 처리 장치 (4) 에서의 기판 (W) 의 처리를 회피함으로써, 제 2 기판 처리 장치 (4) 의 가동률을 높일 수 있다. 또한, 기판 (W) 이 제 2 처리 유닛 (MPC) 을 경유하는 경우보다 반송 경로가 짧아지므로, 제 2 기판 처리 장치 (4) 내에서의 기판 (W) 의 체재 시간이 단축된다. 따라서, 예를 들어 중간 장치 (3) 로부터 제 2 기판 처리 장치 (4) 에 반입된 기판 (W) 이 오염되어 있는 경우에는, 기판 (W) 에 부착되어 있는 이물질에 의해 제 2 기판 처리 장치 (4) 의 내부가 오염되는 것을 억제 또는 방지할 수 있다. 이로써, 다른 기판 (W) 의 품질을 향상시킬 수 있다.
또 본 실시형태에서는, 제 2 반송 유닛이 직접 반입구 (25a) 를 통하여 중간 장치 (3) 로부터 퇴피 유닛 (29) 에 기판 (W) 을 반송하고, 그 후, 퇴피 유닛 (29) 으로부터 복수의 로드 포트에 당해 기판 (W) 을 반송하도록 제 2 제어 장치 (24) 가 제 2 계획을 작성한다. 즉, 직접 반입구 (25a) 를 지나 제 2 기판 처리 장치 (4) 에 반입된 기판 (W) 은, 복수의 제 2 처리 유닛 (MPC) 대신에, 기판 (W) 을 퇴피시키는 퇴피 유닛 (29) 을 경유하여, 중간 장치 (3) 로부터 복수의 제 2 로드 포트 (LP2) 에 반송된다. 전술한 바와 같이, 제 1 기판 처리 장치 (2) 에서 처리된 기판 (W) 이 불량인 경우, 제 2 기판 처리 장치 (4) 에서의 기판 (W) 의 처리는 불필요해진다. 따라서, 이와 같은 경우에, 제 2 기판 처리 장치 (4) 에서의 기판 (W) 의 처리를 회피함으로써, 제 2 기판 처리 장치 (4) 의 가동률을 높일 수 있다. 또한, 기판 (W) 은, 제 2 처리 유닛 (MPC) 대신에 퇴피 유닛 (29) 을 경유하므로, 제 2 제어 장치 (24) 는, 퇴피시켜야 할 기판 (W) 의 계획을 제 2 처리 유닛 (MPC) 에서 처리되는 기판 (W) 과 동일하게 작성할 수 있다.
본 발명의 실시형태의 설명은 이상이지만, 본 발명은, 전술한 실시형태의 내용에 한정되는 것은 아니고, 본 발명의 범위 내에 있어서 다양한 변경이 가능하다.
예를 들어, 전술한 실시형태에서는, PJ 에서 당초 지정되어 있는 레시피가, 제 1 검사 유닛 (9) 의 검사 결과를 반영한 레시피로 교체되고, 제 2 처리 유닛 (MPC) 에서의 기판 처리 조건이 변경되는 경우에 대해 설명하였다. 요컨대, 어떠한 검사 결과라 하더라도, 기판 (W) 이 제 2 처리 유닛 (MPC) 에서 처리되는 경우에 대해 설명하였다. 그러나, 레시피의 교체가 이루어지지 않고, 당초 지정되어 있는 레시피로 기판 (W) 이 처리되어도 된다. 또, 제 2 제어 장치 (24) 는, 제 1 검사 유닛 (9) 의 검사 결과 (호스트 컴퓨터 (HC) 로부터 보내진 검사 정보) 에 기초하여, 기판 (W) 이 제 2 처리 유닛 (MPC) 을 회피하여 중간 장치 (3) 로부터 제 2 로드 포트 (LP2) 에 반송되도록 제 2 계획을 작성해도 된다.
또, 전술한 실시형태에서는, 제 1 검사 유닛 (9) 이, 처리 후의 기판 (W) (드라이 에칭 후의 기판 (W)) 의 표면에 형성된 패턴의 선폭을 측정하는 경우에 대해 설명하였지만, 선폭의 측정 이외의 검사가 제 1 검사 유닛 (9) 에서 실시되어도 된다. 예를 들어 제 1 기판 처리 장치 (2) 가 성막 장치인 경우에는, 제 1 기판 처리 장치 (2) 에서 형성된 박막의 두께가 제 1 검사 유닛 (9) 에서 측정되어도 된다.
또, 전술한 실시형태에서는, 기판 (W) 의 품질을 검사하는 검사 유닛 (제 1 검사 유닛 (9)) 이 제 1 기판 처리 장치 (2) 에 형성되어 있는 경우에 대해 설명하였지만, 검사 유닛은, 중간 장치 (3) 에 형성되어 있어도 된다. 또, 제 1 검사 유닛 (9) 이 기판 처리 시스템 (1) 으로부터 생략되어도 된다.
또, 전술한 실시형태에서는, 제 1 검사 유닛 (9) 이, 제 1 기판 처리 장치 (2) 에서 처리된 모든 기판 (W) 을 검사하는 경우에 대해 설명하였지만, 제 1 기판 처리 장치 (2) 에서 처리된 일부의 기판 (W) 에 대해서만 제 1 검사 유닛 (9) 에 의한 검사가 실시되어도 된다.
또, 전술한 실시형태에서는, 제 1 기판 처리 장치 (2), 중간 장치 (3), 및 제 2 기판 처리 장치 (4) 가 이 순서로 수평한 캐리어 (C) 의 배열 방향 (D1) 으로 배열되어 있는 경우에 대해 설명하였지만, 캐리어 (C) 의 배열 방향 (D1) 과 직교하는 수평한 직교 방향 (D2) 으로, 제 1 기판 처리 장치 (2), 중간 장치 (3), 및 제 2 기판 처리 장치 (4) 가 이 순서로 배열되어 있어도 된다.
또, 전술한 실시형태에서는, 퇴피 유닛 (29) 의 퇴피 박스 (32) 가, 제 2 인덱서 로봇 (IR2) 측으로 열린 개구와, 제 2 센터 로봇 (CR2) 측으로 열린 개구를 포함하는 경우에 대해 설명하였지만, 제 2 인덱서 로봇 (IR2) 및 제 2 센터 로봇 (CR2) 의 일방만이 퇴피 유닛 (29) 내에 액세스할 수 있도록 2 개의 개구 중 일방이 생략되어도 된다. 즉, 퇴피 박스 (32) 는, 제 2 인덱서 로봇 (IR2) 및 제 2 센터 로봇 (CR2) 의 적어도 일방의 핸드 (H) 가 퇴피 박스 (32) 의 내부에 진입할 수 있도록 구성되어 있으면 된다.
또, 전술한 실시형태에서는, 제 2 처리 모듈 (23) 이 일시 유지 유닛 (27) 을 구비하고 있고, 제 2 인덱서 로봇 (IR2), 제 2 센터 로봇 (CR2), 일시 유지 유닛 (27) 이 제 2 반송 유닛을 구성하고 있는 경우에 대해 설명하였지만, 일시 유지 유닛 (27) 이 생략되고, 제 2 인덱서 로봇 (IR2) 및 제 2 센터 로봇 (CR2) 이 직접 기판 (W) 의 수수를 실시해도 된다.
또, 전술한 실시형태에서는, 직접 반입구 (25a) 를 개폐하는 하류 셔터 (19) 를 개폐하는 제 2 개폐 장치가 중간 제어 장치 (13) 에 의해 제어되는 경우에 대해 설명하였지만, 제 2 개폐 장치는, 제 2 제어 장치 (24) 에 의해 제어되어도 된다.
또, 전술한 모든 실시형태 중 2 개 이상이 조합되어도 된다.
본 발명의 실시형태에 대해 상세하게 설명하였지만, 이것들은 본 발명의 기술적 내용을 분명히 하기 위해 이용된 구체예에 지나지 않고, 본 발명은 이들 구체예에 한정하여 해석되어야 하는 것은 아니며, 본 발명의 정신 및 범위는 첨부된 청구의 범위에 의해서만 한정된다.
본 출원은, 2013년 7월 29일에 일본 특허청에 제출된 일본 특허출원 2013-156946호에 대응하고 있고, 이 출원의 전체 개시는 여기에 인용에 의해 도입되는 것으로 한다.
1 : 기판 처리 시스템
2 : 제 1 기판 처리 장치
3 : 중간 장치
4 : 제 2 기판 처리 장치
9 : 제 1 검사 유닛
11 : 상류 지지 부재
12 : 하류 지지 부재
13 : 중간 제어 장치
14 : 중간 박스
15 : 상류 박스
16 : 박스 본체
17 : 하류 박스
18 : 상류 셔터
19 : 하류 셔터
20 : 배기 덕트
22 : 제 2 인덱서 모듈
23 : 제 2 처리 모듈
24 : 제 2 제어 장치
25 : 제 2 인덱서 박스
25a : 직접 반입구
27 : 일시 유지 유닛
28 : 중계 유닛
29 : 퇴피 유닛
41 : 스케줄링부
42 : 잡 관리 리스트
43 : 잡 관리부
44 : 스케줄링 엔진
45 : 처리 실행 지시부
C : 캐리어
CR2 : 제 2 센터 로봇
HC : 호스트 컴퓨터
IR1 : 제 1 인덱서 로봇
IR2 : 제 2 인덱서 로봇
LP1 : 제 1 로드 포트
LP2 : 제 2 로드 포트
MPC : 제 2 처리 유닛
R3 : 중간 반송 로봇
W : 기판

Claims (17)

  1. 호스트 컴퓨터로부터의 잡 생성 지시에 대응하여 잡을 작성하고, 당해 잡에 기초하여 소정의 관리 에어리어 내에서 기판의 반송 및 처리를 실행하는 기판 처리 장치로서,
    당해 기판 처리 장치는, 당해 기판 처리 장치보다 전단계에서 기판을 처리하는 다른 기판 처리 장치인 제 1 기판 처리 장치에서 처리된 기판을 상기 제 1 기판 처리 장치의 외부에서 직접 지지한 상태에서 당해 기판을 반송하는 중간 장치에 접속되어 있고,
    상기 중간 장치로부터 반입되는 기판을 받아들이는 직접 반입구와,
    상기 직접 반입구를 통하여 상기 기판 처리 장치에 반입되는 기판을 반송하고, 상기 관리 에어리어 내에서 기판을 반송하는 반송 유닛과,
    상기 반송 유닛에 의해 반입되는 기판을 처리하는 복수의 처리 유닛과,
    상기 기판 처리 장치를 제어하는 제어 장치를 포함하고,
    당해 제어 장치는,
    당해 기판 처리 장치에서 처리할 예정인 기판이, 상기 제 1 기판 처리 장치에 위치하였던 것이 상기 호스트 컴퓨터로부터 보고되면, 당해 기판의 상기 제 1 기판 처리 장치에 있어서의 위치 정보를, 당해 제어 장치에서 인식 가능한 가상 기판 위치 정보와 대응지어 기억하는 제 1 스텝과,
    상기 호스트 컴퓨터로부터 상기 기판의 잡 생성 지시가 이루어지면, 상기 가상 기판 위치 정보를 사용하여, 상기 기판을 당해 기판 처리 장치에서 반송 및 처리하기 위한 잡을 생성하는 제 2 스텝을 실행하는, 기판 처리 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 제어 장치는, 상기 직접 반입구를 통하여 상기 기판 처리 장치에 반입되는 기판을 상기 기판 처리 장치의 외부로부터 상기 기판 처리 장치의 내부로 상기 반송 유닛에게 반송시키는 반입 공정을 포함하는 제 2 계획을, 상기 제 1 스텝에서 기억된 가상 기판 위치 정보를 사용하여, 당해 기판이 상기 기판 처리 장치에 반입되기 전에 작성하는 제 3 스텝을 추가로 실행하는, 기판 처리 장치.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 제어 장치는, 상기 제 1 기판 처리 장치에서 처리된 기판을 당해 기판이 상기 기판 처리 장치에 반입되기 전에 검사하는 검사 유닛의 검사 결과에 따른 기판 처리 조건을 설정하는 제 4 스텝을 추가로 실행하고,
    상기 제 3 스텝은, 상기 반입 공정과, 상기 반입 공정에서 상기 복수의 처리 유닛에 반송된 기판을 상기 기판 처리 조건에서 상기 복수의 처리 유닛에 처리시키는 처리 공정을 포함하는 상기 제 2 계획을, 상기 제 1 스텝에서 기억된 가상 기판 위치 정보를 사용하여 당해 기판이 상기 기판 처리 장치에 반입되기 전에 작성하는 스텝을 포함하는, 기판 처리 장치.
  4. 제 3 항에 있어서,
    상기 제 4 스텝은, 상기 제 1 기판 처리 장치 및 중간 장치의 일방에 형성된 상기 검사 유닛의 검사 결과에 따라 상기 기판 처리 조건을 설정하는 스텝을 포함하는, 기판 처리 장치.
  5. 제 2 항에 있어서,
    상기 기판 처리 장치는, 복수 장의 기판을 수용 가능한 복수의 캐리어를 각각 유지하는 복수의 로드 포트를 추가로 포함하고,
    상기 제 3 스텝은, 상기 직접 반입구를 통하여 상기 기판 처리 장치에 반입되는 기판이, 상기 복수의 처리 유닛을 회피하여 상기 기판 처리 장치의 외부로부터 상기 로드 포트에 상기 반송 유닛에 의해 반송되도록, 상기 제 2 계획을 작성하는 스텝을 포함하는, 기판 처리 장치.
  6. 제 2 항에 있어서,
    상기 기판 처리 장치는, 복수 장의 기판을 수용 가능한 복수의 캐리어를 각각 유지하는 복수의 로드 포트와, 기판을 퇴피시키는 퇴피 유닛을 추가로 포함하고,
    상기 제 3 스텝은, 상기 직접 반입구를 통하여 상기 기판 처리 장치에 반입되는 기판이, 상기 반송 유닛에 의해 상기 기판 처리 장치의 외부로부터 상기 퇴피 유닛에 반송되고, 상기 퇴피 유닛으로부터 상기 복수의 로드 포트에 반송되도록, 상기 제 2 계획을 작성하는 스텝을 포함하는, 기판 처리 장치.
  7. 제 2 항에 있어서,
    상기 기판 처리 장치는, 복수 장의 기판을 수용 가능한 복수의 캐리어를 각각 유지하는 복수의 로드 포트를 추가로 포함하고,
    상기 제어 장치는,
    기판을 상기 복수의 로드 포트로부터 상기 복수의 처리 유닛으로 상기 반송 유닛에게 반송시키는 반입 공정과, 상기 복수의 처리 유닛에 반송된 기판을 상기 복수의 처리 유닛에 처리시키는 처리 공정과, 상기 복수의 처리 유닛에서 처리된 기판을 상기 복수의 처리 유닛으로부터 상기 복수의 로드 포트로 상기 반송 유닛에게 반송시키는 반출 공정을 포함하는 제 1 계획을 작성하는 제 5 스텝을 추가로 실행하는, 기판 처리 장치.
  8. 제 7 항에 있어서,
    상기 제어 장치는, 상기 제 1 계획 및 제 2 계획의 일방의 실행을 정지시키고, 상기 제 1 계획 및 제 2 계획의 타방을 상기 기판 처리 장치에 실행시키는 제 6 스텝을 추가로 실행하는, 기판 처리 장치.
  9. 호스트 컴퓨터로부터의 잡 생성 지시에 대응하여 잡을 작성하고, 당해 잡에 기초하여 소정의 관리 에어리어 내에서 기판의 반송 및 처리를 실행하는 기판 처리 장치로서, 당해 기판 처리 장치보다 전단계에서 기판을 처리하는 다른 기판 처리 장치인 제 1 기판 처리 장치에서 처리된 기판을 상기 제 1 기판 처리 장치의 외부에서 직접 지지한 상태에서 당해 기판을 반송하는 중간 장치에 접속되어 있고, 상기 중간 장치로부터 반입되는 기판을 받아들이는 직접 반입구와, 상기 직접 반입구를 통하여 상기 기판 처리 장치에 반입되는 기판을 반송하고, 상기 관리 에어리어 내에서 기판을 반송하는 반송 유닛과, 상기 반송 유닛에 의해 반입되는 기판을 처리하는 복수의 처리 유닛과, 상기 기판 처리 장치를 제어하는 제어 장치를 포함하는, 상기 기판 처리 장치에 의해 실행되는 기판 처리 방법으로서,
    당해 기판 처리 장치에서 처리할 예정인 기판이, 상기 제 1 기판 처리 장치에 위치하였던 것이 상기 호스트 컴퓨터로부터 보고되면, 당해 기판의 상기 제 1 기판 처리 장치에 있어서의 위치 정보를, 당해 제어 장치에서 인식 가능한 가상 기판 위치 정보와 대응지어 기억하는 제 1 스텝과,
    상기 호스트 컴퓨터로부터 상기 기판의 잡 생성 지시가 이루어지면, 상기 가상 기판 위치 정보를 사용하여, 상기 기판을 당해 기판 처리 장치에서 반송 및 처리하기 위한 잡을 생성하는 제 2 스텝을 포함하는, 기판 처리 방법.
  10. 제 9 항에 있어서,
    상기 직접 반입구를 통하여 상기 기판 처리 장치에 반입되는 기판을 상기 기판 처리 장치의 외부로부터 상기 기판 처리 장치의 내부로 상기 반송 유닛에게 반송시키는 반입 공정을 포함하는 제 2 계획을, 상기 제 1 스텝에서 기억된 가상 기판 위치 정보를 사용하여, 당해 기판이 상기 기판 처리 장치에 반입되기 전에 작성하는 제 3 스텝을 추가로 포함하는, 기판 처리 방법.
  11. 제 10 항에 있어서,
    상기 기판 처리 방법은, 상기 제 1 기판 처리 장치에서 처리된 기판을 당해 기판이 상기 기판 처리 장치에 반입되기 전에 검사하는 검사 유닛의 검사 결과에 따른 기판 처리 조건을 설정하는 제 4 스텝을 추가로 포함하고,
    상기 제 3 스텝은, 상기 반입 공정과, 상기 반입 공정에서 상기 복수의 처리 유닛에 반송된 기판을 상기 기판 처리 조건에서 상기 복수의 처리 유닛에 처리시키는 처리 공정을 포함하는 상기 제 2 계획을, 상기 제 1 스텝에서 기억된 가상 기판 위치 정보를 사용하여 당해 기판이 상기 기판 처리 장치에 반입되기 전에 작성하는 스텝을 포함하는, 기판 처리 방법.
  12. 제 11 항에 있어서,
    상기 제 4 스텝은, 상기 제 1 기판 처리 장치 및 중간 장치의 일방에 형성된 상기 검사 유닛의 검사 결과에 따라 상기 기판 처리 조건을 설정하는 스텝을 포함하는, 기판 처리 방법.
  13. 제 10 항 내지 제 12 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 기판 처리 장치는, 복수 장의 기판을 수용 가능한 복수의 캐리어를 각각 유지하는 복수의 로드 포트를 추가로 포함하고,
    상기 제 3 스텝은, 상기 직접 반입구를 통하여 상기 기판 처리 장치에 반입되는 기판이, 상기 복수의 처리 유닛을 회피하여 상기 기판 처리 장치의 외부로부터 상기 로드 포트에 상기 반송 유닛에 의해 반송되도록, 상기 제 2 계획을 작성하는 스텝을 포함하는, 기판 처리 방법.
  14. 제 10 항 내지 제 12 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 기판 처리 장치는, 복수 장의 기판을 수용 가능한 복수의 캐리어를 각각 유지하는 복수의 로드 포트와, 기판을 퇴피시키는 퇴피 유닛을 추가로 포함하고,
    상기 제 3 스텝은, 상기 직접 반입구를 통하여 상기 기판 처리 장치에 반입되는 기판이, 상기 반송 유닛에 의해 상기 기판 처리 장치의 외부로부터 상기 퇴피 유닛에 반송되고, 상기 퇴피 유닛으로부터 상기 복수의 로드 포트에 반송되도록, 상기 제 2 계획을 작성하는 스텝을 포함하는, 기판 처리 방법.
  15. 제 10 항 내지 제 12 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 기판 처리 장치는, 복수 장의 기판을 수용 가능한 복수의 캐리어를 각각 유지하는 복수의 로드 포트를 추가로 포함하고,
    상기 기판 처리 방법은,
    기판을 상기 복수의 로드 포트로부터 상기 복수의 처리 유닛으로 상기 반송 유닛에게 반송시키는 반입 공정과, 상기 복수의 처리 유닛에 반송된 기판을 상기 복수의 처리 유닛에 처리시키는 처리 공정과, 상기 복수의 처리 유닛에서 처리된 기판을 상기 복수의 처리 유닛으로부터 상기 복수의 로드 포트로 상기 반송 유닛에게 반송시키는 반출 공정을 포함하는 제 1 계획을 작성하는 제 5 스텝을 추가로 포함하는, 기판 처리 방법.
  16. 제 15 항에 있어서,
    상기 제 1 계획 및 제 2 계획의 일방의 실행을 정지시키고, 상기 제 1 계획 및 제 2 계획의 타방을 상기 기판 처리 장치에 실행시키는 제 6 스텝을 추가로 포함하는, 기판 처리 방법.
  17. 기판을 처리하는 제 1 기판 처리 장치와,
    제 1 항 내지 제 8 항 중 어느 한 항에 기재된 기판 처리 장치와,
    상기 제 1 기판 처리 장치에서 처리된 기판을 상기 제 1 기판 처리 장치의 외부에서 직접 지지한 상태에서 상기 제 1 기판 처리 장치와 상기 기판 처리 장치 사이에서 반송하는 중간 장치를 포함하는, 기판 처리 시스템.
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