KR101671168B1

KR101671168B1 - 활성탄용 슬라임 컨트롤제, 활성탄 장치에 대한 통수 방법, 유기물 함유수의 처리 방법 및 처리 장치

Info

Publication number: KR101671168B1
Application number: KR1020117019620A
Authority: KR
Inventors: 노조무 이쿠노
Original assignee: 쿠리타 고교 가부시키가이샤
Priority date: 2009-02-27
Filing date: 2010-01-20
Publication date: 2016-11-01
Also published as: CN102271519A; WO2010098158A1; CN102271519B; BRPI1009754A2; JP5608988B2; BRPI1009754B1; TW201043579A; JP2010202524A; US20110297614A1; KR20110132335A; TWI504572B; US9598297B2

Abstract

전자 디바이스 제조 공장에서 사용되는 초순수 제조 시스템에 있어서의 활성탄 처리와 후단의 RO 막 분리 처리를 포함하는 플로우에 있어서, 활성탄탑 내 그리고 역침투막 분리 장치에 있어서의 미생물의 증식을 억제하여 장기에 걸쳐 안정적인 처리를 실시하는 것을 가능하게 하는 유기물 함유수의 처리 방법 및 처리 장치. 유기물 함유수에 슬라임 컨트롤제를 첨가하는 슬라임 컨트롤제 첨가 공정과, 그 슬라임 컨트롤제 첨가 공정을 거친 유기물 함유수를 활성탄으로 처리하는 활성탄 처리 공정과, 그 활성탄 처리 공정을 거친 유기물 함유수를 역침투막 분리 수단에 통수시키는 역침투막 분리 공정을 갖는 상기 유기물 함유수의 처리 방법에 있어서, 슬라임 컨트롤제로서 염소계 산화제와 술파민산 화합물의 결합 염소제를 사용한다.

Description

활성탄용 슬라임 컨트롤제, 활성탄 장치에 대한 통수 방법, 유기물 함유수의 처리 방법 및 처리 장치{SLIME CONTROL AGENT FOR ACTIVATED CARBON, METHOD OF PASSING WATER THROUGH ACTIVATED-CARBON DEVICE, AND METHOD AND APPARATUS FOR TREATING ORGANIC-CONTAINING WATER}

본 발명은 활성탄용 슬라임 컨트롤제와, 이 슬라임 컨트롤제를 사용한 활성탄 장치에 대한 통수 (通水) 방법에 관한 것이다. 또, 본 발명은 이 슬라임 컨트롤제를 사용한 유기물 함유수의 처리 방법 및 장치와 관련되고, 특히, 전자 디바이스 제조 공장에서 사용되는 초순수를 제조하는 시스템이나, 전자 디바이스 제조 공장으로부터 배출되는 고농도 내지 저농도 유기물 (TOC) 함유 배수를 역침투막 (RO) 막 분리 장치를 사용하여 처리·회수하는 시스템에 있어서 RO 막 분리 장치 내에서의 유기물의 막면 부착 (유기물 파울링) 에 의한 플럭스의 저하나, 바이오 파울링에 의한 플럭스의 저하를 방지하여 장기에 걸쳐 안정적인 처리를 실시함과 동시에, 수중 TOC 농도를 효율적으로 저감시켜 고수질의 처리수를 얻는 유기물 함유수의 처리 방법 및 처리 장치에 관한 것이다.

전자 디바이스 제조 공장에 있어서는, 세정 용수로서 초순수가 사용되고, 초순수는 공업 용수 혹은 공장으로부터 배출되는 배수를 원수로 하여 일반적으로 활성탄 처리와 후단의 RO 막 분리 처리를 포함하는 플로우에 의해 제조된다.

활성탄 처리의 목적은 원수 중의 산화제 제거 또는 유기물·색도 등의 제거이다.

활성탄탑에 있어서는 유기물이 흡착 농축되기 때문에, 그 유기물을 영양원으로 하여 활성탄탑 내는 미생물이 번식하기 쉬운 환경이 된다. 일반적으로 미생물은 산화제 존재하에 있어서는 존재할 수 없다. 따라서, 산화제에 노출되는 활성탄 유입수 중에는 미생물은 존재하지 않는다. 그러나, 활성탄에서의 산화제 제거 메커니즘은, 활성탄 표면에서의 촉매 분해 반응이고, 탑 내 상부에서 진행되기 때문에, 활성탄탑 내 중부 그리고 하부는 산화제가 존재하지 않는 상태가 된다. 따라서, 활성탄탑 내부는 미생물의 온상이 되고, 일반적으로 10³ 개/㎖ ∼ 10⁷ 개/㎖ 정도의 균체가 활성탄탑으로부터 리크된다.

활성탄탑은 산화제 제거, 유기물 제거 수단으로서 초순수 제조 장치에 있어서는 빠뜨릴 수 없는 장치이지만, 상기 서술한 바와 같이, 미생물의 온상이 될 수 있기 때문에, 활성탄탑에 유입되는 유기물 농도가 높은 경우에는 활성탄탑으로부터 유출되는 미생물에 의해 후단에 설치하는 보안 필터 혹은 RO 막이 바이오 파울링을 일으켜, 클로깅된다는 문제가 있었다.

활성탄탑 내의 살균을 위해서, 열수 살균이나 염소 살균법이 실시되어 왔다.

열수 살균은 80 ℃ 이상의 열수를 1 시간 이상 활성탄탑에 통수시켜 유지하는 방법인데, 고온의 열수를 장시간 통수, 유지할 필요성이 있어, 공업적으로 유리한 방법이라고는 할 수 없다.

염소 살균으로는, 일본 공개특허공보 평5-64782호에, 역세수에 NaClO 를 첨가하여 역세를 실시하는 방법이 제안되어 있는데, 본 법에 있어서는, 역세수가 유입되는 활성탄탑의 하부층 표면에서 NaClO 가 분해되기 때문에, 활성탄탑 내 전체에는 NaClO 가 골고루 미치지 못하고, 충분한 살균 효과를 얻을 수 없다.

최근, 환경 기준 내지 수질 기준은 더욱 엄격해지는 경향에 있고, 방류수에 대해서도 고도로 정화될 것이 요구되고 있다. 또, 물부족 해소의 목적에서, 각종 배수를 회수하여 재이용하기 위해서도, 고도의 수처리 기술의 개발이 요구되고 있다.

RO 막 분리 처리는 수중의 불순물 (이온류, 유기물, 미립자 등) 을 효과적으로 제거하는 것이 가능한 점에서, 최근, 많은 분야에서 사용되도록 되어 왔다. 예를 들어, 반도체 제조 프로세스에서 배출되는 아세톤, 이소프로필알코올 등을 함유하는 고농도 TOC 혹은 저농도 TOC 함유 배수를 회수하여 재이용하는 경우, 이것을 먼저 생물 처리하여 TOC 성분을 제거하고 생물 처리수를 RO 막 처리하여 정화하는 방법이 널리 채용되고 있다 (예를 들어, 일본 공개특허공보 2002-336886호).

그러나, 생물 처리 배수를 RO 막 분리 장치에 통수시켰을 경우, 미생물에 의한 유기물 분해로 생성되는 생물 대사물에 의해, RO 막의 막면이 폐색되어 플럭스가 저하되는 경우가 있다.

생물 처리를 실시하지 않고 TOC 함유 배수를 직접 RO 막 분리 장치에 통수시킨 경우에는, RO 막 분리 장치에 유입되는 TOC 농도가 높기 때문에, RO 막 분리 장치 내에서는 미생물이 번식하기 쉬운 환경이 된다. 그래서, RO 막 분리 장치 내에서의 바이오 파울링을 억제할 목적에서, 통상은 TOC 함유 배수에 슬라임 컨트롤제를 첨가하는 것이 실시되고 있다.

슬라임 컨트롤제로는, 염가의 차아염소산나트륨 등의 염소계 산화제가 널리 사용되고 있는데, 이것은 폴리아미드계의 RO 막을 열화시킬 우려가 있다. 일본 공개특허공보 2006-263510호에는, RO 막의 열화를 발생시키지 않는 슬라임 컨트롤제로서, 염소계 산화제와 술파민산 화합물로 이루어지는 결합 염소제를 함유하는 막 분리용 슬라임 컨트롤제나, 염소계 산화제 및 술파민산 화합물을 함유하는 막 분리용 슬라임 컨트롤제가 기재되어 있다.

또, 전자 디바이스 제조 공장으로부터 배출되는 배수에는, RO 막 분리 장치의 막면에 부착되어, 플럭스를 저하시킬 우려가 있는 비이온성 계면활성제가 혼입되는 경우가 있기 때문에, RO 막 분리 처리를 적용할 수는 없었다.

이와 같은 문제를 해결하고, 전자 디바이스 제조 공장, 그 외 각종 분야로부터 배출되는 고농도 내지 저농도 유기물 함유수를 RO 막 분리 장치를 사용하여 처리·회수할 때, RO 막 분리 장치 내에서의 유기물의 막면 부착에 의한 플럭스의 저하, 바이오 파울링을 방지하여 장기에 걸쳐 안정적인 처리를 실시함과 동시에, 수중 TOC 농도를 효율적으로 저감시켜 고수질의 처리수를 얻는 기술로서, 유기물 함유수에, 그 유기물 함유수 중의 칼슘 이온의 5 중량배 이상의 스케일 방지제를 첨가함과 함께, 스케일 방지제 첨가 전, 후 또는 동시에 유기물 함유수에 알칼리제를 첨가하여 pH 를 9.5 이상으로 조정하고, 그 후 RO 분리 처리하는 방법 및 장치가 있다 (일본 공개특허공보 2005-169372호).

또, 스케일 방지제를 첨가함과 함께, pH 9.5 이상으로 조정한 배수를 활성탄 처리하고, 그 후, RO 막 분리 처리함으로써, 활성탄탑 그리고 RO 막 분리 장치에 있어서의 미생물의 증식을 억제하여, 처리수를 안정적으로 얻는 방법 및 장치가 알려져 있다 (일본 특허 제3906855호). 이 방법에 있어서, 활성탄탑은 원수에 혼입되는 산화제 및 원수 중의 유기물을 흡착 제거하기 위해서 형성되어 있다.

RO 막 분리 장치에 도입하는 피처리수 (이하 「RO 급수」라고 칭하는 경우가 있다) 에 소정량의 스케일 방지제를 첨가함과 함께 pH 를 9.5 이상으로 조정하여 RO 막 분리 장치에 통수시킴으로써, RO 막 분리 장치 내에서의 유기물의 막면 부착에 의한 플럭스의 저하이거나, 바이오 파울링을 방지하여 장기에 걸쳐 안정적인 처리를 실시함과 함께, 수중 TOC 농도를 효율적으로 저감시켜 고수질의 처리수를 얻는 것이 가능해진다.

즉, 미생물은 pH 9.5 이상의 알칼리성 영역에서는 생식할 수 없다. 또, 플럭스를 저하시킬 우려가 있는 비이온성 계면활성제는, pH 9.5 이상의 알칼리성 영역에서는 막면으로부터 탈착되기 때문에, RO 막면에 대한 이들 성분의 부착이 억제된다.

RO 급수에,

RO 급수 중의 칼슘 이온의 5 중량배 이상의 스케일 방지제를 첨가함으로써, 스케일의 생성이 방지된다.

그러나, 유기물 함유수에, 그 유기물 함유수 중의 칼슘 이온의 5 중량배 이상의 스케일 방지제를 첨가함과 함께, 스케일 방지제 첨가 전, 후 또는 동시에 유기물 함유수에 알칼리제를 첨가하여 pH 를 9.5 이상으로 조정하고, 그 후 RO 분리 처리하는 방법에 있어서는, 원수 중에 경도 성분이 다량으로 존재하는 경우에는, 스케일 분산제를 첨가해도, 그에 따른 스케일 억제 효과가 충분하지 않기 때문에, 카티온 교환탑 혹은 연화탑을 설치하여 경도 부하를 저감시킨 후, pH 를 알칼리성으로 할 필요가 있다. 이 경우, 일본 특허 제3906855호의 방법에서는, 원수를 활성탄탑에서 처리한 후 카티온 교환탑 또는 연화탑에서 처리하고, 그 후 RO 막 분리 장치로 처리하게 되는데, 이 처리 계통에 있어서, 카티온 교환탑 또는 연화탑은 탑내에서의 스케일 생성 제어의 관점에서 고알칼리 조건에서의 운전으로 할 수는 없고, 따라서, 카티온 교환탑 또는 연화탑과 그 전단의 활성탄탑은 중성 조건에서의 운전으로 할 필요가 있다. 이 결과, 중성 조건하의 활성탄탑과 카티온 교환탑 또는 연화탑 내에 있어서는 슬라임이 번식하기 쉬운 조건이 되고, 탑내로부터 박리되는 바이오 필름에 의해, 후단에 설치되는 RO 막 분리 장치 (또는 RO 막 분리 장치의 보안 필터) 가 폐색된다는 문제가 일어난다.

이 슬라임의 번식을 억제하기 위해서, 원수에 살균제를 첨가하는 것을 고려할 수 있는데, 전술한 바와 같이, 차아염소산나트륨 (NaClO) 등의 통상적인 살균제는 활성탄탑에서 대부분이 제거되기 때문에, 활성탄탑 후단의 카티온 교환탑이나 연화탑에 있어서는 살균 효과를 얻지 못하여, 슬라임의 번식을 억제할 수 없다.

일본 공개특허공보 평5-64782호 일본 공개특허공보 2002-336886호 일본 공개특허공보 2005-169372호 일본 특허 제3906855호 일본 공개특허공보 2006-263510호

본 발명은 상기 종래의 문제점을 해결하여, 활성탄층의 전체에 있어서 효과적으로 슬라임을 억제할 수 있는 슬라임 컨트롤제 및 활성탄 장치에 대한 통수 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다. 또한, 본 발명은 활성탄 처리와 후단의 RO 막 분리 처리를 포함하는 플로우에 있어서, 활성탄탑 내 그리고 역침투막 분리 장치에 있어서의 미생물의 증식을 억제하여 장기에 걸쳐 안정적인 처리를 실시하는 것이 가능한 유기물 함유수의 처리 방법 및 처리 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.

제 1 양태의 활성탄용 슬라임 컨트롤제는 염소계 산화제와 술파민산 화합물로 이루어지는 결합 염소제를 함유하는 것을 특징으로 하는 것이다.

제 2 양태의 활성탄 장치에 대한 통수 방법은, 활성탄 장치에 대한 급수 또는 세정수 중에, 제 1 양태의 슬라임 컨트롤제를 존재시키는 것을 특징으로 하는 것이다.

제 3 양태의 유기물 함유수의 처리 방법은, 유기물 함유수에 슬라임 컨트롤제를 첨가하는 슬라임 컨트롤제 첨가 공정과, 그 슬라임 컨트롤제 첨가 공정을 거친 유기물 함유수를 활성탄으로 처리하는 활성탄 처리 공정과, 그 활성탄 처리 공정을 거친 유기물 함유수를 역침투막 분리 수단에 통수시키는 역침투막 분리 공정을 갖는 유기물 함유수의 처리 방법에 있어서, 상기 슬라임 컨트롤제로서 제 1 양태의 슬라임 컨트롤제를 사용하는 것을 특징으로 하는 것이다.

제 4 양태의 유기물 함유수의 처리 방법은, 제 3 양태에 있어서, 상기 활성탄 처리 공정을 거친 유기물 함유수를 카티온 교환 수단에 통수시켜 경도를 저감시키는 경도 성분 제거 공정과, 그 경도 성분 제거 공정을 거친 유기물 함유수에 그 경도 성분 제거 공정을 거친 유기물 함유수 중에 함유되는 칼슘 이온의 5 중량배 이상의 스케일 방지제를 첨가하는 스케일 방지제 첨가 공정과, 그 스케일 방지제 첨가 공정 전, 후 또는 동시에, 유기물 함유수에 알칼리를 첨가하여 후단의 역침투막 분리 수단에 도입되는 유기물 함유수의 pH 가 9.5 이상이 되도록 조정하는 pH 조정 공정을 추가로 갖는 것을 특징으로 하는 것이다.

제 5 양태의 유기물 함유수의 처리 장치는, 유기물 함유수에 슬라임 컨트롤제를 첨가하는 슬라임 컨트롤제 첨가 수단과, 그 슬라임 컨트롤제 첨가 수단을 거친 유기물 함유수를 활성탄으로 처리하는 활성탄 처리 수단과, 그 활성탄 처리 수단을 거친 유기물 함유수를 역침투막 분리 처리하는 역침투막 분리 수단을 갖는 유기물 함유수의 처리 장치에 있어서, 상기 슬라임 컨트롤제가 제 1 양태의 슬라임 컨트롤제인 것을 특징으로 하는 것이다.

제 6 양태의 유기물 함유수의 처리 장치는, 제 5 양태에 있어서, 그 활성탄 처리 수단을 거친 유기물 함유수가 통수되는 카티온 교환 수단을 구비한 경도 성분 제거 수단과, 그 경도 성분 제거 수단을 거친 유기물 함유수에 그 경도 성분 제거 수단을 거친 유기물 함유수 중의 칼슘 이온의 5 중량배 이상의 스케일 방지제를 첨가하는 스케일 방지제 첨가 수단과, 그 스케일 방지제 첨가 수단 전, 후 또는 동시에, 유기물 함유수에 알칼리를 첨가하여 후단의 역침투막 분리 수단에 도입되는 유기물 함유수의 pH 가 9.5 이상이 되도록 조정하는 pH 조정 수단을 추가로 갖는 것을 특징으로 하는 것이다.

본 발명의 활성탄용 슬라임 컨트롤제는, 염소계 산화제와 술파민산 화합물로 이루어지는 결합 염소제를 함유하고 있어 활성탄 장치 내의 생균의 번식을 억제한다. 또, 이 결합 염소제는 활성탄과 접촉하여도 분해 및 흡착되기 어렵고, 활성탄 장치를 통과하기 쉽다. 그 때문에, 활성탄 장치의 후단의 RO 막 분리 장치 내에서의 유기물의 막면 부착 (유기물 파울링) 에 의한 플럭스의 저하, 바이오 파울링을 방지하여 장기에 걸쳐 안정적인 처리를 실시함과 동시에, 수중 TOC 농도를 효율적으로 저감시켜 고수질의 처리수를 얻을 수 있다. 또한, 결합 염소제는 RO 막을 열화시키는 작용이 전혀 또는 대부분 없기 때문에, RO 막의 내구성이 양호해진다.

또한, 본 발명에 있어서, 알칼리의 첨가에 의해 RO 급수의 pH 가 9.5 이상이 되도록 조정하는 것이 바람직하다.

즉, 미생물은 알칼리성 영역에서는 생식할 수 없다. 그 때문에, RO 급수의 pH 를 9.5 이상으로 조정함으로써, 영양원은 있지만 미생물이 생식할 수 없는 환경을 만들어 내는 것이 가능해져, RO 막 분리 장치에서의 바이오 파울링을 억제할 수 있다.

또, 플럭스를 저하시킬 우려가 있는 비이온성 계면활성제는, 알칼리성 영역에서는 막면으로부터 탈착되는 점에서, RO 급수의 pH 를 9.5 이상으로 함으로써 RO 막면에 대한 이들 성분의 부착을 억제하는 것이 가능해진다.

또, 본 발명에서는, 스케일 분산제를 경도 성분 제거 처리수의 칼슘 이온 농도의 5 중량배 이상 첨가하는 것이 바람직하다. 이 이유는 이하와 같다.

즉, 카티온 교환 처리에 의해, 원수 중에 존재하는 칼슘 이온 등의 이온류를 제거할 수 있는데, 원수 중에 존재하는 스케일 성분은 착형성되어 있는 것 혹은 현탁화되어 있는 것도 있다. 이와 같은 물질은 카티온 교환 처리에서는 제거되지 않고 RO 막 분리 장치에 유입되어 막면에 있어서의 스케일 생성을 일으키는 핵물질이 된다. 그래서, 스케일 방지제를 첨가하여 이와 같은 스케일 핵물질의 막면에서의 성장을 억제하고, RO 막면에서의 스케일 트러블을 완전하게 억제하는 것이 가능해진다. RO 급수의 pH 를 9.5 이상으로 하는 고 pH 의 RO 운전 조건에서는, 극미량의 칼슘 이온의 혼입으로도 탄산칼슘 등의 스케일이 생성되고, RO 막이 폐색되므로, 경도 성분 제거 후의 물에, 그 수중의 칼슘 이온의 5 중량배 이상의 스케일 방지제를 첨가하여 스케일의 생성을 방지하는 것이 바람직하다.

도 1 은 본 발명의 유기물 함유수의 처리 방법 및 처리 장치의 실시형태를 나타내는 계통도이다.
도 2 는 본 발명의 유기물 함유수의 처리 방법 및 처리 장치의 다른 실시형태를 나타내는 계통도이다.
도 3 은 실시예 1 및 비교예 1 에서의 활성탄탑으로부터의 리크 염소 농도의 시간 경과적 변화를 나타내는 그래프이다.

이하, 본 발명에 대해 더욱 상세하게 설명한다.

먼저, 본 발명의 활성탄용 슬라임 컨트롤제에 대해서 상세하게 설명한다.

본 발명의 활성탄용 슬라임 컨트롤제는 염소계 산화제와 술파민산 화합물로 이루어지는 결합 염소제를 함유하는 것이다.

본 발명에서 사용하는 염소계 산화제에 특별히 제한은 없고, 예를 들어, 염소 가스, 이산화염소, 차아염소산 또는 그 염, 아염소산 또는 그 염, 염소산 또는 그 염, 과염소산 또는 그 염, 염소화 이소시아누르산 또는 그 염 등을 들 수 있다. 이들 중, 염형인 것의 구체예로는, 차아염소산나트륨, 차아염소산칼륨 등의 차아염소산 알칼리 금속염, 아염소산나트륨, 아염소산칼륨 등의 아염소산 알칼리 금속염, 염소산암모늄, 염소산나트륨, 염소산칼륨 등의 염소산 알칼리 금속염, 염소산칼슘, 염소산바륨 등의 염소산 알칼리 토금속염 등을 들 수 있다. 이들의 염소계 산화제는 1 종을 단독으로 사용해도 되고, 2 종 이상을 조합하여 사용해도 된다. 이들 중에서, 차아염소산염은 취급이 용이하므로, 바람직하게 사용할 수 있다.

술파민산 화합물로는, 하기 일반식 [1] 로 나타내는 화합물 또는 그 염을 들 수 있다.

일반식 [1] 에 있어서, R¹ 및 R² 는, 각각 독립적으로, 수소 또는 탄소수 1 ∼ 8 의 탄화수소이다. 이와 같은 술파민산 화합물로는, 예를 들어 R¹ 과 R² 가 모두 수소인 술파민산 외에, N-메틸술파민산, N,N-디메틸술파민산, N-페닐술파민산 등을 들 수 있다. 술파민산 화합물의 염으로는, 예를 들어 나트륨염, 칼륨염 등의 알칼리 금속염, 암모늄염 및 구아니딘염 등을 들 수 있고, 구체적으로는 술파민산나트륨, 술파민산칼륨 등을 들 수 있다. 술파민산 및 이들의 술파민산염은 1 종을 단독으로 사용할 수도 있고, 2 종 이상을 조합하여 사용할 수도 있다.

차아염소산염 등의 염소계 산화제와 술파민산염 등의 술파민산 화합물을 혼합하면, 이들이 결합하여 클로로술파민산염을 형성하여 안정화되고, 종래의 클로라민과 같은 pH 에 의한 해리성의 차이, 그에 따른 유리 (遊離) 염소 농도의 변동을 일으키지 않고, 수중에서 안정적인 유리 염소 농도를 유지하는 것이 가능해진다.

본 발명에 있어서, 염소계 산화제와 술파민산 화합물의 비율에는 특별히 제한은 없는데, 염소계 산화제의 유효 염소 1 몰당 술파민산 화합물을 0.5 ∼ 5.0 몰로 하는 것이 바람직하고, 0.5 ∼ 2.0 몰로 하는 것이 보다 바람직하다.

본 발명의 활성탄용 슬라임 컨트롤제는, 그 효과를 저해하지 않는 범위에 있어서, 염소계 산화제와 술파민산 화합물의 결합 염소제 이외의 다른 성분을 함유 하고 있어도 된다. 이 밖의 성분으로는, 알칼리제, 아졸류, 아니온성 폴리머, 포스폰산류 등을 들 수 있다.

알칼리제는 활성탄용 슬라임 컨트롤제 중의 결합 염소제를 안정화시키기 위해서 사용되고, 통상적으로, 수산화나트륨, 수산화칼륨 등이 사용된다.

이들의 다른 성분을 함유하는 경우, 본 발명의 활성탄용 슬라임 컨트롤제의 제형에 특별히 제한은 없고, 예를 들어 염소계 산화제와 술파민산 화합물의 결합 염소제와, 아졸류, 아니온성 폴리머, 포스폰산류 중 어느 1 종 이상으로 이루어지는 1 액형 약제이어도 되고, 각 성분을 2 액으로 나눈 2 액형 약제로 할 수도 있다. 2 액형 약제로는, 예를 들어 염소계 산화제와 술파민산 화합물의 결합 염소제를 함유하는 A 액과, 그 밖의 성분 B 액으로 이루어지는 2 액형 약제 등을 들 수 있다.

1 액형 약제로 하는 경우에는, 결합 염소제의 안정성을 유지하기 위해서, 수산화나트륨, 수산화칼륨 등의 알칼리를 첨가하고, pH 12 이상으로 조정하는 것이 바람직하고, pH 13 이상으로 조정하는 것이 보다 바람직하다. 2 액형 약제로 하는 경우에는, 동일하게 결합 염소제를 함유하는 제를 pH 12 이상으로 조정하는 것이 바람직하고, pH 13 이상으로 조정하는 것이 보다 바람직하다.

본 발명의 활성탄 장치에 대한 통수 방법은, 활성탄 장치에 대한 급수 또는 세정수 중에, 이와 같은 본 발명의 활성탄용 슬라임 컨트롤제를 존재시킴으로써, 슬라임 장해를 방지하는 것이다.

이 경우, 수중의 결합 염소제 농도는, 초기의 슬라임 방지 효과가 얻어지는 정도이면 되고, 특별히 제한은 없지만, 결합 염소제의 농도로서 0.1 ∼ 10 ㎎/ℓ, 특히 1 ∼ 5 ㎎/ℓ 가 되도록 첨가하는 것이 바람직하다. 활성탄 장치로는 활성탄탑이 바람직하다.

활성탄 장치에 대한 유입수에 본 발명의 슬라임 컨트롤제를 첨가하도록 해도 되고, 활성탄 장치에 대한 유입수에 차아염소산나트륨을 첨가하여, 역세정할 때에 본 발명의 슬라임 컨트롤제를 세정수에 첨가하도록 해도 된다. 후자와 같이 하면, 슬라임 컨트롤제의 사용량을 감소시켜, 약품 비용을 저감할 수 있다.

활성탄 장치의 후단에 RO 막 장치가 설치되는 경우에는, 다음의 유기물 함유수의 처리 방법 및 처리 장치의 실시형태와 같이, 활성탄 장치에 대한 유입수에 슬라임 컨트롤제를 첨가하는 것이 바람직하다.

이하에 도면을 참조하여 본 발명의 유기물 함유수의 처리 방법 및 처리 장치의 실시형태를 상세하게 설명한다.

도 1, 2 는 본 발명의 유기물 함유수의 처리 방법 및 처리 장치의 실시형태를 나타내는 계통도이다. 도면 중, P 는 펌프이다.

도 1 에서는, 원수 탱크 (1) 를 거쳐 도입되는 원수 (공업 용수 등의 유기물 함유수) 에, 응집조 (2) 에 있어서, 본 발명의 활성탄용 슬라임 컨트롤제 및 응집제와 필요에 따라 pH 조정제를 첨가한 후, 압력 여과탑 (3), 활성탄탑 (4), 여과 처리 수조 (5) 에 순차적으로 통수시키고, 그 후 보안 필터 (6) 를 거쳐 RO 막 분리 장치 (7) 에 도입하여 RO 막 분리 처리한다.

물로는, 지하수, 하천수 등의 각종 공업 용수 외에, 반도체 디바이스 제조 공정으로부터의 배수 등의 공장 배수가 예시되는데, 이것에 한정되지 않는다.

첨가하는 슬라임 컨트롤제는, 결합 염소 농도로서 바람직하게는 1 ㎎-Cl₂/ℓ 이상, 보다 바람직하게는 1 ∼ 50 ㎎-Cl₂/ℓ 가 되도록 첨가한다. 일반적으로, 결합 염소제는 활성탄에 있어서의 분해 제거성이 낮기 때문에, 후단의 활성탄탑 (4) 으로부터 즉시 리크되게 되어 살균 효과를 얻을 수 있는데, 첨가 농도가 1 ㎎-Cl₂/ℓ 미만인 경우, 혹은 활성탄탑 (4) 에서의 통수 SV 가 20 hr^-1 미만인 경우에는, 활성탄탑 (4) 으로부터 리크되는 농도가 극단적으로 낮아지고, 활성탄탑 (4) 내 혹은 후단에 설치하는 장치 (예를 들어, 도 2 의 연화탑 (8)) 에서 슬라임이 증식하는 경우가 있다. 또, 결합 염소제는 과도하게 다량으로 첨가하여도 약제 비용이 쓸데없이 높아지는 점에서, 결합 염소 농도로서 50 ㎎-Cl₂/ℓ 이하로 하는 것이 바람직하다.

또한, 원수 중에 현탁 물질이 존재하는 경우에는, 도 1 에 나타내는 바와 같이, 슬라임 컨트롤제를 첨가한 후, 혹은 첨가하기에 앞서, 최적 응집 pH 영역에 pH 조정을 실시하고, 응집제를 첨가하여 미리 응집 여과 등에 의해 현탁 물질을 제거한 후, 활성탄탑에 통수시키는 것이 바람직하다. 이 응집 여과 수단으로는, 압력 여과, 중력 여과, 정밀 여과, 한외 여과, 가압 부상, 침전 등의 처리를 실시하여, 원수 중에 포함되는 현탁 물질을 제거할 수 있는 것이면 되고, 특별히 한정되지 않는다.

활성탄탑 (4) 에 사용하는 활성탄으로는, 석탄계, 야자껍질계 등, 특별히 한정은 없고, 형상도 입상 활성탄, 구상 활성탄 등, 특별히 한정은 되지 않는다.

활성탄탑 (4) 의 형식도, 유동상, 고정상 등, 특별히 한정은 되지 않는데, 미분탄의 리크를 억제하는 데에 있어서 고정상이 바람직하다.

이 활성탄탑 (4) 의 통수 SV 가 지나치게 작으면 활성탄탑 (4) 에서 제거되는 결합 염소제량이 많아져, 후단에서의 슬라임 증식 억제 효과가 저하된다. 따라서, 활성탄탑 (4) 의 통수 SV 는 20 hr^-1 이상으로 하는 것이 바람직하다. 단, 활성탄탑 (4) 의 통수 SV 가 과도하게 크면 활성탄탑 (4) 에 있어서의 원수 유래의 산화제, 유기물, 색도 등 제거 효과가 저하되는 점에서, 활성탄탑 (4) 의 통수 SV 는 특히 50 hr^-1 이하, 특히 20 ∼ 40 hr^- ¹ 로 하는 것이 바람직하다.

도 2 에서는, 원수 탱크 (1) 를 거쳐 도입되는 원수에, 본 발명의 슬라임 컨트롤제와 필요에 따라 pH 조정제를 첨가한 후, 활성탄탑 (4), 연화탑 (8) 에 순차적으로 통수시켜, 그 후, 스케일 분산제를 연화탑 (8) 의 배출수 (이하 「연화 처리수」라고 칭하는 경우가 있다) 의 칼슘 이온 농도의 5 배량 이상이 되도록 첨가한 후, 알칼리를 첨가하여 pH 9.5 이상으로 조정한 후, 중간 탱크 (9) 를 거쳐 고 pH 상태로 RO 막 분리 장치 (7) 에 도입하여 RO 막 분리 처리한다.

도 2 에 있어서, 슬라임 컨트롤제의 첨가 및 활성탄탑 (4) 에서의 처리는, 도 1 에서와 마찬가지로 실시된다.

연화탑 (8) 에 사용하는 이온 교환 수지로는, 이온 교환기가 H 인 H 형 카티온 교환 수지, Na 인 Na 형 카티온 교환 수지, 혹은 킬레이트 수지 등, 원수 중의 경도 성분을 제거할 수 있는 것이면 되고, 특별히 한정은 되지 않는다. 또, 연화탑 (8) 의 형식도 유동상, 고정상 등, 특별히 한정은 되지 않는다.

또한, 본 발명에 있어서, 경도 성분 제거를 위한 처리는 연화탑에 한정되지 않고 카티온 교환탑이어도 된다. 또, 탑 형식인 것에 전혀 한정되지 않는데, 활성탄탑과 동일하게 처리 효율의 면에서 탑 형식인 것이 바람직하다.

연화탑 (8) 또는 카티온 교환탑의 통수 SV 에는 특별히 제한은 없고, 처리 효율, 경도 성분 제거 효과 면에서 통상 SV 10 ∼ 40 hr^- ¹ 로 처리가 실시된다.

연화탑 (8) 의 처리수에 첨가하는 스케일 방지제로는, 알칼리 영역에서 해리 하여 금속 이온과 착물을 형성하기 쉬운 에틸렌디아민4아세트산 (EDTA) 이나 니트릴로3아세트산 (NTA) 등 킬레이트계 스케일 방지제가 바람직하게 사용되는데, 그 외, (메트)아크릴산 중합체 및 그 염, 말레산 중합체 및 그 염 등의 저분자량 폴리머, 에틸렌디아민테트라메틸렌포스폰산 및 그 염, 하이드록시에틸리덴디포스폰산 및 그 염, 니트릴로트리메틸렌포스폰산 및 그 염, 포스포노부탄트리카르복실산 및 그 염 등의 포스폰산 및 포스폰산염, 헥사메타인산 및 그 염, 트리폴리인산 및 그 염 등의 무기 중합 인산 및 무기 중합 인산염 등을 사용할 수 있다. 이들의 스케일 방지제는 1 종을 단독으로 사용해도 되고, 2 종 이상을 병용해도 된다.

스케일 방지제의 첨가량은, 연화탑 (8) 의 유출수 (스케일 방지제가 첨가되는 수) 중의 칼슘 이온 농도의 5 중량배 이상으로 한다. 스케일 방지제의 첨가량이 연화 처리수 중의 칼슘 이온 농도의 5 중량배 미만에서는, 스케일 방지제의 첨가 효과를 충분히 얻을 수 없다. 스케일 방지제는 과도하게 다량으로 첨가해도 약제 비용 면에서 바람직하지 않다는 점에서, 연화 처리수 중의 칼슘 이온 농도의 5 ∼ 50 중량배로 하는 것이 바람직하다.

스케일 방지제를 첨가한 물은, 이어서 알칼리를 첨가하고, 후단의 RO 막 분리 장치 (7) 에 도입되는 물 (RO 급수) 의 pH 가 9.5 이상, 바람직하게는 10 이상, 보다 바람직하게는 10.5 ∼ 12, 예를 들어 pH 10.5 ∼ 11 이 되도록 조정한다. 여기서 사용하는 알칼리로는 수산화나트륨, 수산화칼륨 등, RO 급수의 pH 를 9.5 이상으로 조정할 수 있는 무기물계 알칼리제이면 되고, 특별히 한정되지 않는다.

스케일 분산제, 알칼리의 첨가 위치는, 연화탑 (8) 과 RO 막 분리 장치 (7) 사이이면 되고, 특별히 제한은 없다. 이들 약제의 첨가 순서도 임의이지만, 계 내에서 완전하게 미생물의 번식을 억제함과 함께, 계 내에서의 스케일 생성을 완전하게 억제할 목적에서, 스케일 분산제를 첨가한 후, 알칼리를 첨가하여 RO 급수의 pH 가 9.5 이상이 되도록 조정하는 것이 바람직하다.

본 발명에 있어서는, 필요에 따라 환원제를 사용하여, 잔류하는 결합 염소제를 환원 처리하여 분해 제거해도 된다. 여기서 사용하는 환원제로는, 아황산 수소 나트륨 등, 결합 염소제를 제거할 수 있는 것이면 되고, 특별히 한정은 되지 않는다. 환원제는 1 종을 단독으로 사용해도 되고, 2 종 이상을 혼합하여 사용해도 된다. 환원제의 첨가량은, 잔류하는 결합 염소제를 완전하게 제거할 수 있는 양이면 된다. 환원제는 통상 연화탑 (8) 의 입구측에서 첨가된다. 단, 결합 염소제는, RO 막을 열화시키는 작용이 약하기 때문에, 통상은 환원제에 의한 결합 염소제 분해 처리는 불필요하다.

도 1, 2 의 RO 막 분리 장치 (7) 의 RO 막으로서는 내알칼리성을 갖는 것, 예를 들어, 폴리에테르아미드 복합막, 폴리비닐알코올 복합막, 방향족 폴리아미드막 등을 들 수 있는데, 바람직하게는 1500 ㎎/ℓ 의 식염수를 1.47 ㎫, 25 ℃, pH 7 의 조건에서 RO 막 분리 처리했을 때의 염 배제율 (이하, 단순히 「염 배제율」이라고 칭한다) 이 95 ％ 이상의 탈염 성능을 갖는 폴리비닐알코올계의 저파울링용 RO 막이다. 이와 같은 저파울링용 RO 막을 사용하는 것이 바람직한 이유는 이하와 같다.

즉, 상기 저파울링용 RO 막은 통상 사용되는 방향족 폴리아미드막과 비교하여, 막 표면의 하전성을 없애고, 친수성을 향상시키고 있기 때문에, 내오염성에 있어서 매우 우수하다. 그러나, 비이온성 계면활성제를 다량으로 함유하는 물에 대해서는 그 내오염성 효과는 저감되고, 시간 경과에 따라 플럭스는 저하된다.

RO 급수의 pH 를 9.5 이상으로 조정함으로써, RO 막 플럭스를 저하시킬 우려가 있는 비이온성 계면활성제는 막면으로부터 탈착된다. 그 때문에, 통상 사용되는 방향족계 폴리아미드막을 사용한 경우에도, 극단적인 플럭스의 저하를 억제하는 것은 가능하다. 그러나, RO 급수 중의 비이온성 계면활성제 농도가 높은 경우에는 그 효과도 저감되어, 장기적으로는 플럭스는 저하된다.

그래서, 상기 특정한 탈염 성능을 갖는 폴리비닐알코올계의 저파울링용 RO 막을 사용하여 RO 급수의 pH 를 9.5 이상으로 하여 통수시키는 조건을 조합하는 것이 바람직하다. 이로써, 고농도의 비이온성 계면활성제를 함유하는 RO 급수에 대해서도 플럭스 저하를 일으키지 않고 장기에 걸쳐 안정적인 운전을 실시하는 것이 가능해진다.

RO 막은 스파이럴형, 중공사형, 관상형 등, 어떠한 형식의 것이어도 된다.

RO 막 분리 장치 (7) 의 투과수 (이하 「RO 처리수」라고 칭하는 경우가 있다) 는, 이어서 산을 첨가하여 pH 4 ∼ 8 로 조정하고, 필요에 따라 추가로 활성탄 처리 등을 한 후, 재이용 또는 방류된다. 여기서 사용하는 산으로는, 염산, 황산 등의 광산을 들 수 있는데, 이것에 한정되지 않는다.

RO 막 분리 장치 (7) 의 농축수 (이하 「RO 농축수」라고 칭하는 경우가 있다) 는 계 밖으로 배출되어, 처리된다.

또한, 도 1, 2 는 본 발명의 실시형태의 일례를 나타내는 것으로서, 본 발명은 그 요지를 넘지 않는 한 전혀 도시된 것에 한정되지 않고, 예를 들어 RO 막 분리 장치에 의한 처리는 1 단 처리에 한정되지 않고, 2 단 이상의 다단 처리이어도 된다. 또한, pH 조정이나 스케일 방지제 등의 첨가를 위한 혼합조를 설치해도 된다.

실시예

이하에 실시예 및 비교예와 참고예를 들어 본 발명을 보다 구체적으로 설명한다.

[도 1 에 나타내는 실시형태의 실시예 및 비교예]

<실시예 1>

TOC 1 ㎎/LasC 를 함유하는 공업 용수에, 차아염소산나트륨과 술파민산 화합물 (구체적으로는 술파민산나트륨) 의 결합 염소제 (유효 염소 1 몰에 대한 술파민 화합물의 몰비 1.5) 로 이루어지는 슬라임 컨트롤제를 결합 염소 농도로서 5 ㎎-Cl₂/ℓ 가 되도록 첨가한 후, PAC (폴리염화알루미늄) 첨가량 10 ㎎/ℓ, pH 6 의 조건에서 응집 여과 처리를 실시하였다. 응집 여과 처리수를 활성탄탑에 SV 20 hr^-1 의 조건에서 통수시킨 후, RO 막 분리 장치 (닛토 전공 제조 초저압 방향족 폴리아미드형 RO 막 「ES-20」) 에 통수량 60 ℓ/hr, 회수율 80 ％ 의 조건에서 통수시켰다. RO 급수의 pH 는 5.5 였다.

<비교예 1>

TOC 1 ㎎/LasC 를 함유하는 공업 용수에, 차아염소산나트륨과 암모니아의 반응물로 이루어지는 클로라민을 결합 염소 농도로서 8 ∼ 10 ㎎-Cl₂/ℓ 가 되도록 첨가한 것 이외에는 실시예 1 과 동 조건에서 처리를 실시하였다.

실시예 1 및 비교예 1 에서, 활성탄탑으로부터의 유출수 중의 결합 염소 농도를 측정하여, 결과를 도 3 에 나타냈다.

도 3 과 같이, 실시예 1 에 의하면, 활성탄탑으로부터 조기에 염소가 리크되는 것이 분명하다.

[도 2 에 나타내는 실시형태의 실시예 및 비교예와 참고예]

<실시예 2>

비이온성 계면활성제를 함유하는 TOC 농도 20 ㎎/ℓ, 칼슘 농도 5 ㎎/ℓ 의 배수에, 실시예 1 과 동일한 슬라임 컨트롤제를 결합 염소 농도로서 1 ㎎-Cl₂/ℓ 가 되도록 첨가한 후, PAC (폴리염화알루미늄) 첨가량 20 ㎎/ℓ, pH 6.5 의 조건에서 응집 여과 처리를 실시하였다. 응집 여과 처리수를 고정상식 활성탄탑에 SV 20 hr^- ¹ 의 조건에서 통수시킨 후, 연화탑에 SV 15 hr^- ¹ 의 조건에서 통수시키고, 그 후, 킬레이트계 스케일 방지제 (쿠리타 공업 (주) 제조 웰크린 A801) 를 10 ㎎/ℓ(연화탑 처리수의 칼슘 이온 농도의 5 중량배) 첨가하여, NaOH 를 첨가하여 pH 10.5 로 한 후, RO 막 분리 장치 (닛토 전공 제조 초저압 방향족 폴리아미드형 RO 막 「ES-20」) 로 통수량 60 ℓ/h, 회수율 80 ％ 의 조건에서 RO 막 분리 처리를 실시하였다. 또한, RO 급수의 pH 는 9.5 였다.

<비교예 2>

비이온성 계면활성제를 함유하는 TOC 농도 20 ㎎/ℓ, 칼슘 농도 5 ㎎/ℓ 를 함유하는 배수에, 상기 슬라임 컨트롤제 대신에, NaClO 를 유리 염소 농도로서 1 ㎎-Cl₂/ℓ 가 되도록 첨가한 것 이외에는, 실시예 2 와 동 조건에서 처리를 실시하였다.

<생균 번식 억제 효과의 평가>

실시예 2 및 비교예 2 에서, 각 포인트에 있어서의 생균수를 조사하여 결과를 표 1 에 나타냈다.

표 1 로부터 분명한 바와 같이, 본 발명의 결합 염소제인 슬라임 컨트롤제를 사용한 실시예 2 에 있어서는, 전체 측정 포인트에서 생균이 관측되지 않는 반면에, 비교예 2 에서는 활성탄 처리수에서 210000 개/㎖, 연화탑 처리수에서 1000000 개/㎖ 로 생균이 관찰되었다.

실시예 2 및 비교예 2 에 있어서, RO 막 분리 장치의 모듈간 차압의 일자 경과적 변화를 조사하여 결과를 표 2 에 나타냈다.

표 2 로부터 분명한 바와 같이, 실시예 2 에서는 RO 막 분리 장치의 모듈간 차압의 상승은 관측되지 않은 반면에, 비교예 2 에서는 60 일 후에 모듈간 차압이 0.14 ㎫ 로까지 상승하였다. 폐색된 RO 막으로부터는 슬라임이 검출되었다.

본 발명을 특정한 양태를 사용하여 상세하게 설명했는데, 본 발명의 의도와 범위를 벗어나지 않고 여러 가지 변경이 가능한 것은 당업자에게 분명하다.

또한, 본 출원은 2009년 2월 27일자로 출원된 일본 특허 출원 (일본 특허출원 2009-046619) 에 기초하였고, 그 전체가 인용에 의해 원용된다.

Claims

염소계 산화제와 술파민산 화합물로 이루어지는 결합 염소제를 함유하는 것을 특징으로 하는 활성탄용 슬라임 컨트롤제.
제 1 항에 있어서,
염소계 산화제는 염소 가스, 이산화염소, 차아염소산 또는 그 염, 아염소산 또는 그 염, 염소산 또는 그 염, 과염소산 또는 그 염, 염소화 이소시아누르산 또는 그 염으로 이루어지는 군에서 선택된 적어도 1 개인 것을 특징으로 하는 활성탄용 슬라임 컨트롤제.
제 1 항에 있어서,
염소계 산화제는 차아염소산나트륨 및 차아염소산칼륨 중 적어도 일방인 것을 특징으로 하는 활성탄용 슬라임 컨트롤제.
제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,
술파민산 화합물은 술파민산, N-메틸술파민산, N,N-디메틸술파민산, N-페닐술파민산 및 이들의 염으로 이루어지는 군에서 선택된 적어도 1 개인 것을 특징으로 하는 활성탄용 슬라임 컨트롤제.
제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,
술파민산 화합물은 술파민산나트륨 및 술파민산칼륨 중 적어도 일방인 것을 특징으로 하는 활성탄용 슬라임 컨트롤제.
활성탄 장치에 대한 급수 또는 세정수 중에, 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 기재된 슬라임 컨트롤제를 존재시키는 것을 특징으로 하는 활성탄 장치에 대한 통수 방법.
유기물 함유수에 슬라임 컨트롤제를 첨가하는 슬라임 컨트롤제 첨가 공정과,
그 슬라임 컨트롤제 첨가 공정을 거친 유기물 함유수를 활성탄으로 처리하는 활성탄 처리 공정과,
그 활성탄 처리 공정을 거친 유기물 함유수를 역침투막 분리 수단에 통수시키는 역침투막 분리 공정을 갖는 유기물 함유수의 처리 방법에 있어서,
상기 슬라임 컨트롤제로서 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 기재된 슬라임 컨트롤제를 사용하는 것을 특징으로 하는 유기물 함유수의 처리 방법.
제 7 항에 있어서,
상기 활성탄 처리 공정을 거친 유기물 함유수를 카티온 교환 수단에 통수시켜 경도를 저감시키는 경도 성분 제거 공정과,
그 경도 성분 제거 공정을 거친 유기물 함유수에, 그 경도 성분 제거 공정을 거친 유기물 함유수 중에 함유되는 칼슘 이온의 5 중량배 이상의 스케일 방지제를 첨가하는 스케일 방지제 첨가 공정과,
그 스케일 방지제 첨가 공정 전, 후 또는 동시에, 유기물 함유수에 알칼리를 첨가하고, 후단의 역침투막 분리 수단에 도입되는 유기물 함유수의 pH 가 9.5 이상이 되도록 조정하는 pH 조정 공정을 추가로 갖는 것을 특징으로 하는 유기물 함유수의 처리 방법.
유기물 함유수에 슬라임 컨트롤제를 첨가하는 슬라임 컨트롤제 첨가 수단과,
그 슬라임 컨트롤제 첨가 수단을 거친 유기물 함유수를 활성탄으로 처리하는 활성탄 처리 수단과,
그 활성탄 처리 수단을 거친 유기물 함유수를 역침투막 분리 처리하는 역침투막 분리 수단을 갖는 유기물 함유수의 처리 장치에 있어서,
상기 슬라임 컨트롤제가제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 기재된 슬라임 컨트롤제인 것을 특징으로 하는 유기물 함유수의 처리 장치.
제 9 항에 있어서,
그 활성탄 처리 수단을 거친 유기물 함유수가 통수되는 카티온 교환 수단을 구비한 경도 성분 제거 수단과,
그 경도 성분 제거 수단을 거친 유기물 함유수에, 그 경도 성분 제거 수단을 거친 유기물 함유수 중의 칼슘 이온의 5 중량배 이상의 스케일 방지제를 첨가하는 스케일 방지제 첨가 수단과,
그 스케일 방지제 첨가 수단 전, 후 또는 동시에, 유기물 함유수에 알칼리를 첨가하여 후단의 역침투막 분리 수단에 도입되는 유기물 함유수의 pH 가 9.5 이상이 되도록 조정하는 pH 조정 수단을 추가로 갖는 것을 특징으로 하는 유기물 함유수의 처리 장치.