KR101564011B1

KR101564011B1 - 시트 박리 장치 및 박리 방법

Info

Publication number: KR101564011B1
Application number: KR1020117009551A
Authority: KR
Inventors: 타카히사 요시오카; 타케시 타카노
Original assignee: 린텍 가부시키가이샤
Priority date: 2008-10-22
Filing date: 2009-10-13
Publication date: 2015-10-28
Also published as: CN102187448B; WO2010047243A1; KR20110079818A; JP5149122B2; CN102187448A; US20110198038A1; JP2010103220A

Abstract

시트 박리 장치(10)는, 접착시트(S)가 첩부된 웨이퍼(W)를 유지하는 유지 수단(11)과, 접착시트(S)에 박리용 테이프(PT)를 첩부하는 첩부 수단(16)과, 박리용 테이프(PT)를 통하여 접착시트(S)를 웨이퍼(W)로부터 박리하는 박리 수단(15)을 구비하고 있다. 박리 수단(15)은 박리용 테이프(PT) 및 접착시트(S)를 끼워넣기 가능한 제1 및 제 2 롤러(31, 32)를 갖는다. 제 1 롤러(31)는 박리된 접착시트(S)와, 미박리의 접착시트(S)를 대향시키도록 절곡 가능하게 설치된다. 제 1 롤러(31)는 변위 수단(30)을 통하여 웨이퍼(W)에 이간/접근하는 방향으로 변위되고, 박리용 테이프(PT)나 접착시트(S)와 웨이퍼(W)의 박리각도(α)를 조정 가능하게 설치된다.

Description

시트 박리 장치 및 박리 방법{APPARATUS AND METHOD FOR PEELING SHEET}

본 발명은 시트 박리 장치 및 박리 방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는, 피착체에 첩부된 접착시트에 박리용 테이프를 접착하고, 당해 박리용 테이프를 통하여 접착시트를 박리하는데 적합한 시트 박리 장치 및 박리 방법에 관한 것이다.

반도체 웨이퍼(이하, 단지 「웨이퍼」라고 칭함)의 처리 공정에서는, 웨이퍼는 그 회로면에 보호용의 접착시트가 첩부되고, 이면 연삭 등, 여러 처리가 행해지고, 다이싱 시트를 통하여 링 프레임에 마운트 된 후, 다이싱 전에 이 접착시트는 박리된다. 이러한 접착시트의 박리 장치로서는, 예를 들면, 특허문헌 1에 개시되어 있다. 동 문헌에 있어서, 웨이퍼로부터 접착시트를 박리하는 공정은, 누름 헤드에 의해 박리용 테이프를 접착시트에 눌러 첩부한 후, 박리용 테이프를 걸쳐 돌리는 롤러를 웨이퍼에 대하여 이동함으로써 행해진다.

특허문헌 1: 일본 특개 2007-36111호 공보

그렇지만, 특허문헌 1에서는, 상기 롤러의 이동방향이 수평방향 즉 웨이퍼의 면에 평행으로 된다. 따라서, 접착시트와 웨이퍼와의 박리각도가 항상 일정하게 되어, 웨이퍼의 극박화나 접착시트의 접착성 등의 조건에 따라 박리각도를 변경할 수 없게 된다. 이 때문에, 웨이퍼로부터 접착시트가 박리되지 않아, 이것들이 함께 들어 올려져, 웨이퍼가 파손된다고 하는 문제를 초래한다.

본 발명은 이러한 문제에 주목하여 안출된 것으로, 그 목적은 박리용 테이프를 통하여 접착시트를 박리할 때, 접착시트와 함께 피착체가 들어 올려지는 것을 방지할 수 있는 시트 박리 장치 및 박리 방법을 제공하는 것에 있다.

상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명은 접착시트가 첩부된 피착체를 유지하는 유지 수단과, 상기 접착시트에 박리용 테이프를 첩부하는 첩부 수단과, 상기 박리용 테이프를 통하여 상기 접착시트를 피착체로부터 박리하는 박리 수단을 구비한 시트 박리 장치에 있어서,

상기 박리 수단은, 박리용 테이프 및 접착시트를 끼워넣기 가능한 제 1 및 제 2 롤러를 포함하고, 제 1 롤러는, 박리된 접착시트와, 미박리의 접착시트를 대향시키도록 절곡 가능하게 설치됨과 아울러, 박리용 테이프 및/또는 접착시트와 피착체와의 박리각도를 조정 가능하게 설치된다고 하는 구성을 채용하고 있다.

본 발명에 있어서, 상기 제 1 롤러는, 변위 수단을 통하여 피착체에 이간/접근하는 방향으로 변위 가능하게 설치되고, 이 변위에 의해 상기 박리각도가 조정 가능하게 설치된다고 하는 구성을 채용하는 것이 바람직하다.

또, 본 발명의 박리 방법은, 피착체에 첩부된 접착시트에 박리용 테이프를 첩부하고, 당해 박리용 테이프를 통하여 상기 접착시트를 피착체로부터 박리하는 시트 박리 방법에 있어서, 상기 피착체를 유지 수단으로 유지하는 공정과,

상기 박리용 테이프를 풀어내고, 상기 피착체에 첩부된 접착시트에 당해 박리용 테이프를 첩부하는 공정과,

미박리의 접착시트에 대향시키도록 접착시트를 절곡하고, 박리용 테이프 및/또는 접착시트와 피착체와의 박리각도를 조정한 후, 접착시트를 박리하는 공정을 행한다고 하는 방법을 채용하고 있다.

본 발명에 의하면, 제 1 롤러에 의해, 여러 조건에 따라 접착시트와 피착체와의 박리각도를 용이하게 조정할 수 있다. 이것에 따라 박리시에 접착시트와 피착체가 함께 들어 올려지는 것을 회피할 수 있어, 접착시트의 박리를 확실하고 또한 원활하게 행하는 것이 가능하게 된다.

도 1은 실시형태에 따른 시트 박리 장치의 개략 정면도.
도 2는 도 1로부터 박리용 테이프를 풀어낸 상태의 설명용 정면도.
도 3은 도 2로부터 박리용 테이프를 더욱 풀어낸 준비상태의 설명용 정면도.
도 4는 박리용 테이프를 접착시트에 첩부한 상태의 설명용 정면도.
도 5는 박리용 테이프를 제 1 및 제 2 롤러로 끼워넣은 상태의 설명용 정면도.
도 6(A) 및 (B)는 접착시트의 박리 중의 설명용 부분 정면도.

이하, 본 발명의 실시형태에 대하여 도면을 참조하면서 설명한다.

도 1에는 실시형태에 따른 시트 박리 장치의 개략 정면도가 도시되어 있다.

이 도면에서, 시트 박리 장치(10)는 피착체로서의 웨이퍼(W)를 유지하는 유지 수단(11)과, 띠 형상의 박리용 테이프(PT)를 지지하는 지지 수단(12)과, 박리용 테이프(PT)를 풀어내는 풀어내기 수단(13)과, 박리용 테이프(PT)를 통하여 웨이퍼(W)의 회로면(도 1 중 상면)에 첩부된 접착시트(S)를 박리하는 박리 수단(15)과, 박리용 테이프(PT)를 접착시트(S)의 외측 가장자리측에 첩부하는 첩부 수단(16)을 구비하여 구성되어 있다. 또한, 박리용 테이프(PT)는 감열 접착성의 접착 테이프를 채용하고 있다.

상기 웨이퍼(W)는, 회로면의 반대면(도 1중 하면)측으로부터 다이싱 시트(DS)를 통하여 링 프레임(RF)의 개구 내부에 배치되어 일체화된 상태에서, 유지 수단(11)에 유지되어 있다.

상기 유지 수단(11)은 링 프레임(RF)과 일체화된 웨이퍼(W)를 다이싱 시트(DS)측으로부터 상면으로 흡착하여 유지하는 테이블로 이루어진다.

상기 지지 수단(12)은, 도시하지 않은 프레임에 지지되어 감겨진 박리용 테이프(PT)를 지지하는 지지축(18)과, 이 지지축(18)을 회전시키는 모터(M1)를 구비하고 있다.

상기 풀어내기 수단(13)은 모터(M2)를 통하여 회전구동 가능한 구동 롤러(20)와, 당해 구동 롤러(20) 사이에 박리용 테이프(PT)를 끼워넣는 핀치 롤러(21)와, 대략 수평방향으로 향해진 판 형상의 가이드 부재(23)와, 이 가이드 부재(23) 위에 박리용 테이프(PT)를 누르는 회전 자유로운 프레스 롤러(25)와, 이 프레스 롤러(25)를 승강시키는 승강용 실린더(26)를 구비하여 구성되어 있다. 모터(M2)는 정/역회전 가능한 토크 감응형의 서보모터 등으로 이루어지고, 구동 롤러(20)의 출력이 소정의 토크값이 되도록 제어되어, 박리용 테이프(PT)를 첩부 수단(16)측으로 풀어내는 방향과, 당해 방향과 반대방향 즉 박리용 테이프(PT)를 권취하는 방향으로 회전 가능하게 되어 있다. 여기에 있어서, 모터(M2), 구동 롤러(20) 및 핀치 롤러(21)에 의해 장력 조정 수단이 구성된다.

상기 가이드 부재(23)는 실린더(27)를 통하여 도 1 중 좌우방향으로 이동 가능하게 설치되어 있다. 이것에 의해, 가이드 부재(23)는, 도 2에 도시되는 바와 같이, 프레스 롤러(25)로 눌려지는 박리용 테이프(PT)를 하측에서 지지하고, 그 리드단 영역을 후술하는 척에 의해 파지할 수 있는 위치로 인도하는 것이 가능하게 된다.

상기 박리 수단(15)은, 접착시트(S)에 첩부되는 박리용 테이프(PT)와 유지 수단(11)을 상대적으로 이동시키는 이동 수단(29)과, 유지 수단(11)의 상방에서 변위 수단(30)을 통하여 지지되는 제 1 롤러(31)와, 이 제 1 롤러(31)의 도 1 중 좌측에 설치되고, 도시하지 않은 구동장치를 통하여 동 도면 중 좌우방향으로 이동 가능한 제 2 롤러(32)를 구비하고 있다. 변위 수단(30)은 직동 모터로 이루어지고, 제 1 롤러(31)를 웨이퍼(W)에 이간/접근하는 방향 즉 도 1 중 상하방향으로 변위 가능하게 설치되어 있다.

상기 이동 수단(29)은 유지 수단(11)을 도 1 중 좌우방향으로 이동시키기 위한 직동 모터(34) 및 그 슬라이더(35)와, 첩부 수단(16)의 하방에 설치되고, 박리용 테이프(PT)를 파지 가능한 척(37)을 구비하고 있다. 또한, 척(37)은 도시하지 않은 구동장치를 통하여 도 1 중 좌우방향으로 이동 가능하게 구성되어 있다.

상기 첩부 수단(16)은 직동 모터(39)와, 당해 직동 모터(39)에 의해 상하방향으로 진퇴 가능하게 설치된 가열 수단으로서의 히터(40A)를 갖는 누름 헤드(40)를 구비하고 있다. 이 첩부 수단(16)은, 척(37)에 의해 접착시트(S)의 상면측으로 풀어내진 박리용 테이프(PT)를 누름 헤드(40)로 누르고 가열함으로써 박리용 테이프(PT)를 접착시트(S)에 용착하게 되어 있다.

첩부 수단(16)의 도 1 중 좌측에는, 테이프 절단 수단(42)이 설치되어 있다. 이 테이프 절단 수단(42)은 커터날(43)과, 이 커터날(43)의 하측에 설치되고, 오목부를 상면에 갖는 테이프 받이판(44)과, 커터날(43)을 도 1 중 지면 직교방향으로 이동시키는 절단용 실린더(45)와, 동 커터날(43)을 동 도면 중 상하방향으로 이동시키는 상하용 실린더(46)로 구성되어 있다.

다음에 상기 시트 박리 장치(10)에 의한 접착시트(S)의 박리 방법에 대하여 설명한다.

처음에, 지지축(18)으로부터 박리용 테이프(PT)를 끌어내고, 구동 롤러(20) 및 핀치 롤러(21) 사이를 통과시킨 후, 박리용 테이프(PT)의 리드단측이 가이드 부재(23)의 선단으로부터 튀어나온 상태로 하면서, 프레스 롤러(25)에 의해 가이드 부재(23) 위에 박리용 테이프(PT)를 누른 상태로 한다.

그리고, 도시하지 않은 반송 수단을 통하여, 유지 수단(11)의 상면에 링 프레임(RF)과 일체화된 웨이퍼(W)를 유지시킨다. 이어서, 직동 모터(34) 및 슬라이더(35)를 통하여 유지 수단(11)을 이동시키면서, 도시하지 않은 센서를 통하여 접착시트(S)의 도 1 중 우측 외측 가장자리를 검지하고, 당해 외측 가장자리 위치가 상기 누름 헤드(40)의 직하에서 정지하도록 직동 모터(34)를 제어한다.

이어서, 도 2에 도시하는 바와 같이, 실린더(27)를 통하여 가이드 부재(23)를 동 도면 중 우측 방향으로 진행시킴과 동시에, 모터(M2)를 작동하여 구동 롤러(20)를 회전시켜 소정 길이의 박리용 테이프(PT)를 풀어낸다. 이것에 의해, 척(37) 사이에 가이드 부재(23) 및 박리용 테이프(PT)의 리드단측이 위치한다. 그리고, 프레스 롤러(25)가 상방으로 물러나고, 가이드 부재(23)를 후퇴시키면, 척(37) 사이에 박리용 테이프(PT)가 남겨지고 척(37)에 의해 파지된다(도 3 참조). 그 후, 척(37)을 도 3의 2점 쇄선으로 표시되는 위치로 이동시켜 박리용 테이프(PT)를 끌어내고, 누름 헤드(40)의 하방에서 접착시트(S)에 대향하도록 박리용 테이프(PT)를 위치시킨다. 이때, 박리용 테이프(PT)의 리드단측 영역이 다이싱 시트(DS)의 상방에 겹치도록 위치한다.

다음에 도 4에 도시되는 바와 같이, 히터(40A)에 의해 가열된 누름 헤드(40)를 직동 모터(39)에 의해 하방으로 이동시키고, 박리용 테이프(PT)를 접착시트(S)에 가열하여 용착한다. 그 후, 프레스 롤러(25)에 의해 가이드 부재(23) 위에 박리용 테이프(PT)를 누르고, 실린더(45, 46)를 작동함으로써 테이프 받이판(44) 위에서 커터날(43)에 의해 박리용 테이프(PT)가 절단된다.

여기에서, 척(37)에 의해 박리용 테이프(PT)가 파지되고 나서, 박리용 테이프(PT)가 절단될 때까지의 동안, 모터(M2)에 의한 구동 롤러(20)의 회전에 의해, 척(37)과 구동 롤러(20) 사이에 풀어내진 박리용 테이프(PT)의 장력이 소정값으로 유지된다. 즉, 도 3으로부터 도 4에 도시되는 상태에서, 박리용 테이프(PT)에 느슨해짐이 생기지 않고, 또한, 척(37)에 의한 박리용 테이프(PT)의 파지가 해제되지 않는 것과 같은 장력이 되도록, 모터(M2)를 통하여 제어된다.

그 후, 도 5에 도시되는 바와 같이, 제 2 롤러(32)를 동 도면 중 우측으로 이동하고 제 1 롤러(31)와 함께 박리용 테이프(PT)를 끼운다. 다음에 변위 수단(30)을 통하여 제 1 롤러(31)를 상하방향으로 변위하고, 당해 제 1 롤러(31)와 웨이퍼(W)와의 거리가 조정된다. 이어서, 접착시트(S)에 첩부된 박리용 테이프(PT)와 유지 수단(11)이 반대방향으로 상대적으로 이동하도록, 직동 모터(34) 등을 통하여, 척(37) 및 유지 수단(11)을 이동시킨다. 이것에 의해, 박리용 테이프(PT)가 웨이퍼(W) 위의 접착시트(S)와 대향하도록 절곡되고, 상기 상대이동을 더 행함으로써 도 6(A) 및 (B)에 도시하는 바와 같이, 박리된 접착시트(S)와, 미박리의 접착시트(S)가 대향하도록 박리각도(α)로 절곡되어 박리된다.

여기에서, 상기 변위 수단(30)에 의한 제 1 롤러(31)를 변위시킬 때, 제 1 롤러(31)가 웨이퍼(W)에 첩부된 접착시트(S)에 접근할수록, 박리각도(α)가 커진다. 도 6(A)에서는, 제 1 롤러(31)의 변위량은 웨이퍼(W)에 대한 제 1 롤러(31)의 최접근부(도면 중 하부)를 절곡 위치에 인접시키고, 또한, 박리된 접착시트(S)를 제 1 롤러(31)로 웨이퍼(W)측으로 누르도록 설정된다. 이것에 의해, 박리 직전의 미박리의 접착시트(S)와, 박리 직후의 접착시트(S)가 미소한 간격을 두고 대향하여, 박리각도(α)가 약 180°가 되도록 절곡된 상태에서 접착시트(S)가 박리된다. 또한 도 6(B)에 도시되는 바와 같이, 동 도(A)에 비해 웨이퍼(W)로부터 제 1 롤러(31)의 거리를 크게 하면, 상기 박리각도(α)를 작게 설정할 수 있다.

접착시트(S)의 박리를 끝내면, 도시하지 않은 반송 수단에 의해 웨이퍼(W)가 다음 공정으로 반송되고, 접착시트(S)와 그것에 첩부된 박리용 테이프(PT)는 도시하지 않은 회수 수단에 의해 회수되고, 그 후, 유지 수단(11), 제 1, 제 2 롤러(31, 32) 및 척(37)이 초기 위치로 복귀한 후, 상기와 동일한 동작이 반복되게 된다.

따라서, 이러한 실시형태에 의하면, 박리각도(α)를 약 180°로 하고, 제 1 롤러(31)에서 접착시트(S)의 절곡 가장자리가 웨이퍼(W)를 하방으로 누르면서 박리할 수 있으므로, 웨이퍼(W)가 접착시트(S)로부터 박리되지 않고 제 1 롤러(31)측으로 감겨 올라가는 것을 방지 가능하게 된다. 이것에 의해, 접착시트(S)의 박리시에 웨이퍼(W)가 파손되는 것을 효과적으로 방지할 수 있다. 또, 변위 수단(30)에 의한 제 1 롤러(31)의 변위량에 따라 박리각도(α)를 조정할 수 있으므로, 여러 조건에 따라 박리각도(α)의 크기를 조정하는 것이 가능하게 된다.

이상과 같이, 본 발명을 실시하기 위한 최선의 구성, 방법 등은, 상기 기재에서 개시되어 있지만, 본 발명은, 이것에 한정되는 것은 아니다.

즉, 본 발명은, 주로 특정 실시형태에 관하여 특별히 도시, 설명되어 있지만, 본 발명의 기술적 사상 및 원하는 범위로부터 일탈하지 않고, 이상에서 설명한 실시형태에 대하여, 형상, 위치 혹은 배치 등에 관하여, 필요에 따라 당업자가 여러 변경을 가할 수 있는 것이다.

따라서, 상기에 개시한 형상 등을 한정한 기재는, 본 발명의 이해를 쉽게 하기 위하여 예시적으로 기재한 것으로, 본 발명을 한정하는 것은 아니므로, 그것들의 형상 등의 한정의 일부 혹은 전부의 한정을 벗어난 부재의 명칭에서의 기재는 본 발명에 포함되는 것이다.

예를 들면, 변위 수단(30) 및 각 직동 모터(34, 39)는 에어실린더, 유압실린더 등의 구동 수단으로 대신해도 된다.

또, 본 발명에 있어서의 피착체로서는, 반도체 웨이퍼에 한정되는 것은 아니고, 유리판, 강판, 또는, 수지판 등, 그 밖의 피착체도 대상으로 할 수 있고, 반도체 웨이퍼는 실리콘 웨이퍼나 화합물 웨이퍼이어도 된다.

또한 박리용 테이프(PT)는 감열 접착성의 접착 테이프 이외에 감압 접착성의 접착 테이프를 채용해도 된다.

또, 박리각도(α)는 180°에 한정되지 않고, 적당히 변경이 가능하다.

또한 접착시트(S)의 박리동작은, 척(37)의 동작을 정지시키고, 유지 수단(11)만을 이동시켜도 되고, 반대로 직동 모터(34)에 의한 유지 수단(11)의 동작을 정지시키고, 척(37)만을 이동시켜도 된다.

10 시트 박리 장치
11 유지 수단
15 박리 수단
16 첩부 수단
30 변위 수단
31 제 1 롤러
32 제 2 롤러
PT 박리용 테이프
S 접착시트
W 반도체 웨이퍼(피착체)
α 박리각도

Claims

접착시트가 첩부된 피착체를 유지하는 유지 수단과, 상기 접착시트에 박리용 테이프를 첩부하는 첩부 수단과, 상기 박리용 테이프를 통하여 상기 접착시트를 피착체로부터 박리하는 박리 수단을 구비한 시트 박리 장치에 있어서,
상기 박리 수단은, 변위 수단을 통하여 이동 가능하게 설치된 제 1 롤러 및 구동 장치를 통하여 이동 가능하게 설치된 제 2 롤러를 포함하고, 상기 제 1 롤러는 구동 장치를 통하여 상기 제 2 롤러로 접착시트를 사이에 끼우고, 상기 변위 순단을 통하여 박리된 접착시트와, 미박리의 접착시트를 대향시키도록 절곡 가능하게 설치됨과 아울러, 박리용 테이프 및 박리된 접착시트 중 적어도 하나와 피착체와의 박리각도를 조정 가능하게 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 시트 박리 장치.
제 1 항에 기재된 시트 박리 장치를 사용하여 피착체에 첩부된 접착시트에 박리용 테이프를 첩부하고, 당해 박리용 테이프를 통하여 상기 접착시트를 피착체로부터 박리하는 시트 박리 방법에 있어서,
상기 피착체를 유지 수단으로 유지하는 공정과,
상기 박리용 테이프를 풀어내고, 상기 피착체에 첩부된 접착시트에 당해 박리용 테이프를 첩부하는 공정과,
구동 장치를 통하여 제 2 롤러를 변위시켜, 제 1 롤러와 당해 제 2 롤러로 접착시트를 사이에 끼우는 공정과,
변위 수단을 통하여 제 1 롤러를 변위시켜, 미박리의 접착시트에 대향시키도록 접착시트를 절곡하고, 박리용 테이프 및 박리된 접착시트 중 적어도 하나와 피착체와의 박리각도를 조정한 후, 접착시트를 박리하는 공정을 행하는 것을 특징으로 하는 시트 박리 방법.
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