KR101620367B1 - 두께 편차를 줄인 플렉시블 초박형 유리 제조방법 - Google Patents

Abstract

본 발명의 플렉시블 초박형 유리 제조방법은 에칭액으로 부식시켜 유리 두께를 줄이는 식각 장치를 이용해 400㎛ 이상 두께의 원판 유리를 식각하여 20~100㎛ 두께의 초박형 유리를 제조하는 방법으로, 1차식각 지그 장착단계와; 1차 식각단계와; 1차 언로딩단계와; 테이프 봉합단계와; 2차식각 지그 1차 식각유리 리버스 장착단계와; 2차 식각단계와; 2차 언로딩단계와; 봉합테이프 제거단계와; 테이프 봉합 영역 커팅 제거단계를 포함하여 구성되며, 상기 1차 식각단계와 1차 언로딩단계 사이에 1차 린싱단계와; 상기 2차 식각단계와 2차 언로딩단계 사이에 2차 린싱단계가 추가 포함되어 구성될 수도 있으며, 상기 1차 식각단계에서 상기 원판 유리는 에칭 레이트를 높여 생산성을 높이기 위하여 상기 1차식각 지그에 좌·우면과 밑면이 고정되고, 상기 2차 식각단계에서 유리의 특성상 100㎛ 이하의 두께에서는 식각액 분사 시 좌우로 심하게 흔들려 파손되는 것을 방지하기 위하여 상기 1차 식각유리에 유연성을 주며 상기 1차 식각유리의 하부 부분이 과식각이 되는 것을 방지하여 두께 편차를 최소화하기 위하여, 상기 2차식각 지그 1차 식각유리 리버스 장착단계에서 상기 1차 식각유리의 좌·우면은 상기 2차식각 지그에 고정되고, 밑면은 상기 2차식각 지그에 고정되지 않고 바닥면에서 일정 높이만큼 띄워서 설치해야 한다.
본 발명의 두께 편차를 줄인 플렉시블 초박형 유리 제조방법에 따르면 폴더블, 롤러블 디스플레이 제품에 사용되는 플렉시블 초박형 유리(20㎛ ~ 100㎛이하)를 두께 편차를 최소화(± 2.5um)하여 자유롭게 구부릴 경우에도 제품 파손이 없는 유리를 안정적으로 제조할 수 있으며, 또한 다양한 제품 사이즈에 맞게 제조할 수 있고, 물리적 유리 표면 접촉으로 인한 파손 불량 없이 안정적으로 제조할 수 있으므로, 제품의 품질과 수율을 높이는 효과가 있다.

Description

두께 편차를 줄인 플렉시블 초박형 유리 제조방법{Manufacturing Method of Flexible Ultra-Thin Type Glass Plate Minimized Thickness Variation}

본 발명은 초박형 유리의 제조방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 식각 장치를 이용하여 두꺼운 유리를 얇게 식각함에 있어서 두께 편차를 최소화하여 플렉시블 디스플레이 기기에 사용 적합하도록 만드는 두께 편차를 줄인 플렉시블 초박형 유리 (Flexible Ultra Thin Glass) 제조 방법에 관한 것이다.

현재 출시된 단순히 휘어진 형태의 커브드 디스플레이는 향후 벤더블(구부릴 수 있는), 폴더블(접을 수 있는), 롤러블(말 수 있는), 스트레처블(크기를 조절할 수 있는) 형태로 지속 발전할 것으로 보이며, 이러한 폴더블 타입은 삼성전자가 지갑처럼 반으로 접을 수 있는 형태의 스마트폰 디스플레이 관련 특허로서 지난 2월 출원한 모바일용 폴더블 디스플레이 관련 특허가 미국에 공개되었다.

이 특허에 의하면 디스플레이는 화면에 아무런 손상없이 앞뒤로 자유자재로 접을 수 있으며, 절반(5:5)이나 3:7 비율로 구부리는 것이 가능하며 접히는 각도도 90도에서 완전히 두면이 맞닿아 접혀진 형태까지 구현할 수 있는 등의 폴더블 디스플레이를 적용한 스마트폰의 활용 방안과 구현 방법 등을 구체적으로 소개하였다.

폴더블 디스플레이와 같은 플렉서블 디스플레이 제품에 고강도 필름이 적용 중이나, 고강도 필름 제품은 굴곡테스트에서 10만회 이하까지만 가능하고, 투과율도 96%이하인 단점 때문에, 10만회 이상의 접고 펴는 것이 가능하고 투과율도 98% 이상인 아주 얇은 글라스를 대신 적용되는 추세가 될 것임.

글라스가 플렉서블 디스플레이 제품에 적용하기 위해서는 0.05㎜(50㎛) 이하의 아주 얇은 글라스 슬리밍(Glass Slimming) 기술에 대한 양산 적용 기술 확보가 요구된다.

또한, 최근 반도체, 디스플레이장비 산업의 발전과 경박단소한 제품을 원하는 소비자들의 요구에 발맞추어 글라스가 합착된 형태로 제조되는 디스플레이 패널(Panel)을 박형화하는 기술의 발전이 절실하게 요구되고 있다.

즉, LCD의 기판 등에 사용되는 글라스의 두께는 장비의 박형화의 흐름에 맞추어 초박형화가 요구되고 있으며, 이러한 박형화의 기술은 디스플레이 패널(Panel)의 에칭을 통하여 이루어지고 있다.

종래에는 이러한 박형화 기술로 널리 알려진 것이, 침적법(Dip), 분사법(Spray), Dip & Spray 법이 있다.

그러나 이 역시 매우 복잡한 공정을 요하며, 매우 높은 비용이 소요되며, 유지 보수가 어려운 난점이 존재하며, 유리 표면에 발생하는 스크래치의 발생도 여전히 생기는 문제가 발생했다.

이러한 스크래치는 아무리 미세하다 할지라도, 디스플레이패널 등의 첨단장비에는 치명적인 오류가 발생하는바, 상품가치가 현저하게 떨어지므로 작은 스크래치는 곧바로 제조 유리의 폐기로 이루어지게 되는 매우 중대한 것이다.

즉 종래의 상기 어느 기술을 이용하든지 디스플레이 패널(Panel)를 외부의 식각용액으로 버블이나 스프레이로 베어글라스의 식각을 하는 경우에는 글라스 표면에 미세한 스크래치나 파티클에 의한 훼손이 발생하며, 이는 고정밀도를 요하는 디스플레이등의 장비에는 치명적인 품질결함을 초래하는바, 제조된 박형화된 디스플레이 패널(Panel)이라도 매우 미세한 스크래치를 구비한 경우라도 모두 폐기되어 비용 소요가 엄청나게 증가하는 문제점이 발생했다.

또한, 폴더블, 롤러블 디스플레이 제품을 구현하기 위해서는 최우선적으로 구부러지면서 제품 성능을 유지할 수 있는 플렉시블 초박형 유리(통상적으로 20 ~ 100㎛이하 유리 제품을 칭함)에 대한 제조가 필요하며 또한 이러한 유리는 두께 균일도가 일정하게 유지되어야 하고 그 편차가 최소화되어야 한다.

그러나, 도 1과 같이 유리 제조사( 삼성코닝/아사히 글라스/NSG 등)가 만든 제품은 두께 편차가 심하게(±10 ~ 20㎛) 발생하고 얇은 초박형 유리 제조가 어려워 구부릴 때 깨짐이 발생되어 플렉시블 디스플레이 기기에 적합하지 않다.

또 물리적 연마 방법도 있을 수 있으나 동 방법도 두께 편차를 줄일 수 없고 특히 얇은 초박형 유리의 경우는 물리적 유리 표면 접촉으로 인해 깨짐으로 인한 파손 문제가 발생되어 왔다.

1. 한국등록특허공보 제10-1304103(등록일 : 2013년 09월 05일) 초박형 글래스판 제조방법 2. 한국공개특허공보 제10-2015-0046219(공개일자 : 2015년 04월 29일) 플렉시블 유리 기판의 가공방법 및 플렉시블 유리 기판 및 캐리어 기판을 포함하는 기판 스택 3. 한국등록특허공보 제10-0835745(등록일 : 2008년 05월 30일) 하향식 유리 박형화 방법

상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 본 발명은 생산성과 품질을 높이기 위해 1차 식각단계와 2차 식각단계로 분리하여 식각하고, 1차 식각 후의 1차 식각유리는 글라스 파손율을 현저히 낮추고 두께 편차를 줄이기 위해서 글라스의 좌·우면만 고정하고 바닥면은 띄워 고정하지 않는 방법과 봉합테이프로 좌우 양면을 일정 폭으로 봉합하는 방법으로 작업하는 두께 편차를 줄인 플렉시블 초박형 유리 제조방법을 제공함에 있다.

본 발명의 플렉시블 초박형 유리 제조방법은 에칭액으로 부식시켜 유리 두께를 줄이는 식각 장치를 이용해 400㎛ 이상 두께의 원판 유리를 식각(Etching)하여 20~100㎛ 두께의 초박형 유리를 제조하는 방법으로, 취급 시 상기 원판 유리의 표면을 보호하기 위하여 상면과 하면에 부착된 보호필름을 제거하는 보호필름 제거단계와; 상기 원판 유리를 1차식각 지그에 장착하고, 상기 원판 유리가 장착된 상기 1차식각 지그를 상기 식각 장치에 로딩하는 1차식각 지그 장착단계와; 탑 스프레이 노즐(Top Spray Nozzle) 분사 방식, 사이드 스프레이 노즐(Side Spray Nozzle) 분사방식, 또는 탑 앤드 사이드 스프레이 노즐(Top and Side Spray Nozzle) 분사 방식으로 식각액을 분사하여 식각하며, 두께 편차를 줄이기 위하여 일정 두께까지 1차 식각하여 1차 식각유리로 가공하는 1차 식각단계와; 1차 식각된 상기 1차 식각유리가 적재된 상기 1차식각 지그를 상기 식각 장치에서 배출시킨 후, 상기 1차 식각유리를 상기 1차식각 지그에서 언로딩하는 1차 언로딩단계와; 상기 1차 식각유리를 2차 식각 시 2차식각 지그의 측면 및 하단면에 물리적으로 접촉하여 파손되는 것을 방지하기 위해 상기 1차 식각유리의 좌우 양쪽 사이드면을 일정 폭으로 봉합테이프로 테이핑하는 테이프 봉합단계와; 테이핑이 완료된 1차 식각유리를 두께 편차를 최소화하기 위해서 1차 식각 시 하부가 상부보다 식각이 덜되어 두꺼운 하단면을 위로 올리는 리버스 장착 방법으로 상기 2차식각 지그에 장착한 후 상기 식각 장치에 로딩하는 2차식각 지그 1차 식각유리 리버스 장착단계와; 탑 스프레이 노즐(Top Spray Nozzle) 분사방식, 사이드 스프레이 노즐(Side Spray Nozzle) 분사방식 또는 탑 앤드 사이드 스프레이 노즐(Top and Side Spray Nozzle) 분사 방식으로 식각액을 분사하여 20~100㎛ 두께까지 2차 식각하여 초박형 유리로 제조하는 2차 식각단계와; 2차 식각된 상기 초박형 유리가 적재된 상기 2차식각 지그를 상기 식각 장치에서 배출시킨 후, 상기 초박형 유리를 상기 2차식각 지그에서 언로딩하는 2차 언로딩단계와; 상기 2차식각 지그에서 언로딩된 상기 초박형 유리에서 좌우 양쪽 사이드면을 일정 폭으로 테이핑한 것을 제거하는 봉합테이프 제거단계와; 봉합테이프가 부착되었던 영역은 2차 식각이 이루어지지 않았기 때문에 봉합테이프가 부착되었던 영역을 커팅하여 완제품 초박형 유리를 완성시키는 테이프 봉합 영역 커팅 제거단계를 포함하여 구성되며, 상기 1차 식각단계와 1차 언로딩단계 사이에 불량을 유발하는 식각 불균일과 얼룩 제거를 위하여 상기 1차 식각유리에 남아 있는 식각액을 수세액으로 클리닝하는 1차 린싱(Rinsing)단계와; 상기 2차 식각단계와 2차 언로딩단계 사이에 불량을 유발하는 잔존 식각액 및 식각액 얼룩 제거를 위하여 상기 초박형 유리에 남아 있는 식각액을 상기 수세액으로 클리닝하는 2차 린싱(Rinsing)단계가 추가 포함되어 구성될 수도 있다.

상기 1차 식각단계에서 상기 원판 유리는 에칭 레이트(Etching Rate)를 높여 생산성을 높이기 위하여 상기 1차식각 지그에 좌·우면과 밑면이 고정된다.

상기 2차 식각단계에서 유리의 특성상 100㎛ 이하의 두께에서는 식각액 분사 시 좌우로 심하게 흔들려 파손되는 것을 방지하기 위하여 상기 1차 식각유리에 유연성을 주며 상기 1차 식각유리의 하부 부분이 과식각이 되는 것을 방지하여 두께 편차를 최소화하기 위하여, 상기 2차식각 지그 1차 식각유리 리버스 장착단계에서 상기 1차 식각유리의 좌·우면은 상기 2차식각 지그에 고정되고, 밑면은 상기 2차식각 지그에 고정되지 않고 바닥면에서 일정 높이만큼 띄워서 설치해야 한다.

상기 1차 식각단계에서 두께 편차를 줄이기 위하여 상기 원판 유리를 150~200㎛ 두께까지 1차 식각를 시행한다.

상기 테이프 봉합단계에서 상기 1차 식각유리의 좌우 양쪽 사이드면에 10mm 이하 폭으로 테이프 봉합을 시행한다.

상기 1차 식각단계는 에칭 레이트(Etching Rate) 1~7㎛/min, 분사압력 0.3~4.0kgf/㎠ 이며, 상기 2차 식각단계는 에칭 레이트(Etching Rate) 1~5㎛/min, 분사압력 0.3~4.0kgf/㎠이다.

상기 수세액은 순수(DI Water) 또는 알카리 수세액을 사용하고, 상기 순수의 순도는 0.1㏁ 이상이어야 하며, 상기 알카리 수세액은 수산화칼륨(KOH) 또는 수산화나트륨(NaOH) 용액에, 표면저항을 낮추어 린싱 시간을 단축시키기 위하여 계면활성제를 첨가한 후 순수(DI Water)와 혼합하여 PH가 10 이상이 유지되도록 제조되고, 수세액 클리닝 방식은 탑 스프레이 노즐(Top Spray Nozzle) 분사방식, 사이드 스프레이 노즐(Side Spray Nozzle) 분사방식 또는 탑 앤드 사이드 스프레이 노즐(Top and Side Spray Nozzle) 분사 방식이 사용되며, 수세약 클리닝 압력은 0.3~4.0kgf/㎠ 이어야 한다.

상술한 플렉시블 초박형 유리 제조방법으로 본 발명의 해결하고자 하는 과제를 해결할 수 있다.

본 발명의 두께 편차를 줄인 플렉시블 초박형 유리 제조방법에 따르면 폴더블, 롤러블 디스플레이 제품에 사용되는 플렉시블 초박형 유리(20㎛ ~ 100㎛이하)를 두께 편차를 최소화(± 2.5um)하여 자유롭게 구부릴 경우에도 제품 파손이 없는 유리를 안정적으로 제조할 수 있으며, 또한 다양한 제품 사이즈에 맞게 제조할 수 있고, 물리적 유리 표면 접촉으로 인한 파손 불량 없이 안정적으로 제조할 수 있으므로, 제품의 품질과 수율을 높이는 효과가 있다.

도 1은 기존 박형 유리의 두께 편차 및 구부렸을 때 깨짐이 발생하는 것을 보여주는 예시도
도 2는 본 발명의 두께 편차를 줄인 플렉시블 초박형 유리 제조방법 순서도
도 3은 본 발명의 제조방법에 따른 보호필름 제거단계 설명도
도 4는 본 발명의 제조방법에 따른 1차식각 지그 장착단계에서 사용되는 1차식각 지그 개략도
도 5는 본 발명의 제조방법에 따른 1차식각 지그 장착단계에서 사용되는 1차식각 지그에 원판 유리를 장착한 상태 예시도
도 6은 본 발명의 제조방법에 따른 1차 식각단계 설명도
도 7은 본 발명의 제조방법에 따른 1차식각 후 원판 유리와 1차식각 유리 두께 비교도
도 8은 본 발명의 제조방법에 따른 테이프 봉합단계 설명도
도 9는 본 발명의 제조방법에 따른 2차식각 지그 장착단계에서 사용되는 2차식각 지그 개략도
도 10은 본 발명의 제조방법에 따른 2차식각 지그 장착단계에서 사용되는 2차식각 지그에 1차식각 유리를 리버스로 장착한 상태 예시도
도 11은 본 발명의 제조방법에 따른 2차 식각단계 설명도
도 12는 본 발명의 제조방법에 따른 봉합테이프 제거단계 설명도
도 13은 본 발명의 제조방법에 따른 테이프 봉합 영역 커팅 제거단계 설명도
도 14는 본 발명의 제조방법에 따른 1차식각 후의 1차식각 유리와 테이프 봉합 영역 커팅 제거단계 후의 초박형 유리 두께 비교도

먼저, 본 발명의 구체적인 설명에 들어가기에 앞서, 본 발명에 관련된 공지 기술 또는 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명은 생략한다.

또한, 후술 되는 용어들은 본 발명에서의 기능을 고려하여 정의된 용어들로서 이는 사용자, 운용자의 의도 또는 관례 등에 따라 달라질 수 있으므로, 그 정의는 본 발명에 따른 "두께 편차를 줄인 플렉시블 초박형 유리 제조방법"을 설명하는 본 명세서 전반에 걸친 내용을 토대로 내려져야 할 것이다.

이하, 본 발명에 따른 "두께 편차를 줄인 플렉시블 초박형 유리 제조방법"에 관한 바람직한 실시 예를 상세하게 설명한다.

다음의 실시 예는 단지 본 발명을 설명하기 위하여 예시된 것에 불과하고, 본 발명의 범위를 제한하기 위한 것은 아니다.

도 1은 기존 박형 유리의 두께 편차 및 구부렸을 때 깨짐이 발생하는 것을 보여주는 예시도이며, 도 2는 본 발명의 두께 편차를 줄인 플렉시블 초박형 유리 제조방법 순서도이고, 도 3은 본 발명의 제조방법에 따른 보호필름 제거단계 설명도이며, 도 4는 본 발명의 제조방법에 따른 1차식각 지그 장착단계에서 사용되는 1차식각 지그 개략도이고, 도 5는 본 발명의 제조방법에 따른 1차식각 지그 장착단계에서 사용되는 1차식각 지그에 원판 유리를 장착한 상태 예시도이며, 도 6은 본 발명의 제조방법에 따른 1차 식각단계 설명도이고, 도 7은 본 발명의 제조방법에 따른 1차식각 후 원판 유리와 1차식각 유리 두께 비교도이며, 도 8은 본 발명의 제조방법에 따른 테이프 봉합단계 설명도이고, 도 9는 본 발명의 제조방법에 따른 2차식각 지그 장착단계에서 사용되는 2차식각 지그 개략도이며, 도 10은 본 발명의 제조방법에 따른 2차식각 지그 장착단계에서 사용되는 2차식각 지그에 1차식각 유리를 리버스로 장착한 상태 예시도이고, 도 11은 본 발명의 제조방법에 따른 2차 식각단계 설명도이며, 도 12는 본 발명의 제조방법에 따른 봉합테이프 제거단계 설명도이고, 도 13은 본 발명의 제조방법에 따른 테이프 봉합 영역 커팅 제거단계 설명도이며, 도 14는 본 발명의 제조방법에 따른 1차식각 후의 1차식각 유리와 테이프 봉합 영역 커팅 제거단계 후의 초박형 유리 두께 비교도이다.

도 2에 도시되어 있는 것 같이 본 발명의 플렉시블 초박형 유리 제조방법은 에칭액으로 부식시켜 유리 두께를 줄이는 식각 장치를 이용해 400㎛ 이상 두께의 원판 유리(1)를 식각(Etching)하여 20~100㎛ 두께의 초박형 유리로 제조하는 방법으로, 취급 시 상기 원판 유리(1)의 표면을 보호하기 위하여 상면과 하면에 부착된 보호필름(2)을 제거하는 보호필름 제거단계와; 상기 원판 유리(1)를 1차식각 지그(3)에 장착하고, 상기 원판 유리(1)가 장착된 상기 1차식각 지그(3)를 상기 식각 장치에 로딩하는 1차식각 지그 장착단계와; 탑 스프레이 노즐(Top Spray Nozzle) 분사 방식, 사이드 스프레이 노즐(Side Spray Nozzle) 분사방식, 또는 탑 앤드 사이드 스프레이 노즐(Top and Side Spray Nozzle) 분사 방식으로 식각액을 분사하여 식각하며, 두께 편차를 줄이기 위하여 일정 두께까지 1차 식각하여 1차 식각유리(4)로 가공하는 1차 식각단계와; 1차 식각된 상기 1차 식각유리(4)가 적재된 상기 1차식각 지그(3)를 상기 식각 장치에서 배출시킨 후, 상기 1차 식각유리(4)를 상기 1차식각 지그(3)에서 언로딩하는 1차 언로딩단계와; 상기 1차 식각유리(4)를 2차 식각 시 2차식각 지그(6)의 측면 및 하단면에 물리적으로 접촉하여 파손되는 것을 방지하기 위해 상기 1차 식각유리(4)의 좌우 양쪽 사이드면을 일정 폭으로 봉합테이프(5)로 테이핑하는 테이프 봉합단계와; 테이핑이 완료된 1차 식각유리를 두께 편차를 최소화하기 위해서 1차 식각 시 하부가 상부보다 식각이 덜되어 두꺼운 하단면을 위로 올리는 리버스 장착 방법으로 상기 2차식각 지그(6)에 장착한 후 상기 식각 장치에 로딩하는 2차식각 지그 1차 식각유리 리버스 장착단계와; 탑 스프레이 노즐(Top Spray Nozzle) 분사방식, 사이드 스프레이 노즐(Side Spray Nozzle) 분사방식 또는 탑 앤드 사이드 스프레이 노즐(Top and Side Spray Nozzle) 분사 방식으로 식각액을 분사하여 20~100㎛ 두께까지 2차 식각하여 초박형 유리(7)로 제조하는 2차 식각단계와; 2차 식각된 상기 초박형 유리(7)가 적재된 상기 2차식각 지그(6)를 상기 식각 장치에서 배출시킨 후, 상기 초박형 유리(7)를 상기 2차식각 지그(6)에서 언로딩하는 2차 언로딩단계와; 상기 2차식각 지그(6)에서 언로딩된 상기 초박형 유리(7)에서 좌우 양쪽 사이드면을 일정 폭으로 상기 봉합테이프(5)로 테이핑한 것을 제거하는 봉합테이프 제거단계와; 상기 봉합테이프(5)가 부착되었던 영역은 2차 식각이 이루어지지 않았기 때문에 상기 봉합테이프(5)가 부착되었던 영역을 커팅하여 완제품 초박형 유리(7a)를 완성시키는 테이프 봉합 영역 커팅 제거단계를 포함하여 구성된다.

상기 1차 식각단계에서 상기 원판 유리(1)는 에칭 레이트(Etching Rate)를 높여 생산성을 높이기 위하여 상기 1차식각 지그(3)에 좌·우면과 밑면이 고정되어야 한다.

상기 2차 식각단계에서 유리의 특성상 100㎛ 이하의 두께에서는 식각액 분사 시 좌우로 심하게 흔들려 파손되는 것을 방지하기 위하여 상기 1차 식각유리(4)에 유연성을 주며 상기 1차 식각유리(4)의 하부 부분이 과식각이 되는 것을 방지하여 두께 편차를 최소화하기 위하여, 상기 2차식각 지그 1차 식각유리 리버스 장착단계에서 상기 1차 식각유리(4)의 좌·우면은 상기 2차식각 지그(6)에 고정되고, 밑면은 상기 2차식각 지그(6)에 고정되지 않고 바닥면에서 일정 높이만큼 띄워서 설치되어야 한다.

본 발명의 상기 플렉시블 초박형 유리 제조방법은 상기 1차 식각단계와 1차 언로딩단계 사이에 불량을 유발하는 식각 불균일과 얼룩 제거를 위하여 상기 1차 식각유리에 남아 있는 식각액을 수세액으로 클리닝하는 1차 린싱(Rinsing)단계와; 상기 2차 식각단계와 2차 언로딩단계 사이에 불량을 유발하는 잔존 식각액 및 식각액 얼룩 제거를 위하여 상기 초박형 유리에 남아 있는 식각액을 상기 수세액으로 클리닝하는 2차 린싱(Rinsing)단계가 추가 포함되어 구성될 수도 있다.

본 발명에 사용되는 상기 원판 유리(1)은 탄산나트륨(Na₂CO₃)를 주성분으로 하는 소다라임 글라스(Soda Lime Glass)로 NSG, 아사히 글라스, 코닝 등에서 생산되는 것이다.

본 발명의 두께 편차를 줄인 플렉시블 초박형 유리 제조방법에 따르면 폴더블, 롤러블 디스플레이 제품에 사용되는 플렉시블 초박형 유리(20㎛ ~ 100㎛이하)를 두께 편차를 최소화(±2.5㎛)하여 자유롭게 구부릴 경우에도 제품 파손이 없는 유리를 안정적으로 제조할 수 있으며, 또한 다양한 제품 사이즈에 맞게 제조할 수 있고, 물리적 유리 표면 접촉으로 인한 파손 불량 없이 안정적으로 제조할 수 있으므로, 제품의 품질과 수율을 높이는 효과가 있다.

상기 제조방법을 단계별로 상세히 설명하면 다음과 같다.

상기 보호필름 제거단계는 취급 시 상기 원판 유리(1)의 표면을 보호하기 위하여 상면과 하면에 부착된 보호필름(2)을 제거하는 단계로서, 도 3에서와 같이 먼저 식각 대상 두꺼운 상기 원판 유리(0.4mm 이상)의 상기 보호필름(2)을 제거한다.

상기 원판 유리의 상,하면에 표면 보호를 위하여 부착된 상기 보호필름(2)을 주의하여 제거해야 하며, 이때 유리 표면에 스크래치(Scratch), 찍힘, 칩핑(Chipping)등 데미지(Damage)를 주지 않도록 주의하여 제거한다.

상기 1차식각 지그 장착단계는 상기 원판 유리(1)를 1차식각 지그(3)에 장착하고, 상기 원판 유리(1)가 장착된 상기 1차식각 지그(3)를 상기 식각 장치에 로딩하는 단계로서, 도 5와 같이 먼저 식각 대상 0.4mm 이상 두께의 두꺼운 상기 원판 유리(1)를 상기 1차식각 지그(3)에 로딩(Loading)한다.

이때 상기 원판 유리(1) 사이의 간격은 50mm~100mm를 유지하여 식각액이 각각의 상기 원판 유리(1)에 골고루 분사될 수 있도록 배치한다.

각각이 상기 원판 유리(1)는 제품 식각 중 유동에 의한 깨짐 파손이 발생되지 않도록 상하, 좌우 측면에 다수 개의 측면 지지대(34)에 고정핀으로 견고하게 고정시키고, 하단면에도 아래 방향으로 유동이 발생하여 깨지지 않도록 하부 밑면 지지대(35)에 고정핀을 설치하여 고정시킨다.

도 4에 도시되어 있는 것 같이 상기 1차식각 지그(3)는 상부의 수평틀을 형성하는 상부프레임(31)과, 최하부 바닥에 닿는 부분으로 바닥부의 수평틀을 형성하는 하부프레임(32)와, 상기 상부프레임(31)과 하부프레임(32)의 사이에 형성되어 중간부의 수평틀을 형성하는 0~3개의 중간프레임(36)과, 상기 상부프레임(31), 중간프레임(36) 및 하부프레임(32)를 수직으로 결합해주는 수직프레임(33)으로 구성된다. 즉, 상기 중간프레임(36)은 상기 1차식각 지그(3)의 크기에 따라 형성될 수도 있고 형성되지 않을 수도 있다.

상기 상부프레임(31)과 중간프레임(36)에는 상기 원판 유리(1)의 좌우측 측면을 잡아주는 측면지지대(34)가 형성된다.

상기 측면지지대(34) 사이로 상기 원판 유리(1)을 위에서 아래로 삽입시키며, 상기 고정핀으로 상기 원판 유리(1)을 고정할 수 있다.

상기 하부프레임(32)에는 상기 원판 유리(1)의 하단부를 지지해주는 하부 밑면 지지대(35)가 형성되어 상기 원판 유리(1)의 하부를 지지해 주어 에칭 레이트(Etching Rate)를 높여 생산성을 높일 수 있다.

상기 1차 식각단계는 탑 스프레이 노즐(Top Spray Nozzle) 분사 방식, 사이드 스프레이 노즐(Side Spray Nozzle) 분사방식, 또는 탑 앤드 사이드 스프레이 노즐(Top and Side Spray Nozzle) 분사 방식으로 식각액을 분사하여 식각하며, 두께 편차를 줄이기 위하여 일정 두께까지 1차 식각하여 1차 식각유리(4)로 가공하는 단계이며, 도 6은 위에서 분사하는 탑 스프레이 노즐(Top Spray Nozzle) 분사 방식을 도시하였다.

상기 1차 식각단계는 에칭 레이트(Etching Rate) 1~7㎛/min, 분사압력 0.3~4.0kgf/㎠ 인 것이 바람직하다.

위에서 분사되는 탑 스프레이 노즐 분사 방식, 유리의 앞/뒤에서 분사되는 사이드 스프레이 노즐 분사방식, 또는 유리의 위에서도 분사되고 앞/뒤에서도 분사되는 탑 앤드 사이드 스프레이 노즐 분사 방식으로 식각액을 분사하여 식각하며, 두께 편차를 줄이기 위하여 150~200㎛ 두께까지 1차 식각하여 도 7와 같이 1차 식각유리(4)로 가공하는 단계이다.

본 발명의 상기 1차 식각단계에는 위의 3가지 분사방식이 모두 적용 가능하다.

상기 원판 유리(1)가 닿아 고정되는 좌·우면 부분의 “ㄷ”자 모양의 상기 측면 지지대(34)와 상기 원판 유리(1) 사이의 간격은 식각 초기에는 유격이 거의 없어, 좌/우 흔들림이 없으며 이 때문에 유리의 파손이 발생하지 않는다.

다만 150㎛ 이하의 두께에서는 유격이 심하게 발생하여 좌/우 흔들림이 심해지며 이때 유리의 파손이 발생하고, 200㎛ 이상의 두께만 진행할 시에는 유리 두께의 과도한 편차가 발생하므로, 상기 1차 식각단계는 150~200㎛ 두께까지 1차 식각하는 것이 바람직하다.

상기 식각액은 불산, 불화암모늄을 주성분으로 한다.

상기 1차 식각단계는 실험 결과 에칭 레이트(Etching Rate) 1~7㎛/min, 분사압력 0.3~4.0kgf/㎠ 인 것이 바람직하다.

실험 시 1차 식각 시 에칭 레이트 5㎛/mim와 분사 압력 1.5kgf/㎠ 로 고정 후, 식각 완료후 두께 변화 시 150 ~ 200㎛ 구간에서 품질상태 양호하며, 250㎛ 에서는 두께 편차는 ±5%로 양호하나 글라스는 일부분이 약간 파손되는 문제점이 있었다.

1차 식각 시 분사(Spray) 압력: 1.5㎏f/㎠, 식각 완료후 두께 200㎛ 일 때 에칭 레이트(Etching Rate) 변화에 따른 상기 1차 식각유리(4)의 상태를 확인한 결과 1.0~5㎛/min 구간에서 품질상태 양호함. 단 2차 식각 조건은 에칭 레이트(Etching Rate): 5㎛/min, 분사(Spray) 압력: 1.5㎏f/㎠, 글라스 밑면 미지지임.

1차 식각 시 식각 완료후 두께 200㎛ 및 에칭 레이트 5㎛/mim 일 때 분사압력 변화에 따른 상기 1차 식각유리(4)의 상태를 확인한 시험결과 분사압력 0.3~4kgf/㎠ 구간에서 품질상태 양호하였다. 단 2차 식각 조건은 에칭 레이트(Etching Rate): 5㎛/min, 분사(Spray) 압력: 1.5㎏f/㎠, 글라스 밑면 미지지임.

도 7은 1차 식각 전의 상기 원판 유리(1)과 1차 식각 후 1차식각 유리(4)의 비교한 것으로 1차 식각의 두께를 150~200㎛까지 할 때는 위쪽이 식각이 잘되므로 윗 부분은 150~200㎛를 유지하고, 1차 식각 후 하단면 두께가 약 10㎛ 이상 두껍게 된 160~210㎛를 유지하게 되며, 이렇게 하부가 두꺼운 상태가 되므로 두꺼운 하단면을 위로 올리는 리버스 장착 방법으로 상기 2차식각 지그(6)에 장착한 후 상기 식각 장치에 로딩하는 2차식각 지그 1차 식각유리 리버스 장착단계가 필요하다.

상기 1차 린싱단계는 상기 1차 식각단계와 1차 언로딩단계 사이에 시행되어야 하며, 불량을 유발하는 식각 불균일과 얼룩 제거를 위하여 상기 1차 식각유리(4)에 남아 있는 식각액을 수세액으로 클리닝하는 단계이다.

1차 식각이 완료된 상기 1차 식각유리(4)의 표면에는 강산 계열(PH 2.0 이하)이며 불산, 불화암모늄을 주성분인 식각액이 상당량 잔존하며, 이를 수세액으로 깨끗이 클리닝하지 않는마면 식각 불균일/ 얼룩 등의 심각한 불량을 유발하기 때문에 린싱이 필요하다.

상기 수세액은 순수(DI Water) 또는 알카리 수세액을 사용하고, 상기 순수의 순도는 0.1㏁ 이상이어야 한다.

상기 알카리 수세액은 수산화칼륨(KOH) 또는 수산화나트륨(NaOH) 용액에, 표면저항을 낮추어 린싱 시간을 단축시키기 위하여 계면활성제를 첨가한 후 순수(DI Water)와 혼합하여 PH가 10 이상이 유지되도록 제조된다.

상기 계면활성제는 표면저항을 낮춰주는 효과가 있으며, 이는 유리 표면의 식각액을 보다 효율적으로 제거하는데 도움을 주고, 계면활성제를 포함하지 않았을 때 보다 린싱(Rinsing) 시간을 단축시켜 주는 장점이 있다

상기 수세액 분사 방식은 탑 스프레이 노즐(Top Spray Nozzle) 분사방식, 사이드 스프레이 노즐(Side Spray Nozzle) 분사방식 또는 탑 앤드 사이드 스프레이 노즐(Top and Side Spray Nozzle) 분사 방식이 사용되며, 상기 수세액 분사 압력은 0.3~4.0kgf/㎠ 인 것이 바람직하다.

상기 1차 언로딩단계는 1차 식각된 상기 1차 식각유리(4)가 적재된 상기 1차식각 지그(3)를 상기 식각 장치에서 배출시킨 후, 상기 1차 식각유리(4)를 상기 1차식각 지그(3)에서 언로딩하는 단계이다.

상기 제1 언로딩단계는 1차 식각된 상기 1차 식각유리(4)가 적재된 상기 1차식각 지그(3)를 상기 식각 장치에서 배출시키는 1차식각 지그 배출단계와, 상기 1차 식각유리(4)를 상기 1차식각 지그(3)에서 언로딩하는 1차 식각유리 언로딩단계로 이루어진다.

상기 테이프 봉합단계는 상기 1차 식각유리(4)를 2차 식각 시 2차식각 지그(6)의 측면 및 하단면에 물리적으로 접촉하여 파손되는 것을 방지하기 위해 상기 1차 식각유리(4)의 좌우 양쪽 사이드면을 일정 폭으로 봉합테이프(5)로 테이핑하는 단계이다.

상기 테이프 봉합단계에서 상기 1차 식각유리의 좌우 양쪽 사이드면의 테이핑영역에 10mm 이하 폭으로 상기 봉합테이프(5)로 테이프 봉합을 시행하는 것이 바람직하다.

이는 2차 식각 시 상기 2차식각 지그(6)의 측면 및 하단면에 상기 1차 식각유리(4)가 물리적으로 접촉하여 파손되는 문제를 해결하기 위함이다.

이때 상기 봉합테이프(5)의 재질은 식각액에 손상이 되지 않는 내산성 재질을 사용하는 것이 바람직하다.

상기 2차식각 지그 1차 식각유리 리버스 장착단계는 도 10에 도시되어 있는 것 같이 테이핑이 완료된 상기 1차 식각유리(4)를 두께 편차를 최소화하기 위해서 1차 식각 시 하부가 상부보다 식각이 덜되어 두꺼운 하단면을 위로 올리는 리버스 장착 방법으로 상기 2차식각 지그(6)에 장착한 후 상기 식각 장치에 로딩하는 단계이다.

상기 테이프 봉합이 완료된 유리 제품을 1차 식각 후 두꺼운 유리 하단면을 위로 올려 리버스(Reverse)로 하여 상기 2차식각 지그(6)에 장착한다. 상기 2차식각 지그(6)는 식각 과정에서 하단면의 물리적 접촉으로 인한 파손을 없애기 위하여 상기 1차식각 지그(3)에 형성되었던 하부 밑면 지지대(35)가 없어야 하며 공중에 제품을 띄워서 장착해야 하므로 하기와 같이 상,하,좌,우 끝단면 최소 4 포인트만 고정핀(66)으로 잡을 수 있도록 특수 제작한 2차 식각 장착용 지그를 사용한다.

이때 유리 표면 영역은 물리적 접촉이 없으며 고정 포인트 영역은 상기 테이프 봉합 영역 이외의 영역이 침범되지 않도록 장착하며, 상술한 것 같이 테이핑 영역은 10mm 이하 인 것이 바람직하다.

상기 1차 식각유리(4) 사이의 간격은 50~100mm를 유지하여 식각액이 각각의 상기 1차 식각유리(4)에 골고루 분사될 수 있도록 배치하는 것이 바람직하다.

도 9에 도시되어 있는 것 같이 상기 2차식각 지그(6)는 상부의 수평틀을 형성하는 상부프레임(61)과, 최하부 바닥에 닿는 부분으로 바닥부의 수평틀을 형성하는 하부프레임(62)와, 상기 상부프레임(61)과 하부프레임(62)를 수직으로 결합해주는 수직프레임(63)으로 구성된다.

상기 상부프레임(61)과 하부프레임에는 상기 1차 식각유리(4)의 좌우측 측면을 잡아주는 상부사이드 지지대(64)와 하부사이드 지지대(65)가 각각 일정 간격으로 형성된다.

각각의 상기 상부사이드 지지대(64)와 하부사이드 지지대(65) 사이로 상기 1차 식각유리(4)을 위에서 아래로 삽입시키며, 도 10에서와 같이 고정핀(66)으로 상기 1차 식각유리(4)을 고정한다.

상기 2차식각 지그(6)는 2차 식각 과정에서 하단면의 물리적 접촉으로 인한 파손을 없애기 위하여 공중에 제품을 띄워서 장착해야 하므로 상술한 상기 상부사이드 지지대(64)와 하부사이드 지지대(65)로 상기 1차 식각유리(4)의 상,하,좌,우 끝단면 최소 4 포인트만 잡도록 한다.

이때 유리 표면 영역은 물리적 접촉이 없으며 고정 포인트 영역은 상기 테이프 봉합 영역 이외의 영역이 침범되지 않도록 장착하며, 상술한 것 같이 테이핑 영역은 10mm 이하 인 것이 바람직하다.

상기 상부사이드 지지대(64)와 하부사이드 지지대(65)는 상기 1차 식각유리(4) 사이의 간격은 50~100mm를 유지하도록 일정 간격으로 계속 형성되어 여러장의 상기 1차 식각유리(4)가 장착되로록 하여 식각액이 각각의 상기 1차 식각유리(4)에 골고루 분사될 수 있도록 배치하는 것이 바람직하다.

상기 2차 식각단계는 도 11의 탑 스프레이 노즐(Top Spray Nozzle) 분사방식, 사이드 스프레이 노즐(Side Spray Nozzle) 분사방식 또는 탑 앤드 사이드 스프레이 노즐(Top and Side Spray Nozzle) 분사 방식으로 식각액을 분사하여 20~100㎛ 두께까지 2차 식각하여 초박형 유리(7)로 제조하는 단계이다.

상기 2차 식각단계는 에칭 레이트(Etching Rate) 1~5㎛/min, 분사압력 0.3~4.0kgf/㎠ 인 것이 바람직하다.

도 11의 위에서 분사되는 탑 스프레이 노즐 분사 방식, 유리의 앞/뒤에서 분사되는 사이드 스프레이 노즐 분사방식, 또는 유리의 위에서도 분사되고 앞/뒤에서도 분사되는 탑 앤드 사이드 스프레이 노즐 분사 방식으로 식각액을 분사하여 식각하며, 도 14와 같이 20~100㎛ 두께까지 2차 식각하며, 본 발명의 상기 2차 식각단계에는 위의 3가지 분사방식이 모두 적용 가능하다.

상기 2차 식각단계의 식각 조검에 따른 시험 결과는 아래와 같다.

2차 식각 시 2차 식각 조건을 분사압력 1.5kgf/㎠ 글라스 밑면 미지지(No Touth)로 했을 때 에칭 레이트는 1~5㎛/min 구간에서 품질 상태가 양호하였다.

1차 식각 조건을 식각 완료 후 두께 200㎛, 에칭 레이트 5㎛/min, 분사압력 1.5kgf/㎠ 으로 시행 완료 후 2차 식각 조건을 에칭 레이트 5㎛/min, 글라스 밑면 미지지(No Touth)로 했을 때의 분사압력에 따른 상기 초박형 유리(5)의 두께 편차 상태를 확인한 시험결과 분사압력 0.3~4.0kgf/㎠ 구간에서 품질 상태가 양호한 결과가 나왔다.

1차 식각 조건을 1차 식각 두께 200㎛를 하고 에칭 레이트 5㎛/min, 분사압력 1.5kgf/㎠ 으로 시행 완료 후, 2차 식각 조건을 에칭 레이트 5㎛/min, 분사압력 1.5kgf/㎠ 했을 때 글라스 밑면 지지(Touch)와 글라스 밑면 미지지(No Touth)로 했을 때의 글라스 상태를 확인한 시험결과는 글라스 밑면 지지(Touch) 했을 때는 글라스가 파손되고 글라스 밑면 미지지(No Touth)로 했을 때는 글라스 상태가 양호하게 나왔다.

상기 2차 린싱(Rinsing)단계는 상기 2차 식각단계와 2차 언로딩단계 사이에시행되며 불량을 유발하는 잔존 식각액 및 식각액 얼룩 제거를 위하여 상기 초박형 유리(7)에 남아 있는 식각액을 상기 수세액으로 클리닝하는 단계이다.

2차 식각이 완료된 상기 초박형 유리(7)의 표면에는 강산 계열(PH 2.0 이하)이며 불산, 불화암모늄을 주성분인 식각액이 상당량 잔존하며, 이를 수세액으로 깨끗이 클리닝하지 않는다면 식각 불균일/ 얼룩 등의 심각한 불량을 유발하기 때문에 린싱이 필요하다.

상기 수세액은 순수(DI Water) 또는 알카리 수세액을 사용하고, 상기 순수의 순도는 0.1㏁ 이상이어야 한다.

상기 알카리 수세액은 수산화칼륨(KOH) 또는 수산화나트륨(NaOH) 용액에, 표면저항을 낮추어 린싱 시간을 단축시키기 위하여 계면활성제를 첨가한 후 순수(DI Water)와 혼합하여 PH가 10 이상이 유지되도록 제조된다.

상기 계면활성제는 표면저항을 낮춰주는 효과가 있으며, 이는 유리 표면의 식각액을 보다 효율적으로 제거하는데 도움을 주고, 계면활성제를 포함하지 않았을 때 보다 린싱(Rinsing) 시간을 단축시켜 주는 장점이 있다

상기 수세액 분사 방식은 탑 스프레이 노즐(Top Spray Nozzle) 분사방식, 사이드 스프레이 노즐(Side Spray Nozzle) 분사방식 또는 탑 앤드 사이드 스프레이 노즐(Top and Side Spray Nozzle) 분사 방식이 사용되며, 상기 수세액 분사 압력은 0.3~4.0kgf/㎠ 인 것이 바람직하다.

상기 2차 언로딩단계는 2차 식각된 상기 초박형 유리(7)가 적재된 상기 2차식각 지그(6)를 상기 식각 장치에서 배출시킨 후, 상기 초박형 유리(7)를 상기 2차식각 지그(6)에서 언로딩하는 단계이다.

상기 2차 언로딩단계는 2차 식각된 상기 초박형 유리(7)가 적재된 상기 2차식각 지그(6)를 상기 식각 장치에서 배출시키는 2차식각 지그 배출단계와; 상기 초박형 유리(7)를 상기 2차식각 지그(6)에서 언로딩하는 초박형 유리 언로딩단계로 이루어진다.

언로딩된 상기 초박형 유리(7)는 물기가 남아 있지않도록 충분히 건조해야 하므로 상기 2차 언로딩단계와 봉합테이프 제거단계 사이에 상기 초박형 유리(7)는 일정 온도가 유지되는 건조로에서 건조되는 초박형 유리 건조단계가 포함될 수도 있다.

상기 봉합테이프 제거단계는 도 12에 도시되어 있는 것 같이 상기 2차식각 지그(6)에서 언로딩된 상기 초박형 유리(7)에서 좌우 양쪽 사이드면을 일정 폭으로 상기 봉합테이프(5)로 테이핑한 것을 제거하는 단계이며, 상기 초박형 유리(7)는 충분히 건조된 상태여야 한다.

상기 초박형 유리는 초박형이므로 깨짐이 발생하지 않도록 최대한 주의하여 상기 봉합테이프(5)를 제거한다.

상기 봉합테이프(5)를 제거한 후 잔존하는 오염원을 제거하기 위하여 세정하는 3차 린싱(Rinsing)단계가 추가될 수도 있으며, 상기 3차 린싱단계는 핸드링의 어려움 때문에 별도의 특정 지그에 상기 초박형 유리(7)를 장착해서 시행할 수도 있다.

상기 테이프 봉합 영역 커팅 제거단계는 상기 봉합테이프(5)가 부착되었던 영역은 2차 식각이 이루어지지 않았기 때문에 상기 봉합테이프(5)가 부착되었던 영역을 커팅하여 완제품 초박형 유리(7a)를 완성시키는 단계이다.

상기 봉합테이프(5)의 제거 영역은 타 영역에 비하여 두껍기 때문에 이 부분에 대한 컷팅 단계를 진행한다.

컷팅 방식은 도 13에 도시되어 있는 것 같이 레이져 컷팅 방식과 다이아몬드 휠 컷팅 방식 모두 적용 가능하다.

상기 테이프 봉합 영역 커팅 제거를 끝내면 도 14와 같이 완제품 초박형 유리(7a)가 완성되며, 상기 완제품 초박형 유리(7a)의 두께는 20~100㎛ 사이에서 일정 두께로 생산이 가능하고, 두께 편차는 ±2.5㎛이다.

본 발명의 두께 편차를 줄인 플렉시블 초박형 유리 제조방법에 따르면 폴더블, 롤러블 디스플레이 제품에 사용되는 플렉시블 초박형 유리(20㎛ ~ 100㎛이하)를 두께 편차를 최소화(± 2.5um)하여 자유롭게 구부릴 경우에도 제품 파손이 없는 유리를 안정적으로 제조할 수 있으며, 또한 다양한 제품 사이즈에 맞게 제조할 수 있고, 물리적 유리 표면 접촉으로 인한 파손 불량 없이 안정적으로 제조할 수 있으므로, 제품의 품질과 수율을 높이는 효과가 있다.

1 : 원판 유리 2 : 보호필름
3 : 1차식각 지그 31 : 상부프레임
32 : 하부프레임 33 : 수직프레임
34 : 측면 지지대 35 : 하부 밑면 지지대
36 : 중간프레임 4 : 1차 식각유리
5 : 봉합테이프 6 : 2차식각 지그
61 : 상부프레임 62 : 하부프레임
63 : 수직프레임 64 : 상부사이드 지지대
65 : 하부사이드 지지대 66 : 고정핀
7 : 초박형 유리 7a : 완제품 초박형 유리
8 : 식각액 스프레이헤드 81 : 스프레이노즐

Claims (5)

1. 에칭액으로 부식시켜 유리 두께를 줄이는 식각 장치를 이용해 400㎛ 이상 두께의 원판 유리(1)를 식각(Etching)하여 20~100㎛ 두께의 초박형 유리로 제조하는 제조방법에 있어서,
   상기 제조방법은 취급 시 상기 원판 유리(1)의 표면을 보호하기 위하여 상면과 하면에 부착된 보호필름(2)을 제거하는 보호필름 제거단계와;
   상기 원판 유리(1)를 1차식각 지그(3)에 장착하고, 상기 원판 유리(1)가 장착된 상기 1차식각 지그(3)를 상기 식각 장치에 로딩하는 1차식각 지그 장착단계와;
   탑 스프레이 노즐(Top Spray Nozzle) 분사 방식, 사이드 스프레이 노즐(Side Spray Nozzle) 분사방식, 또는 탑 앤드 사이드 스프레이 노즐(Top and Side Spray Nozzle) 분사 방식으로 식각액을 분사하여 식각하며, 두께 편차를 줄이기 위하여 일정 두께까지 1차 식각하여 1차 식각유리(4)로 가공하는 1차 식각단계와;
   1차 식각된 상기 1차 식각유리(4)가 적재된 상기 1차식각 지그(3)를 상기 식각 장치에서 배출시킨 후, 상기 1차 식각유리(4)를 상기 1차식각 지그(3)에서 언로딩하는 1차 언로딩단계와;
   상기 1차 식각유리(4)를 2차 식각 시 2차식각 지그(6)의 측면 및 하단면에 물리적으로 접촉하여 파손되는 것을 방지하기 위해 상기 1차 식각유리(4)의 좌우 양쪽 사이드면을 일정 폭으로 봉합테이프(5)로 테이핑하는 테이프 봉합단계와;
   테이핑이 완료된 상기 1차 식각유리(4)를 두께 편차를 최소화하기 위해서 1차 식각 시 하부가 상부보다 식각이 덜되어 두꺼운 하단면을 위로 올리는 리버스 장착 방법으로 상기 2차식각 지그(6)에 장착한 후 상기 식각 장치에 로딩하는 2차식각 지그 1차 식각유리 리버스 장착단계와;
   탑 스프레이 노즐(Top Spray Nozzle) 분사방식, 사이드 스프레이 노즐(Side Spray Nozzle) 분사방식 또는 탑 앤드 사이드 스프레이 노즐(Top and Side Spray Nozzle) 분사 방식으로 식각액을 분사하여 20~100㎛ 두께까지 2차 식각하여 초박형 유리(7)로 제조하는 2차 식각단계와;
   2차 식각된 상기 초박형 유리(7)가 적재된 상기 2차식각 지그(6)를 상기 식각 장치에서 배출시킨 후, 상기 초박형 유리(7)를 상기 2차식각 지그(6)에서 언로딩하는 2차 언로딩단계와;
   상기 2차식각 지그(6)에서 언로딩된 상기 초박형 유리(7)에서 좌우 양쪽 사이드면을 일정 폭으로 상기 봉합테이프(5)로 테이핑한 것을 제거하는 봉합테이프 제거단계와;
   상기 봉합테이프(5)가 부착되었던 영역은 2차 식각이 이루어지지 않았기 때문에 상기 봉합테이프(5)가 부착되었던 영역을 커팅하여 완제품 초박형 유리(7a)를 완성시키는 테이프 봉합 영역 커팅 제거단계를 포함하여 구성되며,
   상기 1차 식각단계에서 상기 원판 유리(1)는 에칭 레이트(Etching Rate)를 높여 생산성을 높이기 위하여 상기 1차식각 지그(3)에 좌·우면과 밑면이 고정되고,
   상기 2차 식각단계에서 유리의 특성상 100㎛ 이하의 두께에서는 식각액 분사 시 좌우로 심하게 흔들려 파손되는 것을 방지하기 위하여 상기 1차 식각유리(4)에 유연성을 주며 상기 1차 식각유리(4)의 하부 부분이 과식각이 되는 것을 방지하여 두께 편차를 최소화하기 위하여, 상기 2차식각 지그 1차 식각유리 리버스 장착단계에서 상기 1차 식각유리(4)의 좌·우면은 상기 2차식각 지그(6)에 고정되고, 밑면은 상기 2차식각 지그(6)에 고정되지 않고 바닥면에서 일정 높이만큼 띄워서 설치하며,
   상기 제조방법은 상기 1차 식각단계와 1차 언로딩단계 사이에 불량을 유발하는 식각 불균일과 얼룩 제거를 위하여 상기 1차 식각유리(4)에 남아 있는 식각액을 수세액으로 클리닝하는 1차 린싱(Rinsing)단계와;
   상기 2차 식각단계와 2차 언로딩단계 사이에 불량을 유발하는 잔존 식각액 및 식각액 얼룩 제거를 위하여 상기 초박형 유리에 남아 있는 식각액을 상기 수세액으로 클리닝하는 2차 린싱(Rinsing)단계가 추가 포함되어 구성되고,
   상기 1차 식각단계에서 두께 편차를 줄이기 위하여 상기 원판 유리(1)를 150~200㎛ 두께까지 1차 식각를 시행하며,
   상기 테이프 봉합단계에서 상기 1차 식각유리의 좌우 양쪽 사이드면에 10mm 이하 폭으로 상기 봉합테이프(5)로 테이프 봉합을 시행하고,
   상기 1차식각 지그(3)는 상부의 수평틀을 형성하는 상부프레임(31)과, 최하부 바닥에 닿는 부분으로 바닥부의 수평틀을 형성하는 하부프레임(32) 및 상기 상부프레임(31) 및 하부프레임(32)을 수직으로 결합해주는 수직프레임(33)으로 구성되며,
   상기 상부프레임(31)에는 상기 원판 유리(1)의 좌우측 측면을 잡아주는 측면지지대(34)가 형성되고,
   상기 하부프레임(32)에는 상기 원판 유리(1)의 하단부를 지지해주는 하부 밑면 지지대(35)가 형성되어 상기 원판 유리(1)의 하부를 지지해 주며,
   상기 2차식각 지그(6)는 상부의 수평틀을 형성하는 상부프레임(61)과, 최하부 바닥에 닿는 부분으로 바닥부의 수평틀을 형성하는 하부프레임(62)과, 상기 상부프레임(61)과 하부프레임(62)를 수직으로 결합해주는 수직프레임(63)으로 구성되고,
   상기 상부프레임(61)과 하부프레임(62)에는 상기 1차 식각유리(4)의 좌우측 측면을 잡아주는 상부사이드 지지대(64)와 하부사이드 지지대(65)가 각각 일정 간격으로 형성되며,
   상기 상부사이드 지지대(64)와 하부사이드 지지대(65) 사이로 상기 1차 식각유리(4)을 위에서 아래로 삽입시키며, 고정핀(66)으로 상기 1차 식각유리(4)을 고정하는 두께 편차를 줄인 플렉시블 초박형 유리 제조방법
   
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