KR101535675B1 - 착색층 형성용 감방사선성 조성물, 컬러 필터 및 컬러 액정표시 소자 - Google Patents

착색층 형성용 감방사선성 조성물, 컬러 필터 및 컬러 액정표시 소자 Download PDF

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Abstract

본 발명은 고안료 농도에서도 잔사나 바탕 오염이 발생하지 않는 컬러 필터를 높은 제품 수율로 형성할 수 있고, 또한 충분한 표면 평활성을 갖는 패턴을 형성할 수 있는 착색층 형성용 감방사선성 수지 조성물 등을 제공한다.
본 발명에 따르면, (A) 적색 안료, 녹색 안료 및 청색 안료로 이루어지는 군으로부터 선택되는 1종 이상의 안료, (B) 분산제, (C) 알칼리 가용성 수지, (D) 하기 화학식 1로 표시되는 다관능성 단량체 및 (E) 광중합 개시제를 함유하는 착색층 형성용 감방사선성 수지 조성물이며, (A) 안료의 함유량이 전체 고형분 중 30 내지 60 중량％인 것을 특징으로 하는 착색층 형성용 감방사선성 수지 조성물 및 해당 조성물로부터 형성된 컬러 필터를 제공한다.
<화학식 1>
Figure 112008069225455-pat00001
(식 중, R1은 수소 원자 또는 메틸기를 나타내고, R2는 메틸렌기, 탄소수 2 내지 8의 직쇄 또는 분지쇄의 알킬렌기, 직쇄 또는 분지쇄의 알케닐렌기, 치환기를 가질 수 있는 페닐렌기, 치환기를 가질 수 있는 시클로헥실렌기 및 치환기를 가질 수 있는 시클로헥실렌기의 일부가 불포화 결합인 기로 이루어지는 군으로부터 선택되는 기를 나타냄)
착색층 형성용 감방사선성 조성물, 컬러 필터, 컬러 액정 표시 소자

Description

착색층 형성용 감방사선성 조성물, 컬러 필터 및 컬러 액정 표시 소자{RADIATION SENSITIVE COMPOSITION FOR FORMING A COLORED LAYER, COLOR FILTER AND COLOR LIQUID CRYSTAL DISPLAY DEVICE}
본 발명은 착색층 형성용 감방사선성 조성물, 컬러 필터 및 컬러 액정 표시 소자에 관한 것이고, 보다 상세하게는 투과형 또는 반사형의 컬러 액정 표시 장치, 컬러 촬상관 소자 등에 이용되는 컬러 필터에 유용한 착색층의 형성에 이용되는 감방사선성 조성물, 해당 감방사선성 조성물을 이용하여 형성된 착색층을 구비하는 컬러 필터, 및 해당 컬러 필터를 구비하는 컬러 액정 표시 소자에 관한 것이다.
착색 감방사선성 수지 조성물을 이용하여 컬러 필터를 형성하는 방법으로는 기판 상 또는 미리 원하는 패턴의 차광층을 형성한 기판 상에 착색 감방사선 수지 조성물의 도막을 형성하여, 원하는 패턴 형상을 갖는 포토마스크를 통해 방사선을 조사(이하, "노광"이라 함)하고, 알칼리 현상액에 의해 현상하여 미노광부를 용해 제거한 후, 클린 오븐이나 핫 플레이트를 이용하여 포스트 베이킹함으로써, 각 색의 화소를 얻는 방법(예를 들면, 하기 특허 문헌 1, 2 참조)이 알려져 있다.
최근 컬러 액정 표시 장치의 고색 순도화에 따라 착색 감방사선성 조성물에 포함되는 안료의 농도가 점점 더 높아지는 경향이 있기 때문에, 현상시에 미노광부의 기판 상 또는 차광층 상에 잔사나 바탕 오염이 발생하는 문제가 현저해지고 있다. 또한, 착색 감방사선성 조성물에 포함되는 안료의 농도가 높아지면, 도막의 알칼리 현상액에 대한 용해성이 현저히 저하되는 경향이 있다. 이 때문에, 샤워 현상법에 의한 현상시에 일단 박리 제거된 미노광부의 도막이 현상조 중에서 완전히 용해되지 않아 부유하고, 컬러 필터 상에 이물질로서 재부착되어 제품 수율이 저하되는 큰 요인이 되고 있다.
또한, 컬러 액정 표시 장치의 고콘트라스트화에 따라 착색 감방사선성 조성물에 포함되는 안료가 점점 더 미립화되는 경향이 있지만, 미립화된 안료를 안정적으로 분산시키기 위해서는 아민가가 높은 분산제를 이용하는 것이 유효하다는 것이 판명되고 있다. 그러나 아민가가 높은 분산제를 이용하면 알칼리 현상액에 의한 현상 자체가 곤란해지기 때문에, 실용화에는 이르지 않았다.
따라서, 이러한 최근의 고색 순도화 및 고콘트라스트화의 요구에 따라 발생하는 여러 가지 문제에 대처할 수 있는 컬러 필터용 감방사선 수지 조성물이 강하게 요구되고 있다.
한편, 현상시에 미노광부의 기판 상 또는 차광층 상에 잔사나 바탕 오염이 발생하는 문제에 대해서는, 예를 들면 하기 특허 문헌 3에 개시되어 있는 바와 같이 카르복실기를 함유하는 다관능성 단량체를 사용하는 것이 효과적인 것이 알려져 있다. 그러나 특허 문헌 3에 개시되어 있는 펜타에리트리톨트리아크릴레이트와 숙신산의 유리 카르복실기 함유 모노에스테르화물에서는 안료의 함유량이 전체 고형 분 중 30 중량％ 이상이 된 고안료 농도의 착색 감방사선성 조성물에 적용하면, 피막의 경화 부족에 의해 패턴의 표면 평활성이 현저히 손상되고, 그 결과 액정의 배향 불량 등이 발생한다는 문제가 있었다.
또한, 예를 들면 하기 특허 문헌 4에 개시되어 있는 바와 같이 1개 이상의 산성 관능기와 3개 이상의 광경화성 관능기를 갖는 광경화성 화합물을 함유시킴으로써, 착색 패턴용 경화성 수지 조성물의 현상성 등이 개선되는 것이 알려져 있다. 그러나 안료의 함유량이 전체 고형분 중 30 중량％ 이상이 되는 고안료 농도의 적색, 녹색 또는 청색 패턴용 수지 조성물이 갖는 상기 여러 가지 문제에 대해서는 어떤식으로든 유효한 해결 수단이 개시되어 있지 않다.
따라서, 최근 컬러 필터 제조시의 현상성이나 제품 수율에 관한 여러 가지 요구를 만족시키고, 패턴의 표면 평활성도 양호하며, 개선된 착색 감방사선성 수지 조성물의 개발이 강하게 요구되고 있다.
[특허 문헌 1] 일본 특허 공개 (평)2-144502호 공보
[특허 문헌 2] 일본 특허 공개 (평)3-53201호 공보
[특허 문헌 3] 일본 특허 공개 (평)10-332929호 공보
[특허 문헌 4] 일본 특허 공개 제2004-287230호 공보
본 발명의 과제는 고안료 농도에서도 잔사나 바탕 오염이 발생하지 않는 컬러 필터를 높은 제품 수율로 형성할 수 있고, 또한 충분한 표면 평활성을 갖는 패턴을 형성할 수 있는 착색층 형성용 감방사선성 수지 조성물 등을 제공하는 것에 있다.
본 발명은 첫번째로
(A) 적색 안료, 녹색 안료 및 청색 안료로 이루어지는 군으로부터 선택되는 1종 이상의 안료, (B) 분산제, (C) 알칼리 가용성 수지, (D) 하기 화학식 1로 표시되는 다관능성 단량체 및 (E) 광중합 개시제를 함유하는 착색층 형성용 감방사선성 수지 조성물이며, (A) 안료의 함유량이 전체 고형분 중 30 내지 60 중량％인 것을 특징으로 하는 착색층 형성용 감방사선성 조성물을 포함한다.
Figure 112008069225455-pat00002
(식 중, R1은 수소 원자 또는 메틸기를 나타내고, R2는 메틸렌기, 탄소수 2 내지 8의 직쇄 또는 분지쇄의 알킬렌기, 직쇄 또는 분지쇄의 알케닐렌기, 치환기를 가질 수 있는 페닐렌기, 치환기를 가질 수 있는 시클로헥실렌기 및 치환기를 가질 수 있는 시클로헥실렌기의 일부가 불포화 결합인 기로 이루어지는 군으로부터 선택되는 기를 나타냄)
본 발명은 두번째로
상기 착색층 형성용 감방사선성 수지 조성물을 이용하여 형성된 착색층을 구비하여 이루어지는 컬러 필터를 포함한다.
본 발명은 세번째로
상기 컬러 필터를 구비하는 컬러 액정 표시 장치를 포함한다.
본 발명의 착색층 형성용 감방사선성 수지 조성물은 착색 감방사선성 조성물에 포함되는 안료의 농도가 높은 경우에도 잔사나 바탕 오염이 발생하지 않고, 또한 충분한 표면 평활성을 갖는 컬러 필터를 형성할 수 있다. 또한, 도막의 알칼리 현상액에 대한 용해성이 높고, 샤워 현상법에 의한 현상에 대해서도 높은 제품 수율을 달성할 수 있다.
이하, 본 발명에 대해서 상세히 설명한다.
착색층 형성용 감방사선성 수지 조성물
-(A) 안료-
본 발명에 있어서의 안료는 적색 안료, 녹색 안료 및 청색 안료로부터 선택되는 1종 이상을 함유하고 있으면 특별히 한정되는 것은 아니고, 유기 안료, 무기 안료 중 어느 것일 수도 있다. 이 중, 컬러 필터에는 고순도로 고투과성의 발색과 내열성이 요구되기 때문에, 특히 유기 안료가 바람직하다.
상기 유기 안료로는, 예를 들면 컬러 인덱스에 있어서 피그먼트로 분류되어 있는 화합물, 구체적으로는 하기와 같은 컬러 인덱스(C.I.) 번호가 부여되어 있는 것을 들 수 있다.
적색 안료로서, C.I. 피그먼트 레드 1, C.I. 피그먼트 레드 2, C.I. 피그먼트 레드 5, C.I. 피그먼트 레드 17, C.I. 피그먼트 레드 31, C.I. 피그먼트 레드 32, C.I. 피그먼트 레드 41, C.I. 피그먼트 레드 122, C.I. 피그먼트 레드 123, C.I. 피그먼트 레드 144, C.I. 피그먼트 레드 149, C.I. 피그먼트 레드 166, C.I. 피그먼트 레드 168, C.I. 피그먼트 레드 170, C.I. 피그먼트 레드 171, C.I. 피그먼트 레드 175, C.I. 피그먼트 레드 176, C.I. 피그먼트 레드 177, C.I. 피그먼트 레드 178, C.I. 피그먼트 레드 179, C.I. 피그먼트 레드 180, C.I. 피그먼트 레드 185, C.I. 피그먼트 레드 187, C.I. 피그먼트 레드 202, C.I. 피그먼트 레드 206, C.I. 피그먼트 레드 207, C.I. 피그먼트 레드 209, C.I. 피그먼트 레드 214, C.I. 피그먼트 레드 220, C.I. 피그먼트 레드 221, C.I. 피그먼트 레드 224, C.I. 피그먼트 레드 242, C.I. 피그먼트 레드 243, C.I. 피그먼트 레드 254, C.I. 피그먼트 레드 255, C.I. 피그먼트 레드 262, C.I. 피그먼트 레드 264, C.I. 피그먼트 레드 272;
녹색 안료로서, C.I. 피그먼트 그린 7, C.I. 피그먼트 그린 36, C.I. 피그먼트 그린 58;
청색 안료로서, C.I. 피그먼트 블루 15, C.I. 피그먼트 블루 15:3, C.I. 피그먼트 블루 15:4, C.I. 피그먼트 블루 15:6, C.I. 피그먼트 블루 60, C.I. 피그먼트 블루 80;
또한, 적색, 녹색 또는 청색의 착색층 형성용 감방사선성 수지 조성물을 제조함에 있어서는, 통상 황색 안료나 보라색 안료 등을 이용하여 조색하는 것이 일반적이다. 황색이나 보라색 등의 유기 안료로는 구체적으로는 하기와 같은 컬러 인덱스(C.I.) 번호가 부여되어 있는 것을 들 수 있다.
C.I. 피그먼트 옐로우 12, C.I. 피그먼트 옐로우 13, C.I. 피그먼트 옐로우 14, C.I. 피그먼트 옐로우 17, C.I. 피그먼트 옐로우 20, C.I. 피그먼트 옐로우 24, C.I. 피그먼트 옐로우 31, C.I. 피그먼트 옐로우 55, C.I. 피그먼트 옐로우 83, C.I. 피그먼트 옐로우 93, C.I. 피그먼트 옐로우 109, C.I. 피그먼트 옐로우 110, C.I. 피그먼트 옐로우 138, C.I. 피그먼트 옐로우 139, C.I. 피그먼트 옐로우 150, C.I. 피그먼트 옐로우 153, C.I. 피그먼트 옐로우 154, C.I. 피그먼트 옐로우 155, C.I. 피그먼트 옐로우 166, C.I. 피그먼트 옐로우 168, C.I. 피그먼트 옐로우 211;
C.I. 피그먼트 오렌지 5, C.I. 피그먼트 오렌지 13, C.I. 피그먼트 오렌지 14, C.I. 피그먼트 오렌지 24, C.I. 피그먼트 오렌지 34, C.I. 피그먼트 오렌지 36, C.I. 피그먼트 오렌지 38, C.I. 피그먼트 오렌지 40, C.I. 피그먼트 오렌지 43, C.I. 피그먼트 오렌지 46, C.I. 피그먼트 오렌지 49, C.I. 피그먼트 오렌지 61, C.I. 피그먼트 오렌지 64, C.I. 피그먼트 오렌지 68, C.I. 피그먼트 오렌지 70, C.I. 피그먼트 오렌지 71, C.I. 피그먼트 오렌지 72, C.I. 피그먼트 오렌지 73, C.I. 피그먼트 오렌지 74;
C.I. 피그먼트 바이올렛 1, C.I. 피그먼트 바이올렛 19, C.I. 피그먼트 바이올렛 23, C.I. 피그먼트 바이올렛 29, C.I. 피그먼트 바이올렛 32, C.I. 피그먼트 바이올렛 36, C.I. 피그먼트 바이올렛 38;
C.I. 피그먼트 브라운 23, C.I. 피그먼트 브라운 25;
C.I. 피그먼트 블랙 1, C.I. 피그먼트 블랙 7.
이들 유기 안료는 단독으로 또는 2종 이상을 혼합하여 사용할 수 있다.
이들 유기 안료 중, C.I. 피그먼트 레드 177, C.I. 피그먼트 레드 242, C.I. 피그먼트 레드 254, C.I. 피그먼트 그린 7, C.I. 피그먼트 그린 36, C.I. 피그먼트 그린 58, C.I. 피그먼트 블루 15:3, C.I. 피그먼트 블루 15:4, C.I. 피그먼트 블루 15:6, C.I. 피그먼트 블루 60, C.I. 피그먼트 블루 80, C.I. 피그먼트 옐로우 83, C.I. 피그먼트 옐로우 138, C.I. 피그먼트 옐로우 139, C.I. 피그먼트 옐로우 150, C.I. 피그먼트 옐로우 180, C.I. 피그먼트 바이올렛 23의 군으로부터 선택되는 1종 이상이 바람직하다.
본 발명에 있어서, 유기 안료는 재결정법, 재침전법, 용제 세정법, 승화법, 진공 가열법이나, 이들의 조합에 의해 정제하여 사용할 수도 있다.
또한, 상기 무기 안료로는, 예를 들면 산화티탄, 황산바륨, 탄산칼슘, 아연화, 황산납, 황색납, 아연황, 철단(적색산화철(III)), 카드뮴적, 군청, 감청, 산화크롬녹, 코발트녹색, 앰버, 티탄블랙, 합성철흑, 카본 블랙 등을 들 수 있다.
이들 무기 안료는 단독으로 또는 2종 이상을 혼합하여 사용할 수 있다.
또한, 본 발명에 있어서는 경우에 따라 상기 안료와 함께 염료나 천연 색소를 1종 이상 병용할 수도 있다.
본 발명에 있어서, 안료는 소망에 의해 그 입자 표면을 중합체로 개질하여 사용할 수 있다. 안료의 입자 표면을 개질하는 중합체로는, 예를 들면 일본 특허 공개 (평)8-259876호 공보에 기재된 중합체나, 시판되고 있는 각종 안료 분산용의 중합체 또는 올리고머 등을 들 수 있다.
본 발명에 있어서 (A) 안료는 충분한 색 순도와 현상성을 얻는다는 점에서, 본 발명 조성물의 전체 고형분 중, 통상 30 내지 60 중량％, 바람직하게는 30 내지 50 중량％ 함유한다. 여기서 고형분이란, 후술하는 용매 이외의 성분이다.
-(B) 분산제-
본 발명에 있어서의 (B) 분산제로는, 예를 들면 양이온계, 음이온계, 비이온계나 양성 등의 적절한 분산제를 사용할 수 있지만, 1000:1을 초과하는 높은 콘트라스트비를 갖는 컬러 액정 표시 장치를 실현하는 미립화된 안료를 안정적으로 분산하기 위해서는 아민가(단위 mgKOH/g, 이하 동일)가 70 내지 400인 분산제(이하, "고아민가 분산제"라 함)를 함유하는 것이 바람직하고, 70 내지 200인 분산제를 함유하는 것이 더욱 바람직하다. 여기서 아민가란, 분산제 고형분 1 g을 중화하는 데 필요한 HCl에 당량의 KOH의 mg 수를 나타낸다.
상기 고아민가 분산제로는 디스퍼빅(Disperbyk)-106(불휘발 성분=85 ％, 아민가=74), 빅케미(BYK)사 제조), 디스퍼빅-108(불휘발 성분=97 ％, 아민가=71, 빅케미(BYK)사 제조), 디스퍼빅-140(불휘발 성분=52 ％, 아민가=76, 빅케미(BYK)사 제조), 디스퍼빅-142(불휘발 성분=60 ％, 아민가=43, 빅케미(BYK)사 제조), 디스퍼빅-145(불휘발 성분=100 ％, 아민가=71, 빅케미(BYK)사 제조), 디스퍼빅-2150(불휘발 성분=52 ％, 아민가=57, 빅케미(BYK)사 제조), 아지스파 PB-711(불휘발 성분=40 ％, 아민가=45, 아지노모또파인테크노(주) 제조) 등을 들 수 있다.
고아민가 분산제 이외의 분산제로는, 예를 들면 폴리옥시에틸렌라우릴에테르, 폴리옥시에틸렌스테아릴에테르, 폴리옥시에틸렌올레일에테르와 같은 폴리옥시에틸렌알킬에테르; 폴리옥시에틸렌 n-옥틸페닐에테르, 폴리옥시에틸렌 n-노닐페닐에테르와 같은 폴리옥시에틸렌알킬페닐에테르; 폴리에틸렌글리콜디라우레이트, 폴 리에틸렌글리콜디스테아레이트와 같은 폴리에틸렌글리콜디 지방산 에스테르; 소르비탄 지방산 에스테르; 지방산 변성 폴리에스테르; 3급 아민 변성 폴리우레탄; 폴리에틸렌이민류 이외에, 이하 상품명으로 KP(신에츠 가가꾸 고교(주) 제조), 폴리플로우(교에샤 가가꾸(주) 제조), 에프톱(토켐 프로덕츠사 제조), 메가팩(다이닛본 잉크 가가꾸 고교(주) 제조), 플루오라드(스미또모 쓰리엠(주) 제조), 아사히가드, 서플론(이상, 아사히 글래스(주) 제조)나, 디스퍼빅-101, 동-103, 동-110, 동-111, 동-160, 동-161, 동-162, 동-163, 동-164, 동-165, 동-166, 동-170, 동-182, 동-2000, 동-2001, 동-2020(이상, 빅케미(BYK)제조), 솔스파스 S5000, 동 12000, 동 17000, 동 20000, 동 22000, 동 24000, 동 24000 GR, 동 26000, 동 27000, 동 28000(이상, 루브리졸(주) 제조), EFKA46, 동 47(이상, 에프카 케미컬즈(주) 제조); 아지스파 PB-821, 동 PB-822(이상, 아지노모또파인테크노(주) 제조) 등을 들 수 있다.
본 발명에 있어서 분산제는 단독으로 또는 2종 이상을 혼합하여 사용할 수 있다.
본 발명에 있어서의 분산제의 함유량(고형분 환산)은 조성물의 보존 안정성 및 현상성의 관점에서, (A) 안료 100 중량부에 대해서 바람직하게는 1 내지 60 중량부, 더욱 바람직하게는 3 내지 50 중량부이다.
-(C) 알칼리 가용성 수지-
본 발명에 있어서의 (C) 알칼리 가용성 수지로는 (A) 안료에 대해서 결합제로서 작용하고, 컬러 필터를 제조할 때의 현상 공정에서 이용되는 현상액, 특히 바 람직하게는 알칼리 현상액에 대해서 가용성을 갖는 것이면 특별히 한정되는 것은 아니다. 그 중에서도 카르복실기를 갖는 알칼리 가용성 수지가 바람직하고, 특히 1개 이상의 카르복실기를 갖는 에틸렌성 불포화 단량체(이하, "카르복실기 함유 불포화 단량체"라 함)와 다른 공중합 가능한 에틸렌성 불포화 단량체(이하, "공중합성 불포화 단량체"라 함)의 공중합체(이하, "카르복실기 함유 공중합체"라 함)가 바람직하다.
카르복실기 함유 불포화 단량체로는, 예를 들면
(메트)아크릴산, 크로톤산, α-클로로아크릴산, 신남산과 같은 불포화 모노카르복실산;
말레산, 말레산 무수물, 푸마르산, 이타콘산, 이타콘산 무수물, 시트라콘산, 시트라콘산 무수물, 메사콘산 등의 불포화 디카르복실산 또는 그의 무수물류;
3가 이상의 불포화 다가 카르복실산 또는 그의 무수물류;
숙신산모노[2-(메트)아크릴로일옥시에틸], 프탈산모노[2-(메트)아크릴로일옥시에틸] 등의 2가 이상의 다가 카르복실산의 모노[(메트)아크릴로일옥시알킬]에스테르류;
ω-카르복시폴리카프로락톤모노(메트)아크릴레이트 등의 양쪽 말단에 카르복시기와 수산기를 갖는 중합체의 모노(메트)아크릴레이트류 등을 들 수 있다.
이들 카르복실기 함유 불포화 단량체 중, 숙신산모노(2-아크릴로일옥시에틸) 및 프탈산모노(2-아크릴로일옥시에틸)은 각각 라이트에스테르 HOA-MS 및 라이트에스테르 HOA-MPE(이상, 교에샤 가가꾸(주) 제조)의 상품명으로 시판되어 있다.
상기 카르복실기 함유 불포화 단량체는 단독으로 또는 2종 이상을 혼합하여 사용할 수 있다.
또한, 공중합성 불포화 단량체로는, 예를 들면
말레이미드;
N-페닐말레이미드, N-o-히드록시페닐말레이미드, N-m-히드록시페닐말레이미드, N-p-히드록시페닐말레이미드, N-벤질말레이미드, N-시클로헥실말레이미드, N-숙신이미딜-3-말레이미드벤조에이트, N-숙신이미딜-4-말레이미드부티레이트, N-숙신이미딜-6-말레이미드카프로에이트, N-숙신이미딜-3-말레이미드프로피오네이트, N-(아크리디닐)말레이미드와 같은 N-위치 치환 말레이미드;
스티렌, α-메틸스티렌, o-비닐톨루엔, m-비닐톨루엔, p-비닐톨루엔, p-클로로스티렌, o-메톡시스티렌, m-메톡시스티렌, p-메톡시스티렌, p-히드록시-α-메틸스티렌, o-비닐벤질메틸에테르, m-비닐벤질메틸에테르, p-비닐벤질메틸에테르, o-비닐벤질글리시딜에테르, m-비닐벤질글리시딜에테르, p-비닐벤질글리시딜에테르와 같은 방향족 비닐 화합물;
인덴, 1-메틸인덴과 같은 인덴류;
메틸(메트)아크릴레이트, 에틸(메트)아크릴레이트, n-프로필(메트)아크릴레이트, i-프로필(메트)아크릴레이트, n-부틸(메트)아크릴레이트, i-부틸(메트)아크릴레이트, sec-부틸(메트)아크릴레이트, t-부틸(메트)아크릴레이트, 2-에틸헥실(메트)아크릴레이트, 2-히드록시에틸(메트)아크릴레이트, 2-히드록시프로필(메트)아크릴레이트, 3-히드록시프로필(메트)아크릴레이트, 2-히드록시부틸(메트)아크릴레이 트, 3-히드록시부틸(메트)아크릴레이트, 4-히드록시부틸(메트)아크릴레이트, 알릴(메트)아크릴레이트, 벤질(메트)아크릴레이트, 시클로헥실(메트)아크릴레이트, 페닐(메트)아크릴레이트, 2-메톡시에틸(메트)아크릴레이트, 2-페녹시에틸(메트)아크릴레이트, 메톡시디에틸렌글루콜(메트)아크릴레이트, 메톡시트리에틸렌글루콜(메트)아크릴레이트, 메톡시프로필렌글루콜(메트)아크릴레이트, 메톡시프로필렌글루콜(메트)아크릴레이트, 이소보르닐(메트)아크릴레이트, 트리시클로[5.2.1.02,6]데칸-8-일(메트)아크릴레이트, 2-히드록시-3-페녹시프로필(메트)아크릴레이트, 글리세롤모노(메트)아크릴레이트, 4-히드록시페닐(메트)아크릴레이트, 파라쿠밀페놀의 EO 변성 (메트)아크릴레이트와 같은 불포화 카르복실산에스테르;
2-아미노에틸(메트)아크릴레이트, 2-디메틸아미노에틸(메트)아크릴레이트, 2-아미노프로필(메트)아크릴레이트, 2-디메틸아미노프로필(메트)아크릴레이트, 3-아미노프로필(메트)아크릴레이트, 3-디메틸아미노프로필(메트)아크릴레이트와 같은 불포화 카르복실산아미노알킬에스테르;
글리시딜(메트)아크릴레이트와 같은 불포화 카르복실산글리시딜에스테르;
아세트산비닐, 프로피온산비닐, 부티르산비닐, 벤조산비닐과 같은 카르복실산비닐에스테르;
비닐메틸에테르, 비닐에틸에테르, 알릴글리시딜에테르와 같은 다른 불포화 에테르;
(메트)아크릴로니트릴, α-클로로아크릴로니트릴, 시안화비닐리덴과 같은 시 안화비닐 화합물;
(메트)아크릴아미드, α-클로로아크릴아미드, N-2-히드록시에틸(메트)아크릴아미드와 같은 불포화 아미드;
1,3-부타디엔, 이소프렌, 클로로프렌과 같은 지방족 공액 디엔;
폴리스티렌, 폴리메틸(메트)아크릴레이트, 폴리-n-부틸(메트)아크릴레이트, 폴리실록산과 같은 중합체 분자쇄의 말단에 모노(메트)아크릴로일기를 갖는 거대 단량체 등을 들 수 있다.
이들 공중합성 불포화 단량체는 단독으로 또는 2종 이상을 혼합하여 사용할 수 있다.
본 발명에 있어서의 카르복실기 함유 공중합체로는 (c1) (메트)아크릴산을 필수 성분으로 하고, 경우에 따라 숙신산모노[2-(메트)아크릴로일옥시에틸]및/또는 ω-카르복시폴리카프로락톤모노(메트)아크릴레이트를 함유하는 카르복실기 함유 불포화 단량체와, (c2) N-위치 치환 말레이미드와, (c3) 스티렌, α-메틸스티렌, p-히드록시-α-메틸스티렌, 메틸(메트)아크릴레이트, n-부틸(메트)아크릴레이트, 2-에틸헥실(메트)아크릴레이트, 2-히드록시에틸(메트)아크릴레이트, 알릴(메트)아크릴레이트, 벤질(메트)아크릴레이트, 글리세롤모노(메트)아크릴레이트, 4-히드록시페닐(메트)아크릴레이트, 파라쿠밀페놀의 EO 변성 (메트)아크릴레이트, 폴리스티렌 거대 단량체 및 폴리메틸메타크릴레이트 거대 단량체의 군으로부터 선택되는 다른 공중합성 불포화 단량체의 1종 이상과의 공중합체(이하, "카르복실기 함유 공중합체 (C1)"이라 함)가 바람직하다.
카르복실기 함유 공중합체 (C1)의 바람직한 구체예로는
(메트)아크릴산/N-페닐말레이미드/스티렌/벤질(메트)아크릴레이트 공중합체,
(메트)아크릴산/N-m-히드록시페닐말레이미드/스티렌/벤질(메트)아크릴레이트 공중합체,
(메트)아크릴산/N-p-히드록시페닐말레이미드/스티렌/벤질(메트)아크릴레이트 공중합체,
(메트)아크릴산/N-시클로헥실말레이미드/스티렌/벤질(메트)아크릴레이트 공중합체,
(메트)아크릴산/N-페닐말레이미드/α-메틸스티렌/벤질(메트)아크릴레이트 공중합체,
(메트)아크릴산/N-페닐말레이미드/스티렌/n-부틸(메트)아크릴레이트 공중합체,
(메트)아크릴산/N-페닐말레이미드/스티렌/2-에틸헥실(메트)아크릴레이트 공중합체,
(메트)아크릴산/N-페닐말레이미드/p-히드록시-α-메틸스티렌/벤질(메트)아크릴레이트 공중합체,
(메트)아크릴산/N-페닐말레이미드/스티렌/n-부틸(메트)아크릴레이트 공중합체,
(메트)아크릴산/N-페닐말레이미드/스티렌/2-에틸헥실(메트)아크릴레이트 공중합체,
(메트)아크릴산/N-페닐말레이미드/스티렌/2-히드록시에틸(메트)아크릴레이트/벤질(메트)아크릴레이트 공중합체,
(메트)아크릴산/N-페닐말레이미드/스티렌/벤질(메트)아크릴레이트/글리세롤모노(메트)아크릴레이트 공중합체,
(메트)아크릴산/N-p-히드록시페닐말레이미드/스티렌/벤질(메트)아크릴레이트/글리세롤모노(메트)아크릴레이트 공중합체,
(메트)아크릴산/N-페닐말레이미드/스티렌/페닐(메트)아크릴레이트/2-히드록시에틸(메트)아크릴레이트/폴리스티렌 거대 단량체 공중합체,
(메트)아크릴산/N-페닐말레이미드/스티렌/페닐(메트)아크릴레이트/2-히드록시에틸(메트)아크릴레이트/폴리메틸메타크릴레이트 거대 단량체 공중합체,
(메트)아크릴산/숙신산모노[2-(메트)아크릴로일옥시에틸]/N-페닐말레이미드/스티렌/벤질(메트)아크릴레이트 공중합체,
(메트)아크릴산/숙신산모노[2-(메트)아크릴로일옥시에틸]/N-p-히드록시페닐말레이미드/스티렌/벤질(메트)아크릴레이트 공중합체,
(메트)아크릴산/숙신산모노[2-(메트)아크릴로일옥시에틸]/N-페닐말레이미드/스티렌/알릴(메트)아크릴레이트 공중합체,
(메트)아크릴산/숙신산모노[2-(메트)아크릴로일옥시에틸]/N-시클로헥실말레이미드/스티렌/알릴(메트)아크릴레이트 공중합체,
(메트)아크릴산/숙신산모노[2-(메트)아크릴로일옥시에틸]/N-시클로헥실말레이미드/스티렌/벤질(메트)아크릴레이트 공중합체,
(메트)아크릴산/ω-카르복시폴리카프로락톤모노(메트)아크릴레이트/N-m-히드록시페닐말레이미드/스티렌/벤질(메트)아크릴레이트 공중합체,
(메트)아크릴산/ω-카르복시폴리카프로락톤모노(메트)아크릴레이트/N-p-히드록시페닐말레이미드/스티렌/벤질(메트)아크릴레이트 공중합체,
(메트)아크릴산/ω-카르복시폴리카프로락톤모노(메트)아크릴레이트/N-페닐말레이미드/스티렌/벤질(메트)아크릴레이트/글리세롤모노(메트)아크릴레이트 공중합체,
(메트)아크릴산/ω-카르복시폴리카프로락톤모노(메트)아크릴레이트/N-p-히드록시페닐말레이미드/스티렌/벤질(메트)아크릴레이트/글리세롤모노(메트)아크릴레이트 공중합체 등을 들 수 있다.
또한, 카르복실기 함유 공중합체 (C1) 이외의 카르복실기 함유 공중합체로는, 예를 들면
(메트)아크릴산/메틸(메트)아크릴레이트 공중합체,
(메트)아크릴산/벤질(메트)아크릴레이트 공중합체,
(메트)아크릴산/2-히드록시에틸(메트)아크릴레이트/벤질(메트)아크릴레이트 공중합체,
(메트)아크릴산/메틸(메트)아크릴레이트/폴리스티렌 거대 단량체 공중합체,
(메트)아크릴산/메틸(메트)아크릴레이트/폴리메틸메타크릴레이트 거대 단량체 공중합체,
(메트)아크릴산/벤질(메트)아크릴레이트/폴리스티렌 거대 단량체 공중합체,
(메트)아크릴산/벤질(메트)아크릴레이트/폴리메틸메타크릴레이트 거대 단량체 공중합체,
(메트)아크릴산/2-히드록시에틸(메트)아크릴레이트/벤질(메트)아크릴레이트/폴리스티렌 거대 단량체 공중합체,
(메트)아크릴산/2-히드록시에틸(메트)아크릴레이트/벤질(메트)아크릴레이트/폴리메틸메타크릴레이트 거대 단량체 공중합체 등을 들 수 있다.
카르복실기 함유 공중합체에 있어서, 카르복실기 함유 불포화 단량체의 공중합 비율은 바람직하게는 5 내지 50 중량％, 더욱 바람직하게는 10 내지 40 중량％이다. 이 경우, 이 공중합 비율이 5 중량％ 미만이면 얻어지는 감방사선성 조성물의 알칼리 현상액에 대한 용해성이 저하되는 경향이 있고, 한편 50 중량％를 초과하면 알칼리 현상액에 대한 용해성이 과대해져 알칼리 현상액에 의해 현상할 때에, 화소의 기판으로부터의 탈락이나 화소 표면의 막 거칠음을 초래하기 쉬워지는 경향이 있다.
본 발명에 있어서는, 예를 들면 2-히드록시에틸(메트)아크릴레이트 등의 히드록실기를 갖는 불포화 화합물을 공중합한 카르복실기 함유 공중합체에 2-(메트)아크릴로일옥시에틸이소시아네이트 등의 불포화 이소시아네이트 화합물을 반응시킴으로써, 카르복실기 함유 공중합체의 측쇄에 중합성 불포화 결합을 도입할 수 있다.
본 발명에 있어서의 카르복실기 함유 공중합체의 겔 투과 크로마토그래피(GPC, 용출 용매: 테트라히드로푸란)로 측정한 폴리스티렌 환산 중량 평균 분자 량(이하, "Mw"라 함)은, 통상 1,000 내지 45,000, 바람직하게는 3,000 내지 20,000이다.
또한, 본 발명에 있어서의 카르복실기 함유 공중합체의 겔 투과 크로마토그래피(GPC, 용출 용매: 테트라히드로푸란)로 측정한 폴리스티렌 환산 수 평균 분자량(이하, "Mn"이라 함)은, 통상 1,000 내지 45,000, 바람직하게는 3,000 내지 20,000이다.
이 경우, Mw가 1,000 미만이면 얻어지는 피막의 잔막률 등이 저하되거나, 패턴 형상, 내열성 등이 손상되거나, 전기 특성이 악화될 우려가 있고, 한편 45,000을 초과하면 해상도가 저하되거나, 패턴 형상이 손상되거나, 슬릿 노즐 방식에 의한 도포시에 건조 이물질이 발생하기 쉬워질 우려가 있다.
카르복실기 함유 공중합체는, 예를 들면 카르복실기 함유 불포화 단량체 및 공중합성 불포화 단량체를 적당한 용매 중, 2,2'-아조비스이소부티로니트릴, 2,2'-아조비스(2,4-디메틸발레로니트릴), 2,2'-아조비스(4-메톡시-2,4-디메틸발레로니트릴) 등의 라디칼 중합 개시제의 존재하에 중합함으로써 제조할 수 있다.
또한, 카르복실기 함유 공중합체는 상기한 바와 같이 불포화 단량체를 라디칼 중합한 후에, 극성이 다른 유기 용매를 2종 이상 이용하는 재침전법을 거쳐 정제할 수 있다. 즉, 중합 후의 양용매 중 용액을, 필요에 따라서 여과 또는 원심 분리 등에 의해서 불용인 불순물을 제거한 후, 대량(통상은 중합체 용액 부피의 5 내지 10배량)의 침전제(빈용매) 중에 붓고, 공중합체를 재침전시킴으로써 정제한다. 그 때, 중합체 용액 중에 남아 있는 불순물 중, 침전제에 가용인 불순물은 액 상에 남고, 정제된 공중합체 (B1) 등으로부터 분리된다.
이 재침전법에 사용되는 양용매/침전제의 조합으로는, 예를 들면 디에틸렌글리콜모노메틸에테르아세테이트/n-헥산, 메틸에틸케톤/n-헥산, 디에틸렌글리콜모노메틸에테르아세테이트/n-헵탄, 메틸에틸케톤/n-헵탄 등을 들 수 있다.
또한, 카르복실기 함유 공중합체는, 예를 들면 그 구성 성분이 되는 각 불포화 화합물을 2,2'-아조비스이소부티로니트릴, 2,2'-아조비스(2,4-디메틸발레로니트릴), 2,2'-아조비스(4-메톡시-2,4-디메틸발레로니트릴) 등의 라디칼 중합 개시제, 및 피라졸-1-디티오카르복실산시아노(디메틸)메틸에스테르, 피라졸-1-디티오카르복실산벤질에스테르, 테트라에틸티우람디술피드, 비스(피라졸-1-일티오카르보닐)디술피드, 비스(3-메틸-피라졸-1-일티오카르보닐)디술피드, 비스(4-메틸-피라졸-1-일티오카르보닐)디술피드, 비스(5-메틸-피라졸-1-일티오카르보닐)디술피드, 비스(3,4,5-트리메틸-피라졸-1-일티오카르보닐)디술피드, 비스(피롤-1-일티오카르보닐)디술피드, 비스(티오벤조일)디술피드, 비스(n-옥틸술파닐티오카르보닐)디술피드, 비스(n-도데실술파닐티오카르보닐)디술피드 등의 이니파터로서 작용하는 분자량 제어제의 존재하에 불활성 용매 중에서, 반응 온도를 통상 0 내지 150 ℃, 바람직하게는 50 내지 120 ℃로서, 리빙 라디칼 중합함으로써 제조할 수 있다.
본 발명에 있어서, 알칼리 가용성 수지는 단독으로 또는 2종 이상을 혼합하여 사용할 수 있다.
본 발명에 있어서의 알칼리 가용성 수지의 함유량은 (A) 안료 100 중량부에 대해서, 바람직하게는 10 내지 1,000 중량부, 보다 바람직하게는 20 내지 500 중량 부이다. 이 경우, 알칼리 가용성 수지의 함유량이 10 중량부 미만이면, 예를 들면 알칼리 현상성이 저하되거나, 미노광부의 기판 상이나 차광층 상에 바탕 오염이나 막 잔여물이 발생할 우려가 있고, 한편 1,000 중량부를 초과하면 상대적으로 안료 농도가 저하되기 때문에, 박막으로서 목적으로 하는 색 농도를 달성하는 것이 곤란해질 우려가 있다.
-(D) 다관능성 단량체-
본 발명에 있어서의 다관능성 단량체는 상기 화학식 1로 표시되는 다관능성 단량체(이하, "카르복실기 함유 5관능 단량체"라 함)를 함유하는 것이다.
화학식 1 중, R2로 표시되는 탄소수 2 내지 8의 직쇄 또는 분지쇄의 알킬렌기로는 에틸렌기, 프로필렌기, 트리메틸렌기, 테트라메틸렌기, 펜타메틸렌기, 헥사메틸렌기 등을 들 수 있지만, 이 중 탄소수 2 내지 4의 알킬렌기가 바람직하다. 탄소수 2 내지 8의 직쇄 또는 분지쇄의 알케닐렌기로는 비닐기, 1-메틸리덴-에틸렌기(-C(=CH2)CH2-) 등을 들 수 있다. 시클로헥실렌기의 일부가 불포화 결합인 기로는 시클로헥세닐렌기 등을 들 수 있다. 또한, 페닐렌기, 시클로헥실렌기, 불포화 시클로헥실렌기로 치환할 수 있는 기로는 메틸기, 에틸기 등의 탄소수 1 내지 4의 알킬기, 할로겐 원자, 탄소수 1 내지 4의 알콕시기 등을 들 수 있다.
화학식 1 중, R2로는 메틸렌기 또는 탄소수 2 내지 4의 알킬렌기가 바람직하고, 에틸렌기가 특히 바람직하다.
카르복실기 함유 5관능 단량체의 구체예로는 디펜타에리트리톨펜타(메트)아 크릴레이트와, 말론산, 숙신산, 글루타르산, 아디프산, 피멜산, 수베르산, 이타콘산, 테레프탈산, 헥사히드로프탈산 등의 디카르복실산류와의 모노에스테르화물 등을 들 수 있다.
이들 카르복실기 함유 5관능 단량체 중, 디펜타에리트리톨헥사아크릴레이트, 디펜타에리트리톨펜타아크릴레이트, 및 디펜타에리트리톨펜타아크릴레이트 및 숙신산과의 모노에스테르화물의 혼합물은 TO-1382(도아 고세이(주) 제조)의 상품명으로 시판되고 있다.
카르복실기 함유 5관능 단량체는 단독으로 또는 2종 이상을 혼합하여 사용할 수 있다.
본 발명에 있어서는 카르복실기 함유 5관능 단량체와 함께, 다른 다관능성 단량체를 병용할 수 있다. 다른 다관능성 단량체로는, 예를 들면
에틸렌글리콜, 프로필렌글리콜 등의 알킬렌글리콜의 디(메트)아크릴레이트류;
폴리에틸렌글리콜, 폴리프로필렌글리콜 등의 폴리알킬렌글리콜의 디(메트)아크릴레이트류;
글리세린, 트리메틸올프로판, 펜타에리트리톨, 디펜타에리트리톨 등의 3가 이상의 다가 알코올의 폴리(메트)아크릴레이트류;
폴리에스테르, 에폭시 수지, 우레탄 수지, 알키드 수지, 실리콘 수지, 스피란 수지 등의 올리고(메트)아크릴레이트류;
양쪽 말단 히드록시폴리-1,3-부타디엔, 양쪽 말단 히드록시폴리이소프렌, 양 쪽 말단 히드록시폴리카프로락톤 등의 양쪽 말단 히드록실화 중합체의 디(메트)아크릴레이트류나, 트리스[2-(메트)아크릴로일옥시에틸]포스페이트 등을 들 수 있다.
이들 다른 다관능성 단량체 중, 3가 이상의 다가 알코올의 폴리(메트)아크릴레이트류, 구체적으로는 트리메틸올프로판트리아크릴레이트, 트리메틸올프로판트리메타크릴레이트, 펜타에리트리톨트리아크릴레이트, 펜타에리트리톨트리메타크릴레이트, 펜타에리트리톨테트라아크릴레이트, 펜타에리트리톨테트라메타크릴레이트, 디펜타에리트리톨펜타아크릴레이트, 디펜타에리트리톨펜타메타크릴레이트, 디펜타에리트리톨헥사아크릴레이트, 디펜타에리트리톨헥사메타크릴레이트 등이 바람직하고, 특히 트리메틸올프로판트리아크릴레이트, 펜타에리트리톨트리아크릴레이트 및 디펜타에리트리톨헥사아크릴레이트가 착색층의 강도가 높고, 착색층의 표면 평활성이 우수하며, 미노광부의 기판 상 및 차광층 상에 바탕 오염, 막 잔여물 등이 발생되기 어렵다는 점에서 바람직하다.
이들 다른 다관능성 단량체는 단독으로 또는 2종 이상을 혼합하여 사용할 수 있다.
본 발명에 있어서의 (D) 카르복실기 함유 5관능 단량체와 다른 다관능성 단량체의 합계 함유량은 (C) 알칼리 가용성 수지 100 중량부에 대해서, 통상 5 내지 500 중량부, 바람직하게는 20 내지 300 중량부이다. 이 경우, 다관능성 단량체의 함유량이 지나치게 적으면 착색층의 강도나 표면 평활성이 저하될 우려가 있고, 한편 지나치게 많으면 예를 들면 알칼리 현상성이 저하되거나, 미노광부의 기판 상 또는 차광층 상에 바탕 오염, 막 잔여물 등이 발생하기 쉬워질 우려가 있다.
또한, 본 발명에 있어서 카르복실기 함유 5관능 단량체의 함유 비율은 카르복실기 함유 5관능 단량체와 다른 다관능성 단량체의 합계에 대해서, 통상 20 내지 80 중량％, 바람직하게는 30 내지 70 중량％이다. 이 경우, 카르복실기 함유 5관능 단량체의 함유 비율이 지나치게 적으면 원하는 효과가 얻어지지 않고, 한편 지나치게 많으면 얻어지는 착색층의 표면 평활성이 불충분해질 우려가 있다.
-(E) 광중합 개시제-
본 발명에 있어서의 광중합 개시제는 가시광선, 자외선, 원자외선, 전자선, X선 등의 방사선의 노광에 의해 상기 (D) 다관능성 단량체의 중합을 개시할 수 있는 활성종을 발생하는 화합물이다.
이러한 광중합 개시제로는, 예를 들면 아세토페논계 화합물, 비이미다졸계 화합물, 트리아진계 화합물, O-아실옥심계 화합물, 오늄염계 화합물, 벤조인계 화합물, 벤조페논계 화합물, α-디케톤계 화합물, 다핵 퀴논계 화합물, 크산톤계 화합물, 디아조계 화합물, 이미드술포네이트계 화합물 등을 들 수 있다. 이들 화합물은 노광에 의해서 활성 라디칼 또는 활성산, 또는 활성 라디칼과 활성산을 모두 발생하는 성분이다.
본 발명에 있어서, 광중합 개시제는 단독으로 또는 2종 이상을 혼합하여 사용할 수 있지만, 본 발명에 있어서의 광중합 개시제로는 아세토페논계 화합물, 비이미다졸계 화합물, 트리아진계 화합물, O-아실옥심계 화합물의 군으로부터 선택되는 1종 이상이 바람직하다.
본 발명에 있어서, 광중합 개시제의 일반적인 함유량은 (D) 다관능성 단량체 100 중량부에 대해서, 통상 0.01 내지 120 중량부, 바람직하게는 1 내지 100 중량부이다. 이 경우, 광중합 개시제의 함유량이 지나치게 적으면 노광에 의한 경화가 불충분해지고, 착색층 패턴이 소정의 배열에 따라서 배치된 컬러 필터를 얻는 것이 곤란해질 우려가 있고, 한편 지나치게 많으면 형성된 착색층이 현상시에 기판으로부터 탈락하기 쉬워질 우려가 있다.
본 발명에 있어서의 바람직한 광중합 개시제 중, 아세토페논계 화합물의 구체예로는 2-히드록시-2-메틸-1-페닐프로판-1-온, 2-메틸-1-[4-(메틸티오)페닐]-2-모르폴리노프로판-1-온, 2-벤질-2-디메틸아미노-1-(4-모르폴리노페닐)부탄-1-온, 1-히드록시시클로헥실·페닐케톤, 2,2-디메톡시-1,2-디페닐에탄-1-온, 1,2-옥탄디온 등을 들 수 있다.
이들 아세토페논계 화합물 중, 특히 2-메틸-1-[4-(메틸티오)페닐]-2-모르폴리노프로판-1-온, 2-벤질-2-디메틸아미노-1-(4-모르폴리노페닐)부탄-1-온, 1,2-옥탄디온 등이 바람직하다.
상기 아세토페논계 화합물은 단독으로 또는 2종 이상을 혼합하여 사용할 수 있다.
본 발명에 있어서, 광중합 개시제로서 아세토페논계 화합물을 사용하는 경우의 함유량은 (D) 다관능성 단량체 100 중량부에 대해서, 통상 0.01 내지 80 중량부, 바람직하게는 1 내지 70 중량부, 더욱 바람직하게는 1 내지 60 중량부이다. 이 경우, 아세토페논계 화합물의 함유량이 지나치게 적으면, 노광에 의한 경화가 불충분해지고, 착색층 패턴이 소정의 배열에 따라서 배치된 컬러 필터를 얻는 것이 곤란해질 우려가 있고, 한편 지나치게 많으면 형성된 착색층이 현상시에 기판으로부터 탈락하기 쉬워질 우려가 있다.
또한, 상기 비이미다졸계 화합물의 구체예로는 2,2'-비스(2-클로로페닐)-4,4',5,5'-테트라키스(4-에톡시카르보닐페닐)-1,2'-비이미다졸, 2,2'-비스(2-브로모페닐)-4,4',5,5'-테트라키스(4-에톡시카르보닐페닐)-1,2'-비이미다졸, 2,2'-비스(2-클로로페닐)-4,4',5,5'-테트라페닐-1,2'-비이미다졸, 2,2'-비스(2,4-디클로로페닐)-4,4',5,5'-테트라페닐-1,2'-비이미다졸, 2,2'-비스(2,4,6-트리클로로페닐)-4,4',5,5'-테트라페닐-1,2'-비이미다졸, 2,2'-비스(2-브로모페닐)-4,4',5,5'-테트라페닐-1,2'-비이미다졸, 2,2'-비스(2,4-디브로모페닐)-4,4',5,5'-테트라페닐-1,2'-비이미다졸, 2,2'-비스(2,4,6-트리브로모페닐)-4,4',5,5'-테트라페닐-1,2'-비이미다졸 등을 들 수 있다.
이들 비이미다졸계 화합물 중, 2,2'-비스(2-클로로페닐)-4,4',5,5'-테트라페닐-1,2'-비이미다졸, 2,2'-비스(2,4-디클로로페닐)-4,4',5,5'-테트라페닐-1,2'-비이미다졸, 2,2'-비스(2,4,6-트리클로로페닐)-4,4',5,5'-테트라페닐-1,2'-비이미다졸 등이 바람직하고, 특히 2,2'-비스(2,4-디클로로페닐)-4,4',5,5'-테트라페닐-1,2'-비이미다졸이 바람직하다.
이들 비이미다졸계 화합물은 용제에 대한 용해성이 우수하고, 미용해물, 석출물 등의 이물질이 발생하지 않고, 감도가 높으며, 적은 에너지량의 노광에 의해 경화 반응을 충분히 진행시킴과 동시에, 미노광부에서 경화 반응이 발생하지 않기 때문에, 노광 후의 도막은 현상액에 대해서 불용성의 경화 부분과, 현상액에 대해 서 높은 용해성을 갖는 미경화 부분으로 명확히 구분되고, 그에 따라 언더컷이 없는 착색층 패턴이 소정의 배열에 따라서 배치된 고정밀 미세한 컬러 필터를 형성할 수 있다.
상기 비이미다졸계 화합물은 단독으로 또는 2종 이상을 혼합하여 사용할 수 있다.
본 발명에 있어서, 광중합 개시제로서 비이미다졸계 화합물을 사용하는 경우의 함유량은 (D) 다관능성 단량체 100 중량부에 대해서, 통상 0.01 내지 40 중량부, 바람직하게는 1 내지 30 중량부, 더욱 바람직하게는 1 내지 20 중량부이다. 이 경우, 비이미다졸계 화합물의 함유량이 지나치게 적으면 노광에 의한 경화가 불충분해지고, 착색층 패턴이 소정의 배열에 따라서 배치된 컬러 필터를 얻는 것이 곤란해질 우려가 있고, 한편 지나치게 많으면 현상할 때에, 형성된 착색층의 기판으로부터의 탈락이나 착색층 표면의 막 거칠음을 초래하기 쉬워질 우려가 있다.
본 발명에 있어서는 광중합 개시제로서 비이미다졸계 화합물을 이용하는 경우, 후술하는 수소 공여체를 병용하는 것이 감도를 더욱 개선할 수 있다는 점에서 바람직하다.
여기서 말하는 "수소 공여체"란, 노광에 의해 비이미다졸계 화합물로부터 발생한 라디칼에 대해서 수소 원자를 공여할 수 있는 화합물을 의미한다.
본 발명에 있어서의 수소 공여체로는 하기에서 정의하는 메르캅탄계 화합물, 아민계 화합물 등이 바람직하다.
상기 메르캅탄계 화합물은 벤젠환 또는 복소환을 모핵으로 하고, 상기 모핵 에 직접 결합한 메르캅토기를 1개 이상, 바람직하게는 1 내지 3개, 더욱 바람직하게는 1 내지 2개 갖는 화합물(이하, "메르캅탄계 수소 공여체"라 함)을 포함한다.
상기 아민계 화합물은 벤젠환 또는 복소환을 모핵으로 하고, 상기 모핵에 직접 결합한 아미노기를 1개 이상, 바람직하게는 1 내지 3개, 더욱 바람직하게는 1 내지 2개 갖는 화합물(이하, "아민계 수소 공여체"라 함)을 포함한다.
또한, 이들 수소 공여체는 메르캅토기와 아미노기를 동시에 가질 수도 있다.
이하, 수소 공여체에 대해서 보다 구체적으로 설명한다.
메르캅탄계 수소 공여체는 벤젠환 또는 복소환을 각각 1개 이상 가질 수 있고, 벤젠환과 복소환을 모두 가질 수 있으며, 이들 환을 2개 이상 갖는 경우, 축합환을 형성하거나도 형성하지 않을 수도 있다.
또한, 메르캅탄계 수소 공여체는 메르캅토기를 2개 이상 갖는 경우, 1개 이상의 유리 메르캅토기가 잔존하는 한, 나머지 메르캅토기 중 1개 이상이 알킬, 아르알킬 또는 아릴기로 치환되어 있을 수도 있고, 1개 이상의 유리 메르캅토기가 잔존하는 한 2개의 황 원자가 알킬렌기 등의 2가의 유기기를 개재하여 결합한 구조 단위, 또는 2개의 황 원자가 디술피드의 형태로 결합한 구조 단위를 가질 수 있다.
또한, 메르캅탄계 수소 공여체는 메르캅토기 이외의 개소에서 카르복실기, 알콕시카르보닐기, 치환 알콕시카르보닐기, 페녹시카르보닐기, 치환 페녹시카르보닐기, 니트릴기 등에 의해서 치환될 수도 있다.
이러한 메르캅탄계 수소 공여체의 구체예로는 2-메르캅토벤조티아졸, 2-메르캅토벤조옥사졸, 2-메르캅토벤조이미다졸, 2,5-디메르캅토-1,3,4-티아디아졸, 2-메 르캅토-2,5-디메틸아미노피리딘 등을 들 수 있다.
이들 메르캅탄계 수소 공여체 중, 2-메르캅토벤조티아졸, 2-메르캅토벤조옥사졸이 바람직하고, 특히 2-메르캅토벤조티아졸이 바람직하다.
또한, 아민계 수소 공여체는 벤젠환 또는 복소환을 각각 1개 이상 가질 수 있고, 벤젠환과 복소환을 모두 가질 수 있으며, 이들 환을 2개 이상 갖는 경우, 축합환을 형성하거나 형성하지 않을 수도 있다.
또한, 아민계 수소 공여체는 아미노기의 1개 이상이 알킬기 또는 치환 알킬기로 치환될 수도 있고, 또한 아미노기 이외의 개소에서 카르복실기, 알콕시카르보닐기, 치환 알콕시카르보닐기, 페녹시카르보닐기, 치환 페녹시카르보닐기, 니트릴기 등에 의해서 치환될 수도 있다.
이러한 아민계 수소 공여체의 구체예로는 4,4'-비스(디메틸아미노)벤조페논, 4,4'-비스(디에틸아미노)벤조페논, 4-디에틸아미노아세토페논, 4-디메틸아미노프로피오페논, 에틸-4-디메틸아미노벤조에이트, 4-디메틸아미노벤조산, 4-디메틸아미노벤조니트릴 등을 들 수 있다.
이들 아민계 수소 공여체 중, 4,4'-비스(디메틸아미노)벤조페논, 4,4'-비스(디에틸아미노)벤조페논이 바람직하고, 특히 4,4'-비스(디에틸아미노)벤조페논이 바람직하다.
또한, 아민계 수소 공여체는 비이미다졸계 화합물 이외의 라디칼 발생제의 경우에도 증감제로서의 작용을 갖는 것이다.
본 발명에 있어서, 수소 공여체는 단독으로 또는 2종 이상을 혼합하여 사용 할 수 있지만, 1종 이상의 메르캅탄계 수소 공여체와 1종 이상의 아민계 수소 공여체를 조합하여 사용하는 것이 형성된 착색층이 현상시에 기판으로부터 탈락하기 어렵고, 착색층 강도 및 감도도 높다는 점에서 바람직하다.
메르캅탄계 수소 공여체와 아민계 수소 공여체의 조합의 구체예로는 2-메르캅토벤조티아졸/4,4'-비스(디메틸아미노)벤조페논, 2-메르캅토벤조티아졸/4,4'-비스(디에틸아미노)벤조페논, 2-메르캅토벤조옥사졸/4,4'-비스(디메틸아미노)벤조페논, 2-메르캅토벤조옥사졸/4,4'-비스(디에틸아미노)벤조페논 등을 들 수 있고, 더욱 바람직한 조합은 2-메르캅토벤조티아졸/4,4'-비스(디에틸아미노)벤조페논, 2-메르캅토벤조옥사졸/4,4'-비스(디에틸아미노)벤조페논이고, 특히 바람직한 조합은 2-메르캅토벤조티아졸/4,4'-비스(디에틸아미노)벤조페논이다.
메르캅탄계 수소 공여체와 아민계 수소 공여체의 조합에 있어서의 메르캅탄계 수소 공여체와 아민계 수소 공여체의 중량비는, 통상 1:1 내지 1:4, 바람직하게는 1:1 내지 1:3이다.
본 발명에 있어서, 수소 공여체를 비이미다졸계 화합물과 병용하는 경우의 함유량은 (D) 다관능성 단량체 100 중량부에 대해서, 바람직하게는 0.01 내지 40 중량부, 더욱 바람직하게는 1 내지 30 중량부, 특히 바람직하게는 1 내지 20 중량부이다. 이 경우, 수소 공여체의 함유량이 지나치게 적으면 감도의 개선 효과가 저하되는 경향이 있고, 한편 지나치게 많으면 형성된 착색층이 현상시에 기판으로부터 탈락하기 쉬워질 우려가 있다.
또한, 상기 트리아진계 화합물의 구체예로는 2,4,6-트리스(트리클로로메틸)- s-트리아진, 2-메틸-4,6-비스(트리클로로메틸)-s-트리아진, 2-[2-(5-메틸푸란-2-일)에테닐]-4,6-비스(트리클로로메틸)-s-트리아진, 2-[2-(푸란-2-일)에테닐]-4,6-비스(트리클로로메틸)-s-트리아진, 2-[2-(4-디에틸아미노-2-메틸페닐)에테닐]-4,6-비스(트리클로로메틸)-s-트리아진, 2-[2-(3,4-디메톡시페닐)에테닐]-4,6-비스(트리클로로메틸)-s-트리아진, 2-(4-메톡시페닐)-4,6-비스(트리클로로메틸)-s-트리아진, 2-(4-에톡시스티릴)-4,6-비스(트리클로로메틸)-s-트리아진, 2-(4-n-부톡시페닐)-4,6-비스(트리클로로메틸)-s-트리아진 등의 할로메틸기를 갖는 트리아진계 화합물을 들 수 있다.
이들 트리아진계 화합물 중, 특히 2-[2-(3,4-디메톡시페닐)에테닐]-4,6-비스(트리클로로메틸)-s-트리아진이 바람직하다.
상기 트리아진계 화합물은 단독으로 또는 2종 이상을 혼합하여 사용할 수 있다.
본 발명에 있어서, 광중합 개시제로서 트리아진계 화합물을 사용하는 경우의 함유량은 (D) 다관능성 단량체 100 중량부에 대해서, 바람직하게는 0.01 내지 40 중량부, 더욱 바람직하게는 1 내지 30 중량부, 특히 바람직하게는 1 내지 20 중량부이다. 이 경우, 트리아진계 화합물의 함유량이 지나치게 적으면 노광에 의한 경화가 불충분해지고, 착색층 패턴이 소정의 배열에 따라서 배치된 컬러 필터를 얻는 것이 곤란해질 우려가 있고, 한편 지나치게 많으면 형성된 착색층이 현상시에 기판으로부터 탈락하기 쉬워질 우려가 있다.
또한, 상기 O-아실옥심계 화합물의 구체예로는 1,2-헵탄디온, 1-[4-(페닐티 오)페닐]-, 2-(O-벤조일옥심); 1,2-옥탄디온, 1-[4-(페닐티오)페닐]-, 2-(O-벤조일옥심); 1,2-옥탄디온, 1-[4-(벤조일)페닐]-, 2-(O-벤조일옥심); 에타논, 1-[9-에틸-6-(2-메틸벤조일)-9H-카르바졸-3-일]-, 1-(O-아세틸옥심); 에타논, 1-[9-에틸-6-(3-메틸벤조일)-9H-카르바졸-3-일]-, 1-(O-아세틸옥심); 에타논, 1-(9-에틸-6-벤조일-9H-카르바졸-3-일)-, 1-(O-아세틸옥심); 에타논, 1-[9-에틸-6-(2-메틸-4-테트라히드로푸라닐벤조일)-9H-카르바졸-3-일]-, 1-(O-아세틸옥심); 에타논, 1-[9-에틸-6-(2-메틸-4-테트라히드로피라닐벤조일)-9H-카르바졸-3-일]-, 1-(O-아세틸옥심); 에타논, 1-[9-에틸-6-(2-메틸-5-테트라히드로푸라닐벤조일)-9H-카르바졸-3-일]-, 1-(O-아세틸옥심); 에타논, 1-[9-에틸-6-(2-메틸-5-테트라히드로피라닐벤조일)-9H-카르바졸-3-일]-, 1-(O-아세틸옥심); 에타논, 1-[9-에틸-6-{2-메틸-4-(2,2-디메틸-1,3-디옥솔라닐)벤조일}-9H-카르바졸-3-일]-, 1-(O-아세틸옥심); 에타논, 1-[9-에틸-6-(2-메틸-4-테트라히드로푸라닐메톡시벤조일)-9H-카르바졸-3-일]-, 1-(O-아세틸옥심); 에타논, 1-[9-에틸-6-(2-메틸-4-테트라히드로피라닐메톡시벤조일)-9H-카르바졸-3-일]-, 1-(O-아세틸옥심); 에타논, 1-[9-에틸-6-(2-메틸-5-테트라히드로푸라닐메톡시벤조일)-9H-카르바졸-3-일]-, 1-(O-아세틸옥심); 에타논, 1-[9-에틸-6-(2-메틸-5-테트라히드로피라닐메톡시벤조일)-9H-카르바졸-3-일]-, 1-(O-아세틸옥심); 에타논, 1-[9-에틸-6-{2-메틸-4-(2,2-디메틸-1,3-디옥솔라닐)메톡시벤조일}-9H-카르바졸-3-일]-, 1-(O-아세틸옥심) 등을 들 수 있다.
이들 O-아실옥심계 화합물 중, 특히 1,2-옥탄디온, 1-[4-(페닐티오)페닐]-, 2-(O-벤조일옥심); 에타논, 1-[9-에틸-6-(2-메틸벤조일)-9H-카르바졸-3-일]-, 1- (O-아세틸옥심); 에타논, 1-[9-에틸-6-(2-메틸-4-테트라히드로푸라닐메톡시벤조일)-9H-카르바졸-3-일]-, 1-(O-아세틸옥심); 에타논, 1-[9-에틸-6-{2-메틸-4-(2,2-디메틸-1,3-디옥솔라닐)메톡시벤조일}-9H-카르바졸-3-일]-, 1-(O-아세틸옥심) 등이 바람직하다.
상기 O-아실옥심계 화합물은 단독으로 또는 2종 이상을 혼합하여 사용할 수 있다.
본 발명에 있어서, 광중합 개시제로서 O-아실옥심계 화합물을 사용하는 경우의 사용량은 (D) 다관능성 단량체 100 중량부에 대해서, 바람직하게는 0.01 내지 80 중량부, 더욱 바람직하게는 1 내지 70 중량부, 특히 바람직하게는 1 내지 60 중량부이다. 이 경우, O-아실옥심계 화합물의 함유량이 지나치게 적으면 노광에 의한 경화가 불충분해지고, 착색층 패턴이 소정의 배열에 따라서 배치된 컬러 필터를 얻는 것이 곤란해질 우려가 있고, 한편 지나치게 많으면 형성된 착색층이 현상시에 기판으로부터 탈락하기 쉬워질 우려가 있다.
-다른 첨가제-
본 발명의 착색층 형성용 감방사선성 수지 조성물은 상기 (A) 내지 (E) 성분을 필수 성분으로 하는 것이지만, 필요에 따라서 다른 첨가제를 더욱 함유할 수도 있다.
상기 다른 첨가제로는, 예를 들면 유리, 알루미나 등의 충전제; 폴리비닐알코올, 폴리(플루오로알킬아크릴레이트)류 등의 고분자 화합물; 비이온계 계면활성제, 양이온계 계면활성제, 음이온계 계면활성제 등의 계면활성제; 비닐트리메톡시 실란, 비닐트리에톡시실란, 비닐트리스(2-메톡시에톡시)실란, N-(2-아미노에틸)-3-아미노프로필메틸디메톡시실란, N-(2-아미노에틸)-3-아미노프로필트리메톡시실란, 3-아미노프로필트리에톡시실란, 3-글리시독시프로필트리메톡시실란, 3-글리시독시프로필메틸디메톡시실란, 2-(3,4-에폭시시클로헥실)에틸트리메톡시실란, 3-클로로프로필메틸디메톡시실란, 3-클로로프로필트리메톡시실란, 3-메타크릴로일옥시프로필트리메톡시실란, 3-메르캅토프로필트리메톡시실란 등의 밀착 촉진제; 2,2-티오비스(4-메틸-6-t-부틸페놀), 2,6-디-t-부틸페놀 등의 산화 방지제; 2-(3-t-부틸-5-메틸-2-히드록시페닐)-5-클로로벤조트리아졸, 알콕시벤조페논류 등의 자외선 흡수제; 폴리아크릴산나트륨 등의 응집 방지제; 말론산, 아디프산, 이타콘산, 시트라콘산, 푸마르산, 메사콘산 등의 잔사 개선제 등을 들 수 있다.
액상 조성물의 제조
본 발명의 착색층 형성용 감방사선성 수지 조성물은, 통상 용매를 배합하여 액상 조성물로서 제조된다.
상기 용매로는 감방사선성 수지 조성물을 구성하는 (A) 내지 (E) 성분이나 다른 첨가제 성분을 분산 또는 용해시키고, 또한 이들 성분과 반응하지 않고 알맞은 휘발성을 갖는 한 적절히 선택하여 사용할 수 있다.
이러한 용매로는, 예를 들면
프로필렌글리콜모노메틸에테르, 프로필렌글리콜모노에틸에테르 등의 프로필렌글리콜모노알킬에테르류;
에틸렌글리콜모노메틸에테르아세테이트, 에틸렌글리콜모노에틸에테르아세테 이트, 에틸렌글리콜모노-n-프로필에테르아세테이트, 에틸렌글리콜모노-n-부틸에테르아세테이트, 디에틸렌글리콜모노메틸에테르아세테이트, 디에틸렌글리콜모노에틸에테르아세테이트, 프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트, 프로필렌글리콜모노에틸에테르아세테이트, 디프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트, 디프로필렌글리콜모노에틸에테르아세테이트, 3-메톡시부틸아세테이트 등의 (폴리)알킬렌글리콜모노알킬에테르아세테이트류;
디에틸렌글리콜디메틸에테르, 디에틸렌글리콜메틸에틸에테르, 디에틸렌글리콜디에틸에테르, 디프로필렌글리콜디메틸에테르, 디프로필렌글리콜메틸에틸에테르, 디프로필렌글리콜디에틸에테르 등의 (폴리)알킬렌글리콜디에테르류;
테트라히드로푸란 등의 다른 에테르류;
메틸에틸케톤, 시클로헥사논, 2-헵타논, 3-헵타논 등의 케톤류;
디아세톤알코올(즉, 4-히드록시-4-메틸펜탄-2-온), 4-히드록시-4-메틸헥산-2-온 등의 케토알코올류;
락트산메틸, 락트산에틸 등의 락트산알킬에스테르류;
2-히드록시-2-메틸프로피온산에틸, 히드록시아세트산에틸, 2-히드록시-3-메틸부탄산메틸, 3-메톡시프로피온산메틸, 3-메톡시프로피온산에틸, 3-에톡시프로피온산메틸, 3-에톡시프로피온산에틸, 에톡시아세트산에틸, 3-메틸-3-메톡시부틸아세테이트, 3-메틸-3-메톡시부틸프로피오네이트, 아세트산에틸, 아세트산 n-프로필, 아세트산 i-프로필, 아세트산 n-부틸, 아세트산 i-부틸, 포름산 n-펜틸, 아세트산 i-펜틸, 프로피온산 n-부틸, 부티르산에틸, 부티르산 n-프로필, 부티르산 i-프로 필, 부티르산 n-부틸, 피루브산메틸, 피루브산에틸, 피루브산 n-프로필, 아세토아세트산메틸, 아세토아세트산에틸, 2-옥소부탄산에틸 등의 다른 에스테르류;
톨루엔, 크실렌 등의 방향족 탄화수소류;
N-메틸피롤리돈, N,N-디메틸포름아미드, N,N-디메틸아세트아미드 등의 아미드류 등을 들 수 있다.
이들 용매 중, 용해성, 안료 분산성, 도포성 등의 관점에서, 프로필렌글리콜모노메틸에테르, 프로필렌글리콜모노에틸에테르, 에틸렌글리콜모노메틸에테르아세테이트, 에틸렌글리콜모노-n-프로필에테르아세테이트, 에틸렌글리콜모노-n-부틸에테르아세테이트, 디에틸렌글리콜모노메틸에테르아세테이트, 디에틸렌글리콜모노에틸에테르아세테이트, 프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트, 프로필렌글리콜모노에틸에테르아세테이트, 디프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트, 디에틸렌글리콜디메틸에테르, 디에틸렌글리콜메틸에틸에테르, 디프로필렌글리콜디메틸에테르, 시클로헥사논, 2-헵타논, 3-헵타논, 3-메톡시프로피온산에틸, 3-에톡시프로피온산메틸, 3-에톡시프로피온산에틸, 3-메톡시부틸아세테이트, 3-메틸-3-메톡시부틸프로피오네이트, 아세트산 n-부틸, 아세트산 i-부틸, 포름산 n-펜틸, 아세트산 i-펜틸, 프로피온산 n-부틸, 부티르산에틸, 부티르산 i-프로필, 부티르산 n-부틸, 피루브산에틸 등이 바람직하다.
상기 용매는 단독으로 또는 2종 이상을 혼합하여 사용할 수 있다.
또한, 상기 용매와 함께 벤질에틸에테르, 디-n-헥실에테르, 아세토닐아세톤, 이소포론, 카프로산, 카프릴산, 1-옥탄올, 1-노난올, 벤질알코올, 아세트산벤질, 벤조산에틸, 옥살산디에틸, 말레산디에틸, γ-부티로락톤, 탄산에틸렌, 탄산프로필렌, 에틸렌글리콜모노페닐에테르아세테이트 등의 고비점 용매를 병용할 수도 있다.
상기 고비점 용매는 단독으로 또는 2종 이상을 혼합하여 사용할 수 있다.
용매의 사용량은 특별히 한정되는 것은 아니지만, 얻어지는 액상 조성물의 도포성, 안정성 등의 관점에서, 해당 조성물의 용매를 제외한 각 성분의 합계 농도가, 바람직하게는 5 내지 50 중량％, 특히 바람직하게는 10 내지 40 중량％가 되는 양이 바람직하다.
컬러 필터의 형성 방법
이어서, 본 발명의 착색층 형성용 감방사선성 수지 조성물을 이용하여, 본 발명의 컬러 필터를 형성하는 방법에 대해서 설명한다.
컬러 필터를 형성하는 방법은, 통상 적어도 하기 (1) 내지 (4)의 공정을 포함하고 있다.
(1) 기판 상에 본 발명의 착색층 형성용 감방사선성 수지 조성물의 도막을 형성하는 공정.
(2) 상기 도막의 적어도 일부에 노광하는 공정.
(3) 노광 후의 상기 도막을 현상하는 공정.
(4) 현상 후의 상기 도막을 열 처리(이하, "포스트 베이킹"이라 함)하는 공정.
이하, 이들 공정에 대해서 차례로 설명한다.
-(1) 공정-
우선, 기판의 표면 상에, 필요에 따라서 화소를 형성하는 부분을 구획하도록 차광층을 형성하고, 이 기판 상에, 예를 들면 적색의 안료를 함유하는 착색층 형성용 감방사선성 수지 조성물의 액상 조성물을 도포한 후, 프리 베이킹을 행하여 용매를 증발시키고, 도막을 형성한다.
이 공정에서 사용되는 기판으로는, 예를 들면 유리, 실리콘, 폴리카르보네이트, 폴리에스테르, 방향족 폴리아미드, 폴리아미드이미드, 폴리이미드, 폴리에테르술폰 이외에, 환상 올레핀의 개환 중합체나 그의 수소 첨가물 등을 들 수 있다.
또한, 이들 기판에는 소망에 의해 실란 커플링제 등에 의한 약품 처리, 플라즈마 처리, 이온 플레이팅, 스퍼터링, 기상 반응법, 진공 증착 등의 적절한 전처리를 실시해 둘 수도 있다.
액상 조성물을 기판에 도포할 때는 회전 도포(스핀 코팅), 유연 도포, 롤 도포, 슬릿 노즐에 의한 도포 등의 적절한 도포법을 채용할 수 있지만, 본 발명에 있어서의 감방사선성 수지 조성물은 건조 후에도 세정 용제에 대한 용해성이 높고, 슬릿 노즐에 의한 도포에도 바람직하다.
프리 베이킹의 조건은, 통상 70 내지 110 ℃에서 2 내지 4 분 정도이다.
도포 두께는 용매 제거 후의 막 두께로서, 통상 0.1 내지 10 ㎛, 바람직하게는 0.2 내지 8.0 ㎛, 더욱 바람직하게는 0.2 내지 6.0 ㎛이다.
-(2) 공정-
그 후, 형성된 도막의 적어도 일부에 노광한다. 도막의 일부에 노광할 때는, 통상 적당한 패턴을 갖는 포토마스크를 통해 노광한다.
이 공정에 사용되는 방사선으로는, 예를 들면 가시광선, 자외선, 원자외선, 전자선, X선 등을 사용할 수 있지만, 파장이 190 내지 450 nm의 범위에 있는 방사선이 바람직하다.
방사선의 노광량은, 통상 10 내지 10,000 J/㎡ 정도이다.
-(3) 공정-
그 후, 노광된 도막을, 바람직하게는 알칼리 현상액을 이용하여 현상하고, 도막의 미노광부를 용해 제거하여 패턴을 형성한다.
상기 알칼리 현상액으로는, 예를 들면 탄산나트륨, 수산화나트륨, 수산화칼륨, 테트라메틸암모늄히드록시드, 콜린, 1,8-디아자비시클로-[5.4.0]-7-운데센, 1,5-디아자비시클로-[4.3.0]-5-노넨 등의 수용액이 바람직하다.
상기 알칼리 현상액에는, 예를 들면 메탄올, 에탄올 등의 수용성 유기 용제나 계면활성제 등을 적량 첨가할 수도 있다. 또한, 알칼리 현상 후에는, 통상 수세한다.
현상 처리법으로는 샤워 현상법, 분무 현상법, 디프(침지) 현상법, 퍼들 현상법 등을 적용할 수 있지만, 본 발명에 있어서의 감방사선성 수지 조성물은 알칼리 현상액에 대한 용해성이 높고, 샤워 현상법에 의한 현상에도 바람직하다.
현상 조건은 상온에서 5 내지 300 초 정도가 바람직하다.
-(4) 공정-
그 후, 현상 후의 도막을 포스트 베이킹함으로써, 감방사선성 수지 조성물의 경화물을 포함하는 화소 패턴이 소정의 배열로 배치된 기판을 얻을 수 있다.
포스트 베이킹의 조건은 180 내지 230 ℃에서 20 내지 40 분 정도가 바람직하다.
이와 같이 하여 형성된 화소의 막 두께는, 통상 0.5 내지 5.0 ㎛, 바람직하게는 1.5 내지 3.0 ㎛이다.
또한, 상기 (1) 내지 (4)의 공정을 녹색 또는 청색의 안료를 함유하는 착색층 형성용 감방사선성 수지 조성물의 각 액상 조성물을 이용하여 반복함으로써, 녹색의 화소 패턴 및 청색의 화소 패턴을 동일한 기판 상에 형성함으로써, 적색, 녹색 및 청색의 3원색의 화소 패턴이 소정의 배열로 배치된 착색층을 기판 상에 형성할 수 있다. 단, 본 발명에 있어서의 각 색의 화소 패턴의 형성 순서는 상기한 순서로 한정되는 것은 아니다.
컬러 필터
본 발명의 컬러 필터는 본 발명의 착색층 형성용 감방사선성 수지 조성물을 이용하여 형성된 착색층을 구비하는 것이다.
본 발명의 컬러 필터는, 예를 들면 투과형 또는 반사형의 컬러 액정 표시 장치, 컬러 촬상관 소자, 컬러 센서 등에 매우 유용하다.
컬러 액정 표시 장치
본 발명의 컬러 액정 표시 장치는 본 발명의 컬러 필터를 구비하는 것이다.
본 발명의 컬러 액정 표시 장치는 적절한 구조를 취할 수 있다. 예를 들면, 컬러 필터를 박막 트랜지스터(TFT)가 배치된 구동용 기판과는 별도의 기판 상에 형성하고, 구동용 기판과 컬러 필터를 형성한 기판이 액정층을 개재하여 대향한 구조 를 취할 수 있으며, 박막 트랜지스터(TFT)가 배치된 구동용 기판의 표면 상에 컬러 필터를 형성한 기판과, ITO(주석을 도핑한 산화인듐) 전극을 형성한 기판이 액정층을 개재하여 대향한 구조를 취할 수도 있다. 후자의 구조는 개구율을 각별히 향상시킬 수 있고, 밝고 고정밀 미세한 컬러 액정 표시 장치가 얻어진다는 이점을 갖는다.
<실시예>
이하, 실시예를 들어 본 발명의 실시 형태를 더욱 구체적으로 설명한다. 단, 본 발명이 하기 실시예로 한정되는 것은 아니다.
하기 각 합성예에서 얻은 수지의 Mw 및 Mn은 하기 사양에 의한 겔 투과 크로마토그래피(GPC)에 의해 측정하였다.
장치: GPC-101(쇼와 덴꼬(주) 제조).
칼럼: GPC-KF-801, GPC-KF-802, GPC-KF-803 및 GPC-KF-804를 결합하여 이용하였다.
이동상: 인산 0.5 중량％를 포함하는 테트라히드로푸란.
알칼리 가용성 수지의 합성
합성예 1
냉각관, 교반기를 구비한 플라스크에 2,2'-아조비스이소부티로니트릴 3 중량부, 프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트 200 중량부를 투입하고, 계속해서 메타크릴산 15 중량부, ω-카르복시폴리카프로락톤모노아크릴레이트 5 중량부, N-페닐말레이미드 22 중량부, 스티렌 13 중량부, 벤질메타크릴레이트 35 중량부, 글리 세롤모노(메트)아크릴레이트 10 중량부 및 분자량 조절제로서 α-메틸스티렌 이량체 5 중량부를 투입하고, 질소 치환하였다. 그 후 완만히 교반하여 반응 용액을 80 ℃로 승온하고, 이 온도를 유지하여 5 시간 동안 유지하여 중합함으로써, 공중합체 (S-1)의 용액을 얻었다. (Mw=10,500, Mn=5,200, 고형분 농도 31.2 중량％)
현상액 침지 테스트
실시예 1
(A) 착색제로서 C.I. 피그먼트 그린 36과 C.I. 피그먼트 옐로우 150의 50/50(중량비) 혼합물 40 중량부, 분산제로서 디스퍼빅 2001(불휘발 성분=46 ％, 아민가=29)을 10 중량부(고형분 환산) 및 용매로서 프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트 100 중량부를 포함하는 혼합액을 다이아몬드파인밀(상품명, 미쯔비시 마테리알(주) 제조 비드밀(비드 직경 1.0 mm))에 의해 12 시간 동안 혼합·분산하여 안료 분산액 (p-1)을 제조하였다.
이어서, 이 안료 분산액 (p-1) 450 중량부, (B) 알칼리 가용성 수지로서 공중합체 (S-1)이 90 중량부(고형분 환산), (C) 다관능성 단량체로서 TO-1382를 60 중량부, (D) 광중합 개시제로서 2-벤질-2-디메틸아미노-1-(4-모르폴리노페닐)부탄-1-온 15 중량부와 1-[9-에틸-6-(2-메틸벤조일)-9H-카르바졸-3-일]-에타논 1-(O-아세틸옥심) 5 중량부 및 용매로서 3-에톡시프로피온산에틸 800 중량부를 혼합하여 액상 조성물 (r-1)을 제조하였다. 액상 조성물 (r-1)에 있어서 안료의 함유량은 전체 고형분 중 37.5 ％이다.
이어서, 액상 조성물 (r-1)을 표면에 나트륨 이온의 용출을 방지하는 SiO2막이 형성된 직경 4인치의 소다 유리 기판 상에 스핀 코팅한 후, 80 ℃의 클린 오븐 내에서 10 분간 프리 베이킹을 행하여 기판 상에 3.0 ㎛의 도막을 형성하였다.
이어서, 이 기판을 마그네틱 스터러로 교반되고 있는 0.04 중량％ 수산화칼륨 수용액을 포함하는 현상액 1000 cc 중에 2 분간 침지한 바, 도막은 완전히 용해되었다.
실시예 2
분산제로서 디스퍼빅 2001 대신에 디스퍼빅 142(불휘발 성분=60 ％, 아민가=43)를 이용한 것 이외에는 실시예 1과 동일하게 하여 액상 조성물 (r-2)를 제조하고, 소다 유리 기판 상에 도막을 형성하였다.
이어서, 이 기판을 실시예 1과 동일하게 0.04 중량％ 수산화칼륨 수용액을 포함하는 현상액 1000 cc 중에 2 분간 침지한 바, 도막은 완전히 용해되었다.
실시예 3
분산제로서 디스퍼빅 2001 대신에 디스퍼빅 145(불휘발 성분=100 ％, 아민가=71)를 이용한 것 이외에는 실시예 1과 동일하게 하여 액상 조성물 (r-3)을 제조하고, 소다 유리 기판 상에 도막을 형성하였다.
이어서, 이 기판을 실시예 1과 동일하게 0.04 중량％ 수산화칼륨 수용액을 포함하는 현상액 1000 cc 중에 2 분간 침지한 바, 도막은 완전히 용해되었다.
실시예 4
분산제로서 디스퍼빅 2001 대신에 디스퍼빅 2150(불휘발 성분=52 ％, 아민가=57)을 이용한 것 이외에는 실시예 1과 동일하게 하여 액상 조성물 (r-4)를 제조하고, 소다 유리 기판 상에 도막을 형성하였다.
이어서, 이 기판을 실시예 1과 동일하게 0.04 중량％ 수산화칼륨 수용액을 포함하는 현상액 1000 cc 중에 2 분간 침지한 바, 도막은 완전히 용해되었다.
비교예 1
(C) 다관능성 단량체로서 TO-1382 대신에 펜타에리트리톨트리아크릴레이트와 숙신산과의 모노에스테르화물이 주성분인 TO-756(도아 고세이(주) 제조)을 이용한 것 이외에는 실시예 1과 동일하게 하여 액상 조성물 (r-5)를 제조하고, 소다 유리 기판 상에 도막을 형성하였다.
이어서, 이 기판을 실시예 1과 동일하게 0.04 중량％ 수산화칼륨 수용액을 포함하는 현상액 1000 cc 중에 2 분간 침지한 바, 도막은 완전히 용해되었다.
비교예 2
(C) 다관능성 단량체로서 TO-1382 대신에 디펜타에리트리톨헥사아크릴레이트를 이용한 것 이외에는 실시예 1과 동일하게 하여 액상 조성물 (r-6)을 제조하고, 소다 유리 기판 상에 도막을 형성하였다.
이어서, 이 기판을 실시예 1과 동일하게 0.04 중량％ 수산화칼륨 수용액을 포함하는 현상액 1000 cc 중에 2 분간 침지한 바, 도막은 완전히 용해되지 않고, 액 중에 다량의 불용해물의 덩어리가 관찰되었다.
비교예 3
(C) 다관능성 단량체로서 TO-1382 대신에 디펜타에리트리톨헥사아크릴레이트를 이용한 것 이외에는 실시예 2와 동일하게 하여 액상 조성물 (r-7)을 제조하고, 소다 유리 기판 상에 도막을 형성하였다.
이어서, 이 기판을 실시예 1과 동일하게 0.04 중량％ 수산화칼륨 수용액을 포함하는 현상액 1000 cc 중에 2 분간 침지한 바, 도막은 완전히 용해되지 않고, 액 중에 다량의 불용해물의 덩어리가 관찰되었다.
참고예 1
안료 분산액 (p-1)의 배합량을 450 중량부에서 225 중량부로, 용매 3-에톡시프로피온산에틸의 배합량을 800 중량부에서 600 중량부로 변경한 것 이외에는 비교예 1과 동일하게 하여 액상 조성물 (r-8)을 제조하고, 소다 유리 기판 상에 도막을 형성하였다. 액상 조성물 (r-8)에 있어서 안료의 함유량은 전체 고형분 중 24.5 ％이다.
이어서, 이 기판을 실시예 1과 동일하게 0.04 중량％ 수산화칼륨 수용액을 포함하는 현상액 1000 cc 중에 2 분간 침지한 바, 도막은 완전히 용해되었다.
현상성의 평가
실시예 5
액상 조성물 (r-1)을 표면에 나트륨 이온의 용출을 방지하는 SiO2막이 형성된 직경 4인치의 소다 유리 기판에 스핀 코터를 이용하여 도포한 후, 90 ℃의 핫 플레이트 상에서 2 분간 프리 베이킹을 행하여 막 두께 2.5 ㎛의 도막을 형성하였 다.
이어서, 기판을 실온에 냉각한 후, 고압 수은 램프를 이용하고, 포토마스크(슬릿 폭 90 ㎛)를 통해 도막에 365 nm, 405 nm 및 436 nm의 각 파장을 포함하는 자외선을 노광하였다. 이 때의 노광량은 1000 J/㎡였다. 그 후, 도막에 23 ℃의 0.04 중량％ 수산화칼륨 수용액을 1 kgf/㎠의 현상압(노즐 직경 1 mm)으로 1 분간 토출함으로써, 샤워 현상을 행한 후, 220 ℃에서 30 분간 포스트 베이킹을 행함으로써, 기판 상에 적색의 스트라이프상 화소 패턴을 형성하였다.
기판 상의 화소 어레이를 광학 현미경으로 관찰한 바, 미노광부의 기판 상에 현상 잔사는 인정되지 않고, 화소 패턴의 엣지에 결함은 인정되지 않았다.
실시예 6
액상 조성물 (r-1) 대신에 액상 조성물 (r-2)를 이용한 것 이외에는 실시예 5와 동일하게 하여 현상성의 평가를 실시한 바, 미노광부의 기판 상에 현상 잔사는 인정되지 않고, 화소 패턴의 엣지에 결함은 인정되지 않았다.
실시예 7
액상 조성물 (r-1) 대신에 액상 조성물 (r-3)을 이용한 것 이외에는 실시예 5와 동일하게 하여 현상성의 평가를 실시한 바, 미노광부의 기판 상에 현상 잔사는 인정되지 않고, 화소 패턴의 엣지에 결함은 인정되지 않았다.
실시예 8
액상 조성물 (r-1) 대신에 액상 조성물 (r-4)를 이용한 것 이외에는 실시예 5와 동일하게 하여 현상성의 평가를 실시한 바, 미노광부의 기판 상에 현상 잔사는 인정되지 않고, 화소 패턴의 엣지에 결함은 인정되지 않았다.
비교예 4
액상 조성물 (r-1) 대신에 액상 조성물 (r-5)를 이용한 것 이외에는 실시예 5와 동일하게 하여 현상성의 평가를 실시한 바, 미노광부의 기판 상에 현상 잔사는 인정되지 않고, 화소 패턴의 엣지에 결함은 인정되지 않았다.
비교예 5
액상 조성물 (r-1) 대신에 액상 조성물 (r-6)을 이용한 것 이외에는 실시예 5와 동일하게 하여 현상성의 평가를 실시한 바, 화소 패턴의 엣지에 결함은 인정되지 않았지만, 미노광부의 기판 상에 약간 현상 잔사가 인정되었다.
비교예 6
액상 조성물 (r-1) 대신에 액상 조성물 (r-7)을 이용한 것 이외에는 실시예 5와 동일하게 하여 현상성의 평가를 실시한 바, 미노광부가 현상액에 완전히 용해되지 않아 화소 패턴을 형성할 수 없었다.
참고예 2
액상 조성물 (r-1) 대신에 액상 조성물 (r-8)을 이용한 것 이외에는 실시예 5와 동일하게 하여 현상성의 평가를 실시한 바, 미노광부의 기판 상에 현상 잔사는 인정되지 않고, 화소 패턴의 엣지에 결함은 인정되지 않았다.
표면 평활성의 평가
상기 밀착성의 평가에 있어서 얻어진 각 화소 패턴의 상부의 표면 조도를 디지털 인스트루먼트사 제조 원자간력 현미경을 이용하여 측정하여 평가하였다. 일 반적으로 표면 조도가 60 Å 이하일 때, 표면 평활성이 양호하다고 할 수 있다.
실시예 9
실시예 5에서 제조한 패턴의 표면 평활성을 측정한 바, 표면 조도는 50 Å였다.
실시예 10
실시예 6에서 제조한 패턴의 표면 평활성을 측정한 바, 표면 조도는 40 Å였다.
실시예 11
실시예 7에서 제조한 패턴의 표면 평활성을 측정한 바, 표면 조도는 37 Å였다.
실시예 12
실시예 8에서 제조한 패턴의 표면 평활성을 측정한 바, 표면 조도는 44 Å였다.
비교예 7
비교예 4에서 제조한 패턴의 표면 평활성을 측정한 바, 표면 조도는 80 Å였다.
비교예 8
비교예 5에서 제조한 패턴의 표면 평활성을 측정한 바, 표면 조도는 40 Å였다.
비교예 9
비교예 6에서 제조한 패턴의 표면 평활성을 측정한 바, 표면 조도는 35 Å였다.
참고예 3
참고예 2에서 제조한 패턴의 표면 평활성을 측정한 바, 표면 조도는 50 Å였다.

Claims (4)

  1. (A) 적색 안료, 녹색 안료 및 청색 안료로 이루어지는 군으로부터 선택되는 1종 이상을 함유하는 안료, (B) 아민가(단위 mgKOH/g)가 70 내지 400인 분산제, (C) 알칼리 가용성 수지, (D) 하기 화학식 1로 표시되는 다관능성 단량체 및 (E) 광중합 개시제를 함유하는 착색층 형성용 감방사선성 수지 조성물이며, (A) 안료의 함유량이 전체 고형분 중 30 내지 60 중량％인 것을 특징으로 하는 착색층 형성용 감방사선성 수지 조성물.
    <화학식 1>
    Figure 112015027954737-pat00003
    (식 중, R1은 수소 원자 또는 메틸기를 나타내고, R2는 메틸렌기, 탄소수 2 내지 8의 직쇄 또는 분지쇄의 알킬렌기, 직쇄 또는 분지쇄의 알케닐렌기, 치환기를 가질 수 있는 페닐렌기, 치환기를 가질 수 있는 시클로헥실렌기 및 치환기를 가질 수 있는 시클로헥실렌기의 일부가 불포화 결합인 기로 이루어지는 군으로부터 선택되는 기를 나타냄)
  2. 제1항에 있어서, 상기 (B) 분산제의 아민가(단위 mgKOH/g)가 57/0.52 내지 200인 감방사선성 수지 조성물.
  3. 제1항 또는 제2항에 기재된 감방사선성 수지 조성물로부터 형성된 컬러 필터.
  4. 제3항에 기재된 컬러 필터를 구비하는 컬러 액정 표시 장치.
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JP5527093B2 (ja) * 2010-02-22 2014-06-18 Ｊｓｒ株式会社 マイクロアレイ用基板の製造方法、感放射線性組成物、マイクロアレイ用基板の隔壁、バイオチップの製造方法及びバイオチップ
JP5527092B2 (ja) * 2009-08-31 2014-06-18 Ｊｓｒ株式会社 マイクロアレイ用基板の製造方法、隔壁形成用組成物、マイクロアレイ用基板の隔壁、バイオチップの製造方法及びバイオチップ
JP5726462B2 (ja) * 2010-09-01 2015-06-03 富士フイルム株式会社 着色感光性組成物、カラーフィルタの製造方法、カラーフィルタ、および液晶表示装置
JP5657405B2 (ja) * 2010-09-27 2015-01-21 富士フイルム株式会社 着色硬化性組成物、カラーフィルタの製造方法、カラーフィルタ、固体撮像素子、および液晶表示装置
JP5726514B2 (ja) * 2010-12-28 2015-06-03 富士フイルム株式会社 着色感放射線性組成物、カラーフィルタおよびその製造方法、固体撮像素子、並びに液晶表示装置
JP5313285B2 (ja) * 2011-03-29 2013-10-09 富士フイルム株式会社 ポジ型感光性樹脂組成物、パターン作製方法、ｍｅｍｓ構造体及びその作製方法、ドライエッチング方法、ウェットエッチング方法、ｍｅｍｓシャッターデバイス、並びに、画像表示装置
KR102078989B1 (ko) * 2012-01-31 2020-02-19 미쯔비시 케미컬 주식회사 착색 감광성 조성물, 블랙 포토 스페이서 및 컬러 필터
JP6155076B2 (ja) * 2012-04-10 2017-06-28 住友化学株式会社 着色剤分散液
JP6341694B2 (ja) * 2014-02-28 2018-06-13 富士フイルム株式会社 感放射線性組成物およびその製造方法、硬化膜、カラーフィルタおよびその製造方法、パターン形成方法、固体撮像素子ならびに画像表示装置
KR101922348B1 (ko) * 2017-10-20 2018-11-26 동우 화인켐 주식회사 착색 감광성 수지 조성물, 이를 사용하여 제조된 블랙 매트릭스, 컬럼 스페이서 또는 블랙 컬럼 스페이서를 포함하는 컬러필터, 및 상기 컬러필터를 포함하는 표시장치
JP7392226B2 (ja) 2021-12-17 2023-12-06 東洋インキＳｃホールディングス株式会社 青色カラーフィルタ用感光性着色組成物、カラーフィルタ、およびそれを用いた固体撮像素子並びに液晶表示装置

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005148717A (ja) * 2003-10-20 2005-06-09 Mitsubishi Chemicals Corp カラーフィルター用着色組成物、カラーフィルター及び液晶表示装置
JP2006045262A (ja) * 2004-07-30 2006-02-16 Mitsubishi Chemicals Corp 着色樹脂組成物、カラーフィルタ、及び液晶表示装置
JP2006343648A (ja) * 2005-06-10 2006-12-21 Mitsubishi Chemicals Corp カラーフィルター用色材分散液、カラーフィルター用硬化性樹脂組成物及びその製造方法、並びにカラーフィルター及び液晶表示装置

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0613647B2 (ja) * 1984-10-12 1994-02-23 神東塗料株式会社 透明な着色塗膜を得る電着用塗料組成物
JP2003295427A (ja) * 2002-03-29 2003-10-15 Fuji Photo Film Co Ltd 着色感光性樹脂組成物、並びに、これを用いたカラーフィルター及びその製造方法
CN1918250A (zh) * 2004-11-11 2007-02-21 三菱化学株式会社 色料分散液、着色树脂组合物、滤色片以及液晶显示装置
JP4821206B2 (ja) * 2005-07-29 2011-11-24 東レ株式会社 カラーフィルター用感光性着色組成物、およびカラーフィルター

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005148717A (ja) * 2003-10-20 2005-06-09 Mitsubishi Chemicals Corp カラーフィルター用着色組成物、カラーフィルター及び液晶表示装置
JP2006045262A (ja) * 2004-07-30 2006-02-16 Mitsubishi Chemicals Corp 着色樹脂組成物、カラーフィルタ、及び液晶表示装置
JP2006343648A (ja) * 2005-06-10 2006-12-21 Mitsubishi Chemicals Corp カラーフィルター用色材分散液、カラーフィルター用硬化性樹脂組成物及びその製造方法、並びにカラーフィルター及び液晶表示装置

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