KR101581600B1

KR101581600B1 - 유로 구조체 및 유로 구조체의 제조 방법

Info

Publication number: KR101581600B1
Application number: KR1020147006038A
Authority: KR
Inventors: 고지 노이시키; 도모히로 스즈키; 야스타케 미와
Original assignee: 가부시키가이샤 고베 세이코쇼
Priority date: 2011-09-09
Filing date: 2012-08-20
Publication date: 2015-12-30
Also published as: JP2013056315A; EP2754486A1; US20140166137A1; KR20140047155A; JP5395861B2; US9534722B2; WO2013035253A1; EP2754486A4; CN103764273B; CN103764273A

Abstract

유로 구조체는, 본체부에 대하여 착탈 가능하게 되도록 결합되는 제1 덮개부 및 제2 덮개부를 구비하고, 유체 유로는 복수의 직선 유로부와, 복수의 직선 유로부 중 제2 단부면측으로부터 제1 단부면측을 향해 유체가 흐르는 직선 유로부의 하류측 단부와 그 직선 유로부의 하류측에 배치되어서 그 직선 유로부와 인접하는 직선 유로부의 상류측 단부를 연결하는 제1 폴딩부와, 복수의 직선 유로부 중 상기 제1 단부면측으로부터 상기 제2 단부면측을 향해 유체가 흐르는 직선 유로부의 하류측 단부와 그 직선 유로부의 하류측에 배치되어서 그 직선 유로부와 인접하는 직선 유로부의 상류측 단부를 연결하는 제2 폴딩부를 갖고, 제1 폴딩부는 제1 단부면에 있어서 개구되고, 제2 폴딩부는 제2 단부면에 있어서 개구되고, 제1 덮개부는 제1 폴딩부의 개구를 밀봉하도록 제1 단부면에 접촉한 상태에서 본체부에 결합되고, 제2 덮개부는 제2 폴딩부의 개구를 밀봉하도록 제2 단부면에 접촉한 상태에서 본체부에 결합된다.

Description

유로 구조체 및 유로 구조체의 제조 방법 {CONDUIT STRUCTURE AND METHOD FOR MANUFACTURING CONDUIT STRUCTURE}

본 발명은, 유로 구조체 및 유로 구조체의 제조 방법에 관한 것이다.

종래, 복수의 유체끼리를 혼합시켜서 상호 작용을 발생시키는 수단으로서 유로 구조체가 알려져 있다. 이 유로 구조체는, 예를 들어 복수의 반응제의 유체끼리의 상호 작용으로서 그들 유체끼리의 화학 반응을 발생시켜서 원하는 반응 생성물을 얻는 반응 장치에 사용되고 있다. 이러한 유로 구조체의 일례는, 하기 특허 문헌 1에 개시되어 있다.

하기 특허 문헌 1에는, 복수의 유통로를 내부에 갖는 유로 구조체를 사용한 반응 장치가 개시되어 있다. 각 유통로는, 제1 반응제의 유체가 도입되는 제1 도입로와, 제2 반응제의 유체가 도입되는 제2 도입로와, 그들 양 도입로의 하류측에 연결되어, 그들 각 도입로를 통하여 흐르는 반응제의 유체끼리를 합류시켜서 혼합시키는 합류로와, 그 합류로의 하류측에 연결되어, 당해 합류로에 있어서 합류한 후의 유체를 유통시키면서 그 유체에 포함되는 반응제끼리를 반응시키는 반응로를 갖고 있다. 유로 구조체는, 복수의 플레이트를 적층함으로써 형성되어 있다. 제1 도입로와 제2 도입로는 1개의 플레이트의 표면측에 형성되고, 반응로는 그 플레이트의 이면측에 형성되어 있다. 합류로는, 제1 도입로와 제2 도입로 중 반응제의 도입측과 반대측의 단부끼리를 연결하는 동시에 그들 단부와 반응로의 단부를 연결하도록 플레이트의 표면측으로부터 이면측으로 관통하고 있다. 또한, 반응로는 합류 후의 반응제의 체류 시간을 증가시켜서 반응제끼리의 반응을 촉진시키기 위해, 유로 길이가 커지는 사행 형상으로 형성되어 있다. 구체적으로는, 반응로는 플레이트의 이면에 있어서, 그 플레이트의 폭 방향의 일측으로 연장되는 부분과 그 부분의 하류측에서 상기 일측과 반대측으로 연장되는 부분이 교대로 연결되는 형상을 갖고 있다.

그러나 상기 종래의 유로 구조체에서는, 반응로가 상기와 동일한 형상으로 형성되어 있는 것에 기인하여, 반응로 내의 청소를 행하는 것이 곤란하다. 구체적으로는, 반응로가 상기와 동일한 형상으로 형성되어 있는 경우에는, 반응로의 일단부로부터 청소 기구를 반응로 내에 삽입해도 안 쪽까지 청소 기구가 닿기 어렵다. 이로 인해, 예를 들어 반응로의 안 쪽에서 석출물이나 이물질이 막힌 경우에는, 그러한 석출물이나 이물질을 제거하는 것은 곤란하다. 이와 같이, 상기 유로 구조체에서는, 반응로 내를 충분히 청소하는 것은 곤란하며, 또한 그 청소에는 매우 손이 많이 간다는 문제점이 있다.

일본 특허 출원 공개 제2010-162428호 공보

본 발명의 목적은, 유로 구조체에 있어서 유체를 유통시키는 유로가 일측으로 연장되는 부분과 그 부분의 하류측에서 타측으로 연장되는 부분이 교대로 연결되는 형상을 갖고 있어도, 그 유로 내를 충분하고도 쉽게 청소할 수 있도록 하는 것이다.

본 발명의 하나의 국면을 따르는 유로 구조체는, 유체가 도입되는 적어도 1개의 도입로와 그 도입로에 도입된 유체를 유통시키는 유체 유로를 갖는 적어도 1개의 유통로를 구비한 유로 구조체이며, 제1 단부면과 그 제1 단부면에 대하여 반대측을 향하는 제2 단부면을 갖는 본체부와, 상기 본체부의 상기 제1 단부면에 대향하도록 배치되어, 상기 본체부에 대하여 착탈 가능하게 되도록 결합되는 제1 덮개부와, 상기 본체부의 상기 제2 단부면에 대향하도록 배치되어, 상기 본체부에 대하여 착탈 가능하게 되도록 결합되는 제2 덮개부를 구비하고, 상기 유체 유로는, 상기 본체부 내에서 상기 제1 단부면과 상기 제2 단부면 사이에서 그들 양 단부면끼리를 연결하는 방향으로 연장되고, 그 연장되는 방향과 교차하는 방향으로 간격을 두고 배열되는 복수의 직선 유로부와, 상기 복수의 직선 유로부 중 상기 제2 단부면측으로부터 상기 제1 단부면측을 향해 유체가 흐르는 직선 유로부의 하류측 단부와 그 직선 유로부의 하류측에 배치되어서 그 직선 유로부와 인접하는 직선 유로부의 상류측 단부를 연결하는 제1 폴딩부와, 상기 복수의 직선 유로부 중 상기 제1 단부면측으로부터 상기 제2 단부면측을 향해 유체가 흐르는 직선 유로부의 하류측 단부와 그 직선 유로부의 하류측에 배치되어서 그 직선 유로부와 인접하는 직선 유로부의 상류측 단부를 연결하는 제2 폴딩부를 갖고, 상기 제1 폴딩부는 상기 제1 단부면에 있어서 개구되고, 상기 제2 폴딩부는 상기 제2 단부면에 있어서 개구되고, 상기 제1 덮개부는 상기 제1 단부면에 형성된 상기 제1 폴딩부의 개구를 밀봉하도록 그 제1 단부면에 접촉한 상태에서 상기 본체부에 결합되고, 상기 제2 덮개부는 상기 제2 단부면에 형성된 상기 제2 폴딩부의 개구를 밀봉하도록 그 제2 단부면에 접촉한 상태에서 상기 본체부에 결합된다.

본 발명의 다른 국면을 따르는 유로 구조체의 제조 방법은, 상기 유통로를 내부에 갖는 기재를 형성하는 기재 형성 공정과, 상기 각 직선 유로부가 연장되는 방향에 대하여 교차하는 방향으로 연장되고 또한 상기 제1 폴딩부를 지나는 제1 절단선과, 상기 각 직선 유로부가 연장되는 방향에 대하여 교차하는 방향으로 연장되고 또한 상기 제2 폴딩부를 지나는 제2 절단선을 따라 상기 기재를 절단하는 절단 공정과, 상기 절단 공정에 있어서 절단된 상기 기재의 상기 제1 절단선과 상기 제2 절단선 사이의 부위에 의해 상기 본체부를 형성하는 본체부 형성 공정과, 상기 절단 공정에 있어서 절단된 상기 기재의 상기 제1 절단선보다도 외측 부분에 의해 상기 제1 덮개부를 형성하는 제1 덮개부 형성 공정과, 상기 절단 공정에 있어서 절단된 상기 기재의 상기 제2 절단선보다도 외측 부분에 의해 상기 제2 덮개부를 형성하는 제2 덮개부 형성 공정을 구비하고 있다.

도 1은 본 발명의 일실시 형태에 의한 유로 구조체의 평면도이다.
도 2는 본 발명의 일실시 형태에 의한 유로 구조체를 제3 단부면을 향해 본 도면이다.
도 3은 도 1에 도시한 유로 구조체에 있어서의 유통로의 배치를 도시한 도면이다.
도 4는 도 1에 도시한 유로 구조체에 있어서의 온도 조절 유로의 배치를 도시한 도면이다.
도 5는 본 발명의 일실시 형태에 의한 유로 구조체의 본체부의 제1 단부면을 도시한 도면이다.
도 6은 본 발명의 일실시 형태에 의한 유로 구조체의 본체부의 제3 단부면을 도시한 도면이다.
도 7은 도 5에 도시한 본체부의 제1 단부면을 부분적으로 확대하여 플레이트의 적층 구조와 당해 제1 단부면에 형성된 제1 폴딩부의 개구를 도시한 도면이다.
도 8은 본 발명의 일실시 형태에 의한 유로 구조체의 제1 덮개부의 제1 대향면을 도시한 도면이다.
도 9는 본 발명의 일실시 형태에 의한 유로 구조체의 제3 덮개부의 제3 대향면을 도시한 도면이다.
도 10은 유로 구조체를 형성하기 위해 사용하는 기재의 평면도이다.
도 11은 기재로 형성된 주재의 측면도이다.
도 12는 기재를 구성하는 유통로용 제1 플레이트의 표면을 도시한 평면도이다.
도 13은 기재를 구성하는 유통로용 제2 플레이트의 이면을 도시한 평면도이다.
도 14는 기재를 구성하는 온도 조절용 플레이트의 표면을 도시한 평면도이다.
도 15는 본 발명의 일실시 형태의 변형예에 의한 유로 구조체의 합류 유체 유로의 구성을 설명하기 위한 평면도이다.

이하, 본 발명의 실시 형태를 도면을 참조하여 설명한다.

우선, 도 1 내지 도 14를 참조하여, 본 발명의 일실시 형태에 의한 유로 구조체의 구성에 대하여 설명한다.

본 실시 형태에 의한 유로 구조체(1)는 복수의 유체끼리를 합류시켜서 상호 작용을 발생시키기 위해 사용되는 것이다. 본 실시 형태의 유로 구조체(1)는, 예를 들어 마이크로 리액터, 열 교환기, 추출 반응용의 반응 장치 또는 에멀션화용의 혼합 장치 등에 사용된다.

본 실시 형태의 유로 구조체(1)는 상호 작용시키는 제1 유체와 제2 유체를 합류시켜서 유통시키기 위한 복수의 유통로(2)(도 3 참조)와, 유통로(2)를 흐르는 유체의 온도를 조절하기 위한 온도 조절용 유체를 흐르게 하기 위한 복수의 온도 조절용 유로(3)(도 4 참조)를 구비하고 있다. 복수의 유통로(2)와 복수의 온도 조절용 유로(3)는 유로 구조체(1)의 두께 방향(후술하는 기판의 적층 방향)으로 늘어서도록 유로 구조체(1) 내에 설치되어 있다(도 7 참조). 구체적으로는, 1개의 유통로(2)의 각 부분은, 일 평면 위에 배치되어 있다. 2개의 온도 조절용 유로(3)는 유로 구조체(1)의 두께 방향(상기 일 평면에 대하여 수직인 방향)에 있어서 이 유통로(2)의 양측으로 나뉘어 배치되어 있다. 그리고 이 1개의 유통로(2)와 2개의 온도 조절용 유로(3)를 1세트의 유로로 하여, 복수조의 유로가 유로 구조체(1)의 두께 방향으로 늘어서 배치되어 있다.

각 유통로(2)는 미소한 유로 직경을 갖는 소위 마이크로 채널이다. 이 유통로(2)는, 도 3에 도시한 바와 같이, 제1 유체가 도입되는 제1 도입로(2a)와, 제2 유체가 도입되는 제2 도입로(2b)와, 그들 양 도입로(2a, 2b)에 도입된 양 유체를 합류시켜서 유통시키는 합류 유체 유로(2c)를 갖는다.

제1 도입로(2a)는 유로 구조체(1)의 길이 방향의 일단부의 근방에서 또한 유로 구조체(1)의 길이 방향에 직교하는 짧은 방향에 있어서의 한쪽 단부면 근방의 위치에 배치되어 있다. 제1 도입로(2a)는 유로 구조체(1)의 길이 방향으로 직선적으로 연장되어 있다. 제1 도입로(2a)는 당해 제1 도입로(2a)에 제1 유체를 도입하기 위한 제1 도입구(2d)를 갖는다. 또한, 이 제1 도입로(2a)는 본 발명의 특정 도입로의 개념에 포함되는 것이다.

제2 도입로(2b)는 유로 구조체(1)의 길이 방향의 상기 일단부 근방의 위치에 배치되어 있다. 제2 도입로(2b)는 유로 구조체(1)의 짧은 방향에 있어서의 상기 한쪽 단부면으로부터 반대측 단부면을 향해 직선적으로 연장되어 있다. 이 제2 도입로(2b)는 제1 도입로(2a)와 직교하는 방향으로 연장되어 있다. 또한, 제2 도입로(2b)는 당해 제2 도입로(2b)에 제2 유체를 도입하기 위한 제2 도입구(2e)를 갖는다.

합류 유체 유로(2c)는 본 발명의 유체 유로의 개념에 포함되는 것이다. 이 합류 유체 유로(2c)는 유로 구조체(1)의 길이 방향에 있어서 일측으로 직선적으로 연장되는 부분과 그 부분으로부터 되꺾여 그 일측과 반대인 타측으로 직선적으로 연장되는 부분이 교대로 연결되는 지그재그 형상을 갖는다. 구체적으로는, 합류 유체 유로(2c)는 복수의 직선 유로부(2f)와, 복수의 제1 폴딩부(2g)와, 복수의 제2 폴딩부(2h)를 갖는다.

직선 유로부(2f)는 합류 유체 유로(2c) 중 유로 구조체(1)의 길이 방향으로 직선적으로 연장되는 부분을 구성하는 것이다. 복수의 직선 유로부(2f)는 서로 평행하게 배치되어 있다. 복수의 직선 유로부(2f)는 유로 구조체(1)의 짧은 방향에 있어서 간격을 두고 늘어서 있다.

제1 폴딩부(2g)는 합류 유체 유로(2c) 중 유로 구조체(1)의 길이 방향의 상기 일단부측으로 직선적으로 연장되는 부분과 그 부분의 하류측에 배치되어서 상기 일단부측과 반대측으로 직선적으로 연장되는 부분의 상기 일단부측의 단부끼리를 연결하는 부분이다. 즉, 제1 폴딩부(2g)는 유로 구조체(1)의 짧은 방향에 있어서 인접하는 직선 유로부(2f) 중 제1 도입로(2a)측의 단부끼리를 연결하고 있다. 이 제1 폴딩부(2g)에 의해, 당해 제1 폴딩부(2g)의 상류측의 상기 일단부측으로 연장되는 직선 유로부(2f)로부터 당해 제1 폴딩부(2g)의 하류측의 상기 일단부측과 반대측으로 연장되는 직선 유로부(2f)로 유로가 되꺾여 있다.

제2 폴딩부(2h)는 합류 유체 유로(2c) 중 유로 구조체(1)의 길이 방향에 있어서 상기 일단부측과 반대측으로 직선적으로 연장되는 부분과 그 부분의 하류측에 배치되어서 상기 일단부측으로 직선적으로 연장되는 부분의 상기 일단부측과 반대측의 단부끼리를 연결하는 부분이다. 즉, 제2 폴딩부(2h)는 유로 구조체(1)의 짧은 방향에 있어서 인접하는 직선 유로부(2f) 중 유로 구조체(1)의 길이 방향에 있어서 상기 제1 도입로(2a)와 반대측에 위치하는 단부끼리를 연결하고 있다. 이 제2 폴딩부(2h)에 의해, 당해 제2 폴딩부(2h)의 상류측의 상기 일단부측과 반대측으로 연장되는 직선 유로부(2f)로부터 당해 제2 폴딩부(2h)의 하류측의 상기 일단부측으로 연장되는 직선 유로부(2f)로 유로가 되접어져 있다.

또한, 합류 유체 유로(2c)는 당해 합류 유체 유로(2c) 내로부터 유체를 도출하기 위한 도출구(2i)를 갖는다. 이 도출구(2i)는, 합류 유체 유로(2c)의 하류측 단부에 설치되어 있다.

또한, 유로 구조체(1)에는, 각 유통로(2)의 제1 도입로(2a)의 제1 도입구(2d)에 제1 유체를 분배하여 공급하기 위한 제1 공급 유로(2j)와, 각 유통로(2)의 제2 도입로(2b)의 제2 도입구(2e)에 제2 유체를 분배하여 공급하기 위한 제2 공급 유로(2k)와, 각 유통로(2)의 합류 유체 유로(2c)의 도출구(2i)로부터 도출되는 유체를 합류시켜서 회수하기 위한 회수 유로(2o)가 설치되어 있다. 또한, 제1 공급 유로(2j)는 본 발명의 공급 유로의 개념에 포함되는 것이다.

제1 공급 유로(2j)는 제1 공급 구멍(2p)과, 제1 공급 유로 접속부(2q)를 갖는다. 제1 공급 구멍(2p)은 유로 구조체(1)의 두께 방향의 한쪽 단부면에 개구되고, 그 개구로부터 유로 구조체(1)의 두께 방향의 다른 쪽 단부면을 향해 복수의 유통로(2) 중 그 다른 쪽 단부면에 가장 가까운 유통로(2)에 대응하는 위치까지 연장되어 있다. 이 제1 공급 구멍(2p)에는, 후술하는 제1 공급측 커넥터(6b)가 접속되어 있다. 제1 공급 구멍(2p)에는, 이 제1 공급측 커넥터(6b)를 통하여 제1 유체가 공급된다. 제1 공급 유로 접속부(2q)는 복수의 유통로(2) 중 유로 구조체(1)의 두께 방향의 상기 한쪽 단부면에 가장 가까운 유통로(2)에 대응하는 위치로부터 상기 다른 쪽의 단부면에 가장 가까운 유통로(2)에 대응하는 위치에 걸쳐서 유로 구조체(1)의 두께 방향으로 연장되어 있다. 제1 공급 유로 접속부(2q)는 제1 공급 구멍(2p)과 연통되어 있다. 이 제1 공급 유로 접속부(2q)는 각 유통로(2)의 제1 도입구(2d)에 접속되고, 제1 공급 구멍(2p)에 공급된 제1 유체를 각 제1 도입구(2d)에 분배한다.

제2 공급 유로(2k)는, 후술하는 제2 공급측 커넥터(10b)가 접속되는 제2 공급 구멍(2r)과, 각 유통로(2)의 제2 도입구(2e)에 접속되는 제2 공급 유로 접속부(2s)를 갖는다. 이 제2 공급 유로(2k)의 제2 공급 구멍(2r)과 제2 공급 유로 접속부(2s)의 구성은, 제1 공급 유로(2j)의 제1 공급 구멍(2p)과 제1 공급 유로 접속부(2q)의 구성과 마찬가지이다.

회수 유로(2o)는 회수 구멍(2t)과, 회수 유로 접속부(2u)를 갖는다. 회수 구멍(2t)은 유로 구조체(1)의 두께 방향의 상기 한쪽 단부면에 개구되고, 그 개구로부터 유로 구조체(1)의 두께 방향의 상기 다른 쪽의 단부면을 향해 복수의 유통로(2) 중 그 다른 쪽의 단부면에 가장 가까운 유통로(2)에 대응하는 위치까지 연장되어 있다. 이 회수 구멍(2o)에는, 후술하는 회수측 커넥터(8b)가 접속되어 있다. 회수 유로 접속부(2u)는 복수의 유통로(2) 중 유로 구조체(1)의 두께 방향의 상기 한쪽 단부면에 가장 가까운 유통로(2)에 대응하는 위치로부터 상기 다른 쪽의 단부면에 가장 가까운 유통로(2)에 대응하는 위치에 걸쳐서 유로 구조체(1)의 두께 방향으로 연장되어 있다. 회수 유로 접속부(2u)는 회수 구멍(2o)과 연통되어 있다. 이 회수 유로 접속부(2u)는 각 유통로(2)의 도출구(2i)에 접속되고, 그들 도출구(2i)로부터 도출되는 유체를 합류시킨다. 이 회수 유로 접속부(2u)에서 합류된 유체는, 회수 구멍(2o)으로 흘러, 회수측 커넥터(8b)를 통하여 도출된다.

각 온도 조절용 유로(3)는, 도 4에 도시한 바와 같이, 병렬로 배치된 복수의 단위 유로(3a)로 이루어진다. 각 단위 유로(3a)는, 유로 구조체(1)의 길이 방향에 있어서 상기 일단부측으로부터 반대측으로 연장되는 부분과 그 부분으로부터 되꺽여 상기 일단부측과 반대측으로 연장되는 부분이 교대로 연결되는 지그재그 형상을 갖는다. 또한, 유로 구조체(1)에는, 각 온도 조절용 유로(3)에 온도 조절용 유체를 분배하여 공급하기 위한 온도 조절용 공급 유로(3b)와, 각 온도 조절용 유로(3)로부터 온도 조절용 유체를 회수하기 위한 온도 조절용 회수 유로(3c)가 설치되어 있다.

온도 조절용 공급 유로(3b)는 온도 조절용 공급 구멍(3d)과, 복수의 온도 조절용 공급 유로 접속부(3e)를 갖고 있다. 온도 조절용 공급 구멍(3d)은 유로 구조체(1)의 두께 방향의 한쪽 단부면에 개구되고, 그 개구로부터 유로 구조체(1)의 두께 방향의 다른 쪽 단부면을 향해 복수의 온도 조절용 유로(3) 중 상기 다른 쪽의 단부면에 가장 가까운 온도 조절용 유로(3)에 대응하는 위치까지 연장되어 있다. 이 온도 조절용 공급 구멍(3d)에는, 후술하는 온도 조절용 공급측 커넥터(16)가 접속되어 있다. 온도 조절용 공급 구멍(3d)에는, 온도 조절용 공급 커넥터(16)를 통하여 온도 조절용 유체가 공급된다. 온도 조절용 공급 유로 접속부(3e)는 유로 구조체(1)의 두께 방향에 있어서 각 온도 조절용 유로(3)에 대응하는 위치에 각각 설치되어 있다. 온도 조절용 공급 유로 접속부(3e)는 온도 조절용 공급 구멍(3d)과 각 온도 조절용 유로(3)의 복수의 단위 유로(3a)의 상류측 단부를 연결하고 있다. 온도 조절용 공급 구멍(3d)에 공급된 온도 조절용 유체는, 각 온도 조절용 공급 유로 접속부(3e)를 통하여 각 온도 조절용 유로(3)의 복수의 단위 유로(3a)에 분배된다.

또한, 온도 조절용 회수 유로(3c)는 온도 조절용 회수 구멍(3f)과, 복수의 온도 조절용 유로(3)의 하류측 단부에 연결되는 복수의 온도 조절용 회수 유로 접속부(3g)를 갖고 있다. 온도 조절용 회수 구멍(3f)과 온도 조절용 회수 유로 접속부(3g)의 구조는, 온도 조절용 공급 구멍(3d)과 온도 조절용 공급 유로 접속부(3e)의 구조와 마찬가지이다. 온도 조절용 회수 구멍(3f)에는, 후술하는 온도 조절용 회수측 커넥터(18)가 접속되어 있다. 각 온도 조절용 유로(3)의 복수의 단위 유로(3a)의 하류측 단부로부터 도출된 온도 조절용 유체는, 각 온도 조절용 회수 유로 접속부(3g)로부터 온도 조절용 회수 구멍(3f)을 통해, 온도 조절용 회수측 커넥터(18)를 통하여 도출된다.

그리고 이상과 같은 유통로(2) 및 온도 조절용 유로(3)가 설치된 본 실시 형태의 유로 구조체(1)는, 본체부(4)와, 제1 헤더(6)와, 제2 헤더(8)와, 제3 헤더(10)와, 복수의 볼트(12)를 구비하고 있다.

본체부(4)는 유로 구조체(1)의 대부분을 차지하고 있다. 본체부(4)는 상기 복수의 유통로(2)의 대부분과, 상기 복수의 온도 조절용 유로(3)와, 상기 온도 조절용 공급 유로(3b)와, 상기 온도 조절용 회수 유로(3c)를 내부에 갖는다. 이 본체부(4)는 직육면체 형상으로 형성되어 있다. 본체부(4)는 그 길이 방향에 있어서 일측을 향하는 단부면인 제1 단부면(4a)과, 그 제1 단부면(4a)과 반대측을 향하는 제2 단부면(4b)을 갖는다. 또한, 본체부(4)는 당해 본체부(4)의 길이 방향에 직교하는 짧은 방향에 있어서 일측을 향하는 단부면인 제3 단부면(4c)과, 그 제3 단부면(4c)과 반대측의 단부면인 제4 단부면(4d)을 갖는다. 본체부(4)의 길이 방향은, 유로 구조체(1)의 길이 방향과 동일한 방향이며, 본체부(4)의 짧은 방향은, 유로 구조체(1)의 짧은 방향과 동일한 방향이며, 본체부(4)의 두께 방향은, 유로 구조체(1)의 두께 방향과 동일한 방향이다. 또한, 제1 단부면(4a)은 본체부(4) 중 유로 구조체(1)의 길이 방향의 상기 일단부측에 위치하는 단부면이며, 제2 단부면(4b)은 본체부(4) 중 유로 구조체(1)의 길이 방향의 상기 일단부와 반대측에 위치하는 단부면이다.

상기 각 유통로(2)의 합류 유체 유로(2c)의 복수의 직선 유로부(2f)는 본체부(4) 내에 설치되어 있다. 구체적으로는, 각 직선 유로부(2f)는 본체부(4)의 제1 단부면(4a)과 제2 단부면(4b) 사이에서 그들 양 단부면(4a, 4b)끼리를 연결하는 방향[제1 단부면(4a) 및 제2 단부면(4b)에 직교하는 방향]으로 직선적으로 연장되어 있다. 또한, 복수의 직선 유로부(2f)는 그 연장되는 방향과 직교하는 방향으로 간격을 두고 늘어서 있다. 바꾸어 말하면, 복수의 직선 유로부(2f)는 본체부(4)의 제3 단부면(4c)과 제4 단부면(4d)을 연결하는 방향[제3 단부면(4c) 및 제4 단부면(4d)에 직교하는 방향]에 있어서 간격을 두고 늘어서 있다. 각 직선 유로부(2f)는 동등한 길이를 갖고 있다. 각 직선 유로부(2f)의 길이는, 본체부(4)의 제1 단부면(4a)과 제2 단부면(4b) 사이의 거리보다도 약간 작은 길이이다.

각 유통로(2)의 합류 유체 유로(2c)의 각 제1 폴딩부(2g)는 복수의 직선 유로부(2f) 중 제2 단부면(4b)측으로부터 제1 단부면(4a)측을 향해 유체가 흐르는 직선 유로부(2f)의 하류측 단부와, 그 직선 유로부(2f)의 하류측에 배치되어서 그 직선 유로부(2f)와 인접하는 직선 유로부(2f)의 상류측 단부를 연결하고 있다. 각 제1 폴딩부(2g)는 본체부(4)의 제1 단부면(4a)에 있어서 개구되어 있다. 또한, 각 유통로(2)의 합류 유체 유로(2c)의 각 제2 폴딩부(2h)는 복수의 직선 유로부(2f) 중 제1 단부면(4a)측으로부터 제2 단부면(4b)측을 향해 유체가 흐르는 직선 유로부(2f)의 하류측 단부와, 그 직선 유로부(2f)의 하류측에 배치되어서 그 직선 유로부(2f)와 인접하는 직선 유로부(2f)의 상류측 단부를 연결하고 있다. 각 제2 폴딩부(2h)는 본체부(4)의 제2 단부면(4b)에 있어서 개구되어 있다. 본체부(4)의 제1 단부면(4a)을 향해 보았을 때에는, 각 제1 폴딩부(2g)의 개구를 통해서, 각 제1 폴딩부(2g)에 연결되는 직선 유로부(2f) 내의 공간이 상기 제2 단부면측(4b)측까지 관통하여 보인다. 본체부(4)의 제2 단부면(4b)을 향해 보았을 때에는, 각 제2 폴딩부(2h)의 개구를 통해서, 각 제2 폴딩부(2h)에 연결되는 직선 유로부(2f) 내의 공간이 상기 제1 단부면(4a)측까지 관통하여 보인다.

또한, 각 유통로(2)의 제1 도입로(2a) 및 제2 도입로(2b)도, 본체부(4) 내에 설치되어 있다. 제1 도입로(2a)의 제1 도입구(2d)는 본체부(4)의 제1 단부면(4a) 중 제3 단부면(4c)에 가까운 위치에서 개구되어 있다. 제1 도입로(2a)는 본체부(4) 내에서 제1 도입구(2d)로부터 본체부(4)의 제2 단부면(4b)측을 향해 직선적으로 연장되어 합류 유체 유로(2c)의 상류측 단부에 연결되어 있다. 제1 도입로(2a)는 그 제1 도입로(2a)가 연결되는 합류 유체 유로(2c) 중 가장 상류에 위치하는 직선 유로부(2f)와 동일 직선 상에 배치되어 있다. 제2 도입로(2b)의 제2 도입구(2e)는 본체부(4)의 제3 단부면(4c) 중 제1 단부면(4a)에 가까운 위치에서 개구되어 있다. 제2 도입로(2b)는 본체부(4) 내에서 제2 도입구(2e)로부터 본체부(4)의 제4 단부면(4d)측을 향해 직선적으로 연장되어 합류 유체 유로(2c)의 상류측 단부에 연결되어 있다. 제2 도입로(2b)는 그 제2 도입로(2b)가 연결되는 합류 유체 유로(2c)의 직선 유로부(2f)에 대하여 직교하는 방향으로 연장되어 있다.

또한, 본체부(4)의 제1 단부면(4a)에는, 모든 제1 폴딩부(2g)의 개구와 모든 제1 도입구(2d)가 마련된 영역의 외측을 둘러싸도록 복수의 제1 볼트 구멍(4f)(도 5 참조)이 마련되어 있다. 본체부(4)의 제2 단부면(4b)에는, 모든 제2 폴딩부(2h)의 개구와 모든 도출구(2i)가 마련된 영역의 외측을 둘러싸도록 복수의 제2 볼트 구멍(4g)(도 1 참조)이 마련되어 있다. 또한, 본체부(4)의 제3 단부면(4c)에는, 모든 제2 도입구(2e)가 마련된 영역의 외측을 둘러싸도록 복수의 제3 볼트 구멍(4h)이 마련되어 있다.

온도 조절용 유로(3)는 본체부(4) 내에서 각 유통로(2)에 대하여 당해 본체부(4)의 두께 방향의 일측 또는 타측에 간격을 두고 배치되어 있다. 온도 조절용 공급 유로(3b)는 본체부(4)에 있어서 제2 단부면(4b) 근방에서 또한 제3 단부면(4c) 근방의 위치에 설치되어 있다. 또한, 온도 조절용 회수 유로(3c)는 본체부(4)에 있어서 제1 단부면(4a) 근방에서 또한 제4 단부면(4d) 근방의 위치에 설치되어 있다. 또한, 본체부(4)의 두께 방향의 한쪽 면에는, 온도 조절용 공급측 커넥터(16)가 온도 조절용 공급 유로(3b)의 온도 조절용 공급 구멍(3d)에 접속하도록 설치되어 있는 동시에, 온도 조절용 회수측 커넥터(18)가 온도 조절용 회수 유로(3c)의 온도 조절용 회수 구멍(3f)에 접속하도록 설치되어 있다. 온도 조절용 공급측 커넥터(16)는 온도 조절용 유체를 공급하기 위한 도시하지 않은 온도 조절용 공급 배관의 커넥터와 접속하고, 온도 조절용 회수측 커넥터(18)는 온도 조절용 유체를 회수하기 위한 도시하지 않은 온도 조절용 회수 배관의 커넥터와 접속한다.

또한, 본체부(4)는 복수의 기판이 적층되어서 서로 접합된 부재로 형성되어 있다. 각 유통로(2)는 기판의 표면에 유통로(2)에 대응한 형상으로 형성된 홈과, 그 기판 상에 적층되는 다른 기판의 이면에 상기 홈과 대칭형이 되도록 형성된 홈이 겹쳐짐으로써 형성되어 있다. 또한, 각 온도 조절용 유로(3)는 기판의 표면에 그 온도 조절용 유로(3)에 대응한 형상으로 형성된 홈이 그 기판 상에 적층되는 다른 기판으로 밀봉됨으로써 형성되어 있다.

제1 헤더(6)는 본체부(4)의 제1 단부면(4a)에 대향하도록 배치되어서 본체부(4)에 대하여 착탈 가능하게 되도록 결합된다. 또한, 제1 헤더(6)는 제1 단부면(4a)에 형성된 모든 제1 폴딩부(2g)의 개구를 밀봉하도록 그 제1 단부면(4a)에 접촉한 상태로 본체부(4)에 결합된다. 이 제1 헤더(6)는 본 발명의 제1 덮개부의 개념에 포함되는 것이다. 제1 헤더(6)는 제1 헤더 본체(6a)와, 제1 공급측 커넥터(6b)와, 제1 외주 시일재(6c)를 갖는다.

제1 헤더 본체(6a)는 본체부(4)에 대하여 착탈 가능하게 결합된다. 이 제1 헤더 본체(6a)는 당해 제1 헤더 본체(6a)가 본체부(4)에 결합된 상태에서 본체부(4)의 제1 단부면(4a)에 대향하여 접촉하는 제1 대향면(6d)(도 8 참조)을 갖는다. 이 제1 대향면(6d)이 제1 단부면(4a)에 접촉함으로써, 제1 단부면(4a)에 형성된 제1 폴딩부(2g)의 개구가 밀봉된다. 제1 대향면(6d)은 본체부(4)의 제1 단부면(4a)과 동일한 외형을 갖는다. 또한, 제1 헤더 본체(6a)에는, 제1 공급 유로(2j)가 설치되어 있다. 이 제1 공급 유로(2j)의 제1 공급 유로 접속부(2q)는 제1 헤더 본체(6a)의 제1 대향면(6d) 중 당해 제1 헤더 본체(6a)가 본체부(4)에 결합된 상태에서 각 유통로(2)의 제1 도입구(2d)에 접속하는 위치에 있어서 개구되어 있다. 또한, 제1 대향면(6d)에는, 제1 헤더 본체(6a)가 본체부(4)에 대하여 결합된 상태에서 모든 제1 폴딩부(2g)의 개구 전체의 외주와 모든 제1 도입구(2d) 전체의 외주[제1 공급 유로 접속부(2q)의 외주]를 각각 둘러싸도록 제1 시일재 설치 홈(6e)이 마련되어 있다. 이 제1 시일재 설치 홈(6e)에는, 제1 외주 시일재(6c)가 끼워 넣어져 있다. 이 제1 외주 시일재(6c)는 가스킷으로 이루어지고, 제1 헤더 본체(6a)의 제1 대향면(6d)이 본체부(4)의 제1 단부면(4a)에 밀착하도록 제1 헤더 본체(6a)가 본체부(4)에 결합되었을 때에 모든 제1 폴딩부(2g)의 개구 전체의 주위를 밀봉하는 동시에 제1 공급 유로 접속부(2q) 및 모든 제1 도입구(2d)의 전체 주위를 밀봉하고, 그에 의해, 본체부(4)의 제1 단부면(4a)과 제1 헤더 본체(6a)의 제1 대향면(6d) 사이에서의 유체의 누출을 방지한다.

또한, 복수의 제1 볼트 삽입 관통 구멍(6f)이 제1 시일재 설치 홈(6e)의 외측을 둘러싸도록 제1 헤더 본체(6a)에 마련되어 있다. 이 복수의 제1 볼트 삽입 관통 구멍(6f)은 제1 헤더 본체(6a)의 제1 대향면(6d)으로부터 그 제1 대향면(6d)과 반대측의 면으로 당해 제1 헤더 본체(6a)를 관통하고 있다. 이 복수의 제1 볼트 삽입 관통 구멍(6f)은 제1 헤더 본체(6a)가 본체부(4)에 결합되는 상태에서 본체부(4)의 제1 단부면(4a)에 설치된 복수의 제1 볼트 구멍(4f)과 일치하는 위치에 마련되어 있다. 제1 헤더 본체(6a)는 그 각 제1 볼트 삽입 관통 구멍(6f)에 볼트(12)가 삽입 관통되는 동시에 그 볼트(12)가 본체부(4)의 대응하는 제1 볼트 구멍(4f)에 나사 결합됨으로써 본체부(4)에 체결된다. 또한, 볼트(12)를 느슨하게 하여 제거하면, 본체부(4)로부터 제1 헤더 본체(6a)를 제거할 수 있도록 되어 있다.

제1 공급측 커넥터(6b)는 제1 공급 유로(2j)의 제1 공급 구멍(2p)에 접속하도록 제1 헤더 본체(6a)의 두께 방향의 한쪽 면에 설치되어 있다. 이 제1 공급측 커넥터(6b)는 제1 유체를 공급하기 위한 도시하지 않은 공급 배관의 커넥터와 접속하고, 그 공급 배관으로부터 공급되는 제1 유체를 제1 공급 구멍(2p)으로 도입한다.

제2 헤더(8)는 본체부(4)의 제2 단부면(4b)에 대향하도록 배치되어서 본체부(4)에 대하여 착탈 가능하게 되도록 결합된다. 또한, 제2 헤더(8)는 제2 단부면(4b)에 형성된 모든 제2 폴딩부(2h)의 개구를 밀봉하도록 그 제2 단부면(4b)에 접촉한 상태에서 본체부(4)에 결합된다. 이 제2 헤더(8)는 본 발명의 제2 덮개부의 개념에 포함되는 것이다. 제2 헤더(8)는 제2 헤더 본체(8a)와, 회수측 커넥터(8b)와, 도시하지 않은 제2 외주 시일재를 갖는다.

제2 헤더 본체(8a)는 본체부(4)에 대하여 착탈 가능하게 결합된다. 이 제2 헤더 본체(8a)는, 당해 제2 헤더 본체(8a)가 본체부(4)에 결합된 상태에서 본체부(4)의 제2 단부면(4b)에 대향하여 접촉하는 도시하지 않은 제2 대향면을 갖는다. 이 제2 대향면이 제2 단부면(4b)에 접촉함으로써, 제2 단부면(4b)에 형성된 제2 폴딩부(2h)의 개구가 밀봉된다. 제2 대향면은, 본체부(4)의 제2 단부면(4b)과 동일한 외형을 갖는다. 또한, 제2 헤더 본체(8a)에는, 회수 유로(2o)가 설치되어 있다. 이 회수 유로(2o)의 회수 유로 접속부(2u)는 제2 헤더 본체(8a)의 제2 대향면 중 당해 제2 헤더 본체(8a)가 본체부(4)에 결합된 상태에서 각 유통로(2)의 도출구(2i)에 접속하는 위치에 있어서 개구되어 있다. 또한, 제2 대향면에는 제2 헤더 본체(8a)가 본체부(4)에 대하여 결합된 상태에서 모든 제2 폴딩부(2h)의 개구 전체의 외주와 모든 도출구(2i) 전체의 외주[회수 유로 접속부(2u)의 외주]를 각각 둘러싸도록 도시하지 않은 제2 시일재 설치 홈이 마련되어 있다. 이 제2 시일재 설치 홈에는, 도시하지 않은 제2 외주 시일재가 끼워 넣어져 있다. 제2 헤더 본체(8a)의 제2 대향면에 있어서의 회수 유로 접속부(2u)의 개구, 제2 시일재 설치 홈 및 제2 외주 시일재는, 상기 제1 헤더 본체(6a)의 제1 대향면(6d)에 있어서의 제1 공급 유로 접속부(2q)의 개구, 제1 시일재 설치 홈(6e) 및 제1 외주 시일재(6c)와 대칭적으로 배치되어 있는 것 이외는 마찬가지의 구성을 갖고 있다.

또한, 제2 헤더 본체(8a)에는, 제1 헤더 본체(6a)에 마련된 복수의 제1 볼트 삽입 관통 구멍(6f)과 마찬가지인 복수의 제2 볼트 삽입 관통 구멍(8f)이 마련되어 있다. 제2 헤더 본체(8a)는 그 각 제2 볼트 삽입 관통 구멍(8f)에 볼트(12)가 삽입 관통되는 동시에 그 볼트(12)가 본체부(4)의 대응하는 제2 볼트 구멍(4g)에 나사 결합됨으로써 본체부(4)에 체결된다.

회수측 커넥터(8b)는 회수 유로(2o)의 회수 구멍(2t)에 접속하도록 제2 헤더 본체(8a)의 두께 방향의 한쪽 단부면에 설치되어 있다. 이 회수측 커넥터(8b)는, 유체를 회수하기 위한 도시하지 않은 회수 배관의 커넥터와 접속하고, 회수 구멍(2t)으로부터 도출되는 유체를 그 회수 배관으로 흐르게 하기 위한 것이다.

제3 헤더(10)는 본체부(4)의 제3 단부면(4c)에 대향하도록 배치되어서 본체부(4)에 대하여 착탈 가능하게 되도록 결합된다. 제3 헤더(10)는, 제3 헤더 본체(10a)와, 제2 공급측 커넥터(10b)와, 제3 외주 시일재(10c)(도 9 참조)를 갖는다.

제3 헤더 본체(10a)는 본체부(4)에 대하여 착탈 가능하게 결합된다. 이 제3 헤더 본체(10a)는 당해 제3 헤더 본체(10a)가 본체부(4)에 결합된 상태에서 본체부(4)의 제3 단부면(4c)에 대향하여 접촉하는 제3 대향면(10d)을 갖는다. 또한, 제3 헤더 본체(10a)에는, 제2 공급 유로(2k)가 설치되어 있다. 이 제2 공급 유로(2k)의 제2 공급 유로 접속부(2s)는 제3 헤더 본체(10a)의 제3 대향면(10d) 중 당해 제3 헤더 본체(10a)가 본체부(4)에 결합된 상태에서 각 유통로(2)의 제2 도입구(2e)에 접속하는 위치에 있어서 개구되어 있다. 또한, 제3 대향면(10d)에는, 제2 공급 유로 접속부(2s)의 외주를 둘러싸도록 제3 시일재 설치 홈(10e)이 마련되어 있다. 이 제3 시일재 설치 홈(10e)에는, 제3 외주 시일재(10c)가 끼워 넣어져 있다. 이 제3 외주 시일재(10c)는 가스킷으로 이루어지고, 제3 헤더 본체(10a)의 제3 대향면(10d)이 본체부(4)의 제3 단부면(4c)에 밀착하도록 제3 헤더 본체(10a)가 본체부(4)에 결합되었을 때에 제2 공급 유로 접속부(2s) 및 복수의 제2 도입구(2e) 주위를 밀봉하고, 그에 의해, 본체부(4)의 제3 단부면(4c)과 제3 헤더 본체(10a)의 제3 대향면(10d) 사이로부터의 유체 누출을 방지한다.

또한, 복수의 제3 볼트 삽입 관통 구멍(10f)이 제3 시일재 설치 홈(10e)의 외측을 둘러싸도록 제3 헤더 본체(10a)에 마련되어 있다. 이 복수의 제3 볼트 삽입 관통 구멍(10f)은 제3 헤더 본체(10a)의 제3 대향면(10d)으로부터 그 제3 대향면(10d)과 반대측의 면으로 당해 제3 헤더 본체(10a)를 관통하고 있다. 이 복수의 제3 볼트 삽입 관통 구멍(10f)은 제3 헤더 본체(10a)가 본체부(4)에 결합되는 상태에서 본체부(4)의 제3 대향면(4c)에 마련된 복수의 제3 볼트 구멍(4h)과 일치하는 위치에 마련되어 있다. 제3 헤더 본체(10a)는 그 각 제3 볼트 삽입 관통 구멍(10f)에 볼트(12)가 삽입 관통되는 동시에 그 볼트(12)가 본체부(4)의 대응하는 제3 볼트 구멍(4h)에 나사 결합됨으로써 본체부(4)에 체결된다.

제2 공급측 커넥터(10b)는 제2 공급 유로(2k)의 제2 공급 구멍(2r)에 접속하도록 제3 헤더 본체(10a)의 두께 방향의 한쪽 면에 설치되어 있다. 이 제2 공급측 커넥터(10b)는 제2 유체를 공급하기 위한 도시하지 않은 공급 배관의 커넥터와 접속하고, 그 공급 배관으로부터 공급되는 제2 유체를 제2 공급 구멍(2r)으로 도입한다.

이어서, 본 실시 형태에 의한 유로 구조체(1)의 제조 방법에 대하여 설명한다.

본 실시 형태에 의한 유로 구조체(1)의 제조 방법에서는, 직육면체 형상의 기재(20)(도 10 참조)를 형성하고, 그 기재(20)를 절단함으로써 본체부(4)와, 제1 헤더(6)의 제1 헤더 본체(6a)와, 제2 헤더(8)의 제2 헤더 본체(8a)와, 제3 헤더(10)의 제3 헤더 본체(10a)를 형성한다.

구체적으로는, 우선, 스테인리스 등의 금속으로 이루어지는 복수의 기판을 적층하여 접합함으로써 기재(20)를 형성한다. 여기서, 복수의 기판에는, 상측 엔드 플레이트(22)와, 하측 엔드 플레이트(23)와, 복수매의 유통로용 제1 플레이트(24)와, 복수매의 유통로용 제2 플레이트(26)와, 복수매의 온도 조절용 플레이트(28)가 포함된다(도 11 참조).

기재(20)를 형성하는 공정에서는, 우선, 각 유통로용 제1 플레이트(24)의 표면에, 유통로(2)의 형상에 대응한 형상의 유통로 제1 홈(32a)(도 12 참조)을 에칭 가공에 의해 형성한다. 또한, 각 유통로용 제1 플레이트(24)에 있어서, 제1 공급 유로(2j)에 대응한 위치에 제1 공급 유로(2j)에 대응한 형상의 제1 공급용 관통 구멍(34a)을 형성하고, 제2 공급 유로(2k)에 대응한 위치에 제2 공급 유로(2k)에 대응한 형상의 제2 공급용 관통 구멍(36a)을 형성하고, 회수 유로(2o)에 대응한 위치에 회수 유로(2o)에 대응한 형상의 회수용 관통 구멍(38a)을 형성한다. 또한, 각 유통로용 제1 플레이트(24)에 있어서, 온도 조절용 공급 유로(3b)의 온도 조절용 공급 구멍(3d)에 대응한 위치에 그 온도 조절용 공급 구멍(3d)에 대응한 형상의 온도 조절용 공급 관통 구멍(40a)을 형성하고, 온도 조절용 회수 유로(3c)의 온도 조절용 회수 구멍(3f)에 대응한 위치에 그 온도 조절용 회수 구멍(3f)에 대응한 형상의 온도 조절용 회수 관통 구멍(42b)을 형성한다.

또한, 각 유통로용 제2 플레이트(26)의 이면에, 유통로(2)의 형상에 대응하고 또한 상기 유통로 제1 홈(32a)과 대칭형이 되는 유통로 제2 홈(32b)(도 13 참조)을 에칭 가공에 의해 형성한다. 또한, 각 유통로용 제2 플레이트(26) 중 유통로용 제2 플레이트(26)의 이면과 유통로용 제1 플레이트(24)의 표면에 겹쳤을 때에 유통로용 제1 플레이트(24)의 제1 공급용 관통 구멍(34a), 제2 공급용 관통 구멍(36a), 회수용 관통 구멍(38a), 온도 조절용 공급 관통 구멍(40a) 및 온도 조절용 회수 관통 구멍(42a)과 합치하는 위치에, 제1 공급용 관통 구멍(34b), 제2 공급용 관통 구멍(36b), 회수용 관통 구멍(38b), 온도 조절용 공급 관통 구멍(40b) 및 온도 조절용 회수 관통 구멍(42b)을 형성한다. 제1 공급용 관통 구멍(34b)은 유통로용 제1 플레이트(24)의 제1 공급용 관통 구멍(34a)과 동일한 형상으로 형성하고, 제2 공급용 관통 구멍(36b)은 유통로용 제1 플레이트(24)의 제2 공급용 관통 구멍(36a)과 동일한 형상으로 형성하고, 회수용 관통 구멍(38b)은 유통로용 제1 플레이트(24)의 회수용 관통 구멍(38a)과 동일한 형상으로 형성한다. 또한, 온도 조절용 공급 관통 구멍(40b)은 유통로용 제1 플레이트(24)의 온도 조절용 공급 관통 구멍(40a)과 동일한 형상으로 형성하고, 온도 조절용 회수 관통 구멍(42b)은 유통로용 제1 플레이트(24)의 온도 조절용 회수 관통 구멍(42a)과 동일한 형상으로 형성한다.

또한, 각 온도 조절용 플레이트(28)의 표면에, 온도 조절용 유로(3)의 형상에 대응한 형상의 온도 조절 유로용 홈(44)을 에칭 가공에 의해 형성한다(도 14 참조). 또한, 각 온도 조절용 플레이트(28)에 있어서, 온도 조절용 공급 구멍(3d)에 대응하는 위치에 온도 조절용 공급 관통 구멍(46a)을 형성하고, 온도 조절용 공급 유로 접속부(3e)에 대응하는 위치에 그 온도 조절용 공급 유로 접속부(3e)에 대응한 형상의 온도 조절용 공급 홈(46b)을 형성한다. 또한, 각 온도 조절용 플레이트(28) 중 온도 조절용 회수 구멍(3f)에 대응하는 위치에 온도 조절용 회수 관통 구멍(48a)을 형성하고, 온도 조절용 회수 유로 접속부(3g)에 대응하는 위치에 그 온도 조절용 회수 유로 접속부(3g)에 대응한 형상의 온도 조절용 회수 홈(48b)을 형성한다. 또한, 각 온도 조절용 플레이트(28)에 있어서, 유통로용 제1 플레이트(24)의 제1 공급용 관통 구멍(34a)에 대응하는 위치에 마찬가지의 제1 공급용 관통 구멍(50)을 형성하고, 유통로용 제1 플레이트(24)의 제2 공급용 관통 구멍(36a)에 대응하는 위치에 마찬가지의 제2 공급용 관통 구멍(52)을 형성하고, 유통로용 제1 플레이트(24)의 회수용 관통 구멍(38a)에 대응하는 위치에 마찬가지의 회수용 관통 구멍(54)을 형성한다.

또한, 상측 엔드 플레이트(22) 중 상기 각 플레이트의 제1 공급용 관통 구멍, 제2 공급용 관통 구멍, 회수용 관통 구멍, 온도 조절용 공급 관통 구멍 및 온도 조절용 회수 관통 구멍에 대응하는 위치에 마찬가지의 제1 공급용 관통 구멍(56), 제2 공급용 관통 구멍(58), 회수용 관통 구멍(60), 온도 조절용 공급 관통 구멍(62) 및 온도 조절용 회수 관통 구멍(64)을 형성한다.

이어서, 1매의 온도 조절용 플레이트(28), 유통로용 제1 플레이트(24), 유통로용 제2 플레이트(26) 및 다른 1매의 온도 조절용 플레이트(28)를 이 순서로 밑에서부터 위로 적층한다. 상세하게는, 1매의 온도 조절용 플레이트(28)의 표면에 유통로용 제1 플레이트(24)의 이면이 겹치고, 그 유통로용 제1 플레이트(24)의 표면에 유통로용 제2 플레이트(26)의 이면이 겹치고, 그 유통로용 제2 플레이트(26)의 표면에 다른 1매의 온도 조절용 플레이트(28)의 이면이 겹치도록, 그들 플레이트를 적층한다. 이때, 각 플레이트의 제1 공급용 관통 구멍의 위치, 제2 공급용 관통 구멍의 위치, 회수용 관통 구멍의 위치, 온도 조절용 공급 관통 구멍의 위치 및 온도 조절용 회수 관통 구멍의 위치가 각각 합치하는 동시에, 유통로용 제1 플레이트(24)의 유통로 제1 홈(32a)과 유통로용 제2 플레이트(26)의 유통로 제2 홈(32b)이 어긋나지 않게 중첩되도록 각 플레이트를 적층한다. 그리고 적층한 4매의 플레이트가 중첩되는 면끼리를 확산 접합해서 4매의 플레이트를 일체화한다. 그리고 마찬가지로 일체화시킨 4매의 플레이트로 이루어지는 블록을 복수 형성한다. 그리고 그들 복수의 블록을 쌓아 올리는 동시에, 가장 위에 상측 엔드 플레이트(22)를 적재하고, 가장 아래에 하측 엔드 플레이트(23)를 배치하고, 그들의 중첩되는 면끼리를 확산 접합한다. 이에 의해, 일체의 기재(20)가 형성되고, 그 기재(20) 내에 유통로 제1 홈(32a)과 유통로 제2 홈(32b)에 의해 유통로(2)가 형성된다. 또한, 온도 조절 유로용 홈(44)이 밀봉됨으로써 온도 조절용 유로(3)가 기재(20) 내에 형성된다. 또한, 각 플레이트의 제1 공급용 관통 구멍이 연결됨으로써 제1 공급 유로(2j)가 형성되고, 각 플레이트의 제2 공급용 관통 구멍이 연결됨으로써 제2 공급 유로(2k)가 형성되고, 각 플레이트의 회수용 관통 구멍이 연결됨으로써 회수 유로(2o)가 형성된다. 또한, 각 플레이트의 온도 조절용 공급 관통 구멍이 연결됨으로써 온도 조절용 공급 구멍(3d)이 형성되고, 각 플레이트의 온도 조절용 회수 관통 구멍이 연결됨으로써 온도 조절용 회수 구멍(3f)이 형성된다.

이어서, 기재(20)를 도 10에 도시한 제1 절단선 A, 제2 절단선 B, 제3 절단선 C 및 제4 절단선 D의 각각을 따라 절단하는 절단 공정을 행한다.

이 절단 공정에서는, 기재(20)를 각 절단선 A, B, C, D를 따라 와이어 방전 절단에 의해 절단한다. 또한, 제1 절단선 A는, 각 유통로(2)의 복수의 직선 유로부(2f)가 연장되는 방향에 대하여 직교하는 방향으로 연장되고 또한 모든 제1 폴딩부(2g)를 지나는 절단선이며, 제2 절단선 B는, 각 유통로(2)의 복수의 직선 유로부(2f)가 연장되는 방향에 대하여 직교하는 방향으로 연장되고 또한 모든 제2 폴딩부(2h)를 지나는 절단선이다. 또한, 제3 절단선 C는, 제1 절단선 A와 제2 절단선 B에 직교하고 또한 각 유통로(2)의 제2 도입구(2e)와 그 제2 도입구(2e)에 연결되는 제2 공급 유로 접속부(2s)의 경계를 지나는 절단선이다. 또한, 제4 절단선 D는, 기재(20)를 제3 절단선 C로 절단하여 생긴 단부재를 다시 절단하는 절단선이며, 제2 공급 유로(2k)에 대하여 제1 공급 유로(2j)와 반대측의 위치에서 제3 절단선 C에 대하여 직교하는 방향으로 연장되는 절단선이다.

이러한 절단 공정에 의해, 기재(20) 중 제1 절단선 A와 제2 절단선 B 사이의 부위에서 또한 제3 절단선 C보다도 외측 부위가 잘라 내어진 후의 부위인 주재(20a)가 형성된다. 또한, 기재(20) 중 제1 절단선 A보다도 외측 부위로부터 제3 절단선 C로 단재가 잘라 내어짐으로써 도시하지 않은 제1 부재(副材)가 형성되고, 기재(20) 중 제2 절단선 B보다도 외측 부위로부터 제3 절단선 C로 단재가 잘라 내어짐으로써 도시하지 않은 제2 부재가 형성된다. 또한, 기재(20) 중 제3 절단선 C보다도 외측 부위에서 또한 제1 절단선 A와 제4 절단선 D 사이에 위치하는 부위에 의해 도시하지 않은 제3 부재가 형성된다.

그리고 주재(20a)의 제1 절단선 A를 따른 절단면에는, 제1 폴딩부(2g)의 개구 및 제1 도입구(2d)의 개구가 형성되고, 주재(20a)의 제2 절단선 B를 따른 절단면에는, 제2 폴딩부(2h)의 개구 및 도출구(2i)의 개구가 형성된다. 또한, 주재(20a)의 제3 절단선 C를 따른 절단면에는, 제2 도입구(2e)의 개구가 형성된다. 또한, 제1 부재의 제1 절단선 A를 따른 절단면에는, 제1 공급 유로 접속부(2q)의 개구가 형성되고, 제2 부재의 제2 절단선 B를 따른 절단면에는, 회수 유로 접속부(2u)의 개구가 형성된다. 또한, 제3 부재의 제3 절단선 C를 따른 절단면에는, 제2 공급 유로 접속부(2s)의 개구가 형성된다.

이어서, 상기와 같이 형성한 주재(20a)를 사용하여 본체부(4)를 형성한다. 구체적으로는, 주재(20a)의 제1 절단선 A를 따른 절단면에 상기 복수의 제1 볼트 구멍(4f)을 형성한다. 이 절단면은, 본체부(4)의 제1 단부면(4a)이 된다. 또한, 주재(20a)의 제2 절단선 B를 따른 절단면에 상기 복수의 제2 볼트 구멍(4g)을 형성한다. 이 절단면은, 본체부(4)의 제2 단부면(4b)이 된다. 또한, 주재(20a)의 제3 절단선 C를 따른 절단면에 상기 복수의 제3 볼트 구멍(4h)을 형성한다. 이 절단면은, 본체부(4)의 제3 단부면(4c)이 된다. 그리고 주재(20a) 중 상측 엔드 플레이트(22)의 온도 조절용 공급 관통 구멍(62)에 접속하도록 온도 조절용 공급측 커넥터(16)를 설치하고, 주재(20a) 중 상측 엔드 플레이트(22)의 온도 조절용 회수 관통 구멍(64)에 접속하도록 온도 조절용 회수측 커넥터(18)를 설치한다. 이와 같이 하여, 본체부(4)가 형성된다.

또한, 상기와 같이 형성한 제1 부재를 사용하여 제1 덮개부(6)를 형성한다. 구체적으로는, 제1 부재의 제1 절단선 A를 따른 절단면에 제1 시일재 설치 홈(6e)을 형성한다. 또한, 제1 부재에 상기 복수의 제1 볼트 삽입 관통 구멍(6f)을 당해 제1 부재의 절단면으로부터 반대측의 면으로 관통하도록 형성한다. 그리고 제1 시일재 설치 홈(6e)에 제1 외주 시일재(6c)를 끼워 넣는다. 또한, 제1 부재 중 상측 엔드 플레이트(22)의 제1 공급용 관통 구멍(56)에 접속하도록 제1 공급측 커넥터(6b)를 설치한다. 이와 같이 하여, 제1 덮개부(6)가 형성된다.

또한, 상기와 같이 형성한 제2 부재를 사용하여 제2 덮개부(8)를 형성한다. 구체적으로는, 제2 부재의 제2 절단선 B를 따른 절단면에 상기 제2 시일재 설치 홈을 형성한다. 또한, 제2 부재에 상기 복수의 제2 볼트 삽입 관통 구멍을 당해 제2 부재의 절단면으로부터 반대측의 면으로 관통하도록 형성한다. 그리고 제2 외주 시일재 설치 홈에 제2 외주 시일재를 끼워 넣는다. 또한, 제2 부재 중 상측 엔드 플레이트(22)의 회수용 관통 구멍(60)에 접속하도록 회수측 커넥터(8b)를 설치한다. 이와 같이 하여, 제2 덮개부(8)가 형성된다.

또한, 상기와 같이 형성한 제3 부재를 사용하여 제3 덮개부(10)를 형성한다. 구체적으로는, 제3 부재의 제3 절단선 B를 따른 절단면에 상기 제3 시일재 설치 홈(10e)을 형성한다. 또한, 제3 부재에 상기 복수의 제3 볼트 삽입 관통 구멍(10f)을 당해 제3 부재의 절단면으로부터 반대측의 면으로 관통하도록 형성한다. 그리고 제3 시일재 설치 홈(10e)에 제3 외주 시일재(10c)를 끼워 넣는다. 또한, 제3 부재 중 상측 엔드 플레이트(22)의 제2 공급용 관통 구멍(58)에 접속하도록 제2 공급측 커넥터(10b)를 설치한다. 이와 같이 하여, 제3 덮개부(10)가 형성된다.

그리고 이상과 같이 형성한 본체부(4)에 제1 덮개부(6), 제2 덮개부(8) 및 제3 덮개부(10)를 볼트(12)로 체결함으로써 유로 구조체(1)를 형성한다.

이상 설명한 바와 같이, 본 실시 형태에서는, 유로 구조체(1)에 형성된 합류 유체 유로(2c) 중 직선적으로 연장되는 각 직선 유로부(2f)의 일측 단부에 연결되는 각 제1 폴딩부(2g)가 본체부(4)의 제1 단부면(4a)에 있어서 개구되고, 그 각 직선 유로부(2f)의 타측 단부에 연결되는 각 제2 폴딩부(2h)가 본체부(4)의 제2 단부면(4b)에 있어서 개구되고, 그 제1 폴딩부(2g)의 개구를 밀봉하는 제1 덮개부(6)와 제2 폴딩부(2h)의 개구를 밀봉하는 제2 덮개부(8)가 본체부(4)에 대하여 착탈 가능하다. 이로 인해, 합류 유체 유로(2c)의 직선 유로부(2f) 내에 석출물이나 이물질이 막혔을 때에는, 본체부(4)로부터 제1 덮개부(6)와 제2 덮개부(8)를 그들을 체결하고 있는 볼트(12)를 느슨하게 하여 제거하면, 본체부(4)의 제1 단부면(4a)측으로부터 제1 폴딩부(2g)의 개구를 통하여 또는 제2 단부면(4b)측으로부터 제2 폴딩부(2h)의 개구를 통하여 직선 유로부(2f) 내에 직선적으로 청소 기구를 삽입하여 석출물이나 이물질을 제거할 수 있다. 또한, 합류 유체 유로(2c)의 각 폴딩부(2g, 2h) 내에 석출물이나 이물질이 막혔을 때에는, 그 폴딩부(2g, 2h)의 개구를 밀봉하고 있는 제1 덮개부(6) 또는 제2 덮개부(8)를 본체부(4)로부터 제거하면, 폴딩부(2g, 2h)의 개구를 통하여 그 폴딩부(2g, 2h) 내를 직접 청소할 수 있다. 이상과 같이, 본 실시 형태에서는, 합류 유체 유로(2c)가 일측으로 직선적으로 연장되는 부분과 그 부분의 하류측에서 타측으로 직선적으로 연장되는 부분이 교대로 연결되는 형상을 갖고 있어도, 그 합류 유체 유로(2c) 내를 충분하고도 쉽게 청소할 수 있다.

또한, 본 실시 형태에서는, 각 유통로(2)의 제1 도입로(2a)가 본체부(4)의 제1 단부면(4a)에 개구되도록 형성된 당해 제1 도입로(2a)의 제1 도입구(2d)로부터 제2 단부면(4b)측으로 직선적으로 연장되어 합류 유체 유로(2c)의 상류측 단부에 연결되어 있는 동시에, 각 유통로(2)의 제2 도입로(2b)가 본체부(4)의 제3 단부면(4c)에 개구되도록 형성된 당해 제2 도입로(2b)의 제2 도입구(2e)로부터 제4 단부면(4d)측으로 직선적으로 연장되어 합류 유체 유로(2c)의 상류측 단부에 연결되어 있다. 이로 인해, 각 제1 도입로(2a) 내에는, 그 제1 도입로(2a)의 제1 도입구(2d)를 통하여 본체부(4)의 제1 단부면(4a)측으로부터 제2 단부면(4b)측을 향해 청소 기구를 직선적으로 삽입할 수 있고, 각 제2 도입로(2b) 내에는, 그 제2 도입로(2b)의 제2 도입구(2e)를 통하여 본체부(4)의 제3 단부면(4c)측으로부터 제4 단부면(4d)측을 향해 청소 기구를 직선적으로 삽입할 수 있다. 이로 인해, 각 제1 도입로(2a) 내 또는 각 제2 도입로(2b) 내에 석출물이나 이물질이 막힌 경우에도, 그들 도입로(2a, 2b) 내를 충분하고도 쉽게 청소하여 그 석출물이나 이물질을 제거할 수 있다.

또한, 본 실시 형태에서는, 제1 공급 유로(2j)가 제1 덮개부 본체(6a)에 형성되어 있으므로, 제1 덮개부(6)를 복수의 유통로(2)의 제1 도입구(2d)에 제1 유체를 분배 공급하기 위한 제1 공급 유로(2j)를 갖는 공급측 헤더로서 이용할 수 있다. 이로 인해, 제1 덮개부(6)와는 별도로 공급측 헤더를 설치하는 경우에 비해 부재 개수를 삭감할 수 있다.

또한, 본 실시 형태에서는, 회수 유로(2o)가 제2 덮개부 본체(8a)에 형성되어 있으므로, 제2 덮개부(8)를 복수의 유통로(2)의 도출구(2i)로부터 도출되는 유체를 합류시켜서 회수하기 위한 회수 유로(2o)를 갖는 회수측 헤더로서 이용할 수 있다. 이로 인해, 제2 덮개부(8)와는 별도로 회수측 헤더를 설치하는 경우에 비해 부재 개수를 삭감할 수 있다.

또한, 본 실시 형태에서는, 유로 구조체(1)를 형성하기 위한 기재(20)를 제1 절단선 A, 제2 절단선 B, 제3 절단선 C 및 제4 절단선 D의 각각을 따라 절단하고, 이 절단에 의해 얻은 주재(20a), 제1 부재, 제2 부재 및 제3 부재를 사용하여 본체부(4), 제1 덮개부(6), 제2 덮개부(8) 및 제3 덮개부(10)를 형성하므로, 재료를 유효하게 이용할 수 있다. 구체적으로는, 제1 부재로 제1 덮개부 본체(6a)를 형성하고, 제2 부재로 제2 덮개부 본체(8a)를 형성하고, 제3 부재로 제3 덮개부 본체(10a)를 형성하므로, 재료의 낭비가 발생하지 않아, 그들 덮개부 본체(6a, 8a, 10a)를 형성하기 위해 재료가 별도로 필요해지는 일도 없다.

또한, 본 실시 형태에서는, 원래 일체였던 기재(20)를 제1 폴딩부(2g)를 지나는 제1 절단선 A와 제2 폴딩부(2h)를 지나는 제2 절단선 B를 따라 절단하는 동시에 제3 절단선 C를 따라 절단함으로써 본체부(4)와 제1 덮개부 본체(6a)와 제2 덮개부 본체(8a)를 형성하므로, 제1 절단선 A를 따른 본체부(4)의 절단면[제1 단부면(4a)]과 제1 덮개부 본체(6a)의 절단면[제1 대향면(6d)]이 서로 간극 없이 접촉 가능한 평행면이 되는 동시에, 제2 절단선 B를 따른 본체부(4)의 절단면[제2 단부면(4b)]과 제2 덮개부 본체(8a)의 절단면(제2 대향면)이 서로 간극 없이 접촉 가능한 평행면이 된다. 이로 인해, 특히 정밀한 가공을 행하지 않고, 본체부(4)에 양 덮개부 본체(6a, 8a)를 결합시킨 상태에서 제1 덮개부 본체(6a)의 제1 대향면(6d)과 본체부(4)의 제1 단부면(4a)을 밀착시킬 수 있는 동시에 제2 덮개부 본체(8a)의 제2 대향면과 본체부(4)의 제2 단부면(4b)을 밀착시킬 수 있어, 제1 폴딩부(2g)로부터 제1 대향면(6d)과 제1 단부면(4a) 사이를 통한 유체의 누출 및 제2 폴딩부(2h)로부터 제2 대향면과 제2 단부면(4b) 사이를 통한 유체의 누출을 유효하게 방지할 수 있다.

또한, 금회 개시된 실시 형태는, 모든 점에서 예시이며 제한적인 것은 아니라고 생각되어야 한다. 본 발명의 범위는, 상기한 실시 형태의 설명이 아닌 특허 청구 범위에 의해 나타내고, 또한 특허 청구 범위와 균등한 의미 및 범위 내에서의 모든 변경이 포함된다.

예를 들어, 도 15에 도시한 바와 같이, 합류 유체 유로(2c)의 직선 유로부(2f)가 복수의 유로로 이루어져 있어도 된다. 구체적으로는, 본 변형예에서는, 합류 유체 유로(2c)의 복수의 직선 유로부(2f) 중 제1 도입로(2a) 및 제2 도입로(2b)와 연결되는 직선 유로부(2f) 이외의 직선 유로부(2f)가 제1 단부면(4a)과 제2 단부면(4b) 사이에서 그들 양 단부면끼리를 연결하는 방향으로 연장되어, 병렬로 배치된 3개의 유로(2w)로 이루어진다.

본 변형예의 구성에 의하면, 직선 유로부(2f)가 단일 유로로 이루어지는 경우에 비해, 직선 유로부(2f)에 유통시키는 유체의 유량을 증가시킬 수 있다. 이로 인해, 합류 유체 유로(2c)에 있어서 상호 작용시키는 유체의 처리량을 증가시킬 수 있다.

또한, 다른 변형예로서, 제1 덮개부가 본체부(4)의 제1 단부면(4a)에 형성된 제1 폴딩부(2g)의 개구를 밀봉하기 위한 제1 밀봉재와 그 제1 밀봉재를 제1 단부면(4a)에 가압하여 밀착시키는 제1 고정 부재를 갖고, 제2 덮개부가 본체부(4)의 제2 단부면(4b)에 형성된 제2 폴딩부(2h)의 개구를 밀봉하기 위한 제2 밀봉재와 그 제2 밀봉재를 제2 단부면(4b)에 가압하여 밀착시키는 제2 고정 부재를 가져도 된다.

구체적으로는, 본 변형예에서는, 제1 고정 부재에 제1 시일재 설치 홈(6e)을 형성하지 않는 동시에 제1 외주 시일재(6c)를 설치하지 않는 것 이외는, 제1 고정 부재를 상기 실시 형태에 있어서의 제1 덮개부(6)와 마찬가지로 형성한다. 또한, 제2 고정 부재에 제2 시일재 설치 홈을 형성하지 않는 동시에 제2 외주 시일재를 설치하지 않는 것 이외는, 제2 고정 부재를 상기 실시 형태에 있어서의 제2 덮개부(8)와 마찬가지로 형성한다. 그리고 이렇게 형성한 제1 고정 부재의 제1 대향면과 본체부(4)의 제1 단부면(4a) 사이에 테플론 시트(테플론 : 등록 상표) 또는 알루미늄 시트 등으로 이루어지는 제1 밀봉재를 끼워 넣어서 볼트(12)로 제1 고정 부재를 본체부(4)에 체결함으로써, 제1 밀봉재를 본체부(4)의 제1 단부면(4a)에 밀착시킨다. 또한, 상기와 같이 형성한 제2 고정 부재의 제2 대향면과 본체부(4)의 제2 단부면(4b) 사이에 제1 밀봉재와 마찬가지인 제2 밀봉재를 끼워 넣어서 볼트(12)로 제2 고정 부재를 본체부(4)에 체결함으로써, 제2 밀봉재를 본체부(4)의 제2 단부면(4b)에 밀착시킨다. 또한, 제1 밀봉재로서는, 본체부(4)의 제1 단부면(4a) 중 제1 폴딩부(2g)의 개구의 형성 영역은 덮지만, 제1 도입구(2d)의 개구에는 간섭하지 않는 크기 및 형상의 것을 사용한다. 또한, 제2 밀봉재로서는, 본체부(4)의 제2 단부면(4b) 중 제2 폴딩부(2h)의 개구의 형성 영역은 덮지만, 도출구(2i)의 개구에는 간섭하지 않는 크기 및 형상의 것을 사용한다.

본 변형예의 구성에 따르면, 제1 밀봉재에 의해, 본체부(4)의 제1 단부면(4a)에 형성된 모든 제1 폴딩부(2g)의 개구를 밀봉할 수 있는 동시에, 제2 밀봉재에 의해, 본체부(4)의 제2 단부면(4b)에 형성된 모든 제2 폴딩부(2h)의 개구를 밀봉할 수 있다. 이로 인해, 그러한 밀봉재를 본체부(4)의 단부면과 고정부 사이에 끼우지 않는 경우에 비해, 제1 폴딩부(2g) 및 제2 폴딩부(2h)로부터 합류 유체 유로(2c) 내의 유체가 누출되는 것을 확실하게 방지할 수 있다.

또한, 유통로가 갖는 도입로는, 1개만이라도 되고, 그 단일 도입로에 대하여, 당해 도입로에 도입된 유체를 유통시키는 유체 유로가 연결되어 있어도 된다. 즉, 이 구성에서는, 유체 유로는 단일 도입로에 도입된 유체를 하류측으로 흐르게 하는 것이다. 이 유체 유로는, 상기 합류 유체 유로와 같은, 일측으로 직선적으로 연장되는 부분과 그 부분으로부터 되접어져 타측으로 직선적으로 연장되는 부분이 교대로 연결되는 형상을 갖고 있으면 된다.

또한, 합류 유체 유로에 연결되는 도입로는, 2개 또는 4개 이상이라도 된다.

또한, 상기 실시 형태에서는, 합류 유체 유로(2c)의 각 직선 유로부(2f)가 본체부(4)의 제1 단부면(4a) 및 제2 단부면(4b)에 대하여 직교하는 방향으로 연장되어 있지만, 합류 유체 유로(2c)의 각 직선 유로부(2f)는 본체부(4)의 제1 단부면(4a) 및 제2 단부면(4b)에 대하여 다소 비스듬히 연장되어 있어도 된다.

또한, 본체부의 제1 단부면에 형성된 제1 폴딩부의 개구를 밀봉하기 위한 제1 덮개부는, 각 제1 도입구에 제1 유체를 분배하여 공급하기 위한 공급 유로를 갖고 있지 않아도 된다. 이 경우에는, 제1 덮개부와, 공급 유로를 갖는 공급 헤더가 따로따로 설치되어 있어도 된다.

또한, 본체부의 제2 단부면에 형성된 제2 폴딩부의 개구를 밀봉하기 위한 제2 덮개부는, 각 도출구로부터 도출되는 유체를 회수하기 위한 회수 유로를 갖고 있지 않아도 된다. 이 경우에는, 제2 덮개부와, 회수 유로를 갖는 배출측 헤더가 따로따로 설치되어 있어도 된다.

또한, 유로 구조체에는 반드시 복수의 유통로가 설치되어 있을 필요는 없고, 유로 구조체에 설치되어 있는 유통로는 1개만이라도 된다. 또한, 온도 조절용 유로는, 유로 구조체에 설치되어 있지 않아도 된다.

또한, 상기 실시 형태에서는, 기재를 절단하여 생긴 제1 부재, 제2 부재 및 제3 부재를 이용하여 제1 덮개부, 제2 덮개부 및 제3 덮개부를 형성했지만, 그 기재와는 다른 재료를 사용하여 제1 덮개부, 제2 덮개부 및 제3 덮개부를 형성해도 된다.

또한, 상기 실시 형태에서는, 기재의 형성 공정에 있어서, 적층한 기판이 중첩되는 면끼리를 확산 접합함으로써 그들 기판을 일체화하였지만, 이러한 방법 이외의 결합 방법에 의해 적층한 기판을 일체화시켜도 된다. 예를 들어, 중첩한 기판끼리를 납땜함으로써 그들 기판끼리를 일체화시켜도 된다.

[실시 형태의 개요]

상기 실시 형태를 종합하면, 이하와 같다.

상기 실시 형태에 관한 유로 구조체는, 유체가 도입되는 적어도 1개의 도입로와 그 도입로에 도입된 유체를 유통시키는 유체 유로를 갖는 적어도 1개의 유통로를 구비한 유로 구조체이며, 제1 단부면과 그 제1 단부면에 대하여 반대측을 향하는 제2 단부면을 갖는 본체부와, 상기 본체부의 상기 제1 단부면에 대향하도록 배치되어, 상기 본체부에 대하여 착탈 가능하게 되도록 결합되는 제1 덮개부와, 상기 본체부의 상기 제2 단부면에 대향하도록 배치되어, 상기 본체부에 대하여 착탈 가능하게 되도록 결합되는 제2 덮개부를 구비하고, 상기 유체 유로는, 상기 본체부 내에서 상기 제1 단부면과 상기 제2 단부면 사이에서 그들 양 단부면끼리를 연결하는 방향으로 연장되고, 그 연장되는 방향과 교차하는 방향으로 간격을 두고 배열되는 복수의 직선 유로부와, 상기 복수의 직선 유로부 중 상기 제2 단부면측으로부터 상기 제1 단부면측을 향해 유체가 흐르는 직선 유로부의 하류측 단부와 그 직선 유로부의 하류측에 배치되어서 그 직선 유로부와 인접하는 직선 유로부의 상류측 단부를 연결하는 제1 폴딩부와, 상기 복수의 직선 유로부 중 상기 제1 단부면측으로부터 상기 제2 단부면측을 향해 유체가 흐르는 직선 유로부의 하류측 단부와 그 직선 유로부의 하류측에 배치되어서 그 직선 유로부와 인접하는 직선 유로부의 상류측 단부를 연결하는 제2 폴딩부를 갖고, 상기 제1 폴딩부는 상기 제1 단부면에 있어서 개구되고, 상기 제2 폴딩부는 상기 제2 단부면에 있어서 개구되고, 상기 제1 덮개부는 상기 제1 단부면에 형성된 상기 제1 폴딩부의 개구를 밀봉하도록 그 제1 단부면에 접촉한 상태에서 상기 본체부에 결합되고, 상기 제2 덮개부는 상기 제2 단부면에 형성된 상기 제2 폴딩부의 개구를 밀봉하도록 그 제2 단부면에 접촉한 상태에서 상기 본체부에 결합된다.

이 유로 구조체에서는, 유체 유로가 본체부의 제1 단부면과 제2 단부면 사이에서 그들 양 단부면끼리를 연결하는 방향으로 연장되고, 그 연장되는 방향과 교차하는 방향으로 간격을 두고 배열되는 복수의 직선 유로부와, 복수의 직선 유로부 중 제2 단부면측으로부터 제1 단부면측을 향해 유체가 흐르는 직선 유로부의 하류측 단부와 그 직선 유로부의 하류측에 배치되어서 그 직선 유로부와 인접하는 직선 유로부의 상류측 단부를 연결하는 제1 폴딩부와, 복수의 직선 유로부 중 제1 단부면측으로부터 제2 단부면측을 향해 유체가 흐르는 직선 유로부의 하류측 단부와 그 직선 유로부의 하류측에 배치되어서 그 직선 유로부와 인접하는 직선 유로부의 상류측 단부를 연결하는 제2 폴딩부를 가지므로, 이 유체 유로는, 일측으로 연장되는 부분과 그 부분의 하류측에서 타측으로 연장되는 부분이 교대로 연결되는 형상을 갖고 있다. 그리고 제1 폴딩부는 본체부의 제1 단부면에 있어서 개구되고, 제2 폴딩부는 본체부의 제2 단부면에 있어서 개구되고, 제1 폴딩부의 개구를 밀봉하는 제1 덮개부와 제2 폴딩부의 개구를 밀봉하는 제2 덮개부가 본체부에 대하여 착탈 가능하므로, 유체 유로의 직선 유로부 내에 석출물이나 이물질이 막혔을 때에는, 본체부로부터 제1 덮개부와 제2 덮개부를 제거하면, 본체부의 제1 단부면측 또는 제2 단부면측으로부터 각 직선 유로부 내에 직선적으로 청소 기구를 삽입하여 석출물이나 이물질을 제거할 수 있다. 또한, 유체 유로의 각 폴딩부 내에 석출물이나 이물질이 막혔을 때에는, 그 폴딩부의 개구를 밀봉하고 있는 덮개부를 본체부로부터 제거하면, 그 폴딩부의 개구를 통하여 그 폴딩부 내를 직접 청소할 수 있다. 이상과 같이, 이 유로 구조체에서는, 유체 유로가 일측으로 연장되는 부분과 그 부분의 하류측에서 타측으로 연장되는 부분이 교대로 연결되는 형상을 갖고 있어도, 그 유체 유로 내를 충분하고도 쉽게 청소할 수 있다.

상기 유로 구조체에 있어서, 상기 도입로는, 당해 도입로에 유체를 도입하기 위한 도입구를 갖고, 상기 도입구는 상기 본체부의 외면의 소정 부위에 있어서 개구되고, 상기 도입로는 상기 본체부 내에서 상기 도입구로부터 직선적으로 연장되어 상기 유체 유로에 연결되어 있는 것이 바람직하다.

이 구성에 의하면, 도입로의 도입구로부터 그 도입로 내에 청소 기구를 직선적으로 삽입하여 도입로 내를 청소할 수 있으므로, 상기 유체 유로 내 외에 도입로 내도 충분하고도 쉽게 청소할 수 있다.

상기 유로 구조체에 있어서, 상기 도입로는, 당해 도입로에 유체를 도입하기 위한 도입구를 갖고, 상기 적어도 1개의 도입로에는 상기 제1 단부면에 있어서 개구되는 상기 도입구를 갖는 특정한 도입로가 포함되고, 상기 유로 구조체는 복수의 상기 유통로를 구비하고, 상기 제1 덮개부에는 당해 제1 덮개부가 상기 본체부에 결합된 상태에서 상기 복수의 유통로의 상기 특정 도입로의 상기 도입구에 각각 접속되고, 그 각 도입구에 유체를 분배하여 공급하기 위한 공급 유로가 설치되어 있는 것이 바람직하다.

이 구성에 의하면, 제1 덮개부를, 복수의 유통로의 상기 특정 도입로의 도입구에 유체를 분배 공급하기 위한 공급 유로를 갖는 공급측 헤더로서 이용할 수 있다. 이로 인해, 제1 덮개부와는 별도로 공급측 헤더를 설치하는 경우에 비해 부재 개수를 삭감할 수 있다.

상기 유로 구조체에 있어서, 당해 유로 구조체는 복수의 상기 유통로를 구비하고, 상기 각 유통로의 상기 유체 유로는, 상기 본체부의 상기 제2 단부면에 있어서 개구되고, 당해 유체 유로 내로부터 유체를 도출하기 위한 도출구를 갖고, 상기 제2 덮개부에는, 당해 제2 덮개부가 상기 본체부에 결합된 상태에서 상기 복수의 유통로의 상기 유체 유로의 상기 도출구에 각각 접속되고, 그 각 도출구로부터 도출되는 유체를 합류시켜서 회수하기 위한 회수 유로가 설치되어 있는 것이 바람직하다.

이 구성에 의하면, 제2 덮개부를, 복수의 유통로의 유체 유로의 도출구로부터 도출되는 유체를 합류시켜서 회수하기 위한 회수 유로를 갖는 회수측 헤더로서 이용할 수 있다. 이로 인해, 제2 덮개부와는 별도로 회수측 헤더를 설치하는 경우에 비해 부재 개수를 삭감할 수 있다.

상기 유로 구조체에 있어서, 상기 유통로는 복수의 상기 도입로를 갖고, 당해 유통로의 상기 유체 유로는 상기 복수의 도입로와 접속되고, 그들 각 도입로에 도입된 각 유체의 합류 유체를 유통시키는 것이 바람직하다.

이 구성에 의하면, 유체 유로에 있어서 합류 유체 중의 복수의 유체끼리의 상호 작용, 예를 들어 화학 반응에 의해 생성물이 발생하고, 그 생성물이 유체 유로 중에 막힌 경우에도, 그 생성물을 쉽게 제거할 수 있다.

상기 유로 구조체에 있어서, 상기 각 직선 유로부는 상기 제1 단부면과 상기 제2 단부면 사이에서 그들 양 단부면끼리를 연결하는 방향으로 연장되고, 병렬로 배치된 복수의 유로로 이루어지는 것이 바람직하다.

이 구성에 의하면, 직선 유로부가 단일 유로로 이루어지는 경우에 비해, 직선 유로부에 유통시키는 유체의 유량을 증가시킬 수 있다. 이로 인해, 유체 유로에 있어서의 유체의 처리량(유통량)을 증가시킬 수 있다.

상기 유로 구조체에 있어서, 상기 제1 덮개부는 상기 제1 단부면에 형성된 상기 제1 폴딩부의 개구를 밀봉하기 위한 제1 밀봉재와, 상기 본체부에 대하여 착탈 가능하게 되도록 결합되어, 상기 본체부에 결합된 상태에서 상기 제1 단부면과의 사이에 상기 제1 밀봉재를 끼워 넣어서 그 제1 밀봉재가 상기 제1 폴딩부의 개구를 밀봉하도록 그 제1 밀봉재를 상기 제1 단부면에 밀착시키는 제1 고정 부재를 갖고, 상기 제2 덮개부는 상기 제2 단부면에 형성된 상기 제2 폴딩부의 개구를 밀봉하기 위한 제2 밀봉재와, 상기 본체부에 대하여 착탈 가능하게 되도록 결합되어, 상기 본체부에 결합된 상태에서 상기 제2 단부면과의 사이에 상기 제2 밀봉재를 끼워 넣어서 그 제2 밀봉재가 상기 제2 폴딩부의 개구를 밀봉하도록 그 제2 밀봉재를 상기 제2 단부면에 밀착시키는 제2 고정 부재를 갖는 것이 바람직하다.

이 구성에 의하면, 제1 밀봉재로 유체 유로의 제1 폴딩부의 개구를 밀봉할 수 있는 동시에, 제2 밀봉재로 유체 유로의 제2 폴딩부의 개구를 밀봉할 수 있으므로, 제1 폴딩부 및 제2 폴딩부로부터 유체 유로 내의 유체가 누출되는 것을 확실하게 방지할 수 있다.

본 발명에 의한 유로 구조체의 제조 방법은, 상기 유로 구조체를 제조하기 위한 방법이며, 상기 유통로를 내부에 갖는 기재를 형성하는 기재 형성 공정과, 상기 각 직선 유로부가 연장되는 방향에 대하여 교차하는 방향으로 연장되고 또한 상기 제1 폴딩부를 지나는 제1 절단선과, 상기 각 직선 유로부가 연장되는 방향에 대하여 교차하는 방향으로 연장되고 또한 상기 제2 폴딩부를 지나는 제2 절단선을 따라 상기 기재를 절단하는 절단 공정과, 상기 절단 공정에 있어서 절단된 상기 기재의 상기 제1 절단선과 상기 제2 절단선 사이의 부위에 의해 상기 본체부를 형성하는 본체부 형성 공정과, 상기 절단 공정에 있어서 절단된 상기 기재의 상기 제1 절단선보다도 외측 부분에 의해 상기 제1 덮개부를 형성하는 제1 덮개부 형성 공정과, 상기 절단 공정에 있어서 절단된 상기 기재의 상기 제2 절단선보다도 외측 부분에 의해 상기 제2 덮개부를 형성하는 제2 덮개부 형성 공정을 구비하고 있다.

이 유로 구조체의 제조 방법에서는, 기재 중 상기 제1 절단선과 상기 제2 절단선 사이의 부위에 의해 본체부를 형성하고, 기재로부터 절단한 상기 제1 절단선보다도 외측 부위에 의해 제1 덮개부를 형성하고, 기재로부터 절단한 상기 제2 절단선보다도 외측 부위에 의해 제2 덮개부를 형성하므로, 재료를 유효하게 이용할 수 있다. 구체적으로는, 가령, 기재를 절단하여 본체부를 형성한 후, 새롭게 다른 재료를 사용하여 제1 덮개부와 제2 덮개부를 형성할 경우에는, 기재 중 본체부에 사용하는 부위 이외의 부분은 폐기되어서 재료에 낭비가 발생하는 동시에, 제1 덮개부와 제2 덮개부를 형성하기 위하여 재료가 더 필요해진다. 이에 반해, 본 발명의 유로 구조체의 제조 방법에서는, 기재 중 본체부에 사용하는 부위 이외의 부분을 제1 덮개부와 제2 덮개부에 유용할 수 있으므로, 재료의 낭비가 발생하지 않아, 재료가 별도로 필요해지는 일도 없다. 또한, 이 제조 방법에서는, 원래 일체였던 기재를 제1 폴딩부를 지나는 제1 절단선과 제2 폴딩부를 지나는 제2 절단선을 따라 절단하여 본체부와 제1 덮개부와 제2 덮개부를 형성하므로, 제1 절단선을 따른 본체부의 절단면과 제1 덮개부의 절단면이 서로 간극 없이 접촉 가능한 평행면이 되는 동시에, 제2 절단선을 따른 본체부의 절단면과 제2 덮개부의 절단면이 서로 간극 없이 접촉 가능한 평행면이 된다. 이로 인해, 특히 정밀한 가공을 행하지 않고, 본체부에 양 덮개부를 결합시킨 상태에서 그들 양 덮개부의 절단면과 본체부의 대응하는 절단면을 밀착시킬 수 있어, 제1 폴딩부로부터 제1 덮개부의 절단면과 본체부의 대응하는 절단면과의 사이를 통한 유체의 누출 및 제2 폴딩부로부터 제2 덮개부의 절단면과 본체부의 대응하는 절단면 사이를 통한 유체의 누출을 유효하게 억제할 수 있다.

이상 설명한 바와 같이, 상기 실시 형태에 따르면, 유로 구조체에 있어서 유체를 유통시키는 유로가 일측으로 연장되는 부분과 그 부분의 하류측에서 타측으로 연장되는 부분이 교대로 연결되는 형상을 갖고 있어도, 그 유로 내를 충분하고도 쉽게 청소할 수 있다.

Claims

유체가 도입되는 적어도 1개의 도입로와 그 도입로에 도입된 유체를 유통시키는 유체 유로를 갖는 적어도 1개의 유통로를 구비한 유로 구조체이며,
제1 단부면과 그 제1 단부면에 대하여 반대측을 향하는 제2 단부면을 갖는 본체부와,
상기 본체부의 상기 제1 단부면에 대향하도록 배치되어, 상기 본체부에 대하여 착탈 가능하게 되도록 결합되는 제1 덮개부와,
상기 본체부의 상기 제2 단부면에 대향하도록 배치되어, 상기 본체부에 대하여 착탈 가능하게 되도록 결합되는 제2 덮개부를 구비하고,
상기 유체 유로는, 상기 본체부 내에서 상기 제1 단부면과 상기 제2 단부면 사이에서 그들 양 단부면끼리를 연결하는 방향으로 연장되고, 그 연장되는 방향과 교차하는 방향으로 간격을 두고 배열되는 복수의 직선 유로부와, 상기 복수의 직선 유로부 중 상기 제2 단부면측으로부터 상기 제1 단부면측을 향해 유체가 흐르는 직선 유로부의 하류측 단부와 그 직선 유로부의 하류측에 배치되어서 그 직선 유로부와 인접하는 직선 유로부의 상류측 단부를 연결하는 제1 폴딩부와, 상기 복수의 직선 유로부 중 상기 제1 단부면측으로부터 상기 제2 단부면측을 향해 유체가 흐르는 직선 유로부의 하류측 단부와 그 직선 유로부의 하류측에 배치되어서 그 직선 유로부와 인접하는 직선 유로부의 상류측 단부를 연결하는 제2 폴딩부를 갖고,
상기 제1 폴딩부는 상기 제1 단부면에 있어서 개구되고,
상기 제2 폴딩부는 상기 제2 단부면에 있어서 개구되고,
상기 제1 덮개부는 상기 제1 단부면에 형성된 상기 제1 폴딩부의 개구를 밀봉하도록 그 제1 단부면에 접촉한 상태에서 상기 본체부에 결합되고,
상기 제2 덮개부는 상기 제2 단부면에 형성된 상기 제2 폴딩부의 개구를 밀봉하도록 그 제2 단부면에 접촉한 상태에서 상기 본체부에 결합되고,
상기 제1 덮개부는 상기 제1 단부면에 형성된 상기 제1 폴딩부의 개구를 밀봉하기 위한 제1 밀봉재와, 상기 본체부에 대하여 착탈 가능하게 되도록 결합되고, 상기 본체부에 결합된 상태에서 상기 제1 단부면과의 사이에 상기 제1 밀봉재를 끼워 넣어서 그 제1 밀봉재가 상기 제1 폴딩부의 개구를 밀봉하도록 그 제1 밀봉재를 상기 제1 단부면에 밀착시키는 제1 고정 부재를 갖고,
상기 제2 덮개부는 상기 제2 단부면에 형성된 상기 제2 폴딩부의 개구를 밀봉하기 위한 제2 밀봉재와, 상기 본체부에 대하여 착탈 가능하게 되도록 결합되고, 상기 본체부에 결합된 상태에서 상기 제2 단부면과의 사이에 상기 제2 밀봉재를 끼워 넣어서 그 제2 밀봉재가 상기 제2 폴딩부의 개구를 밀봉하도록 그 제2 밀봉재를 상기 제2 단부면에 밀착시키는 제2 고정 부재를 갖는, 유로 구조체.
제1항에 있어서, 상기 도입로는 당해 도입로에 유체를 도입하기 위한 도입구를 갖고,
상기 도입구는 상기 본체부의 외면의 소정 부위에 있어서 개구되고,
상기 도입로는 상기 본체부 내에서 상기 도입구로부터 직선적으로 연장되어 상기 유체 유로에 연결되어 있는, 유로 구조체.
제1항에 있어서, 상기 도입로는 당해 도입로에 유체를 도입하기 위한 도입구를 갖고,
상기 적어도 1개의 도입로에는, 상기 제1 단부면에 있어서 개구되는 상기 도입구를 갖는 특정 도입로가 포함되고,
상기 유로 구조체는, 복수의 상기 유통로를 구비하고,
상기 제1 덮개부에는, 당해 제1 덮개부가 상기 본체부에 결합된 상태에서 상기 복수의 유통로의 상기 특정 도입로의 상기 도입구에 각각 접속되고, 그 각 도입구로 유체를 분배하여 공급하기 위한 공급 유로가 형성되어 있는, 유로 구조체.
제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 유로 구조체는, 복수의 상기 유통로를 구비하고,
상기 각 유통로의 상기 유체 유로는, 상기 본체부의 상기 제2 단부면에 있어서 개구되고, 당해 유체 유로 내로부터 유체를 도출하기 위한 도출구를 갖고,
상기 제2 덮개부에는, 당해 제2 덮개부가 상기 본체부에 결합된 상태에서 상기 복수의 유통로의 상기 유체 유로의 상기 도출구에 각각 접속되고, 그 각 도출구로부터 도출되는 유체를 합류시켜서 회수하기 위한 회수 유로가 형성되어 있는, 유로 구조체.
제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 유통로는 복수의 상기 도입로를 갖고, 당해 유통로의 상기 유체 유로는 상기 복수의 도입로와 접속되고, 그들 각 도입로에 도입된 각 유체의 합류 유체를 유통시키는, 유로 구조체.
제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 각 직선 유로부는, 상기 제1 단부면과 상기 제2 단부면 사이에서 그들 양 단부면끼리를 연결하는 방향으로 연장되어, 병렬로 배치된 복수의 유로로 이루어지는, 유로 구조체.
삭제
제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 기재된 유로 구조체를 제조하기 위한 방법이며,
상기 유통로를 내부에 갖는 기재를 형성하는 기재 형성 공정과,
상기 각 직선 유로부가 연장되는 방향에 대하여 교차하는 방향으로 연장되고 또한 상기 제1 폴딩부를 지나는 제1 절단선과, 상기 각 직선 유로부가 연장되는 방향에 대하여 교차하는 방향으로 연장되고 또한 상기 제2 폴딩부를 지나는 제2 절단선을 따라 상기 기재를 절단하는 절단 공정과,
상기 절단 공정에 있어서 절단된 상기 기재의 상기 제1 절단선과 상기 제2 절단선 사이의 부위에 의해 상기 본체부를 형성하는 본체부 형성 공정과,
상기 절단 공정에 있어서 절단된 상기 기재의 상기 제1 절단선보다도 외측 부분에 의해 상기 제1 덮개부를 형성하는 제1 덮개부 형성 공정과,
상기 절단 공정에 있어서 절단된 상기 기재의 상기 제2 절단선보다도 외측 부분에 의해 상기 제2 덮개부를 형성하는 제2 덮개부 형성 공정을 구비한, 유로 구조체의 제조 방법.