JP2014120745A - 基板印刷装置 - Google Patents

Abstract

【課題】小型部品用マスクと大型部品用マスクとの２種類のマスクを用いて印刷を行う場合にも、生産ライン構成を複雑化させることなく基板生産を行うことが可能な基板印刷装置を提供する。
【解決手段】この印刷装置１００（基板印刷装置）は、基板５を保持する基板作業テーブル２ａおよび２ｂと、印刷テーブル３ａおよび３ｂと、演算処理部８１とを備える。印刷テーブル３ａは、第１印刷を行うための小型部品用マスク６を保持し、印刷テーブル３ｂは、印刷テーブル３ａによる第１印刷後の基板５に第２印刷を行うための大型部品用マスク７を保持する。演算処理部８１は、基板作業テーブル２ａ（２ｂ）に保持された基板５に対して、印刷テーブル３ａの小型部品用マスク６により第１印刷を行った後、印刷テーブル３ｂの大型部品用マスク７により第２印刷を行うように構成されている。
【選択図】図１

Description

本発明は、基板印刷装置に関し、特に、基板に対してマスク印刷を行う基板印刷装置に関する。

従来、基板に対してマスク印刷を行う基板印刷装置が知られている（たとえば、特許文献１参照）。

プリント基板に実装される電子部品の小型化に伴い、０６０３サイズ（０．６ｍｍ×０．３ｍｍ）や０４０２サイズ（０．４ｍｍ×０．２ｍｍ）などの小型部品（極小部品）と、シールド部品などの大型部品とが混在して基板に実装されるようになっている。これらの部品の実装のために半田などの粘性材を基板に印刷する際、粘性材の適切な転写量は概して部品のサイズに応じて決まるため、部品のサイズに応じた転写量で粘性材を印刷する必要がある。

上記特許文献１では、１枚のマスクの中で、大型部品に対応する印刷領域での厚みを大きくし、小型部品（極小部品）に対応する印刷領域での厚みを小さくしたマスク（いわゆるハーフエッチングマスク）を用いて半田印刷を行う技術が開示されている。基板に対する粘性材の転写量はマスクの厚みに対応することから、ハーフエッチングマスクを用いることにより、部品サイズに応じた転写量での粘性材の印刷が可能となる。しかしながら、上記特許文献１に開示されたマスクを用いる場合、印刷領域の中に段差部分（大型部品用の厚みと、小型部品用の厚みとの境界部分）が形成され、この段差部分の近傍領域では粘性材を開口に充填するための安定した印刷圧力を確保することができないため、段差部分の近傍領域を避けるように回路パターン（マスクの開口パターン）を形成する必要がある。このため、上記特許文献１に開示された印刷技術では、回路の集積度を向上させることができない。

そこで、厚みの小さい小型部品用の第１のマスクと、厚みの大きい大型部品用の第２のマスクとの２種類のマスクを用意して、順次印刷を行うことが考えられる。第１のマスクにより形成された転写材のパターンを逃がすように第２のマスクの基板接触面側に逃がし部を設けることにより、第１のマスクにより小型部品用（極小部品用）の印刷パターンを形成した後で、第２のマスクにより大型部品用の印刷パターンを形成することが可能となる。

特開２００６−６６８１１号公報

しかしながら、２種類のマスクを用いる場合には、２台の基板印刷装置を設けて順次印刷を行う生産ラインを構築する必要があり、生産ライン構成が複雑化するという問題点がある。

この発明は、上記のような課題を解決するためになされたものであり、この発明の１つの目的は、小型部品用マスクと大型部品用マスクとの２種類のマスクを用いて印刷を行う場合にも、生産ライン構成を複雑化させることなく基板生産を行うことが可能な基板印刷装置を提供することである。

上記目的を達成するために、この発明の一の局面における基板印刷装置は、印刷対象の基板を保持する基板作業テーブルと、基板作業テーブルの上方で水平方向の所定方向に並んで配列された第１印刷テーブルおよび第２印刷テーブルと、第１印刷テーブルおよび第２印刷テーブルの印刷動作を制御する制御部とを備え、第１印刷テーブルは、基板に粘性材を印刷する第１印刷を行うための第１の膜厚の小型部品用マスクを保持し、第２印刷テーブルは、第１の膜厚より厚い第２の膜厚を有し、小型部品用マスクにより印刷された粘性材を逃がすように基板接触面側に第１の膜厚の厚みより深さの大きい逃がし部が形成され、第１印刷テーブルによる第１印刷後の基板に粘性材を印刷する第２印刷を行うための大型部品用マスクを保持し、基板作業テーブルと、第１印刷テーブルおよび第２印刷テーブルとの少なくとも一方は、水平方向の所定方向に移動可能に構成され、基板作業テーブルと、第１印刷テーブルおよび第２印刷テーブルとの少なくとも一方は、上下方向に移動可能に構成され、制御部は、基板作業テーブルに保持された基板に対して、第１印刷テーブルの小型部品用マスクにより第１印刷を行った後、第２印刷テーブルの大型部品用マスクにより第２印刷を行うように構成されている。

この発明の一の局面による基板印刷装置では、上記のように、第１印刷テーブルに、基板に粘性材を印刷する第１印刷を行うための小型部品用マスクを保持させ、第２印刷テーブルに、小型部品用マスクにより印刷された粘性材を逃がすように基板接触面側に第１の膜厚の厚みより深さの大きい逃がし部が形成され、第１印刷テーブルによる第１印刷後の基板に粘性材を印刷する第２印刷を行うための大型部品用マスクを保持させ、基板作業テーブルに保持された基板に対して、第１印刷テーブルの小型部品用マスクにより第１印刷を行った後、第２印刷テーブルの大型部品用マスクにより第２印刷を行うように制御部を構成する。これにより、小型部品用マスク（極小部品用マスク）を用いた第１印刷と、大型部品用マスクを用いた第２印刷とを１台の基板印刷装置によって実行することができる。これにより、２台の基板印刷装置を生産ラインに設ける必要がないので、小型部品用マスクと大型部品用マスクとの２種類のマスクを用いて印刷を行う場合にも、生産ライン構成を複雑化させることなく基板の生産を行うことができる。

上記一の局面による基板印刷装置において、好ましくは、制御部は、第１印刷テーブルおよび第２印刷テーブルの一方の基板印刷動作の実行中に、第１印刷テーブルおよび第２印刷テーブルの他方の印刷準備動作を実施するように構成されている。このように構成すれば、第１印刷テーブルおよび第２印刷テーブルの一方の基板印刷動作の実行中の待機期間を利用して、他方で次の印刷のための準備動作を先行して行うことができる。これにより、第１印刷と第２印刷とを１台の基板印刷装置によって実行する場合にも、基板印刷に要する時間（基板印刷動作と印刷準備動作とに要する時間）を短縮することができる。

この場合、好ましくは、第１印刷テーブルおよび第２印刷テーブルは、それぞれ水平方向の所定方向に移動可能に構成され、制御部は、第１印刷テーブルの基板印刷動作の実行中に、第１印刷テーブルと第２印刷テーブルとの水平方向の所定方向の距離が小さくなるように第２印刷テーブルを水平方向の所定方向へ移動させることにより、第２印刷テーブルを印刷位置に接近させるように構成されている。このように構成すれば、第１印刷テーブルの基板印刷動作の実行中に第２印刷テーブルの印刷位置への移動動作の一部を実施することができるので、第２印刷テーブルによる第２印刷を行う際の基板印刷に要する時間を短縮することができる。

上記第１印刷テーブルおよび第２印刷テーブルの一方の基板印刷動作の実行中に、第１印刷テーブルおよび第２印刷テーブルの他方の印刷準備動作を実施する構成において、好ましくは、第１印刷テーブルおよび第２印刷テーブルは、それぞれ上下方向に移動可能に構成され、制御部は、第１印刷テーブルの小型部品用マスクを用いた基板印刷動作の実行中に、第２印刷テーブルを、粘性材の第２印刷後の基板に対して大型部品用マスクを離間させる大型部品用マスク版離れ高さ位置から、大型部品用マスク版離れ高さ位置よりも低く、かつ、基板上の粘性材と大型部品用マスクとが非接触となる待機高さ位置に下降させるように構成されている。このように構成すれば、第１印刷テーブルの基板印刷動作（第１印刷動作）の実行中に、第２印刷テーブル側で大型部品用マスクと基板との版合わせを行う際の下降動作の一部を実施することができる。これにより、第２印刷テーブルによる第２印刷を行う際の基板印刷に要する時間を短縮することができる。

上記第１印刷テーブルおよび第２印刷テーブルの一方の基板印刷動作の実行中に、第１印刷テーブルおよび第２印刷テーブルの他方の印刷準備動作を実施する構成において、好ましくは、基板作業テーブルは、それぞれ水平方向の所定方向に移動可能に構成された第１基板作業テーブルおよび第２基板作業テーブルを含み、第１基板作業テーブルおよび第２基板作業テーブルは、それぞれ、小型部品用マスクおよび大型部品用マスクを認識することが可能なマスク認識カメラを有し、制御部は、第１基板作業テーブルと第１印刷テーブルとによる小型部品用マスクを用いた基板印刷動作の実行中に、第２基板作業テーブルを用いて第２印刷テーブルの大型部品用マスクのマスク認識を実施するように構成されている。このように構成すれば、第１印刷テーブルの小型部品用マスクを用いた基板印刷動作（第１印刷動作）の実行中に、第２印刷テーブル側で大型部品用マスクと基板とを位置合わせするためのマスク認識作業を先行して実施することができる。これにより、第１印刷後、マスク認識作業の完了済みの大型部品用マスクにより、直ちに第２印刷を行うことができるので、第２印刷を行う際の基板印刷に要する時間を短縮することができる。

上記第１印刷テーブルおよび第２印刷テーブルの一方の基板印刷動作の実行中に、第１印刷テーブルおよび第２印刷テーブルの他方の印刷準備動作を実施する構成において、好ましくは、基板作業テーブルは、それぞれ水平方向の所定方向に移動可能に構成された第１基板作業テーブルおよび第２基板作業テーブルを含み、第１基板作業テーブルおよび第２基板作業テーブルは、それぞれ、小型部品用マスクおよび大型部品用マスクの清掃を行うためのクリーニングユニットを有し、制御部は、第１印刷後の基板に対して第２基板作業テーブルと第２印刷テーブルとが大型部品用マスクを用いた基板印刷動作を実行している間に、第１基板作業テーブルを用いて第１印刷テーブルの小型部品用マスクのマスク清掃動作を行うように構成されている。このように構成すれば、第１印刷テーブルの基板印刷（第１印刷）後、第２印刷テーブルの基板印刷動作（第２印刷動作）の実行中に、第１印刷テーブル側で小型部品用マスクのマスク清掃作業を実施することができる。これにより、第１印刷テーブルによる次の基板に対する第１印刷を行う際の印刷準備動作に要する時間を短縮することができる。

上記第１印刷テーブルおよび第２印刷テーブルの一方の基板印刷動作の実行中に、第１印刷テーブルおよび第２印刷テーブルの他方の印刷準備動作を実施する構成において、好ましくは、基板作業テーブルは、それぞれ所定方向に移動可能に構成された第１基板作業テーブルおよび第２基板作業テーブルを含み、制御部は、第１印刷テーブルおよび第２印刷テーブルの一方と第１基板作業テーブルおよび第２基板作業テーブルの一方とによる基板印刷動作の実行中に、第１基板作業テーブルおよび第２基板作業テーブルの他方による基板搬入および基板搬出の少なくとも一方の動作を実施するように構成されている。このように構成すれば、第１基板作業テーブルおよび第２基板作業テーブルの一方を用いて基板印刷動作を実行している間に、他方で次の基板印刷のための基板搬入および基板搬出の少なくとも一方の動作を実施することができるので、第１印刷と第２印刷とを１台の基板印刷装置によって実行する場合にも、次の基板に対する印刷を行う際の印刷準備動作（基板搬入、搬出動作）に要する時間を短縮することができる。

上記一の局面による基板印刷装置において、好ましくは、基板作業テーブルは、それぞれ所定方向に移動可能に構成された第１基板作業テーブルおよび第２基板作業テーブルを含み、制御部は、第２印刷テーブルと第１基板作業テーブルおよび第２基板作業テーブルの一方とによる第１印刷後の第１の基板に対する第２印刷の基板印刷動作の実行中に、第１印刷テーブルと第１基板作業テーブルおよび第２基板作業テーブルの他方とにより、第１印刷前の第２の基板に対する第１印刷の基板印刷動作を実行するように構成されている。このように構成すれば、第１の基板に対する第２印刷の実行中に、次の印刷対象基板（第２の基板）に対する第１印刷を先行して実施することができる。これにより、第１印刷と第２印刷とを１台の基板印刷装置によって実行する場合にも、次の基板に対する印刷を行う際の基板印刷動作に要する時間を短縮することができる。

本発明によれば、上記のように、小型部品用マスクと大型部品用マスクとの２種類のマスクを用いて印刷を行う場合にも、生産ライン構成を複雑化させることなく基板生産を行うことができる。

本発明の第１実施形態による印刷装置を模式的に示した平面図である。 本発明の第１実施形態による印刷装置をＹ方向から見た場合の模式的な側面図である。 本発明の印刷装置を構成する基板作業テーブルをＸ方向から見た場合の模式的な断面図である。 本発明の第１実施形態による印刷装置の小型部品用マスクを示す模式図である。 本発明の第１実施形態による印刷装置の大型部品用マスクを示す模式図である。 本発明の第１〜第６実施形態による印刷装置の制御的な構成を示したブロック図である。 本発明の第１実施形態による印刷装置の基板印刷作業時の動作概要を示す制御フロー図である。 本発明の第１実施形態による印刷装置の基板印刷作業時（基板搬入）の位置関係を示した模式図である。 本発明の第１実施形態による印刷装置の基板印刷作業時（第１印刷）の位置関係を示した模式図である。 本発明の第１実施形態による印刷装置の基板印刷作業時（第２印刷）の位置関係を示した模式図である。 本発明の第１実施形態による印刷装置の基板印刷作業時（基板搬出）の位置関係を示した模式図である。 本発明の第２実施形態による印刷装置の先行接近動作を説明するための模式図である。 本発明の第２実施形態による印刷装置の基板印刷作業時（第１印刷）の位置関係を示した模式図である。 本発明の第２実施形態による印刷装置の基板印刷作業時（第２印刷）の位置関係を示した模式図である。 本発明の第３実施形態による印刷装置の先行下降動作を説明するための模式図である。 本発明の第４実施形態による印刷装置の先行マスク認識を説明するための基板印刷作業時（第１印刷）の位置関係を示した模式図である。 本発明の第５実施形態による印刷装置の先行清掃動作を説明するための基板印刷作業時の動作概要を示す制御フロー図である。 本発明の第５実施形態による印刷装置の先行清掃動作を説明するための基板印刷作業時（第２印刷）の位置関係を示した模式図である。 本発明の第６実施形態による印刷装置の基板印刷作業時の動作概要を示す制御フロー図（前半部分）である。 本発明の第６実施形態による印刷装置の基板印刷作業時の動作概要を示す制御フロー図（後半部分）である。 本発明の第６実施形態による印刷装置の基板印刷作業時（基板搬入、基板搬出および第１印刷）の位置関係を示した模式図である。 本発明の第６実施形態による印刷装置の基板印刷作業時（第１印刷および第２印刷）の位置関係を示した模式図である。 本発明の第６実施形態による印刷装置の基板印刷作業時（基板搬入、基板搬出および第２印刷）の位置関係を示した模式図である。

以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。

（第１実施形態）
まず、図１〜図６を参照して、本発明の第１実施形態による印刷装置１００の構造について説明する。なお、第１実施形態では、本発明の「基板印刷装置」を印刷装置１００に適用した例について説明する。

本発明の第１実施形態による印刷装置１００は、図１〜図３に示すように、装置本体内に搬送されるプリント基板（以下、「基板」という）５の上面に半田ペーストをマスク印刷する基板印刷装置である。

図１に示すように、印刷装置１００は、搬送方向上流側（Ｘ方向右側）の搬入位置Ｅｎ１のローダＬＤ１および搬入位置Ｅｎ２のローダＬＤ２から基板５を搬入可能であり、搬送方向下流側（Ｘ方向左側）の搬出位置Ｅｘ１またはＥｘ２から下流側装置Ｍへと印刷済みの基板５を搬出するように構成されている。搬出位置Ｅｘ１およびＥｘ２は、それぞれ、搬入位置Ｅｎ１およびＥｎ２とＸ方向に並ぶように配置されている。なお、基板５の搬送方向がＸ方向であり、水平面内でＸ方向と直交する方向がＹ方向である。また、ＸおよびＹ方向と直交する上下方向がＺ方向である。なお、Ｙ方向は、本発明の「水平方向の所定方向」の一例である。このような構成により、印刷装置１００は、２本の搬送ラインを有するプリント回路基板の基板製造ラインの一部を構成している。

印刷装置１００は、基台１と、基板５の保持および搬送を行う２つの基板作業テーブル２ａおよび２ｂと、２つの印刷テーブル３ａおよび３ｂと、２つのスキージユニット４ａおよび４ｂとを備えている。基板作業テーブル２ａと、印刷テーブル３ａと、スキージユニット４ａとは、印刷装置１００のＹ２方向側に配置され、基板作業テーブル２ｂと、印刷テーブル３ｂと、スキージユニット４ｂとは、印刷装置１００のＹ１方向側に配置されている。また、印刷装置１００には、以下に説明する各部の動作制御を行うための後述する制御装置８０（図６参照）が内蔵されている。なお、基板作業テーブル２ａおよび２ｂは、それぞれ、本発明の「第１基板作業テーブル」および「第２基板作業テーブル」の一例である。また、印刷テーブル３ａおよび３ｂは、それぞれ、本発明の「第１印刷テーブル」および「第２印刷テーブル」の一例である。

２つの基板作業テーブル２ａ（２ｂ）は、Ｙ方向に並んで配置されており、それぞれ対応する搬入位置Ｅｎ１（Ｅｎ２）で基板５を受け取り、印刷作業時には印刷テーブル３ａおよび３ｂに対向して基板５を支持して固定し、印刷済みの基板５を対応する搬出位置Ｅｘ１（Ｅｘ２）から搬出する機能を有している。Ｙ２方向側の搬入位置Ｅｎ１および搬出位置Ｅｘ１が基板作業テーブル２ａに対応し、Ｙ１方向側の搬入位置Ｅｎ２および搬出位置Ｅｘ２が基板作業テーブル２ｂに対応している。

図１〜図３に示すように、基板作業テーブル２ａ（２ｂ）は、それぞれ、Ｙ方向に移動可能に構成された可動台２１と、可動台２１上に配置された搬送方向（Ｘ方向）に延びる一対のコンベアレールからなる搬送コンベア２２と、搬送コンベア２２上の基板５を搬送コンベア２２から上方に離間した状態で印刷作業可能なように保持（固定）しつつＸ方向に移動可能に構成されたクランプユニット２３と、クランプユニット２３に設けられたマスク認識カメラ２４と、可動台２１上に配置されたクリーニングユニット２５（図３参照）とを含む。なお、基板作業テーブル２ａの構成（構造）と基板作業テーブル２ｂの構成（構造）とは略同様であるので、個別の説明を省略する。

図１に示すように、可動台２１は、基台１上にＹ方向に延びるガイドレール１１上でＹ方向に移動可能に支持されている。各基板作業テーブル２ａ（２ｂ）の可動台２１は、２つのテーブル駆動機構によってガイドレール１１上をＹ方向に個別に移動されるように構成されている。具体的には、図３に示すように、基板作業テーブル２ａ（２ｂ）の可動台２１は、それぞれ、Ｙ方向に延びるねじ軸１２ａ（１２ｂ）と、ねじ軸１２ａ（１２ｂ）を回転駆動するサーボモータ１３ａ（１３ｂ）とによってＹ方向に駆動される。これにより、基板作業テーブル２ａ（２ｂ）は、それぞれ、少なくともＹ方向の反対側の印刷テーブル３ａ（３ｂ）の位置まで個別にＹ軸（Ｙ方向）移動可能なように構成されており、基板作業テーブル２ａ（２ｂ）は共通の移動領域を有している（移動範囲がオーバーラップしている）。

図１および図２に示すように、搬送コンベア２２は印刷装置１００のＸ方向の略全長にわたって延びるように設けられており、搬送コンベア２２の位置を搬入位置Ｅｎ１（Ｅｎ２）および搬出位置Ｅｘ１（Ｅｘ２）のＹ軸座標に一致させることで、基板搬入および搬出が可能である。また、各搬送コンベア２２は、一対のコンベアレールの一方を可動台２１上でＹ方向に移動させることが可能であり、搬送される基板５のサイズに合わせてコンベア幅（コンベアレール間の間隔）を変更することが可能である。

図３に示すように、クランプユニット２３は、一対のコンベアレールからなる搬送コンベア２２をＹ方向両外側から抱え込むように設けられた可動ユニットである。クランプユニット２３は、可動台２１上にそれぞれ設けられたＸ方向に延びるＸ軸移動機構５１（図２参照）により、ガイドレール５１ａ上をＸ方向に移動可能に構成されている。これにより、クランプユニット２３が搬送コンベア２２に沿ってＸ方向に移動可能となっている。なお、クランプユニット２３のＹ方向の幅は、搬送コンベア２２のコンベア幅に対応して変更可能である。

また、クランプユニット２３は、基板５を把持して固定するためのクランプ機構５２と、搬送コンベア２２上の基板５を持ち上げて支持するための支持機構５３とを含んでいる。クランプ機構５２は、図示しないエアシリンダを駆動させてクランプ部５２ｂをクランプ部５２ａに近付く方向に変位させることによって、搬送コンベア２２上の基板５をＹ方向の両側から挟み込んで把持することが可能なように構成されている。なお、エアシリンダを逆方向に作動させればクランプが解除される。

支持機構５３は、バックアップピン５３ａとバックアップピン５３ａを上下に移動させる昇降機構５３ｂとを含み、バックアップピン５３ａを基板５の下面に下側から接触させ、昇降機構５３ｂによって搬送コンベア２２上の基板５を持ち上げて支持するように構成されている。支持機構５３によって持ち上げられた基板５がクランプ機構５２によって把持されることにより、基板５が搬送コンベア２２から上方に離間した状態で固定的に保持され、基板作業テーブル２ａ（２ｂ）上で基板５に印刷作業を行うことが可能となる。

マスク認識カメラ２４は、ＣＣＤエリアセンサなどからなり、クランプユニット２３のＹ方向の外側に、撮像方向を上方に向けて取り付けられている。このため、マスク認識カメラ２４は、基板作業テーブル２ａ（２ｂ）の移動に伴ってＹ方向に移動可能で、クランプユニット２３の移動に伴ってＸ方向に移動可能となっている。マスク認識カメラ２４は、印刷テーブル３ａおよび３ｂに保持されたスクリーンマスク（後述する小型部品用マスク６および大型部品用マスク７）の下面側に付されたマスク認識マークＱ（図８参照）を下方から撮像して、マスク（小型部品用マスク６および大型部品用マスク７）の位置および姿勢を認識するために設けられている。

クリーニングユニット２５は、詳細な図示を省略するが、スクリーンマスク（小型部品用マスク６および大型部品用マスク７）の基板接触面（下面）に接触させるパッドと、パッドを介して負圧吸引を行う吸引ノズルとを含むクリーニングヘッドを備えている。クリーニングヘッドをマスクの基板接触面に接触させた状態で基板作業テーブル２ａ（２ｂ）とマスクとをＹ方向に相対移動（摺動）させることにより、マスクの基板接触面や開口内に付着した半田ペーストを除去することが可能である。クリーニングヘッドは、基板作業テーブル２ａ（２ｂ）に対して上下に昇降可能となっており、マスク清掃時以外には、マスクと非接触となる下降位置に退避するように構成されている。

また、図２および図３に示すように、基台１上には、２つの基板作業テーブル２ａ（２ｂ）の上方を跨いでＹ方向に延びるように設けられた一対のフレーム構造体１４が、Ｘ方向（基板搬送方向）に所定の間隔を隔てて一対配置されている。また、各々のフレーム構造体１４は、門型構造を有しており、基台１のＹ方向の両端部近傍から上方に延びる一対の脚部１４ａと、脚部１４ａの上端同士を水平方向に繋ぐ梁部１４ｂとを含んでいる。

基板作業テーブル２ａ（２ｂ）の上方を跨ぐ搬送方向上流側（図１の右側）のフレーム構造体１４（梁部１４ｂ）の下面側には、２つの基板認識カメラ１５（図３参照）が固定的に設置されている。２つの基板認識カメラ１５は、それぞれ基板作業テーブル２ａ（２ｂ）に対応して設けられており、Ｙ方向に所定の間隔を隔てて配置されている。これらの基板認識カメラ１５は、ＣＣＤエリアセンサなどからなり、撮像方向を下方に向けて設置されている。基板認識カメラ１５は、基板５の上面に付された図示しない基板認識マークを撮像して、クランプユニット２３に把持された基板５の位置および姿勢を認識するように構成されている。

図１および図２に示すように、印刷テーブル３ａおよび３ｂは、それぞれ、一対のフレーム構造体１４に設けられた一対のガイドレール３３ａによりＸ方向の両側を支持され、基板作業テーブル２ａ（２ｂ）よりも上方の位置に配置されている。印刷テーブル３ａ（３ｂ）は、それぞれ、Ｙ方向に延びるガイドレール３３ａに沿ってＹ方向に移動可能に構成されるとともに、上下方向（Ｚ方向）に移動可能に構成されている。具体的には、印刷テーブル３ａ（３ｂ）は、スクリーンマスクが着脱可能に組み付けられた略矩形状のマスク固定部材３１と、マスク固定部材３１を昇降（Ｚ軸方向移動）させるマスク昇降機構３２と、マスク固定部材３１をＺ軸回りに回動させるとともに、Ｙ方向に移動させるための一対のマスク駆動機構３３とを有している。

第１実施形態では、印刷テーブル３ａのマスク固定部材３１には、小型部品用マスク（極小部品用マスク）６が組み付けられている。小型部品用マスク６には、図４に示すように、たとえば０６０３サイズや０４０２サイズの小型部品のランドに対応したパターンの微小な開口６ａが形成されている。小型部品用マスク６の厚みは、小型部品に適した厚みである第１の膜厚Ｔｈ１（たとえば、約５０μｍ〜約７５μｍ）に形成されている。小型部品用マスク６を用いて半田印刷を行うことにより、基板５の表面（印刷面）には、小型部品に適した半田高さＨ１の半田Ｓｄ１が形成される。なお、半田高さＨ１は、第１の膜厚Ｔｈ１と同じか、半田Ｓｄ１に作用する重力のため第１の膜厚Ｔｈ１より僅かに小さい高さとなる。半田Ｓｄ１は、本発明の「粘性材」の一例である。

一方、図１に示すように、印刷テーブル３ｂのマスク固定部材３１には、大型部品用マスク７が組み付けられている。大型部品用マスク７には、図５に示すように、たとえばシールド部品などの大型部品のランドに対応したパターンの開口７ａが形成されている。大型部品用マスク７の厚みは、小型部品用マスク６の厚みよりも大きい大型部品に適した厚みである第２の膜厚Ｔｈ２（たとえば、約１５０μｍ）に形成されている。また、大型部品用マスク７の基板接触面（下面）側には、小型部品用マスク６の開口パターンに対応する所定領域を覆うように凹状の逃がし部７ｂが形成されている。凹状の逃がし部７ｂの深さＤは、小型部品用マスク６の厚み（膜厚）Ｔｈ１より大きい（すなわちＴｈ２＞Ｔｈ１）。これにより深さＤは、小型部品用マスク６により形成される半田Ｓｄ１の半田高さＨ１よりも大きくなる。このため、小型部品用マスク６を用いた第１印刷後の基板５に対して大型部品用マスク７の版合わせを行うと、小型部品用マスク６により形成された半田Ｓｄ１が凹状の逃がし部７ｂの内部に収まり、大型部品用マスク７と半田Ｓｄ１とが非接触の状態に保たれる。この状態で大型部品用マスク７の半田印刷を行うことにより、基板５には、半田Ｓｄ１に追加して、大型部品に適した半田高さＨ２（第２の膜厚Ｔｈ２と同じか作用する重力のため僅かに小さい。且つ、Ｈ２＞Ｈ１）の半田Ｓｄ２が形成される。なお、半田Ｓｄ２は、本発明の「粘性材」の一例である。

図２に示すように、マスク昇降機構３２は、マスク固定部材３１を支持するとともに、図示しないガイド、ねじ軸、および、ねじ軸を駆動するＺ軸モータによってマスク固定部材３１を昇降させるように構成されている。マスク昇降機構３２は、一対のガイドレール３３ａ上にＸ方向の両端を支持されている。

一対のマスク駆動機構３３は、一対のガイドレール３３ａ、ねじ軸３３ｂ（図１参照）、および、ねじ軸３３ｂを駆動するＹ軸モータ３３ｃからなり、一対のフレーム構造体１４上にそれぞれ設置されている。一対のマスク駆動機構３３は、Ｘ方向の両側からマスク昇降機構３２をＹ方向に駆動することが可能なように構成されている。一対のマスク駆動機構３３の両方を等速度で駆動すれば、マスク昇降機構３２ごとマスク固定部材３１を平行にＹ方向に移動させることが可能であり、一対のマスク駆動機構３３で駆動速度に差を設ければ、マスク昇降機構３２ごとマスク固定部材３１を水平面内（Ｘ−Ｙ面内）で回動させることが可能である。

これにより、印刷テーブル３ａ（３ｂ）は、移動範囲内においてＹ方向の任意の位置で基板５に対する印刷を行うことが可能であり、保持する小型部品用マスク６（大型部品用マスク７）のＸ−Ｙ面内における詳細な位置合わせ（Ｙ方向位置および水平面内の傾き）を行うことが可能である。Ｘ方向位置の位置合わせはクランプユニット２３の移動調整によりなされる。また、印刷時には、印刷テーブル３ａ（３ｂ）は、マスク昇降機構３２によってＺ２方向に下降して小型部品用マスク６（大型部品用マスク７）を基板５の上面に当接させる版合わせ動作を行うとともに、印刷後には、Ｚ１方向に上昇して小型部品用マスク６（大型部品用マスク７）を基板５の上面から離間させる版離れ動作を行うように構成されている。

このように、第１実施形態では、印刷装置１００は、１枚の基板５の半田印刷用の開口パターンを、厚みの異なる小型部品用マスク６（小型部品用の開口６ａのパターン）と大型部品用マスク７（大型部品用の開口７ａのパターン）とに分担し、個別に半田印刷を行う。これにより、部品サイズに応じたアスペクト比（半田高さ／半田底面積、すなわち、マスク厚み／開口面積）の半田Ｓｄ１および半田Ｓｄ２をそれぞれ基板５の表面（印刷面）上に形成することが可能である。

図１および図２に示すように、スキージユニット４ａ（４ｂ）は、それぞれ、Ｘ方向に延びる可動梁４２の中央部で支持され、対応する印刷テーブル３ａ（３ｂ）の上方に配置されている。スキージユニット４ａ（４ｂ）は、小型部品用マスク６（大型部品用マスク７）の上面（Ｚ１側）に対してペースト状の半田を押圧しながらＹ方向に往復して摺動するスキージ４１（図２参照）と、印刷時にスキージ４１を昇降させる図示しない昇降機構と、小型部品用マスク６（大型部品用マスク７）に対するスキージ４１の傾き方向および傾き角度を変更するための図示しないスキージ角度可変機構とを含む。また、可動梁４２は、一対のフレーム構造体１４の上面上にＹ方向に沿って延びるように設けられた一対のガイドレール４３上で移動可能に支持されている。そして、可動梁４２は、フレーム構造体１４に設けられたＹ方向に延びるねじ軸４４およびスキージ軸モータ４５によってＹ方向に移動可能に構成されている。スキージユニット４ａ（４ｂ）は、可動梁４２の移動に伴ってスキージユニット４ａ（４ｂ）をスキージ４１ごとＹ方向に移動させることにより、印刷動作を行うように構成されている。スキージユニット４ａは対応する印刷テーブル３ａ（小型部品用マスク６）を用いて基板印刷を行い、スキージユニット４ｂは対応する印刷テーブル３ｂ（大型部品用マスク７）を用いて基板印刷を行う。

また、図６に示すように、制御装置８０は、演算処理部８１、記憶部８２、外部入出力部８３、画像処理部８４およびモータ制御部８５によって主に構成されている。また、制御装置８０は、表示ユニット８６および入力装置８７と接続されている。なお、演算処理部８１は、本発明の「制御部」の一例である。

演算処理部８１はＣＰＵからなり、印刷装置１００の動作を全般的に統括している。記憶部８２は、演算処理部８１が実行可能な制御プログラムなどが格納されている動作プログラム記憶部８２ａと、印刷動作を行う際に必要となるデータ類が格納されている制御データ記憶部８２ｂとを含んでいる。

また、外部入出力部８３は、各種センサ類およびアクチュエータ類からの入出力を制御する機能を有している。画像処理部８４は、基板認識カメラ１５およびマスク認識カメラ２４の各々が撮像した画像データの処理を行って、印刷装置１００の動作に必要とされるデータを内部的に生成する。

モータ制御部８５は、演算処理部８１から出力される制御信号に基づいて、印刷装置１００の各サーボモータ（基板作業テーブル２ａ（２ｂ）をＹ方向に移動させるサーボモータ１３ａ（１３ｂ）（図２参照）、クランプユニット２３をＸ方向に移動させるＸ軸移動機構５１のサーボモータ（図示せず）、各印刷テーブル３ａ（３ｂ）のＹ軸モータ３３ｃ、マスク昇降機構３２用のＺ軸モータ（図示せず）など）を制御するように構成されている。また、モータ制御部８５は、各サーボモータが有するエンコーダ（図示せず）からの信号に基づいて基板作業テーブル２ａ（２ｂ）のＹ軸方向の位置座標、クランプユニット２３のＸ−Ｙ面内の位置、印刷テーブル３ａおよび３ｂのＹ軸方向の位置座標、高さ位置（Ｚ方向）および回転位置（Ｘ−Ｙ面内の回転角度）などを認識可能に構成されている。

第１実施形態では、制御装置８０（演算処理部８１）は、小型部品用の小型部品用マスク６を含む印刷テーブル３ａにより第１印刷を行った後、大型部品用の大型部品用マスク７を含む印刷テーブル３ｂにより第２印刷を行うことにより、１枚の基板５に対する半田印刷作業を実施する制御を行うように構成されている。つまり、印刷装置１００は、１枚の基板５に対して印刷テーブル３ａによる第１印刷と、第１印刷後の印刷テーブル３ｂによる第２印刷とを順次実行する。

次に、図４、図５、図７〜図１０を参照して、本発明の第１実施形態による印刷装置１００の基板印刷作業時の動作制御について説明する。以下では、印刷動作の一例として、基板作業テーブル２ａに搬入された基板５に印刷動作を行う場合の例について説明する。以下の制御処理は、制御装置８０（演算処理部８１）によって行われる。

まず、図７および図８に示すように、ステップＳ１において、演算処理部８１は、基板作業テーブル２ａのＹ座標を搬入位置Ｅｎ１に一致させ、基板５を搬送コンベア２２上に搬入させる。基板５が搬送コンベア２２上に搬入されると、ステップＳ２において、クランプユニット２３により基板５がクランプ（固定）される。

ステップＳ３では、基板作業テーブル２ａのクランプユニット２３が印刷テーブル３ａに向けてＸ方向に移動を開始するとともに、基板作業テーブル２ａがＹ方向に移動を開始し、基板５を保持したクランプユニット２３のＸ方向移動と、基板作業テーブル２ａのＹ方向移動とが同期して行われる。この移動中に、基板５の基板認識マーク（図示せず）が基板認識カメラ１５の下方に位置付けられ、基板認識カメラ１５による基板５の基板認識マークの撮像（画像認識）が行われる。

次に、ステップＳ４では、印刷テーブル３ａの小型部品用マスク６のマスク認識マークＱの下方に基板作業テーブル２ａのクランプユニット２３のマスク認識カメラ２４が位置付けられ、マスク認識カメラ２４によるマスク認識マークＱの撮像（画像認識）が行われる。ステップＳ３およびＳ４の画像認識の結果、クランプユニット２３に保持された基板５の水平方向の位置および姿勢と、印刷テーブル３ａに装着された小型部品用マスク６の水平方向の位置および姿勢との相対位置関係が取得される。

次に、ステップＳ５において、クランプユニット２３に保持された基板５と、印刷テーブル３ａに保持された小型部品用マスク６との印刷位置への移動が行われる。すなわち、図９に示すように、ステップＳ３およびＳ４の認識結果に基づいて、クランプユニット２３のＸ方向移動により、基板５と小型部品用マスク６とのＸ方向位置座標が一致するとともに、基板作業テーブル２ａのＹ方向移動と印刷テーブル３ａのＹ方向移動とにより、基板５と小型部品用マスク６とのＹ方向位置座標が一致する。また、印刷テーブル３ａのマスク固定部材３１が水平面内（Ｘ−Ｙ面内）で回動されることにより、基板５と小型部品用マスク６と水平面内の傾きが一致する。

次に、ステップＳ６において、印刷テーブル３ａが小型部品用マスク６を下降させ、版合わせ（図４参照）を行う。これにより、小型部品用マスク６が基板５に所定の押圧力で押圧されて密着する。版合せが完了すると、ステップＳ７において、印刷テーブル３ａの小型部品用マスク６による第１印刷が実施される。すなわち、小型部品用マスク６上に半田が供給され、スキージ４１が下降され小型部品用マスク６を介して基板５を押圧した状態で、スキージユニット４ａ（可動梁４２）がＹ方向駆動されること（掻き取り動作）により、小型部品用マスク６を介して基板５の上面に半田が印刷されてスキージ４１が上昇される。第１印刷の結果、小型部品用マスク６の開口パターンに応じた基板５上の位置に、半田高さＨ１の半田Ｓｄ１が形成される。第１印刷後、ステップＳ８において、印刷テーブル３ａがＺ１方向に上昇されて、小型部品用マスク６を基板５から離間させる版離れが行われる。

ステップＳ９以降では、印刷テーブル３ｂの大型部品用マスク７による第２印刷が行われる。動作の内容は上記ステップＳ４〜Ｓ８と基本的に同様であるので、簡略化して説明する。ステップＳ９において、クランプユニット２３のマスク認識カメラ２４により、印刷テーブル３ｂの大型部品用マスク７のマスク認識マークＱの撮像（画像認識）が行われる。ステップＳ３およびステップＳ１０の画像認識の結果、クランプユニット２３に保持された基板５と、印刷テーブル３ｂに装着された大型部品用マスク７との水平方向の位置および姿勢についての相対位置関係が取得される。

次に、ステップＳ１０において、クランプユニット２３に保持された基板５と、印刷テーブル３ｂに保持された大型部品用マスク７との印刷位置への移動が行われる。すなわち、図１０に示すように、ステップＳ３およびＳ１０の認識結果に基づいて、クランプユニット２３のＸ方向移動、基板作業テーブル２ａおよび印刷テーブル３ｂのＹ方向移動、および、印刷テーブル３ｂのマスク固定部材３１の回動を行うことにより、基板５と大型部品用マスク７との水平面内の相対位置および姿勢が一致する。

次に、ステップＳ１１において、印刷テーブル３ｂが大型部品用マスク７を下降させ、版合わせ（図５参照）を行う。版合せが完了すると、ステップＳ１２において、印刷テーブル３ｂの大型部品用マスク７とスキージユニット４ｂとによる第２印刷が実施される。これにより、第１印刷による半田Ｓｄ１が形成された後の基板５に追加するようにして、大型部品用マスク７の開口パターンに応じた基板５上の位置に、半田高さＨ２の半田Ｓｄ２が形成される。第２印刷後、ステップＳ１３において、大型部品用マスク７を基板５から離間させる版離れが行われる。

次にステップＳ１４において、クランプユニット２３による基板５のクランプ（固定）が解除される。すなわち、支持機構５３およびクランプ機構５２（図３参照）によって、基板５が搬送コンベア２２上に配置される。また、基板作業テーブル２ａは、搬出位置Ｅｘ１に向けてＹ２方向に移動する。そして、ステップＳ１５において、搬出位置Ｅｘ１において、基板作業テーブル２ａ（搬送コンベア２２）から印刷済みの基板５が搬出される。

第１実施形態では、上記のように、印刷テーブル３ａに、基板５に半田を印刷する第１印刷を行うための所定の厚さである第１の膜厚Ｔｈ１の小型部品用マスク６を保持させ、印刷テーブル３ｂに、小型部品用マスク６により印刷された半田高さＨ１の半田Ｓｄ１を逃がすように基板接触面側に第１の膜厚の厚みＴｈ１より深さＤの大きい逃がし部７ｂが形成され、印刷テーブル３ａによる第１印刷後の基板５に半田を印刷する第２印刷を行うために、第１の膜厚Ｔｈ１より厚い所定の厚さの第２の膜厚Ｔｈ２の大型部品用マスク７を保持させ、基板作業テーブル２ａ（２ｂ）に保持された基板５に対して、印刷テーブル３ａの小型部品用マスク６により第１印刷を行った後、印刷テーブル３ｂの大型部品用マスク７により第２印刷を行うように演算処理部８１を構成する。これにより、小型部品用マスク（極小部品用マスク）６を用いた第１印刷と、大型部品用マスク７を用いた第２印刷とを１台の印刷装置１００によって実行することができる。これにより、２台の基板印刷装置を生産ラインに設ける必要がないので、小型部品用マスク６と大型部品用マスク７との２種類のマスクを用いて印刷を行う場合にも、生産ライン構成を複雑化させることなく基板生産を行うことができる。

（第２実施形態）
次に、図６、図７および図１２〜図１４を参照して、本発明の第２実施形態による印刷装置１００ａについて説明する。この第２実施形態では、上記第１実施形態の構成に加えて、印刷テーブル３ａおよび３ｂの一方の印刷動作中に、他方の印刷準備動作を実行させる例について説明する。

第２実施形態による印刷装置１００ａの演算処理部８１ａ（図６参照）は、印刷テーブル３ａおよび印刷テーブル３ｂの一方の基板印刷動作の実行中に、印刷テーブル３ａおよび印刷テーブル３ｂの他方の印刷準備動作を実施するように構成されている。なお、演算処理部８１ａは、本発明の「制御部」の一例である。

すなわち、図７に示したように、印刷装置１００ａによる基板印刷動作は、印刷テーブル３ａによる第１印刷と、印刷テーブル３ｂによる第２印刷とを順次行うことから、たとえば一方の印刷テーブル３ａの印刷動作中に他方の印刷テーブル３ｂ側に待機期間Ｔ１（待機処理）が発生する。この待機期間Ｔ１中に印刷準備動作を先行して実施することによって、演算処理部８１ａは、印刷テーブル３ｂの第２印刷のための処理（ステップＳ９〜Ｓ１３）に要する時間を短縮させる。なお、基板印刷動作とは、ここでは少なくとも印刷位置への移動（ステップＳ５、Ｓ１０）の開始から、版離れ（ステップＳ８、Ｓ１３）の終了までの動作を含む。ステップＳ４およびＳ９のマスクマーク認識は、継続的に印刷動作を実行する場合、必ずしも毎回行われるわけではない。そのため、マスクマーク認識を行う場合には、このマスクマーク認識動作も印刷動作に含める。

具体的には、第２実施形態では、演算処理部８１ａは、印刷テーブル３ａの基板印刷動作の実行中に、印刷テーブル３ａと印刷テーブル３ｂとのＹ方向の距離が小さくなるように印刷テーブル３ｂをＹ方向へ移動させることにより、印刷テーブル３ｂを印刷位置に接近させる制御（先行接近動作）を行うように構成されている。これは、図７のステップＳ１０における印刷位置への移動処理の一部を先行して実施することに相当する。

まず、先行接近動作の内容について説明する。図１２に示すように、印刷テーブル３ａのＹ軸を（Ｙ_M1）で示し、印刷テーブル３ｂのＹ軸を（Ｙ_M2）で示す。Ｙ軸座標は、それぞれＹ方向移動範囲の外側端に位置する場合のＹ方向外側端部の位置を原点にとり、印刷テーブル３ａおよび３ｂが互いに近付く方向を正とする。また、説明の容易化のため、印刷テーブル３ａ（３ｂ）の位置を示すものとして、それぞれの印刷テーブル３ａ（３ｂ）のＹ方向の内側端部の位置座標を用いる。

まず、印刷テーブル３ａと印刷テーブル３ｂとが干渉せずに最も近接した状態における印刷テーブル間の距離を、実測または設計上の値から算出し、近接可能な最小間隔Ｌ_mとする。印刷テーブル間の距離が最小間隔Ｌ_mとなるように印刷テーブル３ａと印刷テーブル３ｂを移動させた時のＹ方向座標を、それぞれＹ_1m、Ｙ_2mとすると、Ｙ軸の原点間距離Ｌ_iを次のように表すことができる。
Ｌ_i＝Ｌ_m＋Ｙ_1m＋Ｙ_2m

次に、基板印刷動作（第１印刷）の実行中の印刷テーブル３ａの現在位置座標をＹ_ACとし、接近させる印刷テーブル３ｂの目標位置座標をＹ_BNとすると、目標位置座標Ｙ_BNを以下のように表すことができる。
Ｙ_BN＝Ｌ_i−Ｌ_m−Ｙ_AC

これにより、印刷テーブル３ａの基板印刷動作の実行中に、印刷テーブル３ｂを干渉しない最接近位置座標（目標位置座標Ｙ_BN）まで移動させておくことが可能となる。第２実施形態では、この最小間隔Ｌ_mおよび原点間距離Ｌ_iは、予め取得され制御データ記憶部８２ｂに記憶される。また、印刷テーブル３ａの現在位置座標をＹ_ACは、印刷テーブル３ａのマスク駆動機構３３のＹ軸モータ３３ｃのエンコーダ出力値から取得される。

第２実施形態による印刷装置１００ａでは、図７のステップＳ４〜Ｓ８の間（待機期間Ｔ１）の所定時点において、演算処理部８１ａは、印刷テーブル３ｂの先行接近動作を実施する。これにより、図１３に示すように、印刷テーブル３ａの基板印刷動作（第１印刷）の実行中に、印刷テーブル３ａと印刷テーブル３ｂとの間の間隔が最小間隔Ｌ_mとなる位置（目標位置座標Ｙ_BN）まで印刷テーブル３ｂがＹ２方向に移動（接近）する。

そして、図７のステップＳ９以降の処理に移行する際には、図１４に示すように、基板作業テーブル２ａのＹ１方向への移動に合わせて、印刷テーブル３ａと印刷テーブル３ｂとが最小間隔Ｌ_m以上の距離を保ったままＹ２方向に移動する。この結果、ステップＳ１０における印刷位置への移動に要する時間（Ｙ方向の移動距離）が最小化される。

なお、第２実施形態による印刷装置１００ａのその他の構成は上記第１実施形態の印刷装置１００と同様であるので、説明を省略する。

第２実施形態では、上記のように、演算処理部８１ａは、印刷テーブル３ａの基板印刷動作の実行中に、印刷テーブル３ｂの印刷準備動作を実施する。これにより、印刷テーブル３ａの基板印刷動作（第１印刷）の実行中の待機期間を利用して、印刷テーブル３ｂで次の印刷のための準備動作を先行して行うことができる。その結果、第１印刷と第２印刷とを１台の印刷装置１００によって実行する場合にも、基板印刷に要する時間（基板印刷動作と印刷準備動作とに要する時間）を短縮することができる。

また、第２実施形態では、上記のように、演算処理部８１ａは、印刷テーブル３ａの基板印刷動作（第１印刷）の実行中に、印刷テーブル３ａと印刷テーブル３ｂとのＹ方向の距離が小さくなるように印刷テーブル３ｂをＹ２方向へ移動させることにより、印刷テーブル３ｂを印刷位置に接近させる。これにより、印刷テーブル３ａの基板印刷動作（第１印刷）の実行中に印刷テーブル３ｂの印刷位置への移動動作の一部を実施することができるので、印刷テーブル３ｂによる第２印刷を行う際の基板印刷に要する時間（印刷位置への移動時間）を短縮することができる。

なお、第２実施形態のその他の効果は、上記第１実施形態と同様である。

（第３実施形態）
次に、図６、図７および図１５を参照して、本発明の第３実施形態による印刷装置１００ｂについて説明する。この第３実施形態では、上記第２実施形態とは異なる、印刷テーブル３ａおよび３ｂの一方の印刷動作中に、他方の印刷準備動作を実行させる他の例について説明する。

第３実施形態による印刷装置１００ｂの演算処理部８１ｂ（図６参照）は、印刷テーブル３ａの基板印刷動作（第１印刷）の実行中に、印刷テーブル３ｂのマスク固定部材３１（大型部品用マスク７）を第２印刷後の版離れ高さ位置Ｈ３（図１５参照）から、版離れ高さ位置Ｈ３よりも低く、かつ、基板５上の半田Ｓｄ１と大型部品用マスク７とが非接触となる待機高さ位置Ｈ４（図１５参照）に下降させる制御（先行下降動作）を行うように構成されている。これは、図７のステップＳ１１における版合わせ動作の一部を先行して実施することに相当する。なお、版離れ高さ位置Ｈ３は、本発明の「大型部品用マスク版離れ高さ位置」の一例である。また、演算処理部８１ｂは、本発明の「制御部」の一例である。

まず、版離れの際の印刷テーブル（マスク）の高さ位置について説明する。版離れ高さ位置は、印刷によって形成される半田の半田高さと、マスクのたわみ量と、形成された半田にマスクが接触しないことを確実にするための安全マージンとによって決定される。

大型部品用マスク７（印刷テーブル３ｂ）の場合、図１５に示すように、第２印刷後の版離れ高さ位置Ｈ３は、印刷高さ（版合わせ時の高さ位置）Ｈ０を基準にとり、半田Ｓｄ２の半田高さＨ２（基板５上の半田の最大高さ）、大型部品用マスク７のたわみ量ΔＨ、安全マージンＨ_mとすると、下式で表される。
Ｈ３＝Ｈ２＋ΔＨ＋Ｈ_m

一方、大型部品用マスク７（印刷テーブル３ｂ）による第２印刷前の状態では、基板５には半田Ｓｄ２が形成されておらず、半田高さＨ１の半田Ｓｄ１のみが形成されている。このため、第２印刷前の状態では、基板５上の半田Ｓｄ１と大型部品用マスク７とが非接触のまま、下式に示す待機高さ位置Ｈ４まで印刷テーブル３ｂ（大型部品用マスク７）を下降させることが可能となる。
Ｈ４＝Ｈ１＋ΔＨ＋Ｈ_m
つまり、第２印刷前の状態では、第２印刷前の半田高さＨ１と第２印刷後の最大半田高さＨ２との差分に相当する距離だけ、大型部品用マスク７を下降させておくことが可能である。

これにより、印刷テーブル３ａの基板印刷動作（第１印刷）の実行中に、基板５上の半田Ｓｄ１とは干渉しない待機高さ位置Ｈ４まで印刷テーブル３ｂを予め下降させておくことが可能となる。

ここで、半田高さＨ１は、小型部品用マスク６の厚みに相当することから、制御データ記憶部８２ｂに生産対象の基板５の基板データの一部として予め格納されている。また、安全マージンＨ_mは、制御データ記憶部８２ｂに予め設定された所定値である。また、マスクのたわみ量ΔＨは、主としてマスクの寸法（縦横、厚み）に依存する。このため、第３実施形態では、マスクの寸法と、その寸法でのたわみ量ΔＨとを対応付けたテーブルが予め作成され、制御データ記憶部８２ｂに格納される。演算処理部８１ｂは、制御データ記憶部８２ｂから、基板データに登録された大型部品用マスク７の寸法に対応するたわみ量ΔＨを取得するように構成されている。

第３実施形態による印刷装置１００ｂでは、図７のステップＳ４〜Ｓ８の間（待機期間Ｔ１）の所定時点において、演算処理部８１ｂは、印刷テーブル３ｂの先行下降動作を実施する。これにより、図１５に示すように、印刷テーブル３ａの基板印刷動作（第１印刷）の実行中に、印刷テーブル３ｂの大型部品用マスク７が版離れ高さ位置Ｈ３から待機高さ位置Ｈ４に予め下降する。

そして、図７のステップＳ１１の版合わせの際には、印刷テーブル３ｂ（大型部品用マスク７）は、版離れ高さ位置Ｈ３よりも低い待機高さ位置Ｈ４から印刷高さＨ０に下降して、基板５と大型部品用マスク７との版合わせを行う。この結果、ステップＳ１１における版合わせに要する時間（Ｚ方向の移動距離）が最小化される。

なお、第３実施形態による印刷装置１００ｂのその他の構成は上記第１実施形態の印刷装置１００と同様であるので、説明を省略する。

第３実施形態では、上記のように、演算処理部８１ｂは、印刷テーブル３ａの小型部品用マスク６を用いた基板印刷動作（第１印刷）の実行中に、印刷テーブル３ｂを、第２印刷後の基板５に対する版離れ高さ位置Ｈ３から、版離れ高さ位置Ｈ３よりも低く、かつ、基板５上の半田高さＨ１を有する半田Ｓｄ１と大型部品用マスク７とが非接触となる待機高さ位置Ｈ４に下降させる。これにより、印刷テーブル３ａの基板印刷動作（第１印刷動作）の実行中に、印刷テーブル３ｂ側で大型部品用マスク７と基板５との版合わせを行う際の下降動作の一部を先行実施することができる。その結果、印刷テーブル３ｂによる第２印刷を行う際の基板印刷に要する時間を短縮することができる。

なお、基板５の連続生産を考えると、図７のステップＳ１５の基板搬出の後、ステップＳ１に戻り次の基板５が搬入される。このため、１枚目の基板５に対する第１印刷終了後の待機期間Ｔ２（ステップＳ９〜Ｓ１３）において、印刷テーブル３ａ側で次の基板に対する先行下降動作を実施してもよい。この場合、搬入される第１印刷前の基板５には半田が形成されていない（半田高さが０である）ことから、印刷テーブル３ａを、小型部品用マスク６の寸法に応じたたわみ量ΔＨ＋安全マージンＨｍに相当する待機高さ位置（図示せず）まで先行下降させることができる。

なお、第３実施形態のその他の効果は、上記第２実施形態と同様である。

（第４実施形態）
次に、図６、図７、図１２および図１６を参照して、本発明の第４実施形態による印刷装置１００ｃについて説明する。この第４実施形態では、上記第３実施形態とは異なる、印刷テーブル３ａおよび３ｂの一方の印刷動作中に、他方の印刷準備動作を実行させる他の例について説明する。

第４実施形態による印刷装置１００ｃの演算処理部８１ｃ（図６参照）は、基板作業テーブル２ａと印刷テーブル３ａとの基板印刷動作（第１印刷）の実行中に、基板作業テーブル２ｂを用いて印刷テーブル３ｂの大型部品用マスク７のマスク認識を実施する制御（先行マスク認識）を行うように構成されている。これは、図７のステップＳ９におけるマスクマーク認識動作を先行して実施することに相当する。なお、演算処理部８１ｃは、本発明の「制御部」の一例である。

具体的には、図１６に示すように、演算処理部８１ｃは、基板作業テーブル２ａと印刷テーブル３ａとの基板印刷動作（第１印刷）の実行中に、印刷テーブル３ｂをＹ１方向に移動させる。そして、演算処理部８１ｃは、待機中の基板作業テーブル２ｂのＹ方向移動と、基板作業テーブル２ｂのクランプユニット２３のＸ方向移動とによって、印刷テーブル３ｂの大型部品用マスク７のマスク認識マークＱの下方にクランプユニット２３のマスク認識カメラ２４を位置付け、マスク認識カメラ２４によるマスク認識マークＱの撮像（画像認識）を実行させる。これにより、大型部品用マスク７の水平方向の位置および姿勢が認識される。

先行マスク認識を行う場合、基板作業テーブル２ａに保持された基板５の第２印刷を行う際の大型部品用マスク７のマスクマーク認識（ステップＳ９）を、別の基板作業テーブル２ｂ側のマスク認識カメラ２４によって実施することになる。このため、第４実施形態では、演算処理部８１ｃは、基板作業テーブル２ａ側のマスク認識カメラ２４の水平方向の座標系（Ｘ軸およびＹ_M1軸（図１２参照））と、大型部品用マスク７を認識した基板作業テーブル２ｂ側のマスク認識カメラ２４の水平方向の座標系（Ｘ軸およびＹ_M2軸（図１２参照））との相対位置を合わせ込むための処理を行う。

具体的には、基板作業テーブル２ａ側のマスク認識カメラ２４の座標系と、大型部品用マスク７を認識した基板作業テーブル２ｂ側のマスク認識カメラ２４の水平方向の座標系との相対位置関係（両座標間のＸ方向およびＹ方向の位置ずれ）が予め計測しておき、相互の座標系を変換するための補正パラメータを作成して制御データ記憶部８２ｂに記憶しておく。これにより、演算処理部８１ｃは、基板作業テーブル２ｂ側のマスク認識カメラ２４を用いて取得した大型部品用マスク７の位置座標を、補正パラメータを用いて基板作業テーブル２ａ側の座標系（Ｘ軸およびＹ_M1軸）に変換して扱うことが可能となる。

第４実施形態による印刷装置１００ｃでは、図７のステップＳ４〜Ｓ８の間（待機期間Ｔ１）の所定時点において、演算処理部８１ｃは、印刷テーブル３ｂの先行マスク認識を実施する。この結果、図７のステップＳ９に示したマスクマーク認識処理がステップＳ４〜Ｓ８の実行中に完了する。このため、ステップＳ８が完了すると、既に完了したステップＳ９の処理をスキップして処理がステップＳ１０に進む。ステップＳ１０では、演算処理部８１ｃは、ステップＳ３の基板マークの認識結果と、先行マスク認識による認識結果と、予め制御データ記憶部８２ｂに記憶された補正パラメータとを用いて、基板５の水平位置と大型部品用マスク７の水平位置とを対応付けることにより、基板作業テーブル２ａと印刷テーブル３ｂとの印刷位置への移動処理を実行する。

なお、第４実施形態による印刷装置１００ｃのその他の構成は上記第１実施形態の印刷装置１００と同様であるので、説明を省略する。

第４実施形態では、上記のように、演算処理部８１ｃは、基板作業テーブル２ａと印刷テーブル３ａとによる小型部品用マスク６を用いた基板印刷動作の実行中に、基板作業テーブル２ｂを用いて印刷テーブル３ｂの大型部品用マスク７のマスク認識を実施する。これにより、印刷テーブル３ａの小型部品用マスク６を用いた基板印刷動作（第１印刷動作）の実行中に、印刷テーブル３ｂ側で大型部品用マスク７と基板５とを位置合わせするためのマスク認識作業を先行して実施することができる。その結果、第１印刷後、図７のステップＳ９の処理をスキップして、マスク認識作業の完了済みの大型部品用マスク７により直ちに第２印刷を行うことができるので、第２印刷を行う際の基板印刷に要する時間を短縮することができる。

なお、マスク認識処理は、マスクと基板（基板作業テーブル２ａおよび２ｂ）との相対位置合わせを行うために必要であるので、少なくとも、印刷装置による初回印刷時には実行する必要がある。一方、マスクは印刷テーブル３ａ（３ｂ）のマスク固定部材３１に固定されることから、必ずしも印刷動作を実行する度にマスク認識処理を毎回実施する必要はない。ただし、駆動機構のボールねじ軸等の各部の熱伸びなど、装置稼働中にも微細な位置ずれが発生することから、たとえば一定枚数の基板生産毎に定期的に実施したり、一定時間経過毎に定期的に実施したりしてもよい。

なお、第４実施形態のその他の効果は、上記第２実施形態と同様である。

（第５実施形態）
次に、図６、図７、図９、図１０、図１７および図１８を参照して、本発明の第５実施形態による印刷装置１００ｄについて説明する。この第５実施形態では、上記第４実施形態とは異なる、印刷テーブル３ａおよび３ｂの一方の印刷動作中に、他方の印刷準備動作を実行させる他の例について説明する。

第５実施形態による印刷装置１００ｄの演算処理部８１ｄ（図６参照）は、第１印刷後の基板５に対して基板作業テーブル２ｂと印刷テーブル３ｂとが基板印刷動作（第２印刷）を実行している間に、基板作業テーブル２ａを用いて印刷テーブル３ａの小型部品用マスク６のマスク清掃（クリーニング）動作を行う制御（先行清掃動作）を実施するように構成されている。これは、図７には示していないが、基板印刷の合間（図７のステップＳ１５の後、次の基板５の搬入前）におけるマスク清掃動作を先行して実施することに相当する。なお、演算処理部８１ｄは、本発明の「制御部」の一例である。

ここで、印刷テーブル３ａおよび３ｂの一方の印刷動作中に、他方の印刷準備動作を実行させる先行処理動作において、基板作業テーブル２ａ（２ｂ）を用いて先行処理を実施する場合（上記第４実施形態や、第５実施形態の場合）には、基板印刷動作を実施していない待機中の基板作業テーブル（２ａおよび２ｂのいずれか）と、待機中の印刷テーブル（３ａおよび３ｂのいずれか）とが印刷装置のＹ方向の同じ側に配置されていることが必要となる。

すなわち、たとえば図９に示すように、Ｙ１方向側の基板作業テーブル２ｂと印刷テーブル３ｂとが共に待機中の場合には、基板作業テーブル２ｂと印刷テーブル３ｂとを協働させた印刷準備動作を先行して実施することが可能である。一方、図１０に示すように、Ｙ１方向側の基板作業テーブル２ｂと、Ｙ２方向側の印刷テーブル３ａとが待機中の場合には、基板作業テーブル２ｂと印刷テーブル３ａとの間で印刷動作（基板作業テーブル２ａと印刷テーブル３ｂとによる第２印刷）が実行されているため、基板作業テーブル２ｂを印刷テーブル３ａ側までＹ方向に移動させることができない。

そこで、第５実施形態では、マスク清掃動作の先行実施の例として、基板作業テーブル２ｂと印刷テーブル３ｂとが基板印刷動作（第２印刷）を実行している間に、基板作業テーブル２ａを用いて印刷テーブル３ａの小型部品用マスク６の先行清掃動作を行う例を説明する。

図１７に示すように、第５実施形態においても、基板作業テーブル２ｂ側では図７に示したステップＳ１〜Ｓ１５の基板印刷の処理フローが実施される。なお、図１７の処理フローは、継続的に実施される印刷動作の途中として作成しており、ステップＳ４およびＳ９のマスク認識処理を省略している。

図１７の場合、ステップＳ５〜Ｓ８（第１印刷）では、基板作業テーブル２ａと印刷テーブル３ｂとが待機中となっている。ステップＳ８の版離れ処理が終了すると、基板作業テーブル２ａと印刷テーブル３ｂとによる第２印刷（ステップＳ１０〜Ｓ１３）に移行し、印刷装置１００ｄのＹ２方向側の基板作業テーブル２ａと印刷テーブル３ａとが共に待機中となる。これにより、基板作業テーブル２ａと印刷テーブル３ａとを協働させた先行清掃動作が実施可能となる。

第５実施形態では、図１８に示すように、演算処理部８１ｄは、第２印刷（ステップＳ１０〜Ｓ１３）の間に印刷テーブル３ａをＹ２方向に移動させる。そして、演算処理部８１ｄは、基板作業テーブル２ａのクリーニングユニット２５の図示しないクリーニングヘッドを上昇させて小型部品用マスク６の基板接触面に当接させるとともに、基板作業テーブル２ａと小型部品用マスク６（印刷テーブル３ａ）とをＹ方向に相対移動させることにより、小型部品用マスク６に対してクリーニングヘッドをＹ方向に摺動させる。この際、クリーニングヘッドでは、図示しない吸引ノズルにより半田ペーストを負圧吸引して除去する。これにより、小型部品用マスク６の基板接触面が清掃される。この結果、通常、基板印刷の合間に実施されるマスク清掃動作がステップＳ１０〜Ｓ１３の実行中に完了する。このため、ステップＳ１５の基板印刷の完了後、印刷テーブル３ａ（小型部品用マスク６）側では、先行実施したマスクの清掃動作をスキップして次の基板５の印刷動作を実行することが可能となる。

なお、第５実施形態による印刷装置１００ｄのその他の構成は上記第１実施形態の印刷装置１００と同様であるので、説明を省略する。

第５実施形態では、上記のように、演算処理部８１ｄは、第１印刷後の基板５に対して基板作業テーブル２ｂと印刷テーブル３ｂとが大型部品用マスク７を用いた基板印刷動作（第２印刷）を実行している間に、基板作業テーブル２ａを用いて印刷テーブル３ａの小型部品用マスク６のマスク清掃動作を行う。これにより、印刷テーブル３ａの基板印刷（第１印刷）後、印刷テーブル３ｂの基板印刷動作（第２印刷動作）の実行中に、印刷テーブル３ａ側で小型部品用マスク６のマスク清掃作業を実施することができる。その結果、印刷テーブル３ａによる次の基板５に対する第１印刷を行う際の印刷準備動作に要する時間を短縮することができる。

なお、第５実施形態の先行清掃動作は、上記のように待機中の基板作業テーブル（２ａおよび２ｂのいずれか）と、待機中の印刷テーブル（３ａおよび３ｂのいずれか）とがＹ方向の同じ側に配置されていればよいので、基板作業テーブル２ａと印刷テーブル３ａとが基板印刷動作（第１印刷）を実行している間に、基板作業テーブル２ｂを用いて印刷テーブル３ｂの大型部品用マスク７のマスク清掃動作を行うようにしてもよい。

なお、第５実施形態のその他の効果は、上記第２実施形態と同様である。

（第６実施形態）
次に、図６〜図１０および図１９〜図２３を参照して、本発明の第６実施形態による印刷装置１００ｅについて説明する。この第６実施形態では、印刷テーブル３ａおよび３ｂの一方の印刷動作中に、他方の印刷準備動作を実行させる上記第２〜第５実施形態とは異なり、印刷テーブル３ａおよび３ｂの一方の印刷動作中に、他方の印刷動作を実行させる例について説明する。

第６実施形態による印刷装置１００ｅ（図２１参照）は、基板作業テーブル２ａと基板作業テーブル２ｂとに交互に基板５を搬入して、印刷を実行するように構成されている。

そして、第６実施形態による印刷装置１００ｅの演算処理部８１ｅ（図６参照）は、印刷テーブル３ｂと基板作業テーブル２ａおよび２ｂの一方とによる第１印刷後の第１の基板５に対する基板印刷動作（第１印刷）の実行中に、印刷テーブル３ａと基板作業テーブル２ａおよび２ｂの他方とにより、第１印刷前の第２の基板５に対する基板印刷動作（第２印刷）を実行する制御を行うように構成されている。なお、演算処理部８１ｅは、本発明の「制御部」の一例である。

また、第６実施形態による印刷装置１００ｅの演算処理部８１ｅは、印刷テーブル３ａおよび３ｂの一方と基板作業テーブル２ａおよび２ｂの一方とによる基板印刷動作の実行中に、基板作業テーブル２ａおよび２ｂの他方による基板搬入および基板搬出動作を実行する制御を行うように構成されている。

なお、第６実施形態による印刷装置１００ｅのその他の構成は上記第１実施形態の印刷装置１００と同様であるので、説明を省略する。

ここで、図６〜図１０および図１９〜図２３を参照して、第６実施形態による印刷装置１００ｅの基板印刷動作処理を説明する。以下の処理は、印刷装置１００ｅの演算処理部８１ｅにより制御される。

第６実施形態による印刷装置１００ｅの基板印刷動作処理において、個々の基板５に対する印刷処理の流れは基本的に図７のステップＳ１〜Ｓ１５に示した処理と同様である。以下では、基板５について、１枚目の基板５ａ〜４枚目の基板５ｄとしてａ〜ｄにより何枚目の基板であるかを示し、便宜的に４枚の基板５を印刷して印刷動作を終了する例を示す。図１９および図２０では、図７のステップＳ４およびＳ９に示したマスク認識動作を初回印刷時のみ行い、後続する基板５（５ｂ〜５ｄ）の印刷時にはマスク認識動作を省略して示している。また、各ステップの末尾に付したａ〜ｄは、１枚目の基板５ａ〜４枚目の基板５ｄに対する処理であることを示している。また、この例では、最初に基板作業テーブル２ａに基板５（５ａ）を搬入する例を示す。

図１９に示すように、まず、ステップＳ１ａにおいて１枚目の基板５（５ａ）が搬入位置Ｅｎ１（図８参照）から基板作業テーブル２ａに搬入される。ステップＳ２ａの基板固定、ステップＳ３ａの基板マーク認識を経て、ステップＳ４ａにおいて、印刷テーブル３ａの小型部品用マスク６のマーク認識（初回のみ）が行われる。

続いて、ステップＳ５ａ〜Ｓ８ａにおいて、基板作業テーブル２ａと印刷テーブル３ａとによって基板５ａに対する第１印刷が実施される。ステップＳ８ａで版離れが行われると、ステップＳ９ａにおいて、印刷テーブル３ｂの大型部品用マスク７のマスクマーク認識（初回のみ）が行われる。

そして、ステップＳ１０ａ〜Ｓ１３ａにおいて、基板作業テーブル２ａと印刷テーブル３ｂとによって基板５ａに対する第２印刷（図１０参照）が実施される。この間に、基板作業テーブル２ｂ側では、ステップＳ１ｂにおいて、２枚目の基板５（５ｂ）が搬入位置Ｅｎ２から基板作業テーブル２ｂに搬入され、ステップＳ２ｂの基板固定およびステップＳ３ｂの基板マーク認識（図２３参照）が実施される。

ステップＳ１３ａで版離れが行われると、ステップＳ１４ａにおいて、基板作業テーブル２ａの１枚目の基板５ａの基板固定が解除されるとともに、基板作業テーブル２ａが搬出位置Ｅｘ１に向けてＹ２方向に移動する。そして、図２１に示すように、ステップＳ１５ａにおいて、基板作業テーブル２ａにより搬出位置Ｅｘ１から基板５ａが搬出されるとともに、処理がステップＳ１ｃ（図１９参照）に進み、３枚目の基板５（５ｃ）が搬入位置Ｅｎ１から基板作業テーブル２ａに搬入され、ステップＳ２ｃで３枚目の基板５ｃの基板固定が行われる。

ここで、ステップＳ１３ａで版離れが行われると、基板作業テーブル２ａが搬出位置Ｅｘ１に向けてＹ２方向に移動するので、基板作業テーブル２ｂも印刷テーブル３ａに向けてＹ２方向に移動可能となる。そして、ステップＳ１４ａ〜Ｓ２ｃの間、基板作業テーブル２ｂ側では、図２１に示すように、基板作業テーブル２ｂと印刷テーブル３ａとによって、２枚目の基板５ｂに対する第１印刷（ステップＳ５ｂ〜Ｓ８ｂ）が実施される。言い換えると、基板作業テーブル２ｂと印刷テーブル３ａとの基板印刷動作中（ステップＳ５ｂ〜Ｓ８ｂ）に、基板作業テーブル２ａによる１枚目の基板５ａの搬出（ステップＳ１５ａ）および３枚目の基板５ｃの搬入（ステップＳ１ｃ）が行われる。

２枚目の基板５ｂに対する版離れ（ステップＳ８ｂ）の後、基板作業テーブル２ｂ側では、ステップＳ１０ｂ〜Ｓ１３ｂにおいて、基板作業テーブル２ｂと印刷テーブル３ｂとによって２枚目の基板５ｂに対する第２印刷が実施される。図２２に示すように、ステップＳ１０ｂにおいて、第２印刷の印刷位置に向けて、基板作業テーブル２ｂはＹ１方向へ移動し、印刷テーブル３ｂはＹ２方向へ移動し、位置合わせの完了後に第２印刷が実施される。

この間、基板作業テーブル２ａ側では、３枚目の基板５ｃの基板マーク認識（ステップＳ３ｃ）の後、基板作業テーブル２ａと印刷テーブル３ａとによって３枚目の基板５ｃに対する第１印刷のステップＳ５ｃ（印刷位置への移動）、ステップＳ６ｃ（版合わせ）およびステップＳ７ｃ（印刷動作）が並行して実施される。このように、第６実施形態では、ステップＳ１０ｂ〜Ｓ１３ｂにおける印刷テーブル３ｂと基板作業テーブル２ｂとによる基板５ｂに対する基板印刷動作（第２印刷）の実行中に、印刷テーブル３ａと基板作業テーブル２ａとによる基板５ｃに対する基板印刷動作（第１印刷）（ステップＳ５ｃ〜Ｓ７ｃ）が実行される。

ステップＳ１３ｂで版離れが行われると、図２２に示す位置から基板作業テーブル２ｂが搬出位置Ｅｘ２に向けてＹ１方向に移動するとともに基板５ｂの固定が解除される（ステップＳ１４ｂ）。この結果、基板作業テーブル２ａも印刷テーブル３ｂに向けてＹ１方向に移動可能となる。そして、基板作業テーブル２ａ側では、図２０に示すように、ステップＳ８ｃで３枚目の基板５ｃに対する版離れを行った後、基板作業テーブル２ａと印刷テーブル３ｂとによって、３枚目の基板５ｃに対する第２印刷（ステップＳ１０ｃ〜Ｓ１３ｃ）が実施される。図２３に示すように、この第２印刷（ステップＳ１０ｃ〜Ｓ１３ｃ）と並行して、基板作業テーブル２ｂ側では、搬出位置Ｅｘ２からの２枚目の基板５ｂの搬出（ステップＳ１５ｂ）と、搬入位置Ｅｎ２からの４枚目の基板５ｄの搬入（ステップＳ１ｄ）、基板固定（ステップＳ２ｄ）および基板マーク認識（ステップＳ３ｄ）が実施される。

基板作業テーブル２ａ側で３枚目の基板５ｃに対する第２印刷の版離れ（ステップＳ１３ｃ）が終了すると、図２３に示す位置から基板作業テーブル２ａが搬出位置Ｅｘ１に向けてＹ２方向に移動するとともに基板５ｃの固定が解除される（ステップＳ１４ｃ）。そして、図２１に示すように、基板作業テーブル２ａによる３枚目の基板５ｃの搬出（ステップＳ１５ｃ）が搬出位置Ｅｘ１で実施される。これにより、基板作業テーブル２ａ側での印刷処理が終了して基板作業テーブル２ａが搬出位置Ｅｘ１（搬入位置Ｅｎ１）で待機状態になる。

一方、基板作業テーブル２ｂでは、基板作業テーブル２ａのＹ２方向への移動（ステップＳ１４ｃ）に合わせて、ステップＳ４ｄで基板作業テーブル２ｂが印刷テーブル３ａとの印刷位置に向けてＹ２方向へ移動する。そして、図２１に示すように、基板作業テーブル２ａによる３枚目の基板５ｃの搬出（ステップＳ１５ｃ）と並行して、ステップＳ５ｄ〜Ｓ８ｄで基板作業テーブル２ｂと印刷テーブル３ａとによる４枚目の基板５ｄに対する第１印刷が実行される。また、ステップＳ１０ｄ〜Ｓ１３ｄで基板作業テーブル２ｂと印刷テーブル３ｂとによる４枚目の基板５ｄに対する第２印刷が実行される。その後、ステップＳ１４ｄでの基板固定解除および搬出位置Ｅｘ２へのＹ１方向移動を経て、ステップＳ１５ｄで基板作業テーブル２ｂによる４枚目の基板５ｄの搬出（ステップＳ１５ｄ）が搬出位置Ｅｘ２で実施される。これにより、基板作業テーブル２ｂ側での印刷処理が終了して基板作業テーブル２ｂが搬出位置Ｅｘ２（搬入位置Ｅｎ２）で待機状態になり、印刷装置１００ｅによる印刷動作が行われる。

第６実施形態では、上記のように、演算処理部８１ｅは、印刷テーブル３ｂと基板作業テーブル２ｂとによる第１印刷後の基板５（５ｂ）に対する第２印刷の基板印刷動作の実行中（ステップＳ１０ｂ〜Ｓ１３ｂ）に、印刷テーブル３ａと基板作業テーブル２ａとにより、第１印刷前の基板５（５ｃ）に対する第１印刷の基板印刷動作（ステップＳ５ｃ〜Ｓ８ｃ）を実施する。これにより、基板５ｂ（第１の基板）に対する第２印刷の実行中に、次の印刷対象の基板５ｃ（第２の基板）に対する第１印刷を先行して実施することができる。その結果、第１印刷と第２印刷とを１台の印刷装置１００ｅによって実行する場合にも、次の基板５ｃに対する印刷を行う際の基板印刷動作に要する時間を短縮することができる。

また、第６実施形態では、上記のように、演算処理部８１ｅは、印刷テーブル３ａおよび印刷テーブル３ｂの一方と基板作業テーブル２ａおよび基板作業テーブル２ｂの一方とによる基板印刷動作の実行中に、基板作業テーブル２ａおよび基板作業テーブル２ｂの他方による基板搬入（ステップＳ１ｂ、Ｓ１ｃおよびＳ１ｄ）および基板搬出（ステップＳ１５ａ、Ｓ１５ｂおよびＳ１５ｃ）を実施する。これにより、基板作業テーブル２ａおよび基板作業テーブル２ｂの一方を用いて基板印刷動作を実行している間に、他方で次の基板印刷のための基板搬入および基板搬出を実施することができる。その結果、第１印刷と第２印刷とを１台の印刷装置１００ｅによって実行する場合にも、次の基板５に対する印刷を行う際の印刷準備動作（基板搬入、搬出動作）に要する時間を短縮することができる。

なお、第６実施形態のその他の効果は、上記第２実施形態と同様である。

（第６実施形態の変形例）
上記第６実施形態では、異なる基板５に対する第１印刷と第２印刷とを並行して行う制御、および、基板印刷動作と並行して他の基板の基板搬入および基板搬出を行う制御を実行するように演算処理部８１ｅを構成した例を示したが、これに加えて、上記第２〜第５実施形態に示した制御も同時に実行してもよい。

具体的には、図１９および図２０に示したフローチャートにおいて、印刷テーブル３ａの動作と印刷テーブル３ｂの動作とには、それぞれ、待機期間Ｔ４、Ｔ５およびＴ６と、待機期間Ｔ７、Ｔ８およびＴ９とが存在する。このため、この待機期間中に印刷準備動作を先行して実施することが可能である。

たとえば、印刷テーブル３ａについては、待機期間Ｔ４およびＴ５において、上記第２実施形態で示した先行接近動作および上記第３実施形態で示した先行下降動作を第１印刷のために実施することができる。待機期間Ｔ４において先行接近動作および先行下降動作を実施すれば、直後のステップＳ５ｂの印刷位置への移動処理、および、ステップＳ６ｂの版合わせ処理のそれぞれに要する時間を短縮することが可能となる。また、印刷テーブル３ｂについても同様に、待機期間Ｔ７、Ｔ８およびＴ９において、先行接近動作および先行下降動作を第２印刷のために実施することができる。

また、待機期間Ｔ７については、印刷テーブル３ｂに加えて、印刷テーブル３ｂとＹ方向の同じ側（Ｙ１方向側）に位置する基板作業テーブル２ｂも待機状態となっている。このため、待機期間Ｔ７では、上記第４実施形態で示した先行マスク認識を実施することができる。この場合、ステップＳ９ａで基板作業テーブル２ａが実施していたマスクマーク認識を、印刷テーブル３ａ側のマスクマーク認識（ステップＳ４ａ）および第１印刷（ステップＳ５ａ〜Ｓ８ａ）が実施される間の待機期間Ｔ７において先行して実施することになる。この結果、ステップＳ９ａの処理をスキップすることが可能となる。

また、待機期間Ｔ６については、印刷テーブル３ａに加えて、印刷テーブル３ａとＹ方向の同じ側（Ｙ２方向側）に位置する基板作業テーブル２ａも基板印刷終了後の待機状態となっている。このため、待機期間Ｔ６では、上記第５実施形態で示した先行清掃処理を実施することができる。これにより、印刷テーブル３ｂと基板作業テーブル２ｂによる第２印刷（ステップＳ１０ｄ〜Ｓ１３ｄ）の実行中に、次の基板５の印刷を開始するためのマスク清掃動作を繰り上げて先行実施することができる。

なお、今回開示された実施形態は、すべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は、上記した実施形態の説明ではなく特許請求の範囲によって示され、さらに特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれる。

たとえば、上記第１〜第６実施形態では、本発明の基板印刷装置の一例として、プリント基板に対する半田印刷作業を行う印刷装置１００（１００ａ〜１００ｅ）に本発明を適用した例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、スクリ−ンマスクを用いて基板印刷を行う基板印刷装置であれば、半田以外の粘性材（たとえば、銀ペーストなどの導電性ペーストなど）の印刷装置に、本発明を適用してもよい。

また、上記第１〜第６実施形態では、２つの基板作業テーブルを設けた例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、基板作業テーブルを１または３つ以上設けてもよい。

また、上記第１〜第６実施形態では、２つの基板作業テーブルおよび２つの印刷テーブルを共にＹ方向に移動可能に構成した例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、第１印刷および第２印刷のために、基板作業テーブルと２つの印刷テーブルとの少なくとも一方がＹ方向に移動可能に構成されていればよい。このため、基板作業テーブルをＹ方向に固定として、印刷テーブルのみをＹ方向に可動としてもよい。また、印刷テーブルをＹ方向に固定として、基板作業テーブルのみをＹ方向に可動としてもよい。また、たとえば２つの基板作業テーブルのうち一方をＹ方向に可動とし、他方をＹ方向に固定としてもよい。

また、上記第１〜第６実施形態では、２つの印刷テーブルを上下（Ｚ方向）に移動させることにより、版合わせおよび版離れを行うように構成した例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、第１印刷および第２印刷のために、基板作業テーブルと２つの印刷テーブルとの少なくとも一方が上下方向に移動可能に構成されていればよい。このため、基板作業テーブルをＺ方向に固定として、印刷テーブルのみをＺ方向に可動としてもよい。また、印刷テーブルをＺ方向に固定として、基板作業テーブルのみをＺ方向に可動としてもよい。

また、上記第１〜第６実施形態では、２つの搬入位置Ｅｎ１およびＥｎ２を設けた例を示したが、本発明はこれに限られない。搬入位置は１または３つ以上であってよい。

また、上記第１〜第６実施形態では、２つの搬出位置Ｅｘ１およびＥｘ２を設けた例を示したが、本発明はこれに限られない。搬出位置は１または３つ以上であってよい。

また、上記第１〜第６実施形態では、搬入位置Ｅｎ１およびＥｎ２に設けられたローダから、基板を直接基板作業テーブルに受け渡す構成の例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、たとえばローダと基板作業テーブルとの間に中間コンベアを設けて、中間コンベアを介してローダ側から基板作業テーブル側に基板を搬送してもよい。特に、搬入位置が一カ所のみの場合、２つの基板作業テーブルに振り分け搬送可能な可動の中間コンベアを設けてもよい。

また、上記第１〜第６実施形態では、基板作業テーブルにマーク認識カメラおよびクリーニングユニットを設けた例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、基板作業テーブルにマーク認識カメラを設けなくともよいし、基板作業テーブルにクリーニングユニットを設けなくともよい。

２ａ 基板作業テーブル（第１基板作業テーブル）
２ｂ 基板作業テーブル（第２基板作業テーブル）
３ａ 印刷テーブル（第１印刷テーブル）
３ｂ 印刷テーブル（第２印刷テーブル）
５、５ａ〜５ｄ プリント基板（基板）
６ 小型部品用マスク
７ 大型部品用マスク
７ｂ 逃がし部
２４ マスク認識カメラ
２５ クリーニングユニット
８１、８１ａ、８１ｂ、８１ｃ、８１ｄ、８１ｅ 演算処理部（制御部）
１００、１００ａ、１００ｂ、１００ｃ、１００ｄ、１００ｅ 印刷装置（基板印刷装置）
Ｈ１ 半田高さ
Ｈ２ 半田高さ
Ｈ３ 版離れ高さ位置（大型部品用マスク版離れ高さ位置）
Ｈ４ 待機高さ位置
Ｓｄ１、Ｓｄ２ 半田（粘性材）
Ｔｈ１ 第１の膜厚
Ｔｈ２ 第２の膜厚
Ｙ方向 所定方向

Claims (8)

1. 印刷対象の基板を保持する基板作業テーブルと、
   前記基板作業テーブルの上方で水平方向の所定方向に並んで配列された第１印刷テーブルおよび第２印刷テーブルと、
   前記第１印刷テーブルおよび前記第２印刷テーブルの印刷動作を制御する制御部とを備え、
   前記第１印刷テーブルは、前記基板に粘性材を印刷する第１印刷を行うための第１の膜厚の小型部品用マスクを保持し、
   前記第２印刷テーブルは、前記第１の膜厚より厚い第２の膜厚を有し、前記小型部品用マスクにより印刷された粘性材を逃がすように基板接触面側に前記第１の膜厚の厚みより深さの大きい逃がし部が形成され、前記第１印刷テーブルによる前記第１印刷後の前記基板に粘性材を印刷する第２印刷を行うための大型部品用マスクを保持し、
   前記基板作業テーブルと、前記第１印刷テーブルおよび前記第２印刷テーブルとの少なくとも一方は、前記水平方向の所定方向に移動可能に構成され、
   前記基板作業テーブルと、前記第１印刷テーブルおよび前記第２印刷テーブルとの少なくとも一方は、上下方向に移動可能に構成され、
   前記制御部は、前記基板作業テーブルに保持された前記基板に対して、前記第１印刷テーブルの小型部品用マスクにより前記第１印刷を行った後、前記第２印刷テーブルの大型部品用マスクにより前記第２印刷を行うように構成されている、基板印刷装置。
2. 前記制御部は、前記第１印刷テーブルおよび前記第２印刷テーブルの一方の基板印刷動作の実行中に、前記第１印刷テーブルおよび前記第２印刷テーブルの他方の印刷準備動作を実施するように構成されている、請求項１に記載の基板印刷装置。
3. 前記第１印刷テーブルおよび前記第２印刷テーブルは、それぞれ前記水平方向の所定方向に移動可能に構成され、
   前記制御部は、前記第１印刷テーブルの基板印刷動作の実行中に、前記第１印刷テーブルと前記第２印刷テーブルとの前記水平方向の所定方向の距離が小さくなるように前記第２印刷テーブルを前記水平方向の所定方向へ移動させることにより、前記第２印刷テーブルを印刷位置に接近させるように構成されている、請求項２に記載の基板印刷装置。
4. 前記第１印刷テーブルおよび前記第２印刷テーブルは、それぞれ上下方向に移動可能に構成され、
   前記制御部は、前記第１印刷テーブルの前記小型部品用マスクを用いた基板印刷動作の実行中に、前記第２印刷テーブルを、粘性材の前記第２印刷後の前記基板に対して前記大型部品用マスクを離間させる大型部品用マスク版離れ高さ位置から、前記大型部品用マスク版離れ高さ位置よりも低く、かつ、前記基板上の粘性材と前記大型部品用マスクとが非接触となる待機高さ位置に下降させるように構成されている、請求項２または３に記載の基板印刷装置。
5. 前記基板作業テーブルは、それぞれ前記水平方向の所定方向に移動可能に構成された第１基板作業テーブルおよび第２基板作業テーブルを含み、
   前記第１基板作業テーブルおよび前記第２基板作業テーブルは、それぞれ、前記小型部品用マスクおよび前記大型部品用マスクを認識することが可能なマスク認識カメラを有し、
   前記制御部は、前記第１基板作業テーブルと前記第１印刷テーブルとによる前記小型部品用マスクを用いた基板印刷動作の実行中に、前記第２基板作業テーブルを用いて前記第２印刷テーブルの前記大型部品用マスクのマスク認識を実施するように構成されている、請求項２〜４のいずれか１項に記載の基板印刷装置。
6. 前記基板作業テーブルは、それぞれ前記水平方向の所定方向に移動可能に構成された第１基板作業テーブルおよび第２基板作業テーブルを含み、
   前記第１基板作業テーブルおよび前記第２基板作業テーブルは、それぞれ、前記小型部品用マスクおよび前記大型部品用マスクの清掃を行うためのクリーニングユニットを有し、
   前記制御部は、前記第１印刷後の前記基板に対して前記第２基板作業テーブルと前記第２印刷テーブルとが前記大型部品用マスクを用いた基板印刷動作を実行している間に、前記第１基板作業テーブルを用いて前記第１印刷テーブルの前記小型部品用マスクのマスク清掃動作を行うように構成されている、請求項２〜５のいずれか１項に記載の基板印刷装置。
7. 前記基板作業テーブルは、それぞれ前記所定方向に移動可能に構成された第１基板作業テーブルおよび第２基板作業テーブルを含み、
   前記制御部は、前記第１印刷テーブルおよび前記第２印刷テーブルの一方と前記第１基板作業テーブルおよび前記第２基板作業テーブルの一方とによる基板印刷動作の実行中に、前記第１基板作業テーブルおよび前記第２基板作業テーブルの他方による基板搬入および基板搬出の少なくとも一方の動作を実施するように構成されている、請求項２〜６のいずれか１項に記載の基板印刷装置。
8. 前記基板作業テーブルは、それぞれ前記所定方向に移動可能に構成された第１基板作業テーブルおよび第２基板作業テーブルを含み、
   前記制御部は、前記第２印刷テーブルと前記第１基板作業テーブルおよび前記第２基板作業テーブルの一方とによる前記第１印刷後の第１の基板に対する前記第２印刷の基板印刷動作の実行中に、前記第１印刷テーブルと前記第１基板作業テーブルおよび前記第２基板作業テーブルの他方とにより、前記第１印刷前の第２の基板に対する前記第１印刷の基板印刷動作を実行するように構成されている、請求項１〜７のいずれか１項に記載の基板印刷装置。

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