KR101529773B1

KR101529773B1 - 디스플레이 패널의 제조 방법 및 적층체

Info

Publication number: KR101529773B1
Application number: KR1020130031862A
Authority: KR
Inventors: 순핑 치아오; 쯔안스 치우; 춘시앙 찬; 치이쉥 창; 치홍 리아오
Original assignee: 에이유 오프트로닉스 코퍼레이션
Priority date: 2012-12-04
Filing date: 2013-03-26
Publication date: 2015-06-17
Also published as: JP2014109774A; JP5767663B2; TWI492203B; TW201423690A; CN103048823A; KR20140071857A; CN103048823B

Abstract

디스플레이 패널의 제조 방법으로서, 제1 기판, 제2 기판, 제1 접착제, 제2 접착제, 제1 캐리어, 및 제2 캐리어를 제공하고; 제1 접착제로 제1 기판을 제1 캐리어에 접합시키고, 또한 제2 접착제로 제2 기판을 제2 캐리어에 접합시키며; 제1 기판과 제2 기판을 짝을 맞추어 접합시켜, 적층체를 형성하며; 제1 외력을 제1 캐리어에 가하여, 제1 캐리어를 제1 기판과 분리시키고; 및 제2 접착제를 가열하여, 제2 접착제의 점성을 낮추고, 또한 제2 외력을 제2 캐리어에 가하여, 제2 캐리어를 제2 기판과 분리시키는 것을 포함한다.

Description

디스플레이 패널의 제조 방법 및 적층체{METHOD OF MANUFACTURING DISPLAY PANEL AND LAMINATED STRUCTURE}

본 발명은, 디스플레이 패널의 제조 방법 및 적층체에 관한 것이며, 특히 초슬림 디스플레이 패널의 제조 방법 및 초슬림 디스플레이 패널을 제조할 때 생성하는 적층체에 관한 것이다.

소비성 전자 제품의 경량, 슬림, 및 소형화의 설계의 추세에 따라, 현재 초슬림 디스플레이가 이미 생산되었다. 이전 기술에 있어서, 초슬림 디스플레이의 제조 방법은, 디스플레이 패널을 상하 글라스 기판을 짝을 맞추어 접합한 후, 글라스 박막화 공정을 진행한다. 글라스 박화 제조 공정에 있어서, 보통 0.5 mm 혹은 0.4 mm의 글라스 기판을 사용하여 필요한 두께로 식각을 진행한다. 그러나 글라스 기판을 0.1 mm이하로 박막화 하였을 때, 글라스 기판의 파열 혹은 표면 석출물 등의 문제를 초래하기 쉬워, 생산율이 대폭 저하되고, 따라서 생산 코스트가 증가된다.

특허 문헌 1: 미국 특허출원공개공보 제2011-0048611 A호

본 발명은, 디스플레이 패널의 제조 방법 및 적층체를 제공하여 상기 문제를 해결하는 것을 목적으로 한다.

일 실시예에 근거하여, 본 발명의 디스플레이 패널의 제조 방법은, 제1 기판, 제2 기판, 제1 접착제(glue), 제2 접착제, 제1 캐리어, 및 제2 캐리어를 제공하고; 제1 접착제로 제1 기판을 제1 캐리어에 접합시키고, 또한 제2 접착제로 제2 기판을 제2 캐리어에 접합시키며; 제1 기판과 제2 기판을 짝을 맞추어 접합시켜, 적층체를 형성하며; 제1 외력을 제1 캐리어에 가하여, 제1 캐리어를 제1 기판과 분리시키고; 또한 제2 접착제를 가열하여, 제2 접착제의 점성을 낮추고, 또한 제2 외력을 제2 캐리어에 가하여, 제2 캐리어를 제2 기판과 분리시키는 것을 포함한다.

다른 실시예에 근거하여, 본 발명의 적층체는 제1 캐리어, 제1 접착제, 제1 기판, 제2 캐리어, 제2 접착제, 및 제2 기판을 포함한다. 제1 접착제는 제1 캐리어 상에 형성되고, 제1 접착제의 열분해 온도가 370℃보다 높다. 제1 기판은 제1 접착제를 통해 제1 캐리어에 접합된다. 제2 접착제는 제2 캐리어 상에 형성되고, 제2 접착제의 열분해 온도가 230℃보다 높다. 제2 기판은 제2 접착제를 통해 제2 캐리어에 접합되며, 또한 제1 기판과 짝을 맞추어 접합된다.

상기 서술을 종합하면, 본 발명은 초박막 글라스(예를 들어, 두께가 0.05 mm와 0.1 mm 사이에 있음)를 상기 제1 기판과 제2 기판으로 하고, 두꺼운 글라스(예를 들어, 두께가 0.4 mm와 0.7 mm 사이에 있음)를 상기 제1 캐리어와 제2 캐리어로 하며, 또한 제1 접착제와 제2 접착제를 통해 제1 기판, 및 제2 기판을 각각 제1 캐리어와 제2 캐리어에 접합시켜 지지강도를 증가시키며, 제1 기판과 제2 기판이 제조 공정의 운송과정에서 파열되는 것을 피한다. 디스플레이 패널의 제조 공정을 완성한 후, 제2 기판은 제2 캐리어에 의해 지지되기 때문에, 먼저 외력으로 제1 캐리어를 제1 기판과 분리시킨 후, 제2 접착제를 가열하여, 제2 접착제의 점성을 낮추고, 이때, 비교적 작은 외력으로 제2 캐리어를 제2 기판과 분리시킬 수 있다. 이로 인해 디스플레이 패널의 생산성을 효율적으로 제고할 수 있다.

설명하고자 하는 것은, 디스플레이 패널의 제조 공정에 있어서, 여러 개 단계의 최고 온도는 다른 요구를 가지는데, 구체적으로, 제1 기판 상에 구동 회로(예를 들어, 박막 트랜지스터 어레이)를 형성할 때, 제조 공정의 최고 온도는 예를 들어 약 370℃이며, 이때, 제조 공정에 있어서 제1 접착제가 고온 열화로 인해 제품을 오염시키는 것을 피하도록, 제1 접착제의 열분해 온도는 370℃보다 높아야 하며, 제2 기판 상에 컬러 필터층을 형성할 때, 제조 공정의 최고 온도는 예를 들어 약 230℃이며, 이때, 제조 공정에 있어서 제2 접착제가 고온 열화로 인해 제품을 오염시키는 것을 피하도록, 제2 접착제의 열분해 온도는 230℃보다 높아야 한다.

본 발명의 장점, 및 취지는 이하의 발명의 상세 서술, 및 첨부 도면을 통해 추가로 이해할 수 있다.

도 1a 및 도 1b는 본 발명의 일 실시예에 근거한 디스플레이 패널의 제조 방법의 흐름도이다.
도 2 내지 도 8은 도 1a와 도 1b를 조합한 제조 공정의 모식도이다.
도 9는 본 발명의 다른 실시예에 근거한 디스플레이 패널의 플로차트이다.

도 1a 내지 도 8을 참조한다. 도 1a 및 도 1b는 본 발명의 일 실시예에 근거한 디스플레이 패널의 제조 방법의 플로차트이며, 도 2 내지 도 8은 도 1A와 도 1B를 조합한 제조 공정의 모식도이다. 우선, 스텝 S10을 실행하여, 제1 기판(10), 제2 기판(12), 제1 접착제(glue)(14), 제2 접착제(16), 제1 캐리어(18), 및 제2 캐리어(20)를 제공한다. 이 실시예에 있어서, 제1 기판(10)의 두께는 0.05 mm와 0.1 mm 사이에 있고, 제2 기판(12)의 두께는 0.05 mm와 0.1 mm 사이에 있으며, 제1 캐리어(18)의 두께는 0.4 mm와 0.7 mm 사이에 있으며, 또한 제2 캐리어(20)의 두께는 0.4 mm와 0.7 mm 사이에 있을 수 있다. 다시 말해서, 제1 캐리어(18)와 제2 캐리어(20)의 두께는 제1 기판(10)과 제2 기판(12)의 두께보다 두꺼워서, 디스플레이 패널의 제조 공정에 있어서 지지강도를 증가시켜, 제1 기판(10)과 제2 기판(12)이 제조 공정의 운송과정에서 파열의 발생을 피한다. 그 외, 제1 기판(10), 제2 기판(12), 제1 캐리어(18), 및 제2 캐리어(20)는 글라스일 수 있지만, 이에 제한되지 않는다.

이어서, 스텝 S12를 실행하여, 제1 캐리어(18) 및 제2 캐리어(20)를 각각 세정한다. 이어서, 스텝 S14를 실행하여, 제1 접착제(14)를 제1 캐리어(18) 상에 형성하고, 또한 제2 접착제(16)를 제2 캐리어(20) 상에 형성하는데, 도 2에 나타낸 바와 같다. 이어서, 스텝 S16을 실행하여, 제1 접착제(14)과 제2 접착제(16)를 미리 건조시킨다. 이 실시예에 있어서, 예를 들어 약 170℃의 온도로 제1 접착제(14)와 제2 접착제(16)를 미리 건조시킬 수 있다. 스텝 S18을 실행하여, 제1 접착제(14)로 제1 기판(10)을 제1 캐리어(18)에 접합시키고, 또한 제2 접착제(16)로 제2 기판(12)을 제2 캐리어(20)에 접합시키는데, 도 3에 나타낸 바와 같다. 이 실시예에 있어서, 진공 접합의 방식으로 제1 접착제(14)를 통해 제1 기판(10)을 제1 캐리어(18)에 접합시키며, 또한 진공 접합의 방식으로 제2 접착제(16)를 통해 제2 기판(12)을 제2 캐리어(20)에 접합할 수 있다.

이어서, 스텝 S20을 실행하여, 제1 기판(10) 상에 구동 회로(22)(예를 들어, 박막 트랜지스터 어레이)를 형성하는데, 도 4에 나타낸 바와 같다. 일반적으로 박막 트랜지스터 어레이의 제조 공정의 최고 온도는 예를 들어 370℃이며, 이때, 제조 공정에 있어서 제1 접착제(14)가 고온 열화로 인해 제품을 오염시키는 것을 피하도록, 제1 접착제(14)의 열분해 온도(Td)는 370℃보다 높아야 한다. 이 실시예에 있어서, 제1 접착제(14)는 알케닐기(alkenyl group)의 디오르가노폴리실록산(diorganopolysiloxane)을 포함할 수 있지만, 이에 제한되지 않고, 제1 접착제(14)의 열분해 온도를 370℃보다 높게 한다. 동시에, 스텝 S22를 실행하여, 제2 기판(12) 상에 컬러 필터층(24)을 형성하는데, 도 4에 나타낸 바와 같다. 일반적으로, 컬러 필터층(24)의 제조 공정의 최고 온도는 예를 들어 약 230℃이며, 이때, 제조 공정에 있어서 제2 접착제(16)가 고온 열화로 인해 제품을 오염시키는 것을 피하도록, 제2 접착제(16)의 열분해 온도(Td)는 230℃보다 높아야 한다. 이 실시예에 있어서, 제2 접착제(16)는 사이클로올레핀 코폴리머(cycloolefin copolymer, COC)를 포함할 수 있지만, 이에 제한되지 않고, 제2 접착제(16)의 열분해 온도는 230℃보다 높게 한다. 그 외, 본 실시예에 있어서, 제2 기판 상에 공용 전극층(27)을 컬러 필터층(24) 상에 추가로 형성할 수 있다.

이어서, 스텝 S24를 실행하여, 제1 기판(10)과 제2 기판(12)을 짝을 맞추어 접합시켜, 적층체(1)를 형성하며, 또한 제1 기판(10)과 제2 기판(12) 사이에 디스플레이 매체(26)를 설치하는데, 도 5에 나타낸 바와 같다. 적층체(1)는 제1 기판(10), 제2 기판(12), 제1 접착제(14), 제2 접착제(16), 제1 캐리어(18), 및 제2 캐리어(20)를 포함한다. 이어서, 스텝 S26을 실행하여, 제1 캐리어(18)에 제1 외력(F1)을 가하여, 제1 캐리어(18)를 제1 기판(10)과 분리시키는데, 도 6에 나타낸 바와 같다. 이 실시예에 있어서, 도 6에 있어서의 설비(3)의 받침대(30)를 이용하여 진공 펌핑의 방식으로 적층체(1)의 제2 캐리어(20)를 흡착하며, 또한 도 6에 있어서의 설비(3)의 회전 아암(32)을 이용하여 진공 펌핑의 방식으로 적층체(1)의 제1 캐리어(18)를 흡착하며, 이어서, 이젝터(34)를 추가로 조작하여 1N/25 mm이상인 제1 외력(F1)으로 위를 향해 밀어내어, 회전 아암(32)이 제1 캐리어(18)를 화살표(A)의 방향으로 회전하게 하여, 제1 캐리어(18)를 제1 기판(10)과 직접 분리시키도록 한다. 제2 기판(12)은 제2 캐리어(20)에 의해 지지되므로, 제1 외력(F1)으로 제1 캐리어(18)를 제1 기판(10)과 분리시키는 과정에서, 제2 기판(12)이 파열되지 않도록 한다.

이어서, 스텝 S28을 실행하여, 제2 접착제(16)를 가열하여, 제2 접착제(16)의 점성을 낮추고, 또한 제2 캐리어(20)에 제2 외력(F2)을 가하여, 제2 캐리어(20)를 제2 기판(12)과 분리시키는데, 도 7에 나타낸 바와 같다. 이 실시예에 있어서, 제2 외력(F2)을 가하는 방향은 제2 캐리어(20)와 제2 기판(12)의 접합면에 평행하고, 제2 캐리어(20)가 제2 기판(12)에 대해 미끄러지게 하여, 제2 기판(12)과 분리시킨다. 제2 외력(F2)을 가하는 방향이 제2 캐리어(20)와 제2 기판(12)의 접합면에 평행한 것이 바람직하지만, 이에 제한되지 않는다. 다시 말해서, 제2 외력(F2)을 가하는 방향은 제2 캐리어(20)와 제2 기판(12)의 접합면에 수직되거나 또는 접합면과 임의의 각을 이루어, 제2 캐리어(20)를 제2 기판(12)과 분리시킬 수 있으며, 이는 실제 응용에 의해 정하도록 한다. 이 실시예에 있어서, 온도가 60℃보나 낮을 때, 제2 접착제(16)의 점성은 100 Pa·s보다 커서, 제2 기판(12)과 제2 캐리어(20)가 견고하게 접합시키도록 하여, 상대 이동이 발생하지 않고, 온도가 150℃와 200℃ 사이에 있을 때, 제2 접착제(16)의 점성은 50 Pa·s보다 작으며, 이때, 일정한 크기의 제2 외력(F2)을 가하면, 쉽게 제2 캐리어(20)를 제2 기판(12)과 분리시킬 수 있다. 다시 말해서, 제2 접착제(16)를 150℃와 200℃ 사이로 가열하기만 하면, 비교적 작은 제2 외력(F2)으로 제2 캐리어(20)를 제2 기판(12)과 분리시킬 수 있으며, 이미 제1 캐리어(18)가 지지하지 않는 제1 기판(10)에 파열의 발생을 피할 수 있도록 한다.

제1 캐리어(18)와 제2 캐리어(20)가 각각 제1 기판(10)과 제2 기판(12)에서 옮겨진 후, 도 8에 나타낸 바와 같은 디스플레이 패널(1')을 완성할 수 있다. 이 실시예에 있어서, 디스플레이 매체(26)는 액정(liquid crystal)일 수 있으며, 최종 완성된 디스플레이 패널(1')은 액정 디스플레이 패널이다. 액정의 내열도가 예를 들어 200℃ 정도 이기 때문에, 제2 접착제(16)의 가열온도가 200℃를 초과하지 않으면, 액정에 손상을 끼치지 않는다. 그 외, 황색 제조 공정에서 사용되는 액정의 온도는 약 60℃ 정도이기 때문에, 온도가 60℃보다 낮을 때, 제2 접착제(16)의 점성은 100 Pa·s보다 커서, 제2 기판(12)과 제2 캐리어(20)의 견고한 접합을 효율적으로 확보하여, 황색 제조 공정의 운송과정에 있어서 상대 이동이 발생하지 않는다.

설명하고자 하는 것은, 액정 디스플레이 패널 외에, 본 발명은 기타 디스플레이 패널, 예를 들어 유기 발광 다이오드(Organic Light-Emitting Diode, OLED) 디스플레이 패널, 전기 영동 디스플레이(ElectroPhoretic Display, EPD) 등의 제조에 사용할 수 있다. 도 9를 참조하면, 도 9는 본 발명의 다른 실시예에 근거한 디스플레이 패널의 흐름도이다. 도 9에 나타낸 바와 같이, 디스플레이 패널(1'')은 도 1a 및 도 1b에서 나타낸 바와 같은 제조 방법으로 제조한 OLED 디스플레이 패널이다. 설명하고자 하는 것은, 디스플레이 패널(1'')을 제조할 때, 제1 기판(10) 상에 형성되는 구동 회로(22)는 산화 인듐 주석(Indium Tin Oxide, ITO)과 같은 도전성을 가지는 투명 도전층이며, 제1 기판(10)과 제2 기판(12) 사이에 설치된 디스플레이 매체(26)는 유기 재료이며, 디스플레이 매체(26)는 구동 회로(22)와 다른 한 금속 전극(28) 사이에 끼워지며, 또한 제2 기판(12) 상에 컬러 필터층(즉, 상기 스텝 S22는 불필요)을 형성할 필요가 없다.

이전 기술과 비교하면, 본 발명은 초박막 글라스(예를 들어, 두께가 0.05 mm와 0.1 mm 사이에 있음)를 상기 제1 기판과 제2 기판으로 하고, 두꺼운 글라스(예를 들어, 두께가 0.4 mm와 0.7 mm 사이에 있음)를 상기 제1 캐리어와 제2 캐리어로 하며, 또한 제1 접착제와 제2 접착제를 통해 제1 기판, 및 제2 기판을 각각 제1 캐리어와 제2 캐리어에 접합시켜 지지강도를 증가시키며, 제1 기판과 제2 기판이 제조 공정의 운송과정에서 파열되는 것을 피한다. 디스플레이 패널의 제조 공정을 완성한 후, 제2 기판은 제2 캐리어에 의해 지지되기 때문에, 먼저 외력으로 제1 캐리어를 제1 기판과 분리시킨 후, 제2 접착제를 가열하여, 제2 접착제의 점성을 낮추고, 이때, 비교적 작은 외력으로 제2 캐리어를 제2 기판과 분리시킬 수 있다. 이로 인해 디스플레이 패널의 생산성을 효율적으로 제고할 수 있다.

설명하고자 하는 것은, 디스플레이 패널의 제조 공정에 있어서, 여러 개 단계의 최고 온도는 다른 요구를 가지는데, 구체적으로, 제1 기판 상에 구동 회로(예를 들어, 박막 트랜지스터 어레이)를 형성할 때, 제조 공정의 최고 온도는 예를 들어 약 370℃이며, 이때, 제조 공정에 있어서 제1 접착제가 고온 열화로 인해 제품을 오염시키는 것을 피하도록, 제1 접착제의 열분해 온도는 370℃보다 높아야 하며, 제2 기판 상에 컬러 필터층을 형성할 때, 그 제조 공정의 최고 온도는 예를 들어 약 230℃이며, 이때, 제조 공정에 있어서 제2 접착제가 고온 열화로 인해 제품을 오염시키는 것을 피하도록, 제2 접착제의 열분해 온도는 230℃보다 높아야 한다.

상기 설명은 본 발명의 바람직한 실시예에 불과하며, 본 발명의 청구범위에 근거하여 진행하는 변화와 수식은 모두 본 발명의 포괄범위에 속한다.

1 : 적층체 1',1'' : 디스플레이 패널
3 : 설비 10 : 제1 기판
12 : 제2 기판 14 : 제1 접착제
16 : 제2 접착제 18 : 제1 캐리어
20 : 제2 캐리어 22 : 구동 회로
24 : 컬러 필터층 26 : 디스플레이 매체
27 : 공용 전극층 28 : 금속 전극
30 : 받침대 32 :회전 아암
34 : 이젝터 F1 : 제1 외력
F2 : 제2 외력 A : 화살표
S10 내지 S28 : 스텝

Claims

디스플레이 패널의 제조 방법으로서,
제1 기판, 제2 기판, 제1 접착제(glue), 제2 접착제, 제1 캐리어, 및 제2 캐리어를 제공하는 것,
상기 제1 접착제로 상기 제1 기판을 상기 제1 캐리어에 접합시키고, 또한 상기 제2 접착제로 상기 제2 기판을 상기 제2 캐리어에 접합시키는 것,
상기 제1 기판과 상기 제2 기판을 짝을 맞추어 접합시켜, 적층체를 형성하는 것,
제1 외력을 상기 제1 캐리어에 가하여, 상기 제1 캐리어를 상기 제1 기판과 분리시키는 것, 및
상기 제2 접착제를 가열하여, 상기 제2 접착제의 점성을 낮추고, 또한 제2 외력을 상기 제2 캐리어에 가하여, 상기 제2 캐리어를 상기 제2 기판과 분리시키는 것
을 포함하며, 온도가 60℃보다 낮을 때, 상기 제2 접착제의 점성은 100 Pa·s보다 크고, 온도가 150℃와 200℃ 사이에 있을 때, 상기 제2 접착제의 점성은 50 Pa·s보다 작으며,
상기 제2 외력을 가하는 방향은 상기 제2 캐리어와 상기 제2 기판의 접합면에 평행한 것인 디스플레이 패널의 제조 방법.
제1항에 있어서,
상기 제1 기판 상에 구동 회로를 형성하는 것,
상기 제2 기판 상에 컬러 필터층을 형성하는 것, 및
상기 제1 기판과 상기 제2 기판 사이에 디스플레이 매체를 설치하는 것
을 더 포함하는 디스플레이 패널의 제조 방법.
제1항에 있어서,
상기 제1 기판 상에 구동 회로를 형성하는 것, 및
상기 제1 기판과 제2 기판 사이에 디스플레이 매체를 설치하는 것
을 더 포함하는 디스플레이 패널의 제조 방법.
제1항에 있어서,
상기 제1 접착제의 열분해 온도는 370℃보다 높으며, 또한 상기 제2 접착제의 열분해 온도는 230℃보다 높은 것인 디스플레이 패널의 제조 방법.
제1항에 있어서,
상기 제1 외력이 적어도 1N/25 mm보다 큰 것인 디스플레이 패널의 제조 방법.
삭제
삭제
제1항에 있어서,
상기 제1 접착제가 알케닐기의 디오르가노폴리실록산을 포함하는 것인 디스플레이 패널의 제조 방법.
제1항에 있어서,
상기 제2 접착제는 사이클로올레핀 코폴리머를 포함하는 것인 디스플레이 패널의 제조 방법.
제1항에 있어서,
상기 제1 기판의 두께는 0.05 mm와 0.1 mm 사이에 있으며, 또한 상기 제2 기판의 두께는 0.05 mm와 0.1 mm 사이에 있는 것인 디스플레이 패널의 제조 방법.
제1항에 있어서,
상기 제1 캐리어의 두께는 0.4 mm와 0.7 mm 사이에 있으며, 또한 상기 제2 캐리어의 두께는 0.4 mm와 0.7 mm사이에 있는 것인 디스플레이 패널의 제조 방법.
제1 캐리어,
상기 제1 캐리어 상에 형성되며, 그 열분해 온도가 370℃보다 높은 제1 접착제,
상기 제1 접착제를 통해 제1 캐리어에 접합되는 제1 기판,
제2 캐리어,
상기 제2 캐리어 상에 형성되며, 그 열분해 온도가 230℃보다 높은 제2 접착제, 및
상기 제2 접착제를 통해 제2 캐리어에 접합되고, 상기 제1 기판에 짝이 맞게 접합되는 제2 기판
을 포함하며,
상기 제2 접착제의 점성은, 온도가 60℃보다 낮을 때, 100 Pa·s보다 크고,
상기 제2 접착제의 점성은, 온도가 150℃와 200℃ 사이에 있을 때, 상기 제2 캐리어와 상기 제2 기판의 접합면에 평행한 방향으로 50 Pa·s보다 작은 것인 적층체.
제12항에 있어서,
상기 제1 기판 상에 형성된 구동 회로,
제2 기판 상에 형성된 컬러 필터층, 및
상기 제1 기판과 상기 제2 기판 사이에 설치된 디스플레이 매체
를 더 포함하는 적층체.
제12항에 있어서,
상기 제1 기판 상에 형성된 구동 회로, 및
상기 제1 기판과 제2 기판 사이에 설치된 디스플레이 매체
를 더 포함하는 적층체.
제12항에 있어서,
상기 제1 접착제가 알케닐기의 디오르가노폴리실록산을 포함하는 것인 적층체.
제12항에 있어서,
상기 제2 접착제는 사이클로올레핀 코폴리머를 포함하는 것인 적층체.
삭제
제12항에 있어서,
상기 제1 기판의 두께는 0.05 mm와 0.1 mm 사이에 있으며, 또한 상기 제2 기판의 두께는 0.05 mm와 0.1 mm 사이에 있는 것인 적층체.
제12항에 있어서,
상기 제1 캐리어의 두께는 0.4 mm와 0.7 mm 사이에 있으며, 또한 상기 제2 캐리어의 두께는 0.4 mm와 0.7 mm 사이에 있는 것인 적층체.