KR101491585B1 - 금속 유리와 결정 금속의 고에너지 빔에 의한 용접 방법 - Google Patents

금속 유리와 결정 금속의 고에너지 빔에 의한 용접 방법 Download PDF

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고꾸리쯔다이가꾸호오진 구마모또 다이가꾸
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Abstract

[과제] 금속 유리와 결정 금속의 맞대기면으로부터 금속 유리쪽으로 고에너지빔 주사 영역을 시프트하는 용접에 의해 접합할 때, 용접 계면에 형성되는 용융부의 조성을 보다 간편하고 확실하게 금속 유리 기재의 유리상 형성을 위해서 필요한 조성 범위로 하기 위한 용접 방법의 제공.
[해결수단] 결정 금속(2)쪽 홈의 상단부에 홈 공간(Y)를 형성하고, 금속 유리(1)와 결정 금속(2)을 맞대고 맞닿음면으로부터 금속 유리(1)쪽으로 시프트하고, 전자 빔 용접을 행하고, 결정 금속쪽 상단부의 홈 공간(Y)을 포함한 넓은 영역의 상단 용융부(41)로부터 아래쪽을 향해 좁아지고 하면에 도달하는 아래쪽 용융부(42)로 이루어지며, 비정질의 금속 유리가 되는 조성을 가진 용융부(4)를 형성한다.

Description

금속 유리와 결정 금속의 고에너지 빔에 의한 용접 방법{Method of welding metallic glass with crystalline metal by high-energy beam}
본 발명은 전자 빔 혹은 레이저 빔과 같은 고에너지 빔 주사에 의한 아몰퍼스 금속 및 결정상과 아몰퍼스상의 복합 금속(이하, 금속 유리라고 칭한다.)과 통상의 결정 구조를 가진 금속(이하, 결정 금속이라고 칭한다.)과의 접합 방법에 관한 것이다.
금속 유리는 강도와 경도, 내마모성, 내식성 등이 우수한 특성이 있어 많은 분야의 이용이 기대되고 있다.
그런데 금속 유리는 이와 같이 우수한 특성이 있지만 가공 및 용접이 어렵다는 결점이 있다. 그 응용 분야를 넓히기 위해서는 금속 유리간의 용접 접합 기술도 중요하지만, 실제 기기 부품 등을 작성하기 위해서는 금속 유리와 실용 금속 재료의 접합 기술이 필요하다. 그를 위한 접합 수단으로서 폭착(爆着)법, 마찰 압접법 또는 용접법을 적용한 예가 보고되어 있다.
그러나 접합 수단으로서 접합부를 용융시키는 용접법을 적용한 경우에는, 맞대기면에 형성된 용융부에서 금속 유리와 결정 금속이 용합(溶合)됨으로써 유리 형성 능력이 저하되기 때문에 취성이 있는 금속간 화합물이 형성되어 충분한 용접 강도를 가진 접합체를 얻을 수 없게 된다.
그래서, 비특허문헌 1에는, 용접을 위한 가열원으로서, 예리한 용입(溶入) 형상을 형성할 수 있어 국부적인 급속 가열과 급속 냉각에 적합한 전자 빔 혹은 레이저 빔 등 고에너지 빔을 사용하는 용접이, 용접부에서의 양 접합부재의 용합을 줄임과 동시에 급속 가열·급속 냉각이 달성되기 때문에 금속 유리와 결정 금속의 맞대기면에 고에너지 빔을 주사하는 용접법을 적용한 예가 보고되어 있다.
그리고 그 보고에는, 금속 유리와 결정 금속간의 용접의 좋고 나쁨은, 그 계면에 형성되는 용융부의 결정화 TTT곡선이 고에너지 빔 용접시의 냉각 곡선보다도 장시간쪽이 되는 조성 범위 내에 있는지 여부와 관련된다는 것도 개시되어 있다.
또 본원의 발명자는 먼저, 특허문헌 1에서 용접시에 맞대기면에 형성되는 용융부의 조성을 금속 유리의 형성 능력을 가진 성분 조성으로 하기 위해, 금속 유리와 결정 금속의 맞대기면으로부터 금속 유리쪽으로 시프트시켜 고에너지 빔을 주사하는 용접 방법을 개시하였다.
이것은 고에너지 빔을 금속 유리와 결정 금속의 맞대기면으로부터 금속 유리쪽으로 시프트하여 용융부에의 금속 유리의 용해량을 결정 금속의 용해량보다도 많게 함으로써 용융부의 성분 조성을 유리 형성 능력을 가진 조성비의 범위내에 들어가도록 하는 것이다.
특허문헌1:일본공개특허제2006-88201호공보
비특허문헌 1: Materials Transactions, Vol.42.No.12(2001), p.2649-2651
그런데 금속 유리와 결정 금속의 용접시에 고에너지 빔의 주사 영역을 금속 유리와 결정 금속의 맞대기면으로부터 금속 유리쪽으로 시프트한다고 해도, 용융부에 결정 금속 성분을 포함하지 않도록 하고 게다가 금속 유리의 용해량을 줄여 효율적으로 양질의 접합 상태를 얻기 위한 최적의 시프트량을 결정하는 것은, 금속 유리와 결정 금속의 재질과 크기 혹은 용접 조건에 따라서도 다르기 때문에 어렵다.
또 빔의 주사 영역을 금속 유리쪽으로 시프트시키더라도, 용융부의 유리 형성 능력의 유지와 결정 금속의 건전한 접합 모두를 동시에 달성하기 위해서는, 금속 유리와 결정 금속의 재질과 크기 혹은 용접 조건이 한정된다는 문제가 있다.
본 발명에서 해결하려는 과제는, 금속 유리와 결정 금속의 맞대기면으로부터 금속 유리쪽으로 고에너지 빔 주사 영역을 시프트하는 용접법에 의해 금속 유리와 결정 금속을 접합할 때, 용접 계면에 형성되는 용융부의 유리 형성 능력을 저하시키지 않고 강고한 접합 강도를 얻기 위한 간편한 용접 방법을 제공하는 것이다.
본 발명은 고에너지 빔의 주사선을 금속 유리와 결정 금속의 맞대기면으로부터 금속 유리쪽으로 시프트하는 금속 유리와 결정 금속의 용접법에 있어서, 맞대기면의 결정 금속쪽 상단에만 홈(groove) 공간을 형성함으로써 상기 과제를 달성하였다.
본 발명의 전제가 되는 주사 빔의 금속 유리쪽으로의 시프트량은, 상기 특허문헌 1에 개시한 요령으로 용융부 결정화의 TTT곡선의 노즈 시간이 2.0초 이상이 되는 유리 형성 능력을 가지는 조성의 범위내가 되도록, 맞대기면으로부터 금속 유리쪽으로 편향된 위치이다.
본 발명에 있어서, 맞대기면의 결정 금속쪽 상단부에 형성하는 홈 공간은 조사 빔의 주사시 결정 금속의 용융 등온선의 형상을 따라서 형성된다.
본 발명에 기초하여 맞대기면의 결정 금속쪽 상단부에만 홈 공간을 형성하고, 고에너지 빔을 금속 유리와 결정 금속의 맞대기면으로부터 금속 유리쪽으로 시프트한 위치에서 주사함으로써, 용융부가 금속 유리가 되고, 결정 금속쪽으로부터 용융부에의 용입량이 매우 적어 용융부의 조성은 높은 유리 형성 능력 조성 범위에서 벗어나지 않는다.
또 맞대기면의 결정 금속쪽 상단부에만 홈 공간을 형성함과 동시에, 또는 단독으로, 금속 유리와 결정 금속의 맞대기재를 기울어지게 함으로써도 용융부의 조성을 높은 유리 형성 능력 조성 범위로 제어할 수 있다. 통상의 고에너지 빔에 의한 용접인 경우, 용융부보다도 열영향부쪽이 결정화되기 쉽고, 또 피접합재의 판두께가 두꺼워질수록 냉각 속도가 늦어져 쉽게 결정화된다.
본 발명을 적용할 수 있는 금속 유리로서는,
(1) 전제로서, 고에너지 빔 용접시에 열영향부의 결정화가 발생하지 않는 유리 형성 능력을 가진 것일 필요가 있다. 즉, 용접시의 가열·냉각 곡선에 교차되지 않는 고체 가열시의 결정화 TTT곡선을 가진 유리 형성 능력을 가질 필요가 있다. 용접시의 가열·냉각 속도는 피접합재의 판두께가 두꺼워질수록 느려지는데, 예를 들면 판두께 2㎜인 경우에는 고체 가열시의 결정화 TTT곡선의 노즈 시간이 0.2초 이상(이것은 액체 냉각시의 결정화 TTT곡선의 노즈 시간이 5초 이상에 상당한다)이면 용융부뿐만 아니라 열영향부도 결정화시키지 않고 용접할 수 있다.
(2) 또, 용융부(본래의 금속 유리에 결정 금속의 성분이 섞인 것)의 유리 형성 능력으로서, 액체 냉각시의 결정화 TTT곡선의 노즈 시간이 0.2초 이상이면 이 용접은 용이해진다. 즉, 용융부의 액체 냉각시 결정화 TTT곡선이 용접시의 냉각 곡선보다도 장시간쪽이 되는 것이 바람직하다. 용접시의 냉각 속도는 피접합재의 판두께가 두꺼워질수록 느려지는데, 예를 들면 판두께 2㎜인 경우에는 액체 냉각시의 결정화 TTT곡선의 노즈 시간이 0.2초 이상인 유리 형성 능력을 가진 것이라면 이 용접은 용이해진다.
또 상기 용융부에 결정 금속이 녹아서 떨어지는 것을 방지하는 수단으로서, 상기 결정 금속 옆의 상단부에 홈 공간을 형성하는 대신에 금속 유리(1)와 결정 금속(2)의 맞닿음 상태에서, 금속 유리(1)쪽을 5°정도 또는 그 이상 경사지게 하여 높게 하는 용접시의 경사 수단을 채용함으로써 용접시의 경사에 의해, 맞닿음면(3)에서의 결정 금속의 용입을 줄일 수도 있다.
본 발명에 의해, 충분한 접합 강도를 가진 금속 유리와 결정 금속의 접합체를 얻을 수 있고, 또 용접 조건 범위의 확대, 피용접재의 대형화, 적용 금속 유리의 확대, 적용 결정 금속의 확대를 꾀할 수 있다.
도 1은 본 발명에 의한 용접 방법의 개요를 도시한다.
도 2는 본 발명에 의한 용접 방법에서 홈 공간에 금속 유리가 용융되어 충전된 상태를 도시한다.
도 3은 빔 조사의 체계화를 도시한 도면이다.
도 4는 본 발명에 의한 용접 부분의 용접 금속의 조성에 변화가 없는 것을 도시한 도면이다.
도 5는 종래법에 의한 용접 부분의 용접 금속의 조성에 변화가 있는 것을 도시한 도면이다.
도 6은 본 발명에 의한 금속 유리와 스테인레스강의 접합체의 미소 영역 X선 회절 시험 결과를 도시한 도면이다.
도 7은 종래법에 의한 금속 유리와 스테인레스강의 접합체의 미소 영역의 X선 회절 시험 결과를 도시한 도면이다.
도 8은 Zr기 금속 유리에 각종 결정 금속이 용해된 경우의 용융부의 유리 형성 능력의 변화를 도시한 개념도이다.
도 9는 Zr기 금속 유리에 각종 결정 금속이 어느 일정량을 용해된 경우의 용접의 어려움과 판두께의 관계 및 각 용접 방법으로 양호한 용접이 가능한 범위를 도시한 개념도이다.
본 발명에 있어서, 홈 공간의 형상은, 유리 형성 능력이 낮은 금속 유리를 사용한 접합을 함으로써, 그 단면의 조직 관찰(단면의 식각 사진)로부터 금속 유리의 용융 등온선을 구하고, 이것을 토대로 금속 유리와 결정 재료의 융점, 비열, 열전도율 등의 열물성으로부터 결정 재료의 융점의 등온선을 계산으로 구하고, 이것을 토대로 융점 이상이 되는 부분이 포함되지 않도록 결정 재료의 홈 공간의 형상을 단순 형상이 되도록 가공하여 얻는다.
또 금속 유리와 어느 결정 금속을, 맞닿음면으로부터 금속 유리쪽으로 특정량(예를 들면, 0.2㎜) 시프트하여 용접하고, 결정 금속쪽이 녹아 떨어진 형상이 나타나 있는 단면을 관찰하고, 그 단면 형상으로부터 결정 금속쪽 상단부의 홈 공간 형상을 결정할 수 있다. 또 이것을 공업적으로 간단해지도록 단순화하여 직선에 가깝게 할 수도 있다.
<실시예>
도 1은, 본 발명의 용접법을 도시한다. 도 1에서 금속 유리(1)로서 Zr기 금속 유리를, 또 결정 금속(2)으로서 Zr,Ti,Ni,SUS316L을 사용하였다. 금속 유리(1)와 결정 금속(2)을 맞댈 때에는 결정 금속(2)쪽 홈의 상부에, 깊이가 0.5㎜, 폭이 0.5㎜인 직선 형태로 커팅된 홈 공간(Y)을 형성하였다. 용접 조건으로서, 가속 전압은 60kV 일정으로 하고, 전류와 속도를 변화시키고, 맞닿음면으로부터 결정 금속(2)쪽으로 시프트하여 용접을 행하였다.
도 2는, 이 결정 금속쪽에 형성한 홈 공간에 의해 형성되는 공간에의 금속 유리(1)의 용해 충전 상태를 도시한다. 도 2에 도시한 것처럼, 맞닿음면에는, 상단부의 홈 공간을 포함한 넓은 영역의 상단 용융부(41)로부터 아래쪽을 향해 좁아지고 하면에 도달하는 아래쪽 용융부(42)로 이루어진 용융부(4)를 형성하고, 접합 부위의 표면에는 오목부가 형성되었다. 이 표면 오목부의 형성을 줄이기 위해서는, 접합부에 보충용 금속 유리를 배치하고 빔 조사에 의해 융해하여 홈 공간에 보충하거나, 혹은 빔 조사 위치에 분말형 혹은 선형의 금속 유리를 공급하는 등의 수단을 강구할 수도 있다. 또 필요에 따라 예열을 강구해도 된다.
표 1은, 종래법과 본 발명의 접합 상태의 좋고 나쁨의 판정 결과를 나타낸다. 표1에 나타내는 조사 타입 가,나,다는 도 3에 도시한 것으로서, "가"는 금속 유리(1)와 결정 금속(2)의 맞닿음면에 고에너지 빔(X)을 조사하는 경우를, "나"는 고에너지 빔(X)의 조사 위치를 맞닿음면으로부터 금속 유리쪽으로 시프트하는 경우를, 또 "다"는 본 발명에 기초하여 고에너지 빔(X)의 조사 위치를 맞닿음면으로부터 금속 유리쪽으로 시프트함과 동시에 결정 금속쪽만의 상단부에 홈 공간을 형성한 경우를 나타낸다.
조사 타입 Zr Ti Ni SUS316L
× × ×
×
표 1에서 접합 상태를 ◎,○,△,×로 나타낸다. ◎는 접합 부위가 접합된 금속 유리와 완전히 동일한 아몰퍼스 조직을 가지고 접합 효율 100% 이상이고 구부림(bending) 시험에서 파단되지 않는 것이었다. ○는 접합 효율이 100% 이상이고, 구부림 시험에서 파단되고, 용접 금속이 금속 유리와 동일한 아몰퍼스 조직을 가진 것이다. △는 접합 효율 50% 이상 100% 미만이고, ×는 접합 효율 50% 미만이며, 금속 화합물이 존재하며, 접합된 금속 유리와는 이질(異質)의 조직을 가진 것이었다.
표 1로부터 알 수 있듯이, 결정 금속이 Zr인 경우에는 고에너지 빔의 조사가 어떠한 경우이든 완전한 접합 상태를 보이고, Ti인 경우에는 고에너지 빔의 조사 위치가 금속 유리쪽으로 시프트되어 있으면 결정 금속쪽에 홈 공간을 마련하는지 여부에 상관 없이 금속 유리와 동질의 조직을 형성하였다. 그러나 Ni과 SUS인 경우에는 본 발명의 용접법하에서 금속 유리와 동질의 조직 형성이 가능해졌다.
도 4 및 도 5는, 금속 유리와 결정 금속인 스테인레스강과의 용접부 부근의 용접 금속의 조성 변화를 측정한 결과를 나타낸다. 도 4에 도시한 빔 조사 위치의 시프트와 함께 홈 공간을 마련한 본 발명의 실시예의 경우, 그 조성은 상단 용융부로부터 아래쪽 용융부에 걸쳐 금속 유리(1)의 조성을 가지고, 금속 유리(1)와 균질이며, 결정 금속(2)은 혼합되어 있지 않아 비정질 금속 유리가 될 수 있는 조성을 가진 것이었다. 또 도 5에 도시한 빔 조사 위치의 시프트만을 행한 비교예의 경우에는, 상단 용융부는 결정 금속이 혼입된 조성이며, 용접 금속내에서 취성을 나타내는 결정화 영역이 관찰되었다.
도 6 및 도 7은, 금속 유리와 스테인레스강의 접합체의 각 부분의 결정화 유무를 미소 영역 X선 회절법에 의해 조사한 결과를 도시한다. 이들 도면은, 상부의 접합체의 상태를 나타내는 도면의 p는 스테인레스강을, q는 상단 용융부를, r은 아래쪽 용융부를, 또 s는 금속 유리를 나타내는 것으로서, 아래쪽 미소 영역 X선 회절 시험의 결과는 이것에 대응하는 것이다. 도 6에 도시한 빔 조사 위치의 시프트와 함께 홈 공간을 마련한 본 발명의 실시예의 경우, 그 용접 금속은 상단 용융부로부터 아래쪽 용융부에 걸쳐 금속 유리(1)의 조성을 가지며, 금속 유리(1)과 균질이고, 결정화는 발생하지 않고 비정질의 금속 유리였다. 한편, 도 7에 도시한 빔 조사 위치의 시프트만을 행한 비교예의 경우에는, 상단 용융부는 결정 금속이 혼입된 것이며, 용접 금속내에서 취성을 나타내는 결정화 영역이 관찰되었다.
(실시예로 본 본 발명에 의한 효과의 종합 평가)
표 2는, 상기 각각의 실시예에서의 종합 평가를 나타낸다.
Figure 112010010454650-pct00001
A 주사 위치를 접근시킨다
B 입열(入熱)을 저하시킬 수 있다
C 대형화
D 적용 금속 유리의 확대
E 적용 결정 재료의 확대
× 접합 효율 50% 미만
△ 접합 효율 50% 이상 100% 미만
○ 접합 효율 100% 이상
◎ 접합 효율 100% 이상이고, 구부림 시험에서 파단되지 않는다
*접합 효율이란 피접합재의 내력(耐力)이며 낮은 쪽 내력에 대한 접합재 내력의 비율
a Zr41Be23Ti14Cu12Ni10(at.%)
b Zr52Cu18Ni15Al10Ti5(at.%)
표 2에 의해, 본 발명에 의해 충분한 접합 강도를 가진 금속 유리와 결정 금속의 접합체를 얻을 수 있고, 또 용접 조건 범위의 확대, 피용접재의 대형화, 적용 금속 유리의 확대, 적용 결정 금속의 확대 효과를 나타낼 수 있다.
도 8은, Zr기 금속 유리에 각종 결정 금속이 용해된 경우의 용융부의 유리 형성 능력 변화에 대한 결정 금속 성분의 영향 정도를 도시한 것으로서, Ni, SUS는 Zr, Ti보다 융점이 낮기 때문에 용입되기 쉽고, 특히 SUS는 이번에 사용한 금속 유리의 구성 성분과 다르기 때문에, 용접 금속중에 약간 용입되는 것만으로도 유리 형성 능력을 크게 손상시킨다는 것을 나타내고 있다.
도 9는, Zr기 금속 유리에 각종 결정 금속이 어느 일정량 용해된 경우의 용접의 어려움과 판두께의 관계 및 각 용접 방법에서 양호한 용접이 가능한 범위를 도시한 개념도로서, 고에너지 빔의 적용에 의해서도, 종래 용접이 불가능했던 SUS에서도 본 발명을 적용함으로써 용접이 가능하게 되었다.
이상의 실시예에 의해 기타 이하의 효과가 명백하게 나타났다.
·상단부에 홈 공간을 확보함으로써 결정 금속이 용접 금속내로 녹아나오는 것이 억제된다. 따라서 Ni, SUS의 예에 나타난 것처럼 용접 금속의 조성을, 유리 형성 능력을 손상시키지 않는 조성 범위내로 제어할 수 있고, 빔 주사 위치를 계면측에 접근시키더라도 충분한 접합 강도를 가진 접합체를 얻을 수 있다. 빔 주사 위치를 이격시키지 않으면 접합할 수 없었던 조합이더라도, 홈 공간을 확보함으로써, 홈 공간을 확보하지 않은 경우에 접합할 수 없었던 빔 주사 위치에서 용접을 행하여 접합 강도가 향상되었다.
·상단부에 홈 공간을 확보함으로써, 결정 금속을 용융시키는 만큼의 에너지를 금속 유리의 용융에 사용할 수 있기 때문에, 보다 적은 입열로 금속 유리만을 용해시켜 충분한 접합 강도를 가진 접합체를 얻을 수 있게 된다(예를 들면 Ti). 상단부에 홈 공간을 확보함으로써 보다 낮은 입열로도 같은 접합 강도를 얻을 수 있었다.
·판두께가 큰 부재를 용접할 때, 관통 용접을 하기 위해 용접 입열을 올려야 한다. 그 결과 용융폭이 넓어진다. 홈 공간을 확보하지 않는 경우 결정 금속쪽이 크게 용해되어 용접 금속의 조성이 크게 변화되는데, 결정 금속쪽에 상단부의 홈 공간을 확보함으로써 결정 금속의 용해를 억제할 수 있고 용접 금속의 조성을 유리 형성 능력을 손상시키지 않는 조성으로 유지할 수 있어, 충분한 접합 강도를 가진 접합체를 얻을 수 있게 된다(예를 들면 Ti). t=2㎜인 경우, 홈 공간을 확보하지 않아도 충분한 접합 강도를 얻을 수 있었으나, t=3㎜로 했을 때에는 충분한 강도를 얻을 수 없었다. 그러나 t=3㎜인 경우에도 홈 공간을 확보함으로써 우수한 접합 강도를 가진 접합체를 얻을 수 있었다.
·유리 형성 능력이 떨어지는 금속 유리의 용접시에도, 결정 금속쪽의 상단부에 홈 공간을 확보함으로써, 결정 금속의 용해가 억제되어 용접이 가능해져 충분한 강도를 가진 접합체를 얻을 수 있다(예를 들면, 금속 유리b)
·금속 유리의 성분인 Zr, Ti는 어느 정도 용접 금속내에 용해되어도 유리 형성 능력을 손상시키지는 않지만, 금속 유리에 포함되지 않은 성분이 결정 금속쪽으로부터 용접 금속내로 용입되면 유리 형성 능력에 큰 영향을 주기 때문에 최대한 그들 성분의 용해를 억제하지 않으면 충분한 접합 강도를 가진 접합체는 얻을 수 없다. 그래서 결정 금속쪽의 상단부에 홈 공간을 확보함으로써 결정 금속의 용해가 억제되어 용접 금속의 조성 변화가 줄어들기 때문에, 홈 공간을 확보하지 않은 경우에는 용접 불가능했던 결정 금속과 금속 유리의 조합의 접합체를 얻을 수 있다(예를 들면, 금속 유리a-SUS, Ni).
1 금속 유리
2 결정 금속
3 접합면
4 용융부
41 상단 용융부
42 아래쪽 용융부
X 고에너지 빔
Y 홈 공간 형성선

Claims (5)

  1. 금속 유리와 결정 금속을 맞대고, 빔의 조사 위치를 금속 유리쪽으로 시프트하여 주사하는 고에너지 빔 용접에 의한 접합 방법으로서,
    맞대기면의 결정 금속쪽 홈의 상부에서 조사 빔에 의해 형성되는 금속 유리와 결정 금속의 용융영역 내에 홈 공간을 형성하여 용접하는 금속 유리와 결정 금속의 고에너지 빔에 의한 용접 방법.
  2. 제1항에 있어서,
    맞대기면의 결정 금속쪽에 형성하는 홈 공간이, 상기 조사 빔에 의한 결정 금속의 용융 등온선을 따라 형성되는 금속 유리와 결정 금속의 고에너지 빔에 의한 용접 방법.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    고에너지 빔의 조사 중, 접합 금속 유리와 동일 조성의 금속 유리를 상기 홈 공간에 보충하는 금속 유리와 결정 금속의 고에너지 빔에 의한 용접 방법.
  4. 금속 유리와 결정 금속을 맞대고, 빔의 조사 위치를 금속 유리쪽으로 시프트하여 주사하는 고에너지 빔 용접에 의한 접합 방법으로서,
    맞댄 금속 유리와 결정 금속 중 금속 유리쪽을 5°이상 경사지게 하여 높은 위치에 위치하게 하는 금속 유리와 결정 금속의 고에너지 빔에 의한 용접 방법.
  5. 제1항에 기재된 맞대기면의 결정 금속쪽 홈의 상부에서 조사 빔에 의해 형성되는 금속 유리와 결정 금속의 용융영역 내에 홈 공간을 형성함과 동시에 금속 유리쪽을 경사지게 하여 높은 위치에 위치하게 하는 금속 유리와 결정 금속의 고에너지 빔에 의한 용접 방법.
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