KR101549880B1 - 턴테이블의 전원 및 진공 라인 배치 구조가 개선된 인덱스 유니트 - Google Patents

턴테이블의 전원 및 진공 라인 배치 구조가 개선된 인덱스 유니트 Download PDF

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Abstract

본 발명은 인덱스 유니트에 관한 것으로, 특히 턴테이블에 공급되는 전원 라인과 피검사체를 픽업하기 위한 진공 라인을 턴테이블 회전과 연동할 수 있는 전원 및 진공 라인 배치가 개선된 턴테이블을 포함하는 인덱스 유니트에 관한 것이다.
본 발명에 따른 턴테이블의 전원 및 진공 라인 배치 구조가 개선된 인덱스 유니트는, 원주방향으로 등간격 배치되어 회전하는 다수개의 노즐과, 상기 노즐과 진공호스에 의해 연결된 다수개의 솔레노이드 밸브와, 상기 솔레노이드 밸브를 지지하는 포스트와, 상기 포스트와 중공형 플랜지를 매개로 연결되는 모터에 의해 구동되는 중공형 롤러 드라이브와, 상기 중공형 롤러 드라이브의 상단측으로 연결되는 중공형 조인 블록과, 상기 조인 블록의 상단으로 연결되는 로터리 조인트와, 상기 로터리 조인트의 상단으로 전원 입력단자는 고정되고 전원 출력단자는 회전 가능하게 연결되는 슬립 링과, 상기 전원 출력단자와 연결되어 상기 로터리 조인트, 조인 블록, 롤러 드라이브 및 플랜지의 내부를 관통하여 상기 솔레노이드 밸브 각각에 분기되어 연결되는 전원 라인과, 상기 로터리 조인트 외측의 커넥터에 연결되어 상기 조인 블록, 롤러 드라이브 및 플랜지의 내부를 관통하여 상기 솔레노이드 밸브 각각에 연결되는 진공 라인을 포함하여 이루어진다.

Description

턴테이블의 전원 및 진공 라인 배치 구조가 개선된 인덱스 유니트{INDEX UNIT WHICH IS IMPROVED POWER AND VACUUM LINE ARRANGING STRUCTURE OF TURNTABLE DEVICE}
본 발명은 인덱스 유니트에 관한 것으로, 특히 턴테이블에 공급되는 전원 라인과 피검사체를 픽업하기 위한 진공 라인을 턴테이블 회전과 연동할 수 있는 전원 및 진공 라인 배치가 개선된 턴테이블을 포함하는 인덱스 유니트에 관한 것이다.
인덱스 유니트는 피검사체의 검사 장치의 일부분으로서, 피검사체의 공급 유니트를 통해 피검사체를 정렬하고 로딩하기 위한 장치이다.
검사 장치는 피검사체가 정렬되고 로딩된 상태에서 검사를 위해 검사 유니트로 피검사체를 반송하는 언로딩 유니트를 더 포함한다.
이러한 검사 장치는 피검사체로서 반도체, 칩 및 소자 등 상대적으로 부피가 작은 피검사체를 대상으로 한다.
인덱스 유니트는 턴테이블을 포함하며, 턴테이블은 각각 등간격으로 이격된 피검사체 로딩 포켓을 갖으며, 턴테이블의 중심점을 기준으로 로딩 포켓들이 회전하면서 피검사체가 로딩되고 언로딩된다.
피검사체는 상대적으로 부피가 작으므로, 로딩 및 언로딩 과정은 진공 라인에 의한 흡착방식이 채택된다.
또한, 진공에 의한 로딩 및 언로딩 과정을 수행하기 위해 각각의 로딩 포켓에는 진공 노즐부가 각각 마련되며, 진공 노즐부로 공기가 유입되거나 차단되도록 솔레노이드 밸브가 각각 장착된다.
솔레노이드 밸브로는 전원 라인이 연결되고, 진공 노즐부로는 진공 라인이 각각 연결되며 다수개의 전원 라인과 진공 라인이 턴테이블의 회전과 함께 꼬이지 않도록 로타리 조인트를 매개로 공급된다.
하지만, 로딩 포켓의 수가 많아질수록 전원 라인과 진공 라인의 배치가 어렵고, 외부로 노출되어 미관상으로도 보기가 좋지 않으며 외부로 노출되어 있어 절단되거나 파손되는 사고가 빈번하게 발생하는 문제점을 갖는다.
대한민국 등록특허공보 10-1308934에는 '압전소자 패키지의 리크 검사용 패키지의 정렬, 공급 및 회수장치'가 개시되어 있다. 이는 본 출원인이 출원하여 등록을 받은 특허로서 피검사체가 압전소자 패키지이고, 검사 대상은 리크 검사를 수행하지만 본원발명과 동일한 검사 메커니즘을 갖는다.
대한민국 등록특허공보 10-1308934에는 턴테이블을 갖는 인덱스 유니트 부분이 개시되어 있고, 턴테이블에는 전원 및 진공 라인의 회전 꼬임을 방지하기 위해 로터리 조인트가 기술되어 있지만, 전원 라인 및 진공 라인의 배치 구조에 대해서는 상세하게 표현되어 있지 않다.
대한민국 등록특허공보 10-1308934
본 발명이 해결하려는 과제는, 피검사체의 검사장치에 포함되는 턴테이블 방식의 인덱스 유니트에 있어서, 전원라인과 진공라인의 공급 배치 구조를 개선한 인덱스 유니트를 제공하고자 한다.
또한, 전원라인은 솔레노이드 밸브로 연결되고, 진공라인은 솔레노이드 밸브를 매개로 각각의 진공 노즐과 연결되며, 다수개의 전원라인과 진공라인은 로터리 조인트를 매개로 회전 연동하도록 하고 턴테이블 내부로 배치되도록 함으로써, 라인의 노출이 없도록 하고 노출에 의한 파손이나 단선을 최소화할 수 있는 인덱스 유니트를 제공하고자 한다.
상술한 과제를 해결하기 위한 본 발명에 따른 턴테이블의 전원 및 진공 라인 배치 구조가 개선된 인덱스 유니트는, 원주방향으로 등간격 배치되어 회전하는 다수개의 노즐과, 상기 노즐과 진공호스에 의해 연결된 다수개의 솔레노이드 밸브와, 상기 솔레노이드 밸브를 지지하는 포스트와, 상기 포스트와 중공형 플랜지를 매개로 연결되는 모터에 의해 구동되는 중공형 롤러 드라이브와, 상기 중공형 롤러 드라이브의 상단측으로 연결되는 중공형 조인 블록과, 상기 조인 블록의 상단으로 연결되는 로터리 조인트와, 상기 로터리 조인트의 상단으로 전원 입력단자는 고정되고 전원 출력단자는 회전 가능하게 연결되는 슬립 링과, 상기 전원 출력단자와 연결되어 상기 로터리 조인트, 조인 블록, 롤러 드라이브 및 플랜지의 내부를 관통하여 상기 솔레노이드 밸브 각각에 분기되어 연결되는 전원 라인과, 상기 로터리 조인트 외측의 커넥터에 연결되어 상기 조인 블록, 롤러 드라이브 및 플랜지의 내부를 관통하여 상기 솔레노이드 밸브 각각에 연결되는 진공 라인을 포함하여 이루어진다.
여기서, 상기 슬립 링은 홀더에 안착되며, 상기 홀더는 상기 로터리 조인트와 연결되도록 구현될 수 있다.
여기서, 상기 진공 라인의 수, 상기 노즐의 수 및 상기 솔레노이드 밸브의 입출력단 수는 동일하게 이루어지는 것이 바람직하다.
여기서, 상기 노즐 각각은 유성기어들 각각의 중심부에 고정되며, 상기 유성기어들은 태양기어와 치합되어 회전되도록 구현될 수 있다.
상술한 본 발명의 구성에 따르면, 피검사체의 검사장치에 포함되는 턴테이블 방식의 인덱스 유니트에 있어서, 전원라인은 솔레노이드 밸브로 연결되고, 진공라인은 솔레노이드 밸브를 매개로 각각의 진공 노즐과 연결되며, 다수개의 전원라인과 진공라인은 로터리 조인트를 매개로 회전 연동하도록 하고 턴테이블 내부로 배치되도록 함으로써, 라인의 노출이 없도록 하고 노출에 의한 파손이나 단선을 최소화할 수 있도록 한다.
도 1은 본 발명에 따른 인덱스 유니트의 평면도이다.
도 2는 본 발명에 따른 인덱스 유니트의 정면도이다.
도 3은 본 발명에 따른 인덱스 유니트의 턴테이블의 전원 및 진공 라인 배치 구조이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 턴테이블의 전원 및 진공 라인 배치 구조가 개선된 인덱스 유니트의 구조 및 작용효과를 설명한다.
도 1은 본 발명에 따른 인덱스 유니트의 평면도이며, 도 2는 본 발명에 따른 인덱스 유니트의 정면도이다.
본 발명의 인덱스 유니트는 피검사체(이하 '워크'라 함)를 시험 또는 검사하기 위한 검사 장치의 일부분으로서, 검사 장치는 워크를 공급하는 파트 피더부, 파트 피더로부터 워크를 하나씩 픽업하는 인덱스 유니트가 형성되고, 인덱스 유니트에 의해 픽업된 워크를 하나씩 풋 다운시켜 검사를 위해 워크가 정렬되는 워크 포켓이 위치되고, 정렬된 워크 포켓을 검사를 위해 이동시키는 X축 레일이 형성되며, X축 레일 상에는 이동된 워크 포켓의 워크를 검사하기 위한 검사 유니트가 형성되는 구조를 갖을 수 있다.
따라서, 본 발명의 인덱스 유니트는 워크를 정렬하기 위한 장치로서, 워크 공급부와 워크 검사 유니트 사이에 위치된다.
또한 본 발명의 인덱스 유니트는 턴테이블을 구비하여 다수개의 워크가 원주방향으로 회전되면서 정렬될 수 있는 구조를 갖는다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 본 발명에 따른 인덱스 유니트(100)는 외곽으로 일정한 형상을 갖는 프레임(111)과, 프레임(111)을 지지하는 메인 포스트(111a)에 의해 외곽이 이루어진다.
프레임(111) 내부로는 턴테이블(101)이 위치된다.
턴테이블(101)의 중심에는 로터리 조인트(117)가 마련되고, 모터(112)에 회전구동력에 의해 회전하는 태양기어(130)와 유성기어(113)가 치합되어 유성기어(113)가 태양기어(114)를 기준으로 회전하는 구조를 갖는다.
유성기어(113)는 다수개가 원주 방향으로 형성되며, 유성기어(113)의 중심에는 유성기어(113)의 회전과 연동되는 노즐(126)이 각각 장착된다.
노즐(126)은 진공 호스(127)에 각각 연결되고 진공의 공급과 차단에 따라 워크를 픽업하거나 풋 다운시키게 된다.
상단부에는 슬립 링(118)이 위치되며, 슬립 링(118)은 전원라인과 전기적으로 연결될 수 있는 매개체가 된다.
슬립 링(118)의 하단에는 로터리 조인트(117)가 형성되며, 로터리 조인트(117) 아래에는 조인 블록(121)이 연결되고, 조인 블록(121)은 롤러 드라이브 고정 플레이트(120)와 연결된다.
롤러 드라이브 고정 플레이트(120)는 하부로 롤러 드라이브(119)를 고정시키며, 롤러 드라이브(119) 일측면으로는 모터(112)가 연결된다.
모터(112)와 롤러 드라이브(119)는 중공형 모터로서 일체로 형성된 것을 사용할 수 있다.
롤러 드라이브(119)의 하부에는 플랜지(122)를 매개로 하여 포스트(123)의 상단과 연결되고, 포스트(123)의 하단은 인덱스 플레이트(129)와 포스트 고정 플레이트(128)를 매개로 연결된다.
태양기어(114)는 기어 포스트(130)를 매개로 상부측의 프레임(111)과 연결되어 고정되며, 태양기어(114)의 외주연에 유성기어(113)들이 맞물리게 된다.
유성기어(113)들 각각의 중심에는 진공을 위한 노즐(126)들이 각가 배치되며, 노즐(126)들은 진공 호스(127)에 의해 솔레노이드 밸브(125)와 연결된다.
솔레노이드 밸브(125)는 솔밸브 고정 플레이트(124)에 의해 고정되고, 솔밸브 고정 플레이트(124)는 포스트(123)에 고정된다.
턴테이블(101)은 다수개의 유성기어(113)들이 태양기어(114)를 기준으로 회전할 수 있는 구조를 가지며, 유성기어(113)의 수와 노즐(126) 및 솔레노이드 밸브(125)의 수는 동일하게 형성된다.
솔레노이드 밸브(125)는 상하 한 쌍으로 이루어질 수 있으며, 상측의 솔레노이드 밸브는 진공 흡입용, 하측의 솔레노이드 밸브는 진공 차단용으로 각각 사용될 수 있다.
16개의 노즐(126)들은 진공 호스(127)에 의해 각각 연결되는 동시에 상하로 업다운이 가능하도록 업다운 유니트(131)에 의해 연결되고, 업다운 유니트(131)는 모터(115, 116)에 연결되어 상하로 각각 업다운 개별 구동이 가능하게 연결된다.
업다운 유니트(131)는 모터(115, 116) 및 감속기에 의해 동력을 전달받아 원형캠이 회전하고 원형캠의 회전에 연동되어 캠플로워가 상하 이동되고, 캠플로워에 위치된 노즐(126)을 상하로 업다운 되도록 구현되며, 16개의 노즐(126) 각각은 회전에 따라 픽업 노즐 및 풋 다운 노즐에 위치될 때마다 각각 별개로 제어될 수 있다.
도 3은 본 발명에 따른 인덱스 유니트의 턴테이블의 전원 및 진공 라인 배치 구조이다.
모터(112)의 회전구동력에 의해 롤러 드라이브(119)가 회전하고, 롤러 드라이브(119)의 상측부로는 조인 블록(121)를 매개로 연결된 로터리 조인트(117)가 회전하게 되며 로터리 조인트(117)는 슬립 링(118)과 스페이서(118b)를 매개로 하여 간섭없이 회전을 하게 된다. 하측부로는 플랜지(122) 및 포스트(123)를 매개로 인덱스 플레이트(129)가 회전되고, 유성기어(113)는 태양기어(114)를 기준으로 연동되어 회전을 하게 된다.
슬립 링(118)은 홀더(118a) 내에 장착되고 슬립 링(118)과 홀더(118a) 사이에는 스페이서(118b)가 매개되고, 스페이서(118b)는 전원 입력단자(118c)와 전원 출력단자(118d)를 서로 분리시켜 홀더(118a)와 연결되는 로터리 조인트(117)에 의해 홀더(118a) 및 전원 출력단자(118d) 측이 간섭없이 회전하도록 이루어진다.
슬립 링(118)의 일단측은 전원 입력단자(118c)가 마련되고, 타단측은 전원 출력단자(118d)가 마련된다.
전원 출력단자(118d)와 연결된 전원 라인(201)는 로터리 조인트(117)의 내측을 관통하여 조인 블록(121), 롤러 드라이브(119), 플랜지(122)를 관통하여 분기되어 각각 솔레노이드 밸브(125)와 연결된다.
로터리 조인트(117)의 출력단자 각각에는 진공라인(202)이 연결되고, 로터리 조인트(117)의 외주연을 타고 각각의 진공라인(202)는 조인 블록(121), 롤러 드라이브(119), 플랜지(122)를 관통하여 분기되어 각각 솔레노이드 밸브(125)와 연결된다. 솔레노이드 밸브(125)의 출력단으로부터 진공 라인(202)은 다시 노즐(126)로 연결된다.
전원 라인(201)는 슬립 링(118)을 매개로 하여, 중공형 모터(112), 조인 블록(121) 및 플랜지(122)를 형성하여 내부 중심으로 배치하여 각각 솔레노이드 밸브(125)에 연결되도록 하고, 진공 라인(202)은 로터리 조인트(117)로부터 중공형 모터(112), 조인 블록(121) 및 플랜지(122)를 통해 내부 중심으로 인입시켜 각각 솔레노이드 밸브(125)의 입력단에 연결시키도록 한다.
이러한 전원 라인(201)과 진공 라인(202)의 공급 라인 개선을 위해 본 발명에서는 중공형 롤러 드라이브(119)를 중심에 형성시키고, 롤러 드라이브(119)와 로터리 조인트(117) 사이를 중공형 조인 블록(121)을 형성시키며, 롤러 드라이브(119)와 솔레노이드 밸브(125)가 고정되는 포스트(123)와의 사이에 중공형 플랜지(122)를 형성시키게 된다.
모터(112) 및 롤러 드라이브(119)의 회전 구동력에 따라 이와 연동되어 상측으로는 조인 블록(121), 로터리 조인트(117) 및 슬립 링(121)이 회전하고, 하측으로는 플랜지(122), 포스트(123) 및 인덱스 플레이트(129)가 회전하게 되며, 중심에 배치되는 전원 라인(201)과 진공 라인(202)은 간섭이나 꼬임 없이 연동되어 회전하는 구조를 가지게 된다.
전원 라인(201)과 진공 라인(202)은 각각 모두 내부 중심에 배치되는 관계로 외부로 노출되지 않아 장비 관리가 용이하고, 외부 미관이 양호하며, 노출에 의한 파손이나 절단 등의 문제가 없게 된다.
이상 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 설명하였지만, 상술한 본 발명의 기술적 구성은 본 발명이 속하는 기술 분야의 당업자가 본 발명의 그 기술적 사상이나 필수적 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적인 것이 아닌 것으로서 이해되어야 하고, 본 발명의 범위는 상기 상세한 설명보다는 후술하는 특허청구범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 등가 개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.
100 : 인덱스 유니트 101 : 턴테이블
111 : 프레임 111a : 메인 포스트
112, 115, 116 : 모터 113 : 유성기어
114 : 태양기어 117 : 로터리 조인트
118 : 슬립 링 118a : 홀더
118b : 스페이서 118c : 전원 입력단자
118d : 전원 출력단자 119 : 롤러 드라이브
120 : 롤러 드라이브 고정 플레이트 121 : 조인 블록
122 : 플랜지 123 : 포스트
124 : 솔밸브 고정 플레이트 125 : 솔레노이드 밸브
126 : 노즐 127 : 진공 호스
128 : 포스트 고정 플레이트 129 : 인덱스 플레이트
130 : 기어 포스트 131 : 업다운 유니트
201 : 전원 라인 202 : 진공 라인

Claims (4)

  1. 원주방향으로 등간격 배치되어 회전하는 다수개의 노즐과,
    상기 노즐과 진공호스에 의해 연결된 다수개의 솔레노이드 밸브와,
    상기 솔레노이드 밸브를 지지하는 포스트와,
    상기 포스트와 중공형 플랜지를 매개로 연결되는 모터에 의해 구동되는 중공형 롤러 드라이브와,
    상기 중공형 롤러 드라이브의 상단측으로 연결되는 중공형 조인 블록과,
    상기 조인 블록의 상단으로 연결되는 로터리 조인트와,
    상기 로터리 조인트의 상단으로 전원 입력단자는 고정되고 전원 출력단자는 회전 가능하게 연결되는 슬립 링과,
    상기 전원 출력단자와 연결되어 상기 로터리 조인트, 조인 블록, 롤러 드라이브 및 플랜지의 내부를 관통하여 상기 솔레노이드 밸브 각각에 분기되어 연결되는 전원 라인과,
    상기 로터리 조인트 외측의 커넥터에 연결되어 상기 조인 블록, 롤러 드라이브 및 플랜지의 내부를 관통하여 상기 솔레노이드 밸브 각각에 연결되는 진공 라인을 포함하여 이루어지고,
    상기 슬립 링은 홀더에 안착되며, 상기 홀더는 상기 로터리 조인트와 연결되는, 턴테이블의 전원 및 진공 라인 배치 구조가 개선된 인덱스 유니트.
  2. 삭제
  3. 제1항에 있어서,
    상기 진공 라인의 수, 상기 노즐의 수 및 상기 솔레노이드 밸브의 입출력단 수는 동일하게 이루어지는, 턴테이블의 전원 및 진공 라인 배치 구조가 개선된 인덱스 유니트.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 노즐 각각은 유성기어들 각각의 중심부에 고정되며, 상기 유성기어들은 태양기어와 치합되어 회전되는, 턴테이블의 전원 및 진공 라인 배치 구조가 개선된 인덱스 유니트.
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