KR100956355B1 - 스크라이빙 장치 - Google Patents

스크라이빙 장치 Download PDF

Info

Publication number
KR100956355B1
KR100956355B1 KR1020080054086A KR20080054086A KR100956355B1 KR 100956355 B1 KR100956355 B1 KR 100956355B1 KR 1020080054086 A KR1020080054086 A KR 1020080054086A KR 20080054086 A KR20080054086 A KR 20080054086A KR 100956355 B1 KR100956355 B1 KR 100956355B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
mother substrate
substrate
scribers
conveying
members
Prior art date
Application number
KR1020080054086A
Other languages
English (en)
Other versions
KR20090128081A (ko
Inventor
이춘호
Original Assignee
세메스 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 세메스 주식회사 filed Critical 세메스 주식회사
Priority to KR1020080054086A priority Critical patent/KR100956355B1/ko
Publication of KR20090128081A publication Critical patent/KR20090128081A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR100956355B1 publication Critical patent/KR100956355B1/ko

Links

Images

Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03BMANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B33/00Severing cooled glass
    • C03B33/10Glass-cutting tools, e.g. scoring tools
    • C03B33/105Details of cutting or scoring means, e.g. tips
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03BMANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B33/00Severing cooled glass
    • C03B33/02Cutting or splitting sheet glass or ribbons; Apparatus or machines therefor
    • C03B33/023Cutting or splitting sheet glass or ribbons; Apparatus or machines therefor the sheet or ribbon being in a horizontal position
    • C03B33/03Glass cutting tables; Apparatus for transporting or handling sheet glass during the cutting or breaking operations
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02FOPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/1303Apparatus specially adapted to the manufacture of LCDs

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Nonlinear Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)
  • Re-Forming, After-Treatment, Cutting And Transporting Of Glass Products (AREA)

Abstract

본 발명은 스크라이빙 장치를 개시한 것으로서, 모 기판의 상하면에 대한 스크라이빙 공정을 동시에 진행할 때 스크라이버들과 모 기판이 접촉하는 지점의 양측이 수평 상태를 이루도록 모 기판으로 공기를 분사하는 것을 특징으로 가진다.
이러한 특징에 의하면, 스크라이브 라인 형성의 정밀도를 향상시키고, 스크라이브 라인이 형성된 절단면의 품질을 향상시킬 수 있는 스크라이빙 장치를 제공할 수 있다.
기판, 스크라이빙, 공기 분사, 수평

Description

스크라이빙 장치{SCRIBING APPARATUS}
본 발명은 평판 디스플레이 패널의 제조에 사용되는 장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 복수 개의 단위 기판들이 형성된 모 기판에 스크라이브 라인을 형성하는 스크라이빙 장치에 관한 것이다.
최근 들어, 정보 처리 기기는 다양한 형태의 기능과 더욱 빨라진 정보 처리 속도를 갖도록 급속하게 발전하고 있다. 이러한 정보 처리 기기는 가동된 정보를 표시하는 디스플레이(Display)를 가진다. 종래에는 디스플레이로서 주로 브라운관(Cathode Ray Tube) 모니터가 사용되었으나, 최근에는 가볍고 공간을 작게 차지하는 박막 트랜지스터-액정 디스플레이(Thin Film Transistor-Liquid Crystal Display Panel)나 유기 다이오드 디스플레이(Organic Light Emitting Diodes display)와 같은 평판 디스플레이의 사용이 크게 증대하고 있다.
일반적으로, 평판 디스플레이 등에 사용되는 패널은 보통 취성 기판을 이용하여 제작되며, 패널은 한 장으로 구성된 단판 기판이나 2장의 기판이 접합된 접합 기판으로 대별된다.
접합 기판은 휴대 전화의 액정 표시기용의 패널과 같이 소형인 것부터 TV나 디스플레이 등의 패널과 같은 대형의 다양한 크기로 가공되어 사용되기 때문에, 대형의 모 기판으로부터 소정 크기의 단위 기판으로 절단되어 각각의 패널로 이용된다.
모 기판을 절단하는 방법으로는, 레이저빔을 이용하여 절단하는 방법 또는 미세한 다이아몬드가 박혀있는 스크라이브 휠(Scribe Wheel)을 이용하여 절단하는 방법 등이 있다.
레이저 빔을 이용하여 모 기판을 절단하는 방법은 모 기판의 절단 예정선을 따라 스크라이브용 레이저 빔을 조사하여 스크라이브 라인을 형성하고 가열된 스크라이브 라인을 급냉시키는 스크라이빙 공정과, 스크라이브 라인을 따라 브레이크용 레이저 빔을 조사하여 모 기판을 단위 기판으로 절단하는 브레이킹 공정으로 이루어진다.
스크라이브 휠을 이용하여 모 기판을 절단하는 방법은 스크라이브 휠을 모 기판의 절단 예정선에 접촉한 후 절단 예정선을 따라 소정 깊이의 스크라이브 라인(Scribe Line)을 형성하는 스크라이빙 공정과, 모 기판에 물리적인 충격을 가하여 스크라이브 라인을 따라 크랙(Crack)이 전파되도록 함으로써 모 기판을 단위 기판으로 절단하는 브레이킹 공정으로 이루어진다.
본 발명은 스크라이빙 공정의 정밀도를 향상시킬 수 있는 스크라이빙 장치를 제공하기 위한 것이다.
본 발명의 목적은 여기에 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 목적들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
상기한 과제를 달성하기 위하여 본 발명에 의한 스크라이빙 장치는, 단위 기판들이 형성된 모 기판상에 단위 기판들의 배열 방향을 따라 스크라이브 라인을 형성하는 장치에 있어서, 상기 모 기판의 상부와 하부에 서로 마주보도록 각각 배치되며, 상기 모 기판의 상면과 하면에 스크라이브 라인을 형성하는 스크라이버들과; 상기 스크라이버들의 양측에 각각 배치되며, 상기 스크라이버들과 상기 모 기판이 접촉하는 지점의 양측이 수평을 이루도록 상기 모 기판으로 공기를 분사하여 상기 모 기판을 지지하는 공기 분사 부재들을 포함하는 것을 특징으로 한다.
상술한 바와 같은 구성을 가지는 본 발명에 의한 스크라이빙 장치에 있어서, 상기 모 기판의 이송 방향을 따라 서로 이격 배치되며, 상기 모 기판을 일 방향으로 이송시키는 이송 부재들;을 더 포함하되, 상기 스크라이버들과 상기 공기 분사 부재들은 상기 이송 부재들 사이에 배치될 수 있다.
상기 스크라이버들은 상기 모 기판의 이송 방향에 수직한 방향으로 직선 이동하며 스크라이브 라인을 형성하되, 상기 공기 분사 부재들은 길이 방향이 상기 모 기판의 이송 방향에 수직한 방향을 향하도록 배치된 슬릿 노즐일 수 있다.
상기 이송 부재들은 상기 모 기판의 이송 방향에 수직한 방향으로 서로 평행을 이루도록 나란하게 배치되는 복수 개의 벨트-컨베이어를 포함할 수 있다.
본 발명에 의하면, 스크라이브 라인 형성의 정밀도를 향상시킬 수 있다.
또한, 본 발명에 의하면 스크라이브 라인이 형성된 절단면의 품질을 향상시킬 수 있다.
이하 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 스크라이빙 장치를 상세히 설명하기로 한다. 우선 각 도면의 구성 요소들에 참조 부호를 부가함에 있어서, 동일한 구성 요소들에 대해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 한 동일한 부호를 가지도록 하고 있음에 유의해야 한다. 또한, 본 발명을 설명함에 있어, 관련된 공지 구성 또는 기능에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명은 생략한다.
( 실시 예 )
도 1은 본 발명에 따른 스크라이빙 장치의 평면도이고, 도 2는 본 발명에 따른 스크라이빙 장치의 측면도이며, 도 3은 도 2의 A 부분의 확대도이다.
도 1 내지 도 3을 참조하면, 본 발명에 따른 스크라이빙 장치는 단위 기판들이 형성된 모 기판(S) 상에 단위 기판들의 배열 방향을 따라 스크라이브 라인을 형성하기 위한 것으로, 이송 부재들(100), 스크라이버들(200) 및 공기 분사 부재들(300)을 포함한다.
이송 부재들(100)은 모 기판(S)을 일 방향을 따라 이동시키고, 스크라이버들(200)은 모 기판(S)의 상면과 하면에 동시에 스크라이브 라인을 형성하며, 공기 분사 부재들(300)은 모 기판(S)과 스크라이버들(200)이 접촉되는 부분의 양측에 공기를 분사하여 모 기판(S)의 평탄도를 유지시킨다.
이송 부재들(100)은 모 기판(S)의 이송 방향을 따라 서로 이격 배치된 제 1 이송 부재(100a)와 제 2 이송 부재(100b)를 포함한다. 제 1 및 제 2 이송 부재(100a,100b)는 모 기판(S)을 지지하고, 모 기판(S)을 일 방향으로 이송시킨다. 제 1 및 제 2 이송 부재(100a,100b)는 벨트(110)와 롤러들(120a,120b)의 조합으로 이루어진 벨트-컨베이어들일 수 있다. 벨트(110)는 길이 방향이 모 기판(S)의 이송 방향을 향하도록 배치되고, 벨트(110)는 모 기판(S)의 이송 방향을 따라 서로 이격 배치된 롤러들(120)에 감긴다. 그리고, 벨트(110)와 롤러들(120)의 조합으로 이루어진 벨트-컨베이어는 모 기판(S)의 이송 방향에 수직한 방향으로 서로 평행을 이루도록 복수 개가 나란하게 배치된다.
스크라이버들(200)은 모 기판(S)의 상면에 스크라이브 라인을 형성하는 상부 스크라이버(200a)와, 모 기판(S)의 하면에 스크라이브 라인을 형성하는 하부 스크라이버(200b)를 포함한다. 상부 스크라이버(200a)와 하부 스크라이버(200b)는 제 1 이송 부재(100a)와 제 2 이송 부재(100b)의 사이에 위치하며, 상부 스크라이버(200a)의 스크라이빙 휠(210a) 원주 면과 하부 스크라이버(200b)의 스크라이빙 휠(210b) 원주 면이 서로 마주보도록 연직선상에 일렬로 정렬된다. 그리고, 상부 및 하부 스크라이버(200a,200b)는 모 기판(S)의 평면상에서 모 기판(S)의 이송 방향에 수직한 방향으로 직선 이동하면서, 모 기판(S) 상에 스크라이브 라인을 형성한다. 도 3에 도시된 바와 같이, 본 실시 예에서는 스크라이빙 휠(210a,210b)을 이용한 스크라이버들(200)이 예시되어 있으며, 이에 대한 사항은 관련 기술 분야의 당업자에게 자명한 사항이므로 상세한 설명은 생략한다. 스크라이버로는 스크라이빙 휠을 이용한 스크라이버 이외에도 레이저 빔을 이용한 스크라이버들이 사용될 수도 있다.
그리고, 모 기판(S)의 이송 방향을 따르는 상부 스크라이버(200a)의 좌우 양측과, 하부 스크라이버(200b)의 좌우 양측에는 공기 분사 부재들(300, 310,320,330,340)이 각각 배치된다. 공기 분사 부재들(300, 310,320,330,340)은 그 길이 방향이 모 기판(S)의 평면상에서 모 기판(S)의 이송 방향에 수직한 방향을 향하도록 배치되며, 스크라이버들(200a,200b)과 모 기판(S)이 접촉하는 지점의 좌우 양측이 수평을 이루도록 모 기판(S)으로 공기를 분사한다. 스크라이버들(200a,200b)이 모 기판(S)의 상면과 하면에 접촉하여 스크라이브 라인을 형성하는 과정 중, 공기 분사 부재들(300)이 모 기판(S) 상에 공기를 분사하게 되면, 분사되는 공기의 압력에 의해 모 기판(S)이 수평을 유지한 상태로 지지될 수 있다. 스크라이빙 공정 진행 중 모 기판(S)의 수평 상태가 유지되면, 스크라이빙 공정의 정밀도를 향상시킬 수 있을 뿐만 아니라, 스크라이빙 휠(210a, 210b)이 모 기판(S)에 수직하게 작용할 수 있기 때문에 스크라이브 라인이 형성되는 절단면의 품질을 향상시킬 수도 있다.
이상의 설명은 본 발명의 기술 사상을 예시적으로 설명한 것에 불과한 것으로서, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 본질적인 특성에서 벗어나지 않는 범위에서 다양한 수정 및 변형이 가능할 것이다. 따라서, 본 발명에 개시된 실시 예들은 본 발명의 기술 사상을 한정하기 위한 것이 아니라 설명하기 위한 것이고, 이러한 실시 예에 의하여 본 발명의 기술 사상의 범위가 한정되는 것은 아니다. 본 발명의 보호 범위는 아래의 청구범위에 의하여 해석되어야 하며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 기술 사상은 본 발명의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.
이하에 설명된 도면들은 단지 예시의 목적을 위한 것이고, 본 발명의 범위를 제한하기 위한 것이 아니다.
도 1은 본 발명에 따른 스크라이빙 장치의 평면도,
도 2는 본 발명에 따른 스크라이빙 장치의 측면도,
도 3은 도 2의 A 부분의 확대도이다.
< 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 >
100 : 이송 부재 200 : 스크라이버
300 : 공기 분사 부재

Claims (4)

  1. 단위 기판들이 형성된 모 기판상에 단위 기판들의 배열 방향을 따라 스크라이브 라인을 형성하는 장치에 있어서,
    상기 모 기판의 상부와 하부에 서로 마주보도록 각각 배치되며, 상기 모 기판의 상면과 하면에 스크라이브 라인을 형성하는 제1 및 제2 스크라이버들과;
    상기 제1 및 상기제 2 스크라이버들의 양측에서 상기 모 기판의 이송 방향과 평면 상으로 수직한 방향을 향하도록 각각 배치되며, 상기 제1 및 상기 제2 스크라이버들과 상기 모 기판이 접촉하는 지점의 양측이 수평을 이루도록 상기 모 기판으로 공기를 분사하여 상기 모 기판을 지지하는 복수 개의 공기 분사 부재들을 포함하는 것을 특징으로 하는 스크라이빙 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 모 기판의 이송 방향을 따라 서로 이격 배치되며, 상기 모 기판을 일 방향으로 이송시키는 이송 부재들;을 더 포함하되,
    상기 스크라이버들과 상기 공기 분사 부재들은 상기 이송 부재들 사이에 배치되는 것을 특징으로 하는 스크라이빙 장치.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 스크라이버들은 상기 모 기판의 이송 방향에 수직한 방향으로 직선 이동하며 스크라이브 라인을 형성하되,
    상기 공기 분사 부재들은 길이 방향이 상기 모 기판의 이송 방향에 수직한 방향을 향하도록 배치된 슬릿 노즐인 것을 특징으로 하는 스크라이빙 장치.
  4. 제 3 항에 있어서,
    상기 이송 부재들은 상기 모 기판의 이송 방향에 수직한 방향으로 서로 평행을 이루도록 나란하게 배치되는 복수 개의 벨트-컨베이어들을 포함하는 것을 특징으로 하는 스크라이빙 장치.
KR1020080054086A 2008-06-10 2008-06-10 스크라이빙 장치 KR100956355B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020080054086A KR100956355B1 (ko) 2008-06-10 2008-06-10 스크라이빙 장치

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020080054086A KR100956355B1 (ko) 2008-06-10 2008-06-10 스크라이빙 장치

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20090128081A KR20090128081A (ko) 2009-12-15
KR100956355B1 true KR100956355B1 (ko) 2010-05-07

Family

ID=41688544

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020080054086A KR100956355B1 (ko) 2008-06-10 2008-06-10 스크라이빙 장치

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR100956355B1 (ko)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TWI649279B (zh) * 2014-01-29 2019-02-01 日商三星鑽石工業股份有限公司 脆性材料基板之刻劃裝置

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6364789B2 (ja) * 2014-01-29 2018-08-01 三星ダイヤモンド工業株式会社 スクライブ装置
KR101659454B1 (ko) * 2014-08-21 2016-09-23 한국미쯔보시다이아몬드공업(주) 기판 브레이크 장치
JP6638400B2 (ja) * 2016-01-05 2020-01-29 三星ダイヤモンド工業株式会社 基板分断方法

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004345744A (ja) * 2003-05-20 2004-12-09 Hitachi Zosen Corp 空気浮上装置および空気浮上式搬送装置
JP2006182009A (ja) * 2004-12-27 2006-07-13 Lg Phillips Lcd Co Ltd 基板の切断装置及びこれを用いた基板の切断方法

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004345744A (ja) * 2003-05-20 2004-12-09 Hitachi Zosen Corp 空気浮上装置および空気浮上式搬送装置
JP2006182009A (ja) * 2004-12-27 2006-07-13 Lg Phillips Lcd Co Ltd 基板の切断装置及びこれを用いた基板の切断方法

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TWI649279B (zh) * 2014-01-29 2019-02-01 日商三星鑽石工業股份有限公司 脆性材料基板之刻劃裝置

Also Published As

Publication number Publication date
KR20090128081A (ko) 2009-12-15

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101303542B1 (ko) 평판표시패널 절단장치
JP5216040B2 (ja) 脆性材料基板の分断方法
KR100949152B1 (ko) 유리 기판 레이저 절단 장치
KR100956355B1 (ko) 스크라이빙 장치
JP6364789B2 (ja) スクライブ装置
KR100889308B1 (ko) 스크라이빙 장치 및 방법 및 이를 이용한 기판 절단 장치
JP2007183550A (ja) 液晶表示パネルの切断方法及びこれを用いた液晶表示パネルの製造方法
KR20090095281A (ko) 스크라이빙 장치 및 이를 이용한 기판 절단 장치 및 방법
US9212080B2 (en) Glass film cleaving method and glass film laminate
KR20090116139A (ko) 스크라이빙 장치, 그리고 이를 이용한 기판 절단 장치 및방법
JP2014214055A (ja) 基板加工システムおよび基板加工方法
JP5414983B2 (ja) 液晶表示装置の製造方法、及びガラス基板切断装置
JP6251061B2 (ja) 脆性材料基板のスクライブ装置
TWI414389B (zh) Substrate breaking device
KR20090128083A (ko) 스크라이빙 장치
KR100994507B1 (ko) 기판정렬장치
KR100956354B1 (ko) 스크라이빙 장치
JP5444158B2 (ja) 脆性材料基板の割断方法
KR100978858B1 (ko) 스크라이빙 장치 및 방법
CN107482134A (zh) 柔性显示器及其制造方法
KR100631296B1 (ko) 단판 유리기판의 레이저 절단 방법 및 장치
KR102051392B1 (ko) 디스플레이 패널의 측면 패턴 형성 방법
US20130140291A1 (en) Glass Substrate Slicing Apparatus and Method
CN102555508B (zh) 印刷物制造方法、印刷物制造装置以及印刷物
KR100691216B1 (ko) 기판 이송장치

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20130419

Year of fee payment: 4

LAPS Lapse due to unpaid annual fee