KR101511599B1 - 마스크 컨테이너 - Google Patents

Abstract

본 발명은, 대형 마스크용 유리기판, 블랭크 마스크 및 포토 마스크 중 어느 하나의 마스크가 용이하게 수납될 수 있을 뿐만 아니라 대형 마스크의 수납 과정 및 운송 과정에서 이물질의 발생 및 이물질의 흡착을 방지할 수 있도록 구조가 개선된 마스크 컨테이너에 관한 것이다. 본 발명에 따른 마스크 컨테이너는 사각의 판 형상으로 이루어지며 그 두께방향과 수직하게 형성된 제1표면 및 제2표면을 가지는 블랭크 마스크, 포토 마스크, 또는 유리기판 중 어느 하나의 마스크가 수납되는 마스크 컨테이너에 있어서, 상기 마스크의 제1표면 중 가장자리 일부분이 각각 수용되는 복수의 제1수용부를 가지는 제1본체; 상기 제1본체와 마주하도록 배치되며, 상기 마스크의 제2표면 중 가장자리 일부분이 각각 수용되는 복수의 제2수용부를 가지는 제2본체; 상기 제1본체와 제2본체를 상기 제1수용부 및 제2수용부에 수용된 마스크의 두께방향으로 착탈 가능하게 결합시키는 결합수단; 및 상기 마스크를 상기 제1수용부 및 제2수용부 내에 고정시키는 고정수단을 구비하고, 상기 제1본체 및 제2본체의 평판부는 하나의 수지판을 사용하거나 또는 복수의 수지판으로 구성되며, 상기 복수의 수지판은 이물질 또는 파티클(particle)에 의한 오염발생을 방지할 수 있도록 수지판의 접합면을 서로 접합(bonding)하여 구성되며, 상기 각 제1수용부의 내측면에는, 상기 마스크를 지지하는 제1접촉부재가 결합되어 있으며, 상기 각 제2수용부의 내측면에는, 상기 마스크를 지지하는 제2접촉부재가 결합되어 있는 것을 특징으로 한다.

유리 기판, 블랭크 마스크, 포토 마스크, 노광, 포토레지스트

Description

마스크 컨테이너{Mask container}

본 발명은 마스크 컨테이너에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 대형 평판 표시 장치용 컬러 필터의 제조시 사용되는 포토 마스크 및 이 포토 마스크의 원재료인 블랭크 마스크 또는 대형 유리기판 중 어느 하나의 마스크를 보관하기 위한 마스크 컨테이너에 관한 것이다.

대형 평판표시장치, 예를 들어 액정표시장치(Liquid Crystal Display) 또는 플라즈마 표시 장치(Plasma Display Panel)에는 컬러 필터가 구비되어 있으며, 이 컬러 필터의 제조시에는 포토 마스크(Photomask)가 필수적으로 사용된다. 포토 마스크는, 석영 또는 소다석회 등으로 이루어진 유리기판 위에 크롬 박막을 증착하여 차광막을 형성한 후, 차광막 위에 반사방지막 및 포토레지스트 막을 순차적으로 코팅하고, 포토레지스트 막에 특정 파장의 빛을 노광하여 미세 패턴을 형성함으로써 제조된다. 이때, 노광에 의한 미세 패턴의 형성 전의 제품, 즉 유리기판 위에 차광막, 반사방지막 및 포토레지스트막이 순차적으로 코팅된 제품을 블랭크 마스 크(Blank Mask)라 한다.

이와 같이 제조된 블랭크 마스크나 포토 마스크는 보관 및 운송시 전용 마스크 컨테이너에 수납된 상태에 있게 된다. 이 전용 마스크 컨테이너는 블랭크 마스크 또는 포토 마스크를 외부의 빛 및 충격으로부터 보호하고 블랭크 마스크 또는 포토 마스크에 이물질이 부착되는 것을 방지할 뿐만 아니라 블랭크 마스크 또는 포토 마스크의 로딩 및 언로딩 작업이 용이하게 이루어지도록 구성되어야 한다.

도 1 및 도 2에는 종래의 일례에 따른 마스크 컨테이너가 도시되어 있다. 도 1 및 도 2를 참조하면, 종래의 마스크 컨테이너(1)는 상부가 개방된 수용부(2)가 내부에 형성된 본체(3)와, 수용부를 폐쇄하도록 본체에 결합되는 커버(4)를 구비한다. 본체의 양 측면 및 바닥면에는 각각 블랭크 마스크 또는 포토 마스크(10)의 가장자리가 끼워져 삽입되는 슬롯(5)이 형성되어 있다.

상술한 바와 같이 구성된 마스크 컨테이너(1)에 예를 들어 블랭크 마스크(10)를 로딩하기 위해서, 블랭크 마스크를 그 블랭크 마스크의 두께방향(T)과 직교하는 방향(P)으로 하강시켜 블랭크 마스크의 가장자리를 본체의 내측면에 형성된 슬롯(5)에 끼워 삽입하면, 블랭크 마스크(10)가 도 1에 도시되어 있는 바와 같이 본체의 수용부(2)에 수용된다. 그 후에, 블랭크 마스크의 상부를 덮도록 커버(4)를 본체(3)에 결합하면, 블랭크 마스크가 외부와 격리된 상태로 마스크 컨테이너(1)에 수납된다. 한편, 수납된 블랭크 마스크를 마스크 컨테이너(100)로부터 언로딩하기 위해서는, 커버(4)를 본체(3)로부터 분리한 후에, 블랭크 마스크(10)를 상방으로 들어서 꺼내면 된다. 즉, 종래에는 블랭크 마스크 및 포토 마스크(10)를 그 마스크 의 두께방향과 수직인 방향(P)으로 마스크 컨테이너(1)에 로딩 및 언로딩하도록 구성되어 있다.

그런데, 종래와 같이 구성된 마스크 컨테이너(1)에 있어서, 대형 유리기판, 대형 블랭크 마스크 또는 포토 마스크, 예를 들어 한 변의 길이가 1미터 이상인 대형 마스크를 로딩 및 언로딩하는 경우에는, 대형 마스크의 로딩 및 언로딩 작업이 어렵게 된다. 예를 들어, 대형 마스크(10)의 핸들링이 용이하지 않아 본체의 내측면에 형성된 슬롯(5)에 대형 마스크의 가장자리를 끼우기가 용이하지 않게 된다. 그리고, 최근에 평판표시장치가 대형화됨에 따라 대형 컬러 필터에 대한 수요가 증가하고 있으므로, 대형 마스크(10)를 용이하게 수납하기 위한 컨테이너에 대한 개발 필요성이 증가하고 있다.

또한, 종래에는 블랭크 마스크 또는 포토 마스크(10)의 운송 과정에서, 슬롯(5)의 유격에 의해 슬롯에 끼워진 블랭크 마스크(10)가 움직이게 되므로, 블랭크 마스크가 슬롯의 내측면과 접촉하게 되어 블랭크 마스크에 존재하는 포토레지스트가 박리됨으로써 이물질(Particle)이 발생하게 될 뿐만 아니라 이 이물질이 블랭크 마스크에 흡착되어 블랭크 마스크를 오염시키는 문제점도 있었다. 그리고, 이러한 이물질의 발생 및 이물질에 의한 블랭크 마스크의 오염 문제는 블랭크 마스크를 로딩 및 언로딩하는 과정에서도 발생하게 된다. 특히 종래의 기술 중에서 본 발명에서 제안한 구조와 같이 마스크 컨테이너의 두께방향과 수직하게 형성된 제1표면 및 제2표면을 가지는 블랭크 마스크 및 포토 마스크 중 어느 하나의 마스크가 수납되는 마스크 컨테이너에 있어서 컨테이너의 내부 및 외부가 금속 볼트 또는 알루미늄 프레 임과 같은 금속 물질로 이루어져 있으면 금속에서 기인된 금속성 이물질이 발생되어 운송 과정에서 대형 유리기판, 블랭크 마스크 또는 포토 마스크의 제품에 중요한 결함을 발생시키게 된다.

본 발명은 상기한 문제점을 해결하기 위해서 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은, 대형 유리기판, 대형 블랭크 마스크 및 포토 마스크 중 어느 하나의 마스크가 용이하게 수납될 수 있을 뿐만 아니라 대형 마스크의 수납 과정 및 운송 과정에서 이물질의 발생 및 특히 금속성 이물질의 흡착을 방지할 수 있도록 구조가 개선된 마스크 컨테이너를 제공하는 것이다.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 마스크 컨테이너는, 사각의 판 형상으로 이루어지며 그 두께방향과 수직하게 형성된 제1표면 및 제2표면을 가지는 블랭크 마스크, 포토 마스크, 또는 유리기판 중 어느 하나의 마스크가 수납되는 마스크 컨테이너에 있어서, 상기 마스크의 제1표면 중 가장자리 일부분이 각각 수용되는 복수의 제1수용부를 가지는 제1본체; 상기 제1본체와 마주하도록 배치되며, 상기 마스크의 제2표면 중 가장자리 일부분이 각각 수용되는 복수의 제2수용부를 가지는 제2본체; 상기 제1본체와 제2본체를 상기 제1수용부 및 제2수용부에 수용된 마스크의 두께방향으로 착탈 가능하게 결합시키는 결합수단; 및 상기 마스크를 상기 제1수용부 및 제2수용부 내에 고정시키는 고정수단을 구비하고, 상기 제1본체 및 제2본체의 평판부는 하나의 수지판을 사용하거나 또는 복수의 수지판으로 구성되며, 상기 복수의 수지판은 이물질 또는 파티클(particle)에 의한 오염발생을 방지할 수 있도록 수지판의 접합면을 서로 접합(bonding)하여 구성되며, 상기 각 제1수용부의 내측면에는, 상기 마스크를 지지하는 제1접촉부재가 결합되어 있으며, 상기 각 제2수용부의 내측면에는, 상기 마스크를 지지하는 제2접촉부재가 결합되어 있는 것을 특징으로 한다.

상기 제1본체와 제2본체의 내부면에는 상기 제1본체와 제2본체의 강성을 향상시키기 위한 프레임이 격자 형태로 형성될 수 있다.

상기 제1접촉부재 및 제2접촉부재는 상기 마스크의 제1표면 중 가장자리 일부분과 그 외주면이 접촉하는 튜브 형상의 부재 또는 상기 마스크의 제1표면과 외주단면이 이루는 모서리의 접선과 대략 평행하도록 경사진 형상의 부재일 수 있다.

상기 제1접촉부재 및 제2접촉부재는 테프론 또는 수지 계열의 재료를 포함하는 소재로 이루어질 수 있다.

상기 고정수단은, 상기 마스크의 측면과 이격되게 배치되는 이격 위치와, 상기 마스크의 측면과 접촉하여 상기 마스크를 가압하는 가압위치 사이에서 왕복 이동 가능하도록 상기 제1본체에 설치되는 복수의 가압부재를 구비하고 있으며, 상기 각 가압부재에는 상기 각 가압부재의 이동방향으로 길게 관통 형성된 가이드부가 마련되어 있으며, 상기 각 가압부재는 상기 가이드부를 관통하여 상기 제1본체에 나사결합되는 결합부재에 의해 상기 제1본체에 착탈 가능하게 결합될 수 있다.

상기 제1본체와 제2본체는 정전기 방지 처리가 된 불투명한 수지 계열의 재료로 형성될 수 있다.

상기한 구성의 본 발명에 따르면, 대형 유리기판, 대형 블랭크 마스크 또는 대형 포토 마스크를 용이하게 수납할 수 있게 된다. 또한, 대형 유리기판, 대형 블랭크 마스크 또는 대형 포토 마스크의 수납 및 운송과정에서 이물질의 발생 및 금속성 이물질에 의한 오염을 방지할 수 있게 된다.

이하, 본 발명에 따른 바람직한 실시예를 첨부된 도면들을 참조하여 상세히 설명한다.

본 발명의 마스크 컨테이너(100)는 마스크(10)를 수납하기 위한 것이다. 마스크(10)는 유리 기판, 블랭크 마스크 또는 포토 마스크를 모두 포함한다. 마스크(10)는 사각의 판 형상으로 이루어져 있으며, 마스크(10)의 두께방향과 수직하게 형성된 제1표면(11) 및 제2표면(12)을 가진다.

본 명세서에서 사용되는 '마스크'는, 박막이 적층되지 않은 유리기판과, 그 유리기판에 차광막, 반사방지막 등의 금속막 및 포토레지스트막 등이 적층된 블랭 크 마스크와, 그 금속막을 패터닝하여 제조된 포토 마스크를 모두 포함하는 것이므로, 본 명세서에서 언급되는 마스크의 제1표면(11) 또는 제2표면(12)에는 금속막 또는 포토레지스트막이 형성되어 있을 수 있다.

또한 본 발명에 있어서, 마스크(10)는 대형 평판표시장치, 예를 들어 액정표시장치(Liquid Crystal Display) 또는 플라즈마 표시 장치(Plasma Display Panel)용 컬러 필터의 제조에 사용되는 대형 포토 마스크이다.

도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 컨테이너(100)의 개략적인 정면도이며, 도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 컨테이너(100)의 제1본체(20)의 내부 구조를 개략적으로 도시한 평면도이다.

도 3, 4를 참조하면, 본 발명의 마스크 컨테이너(100)는 제1본체(20)와, 제2본체(30)와, 결합수단(41, 42)과, 고정수단(51, 52, 511)을 포함한다.

또한 제1본체(20)는 마스크(10)의 크기보다 더 크게 형성된 사각의 평판 형상으로 이루어진 평판부(21)와, 평판부의 가장자리로부터 평판부의 두께방향으로 연장된 4개의 측벽부(22)와, 평판부(21)의 네 귀퉁이에 각각 결합된 4개의 기둥부(23)를 포함한다. 4개의 측벽부(22)는 서로 연결되어 있다. 각 측벽부(22)에는 운반시 운반자의 손이 삽입될 수 있는 운반용 홈부(221)가 형성되어 있다. 제1본체(20)의 내측면, 즉 평판부(21)와 측벽부(22)의 내측면에는, 제1본체의 강성을 향상시키기 위해서 격자 형태의 프레임(25)이 용접이나 접착제 등에 의해 결합되거나 제1본체(20)와 일체로 형성될 수 있다. 각 기둥부(23)에는 홈 형상의 제1수용부(231)가 오목하게 형성되어 있다. 제1수용부(231)는 내측 바닥면과, 내측 바닥면 과 직교하며 서로 연결된 한 쌍의 내측벽을 가진다. 그리고, 제1수용부(231)의 내측 바닥면에는 튜브 형상의 제1접촉부재(26a)가 돌출되게 결합되어 있다.

도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 컨테이너(100)의 제2본체의 내부 구조를 개략적으로 도시한 평면도이며, 도 6은 도 5에서 Ⅱ-Ⅱ선의 단면도로서, 도 4의 제1본체(20)와 도 5의 제2본체(30)가 결합된 형태를 도시한다. 도 5에 도시된 바와 같이, 제2본체(30)는 제1본체(20)와 유사한 구성인데, 제2본체(30)는 제1본체(20)와 마주하도록 배치되고, 제1본체(20)와 함께 마스크(10)를 수용할 수 있는 내부 수용공간을 형성한다. 제2본체(30)는 평판부(31)와, 4개의 측벽부(32)와, 4개의 기둥부(33)를 포함한다.

그리고, 각 측벽부(32)에는 운반용 홈부(321)가 형성되어 있다. 또한, 제2본체(30)의 내측면에는 격자 형태로 형성된 프레임(34)이 결합되어 있다. 각 기둥부(33)에는 홈 형상의 제2수용부(331)가 오목하게 형성되어 있으며, 각 제2수용부(331)의 내측 바닥면에는 튜브 형상의 제2접촉부재(35a)가 돌출되게 결합되어 있다. 제2접촉부재(35a)는 제2수용부의 내측 바닥면에 형성된 그루브(331a)에 삽입되어 고정되며, 마스크(10)를 손상시키지 않도록 연질의 소재, 예를 들어 테프론 또는 수지 계열의 재료를 포함하는 소재로 형성되는 것이 바람직하다. 각 제2수용부(331)는 마스크(10)의 귀퉁이에 대응되는 위치에 형성되어 있어서, 제2수용부(331)들은 제1수용부(231)들과 서로 마주하고 있다.

도 6을 참조하면, 마스크(10)를 제1본체(20)와 제2본체(30)의 내부에 수용하 면, 마스크(10)는 제1접촉부재(26a)와 제2접촉부재(35a)에 의해 지지되어 유동이 방지되고, 제1접촉부재(26a, 35a)는 연질의 재료이기 때문에 마스크(10)를 손상시키지 않는다.

마스크(10)를 마스크(10)의 두께방향(T)으로 이동시켜 4개의 제1수용부(231)에 수용되도록 위치시키면, 이동 과정에서 마스크(10)의 제1표면(11) 중 가장자리 일부분이 제1접촉부재(26a)의 외주면에 접촉하게 되어 최종적으로 제1표면(11)의 가장자리 일부분이 각각 4개의 제1수용부(231) 내에 수용되고, 제1접촉부재(26a)가 마스크(10)를 지지하게 된다. 특히, 각 제1수용부(231)가 마스크(10)의 귀퉁이에 대응되는 위치에 형성되어 있어서, 마스크(10)의 네 귀퉁이가 각각 제1수용부(231)에 수용된다.

한편, 도 7은 도 4의 제1접촉부재(26a) 대신 다른 형태의 부재(26b)를 채용한 마스크 컨테이너(100)를 도시한 것이고, 도 8은 도 7에서 Ⅲ-Ⅲ선의 단면을 도시한 것이다. 도시된 바와 같이, 본 발명의 다른 실시예인 제1접촉부재(26b)는 마스크(10)의 제1표면(11)이 외주단면과 이루는 모서리의 접선과 대략 평행하도록 경사진 형상으로 된 부재(26b)로 형성된다.

또한, 제1본체(20)에 형성되는 제1접촉부재(26b)와 동일한 형태로, 제2본체(30)에도 도 5의 제2접촉부재(35a)를 대신해 마스크(10)의 제2표면(12)이 외주단면과 이루는 모서리의 접선과 대략 평행하도록 경사진 형상의 제2접촉부재(35b)가 형성될 수 있다. 제1접촉부재(26b)와 제2접촉부재(35b)는 각각 그루부(231a, 331a) 에 삽입 고정되어 마스크(10)를 지지한다. 따라서, 제1접촉부재(26b)와 제2접촉부재(35b)가 오염 물질에 오염되거나 손상되었을 경우에는 교체할 수 있다.

제1접촉부재(26b)와 제2접촉부재(35b)는 마스크(10)를 손상시키지 않도록 연질의 재료, 예를 들어 테프론 또는 수지 계열의 재료를 포함하는 재료로 형성되는 것이 바람직하다. 제1접촉부재(26b)와 제2접촉부재(35b)의 경사면과 마스크(10)의 외주단면이 이루는 각도는 대략 30° 내지 60°인 것이 바람직하다. 상기 범위를 넘으면, 마스크(10)로부터 제1접촉부재(26b) 또는 제2접촉부재(35b)에 지지력이 마스크(10)의 두께방향 또는 두께방향의 수직인 방향 중 어느 한 쪽으로 집중되어 마스크(10)의 유동이 발생할 수 있다. 일반적으로 마스크(10)의 모서리는 모따기면 처리가 되기 때문에, 상기 각도는 모따기면의 각도와 유사하게 형성되는 것이 가장 바람직하고, 또한 박막이 형성된 제1표면(11) 또는 제2표면(12)에 닿지 않을 만큼의 각도로 형성되는 것이 바람직하다.

앞서 도 4 및 도 6에 도시된 제1접촉부재(26a)는 마스크(10)의 제1표면(11)에 직접 접촉하여 지지하는 형태인 반면, 도 7 및 도 8에 도시된 제1접촉부재(26b)는 마스크(10)의 제1표면(11)을 접촉하지 않고 마스크(10)의 모서리를 지지하기 때문에, 제1표면(11)에 박막이 형성되어 있는 경우, 제1접촉부재(26a)에 비하여 박막에 손상을 주지 않는다. 제2접촉부재(35b)의 경우도 마찬가지이다.

도면에는 도시하지 않았지만, 도 4 내지 도 6에 도시된 제1접촉부재(26a) 또는 제2접촉부재(35a)와, 도 7 및 도 8에 도시된 제1접촉부재(26b) 또는 제2접촉부재(35b)를 혼용할 수도 있다. 예를 들어, 박막이 형성된 표면을 지지하는 경우에는 제1접촉부재(26b) 또는 제2접촉부재(35b)를 사용하고, 박막이 형성되지 않은 표면에는 제1접촉부재(26a) 또는 제2접촉부재(35b)를 사용하는 식이다.

제1본체(20) 및 제2본체(30)는 각각 빛이 투과하지 않는 불투명한 소재, 예를 들어 불투명한 폴리염화비닐(PVC) 등과 같은 불투명한 합성수지로 형성되는 것이 바람직하다. 왜냐하면, 불투명한 재료로 형성되면, 마스크 컨테이너(100)에 수납된 마스크(10)의 포토레지스트가 외부의 빛에 의해 노광 되는 현상을 방지할 수 있기 때문이다. 제1본체(20) 및 제2본체(30)는 각각 정전기 방지 처리가 되어 있어, 마스크 컨테이너(100)에 수납된 마스크(10)에 정전기가 발생되어 파손되는 현상을 방지할 수 있다. 정전기 방지 처리는 정전기 방지약품을 제1본체 및 제2본체의 내측면 및 외측면에 스프레이 방식으로 뿌린 후 건조함으로써 이루어진다.

한편, 제1본체(20) 및 제2본체(30)의 외측면에는 각각 한 쌍의 바퀴(27,36)가 설치되어 있어, 마스크 컨테이너(100)의 운송을 용이하게 할 수 있다.

제1본체(20)와 제2본체(30) 사이에는, 고무 등으로 이루어진 실링부재(37)가 설치되어 있다. 실링부재(37)는 제1본체(20)와 제2본체(30)가 결합되어 마스크(10)가 수용되는 내부 공간을 밀폐시켜, 외부의 이물질이 마스크 컨테이너(100)로 유입되어 마스크 컨테이너(100)에 수납된 마스크(10)를 오염시키는 것을 방지할 수 있다.

도 9와 도 10은 도 4 또는 도 7에서 Ⅰ-Ⅰ선의 단면도로서, 고정수단(51, 52, 511)의 단면도이다. 도 9와 도 10을 참조하면, 고정수단(51, 52, 511)은, 포토 마스크(10)의 운반 및 보관 과정에서 마스크(10)가 움직이지 않도록 마스크(10)를 제1수용부(231) 및 제2수용부(232) 내에 고정시킨다. 고정수단은 가압부재(51)와, 결합부재(52)를 포함한다.

가압부재(51)는 마스크(10)의 측면 네 방향에 각각 구비되는 것이 바람직하며, 각 가압부재(51)는 제1본체(20)에 결합되어 있다. 각 가압부재(51)는 마스크(10)와 동일 평면 상에 배치되어 있다. 각 가압부재(51)는 도 9에 도시된 이격위치와, 도 10에 도시된 가압위치 사이에서 왕복이동 가능하도록 설치된다. 이격위치에서는, 가압부재(51)가 제1본체의 제1수용부(231)들에 수용된 마스크(10)의 측면과 이격되게 배치된다. 가압위치에서는, 가압부재(51)가 마스크(10)의 측면과 접촉하여 마스크(10)를 가압하게 되므로, 제1수용부(231)들에 수용된 마스크(10)의 운반 또는 보관시 마스크(10)가 움직이는 것을 방지할 수 있게 된다. 특히, 본 실시예에 있어서 가압부재(51)들은 마스크(10)의 측면 모두를 가압하도록 서로 마주하도록 설치되어 있다. 가압부재(51)에는 가압부재(51)의 이동방향으로 길게 관통 형성된 가이드부(511)가 복수 마련되어 있다.

결합부재(52)는 가압부재(51)를 제1본체의 지지부(24)에 착탈 가능하게 결합시킨다. 결합부재(52)는 가압부재의 가이드부(511)를 관통하여 지지부(24)에 나사결합된다. 결합부재(52)의 머리부(521)와 가압부재(51) 사이에는 워셔(53)가 설치되어 있다. 결합부재(52)를 조이면, 워셔(53)가 가압부재(51)를 그 조임방향으로 가압하게 되어 가압부재(51)의 위치가 고정된다. 그리고, 결합부재(52)를 풀면, 워셔(53)가 가압부재(51)를 가압하지 못하게 되어 가압부재(51)를 가이드부(511)의 길이방향으로 이동시킬 수 있게 된다.

도 11 내지 도 13은 도 3에 도시된 결합수단(41, 42)을 개략적으로 나타낸 사시도이다. 도 11을 참조하면, 결합수단(41, 42)은 제1본체(20)와 제2본체(30)를 마스크의 두께방향(T)으로 착탈 가능하게 결합시킨다. 결합수단(41, 42)은 제1본체(20)의 측벽부(22) 외측면에 결합된 복수의 걸림부재(41)와, 제2본체의 측벽부(32) 외측면에 형성된 복수의 걸림턱부재(42)를 구비한다. 걸림부재(41)와 걸림턱부재(42)는 일대일로 대응되도록 구비되어 있다.

걸림부재(41)는 제1본체(20)의 측벽부(22) 외측면에 고정된 고정부(411)와, 고정부(411)에 대해 핀(412)을 중심으로 회전 가능하게 결합된 착탈부(413)와, 착탈부(413)에 대해 핀(412)을 중심으로 회전 가능하게 결합된 걸이부(414)를 구비한다.

제1본체(20)와 제2본체(30)를 결합하기 위해서, 먼저 도 12에 도시된 바와 같이 제1본체의 측벽부(22)와 제2본체의 측벽부(32)가 서로 접촉하도록 배치한 후에, 도 10에 도시되어 있는 바와 같이 걸림부재의 걸이부(414)를 회전시켜 걸림턱부재(42)에 걸고, 그 후에 착탈부(413)를 눌러서 걸이부(414)의 회전방향과 반대방향으로 회전시키면 도 13에 도시되어 있는 바와 같이 걸이부(414)가 걸림턱부재(42)에 걸려서 빠지지 않게 된다. 따라서, 제1본체(20)와 제2본체(30)가 결합된다. 한편, 제1본체(20)와 제2본체(30)를 분리하기 위해서는, 결합과정의 역으로 수행하면 된다. 결합수단(41, 42)은 모든 방향에 설치하는 것이 바람직하고, 필요에 따라 적절한 갯수로 형성할 수 있다.

이하, 상술한 마스크 컨테이너(100)에 있어서 대형 마스크(10)를 로딩하는 과정의 일례를 설명하기로 한다.

먼저 결합부재(52)들을 풀어서 각 가압부재(51)가 이격위치에 위치하도록 설정한 후에, 제1본체(20)의 내부가 보이도록 제1본체를 작업장의 바닥면에 배치한다. 그 후에, 마스크(10)를 제1본체(20)의 상방에 제1본체의 평판부(21)와 평행하도록 배치한 상태에서 마스크(10)의 두께방향(T)으로, 즉 하방으로 내리면, 그 하강 과정에서 마스크(10)의 제1표면(11)의 가장자리 일부분(도 6의 제1접촉부재(26a)인 경우) 또는 제1표면과 외주단면이 이루는 모서리(도 8의 제1접촉부재(26b)인 경우)가 각각 제1접촉부재(26)의 외주면에 접촉하게 된다. 이와 같이 마스크(10)가 제1접촉부재(26)에 지지됨으로써, 마스크(10)의 네 귀퉁이가 제1수용부(231)들에 수용되게 된다. 이 상태에서, 각 가압부재(51)를 이격위치로 이동시킨 후 각 결합부재(52)를 조이면 워셔(53)가 가압부재(51)를 누르게 되어 각 가압부재(51)의 위치가 고정된다. 따라서, 각 가압부재(51)가 마스크(10)의 측면을 계속적으로 가압하게 되어 마스크(10)의 위치가 고정된다.

이와 같이 마스크(10)를 제1본체(20)에 위치 고정시킨 후, 제2본체(30)의 내부가 마스크(10)의 제2표면(12)과 마주하도록 배치한 상태에서 제2본체의 측벽부(32)들과 제1본체의 측벽부(22)들이 서로 접촉하도록 설치한다. 그 후, 각 걸림턱부재(42)에 각 걸림부재(41)를 결합함으로써 제1본체(20)와 제2본체(30)를 상호 결합시키면, 마스크 컨테이너(100) 내부에 마스크(10)가 수납된다.

한편, 마스크 컨테이너(100)에 수납된 마스크(10)를 언로딩하기 위해서는, 상술한 로딩과정을 역으로 수행하면 된다. 즉, 각 걸림턱부재(42)와 각 걸림부 재(41)의 결합을 해제한 후 제2본체(30)를 들어올리고, 각 결합부재(52)를 풀어서 각 가압부재(51)를 이격위치에 위치시킨 후에, 마스크(10)를 제1수용부(231)들에서 꺼내면 마스크(10)를 마스크 컨테이너로(100)부터 분리할 수 있게 된다.

상술한 바와 같이 본 실시예에 있어서는, 종래와 달리 제1본체(20) 및 제2본체(30)가 그 내부에 수납되는 마스크(10)의 두께방향(T)으로 상호 착탈 가능하게 결합되어 있으며, 마스크(10)를 마스크(10)의 두께방향(T)으로 로딩 및 언로딩하도록 구성되어 있어서, 대형 마스크(10)의 로딩 및 언로딩 작업이 용이하게 이루어질 수 있게 되며 나아가 로딩 및 언로딩 작업의 신뢰성이 향상된다. 즉, 대형 마스크(10)를 용이하게 핸들링할 수 있게 됨으로써 마스크(10)의 네 귀퉁이를 제1수용부(231)들에 각각 쉽게 수용시킬 수 있게 된다.

또한, 마스크(10)가 복수의 가압부재(51)에 의해 가압된 상태로 수납되어, 마스크 컨테이너(100)의 운송 과정에도 마스크(10)가 움직이지 않게 되므로, 종래와 달리 마스크(10)에 존재하는 포토레지스트가 박리되는 현상 및 박리 현상에 의한 마스크(10)의 오염 현상을 방지할 수 있게 된다.

그리고, 마스크(10)의 모서리가 제1접촉부재(26b) 및 제2접촉부재(35b)의 외주면에 접촉하게 되므로, 마스크(10)의 접촉 부분을 최소화할 수 있게 되어 마스크(10)에 형성된 박막의 손상을 최소화할 수 있게 된다. 또한, 마스크(10)의 운반시 발생되는 외부의 충격이 연질의 테프론 등으로 형성된 제1접촉부재 및 제2접촉부재에 의해 흡수되므로, 외부의 충격이 마스크(10)로 전달되어 마스크(10)가 파손되는 현상을 방지할 수 있게 된다.

이상, 본 발명을 바람직한 실시예를 들어 상세하게 설명하였으나, 본 발명은 상기 실시 예들에 한정되지 않으며, 본 발명의 기술적 사상 내에서 당 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의하여 여러 가지 많은 변형이 가능함은 명백하다.

도 1은 종래의 일례에 따른 마스크 컨테이너의 개략적인 분리 사시도이다.

도 2는 도 1에 도시된 마스크 컨테이너의 본체에 마스크가 삽입된 상태를 개략적으로 나타낸 평면도이다.

도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 컨테이너의 정면도이다.

도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 컨테이너의 제1본체의 내부 구조를 개략적으로 도시한 평면도이다.

도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 컨테이너의 제2본체의 내부 구조를 개략적으로 도시한 평면도이다.

도 6은 도 5의 Ⅱ-Ⅱ선 단면도이다.

도 7은 본 발명의 다른 일 실시예에 따른 마스크 컨테이너의 제1본체의 내부 구조를 개략적으로 도시한 평면도이다.

도 8은 도 7의 Ⅲ-Ⅲ선 단면도이다.

도 9 및 도 10은 도 4 또는 도 7의 Ⅰ-Ⅰ선 단면도로서, 가압부재가 이격위치와 가압위치에 각각 위치한 상태를 개략적으로 도시한 것이다.

도 11 내지 도 13은 도 3에 도시된 결합수단을 개략적으로 나타낸 사시도이다.

<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>

10...마스크 11...제1표면

12...제2표면 20...제1본체

21,31...평판부 22,32...측벽부

23,33...기둥부 24...지지부

25,34...프레임 26a, 26b...제1접촉부재

27,36...바퀴 30...제2본체

35a, 35b...제2접촉부재 37...실링부재

41...걸림부재 42...걸림턱부재

51...가압부재 52...결합부재

53...워셔 100...마스크 컨테이너

231...제1수용부 231a,331a...그루부

331...제2수용부 411...고정부

412...핀 413...착탈부

414...걸이부 511...가이드부

512...머리부

Claims (7)

1. 사각의 판 형상으로 이루어지며 그 두께방향과 수직하게 형성된 제1표면(11) 및 제2표면(12)을 가지는 마스크(10)가 수납되는 마스크 컨테이너에 있어서,

   상기 마스크(10)의 제1표면(11) 중 가장자리 일부분이 각각 수용되는 복수의 제1수용부(231)를 가지는 제1본체(20);

   상기 제1본체(20)와 마주하도록 배치되며, 상기 마스크(10)의 제2표면(12) 중 가장자리 일부분이 각각 수용되는 복수의 제2수용부(331)를 가지는 제2본체(30);

   상기 제1본체(20)와 제2본체(30)를 상기 제1수용부(231) 및 제2수용부(331)에 수용된 마스크(10)의 두께방향으로 착탈 가능하게 결합시키는 결합수단(41, 42); 및

   상기 마스크(10)를 상기 제1수용부(231) 및 제2수용부(331) 내에 고정시키는 고정수단(51, 52, 511)을 구비하고,

   상기 제1본체(20) 및 제2본체(30)의 평판부(21)는 하나의 수지판을 사용하거나 또는 복수의 수지판으로 구성되며,

   상기 복수의 수지판은 이물질 또는 파티클(particle)에 의한 오염발생을 방지할 수 있도록 수지판의 접합면을 서로 접합(bonding)하여 구성되며,

   상기 각 제1수용부(231)의 내측면에는, 상기 마스크(10)를 지지하는 제1접촉부재(26a, 26b)가 결합되어 있으며,

   상기 각 제2수용부(331)의 내측면에는, 상기 마스크(10)를 지지하는 제2접촉부재(35a, 35b)가 결합되어 있는 것을 특징으로 하는 마스크 컨테이너.
2. 제 1항에 있어서,

   상기 제1본체(20)와 제2본체(30)의 내부면에 상기 제1본체(20)와 제2본체(30)의 강성을 향상시키기 위한 프레임(25, 34)이 격자 형태로 형성되는 것을 특징으로 하는 마스크 컨테이너.
3. 제 1항에 있어서,

   상기 제1접촉부재(26a, 26b)는 상기 마스크(10)의 제1표면(11) 중 가장자리 일부분과 그 외주면이 접촉하는 튜브 형상의 부재 또는 상기 마스크(10)의 제1표면(11)과 외주단면이 이루는 모서리의 접선과 평행하도록 경사진 형상의 부재인 것을 특징으로 하는 마스크 컨테이너.
4. 제 1항에 있어서,

   상기 제2접촉부재(35a, 35b)는 상기 마스크(10)의 제2표면(12) 중 가장자리 일부분과 그 외주면이 접촉하는 튜브 형상의 부재 또는 상기 마스크(10)의 제2표면(12)과 외주단면이 이루는 모서리의 접선과 평행하도록 경사진 형상의 부재인 것을 특징으로 하는 마스크 컨테이너.
5. 제 1항에 있어서,

   상기 제1접촉부재(26a, 26b) 및 제2접촉부재(35a, 35b)는 테프론 또는 수지 계열의 재료를 포함하는 소재로 이루어진 것을 특징으로 하는 마스크 컨테이너.
6. 제 1항에 있어서,

   상기 고정수단(51, 52, 511)은, 상기 마스크(10)의 측면과 이격되게 배치되는 이격 위치와, 상기 마스크(10)의 측면과 접촉하여 상기 마스크(10)를 가압하는 가압위치 사이에서 왕복 이동 가능하도록 상기 제1본체(20)에 설치되는 복수의 가압부재(51)를 구비하고 있으며, 상기 각 가압부재(51)에는 상기 각 가압부재(51)의 이동방향으로 길게 관통 형성된 가이드부(511)가 마련되어 있으며, 상기 각 가압부재(51)는 상기 가이드부(511)를 관통하여 상기 제1본체(20)에 나사결합되는 결합부재(52)에 의해 상기 제1본체(20)에 착탈 가능하게 결합되어 있는 것을 특징으로 하는 마스크 컨테이너.
7. 제 1항에 있어서,

   상기 제1본체(20)와 제2본체(30)는 정전기 방지 처리가 된 불투명한 수지 계열의 재료로 형성되는 것을 특징으로 하는 마스크 컨테이너.

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