KR101530245B1 - 기판 인쇄 장치 - Google Patents

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타케시 후지모토
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야마하하쓰도키 가부시키가이샤
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Abstract

이 기판 인쇄 장치는 기판 작업 테이블과, 제 1 인쇄 테이블 및 제 2 인쇄 테이블과, 인쇄 동작을 제어하는 제어부를 구비한다. 제어부는 기판 작업 테이블에 유지된 기판에 대해서 제 1 인쇄 테이블의 소형 부품용 마스크에 의해 제 1 인쇄를 행한 후 제 2 인쇄 테이블의 대형 부품용 마스크에 의해 제 2 인쇄를 행하도록 구성되어 있다.

Description

기판 인쇄 장치{BOARD PRINTING APPARATUS}
본 발명은 기판 인쇄 장치 및 기판 인쇄 방법에 관한 것으로, 특히, 기판에 대해서 마스크 인쇄를 행하는 기판 인쇄 장치 및 기판 인쇄 방법에 관한 것이다.
종래, 기판에 대해서 마스크 인쇄를 행하는 기판 인쇄 장치가 알려져 있다. 이러한 기판 인쇄 장치는 예를 들면, 일본 특허 공개 2006-66811호 공보에 개시되어 있다.
프린트 기판에 실장되는 전자부품의 소형화에 따라 0603사이즈(0.6mm×0.3mm)나 0402사이즈(0.4mm×0.2mm) 등의 소형 부품(극소 부품)과, 실드 부품 등의 대형 부품이 혼재해서 기판에 실장되게 되어 있다. 이들 부품의 실장을 위해서 땜납 등의 점성재를 기판에 인쇄할 때, 점성재의 적절한 전사량은 대체로 부품의 사이즈에 따라 결정되므로 부품의 사이즈에 따른 전사량으로 점성재를 인쇄할 필요가 있다.
일본 특허 공개 2006-66811호 공보에서는 1매의 마스크 중에서 대형 부품에 대응하는 인쇄 영역에서의 두께를 크게 하고, 소형 부품(극소 부품)에 대응하는 인쇄 영역에서의 두께를 작게 한 마스크(소위 하프 에칭 마스크)를 사용해서 땜납 인쇄를 행하는 기술이 개시되어 있다. 기판에 대한 점성재의 전사량은 마스크의 두께에 대응하는 점에서 하프 에칭 마스크를 사용함으로써 부품 사이즈에 따른 전사량에서의 점성재의 인쇄가 가능해진다. 그러나, 일본 특허 공개 2006-66811호 공보에 개시된 마스크를 사용할 경우, 인쇄 영역 중에 단차부분(대형 부품용 두께와, 소형 부품용 두께의 경계부분)이 형성되고, 이 단차부분의 근방영역에서는 점성재를 개구에 충전하기 위한 안정된 인쇄 압력을 확보할 수 없기 때문에 단차부분의 근방영역을 피하도록 회로 패턴(마스크의 개구 패턴)을 형성할 필요가 있다. 이것을 위해서 일본 특허 공개 2006-66811호 공보에 개시된 인쇄 기술에서는 회로의 집적도를 향상시킬 수 없다.
그래서, 두께가 작은 소형 부품용의 제 1 마스크와, 두께가 큰 대형 부품용 제 2 마스크의 2종류의 마스크를 준비하고, 순차 인쇄를 행하는 것이 고려된다. 제 1 마스크에 의해 형성된 전사재의 패턴을 피하도록 제 2 마스크의 기판 접촉면측에 릴리프부를 설치함으로써 제 1 마스크에 의해 소형 부품용(극소 부품용)의 인쇄 패턴을 형성한 후에 제 2 마스크에 의해 대형 부품용 인쇄 패턴을 형성하는 것이 가능해진다.
그러나, 2종류의 마스크를 사용할 경우에는 2대의 기판 인쇄 장치를 설치해서 순차 인쇄를 행하는 생산 라인을 구축할 필요가 있어 생산 라인 구성이 복잡화된다는 문제점이 있다.
이 발명은 상기와 같은 과제를 해결하기 위해서 이루어진 것이며, 이 발명의 1개의 목적은 소형 부품용 마스크와 대형 부품용 마스크의 2종류의 마스크를 사용해서 인쇄를 행할 경우에도 생산 라인 구성을 복잡화시키지 않고 기판생산을 행하는 것이 가능한 기판 인쇄 장치 및 기판 인쇄 방법을 제공하는 것이다.
상기 목적을 달성하기 위해서, 이 발명의 제 1 국면에 있어서의 기판 인쇄 장치는 인쇄 대상의 기판을 유지하는 기판 작업 테이블과, 기판 작업 테이블의 상방에서 수평 방향의 소정 방향으로 나란히 배열된 제 1 인쇄 테이블 및 제 2 인쇄 테이블과, 제 1 인쇄 테이블 및 제 2 인쇄 테이블의 인쇄 동작을 제어하는 제어부를 구비하고, 제 1 인쇄 테이블은 기판에 점성재를 인쇄하는 제 1 인쇄를 행하기 위한 제 1 막두께의 소형 부품용 마스크를 유지하고, 제 2 인쇄 테이블은 제 1 막두께보다 두꺼운 제 2 막두께를 갖고, 소형 부품용 마스크에 의해 인쇄된 점성재를 피하도록 기판 접촉면측에 제 1 막두께의 두께보다 깊이가 깊은 릴리프부가 형성되고, 제 1 인쇄 테이블에 의한 제 1 인쇄후의 기판에 점성재를 인쇄하는 제 2 인쇄를 행하기 위한 대형 부품용 마스크를 유지하고, 기판 작업 테이블과, 제 1 인쇄 테이블 및 제 2 인쇄 테이블 중 적어도 한쪽은 수평 방향의 소정 방향으로 이동 가능하게 구성되고, 기판 작업 테이블과, 제 1 인쇄 테이블 및 제 2 인쇄 테이블 중 적어도 한쪽은 상하 방향으로 이동 가능하게 구성되고, 제어부는 기판 작업 테이블에 유지된 기판에 대해서 제 1 인쇄 테이블의 소형 부품용 마스크에 의해 제 1 인쇄를 행한 후 제 2 인쇄 테이블의 대형 부품용 마스크에 의해 제 2 인쇄를 행하도록 구성되어 있다.
이 발명의 제 1 국면에 의한 기판 인쇄 장치에서는 상기한 바와 같이, 제 1 인쇄 테이블에 기판에 점성재를 인쇄하는 제 1 인쇄를 행하기 위한 소형 부품용 마스크를 유지시키고, 제 2 인쇄 테이블에 소형 부품용 마스크에 의해 인쇄된 점성재를 피하도록 기판 접촉면측에 제 1 막두께의 두께보다 깊이가 깊은 릴리프부가 형성되고, 제 1 인쇄 테이블에 의한 제 1 인쇄후의 기판에 점성재를 인쇄하는 제 2 인쇄를 행하기 위한 대형 부품용 마스크를 유지시키고, 기판 작업 테이블에 유지된 기판에 대해서 제 1 인쇄 테이블의 소형 부품용 마스크에 의해 제 1 인쇄를 행한 후 제 2 인쇄 테이블의 대형 부품용 마스크에 의해 제 2 인쇄를 행하도록 제어부를 구성한다. 이것에 의해, 소형 부품용 마스크(극소 부품용 마스크)를 사용한 제 1 인쇄와, 대형 부품용 마스크를 사용한 제 2 인쇄를 1대의 기판 인쇄 장치에 의해 실행할 수 있다. 이것에 의해, 2대의 기판 인쇄 장치를 생산 라인에 설치할 필요가 없으므로, 소형 부품용 마스크와 대형 부품용 마스크의 2종류의 마스크를 사용해서 인쇄를 행할 경우에도 생산 라인 구성을 복잡화시키지 않고 기판의 생산을 행할 수 있다.
상기 제 1 국면에 의한 기판 인쇄 장치에 있어서, 바람직하게는 제어부는 제 1 인쇄 테이블 및 제 2 인쇄 테이블의 한쪽의 기판 인쇄 동작 실행중에 제 1 인쇄 테이블 및 제 2 인쇄 테이블의 다른쪽의 인쇄 준비 동작을 실시하도록 구성되어 있다. 이렇게 구성하면, 제 1 인쇄 테이블 및 제 2 인쇄 테이블의 한쪽의 기판 인쇄 동작 실행중의 대기 기간을 이용하고, 다른쪽에서 다음의 인쇄를 위한 준비 동작을 선행해서 행할 수 있다. 이것에 의해, 제 1 인쇄와 제 2 인쇄를 1대의 기판 인쇄 장치에 의해 실행할 경우에도 기판 인쇄에 필요로 하는 시간(기판 인쇄 동작과 인쇄 준비 동작에 요하는 시간)을 단축할 수 있다.
이 경우, 바람직하게는 제 1 인쇄 테이블 및 제 2 인쇄 테이블은 각각 수평 방향의 소정 방향으로 이동 가능하게 구성되고, 제어부는 제 1 인쇄 테이블의 기판 인쇄 동작 실행중에 제 1 인쇄 테이블과 제 2 인쇄 테이블의 수평 방향의 소정 방향의 거리가 작아지도록 제 2 인쇄 테이블을 수평 방향의 소정 방향으로 이동시킴으로써 제 2 인쇄 테이블을 인쇄 위치에 접근시키도록 구성되어 있다. 이렇게 구성하면, 제 1 인쇄 테이블의 기판 인쇄 동작 실행중에 제 2 인쇄 테이블의 인쇄 위치로의 이동 동작의 일부를 실시할 수 있으므로, 제 2 인쇄 테이블에 의한 제 2 인쇄를 행할 때의 기판 인쇄에 필요로 하는 시간을 단축할 수 있다.
상기 제 1 인쇄 테이블의 기판 인쇄 동작 실행중에 제 2 인쇄 테이블을 인쇄 위치에 접근시키는 구성에 있어서, 바람직하게는 제어부는 기판 인쇄 동작 실행중의 제 1 인쇄 테이블과의 사이의 간격이 제 1 인쇄 테이블과 제 2 인쇄 테이블이 간섭하지 않고 근접 가능한 최소 간격이 되는 위치까지 제 2 인쇄 테이블을 인쇄 위치에 접근시키도록 구성되어 있다. 이렇게 구성하면, 제 1 인쇄 테이블의 기판 인쇄 동작 실행중에 제 2 인쇄 테이블을 최대한 접근시킬 수 있으므로, 제 2 인쇄 테이블에 의한 제 2 인쇄를 행할 때의 기판 인쇄에 필요로 하는 시간을 효과적으로 단축할 수 있다.
이 경우, 바람직하게는 제어부는 제 2 인쇄 테이블을 인쇄 위치에 접근시킨 후 제 2 인쇄 테이블에 의한 제 2 인쇄를 행할 때에 최소 간격 이상의 거리를 유지하면서 제 1 인쇄 테이블과 제 2 인쇄 테이블을 이동시켜서 제 2 인쇄 테이블을 인쇄 위치에 위치 부여하도록 구성되어 있다. 이렇게 구성하면, 예를 들면 제 2 인쇄 테이블을 인쇄 위치에 위치 부여하기 위해서 제 1 인쇄 테이블을 퇴피시킬 필요가 있는 경우 등에 제 1 인쇄 테이블과 제 2 인쇄 테이블을 차례로(개별로) 이동시키는 경우와 비교해서 제 2 인쇄 테이블의 인쇄 위치로의 이동에 요하는 시간을 단축할 수 있다.
상기 제 1 인쇄 테이블 및 제 2 인쇄 테이블의 한쪽의 기판 인쇄 동작 실행중에 제 1 인쇄 테이블 및 제 2 인쇄 테이블의 다른쪽의 인쇄 준비 동작을 실시하는 구성에 있어서 바람직하게는 제 1 인쇄 테이블 및 제 2 인쇄 테이블은 각각 상하 방향으로 이동 가능하게 구성되고, 제어부는 제 1 인쇄 테이블의 소형 부품용 마스크를 사용한 기판 인쇄 동작 실행중에 제 2 인쇄 테이블을 점성재의 제 2 인쇄후의 기판에 대해서 대형 부품용 마스크를 이간시키는 대형 부품용 마스크 판이간 높이 위치로부터 대형 부품용 마스크 판이간 높이 위치보다 낮고, 또한 기판상의 점성재와 대형 부품용 마스크가 비접촉이 되는 대기 높이 위치로 하강시키도록 구성되어 있다. 이렇게 구성하면, 제 1 인쇄 테이블의 기판 인쇄 동작(제 1 인쇄)의 실행중에 제 2 인쇄 테이블측에서 대형 부품용 마스크와 기판의 판맞춤을 행할 때의 하강 동작의 일부를 실시할 수 있다. 이것에 의해, 제 2 인쇄 테이블에 의한 제 2 인쇄를 행할 때의 기판 인쇄에 필요로 하는 시간을 단축할 수 있다.
이 경우, 바람직하게는 대기 높이 위치는 적어도 소형 부품용 마스크의 제 1 막두께와, 대형 부품용 마스크의 휘어짐량에 의거해서 결정되는 높이 위치이다. 이렇게 구성하면, 제 2 인쇄를 행할 때의 제 1 인쇄후의 기판 상에는 제 1 막두께분에 상당하는 점성재가 형성되어 있으므로, 이 제 1 막두께와 대형 부품용 마스크의 휘어짐량을 고려함으로써, 제 1 인쇄후의 기판에 대해서 최대한 접근시킨 대기 높이 위치에 대형 부품용 마스크를 배치해 둘 수 있다. 이것에 의해, 제 2 인쇄 테이블에 의한 제 2 인쇄를 행할 때의 기판 인쇄에 필요로 하는 시간을 효과적으로 단축할 수 있다.
상기 제 1 인쇄 테이블 및 제 2 인쇄 테이블의 한쪽의 기판 인쇄 동작 실행중에 제 1 인쇄 테이블 및 제 2 인쇄 테이블의 다른쪽의 인쇄 준비 동작을 실시하는 구성에 있어서 바람직하게는 기판 작업 테이블은 각각 수평 방향의 소정 방향으로 이동 가능하게 구성된 제 1 기판 작업 테이블 및 제 2 기판 작업 테이블을 포함하고, 제 1 기판 작업 테이블 및 제 2 기판 작업 테이블은 각각 소형 부품용 마스크 및 대형 부품용 마스크를 인식하는 것이 가능한 마스크 인식 카메라를 갖고, 제어부는 제 1 기판 작업 테이블과 제 1 인쇄 테이블에 의한 소형 부품용 마스크를 사용한 기판 인쇄 동작 실행중에 제 2 기판 작업 테이블을 사용해서 제 2 인쇄 테이블의 대형 부품용 마스크의 마스크 인식을 실시하도록 구성되어 있다. 이렇게 구성하면, 제 1 인쇄 테이블의 소형 부품용 마스크를 사용한 기판 인쇄 동작(제 1 인쇄)의 실행중에 제 2 인쇄 테이블측에서 대형 부품용 마스크와 기판을 위치맞춤하기 위한 마스크 인식 작업을 선행해서 실시할 수 있다. 이것에 의해, 제 1 인쇄후 마스크 인식 작업이 완료된 대형 부품용 마스크에 의해 즉시 제 2 인쇄를 행할 수 있으므로, 제 2 인쇄를 행할 때의 기판 인쇄에 필요로 하는 시간을 단축할 수 있다.
이 경우, 바람직하게는 제어부는 적어도 제 1 기판 작업 테이블과 제 1 인쇄 테이블에 의한 기판 인쇄 동작의 초회 실행시에 제 2 기판 작업 테이블을 사용한 대형 부품용 마스크의 마스크 인식을 실시하도록 구성되어 있다. 이렇게 구성하면, 기판 인쇄 동작의 초회 실행시에는 마스크 인식 작업에 의한 마스크와 기판의 위치 맞춤이 필요하게 되므로, 적어도 초회의 마스크 인식 작업을 선행해서 실시함으로써 즉시 제 2 인쇄를 개시할 수 있다. 또한, 적어도 초회의 인쇄 실행시에 마스크 인식을 행해 두면, 2회째 이후의 인쇄 실행시에 마스크 인식 결과를 이용함으로써 마스크 인식을 스킵하는 것도 가능하다.
상기 제 1 인쇄 테이블 및 제 2 인쇄 테이블의 한쪽의 기판 인쇄 동작 실행중에 제 1 인쇄 테이블 및 제 2 인쇄 테이블의 다른쪽의 인쇄 준비 동작을 실시하는 구성에 있어서 바람직하게는 기판 작업 테이블은 각각 수평 방향의 소정 방향으로 이동 가능하게 구성된 제 1 기판 작업 테이블 및 제 2 기판 작업 테이블을 포함하고, 제 1 기판 작업 테이블 및 제 2 기판 작업 테이블은 각각 소형 부품용 마스크 및 대형 부품용 마스크의 청소를 행하기 위한 클리닝 유닛을 갖고, 제어부는 제 1 인쇄후의 기판에 대해서 제 2 기판 작업 테이블과 제 2 인쇄 테이블이 대형 부품용 마스크를 사용한 기판 인쇄 동작을 실행하고 있는 동안에 제 1 기판 작업 테이블을 사용해서 제 1 인쇄 테이블의 소형 부품용 마스크의 마스크 청소 동작을 행하도록 구성되어 있다. 이렇게 구성하면, 제 1 인쇄 테이블의 기판 인쇄(제 1 인쇄)후 제 2 인쇄 테이블의 기판 인쇄 동작(제 2 인쇄)의 실행중에 제 1 인쇄 테이블측에서 소형 부품용 마스크의 마스크 청소 작업을 실시할 수 있다. 이것에 의해, 제 1 인쇄 테이블에 의한 다음 기판에 대한 제 1 인쇄를 행할 때의 인쇄 준비 동작에 필요로 하는 시간을 단축할 수 있다.
이 경우, 바람직하게는 제 1 인쇄 테이블 및 제 2 인쇄 테이블은 각각 수평 방향의 소정 방향으로 이동 가능하게 구성되고, 제어부는 제 2 기판 작업 테이블과 제 2 인쇄 테이블이 기판 인쇄 동작을 실행하고 있는 동안에 제 1 인쇄 테이블을 제 2 인쇄 테이블로부터 이간하는 방향으로 이동시킴과 아울러 제 2 인쇄 테이블로부터 이간한 위치에서 소형 부품용 마스크의 마스크 청소 동작을 행하도록 구성되어 있다. 이렇게 구성하면, 마스크 청소 동작시에 제 1 인쇄 테이블을 제 2 인쇄 테이블로부터 이간시킬 수 있으므로, 제 2 인쇄 테이블에 의한 제 2 인쇄의 동작중에도 마스크 청소 동작을 위한 작업 스페이스를 확보할 수 있다.
상기 제 1 인쇄 테이블 및 제 2 인쇄 테이블의 한쪽의 기판 인쇄 동작 실행중에 제 1 인쇄 테이블 및 제 2 인쇄 테이블의 다른쪽의 인쇄 준비 동작을 실시하는 구성에 있어서 바람직하게는 기판 작업 테이블은 각각 소정 방향으로 이동 가능하게 구성된 제 1 기판 작업 테이블 및 제 2 기판 작업 테이블을 포함하고, 제어부는 제 1 인쇄 테이블 및 제 2 인쇄 테이블의 한쪽과 제 1 기판 작업 테이블 및 제 2 기판 작업 테이블의 한쪽에 의한 기판 인쇄 동작 실행중에 제 1 기판 작업 테이블 및 제 2 기판 작업 테이블의 다른쪽에 의한 기판 반입 및 기판 반출 중 적어도 한쪽의 동작을 실시하도록 구성되어 있다. 이렇게 구성하면, 제 1 기판 작업 테이블 및 제 2 기판 작업 테이블의 한쪽을 사용해서 기판 인쇄 동작을 실행하고 있는 동안에 다른쪽에서 다음 기판 인쇄를 위한 기판 반입 및 기판 반출 중 적어도 한쪽의 동작을 실시할 수 있으므로, 제 1 인쇄와 제 2 인쇄를 1대의 기판 인쇄 장치에 의해 실행할 경우에도 다음 기판에 대한 인쇄를 행할 때의 인쇄 준비 동작(기판 반입, 반출 동작)에 필요로 하는 시간을 단축할 수 있다.
상기 제 1 국면에 의한 기판 인쇄 장치에 있어서 바람직하게는 기판 작업 테이블은 각각 소정 방향으로 이동 가능하게 구성된 제 1 기판 작업 테이블 및 제 2 기판 작업 테이블을 포함하고, 제어부는 제 2 인쇄 테이블과 제 1 기판 작업 테이블 및 제 2 기판 작업 테이블의 한쪽에 의한 제 1 인쇄후의 제 1 기판에 대한 제 2 인쇄의 기판 인쇄 동작 실행중에 제 1 인쇄 테이블과 제 1 기판 작업 테이블 및 제 2 기판 작업 테이블의 다른쪽에 의해 제 1 인쇄전의 제 2 기판에 대한 제 1 인쇄의 기판 인쇄 동작을 실행하도록 구성되어 있다. 이렇게 구성하면, 제 1 기판에 대한 제 2 인쇄의 실행중에 다음 인쇄 대상 기판(제 2 기판)에 대한 제 1 인쇄를 선행해서 실시할 수 있다. 이것에 의해, 제 1 인쇄와 제 2 인쇄를 1대의 기판 인쇄 장치에 의해 실행할 경우에도 다음 기판에 대한 인쇄를 행할 때의 기판 인쇄 동작에 필요로 하는 시간을 단축할 수 있다.
이 발명의 제 2 국면에 있어서의 기판 인쇄 방법은 기판에 점성재를 인쇄하는 제 1 인쇄 테이블 및 제 2 인쇄 테이블을 구비한 기판 인쇄 장치의 기판 인쇄 방법으로서, 기판 작업 테이블에 유지된 기판에 대해서 제 1 인쇄 테이블의 소형 부품용 마스크에 의해 제 1 인쇄를 행하는 공정과, 기판 작업 테이블에 유지되고 제 1 인쇄가 행해진 후의 기판에 대해서 제 2 인쇄 테이블의 대형 부품용 마스크에 의해 제 2 인쇄를 행하는 공정을 구비한다.
이 발명의 제 2 국면에 의한 기판 인쇄 방법에서는 상기한 바와 같이, 기판 작업 테이블에 유지된 기판에 대해서 제 1 인쇄 테이블의 소형 부품용 마스크에 의해 제 1 인쇄를 행하는 공정과, 기판 작업 테이블에 유지되고 제 1 인쇄가 행해진 후의 기판에 대해서 제 2 인쇄 테이블의 대형 부품용 마스크에 의해 제 2 인쇄를 행하는 공정을 설치함으로써 소형 부품용 마스크(극소 부품용 마스크)를 사용한 제 1 인쇄와, 대형 부품용 마스크를 사용한 제 2 인쇄를 1대의 기판 인쇄 장치에 의해 실행할 수 있다. 이것에 의해, 2대의 기판 인쇄 장치를 생산 라인에 설치할 필요가 없으므로, 소형 부품용 마스크와 대형 부품용 마스크의 2종류의 마스크를 사용해서 인쇄를 행할 경우에도 생산 라인 구성을 복잡화시키지 않고 기판의 생산을 행할 수 있다.
상기 제 2 국면에 의한 기판 인쇄 방법에 있어서 바람직하게는 제 1 인쇄 테이블에 의한 제 1 인쇄를 행하는 공정 및 제 2 인쇄 테이블에 의한 제 2 인쇄를 행하는 공정의 한쪽의 기판 인쇄 동작 실행중에 제 1 인쇄 테이블 및 제 2 인쇄 테이블의 다른쪽의 인쇄 준비 동작을 실시하는 공정을 더 구비한다. 이렇게 구성하면 제 1 인쇄 테이블 및 제 2 인쇄 테이블의 한쪽의 기판 인쇄 동작 실행중의 대기 기간을 이용해서 다른쪽에서 다음 인쇄를 위한 준비 동작을 선행해서 행할 수 있다. 이것에 의해, 제 1 인쇄와 제 2 인쇄를 1대의 기판 인쇄 장치에 의해 실행할 경우에도 기판 인쇄에 필요로 하는 시간(기판 인쇄 동작과 인쇄 준비 동작에 요하는 시간)을 단축할 수 있다.
도 1은 본 발명의 제 1 실시형태에 의한 인쇄 장치를 모식적으로 나타낸 평면도이다.
도 2는 본 발명의 제 1 실시형태에 의한 인쇄 장치를 Y 방향으로부터 본 경우의 모식적인 측면도이다.
도 3은 본 발명의 제 1 실시형태에 의한 인쇄 장치를 구성하는 기판 작업 테이블을 X 방향으로부터 본 경우의 모식적인 단면도이다.
도 4는 본 발명의 제 1 실시형태에 의한 인쇄 장치의 소형 부품용 마스크를 나타내는 모식도이다.
도 5는 본 발명의 제 1 실시형태에 의한 인쇄 장치의 대형 부품용 마스크를 나타내는 모식도이다.
도 6은 본 발명의 제 1∼제 6 실시형태에 의한 인쇄 장치의 제어적인 구성을 나타낸 블록도이다.
도 7은 본 발명의 제 1 실시형태에 의한 인쇄 장치의 기판 인쇄 작업시의 동작 개요를 나타내는 제어 플로우도이다.
도 8은 본 발명의 제 1 실시형태에 의한 인쇄 장치의 기판 인쇄 작업시(기판 반입)의 위치 관계를 나타낸 모식도이다.
도 9는 본 발명의 제 1 실시형태에 의한 인쇄 장치의 기판 인쇄 작업시(제 1 인쇄)의 위치 관계를 나타낸 모식도이다.
도 10은 본 발명의 제 1 실시형태에 의한 인쇄 장치의 기판 인쇄 작업시(제 2 인쇄)의 위치 관계를 나타낸 모식도이다.
도 11은 본 발명의 제 1 실시형태에 의한 인쇄 장치의 기판 인쇄 작업시(기판 반출)의 위치 관계를 나타낸 모식도이다.
도 12는 본 발명의 제 2 실시형태에 의한 인쇄 장치의 선행 접근 동작을 설명하기 위한 모식도이다.
도 13은 본 발명의 제 2 실시형태에 의한 인쇄 장치의 기판 인쇄 작업시(제 1 인쇄)의 위치 관계를 나타낸 모식도이다.
도 14는 본 발명의 제 2 실시형태에 의한 인쇄 장치의 기판 인쇄 작업시(제 2 인쇄)의 위치 관계를 나타낸 모식도이다.
도 15는 본 발명의 제 3 실시형태에 의한 인쇄 장치의 선행 하강 동작을 설명하기 위한 모식도이다.
도 16은 본 발명의 제 4 실시형태에 의한 인쇄 장치의 선행 마스크 인식을 설명하기 위한 기판 인쇄 작업시(제 1 인쇄)의 위치 관계를 나타낸 모식도이다.
도 17은 본 발명의 제 5 실시형태에 의한 인쇄 장치의 선행 청소 동작을 설명하기 위한 기판 인쇄 작업시의 동작 개요를 나타내는 제어 플로우도이다.
도 18은 본 발명의 제 5 실시형태에 의한 인쇄 장치의 선행 청소 동작을 설명하기 위한 기판 인쇄 작업시(제 2 인쇄)의 위치 관계를 나타낸 모식도이다.
도 19는 본 발명의 제 6 실시형태에 의한 인쇄 장치의 기판 인쇄 작업시의 동작 개요를 나타내는 제어 플로우도(전반부분)이다.
도 20은 본 발명의 제 6 실시형태에 의한 인쇄 장치의 기판 인쇄 작업시의 동작 개요를 나타내는 제어 플로우도(후반부분)이다.
도 21은 본 발명의 제 6 실시형태에 의한 인쇄 장치의 기판 인쇄 작업시(기판 반입, 기판 반출 및 제 1 인쇄)의 위치 관계를 나타낸 모식도이다.
도 22는 본 발명의 제 6 실시형태에 의한 인쇄 장치의 기판 인쇄 작업시(제 1 인쇄 및 제 2 인쇄)의 위치 관계를 나타낸 모식도이다.
도 23은 본 발명의 제 6 실시형태에 의한 인쇄 장치의 기판 인쇄 작업시(기판 반입, 기판 반출 및 제 2 인쇄)의 위치 관계를 나타낸 모식도이다.
[바람직한 실시형태의 설명]
이하, 본 발명의 실시형태를 도면에 의거해서 설명한다.
(제 1 실시형태)
우선, 도 1∼도 6을 참조해서 본 발명의 제 1 실시형태에 의한 인쇄 장치(100)의 구조에 대해서 설명한다. 또한, 제 1 실시형태에서는 본 발명의 「기판 인쇄 장치」를 인쇄 장치(100)에 적용한 예에 대해서 설명한다.
본 발명의 제 1 실시형태에 의한 인쇄 장치(100)는 도 1∼도 3에 나타낸 바와 같이, 장치 본체내에 반송되는 프린트 기판(이하, 「기판」이라고 한다)(5)의 상면에 땜납 페이스트를 마스크 인쇄하는 기판 인쇄 장치이다.
도 1에 나타낸 바와 같이, 인쇄 장치(100)는 반송 방향 상류측(X 방향 우측)의 반입 위치(En1)의 로더(LD1) 및 반입 위치(En2)의 로더(LD2)로부터 기판(5)을 반입 가능하며, 반송 방향 하류측(X 방향 좌측)의 반출 위치(Ex1 또는 Ex2)로부터 하류측 장치(M)로 인쇄가 완료된 기판(5)을 반출하도록 구성되어 있다. 반출 위치(Ex1 및 Ex2)는 각각 반입 위치(En1 및 En2)와 X 방향으로 배열되도록 배치되어 있다. 또한, 기판(5)의 반송 방향이 X 방향이며, 수평면내에서 X 방향과 직교하는 방향이 Y 방향이다. 또한, X 및 Y 방향과 직교하는 상하 방향이 Z 방향이다. 또한, Y 방향은 본 발명의 「수평 방향의 소정 방향」의 일례이다. 이러한 구성에 의해, 인쇄 장치(100)는 2개의 반송 라인을 갖는 프린트 회로 기판의 기판 제조 라인의 일부를 구성하고 있다.
인쇄 장치(100)는 기대(1)와, 기판(5)의 유지 및 반송을 행하는 2개의 기판 작업 테이블(2a 및 2b)과, 2개의 인쇄 테이블(3a 및 3b)과, 2개의 스퀴지 유닛(4a 및 4b)을 구비하고 있다. 기판 작업 테이블(2a)과, 인쇄 테이블(3a)과, 스퀴지 유닛(4a)은 인쇄 장치(100)의 Y2 방향측에 배치되고, 기판 작업 테이블(2b)과, 인쇄 테이블(3b)과, 스퀴지 유닛(4b)은 인쇄 장치(100)의 Y1 방향측에 배치되어 있다. 또한, 인쇄 장치(100)에는 이하에 설명하는 각 부의 동작 제어를 행하기 위한 후술하는 제어 장치(80)(도 6 참조)가 내장되어 있다. 또한, 기판 작업 테이블(2a 및 2b)은 각각 본 발명의 「제 1 기판 작업 테이블」 및 「제 2 기판 작업 테이블」의 일례이다. 또한, 인쇄 테이블(3a 및 3b)은 각각 본 발명의 「제 1 인쇄 테이블」 및 「제 2 인쇄 테이블」의 일례이다.
2개의 기판 작업 테이블{2a(2b)}은 Y 방향으로 나란히 배치되어 있고, 각각 대응하는 반입 위치{En1(En2)}에서 기판(5)을 받고, 인쇄 작업시에는 인쇄 테이블(3a 및 3b)에 대향해서 기판(5)을 지지해서 고정하고, 인쇄가 완료된 기판(5)을 대응하는 반출 위치{Ex1(Ex2)}로부터 반출하는 기능을 갖고 있다. Y2 방향측의 반입 위치(En1) 및 반출 위치(Ex1)가 기판 작업 테이블(2a)에 대응하고, Y1 방향측의 반입 위치(En2) 및 반출 위치(Ex2)가 기판 작업 테이블(2b)에 대응하고 있다.
도 1∼도 3에 나타낸 바와 같이, 기판 작업 테이블{2a(2b)}은 각각 Y 방향으로 이동 가능하게 구성된 가동대(21)와, 가동대(21) 상에 배치된 반송 방향(X 방향)으로 연장되는 한쌍의 컨베이어 레일로 이루어지는 반송 컨베이어(22)와, 반송 컨베이어(22) 상의 기판(5)을 반송 컨베이어(22)로부터 상방으로 이간한 상태에서 인쇄 작업 가능하도록 유지(고정)하면서 X 방향으로 이동 가능하게 구성된 클램프 유닛(23)과, 클램프 유닛(23)에 설치된 마스크 인식 카메라(24)와, 가동대(21) 상에 배치된 클리닝 유닛(25)(도 3 참조)을 포함한다. 또한, 기판 작업 테이블(2a)의 구성(구조)과 기판 작업 테이블(2b)의 구성(구조)은 대략 같으므로, 개별의 설명을 생략한다.
도 1에 나타낸 바와 같이, 가동대(21)는 기대(1) 상에 Y 방향으로 연장되는 가이드 레일(11) 상에서 Y 방향으로 이동 가능하게 지지되어 있다. 각 기판 작업 테이블{2a(2b)}의 가동대(21)는 2개의 테이블 구동 기구에 의해 가이드 레일(11) 위를 Y 방향으로 개별로 이동되도록 구성되어 있다. 구체적으로는 도 3에 나타낸 바와 같이, 기판 작업 테이블{2a(2b)}의 가동대(21)는 각각 Y 방향으로 연장되는 나사축{12a(12b)}과, 나사축{12a(12b)}을 회전 구동하는 서보 모터{13a(13b)}에 의해 Y 방향으로 구동된다. 이것에 의해, 기판 작업 테이블{2a(2b)}은 각각 적어도 Y 방향의 반대측의 인쇄 테이블{3a(3b)}의 위치까지 개별로 Y축(Y 방향)으로 이동 가능하도록 구성되어 있고, 기판 작업 테이블{2a(2b)}은 공통의 이동 영역을 갖고 있다(이동 범위가 오버랩되어 있다).
도 1 및 도 2에 나타낸 바와 같이, 반송 컨베이어(22)는 인쇄 장치(100)의 X 방향의 대략 전체길이에 걸쳐 연장되도록 설치되어 있고, 반송 컨베이어(22)의 위치를 반입 위치{En1(En2)} 및 반출 위치{Ex1(Ex2)}의 Y축 좌표에 일치시킴으로써 기판 반입 및 반출이 가능하다. 또한, 각 반송 컨베이어(22)는 한쌍의 컨베이어 레일의 한쪽을 가동대(21) 상에서 Y 방향으로 이동시키는 것이 가능하며, 반송되는 기판(5)의 사이즈에 맞춰서 컨베이어폭(컨베이어 레일간의 간격)을 변경하는 것이 가능하다.
도 3에 나타낸 바와 같이, 클램프 유닛(23)은 한쌍의 컨베이어 레일로 이루어지는 반송 컨베이어(22)를 Y 방향 양외측으로부터 감싸도록 설치된 가동 유닛이다. 클램프 유닛(23)은 가동대(21) 상에 각각 설치된 X 방향으로 연장되는 X축 이동 기구(51)(도 2참조)에 의해 가이드 레일(51a) 위를 X 방향으로 이동 가능하게 구성되어 있다. 이것에 의해, 클램프 유닛(23)이 반송 컨베이어(22)를 따라 X 방향으로 이동 가능하게 되어 있다. 또한, 클램프 유닛(23)의 Y 방향의 폭은 반송 컨베이어(22)의 컨베이어폭에 대응해서 변경 가능하다.
또한, 클램프 유닛(23)은 기판(5)을 파지해서 고정하기 위한 클램프 기구(52)와, 반송 컨베이어(22) 상의 기판(5)을 들어 올려서 지지하기 위한 지지 기구(53)를 포함하고 있다. 클램프 기구(52)는 도시가 생략된 에어 실린더를 구동시켜서 클램프부(52b)를 클램프부(52a)에 근접하는 방향으로 변위시킴으로써 반송 컨베이어(22) 상의 기판(5)을 Y 방향의 양측에서 끼워 넣어 파지하는 것이 가능하도록 구성되어 있다. 또한, 에어 실린더를 역방향으로 작동시키면 클램프가 해제된다.
지지 기구(53)는 백업핀(53a)과 백업핀(53a)을 상하로 이동시키는 승강 기구(53b)를 포함하고, 백업핀(53a)을 기판(5)의 하면에 하측으로부터 접촉시키고, 승강 기구(53b)에 의해 반송 컨베이어(22) 상의 기판(5)을 들어 올려서 지지하도록 구성되어 있다. 지지 기구(53)에 의해 들어 올려진 기판(5)이 클램프 기구(52)에 의해 파지됨으로써 기판(5)이 반송 컨베이어(22)로부터 상방으로 이간된 상태로 고정적으로 유지되고, 기판 작업 테이블{2a(2b)} 상에서 기판(5)에 인쇄 작업을 행하는 것이 가능해진다.
마스크 인식 카메라(24)는 CCD 에리어 센서 등으로 이루어지고, 클램프 유닛(23)의 Y 방향의 외측에 촬상 방향을 상방을 향해서 부착되어 있다. 이 때문에, 마스크 인식 카메라(24)는 기판 작업 테이블{2a(2b)}의 이동에 따라 Y 방향으로 이동 가능하며, 클램프 유닛(23)의 이동에 따라 X 방향으로 이동 가능하게 되어 있다. 마스크 인식 카메라(24)는 인쇄 테이블(3a 및 3b)에 유지된 스크린 마스크(후술하는 소형 부품용 마스크(6) 및 대형 부품용 마스크(7))의 하면측에 부착된 마스크 인식 마크(Q)(도 8 참조)를 하방으로부터 촬상하고, 마스크(소형 부품용 마스크(6) 및 대형 부품용 마스크(7))의 위치 및 자세를 인식하기 위해서 설치되어 있다.
클리닝 유닛(25)은 상세한 도시를 생략하지만, 스크린 마스크(소형 부품용 마스크(6) 및 대형 부품용 마스크(7))의 기판 접촉면(하면)에 접촉시키는 패드와, 패드를 통해 부압 흡인을 행하는 흡인 노즐을 포함하는 클리닝 헤드를 구비하고 있다. 클리닝 헤드를 마스크의 기판 접촉면에 접촉시킨 상태로 기판 작업 테이블{2a(2b)}과 마스크를 Y 방향으로 상대 이동(슬라이딩)시킴으로써 마스크의 기판 접촉면이나 개구내에 부착된 땜납 페이스트를 제거하는 것이 가능하다. 클리닝 헤드는 기판 작업 테이블{2a(2b)}에 대해서 상하로 승강 가능하게 되어 있고, 마스크 청소시 이외에는 마스크와 비접촉이 되는 하강 위치로 퇴피하도록 구성되어 있다.
또한, 도 2 및 도 3에 나타낸 바와 같이, 기대(1) 상에는 2개의 기판 작업 테이블{2a(2b)}의 상방을 넘어서 Y 방향으로 연장되도록 설치된 한쌍의 프레임 구조체(14)가 X 방향(기판 반송 방향)으로 소정의 간격을 두고 배치되어 있다. 또한, 각각의 프레임 구조체(14)는 문형 구조를 갖고 있고, 기대(1)의 Y 방향의 양단부 근방으로부터 상방으로 연장되는 한쌍의 다리부(14a)와, 다리부(14a)의 상단끼리를 수평 방향으로 연결시키는 보부(14b)를 포함하고 있다.
기판 작업 테이블{2a(2b)}의 상방을 넘는 반송 방향 상류측(도 1의 우측)의 프레임 구조체(14)(보부(14b))의 하면측에는 2개의 기판 인식 카메라(15)(도 3 참조)가 고정적으로 설치되어 있다. 2개의 기판 인식 카메라(15)는 각각 기판 작업 테이블{2a(2b)}에 대응해서 설치되어 있고, Y 방향으로 소정의 간격을 두고 배치되어 있다. 이들 기판 인식 카메라(15)는 CCD 에리어 센서 등으로 이루어지고, 촬상 방향을 하방을 향해서 설치되어 있다. 기판 인식 카메라(15)는 기판(5)의 상면에 부착된 도시가 생략된 기판 인식 마크를 촬상하고, 클램프 유닛(23)에 파지된 기판(5)의 위치 및 자세를 인식하도록 구성되어 있다.
도 1 및 도 2에 나타낸 바와 같이, 인쇄 테이블(3a 및 3b)은 각각 한쌍의 프레임 구조체(14)에 설치된 한쌍의 가이드 레일(33a)에 의해 X 방향의 양측이 지지되고, 기판 작업 테이블{2a(2b)}보다 상방의 위치에 배치되어 있다. 인쇄 테이블{3a(3b)}은 각각 Y 방향으로 연장되는 가이드 레일(33a)을 따라 Y 방향으로 이동 가능하게 구성됨과 아울러 상하 방향(Z 방향)으로 이동 가능하게 구성되어 있다. 구체적으로는 인쇄 테이블{3a(3b)}은 스크린 마스크가 착탈 가능하게 장착된 대략 직사각형상의 마스크 고정 부재(31)와, 마스크 고정 부재(31)를 승강(Z축 방향 이동)시키는 마스크 승강 기구(32)와, 마스크 고정 부재(31)를 Z축 둘레로 회동시킴과 아울러 Y 방향으로 이동시키기 위한 한쌍의 마스크 구동 기구(33)를 갖고 있다.
제 1 실시형태에서는 인쇄 테이블(3a)의 마스크 고정 부재(31)에는 소형 부품용 마스크(극소 부품용 마스크)(6)가 장착되어 있다. 소형 부품용 마스크(6)에는 도 4에 나타낸 바와 같이, 예를 들면 0603사이즈나 0402사이즈의 소형 부품의 랜드에 대응한 패턴의 미소한 개구(6a)가 형성되어 있다. 소형 부품용 마스크(6)의 두께는 소형 부품에 적합한 두께인 제 1 막두께(Th1)(예를 들면, 약 50㎛∼ 약 75㎛)로 형성되어 있다. 소형 부품용 마스크(6)를 사용해서 땜납 인쇄를 행함으로써 기판(5)의 표면(인쇄면)에는 소형 부품에 적합한 땜납 높이(H1)의 땜납(Sd1)이 형성된다. 또한, 땜납 높이(H1)는 제 1 막두께(Th1)와 같거나, 땜납(Sd1)에 작용하는 중력 때문에 제 1 막두께(Th1)보다 약간 작은 높이가 된다. 땜납(Sd1)은 본 발명의 「점성재」의 일례이다.
한편, 도 1에 나타낸 바와 같이, 인쇄 테이블(3b)의 마스크 고정 부재(31)에는 대형 부품용 마스크(7)가 장착되어 있다. 대형 부품용 마스크(7)에는 도 5에 나타낸 바와 같이, 예를 들면 실드 부품 등의 대형 부품의 랜드에 대응한 패턴의 개구(7a)가 형성되어 있다. 대형 부품용 마스크(7)의 두께는 소형 부품용 마스크(6)의 두께보다 큰 대형 부품에 적합한 두께인 제 2 막두께(Th2)(예를 들면, 약 150㎛)로 형성되어 있다. 또한, 대형 부품용 마스크(7)의 기판 접촉면(하면)측에는 소형 부품용 마스크(6)의 개구 패턴에 대응하는 소정 영역을 덮도록 오목상의 릴리프부(7b)가 형성되어 있다. 오목상의 릴리프부(7b)의 깊이(D)는 소형 부품용 마스크(6)의 두께(막두께)(Th1)보다 크다(즉 Th2>Th1). 이것에 의해 깊이(D)는 소형 부품용 마스크(6)에 의해 형성되는 땜납(Sd1)의 땜납 높이(H1)보다 커진다. 이 때문에, 소형 부품용 마스크(6)를 사용한 제 1 인쇄후의 기판(5)에 대해서 대형 부품용 마스크(7)의 판맞춤을 행하면 소형 부품용 마스크(6)에 의해 형성된 땜납(Sd1)이 오목상의 릴리프부(7b)의 내부에 수용되어 대형 부품용 마스크(7)와 땜납(Sd1)이 비접촉의 상태로 유지된다. 이 상태로 대형 부품용 마스크(7)의 땜납 인쇄를 행함으로써 기판(5)에는 땜납(Sd1)에 추가해서 대형 부품에 적합한 땜납 높이(H2)(제 2 막두께(Th2)와 같거나 작용하는 중력 때문에 약간 작다. 또한, H2>H1)의 땜납(Sd2)이 형성된다. 또한, 땜납(Sd2)은 본 발명의 「점성재」의 일례이다.
도 2에 나타낸 바와 같이, 마스크 승강 기구(32)는 마스크 고정 부재(31)를 지지함과 아울러 도시가 생략된 가이드, 나사축, 및 나사축을 구동하는 Z축 모터에 의해 마스크 고정 부재(31)를 승강시키도록 구성되어 있다. 마스크 승강 기구(32)는 한쌍의 가이드 레일(33a) 상에 X 방향의 양단이 지지되어 있다.
한쌍의 마스크 구동 기구(33)는 한쌍의 가이드 레일(33a), 나사축(33b)(도 1 참조), 및 나사축(33b)을 구동하는 Y축 모터(33c)로 이루어지고, 한쌍의 프레임 구조체(14) 상에 각각 설치되어 있다. 한쌍의 마스크 구동 기구(33)는 X 방향의 양측으로부터 마스크 승강 기구(32)를 Y 방향으로 구동하는 것이 가능하도록 구성되어 있다. 한쌍의 마스크 구동 기구(33)의 양쪽을 등속도로 구동하면 마스크 승강 기구(32)와 함께 마스크 고정 부재(31)를 평행하게 Y 방향으로 이동시키는 것이 가능하며, 한쌍의 마스크 구동 기구(33)로 구동 속도에 차를 설정하면 마스크 승강 기구(32)와 함께 마스크 고정 부재(31)를 수평면내(X-Y면내)에서 회동시키는 것이 가능하다.
이것에 의해, 인쇄 테이블{3a(3b)}은 이동 범위내에 있어서 Y 방향의 임의의 위치에서 기판(5)에 대한 인쇄를 행하는 것이 가능하며, 유지하는 소형 부품용 마스크(6)(대형 부품용 마스크(7))의 X-Y면내에 있어서의 상세한 위치 맞춤(Y 방향 위치 및 수평면내의 경사)을 행하는 것이 가능하다. X 방향 위치의 위치 맞춤은 클램프 유닛(23)의 이동 조정에 의해 이루어진다. 또한, 인쇄시에는 인쇄 테이블{3a(3b)}은 마스크 승강 기구(32)에 의해 Z2 방향으로 하강해서 소형 부품용 마스크(6)(대형 부품용 마스크(7))를 기판(5)의 상면에 접촉시키는 판맞춤 동작을 행함과 아울러 인쇄후에는 Z1 방향으로 상승해서 소형 부품용 마스크(6)(대형 부품용 마스크(7))를 기판(5)의 상면으로부터 이간시키는 판이간 동작을 행하도록 구성되어 있다.
이렇게, 제 1 실시형태에서는 인쇄 장치(100)는 1매의 기판(5)의 땜납 인쇄용의 개구 패턴을 두께가 다른 소형 부품용 마스크(6)(소형 부품용 개구(6a)의 패턴)와 대형 부품용 마스크(7)(대형 부품용 개구(7a)의 패턴)로 분담하고, 개별로 땜납 인쇄를 행한다. 이것에 의해, 부품 사이즈에 따른 애스펙트비(땜납 높이/땜납 바닥 면적, 즉, 마스크 두께/개구 면적)의 땜납(Sd1) 및 땜납(Sd2)을 각각 기판(5)의 표면(인쇄면) 상에 형성하는 것이 가능하다.
도 1 및 도 2에 나타낸 바와 같이, 스퀴지 유닛{4a(4b)}은 각각 X 방향으로 연장되는 가동보(42)의 중앙부에서 지지되고, 대응하는 인쇄 테이블{3a(3b)}의 상방에 배치되어 있다. 스퀴지 유닛{4a(4b)}은 소형 부품용 마스크(6)(대형 부품용 마스크(7))의 상면(Z1측)에 대해서 페이스트상의 땜납을 압박하면서 Y 방향으로 왕복해서 슬라이딩하는 스퀴지(41)(도 2 참조)와, 인쇄시에 스퀴지(41)를 승강시키는 도시가 생략된 승강 기구와, 소형 부품용 마스크(6)(대형 부품용 마스크(7))에 대한 스퀴지(41)의 경사 방향 및 경사 각도를 변경하기 위한 도시가 생략된 스퀴지 각도 가변 기구를 포함한다. 또한, 가동보(42)는 한쌍의 프레임 구조체(14)의 상면 상에 Y 방향을 따라 연장되도록 설치된 한쌍의 가이드 레일(43) 상에서 이동 가능하게 지지되어 있다. 그리고, 가동보(42)는 프레임 구조체(14)에 설치된 Y 방향으로 연장되는 나사축(44) 및 스퀴지축 모터(45)에 의해 Y 방향으로 이동 가능하게 구성되어 있다. 스퀴지 유닛{4a(4b)}은 가동보(42)의 이동에 따라 스퀴지 유닛{4a(4b)}을 스퀴지(41)와 함께 Y 방향으로 이동시킴으로써 인쇄 동작을 행하도록 구성되어 있다. 스퀴지 유닛(4a)은 대응하는 인쇄 테이블(3a)(소형 부품용 마스크(6))을 사용해서 기판 인쇄를 행하고, 스퀴지 유닛(4b)은 대응하는 인쇄 테이블(3b)(대형 부품용 마스크(7))을 사용해서 기판 인쇄를 행한다.
또한, 도 6에 나타낸 바와 같이, 제어 장치(80)는 연산 처리부(81), 기억부(82), 외부 입출력부(83), 화상 처리부(84) 및 모터 제어부(85)에 의해 주로 구성되어 있다. 또한, 제어 장치(80)는 표시 유닛(86) 및 입력 장치(87)와 접속되어 있다. 또한, 연산 처리부(81)는 본 발명의 「제어부」의 일례이다.
연산 처리부(81)는 CPU로 이루어지고, 인쇄 장치(100)의 동작을 전반적으로 통괄하고 있다. 기억부(82)는 연산 처리부(81)가 실행 가능한 제어 프로그램 등이 격납되어 있는 동작 프로그램 기억부(82a)와, 인쇄 동작을 행할 때에 필요가 되는 데이터류가 격납되어 있는 제어 데이터 기억부(82b)를 포함하고 있다.
또한, 외부 입출력부(83)는 각종 센서류 및 액츄에이터류로부터의 입출력을 제어하는 기능을 갖고 있다. 화상 처리부(84)는 기판 인식 카메라(15) 및 마스크 인식 카메라(24)의 각각이 촬상한 화상 데이터의 처리를 행하여 인쇄 장치(100)의 동작에 필요로 되는 데이터를 내부적으로 생성한다.
모터 제어부(85)는 연산 처리부(81)로부터 출력되는 제어 신호에 의거해서 인쇄 장치(100)의 각 서보 모터(기판 작업 테이블{2a(2b)}을 Y 방향으로 이동시키는 서보 모터{13a(13b)}(도 1 참조), 클램프 유닛(23)을 X 방향으로 이동시키는 X축 이동 기구(51)의 서보 모터(도시 생략), 각 인쇄 테이블{3a(3b)}의 Y축 모터(33c), 마스크 승강 기구(32)용의 Z축 모터(도시 생략) 등)를 제어하도록 구성되어 있다. 또한, 모터 제어부(85)는 각 서보 모터가 갖는 인코더(도시 생략)로부터의 신호에 의거해서 기판 작업 테이블{2a(2b)}의 Y축 방향의 위치 좌표, 클램프 유닛(23)의 X-Y면내의 위치, 인쇄 테이블(3a 및 3b)의 Y축 방향의 위치 좌표, 높이 위치(Z 방향) 및 회전 위치(X-Y면내의 회전 각도) 등을 인식 가능하게 구성되어 있다.
제 1 실시형태에서는 제어 장치(80)(연산 처리부(81))는 소형 부품용의 소형 부품용 마스크(6)를 포함하는 인쇄 테이블(3a)에 의해 제 1 인쇄를 행한 후 대형 부품용의 대형 부품용 마스크(7)를 포함하는 인쇄 테이블(3b)에 의해 제 2 인쇄를 행함으로써 1매의 기판(5)에 대한 땜납 인쇄 작업을 실시하는 제어를 행하도록 구성되어 있다. 즉, 인쇄 장치(100)는 1매의 기판(5)에 대해서 인쇄 테이블(3a)에 의한 제 1 인쇄와, 제 1 인쇄후의 인쇄 테이블(3b)에 의한 제 2 인쇄를 순차 실행한다.
이어서, 도 4, 도 5, 도 7∼도 10을 참조해서 본 발명의 제 1 실시형태에 의한 인쇄 장치(100)의 기판 인쇄 작업시의 동작 제어에 대해서 설명한다. 이하에서는 인쇄 동작의 일례로서 기판 작업 테이블(2a)에 반입된 기판(5)에 인쇄 동작을 행하는 경우의 예에 대해서 설명한다. 이하의 제어 처리는 제어 장치(80)(연산 처리부(81))에 의해 행해진다.
우선, 도 7 및 도 8에 나타낸 바와 같이, 스텝S1에 있어서 연산 처리부(81)는 기판 작업 테이블(2a)의 Y좌표를 반입 위치(En1)에 일치시키고, 기판(5)을 반송 컨베이어(22) 상에 반입시킨다. 기판(5)이 반송 컨베이어(22) 상에 반입되면 스텝S2에 있어서 클램프 유닛(23)에 의해 기판(5)이 클램프(고정)된다.
스텝S3에서는 기판 작업 테이블(2a)의 클램프 유닛(23)이 인쇄 테이블(3a)을 향해서 X 방향으로 이동을 개시함과 아울러 기판 작업 테이블(2a)이 Y 방향으로 이동을 개시하고, 기판(5)을 유지한 클램프 유닛(23)의 X 방향 이동과, 기판 작업 테이블(2a)의 Y 방향 이동이 동기해서 행해진다. 이 이동중에 기판(5)의 기판 인식 마크(도시 생략)가 기판 인식 카메라(15)의 하방에 위치 부여되고, 기판 인식 카메라(15)에 의한 기판(5)의 기판 인식 마크의 촬상(화상 인식)이 행해진다.
이어서, 스텝S4에서는 인쇄 테이블(3a)의 소형 부품용 마스크(6)의 마스크 인식 마크(Q)의 하방에 기판 작업 테이블(2a)의 클램프 유닛(23)의 마스크 인식 카메라(24)가 위치 부여되고, 마스크 인식 카메라(24)에 의한 마스크 인식 마크(Q)의 촬상(화상 인식)이 행해진다. 스텝S3 및 스텝S4의 화상 인식의 결과, 클램프 유닛(23)에 유지된 기판(5)의 수평 방향의 위치 및 자세와, 인쇄 테이블(3a)에 장착된 소형 부품용 마스크(6)의 수평 방향의 위치 및 자세의 상대 위치 관계가 취득된다.
이어서, 스텝S5에 있어서 클램프 유닛(23)에 유지된 기판(5)과, 인쇄 테이블(3a)에 유지된 소형 부품용 마스크(6)의 인쇄 위치로의 이동이 행해진다. 즉, 도 9에 나타낸 바와 같이, 스텝S3 및 S4의 인식 결과에 의거해서 클램프 유닛(23)의 X 방향 이동에 의해 기판(5)과 소형 부품용 마스크(6)의 X 방향 위치 좌표가 일치함과 아울러 기판 작업 테이블(2a)의 Y 방향 이동과 인쇄 테이블(3a)의 Y 방향 이동에 의해 기판(5)과 소형 부품용 마스크(6)의 Y 방향 위치 좌표가 일치한다. 또한, 인쇄 테이블(3a)의 마스크 고정 부재(31)가 수평면내(X-Y면내)에서 회동됨으로써 기판(5)과 소형 부품용 마스크(6)의 수평면내의 경사가 일치한다.
이어서, 스텝S6에 있어서 인쇄 테이블(3a)이 소형 부품용 마스크(6)를 하강시켜 판맞춤(도 4 참조)을 행한다. 이것에 의해, 소형 부품용 마스크(6)가 기판(5)에 소정의 압박력으로 압박되어서 밀착된다. 판맞춤이 완료되면 스텝S7에 있어서 인쇄 테이블(3a)의 소형 부품용 마스크(6)에 의한 제 1 인쇄가 실시된다. 즉, 소형 부품용 마스크(6) 상에 땜납이 공급되고, 스퀴지(41)가 하강되어 소형 부품용 마스크(6)를 통해 기판(5)을 압박한 상태로 스퀴지 유닛{4a(가동보(42)}이 Y 방향으로 구동되는 것(스크레이핑 동작)에 의해 소형 부품용 마스크(6)를 통해 기판(5)의 상면에 땜납이 인쇄되어서 스퀴지(41)가 상승된다. 제 1 인쇄의 결과, 소형 부품용 마스크(6)의 개구 패턴에 따른 기판(5) 상의 위치에 땜납 높이(H1)의 땜납(Sd1)이 형성된다. 제 1 인쇄후 스텝S8에 있어서 인쇄 테이블(3a)이 Z1 방향으로 상승되어 소형 부품용 마스크(6)를 기판(5)으로부터 이간시키는 판이간이 행해진다.
스텝S9 이후에서는 인쇄 테이블(3b)의 대형 부품용 마스크(7)에 의한 제 2 인쇄가 행해진다. 동작의 내용은 상기 스텝S4∼S8과 기본적으로 같으므로, 간략화해서 설명한다. 스텝S9에 있어서 클램프 유닛(23)의 마스크 인식 카메라(24)에 의해 인쇄 테이블(3b)의 대형 부품용 마스크(7)의 마스크 인식 마크(Q)의 촬상(화상 인식)이 행해진다. 스텝S3 및 스텝S10의 화상 인식의 결과, 클램프 유닛(23)에 유지된 기판(5)과, 인쇄 테이블(3b)에 장착된 대형 부품용 마스크(7)의 수평 방향의 위치 및 자세에 관한 상대 위치 관계가 취득된다.
이어서, 스텝S10에 있어서 클램프 유닛(23)에 유지된 기판(5)과, 인쇄 테이블(3b)에 유지된 대형 부품용 마스크(7)의 인쇄 위치로의 이동이 행해진다. 즉, 도 10에 나타낸 바와 같이, 스텝S3 및 S10의 인식 결과에 의거해서 클램프 유닛(23)의 X 방향 이동, 기판 작업 테이블(2a) 및 인쇄 테이블(3b)의 Y 방향 이동, 및 인쇄 테이블(3b)의 마스크 고정 부재(31)의 회동을 행함으로써 기판(5)과 대형 부품용 마스크(7)의 수평면내의 상대 위치 및 자세가 일치한다.
이어서, 스텝S11에 있어서 인쇄 테이블(3b)이 대형 부품용 마스크(7)를 하강시켜 판맞춤(도 5 참조)을 행한다. 판맞춤이 완료되면 스텝S12에 있어서 인쇄 테이블(3b)의 대형 부품용 마스크(7)와 스퀴지 유닛(4b)에 의한 제 2 인쇄가 실시된다. 이것에 의해, 제 1 인쇄에 의한 땜납(Sd1)이 형성된 후의 기판(5)에 추가하도록 해서 대형 부품용 마스크(7)의 개구 패턴에 따른 기판(5) 상의 위치에 땜납 높이(H2)의 땜납(Sd2)이 형성된다. 제 2 인쇄후 스텝S13에 있어서 대형 부품용 마스크(7)를 기판(5)으로부터 이간시키는 판이간이 행해진다.
다음에 스텝S14에 있어서 클램프 유닛(23)에 의한 기판(5)의 클램프(고정)가 해제된다. 즉, 지지 기구(53) 및 클램프 기구(52)(도 3 참조)에 의해 기판(5)이 반송 컨베이어(22) 상에 배치된다. 또한, 기판 작업 테이블(2a)은 반출 위치(Ex1)를 향해서 Y2 방향으로 이동한다. 그리고, 스텝S15에 있어서 반출 위치(Ex1)에 있어서 기판 작업 테이블(2a)(반송 컨베이어(22)로부터 인쇄가 완료된 기판(5)이 반출된다.
제 1 실시형태에서는 상기한 바와 같이, 인쇄 테이블(3a)에 기판(5)에 땜납을 인쇄하는 제 1 인쇄를 행하기 위한 소정 두께인 제 1 막두께(Th1)의 소형 부품용 마스크(6)를 유지시키고, 인쇄 테이블(3b)에 소형 부품용 마스크(6)에 의해 인쇄된 땜납 높이(H1)의 땜납(Sd1)을 피하도록 기판 접촉면측에 제 1 막두께의 두께(Th1)보다 깊이(D)가 큰 릴리프부(7b)가 형성되고, 인쇄 테이블(3a)에 의한 제 1 인쇄후의 기판(5)에 땜납을 인쇄하는 제 2 인쇄를 행하기 위해서 제 1 막두께(Th1)보다 두꺼운 소정 두께의 제 2 막두께(Th2)의 대형 부품용 마스크(7)를 유지시켜 기판 작업 테이블{2a(2b)}에 유지된 기판(5)에 대해서 인쇄 테이블(3a)의 소형 부품용 마스크(6)에 의해 제 1 인쇄를 행한 후 인쇄 테이블(3b)의 대형 부품용 마스크(7)에 의해 제 2 인쇄를 행하도록 연산 처리부(81)를 구성한다. 이것에 의해, 소형 부품용 마스크(극소 부품용 마스크)(6)를 사용한 제 1 인쇄와, 대형 부품용 마스크(7)를 사용한 제 2 인쇄를 1대의 인쇄 장치(100)에 의해 실행할 수 있다. 이것에 의해, 2대의 기판 인쇄 장치를 생산 라인에 설치할 필요가 없으므로, 소형 부품용 마스크(6)와 대형 부품용 마스크(7)의 2종류의 마스크를 사용해서 인쇄를 행하는 경우에도 생산 라인 구성을 복잡화시키지 않고 기판 생산을 행할 수 있다.
(제 2 실시형태)
이어서, 도 6, 도 7 및 도 12∼도 14를 참조해서 본 발명의 제 2 실시형태에 의한 인쇄 장치(100a)에 대해서 설명한다. 이 제 2 실시형태에서는 상기 제 1 실시형태의 구성에 추가해서 인쇄 테이블(3a 및 3b)의 한쪽의 인쇄 동작중에 다른쪽의 인쇄 준비 동작을 실행시키는 예에 대해서 설명한다.
제 2 실시형태에 의한 인쇄 장치(100a)의 연산 처리부(81a)(도 6 참조)는 인쇄 테이블(3a) 및 인쇄 테이블(3b)의 한쪽의 기판 인쇄 동작 실행중에 인쇄 테이블(3a) 및 인쇄 테이블(3b)의 다른쪽의 인쇄 준비 동작을 실시하도록 구성되어 있다. 또한, 연산 처리부(81a)는 본 발명의 「제어부」의 일례이다.
즉, 도 7에 나타낸 바와 같이, 인쇄 장치(100a)에 의한 기판 인쇄 동작은 인쇄 테이블(3a)에 의한 제 1 인쇄와, 인쇄 테이블(3b)에 의한 제 2 인쇄를 순차 행하는 점에서 예를 들면 한쪽의 인쇄 테이블(3a)의 인쇄 동작중에 다른쪽의 인쇄 테이블(3b)측에 대기 기간(T1)(대기 처리)이 발생한다. 이 대기 기간(T1)중에 인쇄 준비 동작을 선행해서 실시함으로써 연산 처리부(81a)는 인쇄 테이블(3b)의 제 2 인쇄를 위한 처리(스텝S9∼S13)에 요하는 시간을 단축시킨다. 또한, 기판 인쇄 동작이란 여기에서는 적어도 인쇄 위치로의 이동(스텝S5, S10)의 개시부터 판이간(스텝S8, S13)의 종료까지의 동작을 포함한다. 스텝S4 및 S9의 마스크 마크 인식은 계속적으로 인쇄 동작을 실행할 경우, 반드시 매회 행해지는 것은 아니다. 그 때문에, 마스크 마크 인식을 행할 경우에는 이 마스크 마크 인식 동작도 인쇄 동작에 포함시킨다.
구체적으로는 제 2 실시형태에서는 연산 처리부(81a)는 인쇄 테이블(3a)의 기판 인쇄 동작 실행중에 인쇄 테이블(3a)과 인쇄 테이블(3b)의 Y 방향의 거리가 작아지도록 인쇄 테이블(3b)을 Y 방향으로 이동시킴으로써 인쇄 테이블(3b)을 인쇄 위치에 접근시키는 제어(선행 접근 동작)를 행하도록 구성되어 있다. 이것은 도 7의 스텝S10에 있어서의 인쇄 위치로의 이동 처리의 일부를 선행해서 실시하는 것에 상당한다.
우선, 선행 접근 동작의 내용에 대해서 설명한다. 도 12에 나타낸 바와 같이, 인쇄 테이블(3a)의 Y축을 (YM1)로 나타내고, 인쇄 테이블(3b)의 Y축을 (YM2)로 나타낸다. Y축 좌표는 각각 Y 방향 이동 범위의 외측단에 위치하는 경우의 Y 방향 외측 단부의 위치를 원점으로 취하고, 인쇄 테이블(3a 및 3b)이 서로 근접하는 방향을 정으로 한다. 또한, 설명의 용이화를 위해서 인쇄 테이블{3a(3b)}의 위치를 나타내는 것으로서 각각의 인쇄 테이블{3a(3b)}의 Y 방향의 내측 단부의 위치 좌표를 사용한다.
우선, 인쇄 테이블(3a)과 인쇄 테이블(3b)이 간섭하지 않고 가장 근접한 상태에 있어서의 인쇄 테이블간의 거리를 실측 또는 설계상의 값으로부터 산출하고, 근접 가능한 최소 간격(Lm)으로 한다. 인쇄 테이블간의 거리가 최소 간격(Lm)이 되도록 인쇄 테이블(3a)과 인쇄 테이블(3b)을 이동시켰을 때의 Y 방향 좌표를 각각 Y1m, Y2m으로 하면, Y축의 원점간 거리(Li)를 다음과 같이 나타낼 수 있다.
Li=Lm+Y1m+Y2m
이어서, 기판 인쇄 동작(제 1 인쇄)의 실행중의 인쇄 테이블(3a)의 현재 위치 좌표를 YAC로 하고, 접근시키는 인쇄 테이블(3b)의 목표 위치 좌표를 YBN으로 하면 목표 위치 좌표(YBN)를 이하와 같이 나타낼 수 있다.
YBN=Li-Lm-YAC
이것에 의해, 인쇄 테이블(3a)의 기판 인쇄 동작 실행중에 인쇄 테이블(3b)을 간섭하지 않는 최접근 위치 좌표(목표 위치 좌표(YBN))까지 이동시켜 두는 것이 가능해진다. 제 2 실시형태에서는 이 최소 간격(Lm) 및 원점간 거리(Li)는 미리 취득되어 제어 데이터 기억부(82b)에 기억된다. 또한, 인쇄 테이블(3a)의 현재 위치 좌표(YAC)는 인쇄 테이블(3a)의 마스크 구동 기구(33)의 Y축 모터(33c)의 인코더 출력값으로부터 취득된다.
제 2 실시형태에 의한 인쇄 장치(100a)에서는 도 7의 스텝S4∼S8 사이(대기 기간(T1))의 소정 시점에 있어서 연산 처리부(81a)는 인쇄 테이블(3b)의 선행 접근 동작을 실시한다. 이것에 의해, 도 13에 나타낸 바와 같이, 인쇄 테이블(3a)의 기판 인쇄 동작(제 1 인쇄)의 실행중에 인쇄 테이블(3a)과 인쇄 테이블(3b) 사이의 간격이 최소 간격(Lm)이 되는 위치(목표 위치 좌표(YBN))까지 인쇄 테이블(3b)이 Y2 방향으로 이동(접근)한다.
그리고, 도 7의 스텝S9 이후의 처리로 이행할 때는 도 14에 나타낸 바와 같이, 기판 작업 테이블(2a)의 Y1 방향으로의 이동에 맞춰 인쇄 테이블(3a)과 인쇄 테이블(3b)이 최소 간격(Lm) 이상의 거리를 유지한 채 Y2 방향으로 이동한다. 이 결과, 스텝S10에 있어서의 인쇄 위치로의 이동에 요하는 시간(Y 방향의 이동 거리)이 최소화된다.
또한, 제 2 실시형태에 의한 인쇄 장치(100a)의 그 밖의 구성은 상기 제 1 실시형태의 인쇄 장치(100)와 같으므로, 설명을 생략한다.
제 2 실시형태에서는 상기한 바와 같이, 연산 처리부(81a)는 인쇄 테이블(3a)의 기판 인쇄 동작 실행중에 인쇄 테이블(3b)의 인쇄 준비 동작을 실시한다. 이것에 의해, 인쇄 테이블(3a)의 기판 인쇄 동작(제 1 인쇄)의 실행중의 대기 기간을 이용해서 인쇄 테이블(3b)에서 다음 인쇄를 위한 준비 동작을 선행해서 행할 수 있다. 그 결과, 제 1 인쇄와 제 2 인쇄를 1대의 인쇄 장치(100a)에 의해 실행하는 경우에도 기판 인쇄에 필요로 하는 시간(기판 인쇄 동작과 인쇄 준비 동작에 요하는 시간)을 단축할 수 있다.
또한, 제 2 실시형태에서는 상기한 바와 같이, 연산 처리부(81a)는 인쇄 테이블(3a)의 기판 인쇄 동작(제 1 인쇄)의 실행중에 인쇄 테이블(3a)과 인쇄 테이블(3b)의 Y 방향의 거리가 작아지도록 인쇄 테이블(3b)을 Y2 방향으로 이동시킴으로써 인쇄 테이블(3b)을 인쇄 위치에 접근시킨다. 이것에 의해, 인쇄 테이블(3a)의 기판 인쇄 동작(제 1 인쇄)의 실행중에 인쇄 테이블(3b)의 인쇄 위치로의 이동 동작의 일부를 실시할 수 있으므로, 인쇄 테이블(3b)에 의한 제 2 인쇄를 행할 때의 기판 인쇄에 필요로 하는 시간(인쇄 위치로의 이동 시간)을 단축할 수 있다.
또한, 제 2 실시형태에서는 상기한 바와 같이, 기판 인쇄 동작 실행중의 인쇄 테이블(3a)과의 간격이 인쇄 테이블(3a)과 인쇄 테이블(3b)이 간섭하지 않고 근접 가능한 최소 간격(Lm)이 되는 위치까지 인쇄 테이블(3b)을 인쇄 위치에 접근시킨다. 이것에 의해, 인쇄 테이블(3a)의 기판 인쇄 동작 실행중에 인쇄 테이블(3b)을 최대한 접근시킬 수 있으므로, 인쇄 테이블(3b)에 의한 제 2 인쇄를 행할 때의 기판 인쇄에 필요로 하는 시간을 효과적으로 단축할 수 있다.
또한, 제 2 실시형태에서는 상기한 바와 같이, 인쇄 테이블(3b)을 인쇄 위치에 접근시킨 후 인쇄 테이블(3b)에 의한 제 2 인쇄를 행할 때에 최소 간격(Lm)이상의 거리를 유지하면서 인쇄 테이블(3a)과 인쇄 테이블(3b)을 Y2 방향으로 이동시켜서 인쇄 테이블(3b)을 인쇄 위치에 위치 부여한다. 이것에 의해, 인쇄 테이블(3a)과 인쇄 테이블(3b)을 차례로(개별로) 이동시키는 경우와 비교해서 인쇄 테이블(3b)의 인쇄 위치로의 이동에 요하는 시간을 단축할 수 있다.
또한, 제 2 실시형태의 그 밖의 효과는 상기 제 1 실시형태와 같다.
(제 3 실시형태)
이어서, 도 6, 도 7 및 도 15를 참조해서 본 발명의 제 3 실시형태에 의한 인쇄 장치(100b)에 대해서 설명한다. 이 제 3 실시형태에서는 상기 제 2 실시형태와는 다른 인쇄 테이블(3a 및 3b)의 한쪽의 인쇄 동작중에 다른쪽의 인쇄 준비 동작을 실행시키는 다른 예에 대해서 설명한다.
제 3 실시형태에 의한 인쇄 장치(100b)의 연산 처리부(81b)(도 6 참조)는 인쇄 테이블(3a)의 기판 인쇄 동작(제 1 인쇄)의 실행중에 인쇄 테이블(3b)의 마스크 고정 부재(31)(대형 부품용 마스크(7))를 제 2 인쇄후의 판이간 높이 위치(H3)(도 15 참조)로부터 판이간 높이 위치(H3)보다 낮고, 또한 기판(5)상의 땜납(Sd1)과 대형 부품용 마스크(7)가 비접촉이 되는 대기 높이 위치(H4)(도 15 참조)로 하강시키는 제어(선행 하강 동작)를 행하도록 구성되어 있다. 이것은 도 7의 스텝S11에 있어서의 판맞춤 동작의 일부를 선행해서 실시하는 것에 상당한다. 또한, 판이간 높이 위치(H3)는 본 발명의 「대형 부품용 마스크 판이간 높이 위치」의 일례이다. 또한, 연산 처리부(81b)는 본 발명의 「제어부」의 일례이다.
우선, 판이간시의 인쇄 테이블(마스크)의 높이 위치에 대해서 설명한다. 판이간 높이 위치는 인쇄에 의해 형성되는 땜납의 땜납 높이와, 마스크의 휘어짐량과, 형성된 땜납에 마스크가 접촉하지 않는 것을 확실하게 하기 위한 안전 마진에 의해 결정된다.
대형 부품용 마스크(7)(인쇄 테이블(3b))의 경우, 도 15에 나타낸 바와 같이, 제 2 인쇄후의 판이간 높이 위치(H3)는 인쇄 높이(판맞춤시의 높이 위치)(H0)를 기준으로 취하고, 땜납(Sd2)의 땜납 높이(H2)(기판(5)상의 땜납의 최대 높이), 대형 부품용 마스크(7)의 휘어짐량(ΔH), 안전 마진(Hm)으로 하면, 하기 식으로 나타내어진다.
H3=H2+ΔH+Hm
한편, 대형 부품용 마스크(7)(인쇄 테이블(3b))에 의한 제 2 인쇄전의 상태에서는 기판(5)에는 땜납(Sd2)이 형성되어 있지 않고, 땜납 높이(H1)(즉, 소형 부품용 마스크(6)의 막두께(Th1))의 땜납(Sd1)만이 형성되어 있다. 이 때문에, 제 2 인쇄전의 상태에서는 기판(5)위의 땜납(Sd1)과 대형 부품용 마스크(7)가 비접촉의 상태에서 하기 식에 나타내는 대기 높이 위치(H4)까지 인쇄 테이블(3b)(대형 부품용 마스크(7))을 하강시키는 것이 가능해진다.
H4=H1+ΔH+Hm
즉, 제 2 인쇄전의 상태에서는 제 2 인쇄전의 땜납 높이(H1)와 제 2 인쇄후의 최대 땜납 높이(H2)의 차분에 상당하는 거리만큼 대형 부품용 마스크(7)를 하강시켜 두는 것이 가능하다.
이것에 의해, 인쇄 테이블(3a)의 기판 인쇄 동작(제 1 인쇄)의 실행중에 기판(5)위의 땜납(Sd1)과는 간섭하지 않는 대기 높이 위치(H4)까지 인쇄 테이블(3b)을 미리 하강시켜 두는 것이 가능해진다.
여기에서, 땜납 높이(H1)는 소형 부품용 마스크(6)의 두께(막두께)(Th1)에 상당하는 점에서 제어 데이터 기억부(82b)에 생산 대상의 기판(5)의 기판 데이터의 일부로서 미리 격납되어 있다. 또한, 안전 마진(Hm)은 제어 데이터 기억부(82b)에 미리 설정된 소정값이다. 또한, 마스크의 휘어짐량(ΔH)은 주로 마스크의 치수(종횡, 두께)에 의존한다. 이 때문에, 제 3 실시형태에서는 마스크의 치수와, 그 치수에서의 휘어짐량(ΔH)을 대응시킨 테이블이 미리 작성되고, 제어 데이터 기억부(82b)에 격납된다. 연산 처리부(81b)는 제어 데이터 기억부(82b)로부터 기판 데이터에 등록된 대형 부품용 마스크(7)의 치수에 대응하는 휘어짐량(ΔH)을 취득하도록 구성되어 있다.
제 3 실시형태에 의한 인쇄 장치(100b)에서는 도 7의 스텝S4∼S8 사이(대기 기간(T1))의 소정 시점에 있어서 연산 처리부(81b)는 인쇄 테이블(3b)의 선행 하강 동작을 실시한다. 이것에 의해, 도 15에 나타낸 바와 같이, 인쇄 테이블(3a)의 기판 인쇄 동작(제 1 인쇄)의 실행중에 인쇄 테이블(3b)의 대형 부품용 마스크(7)가 판이간 높이 위치(H3)로부터 대기 높이 위치(H4)로 미리 하강한다.
그리고, 도 7의 스텝S11의 판맞춤시에는 인쇄 테이블(3b)(대형 부품용 마스크(7))은 판이간 높이 위치(H3)보다 낮은 대기 높이 위치(H4)로부터 인쇄 높이(H0)로 하강해서 기판(5)과 대형 부품용 마스크(7)의 판맞춤을 행한다.
이 결과, 스텝S11에 있어서의 판맞춤에 요하는 시간(Z 방향의 이동 거리)이 최소화된다.
또한, 제 3 실시형태에 의한 인쇄 장치(100b)의 그 밖의 구성은 상기 제 1 실시형태의 인쇄 장치(100)와 같으므로, 설명을 생략한다.
제 3 실시형태에서는 상기한 바와 같이, 연산 처리부(81b)는 인쇄 테이블(3a)의 소형 부품용 마스크(6)를 사용한 기판 인쇄 동작(제 1 인쇄)의 실행중에 인쇄 테이블(3b)을 제 2 인쇄후의 기판(5)에 대한 판이간 높이 위치(H3)로부터 판이간 높이 위치(H3)보다 낮고, 또한 기판(5)위의 땜납 높이(H1)를 갖는 땜납(Sd1)과 대형 부품용 마스크(7)가 비접촉이 되는 대기 높이 위치(H4)로 하강시킨다. 이것에 의해, 인쇄 테이블(3a)의 기판 인쇄 동작(제 1 인쇄)의 실행중에 인쇄 테이블(3b)측에서 대형 부품용 마스크(7)와 기판(5)의 판맞춤을 행할 때의 하강 동작의 일부를 선행 실시할 수 있다. 그 결과, 인쇄 테이블(3b)에 의한 제 2 인쇄를 행할 때의 기판 인쇄에 필요로 하는 시간을 단축할 수 있다.
또한, 기판(5)의 연속 생산을 고려하면 도 7의 스텝S15의 기판 반출 후에 스텝S1로 되돌아가 다음 기판(5)이 반입된다. 이 때문에, 1매째의 기판(5)에 대한 제 1 인쇄 종료후의 대기 기간(T2)(스텝S9∼S13)에 있어서 인쇄 테이블(3a)측에서 다음 기판에 대한 선행 하강 동작을 실시해도 좋다. 이 경우, 반입되는 제 1 인쇄전의 기판(5)에는 땜납이 형성되어 있지 않은(땜납 높이가 0인) 점에서 인쇄 테이블(3a)을 소형 부품용 마스크(6)의 치수에 따른 휘어짐량(ΔH)+안전 마진(Hm)에 상당하는 대기 높이 위치(도시 생략)까지 선행 하강시킬 수 있다.
또한, 제 3 실시형태에서는 상기한 바와 같이, 대기 높이 위치(H4)를 적어도 소형 부품용 마스크(6)의 막두께(Th1)(즉, 땜납 높이(H1))와, 대형 부품용 마스크(7)의 휘어짐량(ΔH)에 의거해서 결정한다. 이것에 의해, 제 2 인쇄를 행할 때의 제 1 인쇄후의 기판(5) 상에 형성되는 땜납(Sd1)의 높이(H1)에 상당하는 막두께(Th1)와 대형 부품용 마스크(7)의 휘어짐량(ΔH)을 고려해서 제 1 인쇄후의 기판(5)에 대해서 최대한 접근시킨 대기 높이 위치(H4)에 대형 부품용 마스크(7)를 배치해 둘 수 있다. 이것에 의해, 인쇄 테이블(3b)에 의한 제 2 인쇄를 행할 때의 기판 인쇄에 필요로 하는 시간을 효과적으로 단축할 수 있다.
또한, 제 3 실시형태의 그 밖의 효과는 상기 제 2 실시형태와 같다.
(제 4 실시형태)
이어서, 도 6, 도 7, 도 12 및 도 16을 참조해서 본 발명의 제 4 실시형태에 의한 인쇄 장치(100c)에 대해서 설명한다. 이 제 4 실시형태에서는 상기 제 3 실시형태와는 다른 인쇄 테이블(3a 및 3b)의 한쪽의 인쇄 동작중에 다른쪽의 인쇄 준비 동작을 실행시키는 다른 예에 대해서 설명한다.
제 4 실시형태에 의한 인쇄 장치(100c)의 연산 처리부(81c)(도 6 참조)는 기판 작업 테이블(2a)과 인쇄 테이블(3a)의 기판 인쇄 동작(제 1 인쇄)의 실행중에 기판 작업 테이블(2b)을 사용해서 인쇄 테이블(3b)의 대형 부품용 마스크(7)의 마스크 인식을 실시하는 제어(선행 마스크 인식)를 행하도록 구성되어 있다. 이것은 도 7의 스텝S9에 있어서의 마스크 마크 인식 동작을 선행해서 실시하는 것에 상당한다. 또한, 연산 처리부(81c)는 본 발명의 「제어부」의 일례이다.
구체적으로는 도 16에 나타낸 바와 같이, 연산 처리부(81c)는 기판 작업 테이블(2a)과 인쇄 테이블(3a)의 기판 인쇄 동작(제 1 인쇄)의 실행중에 인쇄 테이블(3b)을 Y1 방향으로 이동시킨다. 그리고, 연산 처리부(81c)는 대기중의 기판 작업 테이블(2b)의 Y 방향 이동과, 기판 작업 테이블(2b)의 클램프 유닛(23)의 X 방향 이동에 의해 인쇄 테이블(3b)의 대형 부품용 마스크(7)의 마스크 인식 마크(Q)의 하방에 클램프 유닛(23)의 마스크 인식 카메라(24)를 위치 부여하고, 마스크 인식 카메라(24)에 의한 마스크 인식 마크(Q)의 촬상(화상 인식)을 실행시킨다. 이것에 의해, 대형 부품용 마스크(7)의 수평 방향의 위치 및 자세가 인식된다.
선행 마스크 인식을 행할 경우, 기판 작업 테이블(2a)에 유지된 기판(5)의 제 2 인쇄를 행할 때의 대형 부품용 마스크(7)의 마스크 마크 인식(스텝S9)을 다른 기판 작업 테이블(2b)측의 마스크 인식 카메라(24)에 의해 실시하게 된다. 이 때문에, 제 4 실시형태에서는 연산 처리부(81c)는 기판 작업 테이블(2a)측의 마스크 인식 카메라(24)의 수평 방향의 좌표계(X축 및 YM1축(도 12 참조))와, 대형 부품용 마스크(7)를 인식한 기판 작업 테이블(2b)측의 마스크 인식 카메라(24)의 수평 방향의 좌표계(X축 및 YM2축(도 12 참조))의 상대 위치를 맞춰 넣기 위한 처리를 행한다.
구체적으로는 기판 작업 테이블(2a)측의 마스크 인식 카메라(24)의 좌표계와, 대형 부품용 마스크(7)를 인식한 기판 작업 테이블(2b)측의 마스크 인식 카메라(24)의 수평 방향의 좌표계의 상대 위치 관계(양 좌표간의 X 방향 및 Y 방향의 위치 어긋남)를 미리 계측해 두고, 상호의 좌표계를 변환하기 위한 보정 파라미터를 작성해서 제어 데이터 기억부(82b)에 기억해 둔다. 이것에 의해, 연산 처리부(81c)는 기판 작업 테이블(2b)측의 마스크 인식 카메라(24)를 사용해서 취득한 대형 부품용 마스크(7)의 위치 좌표를 보정 파라미터를 사용해서 기판 작업 테이블(2a)측의 인식 카메라(24)의 좌표계(X축 및 YM1축)로 변환해서 취급하는 것이 가능해진다.
제 4 실시형태에 의한 인쇄 장치(100c)에서는 도 7의 스텝S4∼S8 사이(대기 기간(T1))의 소정 시점에 있어서 연산 처리부(81c)는 인쇄 테이블(3b)의 선행 마스크 인식을 실시한다. 이 결과, 도 7의 스텝S9에 나타낸 마스크 마크 인식 처리가 스텝S4∼S8의 실행중에 완료된다. 이 때문에, 스텝S8이 완료되면 이미 완료한 스텝S9의 처리를 스킵해서 처리가 스텝S10으로 진행된다. 스텝S10에서는 연산 처리부(81c)는 스텝S3의 기판 마크의 인식 결과와, 선행 마스크 인식에 의한 인식 결과와, 미리 제어 데이터 기억부(82b)에 기억된 보정 파라미터를 사용해서 기판(5)의 수평위치와 대형 부품용 마스크(7)의 수평위치를 대응시킴으로써 기판 작업 테이블(2a)과 인쇄 테이블(3b)의 인쇄 위치로의 이동 처리를 실행한다.
또한, 제 4 실시형태에 의한 인쇄 장치(100c)의 그 밖의 구성은 상기 제 1 실시형태의 인쇄 장치(100)와 같으므로 설명을 생략한다.
제 4 실시형태에서는 상기한 바와 같이, 연산 처리부(81c)는 기판 작업 테이블(2a)과 인쇄 테이블(3a)에 의한 소형 부품용 마스크(6)를 사용한 기판 인쇄 동작 실행중에 기판 작업 테이블(2b)을 사용해서 인쇄 테이블(3b)의 대형 부품용 마스크(7)의 마스크 인식을 실시한다. 이것에 의해, 인쇄 테이블(3a)의 소형 부품용 마스크(6)를 사용한 기판 인쇄 동작(제 1 인쇄)의 실행중에 인쇄 테이블(3b)측에서 대형 부품용 마스크(7)와 기판(5)을 위치맞춤하기 위한 마스크 인식 작업을 선행해서 실시할 수 있다. 그 결과, 제 1 인쇄후 도 7의 스텝S9의 처리를 스킵해서 마스크 인식 작업이 완료된 대형 부품용 마스크(7)에 의해 즉시 제 2 인쇄를 행할 수 있으므로, 제 2 인쇄를 행할 때의 기판 인쇄에 필요로 하는 시간을 단축할 수 있다.
또한, 마스크 인식 처리는 마스크와 기판(기판 작업 테이블(2a 및 2b))의 상대 위치 맞춤을 행하기 위해서 필요하므로, 적어도 인쇄 장치에 의한 초회 인쇄시에는 실행할 필요가 있다. 한편, 마스크는 인쇄 테이블{3a(3b)}의 마스크 고정 부재(31)에 고정되는 점에서 반드시 인쇄 동작을 실행할 때마다 마스크 인식 처리를 매회 실시할 필요는 없다. 단, 구동 기구의 볼나사축 등의 각 부의 열신장 등 장치 가동중에도 미세한 위치 어긋남이 발생하는 점에서 예를 들면 일정 매수의 기판생산마다 정기적으로 실시하거나, 일정 시간 경과마다 정기적으로 실시하거나 해도 좋다.
또한, 제 4 실시형태에서는 상기한 바와 같이, 연산 처리부(81c)는 적어도 기판 작업 테이블(2a)과 인쇄 테이블(3a)에 의한 기판 인쇄 동작의 초회 실행시에 기판 작업 테이블(2b)을 사용한 대형 부품용 마스크(7)의 마스크 인식을 실시한다. 이것에 의해, 적어도 초회의 마스크 인식 작업을 선행해서 실시함으로써 즉시 제 2 인쇄를 개시할 수 있다. 또한, 적어도 초회의 인쇄 실행시에 마스크 인식을 행해 두면 2회째 이후의 인쇄 실행시에 마스크 인식 결과를 이용함으로써 마스크 인식을 스킵하는 것도 가능하다.
또한, 제 4 실시형태의 그 밖의 효과는 상기 제 2 실시형태와 같다.
(제 5 실시형태)
이어서, 도 6, 도 7, 도 9, 도 10, 도 17 및 도 18을 참조해서 본 발명의 제 5 실시형태에 의한 인쇄 장치(100d)에 대해서 설명한다. 이 제 5 실시형태에서는 상기 제 4 실시형태와는 다른 인쇄 테이블(3a 및 3b)의 한쪽의 인쇄 동작중에 다른쪽의 인쇄 준비 동작을 실행시키는 다른 예에 대해서 설명한다.
제 5 실시형태에 의한 인쇄 장치(100d)의 연산 처리부(81d)(도 6 참조)는 제 1 인쇄후의 기판(5)에 대해서 기판 작업 테이블(2b)과 인쇄 테이블(3b)이 기판 인쇄 동작(제 2 인쇄)을 실행하고 있는 동안에 기판 작업 테이블(2a)을 사용해서 인쇄 테이블(3a)의 소형 부품용 마스크(6)의 마스크 청소(클리닝) 동작을 행하는 제어(선행 청소 동작)를 실시하도록 구성되어 있다. 이것은 도 7에는 나타내고 있지 않지만, 기판 인쇄의 여유(도 7의 스텝S15 후 다음 기판(5)의 반입전)에 있어서의 마스크 청소 동작을 선행해서 실시하는 것에 상당하다. 또한, 연산 처리부(81d)는 본 발명의 「제어부」의 일례이다.
여기에서, 인쇄 테이블(3a 및 3b)의 한쪽의 인쇄 동작중에 다른쪽의 인쇄 준비 동작을 실행시키는 선행 처리 동작에 있어서 기판 작업 테이블{2a(2b)}을 사용해서 선행 처리를 실시할 경우(상기 제 4 실시형태나, 제 5 실시형태의 경우)에는 기판 인쇄 동작을 실시하고 있지 않은 대기중의 기판 작업 테이블(2a 및 2b 중 어느 하나)과, 대기중의 인쇄 테이블(3a 및 3b 중 어느 하나)이 인쇄 장치의 Y 방향과 같은 측에 배치되어 있는 것이 필요하게 된다.
즉, 예를 들면 도 9에 나타낸 바와 같이, Y1 방향측의 기판 작업 테이블(2b)과 인쇄 테이블(3b)이 모두 대기중인 경우에는 기판 작업 테이블(2b)과 인쇄 테이블(3b)을 협동시킨 인쇄 준비 동작을 선행해서 실시하는 것이 가능하다. 한편, 도 10에 나타낸 바와 같이, Y1 방향측의 기판 작업 테이블(2b)과, Y2 방향측의 인쇄 테이블(3a)이 대기중인 경우에는 기판 작업 테이블(2b)과 인쇄 테이블(3a) 사이에서 인쇄 동작(기판 작업 테이블(2a)과 인쇄 테이블(3b)에 의한 제 2 인쇄)이 실행되고 있기 때문에, 기판 작업 테이블(2b)을 인쇄 테이블(3a)측까지 Y 방향으로 이동시킬 수 없다.
그래서, 제 5 실시형태에서는 마스크 청소 동작의 선행 실시의 예로서 기판 작업 테이블(2b)과 인쇄 테이블(3b)이 기판 인쇄 동작(제 2 인쇄)을 실행하고 있는 동안에 기판 작업 테이블(2a)을 사용해서 인쇄 테이블(3a)의 소형 부품용 마스크(6)의 선행 청소 동작을 행하는 예를 설명한다.
도 17에 나타낸 바와 같이, 제 5 실시형태에 있어서도 기판 작업 테이블(2b)측에서는 도 7에 나타낸 스텝S1∼S15의 기판 인쇄의 처리 플로우가 실시된다. 또한, 도 17의 처리 플로우는 계속적으로 실시되는 인쇄 동작의 도중으로서 작성하고 있고, 스텝S4 및 S9의 마스크 인식 처리를 생략하고 있다.
도 17의 경우, 스텝S5∼S8(제 1 인쇄)에서는 기판 작업 테이블(2a)과 인쇄 테이블(3b)이 대기중으로 되어 있다. 스텝S8의 판이간 처리가 종료되면 기판 작업 테이블(2a)과 인쇄 테이블(3b)에 의한 제 2 인쇄(스텝S10∼S13)로 이행하고, 인쇄 장치(100d)의 Y2 방향측의 기판 작업 테이블(2a)과 인쇄 테이블(3a)이 모두 대기중이 된다. 이것에 의해, 기판 작업 테이블(2a)과 인쇄 테이블(3a)을 협동시킨 선행 청소 동작이 실시 가능해진다.
제 5 실시형태에서는 도 18에 나타낸 바와 같이, 연산 처리부(81d)는 제 2 인쇄(스텝S10∼S13) 사이에 인쇄 테이블(3a)을 인쇄 테이블(3b)로부터 이간하는 Y2 방향으로 이동시킨다. 그리고, 연산 처리부(81d)는 기판 작업 테이블(2a)의 클리닝 유닛(25)의 도시가 생략된 클리닝 헤드를 상승시켜서 소형 부품용 마스크(6)의 기판 접촉면에 접촉시킴과 아울러 기판 작업 테이블(2a)과 소형 부품용 마스크(6)(인쇄 테이블(3a))를 Y 방향으로 상대 이동시킴으로써 소형 부품용 마스크(6)에 대해서 클리닝 헤드를 Y 방향으로 슬라이딩시킨다. 이 때, 클리닝 헤드에서는 도시가 생략된 흡인 노즐에 의해 땜납 페이스트를 부압 흡인해서 제거한다. 이것에 의해, 소형 부품용 마스크(6)의 기판 접촉면이 청소된다. 이 결과, 통상, 기판 인쇄의 여유에 실시되는 마스크 청소 동작이 스텝S10∼S13의 실행중에 완료된다. 이 때문에, 스텝S15의 기판 인쇄의 완료후 인쇄 테이블(3a)(소형 부품용 마스크(6))측에서는 선행 실시한 마스크의 청소 동작을 스킵해서 다음 기판(5)의 인쇄 동작을 실행하는 것이 가능해진다.
또한, 제 5 실시형태에 의한 인쇄 장치(100d)의 그 밖의 구성은 상기 제 1 실시형태의 인쇄 장치(100)와 같으므로, 설명을 생략한다.
제 5 실시형태에서는 상기한 바와 같이, 연산 처리부(81d)는 제 1 인쇄후의 기판(5)에 대해서 기판 작업 테이블(2b)과 인쇄 테이블(3b)이 대형 부품용 마스크(7)를 사용한 기판 인쇄 동작(제 2 인쇄)을 실행하고 있는 동안에 기판 작업 테이블(2a)을 사용해서 인쇄 테이블(3a)의 소형 부품용 마스크(6)의 마스크 청소 동작을 행한다. 이것에 의해, 인쇄 테이블(3a)의 기판 인쇄(제 1 인쇄)후 인쇄 테이블(3b)의 기판 인쇄 동작(제 2 인쇄)의 실행중에 인쇄 테이블(3a)측에서 소형 부품용 마스크(6)의 마스크 청소 작업을 실시할 수 있다. 그 결과, 인쇄 테이블(3a)에 의한 다음 기판(5)에 대한 제 1 인쇄를 행할 때의 인쇄 준비 동작에 필요로 하는 시간을 단축할 수 있다.
또한, 제 5 실시형태의 선행 청소 동작은 상기한 바와 같이 대기중의 기판 작업 테이블(2a 및 2b 중 어느 하나)과, 대기중의 인쇄 테이블(3a 및 3b 중 어느 하나)이 Y 방향과 같은 측에 배치되어 있으면 좋으므로, 기판 작업 테이블(2a)과 인쇄 테이블(3a)이 기판 인쇄 동작(제 1 인쇄)을 실행하고 있는 동안에 기판 작업 테이블(2b)을 사용해서 인쇄 테이블(3b)의 대형 부품용 마스크(7)의 마스크 청소 동작을 행하도록 해도 좋다.
또한, 제 5 실시형태에서는 상기한 바와 같이, 연산 처리부(81d)는 기판 작업 테이블(2b)과 인쇄 테이블(3b)이 기판 인쇄 동작(제 2 인쇄)을 실행하고 있는 동안에 인쇄 테이블(3a)를 인쇄 테이블(3b)으로부터 이간하는 Y2 방향으로 이동시킴과 아울러 인쇄 테이블(3b)로부터 이간한 위치에서 소형 부품용 마스크(6)의 마스크 청소 동작을 행한다. 이것에 의해, 마스크 청소 동작시에 인쇄 테이블(3a)을 인쇄 테이블(3b)로부터 이간시킬 수 있으므로, 인쇄 테이블(3b)에 의한 제 2 인쇄의 동작중에도 마스크 청소 동작을 위한 작업 스페이스를 확보할 수 있다.
또한, 제 5 실시형태의 그 밖의 효과는 상기 제 2 실시형태와 같다.
(제 6 실시형태)
이어서, 도 6∼도 10 및 도 19∼도 23을 참조해서 본 발명의 제 6 실시형태에 의한 인쇄 장치(100e)에 대해서 설명한다. 이 제 6 실시형태에서는 인쇄 테이블(3a 및 3b)의 한쪽의 인쇄 동작중에 다른쪽의 인쇄 준비 동작을 실행시키는 상기 제 2∼제 5 실시형태와는 달리 인쇄 테이블(3a 및 3b)의 한쪽의 인쇄 동작중에 다른쪽의 인쇄 동작을 실행시키는 예에 대해서 설명한다.
제 6 실시형태에 의한 인쇄 장치(100e)(도 21 참조)는 기판 작업 테이블(2a)과 기판 작업 테이블(2b)에 교대로 기판(5)을 반입해서 인쇄를 실행하도록 구성되어 있다.
그리고, 제 6 실시형태에 의한 인쇄 장치(100e)의 연산 처리부(81e)(도 6 참조)는 인쇄 테이블(3b)과 기판 작업 테이블(2a 및 2b)의 한쪽에 의한 제 1 인쇄후의 제 1 기판(5)에 대한 기판 인쇄 동작(제 2 인쇄)의 실행중에 인쇄 테이블(3a)과 기판 작업 테이블(2a 및 2b)의 다른쪽에 의해 제 1 인쇄전의 제 2 기판(5)에 대한 기판 인쇄 동작(제 1 인쇄)을 실행하는 제어를 행하도록 구성되어 있다. 또한, 연산 처리부(81e)는 본 발명의 「제어부」의 일례이다.
또한, 제 6 실시형태에 의한 인쇄 장치(100e)의 연산 처리부(81e)는 인쇄 테이블(3a 및 3b)의 한쪽과 기판 작업 테이블(2a 및 2b)의 한쪽에 의한 기판 인쇄 동작 실행중에 기판 작업 테이블(2a 및 2b)의 다른쪽에 의한 기판 반입 및 기판 반출 동작을 실행하는 제어를 행하도록 구성되어 있다.
또한, 제 6 실시형태에 의한 인쇄 장치(100e)의 그 밖의 구성은 상기 제 1 실시형태의 인쇄 장치(100)와 같으므로 설명을 생략한다.
여기에서, 도 6∼도 10 및 도 19∼도 23을 참조해서 제 6 실시형태에 의한 인쇄 장치(100e)의 기판 인쇄 동작 처리를 설명한다. 이하의 처리는 인쇄 장치(100e)의 연산 처리부(81e)에 의해 제어된다.
제 6 실시형태에 의한 인쇄 장치(100e)의 기판 인쇄 동작 처리에 있어서 각각의 기판(5)에 대한 인쇄 처리의 흐름은 기본적으로 도 7의 스텝S1∼S15에 나타낸 처리와 같다. 이하에서는 기판(5)에 대해서 1매째의 기판(5a)∼4매째의 기판(5d)으로서 a∼d에 의해 몇매째의 기판인지를 나타내고, 편의적으로 4매의 기판(5)을 인쇄해서 인쇄 동작을 종료하는 예를 나타낸다. 도 19 및 도 20에서는 도 7의 스텝S4 및 S9에 나타낸 마스크 인식 동작을 초회 인쇄시에만 행하고, 후속하는 기판{5(5b∼5d)}의 인쇄시에는 마스크 인식 동작을 생략해서 나타내고 있다. 또한, 각 스텝의 말미에 부여한 a∼d는 1매째의 기판(5a)∼4매째의 기판(5d)에 대한 처리인 것을 나타내고 있다. 또한, 이 예에서는 최초로 기판 작업 테이블(2a)에 기판{5(5a)}을 반입하는 예를 나타낸다.
도 19에 나타낸 바와 같이, 우선, 스텝S1a에 있어서 1매째의 기판{5(5a)}이 반입 위치(En1)(도 8 참조)로부터 기판 작업 테이블(2a)에 반입된다. 스텝S2a의 기판 고정, 스텝S3a의 기판 마크 인식을 거쳐 스텝S4a에 있어서 인쇄 테이블(3a)의 소형 부품용 마스크(6)의 마크 인식(초회만)이 행해진다.
계속해서, 스텝S5a∼S8a에 있어서 기판 작업 테이블(2a)과 인쇄 테이블(3a)에 의해 기판(5a)에 대한 제 1 인쇄가 실시된다. 스텝S8a에서 판이간이 행해지면 스텝S9a에 있어서 인쇄 테이블(3b)의 대형 부품용 마스크(7)의 마스크 마크 인식(초회만)이 행해진다.
그리고, 스텝S10a∼S13a에 있어서 기판 작업 테이블(2a)과 인쇄 테이블(3b)에 의해 기판(5a)에 대한 제 2 인쇄(도 10 참조)가 실시된다. 이 동안에 기판 작업 테이블(2b)측에서는 스텝S1b에 있어서 2매째의 기판{5(5b)}이 반입 위치(En2)로부터 기판 작업 테이블(2b)에 반입되고, 스텝S2b의 기판 고정 및 스텝S3b의 기판 마크 인식(도 23 참조)이 실시된다.
스텝S13a에서 판이간이 행해지면 스텝S14a에 있어서 기판 작업 테이블(2a)의 1매째의 기판(5a)의 기판고정이 해제됨과 아울러 기판 작업 테이블(2a)이 반출 위치(Ex1)를 향해서 Y2 방향으로 이동한다. 그리고, 도 21에 나타낸 바와 같이, 스텝S15a에 있어서 기판 작업 테이블(2a)에 의해 반출 위치(Ex1)로부터 기판(5a)이 반출됨과 아울러 처리가 스텝S1c(도 19 참조)로 진행되고, 3매째의 기판{5(5c)}이 반입 위치(En1)로부터 기판 작업 테이블(2a)에 반입되고, 스텝S2c에서 3매째의 기판(5c)의 기판 고정이 행해진다.
여기에서, 스텝S13a에서 판이간이 행해지면 기판 작업 테이블(2a)이 반출 위치(Ex1)를 향해서 Y2 방향으로 이동하므로, 기판 작업 테이블(2b)도 인쇄 테이블(3a)을 향해서 Y2 방향으로 이동 가능해진다. 그리고, 스텝S14a∼S2c 사이, 기판 작업 테이블(2b)측에서는 도 21에 나타낸 바와 같이, 기판 작업 테이블(2b)과 인쇄 테이블(3a)에 의해 2매째의 기판(5b)에 대한 제 1 인쇄(스텝S5b∼S8b)가 실시된다. 바꿔 말하면, 기판 작업 테이블(2b)과 인쇄 테이블(3a)의 기판 인쇄 동작중(스텝S5b∼S8b)에 기판 작업 테이블(2a)에 의한 1매째의 기판(5a)의 반출(스텝S15a) 및 3매째의 기판(5c)의 반입(스텝S1c)이 행해진다.
2매째의 기판(5b)에 대한 판이간(스텝S8b) 후 기판 작업 테이블(2b)측에서는 스텝S10b∼S13b에 있어서 기판 작업 테이블(2b)과 인쇄 테이블(3b)에 의해 2매째의 기판(5b)에 대한 제 2 인쇄가 실시된다. 도 22에 나타낸 바와 같이, 스텝S10b에 있어서 제 2 인쇄의 인쇄 위치를 향해서 기판 작업 테이블(2b)은 Y1 방향으로 이동하고, 인쇄 테이블(3b)은 Y2 방향으로 이동하고, 판맞춤의 완료후에 제 2 인쇄가 실시된다.
이 동안, 기판 작업 테이블(2a)측에서는 3매째의 기판(5c)의 기판 마크 인식(스텝S3c) 후 기판 작업 테이블(2a)과 인쇄 테이블(3a)에 의해 3매째의 기판(5c)에 대한 제 1 인쇄의 스텝S5c(인쇄 위치로의 이동), 스텝S6c(판맞춤) 및 스텝S7c(인쇄 동작)가 병행되어서 실시된다. 이렇게, 제 6 실시형태에서는 스텝S10b∼S13b에 있어서의 인쇄 테이블(3b)과 기판 작업 테이블(2b)에 의한 기판(5b)에 대한 기판 인쇄 동작(제 2 인쇄)의 실행중에 인쇄 테이블(3a)과 기판 작업 테이블(2a)에 의한 기판(5c)에 대한 기판 인쇄 동작(제 1 인쇄)(스텝S5c∼S7c)이 실행된다.
스텝S13b에서 판이간이 행해지면 도 22에 나타내는 위치로부터 기판 작업 테이블(2b)이 반출 위치(Ex2)를 향해서 Y1 방향으로 이동함과 아울러 기판(5b)의 고정이 해제된다(스텝S14b). 이 결과, 기판 작업 테이블(2a)도 인쇄 테이블(3b)을 향해서 Y1 방향으로 이동 가능해진다. 그리고, 기판 작업 테이블(2a)측에서는 도 20에 나타낸 바와 같이, 스텝S8c에서 3매째의 기판(5c)에 대한 판이간을 행한 후 기판 작업 테이블(2a)과 인쇄 테이블(3b)에 의해 3매째의 기판(5c)에 대한 제 2 인쇄(스텝S10c∼S13c)가 실시된다. 도 23에 나타낸 바와 같이, 이 제 2 인쇄(스텝S10c∼S13c)와 병행해서 기판 작업 테이블(2b)측에서는 반출 위치(Ex2)로부터의 2매째의 기판(5b)의 반출(스텝S15b)과, 반입 위치(En2)로부터의 4매째의 기판(5d)의 반입(스텝S1d), 기판 고정(스텝S2d) 및 기판 마크 인식(스텝S3d)이 실시된다.
기판 작업 테이블(2a)측에서 3매째의 기판(5c)에 대한 제 2 인쇄의 판이간(스텝S13c)이 종료되면 도 23에 나타내는 위치로부터 기판 작업 테이블(2a)이 반출 위치(Ex1)를 향해서 Y2 방향으로 이동함과 아울러 기판(5c)의 고정이 해제된다(스텝S14c). 그리고, 도 21에 나타낸 바와 같이, 기판 작업 테이블(2a)에 의한 3매째의 기판(5c)의 반출(스텝S15c)이 반출 위치(Ex1)에서 실시된다. 이것에 의해, 기판 작업 테이블(2a)측에서의 인쇄 처리가 종료되어 기판 작업 테이블(2a)이 반출 위치(Ex1)(반입 위치(En1))에서 대기 상태가 된다.
한편, 기판 작업 테이블(2b)에서는 기판 작업 테이블(2a)의 Y2 방향으로의 이동(스텝S14c)에 맞춰 스텝S4d에서 기판 작업 테이블(2b)이 인쇄 테이블(3a)과의 인쇄 위치를 향해서 Y2 방향으로 이동한다. 그리고, 도 21에 나타낸 바와 같이, 기판 작업 테이블(2a)에 의한 3매째의 기판(5c)의 반출(스텝S15c)과 병행해서 스텝S5d∼S8d에서 기판 작업 테이블(2b)과 인쇄 테이블(3a)에 의한 4매째의 기판(5d)에 대한 제 1 인쇄가 실행된다. 또한, 스텝S10d∼S13d에서 기판 작업 테이블(2b)과 인쇄 테이블(3b)에 의한 4매째의 기판(5d)에 대한 제 2 인쇄가 실행된다. 그 후 스텝S14d에서의 기판 고정 해제 및 반출 위치(Ex2)로의 Y1 방향 이동을 거쳐 스텝S15d에서 기판 작업 테이블(2b)에 의한 4매째의 기판(5d)의 반출(스텝S15d)이 반출 위치(Ex2)에서 실시된다. 이것에 의해, 기판 작업 테이블(2b)측에서의 인쇄 처리가 종료되어 기판 작업 테이블(2b)이 반출 위치(Ex2)(반입 위치(En2))에서 대기 상태로 되고, 인쇄 장치(100e)에 의한 인쇄 동작이 종료된다.
제 6 실시형태에서는 상기한 바와 같이, 연산 처리부(81e)는 인쇄 테이블(3b)과 기판 작업 테이블(2b)에 의한 제 1 인쇄후의 기판{5(5b)}에 대한 제 2 인쇄의 기판 인쇄 동작 실행중(스텝S10b∼S13b)에 인쇄 테이블(3a)과 기판 작업 테이블(2a)에 의해 제 1 인쇄전의 기판{5(5c)}에 대한 제 1 인쇄의 기판 인쇄 동작(스텝S5c∼S8c)을 실시한다. 이것에 의해, 기판(5b)(제 1 기판)에 대한 제 2 인쇄의 실행중에 다음 인쇄 대상의 기판(5c)(제 2 기판)에 대한 제 1 인쇄를 선행해서 실시할 수 있다. 그 결과, 제 1 인쇄와 제 2 인쇄를 1대의 인쇄 장치(100e)에 의해 실행하는 경우에도 다음 기판(5c)에 대한 인쇄를 행할 때의 기판 인쇄 동작에 필요로 하는 시간을 단축할 수 있다.
또한, 제 6 실시형태에서는 상기한 바와 같이, 연산 처리부(81e)는 인쇄 테이블(3a) 및 인쇄 테이블(3b)의 한쪽과 기판 작업 테이블(2a) 및 기판 작업 테이블(2b)의 한쪽에 의한 기판 인쇄 동작 실행중에 기판 작업 테이블(2a) 및 기판 작업 테이블(2b)의 다른쪽에 의한 기판 반입(스텝S1b, S1c 및 S1d) 및 기판 반출(스텝S15a, S15b 및 S15c)을 실시한다. 이것에 의해, 기판 작업 테이블(2a) 및 기판 작업 테이블(2b)의 한쪽을 사용해서 기판 인쇄 동작을 실행하고 있는 동안에 다른쪽에서 다음 기판 인쇄를 위한 기판 반입 및 기판 반출을 실시할 수 있다. 그 결과, 제 1 인쇄와 제 2 인쇄를 1대의 인쇄 장치(100e)에 의해 실행할 경우에도 다음 기판(5)에 대한 인쇄를 행할 때의 인쇄 준비 동작(기판 반입, 반출 동작)에 필요로 하는 시간을 단축할 수 있다.
또한, 제 6 실시형태의 그 밖의 효과는 상기 제 2 실시형태와 같다.
(제 6 실시형태의 변형예)
상기 제 6 실시형태에서는 다른 기판(5)에 대한 제 1 인쇄와 제 2 인쇄를 병행해서 행하는 제어, 및 기판 인쇄 동작과 병행해서 다른 기판의 기판 반입 및 기판 반출을 행하는 제어를 실행하도록 연산 처리부(81e)를 구성한 예를 나타냈지만, 이것에 추가해서 상기 제 2∼제 5 실시형태에 나타낸 제어도 동시에 실행해도 좋다.
구체적으로는 도 19 및 도 20에 나타낸 플로우 챠트에 있어서 인쇄 테이블(3a)의 동작과 인쇄 테이블(3b)의 동작에는 각각 대기 기간(T4, T5 및 T6)과, 대기 기간(T7, T8 및 T9)이 존재한다. 이 때문에, 이 대기 기간 동안에 인쇄 준비 동작을 선행해서 실시하는 것이 가능하다.
예를 들면, 인쇄 테이블(3a)에 대해서는 대기 기간(T4 및 T5)에 있어서 상기 제 2 실시형태에서 나타낸 선행 접근 동작 및 상기 제 3 실시형태에서 나타낸 선행 하강 동작을 제 1 인쇄를 위해 실시할 수 있다. 대기 기간(T4)에 있어서 선행 접근 동작 및 선행 하강 동작을 실시하면 직후의 스텝S5b의 인쇄 위치로의 이동 처리, 및 스텝S6b의 판맞춤 처리에 각각 요하는 시간을 단축하는 것이 가능해진다. 또한, 인쇄 테이블(3b)에 대해서도 마찬가지로 대기 기간(T7, T8 및 T9)에 있어서 선행 접근 동작 및 선행 하강 동작을 제 2 인쇄를 위해서 실시할 수 있다.
또한, 대기 기간(T7)에 대해서는 인쇄 테이블(3b)에 추가해서 인쇄 테이블(3b)과 Y 방향과 같은 측(Y1 방향측)에 위치하는 기판 작업 테이블(2b)도 대기 상태로 되어 있다. 이 때문에, 대기 기간(T7)에서는 상기 제 4 실시형태에서 나타낸 선행 마스크 인식을 실시할 수 있다. 이 경우, 스텝S9a에서 기판 작업 테이블(2a)이 실시하고 있던 마스크 마크 인식을 인쇄 테이블(3a)측의 마스크 마크 인식(스텝S4a) 및 제 1 인쇄(스텝S5a∼S8a)가 실시되는 동안의 대기 기간(T7)에 있어서 선행해서 실시하게 된다. 이 결과, 스텝S9a의 처리를 스킵하는 것이 가능해진다.
또한, 대기 기간(T6)에 대해서는 인쇄 테이블(3a)에 추가해서 인쇄 테이블(3a)과 Y 방향과 같은 측(Y2 방향측)에 위치하는 기판 작업 테이블(2a)도 기판 인쇄 종료후의 대기 상태로 되어 있다. 이 때문에, 대기 기간(T6)에서는 상기 제 5 실시형태에서 나타낸 선행 청소 동작을 실시할 수 있다. 이것에 의해, 인쇄 테이블(3b)과 기판 작업 테이블(2b)에 의한 제 2 인쇄(스텝S10d∼S13d)의 실행중에 다음 기판(5)의 인쇄를 개시하기 위한 마스크 청소 동작을 앞당겨서 선행 실시할 수 있다.
또한, 이번 개시된 실시형태는 모든 점에서 예시이며 제한적인 것이 아니라고 생각되어야 한다. 본 발명의 범위는 상기한 실시형태의 설명이 아닌 특허청구의 범위에 의해 나타내어지며, 또한 특허청구의 범위와 균등한 의미 및 범위내에서의 모든 변경이 포함된다.
예를 들면, 상기 제 1∼제 6 실시형태에서는 본 발명의 기판 인쇄 장치의 일례로서 프린트 기판에 대한 땜납 인쇄 작업을 행하는 인쇄 장치{100(100a∼100e)}에 본 발명을 적용한 예를 나타냈지만, 본 발명은 이것에 한정되지 않는다. 본 발명에서는 스크린 마스크를 사용해서 기판 인쇄를 행하는 기판 인쇄 장치이면 땜납 이외의 점성재(예를 들면, 은 페이스트 등의 도전성 페이스트 등)의 인쇄 장치에 본 발명을 적용해도 좋다.
또한, 상기 제 1∼제 6 실시형태에서는 2개의 기판 작업 테이블을 설치한 예를 나타냈지만, 본 발명은 이것에 한정되지 않는다. 본 발명에서는 기판 작업 테이블을 1 또는 3개이상 설치해도 좋다.
또한, 상기 제 1∼제 6 실시형태에서는 2개의 기판 작업 테이블 및 2개의 인쇄 테이블을 모두 Y 방향으로 이동 가능하게 구성한 예를 나타냈지만, 본 발명은 이것에 한정되지 않는다. 본 발명에서는 제 1 인쇄 및 제 2 인쇄를 위해서 기판 작업 테이블과 2개의 인쇄 테이블 중 적어도 한쪽이 Y 방향으로 이동 가능하게 구성되어 있으면 좋다. 이 때문에, 기판 작업 테이블을 Y 방향으로 고정으로 하고, 인쇄 테이블만을 Y 방향으로 가동으로 해도 좋다. 또한, 인쇄 테이블을 Y 방향으로 고정으로 하고, 기판 작업 테이블만을 Y 방향으로 가동으로 해도 좋다. 또한, 예를 들면 2개의 기판 작업 테이블 중 한쪽을 Y 방향으로 가동으로 하고, 다른쪽을 Y 방향으로 고정으로 해도 좋다.
또한, 상기 제 1∼제 6 실시형태에서는 2개의 인쇄 테이블을 상하(Z 방향)로 이동시킴으로써 판맞춤 및 판이간을 행하도록 구성한 예를 나타냈지만, 본 발명은 이것에 한정되지 않는다. 본 발명에서는 제 1 인쇄 및 제 2 인쇄를 위해서 기판 작업 테이블과 2개의 인쇄 테이블 중 적어도 한쪽이 상하 방향으로 이동 가능하게 구성되어 있으면 좋다. 이 때문에, 기판 작업 테이블을 Z 방향으로 고정으로 해서 인쇄 테이블만을 Z 방향으로 가동으로 해도 좋다. 또한, 인쇄 테이블을 Z 방향으로 고정으로 해서 기판 작업 테이블만을 Z 방향으로 가동으로 해도 좋다.
또한, 상기 제 1∼제 6 실시형태에서는 2개의 반입 위치(En1 및 En2)를 설치한 예를 나타냈지만, 본 발명은 이것에 한정되지 않는다. 반입 위치는 1개 또는 3개이상이어도 좋다.
또한, 상기 제 1∼제 6 실시형태에서는 2개의 반출 위치(Ex1 및 Ex2)를 설치한 예를 나타냈지만, 본 발명은 이것에 한정되지 않는다. 반출 위치는 1개 또는 3개이상이어도 좋다.
또한, 상기 제 1∼제 6 실시형태에서는 반입 위치(En1 및 En2)에 설치된 로더로부터 기판을 직접 기판 작업 테이블에 주고받는 구성의 예를 나타냈지만, 본 발명은 이것에 한정되지 않는다. 본 발명에서는 예를 들면 로더와 기판 작업 테이블 사이에 중간 컨베이어를 설치하고, 중간 컨베이어를 통해 로더측으로부터 기판 작업 테이블측으로 기판을 반송해도 좋다. 특히, 반입 위치가 1군데만인 경우, 2개의 기판 작업 테이블로 나누어 반송 가능한 가동의 중간 컨베이어를 설치해도 좋다.
또한, 상기 제 1∼제 6 실시형태에서는 기판 작업 테이블에 마스크 인식 카메라 및 클리닝 유닛을 설치한 예를 나타냈지만, 본 발명은 이것에 한정되지 않는다. 본 발명에서는 기판 작업 테이블에 마스크 인식 카메라를 설치하지 않아도 좋고, 기판 작업 테이블에 클리닝 유닛을 설치하지 않아도 좋다.

Claims (15)

  1. 인쇄 대상의 기판을 유지하는 기판 작업 테이블과,
    상기 기판 작업 테이블의 상방에서 수평 방향의 소정 방향으로 나란히 배열된 제 1 인쇄 테이블 및 제 2 인쇄 테이블과,
    상기 제 1 인쇄 테이블 및 상기 제 2 인쇄 테이블의 인쇄 동작을 제어하는 제어부를 구비하고,
    상기 제 1 인쇄 테이블은 상기 기판에 점성재를 인쇄하는 제 1 인쇄를 행하기 위한 제 1 막두께의 소형 부품용 마스크를 유지하고,
    상기 제 2 인쇄 테이블은 상기 제 1 막두께보다 두꺼운 제 2 막두께를 갖고, 상기 소형 부품용 마스크에 의해 인쇄된 점성재를 피하도록 기판 접촉면측에 상기 제 1 막두께의 두께보다 깊이가 깊은 릴리프부가 형성되고, 상기 제 1 인쇄 테이블에 의한 상기 제 1 인쇄후의 상기 기판에 점성재를 인쇄하는 제 2 인쇄를 행하기 위한 대형 부품용 마스크를 유지하고,
    상기 기판 작업 테이블과, 상기 제 1 인쇄 테이블 및 상기 제 2 인쇄 테이블 중 적어도 한쪽은 상기 수평 방향의 소정 방향으로 이동 가능하게 구성되고,
    상기 기판 작업 테이블과, 상기 제 1 인쇄 테이블 및 상기 제 2 인쇄 테이블 중 적어도 한쪽은 상하 방향으로 이동 가능하게 구성되고,
    상기 제 1 인쇄 테이블 및 상기 제 2 인쇄 테이블은 각각 상하 방향으로 이동 가능하게 구성되고,
    상기 제어부는 상기 기판 작업 테이블에 유지된 상기 기판에 대해서 상기 제 1 인쇄 테이블의 소형 부품용 마스크에 의해 상기 제 1 인쇄를 행한 후 상기 제 2 인쇄 테이블의 대형 부품용 마스크에 의해 상기 제 2 인쇄를 행하도록 구성되어 있고,
    상기 제어부는 상기 제 1 인쇄 테이블 및 상기 제 2 테이블의 한쪽의 기판 인쇄 작업 실행중에 상기 제 1 인쇄 테이블 및 상기 제 2 인쇄 테이블의 다른쪽의 하강 동작의 일부를 실시하도록 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 기판 인쇄 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 제어부는 상기 제 1 인쇄 테이블의 상기 소형 부품용 마스크를 사용한 기판 인쇄 동작 실행중에 상기 제 2 인쇄 테이블을 점성재의 상기 제 2 인쇄후의 상기 기판에 대해서 상기 대형 부품용 마스크를 이간시키는 대형 부품용 마스크 판이간 높이 위치로부터 상기 대형 부품용 마스크 판이간 높이 위치보다 낮고 또한 상기 기판상의 점성재와 상기 대형 부품용 마스크가 비접촉으로 되는 대기 높이 위치로 하강시키도록 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 기판 인쇄 장치.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 대기 높이 위치는 적어도 상기 소형 부품용 마스크의 상기 제 1 막두께와 상기 대형 부품용 마스크의 휘어짐량에 의거해서 결정되는 높이 위치인 것을 특징으로 하는 기판 인쇄 장치.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 기판 작업 테이블은 각각 상기 수평 방향의 소정 방향으로 이동 가능하게 구성된 제 1 기판 작업 테이블 및 제 2 기판 작업 테이블을 포함하고,
    상기 제 1 기판 작업 테이블 및 상기 제 2 기판 작업 테이블은 각각 상기 소형 부품용 마스크 및 상기 대형 부품용 마스크를 인식하는 것이 가능한 마스크 인식 카메라를 갖고,
    상기 제어부는 상기 제 1 기판 작업 테이블과 상기 제 1 인쇄 테이블에 의한 상기 소형 부품용 마스크를 사용한 기판 인쇄 동작 실행중에 상기 제 2 기판 작업 테이블을 사용해서 상기 제 2 인쇄 테이블의 상기 대형 부품용 마스크의 마스크 인식을 실시하도록 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 기판 인쇄 장치.
  5. 제 4 항에 있어서,
    상기 제어부는 적어도 상기 제 1 기판 작업 테이블과 상기 제 1 인쇄 테이블에 의한 기판 인쇄 동작의 초회 실행시에 상기 제 2 기판 작업 테이블을 사용한 상기 대형 부품용 마스크의 마스크 인식을 실시하도록 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 기판 인쇄 장치.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 기판 작업 테이블은 각각 상기 소정 방향으로 이동 가능하게 구성된 제 1 기판 작업 테이블 및 제 2 기판 작업 테이블을 포함하고,
    상기 제어부는 상기 제 2 인쇄 테이블과 상기 제 1 기판 작업 테이블에 의한 기판 인쇄 동작 실행중에 상기 제 2 기판 작업 테이블에 의한 기판 반입 및 기판 반출 중 적어도 한쪽의 동작을 실시함과 아울러, 상기 제 1 인쇄 테이블과 상기 제 2 기판 작업 테이블에 의한 기판 인쇄 동작 실행중에 상기 제 1 기판 작업 테이블에 의한 기판 반입 및 기판 반출 중 적어도 한쪽의 동작을 실시하도록 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 기판 인쇄 장치.
  7. 수평 방향의 소정 방향으로 각각 이동 가능하게 나란히 배열되고, 각각 인쇄 대상의 기판을 유지하는 제 1 기판 작업 테이블 및 제 2 기판 작업 테이블과,
    상기 제 1 기판 작업 테이블 및 상기 제 2 기판 작업 테이블의 상방에서 상기 수평 방향의 소정 방향으로 나란히 배열된 상기 제 1 기판 작업 테이블측의 제 1 인쇄 테이블 및 상기 제 2 기판 작업 테이블 측의 제 2 인쇄 테이블과,
    상기 제 1 인쇄 테이블 및 상기 제 2 인쇄 테이블의 인쇄 동작을 제어하는 제어부를 구비하고,
    상기 제 1 인쇄 테이블은 상기 기판에 점성재를 인쇄하는 제 1 인쇄를 행하기 위한 제 1 막두께의 소형 부품용 마스크를 유지하고,
    상기 제 2 인쇄 테이블은 상기 제 1 막두께보다 두꺼운 제 2 막두께를 갖고, 상기 소형 부품용 마스크에 의해 인쇄된 점성재를 피하도록 기판 접촉면측에 상기 제 1 막두께의 두께보다 깊이가 깊은 릴리프부가 형성되고, 상기 제 1 인쇄 테이블에 의한 상기 제 1 인쇄후의 상기 기판에 점성재를 인쇄하는 제 2 인쇄를 행하기 위한 대형 부품용 마스크를 유지하고,
    상기 제 1 기판 작업 테이블 및 상기 제 2 기판 작업 테이블은 각각 상기 제 1 인쇄 테이블 및 상기 제 2 인쇄 테이블의 2개의 인쇄 테이블 중 적어도 반대측에 위치하는 상기 인쇄 테이블 위치까지 개별로 상기 수평 방향의 소정 방향으로 이동 가능하게 구성됨으로써, 공통의 이동 영역을 갖고,
    상기 제 1 기판 작업 테이블 및 상기 제 2 기판 작업 테이블과, 상기 제 1 인쇄 테이블 및 상기 제 2 인쇄 테이블 중 적어도 한쪽은 상하 방향으로 이동 가능하게 구성되고,
    상기 제어부는 상기 제 1 기판 작업 테이블에 유지된 상기 기판에 대해서 상기 제 1 인쇄 테이블의 소형 부품용 마스크에 의해 상기 제 1 인쇄를 행한 후 상기 제 2 인쇄 테이블의 대형 부품용 마스크에 의해 상기 제 2 인쇄를 행하고, 상기 제 2 기판 작업 테이블에 유지된 상기 기판에 대해서 상기 제 1 인쇄 테이블의 소형 부품용 마스크에 의해 상기 제 1 인쇄를 행한 후 상기 제 2 인쇄 테이블의 대형 부품용 마스크에 의해 상기 제 2 인쇄를 행함과 아울러, 상기 제 1 기판 작업 테이블과 상기 제 1 인쇄 테이블에 의한 상기 제 1 인쇄 중, 상기 제 2 기판 작업 테이블과 상기 제 2 인쇄 테이블에 의한 상기 제 2 인쇄를 행하도록 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 기판 인쇄 장치.
  8. 제 7 항에 있어서,
    상기 제어부는 상기 제 1 인쇄 테이블 및 상기 제 2 인쇄 테이블의 한쪽의 기판 인쇄 동작 실행중에 상기 제 1 인쇄 테이블 및 상기 제 2 인쇄 테이블의 다른쪽의 인쇄 준비 동작을 실시하도록 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 기판 인쇄 장치.
  9. 제 8 항에 있어서,
    상기 제 1 인쇄 테이블 및 상기 제 2 인쇄 테이블은 각각 상기 수평 방향의 소정 방향으로 이동 가능하게 구성되고,
    상기 제어부는 상기 제 1 인쇄 테이블의 기판 인쇄 동작 실행중에 상기 제 1 인쇄 테이블과 상기 제 2 인쇄 테이블의 상기 수평 방향의 소정 방향의 거리가 작아지도록 상기 제 2 인쇄 테이블을 상기 수평 방향의 소정 방향으로 이동시킴으로써 상기 제 2 인쇄 테이블을 인쇄 위치에 접근시키도록 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 기판 인쇄 장치.
  10. 제 9 항에 있어서,
    상기 제어부는 기판 인쇄 동작 실행중의 상기 제 1 인쇄 테이블과의 사이의 간격이 상기 제 1 인쇄 테이블과 상기 제 2 인쇄 테이블이 간섭하지 않고 근접 가능한 최소 간격이 되는 위치까지 상기 제 2 인쇄 테이블을 상기 인쇄 위치에 접근시키도록 구성되고,
    상기 제어부는 상기 제 2 인쇄 테이블을 상기 인쇄 위치에 접근시킨 후 상기 제 2 인쇄 테이블에 의한 상기 제 2 인쇄를 행할 때에 상기 최소 간격이상의 거리를 유지하면서 상기 제 1 인쇄 테이블과 상기 제 2 인쇄 테이블을 이동시켜서 상기 제 2 인쇄 테이블을 상기 인쇄 위치에 위치 부여하도록 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 기판 인쇄 장치.
  11. 제 8항에 있어서,
    상기 제 1 기판 작업 테이블 및 상기 제 2 기판 작업 테이블은 각각 상기 소형 부품용 마스크 및 상기 대형 부품용 마스크의 청소를 행하기 위한 클리닝 유닛을 갖고,
    상기 제어부는 상기 제 1 인쇄후의 상기 기판에 대해서 상기 제 2 기판 작업 테이블과 상기 제 2 인쇄 테이블이 상기 대형 부품용 마스크를 사용한 기판 인쇄 동작을 실행하고 있는 동안에 상기 제 1 기판 작업 테이블을 사용해서 상기 제 1 인쇄 테이블의 상기 소형 부품용 마스크의 마스크 청소 동작을 행하도록 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 기판 인쇄 장치.
  12. 제 11항에 있어서,
    상기 제 1 인쇄 테이블 및 상기 제 2 인쇄 테이블은 각각 상기 수평 방향의 소정 방향으로 이동 가능하게 구성되고,
    상기 제어부는 상기 제 2 기판 작업 테이블과 상기 제 2 인쇄 테이블이 기판 인쇄 동작을 실행하고 있는 동안에 상기 제 1 인쇄 테이블을 상기 제 2 인쇄 테이블로부터 이간되는 방향으로 이동시킴과 아울러 상기 제 2 인쇄 테이블로부터 이간된 위치에서 상기 소형 부품용 마스크의 마스크 청소 동작을 행하도록 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 기판 인쇄 장치.
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Families Citing this family (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6424334B2 (ja) 2014-12-01 2018-11-21 パナソニックＩｐマネジメント株式会社 スクリーン印刷装置及び部品実装ライン
JP6694778B2 (ja) * 2016-08-08 2020-05-20 ヤマハ発動機株式会社 スクリーン印刷装置
JP7161881B2 (ja) * 2018-07-24 2022-10-27 株式会社Ｓｃｒｅｅｎホールディングス 印刷システムおよび印刷方法
JP7336744B2 (ja) 2019-06-11 2023-09-01 パナソニックＩｐマネジメント株式会社 塗布方法、塗布装置及び吐出装置
JP7326999B2 (ja) * 2019-08-29 2023-08-16 セイコーエプソン株式会社 印刷装置及び印刷システム
GB2600158B (en) * 2020-10-26 2024-09-04 Asmpt Smt Singapore Pte Ltd Gripping system for variable thickness workpieces
CN113665230A (zh) * 2021-08-27 2021-11-19 深圳市金翰半导体技术有限公司 一种印刷装置及印刷方法

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0229396A (ja) * 1988-07-19 1990-01-31 Seiko Epson Corp 電子部品の実装方法及び装置
EP1558066A1 (en) * 2004-01-21 2005-07-27 Sony Ericsson Mobile Communications AB Providing differentiated levels of solder paste on a circuit board
US20120304876A1 (en) * 2011-05-31 2012-12-06 Yamaha Hatsudoki Kabushiki Kaisha Screen printing apparatus
US20120304877A1 (en) * 2011-05-31 2012-12-06 Yamaha Hatsudoki Kabushiki Kaisha Screen printing apparatus

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5943089A (en) * 1996-08-23 1999-08-24 Speedline Technologies, Inc. Method and apparatus for viewing an object and for viewing a device that acts upon the object
JP2000168040A (ja) * 1998-12-04 2000-06-20 Minami Kk スクリーン印刷機
JP2006066811A (ja) 2004-08-30 2006-03-09 Toshiba Corp はんだ印刷用マスク、部品実装方法
JP5023904B2 (ja) 2007-09-11 2012-09-12 パナソニック株式会社 スクリーン印刷装置
GB2464969A (en) * 2008-10-31 2010-05-05 Dek Int Gmbh Screen printing apparatus and cleaning method
JP5018812B2 (ja) * 2009-03-16 2012-09-05 パナソニック株式会社 スクリーン印刷機及びスクリーン印刷方法
JP4985753B2 (ja) * 2009-12-16 2012-07-25 パナソニック株式会社 スクリーン印刷システム及びスクリーン印刷システムのマスクのクリーニング方法
US8689686B2 (en) * 2011-07-31 2014-04-08 Charles Moncavage Screen printing device with infinite loop stencil

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0229396A (ja) * 1988-07-19 1990-01-31 Seiko Epson Corp 電子部品の実装方法及び装置
EP1558066A1 (en) * 2004-01-21 2005-07-27 Sony Ericsson Mobile Communications AB Providing differentiated levels of solder paste on a circuit board
US20120304876A1 (en) * 2011-05-31 2012-12-06 Yamaha Hatsudoki Kabushiki Kaisha Screen printing apparatus
US20120304877A1 (en) * 2011-05-31 2012-12-06 Yamaha Hatsudoki Kabushiki Kaisha Screen printing apparatus

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