KR101659454B1 - 기판 브레이크 장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 상면에 형성되는 복수의 급기 구멍으로부터 공기가 분사되어 기판을 지지하는 에어 베어링 테이블; 및 에어 베어링 테이블과 대면하는 위치에 마련되어 에어 베어링 테이블과의 사이에 위치되는 기판에 힘을 가하여 기판을 브레이킹하는 브레이크 유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 브레이크 장치를 제공하여, 기판에 충격 하중을 더욱 효과적으로 전달함으로써 용이하게 기판을 절단할 수 있는 효과가 있다.

Description

기판 브레이크 장치{BREAKING APPARATUS FOR SUBSTRATE}

본 발명은 기판 브레이크 장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 기판에 충격 하중을 더욱 효율적으로 전달하여 기판의 절단을 용이하게 할 수 있는 기판 브레이크 장치에 관한 것이다.

일반적으로 취성 재료 기판의 분단 장치로서 스크라이브 장치 및 브레이크 장치가 사용된다. 스크라이브 장치는 기판에 스크라이브 라인을 형성시키고, 기판 브레이크 장치는 미리 스크라이브 라인이 형성된 기판을 브레이크할 때에 사용된다.

브레이크(break)라 함은, 결정성의 재료의 기판에 있어서, 분단되기 쉬운 결정의 특정 방위로 기판을 나누는 벽개(劈開)의 경우와, 결정의 방위와는 관계없이 기판을 나누는 경우, 또한 다결정이나 비정질 재료 등의 특정 방위로의 결정성을 갖지 않는 기판을 나누는 경우를 포함하는 개념이다.

기판에 절단 예정선을 따라 스크라이브 라인이 형성된 후에는 기판을 완전히 절단하기 위하여 브레이크 공정을 진행하는데, 기판의 브레이크 방법에는 롤러(roller)나 푸셔(pusher) 등을 사용하여 기판에 충격을 가하는 접촉식 방법과 레이저 또는 스팀(steam) 등을 사용하여 기판을 가열한 후 냉각시키는 비접촉식 방법이 있다.

그런데, 종래의 접촉식 브레이크 공정에서는, 경도가 높은 천판 및 벨트 위에 기판을 배치하고 기판에 물리적 충격을 가하는 방식으로써 충격 하중이 전달되는 효율이 낮으며, 이에 따라 브레이크 공정 시 기판이 완전 분단되지 않는 경우가 발생하거나 무리한 힘을 가하여 표면 불량이 발생되는 문제점이 있다.

이에, 본 발명은 상기한 문제점을 해결하기 위한 것으로, 기판에 충격 하중을 더욱 효율적으로 전달하여 기판의 절단을 용이하게 할 수 있는 기판 브레이크 장치를 제공하는 것을 그 목적으로 한다.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명은, 상면에 형성되는 복수의 급기 구멍으로부터 공기가 분사되어 기판을 지지하는 에어 베어링 테이블; 및 상기 에어 베어링 테이블과 대면하는 위치에 마련되어 상기 에어 베어링 테이블과의 사이에 위치되는 상기 기판에 힘을 가하여 상기 기판을 브레이킹하는 브레이크 유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 브레이크 장치를 제공한다.

상기 기판 브레이크 장치는, 상기 에어 베어링 테이블의 양 측면에 마련되어 상기 기판을 지지하며 이송시키는 이송 유닛을 더 포함할 수 있다.

상기 에어 베어링 테이블은 상하 방향으로 서로 다른 방향을 향하는 한 쌍이 인접하게 배치될 수 있다.

상기 브레이크 유닛은 핀 브레이크 유닛일 수 있다.

상기 한 쌍의 에어 베어링 테이블 중 상방을 향하는 하나와 대면하는 상기 브레이크 유닛은 핀 브레이크 유닛이고, 상기 한 쌍의 에어 베어링 테이블 중 하방을 향하는 다른 하나와 대면하는 상기 브레이크 유닛은 롤러 브레이크 유닛일 수 있다.

본 발명의 기판 브레이크 장치에 따르면, 기판에 충격 하중을 더욱 효과적으로 전달함으로써 용이하게 기판을 절단할 수 있는 효과가 있다.

또한, 이송 유닛 사이에 에어 베어링 테이블 및 브레이크 유닛을 배치함으로써 전체 레이아웃(layout)을 축소할 수 있는 효과가 있다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 브레이크 장치의 구성을 나타낸 도면이다.
도 2는 도 1의 주요 부분을 확대하여 나타낸 도면이다.

이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부된 도면들을 참조하여 상세히 설명한다. 우선 각 도면의 구성 요소들에 참조 부호를 부가함에 있어서, 동일한 구성 요소들에 대해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 한 동일한 부호를 가지도록 한다. 또한, 이하에서 본 발명의 바람직한 실시예를 설명할 것이나, 본 발명의 기술적 사상은 이에 한정하거나 제한되지 않고 통상의 기술자에 의해 변형되어 다양하게 실시될 수 있음은 물론이다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 브레이크 장치의 구성을 나타낸 도면이고, 도 2는 도 1의 주요 부분을 확대하여 나타낸 도면이다.

이러한 도 1 내지 도 2는, 본 발명을 개념적으로 명확히 이해하기 위하여, 주요 특징 부분만을 명확히 도시한 것이며, 그 결과 도해의 다양한 변형이 예상되며, 도면에 도시된 특정 형상에 의해 본 발명의 범위가 제한될 필요는 없다.

도 1 및 도 2를 참조하여 살펴보면, 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 브레이크 장치(1)는, 에어 베어링 테이블(100), 브레이크 유닛(200) 및 이송 유닛(300)을 포함한다.

에어 베어링 테이블(100)은, 상면에 형성되는 복수의 급기 구멍으로부터 공기가 분사되어 기판(10)을 지지한다. 본 실시예에서, 에어 베어링 테이블(100)은 수지, 세라믹 등의 다공질 재료를 사용하여 공기를 분사함으로써 급기 구멍으로 분사되는 공기의 분포가 균일화되고 기류의 흐트러짐을 방지할 수 있다. 그러나 본 발명의 권리범위는 이에 제한될 필요는 없으며, 에어 베어링 테이블(100)은 금속 소재의 상면판에 복수의 급기 구멍을 형성하여 공기를 분사하는 일반적인 방식이 사용될 수도 있다.

브레이크 유닛(200)은, 에어 베어링 테이블(100)과 대면하는 위치에 마련되어 에어 베어링 테이블(100)과의 사이에 위치되는 기판(10)에 힘을 가하여 기판(10)을 브레이킹한다. 브레이크 유닛(200)은 기판(10)에 직접 접촉하여 힘을 가하는 가압부와, 가압부와 연결되어 가압부를 기판(10)을 향하여 접근 또는 이격되도록 구동시키는 구동부를 포함한다.

브레이크 유닛(200)은 핀 브레이크 유닛(210) 또는 롤러 브레이크 유닛(220) 등으로 마련될 수 있다. 핀 브레이크 유닛(210)은 기판(10)에 형성된 스크라이브 라인이 중첩되는 부분을 뾰족한 핀 형상의 가압부로 충격을 가하여 기판(10)을 분단시키며, 롤러 브레이크 유닛(220)은 롤러 형상의 가압부가 기판(10)의 판면을 가압하여 기판(10)을 분단시킨다.

이송 유닛(300)은, 에어 베어링 테이블(100)의 양 측면에 마련되어 기판(10)을 지지하며 이송시킨다. 이송 유닛(300)은 높이가 같은 한 쌍의 컨베이어 벨트로 마련되어, 일측의 컨베이어 벨트로부터 유입된 기판(10)을 스크라이브 라인이 형성된 부분이 브레이크 유닛(200)과 대면하는 위치에 위치되도록 이송시키며 기판 브레이크 장치(1) 내로 유입된 기판(10)의 양 측면을 지지한다.

한편, 본 실시예에서, 에어 베어링 테이블(100)은 상하 방향으로 서로 다른 방향을 향하는 한 쌍이 인접하게 배치된다. 즉, 이송 유닛(300)에 의하여 이송된 기판(10)은 한 쌍의 컨베이어 벨트 사이에 위치된 부분 중 일부분이 제1 에어 테이블(110)에 의하여 기판(10)의 하면이 지지되고, 인접하는 다른 부분은 제2 에어 테이블(120)에 의하여 기판(10)의 상면이 지지된다. 이에 의해서, 기판(10)의 상하면이 각각 에어 베어링 테이블(100)에 의하여 지지되어 브레이크 공정 시에 기판(10)의 흐트러짐을 효율적으로 억제시킬 수 있다.

본 실시예에서, 한 쌍의 에어 베어링 테이블(100) 중 상방을 향하는 제1 에어 테이블(110)과 대면하는 브레이크 유닛(200)은 핀 브레이크 유닛(210)이고, 한 쌍의 에어 베어링 테이블(100) 중 하방을 향하는 제2 에어 테이블(120)과 대면하는 브레이크 유닛(200)은 롤러 브레이크 유닛(220)으로 마련된다. 이와 같은 구성에 의하여 브레이크 유닛(200)에 의한 충격 하중을 보다 효율적으로 전달할 수 있으며 기판(10)의 분단이 효과적으로 수행될 수 있다. 그러나, 본 발명의 권리범위는 이에 제한될 필요는 없으며, 각각에 사용되는 브레이크 유닛(200)의 종류, 배치, 개수 등은 필요에 따라 변경하여 사용될 수 있다.

이러한 구성을 갖는 기판 브레이크 장치(1)의 작용에 대해 설명하면 다음과 같다.

먼저, 이송 유닛(300)에 의하여 스크라이브 공정을 마친 기판(10)이 기판 브레이크 장치(1) 내로 진입한다.

기판(10)이 이송 유닛(300)에 의하여 스크라이브 라인이 형성된 부분이 브레이크 유닛(200)과 대면하는 위치(정위치)에 놓인 후, 에어 베어링 테이블(100)이 작동하여 공기 분사에 의하여 기판(10)이 지지된다.

에어 베어링 테이블(100)에 의하여 기판(10)이 지지된 상태에서 브레이크 유닛(200)이 작동하여 기판(10)에 충격을 가함으로써, 기판(10)의 스크라이브 라인을 따라 기판(10)이 절단된다. 이때, 브레이크 유닛(200)은 기판(10)을 사이에 두고 에어 베어링 테이블(100)과 대면하여, 기판(10)에 충격을 가할 때 기판(10)이 에어 베어링 테이블(100)에 의하여 지지되므로 기판(10)에 충격 하중이 매우 효과적으로 전달될 수 있다.

또한, 에어 베어링 테이블(100) 및 브레이크 유닛(200)이 상하 방향으로 한 쌍이 배치됨으로써 기판(10)의 분단을 더욱 효과적으로 할 수 있다.

이와 같이, 본 발명의 기판 브레이크 장치(1)에 의하면, 기판(10)에 충격 하중을 더욱 효과적으로 전달함으로써 용이하게 기판(10)을 절단할 수 있는 효과가 있다. 이에 의해서, 기판(10)에 스크라이브 라인을 약하게 형성시킨 경우에도 기판(10)의 절단이 가능하여, 스크라이브 라인을 얕게 형성한 후 기판(10)을 절단함으로써 기판(10) 절단면의 품질 및 강성이 향상될 수 있다. 또한, 이송 유닛(300) 사이에 에어 베어링 테이블(100) 및 브레이크 유닛(200)을 배치함으로써 전체 레이아웃을 축소할 수 있는 효과가 있다.

이상의 설명은 본 발명의 기술 사상을 예시적으로 설명한 것에 불과한 것으로서, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 본질적인 특성에서 벗어나지 않는 범위 내에서 다양한 수정, 변경 및 치환이 가능할 것이다. 따라서, 본 발명에 개시된 실시예 및 첨부된 도면들은 본 발명의 기술 사상을 한정하기 위한 것이 아니라 일례로서 설명하기 위한 것이고, 이러한 실시예 및 첨부된 도면에 의하여 본 발명의 권리 범위가 한정되는 것은 아니다. 본 발명의 권리 범위는 특허 청구범위에 의하여 해석되어야 하며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 기술 사상은 본 발명의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.

1 : 기판 브레이크 장치
10 : 기판
100 : 에어 베어링 테이블
200 : 브레이크 유닛
300 : 이송 유닛

Claims (5)

1. 상면에 형성되는 복수의 급기 구멍으로부터 공기가 분사되어 기판을 지지하는 에어 베어링 테이블; 및
   상기 에어 베어링 테이블과 대면하는 위치에 마련되어 상기 에어 베어링 테이블과의 사이에 위치되는 상기 기판에 힘을 가하여 상기 기판을 브레이킹하는 브레이크 유닛을 포함하고,
   상기 에어 베어링 테이블은 상하 방향으로 서로 다른 방향을 향하는 한 쌍이 인접하게 배치되는 것을 특징으로 하는 기판 브레이크 장치.
2. 제1항에 있어서,
   상기 에어 베어링 테이블의 양 측면에 마련되어 상기 기판을 지지하며 이송시키는 이송 유닛을 더 포함하는 기판 브레이크 장치.
3. 삭제
4. 제1항 또는 제2항에 있어서,
   상기 브레이크 유닛은 핀 브레이크 유닛인 것을 특징으로 하는 기판 브레이크 장치.
5. 제1항에 있어서,
   상기 한 쌍의 에어 베어링 테이블 중 상방을 향하는 하나와 대면하는 상기 브레이크 유닛은 핀 브레이크 유닛이고,
   상기 한 쌍의 에어 베어링 테이블 중 하방을 향하는 다른 하나와 대면하는 상기 브레이크 유닛은 롤러 브레이크 유닛인 것을 특징으로 하는 기판 브레이크 장치.
   

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